Спин-волновые возбуждения в микроструктурах на основе поликристаллических магнитных плёнок тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.03, кандидат наук Сахаров Валентин Константинович

• Сахаров Валентин Константинович
• кандидат наук
• 2021

Оглавление диссертации кандидат наук Сахаров Валентин Константинович

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. МАГНИТОСТАТИЧЕСКИЕ ВОЛНЫ В ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЁНКАХ ЖЕЛЕЗОИТТРИЕВОГО ГРАНАТА С БУФЕРНЫМ ПОДСЛОЕМ НА ПОДЛОЖКЕ КРЕМНИЯ

1.1. ВВЕДЕНИЕ

1.2. СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА

1.3. СПЕКТРЫ ФЕРРОМАГНИТНОГО РЕЗОНАНСА

1.4. ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОАНТЕНН. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА ПО ИССЛЕДОВАНИЮ РАСПРОСТРАНЕНИЯ МАГНИТОСТАТИЧЕСКИХ ВОЛН

1.5. АМЛИТУДНО-ЧАСТОТНЫЕ И ФАЗО-ЧАСТОТНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ КОЭФФИЦИЕНТА ПРОХОЖДЕНИЯ МАГНИТОСТАТИЧЕСКИХ ВОЛН

1.5.1. ПОВЕРХНОСТНЫЕ МАГНИТОСТАТИЧЕСКИЕ ВОЛНЫ

1.5.2. ЭФФЕКТ НЕВЗАИМНОСТИ

1.5.3. ОБРАТНЫЕ ОБЪЁМНЫЕ МАГНИТОСТАТИЧЕСКИЕ ВОЛНЫ

1.6. РАСЧЁТ СПИН-ВОЛНОВЫХ РЕЗОНАНСОВ, ДИСПЕРСИОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК И ПОГЛОЩЕНИЯ В ПЛЁНКАХ ЖЕЛЕЗОИТТРИЕВОГО ГРАНАТА С БУФЕРНЫМ ПОДСЛОЕМ

1.7. ВЛИЯНИЕ МОЩНОСТИ ВХОДНОГО СИГНАЛА НА РАСПРОСТРАНЕНИЕ ПОВЕРХНОСТНЫХ МАГНИТОСТАТИЧЕСКИХ ВОЛН

1.8. МАГНИТОУПРУГИЕ СВОЙСТВА

1.8.1. ВЛИЯНИЕ УПРУГИХ ДЕФОРМАЦИЙ РАСТЯЖЕНИЯ

1.8.2. БЫСТРЫЕ МАГНИТОУПРУГИЕ ВОЛНЫ

1.9. ВЫВОДЫ

ГЛАВА 2. МАГНИТОСТАТИЧЕСКИЕ ВОЛНЫ В ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЁНКАХ ЖЕЛЕЗОИТТРИЕВОГО ГРАНАТА НА ПОДЛОЖКАХ ГАДОЛИНИЙ-ГАЛЛИЕВОГО ГРАНАТА

2.1. ВВЕДЕНИЕ

2.2. СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА

2.3. СПЕКТРЫ ФЕРРОМАГНИТНОГО РЕЗОНАНСА

2.4. АМЛИТУДНО-ЧАСТОТНЫЕ И ФАЗО-ЧАСТОТНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ КОЭФФИЦИЕНТА ПРОХОЖДЕНИЯ МАГНИТОСТАТИЧЕСКИХ ВОЛН

2.4.1. ПОВЕРХНОСТНЫЕ МАГНИТОСТАТИЧЕСКИЕ ВОЛНЫ

2.4.2. ОБРАТНЫЕ ОБЪЁМНЫЕ МАГНИТОСТАТИЧЕСКИЕ ВОЛНЫ

2.5. МАГНИТОУПРУГИЕ СВОЙСТВА

2.5.1. БЫСТРЫЕ МАГНИТОУПРУГИЕ ВОЛНЫ

2.5.2. ВЛИЯНИЕ УПРУГИХ ДЕФОРМАЦИЙ РАСТЯЖЕНИЯ

2.6. ВЛИЯНИЕ МОЩНОСТИ ВХОДНОГО СИГНАЛА НА РАСПРОСТРАНЕНИЕ ПОВЕРХНОСТНЫХ МАГНИТОСТАТИЧЕСКИХ ВОЛН

2.7. МИКРОМАГНИТНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ РАСПРОСТРАНЕНИЯ СПИНОВЫХ ВОЛН В

ПЛЁНКЕ ЖЕЛЕЗОИТТРИЕВОГО ГРАНАТА С НЕОДНОРОДНЫМ РАСПРЕДЕЛЕНИЕМ НАМАГНИЧЕННОСТИ ПО ТОЛЩИНЕ

2.8. ВЫВОДЫ

ГЛАВА 3. ПЛАНАРНЫЕ КОМПОЗИТНЫЕ СТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ ПЕРИОДИЧЕСКИ ЧЕРЕДУЮЩИХСЯ МИКРООБЛАСТЕЙ КОБАЛЬТА И ПЕРМАЛЛОЯ

3.1. ВВЕДЕНИЕ

3.2. ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ

3.3. СПЕКТРЫ ФЕРРОМАГНИТНОГО РЕЗОНАНСА

3.3.1. РЕШЁТКИ МИКРОПОЛОСОК

3.3.2. КОМПОЗИТНЫЕ СТРУКТУРЫ

3.4. РАСЧЁТ ВНУТРЕННЕГО ПОЛЯ И СПЕКТРА СОБСТВЕННЫХ КОЛЕБАНИЙ

3.5. ПЕТЛИ ГИСТЕРЕЗИСА И ДОМЕННАЯ СТРУКТУРА

3.6. МАГНИТОСОПРОТИВЛЕНИЕ

3.7. СПИН-ВОЛНОВЫЕ ВОЗБУЖДЕНИЯ В ДВУМЕРНОЙ РЕШЁТКЕ КОБАЛЬТОВЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА СПЛОШНОЙ ПЛЁНКЕ ПЕРМАЛЛОЯ

3.8. ВЫВОДЫ

ГЛАВА 4. ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЁНКИ ЖЕЛЕЗОИТТРИЕВОГО ГРАНАТА И ПЕРМАЛЛОЯ НА ПОДЛОЖКАХ С ПЕРИОДИЧЕСКИМ МИКРОРЕЛЬЕФОМ

4.1. ВВЕДЕНИЕ

4.2. ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ

4.3. СПЕКТРЫ ФЕРРОМАГНИТНОГО РЕЗОНАНСА

4.3.1. ПРОФИЛИРОВАННЫЕ ПЛЁНКИ ЖЕЛЕЗОИТТРИЕВОГО ГРАНАТА

4.3.2. ПРОФИЛИРОВАННЫЕ ПЛЁНКИ ПЕРМАЛЛОЯ

4.4. МИКРОМАГНИТНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ СПИН-ВОЛНОВЫХ ВОЗБУЖДЕНИЙ В ПРОФИЛИРОВАННОЙ ПЛЁНКЕ ЖЕЛЕЗОИТТРИЕВОГО ГРАНАТА

4.5. РАСПРОСТРАНЕНИЕ ПОВЕРХНОСТНЫХ МАГНИТОСТАТИЧЕСКИХ ВОЛН В ПРОФИЛИРОВАННЫХ ПЛЁНКАХ ЖЕЛЕЗОИТТРИЕВОГО ГРАНАТА

4.6. ПЕТЛИ ГИСТЕРЕЗИСА И ДОМЕННАЯ СТРУКТУРА ПРОФИЛИРОВАННЫХ ПЛЁНОК ПЕРМАЛЛОЯ

4.7. МАГНИТОСОПРОТИВЛЕНИЕ ПРОФИЛИРОВАННЫХ ПЛЁНОК ПЕРМАЛЛОЯ

4.8. МИКРОМАГНИТНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕТЕЛЬ ГИСТЕРЕЗИСА И МАГНИТОСОПРОТИВЛЕНИЯ ПРОФИЛИРОВАННЫХ ПЛЁНОК ПЕРМАЛЛОЯ

4.9. ВЫВОДЫ

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ И УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

БЛАГОДАРНОСТИ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Спин-волновые возбуждения в микроструктурах на основе поликристаллических магнитных плёнок»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы исследования, степень её разработанности

Развитие информационных технологий остро обозначило необходимость перехода к энергоэффективной элементной базе. Для решения проблемы энергоэффективности было предложено несколько возможных путей, одним из которых является принципиальный отказ от использования в качестве переносчика информации токов заряженных частиц и замена их на спиновые волны (СВ) или магноны (корпускулярные «двойники» СВ). По аналогии с электроникой, где основным носителем информации является электрон, для указанного направления было введено понятие магноники [1-4]. Поиск возможных путей создания устройств хранения, обработки и передачи информации на принципах магноники обуславливает интенсивное изучение особенностей распространения СВ в магнитных микро- и наноструктурах: например, в [5, 6] описана голографическая память, в [7-11] были предложены базовые спин-волновые логические элементы, а в [12, 13] рассматривается передача сигналов.

Выбор материалов для задач магноники весьма ограничен. На сегодняшний день наиболее перспективным представляется железоиттриевый гранат (ЖИГ), обладающий рекордно низкими потерями на прохождение СВ [14, 15] и, кроме того, являющийся диэлектриком, что важно с точки зрения уменьшения джоулевого нагрева.

Наиболее качественные плёнки ЖИГ получаются жидкофазной эпитаксией (ЖФЭ). Однако процесс изготовления данным методом сильно уменьшает набор технологических операций, которые возможно проводить до стадии формирования ЖИГ, вследствие использования высоких температур и специфических подложек [16, 17]. В то же время, для использования преимуществ как потенциальных устройств магноники, так и устройств других областей радиоэлектроники важной оказывается возможность их интеграции на одном чипе. Это приводит к развитию неэпитаксиальных методик нанесения плёнок ЖИГ, позволяющих формировать магнонные структуры на разных, в первую очередь, полупроводниковых, положках.

Большинство стандартных полупроводниковых и диэлектрических подложек имеют постоянную решётки (например, асг^)=0.543 нм, aCr(GaAs)=0.565 нм, aCr(Ge)=0.566 нм) отличную от ЖИГ (асг(ЖИГ)=1.238 нм), за счёт чего плёнки ЖИГ, выращиваемые на таких подложках, обладают поликристаллической структурой и характеризуются большим значением параметра затухания а по сравнению с ЖФЭ образцами [18-21]. В результате этого уменьшаются расстояния, на которых могут быть зафиксированы СВ, и оказываются непригодными традиционные методы исследования прохождения СВ с помощью контактных структур (в которых исследуемая плёнка ЖИГ размещается поверх поликоровой подложки с системой индукционных антенн). Тем не менее, контактные структуры использовались для изучения прохождения СВ в плёнках ЖИГ на кремниевых подложках в некоторых имеющихся

опубликованных работах [21]. При этом не были показаны фазо-частотные характеристики коэффициента прохождения, которые могли бы доказать волновой характер спектра прохождения. Кроме того, оценка потерь на распространение СВ из указанных в данных работах значений ширины (ДЯ) отклика ферромагнитного резонанса (ФМР) показывает невозможность детектирования СВ при используемых расстояниях между возбуждающими и приёмными преобразователями.

На данный момент основным методом исследования магнонных структур является бриллюэновское рассеяние света (БРС), позволяющее напрямую визуализировать физику процессов, протекающих в данных образцах. Однако для использования магнонных структур в реальных прототипах устройств необходимой оказывается их интеграция с преобразователями сигналов в СВ и обратно. В качестве таких преобразователей, наиболее вероятно, будут использоваться индукционные микроантенны (МА).

При этом для уверенного наблюдения прохождения СВ в поликристаллических плёнках ЖИГ и, следовательно, возможности создания на их основе прототипов магнонных устройств, необходимым оказывается уменьшение расстояний между МА, уменьшение размеров самих МА и уменьшение толщины плёнок ЖИГ. Данные требования находятся в соответствии с тенденциями на миниатюризацию устройств магноники, что также необходимо для интеграции с приборами микроэлектроники. Уменьшение расстояний между МА обусловлено ростом потерь при переходе к неэпитаксиальным технологиями получения плёнок ЖИГ; уменьшение размеров самих МА необходимо для смещения максимума возбуждения/приёма в область более коротковолновых волн, фиксация набега фазы которых могла бы говорить о волновом процессе; одновременное уменьшение толщины плёнок ЖИГ требуется для обеспечения высокой групповой скорости СВ. Отметим, что фазовые характеристики очень важны также для реализации и исследования устройств, работающих на интерференции СВ [5, 6].

Для увеличения эффективности возбуждения/приёма СВ требуется интеграция МА с исследуемой магнонной структурой, что позволяет лучшим образом использовать СВЧ поле МА. Возможность возбуждения коротких СВ в эпитаксиальных плёнках ЖИГ подобными интегрированными МА была продемонстрирована ранее [22]. Однако она не применялась для плёнок ЖИГ, изготовленных другими методами.

Использование таких методов роста плёнок ЖИГ, как лазерная абляция, ВЧ магнетронное и ионно-лучевое распыление (ИЛР), часто подразумевает выращивание дополнительных буферных слоёв, которые могут быть как немагнитными [18-20], так и обладать магнитным упорядочиванием. Последнее включает выращивание ЖИГ в две стадии, на первой из которых буферный слой полируется ионами кислорода с низкой энергией [21]. В данном случае, пленка ЖИГ и буферный слой образуют двухслойную магнитную структуру, в которой могут ярко проявляться эффекты невзаимного распространения поверхностных спиновых волн [23-26],

важных с точки зрения использования для построения вентилей [25, 27], циркуляторов [12, 28], направленных ответвителей [29], линий задержки [30] и логических элементов [31]. Кроме того, исследование эффектов невзаимности оказывается существенным для понимания того, как формируется спектр СВ в металлизированных магнонных кристаллах [32, 33], как происходит взаимодействие этих волн на интерфейсе в магнитных структурах [34, 35], и того, что обуславливает так называемые магнитохиральные свойства [36]. Ранее эффекты невзаимности наиболее подробно были исследованы для двухслойных плёнок ЖИГ, полученных ЖФЭ [23, 24, 26, 35, 37, 38]. Применительно к плёнкам ЖИГ на полупроводниковых подложках эффекты невзаимного распространения поверхностных магнитостатических волн (ПМСВ) исследовались лишь в единственной работе [21], где сообщалось о наблюдении слабой (<2 дБ) невзаимности распространения ПМСВ.

На один-два порядка большие значения параметра затухания а, характеризующего скорость релаксации СВ, в плёнках ЖИГ, полученных с помощью неэпитаксиальных технологий, приводят к росту пороговых уровней мощности СВ при которых в таких образцах возникает параметрическая неустойчивость, и, как следствие, к возможности более яркого проявления эффектов динамического размагничивания [39] и нагрева плёнки СВЧ мощностью волны. Воздействие данных эффектов ставит вопрос о том, будет ли сохраняться хорошее соответствие (как в случае эпитаксиальных плёнок) между данными измерений ФМР и параметром диссипации, определённым по методике на основе измерения порогов возбуждения параметрических СВ волновой накачкой в виде бегущих магнитостатических волн (МСВ).

Неэпитаксиальные методы нанесения, в частности ИЛР, позволяют наносить практически конформно плёнки ЖИГ на подложки, имеющие поверхность с развитым вытравленным рельефом, глубина которого сопоставима или превышает толщину осаждаемой магнитной плёнки [40]. Для краткости будем называть такие микроструктуры профилированными плёнками (ПП). Помимо устройств на принципах магноники, такие структуры активно исследуются для возможного использования в МЭМС-технологиях [41], для создания многоуровневой магнитной памяти [42, 43, 44, 45] и магниторезистивной памяти [46, 47]. Анализ прохождения трёх типов МСВ в ПП на основе плёнок ЖИГ [40, 48, 49] показал возможность формирования запрещённых брэгговских зон в дисперсионных характеристиках и, следовательно, возможность отнести их к магнонным кристаллам (МК) и рассматривать как возможный вариант структур для перехода к трёхмерной магнонике. Тем не менее, экспериментально спин-волновые возбуждения в ПП-структурах на основе ЖИГ не исследовались. Однако отметим, что для ПП на основе ферромагнитных металлов были рассмотрены спектры ФМР [50], имевшие две основные особенности: смещение фундаментальной моды вследствие анизотропии формы и формирование откликов, соответствующих стоячим модам ПМСВ или обратных объёмных МСВ (ООМСВ) по ширине элементов структуры.

Наряду с отработкой неэпитаксиальных методов изготовления плёнок ЖИГ, совместимых с технологией полупроводниковых приборов, для создания магнонных структур активно изучается возможность использования материалов, отличных от ЖИГ, главным образом, ферромагнитных (ФМ) металлов и их сплавов [51, 52]. Помимо возможности изготовления с помощью стандартных полупроводниковых технологий, несомненным преимуществом данных материалов являются высокие значения намагниченности насыщения, и, следовательно, меньшие требования к системам подмагничивания и высокие рабочие частоты. Однако наряду с этим ФМ металлы обладают довольно большим параметром затухания, обычно не позволяющим наблюдать прохождение СВ на расстояния, большие нескольких десятков микрометров. По этой причине активно исследуется возможность усиления спин-волновых возбуждений и компенсация потерь. Для этой цели потенциально может применяться квантовое усиление СВ в феррит-парамагнитных структурах [53, 54], усиление СВ через взаимодействие с носителями заряда [55-58], эффект переноса спинового момента [59] и магнитоэлектрическое взаимодействие [60]. Таким образом, использование магнонных структур на основе ФМ металлов при условии реализации компенсации потерь может оказаться обоснованным с технологической точки зрения.

Среди всего многообразия структур на основе ФМ металлов для целей магноники наиболее часто исследуются МК вследствие того, что спектром СВ в них можно управлять за счёт наличия разрешённых и запрещённых зон, возможности их подстройки внешнем полем и с помощью выбора геометрических параметров структур. Эти свойства МК можно использовать для создания устройств спиновой логики [61], СВЧ-фильтров [62], генераторов [63] и др. В данной работе будут рассмотрены два варианта реализации МК: ПП из пермаллоя (Py=Ni8oFe2o) на подложках кремния и двухкомпонентный МК (ДМК) на основе чередующихся областей кобальта и Py (далее:

МК обладают симметрией, индуцирующей магнитную анизотропию, одним из проявлений которой в проводящих материалах является эффект анизотропного магнитосопротивления (АМС). Данный эффект не только находит практическое применение сам по себе (например, для датчиков магнитного поля [46], устройств хранения информации [43]), но и является необходимым условием для формирования некоторых эффектов на СВЧ, в частности, эффекта возникновения постоянной ЭДС в условиях ФМР [64]. На момент выполнения данной работы эффект АМС в металлических МК рассматривался лишь в единичных работах (для ДМК - в [65, 66], для ПП - в [46, 67]). При этом не исследовалось влияние геометрических размеров элементов структуры (как одномерных (Ш), так и двумерных (2D)), не рассматривались ориентационные зависимости АМС. Кроме того, для изучения спин-волновых возбуждений в ДМК не использовался метод ФМР. Также не рассматривалось отличие спектров ФМР для ПП на основе плёнок ЖИГ и плёнок ФМ металлов.

Актуальность и необходимость решения перечисленных вопросов как для понятия фундаментальных основ перечисленных явлений, так и для прикладного использования, определили цели и задачи данной диссертационной работы.

Цель диссертационной работы состояла в определении особенностей спин-волновых возбуждений в интегральных микроструктурах на основе плёнок ЖИГ, полученных методом ИЛР, а также в периодических микроструктурах на основе плёнок Со и Ру.

Для достижения поставленной цели в данной работе решались следующие основные задачи:

1. Обнаружить распространение СВ в поликристаллических плёнках ЖИГ, полученных методом ИЛР на подложки SiO2/Si и ГГГ (далее: ЖИГ^ и ЖИГ/ГГГ) с помощью МА, нанесённых непосредственно на их поверхность.

2. Выявить особенности эффекта невзаимного распространения ПМСВ в плёнках ЖИГ^ и ЖИГ/ГГГ.

3. Определить особенности развития параметрической неустойчивости ПМСВ в плёнках ЖИГ^ и ЖИГ/ГГГ.

4. Оценить эффективность магнитоупругого взаимодействия в плёнках ЖИГ^ и ЖИГ/ГГГ и показать возможность эффективного взаимодействия СВ с упругими волнами структур ЖИГ^ и ЖИГ/ГГГ.

5. Определить особенности спектра ФМР образцов ПП на основе ЖИГ и Ру, спектра распространяющихся ПМСВ в 1111 на основе ЖИГ. Проанализировать применимость модели мелкослоистой (субволновой) среды к ПП на основе ЖИГ.

6. Определить влияние типа микроструктуры и геометрических размеров элементов на спектр спин-волновых возбуждений, основное состояние и вид полевых зависимостей сопротивления Я(И) в ДМК-Со/Ру, а также в ПП на основе Ру.

Научная новизна работы состоит в том, что в ней впервые:

1. В субмикронных поликристаллических плёнках ЖИГ^ и ЖИГ/ГГГ, полученных ИЛР:

1.1. Обнаружены и исследованы эффекты распространения спиновых и магнитоупругих

волн;

1.2. Определено влияние буферного слоя и неоднородности распределения намагниченности по толщине плёнки на дисперсию и проявление эффекта невзаимности ПМСВ;

1.3. Показана необходимость учета влияния эффектов динамического размагничивания и термического нагрева структуры СВЧ мощностью при исследовании параметрической неустойчивости ПМСВ;

1.4. Проведена оценка магнитоупругих постоянных и констант магнитострикции.

2. Экспериментально изучены эффекты распространения СВ и квантования спектра в ПП на основе ЖИГ, полученных ИЛР и характеризующихся шириной w, периодом Р=2w и глубиной И (такими, что И >> ё; w >> И). Обнаружены и исследованы особенности частотных зависимостей коэффициента прохождения ПМСВ, связанные с механизмами квантования спектра СВ, дифракции Брэгга и дискретной дифракции. Рассмотрена применимость модели эффективной среды для описания длинноволновой области дисперсионных характеристик ПМСВ в таких структурах.

3. Для ДМК-Со/Ру, а также для ПП на основе Ру экспериментально и с помощью микромагнитного моделирования исследованы зависимости спектров СВ, процессов перемагничивания и анизотропного магнитосопротивления (АМС) от характера микроструктурирования ДМК и ПП.

Научная значимость работы заключается в том, что в ней получены новые знания о свойствах СВ в субмикронных поликристаллических плёнках ЖИГ, выращенных ИЛР, а также результаты, которые развивают и дополняют представления об особенностях спектров СВ в микроструктурированных образцах на основе плёнок ЖИГ и ФМ металлов.

Практическая значимость работы состоит в том, что:

1. Проведённые исследования структур на основе плёнок ЖИГ, полученных ИЛР, показывают принципиальную возможность использования таких структур для создания устройств магноники и их интеграции с КМОП технологией.

2. Обнаруженный эффект увеличения невзаимности распространения ПМСВ в поликристаллической плёнке ЖИГ с буферным слоем и плёнке ЖИГ с неоднородным распределением намагниченности по толщине возможно использовать для построения СВЧ-вентилей, циркуляторов, направленных ответвителей, линий задержки и логических элементов.

3. Наличие магнитострикционных свойств, приводящих к формированию гибридных магнитоупругих волн (МУВ), в структурах на основе плёнок ЖИГ, полученных ИЛР, даёт возможность использования данных структур для создания устройств с акустической спиновой накачкой, устройств стрейнтроники.

4. Рассмотренные ПП на основе ЖИГ могут выступать в качестве базового элемента для последующей трёхмерной архитектуры устройств магноники.

5. Зависимость эффекта АМС от типа микроструктурирования и геометрических размеров элементов исследуемых микроструктур на основе Со и Ру даёт возможность управления величиной данного эффекта. Это может быть использовано при проектировании, например, датчиков магнитного поля.

Методология и методы исследования

Исследование спин-волновых возбуждений в структурах, рассматриваемых в рамках данной диссертационной работы, проводилось с использованием стандартной измерительной

СВЧ техники. Для изучения характеристик бегущих СВ на поверхность образцов наносились МА с контактными площадками, к которым и от которых с помощью прижимных СВЧ зондов подводился сигнал от коаксиального СВЧ-тракта и измерялся выходной сигнал. Отклик спиновой системы образцов на однородную накачку изучался с применением метода резонаторного ФМР на базе спектрометра СЭПР-2 на фиксированной частоте и развёрткой по магнитному полю. Спин-волновые возбуждения в локальных участках двумерных решёток Co на сплошных плёнках Py исследовались с помощью магнитооптического эффекта Керра (МОЭК) с пространственно-временным разрешением.

Характеристики поверхности образцов (шероховатость, средний диаметр зерна, наличие дефектов роста, геометрические параметры элементов структур и др.) получались с использованием методов атомно-силовой микроскопии (АСМ), сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) и оптической микроскопии, а также стилусной профилометрии. Магнитосопротивление образцов измерялось с помощью четырёх-зондового метода; петли перемагничивания - методом вибрационной магнитометрии. Доменная структура визуализировалась методом магнито-силовой микроскопии (МСМ).

Микромагнитное моделирование распределения компонент полного поля и намагниченности, дисперсионных характеристик и собственных спектров СВ проводились с помощью программы Object Oriented Micromagnetic Framework (OOMMF) версии 1.2b [68], имеющейся в свободном доступе [69] и решающей конечно-разностными методами уравнение Ландау-Лившица по задаваемой трёхмерной структуре. Потери, дисперсионные характеристики ПМСВ в двуслойных обменносвязанных структурах с закреплением спинов, кривые АМС, петли гистерезиса рассчитывались также с помощью программ, написанных Ю.А. Филимоновым и Г.М. Дудко на языке программирования Fortran.

Положения, выносимые на защиту:

1. В плёнках ЖИГ, полученных ионно-лучевым распылением на подложки кремния со слоем окисла, наличие буферного слоя ЖИГ может усиливать (на ~10 дБ) эффект невзаимности распространения поверхностных магнитостатических волн и приводить к появлению дополнительных откликов в спектре ферромагнитного резонанса.

2. В плёнках ЖИГ с параметром затухания спиновых волн а > 10-2 эффекты динамического размагничивания и нагрева плёнки СВЧ-мощностью волны сдвигают спектр поверхностных магнитостатических волн (ПМСВ) в область меньших частот (сдвиг до ~50 МГц), что приводит к качественным отличиям зависимостей амплитуды коэффициента прохождения от входной мощности для различных положений частоты ПМСВ относительно частоты, соответствующей максимуму прохождения ПМСВ. Указанные эффекты необходимо учитывать при определении порогов параметрической неустойчивости.

3. Интеграция микроантенн с субмикронными поликристаллическими плёнками ЖИГ, полученными ионно-лучевым распылением на подложки кремния и гадолиний-галлиевого граната, позволяет наблюдать эффекты распространения спиновых и магнитоупругих волн в данных структурах.

4. Спектры ферромагнитного резонанса и коэффициента прохождения поверхностных магнитостатических волн (ПМСВ) в магнитных плёнках на подложках с решёткой из вытравленных канавок с периодом p и глубиной, превышающей толщину плёнки, демонстрируют эффекты квантования. В конфигурации Лауэ могут проявляться эффекты дискретной дифракции ПМСВ, приводящие к росту потерь ПМСВ с длиной волны >p/2. Длинноволновая граница спектра ПМСВ в таких структурах может быть описана в рамках модели эффективной среды.

5. В спектрах ферромагнитного резонанса планарных периодических структур на основе тонких (50 нм) плёнок кобальта и пермаллоя с микронными размерами элементов могут наблюдаться линии поглощения, отвечающие латеральным резонансам спиновых волн в элементах из пермаллоя.

Достоверность полученных экспериментальных результатов определяется их воспроизводимостью, применением современных средств и методов измерений, соответствием с численными расчётами. Достоверность результатов расчётов обеспечивается использованием адекватных математических моделей, широко апробированных и хорошо зарекомендовавших себя численных методов исследования. Достоверность также подтверждается отсутствием противоречий с известными опубликованными работами.

Апробация работы и публикации. Результаты работы представлялись на следующих конференциях, симпозиумах, семинарах, научных школах:

- VII Euro-Asian symposium "Trends in Magnetism" (Екатеринбург, 2019);

- Moscow international symposium on magnetism (MISM 2011, MISM 2017), (Москва, 2011, 2017);

- International symposium "Spin Waves", (Санкт-Петербург, 2011, 2015, 2018);

- 26-th International symposium "Nanostructures: Physics and technology" (Минск, 2018);

- 20-th International conference on magnetism (Барселона, 2015);

- International workshop Brillouin and microwave spectroscopy of magnetic micro- and nanostructures (Brilmics 2014), (Саратов, 2014);

- XVIII, XIX, XX, XXIII Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» (Нижний Новгород, 2013, 2014, 2015, 2016, 2019);

- VI, VII, XI, XII, XIII Всероссийская конференция молодых учёных «Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика» (Саратов, 2011, 2012, 2016, 2017, 2018 гг.);

- XI Международная школа-конференция «Хаотические автоколебания и образование структур» (ХАОС-2016), (Саратов, 2016);

- 19-я Всероссийская молодёжная научная школа-семинар «Актуальные проблемы физической и функциональной электроники» (Ульяновск, 2016);

- IEEE International conference on microwave magnetics (Кайзершлаутерн, 2012);

- International conference "Days on Diffraction 2012" (Санкт-Петербург, 2012). Результаты диссертации использовались при выполнении научных проектов,

поддержанных грантами РФФИ (№№ 12-07-31155, 16-02-01073, 16-29-14058, 16-57-00135, 18-57-00008).

По теме диссертации опубликовано 38 работ, из них 13 статей в рецензируемых журналах, 6 статей в сборниках трудов конференций, 19 тезисов докладов на конференциях, симпозиумах и школах-семинарах. Список работ приведён в заключении.

Личный вклад соискателя. Исследуемые в работе структуры на основе плёнок ферромагнитных металлов, МА на поверхности структур на основе плёнок ЖИГ изготовлялись непосредственно соискателем. Все приводимые в диссертации результаты экспериментов получены лично соискателем, за исключением спектров магнитооптического эффекта Керра, спектров широкополосного ФМР при воздействии изгибной деформации и дифрактограмм. Микромагнитное моделирование дисперсионных характеристик в плёнках ЖИГ с неоднородным распределением 4пМ по толщине, в 1111 на основе ЖИГ; спектров собственных колебаний в 1111 на основе ЖИГ, в ДМК и микрорешётках из Co и Py проводилось лично соискателем. Численное моделирование эффекта АМС, перемагничивания магнитных структур, расчёт спектров СВ в двуслойных плёнках ЖИГ, расчёт амплитудно-частотных характеристик (АЧХ) ПМСВ в ПП на основе ЖИГ, измерения спектров широкополосного ФМР при воздействии изгибной деформации интерпретация результатов экспериментов проводились в соавторстве.

Структура и объём работы. Диссертация состоит из Введения, четырёх глав, Заключения, Списка сокращений и условных обозначений и Списка литературы. В конце каждой главы приводится раздел «Выводы» с кратким перечислением основных результатов исследований, описанных в данной главе. Общий объём диссертационной работы составляет 222 страницы, включая 100 рисунков, 6 таблиц, список литературы из 290 наименований на 19 страницах, список сокращений и условных обозначений на 3 страницах.

Соответствие направления диссертационного исследования специальности В диссертационной работе исследуются особенности линейных и нелинейных процессов распространения волн, что соответствует формуле специальности и п. 2 раздела «области исследования» паспорта специальности по шифру «01.04.03 Радиофизика».

Краткое содержание работы

Во введении обоснована актуальность темы диссертации, сформулированы её цели, задачи научная новизна, практическая значимость, перечислены положения, выносимые на защиту, указаны сведения об апробации работы, основных публикациях автора и структуре работы.

В главах 1-4 описываются результаты экспериментальных исследований и численных расчётов. Каждая из глав заканчивается выводами.

1-я глава посвящена исследованию распространения МСВ в поликристаллических плёнках ЖИГ, полученных ИЛР на подложках кремния со слоем окисла (ЖИГ^). В разделе 1.1 на основе анализа литературы кратко рассматривается значимость изучения подобных структур, особенности их изготовления, основные свойства и, исходя из известных проблем, формулируются цели данной главы. Морфология поверхности изучаемых плёнок, исследованная методом АСМ, и профили структур, исследованные методом СЭМ, описываются в разделе 1.2. В разделе 1.3 приводятся спектры ФМР изучаемых образцов, зависимости резонансных полей и ширины линии ФМР от угла подмагничивания, из которых даётся оценка намагниченностей слоёв плёнки, анализируется возможность влияния процессов двухмагнонного рассеяния. Технология изготовления МА на поверхности плёнок ЖИГ и методика эксперимента по измерению комплексных S-параметров МСВ рассматриваются в разделе 1.4. Обсуждение измеренных амплитудно-частотных (АЧХ) и фазо-частотных (ФЧХ) характеристик МСВ в изучаемых образцах проводится в разделе 1.5. В разделе 1.6 описывается модель двуслойной плёнки феррита, указываются результаты проведённых по этой модели расчётов дисперсионных кривых, потерь на распространение, спектров спин-волновых резонансов (СВР), проводится сравнение с экспериментальными данными. Раздел 1.7 посвящён изучению влияния мощности входного сигнала на спектр ПМСВ. Здесь приводится оценка сдвига спектра ПМСВ, обусловленного эффектами динамического размагничивания и нагрева плёнки, показывается, что указанные эффекты требуют уточнения подходов к определению порогов параметрической неустойчивости. В разделе 1.8 приводятся результаты исследования магнитоупругих свойств образцов ЖИГ^. С помощью метода широкополосного ФМР в макете на основе несимметричной микрополосковой линии показывается эффект сдвига частоты, отвечающей максимуму потерь в спектре прохождения. Из величины данного сдвига рассчитывается величина магнитоупругой постоянной. В этом же разделе рассматриваются магнитоупругие резонансы в экспериментальных АЧХ и дисперсионных кривых ПМСВ в изучаемых образцах. Основные выводы главы 1 приводятся в разделе 1.9.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Сахаров Валентин Константинович, 2021 год

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1. Demokritov, S. O. Magnonics: from fundamentals to applications / S. O. Demokritov, A. N. Slavin. - Berlin: Springer-Verlag, 2013. - 262 P.

2. Neusser, S. Magnonics: Spin waves on the nanoscale / S. Neusser, D. Grundler // Advanced Materials. - 2009. - Vol. 21. - P. 2927-2932.

3. Kruglyak, V.V. Magnonics. / V.V. Kruglyak, S.O. Demokritov, D. Grundler // J. Phys. D.: Appl. Phys. - 2010. - Vol. 43. - P. 264001, [1-14].

4. Serga, A.A.YIG magnonics / A.A. Serga, A.V. Chumak, B. Hillbrands // J. Phys. D: Appl. Phys. - 2010. - Vol. 43. - P. 264002, [1-16].

5. Parallel read-out and database search with magnonic holographic memory / F. Gertz, A. Kozhevnikov, Y. Khivintsev, G. Dudko, M. Ranjbar, D. Gutierrez, H. Chiang, Y. Filimonov, A. Khitun // IEEE Trans. Magn. - 2016. - Vol. 52, N.7. - P. 3401304, [1-4].

6. Khitun, A. Magnonic holographic devices for special type data processing / A. Khitun // J. Appl. Phys. - 2013. - Vol. 113. - P. 164503, [1-9].

7. Spin -wave logical gates/ M.P. Kostylev, A.A. Serga, T. Schneider, B. Leven, B. Hilebrands // Appl. Phys. Lett. - 2005. - Vol. 87. - P. 153501, [1-3].

8. Realization of spin-wave logic gates / T. Schneider, A.A. Serga, B. Leven, B. Hilebrands, R.L. Stamps, M. P. Kostylev // Appl. Phys. Lett. - 2008. - Vol. 92. - P. 022505, [1-3].

9. Khitun, A. Spin wave magnetic nanoFabric: a new approach to spin-based logic circuitry / A. Khitun, M. Bao, K.L.Wang // IEEE Tr. Magn. - 2008. - Vol. 44, N. 9. - P. 2141-2152.

10. Feasibility study of logic circuits with a spin wave bus / A. Khitun, D.E. Nikonov, M. Bao, K. Galatsis, K.L. Wang // Nanotechnology - 2007. - Vol. 18. - P. 465202, [1-9].

11. Khitun, A. Magnonic logic circuits / A. Khitun, M. Bao, K.L. Wang // J. Phys. D.: Appl. Phys. - 2010. - Vol. 43. - P. 264005, [1-10].

12. Chen, Z. Ferrite film growth on semiconductor substrates towards microwave and millimeter wave integrated circuits / Z. Chen, V.G. Harris // J. Appl. Phys. - 2012. - Vol. 112. - P. 081181, [1-11].

13. Submicron Y3Fe5O12 film magnetostatic wave band pass filters / S.A. Manuilov, R. Fors, S.I. Khartsev, A.M. Grishin // J. Appl. Phys. - 2009. - Vol. 105. - P. 033917, [1-9].

14. Geller, S. Structure and ferrimagnetism of yttrium and rare-earth-iron garnets / S. Geller, M.A. Gilleo // Acta Crys. - 1957. - Vol. 10. - P. 239.

15. LeCraw, R.C. Ferromagnetic resonance line width in yttrium iron garnet single crystals / R.C. LeCraw, E.G. Spencer, C.S. Porter // Phys. Rev. - 1958. - Vol. 110, N. 6. - P. 1311-1313.

16. Яковлев, Ю.М. Монокристаллы ферритов в радиоэлектронике / Ю. М. Яковлев, С. Ш. Генделев. - М.: Советское радио, 1975. - 360 с.

17. Стародубцев, Ю. Магнитные материалы: Энциклопедический словарь-справочник / Ю. М. Стародубцев. - М: Техносфера, 2011. - 640 с.

18. Thick yttrium-iron-garnet (YIG) films produced by pulsed laser deposition (PLD) for integration applications / H. Buhay, J.D. Adam, M.R. Daniel, N.J. Doyle, M.C. Driver, G.W. Eldridge, M.H. Hanes, R.L. Messham, M M. Sopira // IEEE Trans. Magn. - 1995. - Vol. 31. - P. 3832-3834.

19. Preparation of low ferromagnetic resonance linewidth yttrium iron garnet films on silicon substrate / H.Zheng, H.B.Qin, P.Zheng, J.X.Deng, L.Zheng, M.G.Han // Appl. Surf. Sci.-2014.-Vol.307. -P.661-664.

20. Sun, Y. Growth and ferromagnetic resonance of yttrium iron garnet thin films on metals / Y. Sun, Y. Song, M Wu // Appl. Phys. Let. - 2012. - Vol. 101. - P. 082405, [1-3].

21. Growth and spin-wave properties of thin Y3Fe5Ö12 films on Si substrates / A.I. Stognij, L.V. Lutsev, V.E. Bursian, N.N. Novitskii // J. Appl. Phys. - 2015. - Vol. 118. - P. 023905, [1-7].

22. Khivintsev, Y.V. Spin wave excitation in yttrium iron garnet films with micron-sized antennas / Y.V. Khivintsev, Y.A. Filimonov, S.A. Nikitov // Appl. Phys. Lett. - 2015. - Vol. 106. - P. 052407, [1-4].

23. Wolfram, T. Magnetostatic surface waves in layered magnetic structures / T. Wolfram // J. Appl. Phys. - 1970. - Vol. 41. - P. 4748-4749.

24. Spin wave isolator based on frequency displacement in ferromagnetic bilayer / S. Shichi, N. Kanazawa, K. Matsuda, S. Okajima, T. Hasegawa, T. Okada, T. Goto, H. Takagi, M. Inoue // J. Appl. Phys. - 2015. - Vol. 117. - 17D125, [1-3]. - DOI: 10.1063/1.4915101.

25. Exploration of a thin YIG film-based coplanar isolator / S. Capraro, T. Boudiar, T. Rouiller, J.P. Chatelon, B. Bayard, M. Le Berre, B. Payet-Gervy, M.F. Blanc-Mignon, J.J. Rousseau // Microwave and Optical Technol. Lett. - 2004. - Vol. 42. - P. 470-471. - DOI: 10.1002/mop.20339.

26. Филимонов, Ю. А. Внутренние магнитостатические волны в структуре с двумя анизотропными ферритовыми слоями / Ю.А. Филимонов, И.В. Шеин // ЖТФ. - 1992. - Т. 62, вып. 1. - С. 187-196.

27. Magnetic thin-film insulator with ultra-low spin wave damping for coherent nanomagnonics / H. Yu, O. D'Allivy-Kelly, V. Cros, R. Bernard, P. Bortolotti, A. Anane, F. Brandl, R. Huber, I. Stasinopoulos, D. Grundler // Scientific Reports. - 2014. - Vol. 4. - P. 6848, [1-5].

28. Recent advances in processing and applications of microwave ferrites / V.G. Harris, A. Geiler, Y. Chen, S. D. Yoon, M. Wu, A. Yang, Z. Chen, P. He, P.V. Parimi, X. Zuo, C. E. Patton, M. Abe, O. Acher, C. Vittoria // JMMM. - 2009. - Vol. 321. - P. 2035-2047.

29. Sasaki, H. Directional coupling of magnetostatic surface waves in a layered structure of YIG films / H. Sasaki, N. Mikoshiba // J. Appl. Phys. - 1981. - Vol. 52. - P. 3546-3552. - DOI: 10.1063/1.329134.

30. Chang, N.S. Numerical analysis of MSSW delay line using layered magnetic thin slabs / N.S. Chang, Y. Matsuo // Proc. IEEE. - 1978. - Vol. 66. - P. 1577-1578.

31. Nonreciprocal emission of spin-wave packet in FeNi film / K. Sekiguchi, K. Yamada, S.M. Seo, K.J. Lee, D. Chiba, K. Kobayashi, T. Ono // Appl. Phys. Lett. - 2010. - Vol. 97. - P. 022508, [1-3].

32. Nonreciprocity of spin waves in metallized magnonic crystal / M. Mruczkiewicz, M. Krawczyk, G. Gubbiotti, S. Tacchi, Y.A. Filimonov, D.V. Kalyabin, I.V. Lisenkov, S.A. Nikitov // New Journal of Phys. - 2013. - Vol. 15. - P. 113023, [1-11]. - DOI: 10.1088/1367-2630/15/11/113023.

33. Observation of magnonic band gaps in magnonic crystals with nonreciprocal dispersion relation / M. Mruczkiewicz, E.S. Pavlov, S.L. Vysotsky, M. Krawczyk, Y.A. Filimonov, S.A. Nikitov // Phys. Rev. B. - 2014. - Vol. 90. - P. 174416, [1-6]. - DOI: 10.1103/PhysRevB.90.174416.

34. Direct observation of the Dzyaloshinskii-Moriya interaction in a Pt/Co/Ni film / K. Di, V.L. Zhang, H.S. Lim, S.C. Ng, M.H. Kuok, J. Yu, J. Yoon, X. Qiu, H. Yang // Phys. Rev. Lett. -2015.

- Vol. 114. - P. 047201, [1-5]. - DOI: 10.1103/PhysRevLett.114.047201.

35. Поверхностные магнитостатические волны в обменно-связанных ферритовых плёнках / С.Л. Высоцкий, Г.Т. Казаков, А.В. Маряхин, Ю.А. Филимонов, А.С. Хе.// ФТТ. - 1996. - Т. 38, № 2. - С. 407- 418.

36. Magnetochiral nonreciprocity of volume spin wave propagation in chiral-lattice ferromagnets / S. Seki, Y. Okamura, K. Kondou, K. Shibata, M. Kubota, R. Takagi, F. Kagawa, M. Kawasaki, G. Tatara, Y. Otani, Y. Tokura. // Phys. Rev.B. - 2016. - Vol.93. - P. 235131, [1- 9].

37. Evidence of the exchange coupling effect in the spin wave spectrum of a structure with two different magnetic layers / Y.A. Filimonov, G.T. Kazakov, S.L. Visotsky, B P. Nam, A.S. He // JMMM.

- 1994. - Vol. 131(1-2). - P. 235-241. - DOI: 10.1016/0304-8853(94)90034-5.

38. Effect of dynamic spin pinning at an interlayer boundary on the propagation of surface spin waves in multilayer ferrrite films / S.L. Vysotskii, G.T. Kazakov, A.V. Maryashkin, Yu.A. Filimonov, A.S. Khe // JETP Letters. - 1995. - Vol. 61. - P. 693-698.

39. Gurevich, A.G. Magnetization oscillations and waves / A.G. Gurevich, G.A. Melkov. - Boca Raton: CRC Press, 1996. - 445 P.

40. Spin wave steering in three-dimensional magnonic networks / E.N. Beginin, A.V. Sadovnikov, A.Yu. Sharaevskaya, A.I. Stognij, S.A. Nikitov // Appl. Phys. Let. - 2018. - Vol. 112. - P. 122404, [1-5].

41. Micro-patterning of NdFeB and SmCo magnet films for integration into micro-electromechanical-system / A. Walther, C. Marcoux, B. Desloges, R. Grechishkin, D. Givord, N.M. Dempsey // JMMM. - 2009. - Vol. 321. - P. 590-594.

42. White, R.L. Patterned media: a viable route to 50 Gbit/in2 and up for magnetic recording? / R.L. White, R.M.H. New, R.F.W. Pease // IEEE Tr. On Magn. - 1997. - Vol. 33, N. 1. - P. 990-995.

43. Multilevel magnetic media in continuous and patterned films with out-of-plane magnetization / V.Baltz, S.Landis, B.Rodmacq, B.Dieny // JMMM. - 2005. - Vol. 290-291. - P. 1286-1289.

44. Weller, D. Thermal effect limits in ultrahigh-density magnetic recording / D. Weller, A. Moser // IEEE Tr. On Magn. - 1999. - Vol. 35, N. 6. - P. 4423-4439.

45. Charap, S.H. Thermal stability of recorded information at high densities / S.H. Charap, P L. Lu, Y. He // IEEE Trans. on magn. - 1997. - Vol. 33, N. 1. - P. 978-983.

46. Briones, J. Local magnetic anisotropy induced by a nano-modulated substrate and application to two-dimensional magnetic sensors / J. Briones, F. Montaigne, D. Lacour // Applied Physics Express.

- 2010. - Vol.3. - P. 073002, [1-3].

47. Introducing artificial length scales to tailor magnetic properties / J. Fassbender, T. Strache, M O. Liedke, D. Marko, S. Wintz, K. Lenz, A. Keller, S. Facsko, I. Mönch, J. McCord // New J. of Phys.

- 2009. - Vol. 11. - P. 125002 [1-19].

48. Volume mangetostatic spin waves in 3D ferromagnetic structures / P.A. Popov, A.Yu. Sharaevskaya, D.V. Kalyabin, A.I. Stognij, E.N. Beginin, A.V. Sadovnikov, S.A. Nikitov // J. Com. Tech. Elect. - 2018. - Vol. 63, N. 12. - P. 1431-1438.

49. Spin wave propagation in three-dimensional magnonic crystals and coupled structures / P.A. Popov, A.Yu. Sharaevskaya, E.N. Beginin, A.V. Sadovnikov, A.I. Stognij, D.V. Kalyabin, S.A. Nikitov // JMMM. - 2019. - Vol. 476. - P. 423-427.

50. Плёнки пермаллоя на профилированных подложках кремния / Ю.В. Хивинцев, Ю.А. Филимонов, Р.И. Кэмлей, З.Я. Целинский // Материалы международной научно-технической конференции «Актуальные проблемы электронного приборостроения, АПЭП-2008», Саратов, 24-25 сентября 2008 г. - Саратов: Изд-во Саратовского государственного технического университета. - С. 142-147. - ISBN: 978-5-7433-1970-1.

51. Spatial control of spin-wave modes in Ni80Fe20 antidote lattices by embedded Co nanodisks / G. Duerr, M. Madami, S. Neusser, S. Tacchi, G. Gubbiotti, G.Carlotti, D.Grundler // Appl. Phys. Let.

- 2011. - Vol. 99. - P. 202502, [1-3]. - DOI: 10.1063/1.3662841.

52. High propagating velocity of spin waves and temperature dependent damping in a CoFeB thin film / H. Yu, R. Huber, T. Schwarze, F. Brandl, T. Rapp, P. Berberich, G. Duerr, D. Grundler // Appl. Phys. Let. - 2012. - Vol. 100. - P. 262412, [1-4]. - DOI: 10.1063/1.4731273.

53. Балинский, М.Г. Квантовое усиление магнитостатических волн в феррит-парамагнитных структурах / М.Г.Балинский, В.В.Данилов, А.Ю.Нечипорук // ЖТФ. -1993. - Т.63, вып.9. - С. 122-130.

54. Данилов, В.В. Экспериментальное исследование эффекта квантового усиления магнитостатических волн в феррит-парамагнитных структурах / В.В. Данилов, А.Ю. Нечипорук // Письма в ЖТФ. - 2002. - Т. 28, вып. 9. - С. 31-35.

55. Schlömann, E. Amplification of magnetostatic surface waves by interaction with drifting charge carriers in crossed electric and magnetic fields / E. Schlömann // J. Appl. Phys. - 1969. - Vol. 40, N 3. - P. 1422-1424.

56. Kazakov, G.T. Interaction of magnetostatic waves with current carriers in stratified structures / G.T. Kazakov, Yu.A. Filimonov // Soviet Physics Journal. - 1989. - Vol. 32, N 1. - P. 1-21.

57. Amplification of surface magnetic waves in transversely magnetized ferrite slabs / M. Bini, P L. Filetti, L. Millanta, N. Rubino // J. Appl. Phys. - 1978. - Vol. 49, N. 1. - P. 3554-3564.

58. Yamada, S. Experimental investigation of magnetostatic surface wave amplification in GaAs-yttrium iron garnet layered structure / S. Yamada, N.S. Chang, Y. Matsuo // J. Appl. Phys. - 1982.

- Vol. 53, N. 8. - P. 5979-5981.

59. Current-Induced control of spin-wave attenuation / S.-M. Seo, K.-J. Lee, H. Yang, T. Ono // Phys. Rev. Lett. - 2009. - Vol. 102, N. 14. - P. 147202, [1-4].

60. Khitun, A. Magnetoelectric spin wave amplifier for spin wave logic circuits / A. Khitun, D.E. Nikonov, K.L. Wang // J. Appl. Phys. - 2009. - Vol. 106. - P. 123909, [1-7].

61. Ding, J. Realization of a mesoscopic reprogrammable magnetic logic based on a nanoscale reconfigurable magnonic crystal / J. Ding, M. Kostylev, A.O. Adeyeye // Appl. Phys. Let. - 2012. -Vol. 100. - P. 073114, [1-5].

62. Kim, S.-K. A gigahertz-range spin-wave filter composed of width-modulated nanostrip magnonic-crystal waveguides / S.K. Kim, K.S. Lee, D.S. Han // Appl. Phys. Let. - 2009. - Vol. 95. -P. 082507, [1-3].

63. Chumak, A.V. Magnonic crystals for data processing / A.V. Chumak, A.A. Serga, B. Hillebrands // J. Phys. D: Appl. Phys. - 2017. - Vol. 50. - P. 244001, [1-20].

64. Egan, W.G. DC detection of ferromagnetic resonance in thin nickel films / W.G. Egan, H.J. Juretschke // J. Appl. Phys. - 1963. - Vol.34. - P. 1477-1484.

65. Adeyeye, A.O.Magnetic properties of lithographically defined lateral Co/Ni80Fe20 wires/ A O. Adeyeye, M.K. Husain, V. Ng // JMMM. - 2002. - Vol. 248. - P. 355-359.

66. Magnetoresistance behavior of bi-component antidote nanostructures / X.M. Liu, J. Ding, N. Singh, M. Kostylev, A O. Adeyeye // EPL - 2013. - Vol. 103, N.6. - P. 67002, [1-6].

67. Measurements of the magnetoresistance effect in Co/Pt multilayers grown on patterned substrates / E. Papaioannou, K. Simeonidis, O. Valassiades, N. Vouroutzis, M. Angelakeris, P. Poulopoulos, I. Kostic, N.K. Flevaris // JMMM. - 2004. - Vol.272-276. - P. e1323-e1325.

68. Donahue, M. J. OOMMF User's Guide, Version 1.0. / M.J. Donahue, D.G. Porter. // NISTIR 6376. - 1999. - National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD.

69. Beta release of OOMMF 1.2 [Электронный ресурс]. - 2019. - Режим доступа: https://math.nist.gov/oommf/software-12.html

70. Khitun, A. Non-volatile magnonic logic circuits engineering / A. Khitun, K.L. Wang // Jour. Appl. Phys. - 2011. - Vol. 110. - P. 034306, [1-11].

71. Transmission of electrical signals by spin-wave interconversion in a magnetic insulator / Y. Kajiwara, K. Harii, S. Takahashi, J. Ohe, K. Uchida, M. Mizuguchi, H. Umezawa, H. Kawai, K. Ando, K. Takanashi, S. Maekawa, E. Saitoh // Nature Letters. - 2010. - Vol. 464, N.11. - P. 262-267.

72. Platinum thickness dependence of the inverse spin-Hall voltage from spin pumping in a hybrid yttrium iron garnet/platinum system / V.Castel, N.Vlietstra, J.B.Youssef, B.J. Van Wees // Appl.Phys. Let. - 2012. - Vol. 101. - P. 132414, [1-4].

73. Excitation of short-wavelength spin waves in magnonic waveguides / V.E. Demidov, M P. Kostylev, K. Rott, J. Munchenberger, G. Reiss, S O. Demokritov // Appl. Phys. Lett. - 2011. -Vol. 99. - P. 082507, [1-3]. - DOI: 10.1063/1.3631756.

74. Eshbach, J. R. Spin-wave propagation and the magnetoelastic interation in yttrium iron garnet / J R. Eshbach // J. Appl. Phys. - 1963. - Vol. 34. - P. 1298-1304.

75. Зильберман, П.Е. Короткие спиновые волны обменной природы в ферритовых слоях: возбуждение, распространение и перспективы применений / П.Е. Зильберман, А.Г. Темирязев, М.П. Тихомирова // УФН. - 1995. - Т. 165. - С. 1219-1223.

76. The phase accumulation and antenna near field of microscopic propagating spin wave devices / C.S. Chang, M. Kostylev, E. Ivanov, J. Ding, A O. Adeyeye // Appl. Phys. Lett. - 2014. - Vol.104. -P. 032408, [1-4]. - DOI: 10.1063/1.4863078

77. Hongxu, W. The growth of LPE YIG films with narrow FMR linewidth / W. Hongxu, W. Wenshu // IEEE Trans. On Magn. - 1984. - Vol. MAG-20, N.5. - P.1222-1223.

78. Shone, M. The technology of YIG film growth / M. Shone // Circuits Systems signal process. - 1985. - Vol. 4, N. 1-2. - P. 89-103.

79. Bonding mechanism of a yttrium iron garnet film on Si without the use of an intermediate layer / K. Pantzas, G.Patriarche, A. Talneau, J.B.Youssef // Appl. Phys. Let. - 2014. - Vol. 105. - P. 141601, [1-4]. - DOI: 10.1063/1.4896978.

80. Integration of bulk-quality thin film magneto-optical cerium-doped yttrium iron garnet on silicon nitride photonic substrates / M.C. Onbasli, T. Goto, X. Sun, N. Huynh, C.A. Ross // Opt. Express.

- 2014. - Vol. 22, N. 21. - P. 25183-25192.

81. Effect of CeO2 buffer layer on the microstructure and magnetic properties of yttrium iron garnet film on Si substrate / Q.H. Yang, H.W. Zhang, Q.Y. Wen, Y.L. Liu, J. Xiao // J. Appl. Phys. -2009. - Vol. 105. - P. 07A507, [1-3]. - DOI: 10.1063/1.3056404.

82. Preparation of two-dimensional yttrium iron garnet magnonic crystal on porous silicon substrate / H. Zheng, J.J. Zhou, J.X. Deng, P. Zheng, L. Zheng, M.G. Han, Y.Q. Yang, L.J. Deng, H.B. Qin // Mat. Let. - 2014. - Vol. 123. - P. 181-183.

83. Sposito, A. Selective growth of yttrium iron garnet and yttrium ferrite by combinatorial pulsed-laser ablation of common precursors / A. Sposito, S.A. Gregory, R.W. Eason // J. Mater. Sci. -2014. - Vol. 49. - P. 5462-5467.

84. Measurement of intristic damping constant in individual nanodisks of Y3Fe5O12 and Y3Fe5O12|Pt / C. Hahn, V.V. Naletov, G. de Loubens, O. Klein, O. Dallivy Kelly, A. Anane, R. Bernard, E. Jacquet, P. Bortolotti, V. Cros, J.L. Prieto, M. Munos // Appl. Phys. Let. - 2014. - Vol. 104. - P. 152410, [1-4].

85. Ferromagnetic resonance of sputtered yttrium iron garnet nanometer films / T. Liu, H. Chang, V. Vlaminck, Y. Sun, M. Kabatek, A. Hoffmann, L. Deng, M. Wu // J. Appl. Phys. - 2014. - Vol. 115.

- P. 17A501, [1-3].

86. Magneto-optical properties of yttrium iron garnet (YIG) thin films elaborated by radio frequency sputtering / T. Boudiar, B. Payet-Gervey, M.-F.Blanc-Mignon, J.J. Rousseau, M. Le Berre, H. Joisten // JMMM. - 2004. - Vol. 284. - P.77-85.

87. Ion beam sputter-fabrication of Bi-YIG films for magnetic photonic applications / A.K. Bandyopadhyay, S.E. Rios, S. Fritz, J. Garcia, J. Contreras, C.J. Gutierrez // IEEE Trans. on Magn.

- 2004. - Vol. 40, N. 4. - P. 2805-2807.

88. Preparation of yttrium iron garnet thin films by mist chemical vapor deposition method and their magneto-optical properties / S. Yao, T. Sato, K. Kaneko, S. Murai, K. Fujita, K. Tanaka // Jap. J. Appl. Phys. - 2014. - Vol. 53. - P. 05FB17, [1-5].

89. Characterization of bismuth-doped yttrium iron garnet layers prepared by sol-gel process / J.-L. Rehspringer, J. Bursik, D.Niznansky, A.Klarikova // JMMM. - 2000. - Vol. 211. - P. 291-295.

90. Highly crystalline Y3Fe5O12 thin films by citric spray pyrolysis / R. Todorovska, St. Groudeva-Zotova, D.Todorovsky, G.Tzvetkov, P.Stefanov // J. Mat. Synth. Proc.-2002.-Vol.10, N.5. - P. 283-288.

91. Single-step deposition of cerium-substituted yttrium iron garnet for monolithic on-chip optical isolation / X.Y. Sun, Q. Du, T. Goto, M.C. Onbasli, D.H. Kim, N.M. Aimon, J. Hu, C.A. Ross // ACS Photonics. - 2015. - Vol. 2. - P. 856-863.

92. Stancil, D.D. Spin waves. Theory and application / D.D. Stancil, A. Prabhakar. - New York, USA: Springer Science ; Business Media, 2009. - 355 P.

93. Мелков, Г.А. Влияние параметрических возбужденных спиновых волн на процессы релаксации в ферритах / Г.А. Мелков // Физика твердого тела. - 1975. - Т. 17, вып. 6. - С. 1728-1733.

94. Kazakov, G.T. The effect of parametrically excited spin waves on the dispersion and damping of magnetostatic surface waves in ferrite films / G.T. Kazakov, A.Vol. Kozhevnikov, Y.A. Filimonov // J. Exper. Theor. Phys. - 1999. - Vol. 88, N.1. - P. 174-181.

95. Kazakov, G.T. Four-magnon decay of magnetostatic surface waves in yttrium iron garnet films / G.T.Kazakov, A.V.Kozhevnikov, Y.A.Filimonov // Phys. Solid State. -1997.-Vol.39, N.2. - P. 288-295.

96. Лакс, Б. Сверхвысокочастотные ферриты и ферримагнетики: пер. с англ. / Б. Лакс, К. Баттон. - М.: Мир, 1965. - 676 С.

97. Nonlinear ferromagnetic resonance in Permalloy films: A nonmonotonic power-dependent frequency shift / Y. Khivintsev, B. Kuanr, T.J. Fal, M. Haftel, RE. Camley, Z. Celinski, D.L. Mills // Phys. Rev. B. - 2010. - Vol.81. - P. 054436, [1-6].

98. Макаров, П. А. Влияние диссипации на свойства поверхностных магнитостатических волн в касательно намагниченной пластине феррита / П.А. Макаров, В.Г. Шавров, В.И. Щеглов // Радиоэлектроника. - 2014. - №7. - С. 1-31.

99. Awai, I. Interaction of Magnetostatic surface waves with drifting carriers / I. Awai, K. Ohtsuki, J. Ikenoue // Jap. J. Appl. Phys. - 1976. - Vol.15, N.7. - P. 1297-1304.

100. Masuda, M. Magnetostatic surface waves in ferrite slab adjacent to semiconductor / M. Masuda, N.Chang, Y.Matsuo // IEEE Trans. on Microwave Theory and Techniques.-1974.-Vol.22, N.2. - P.132-135.

101. Стрейнтроника - новое направление микро- и наноэлектроники и науки о материалах / А.А. Бухараев, А.К. Звездин, А.П. Пятаков, Ю.К. Фетисов // УФН. - 2018. - Т. 188. - С. 1288-1330.

102. Roy, K. Hybrid spintronics and straintronics: A magnetic technology for ultra low energy computing and signal processing / K. Roy, S. Bandyopadhyay, J. Atulasimha // Appl. Phys. Let. - 2011. - Vol. 99. - P. 063108, [1-3].

103. Magnetoelectric write and read operations in a stress-mediated multiferroic memory cell / A. Klimov, N. Tiercelin, Y. Dusch, S. Ciordano, T. Mathurin, P. Pernod, V. Preobrazhensky, A. Chubanov, S. Nikitov // Appl. Phys. Let. - 2017. - Vol. 110. - P. 222401, [1-4].

104. Towards a strong spin-orbit coupling magnetoelectric transistor / P.A. Dowben, C. Binek, K. Zhang, L. Wang, W.-N. Mei, J.P. Bird, U. Singisetti, X. Hong, K.L. Wang, D. Nikonov // IEEE J. Exploratory Solid-State Computational Devices and Circuits. - 2017. - Vol. 4, N. 1. - P. 1-9.

105. Magnetoelectric spin wave modulator based on synthetic multiferroic structure / M. Balinskiy, A C. Chavez, A. Barra, H. Chiang, G.P.Carman, A. Khitun // Sci. Rep. - 2018. - Vol.8. - P. 10867, [1-10].

106. Excitation of propagating spin waves in ferromagnetic nanowires by microwave voltage-controlled mangetic anisotropy / R. Verba, M. Carpentieri, G. Finocchio, V. Tiberkevich, A. Slavin // Sci. Rep. - 2016. - Vol.6. - P. 25018, [1-10].

107. Detection of pico-Tesla magnetic fields using magneto-electric sensors at room temperature / J. Zhai, Z. Xing, S. Dong, J. Li, D. Viehland // Appl. Phys. Let. - 2006. - Vol. 88. - P. 062510, [1-3].

108. Karim, R. Laser ablation deposition of YIG films on semiconductor and amorphous substrates / R. Karim, S.A. Oliver, C. Vittoria // IEEE Trans. Magn. - 1995. - Vol. 31, N.6. - P. 3485-3487.

109. Hillebrands, B. Spin-wave calculations for multilayered structures / B. Hillebrands // Phys. Rev. B. - 1990. - Vol. 41. - P. 530-540. - DOI: 10.1103/PhysRevB.41.530.

110. Hurben, M.J. Theory of two magnon scattering microwave relaxation and ferromagnetic resonance linewidth in magnetic thin films / M.J. Hurben, C.E. Patton // J. Appl. Phys. - 1998. - Vol. 83, N. 8. - P. 4344-4365.

111. Landeros, P. Two magnon scattering in ultrathin ferromagnets: The case where the magnetization is out of plane / P. Landeros, R.E. Arias, D.L. Mills // Physical review B. - 2008. -Vol.77. - P. 214405, [1-13].

112. Damon, R.W. Magnetostatic modes of ferromagnet slab / R.W. Damon, J.R. Eshbach // J. Phys. Chem. Solids. - 1961. - Vol. 19, N 3/4. - P. 308-320.

113. Microwave excitation of spin wave beams in thin ferromagnetic films / P. Gruszecki, M. Kasprzak, A.E. Serebryannikov, M.Krawczyk, W.Smigaj // Sci. Rep. - 2016. - Vol. 6. - P. 22367, [1-8].

114. Schilz, W. Spin-wave propagation in epitaxial YIG films / W. Schilz // Philips Res. Reports. - 1973. - Vol. 28. -P. 50-65.

115. Excitation of microwave modes by a stripe antenna / V.E. Demidov, M.P. Kostylev, K. Rott, P. Krzysteczko, G. Reiss, S.O. Demokritov // Appl. Phys. Lett. - 2009. - Vol. 95. - P. 112509, [1-3].

116. Hoffmann, F. Dynamic pinning induced by nickel layers on Permalloy films / F. Hoffmann // Physica Status Solidi (b). - 1970. - Vol. 41, N. 2. - P. 807-813. - DOI: 10.1002/pssb.19700410237

117. Влияние закрепления поверхностных спинов на спектр спин-волнового резонанса структуры с двумя обменно-связанными плёнками / С.Л. Высоцкий, Г.Т. Казаков, М.Л. Кац, Ю.А. Филимонов // ФТТ. - 1993. - Т. 35, № 5. - С. 1190-1199.

118. Гигантские осцилляции прохождения квазиповерхностной спиновой волны через тонкую пленку железо-иттриевого граната (ЖИГ) / Ю.В. Гуляев, А.С. Бугаев, П.Е. Зильберман, И.А. Игнатьев, А.Г. Коновалов, А.В. Луговской, А.М. Медников, Б.П. Нам, Е.И. Николаев // Письма в ЖЭТФ. - 1979. - Т. 30, вып. 9. - С. 600-603.

119. Chikazumi, S. Physics of Ferromagnetism /S. Chikazumi. - Second edition. - Oxford [etc.] : Oxford University Press, 1997. - 655 P (See page 128).

120. Critical Exponent ß for the Magnetization of YIG / E.E. Anderson, H.J. Muhson, S. Arajs,

A.A. Stelmach, B.L. Tehan // J. Appl. Phys. - 1970. - Vol. 41, N. 3. - P. 1274-1276.

121. The measurement of magnetostriction constants of thin films using planar microwave devices and ferromagnetic resonance / S.E. Bushnell, W.B. Nowak, S.A. Oliver, C. Vittoria // Review of Scientific Instruments. - 1992. - Vol. 63. - P. 2021-2025.

122. Smith, A.B. Magnetostriction constants from ferromagnetic resonance / A.B. Smith, R.V. Jones // J. Appl. Phys. - 1963. - Vol. 34, N. 4 (part 2). - P. 1283-1284.

123. Щеглов, В.И. Ферромагнитный резонанс в упруго деформированных плёнках ЖИГ /

B.И. Щеглов // Микроэлектроника. - 1987. - Т. 16, вып. 4. - С. 374-376.

124. Hoekstra, B. Magnetostriction constants of epitaxial La, Ga: YIG films measured by microwave resonance / B. Hoekstra, F. van Doveren, J.M. Robertson // Appl. Phys. - 1977. - Vol. 12. -P. 261-263.

125. Магнитостатические волны в слабо анизотропных Ga, Sc-замещённых плёнках железоиттриевого граната / С.Л. Высоцкий, Г.Т. Казаков, А.В. Маряхин, Б.П. Нам, А.Г. Сухарев, Ю.А. Филимонов, А С. Хе // РЭ. - 1992. - Т. 37, №6. - С. 1086-1095.

126. Thin film's magnetostriction investigated by strain modulated ferromagnetic resonance at low temperature / K. Nesteruk, R. Zuberek, S. Piechota, M.W. Gutowski, H. Szymczak // Meas. Sci. Technol. - 2014. - Vol. 25. - P. 075502, [1-5].

127. Луговской, A.B. Спектр обменных и безобменных спин- волновых возбуждений впленках ферритов-гранатов / А.В.Луговской, В.В. Щеглов // РЭ. - 1982. - T.27, № 3. - C. 518-524.

128. Саланский, Н.М. Физические свойства и применение тонких магнитных пленок / Н.М. Саланский, М.Ш. Ерухимов. - Новосибирск: Наука, 1973. - 222 с.

129. Тимошенко, С.П. Теория упругости / С.П. Тимошенко, Дж. Н. Гудьер; под ред. Г.С. Шапиро. - М.: Наука, 1975. - 576 с.

130. Boyd, E.J. Measurement of the anisotropy of Young's modulus in single-crystal silicon / E.J. Boyd // J. Microelectromechanical Systems. - 2012. - Vol. 21, N 1. - P. 243-249.

131. Крупичка, С. Физика ферритов и родственных им магнитных окислов: в 2 т. / С. Крупичка. - М.: Мир, 1976. - 2 т. - 504 с.

132. Ландау, Л.Д. Теоретическая физика: учеб. пособ. В 10 т. Т. VII. Теория упругости / Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. - 5-е изд., стереот. - М.: ФИЗМАТЛИТ, 2003. - 7 т. - 264 с.

133. Nedkov, I. Magnetoelastic and total anisotropy effects on the domain-wall dynamics in the polycrystalline state / I. Nedkov, M. Gyuot, V. Cagan // JMMM. - 1996. - Vol. 159, N 3. - P. 331-336.

134. Gibbons, D.F. Acoustical loss and Young's modulus of yttrium iron garnet / D.F. Gibbons, V.G. Chirba // Phys. Rev. - 1958. - Vol. 110. - P. 770-771.

135. Chou, H.M. Characterization of some mechanical properties of polycrystalline yttrium iron garnet (YIG) by non-destructive methods / H.M. Chou, E D. Case // J. Mat. Sci. Let. - 1988. - Vol. 7, N 11. - P. 1217-1220.

136. Elastic properties of ultrathin permalloy/alumina multilayer films using picosecond ultrasonics and Brillouin light scattering / C. Rossignol, B. Perrin, B. Bonelo, P. Djemia, P. Moch, H. Hurdequint // Phys. Rev. B. - 2004. - Vol. 70. - P. 094102 [1-12].

137. Наблюдение быстрых магнитоупругих волн в тонких пластинах и эпитаксиальных пленках железо-иттриевого граната / Ю.В Гуляев, П.Е. Зильберман, Г.Т. Казаков, В.Г. Сысоев, В.В. Тихонов, Ю.А. Филимонов, Б.П. Нам, А С. Хе // Письма в ЖЭТФ. - 1981. - Т. 39, N 9. - С.500-504.

138. Казаков, Г.Т. Резонансное взаимодействие магнитодипольных и упругих волн в пластинах и пленках железо-иттриевого граната / Г.Т. Казаков, В.В. Тихонов, П.Е. Зильберман. // ФТТ. - 1983. - Т. 25, № 8. - С.2307-2312.

139. Эффекты взаимодействия магнитостатических и упругих волн в структурах с касательно намагниченной пленкой железо-иттриевого граната субмикронной толщины / А.С. Андреев, П.Е. Зильберман, В.Б. Кравченко, Ю.Ф. Огрин, А.Г. Темирязев, Л.М. Филимонова // Письма в ЖТФ. - 1984. - Т.10, вып. 2. - С. 90-94.

140. Быстрые магнитоупругие волны в нормально намагниченной пластине феррита / А.С. Бугаев, Ю.В. Гуляев, П.Е. Зильберман, Ю.А. Филимонов // ФТТ. - 1981. - Т. 23, №4. - С. 2647-2655.

141. Kim, K.Y. On the determination of sound speeds in cubic crystals and isotropic media using a broadband ultrasonic point-source/point-receiver method / K.Y.Kim, W.Sache, A.G.Every // J. Acoust. Soc. Am. - 1993. - Vol.93, N.3. - P. 1393-1406.

142. Takeuchi, T. Origin of effective anisotropy field change induced by ion implantation in magnetic garnet films / T. Takeuchi, N. Ohta, Y. Sugita // IEEE Transaction on magnetics. - 1984. -Vol. MAG-20, N. 5. - P. 1108-1110.

143. Magnetization, strain, and anisotropy field of Ne+ and H+ ion-implanted layers in bubble garnet films / Y.Satoh, M.Ohashi, T.Miyashita, K.Kamenou // J. Appl. Phys.-1982.-Vol.53, N.5.-P. 3740-3744.

144. MacNeal, B.E. Modelling strain distributions in ion-implanted magnetic bubble materials / B E. MacNeal, V.S. Speriosu // J. Appl. Phys. - 1981. - Vol. 52, N. 6. - P. 3935-3940.

145. Луцев, Л.В. Влияние ионной имплантации на спин-волновые возбуждения в плёнках ИЖГ / Л.В. Луцев, Ю.М. Яковлев // ФТТ. - 1988. - Т. 30, вып. 6. - С. 1675-1682.

146. Луцев, Л.В. Магнитостатические волны, спин-волновой резонанс и механизм образования неоднородности магнитных параметров в гранатовых эпитаксиальных плёнках с изменением состава по толщине / Л.В.Луцев, В.О.Щербакова, Г.Я.Федорова // ФТТ. - 1993. - Т. 35, вып. 8. - С. 2208-2224.

147. Grunberg, P. Magnetostatic spin-wave modes of a ferromagnetic multilayer / P. Grunberg, K. Mika // Phys. Rev. B. - 1983. - Vol. 27, N. 5. - P. 2955-2963.

148. Buris, N.E. Magnetostatic surface-wave propagation in ferrite thin films with arbitrary variations of the magnetization through the film thickness / N.E. Buris, D.D. Stancil // IEEE Transactions on microwave theory and techniques. - 1985. - Vol. MTT-33, N.6. - P. 484-491.

149. Buris, N.E. Magnetostatic volume modes of ferrite thin films with magnetization inhomogeneities through the film thickness / N.E. Buris, D.D. Stancil // IEEE Transactions on microwave theory and techniques. - Vol. MTT-33, N.10. - P. 1089-1096.

150. Луцев, Л.В. Спин-волновые магнитостатические возбуждения в неоднородных по толщине ферромагнитных плёнках / Л.В. Луцев // ЖТФ. - 1991. - Т.61, вып. 3. - С. 80-87.

151. Луцев, Л.В. Дисперсионные зависиомости дипольно-обменных спиновых волн и межмодовые переходы в неодородных ферромагнитных плёнках / Л.В. Луцев // ЖТФ. - 1995. -Т. 65, вып. 2. - С. 41-54.

152. Луцев, Л.В. Автомодуляция спин-волновых возбуждений в плёнках с линейным профилем намагниченности / Л.В. Луцев, И.Л. Березин // ФТТ. - 1988. - Т. 30, вып. 9. - С. 2679-2682.

153. Возбуждение гиперзвука с помощью неоднородной по толщине плёнки железо-иттриевого граната / Ю.В. Гуляев, П.Е. Зильберман, А.Г. Темирязев, М.П. Тихомирова // Письма в ЖТФ. - 1993. - Т.19, вып. 2. - С. 33-37.

154. Magnetoelastic interaction in yttrium iron garnet films with magnetic inhomogeneities through the film thickness / Yu. V. Gulyaev, A.G. Temiryazev, M.P. Tikhomirova, P.E. Zil'berman // J. Appl. Phys. - 1994. - Vol. 75, N. 10. - P. 5619-5621.

155. Zilberman, P.E.Excitation and propagation of exchange spin waves in films of yttrium iron garnet / P.E. Zilberman, A.G. Temiryazev, M.P. Tikhomirova // JETP. - 1995. - Vol. 81, N.1. - P. 151-162.

156. Зильберман, П.Е. Распространение импульсов обменных спиновых волн в плёнках ЖИГ с неоднородными по толщине магнитными параметрами / П.Е. Зильберман, А.Г Темирязев, М П. Тихомирова // Письма в ЖТФ. - 1993. - Т.19, вып. 11. - С. 15-19.

157. Temiryazev, A.G. "Exchange" spin waves in nonuniform yttrium iron garnet films / A.G.Temiryazev, M.P.Tikhomirova, P.E.Zilberman // J. Appl. Phys. - 1994. - Vol.76, N.9. - P. 5586-5588.

158. Зильберман, П.Е. Зависимость фазы от частоты для обменных спиновых волн в плёнках железо-иттриевого граната с неоднородными по толщине магнитными параметрами / П.Е.Зильберман, А.Г.Темирязев, М.П.Тихомирова // Письма в ЖТФ.-1992.-Т.18, вып. 14.-С.79-83.

159. Осцилляции прохождения поверхностных волн Рэлея через пленку Ga,Sc-замещенного железоиттриевого граната / Г.Т. Казаков, И.М. Котелянский, А.В. Маряхин, Ю.А. Филимонов, Ю.В. Хивинцев // РЭ. - 2004. - Т.49, №5. - С. 568-576.

160. Low-relaxation spin waves in laser-molecular-beam epitaxy grown nanosized yttrium iron garnet films / L.V. Lutsev, A.M. Korovin, V.E. Bursian, S.V. Gastev, V.V. Fedorov, S.M. Suturin, N.S. Sokolov // Appl. Phys. Let. - 2016. - Vol.108. - P. 182402, [1-5].

161. Гуревич, А.Г. Магнитный резонанс в ферритах и антиферромагнетиках / А.Г. Гуревич. - М.: Наука, 1973. - 591 с.

162. Nonreciprocity of backward volume spin wave beams excited by the curved focusing transducer / M. Madami, Y. Khivintsev, G. Gubbiotti, G. Dudko, A. Kozhevnikov, V. Sakharov, A. Stal'makhov, Y. Filimonov // J. Appl. Phys. - 2018. - Vol. 113. - P. 152403, [1-5].

163. Фильтрация быстрых магнитоупругих волн в нормально намагниченной пластине феррита / А.С.Бугаев, Ю.В.Гуляев, П.Е.Зильберман, Ю.А.Филимонов // РЭ. - 1982. - Т. 27, № 10.

- C. 1979-1983.

164. Гуляев, Ю.В. Магнитоупругие волны в платинах и пленках ферромагнетиков / Ю.В. Гуляев, П.Е. Зильберман // Изв. вузов. Физика. - 1988. - Т. 31, № 11. - С. 6-23.

165. Ле-Кроу, Р. Магнитоупругие взаимодействия в ферромагнетных диэлектриках / Р. Ле-Кроу, Р. Комсток. // Физическая акустика, под ред. У. Мэзона. - М.: Мир, 1968. - Т. 3. - С. 156-243.

166. Штраус, В. Магнитоупругие свойства иттриевого феррита-граната / В. Штраус // Физическая акустика, под ред. У. Мэзона. - М.: Мир, 1970. - Т.4. - С. 247-316.

167. Ахиезер, А.И. Спиновые волны / А.И. Ахиезер, В.Г. Барьяхтар, С.В. Пелетминский.

- М.: Наука, 1967. - 368 с.

168. Филимонов, Ю.А. Взаимодействие поверхностной магнитостатической и объемных упургих волн в металлизированной структуре ферромагнетик-диэлектрик / Ю.А. Филимонов, Ю.В. Хивинцев// РЭ. - 2002. - Т. 47, №8. - С. 1002-1007.

169. Acoustic spin pumping in magnetoelectric bulk acoustic wave resonator / N.I. Polzikova, S.G. Alekseev, I.L. Pyaakin, I.M. Kotelyanskii, V.A. Luzanov, A.P.Orlov // AIP Advances. - 2016. -Vol.6. - P. 056306, [1-6]. - DOI: 10.1063/1.4943765.

170. Dvornik, M. Magnonics: from fundamentals to applications. Chapter: Micromagnetic Simulations in Magnonics / M. Dvornik, Y. Au, V.V. Kruglyak. - Berlin Heidelberg: Springer-Verlag, 2013. - Vol. 125. - P. 101-115. - DOI:10.1007/978-3-642-30247-3 8.

171. Dormand, J.R. A family of embedded Runge-Kutta formulae / J.R. Dormand, P.J. Prince // J. Comp. Appl. Math. - 1980. - Vol. 6, N. 1. - P. 19-26.

172. Dormand, J.R. A reconsideration of some embedded Runge-Kutta formulae / J.R. Dormand, P.J. Prince // J. Comp. Appl. Math. - 1986. - Vol. 15. - P. 203-211.

173. Дисперсия поверхностных магнитостатических волн в двуслойных ферритовых плёнках / В.И.Зубков, Э.Г.Локк, Б.П.Нам, А.С.Хе, В.И.Щеглов // ЖТФ.-1989.-Т.59, вып.12. - С.115-117.

174. Towards high-frequency negative permeability using magnonic crystals in metamaterial design / M. Mruczkiewicz, M. Krawczyk, R.V. Mikhailovskiy, V.V. Kruglyak // Phys. Rev. B. - 2012. - Vol. 86. - P. 024425, [1-8].

175. Observation of frequency band gaps in a one-dimensional nanostructured magnonic crystal / Z.K. Wang, V.L. Zhang, H S. Lim, S C. Ng, M.H. Kuok, S. Jain, A O. Adeyeye // Appl. Phys. Lett. -2009. - Vol.94. - P. 083112, [1-3].

176. Nanostructured magnonic crystals with size-tunable bandgaps / Z.K. Wang, V.L. Zhang, H.S. Lim, S C. Ng, M.H. Kuok, S. Jain, A O. Adeyeye // ACS nano. - 2010. - Vol. 4, N. 2. - P. 643-648.

177. Magnonic band structure investigation of one-dimensional bi-component magnonic crystal waveguides / F.S. Ma, H S. Lim, V.L. Zhang, S C. Ng, M.H. Kuok // Nanoscale Res. Let. - 2012. -Vol. 7. - P. 498, [1-7].

178. Materials optimization of the magnonic bandgap in two-dimensional bi-component magnonic crystal waveguides / F.S. Ma, H.S. Lim, V.L. Zhang, Z.K. Wang, S.N. Piramanayagam, S C. Ng, M.H. Kuok // Nanoscience and Nanotechnology Letters. - 2012. - Vol. 4. - P. 663-666.

179. Bragg, W.H. The reflection of X-rays by crystals / W.H. Bragg, W.L. Bragg // Proceedings of the Royal Society A. - 1913. - Vol. 88, N. 605. - P. 428-438. - DOI: 10.1098/rspa.1913.0040.

180. Spinwave propagation in lossless cylindrical magnonic waveguides / H. Xi, X.Wang, Y. Zheng, P.J. Ryan // J. Appl. Phys. - 2009. - Vol. 105. - P. 07A502, [1-3].

181. Band gap parameters of one-dimensional bicomponent nanostructured magnonic crystals / C.S. Lin, H.S. Lim, Z.K.Wang, S C. Ng, M.H. Kuok // Appl. Phys. Let. - 2011. - Vol. 98. - P. 022504, [1-3].

182. Experimental investigation of temperature-dependent Gilbert damping in Permalloy thin films / Y.Zhao, Q.Song, S.H.Yang, T.Su, W.Yuan, S.S.P. Parkin, J. Shi, W. Han // Sci. Reports. - 2016. -Vol. 6. - P. 22890, [1-8]. - DOI: 10.1038/srep22890.

183. Krawczyk, M. Plane-wave theory of three-dimensional magnonic crystals / M. Krawczyk, H. Puszkarski // Phys. Rev. B. - 2008. - Vol. 77. - P. 054437, [1-13].

184. Magnetic band structure in two-dimensioanl bi-component magnonic crystals with in-plane magnetization / M. Krawczyk, S. Mamica, M. Mruczkiewicz, J.W. Klos, S. Tacchi, M. Madami, G. Gubbiotti, G. Duerr, D. Grundler // J. Phys. D: Appl. Phys. - 2013. - Vol. 46. - P. 495003, [1-13].

185. Klos, J.W. Bulk and edge modes in two-dimensional magnonic crystal slab / J.W. Klos, M. Krawczyk, M. Sokolovskyy // J. Appl. Phys. - 2011. - Vol. 109. - P. 07D311, [1-3].

186. Zivieri, R. Bandgaps and demagnetizing effects in a Py/Co magnonic crystal / R. Zivieri // IEEE Tran. Magn. - 2014. - Vol. 50, N. 11. - P. 1100304, [1-4].

187. Zivieri, R. Band structure of collective modes and effective properties of binary magnonic crystals / R. Zivieri, P. Malago, L. Giovannini // Photonics and Nanostructures: Fundamentals and Applications. - 2014. - Vol. 12. - P. 398-418.

188. Spin-wave dynamics in permalloy/cobalt magnonic crystals in the presence of a nonmagnetic spacer / P. Malago, L. Giovannini, R. Zivieri, P. Gruszecki, M. Krawczyk // Phys. Rev. B.

- 2015. - Vol. 92. - P. 064416, [1-10].

189. The design and verification of MuMax3 / A. Vansteenkiste, J. Leliaert, M. Dvornik, M. Helsen,

F. Garcia-Sanchez, B. Van Waeyenberge // AIP Advances. - 2014. - Vol. 4. - P. 107133, [1-22].

190. A systematic approach to multiphysics extensions of finite-element-based micromagnetic simulations: Nmag / T. Fischbacher, M. Franchin, G. Bordignon, H. Fangohr // IEEE Trans. Magn. -2007 - Vol. 43, N. 6. - P. 2896-2898.

191. Tabatabaian, M. COMSOL 5 for engineers / Tabatabaian M. - Herndon: Mercury learning & Information. USA, VA, 2015. - 312 p.

192. Forbidden band gaps in the spin-wave spectrum of a two-dimensional bicomponent magnonic crystal / S.Tacchi, G.Duerr, J.W.Klos, M.Madami, S.Neusser, G.Gubbiotti, G.Carlotti, M.Krawczyk, D.Grundler. // Phys.Rev.Let. - 2012. -Vol. 109. - P. 137202, [1-5].

193. Anisotropic propagation and damping of spin waves in a nanopatterned antidot lattice / S. Neusser, G. Duerr, H.G. Bauer, S. Tacchi, M. Madami, G. Woltersdorf, G. Gubioti, C.H. Back, D. Grundler // Phys. Rev. Lett. - 2010. - Vol. 105. - P. 067208, [1-3].

194. Field tunable localization of spin waves in antidot arrays / C.L. Hu, R. Magaraggia, H.Y. Yuan, C.S. Chang, M. Kostylev, D. Tripathy, A.O. Adeyeye, R.L. Stamps // Appl. Phys. Lett. -2011. - Vol. 98. - P. 262508, [1-3].

195. Ferromagnetic and antiferromagnetic spin-wave dispersions in a dipole-exchange coupled bi-component magnonic crystal / V. L. Zhang, H. S. Lim, C.S. Lin, Z.K. Wang, S.C. Ng, M.H. Kuok, S. Jain, A.O. Adeyeye, M.G. Cottam // Appl. Phys. Let. - 2011. - Vol. 99. - P. 143118, [1-3].

196. Analysis of collective spin-wave modes at different points within the hysteresis loop of a one-dimensional magnonic crystal comprising alternative-width nanostripes / S.Tacchi, M.Madami,

G.Gubbiotti, G.Carlotti, S.Goolaup, A.O.Adeyeye, N.Singh, M.P.Kostylev // Phys. Rev. B. - 2010. -Vol. 82. - P. 184408, [1-9].

197. Omnidirectional spin-wave nanograting coupler / H.Yu, G. Duerr, R. Huber, M. Bahr, T. Schwarze, F. Brandl, D.Grundler // Nature communication. - 2013. -Vol. 4. - P. 2702, [1-9].

198. Liu, X.M. Magnetization dynamics and reversal mechanism of Fe filled Ni80Fe20 antidot nanostructures / X.M. Liu, J. Ding, A.O. Adeyeye // Appl. Phys. Let. - 2012. - Vol.100. - P. 242411, [1-5].

199. Adeyeye, A.O. Fabrication and static magnetic properties of novel one- and two-dimensional bi-component magnonic crystals / A.O. Adeyeye, S. Jain, Y. Ren // IEEE Trans. on Magn.

- 2011. - Vol.47, N.6. - P. 1639-1643.

200. Giant Magnetoresistance of (001)Fe/(001)Cr Magnetic Superlattices / M.N. Baibich, J.M. Broto, A. Fert, F. Nguyen Van Dau, F. Petroff, P. Etienne, G. Creuzet, A. Friederich, J. Chazelas // Phys. Rev. Let. - 1988. - Vol. 61, N. 21. - P. 2472-2475. - DOI:10.1103/PhysRevLett.61.2472.

201. Enhanced magnetoresistance in layered magnetic structures with antiferromagnetic interlayer exchange / G. Binasch, P. Grunberg, F. Saurenbach, W. Zinn // Phys. Rev. B. - 1989. -Vol. 39, N 7. - P. 4828-4830. - DOI:10.1103/PhysRevB.39.4828.

202. Julliere, M. Tunneling between ferromagnetic films / M. Julliere // Phys. Lett. A. - 1975. -Vol. 54. - P. 225-226. - DOI:10.1016/0375-9601(75)90174-7.

203. Miyazaki, T. Giant magnetic tunneling effect in Fe/AhO3/Fe junction / T. Miyazaki, N. Tezuka // JMMM. - 1995. - Vol. 139. - P. L231-L234. - DOI:10.1016/0304-8853(95)90001-2.

204. McGuire, T.R. Anisotropic magnetoresistance in ferromagnetic 3d alloys. / T.R. McGuire, R.I. Potter // IEEE Transactions on magnetics. - 1975. - Vol. MAG-11, N.4. - P. 1018- 1038.

205. Electron-magnon scattering and magnetic resistivity in 3d ferromagnets / B. Raquet, M. Viret, E. Sondergard, O. Cespedes, R. Mamy // Phys. Rev. B. - 2002. - Vol. 66. - P. 024433 [1-11].

206. Detection of domain-wall position and magnetization reversal in nanostructures using the magnon contribution to the resistivity / V.D. Nguyen, L. Vila, P. Laczkowski, A. Marty, T. Faivre, J.P. Attane // Phys. Rev. Let. - 2011. - Vol. 107. - P. 136605, [1-4].

207. Лукашевич, М.Г. Введение в магнитоэлектронику: курс лекций для студентов физического факультета / М.Г. Лукашевич. - Минск: Издательский центр БГУ. - 73 с.

208. Hirsch J.E. Spin Hall effect / J.E. Hirsch // Phys. Rev. Let. - 1999. - Vol. 83, N. 9. - P.1834-

1837.

209. Extraordinary Hall effect in magnetic films / A.Gerber, A.Milner, M.Karpovsky, B.Lemke, H.-U.Habermeier, J.Tuaillon-Combes, M.Negrier, O.Boisron, P.Melinon, A.Perez // JMMM.-2002. -Vol. 242-245. - P. 90-97.

210. Conversion of spin current into charge current at room temperature: Inverse spin-Hall effect / E. Saitoh, M. Ueda, H. Miyajima, G. Tatara // Appl. Phys. Let. - 2006. - Vol. 88. - P. 182509 [1-3].

211. Individual domain wall resistance in submicron ferromagnetic structures / R. Danneau, P. Warin, J.P. Attane, I. Petej, C. Beigne, C. Fermon, O. Klein, A. Marty, F. Ott, Y. Samson, M. Viret // Phys. Rev. Let. - 2002. - Vol. 88, N. 15. - P. 157201 [1-4].

212. Berger, L. Influence of spin-orbit interaction on the transport processes in ferromagnetic nickel alloys, in the presence of a degeneracy of the 3d band / L. Berger // Physica. - 1962. - Vol. 30. - P. 11411159.

213. Ferromagnetic domain configuration and electrical resistance of Co zigzag wires / D. Buntix, S. Veldeman, A. Volodin, C. van Haessendonck // JMMM. - 2002. - Vol. 242-245, Part 2. - P. 1257-1260.

214. Domain structure and magnetoresistance in Ni81Fe19 zigzag wires / L. Gao, L. Yuan, L Nicholl, R. Sabirianov, Z.Y. Liu, S. Adenwalla, S.H. Liou // JMMM. - 2004. -Vol. 272-276, suppl.1. - P. E1301-E1303. - DOI: 10.1016/j.jmmm.2003.12.436.

215. Temperature dependence of the magnetoresistance in a zizgzag ultrathin permalloy wire/ J.L. Tsai, S.F. Lee, Y D. Yao, C. Yu // JMMM. - 2002. - Vol. 239, N 2-3. - P. 246-248.

216. Khvalkovskii, A.V. Pozition dependence of domain wall resistance in magnetic nanobridge / A.V. Khvalkovskii, A.K. Zvezdin // JMMM. - 2006. - Vol. 300, N 1. - P. E270-E273.

217. Microscopy and magnetoresistance studies in zigzag and series-circle-in-series permalloy wires / C. Yu, S.F.Lee, Y.D.Yao, Y.RMa, J.L.Tsai, C.R.Chang //Microscopy and microanalysis.- 2002.-Vol.8.-P.1370-1371.

218. Magnon magnetoresistance of NiFe nanowires: Size dependence and domain wall detection / V.D. Nguyen, C. Naylor, L. Vila, A. Marty, P. Laczkowski, C. Beigné, L. Notin, Z. Ishaque, J.P. Attané // Appl. Phys. Let. - 2011. - Vol. 99. - P. 262504, [1-3].

219. Ziese, M. Spin electronics. Lecture notes in physics / Ziese M., Thornton M.J. [Chapter 3. Hickey B.J., Morgan G.J., Howson M.A. Basic electron transport] - Berlin: Springer, 2001. - 493 p.

220. Magnetic and transport properties of Ni/Ti, NiC/Ti and Co/Cu multilayers at high fields/ A. Sdaq, J.M. Broto, H. Rakoto H., J.C. Ousset, B. Raquet // JMMM. - 1993. - Vol. 121. - P. 409-412.

221. Spooner, F.J. Growth, perfection and antiferromagnetic domain structure of epitaxial cobalt oxide/ F.J. Spooner, M.W. Vernon // J. Materials Science. - 1969. - Vol. 4. - P. 734-742.

222. Shull, C.G. Neutron diffraction by paramagnetic and antiferromagnetic substances / C.G. Shull, W.A. Strauser, E.O. Wollan // Phys. Rev. - 1951. - Vol. 83, N. 2. - P. 333-345.

223. Mössbauer studies of Co3O4; bulk material and ultrafine particles / W. Kündig, M. Kobelt, H. Appel, G. Constabaris, R.H. Lindquist // J. Phys. Chem. Solids. - 1969. - Vol. 30. - P. 819-826.

224. Nogués, J. Exchange bias/ J. Nogués, I.K. Schuller // JMMM. - 1999. - Vol. 192. - P. 203-232.

225. Exchange bias effects in ferromagnetic wires/ M.K. Husain, A.O. Adeyeye, C.C. Wang, V. Ng, T.S. Low // JMMM. - 2003. - Vol. 267. - P. 191-196.

226. Liu, X.M. Exchange bias effect in Ni80Fe20/CoO bi-component nanowires/ X.M. Liu, J. Ding, A.O. Adeyeye // EPL. - 2014. - Vol. 108. - P. 17003 (6 pages).

227. Using magnetoresistance to probe reversal asymmetry in exchange biased bilayers/ C. Leighton, M. Song, J. Nogués, M C. Cyrille, I.K. Schuller // J. Appl. Phys. - 2000. - Vol. 88, N. 1. - P. 344-347.

228. Вонсовский, С.В. Магнетизм. Магнитные свойства диа-, пара-, ферро-, антиферро-, и ферримагнетиков / С.В. Вонсовский. - М.: Главная редакция физико-математической литературы изд-ва «Наука», 1971. - 1032 с.

229. Coercivity enhancement above the Neél temperature of an antiferromagnet/ferromagnet bilayer/ C. Leighton, H. Suhl, M.J. Pechan, R. Compton, J. Nogués, I.K. Schuller // J. Appl. Phys. -2002. - Vol. 92, N. 3. - P. 1483-1488.

230. Origin of the asymmetric magnetization reversal behavior in exchange-biased systems: competing anisotropies / J. Camarero, J. Sort, A. Hoffmann, García-Martín, B. Dieny, R. Miranda, J. Nogués // Phys. Rev. Let. - 2005. - Vol. 95. - P. 057204 [1-4].

231. Goolaup, S. Magnetotransport behavior of Co nanowires coupled to Ni80Fe20 films / S. Goolaup, A.O. Adeyeye, N. Singh // J. Appl. Phys. - 2010. - Vol. 107. - P. 023913, [1-5].

232. Müller, J. Room temperature magnetoresistance switching of Permalloy thin films induced by iron nanoparticles/ J.Müller, S. von Molnár, S.Wirth // Appl.Phys.Let. - 2008. - Vol. 92. - P. 093121, [1-3].

233. Гибридизация спин-волновых мод ферромагнитной микрополоски / С.Л. Высоцкий, С.А.Никитов, Ю.А.Филимонов, Ю.В.Хивинцев // Письма в ЖЭТФ.-2008.-Т.88, вып. 7.- С. 534-538.

234. Kittel, C. On the theory of ferromagnetic resonance absorption/ C. Kittel // Phys. Rev. -1948. - Vol. 73, N. 2. - P. 155-161.

235. Kittel, C. On the gyromagnetic ratio and spectroscopic splitting factor of ferromagnetic substances / C. Kittel // Phys. Rev. - 1949. - Vol. 76, N. 6. - P. 743-748.

236. Temperature dependence of EPR/FMR spectra of carbon coated nickel nanoparticles and tempo spin probe dispersed in paraffin / M. Sobon, I.-E. Lipinski, U. Narkiewicz, M. Podsiadly // Current Topics in Biophysics. - 2010. - Vol. 33 (suppl A). - P. 203-207.

237. Standing spin waves in magnonic crystals/ M. Mruczkiewicz, M. Krawczyk, V.K. Sakharov, Y.V. Khivintsev, Y.A. Filimonov, S.A. Nikitov // J. Appl. Phys. - 2013. - Vol. 113. -P. 093908, [1-12].

238. Au, Y. Nanoscale spin wave valve and phase shifter/ Y. Au, M. Dvornik, O. Dmyriiev, V.V. Kruglyak // Appl. Phys. Let. - 2012. - Vol. 100. - P. 172408, [1-4].

239. Resonant microwave-to-spin-wave transducer / Y. Au, E. Ahmad, O. Dmyriiev, M. Dvornik, T. Davison, V.V. Kruglyak // Appl. Phys. Let. - 2012. - Vol. 100. - P. 182404, [1-5].

240. Bailey, G.C. Spin-wave resonance fields, linewidth, and intensities of a permalloy film: theory and experiment / G.C. Bailey, C. Vittoria // Phys. Rev. Let. - 1972. - Vol. 28, N. 2. - P. 100-103.

241. Exchange stiffness in thin film Co alloys / C. Eyrich, W. Huttema, M. Arora, E. Montoya, F. Rashidi,C. Burrowes, B. Kardasz, E. Girt, B. Heinrich,O.N. Mryasov, M. From, O. Karis // J. Appl. Phys. - 2012. - Vol. 111. - P. 07C919, [1-3].

242. Cullity, B.D. Introduction to magnetic materials / B.D. Cullity, C.D. Graham. - Second edition. - USA, Piscataway, NJ : A. John Wiley & Sons Publication ; IEEE Press, 2009. - 544 p. - ISBN 978-0-471-44741-9.

243. Кандаурова, Г.С. Доменная структура магнетиков. Основные вопросы микромагнетики: учеб. пособие / Г.С. Кандаурова, Л.Г. Оноприенко. - Свердловск: УрГУ, 1986. - 136 с.

244. Excitation of propagating spin waves with global uniform microwave fields / Y. Au, T. Davison, E. Ahmad, P S. Keatley, R.J. Hicken, V.V. Kruglyak // Appl. Phys. Let. - 2011. - Vol. 98. - P. 122506, [1-3]. - DOI: 10.1063/1.3571444.

245. Spatial stress distribution and optical properties of GaN films grown on convex shape-patterned sapphire substrate by metalorganic chemical vapor deposition / T.S.Oh, A.H.Park, H.Jeong, H.Kim, T.H.Seo, Y.S.Lee, M.S.Jeong, K.J.Lee, E.K.Suh // J. Alloys and Compounds.-2011.-Vol.509.-P.2952-2956.

246. Fort, E. Dichroic thin films of silver nanoparticle chain arrays on facetted alumina templates / E. Fort, C. Ricolleau, J. Sau-Pueyo // Nano Letters. - 2003. - Vol. 3, N. 1. - P. 65-67.

247. Large area protein nanopatterning for biological applications / H. Agheli, J. Malmstrom, E.M. Larsson, M. Textor, D.S. Sutherland // Nano Letters. - 2006. - Vol. 6, N. 6. - P. 1165-1171.

248. Enhancement of protein adsorption induced by surface roughness / K. Rechendorff, M B. Hovgaard, M. Foss, V P. Zhdanov, F. Besenbacher // Langmuir. - 2006. - Vol. 22. - P. 10885-10888.

249. Dolatshashi-Pirouz, A. Fibronectin adsorption, cell adhesion, and proliferation on nanostructured tantalum surfaces / A.Dolatshashi-Pirouz, T.Jensen, D.C.Kraft // ACS nano.-2010.-Vol.4, N.5. -P.2874-2882.

250. Курносов, А.И. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учебное пособие / А.И. Курносов, В.В. Юдин. - 3-е изд., перераб. и доп. - М.: Высшая школа, 1986. - 386 с.

251. Nanoimprint lithography: an alternative nanofabrication approach / C.M.S.Torres, S.Zankovych, J.Seekamp, A.P.Kam, C.Clavijo-Cedeno, T.Hoffmann, J.Ahopelto, F.Reuther, K.Pfeiffer, G.Bleidiessel, G.Gruetzner, M.V.Maximov, B.Heidari // Materials Science and Engineering C.-2003. -Vol.23. - P. 23-31.

252. Electron beam lithography: resolution limits and applications / C.Vieu, F.Carcenac, A.Pepin, Y.Chen, M.Mejias, A.Lebib, L.Manin-Ferlazzo, L.Couraud, H.Launois // Appl. Surf. Sci.-2000.-Vol.164.-P.111-117.

253. Ion beam lithography and nanofabrication: a review / F. Watt, A.A. Bettiol, J.A. Van Kan, E.J. Teo, M.B.H. Breese // International Journal of Nanoscience. - 2005. - Vol. 4, N. 3. - P. 269-286.

254. Maldonado, J.R. X-ray lithography: Some history, current status and future prospects / J.R. Maldonado, M. Peckerar // Microelectronic Engineering. - 2016. - Vol. 161. - P. 87-93.

255. Hulteen, J.C. Nanosphere lithography: a materials general fabrication process for periodic particle array surfaces / J.C.Hulteen, R.P.Van Duyne // J. Vac. Sci. Technol. A.-1995.- Vol.13, N.3.-P. 1553-1558.

256. Control of nanoparticle film structure for colloidal lithography / P. Hanarp, D.S. Sutherland, J. Gold, B. Kasemo // Colloids and Surfaces A: Physicochem. Eng. Aspects. - 2003. - Vol. 214. - P. 23-36.

257. Chan, W.L. Making waves: kinetic processes controlling surface evolution during low energy ion sputtering / W.L. Chan, E. Chason // J. Appl. Phys. - 2007. - Vol. 101. - P. 121301, [1-46].

258. Flexible, optically transparent, and conductive line-and-space-patterned films prepared by using a simple dewetting process of gold nanoparticle dispersions / T. Nakanishi, Y. Hirai, H. Yabu, M. Shimomura // Appl. Phys. Exp. - 2011. - Vol. 4, N. 11. - P. 117301, [1-3].

259. Atomic scale saw by dislocation slipping: A new method to generate one-dimensional structure / J.P. Peyrade, F. Voillot, M. Goiran, H. Atmani, A. Rocher, E. Bedel // Appl. Phys. Lett. -1992. - Vol. 60, N. 20. - P. 2481-2483.

260. Schlömann, E. Demagnetizing fields in thin magnetic films due to surface roughness / E. Schlömann // J. Appl. Phys. - 1970. - Vol. 41, N. 4. - P. 1617-1622.

261. Seshadri, S.R. Magnetic wave interactions in a periodically corrugated YIG film / S R. Seshadri // IEEE Tran. Micr. Th. Tech. - 1979. - Vol. MTT-27, N. 2. - P. 199-204.

262. Magneto-optical recording on patterned substrates (invented) / S. Gadetsky, J.K. Erwin, M. Mansuripur, T. Suzuki // J. Appl. Phys. - 1999. - Vol. 79, N. 8. - P. 5687-5692.

263. Magnetoresistance study of Co/Cu/NiFe/Cu multilayers prepared on V-groove substrates / T.Ono, Y.Sugita, K.Shigeto, K.Mibu, N.Hosoito, T.Shinjo // Phys. Rev. B.-1997.-Vol.55, N.21.- P. 1445714466.

264. The challlenges of advanced CMOS process from 2D to 3D / H.H. Radamson, Y. Zhang, X. He, H. Cui, J. Li, J. Xiang, J. Liu, S. Gu, G. Wang // Appl. Sci. - 2017. - Vol. 7. - P. 1047, [1-32].

265. A review on opportunities brought by 3D-monolithic integration for CMOS device and digital circuit / F. Andrieu, P. Batude, L. Brunet, C. Fenouiliet-Beranger, D. Lattard, S. Thuries, O. Billoint, R. Fournel, M. Vinet // 2018 International Conference on IC Design & Technology (ICICDT), 4-6 June 2018, Otranto, Italy. IEEE. - P. 141-144.

266. Landis, S. Magnetic properties of Co/Pt multilayers deposited on silicon dot arrays / S. Landis, B. Rodmacq, B. Dieny // Phys. Rev. B. - 2000. - Vol. 62, N. 18. - P. 12271-12281.

267. Magnetic properties of Co/Pt multilayers deposited on patterned Si substrates / S. Landis, B.Rodmacq, B.Dieny, B.Dal'Zotto, S.Tedesco, M.Heitzmann // JMMM.-2001.-Vol.226-230.- P.1708-1710.

268. Two -magnon scattering in permalloy thin films due to rippled substrates / M. Korner, K. Lenz, R.A. Gallardo, M. Fritzsche, A. Mucklich, S. Facsko, J. Lindner, P. Landeros, J. Fassbender// Phys. Rev. B. - 2013. - Vol. 88. - P. 054405, [1-10].

269. Structural relaxation and magnetic anisotropy in Co/Cu(001) films / W. Weber, A. Bischof, R. Allenspach, C.H. Back, J. Fassbender, U. May, B. Schirmer, R.M. Jungblut, G. Güntherodt, B. Hilebrands // Phys. Rev. B. - 1996. - Vol. 54, N. 6. - P. 4075-4079.

270. Anisotropic spin-orbit coupling and magnetocrystalline anisotropy in vicinal Co films / S.S.Dhesi, G.Van der Laan, E.Dudzik, A.B.Shick // Phys. Rev. Let.-2001.-Vol.87, N.6. - P.067201, [1-4].

271. Origins of substrate-topography-induced magnetic anisotropy in sputtered cobalt-alloy films / D.J.Twisselmann, P.G.Chambers, C.A.Ross, G.Khanna, B.M.Clemens // J. Appl. Phys.-2002. -Vol. 92, N. 6. - P. 3223-3230.

272. Li, S.P. Topographic anisotropy in continuous magnetic films with two-dimensional surface nanomodulation / S.P. Li, J.F. Godsell, S. Roy // J. Appl. Phys. - 2010. - Vol. 108. - P. 093915, [1-5].

273. Enhanced anisotropy of permalloy layers sputter deposited on V-grooved substrates and tilted surfaces / W.Oepts, R.Coehoorn, J.C.S.Kools, W.J.M. de Jonge // JMMM.-2000.- Vol.218.-P. 114-120.

274. The influence of patterned substrates on structure and magnetism of Au/Co multilayers / M.Angelakeris, M.Angelakeris, E.Th.Papaioannou, O.Valassiades, N.Vouroutzis, I.Tsiaoussis, Ch.Mueller, P.Fumagalli, I.Kostic, L.Matay, N.K.Flevaris // JMMM. - 2004. - Vol. 272-276. - P. e1317-e1318.

275. Magnetic domain wall trapping by in-plane surface roughness modulation / J.Swerts, K.Temst, M.J.Van Bael, C.Van Haesendonck, Y.Bruynseraede // Appl Phys. Let.-2003.-Vol.82, N.8.-P.1239-1241.

276. Ni80Fe20 film with periodically modulated thickness as a reconfigurable one-dimensional magnonic crystal / G.N. Kakazei, X.M. Liu, J. Ding, A.O. Adeyeye // Appl. Phys. Lett. - 2014. -Vol. 104. - P. 042403, [1-4].

277. Large four-fold magnetic anisotropy in two-dimensional modulated Ni80Fe20 films / G.N. Kakazei, X.M. Liu, J. Ding, V.O. Golub, O.Y. Salyuk, R.V. Verba, S.A. Bunyaev, A.O. Adeyeye // Appl. Phys. Lett. - 2015. - Vol. 107. - P. 232402, [1-4].

278. Sapozhnikov, M.V. Ferromagnetic resonance of 2D array of magnetic nanocaps / M.V. Sapozhnikov, L.I. Budarin, E.S. Demidov // JMMM. - 2018. - Vol. 449. - P. 68-76.

279. Top-down design of magnonic crystals from bottom-up magnetic nanoparticles through protein arrays / M. Okuda, T. Schwarze, J.-C. Eloi, S.E. Ward Jones, P.J. Heard., A. Sarua, E. Ahmad, V.V.Kruglyak, D.Grundler, W.Schwarzacher // Nanotechnology. - 2017. - Vol. 28, N. 15. - P. 155301, [16].

280. Modes interaction in microstrip's FMR spectra / S.L.Vysotsky, S.A.Nikitov, Yu.A.Filimonov, Yu.V.Khivintsev // Abstracts of International Symposium "Spin waves 2007", Saint Peterburg.-2007.- P. 67.

281. Kazakov, G.T. Exchange radiative losses of Damon-Eshbach surface magnetostatic waves in YIG films / G.T.Kazakov, A.G.Sukharev, Y.A.Filimonov // Physics of the Solid State.-1990.-Vol.32.-P.3571.

282. Aharoni, A. Demagnetizing factors for rectangular ferromagnetic prisms / A. Aharoni // J. Appl. Phys. - 1998. - Vol. 83. - P.3432-3434.

283. Ferromagnetic resonance in submicron permalloy stripes / E.V.Skorohodov, R.V.Gorev, R.R.Yakubov, E.S.Demidov, Y.V.Khivintsev, Y.A.Filimonov, V.L.Mironov // JMMM. - 2017. -Vol. 424. - P. 118-121.

284. Schlomann, E. Generation of spin waves in nonuniform magnetic fields. I. Conversion of electromagnetic power into spin-wave power and vice versa / E. Schlomann // J. Appl. Phys. - 1964. -Vol. 35. - P. 159-166.

285. Okamura, Y. Sputter deposition of cerium yttrium iron garnet films on substrates with ion-beam bombarded patterns / Y.Okamura, S.Yamamoto // Jap. J. Appl. Phys. - 1999. - Vol.38(2), N. 6A/B. - P. L636-L638.

286. Modification of Bi:YIG film properties by substrate surface ion pre-treatment / A.N. Shaposhnikov, A.R. Prokopov, A.V. Karavainikov, V.N. Berzhansky, T.M. Mikhailova, V.A. Kotov, D.E. Balabanov, I V. Sharay, O.Y. Salyuk, M. Vasiliev, V.O. Golub // Materials Research Bulletin. -2014. - Vol. 55. - P. 19-25.

287. Wang, X.-Z. Magnetostatic surface and guided modes of lateral-magnetic-superlattice films / X.Z. Wang, D R. Tilley // Phys. Rev. B. - 1994. - Vol. 50. - P. 13472-13479.

288. Marcelli, R. Microwave magnetostatic wave coupled resonators / R. Marcelli, M. Rossi, P. De Gasperis // JMMM. - 1996. - Vol. 157/158. - P. 471-472.

289. Beginin, E.N. Discrete diffraction in network of magnonic crystals / E.N. Beginin, A.Yu. Sharaevskaya // J. Phys.: Conf. Series. - 2018. - Vol. 1124. - P. 071006, [1-5].

290. Марчук, Г.И. Методы вычислительной математики / Г.И.Марчук.- М.: Наука, 1977. -

456 с.

БЛАГОДАРНОСТИ

Автор выражает глубокую благодарность своему научному руководителю Юрию Александровичу Филимонову и заведующему лабораторией СФ-4 «Магнитоэлектроники СВЧ» Юрию Владимировичу Хивинцеву за постановку цели, задач исследования, обучение работе с измерительным и ростовым оборудованием, всестороннюю помощь в проведении экспериментов и расчётов, в обсуждении результатов и постоянном внимании к работе.

Работа не могла быть выполнена без образцов плёнок ЖИГ на кремнии и ГГГ, в связи с чем автор глубоко признателен Александру Ивановичу Стогнию (ГО НИЦ НАН Беларуси по материаловедению) за их изготовление.

Автор глубоко благодарен Юрию Васильевичу Никулину и Александру Сергеевичу Джумалиеву (СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН) за обучение работе с измерительным и ростовым оборудованием, методам вакуумного нанесения магнитных плёнок.

Автор выражает благодарность Александру Владимировичу Кожевникову и Сергею Львовичу Высоцкому (СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН) за изготовление макета и постановку эксперимента по изучению влияния изгибной деформации.

Автор признателен Галине Михайловне Дудко (СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН) за консультации и помощь в проведении микромагнитного моделирования.

Автор также благодарен Евгению Николаевичу Бегинину и Александру Владимировичу Садовникову (СГУ им. Н.Г. Чернышевского) за помощь в расчётах АЧХ ИМСВ в профилированных плёнках ЖИГ.

Автор признателен за тёплую атмосферу в лаборатории «Магнитоэлектроники СВЧ» (СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН), где ему посчастливилось работать в течение многих лет, дружескую конструктивную критику и наставления её коллектива: Ю.В. Хивинцева, С.Л. Высоцкого, А.С. Джумалиева, Г.М. Дудко, Ю.В. Никулина, Е.С. Павлова, М.Е. Селезнёва!