Разработка технологии изготовления и исследование многофункциональных интегрально-оптических элементов (МИОЭ) тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Падерин, Евгений Михайлович

• Падерин, Евгений Михайлович
• кандидат технических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат технических наук Падерин, Евгений Михайлович

Общая характеристика работы

Введение

Список сокращений

Глава 1 Изготовление и свойства протонообменных световодов

1.1. Базовые материалы интегральной оптики

1.2. Оптические свойства сегнетоэлектрических кристаллов LiNb

1.3. Электрооптические свойства

1.4. Фоторефрактивный эффект

1.5. Основные физические свойства сегнетоэлектрических кристаллов 1лЫЬОз

1.5.1. Рост монокристаллов LiNb

1.5.2. Дефектная структура LiNb

1.5.3. Сегнетоэл ектрические свойства

1.5.4. Кристаллическая структура

1.6. Методы формирования волноводов в кристаллах ниобата лития

1.6.1. Аутдиффузные волноводы

1.6.2. Титан-диффузионные волноводы 36 Выводы к главе

Глава 2 Методы формирования и исследования параметров и свойств протонообменных световодных структур 41 2.1.1. Протонообменные световоды в кристаллах ниобата лития 41 2.2. Методы исследования параметров и свойств протонообменных волноводов в кристаллах ниобата лития 45 2.2.1. Волноводно-оптический метод (метод модовой спектроскопии) 45 2.2.1.1. Восстановление профилей показателя преломления в волноводных поверхностных слоях

2.2.1.1.1. Кусочно-линейная аппроксимация профиля показателя преломления

2.2.1.1.2. Аппроксимация обобщенной функции Гаусса

2.2.2. Метод измерения спектров ИК-поглощения, УФ и видимого диапазона

2.2.3. Двукристальная рентгеновская дифрактометрия

2.2.4. Методы измерения основных параметров интегрально-оптического фазового модулятора, изготовленного по технологии протонного обмена. 53 Выводы к главе

Глава 3. Влияние покрытия диоксида кремния на свойства отожженных протонообменных световодов.

3.1. Фазовые процессы в протонообменном слое

3.2. Подготовка образцов и их характеристики

3.3. Экспериментальные результаты

3.4. Механизм процесса 69 Выводы к главе

Глава 4. Разработка технологии изготовления электрооптических модуляторов на кристаллах ниобата лития методом протонного обмена

4.1. Технологический маршрут изготовления интегрально-оптических модуляторов 73 4.1.1 Входной контроль исходных пластин ниобата лития

4.1.2. Шлифовка

4.1.3. Химическая обработка после шлифовки

4.1.4. Полировка пластин

4.1.5. Разработка топологии интегрально-оптических фазовых модуляторов и многофункциональных интегрально-оптических элементов

4.1.6. Нанесение топологии ИОФМ 84 4.1.6.1. Нанесение электродов

4.1.7. Полировка торцев модуляторов

4.2. Изготовление волоконно-оптических соединителей

4.2.1. Изготовление заготовки

4.2.2. Ориентация и вклейка волокна

4.2.3. Полировка волоконно-оптических соединителей

4.3. Стыковка 96 4.3.1. Выбор оборудования и организация рабочего места

4.4. Технология изготовления волноводов

4.5. Температурные испытания электрооптических модуляторов. Полученные результаты.

Выводы к главе 4.

Глава 5 Применение электрооптических модуляторов

5.1. Одноосные волоконно-оптические гироскопы 119 5.1.1 Конфигурация

5.1.2. Оптический блок одноосных ВОГ

5.1.3. Параметры одноосных ВОГ

5.2. Трехосный ВОГ с последовательной работой каналов

5.2.1. Конфигурация

5.2.2. Трехосный ВОГ с последовательной работой каналов

5.3. Разработка интегрально-оптических элементов на основе ОПО волноводов в кристаллах ниобата лития

5.3.1. Электрооптический переключатель

5.3.2. Электрооптический модулятор Маха-Цандера 132 Выводы к главе 5 134 Литература

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка технологии изготовления и исследование многофункциональных интегрально-оптических элементов (МИОЭ)»

Протонный обмен, наряду с диффузией титана из пленок, является базовым методом формирования оптических волноводов в кристаллах ниобата лития. Возможности формирования методами протонного обмена высокопреломляющих световодов в кристаллах ниобата лития, без последующей монодоменизации пластин, привлекли огромное внимание технологов и разработчиков интегрально-оптических схем. Данная технология обладает следующими важнейшими достоинствами и преимуществами перед другими методами: процессы проводятся при низких температурах и атмосферном давлении, низкая стоимость и доступность технологического оборудования, простота технологических операций.

Однако протонообменные световоды характеризуются сложным структурно-фазовым многообразием. Различные фазы впервые были идентифицированы и описаны в работах [68]-[72]. Наибольшее распространение получили а-фазные волноводы, которые обладают наименьшими оптическими потерями и высокими электрооптическими свойствами. Однако, при формировании а-фазных волноводов традиционным методом протонного обмена с последующим отжигом (ОПО метод) в слое первичного протонного замещения из-за протекающих в процессе отжига многочисленных фазовых переходов формируются различные дефекты, вызывающие дополнительное светорассеяние. В связи с этим, актуальным является разработка методов формирования протонообменных волноводов, имеющих улучшенную структуру поверхности, меньшее светорассеяние и более высокий показатель преломления в волноводной области.

Для подготовки промышленного производства изделий интегральной оптики необходимо разработать полный цикл технологического процесса, который бы заключал в себя весь путь создания изделий - от входного контроля исходных материалов, до проверки параметров готовой продукции. На сегодняшний день разработаны отдельные технологические процессы, слабо адаптированные друг с другом и рассчитанные на выпуск опытных образцов, достижение определенных параметров либо измерение каких-либо характеристик образцов.

Целью диссертационной работы является разработка и исследование технологии изготовления протонообменных электрооптических многофункциональных интегрально-оптических элементов для волоконно-оптических гироскопов.

Основные задачи, определяемые целями работы:

• Исследование влияния диэлектрического покрытия БЮг на кинетику процесса постобменного отжига и свойства волноводов.

• Разработка технологического маршрута изготовления электрооптических многофункциональных интегрально-оптических элементов (МИОЭ) на кристаллах ниобата лития.

Научная новизна диссертационной работы:

• Предложен, разработан и исследован процесс формирования отожженных протонообменных волноводов путем нанесения на поверхность ниобата лития диэлектрической пленки Si02.

• Разработаны технологические процессы, входящие в технологический цикл изготовления электрооптических МИОЭ - входной контроль, шлифовка и полировка, химическая обработка, фотолитографические процессы, вакуумное напыление, изготовление волоконно-оптических соединителей, технология стыковки, методики измерений оптических характеристик.

• Разработана топология изготовления многофункционального интегрально-оптического элемента для волоконно-оптического гироскопа, включающая в себя Y-разветвитель, модовый фильтр и два фазовых модулятора.

• Разработаны методы и стенды температурных испытаний МИОЭ.

Практическая ценность результатов работы состоит в следующем: 1. Разработана и внедрена в промышленное производство технология изготовления МИОЭ для волоконно-оптического гироскопа.

Научные положения, выносимые на защиту:

1. Метод улучшения параметров отожженных протонообменных волноводов с применением диэлектрической пленки S1O2.

2. Технологические процессы, входящие в технологический цикл изготовления МИОЭ для волоконно-оптического гироскопа.

Апробация работы Основные положения и результаты диссертационной работы докладывались на следующих конференциях:

- Третья Международной научно-технической конференции "Электроника и Информатика - XXI век", Москва, 22-24 ноября.

- Всероссийской научно-технической конференции "Аэрокосмические техника и высокие технологии - 2001", Пермь, 12-14 апреля 2001 г.

- 9th Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems, 26-28 May 2002,

- IV Международная научно-техническая конференция "Электроника и информатика-2002", Москва, Зеленоград, 19-21 ноября 2002,

- 5th International Workshop on Laser & Fiber-Optical Networks Modelling, Alushta, Ukraine, 2003.

- Simposium and Summer School "Nano and Giga Challenges in Microelectronics

Research and Opportunities in Russia", Moscow, September 10-13, 2002, pp.161162.

- SPIE symposium: Integrated Optical Devices: Fabrication and Testing, Brugge, Belgium, October 2002.

11-я Санкт-Петербургской международная конференция по интегрированным навигационным системам, 24-26 мая 2004.

St.-Petersburg, 16-я научно-техническая конференция «Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления», 24-26 мая 2004,

- Международной научно-техническая конференция. "Датчики и системы", Пенза, 2005

IV Международная конференция «Микротехнологии и новые информационные услуги в авиации и космонавтике», Санкт-Петербург, 06 октября 2005,

13-я Санкт-Петербургской международная конференция по интегрированным навигационным системам, 27-29 мая 2006.

14-я Санкт-Петербургской международная конференция по интегрированным навигационным системам, 28-30 мая 2007.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 22 печатных работы, в том числе: 2 статьи в журнале «Известия ВУЗов, серия Электроника», 1 статья в журнале "Microelectronics Engineering", 2 статьи в журнале «Гироскопия и навигация», 3 статьи в сборнике Proceedings of SPIE, а также в материалах (статьи и тезисы докладов) российских и международных конференций.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, пяти глав, основных результатов и выводов по работе, содержит 142 страницы машинописного текста, включая 9 таблиц, 43 рисунка и список литературы в количестве 96 наименований.

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Падерин, Евгений Михайлович

Выводы к главе 5.

1. Представлены достижения в разработках и изготовлении одноосных и трехосных волоконно-оптических гироскопов с замкнутым контуром обратной связи. 2.

2. Точностные и эксплуатационные характеристики приборов позволяют применять их в инерциальных навигационных системах и системах управления различных объектов, в том числе ракетно-космической техники. Разработанные волоконно-оптические гироскопы уже используются в штатном режиме в системе управления спуском космических кораблей Союз-ТМА. В ближайшее время запланировано применение таких приборов в других космических аппаратах.

3. Продолжение разработок и инженерные усилия сконцентрированы на выработке решений с целью уменьшения их размеров, повышения точности и оптимизации стоимости производства.

4. Изготовлены опытные образцы интегрально-оптических переключателей и амплитудных модуляторов Маха-Цандера, пригодных для разработке на их основе датчиков электрического поля.

135

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Падерин, Евгений Михайлович, 2007 год

1. Marinsky J.А., 1969, 1.n exchange - A series of advances, (Dekker, New York).

2. Ramaswamy R.V., Srivastava R. Recent advances in ion-exchanged optical waveguides and components // J.Mod.Optics, 1988, v.35, N 6, p. 1049-1067.

3. Helfrerich F., Plesset M.S. Ion exchange Kinetics. A Nonlinear Diffusion Problem //J. Chem. Phys, 1958, v. 28, N 3, pp.418-425.

4. Maciak T. Stearic acid as a protonic source for fabrication of LiNb03 waveguides by proton exchange // Optica Applicata. 1990. - Vol. 20. P. 209 - 211.

5. Хаисперджер P. Интегральная оптика. Теория и технология // М.:Мир, 1985, 379 с.

6. Тамир Т. (Под редакцией) Интегральная оптика /- М.:Мир, 1978, 344 с.

7. Yariv A., Yeh Р., 1984, Optical Waves in Crystals (Wiley, New York), p.416.

8. Hunsperger R.G., 1985, Integrated Optics: Theory and Technology, (Springer, Berlin).

9. Shen Y.R., 1984, The Principles of Nonlinear Optics, (Wiley, New York).

10. Lawrence M. Lithium-Niobate Integrated-Optics // Rep.Prog.Phys., 1993, v.56, N 3, p.363-429.

11. Carruthers J.R., Peterson G.E., Grasso M., Bridenbaugh P.M. Nonstoichiometry and crystal growth on lithium niobate // J.Appl.Phys., 1971, v.42, p. 1846.

12. Barns R.L., Carruthers J.R. Liyhium tantalate single crystal stoichiometry // J.Appl.Cryst., 1970, v.3, p.395-399.

13. Warner A.W., Опое M., Coquin G.A. Determination of Elastic and Piezoelectric Constants in Class (3m) // J.Acoust.Soc.Am., 1967, v.42, N 6, p.l223-1231.

14. Smith R.T., Welsh F.S. Temperature dependence of the elastic, piezoelectric, and dielectric constants of lithium niobate and lithium tantalate // J.Appl.Phys., 1971, v.42, N6, p.2219-2231.

15. Grabmaier B.C., Wersing W., Koestler W. Properties of Undoped and MgO-Doped LiNb03 Correlation to the Defect Structure // J.Crystal Growth, 1991, v.l 10, N 3, p.339-347.

16. Атучин B.B. Зависимость показателей преломления LiNb03 от состава кристалла// Оптика и спектроскопия, 1989, т.67, N 6, с. 1309-1312.

17. Di Domenico M., Wemple S. H. Oxygen-octahedra ferroelectrics. I. Theory of electro-optical and nonlinear optical effects // J.Appl.Phys., 1969, v.40, p.720.

18. Schlarb U., Betzler K. Refractive-Indexes of Lithium-Niobate as a Function of Temperature, Wavelength, and Composition A Generalized Fit // Phys.Rev.B, 1993, v.48, N 21,p.l5613-15620.

19. Ashkin A., Boyd G.D., Dzedzik J.M. et al. Optically-induced refractive index inhomogenities in LiNb03 and LiTa03. Appl. Phys. Letters, 1966, vol. 9, N 1, p. 72-74.

20. Chen F.S. Optically induced change of refractive indices in LiNb03 and LiTa03.-J. Appl. Phys., 1969, vol. 40, N 8, p. 3389-3396.

21. Amodei J.J and Staebler D.L., 1971, Appl.Phys.Lett., 18, 540.

22. Becker R.A., 1984, Appl.Phys.Lett., 45, 121.

23. Jackel J.L., Glass A.M., Peterson., Rice C.E., Olson D.H., and Veselka J.J., 1984, J.Appl.Phys., 55,269.

24. Fujiwara Т., Cao X.F., Srivastava R., and Ramasvamy R.V., 1992, Appl.Phys.Lett., 61, 743.

25. Zachariasen W.H. Untersuchungen uber die Kristallstructur von Sesquioxygen und Verbindungen AB03 // Skrifter Der Norske Videnskaps-Akademi Oslo, I.Mat-Naturv.Klasse, 1928, N4.

26. Matthias В. Т., Remeika J.P. Ferroelectricity in the Ilmenire structure // Phys. Rev., 1949, v.76,p.l886.

27. Ballman A. A. Growth of piezoelectric and ferroelectric materials by Czochralski technique// J.Am. Ceram. Soc., 1965, v.48,p.112.

28. Федулов C.A., ШапироЗ.И., Ладыженский П.Б. Выращивание кристаллов LiNb03, LiTa03 и NaNb03 методом Чохральского // Кристаллография, 1965, т.10, с.218.

29. Nassau К., Levinstein H.J., Loiacono G.M. Ferroelectric lithium niobate 1. Growth, domain structure, dislocations and etching// J.Phys.Chem. Solids, 1966a, v.27, N 4, p.983-988.

30. Nassau K., Levinstein H.J., Loiacono G.M. Ferroelectric lithium niobate 2. Preparation of single domain crystals // J.Phys.Chem.Solids, 1966b„ v.27, N 4, p.989-996.

31. Abrahams S.C., Reddy J.M., Bernstein J.L. Ferroelectric lithium niobate 3.Single crystal X-ray diffraction study at 24° СП J.Phys.Chem.Solids, 1966a, v.27, p.997-1012.32.0'Bryan H.M., Gallagher P.K., Brandle C.D. // J.Am.Ceram.Soc., 1985, v.68, p.493.

32. Crystal Technology, Inc., 1992, Data sheet, "Optical crystals, Lithium Niobate, Lithium Tantalate", 1035 East Meadow Circle, Palo Alto, California 94303, United States of America.

33. Rauber A., 1978, Chemistry , physics of lithium niobate, in Current Topics in Material Science, 1, E. Kaldis(ed), North-Holl, 481.

34. Schirmer O.F., Thiemann 0., Wohlecke M. Defects in LiNb03 .1. Experimental Aspects //J.Phys.Chem.Solids, 1991, v.52, N 1, p.l 85-200.

35. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. Ion Exchange in Single Crystals for Integrated Optics and Optoelectronics // Cambridge International Sci. Publ. 1999. - P. 97 -269.

36. Iyi N., Kitamura K., Izumi F., Yamamoto K., Hayashi Т., Asano H., Kimura S. Comparative-Study of Defect Structures in Lithium-Niobate with Different Compositions //J.Solid State Chem., 1992, v.101, N 2, p.340-352.

37. Wilkinson A.P., Cheetham A.K., Jarman R.H. The Defect Structure of Congruently Melting Lithium-Niobate // J.Appl.Phys., 1993, v.74, N 5, p.3080-3083.

38. Zotov N., Boysen H., Frey F., Metzger Т., Born E. Cation Substitution Models of Congruent LiNb03 Investigated by X-Ray and Neutron Powder Diffraction// J.Phys.Chem.Solids, 1994, v.55, N 2, p.145-152.

39. Blumel J., Born E., Metzger Th. Solid-State NMR-Study Supporting the Lithium Vacancy Defect Model in Congruent Lithium-Niobate // J.Phys.Chem.Solids, 1994, v.55, N7, p.589-593.

40. Watanabe Y., Sota Т., Suzuki K., Iyi N., Kitamura K., Kimura S. Defect Structures in LiNb03 // J.Phys.:Condens.Matter, 1995, v.7, N 18, p.3627-3635.

41. Abrahams S.C., Reddy J.M., Bernstein J.L. Ferroelectric lithium niobate 3.Single crystal X-ray diffraction study at 24° C// J.Phys.Chem.Solids, 1966a, v.27, p.997-1012.

42. Abrahams S.C., Buehler E., Hamilton W, C., Laplaca S.J. Ferroelectric lithium tantalate III. Temperature dependence of the structure in the ferroelectric phase and the paraelectric structure at 940° С // J.Phys.Chem. Solids, 1973, v.34, p.521.

43. Yamada Т., Niizeki N., Toyoda H. Curie point and lattice constants of lithium tantalate// Jpn.J.Appl.Phys., 1968,v.7,p.298-299.

44. Кузьминов Ю.С. // Кристаллография, 1995, т.40, с. 1034.

45. Gallagher Р.К., O'Bryan Н.М.// J.Am.Ceram.Soc., 1985, v.68, p. 147.

46. Gallagher P.K., O'Bryan H.M. Detection of a Lithium-Rich Skin on Lithium-Niobate Single-Crystals // J.Am.Ceram.Soc., 1988, v.71, N 8, p.C366-367.

47. Bailey P. // Thesis. Bristol, 1952, Quoted by H.D.Megaw: Acta Crystallogr. 1952, Vol.7, N2, p.187-190.

48. Abrahams S.C., Reddy J.M., Bernstein J.L. Ferroelectric lithium niobate 5. Polycrystal X-ray diffraction study between at 24° and 1000° С // J.Phys.Chem.Solids, 1966c, v.27, p.1019-1026.

49. Birnie D.P. The Spontaneous Polarization As Evidence for Lithium Disordering in LiNb03 // J.Mater.Res., 1990, v.5, N 9, p. 1933-1939.

50. Birnie D.P. Model for the Ferroelectric Transition in Nonstoichiometric Lithium-Niobate and Lithium Tantalate // J.Am.Ceram.Soc., 1991a, v.74, N 5, p.988-993.

51. Birnie D.P. Simple Estimate of the Lithium Disordering Energy in LiNb03 and LiTa03 //J.Mater.Sci.Lett., 1991b, v.10, N 16, p.978-980.

52. Weis R.S., Gaylord Т.К. Lithium niobate: Summary of Physical properties and crystal structure // Appl. Phys. A, 1985, v.37, p.191.

53. Kaminow I.P., Carruthers J.R. Optical waveguiding layers in LiNb03 and LiTa03 // Appl.Phys.Lett., 1973, v.22, p.326.

54. Schmidt R.V., Kaminov I.P. Metal diffused optical waveguides in LiNb03 // Appl.Phys.Lett.,1974, v.25, N8, p.458-460.

55. Segmuller A., Noyan I.C., Speriosu V.S. X-ray diffraction studies of thin films and multilayer structures // Prog.Crystal Growth and Charact. 1989. Vol.18. p.21-66.

56. Wie C.R. High-resolution X-ray diffraction characterization of semiconductor structures// Mater.Sci.Eng.Rep., 1994. Vol.13.p.1-66.

57. White J.M., Heidrich P.F. Optical Waveguide Refractive Index Profiles Determined from Measurement of Mode Indices: a Simple Analysis // Appl.Optics, 1976, v.15, N1, pp.151-155.

58. Дикаев Ю.М., Копылов Ю.А., Котелянский И.М. Простой метод определения профилей диффузионных . волноводов // Квантовая Электроника, 1981, т.8, с.378.

59. Chiang K.S. Construction of refractive index profiles of planar dielectric waveguides from the distribution of effective indices. // J.Lightwave Techn., 1985, v.3, N2, pp.385-391.

60. C.-T.Lee, C.-T.Huang, and J.-Y.Chen, J. Appl Phys., 84, 1204 (1998).

61. Eknoyan, H.F.Taylor, Z.Tang, V.P.Swenson, and J.M.Marx, Appl. Phys. Lett., 60, 407 (1992).

62. K. Saitoh, M. Koshiba, and Y. Tsuji, IEEE J Lightwave Techn., 17,255 (1999 ' 64. Chen Y.-X., Chang W.S.C., Lau S.S., Wielunski L., Holman R.L. Characterization ofLiNb03 waveguides exchanged in T1N03 solution// Appl.Phys.Lett., 1982, v.40, N1, p. 10-12.

63. Jackel J.L., Rice C.E. Variation in waveguides fabricated by immersion in AgN03 and T1N03: the role of hydrogen // Appl.Phys.Lett., 1982, v.41, N 6, p.508-510.

64. Jackel J.L., Rice C.E., Veselka J.J. Proton exchange for high-index waveguides in LiNb03 // Appl.Phys.Lett., 1982, v.41, N 7, p.607-608.

65. Ганыпин B.A., Коркишко Ю.Н., Петрова В.З. Особенности формирования H:LiNb03 световодов // ЖТФ, 1985, т.55, N 11, с.2224-2227.

66. Коркишко Ю.Н., Федоров В.А. Структурно-фазовая диаграмма протонообменных HxLii.xNb03 волноводов в кристаллах ниобата лития // Кристаллография. 1999. - Т. 44. - Вып. 2. - С. 237 - 246.

67. Коркишко Ю.Н., Федоров В.А. Зависимости показателей преломления от концентрации протонов в H:LiNb03 волноводах // ЖТФ. 1999. - Т. 69. -Вып. 3. - С. 47-57.

68. Yu.N.Korkishko and V.A.Fedorov, "Structural phase diagram of HxLii.xNb03 waveguides: the correlation between optical and structural properties", IEEE J. Sel. Topics Quantum Electron., vol.2, pp. 187-196, 1996.

69. Yu.N.Korkishko, V.A.Fedorov, M.P.De Micheli, P.Baldi, K.E1 Hadi, and

70. A.Leycuras, "Relationships between structural and optical properties of proton-exchanged waveguides on Z-cut lithium niobate", Appl. Opt., vol.35, pp.7056-7060,1996.

71. Yu.N.Korkishko, V.A.Fedorov, and S.M.Kostritskii, "Optical and X-ray characterization of HxLii.xNb03 phases generated in proton exchanged LiNb03 optical waveguides", J.Appl.Phys., vol.84, pp.2411-2419, 1998.

72. Yu.N. Korkishko and V.A.Fedorov, "Relationship between refractive indices and hydrogen concentration in proton-exchanged LiNb03 waveguides", J.Appl.Phys., vol.82, pp.1010-1017, 1997.

73. Logozinski V., Safoutine I., Solomatin V. Fiber Optic Gyro with Digitally Corrected Output // Proc. 8th Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems 2001. - P.49-56.

74. Ю.Н. Коркишко, В.А.Федоров, В.Е.Прилуцкий, В.Г.Пономарев, М.А.Фенюк,

75. B.Г. Марчук, С.М.Кострицкнй, Е.М.Падерин, Высокоточный волоконно-оптический гироскоп с линейным цифровым, Гироскопия и навигация, 2004, N1, с.69-82.

76. Suchoski P.G., Findakly Т.К., Leonberger F.J. Stable low-loss proton-exchanged LiNb03 devices with no electro-optic degradation // Opt. Lett. 1988. - Vol. 13. -P. 1050- 1052.

77. Bortz M.L., Eyres L.A., Fejer M.M. Depth profiling of d33 nonlinear coefficient in annealed proton exchanged LiNb03 waveguides // Appl. Phys. Lett. 1993. - Vol. 62.-P. 2012-2014.

78. K.El.Hadi, M.Sundheimer, P.Aschieri et al. Quasi-phase-matched parametric interactions in proton-exchanged lithium niobate waveguides // J. Opt. Soc. Am. B. 1997. - Vol. 14. - P. 3197 - 3203.

79. Коркишко Ю.Н., Федоров B.A., Прилуцкий B.E., Пономарев В.Г., Марчук В.Г., Морев И.В., Падерин Е.М., Кострицкий С.М., .Бранец В.Н., Рыжков

80. B.C. Трехосный волоконно-оптический гироскоп для ракетно-космического применения// Труды 13-й Санкт-Петербургской международной конференции по интегрированным навигационным системам. 2006.- С.211-218

81. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A., Laurell F. Second order optical nonlinearity ofthdifferent phases in proton exchanged LiNb03 waveguides // Proc. 9 Europ. Conf. on Integrated Optics (Torino, Italy, 1999 April 13 April 16) - P. 127 - 130.

82. Yu.N.Korkishko, V.A.Fedorov, F.Laurell The nonlinear optical properties of different phases in proton exchanged lithium niobate waveguides // accepted for publication in IEEE J.Sel.Topics Quantum Electron.

83. V.A. Ganshin and Yu.N. Korkishko, Optics Commun., 86, 523 (1991).

84. Zhao S., Pun E.Y.B., Chung P.S. Annealing effects on proton-exchanged LiNb03 optical waveguides using stearic acid // Microwave Optical Techn. Lett. 1992. -Vol. 5. - P. 490 - 493.

85. Zhao S., Pun E.Y.B. Chung P.S. Effect of annealing on proton-exchanged LiNb03 waveguides fabricated using stearic acid // Chinese J. Lasers. 1996. - Vol. 23. -P. 806-810.

86. A.Loni, G.Hay, R.M.De La Rue, and J.M.Winfield, IEEE J.Lightwave Techn., LT-7,911 (1989).

87. M.L.Bortz, L.A.Eyres, and M.M.Fejer, "Depth profiling of the d33 nonlinear coefficient in annealed proton exchanged LiNb03 waveguides", Appl.Phys.Lett., vol.62, pp.2012-2014,1993.

88. G.R.Paz-Pujalt, D.D.Tuschel, G.Braunstein, T.Blanton, S.Tong Lee, and L.M.Salter, "Characterization of proton-exchange lithium-niobate waveguides", J.Appl.Phys., vol.76, pp.3981-3987, 1994.

89. K.E1 Hadi, M.Sundheimer, P.Aschieri, P.Baldi, M.P.De Micheli, D.B. Ostrowsky, and F.Laurell, "Quasi-phase-matched parametric interactions in proton-exchanged lithium niobate waveguides", J.Opt.Soc.Am.B, vol.14, pp.3197-3203, 1997.

90. Yu.N.Korkishko and V.A.Fedorov, IEEE J. Selected Topics Quant. Electron., 2, 187 (1996).

91. H. Lefevre, "The Fiber-Optic Gyroscope", Artech House, 1993.

92. C.R. Pollock Fundamentals of Optoelectronics // Boston: Irwin Inc. 1990. - P. 96 -97.

93. T.Veng, T.Skettrup, and K.Pedersen, "Second-order optical nonlinearities in dilute melt proton exchange waveguides in Z-cut LiNb03", Appl.Phys.Lett., vol.69, pp.2333-2335,1996.