Разработка технологии формирования и исследование протонообменных световодных структур в конгруэнтных и легированных оксидом магния кристаллах ниобата лития тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Масленников, Евгений Ильич

• Масленников, Евгений Ильич
• кандидат технических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат технических наук Масленников, Евгений Ильич

Общая характеристика работы

Введение

Список сокращений

Глава 1. Состояние и перспективы развития протонообменной технологии формирования интегрально-оптических структур в кристаллах ниобата лития

1.1. Материалы интегральной оптики

1.2. Основные физические свойства сегнетоэлектрических кристаллов LiNb

1.2.1. Дефектная структура LiNb

1.2.2. Сегнетоэлектрические свойства

1.2.3. Кристаллическая структура

1.2.4. Оптические свойства

1.2.4.1. Оптическое пропускание

1.2.4.2. Диэлектрические свойства

1.3. Оптические волноводы

1.4. Основы ионообменной технологии

1.4.1. Ионообменная диффузия

1.4.2. Ионообменные процессы в кристаллах ниобата лития

1.5. Методы формирования волноводов в кристаллах ниобата лития

1.5.1. Аутдиффу зионные волноводы

1.5.2. Титан-диффузионные волноводы

1.5.3. Протонообменные световоды в кристаллах ниобата лития

1.6. Структурно-фазовые диаграммы для Z-, Х- и Y-срезов

1.6.1. Особенности прямого протонного обмена

1.6.2. Влияние отжига

1.7. Реализация источников излучения на канальных волноводах за счет нелинейных преобразований

1.8. Явление оптического повреждения 41 Выводы к главе

Глава 2. Методы исследования параметров и свойств ионообменных слоев

2.1. Волноводно-оптический метод метод модовой спектроскопии)

2.1.1. Восстановление профилей показателя преломления в волноводных поверхностных слоях

2.1.1.1. Кусочно-линейная аппроксимация профили показателя преломления

2.1.1.2. Аппроксимация обобщенной функцией Гаусса

2.2. Метод двухкристальной рентгеновской дифрактометрии

2.3. Методика определения химического состава

2.4. Измерения нелинейно-оптических свойств

2.5. Методики измерений основных параметров многофункционального интегрально-оптического элемента (МИОЭ), изготовленного по технологии протонного обмена

Выводы по 2-ой главе

Глава 3. Структурные и оптические свойства протонообменных световодов в кристаллах ниобата лития легированных оксидом магния

3.1. Формирование и исследование протонообменных световодов в кристаллах Mg0:LiNb

3.1.1. Экспериментальные результаты и их обсуждение

3.2. Генерация второй гармоники в Mg0:HxLiixNb03 волноводах 72 Выводы к 3-ей главе

Глава 4. Разработка технологии изготовления интегрально-оптических элементов на основе канальных световодов в кристаллах ниобата лития конгруэнтного состава, а также в кристаллах, легированных оксидом магния

4.1. Формирование одномодовых на длине волны 0.83 мкм планарных протонообменных волноводов в кристаллах ниобата лития конгруэнтного состава и в Mg0:LiNb

4.2. Разработка и создание многофункционального интегрально-оптического элемента

4.2 Л. Технологический маршрут изготовления МИОЭ

4.2.2. Разработка многофункционального интегрально-оптического элемента на основе канальных протонообменных волноводов в кристаллах ниобата лития конгруэнтного состава

4.2.3. Разработка многофункционального интегрально-оптического элемента на основе канальных протонообменных волноводов в кристаллах ниобата лития легированных 5% оксида магния

4.3. Использование разработанного МИОЭ для разработки волоконно оптического гироскопа

4.3.1. Волоконно-оптический гироскоп, построенный на основе разработанного многофункционального интегрально-оптического элемента

4.4. Разработка интегрально-оптических элементов на основе

ОПО волноводов в кристаллах ниобата лития

4.4.1. Электрооптический переключатель

4.4.2. Электрооптический модулятор Маха - Цандера 103 Выводы по 4-ой главе 104 Заключения и основные выводы 106 Литература

Общая характеристика работы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка технологии формирования и исследование протонообменных световодных структур в конгруэнтных и легированных оксидом магния кристаллах ниобата лития»

Одним из основных материалов современной интегральной оптики, благодаря своим высоким значениям электро-, акусто- и нелинейно-оптических коэффициентов, является сегнетоэлектрический кристалл ниобата лития. Наиболее широкое распространение для создания интегрально-оптических элементов в этих кристаллах получил процесс протонного обмена.

Однако, на сегодняшний день хорошо изучены свойства кристаллов ниобата лития конгруэнтного состава, в то время как усиливается интерес к использованию кристаллов ниобата лития легированных оксидом магния. Это связано, прежде всего с тем, что такие кристаллы обладают существенно более низкой фоторефрактивной чувствительностью и, как следствие, более высоким порогом оптического пробоя. Этот параметр очень важен, при создании интегральнооптических элементов в этих кристаллах использующих излучение высокой мощности, а также коротковолновое излучение. Однако, протонный обмен в * кристаллах ниобата лития легированных оксидом магния практически не изучен.

В связи с выше сказанным, актуальность диссертационной работы, посвященная исследованию процесса протонного обмена в кристаллах ниобата лития легированных оксидом магния, сомнений не вызывает.

Целью диссертационной работы явилось разработка и исследование процесса протонообменного формирования световодов в кристаллах ниобата лития конгруэнтного состава и легированных оксидом магния, а так же реализация на их основе ряда интегрально-оптических устройств, в том числе многофункционального интегрально-оптического элемента для высокоточных волоконно-оптических гироскопов.

Основные задачи, определяемые целями работы:

Разработка и исследование особенностей технологического процесса формирования планарных протонообменных волноводов в кристаллах ниобата лития легированных 5% оксида магния. , - Разработка и оптимизация технологических параметров процесса формирования одномодовых на длине волны 0.83мкм канальных протонообменных волноводов в кристаллах ниобата лития конгруэнтного состава и легированных 5% оксида магния с низкими потерями, высокой эффективностью связи с оптоволокном и электрооптическими свойствами близкими к исходному ниобату лития.

Определение взаимосвязи структурных и оптических свойств в протонообменных слоях ниобата лития легированного оксидом магния и объяснение полученных закономерностей.

Исследование квадратичных нелинейно-оптических свойств протонообменных слоев в кристаллах ниобата лития легированного оксидом магния.

Реализация на основе конгруэнтных и легированных оксидом магния кристаллов ниобата лития ряда интегрально-оптических элементов, таких как: многофункциональный интегрально-оптический элемент, электрооптический модулятор Маха - Цандера, а также электрооптический переключатель 1x2.

Научная новизна диссертационной работы: * - Впервые установлены фундаментальные закономерности взаимосвязи изменения кристаллической структуры и показателя преломления в протонообменных волноводах в легированных оксидом магния кристаллах ниобата лития. Построена структурно-фазовая диаграмма протонообменных слоев ниобата лития легированного оксидом магния, знание которой, позволяет выбирать оптимальные технологические режимы формирования ионообменных структур для создания интегрально-оптических элементов с требуемыми свойствами.

Впервые исследованы квадратичные нелинейно-оптические свойства протонообменных волноводах в легированных оксидом магния кристаллах ниобата лития.

Предложены и разработаны процессы формирования планарных протонообменных волноводных слоев в кристаллах ниобата лития легированных оксидом магния с электро- и нелинейно-оптическими свойствами близкими к номинально чистому ниобату. , - Разработан технологический процесс формирования одномодовых на длине волны 0.83 мкм канальных протонообменных волноводов в кристаллах ниобата лития конгруэнтного состава и легированных оксидом магния с низкими потерями, высокой эффективностью связи с оптическим волокном и электрооптическими свойствами близкими к исходному ниобату лития, что позволило реализовать ряд интегрально-оптических элементов.

Практическая ценность результатов работы состоит в том, что работа выполнялась в рамках проекта по разработке элементной базы волоконно-оптического гироскопа, в частности по созданию многофункционального интегрально-оптического элемента на подложках кристалла ниобата лития различного состава, выполняющего функции Y-разветвителя, поляризатора и фазового модулятора оптического излучения. Наиболее практически важные результаты работы следующие:

Разработана и внедрена в промышленное производство технология изготовления многофункционального интегрально-оптического элемента (МИОЭ) » для волоконно-оптического гироскопа.

Разработаны технология изготовления и реализован ряд интегрально-оптических элементов, таких как электрооптический переключатель каналов и амплитудный модулятор на основе интерферометра Маха-Цандера.

Научные положения, выносимые на защиту:

1. Закономерности и особенности процесса протонного обмена и послеобменного отжига в кристаллах ниобата лития легированного оксидом магния. Сруктурно-фазовая диаграмма протонообменных слоев в кристалла ниобата лития легированных оксидом магния.

2. Нелинейно-оптические свойства протонообменных слоев в кристаллах ниобата лития легированных оксидом магния.

3. Технологический процесс на базе метода отожженного протонного обмена, для получения одномодовых на длине волны 0.83 мкм канальных волноводов в кристаллах ниобата лития различного состава с низкими потерями и высокой эффективностью связи с оптоволокном.

4. Технология изготовления многофункционального интегрально-оптического элемента для волоконно-оптического гироскопа.

Апробация работы. Основные положения и результаты диссертационной работы докладывались на следующих конференциях:

1. Актуальные проблемы современной неорганической химии и материаловедения, Дубна, 1-4 Марта 2001 г.

2. Восьмая всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика-2001", Москва, 18,19 апреля 2001 г.

3. Девятая всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика-2002", Москва, 17,18 апреля 2002 г.

4. SPIE's International Conference "Integrated Optical Devices: Fabrication and Testing", October 2002, Brugge, Belgium.

5. Simposium and Summer School "Nano and Giga Challenges in Microelectronics Research and Opportunities in Russia", Moscow, September 10-13, 2002.

6. 11th European Conference on Integrated Optics, April 2-4, 2003, Prague, Czech Republic.

7. Десятая всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика-2003", Москва, 23,24 апреля 2003 г.

8. 5th International Workshop on Laser & Fiber-Optical Networks Modelling, Alushta, Ukraine, 2003.

9. Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых по фундаментальным наукам «Ломоносов 2004», Москва, 2004 г.

10. Шестнадцатая научно-техническая конференция «Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления», Москва, 2004 г.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 20 печатных работ, в том числе: статьи в журнале «Известия ВУЗов, серия Электроника.», статья в журнале "Microelectronics Engineering", статья в "Journal of Applied Physics", 2 статьи в сборнике Proceedings of SPIE, а также в материалах (статьи и тезисы докладов) российских и международных конференций.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав, основных результатов и выводов по работе, содержит 117 страниц машинописного текста, включая 5 таблиц, 51 рисунк и список литературы в количестве 113 наименований.

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Масленников, Евгений Ильич

Выводы к главе 4:

1. Разработан технологический процесс формирования фазово-однородных планарных световодов в конгруэнтных и легированных оксидом магния кристаллах ниобата лития.

2. Предложен и оптимизирован технологический маршрут создания многофункционального интегрально-оптического элемента, включающий разработку топологии Y-разветвителя, подбор защитных масок и материала электродов, выбор ширины канала, нахождение технологических параметров протонного обмена и послеобменного отжига.

3. Оптимизирована технология, комбинирующей процессы протонного обмена и последующего высокотемпературного отжига, для получения одномодовых на длине волны 0.83мкм канальных волноводов в кристаллах ниобата лития конгруэнтного состава и легированных 5% оксида магния с низкими потерями и высокой эффективностью связи с оптоволокном. Получен, достаточно узкий, диапазон оптимальных времен и температур загонки и отжига, а так же, найдена оптимальная ширина канала для создания МИОЭ с низкими оптическими потерями.

4. На основе полученных результатов удалось создать многофункциональный интегрально-оптический элемент с общими потери деполяризованного света <7 дБ, коэффициентом поляризационной экстинкции 60 дБ, коэффициентом деления 0.5±0.05, при этом фазовая чувствительность каждого модулятора составила 1 рад/В, что позволило разработать волоконно-оптический гироскоп со следующими характеристиками: случайная составляющая нулевого сигнала

3<х) <0.1 град/час, спектральная плотность мощности шума <0.005 град/час1/2, погрешность масштабного коэффициента <0.01 %.

5. Разработана и оптимизирована технология отожженного протонного обмена для создания на подложках ниобата лития таких интегрально-оптических элементов, как электрооптический модулятор Маха - Цандера и электрооптический переключатель 1:2.

Заключение и основные выводы:

1. Предложен комплекс взаимодополняющих методов исследования протонообменных слоев в монокристаллах LiNb03 легированных MgO. Приведено краткое описание основных выбранных методов анализа, используемых в работе для исследования свойств ионообменных слоев в монокристаллах LiNb03:Mg0, а так же для измерения оптических потерь.

2. Проведены систематические исследования оптических свойств различных фаз протонообменных световодах в кристаллах LiNb03 легированных MgO. Впервые построена структурно-фазовая диаграмма для протонообменных световодов полученных на основе Х-среза LiNb03 легированного 5 % MgO.

3. Установлены технологические режимы формирования различных фаз в протонообменных световодах в кристаллах LiNb03:Mg0. Проведены исследования свойств протонообменных волноводов, содержащих различные фазы в кристаллах LiNb03:Mg0. Выработаны практические рекомендации для формирования волноводов с комплексом необходимых свойств.

4. Исследованы квадратичные нелинейно-оптические свойства протонообменных световодов в LiNb03:Mg0.

5. Предложен и оптимизирован технологический маршрут создания многофункционального интегрально-оптического элемента, включающий разработку топологии Y-разветвителя, подбор защитных масок и материала электродов, выбор ширины канала, нахождение технологических параметров протонного обмена и послеобменного отжига.

6. Оптимизирована технология, комбинирующей процессы протонного обмена и последующего высокотемпературного отжига, для получения одномодовых на длине волны 0.83мкм канальных волноводов в кристаллах ниобата лития конгруэнтного состава, а так же в кристаллах легированных оксидом магния, с низкими потерями и высокой эффективностью связи с оптоволокном. Получен, достаточно узкий, диапазон оптимальных времен и температур загонки и отжига, а так же, найдена оптимальная ширина окна маски для создания многофункционального интегрально-оптического элемента с низкими оптическими потерями.

7. На основе полученных результатов удалось создать МИОЭ с общими потери деполяризованного света <7 дБ, коэффициентом поляризационной экстинкции 60 дБ, коэффициентом деления 0.5±0.05, при этом фазовая чувствительность каждого модулятора составила 1 рад/В, что позволило разработать ВОГ со следующими характеристиками: случайная составляющая нулевого сигнала (3<х) <0.1 град/час, спектральная плотность мощности шума <0.005 град/час1/2, погрешность масштабного коэффициента <0.01 %.

8. Оптимизирована технология отожженного протонного обмена для создания на подложках ниобата лития таких интегрально-оптических элементов, как электрооптический модулятор Маха - Цандера и электрооптический переключатель 1:2.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Масленников, Евгений Ильич, 2004 год

1. Тамир (Под редакцией) «Интегральная оптика» / М. Мир, 1978 г., с. 12.

2. Hunsperger R.G., 1985, Integrated Optics: Theory and Technology, (Springer, Berlin).

3. Shen Y.R., 1984, The Principles of Nonlinear Optics, (Wiley, New York).

4. Yariv A., Yeh P., 1984, Optical Waves in Crystals (Wiley, New York), p.416.

5. Helfrerich F., Plesset M.S. Ion exchange Kinetics. A Nonlinear Diffusion Problem // J. Chem. Phys., 1958, v. 28, N 3, pp.418-425.

6. Beattie I.R., Davies D.R. The interdiffusion of 2 charged particles (with particular reference to ion-exchange in zeolites) // Phil.Mag., 1957, v.8, N 17, p.599-606.

7. Helfrerich F., Plesset M.S. Ion exchange Kinetics. A Nonlinear Diffusion Problem //J. Chem. Phys., 1958, v. 28, N 3, pp.418-425.

8. Barrer R.M., Bartholomew R.F., Rees L.V.C. Ion exchange in porous crystals // J. Phys. Chem. Solids, 1963, v, 24, N 2, pp.309-317.

9. Shaw D. Diffusion mechanisms in II-VI materials // J.Crystal Growth, 1988, v.86, N 1/4, p.778-796.

10. Jackel J.L. High An Optical waveguides in LiNb03 : thallium-lithium ion exchange // Appl.Phys.Lett., 1980, v.37, N 8, p. 739-741.

11. Jackel J.L., Rice C.E. Variation in waveguides fabricated by immersion in AgN03 and T1N03 : the role of hydrogen // Appl. Phys.Lett., 1982, v.41, N 6, p.508-510.

12. Ганыпин В.А., Коркишко Ю.Н., Петрова В.З. Метод ионного обмена в технологии получения световодов в кристаллах ниобата лития // Электронная промышленность, 1984, N8, с.28-32.

13. Zachariasen W.H. Untersuchungen uber die Kristallstructur von Sesquioxygen und Verbindungen ABO3 // Skrifter Der Norske Videnskaps-Akademi Oslo, I.Mat-Naturv.Klasse, 1928, N 4.

14. Федулов C.A., Шапиро З.И., Ладыженский П.Б. Выращивание кристаллов LiNb03, LiTa03 и NaNb03 методом Чохральского // Кристаллография, 1965, т. 10, с.218

15. Matthias В. Т., Remeika J.P. Ferroelectricity in the Ilmenire structure // Phys. Rev., 1949, v.76,p.l886.

16. Nassau K., Levinstein H.J., Loiacono G.M. Ferroelectric lithium niobate 2. Preparation of single domain crystals // J.Phys.Chem.Solids, 1966, v.27, N 4, p.989-996.

17. Abrahams S.C., Buehler E., Hamilton W. C., Laplaca S.J. Ferroelectric lithium tantalate III. Temperature dependence of the structure in the ferroelectric phase and the paraelectric structure at 940° С // J.Phys.Chem. Solids, 1973, v.34, p.521.

18. Дикаев Ю.М., Копылов Ю.А., Котелянский И.М. // Квантовая Электрон. 1981. Т. 8. С.378.

19. O'Bryan Н.М., Gallagher Р.К., Brandle C.D. // J.Am.Ceram.Soc., 1985, v.68, p.493.

20. Schirmer O.F., Thiemann O., Wuhlecke M. Defects in LiNb03 .1. Experi mental Aspects // J.Phys.Chem.Solids, 1991, v.52, N 1, p. 185-200.

21. Lerner P., Legras C., Dumas J.P. // J.Crystal Growth, 1968, v.3/4, p.231.

22. Peterson G.E., Carnevale A. // J.Chem.Phys., 1972, v.56, p.4848.

23. Donnerberg H.J., Tomlison S.M., Catlow C.R.A. Defects in LiNb03 .2. Computer-Simulation Source // J.Phys.Chem.Solids, 1991, v.52, N 1, p.201-210.

24. Smyth D.M., 1986, in Proc 6th IEEE Int.Symp.on Applications of Ferroelectrics, Bethlehem, PA, 8-11 June, 115.

25. Mehta A., Navrotsky A, Kumada N., Kinomura N. Structural Transitions in LiNb03 and NaNb03 // J.Solid State Chem., 1993, v.102, N 1, p.213-225.

26. Wemple S.M., Di Domenico M., Camlibel J. // Appl.Phys.Lett., 1968, v. 12, p.209.

27. Lawrence M. Lithium-Niobate Integrated-Optics // Rep.Prog.Phys., 1993, v.56, N 3, p.363-429.

28. Di Domenico M., Wemple S. H. Oxygen-octahedra ferroelectrics. I. Theory of electro-optical and nonlinear optical effects // J.Appl.Phys., 1969, v.40, p.720.

29. Ганыпин B.A., Коркишко Ю.Н., Петрова В.З. Получение планарных световодов на кристаллах ниобата и танталата лития // Обзоры поэлектронной технике. Серия 11. Лазерн.техн. и оптоэлектр., 1986, вып.2 (1174), 56 с.

30. Camlibel I. Spontaneous polarization measurements in several ferroelectric oxides using a pulsed-field method // J.Appl. Phys., 1969, v.40, p. 1640-1693.

31. Suchoski P.G., Findakly Т.К., Leonberger F.J. // Opt.Lett. 1988. Vol.13. P. 1050-1052

32. Kaminow I.P., Carruthers J.R. Optical waveguiding layers in LiNb03 and LiTa03// Appl.Phys.Lett., 1973, v.22,p.326.

33. Carruthers J.R., Kaminov I.P., Stulz L.V. Diffusion kinetics and optical waveguiding properties of outdiffused layers in lithium niobate and lithium tantalate // Appl.Opt., 1974, v.13, p.2333.

34. Войтенко И.Г. Исследование некоторых устройств интегральной оптики на основе ниобата лития // Автореферат канд. дис., Минск, 1982.

35. McCaughan L. Critical materials issues in the performance and manufac turability of LiNb03 integrated optics // Proc.SPIE, 1994, v.CR45, p. 15-43.

36. Burns W.K., Klein P.H., West E.J., Plew L.E. Ti diffusion in Ti:LiNb03 planar abd channel optical waveguides // J.Appl.Phys., 1979, v.50, p.6175.

37. Тамир Т. (Под редакцией) Волноводная оптоэлектроника // М.:Мир, 1991, 575 с.

38. Komatsu K.,Yamazaki S., Kondo M., Ohta Y. Low-Loss Broad-Band LiNb03 Guided-Wave Phase Modulators Using Titanium Magnesium Double Diffusion Method // J.Lightwave Technol., 1987, v.LT5, N 9, p.1239-1245.

39. Shah M.L. Optical waveguides in LiNb03 by ion exchange technique // Appl.Phys.Lett., 1975, v.26, N 11, p.652-653.

40. Chen Y.-X., Chang W.S.C., Lau S.S., Wielunski L., Holman R.L. Characterization of LiNb03 waveguides exchanged in T1N03 solution // Appl.Phys.Lett., 1982, v.40, N1, p.10-12.

41. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. // Ion exchange in single crystals for integrated optics and opt electronics Cambridge International Science Publ, Cambridge - 1999 - P. 106-148

42. Wong Ka-Kha. Integrated optical waveguides and devices fabricated by proton exchange : a review // Proc.SPIE, 1988, v.993, p.13-25.

43. Donaldson A. Candidate Materials and Technologies for Integrated- Optics Fast and Efficient Electrooptic Modulation // J.Phys.D: Appl.Phys., 1991, v.24, N 6, p.785-802.

44. Ganshin V.A., Korkishko Yu.N. Proton exchange in lithium niobate and lithium tantalate single crystals: Regularities and specific features // Phys.status solidi (a). Review article, 1990, v. 119, N 2, p. 11-25.

45. De Micheli M.P., Ostrowsky D.N., Korkishko Yu.N., Bassi P., in Insulating Materials for Optoelectronics (Ed. F. Agullo-Lopez, World Scientific, 1995), Chap. 12.

46. Li M.J., De Micheli M.P., Ostrowsky D.B., Papuchon P. Fabrication et Caracterisation de Guides PE Presentant une Faible Variation D'Indice et une excellente qualite optique // J.Optics, 1987, v.18, N3, p.129-143.

47. Maciak T. LiNb03 optical waveguides obtained by proton exchange in oleic acid//Int.J.Optoelectronics, 1990, v.5, N3, p.227-234.

48. Pun E.Y.B., Tse Y.O., Chung P.S. Proton-Exchanged Optical Wave-Guides in LiNb03 Using Octanoic-Acid // IEEE Photon. Techn.Lett., 1991, v.3, N 6, p.522-523.

49. Ganshin V.A, Korkishko Yu.N., Morozova T.M. Properties of proton exchanged optical waveguides in LiNb03 and LiTa03 // Phys.stat. sol.(a), 1988, v.110, N 1, p.397-402.

50. Loi K.K., Pun E.Y.B., Chung P.S. Proton exchanged optical waveguides in Z-cut LiNb03 using toluic acid // Electr.Lett., 1992, v.28, N6, p.546-548.

51. Pun E.Y., Loi K.K., Zhao S.A., Chung P.S. Experimental Studies of Proton-Exchanged Lithium-Niobate Wave-Guides Using Cinnamic Acid // Appl.Phys.Lett., 1991, v.59, N 6, p.662-664.

52. Коркишко Ю.Н. Ионообменное легирование ниобата лития для получения световодных элементов интегральной оптики // Дис. канд. техн. наук, М.:МИЭТ, 1987,219 с.

53. Ganshin V.A., Korkishko Yu.N. Deformation, stresses and birefringence in proton exchanged lithium niobate waveguides // J. Opt. Commun., 1991, v. 13, N1, p.2-7.

54. Ганыпин В.А., Коркишко Ю.Н., Петрова В.З. Формирование аутдиффу зионных световодов в LiNb03 при низких температурах в расплавах солей // Письма в ЖТФ, 1983, т.9, N 19, с. 1997-1200.

55. Fedorov V.A., Ganshin V.A., Korkishko Yu.N., Morozova T.V. Optical waveguides Me2+:LiTa03 prepared by nonisovalent ion exchange. Ferroelectrics, 1993, v. 138, N1/4, p.23-36.

56. Fedorov V.A., Korkishko Yu.N. Crystal structure and optical properties of nonisovalent ion exchanged Zn:LiTa03 waveguides // Ferroelectrics, 1995, v. 166, p.183-194.

57. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. Ion Exchange in Single Crystals for Integrated Optics and Optoelectronics, Cambridge Int.Sci.Publ., 1996, Cambridge, UK.

58. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. // Ion exchange in single crystals for integrated optics and opt electronics Cambridge International Science Publ, Cambridge - 1999 - P. 106-148

59. Ashley P.R. High index, low loss waveguides in LiNb03 with Ti ion implantation // Topical Meeting on Integrated and Guided-Wave Optics (IGWO'88), Santa Fe, March 28-30, 1988, Tech.Digest Series, v.5, paper MD5-1.

60. Ганыпин B.A., Коркишко Ю.Н., Федоров B.A. // Кристаллография. 1995. T.40.N2. C.341.

61. Коркишко Ю.Н., Федоров B.A. // Письма в ЖТФ. 1995. Т.21. № 18. С.61.

62. Bierlein J.D., Feretti A., Brixner, Hsu W.Y. Fabrication and characterization of optical waveguides in KTi0P04 //Appl.Phys.Lett., 1987, v.50, N 18, p.1216-1218 .

63. Дикаев Ю.М., Копылов Ю.А., Котелянский И.М. // Квантовая Электрон. 1981. Т. 8.С.378.

64. Suchoski P.G., Findakly Т.К., Leonberger F.J. // Opt.Lett. 1988. Vol.13. P. 1050-1052.

65. Ганыпин В.А., Коркишко Ю.Н. // ЖТФ. 1992, Т.62. № 1. С.98.

66. Van der Poel C.J., Bierlein J.D., Brown J.B., Caulk S. Efficient type I blue second-harmonic generation in periodically segmented KTi0P04 waveguides // Appl.Phys.Lett. 1990, v.57, N 20, p.2074-2076 .

67. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. Structural and optical characterization of annealed proton exchanged LiNb03 optical waveguides // Optical Materials, 1996, v.5, p.175-185.

68. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. Integrated Ferroelectrics HxLii.xNb03, HxLii. xTa03 and Znx/2Li1.xTa03 Formed by Ion Exchange Technique: The Crystal Structure and Optical Properties // Ferroelectrics, 1996, v. 183, p.245-254.

69. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. The Structural Phase Diagram of Stressed HxLiixNb03 // Int.Symp. on Application of Ferroelectrics (ISAF'96), 1996, August 18-21, East Brunswick, NJ, USA, P2-23, p.155.

70. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A., Kostritskii S.V., Nosikov V.V. The phase diagram of HxLii.xNb03 optical waveguides // 3-rd European Conference on Applications of Polar Dielectrics (ECAPD^X Bled, Slovenia, August 26-29, 1996, p.177.

71. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A., Nosikov V.V., Kostritskii S.V., De Micheli M.P. // The phase diagram of HxLi.xNb03 optical waveguides // 3-rd Workshop Ferroelectrics for Integrated Optics (FIO III), St. Martin, France, September 3-6, 1996, p.4-5.

72. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A., De Micheli M.P., Baldi P., El Hadi K., Leycuras A. relationships between structural and optical properties of proton-exchanged waveguides on z-cut lithium niobate // Appl.Optics, 1996, v.35,N36.

73. Way J. // J.Roy.Agric.Soc.England, 1850, v.ll, p.313; 1852, v.13, p.123; v.15, p.491.

74. F.Laurell, M.G.Roelofs, and H.Hsiung, "Loss of optical nonlinearity in proton-exchanged LiNb03 waveguides", Appl.Phys.Lett., vol.60, pp.301-303, 1992.

75. M.L.Bortz and M.M.Fejer, "Measurement of the second-order nonlinear susceptibility of proton-exchanged LiNb03", Opt.Lett., vol.17, pp.704-706, 1992.

76. W.-Y.Hsu, C.S.Willand, V.Gopalan, and M.C.Gupta, "Effect of proton exchange on the nonlinear optical properties of LiNb03 and LiTa03", Appl.Phys.Lett., vol.61, pp.2263-2265, 1992.

77. R.W.Keys, A.Loni, and R.M.De La Rue, "Measurement of the increase in the SHG coefficient of proton exchanged LiNb03 after annealing using a grating diffraction technique", Electron.Lett., vol.26, pp.625-627, 1990.

78. M.L.Bortz, L.A.Eyres, and M.M.Fejer, "Depth profiling of the d33 nonlinear coefficient in annealed proton exchanged LiNb03 waveguides", Appl.Phys.Lett., vol.62, pp.2012-2014, 1993.

79. Sugh K., Iwasaki H., Miyazawa S. et al. J. Crystal Growth, 1973,v. 18, p. 159

80. V.Rastogi, P.Baldi, I.Aboud, P.Aschieri, M.P.De Micheli, D.B.Ostrowsky, and J.P.Meyn, " Effect of proton exchange on periodically poled ferroelectric domains in lithium tantalate", Opt. Mater., vol.15, pp.27-32, 2000.

81. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. Ion exchange in single crystals for integrated optics and optoelectronics. Cambridge. - Cambridge International Science Publishing.-1999-P. 516.

82. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A., Kostritskii S.M. Optical and X-ray characterization of HxLi.xNb03 phases generated in proton exchanged LiNb03 optical waveguides // J.Appl.Phys. 1998.-Vol.84. - P. 2411-2419.

83. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. Relationship between refractive indices and hydrogen concentration in proton-exchanged LiNb03 waveguides // J.Appl.Phys. 1997 -Vol.82. - P. 1010-1017.

84. Chen F.S.//J. Appl Phys. 1969. - V.40.- P3389

85. Turner E.H. Appl. Phys. Lett., 1966, v. 8, p. 303

86. Lenze P. V., et al. Appl. Phys. Lett., 1966, v. 8, p. 81

87. Ю. С. Кузьминов «Сегнето-электрические кристаллы для управления лазерным излучением», М., «Наука», Главная редакция физико-математической литературы, 1982, с. 293 - 299, 304 - 318

88. Chen F. S., Le Macchina J. Т., Fraser D. B. Appl. Phys. Lett., 1968, v. 13, p. 233

89. Бьюб P. Фотопроводимость твердых тел. M.: ИЛ, 1962

90. White J.M., Heidrich P.F. Optical Waveguide Refractive Index Profiles Determined from Measurement of Mode Indices: a Simple Analysis // Appl.Optics, 1976, v.15, N1, pp.151-155.

91. Chiang K.S. Construction of refractive index profiles of planar dielectric waveguides from the distribution of effective indices. // J.Lightwave Techn., 1985, v.3, N2, pp.385-391.

92. Shi L. P., Pun E. Y. В., Chung P. S. Extended IWKB method For determination of the refractive-index profile in optical waveguides // Optical letters. 1995. - Vol. 20, N 15. - P. 1622-1624

93. K.S. Chiang, C.L. Wong, H.P. Chan, and Y.T. Chow Refractive-index profiling of graded-index planar waveguides from effective indexes measured for both mode types and at different wavelengths // J. Lightwave Technol. -1996.-vol. 14, pp. 827-832

94. John Nikolopoulos, Gar Lam Yip. Theoretical modeling and characterization of annealed proton-exchanged planar waveguides in z-cut LiNb03 // Journal of Lightwave Technol. 1991. - vol. 9, N 7. - pp. 864-870.

95. Barrer R.M., Rees L.V.C. Self- and exchange diffusion coefficients // J. Phys. Chem. Solids, 1964, v. 25, N 5, pp. 1025-1038.y с

96. Физика соединений А В // Под редакцией А.Н.Георгобиани и М.К. Шейкмана. М.: Наука, 1986, 320 с.

97. Segmuller A., Noyan I.C., Speriosu V.S. X-ray diffraction studies of thin films and multilayer structures // Prog.Crystal Growth and Charact. 1989. Vol.18. p.21-66.

98. H.Ahlfeldt, "Nonlinear optical properties of proton-exchanged waveguides in z-cut LiTa03", J.Appl.Phys., vol.76, pp.3255-3260, 1994.

99. Ashken A., Boyd G.D., Dzidsic J.M. e.a.//Appl. Phys. Lett. 1966. - V.9. -P.72

100. Воронов B.B., Кузьминов Ю.С., Лукина И.Н.//ФТТ 1976 - Т. 18. - С. 1047

101. Chen F.S.//J. Appl Phys. 1969. - V.40.- P3389

102. Serreze H. В., Goldner R. B. Appl. Phys. Lett., 1973, v. 22, p. 626

103. Loni A., Keys R.W., De La Rue R.M. Characterization of waveguides formed by proton-exchange in MgO-doped and Nd:MgO-doped LiNb03: A comparison with congruent material // J.Appl.Phys. 1990. - Vol.67. - N 9. -P. 3964-3967.

104. Hagner G., Bachmann T. Refractive index profiles and Exchange Ratios of proton-exchanged waveguides in congruent and MgO-doped LiNb03 // Phys.stat.sol. (a). 1998. - Vol.165. - P. 205-212.

105. Zhuo Z., Chong T.G., Chow Y.T. Formation and properties of proton-exchanged Z-cut Mg0:LiNb03 crystal waveguides // J.Appl.Phys. 1997. -Vol.36. - P. 139-142.

106. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. Structural phase diagram of HxLiixNb03 waveguides: the correlation between optical and structural properties // IEEE J. Sel. Topics Quantum Electron. 1996 - Vol.2. - P. 187-196.

107. Cabrera J.M., Olivares J., Carrascosa M., Rams J., Muller R., Dieguez E. Hydrogen in LiNb03 //Adv.Phys. 1996. - Vol.45. - P. 349-394.

108. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A., Kostritskii S.M. Optical and X-ray characterization of HxLii.xNb03 phases generated in proton exchanged LiNb03 optical waveguides // J.Appl.Phys. 1998.-Vol.84. - P. 2411-2419.

109. Yu.N .Korkishko, V.A.Fedorov, S.M.Kostritskii, E.I.Maslennikov, M.V.Frolova, A.N.Alkaev C. Sada, N. Argiolas, M. Bazzan. Proton-exchanged waveguides in MgO-doped LiNb03:0ptical and Structural Properties // J.Appl.Phys., 2003, v.94, № 2, pp.l 163-1170.

110. Yu.N.Korkishko, V.A.Fedorov, and F.Laurell, IEEE J. Select. Topics in Quant. Electron, 6 (2000) 132-142.

111. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A., Kostritskii S.V., Nosikov V.V. The phase diagram of HxLiixNb03 optical waveguides // 3-rd European Conference on

112. Applications of Polar Dielectrics (ECAPD'96), Bled, Slovenia, August 26-29, 1996, p.177.i24498, Москва, Зеленоград, строение 5, проезд 4806

113. Тел [phone] Факс[phone]. Эл.почта: [e-mail]

114. Р/с 40702810400010170854 в банке ЗАО " Международный Московский Банк", г. Москва К/с 30101810300000000545, БИК 044525545 ОКПО 56734122 ОКОНХ 95300 ОКДП 7300000

115. ИНН / КПП 7735105059/ 773501001

116. Исх. № 17 от " 20 "октября 2004 г.о внедрении результатов диссертационной работы Е.И.Масленникова "Разработка технологии и исследование протонообменных волноводных структур в конгруэнтных и легированных оксидом магния кристаллах ниобата лития"