Протонообменные световодные структуры в кристаллах ниобата лития различного состава тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Фролова, Марина Викторовна

• Фролова, Марина Викторовна
• кандидат технических наук
• 2006

Оглавление диссертации кандидат технических наук Фролова, Марина Викторовна

Общая характеристика работы

Введение

Список сокращений

Глава 1. Протонообменные световодные структуры в кристаллах ниобата лития различного состава

1.1. Материалы интегральной оптики

1.2. Основные физические свойства сегнетоэлектрических кристаллов 1л№)Оз

1.2.1. Дефектная структура 1лМЮз

1.2.2. Сегнетоэлектрические свойства

1.2.3. Кристаллическая структура

1.2.4. Оптические свойства

1.2.4.1. Оптическое пропускание

1.2.4.2. Диэлектрические свойства

1.3. Основные методы формирования волноводов в кристаллах ниобата лития

1.3.1. Титан-диффузионные волноводы

1.3.2. Протонообменные световоды в кристаллах ниобата лития

1.4. Структурно-фазовые диаграммы протонообменных волноводов для 2-, Х- и У-срезов кристаллов ниобата лития конгруэнтного состава

1.4.1. Особенности прямого протонного обмена

1.4.2. Влияние отжига

1.5. Явление оптического повреждения

1.6. Методы получения

§0:1лМЬ

1.7. Методы получения кристаллов ниобата лития стехиометрического состава

1.7.1. Метод Чохральского с двойным тиглем

1.7.2. Получение кристаллов ниобата лития выращенных из расплава с примесыо КгО

Выводы к главе

Глава 2. Методы исследования параметров и свойств протонообменных световодных структур

2.1. Волноводно-оптический метод метод модовой спектроскопии)

2.1.1. Восстановление профилей показателя преломления в волноводных поверхностных слоях

2.1.1.1. Кусочно-линейная аппроксимация профиля показателя преломления

2.1.1.2. Аппроксимация обобщеной функцией Гаусса

2.2. Метод двукристальной рентгеновской дифрактометрии

2.3. Методика определения химического состава

2.4. Метод измерения спектров ИК-поглощения,

УФ и видимого диапазона

2.5. Измерения нелинейно-оптических свойств

2.6. Методики измерений основных параметров многофункционального интегрально-оптического элемента

Выводы к главе

Глава 3. Структурные и оптические свойства протонообменных световодов в кристаллах ниобата лития стехиометрического состава

Выводы к главе

Глава 4. Структурные и оптические свойства протонообменных световодов в MgO-лeгиpoвaнныx кристаллах ниобата лития

4.1. Формирование и исследование протонообменных световодов в кристаллах MgO:LiNbOз

4.1.1. Экспериментальные результаты и их обсуждение

4.2. Генерация второй гармоники в

§0:Нх1л1.х№>0з волноводах

4.3. Формирование одномодовых на длине волны 1.55 мкм протонообменных волноводов в кристаллах М^О:1лМЮ

4.3.1. Разработка и создание многофункционального интегрально-оптического элемента

4.3.2. Электрооптический модулятор Маха - Цандера

Выводы к главе

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Протонообменные световодные структуры в кристаллах ниобата лития различного состава»

Актуальность работы. Сегнетоэлектрические кристаллы ниобата лития (1ЖЬ03) являются основными материалами современной интегральной оптики и акустоэлектроники. Это обусловлено, прежде всего, высокими значениями электро-, акусто- и нелинейно-оптических коэффициентов, а также отлаженностью технологий их промышленного роста и производства пластин большого диаметра (до 100 мм). В последние годы на этих кристаллах реализован целый класс функциональных и цифровых интегрально-оптических схем (ИОС), таких как переключающие матрицы, анализаторы спектра, СВЧ фазовые и амплитудные модуляторы, а также целый класс датчиков физических величин, прежде всего датчиков перемещения. Использование высоких нелинейно-оптических свойств этих кристаллов позволило реализовать волноводные устройства преобразования частоты, такие как устройства генерации второй гармоники, сложения и вычитания частот, а также параметрические генераторы света для создания излучателей синего и зеленого света, а также перестраиваемых в широком диапазоне волноводных лазеров ИК излучения. Путем локального включения ионов редкоземельных и переходных металлов в кристаллы ниобата лития реализованы волноводные лазеры. Интеграция излучателя и электро-, акусто- и нелинейно-оптических элементов на единой подложке позволяет создавать ИОС по своим функциональных характеристикам превосходящие современные электронные интегральные схемы [1].

Одним из наиболее перспективных методов формирования поверхностных слоев в кристаллах ниобата лития, обладающих оптическими и акустическими волноводными свойствами, является протонный обмен. Важнейшими достоинствами и преимуществами протонообменной технологии являются: проведение процессов при низких температурах и атмосферном давлении; низкая стоимость и доступность технологического оборудования; относительная простота технологических операций; высокая интенсивность процессов и возможность создания высокоэффективных ИОС. До последнего времени под кристаллами ниобата лития понимались кристаллы 1л№>03 конгруэнтного состава. Именно такие кристаллы используются при промышленном производстве интегрально-оптических элементов и схем.

В последние несколько лет появились технологии получения стехиометрических Ь11ЧЬ03 и кристаллов, легированных рядом оксидов, прежде всего М^О. Такие кристаллы характеризуются существенно более низкой фоторефрактивной чувствительностью, что позволяет существенно увеличить рабочие мощности излучения, а также более высокими электро-оптическимим свойствами. Работы по исследованию световодных структур в таких кристаллах находятся в зачаточном состоянии. Это и определяет актуальность работы.

Целью диссертационной работы является разработка и исследование процесса протонообменного формирования световодов в кристаллах ниобата лития стехиометрического состава и легированных оксидом магния, а также реализация на их основе ряда интегрально-оптических устройств, в том числе многофункционального интегрально-оптического элемента для высокоточных волоконно-оптических гироскопов.

Основные задачи, определяемые целями работы:

• Разработка и исследование особенностей технологического процесса формирования планарных протонообменных волноводов в кристаллах ниобата лития стехиометрического состава и легированных 5% оксида магния.

• Определение взаимосвязи структурных и оптических свойств в протонообменных слоях ниобата лития стехиометрического состава и легированного оксидом магния и объяснение полученных закономерностей.

• Исследование квадратичных нелинейно-оптических свойств протонообменных слоев в кристаллах ниобата лития легированного оксидом магния.

• Разработка и оптимизация технологических параметров процесса формирования одномодовых на длине волны 1.55 мкм канальных протонообменных волноводов в кристаллах ниобата лития конгруэнтного состава и легированных 5% оксида магния с низкими потерями, высокой эффективностью связи с оптоволокном и электрооптическими свойствами близкими к исходному ниобату лития.

• Реализация на основе конгруэнтных и легированных оксидом магния кристаллов ниобата лития ряда интегрально-оптических элементов, таких как: многофункциональный интегрально-оптический элемент и электрооптический модулятор Маха - Цандера.

Научная новизна диссертационной работы:

• Впервые установлены фундаментальные закономерности взаимосвязи изменения кристаллической структуры и показателя преломления в протонообменных волноводах в кристаллах ниобата лития стехиометрического состава и легированных оксидом магния. Построена структурно-фазовая диаграмма протонообменных слоев ниобата лития легированного оксидом магния, знание которой, позволяет выбирать оптимальные технологические режимы формирования ионообменных структур для создания интегрально-оптических элементов с требуемыми свойствами.

• Впервые исследованы квадратичные нелинейно-оптические свойства протонообменных волноводах в легированных оксидом магния кристаллах ниобата лития.

• Предложены и разработаны процессы формирования планарных протонообменных волноводных слоев в кристаллах ниобата лития легированных оксидом магния с электро- и нелинейно-оптическими свойствами близкими к номинально чистому ниобату лития.

• Разработан технологический процесс формирования одномодовых на длине волны 1.55 мкм канальных протонообменных волноводов в кристаллах ниобата лития легированных оксидом магния с низкими потерями, высокой эффективностью связи с оптическим волокном и электрооптическими свойствами близкими к исходному ниобату лития, что позволило реализовать ряд интегрально-оптических элементов.

Практическая ценность результатов работы состоит в том, что работа выполнялась в рамках проекта по разработке элементной базы волоконно-оптического гироскопа, в частности по созданию многофункционального интегрально-оптического элемента на подложках кристалла ниобата лития различного состава, выполняющего функции Y-разветвителя, поляризатора и фазового модулятора оптического излучения. Наиболее практически важные результаты работы следующие:

1. Разработана и внедрена в промышленное производство технология изготовления многофункционального интегрально-оптического элемента (МИОЭ) на длине волны 1.55 мкм для волоконно-оптического гироскопа.

2. Разработана технология изготовления и реализован электрооптический модулятор Маха-Цандера на длине волны 1.55 мкм для амплитудных модуляторов лазерного излучения и датчиков электрического поля.

Научные положения, выносимые на защиту:

1. Закономерности и особенности процесса протонного обмена и послеобменного отжига в кристаллах ниобата лития стехиометрического состава и легированного оксидом магния. Сруктурно-фазовая диаграмма протонообменных слоев в кристаллах ниобата лития легированных оксидом магния.

2. Квадратичные нелинейно-оптические свойства протонообменных слоев в кристаллах ниобата лития легированных оксидом магния.

3. Технологический процесс на базе метода отожженного протонного обмена, для получения одномодовых на длине волны 1.55 мкм канальных волноводов в кристаллах ниобата лития легированных оксидом магния с низкими потерями и высокой эффективностью связи с оптоволокном.

4. Технология изготовления интегрально-оптических схем, таких как многофункциональный интегрально-оптический элемент для волоконно-оптического гироскопа и электрооптический модулятор Маха-Цандера.

Апробация работы. Основные положения и результаты диссертационной работы докладывались на следующих конференциях:

1. Четвертая Международная научно-техническая конференция "Электроника и ииформатика-2002", Москва, 19-21 ноября 2002 г.

2. 1 Ith European Conference on Integrated Optics, April 2-4, 2003, Prague, Czech Republic.

3. Десятая всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика-2003", Москва, 23,24 апреля 2003 г.

4. Одиннадцатая всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика-2004", Москва, 21-23 апреля 2004 г.

5. Одиннадцатая международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых по фундаментальным наукам "Ломоносов-2004", Москва, 13 апреля 2004 г.

6. Одиннадцатая международная конференция студентов и аспирантов "Радиоэлектроника, электроника и энергетика", Москва, 1,2 марта 2005 г.

7. 12th European Conference on Integrated Optics, April 6-8, 2005, Grenoble, France.

8. Двенадцатая международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых по фундаментальным наукам "Ломоносов-2005", Москва, 13 апреля 2005 г.

9. Двенадцатая всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика-2005", Москва, 19-21 апреля 2005 г.

10. Всероссийская конференция инновационных проектов аспирантов и студентов "Индустрия наносистем и материалы", Москва, 16,17 ноября 2005 г.

11. International Symposium on "Micro- and nano-scale domain structuring in ferroelectrics", November 15-19, 2005, Ekaterinburg, Russia.

12. Пятая международная научно-техническая конференция "Электроника и информатика-2005", Москва, 23-25 ноября 2005 г.

13. 9th International Symposium on "Ferroic Domains and Micro- to Nanoscopic Structures", June 26-30, 2006, Dresden, Germany.

14. Всероссийская конференция инновационных проектов аспирантов и студентов "Индустрия наносистем и материалы", Москва, 26-29 сентября 2006 г.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 18 печатных работ, в том числе: статья в журнале «Известия ВУЗов, серия Электроника.», статья в "Journal of Applied Physics", а также в материалах (статьи и тезисы докладов) российских и международных конференций.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав, основных результатов и выводов по работе, содержит 117 страниц машинописного текста, включая 2 таблицы, 56 рисунков и список литературы в количестве 88 наименований.

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Фролова, Марина Викторовна

Выводы к главе 4:

1. Проведены систематические исследования оптических свойств различных фаз протонообменных световодов в кристаллах 1л№>03 легированных М^О. Впервые построена структурно-фазовая диаграмма для протонообменных световодов Х-среза 1л№>03 легированного 5% Даны объяснения полученным результатам.

2. Установлены технологические режимы формирования различных фаз в протонообменных световодах в кристаллах 1л№Ю3:М§0. Выработаны практические рекомендации для формирования волноводов с комплексом необходимых свойств.

4. Измерены нелинейно-оптические свойства в протонообменных световодов в кристаллах М^ОиМЮз. Показано преимущество метода высокотемпературного протонного обмена для реализации волноводных структур в нелинейно-оптических устройствах.

5. Оптимизирована технология, комбинирующая процессы протонного обмена и последующего высокотемпературного отжига, для получения одномодовых на длине волны 1.55мкм канальных волноводов в кристаллах ниобата лития легированных 5% оксида магния с низкими потерями и высокой эффективностью связи с оптоволокном. Получен, достаточно узкий, диапазон оптимальных времен и температур загонки и отжига, а так же, найдена оптимальная ширина канала для создания МИОЭ с низкими оптическими потерями.

6. На основе полученных результатов удалось создать многофункциональный интегрально-оптический элемент с общими потерями деполяризованного света <7 дБ, коэффициентом поляризационной экстинкции 60 дБ, коэффициентом деления 0.5±0.05, при этом фазовая чувствительность каждого модулятора составила 1 рад/В.

7. Разработана и оптимизирована технология отожженного протонного обмена для создания на подложках ниобата лития легированных оксидом магния электрооптического модулятора Маха-Цандера.

Заключение и основные и выводы:

1. Предложен комплекс взаимодополняющих методов исследования протонообменных слоев в монокристаллах ШМЮз стехиометрического состава и легированных ]У^О. Приведено краткое описание основных выбранных методов анализа, используемых в работе для исследования свойств протонообменных слоев в монокристаллах БПЧ и 1л№>03:]\^0.

2. Проведены систематические исследования оптических свойств различных протонообменных световодов в кристаллах 1л№>03 стехиометрического состава и легированных М^О.

3. Впервые построена структурно-фазовая диаграмма для Х-среза ГлМЪОз легированного 5 % М^О.

4. Установлено, что в процессе длительного отжига БЬЛЧ световодов, необходимого для достижения а-фазы, на поверхности образцов по-видимому образовывается слой конгруэнтного ниобата лития, что существенно ограничивает применение традиционного метода отожженного протонного обмена для формирования световодов высокого оптического качества в таких кристаллах.

5. Установлены технологические режимы формирования различных фаз в протонообменных световодах в кристаллах 1л№>Оз:М^О. Выработаны практические рекомендации для формирования волноводов с комплексом необходимых свойств.

6. Исследованы квадратичные нелинейно-оптические свойства протонообменных световодов в 1лМЮ3:М^О.

7. Оптимизирована технология, комбинирующая процессы протонного обмена и последующего высокотемпературного отжига, для получения одномодовых на длине волны 1.55 мкм канальных волноводов в кристаллах ниобата лития легированных оксидом магния, с низкими потерями и высокой эффективностью связи с оптоволокном. Получен, достаточно узкий, диапазон оптимальных времен и температур загонки и отжига, а так же, найдена оптимальная ширина окна маски для создания многофункционального интегрально-оптического элемента с низкими оптическими потерями.

8. На основе полученных результатов удалось создать МИОЭ с общими потерями деполяризованного света <7 дБ, коэффициентом поляризационной экстинкции 60 дБ, коэффициентом деления 0.5±0.05, при этом фазовая чувствительность каждого модулятора составила 1 рад/В, что позволило разработать ВОГ со следующими характеристиками: случайная составляющая нулевого сигнала (За) <0.1 град/час, спектральная плотность мощности шума

1П

0.005 град/час , погрешность масштабного коэффициента <0.01 %.

9. Оптимизирована технология отожженного протонного обмена для создания в кристаллах ниобата лития легированных оксидом магния такого интегрально-оптического элемента, как электрооптический модулятор Маха - Цандера.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Фролова, Марина Викторовна, 2006 год

1. Т.Тамир (под редакцией) «Интегральная оптика» / М. Мир, 1978 г., с. 12.

2. Zachariasen W.H. Untersuchungen uber die Kristallstructur von Sesquioxygen und Verbindungen AB03 // Skrifter Der Norske Videnskaps-Akademi Oslo, I.Mat-Naturv.Klasse, 1928, N 4.

3. Федулов С.А., Шапиро З.И., Ладыженский П.Б. Выращивание кристаллов LiNb03, LiTa03 и NaNb03 методом Чохральского // Кристаллография, 1965, т. 10, с.218

4. Matthias В. Т., Remeika J.P. Ferroelectricity in the Ilmenire structure // Phys. Rev., 1949, v.76, p.1886.

5. Nassau K., Levinstein H.J., Loiacono G.M. Ferroelectric lithium niobate 2. Preparation of single domain crystals // J.Phys.Chem.Solids, 1966, v.27, N 4, p.989-996.

6. Abrahams S.C., Buehler E., Hamilton W. C., Laplaca S.J. Ferroelectric lithium tantalate III. Temperature dependence of the structure in the ferroelectric phase and the paraelectric structure at 940° С // J.Phys.Chem. Solids, 1973, v.34, p.521.

7. Дикаев Ю.М., Копылов Ю.А., Котелянский И.М. // Квантовая Электрон. 1981. Т.8.С.378.

8. O'Bryan Н.М., Gallagher Р.К, Brandle C.D. // J.Am.Ceram.Soc, 1985, v.68, р.493.

9. Schirmer O.F., Thiemann О., Wahlecke M. Defects in LiNb03 .1. Experimental Aspects//J.Phys.Chem.Solids, 1991, v.52, N 1, p.185-200.

10. Lerner P., Legras C., Dumas J.P. // J.Crystal Growth, 1968, v.3/4, p.231.

11. Beattie I.R., Davies D.R. The interdiffusion of 2 charged particles (with particular reference to ion-exchange in zeolites) // Phil.Mag., 1957, v.8, N 17, p.599-606.

12. Shaw D. Diffusion mechanisms in II-VI materials // J.Crystal Growth, 1988, v.86, N 1/4, p.778-796.

13. Peterson G.E., Carnevale A. // J.Chem.Phys, 1972, v.56, p.4848.

14. Donnerberg H.J., Tomlison S.M., Catlow C.R.A. Defects in LiNb03 .2. ComputerSimulation Source // J.Phys.Chem.Solids, 1991, v.52, N 1, p.201-210.

15. Smyth D.M., 1986, in Proc 6th IEEE Int.Symp.on Applications of Ferroelectrics, Bethlehem, PA, 8-11 June, 115.

16. Mehta A., Navrotsky A, Kumada N., Kinomura N. Structural Transitions in LiNb03 and NaNb03 // J.Solid State Chem, 1993, v.102, N 1, p.213-225.

17. Abrahams S.C., Buehler E., Hamilton W. C., Laplaca S.J. Ferroelectric lithium tantalate III. Temperature dependence of the structure in the ferroelectric phase and the paraelectric structure at 940° С // J.Phys.Chem. Solids, 1973, v.34, p.521.

18. Wemple S.M., Di Domenico M., Camlibel J. // Appl.Phys.Lett., 1968, v.12, p.209.

19. Lawrence M. Lithium-Niobate Integrated-Optics // Rep.Prog.Phys., 1993, v.56, N 3, p.363-429.

20. Di Domenico M., Wemple S. H. Oxygen-octahedra ferroelectrics. I. Theory of electro-optical and nonlinear optical effects // J.Appl.Phys., 1969, v.40, p.720.

21. Camlibel I. Spontaneous polarization measurements in several ferroelectric oxides using a pulsed-field method // J.Appl. Phys., 1969, v.40, p. 1640-1693.

22. Kaminow I.P., Carruthers J.R. Optical waveguiding layers in LiNb03 and LiTa03 // Appl.Phys.Lett., 1973, v.22,p.326.

23. Войтенко И.Г. Исследование некоторых устройств интегральной оптики на основе ниобата лития // Автореферат канд. дис., Минск, 1982.

24. McCaughan L. Critical materials issues in the performance and manufacturability of LiNb03 integrated optics // Proc.SPIE, 1994, V.CR45, p.15-43.

25. Burns W.K., Klein P.H., West E.J., Plew L.E. Ti diffusion in Ti:LiNb03 planar abd channel optical waveguides // J.Appl.Phys., 1979, v.50, p.6175.

26. Тамир Т. (Под редакцией) Волноводная оптоэлектроника //М.:Мир, 1991, 575 с.

27. Ганыпин В.А., Коркишко Ю.Н., Петрова В.З. Получение планарных световодов на кристаллах ниобата и танталата лития // Обзоры по электронной технике. Серия 11., Лазерн.техн. и оптоэлектр., 1986, вып.2 (1174), 56 с.

28. Jackel J.L., Rice С.Е. Variation in waveguides fabricated by immersion in AgN03 and T1N03: the role of hydrogen // Appl. Phys.Lett., 1982, v.41, N 6, p.508-510.

29. Suchoski P.G., Findakly Т.К., Leonberger F.J. // Opt.Lett. 1988. Vol.13, p. 1050-1052.

30. Komatsu K.,Yamazaki S., Kondo M., Ohta Y. Low-Loss Broad-Band LiNb03 Guided-Wave Phase Modulators Using Titanium Magnesium Double Diffusion Method // J.Lightwave Technol., 1987, v.LT5, N 9, p.1239-1245.

31. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. // Ion exchange in single crystals for integrated optics and opt electronics Cambridge International Science Publ, Cambridge - 1999 -p.106-148.

32. Wong Ka-Kha. Integrated optical waveguides and devices fabricated by proton exchange: a review // Proc.SPIE, 1988, v.993, p.13-25.

33. Donaldson A. Candidate Materials and Technologies for Integrated-Optics Fast and Efficient Electrooptic Modulation // J.Phys.D: Appl.Phys., 1991, v.24, N 6, p.785-802.

34. Ganshin V.A., Korkishko Yu.N. Proton exchange in lithium niobate and lithium tantalate single crystals: Regularities and specific features // Phys.status solidi (a). Review article, 1990, v. 119, N 2, p. 11-25.

35. De Micheli M.P., Ostrowsky D.N., Korkishko Yu.N., Bassi P., in Insulating Materials for Optoelectronics (Ed. F. Agullo-Lopez, World Scientific, 1995), Chap. 12.

36. Hunsperger R.G., 1985, Integrated Optics: Theory and Technology, (Springer, Berlin).

37. Yu.N. Korkishko and V.A. Fedorov, in Ion Exchange in Single Crystals for Integrated Optics and Optoelectronics (Cambridge International Sci. Publ., Cambridge, UK, 1999), pp. 97-269.

38. P.G. Suchoski, T.K. Findakly and F.J. Leonberger, "Stable low-loss proton-exchanged LiNb03 devices with no electro-optic degradation", Opt. Lett. 13, 1050-1052 (1988).

39. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A., Laurell F. The SHG-response of different Phases in proton exchanged lithium niobate waveguides // IEEE J. Select. Topics Quantum Electron. 2000. - Vol.6, № 1. - P.132-142.

40. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A., Kostritskii S.M., Alkaev A.N., Maslennikov E.I., Laurell F. Nonlinear optical properties of different types of proton exchanged LiNb03 and LiTa03 waveguides // Proc. SPIE, Vol.4944, Integrated Optical Devices:

41. Fabrication and Testing, edited by Giancarlo C. Righini, (SPIE, Bellingham, WA, 2003), P. 268-279.

42. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A., Feoktistova O.Y. Optical waveguide fabrication by high-temperature proton exchange // IEEE J. Lightwave Technol. 2000. - Vol.18. -P.562-568.

43. Коркишко Ю.Н., Федоров B.A., Баранов E.A., Морозова Т.В., Падерин Е.М. Метод высокотемпературного протонного обмена для формирования оптических волноводов в ниобате лития // Известия вузов. Серия Электроника. 2001, № 4,-С.47-58.

44. Yu.N. Korkishko and V.A. Fedorov, in Ion Exchange in Single Crystals for Integrated Optics and Optoelectronics (Cambridge International Sci. Publ., Cambridge, UK, 1999), pp. 97-302.

45. Barrer R.M., Bartholomew R.F., Rees L.V.C. Ion exchange in porous crystals // J. Phys. Chem. Solids, 1963, v,24,N2,pp.309-317.

46. Maciak T. LiNb03 optical waveguides obtained by proton exchange in oleic acid // Int. J.Optoelectronics, 1990, v.5, N3, p.227-234.

47. Pun E.Y.B., Tse Y.O., Chung P.S. Proton-Exchanged Optical Wave-Guides in LiNb03 Using Octanoic-Acid // IEEE Photon. Techn.Lett., 1991, v.3, N 6, p.522-523.

48. Ganshin V.A, Korkishko Yu.N., Morozova T.M. Properties of proton exchanged optical waveguides in LiNb03 and LiTa03 // Phys.stat. sol.(a), 1988, v.110, N 1, p.397-402.

49. Loi K.K., Pun E.Y.B., Chung P.S. Proton exchanged optical waveguides in Z-cut LiNb03 using toluic acid // Electr.Lett., 1992, v.28, N6, p.546-548.

50. Pun E.Y., Loi K.K., Zhao S.A., Chung P.S. Experimental Studies of Proton-Exchanged Lithium-Niobate Wave-Guides Using Cinnamic Acid // Appl.Phys.Lett., 1991, v.59, N 6, p.662-664.

51. Коркишко Ю.Н. Ионообменное легирование ниобата лития для получения световодных элементов интегральной оптики // Дис. канд. техн. наук, М.:МИЭТ, 1987,219 с.

52. Ganshin V.A., Korkishko Yu.N. Deformation, stresses and birefringence in proton exchanged lithium niobate waveguides // J. Opt. Commun., 1991, v.13, N1, p.2-7.

53. Ганыдин B.A., Коркишко Ю.Н., Петрова В.З. Формирование аутдиффузионных световодов в LiNb03 при низких температурах в расплавах солей // Письма в ЖТФ, 1983, т.9, N 19, с.1997-1200.

54. Fedorov V.A., Ganshin V.A., Korkishko Yu.N., Morozova T.V. Optical waveguides Me :LiTa03 prepared by nonisovalent ion exchange. Ferroelectrics, 1993, v.138, N1/4, p.23-36.

55. Fedorov V.A., Korkishko Yu.N. Crystal structure and optical properties of nonisovalent ion exchanged Zn:LiTa03 waveguides // Ferroelectrics, 1995, v.166, p. 183194.

56. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. Ion Exchange in Single Crystals for Integrated Optics and Optoelectronics, Cambridge Int.Sci.Publ., 1996, Cambridge, UK.

57. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. // Ion exchange in single crystals for integrated optics and opt electronics Cambridge International Science Publ, Cambridge - 1999 -P.106-148.

58. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. Structural Phase Diagram of HxLiixNb03 waveguides: the correlation between structural and optical properties. // IEEE J. Select. Topics Quantum Electron. 1996,- Vol.2, № 2,- P.187-196.

59. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A., De Micheli M.P., Baldi P., El Hadi K., Leycuras A. Relationships between structural and optical properties of proton-exchanged waveguides on Z-cut lithium niobate // Appl.Opt.- 1996. -Vol.35, №36. P.7056-7060.

60. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. Relationship between refractive indices and hydrogen concentration in proton-exchanged LiNb03 waveguides // J. Appl. Phys. -1997. Vol.82.-P.171-183.

61. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A., Kostritskii S.M. Optical and X-ray characterization of HxLi!.xNb03 phases generated in proton exchanged LiNb03 optical waveguides // J.Appl.Phys. 1998. - Vol.84, №5 - P.2411-2419.

62. Коркишко Ю.Н., Федоров B.A. Структурно-фазовая диаграмма протонообменных HxLi.xNb03 волноводов в кристаллах ниобата лития // Кристаллография.- 1999,- Т.44, № 2.- С.237-246.

63. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. Structural phase diagram of proton-exchanged waveguides in LiNb03 // in Properties of Lithium Niobate, EMIS Datareviews Series № 28, K.K.Wong (Ed.), (INSPEC, IEE, London, UK, 2002), P.43-49.

64. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. Composition of different crystal phases in proton-exchanged waveguides in LiNb03// in Properties of Lithium Niobate, EMIS Datareviews Series № 28, K.K.Wong (Ed.), (INSPEC, IEE, London, UK, 2002), P.50-54.

65. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. Refractive indices of different crystal phases in proton-exchanged LiNb03 waveguides // in Properties of Lithium Niobate, EMIS Datareviews Series № 28, K.K.Wong (Ed.), (INSPEC, IEE, London, UK, 2002), P. 146152.

66. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A., De Micheli M.P. Anomalous refractive index change in proton exchanged LiNb03 waveguides after annealing // Electron. Lett.- 1995.-Vol.31.- № 18.- P.1603-1604.

67. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. Structural and optical characterization of annealed proton exchanged LiNb03 optical waveguides // Opt. Mater. 1996. - Vol.5. - P. 175-185.

68. Ashley P.R. High index, low loss waveguides in LiNb03 with Ti ion implantation // Topical Meeting on Integrated and Guided-Wave Optics (IGWO'88), Santa Fe, March 28-30, 1988, Tech.Digest Series, v.5, paper MD5-1.

69. Ганыпин B.A., Коркишко Ю.Н. // ЖТФ. 1992, Т.62. № 1. С.98.

70. Ганыпин В.А., Коркишко Ю.Н., Федоров В.А. // Кристаллография. 1995. Т.40. N 2. С.341.

71. Коркишко Ю.Н., Федоров В.А. //Письма в ЖТФ. 1995. Т.21. № 18. С.61.

72. Loni A., Keys R.W., De La Rue R.M. Characterization of waveguides formed by proton-exchange in MgO-doped and Nd:MgO-doped LiNb03: A comparison with congruent material // J.Appl.Phys. 1990. - Vol.67. - N 9. - P. 3964-3967.

73. Hagner G., Bachmann T. Refractive index profiles and Exchange Ratios of proton-exchanged waveguides in congruent and MgO-doped LiNb03 // Phys.stat.sol. (a). 1998. -Vol.165.-P. 205-212.

74. Zhuo Z., Chong T.G., Chow Y.T. Formation and properties of proton-exchanged Z-cut Mg0:LiNb03 crystal waveguides // J.Appl.Phys. 1997. - Vol.36. - P. 139-142.

75. P.Lerner, C.Legras and J.P.Dumas, J. Crystal Growth 3/4 (1968) 231.

76. J.R.Carruthers, G.E.Peterson, M.Grasso and P.M.Bridenbaugh, J. Appl.Phys. 42 (1971) 1846.

77. L.O.Svaasand, M.Eriksrud, A.P.Grande and F.Mo, J. Crystal Growth 18 (1973) 179.

78. K.Kitamura, J.K.Yamamoto, N.Iyi, S.Kimura and T.Hayashi, J. Crystal Growth 116 (1992) 327-332.

79. White J.M., Heidrich P.F. Optical Waveguide Refractive Index Profiles Determined from Measurement of Mode Indices: a Simple Analysis // Appl.Optics, 1976, v. 15, N1, pp.151-155.

80. K.S. Chiang, C.L. Wong, H.P. Chan, and Y.T. Chow Refractive-index profiling of graded-index planar waveguides from effective indexes measured for both mode types and at different wavelengths // J. Lightwave Technol. 1996. - vol. 14, pp. 827-832

81. John Nikolopoulos, Gar Lam Yip. Theoretical modeling and characterization of annealed proton-exchanged planar waveguides in z-cut LiNb03 // Journal of Lightwave Technol.-1991.-vol. 9,N7.-pp. 864-870.

82. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. Ion exchange in single crystals for integrated optics and optoelectronics. Cambridge. - Cambridge International Science Publishing. - 1999 -P. 516 .

83. Cabrera J.M., Olivares J., Carrascosa M., Rams J., Muller R., Dieguez E. Hydrogen in LiNb03 // Adv.Phys. 1996. - Vol.45. - P. 349-394.

84. Korkishko Yu.N., Fedorov V.A., Kostritskii S.M. Optical and X-ray characterization of HxLi!xNb03 phases generated in proton exchanged LiNb03 optical waveguides // J.Appl.Phys. 1998.-Vol.84. - P. 2411-2419.

85. Yu.N.Korkishko, V.A.Fedorov, S.M.Kostritskii, E.I.Maslennikov, M.V.Frolova, A.N.Alkaev C. Sada, N. Argiolas, M. Bazzan. Proton-exchanged waveguides in MgO-doped LiNb03.-Optical and Structural Properties // J.Appl.Phys., 2003, v.94, № 2, pp.1163-1170.

86. Общество с Ограниченной Ответственностью

87. НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ КОМПАНИЯстмолитс124498, Москва, Зеленоград, строение 5, проезд 4806

88. Тел [phone] факс[phone]. Эл.почта: [e-mail]

89. Р/с 40702810400010170854 в банке ЗАО " Международный Московский Банк", г. Москва К/с 30101810300000000545, БИК 044525545 ОКПО 56734122 ОКОНХ 95300 ОКДП 7300000

90. ИНН I КПП 7735105059/ 773501001

91. Исх. № 18 от "20 "октября 2006 г.о внедрении результатов диссертационной работы М.В.Фроловой "Протонообменные световодные структуры в кристаллах ниобата лития различногосостава".

92. Генеральный директор / Финансовый директор