Процессы химического осаждения золотых покрытий из паровой фазы с использованием металлоорганических соединений тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.01, кандидат наук Пархоменко, Роман Григорьевич

• Пархоменко, Роман Григорьевич
• кандидат наук
• 2014

Оглавление диссертации кандидат наук Пархоменко, Роман Григорьевич

Введение

7

1. Литературный обзор

12

1.1. Химическое осаждение золотых покрытий из паровой фазы с 12 использованием металлоорганических соединений

1.1.2.1. р-дикетонаты диметилзолота(Ш) и их 8,К-замещённые аналоги 15

1.1.2.1.1. Давление паров Р-дикетонатов диметилзолота(Ш) и их 8,М- 17 замещённых аналогов

1.1.2.1.2. Термические свойства Р-дикетонатов диметилзолота(Ш) и 20 их 8ДЧ-замещённых аналогов

1.1.2.2. Карбоксилаты диметилзолота(Ш) 23

1.1.2.2.1. Давление паров карбоксилатов диметилзолота(Ш) 25

1.1.2.2.2.Термические свойства карбоксилатов диметилзолота(Ш) 26

1.1.2.3. Ы-замещенные салицилальдиминаты диметилзолота(Ш) 29

1.1.2.3.1. Давление паров К-замещенных салицилальдиминатов 30 диметилзолота(Ш)

1.1.2.3.2. Термические свойства М-замещенных 31 салицилальдиминатов диметилзолота(Ш)

1.1.2.4. Хинолинаты диметилзолота(Ш) 3 3

1.1.2.4.1. Давление паров хинолинатов диметилзолота(Ш) 34

1.1.2.4.2. Термические свойства хинолинатов диметилзолота(Ш) 35

1.1.2.5. Диэтилдитиокарбамат диметилзолота(Ш) 3 5

1.1.2.5.1. Давление паров диэтилдитиокарбамата 36 диметилзолота(Ш)

1.1.2.5.2. Термические свойства диэтилдитиокарбамата 37 диметилзолота(Ш)

1.1.3. Использование летучих соединений золота в процессах МОСУБ 39

1.1.1. Летучие комплексы золота(1)

1.1.2. Летучие комплексы золота(Ш)

13

14

1.2. Получение наночастиц и тонких плёнок золота методами химического 48 восстановления золотосодержащих соединений, электрохимии и РУБ

1.3. Заключение 54

2. Экспериментальная часть 56

2.1. Исходные реагенты 5 6

2.2. Синтез соединений диметилзолота(Ш) 57

2.3. Методы идентификации соединений 63

2.4. Кристаллохимические методы исследования соединений 64

2.5. Термогравиметрический метод исследования соединений 65

2.6. Термическое разложение паров соединений 65

2.7. Методы исследования золотых покрытий 67

2.8. Получение тонких плёнок и наночастиц золота 68

2.8.1. Условия осаждения пленок золота методом МОСУБ в реакторе 68 проточного типа

2.8.2. Условия осаждения наночастиц золота методом РР МОСУЕ) в 70 матрице фотонного кристалла

3. Результаты и их обсуяздение 72

3.1. Синтез и идентификация соединений 72

3.1.1. Синтез иодида диметилзолота(Ш) 72

3.1.2. Синтез и идентификация комплексов диметилзолота(Ш) 72

3.1.2.1. ИК- и ЯМР-спектроскопическое исследование комплексов 74 диметилзолота(Ш)

3.2. Кристаллохимическое исследование комплексов диметилзолота(Ш) 77

3.3. Термическое поведение комплексов диметилзолота(Ш) 82

3.3.1. Термогравиметрический анализ комплексов диметилзолота(Ш) 82

3.3.2. Исследование процессов термораспада паров комплексов 84 диметилзолота(Ш) методом масс-спектрометрии

3.4. Осаждение тонких плёнок и наночастиц золота методом МОСУБ и их 94 исследование

3.4.1. Влияние экспериментальных параметров МОСУО-процесса на 94

структуру, морфологию и состав золотых покрытий

3.4.1.1. Осаждение золотых покрытий в атмосфере аргона 96

3.4.1.2. Осаждение золотых покрытий в атмосфере газов-реагентов 104

3.4.1.3. MOCVD-процессы осаждения золотых покрытий со 106 стимуляцией вакуумным ультрафиолетом

3.4.1.4. Состав золотых покрытий 108

3.5. Получение золотых наноструктур в матрице фотонного кристалла 113 методом MOCVD их исследование

3.5.1. Оптические свойства золотых наноструктур 119

3.6. Изучение спазерной генерации нанокомпозитов 122 Основные результаты и выводы 128 Литература 130 Приложение 144

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Процессы химического осаждения золотых покрытий из паровой фазы с использованием металлоорганических соединений»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы. Тонкие плёнки, наночастицы золота и материалы на их основе находят широкое применение в науке и технике. Так тонкие плёнки используются как контактный и коррозионно-стойкий материал, а также как материал с высоким коэффициентом отражения электромагнитных волн в широком диапазоне. Благодаря уникальным оптическим характеристикам наночастицы золота представляют особый интерес для лазерной физики и оптоэлектроники. Кроме того, наночастицы золота рассматриваются в качестве потенциальных катализаторов и носителей лекарственных препаратов.

Одним из универсальных методов получения тонких плёнок и наночастиц золота является метод химического осаждения из паровой фазы с использованием летучих металлоорганических соединений (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition - MOCVD). С помощью MOCVD можно получать покрытия из тугоплавких веществ при температурах значительно более низких, чем температуры их плавления; наносить слои на материалы различной природы; прецизионно контролировать параметры покрытий (толщина, состав, структура). Важной особенностью метода является возможность получения равномерных плёночных материалов и наночастиц в пористых системах и на изделиях со сложной поверхностью.

Функциональные свойства наночастиц и тонких плёнок зависят от их структуры, морфологии, фазового и химического состава, которые в свою очередь находятся в прямой зависимости от параметров процесса осаждения и природы используемого соединения-предшественника (прекурсора). Однако, для процессов MOCVD золота информация подобного рода является очень ограниченной и несистемной. Также стоит отметить, что в настоящее время существует небольшое число пригодных соединений-предшественников для осаждения золотых покрытий методом MOCVD, большинство из которых являются неустойчивыми соединениями, что сдерживает их практическое применение.

Таким образом, синтез летучих соединений-предшественников и комплексное изучение процессов осаждения тонких плёнок и наночастиц золота методом MOCVD являются актуальными задачами.

Цель работы. Синтез и изучение физико-химических свойств летучих комплексов диметилзолота(Ш) с органическими лигандами, а также выявление зависимостей изменения морфологии, структуры и состава золотых покрытий, полученных методом MOCVD, от типа соединения-предшественника и режимов осаждения.

Для достижения цели были поставлены следующие задачи:

■ разработка методик синтеза комплексов диметилзолота(Ш) с органическими лигандами, их идентификация и исследование рядом физико-химических методов (элементный анализ, ИК-, 1Я ЯМР -спектроскопия, масс-спектрометрия, рентгенофазовый (РФА) и рентгеноструктурный анализ (РСА));

■ изучение термического поведения синтезированных комплексов в конденсированной и паровой фазах;

■ изучение влияния температур испарителя и подложки, газов-реагентов водорода и кислорода, а также стимуляции процесса осаждения вакуумным ультрафиолетом (ВУФ) на состав, структуру и морфологию полученных покрытий;

■ разработка режимов осаждения золотых наноструктур в матрице фотонного кристалла и изучение их оптических свойств;

■ получение нанокомпозитных материалов на основе наночастиц золота и исследование их спазерной генерации.

Научная новизна. Разработаны методики синтеза ряда комплексов диметилзолота(Ш) с органическими лигандами. Получено и охарактеризовано пять новых соединений диметилзолота(Ш), для трёх комплексов впервые установлены кристаллические структуры.

Исследовано термическое поведение синтезированных соединений диметилзолота(Ш) в конденсированной фазе методом термогравиметрии. Методом in situ масс-спектрометрии исследовано термическое поведение паров трёх синтезированных комплексов: определены температурные интервалы разложения, основные газообразные продукты термолиза, а также предложены механизмы термораспада.

Для 10 соединений-предшественников (четыре новых, шесть ранее известных) изучены процессы осаждения золотых покрытий в широком

интервале экспериментальных параметров. Исследовано влияние температуры испарителя и подложки, газов-реагентов водорода и кислорода, а также ВУФ-излучения на структуру, состав и морфологию золотых покрытий. Проведено осаждение тонких плёнок и наночастиц золота в матрицу фотонного кристалла, сформированного из монодисперсных сферических частиц кремнезёма. Изучены оптические свойства полученных систем.

Получены нанокомпозиты на основе индивидуальных золотых наночастиц в оболочке 8Ю2 и изучена их спазерная генерация в водно-спиртовой среде. Используя матрицу фотонного кристалла как внешний резонатор, впервые была исследована спазерная генерация в твёрдой фазе.

Практическая значимость. Синтез новых летучих комплексов диметилзолота(Ш) расширил круг потенциальных соединений-предшественников для процессов МОС\Т). Получены практически важные данные о термическом поведении комплексов диметилзолота(Ш), которые являются физико-химической основой для разработки процессов получения покрытий золота методом МОСУБ. Выявленные закономерности изменения физико-химических свойств золотых покрытий в зависимости от типа предшественника и параметров МОСУТЗ-процесса позволят целенаправленно подбирать исходные соединения и режимы осаждения для создания функциональных материалов с заданными свойствами. Полученные методом МОС\Т) наноструктуры могут найти потенциальное применение в качестве оптических материалов. Изученный эффект спазерной генерации открывает широкие возможности для приложения в оптике, электронике, медицине и др.

На защиту выносятся:

- методики синтеза и идентификация комплексов диметилзолота(Ш) с органическими лигандами;

-результаты рентгеноструктурного анализа комплексов диметилзолота(Ш) с органическими лигандами;

- результаты исследования термического поведения комплексов диметилзолота(Ш) в конденсированной и паровой фазах;

- результаты исследования золотых покрытий, полученных в различных экспериментальных условиях;

- данные по получению золотых наноструктур в матрице фотонного кристалла и результаты исследования их оптических свойств;

- данные по созданию нанокомпозитных материалов на основе наночастиц золота и изучению их спазерной генерации как в жидкой, так и в твёрдой фазах.

Личный вклад автора. Автором работы лично выполнены синтез, очистка исследованных соединений диметилзолота(Ш), эксперименты

по получению золотых покрытий в MOCVD-реакторе проточного типа, синтез монодисперсных сферических частиц кремнезёма, синтез золотых наночастиц в водных растворах и их инкапсуляция в кремнезёмную оболочку. Анализ и интерпретация экспериментальных результатов были проведены автором самостоятельно, либо совместно с соавторами. Соискатель участвовал в разработке плана исследования, анализе полученных результатов

и формулировке выводов. Подготовка публикаций по теме диссертации проводилась совместно с соавторами работ и научным руководителем.

Апробация работы. Основные результаты работы были представлены на IV Всероссийской конференции по наноматериалам «НАНО-2011» (Москва, 2011), II семинаре по проблемам химического осаждения из газовой фазы (Новосибирск, 2011), конкурсе-конференции молодых учёных, посвящённой памяти Г.А. Коковина и приуроченной к 80-летию со дня его рождения Института неорганической химии им. A.B. Николаева СО РАН (Новосибирск, 2012), Всероссийской конференции молодых учёных, аспирантов и студентов с международным участием по химии и наноматериалам «Менделеев-2012» (Санкт-Петербург, 2012), International conference on surfaces, coatings and nanostructured materials «NANOSMAT-Asia» (Wuhan, China, 2013), 19th European conference on chemical vapor deposition «EuroCVD19» (Varna, Bulgaria, 2013), школе-конференции молодых учёных, посвящённой памяти профессора C.B. Земскова «Неорганические соединения и функциональные материалы» (Новосибирск, 2013).

Публикации по теме диссертации. По теме диссертации опубликовано 5 статей в международных научных журналах, 5 тезисов докладов в материалах конференций, получен один патент Российской Федерации и один патент Европейского патентного ведомства.

Структура и объём работы. Диссертация состоит из введения, литературного обзора, экспериментальной части, обсуждения результатов, выводов, списка цитированной литературы (150 наименований) и приложения. Объём работы - 143 страницы, в том числе 17 таблиц и 70 рисунков.

Заключение диссертации по теме «Неорганическая химия», Пархоменко, Роман Григорьевич

1. Синтезировано 7 комплексов диметилзолота(Ш) с различными органическими лигандами. Пять соединений получено впервые: ((СН3)2Аи)2С204, (CH3)2AuSSP(OCH3)2, (CH3)2AuSSP(0'Pr)2, (СН3)2Аи88Р(0'Ви)2 и (CH3)2AuSSP('Bu)2. Индивидуальность синтезированных соединений подтверждена методами элементного анализа, ИК-, !Н ЯМР-спектроскопии.

2. Методом PC А впервые определены кристаллические структуры соединений: ((CH3)2Au)2C204, [(CH3)2AuSCN]2, (CH3)2AuSSPCBu)2. Установлено, что кристаллическая структура роданида диметилзолота(Ш) образована димерными молекулами, тогда как структура оксалата и диизобутилдитиофосфината диметилзолота(Ш) построена из мономеров. Во всех кристаллических структурах атом золота имеет слегка искажённую плоскоквадратную координацию.

3. Методом термогравиметрии исследовано термическое поведение семи синтезированных соединений в конденсированном состоянии. Установлено, что комплекс ((CH3)2Au)2C204 переходит в паровую фазу с частичным разложением, а [(CH3)2AuSCN]2 при нагревании полностью разлагается. Для пяти комплексов определён сравнительный ряд летучести (CH3)2AuSSP(OCH3)2 > (CH3)2AuSSP(OC2H5)2 > (CH3)2AuSSP(0'Pr)2 > (CH^AuSSPOBu);. > (CH3)2AuSSP(0'Bu)2.

4. Методом in situ масс-спектрометрии исследовано термическое поведение паров (CH3)2AuSSP(OCH3)2, (CH3)2AuSSP(OC2H5)2 и (СН3)2Аи88Р0Ви)2 на нагретой поверхности. Установлены температурные интервалы разложения соединений, основные продукты термораспада, а также предложены механизмы термолиза. Разложение всех изученных комплексов протекает по несколькими маршрутам, реализация которых зависит от температуры. При термолизе всех изученных соединений сера и фосфор входят в состав летучих продуктов и не встраиваются в растущее покрытие.

5. В широком интервале экспериментальных параметров проведено осаждение золотых покрытий из десяти летучих комплексов диметилзолота(Ш). Показано, что в зависимости от типа соединения-предшественника возможно осаждение как наночастиц, так и тонких плёнок золота различной морфологии. В исследованных

интервалах увеличение температуры осаждения приводит к укрупнению кристаллитов образующих плёнку, а также к увеличению её толщины. Увеличение температуры испарителя даёт аналогичные результаты. Установлено различное влияние температуры осаждения на состав золотых слоёв при использовании различных типов соединений-предшественников.

6. Изучено влияние газов-реагентов на структуру, морфологию и состав осаждённых золотых слоёв. Введение кислорода в реактор не приводит к увеличению толщины покрытий, тогда как при использовании водорода толщина возрастает в 1,5-3 раза по сравнению с покрытиями, полученными в аргоне, при этом степень текстурированности плёнок уменьшается. Использование газов-реагентов также снижает количество примесей в покрытиях. Наибольшее влияние на чистоту золотых слоёв оказало применение водорода.

7. Изучено влияние вакуумного ультрафиолета на структуру, морфологию и состав осаждённых золотых покрытий. При использовании ВУФ-излучения изменяется преимущественная ориентация кристаллитов, толщина плёнок возрастает в 2-5 раз по сравнению с покрытиями, полученнымив аргоне, а содержание примесей в золотых слоях не превышает 1 ат. %. При дополнительном введении кислорода в реактор количество примесей становится ниже предела обнаружения.

8. В матрице фотонного кристалла, сформированного из монодисперсных сферических частиц кремнезёма, получены золотые наноструктуры различной морфологии, а также изучены их оптические свойства. Установлено двукратное усиление интенсивности флуоресценции флуоресцеина в присутствии наночастиц золота.

9. Получены нанокомпозиты на основе наночастиц золота и флуоресцеина, исследована их спазерная генерация в водно-спиртовой смеси и в твёрдой фазе. Установлено, что использование матрицы фотонного кристалла в качестве внешнего оптического резонатора позволяет создать направленное излучение и снизить порог генерации практически на два порядка по сравнению с жидкой фазой.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Пархоменко, Роман Григорьевич, 2014 год

1. Puddephatt R.J., Treunnicht I. Volatile organogold compounds [AuR(CNR')]: their potential for chemical vapour deposition of gold // J. Organomet. Chem. - 1987. -Vol. 319.-P. 129-137.

2. Dryden N.H, Shapter J.G., Coatsworth L.L., Norton P.R., Puddephatt R.J. [CF3Au(C=NMe)] as a Precursor for CVD of Gold // Chem. Mater. - 1992. - Vol. 4. -P. 979-981.

3. Schmidbaur H., Shiotani A. Darstellung komplexer Organogold-Verbindungen durch Liganden-Substitutionsreaktionen // Chem. Ber. - 1971. - Vol. 104, № 9. - P. 2821-2830.

4. M.M. Banaszak Holl, P.F. Seidler, S.P. Kowalczyk, F. Read McFeely. Surface reactivity of alkylgold(I) complexes: substrateselective chemical vapor deposition of gold from RAuP(CH3)3 (R=CH2CH3, CH3) at remarkably low temperatures // Inorg. Chem.

- 1994. - Vol. 33, № 3. - P. 510-517.

5. A. Tamaki, J.K. Kochi. Formation and decomposition of alkyl-gold(I) complexes // Journal of Organometallic Chemistry. - 1973. - Vol. 61. - P. 441-450.

6. Coates G.E., Parkin C. Tertiary Phosphine Complexes of Trimethylgold: Infrared Spectra of Complexes of Gold and Some Other Metals // J. Chem. Soc. - 1963-P. 421-429.

7. Johnson A., Puddephatt R.J. Reactions of Trifluoromethyl Iodide with Methylgold(I) Complexes. Preparation of Trifluoromethyl-gold(I) and - gold(III) Complexes // J. Chem. Soc. Dalton Trans. - 1976. - № 14. - P. 1360-1363.

8. Coates G.E., Parkin C. Gold(I) Alkynyls and their Co-ordination Complexes // J. Chem. Soc. - 1962. - P. 3220-3226.

9. Szlyk E., Piszczek P., Lakomska I., Grodzicki A. Studies of Au(I) Complexes with Triphenylphosphine and Perfluorinatedcarboxylates // Polish Journal of Chemistry.

- 1995.-Vol. 69, № 8.-P. 1103-1108.

10. Lakomska I., Grodzicki A., Szlyk E. Studies of Au(I) Complexes with Perfluorinated Carboxylates and Trimethylphosphine // Polish Journal of Chemistry. -1998. - Vol. 72, № 3. - P. 492-497.

11. Skoweranda J., Wieczorek W., Bukowska-Strzyzewska M., Grodzicki A., Szlyk E. Synthesis, thermal, spectroscopic and X-ray studies of

(dichloroacetato)(triphenylphosphine)gold(I) // Journal of chemical crystallography. -1992.-Vol. 22.-P. 527-531.

12. Zhang Z., Szlyk E., Palenik G.J., Colgate S.O. (Trifluoroacetato)(triphenylphosphine)gold(I) // Acta Cryst. - 1998. - Vol. C44. -P. 2197-2198.

13. Szlyk E., Piszczek P., Lakomska I., Grodzicki A., Szatkowski J., Blaszczyk T. Au1 and Ag1 Complexes with Tertiary Phosphines and Perfluorinated Carboxylates as Precursors for CVD of Gold and Silver // Chem. Vap. Deposition. - 2000. - Vol. 6, № 3. -P. 105-108.

14. Mitchell Ch.M., Stone F.G.A. Reactions of low-valent metal complexes with fluorocarbons. Part XXII. Tertiary phosphine gold complexes // J. Chem. Soc. Dalton Trans.- 1972.-№ 1,-P. 102-107.

15. W. Fuss and M. Ruhe // Z. Naturforsch. B. - 1992. - Vol. 47. - P. 591.

16. Phong D.T., P. Doppelt. Gold CVD Using Trifluorophosphine Gold(I) Chloride Precursor and Its Toluene Solutions // Journal of The Electrochemical Society. -2007.-Vol. 154, № 10.-P. D520-D525.

17. Brain F.H., Gibson C.S. The Organic Compounds of Gold. Part VII. Methyl and Ethyl Compounds // J. Chem. Soc. - 1939. - P. 762-767.

18. Жаркова Г.И., Игуменов И.К., Земсков C.B. Хелаты диметилзолота (III) с Р-дикетонами // Коорд. хим. - 1980. - Т. 6, № 5. - С. 720-723.

19. Бессонов А.А., Байдина И.А., Морозова Н.Б., Семянников П.П., Трубин С.В., Гельфонд Н.В., Игуменов И.К. Синтез, кристаллическая структура и термические свойства ацетата диметилзолота(Ш) // Журн. структур, хим. - 2007. -Т. 48, №2.-С. 289-295.

20. Miles M.G., Glass G.E., Tobias R.S. Structure of Dimethylgold(III) Compounds. Spectroscopic Studies on the Aquo Ion and Several Coordination Compounds // J. Am. Chem. Soc. - 1966. - Vol. 88, № 24. - P. 5738-5744.

21. Жаркова Г.И., Байдина И.А., Игуменов И.К. Синтез, свойства, структура комплексов диметилзолота(Ш): [(CH3)2AuI]2 и [(CH3)2AuS2CN(C2H5)2] // Журн. структур, хим. - 2007. - Т. 48, № 1. - С. 108-113.

22. Жаркова Г.И., Байдина И.А., Игуменов И.К. Рентгеноструктурное исследование летучих комплексов диметилзолота(Ш) на основе симметричных (3-дикетонов // Журн. структур, хим. - 2006. - Т. 47, № 6. - С. 1128-1136.

23. Жаркова Г.И., Тюкалевская Н.М., Игуменов И.К., Земсков С.В. Исследование термической устойчивости и летучести комплексов диметилзолота (III) с Р-дикетонами, р-иминокетонами и монотио- Р-дикетонами // Изв. СО АН СССР. Хим. серия. - 1988. - Т. 5, № 5. - С. 145-148.

24. Жаркова Г.И., Байдина И.А., Игуменов И.К. Свойства и рентгеноструктурное исследование летучих Р-иминокетонатов диметилзолота(Ш) // Журн. структур, хим. - 2007. - Т. 48, № 5. - С. 963-970.

25. Семянников П.П., Мороз Б.Л., Трубин С.В. Жаркова Г.И., Пиряев П.А., Смирнов Ю.М., Бухтияров В.И. Применение метода газовой инфильтрации для получения наноразмерных частиц золота, диспергированнных на пористом алюмооксидном носителе // Журн. структур, хим. - 2006. - Т. 47, № 3. - С. 473-479.

26. Hiroto U., Noriyasu S., Masamitsu S., Katsumi О. Organogold complex for CVD and production of gold thin film using the same // JP 05-320170. Mitsubishi Materials Corp. Appl. № 04-274929.

27. Hiroto U., Noriyasu S., Masamitsu S., Katsumi O. Organogold complex for CVD and production of gold thin film using the same // JP 05-331176. Mitsubishi Materials Corp. Appl. № 04-274967.

28. Larson C.E., Baum Т.Н., Jackson R.L. Chemical Vapor Deposition of Gold // J.Electrochem. Soc. - 1987. - Vol. 134, № 1. - P. 266.

29. Ohta Т., Cicoira F., Doppelt P., Beitone L., Hoffmann P. Static Vapor Pressure Measurement of Low Volatility Precursors for Molecular Vapor Deposition Below Ambient Temperature // Chem. Vap. Depos. - 2001. - Vol. 7, № 1. - P. 33-37.

30. Чумаченко Ю.В., Игуменов И.К., Земсков С.В. Давление насыщенного пара бидентатных и тетрадентатных р-кетименатов Cu(II) // Коорд. хим. - 1979. -Т. 5,№ 11.-С. 1625.

31. Eisentraut К.J., Sievers R.E. Volatile Rare Earth Chelates // J. Am. Chem. Soc. - 1965. - Vol. 87, № 22. - P. 5254-5256.

32. Семянников П.П., Жаркова Г.И., Гранкин B.M. Тюкалевская Н.М., Игуменов И.К. Исследование процессов термораспада хелатных производных

диметилзолота(Ш) // Металлоорганическая химия. - 1988. - Т. 1, № 5. - С. 11051112.

33. Semyannikov P.P., Grankin V.M., Igumenov I.K., Zharkova G.I. Mechanism of Interaction of Dimethylgold(III) Chelates Vapour with Hot Surface // J. Phys. IV. -1995.-Vol. 5.-P. 213-220.

34. Бессонов A.A., Морозова Н.Б., Куратьева H.B., Байдина И.А., Гельфонд

H.В., Игуменов И.К. Синтез и кристаллическая структура карбоксилатов диметилзолота(Ш) // Коорд. хим. - 2008. - Т. 34, №1. - С. 73-80.

35. Bessonov А.А., Morozova N.B., Gelfond N.V., Semyannikov P.P., Trubin S.V., Shevtsov Yu.V., Shubin Yu.V., Igumenov I.K. Dimethylgold(III) carboxylates as new precursors for gold CVD // Surf. Coat. Technol. - 2007. - Vol. 201. - P. 9099-9103.

36. Bessonov A.A., Morozova N.B., Semyannikov P.P., Trubin S.V., Gelfond N.V., Igumenov I.K. Thermal behaviour of dimethylgold(III) carboxylates // Journal of Thermal Analysis and Calorimetry. - 2008. - Vol. 92. - P. 751-755.

37. Несмеянов A.H., Перевалова Э.Г., Грандберг К.И., Леменовский Д.А. Золотоорганические комплексы // Изв. АН СССР. - 1974. - № 5. - С. 1124-1137.

38. Бессонов А.А. Синтез, структура, термические свойства летучих комплексов диметилзолота(Ш) с N,0,S - донорными лигандами / Диссертация на соискание учёной степени кандидата химических наук. - Новосибирск, 2008. -162 с.

39. Bessonov А.А., Morozova N.B., Gelfond N.V., Semyannikov P.P., Baidina

I.A., Trubin S.V., Shevtsov Yu.V., Igumenov I.K. Synthesis, crystal structure and thermal properties of dimethylgold(III) derivatives of salicylaldimine schiff bases - new volatile precursors for gold MOCVD applications // Journal Organometallic Chemistry. -2008. - Vol. 693. - P. 2572-2578.

40. Бессонов A.A., Байдина И.А., Морозова Н.Б., Куратьева Н.В., Гельфонд Н.В., Игуменов И.К.. Синтез и кристаллическая структура 8-оксихинолината и 8-меркаптохинолината диметилзолота(Ш) // Журн. структур, хим. - 2008, - Т. 49, № 1. - С. 70-74.

41. Бессонов А.А., Морозова Н.Б., Семянников П.П., Трубин С.В., Гельфонд Н.В., Игуменов И.К. Термические свойства 8-оксихинолината и 8-

меркаптохинолината диметилзолота(Ш) // Коорд. хим. - 2008. - Т. 34, № 3. - С. 191-194.

42. Turgambaeva А.Е., Zharkova G., Semyannikov P., Krisyuk V.V., Koretskaya Т., Trubin S., Kuchumov В., Igumenov I.. Oxygen-free precursor for chemical vapor deposition of gold films: thermal properties and decomposition mechanism // Gold Bull. -2011.-Vol. 4.-P. 177-184.

43. The Chemistry of Metal CVD / Ed. by Toivo T. Kodas and Mark J. Hampden-Smith. - Weinheim; New York; Basel; Cambridge; Tokyo: VCH, 1994. - 310 p.

44. Baum Т.Н., Comita P.B. Laser-induced chemical vapor deposition of metals for microelectronics technology // Thin Solid Films. - 1992. - Vol. 218. - P. 80-94.

45. Schooler C., Kaya A., Kretz J. Weber. M., Koops H.W.P. Electrical and field emission properties of nanocrystalline materials fabricated by electron-beam induced deposition // Microelectronic Engineering. - 1996. - Vol. 30. - P. 471-474.

46. Geddes C.D., Lakowicz J.R. Metal-enhanced fluorescence // J. Fluoresc. -2002. Vol. 12, № 2. - P. 121-129.

47. Asian K., Gryczynski I., Malicka J., Matveeva E., Lakowicz J.R., Geddes C.D. Metal-enhanced fluorescence: an emerging tool in biotechnology // Curr. Opin. Biotechnol. - 2005. - Vol. 16. - P. 55-62.

48. Asian K., Badugu R., Lakowicz J.R., Geddes C.D. Metal-Enhanced Fluorescence from Plastic Substrates // J. Fluoresc. - 2005. - Vol. 15, № 2. - P. 99-104.

49. Золотые наночастицы: синтез, свойства, биомедицинское применение / Дыкман Л.А., Богатырёв В.А., Щёголев С.Ю., Хлебцов Н.Г. - М.: Наука, 2008. -319 с.

50. Хлебцов Н.Г. Оптика и биофотоника наночастиц с плазмонным резонансом // Квантовая электроника. - 2008. - Т. 38, № 6. - С. 504-529.

51. Khlebtsov B.N., Zharov V.P., Melnikov A.G., Tuchin V.V., Khlebtsov N.G. Optical amplification of photothermal therapy with gold nanoparticles and nanoclusters // Nanotechnology. - 2006. - Vol. 17, № 20. - P. 5267-5179.

52. Дыкман JI.A., Богатырев B.A. Наночастицы золота: получение, функционализация, использование в биохимии и иммунохимии // Успехи химии. -2007. - Т. 76, № 2. - С. 199-213.

53. Okumura M., Tanaka К., Ueda A., Haruta M. The reactivities of dimethylgold(III) p-diketone on the surface of Ti02. A novel preparation method for Au catalysts // Solid State Ionics. - 1997. - Vol. 95. - P. 143-149.

54. Haruta M. Size- and support-dependency in the catalysis of gold// Catal. Today- 1997.-Vol. 36.-P. 153-166.

55. Puddephatt R.J., Treunnicht I. Method of Gold Deposition using Volatile Organogold Complexes // United States Patent. - 1987. No. 4,714,627.

56. Hiroto U., Noriyasu S., Masamitsu S. et al. Dimethylgold beta-iminoketone for CVD // JP 06-100570, Mitsubishi Materials Corp. - 1994. Appl. N 04-274965.

57. Noriyasu S., Hiroto U., Katsumi O. Organogold complexes for gold film formation // JP 06-157546, Mitsubishi Materials Corp. - 1994. Appl. N 04-331255.

58. Cabanas A., Long D.P., Watkins J.J. Deposition of Gold Films and Nanostructures from Supercritical Carbon Dioxide // Chem. Mater. - 2004. - Vol. 16, № 10.-P. 2028-2033.

59. Okumura M., Nakamura S., Tsubota S., Nakamura Т., Azuma M., Haruta M. Chemical vapor deposition of gold on A1203, Si02, and Ti02 for the oxidation of CO and of H2// Catalysis Letters. - 1998. - Vol. 51. - P. 53-58.

60. Baum Т.Н., Marinero E.E., Jones C.R. Projection printing of gold micropatterns by photochemical decomposition// Appl. Phys. Lett. - 1986. - Vol. 49. -P. 1213-1215.

61. Morishige Y., Kishida S. Thick gold-film deposition by high-repetition visible pulsed-laser chemical vapor deposition // Appl. Phys. - 1994. - Vol. A59. - P. 395-399.

62. Jubber M., Wilson J.I.B., Davidson J.L. et al. Laser Writing of High Purity Gold Tracks // Appl. Surf. Sci. - 1989. - Vol. 43. - P. 74-80.

63. Messelhauser J., Flint E.B., Suhr H. Laser induced CVD of gold using new precursors // Appl. Surf. Sci. - 1992. - Vol. 54. - P. 64-68.

64. Feurer E., Suhr H. Preparation of Gold Films by Plasma-CVD // Appl. Phys. -1987. - Vol. A44. - P. 171-175.

65. Dubner A.D., Wagner A. In situ measurement of ion-beam-induced deposition of gold// J. Appl. Phys. - 1989. - Vol. 65. - P. 3636-3639.

66. Koops H.W.P., Weiel R., Kern D.P., Baum Т.Н. High-resolution electron-beam induced deposition // J. Vac. Sci. Tech. - 1988. - Vol. B6. - P. 477-481.

67. Roth J. The colloidal gold marker system for light and electron microscopic cytochemistry // Techniques in immunocytochemistry / Ed. G.R. Bullock, P. Petrusz. L.: Acad. Press. - 1983. - Vol. 2. - P. 217-284.

68. Handley D.A. Methods for synthesis of colloidal gold // Colloidal gold: Principles, methods, applications / Ed. M.A. Hayat. San Diego: Acad. Press. - 1989. -Vol. l.-P. 13-32.

69. Fabrikanos A., Athanassiou S., Lieser K.H. Darstellung stabiler Hydrosole von Gold und Silber durch Reduction mit Athylendiamintetraessigsaure // Ztschr. Naturforsch. - 1963. -Bd. 18. - S. 612-617.

70. Tschopp J., Podack E.R., Muller-Eberchard H.J. Ultrastructure of the membrane attack complex of complement: Detection of the tetramolecular C9-polymerizing complex C5b-8 // Proc. Nat. Acad. Sci. US. - P. 7474-7478.

71. Stathis E.C., Fabricanos A. Preparation of colloidal gold // Chem. Industr. (London). - 1958. - Vol. 27. - P. 860-861.

72. Baschong W., Lucocq J.M., Roth J. "Thiocyanate gold": Small (2-3 nm) colloidal gold for affinity cytochemical labeling in electron microscopy // Histochemictry. - 1985. - Vol. 83. - P. 409-411.

73. Образование коллоидов / Сведберг Т. - Л.: Науч. хим.-техн. изд-во, 1927. -111 с.

74. Turkevich J., Stevenson Р.С., Hillier J. A Study of the nucleation and growth process in the synthesis of colloidal gold // Discuss. Faraday Soc. - 1951. - Vol. 11. - P. 55-75.

75. Stendroff C.J., Herschbach D.R. Kinetics of displacement and charge transferreactions probed by SERS: Evidence for distinct donor and acceptor sites on colloidal gold surfaces // Langmuir. - 1985. - Vol. l.-P. 131-135.

76. Shulepov S.Yu., Frens G. Surface roughness and particle size effect on the rate of perikinetic coagulation: experimental // J. Colloid Interface Sci. - 1996. - Vol. 182. -P. 388-394.

77. Njoki P.N., Lim I.-I.S., Mott D., Park H.-Y., Khan В., Mishra S., Sujakumar R., Luo J., Zhong C.J. Size correlation of optical and spectroscopic properties for gold nanoparticles // J. Phys. Chem. B. - 2007. - Vol. 111. - P. 14664-14669.

78. Brust M., Walker M., Bethell D., Schiffrin D.J., Whyman R. Synthesis of Thiol-derivatised Gold Nanoparticles in a Two-phase Liquid-Liquid System // Chem. Comm. - 1994.-P. 801-802.

79. Tzhayik O., Sawant P., Efrima S., Kovalev E., Klug J.T. Xanthate Capping of Silver, Copper, and Gold Colloids // Langmuir. - 2002. - Vol. 18. - P. 3364-3369.

80. Porter L.A., Ji D., Westcott S.L., Graupe M., Czernuszewicz, R. S., Halas N.J., Lee, T.R. Gold and Silver Nanoparticles Functionalized by the Adsorption of Dialkyl Disulfides // Langmuir. - 1998. - Vol. 14. - P. 7378-7386.

81. Resch R., Baur C., Bugacov A., Koel B.E., Echternach P.M., Madhukar A., Montoya, N., Requicha A.A., Will P. Linking and Manipulation of Gold Multinanoparticle Structures Using Dithiols and Scanning Force Mircroscopy // J. Phys. Chem. B. - 1999. - Vol. 103. - P. 3647-3650.

82. Chen S. Murray R. W. Arenethiolate Mondayer-Protected Gold Clusters // Langmuir. - 1999. - Vol. 15. - P. 682-689.

83. Ingram R. S., Hostetler M. J., Murray R.W. Poly-hetero-©-functionalized Alkanethiolate-Stabilized Gold Cluster Compounds // J. Am. Chem. Soc. - 1997. -Vol. 119.-P. 9175-9178.

84. Templeton A. C., Wuelfing W. P., Murray R. W. Monolayer-Protected Cluster Molecules // Acc. Chem. Res. - 2000. - Vol. 33. - P. 27-36.

85. Karg M., Schelero N., Oppel C., Gradzielski M., Hellweg T., Klitzing R. Versatile Phase Transfer of Gold Nanoparticles from Aqueous Media to Different Organic Media // Chem. Eur. J. - 2011. - Vol. 17. - P. 4648-4654.

86. Jana N.R., Gearhert L., Murphy C.J. Wet chemical synthesis of high aspect ratio cylindrical gold nanorods // J. Phys. Chem. - 2001. - Vol. 105. - P. 4065-4067.

87. Nikoobakht B., El-Sayed M.A. Preparation and growth mechanism of gold nanorods using seed-mediated growth method // Chem. Mater. - 2003. - Vol. 15. -P. 1957-1962.

88. Wilkinson P. Understanding Gold Plating // Gold Bull. - 1986. - Vol. 19. - P.

75-81.

89. Gold Usage / Rapson W. S., Groenewald T. - London: Academic Press, 1978. -384 p.

90. Harrison J.A., Thompson J. The electrodeposition of precious metals; a review of the fundamental electrochemistry // Electrochim. Acta. - 1973. - Vol. 18. - P. 829834.

91. Honma H., Hagiwara K. Fabrication of Gold Bumps Using Gold Sulfite Plating // J. Electrochem. Soc. - 1995. - Vol. 142, № 1. - P. 81-87.

92. Okinaka Y., Hoshin M.. Some Recent Topics in Gold Plating for Electronics Applications // Gold Bull. - 1998. - Vol. 31. - P. 3-13.

93. Kato M., Okinaka Y.. Some Recent Developments in Non-Cyanide Gold Plating for Electronics Applications // Gold Bull. - 2004. - Vol. 37. - P. 37-44.

94. Смирнов K.H., Харламов В.И. Бесцианидные электролиты золочения / http://www.galvanicms.rU/lit/articles/cyan-fi:ee_aurum_plating_electrolytes.php.

95. Alymore М. G., Muir D. Thiosulphate leaching of gold - A review // Minerals Engineering. - 2001. - Vol. 14. - P. 135-174 2001.

96. Hezard Т., Fajerwerg K., Evrard D., Colliere V., Behra P., Gros P. Gold nanoparticles electrodeposited on glassy carbon using cyclic voltammetry: Application to Hg(II) trace analysis // Journal of Electroanalytical Chemistry. - 2012. - Vol. 664. - P. 46-52.

97. Etesami M., Mohamed N. Catalytic Application of Gold Nanoparticles Electrodeposited by Fast Scan Cyclic Voltammetry to Glycerol Electrooxidation in Alkaline Electrolyte // Int. J. Electrochem. Sci. - 2011. - Vol. 6. - P. 4676-4689.

98. Tang Y.-Y., Chen P.-Y. Gold Nanoparticle-electrodeposited Electrodes Used for p-Nitrophenol Detection in Acidic Media: Effect of Electrodeposition Parameters on Particle Density, Size Distribution, and Electrode Performance // Journal of the Chinese Chemical Society. - 2011. - Vol. 58. - P. 723-731.

99. Semaltianos N.G., Wilson E.G. Investigation of the surface morphology of thermally evaporated thin gold films on mica, glass, silicon and calcium fluoride substrates by scanning tunneling microscopy // Thin Solid Films. - 2000. - Vol. 366. - P. 111-116.

100. Gorelik V.S., Zlobina L.I., Karavanskii V.A., Troitskii O.A., Chanieva R.I. Visible Reflection Spectra of Synthetic Opal Infiltrated with Gold Nanoparticles // Inorg. Mater. - 2010. - Vol. 46, №8. - P. 862-865.

101. Veith G.M., Lupini A.R., Pennycook S.J., Ownby G.W., Dudney N.J. Nanoparticles of gold on у-А1203 produced by dc magnetron sputtering // Journal of Catalysis. - 2005. - Vol. 231. - P. 151-158.

102. Brett A.-M.O., Matysik F.-M., Vieira M.T. Thin-Film Gold Electrodes Produced by Magnetron Sputtering. Voltammetric Characteristics and Application in Batch Injection Analysis with Amperometric Detection // Elertroannlysis. - 1997. -Vol. 9, №3. - P. 209-212.

103. Chun S.-Y. Effect of Target Bias Voltage on Gold Films Using Plasma Based Ion Implantation // Journal of the Korean Physical Society. - 2008. - Vol. 52, №4. - P. 1227-1230.

104. Paul R., Hussain S., Pal A.K. Characterization of nanocrystalline gold/DLC composite films synthesized by plasma CVD technique // Appl. Surf. Sci. - 2009. -Vol. 255.-P. 8076-8083.

105. Меньшикова А.Ю., Бойцова Т.Б., Евсеева Т.Г., Шевченко Н.Н., Шабсельс Б.М., Исаева Е.И., Горбунова В.В. Модификация поверхности полимерных микросфер наночастицами золота // Российские нанотехнологии. -2009.-Т. 4.-С. 133-138.

106. Niidome Y., Hori A., Sato Т., Yamada S. Enormous Size Growth of Thiol passivated Gold Nanoparticles Induced by Near-IR Laser Light // Chem. Lett. - 2000. -P. 310-311.

107. Henglein A., Meisel D. Radiolytic Control of the Size of Colloidal Gold Nanoparticles // Langmuir. - 1998. - Vol. 14. - P. 7392-7396.

108. Reed J. A., Cook A., Halaas D.J., Parazolli P., Robinson A., Matula T.J., Griezer F. The Effects of Microgravity on Nanoparticle Size Distributions Generated by the Ultrasonic Reduction of an Aqueous Gold-Chloride Solution // Ultrason. Sonochem. - 2003. - Vol. 10. - P. 285-289.

109. Zhou Y., Wang C.Y., Zhu Y.R., Chen Z.Y. A Novel Ultraviolet Irradiation Technique for Shape-Controlled Synthesis of Gold Nanoparticles at Room Temperature //Chem. Mater. - 1999.-Vol. 11.-P. 2310-2312.

110. Mizukoshi Y., Okitsu K., Maeda Y., Yamamoto T.A., Oshima R., Nagata Y. Sonochemical Preparation of Bimetallic Nanoparticles of Gold/Palladium in Aqueous Solution // J. Phys. Chem. B. - 1997. - Vol. 101. - P. 7033-7037.

111. Pol V.G., Gedanken A., Calderro-Moreno J. Deposition of Gold Nanoparticles on Silica Spheres: A Sonochemical Approach // Chem. Mater. - 2003. -Vol. 15.-P. 1111-1118.

112. Topsoe H. // Ber. Wien. Akad. II. - 1874. - Vol. 69. - P. 261a.

113. Брауэр Г., Вайгель Ф., Кюиль X. и др. Руководство по неорганическому синтезу: В 6-ти томах. Т. 4. Пер. с нем. / Под ред. Г. Брауэра - М.: Мир, 1985. -С.1100.

114. Синтез новых органических реагентов для неорганического анализа / Бусев А.И. - М.: Издательство Московского университета, 1972. - С. 171.

115. Жаркова Г.И., Игуменов И.К., Тюкалевская Н.М. Р-дикетонаты палладия (И) // Коорд. хим. - 1988. - Т. 14, №1. - С. 67-74.

116. Stober W., Fink A., Bohn Е., Controlled Growth of Monodisperse Silica Spheres in the Micron Size Range // J. Coll. Inter. Sci. - 1968. - Vol. 26. - P. 62-69.

117. Colvin V.L. From Opal to Optics: Colloidal Photonic Crystals // MRS Bulletin. - 2001, Aug. - P. 637-641.

118. Zhao D., Yang P., Margolese D.I., Chmelka B.F., Stucky G.D. Synthesis of Continuous Mesoporous Silica Thin Films with Three-Dimensional Accessible Pore Structures // Chem. Comm. - 1998. - P. 2499-2500.

119. Liz-Marzan L. M., Giersig M., Mulvaney P. Synthesis of Nanosized Gold-Silica Core-Shell Particles // Langmuir. - 1996. - Vol. 12. - P. 4329-4335.

120. Lukomska J., Malicka J., Gryczynski I., Lakowicz J.R. Fluorescence Enhancements on Silver Colloid Coated Surfaces // Journal of Fluorescence. - 2004. -Vol. 14, №. 4.-P. 417-423.

121. Igumenov I.K., Semyannikov P.P., Trubin S.V., Morozova N.B., Gelfond N.V., Mischenko A.V., Norman J.A. Approach to control deposition of ultra thin films from metal organic precursors: Ru deposition // Surf. Coat. Technol. - 2007. - Vol. 201. -P. 9003-9008.

122. Anderson G.K. The Organic Chemistry of Gold // Adv. Organomet. Chem. -1982.-Vol. 20.-P. 39-114.

123. Puddephatt R.J. The Chemistry of Gold // Topics in Inorganic Chemistry and General Chemistry, 16 / Ed. R.J.H. Clark, - Amsterdam: Elsever. - 1978. - P. 274.

124. Bergfeld M., Schnidbaur H. Dimethylgoldacetat und verwandte Verbindungen // Chem.Ber. - 1969. - Vol. 102, № 7. - P. 2408-2413.

125. Прогнозирование в титриметрических методах анализа с использованием реакций комплексообразования и осаждения / Чеботарёв В.К. -Барнаул, 1999. - 114 с.

126. Bennet М.А., Hoskins К., Kneen W.R., Nyholm R.S., Hitchcock P.B., Mason R., Robertson G.B., Towl A.D.C. Formation of Gold(III)-Carbon o-Bonds in the Bromination of Linear Gold(I) Complexes of Olefinic Tertiary Phosphines // J. Am. Chem. Soc. - 1971. - Vol. 93, № 18. - P. 4591-4592.

127. Наканиси К. Инфракрасные спектры и строение органических соединений. Пер. с англ. / Под ред. Мальцева А.А. - М.: Мир, 1965. - С. 68.

128. Parkhomenko R., Alexeyev A., Morozova N. and Igumenov I. Syntheses, structures, and thermal properties of new Au(III) organometallic compounds with ancillary S-, 0-, and/or N-donor ligands // J. Coord. Chem. - 2012. - Vol. 65, № 18. - P. 3227-3237.

129. Inorganic and Organometallic Reaction Mechanisms, 2nd ed. / Atwood J.D. -Weinheim: VCH, 1997. - 328 p.

130. Anderson K.M., Orpen A.G. On the relative magnitudes of the cis and trans influences in metal complexes // Chem. Comm. - 2001. - P. 2682-2683.

131. Parkhomenko R.G., Turgambaeva A.E., Morozova N.B., Trubin S.V., Krisyuk V.V., Igumenov I.K. New liquid precursors for MOCVD of gold films // Chem. Vap. Depos. - 2013. - Vol. 19. - P. 38-44.

132. С. Дэшман. Научные основы вакуумной техники. Пер. с англ. / Под ред. Меньшикова М.И. - М.: Мир, 1965. - С. 60.

133. NIST Standard Reference Database 69: NIST Chemistry WebBook.

134. Norman G.R., LeSuer W.M., Mastin T.W. Chemistry of the Aliphatic Esters of Thiophosphoric Acids. II. 0,0,S-Trialkyl Thionophosphates by the Addition of 0,0-Dialkyl Thiolthionophosphoric Acids to Olefins // J. Am. Chem. Soc. - 1952. - Vol. 74. -P. 161-163.

135. Гельфонд H.B. Физико-химические закономерности формирования наноструктурированных металлических и оксидных слоёв в процессах химического осаждения из паров соединений металлов с органическими

лигандами / Диссертация на соискание учёной степени доктора химических наук. - Новосибирск, 2010. - 314 с.

136. Parkhomenko R., Morozova N., Zharkova G., Shubin Yu., Trubin S., Kriventsov V., Kuchumov В., Koretskaya Т., Igumenov I. Deposition of Au thin films and nanoparticles by MOCVD // Chem. Vap. Depos. - 2012. - Vol. 18. - P. 336-342.

137. Lai Y.H., Yeh C.T, Lin H.J., Chen C.T., Hung W.H. Thermal Reaction of Trimethylphosphine and Triethylphosphine on Cu(110) // J. Phys. Chem. B. - 2002. -Vol. 106.-P. 1722-1727.

138. Валиев K.A., Беликов Jl.B., Пономарёв A.H., Рыжиков И.А., Федотов С.В. Окисление поверхности арсенида галлия при ВУФ очистке на воздухе // Микроэлектроника. - 1993. - Т. 22, №2. - С. 50-52.

139. Айзенберг И.А., Апаршина Л.И. // Микроэлектроника. - 1992. - Т. 21, №6. - С. 22-26.

140. Богданов А.Л., Валиев К.А., Беликов Л.В., Душенков С.Д., Ивонова М.И. Роль активных кислородсодержащих частиц в процессе ВУФ-очистки поверхности неорганической подложки // Микроэлектроника. - 1989. - Т. 18, №6. -С. 540-543.

141. Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy / Ed. by Chastain J. and King R.C. - Physical Electronics; Eden Prairie, MN, 1992. - 261 p.

142. Handbook of Monochromatic XPS Spectra - The Elements and Native Oxides / Crist B.V. - John Wiley & Sons: Chichester, 2000. - 548 p.

143. Ивченко E. Л., Поддубный A. H. Резонансные трёхмерные фотонные кристаллы // Физика твёрдого тела. - 2006. Т. 48, № 3. - С. 540-547.

144. Химия кремнезема, Т. 1, 2 / Айлер Р. - М.: Мир, 1982. - 1127 с.

145. Кремнийорганические соединения / Андрианов К.А. - М.: Госхимиздат, 1955.-288 с.

146. Parkhomenko R.G., Plekhanov A.I., Kuchyanov A.S., Trubin S.V., Kuchumov B.M., Igumenov I.K. Gold nanostructure formation in the photonic crystal matrix by means of MOCVD technique // Surf. Coat. Technol. - 2013. - Vol. 230. - P. 279-283.

147. Наноплазмоника / Климов B.B. - M.: Физматлит, 2009. - С. 144-145.

148. Bergman D.J., Stockman M.I. Surface Plasmon Amplification by Stimulated Emission of Radiation: Quantum Generation of Coherent Surface Plasmons in Nanosystems // Phys. Rev. Lett. - 2003. - Vol. 90, № 2. - P. 027402.

149. Noginov M.A., Zhu G., Belgrave A.M., Bakker R., Shalaev V.M., Narimanov E.E., Stout S., Herz E., Suteewong T., Wiesner U. Demonstration of a spaser-based nanolaser // Nature. - 2009. - Vol. 460. - P. 1110-1113.

150. Oulton R.F., Sorger V.J., Zentgraf T., Ma R.-M., Gladden C., Dai L., Bartal G., Zhang X. Plasmon lasers at deep subwavelength scale // Nature. - 2009. - Vol. 461. -P. 629-632.