Повышение работоспособности инструментов из металлокерамических твердых сплавов, работающих в условиях прерывистого резания, посредством их ионно-вакуумной модификации тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.03.01, кандидат технических наук Круглов, Андрей Игоревич

• Круглов, Андрей Игоревич
• кандидат технических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат технических наук Круглов, Андрей Игоревич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ВОПРОСА ПОВЫШЕНИЯ

РАБОТОСПОСОБНОСТИ МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ТВЕРДОСПЛАВНЫХ ИНСТРУМЕНТОВ ПОСРЕДСТВОМ УПРАВЛЕНИЯ СВОЙСТВАМИ ИХ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ. ЦЕЛЬ И ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ.

1.1. Влияние химического, структурного, фазового состава металлокерамических твердых сплавов и их дефектной структуры на физико-механические свойства и эксплутационные характеристики инструментов.

1.2. Основные причины потери работоспособности инструментов из металлокерамических твердых сплавов, работающих в условиях прерывистого резания.

1.3. Способы ионно-вакуумной обработки, реализующие процесс ИВМ, их влияние на основные физико-химико-механические и эксплутационные свойства материалов изделий.

1.3.1. Ионно-вакуумное распыление поверхности.

1.3.2. Нанесение ионно-вакуумного покрытия способом терморезистивного напыления.

1.3.3. Нанесение покрытия методом вакуумного конденсационного напыления с использованием магнетронной распылительной системы.

1.3.4. Нанесение покрытия способом конденсации в вакууме в условиях ионной бомбардировки.

ГЛАВА 2.СТРУКТУР А И СОСТАВ МОДИФИЦИРОВАННОГО ПОВЕРХНОСТНОГО СЛОЯ ТВЕРДОСПЛАВНЫХ ИНСТРУМЕНТОВ.

2.1 Разработка структуры модифицированного поверхностного слоя как набора функциональных барьерных подслоев.

2.2. Выбор модифицирующих элементов для направленного формирования свойств функциональных барьерных подслоев модифицированного поверхностного слоя.

2.3. Выбор состава и прогнозирование свойств модифицированного поверхностного слоя рабочих поверхностей металлокерамических твердых сплавов.

2.4. Рекомендации по выбору модифицирующих элементов для

ИВМ металлокерамических твердых сплавов.

2.4.Содержание технологической операции ИВМ и оборудование для ее реализации.

ГЛАВА З.ЭКСПЕРЕМНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ИОННО-ВАКУУМНОЙ МОДИФИКАЦИИ НА КАЧЕСТВО ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ И РАБОТОСПОСОБНОСТЬ ИНСТРУМЕНТОВ ИЗ МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ТВЕРДЫХ

СПЛАВОВ.

3.1. Влияние ионно-вакуумной модификации на дефектную структуру и состав поверхностного слоя пластин из t металлокерамических твердых сплавов.

3.2. Влияние ионно-вакуумной модификации на физико-механические свойства режущих пластин из металлокерамических твердых сплавов.

3.3. Исследование воздействия ионно-вакуумной модификации на эксплутационные свойства металлокерамических твердосплавных инструментов, работающих в условиях прерывистого резания.

ГЛАВА 4. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕКОМЕНДАЦИИ ПО РАЗРАБОТКЕ СОДЕРЖАНИЯ ОПЕРАЦИИ ИОННО-ВАКУУМНОЙ МОДИФИКАЦИИ ИНСТРУМЕНТОВ ИЗ

МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ТВЕРДЫХ СПЛАВОВ.

4.1. Стадии проектирования технологического процесса ИВМ инструментов и содержания операции ИВМ по технологическим переходам.

4.2. Выбор способов ионно-вакуумной обработки для реализации технологических переходов операции ИВМ.

4.3 Выбор оборудования для реализации способов ионновакуумной обработки поверхности инструментов.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение работоспособности инструментов из металлокерамических твердых сплавов, работающих в условиях прерывистого резания, посредством их ионно-вакуумной модификации»

Актуальность темы

Улучшение эксплутационных характеристик инструментов, таких как износо-, тепло-, коррозионная стойкость, твердость, микрорельеф поверхности и другие, являются одним из основных направлений повышения ресурса и надежности их работы. Важные эксплутационные показатели работоспособности инструментов — долговечность и безотказность в работе, ремонтопригодность - в значительной степени определяются качеством поверхностных слоев. Именно в этих слоях зарождаются и развиваются процессы термической и механической усталости, пластической деформации, истирания и коррозии, приводящие к снижению производительности обработки и качества выпускаемой продукции. Формирование высококачественных поверхностных слоев — одно из наиболее эффективных средств повышения работоспособности инструментов.

Наряду с традиционными способами повышения эксплутационных свойств - термическая и химико-термическая обработка, упрочнение поверхности путем пластического деформирования, механическая обработка со снятием поверхностных слоев, легирование - в настоящее время появились новые перспективные так называемые физико-технические, или электрофизические способы обработки. Эти способы, как правило, связаны с использованием различных нетрадиционных источников энергии (лазерная, плазменная, ультразвуковая, магнитная, электронная, ионная обработки), обладают высокой производительностью, хорошей воспроизводимостью результатов, способны гораздо сильнее влиять на свойства поверхностных слоев, чем традиционно применяемая поверхностная обработка. К таким способам относится обработка изделий в вакууме с использованием энергии пучков ускоренных ионов и атомов.

Эти способы в большей или меньшей степени изменяют свойства изделий, т.е. модифицируют их. Поэтому все они получили общее название - ионно-вакуумная модификация.

Режущие инструменты из металлокерамических твердых сплавов обладают более высокими эксплутационными свойствами по сравнению с инструментами из инструментальных сталей. Однако им присущи и некоторые недостатки, такие, как высокая стоимость, невысокие прочностные характеристики при работе на изгиб и растяжение, хрупкий характер разрушения при воздействии циклических силовых и тепловых нагрузок. Последнее обстоятельство особенно сильно проявляется при использовании металлокерамических твердых сплавов в качестве инструментальных материалов для режущих элементов инструментов, работающих в условиях прерывистого резания, в частности, фрез, которые и стали объектом исследований, представленных в данной работе.

В связи с вышеизложенным, улучшение эксплутационных характеристик поверхностных слоев инструментов из металлокерамических твердых сплавов посредством их ионно-вакуумный модификации является решением актуальной научной задачи, имеющей важное народнохозяйственное значение.

Цель работы

Повышение работоспособности инструментов из металлокерамических твердых сплавов, работающих в условиях прерывистого резания, на основе направленного улучшения свойств их поверхностных слоев посредством ионно-вакуумной модификации.

Научная новизна работы заключается в: предложенном механизме повышения физико-механических и эксплутационных свойств инструментов из металлокерамических твердых сплавов посредством ионно-вакуумной модификации их рабочих поверхностей; методике управления качеством поверхностных слоев металлокерамических твердых сплавов, работающих в условиях прерывистого резания, посредством их ионно-вакуумной обработки;

- доказательстве возможности использования принципа суперпозиции при формировании функциональных барьерных подслоев на рабочих поверхностях инструментов.

Практическая ценность работы заключается в:

- структуре и составе модифицированного поверхностного слоя инструментов из металлокерамических твердых сплавов, работающих в условиях прерывистого резания, приводящего к повышению их работоспособности;

- установленных областях рационального применения способов ионно-вакуумной модификации поверхности инструментов из металлокерамических твердых сплавов, и оценке возможности их последовательного и параллельного осуществления;

- технологических рекомендациях по проектированию типовых, экологически чистых, процессов финишной ионно-вакуумной модификации металлокерамических инструментов.

Реализация работы

Методики по оценке структуры и состава модифицированного поверхностного слоя пластин твердого сплава для инструмента, работающего в условиях прерывистого резания, прошли испытания в ОАО НИТИ Энергомаш и рекомендованы к внедрению в энергомашиностроение.

Технологические рекомендации по нанесению покрытий на режущий инструмент, оснащенного пластинами твердого сплава, приняты к внедрению в концерне «Силовые машины».

Результаты исследований используются в учебном процессе при чтении лекций по дисциплинам «Технология машиностроения» (специальная часть) и «Технология инструментального производства» в ПИМаш.

Апробация работы

Основные положения работы докладывались и обсуждались на Международных и Республиканских конференциях в городах Уфа, Рыбинск, Волгоград, Харьков, С.-Петербург, на научно-технических семинарах в СПбГСЗТУ и кафедр «Технология машиностроения» и «Резание, станки и инструменты» ПИМаш в 2002-2004 гг.

Публикации

По материалам диссертации опубликовано 11 печатных работ, в том числе одно учебное пособие.

Структура и объем работы.

Диссертация изложена на 135 страницах, содержит 37 рисунков, 8 таблиц, состоит из введения, 4 глав, выводов, списка литературы, включающего 126 наименований и приложения.

Заключение диссертации по теме «Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки», Круглов, Андрей Игоревич

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ.

Приведенные комплекс исследований позволил сделать следующие выводы по работе:

1. Предложен метод ослабления действия основных вредных факторов и процессов, приводящих к потере работоспособности инструментов из металлокерамических твердых сплавов, работающих в условиях прерывистого резания, заключающийся в формировании модифицированного поверхностного слоя, состоящего из функциональных барьерных подслоев, на рабочих поверхностях инструментов.

2. Предложена методика управления качеством поверхностных слоев режущих твердосплавных инструментов посредством оценки направления эволюции конфигурационной модели вещества (инструментально материала) под действием возмущающих факторов — модифицирующих элементов.

3. Разработаны структура и состав модифицированного поверхностного слоя рабочих поверхностей режущих пластин из металлокерамических твердых сплавов, работающих в условиях прерывистого резания, приводящие к повышению их работоспособности, представленные как композиция функциональных барьерных подслоев Cr-Al-(Ti+N).

4. Разработана структура типовой технологической операции ионно-вакуумной модификации поверхностных слоев режущих пластин из металлокерамических твердых сплавов, работающих в условиях прерывистого резания, включающей следующие переходы: а) ионно-вакуумное распыление дефектного поверхностного слоя с целью снижения вероятности разрушения твердосплавных пластин в процессе эксплуатации и подготовки поверхностей пластин к нанесению покрытия; б) ионно-вакуумное микролегирование поверхностного слоя хромом, приводящее к созданию переходного подслоя между основой и покрытием; в) нанесение теплоотводящего подслоя алюминия; г) нанесение износостойкого подслоя титана в атмосфере азота.

5. Для реализации типовой технологической операции ИВМ предложено использовать следующие способы ионно-вакуумной обработки: а) ионно-плазменное травление — для распыления дефектного поверхностного слоя; б) низкоэнергетическую ионную имплантацию - для формирования переходного подслоя; в) нанесение покрытия при помощи магнетронной распылительной системы — для формирования теплоотводящего и износостойкого подслоя;

6. Экспериментальными исследованиями подтверждена правильность предложенных в работе научных положений и технологических рекомендаций по формирования с помощью ионно-вакуумной обработки рациональной структуры поверхностных слоев твердосплавных инструментов, обеспечивающей направленное изменение их химического состава, повышение микротвердости, улучшение параметров микропрофиля поверхности, удаление поверхностных дефектов и отвод тепла от режущей кромки.

7. Установлено и подтверждено, что стойкость торцевых фрез с режущими пластинами из металлокерамических твердых сплавов ВК8 и Т15К6, прошедших ИВМ по разработанным в диссертации рекомендациям, возросла в среднем в 1,5.4,0 раза при обработке различных конструкционных материалов.

8. Созданы технологические рекомендации по разработке содержания операции ионно-вакуумной модификации основных групп металлокерамических твердых сплавов, по выбору способов ИВО и оборудования для реализации разработанных операций ИВМ.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Круглов, Андрей Игоревич, 2004 год

1. Креймер Г.С. Прочность твердых сплавов. — М.: Металлургия, 1971. — 248 с.

2. Подпоркин В.Г., Бердников Л.Н. Фрезерование труднообрабатываемых материалов. — Л.: Машиностроение, 1983. — 136 с.

3. Лоладзе Т.Н. Износ режущего инструмента. М.: Машгиз, 1958. -335 с.

4. Сенчило И.А., Зубарев Ю.М., Бабошкин А.Ф., Круглов А.И., Ревин И.Н. Технология обработки с использованием потоков высокоэнергетических частиц. СПб., ПИМаш, 2004 г. - 114 с.

5. Хирвовен Дж.К., ред. Ионная имплантация. — М.: Металлургия, 1985. -392с.

6. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками/ Под ред. Дж.М.Поута и др. М.: Машиностроение, 1987.-424с.

7. Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И. Физические основы электронной и ионной технологии. — М.: Высшая школа, 1984.

8. Рассел X., Руге И. Ионная имплантация. — М.: Наука, 1983.

9. Попов В.Ф., Горин Ю.Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии. — М.: Высшая школа, 1988. — 255с.

10. Симонов В.В., Корнилов Л.А. и др. Оборудование ионной имплантации. — М.: Радио и связь, 1988. 184с.

11. Денбновецкий С.В., Барченко В.Т., Шмырева Л.Н. Физические основы генерации плазмы в ионно-плазменных устройствах технологического назначения. Киев: УМК ВО, 1989. - 152с.

12. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. — М.: Радио и связь, 1986. 232с.

13. Морган, Келли, Дэвнс. Техника получения интенсивных ионных пучков с постоянным током// Приборы для научных исследований, №4, 1967, с.3-16.

14. Корлев Е.Н. Ионный источник с холодным катодом для промышленных ионно-лучевых установок// Электронная промышленность, 1982, вып.4(110). С.46-47.

15. Таран В.М., Орлов В.И. Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники. Серия 7, выпуск 16(1317). М.: ЦНИИ «Электроника», 1987.

16. Данилин B.C., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и ичистки материалов. М.: Энергоатомиздат, 1987.

17. Белевский В.П., Кузьмичев А.И. Методы термоинного осаждения для нанесения металлических покрытий. — Киев: Знание, 1984.

18. Антонов В.А. Технология производства электровакуумных полупроводниковых приборов. М: Высшая школа, 1979. - 368с.

19. Майссел JL, Гленг Г., ред. Технология тонких пленок. T.I. М.: Советское радио, 1977. — 664с.

20. Ройх И.Л., Колтунова JI.H., Федосов С.Н. Нанесение защитных покрытий в вакууме. — М.: Машиностроение, 1976. — 368с.

21. Ройх И.Л., Колтунова JI.H., Лебединский О.В. Защитные покрытия, получаемые методом ионного осаждения в вакууме (обзор). Защита металлов, т.ХШ, 6, ноябрь - декабрь 1977. с.649-661.

22. Корчагин Б.В., Орлов В.И. Нанесение металлов и их соединений методом магнетронного и диодного распыления. Серия 7, выпуск 15 (1222). -М.: ЦНИИ «Электроника», 1986.

23. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982.

24. Лабунов В.А., Данилович Н.И. и др. Современные магнетронные распылительные системы// Зарубежная электронная техника, 1982, №10. с.З-61.

25. Аппаратура плазменного напыления: Обзор. Сер. С-6-3. Технолония металлообрабатывающего производства. М.: НИИМАШ, 1984. - 53с.

26. Верещака А.С. Повышение работоспособности режущих инструментов нанесением износостойких покрытий. Автореф. Дисс. Д.т.н. — М.: 1986.-46с.

27. Табаков В.П. Повышение эффективности режущего инструмента путем направленного изменения параметров структуры и свойств материала износостойкого покрытия. Автореф. Дисс. Д.т.н. — Ульяновск, 1992.

28. Полянсков Ю.В., Табаков В.П. и др. Повышение работоспособности режущего инструмента с покрытием// Физика износостойкости поверхности металлов.-Л.: ФТИ, 1988. с.212-216.

29. Табаков В.П., Николаев Ю.Н. Повышение стойкости режущего инструмента тупеем изменения адгезионно-прочностных свойств износостойкого покрытия// Станки и инструмент, № 3, 1990. с.22-23.

30. Верещака А.С., Третьяков И.П. Режущие инструменты с износостойкими покрытиями. — М.: Машиностроение, 1986. 192с.

31. Гаврилов А.Г., Курбатова Е.И., Синелыциков А.К. Исследование возможности дополнительного легирования поверхности инструментальных материалов методом КИБ// Эффективность использования с износостойким покрытием. — М., 1985. с.20-26.

32. Буняков Ю.М., Волосатое В.А. Опыт упрочнения режущих инструментов// Прогрессивная технология металлообработки. — JI.: Лениздат, 1985.-205с.

33. Касьянов С.В. Исследование режущих свойств и разработка путей дальнейшего развития инструментов с износостойкими покрытиями. Автореф. Дисс. К.т.н. — М., 1978

34. Брень В.Г., Кунченко В.В., Локошко В.В. и др. Износостойкие нитридосодержащие покрытия на основе сплавов молибдена, полученные методом КИБ// Защита металлов, №3, 1981. с.284-289.

35. Кальнер Б.Д., Ковригин Б.А., Ярембаш И.Е. Структура и свойства нитридных покрытий на инструментальных сталях// Металловедение и термическая обработка металлов, №9, 1980. с.56-58.

36. Иванов В.А. Научные основы обеспечения качества шлифования специальных покрытий в условиях гибкого компьютерно-управляемого производства. Автореф. Дисс. Д.т.н. — Спб, 1994.

37. Кабалдин Ю.Г. Повышение работоспособности и надежности рабочей части режущего инструмента в автоматизированном производстве. Автореф. Дисс. Д.т.н.-М., 1987.

38. Григорьев С.Н. Повышение производительности обработки резанием путем приведения инструмента с комплексной ионно-плазменной обработкой// В сб. «Чистовая обработка материалов резанием». М.: Знание, 1990. с.109-113.

39. Григорьев С.Н. Разработка принципов комплексной обработки режущего инструмента// В сб. «Современное электротермическое оборудование для поверхностного упрочнения деталей машин и инструментов». Саратов, 1990. с.31-32.

40. Кириллов А.К. Повышение работоспособности протяжного инструмента из быстрорежущей стали путем комплексной поверхностной обработки. Автореф. Дисс. К.т.н. -М., 1989.

41. Кадыржанов К.К. Создание физических основ ионных технологий повышения жаростойкости жаропрочных сплавов. Автореф. Дисс. д.ф. м.н. -Минск, 1993.

42. Кадыржанов К.К., Туркебаев Т.Э., Удовский A.JI. Физические основы ионных технологий создания стабильных многослойных металлических материалов. — Алма-Ата: «ПРИНТ», 1992. 196с.

43. Костржицкий А.И., Лебединский О.В. Многокомпонентные вакуумные покрытия. М.: Машиностроение, 1987. - 208с.

44. Бериш Р. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Т.2. М.: Мир, 1986.-484с.

45. Пранявичус Д., Дудонис Ю. Модификация свойств твердых тел ионными пучками. Вильнюс: Мокслас, 1980. — 191с.

46. Vossen, J.I. The preparation of substrates for film deposition using glow discharge techniques. J. Phys. E.: Sci. Inst., 1979, vol. 12. - p. 156-167/

47. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. — М.: Радио и связь, 1986. — 232с.

48. Предвадителев А.А., Опекунов В.Н. Эрозия поверхности материалов под действием ионной бомбардировки. — Физика и химия обработки материалов, 1977, №3. с.44-61.

49. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. — М.: Энергоиздат, 1987. — 264с.

50. Данилин Б.С., Киреев В.Ю., Кузнецов В.И. и др. Вакуумно-плазменные процессы травления микроструктур// Электронная техника. Сер. Материалы, 1982, вып.4 (165), часть 2, с.3-8; 1983, вып.8 (181), с.3-9; 1983, вып.9 (182), с.3-16.

51. Adams, А.С. Plasma planarisation// Solid state Techn., 1981, vol. 24, №4. -p. 178-181.

52. Greene, J.E. Optical spectroscopy for diagnostics and process control during glow charge etching and sputter deposition// J. Vac. Sci. Techn., 1978, vol. 15, №5.-p. 1718-1728/

53. Kelly, R. On the problem of whether mass or chemical bonding is more important to bomdardment induce compositional changes in glloys and oxides// Surface Sci., 1980, vol.100, №1, p. 85-107/

54. Патент ЕРВ (ЕР) МКИ 4 С23С 16/30, 16/56, заявка № 021254. Твердый сплав, обогащенный в поверхностном слое танталом, иобием, ванадием или их комбинацией, и способы его получения.

55. Патент Японии С23С 16/30, 16/32, 16/36, 11/40 заявка № 61-54114. Заявитель Металоверх Планзер. Приоритет Австрии, 81.12.24, А5557/81. Материал с высокой износостойкостью и способ его получения.

56. Патент ГДР. С23С 28/00, 3/00. Экон. Пат. № 242.431. Износостойкое дисперсное покрытие.

57. Патент ЕПВ (ЕР) С23С 4/00, 6/00, 8/00, С25Д 3/00, Е21в 3/00, заявка « 0168931. Способ получения износостойкого изделия.

58. Патент Франции. С22С 29/00. С23С 7/00, заявка № 2317368. Износостойкое покрытие металлов, состоящее из порошка никеля смешанного с агрегатами порошка никеля и смеси с порошком карбида вольфрама.

59. Патент ФРГ. С23С, 17/00, 7/00, заявка № 2356617. Способ нанесения устойчивых к высоким температурам и износу покрытий на металлические изделия.

60. Патент Великобритании. С23С 18/12, С04в 35/68, заявка № 2.155.497. Способ получения покрытий, представляющий собой термический барьер.

61. Патент Великобритании С23С 8/10, заявка « 2.158.844. Способ нанесения покрытия, образующего термический барьер, на металлическую подложку, и получаемый материал.

62. Патент Японии. С23С 16/30, 16/32, 16/34, 16/40, В23Р 15/28, заявлено 58-42657, 83.03.15. Заявитель Мицубиси Киндзоку К.К. Сверхтвердый сплав с покрытием для режущих инструментов.

63. Патент Великобритании. МКИ4 С23С 14/16, 14/24, заявка № 2.170.821. Пленка из смеси нитрида и карбида, полученная ионной имплантацией.

64. Патент США, С23С 7/00, С23Д 5/00, патент № 4.535.033. Тепловые барьерные покрытия.

65. Патент Франции. МКИ4 С23С 14/24, заявка № 2.579997. Способ обработки поверхности изделия и изделие, полученное этим способом.

66. А.С. СССР № 1086827 МКИ С23С 14/34. Способ поверхностного легирования титана.

67. МКИ4 С23С 14/48, Н 01 21/203, 21/205, заявка № 0207646. Осаждение плотных пленок с помощью двух ионных пучков.

68. Патент Великобритании. МКИ 4 С23С 14/48, заявка № 2.164.359. Обработка поверхности металлов.

69. Патент Японии. МКИ 4 С23С 14/06, 14/48, заявка № 61-57904. Способ поверхностной обработки.

70. Патент Японии, С23С, 16/42, заявка № 60-33190. Способ формирования пленки кремния на поверхности металлов в высокой прочностью сцепления с основой.

71. Патент Японии. С23С 22/24, С04В 37/02, заявка № 60-33361. Получение изделия из композиционного металлокерамического материала путем нанесения на поверхность металла слоев керамики различного состава и плотности.

72. Патент США. № 6.677.955. Заявители: Хаммонд Д.П., Дэвид С.А., декабрь 1984 г. Process for forming unusually strong joints beetween metsba and ceramics by brazing at.

73. Патент США № 4.490.229. Заявители: Митрич, М.Д., Совей, Д.С., Бэнкс, Б. А. 25 декабря 1984. Deposition of diamond like carbon films.

74. Патент США. № 4.437.962. Заявитель: Бэнкс, Б.А., март 20, 1984. Diamond like flake composites.

75. Патент США. № 4.094.764. Заявители: Боуч, Б., и др. Июнь 13, 1978. Device for cathodic sputtering ata nigh deposition rate.

76. Патент США. № 4.108.751. Заявители: Кинг, Ю.Д., август 22, 1978. Ion Deam implantation — sputtering.

77. Патент США. № 3.988955. Заявители: Энгел, Н.Н., Андерсон, Е.Н., ноябрь 2, 1976. Coated steel product and process of producing the same.

78. Патент США. № 4.351.712. Заявители: Гуомо, Д.Д., Харпер, Д.М.Е., сентябрь 28, 1982.

79. Патент ЕПВ (ЕР), С23С 4/00, В05Д 1/08, заявка № 0.202.187. Штампы для обработки металлов с покрытиями из тугоплавкого металла.

80. Патент ФРГ. С23С 13/00, заявка № 3.304.813. Режущий инструмент с износостойким покрытием из жаропрочных соединений тугоплавких металлов и способ изготовления такого инструмента.

81. Патент Японии, 3(51) МКИ С23С 11/08, 13/04, заявка № 59-37346. Элементы конструкции из стеллита с покрытием.

82. Патент Японии, МКИ 4 С23С 10/28, заявка № 60-17823. Антивибрационные материалы.

83. Копецкий Ч.В., ред. Ионно-лучевая модификация материалов. Аналитический обзор. М.: Международный центр научной и технической информации, 1987. 284 с.

84. Диденко А.Н., Лигачев А.Е., Куракин И.Б. Воздействие пучков заряженных частиц на поверхность металлов и сплавов. М.: Энергоатомиздат, 1987. 184 с.

85. Huw. W., Herman Н., Clyton С. Ion Implantation Mettallurgy. Ed. C.M. Preec, Hirvonen J.K. N.J.: TMS - ASME, 1980.

86. Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлы. — М.: Металлургия, 1990.

87. Гусева М.И. Ионная имплантация в неполупроводниковые материалы. В сб. Итоги науки и техники, сер.: Физические основы лазерной и пучковой технологии, т.5. М.: ГКНТ АН СССР, 1989.

88. Сенчило И.А. Теоритические и технологические основы направленного улучшения свойств поверхностных слоев изделий из инструментальных материалов посредством их ионно-вакуумной модификации. Автореф.дисс. д.т.н. СПб, 1995. 33 с.

89. Савицкий Е.М., Грибуля В.Б. Прогнозирование неорганических соединений с помощью ЭВМ. М., Наука, 1977. - 1936с.

90. Самсонов Г.В., Прядко И.Ф., Прядко Л.Ф. Конфигурационная модель вещества. Киев, Наукова Думка, 1971. - 233с.

91. Хауфман Л., Берштейн Т. Расчет диаграмм состояния с помощью ЭВМ. М.: Мир, 1972. 326с.

92. Никитков Н.В., Рабинович В.Б. и др. Скоростная алмазная обработка деталей из технической керамики. Библиотека шлифовальщика, выпуск 12. — Л.: Машиностроение, 1984. 136с.

93. Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. М.: Мир, 1989. - 268с.

94. Зандерман A.M., ред.Методы анализа поверхностей. М.: Мир, 1979. -582с.

95. Расчеты и испытания на прочность. Экспериментальные методы определения напряженно-деформированного состояния элементов машин и конструкций. Методические рекомендации. — М.: ВНИИМАШ, 1983. 64с.

96. Фридман Я.В. Механические свойства. Механические испытания. Конструкционная прочность. -М.: Машиностроение, 1974, т.1, 368с.

97. ЮО.Новое в области испытания на Микротвердость/ Материалы 4-го совещания по микротвердости. — М.: Наука, 1974. — 271 с.

98. Беркович Е.С., Матвеевский P.M., Емельянов Н.М., Скворцов В.Н. Развитие методы испытаний материалов на Микротвердость// Вестник машиностроения, 1985, № I, с.23-25.

99. Приборы и комплексы контроля качества машин. Составители: Валетов В.А., Васильков Д.В., Вейц В.Л. и др. СПб: АО «НПЦ КОНТАНТ», 1995.- 18с.

100. Петров В.М. Новый автоматизированный комплекс измерения микротвердости и других физико-механических параметров поверхностного слоя деталей машин/ Межвуз. Сб. научн.тр. Динамика виброактивных систем. Иркутск, 1994.

101. Синельников В. А., Турин В. Д. Тепловые условия работы быстрорежущего инструмента с покрытием из нитрида титана// Станки и инструмент, № I, 1985. с. 14-16.

102. Юб.Резников А.Н. Теплофизика процессов механической обработки материалов. — М.: Машиностроение, 1981. с.210-212.

103. Власов В.М. Работоспособность упрочненных трущихся поверхностей. М.: Машиностроение, 1987. - 304с.

104. Маталин А.А. Качество поверхности и эксплуатационные свойства деталей машин. М. - Л.: Машгиз, 1956. - 252с.

105. Маталин А.А. Технологические методы повышения долговечности деталей машин. Киев: Техника, 1971. - 141с.

106. НО.Комбалов B.C. Влияние шероховатости твердых тел на трение и износ. М.: Наука, 1974. - 11 Ос.111 .Ящерицын П.И. Технологическая наследственность в машиностроении. Минск: Наука и техника, 1977. - 254с.

107. Валетов В.А. Оптимизация микрогеометрии поверхностей деталей в приборостроении.-Л.: ЛИТМО, 1989.- 100с.

108. Валетов В. А. Возможные критерии оценки шероховатости обработанных поверхностей. Труды ЛКИ, 1976, вып. 108. с.135-140.

109. Демкин Н.Б., Рыжов Э.В. Качество поверхности и контакт деталей машин.-М.: Машиностроение, 1981.

110. Приборы и комплексы контроля качества машин. Составители: Валетов В.А., Васильков Д.В., Вейц В.Л. СПб: АО «НПЦ КОНТАКТ», 1995.- 18с.

111. Sayles R.S., Thomas T.R. Mapping a Small area of a Surface H.J. of Phys Eng.: Sc. Instruments, 1976, Vol.9, p. 855-861.

112. Sayles R.S., Thomas T.R. Stiffness of Machine Tool Voints. A Random Process Approach. J. Eng. Ind., Trans. ASME, Feb. 1977, p. 250-256.

113. Валетов В.А. О практической пригодности некоторых критериев для оценки шероховатости поверхности// Технология корпусостроения, судового машиностроения и сварки в судостроении. J1.: ЛКИ, 1978. - с.62-65.

114. Nayar P.R. Random Process Model of Rough Surfaces in Plastic Contact.// Wear, 1973, №26, p.305-333.

115. Whitehouse D. V. Beta Functions for Surface Typoloyie// Annals of the SIRP, 1978. Vol. 27/1, p.491-493.

116. Бакли Д. Поверхностные явления при адгезии и фрикционном взаимодействии/ Пер. с анг. А.В. Белого, Н.К. Мышкина. М.: Машиностроение, 1986. — 360с.

117. Шустер Л.Ш. Адгезионное взаимодействие режущего инструмента с обрабатываемым материалом. — М.: Машиностроение, 1988. 96с.123.3имон А.Д. Адгезия пленок и покрытий. — М.: Химия, 1977. 352с.

118. Кальвэ Э., Прат А. Микрокалориметрия. -М.: 1963. -477с.

119. Уголков В.Л. Микрокалориметрические исследования в жидко-твердых системах// Цемент, №8, 1982. с. 15-16.

120. Дифференциальных калометр. Коугия М.В., Уголков В.Л. А.С. СССР № 861983 от 02.01.80, опубл. 07.09.81.о