Повышение стойкости твердосплавного инструмента методом предварительной обработки мощным ионным пучком и осаждения нитрид-титанового покрытия тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.02.01, кандидат технических наук Тарбоков, Владислав Александрович

• Тарбоков, Владислав Александрович
• кандидат технических наук
• 2003

Оглавление диссертации кандидат технических наук Тарбоков, Владислав Александрович

Введение.

Глава 1. Методы упрочнения поверхностного слоя изделий из металлических материалов.

1.1. Основные методы повышения эксплуатационных свойств инструментальных материалов.

1.2. Применение концентрированных потоков энергии для модифицирования поверхностного слоя материалов.

1.3. Модифицирование поверхностного слоя металлических материалов МИЛ.

1.4. Виды покрытий.

1.5. Выбор вида покрытия.

Выводы.

Постановка задачи исследования.

Глава 2. Аппаратура и методика проведения исследований.

2.1. Сильноточный импульсный ионный ускоритель «ТЕМП».

2.2 Вакуумно-дуговая установка ННВ-6.6-И1.

2.3.Методика проведения исследований и обработки результатов экспериментов.

Глава 3. Модифицирование твердосплавных пластин на основе карбида вольфрама импульсным мощным ионным пучком.

3.1. Выбор режимов обработки твердых сплавов МИЛ.

3.2. Исследования рельефа поверхности твердосплавных пластин, обработанных импульсным мощным ионным пучком.

3.3. Изменения химического и фазового состава поверхностного слоя мишени.

3.4. Изменение микротвердости.

Выводы.

Глава 4. Влияние предварительной обработки твердосплавных режущих пластин импульсным мощным ионным пучком на характер изнашивания и разрушения TiN покрытия.

4.1 Скретч-метод измерения адгезионной прочности.

4.2. Зависимость адгезионной прочности покрытия от режимов предварительной обработки поверхности МИП.

4.3. Испытания режущих пластин с износостойким покрытием.

Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение стойкости твердосплавного инструмента методом предварительной обработки мощным ионным пучком и осаждения нитрид-титанового покрытия»

Актуальность темы. Нанесение износостойких покрытий находит широкое применение в современной промышленности для повышения эксплуатационных характеристик режущего инструмента. Стойкость и эффективность покрытий в условиях резания зависит от многих факторов: свойств подложки, величины адгезии, условий разрушения и т.д. Следовательно, необходим комплексный подход к решению задачи повышения качества режущего инструмента с износостойким покрытием.

Наличие большого количества работ по упрочнению твердосплавного инструмента мощными импульсными ионными пучками (МИЛ), а также известный факт влияния увеличения несущей способности поверхностного слоя (подложки) на стойкость наносимых покрытий и инструмента в целом [см.напр.1,2], позволило сделать предположение о перспективности сочетания процессов предварительного упрочнения поверхностного слоя твердых сплавов (ТС) и последующего нанесения покрытия.

Испытания сменных инструментальных пластин из сплавов Т5К10 и Т14К8 с TiN покрытием в процессе резания стальных заготовок на токарном станке показали, что наиболее высокую износостойкость имели образцы, которые перед нанесением покрытия обрабатывались

1 Поворознюк С.Н., Полещенко К.Н., Геринг Г.И., Полетика М.Ф. Влияние структурных особенностей твердых сплавов WC-Co на проявление эффектов ионно-лучевого модифицирования.// Тезисы 4 Всероссийской конференции по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц. Томск, 13-17 мая 1996, с.362-363.

2 Полещенко К.Н., Геринг Г.И., Проскуровский Д.И., Ротштейн В.П. и др. Применение сильноточных ионных и электронных пучков для модифицирующей обработки инструментальных материалов.//Тез. докладов IV всероссийской конференции по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц. Томск, 1996, с.266. импульсным МИЛ с плотностью энергии около 2,5 Дж/см2. Исследование контактных поверхностей твердосплавных инструментов с предварительной обработкой импульсным МИЛ и последующим нанесением покрытия показали, что износ как покрытия, так и инструмента в целом ниже [1].

Кроме того, режущая пластина более продолжительное время сохраняла в процессе эксплуатации целостность покрытия по всей контактной поверхности, что свидетельствует об увеличении адгезионной прочности нанесенного покрытия при изнашивании в процессе резания.

В связи с этим, представляет научный и практический интерес исследование модифицированной МИЛ поверхности ТС с точки зрения определения факторов, приводящих к увеличению стойкости инструмента в целом и увеличению адгезии наносимых износостойких покрытий, а также исследование зависимости адгезионной прочности покрытия от плотности энергии МИЛ.

Цель работы состояла в разработке методики предварительной обработки поверхности твердосплавного инструмента мощным ионным пучком с целью увеличения адгезионной прочности осаждаемых TiN покрытий, определении рационального диапазона плотности энергии воздействия МИЛ при подготовке поверхности ТС к осаждению покрытия и в выработке рекомендуемых параметров технологического процесса. Для достижения поставленной цели было необходимо проведение ряда исследований, включая:

1. Исследование параметров рельефа (Ra, Rz, изменение относительной длины профиля поверхности), изменений химического и фазового состава поверхности ТС и микротвердости в зависимости от плотности энергии МИЛ.

2. Проведение измерений адгезионной прочности TiN покрытий в зависимости от плотности энергии МИЛ при предварительной обработке поверхности твердосплавного инструмента, включая измерения нагрузки разрушения покрытия, определение вида разрушения покрытия, геометрических характеристик изнашивания покрытия и подложки.

3. Проведение сравнительных производственных испытаний твердосплавного инструмента с TiN покрытием, осажденным после обработки поверхности ТС МИП и по традиционной технологии.

Научная новизна работы состоит в том, что проведенные исследования позволили получить новые закономерности модифицирования поверхности ТС МИП и установить зависимость адгезионной прочности TiN покрытия от плотности энергии предварительной обработки поверхности ТС МИП:

1. Характеристики рельефа поверхности ТС (Ra, Rz, относительная длина профиля поверхности) после обработки МИП в диапазоне 1,5- 3,7 Дж/см определяются плотностью энергии МИП и в пределах ошибки измерений не зависят от исходного рельефа поверхности выпускаемого твердосплавного инструмента.

2. После обработки МИП при плотности энергии выше 1,5 Дж/см на поверхности ТС состава WC-Co и WC-TiC-Co происходит образование и рост новой фазы W2(CO). При этом содержание WC фазы уменьшается.

3. Установлена возрастающая зависимость адгезионной прочности TiN покрытия от плотности энергии предварительной обработки подложки МИП во всем исследованном диапазоне плотности энергии МИП от 1 до 3,7 Дж/см2.

4. Рациональный диапазон плотности энергии МИП для предварительной обработки поверхности исследованных типов ТС МИП по результатам проведенных исследований и производственных испытаний составляет 1,5-2,3 Дж/см2.

Практическая значимость работы заключается в непосредственной применимости исследованного способа предварительной обработки поверхности WC-Co сплавов МИП для увеличения адгезии осаждаемых покрытий на твердосплавный инструмент. В частности, осуществление данного типа обработки возможно на базе существующих технологических сильноточных ионных ускорителей и установок вакуумно-дугового осаждения ННВ-6.6-И1 для широко используемого в настоящее время TiN покрытия, получаемого методом конденсации из плазмы с ионной бомбардировкой (метод КИБ). По результатам проведенных исследований разработаны технологические рекомендации для процесса предварительной обработки твердосплавного инструмента МИП.

Установлено существование рационального диапазона энергетического воздействия для модифицирования поверхностного слоя ТС с целью увеличения адгезии наносимых на инструмент из ТС износостойких покрытий. Этот диапазон энергий МИП включает л значения плотности энергии в 1,5-2 Дж/см , используемых для модифицирования поверхности ТС с целью увеличения износостойкости твердосплавного инструмента без покрытия и согласуется с диапазоном энергий импульсных электронных пучков и импульсного лазерного излучения, применяемых для модифицирования поверхностного слоя ТС. Это позволяет говорить об общем характере и механизме воздействия различных видов излучения на поверхность и применимости изложенного способа увеличения адгезии при воздействии других видов концентрированных потоков энергии (КПЭ).

На защиту выносятся следующие научные положения:

1. Рельеф поверхности (Ra, Rz, относительная длина профиля поверхности) после обработки при плотности энергии МИЛ в л диапазоне 1,5 - 3,7 Дж/см определяется плотностью энергии воздействия МИЛ и в пределах погрешности измерений не зависит от исходных параметров рельефа исследованных твердых сплавов ВК-8 и Т5К10.

2. Предварительная обработка поверхности исследованных твердых сплавов МИЛ приводит к увеличению адгезии TiN покрытия при л плотности энергии МИЛ 1,5-3,7 Дж/см .

3. Увеличение адгезии TiN покрытия происходит за счет очистки поверхности, увеличения удельной поверхности ТС, модифицирования межзеренных границ ТС и образования более пластичных фаз в поверхностном слое подложки, что приводит к смене характера разрушения покрытия с преимущественно адгезионного на когезионный. л

4. Увеличение плотности энергии выше 2,5 Дж/см не приводит к дальнейшим изменениям химического и фазового состава поверхностного слоя и происходит снижение его микротвердости. Рациональное значение величины плотности энергии мощного ионного пучка для обработки поверхности твердых сплавов перед нанесением покрытия лежит в диапазоне 1,5-2,3 Дж/см . При этом значении параметры рельефа поверхности в пределах ошибки измерения идентичны для разных сплавов, рельеф поверхности наиболее развит, микротвердость поверхностного слоя близка к максимальной величине для исследованных сплавов.

Апробация работы. Материалы диссертации докладывались и обсуждались на конференциях по применению сильноточных пучков заряженных частиц BEAMS'98 (Хайфа, Израиль, 1998), BEAMS'2000 (Нагаока, Япония, 2000), на 5-й конференции по модификации материалов пучками заряженных частиц (Томск, Россия, 2000), 2-м европейском симпозиуме по импульсной технике (Сент-Луис, Франция, 2002) и III международной конференции «Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах» (Томск, Россия, 2002), 12-й международной конференции по радиационной физике и химии неорганических материалов (РФХ-12, Томск, Россия, 2003), 4-м международном симпозиуме по применению импульсных и плазменных технологий (Нагаока, Япония, 2003)

Публикации. Материалы диссертации опубликованы в 10 печатных работах, из которых 3 статьи в научных реферируемых журналах, 7 статей в сборниках трудов международных научных конференций и симпозиумов.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и приложений, изложена на 115 страницах, включает 28 рисунков, 10 таблиц, список литературы из 118 наименований.

Заключение диссертации по теме «Материаловедение (по отраслям)», Тарбоков, Владислав Александрович

Выводы.

1. Предварительная обработка поверхности твердых сплавов импульсным мощным ионным пучком приводит к увеличению значения нагрузки, при которой начинается изнашивание и разрушение покрытия. Полное разрушение покрытия на предварительно обработанных МИП образцах происходит при больших нагрузках на индентор, чем на образцах без обработки МИП. Кривые разрушения покрытия для обработанных мощным ионным пучком образцов имеют более пологий характер.

2. Наблюдается уменьшение силы трения на 15-20% на участках изнашивания, предшествующих началу разрушения покрытия.

3. Предварительная обработка поверхности твердого сплава МИП приводит как к увеличению адгезии, так и к увеличению несущей способности поверхностного слоя при плотности энергии МИП 1,52,3 Дж/см2.

4. Величина адгезии TiN покрытия, нанесенного на твердосплавный инструмент, предварительно обработанный МИП с плотностью энергии свыше 1,5 Дж/см становится сравнимой с когезионной прочностью покрытия и материала подложки.

5. Рациональная величина плотности энергии мощного ионного пучка для обработки поверхности твердых сплавов перед нанесением покрытия лежит в диапазоне 1,5-2,3 Дж/см2.

Заключение

Выполненная работа показала перспективность использования мощного ионного пучка для очистки и модифицирования поверхности перед осаждением нитрид-титановых износостойких покрытий. Предварительная обработка мощным ионным пучком приводит к существенному увеличению адгезионной прочности осажденного покрытия и к улучшению эксплуатационных характеристик твердосплавного режущего инструмента. При выполнении данной работы был установлен ряд закономерностей модифицирования твердых сплавов мощными ионными пучками, касающихся изменения параметров рельефа [113,115], эффекта очистки от загрязнений поверхности [1] и перераспределения химических элементов в поверхностном слое и образования новых фаз [116]. Выявлены общие закономерности модифицирования поверхностного слоя, характерные для разных групп твердосплавных материалов.

Определен диапазон плотности энергии МИП для модифицирования поверхностного слоя твердых сплавов с целью увеличения адгезии осаждаемых на инструмент из ТС износостойких покрытий. Этот диапазон энергий МИП включает значения плотностей энергии в 1,5-2 Дж/см , используемых для модифицирования поверхности ТС с целью увеличения износостойкости твердосплавного инструмента без покрытия и согласуется с диапазоном энергий импульсных электронных пучков и импульсного лазерного излучения, применяемых для модифицирования поверхности ТС. Это позволяет утверждать об общем характере и механизме воздействия различных видов излучения на поверхность и применимости изложенного способа увеличения адгезии при условии воздействия других видов концентрированных потоков энергии.

При воздействии мощного ионного пучка с плотностью энергии в диапазоне 1,5-2,3 Дж/см одновременно происходит ряд процессов, приводящих к комплексному модифицированию поверхности и, как результат, к существенному увеличению адгезии наносимого покрытия:

- обеспечиваются оптимальные для нанесения покрытия методами вакуумно-дугового напыления параметры рельефа (Ra~4(H630 нм, [1П]);

- происходит очистка поверхности ТС;

- наблюдается рост средней величины микротвердости поверхности;

- за счет укрупнения зерен, «залечивания» дефектов межзеренной границы с образованием граничного слоя с прочно связанными атомами Co-W-C [18] и образования более пластичных фаз вдоль границ зерен происходит значительное увеличение стойкости поверхностного слоя твердосплавного инструмента при адгезионном изнашивании и в условиях знакопеременных нагрузок.

Все эти эффекты приводят к возрастанию адгезии наносимого TiN покрытия и росту упругости системы покрытие-подложка, что выражается, в том числе, в смене характера ее разрушения с адгезионно-когезионного на когезионный, при этом разрушение происходит не по границе раздела. [116,117].

Методом производственных испытаний модифицированного твердосплавного инструмента с покрытием из TiN в процессе обработки резанием сварных комбинированных заготовок из сталей 40Х и Р6М5, показано увеличение стойкости в 2-2,5 раза для инструмента, поверхность которого перед нанесением покрытия обрабатывалась МИП с плотностью энергии в диапазоне 2-2,3 Дж/см [1].

Дальнейшее развитие описанного в работе метода повышения адгезии наносимых покрытий с использованием мощных ионных пучков возможно, в том числе, и путем создания новых установок, где процесс предварительной обработки поверхности МИП будет осуществляться в одном вакуумном объеме с нанесением покрытия, что позволит устранить эффекты окисления и загрязнения поверхности при переносе образцов от одной установки до другой. Кроме того, при использовании такого оборудования станет возможной и одновременная обработка мощным ионным пучком растущего слоя покрытия, которая приводит к образованию градиентных структур в облучаемом материале и к аморфизации поверхностных слоев покрытия [118]. Это позволяет обеспечить плавный переход механических и теплофизических свойств от покрытия к подложке и снизить локализацию напряжений на границе раздела покрытие-подложка за счет радиационно-стимулированных процессов атомного перемешивания. Положительное значение аморфизации поверхностей трения связано с сочетанием у аморфных слоев высокой твердости и пластичности. В результате увеличения числа имеющихся плоскостей легкого скольжения коэффициент трения у аморфных материалов оказывается ниже.

Исследованный в работе метод увеличения адгезии износостойких TiN покрытий, наносимых на модифицированный МИП твердосплавный инструмент, после проведения дополнительных исследований может быть применен для разработки совмещенных технологий, основанных на предварительном модифицировании поверхности, в том числе и с использованием других видов КПЭ и последующим нанесением других типов износостойких покрытий, наносимых на другие виды ТС.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Тарбоков, Владислав Александрович, 2003 год

1.П., Ремнев Т.Е., Арефьев К.П., Исаков И.Ф., Тарбоков В.А. Влияние импульсной обработки твердых сплавов мощным ионным пучком на процесс нанесения износостойких покрытий -//Физика и химия обработки материалов, 2000, №3, С.39-44.

2. Ремнев Г.Е., Погребняк А.Д. Применение мощных ионных пучков для технологических целей. //Новости науки и техники. Серия: Новые материалы, технология их производства и обработки.- Москва, ВИНИТИ, 1990 -30с.

3. Surfase Modification of Metals by Ion Beams / edit. Wolf G.K, Grant W.A, Procter R.P.M.-Lausanne and N.Y.: Elsevier Sequoia, 1985.-551 p.

4. Ионная имплантация // Под ред. Дж.К. Хирвонена. -М.: Металлургия,1985.-392 с.

5. Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлы. -М.: Металлургия, 1990.-216 с.

6. Быковский Ю.А. и др. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов // Ю.А. Быковский, В.Н. Неволин, В.Ю. Фоминский. М.: Энергоиздат, 1991.-237 с.

7. Хает Г.Л. Прочность режущего инструмента.-М.: Машиностроение, 1975.-168 с.

8. Лошак М.Г., Александрова Л.И. Упрочнение твердых сплавов. -Киев: Наукова думка, 1977.-147 с.

9. Сулима A.M. Поверхностный слой и эксплуатационные свойства деталей машин/ Поверхностный слой, точность, эксплуатационные свойства деталей машин и приборов: Материалы семинара. М. МДНТП,1986. С.56-60

10. Симон Г., Тома М. Прикладная техника обработки поверхности металлических материалов. / Челябинск, «Металлургия», 1991 г.-Збб с.

11. Верещака А.С., Болотников Г.В. Современные тенденции совершенствования и рационального применения твердых сплавов для режущих инструментов. -М.: ЦИНИТИХИМНЕФТЕМАШ, 1991, -28 с.

12. Грибков В. А., Григорьев Ф.И., Калин Б. А., Якушин B.JI. Перспективные радиационно-пучковые технологии обработки материалов: Учебник/Под ред.Калина Б.А.-М.Круглый год, 2001.528 е.: ил.

13. Ремнев Г.Е. Получение мощных ионных пучков для технологических целей: Автореферат д. т. н. -Томск. 1994. -67 с.

14. Intense lithium, boron and carbon from a magnetically insulated diod /J.M.Neri, P.A.Hammer, G.Jinet, R.N.Sudan//Appl.Phis.Lett. 1980,37(1) P.101-103

15. Логачев Е.И., Ремнев Г.Е., Усов Ю.П. Ускоритель тяжелых ионов. // Приборы и техника эксперимента, №1, 1983, С.21-23

16. Диденко А.Н., Асаинов О.Х., Кривобоков В.П., Логачев Е.И., Ремнев Г.Е. Обработка поверхности металлов сильноточными ионными пучками. // Тезисы 5-го Всесоюзного симпозиума по сильноточной электронике Томск, 1986, ч. III, С.156-158

17. Веригин А.А., Погребняк А.А., Ремнев Г.Е. и др. Модификация структуры приповерхностного слоя вольфрама под действием мощного ионного пучка. // Поверхность (физика, химия, механика).-1988, вып.9,С. 106-111

18. Быстрицкий В.М., Диденко А.Н. Мощные ионные пучки. М., Энергоатомиздат, 1988,-152 с.

19. Акерман Д.Р., Исаков И.Ф., Ремнев Г.Е., и др. Импульсный ускоритель «Темп».// Тезисы докладов I Всесоюзной конференции «Модификация свойств конструкционных материалов пучкамизараженных частиц» Томск, 1988, ч.1,С.З-4.

20. Асаинов О.Х., Ремнев Г.Е., Диденко А.Н. и др. Аморфизация поверхности сплавов при облучении импульсными наносекундными пучками ионов. //Поверхность (физика, химия, механика), 1985, №1, С.150-154.

21. Ремнев Г.Е., Погребняк А.Д., Исаков И.Ф. и др. Повышение эксплуатационных характеристик сплавов под действием мощных ионных пучков.//Физика и химия обработки материалов, 1987, в.6, С.4-11.

22. Погребняк А.Д., Плотникове.В., Ремнев Г.Е., Струц В.К. Воздействие импульсных ионных пучков на металлы и сплавы. // Известия ВУЗов, Томск, 1988, С.116, Доп. В ВИНИТИ 04.11.88, №7889-1388.

23. Погребняк А.Д., Ремнев Т.Е., Чистяков С.А., Лигачев А.Е. Модификация свойств металлов под действием мощных ионных пучков.// Известия ВУЗов, Физика, 1987, в.1, С. 52-65.

24. Диденко А.Н., Лигачев А.Е., Куракин И.В. Воздействие пучков заряженных частиц на поверхности металлов и сплавов. М., Энергоатомиздат, 1987, 187 с.

25. Яловец А.Г. Динамические и электрофизические явления при взаимодействии интенсивных потоков заряженных частиц с веществом. //Диссертация д.ф.-м.н., Томск, 1994.

26. Бойко В.И., Евстигнев В.В. Введение в физику взаимодействия сильноточных пучков заряженных частиц с веществом. М., Энергоатомиздат, 1988, 137 с.

27. Погребняк А.Д., Ремнев Г.Е., Шулов В.А. и др. Физико-химические процессы, протекающие в поверхностных слоях сплава ВТ18У при воздействии мощного ионного пучка. //Поверхность, 1990, №12, С.79-84.

28. Кощеев В.А., Ремнев Г.Е., Шулов В.А. и др. Влияние ионно-лучевой обработки мощными импульсными пучками на физико-химическое состояние поверхностных слоев и усталостную прочность сплава ЭП718ИД. //Физика и химия обработки металлов, 1992, №6, С.28-33.

29. Ночевная Н.А., Ремнев Г.Е., Шулов В.А. и др. Физико-химические процессы, протекающие в поверхностных слоях титановых сплавов при ионно-лучевой обработке с использованием мощных импульсных пучков. //Поверхность, 1993, №5, С.127-140.

30. Калистратова Н.П., Полещенко К.Н., Геринг Г.И., Вершинин Г.А., Поворознюк С.Н. Модификация твердых сплавов мощными ионными пучками и послерадиационной термической обработкой.//Физика и химия обработки материалов. 1999,№1,С. 10-14.

31. Cuomo J.J., Pappas D.L., Bruley J., Doyle J.P. and Saenger K.L. Vapor deposition processes for amorphous carbon films with sp3 fractions approaching diamond. //J. Applied Physics, 1991, Vol. 70, N 3, P. 1706 1711

32. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность. М., Высшая школа, 1986, 464 с.

33. Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. -М.: Энергоатомиздат, 1989, 327 с.

34. Курносое А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. М.: Высшая школа, 1986, 368 с.

35. Плешивцев Н.В. Физические проблемы катодного распыления. Обзор. М.: Изд-во Института атомной энергии им. И.В. Курчатова, 1979, 87 с.

36. Технология тонких пленок. Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. М.: Сов. Радио, 1977, т. 1, 662 е., т. 2, 768 с.

37. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. -М: Радио и связь, 1982, 73 с.

38. Семенов А.П. Техника нанесения тонких пленок распылением ионным пучком.//ПТЭ. №4, 1990, С. 26 42

39. Yamada I., Nagai I., Hozie M. Preparation of doped amorphous silicon films by ionized-cluster beam deposition. //J. Appl. Phys., 1983, vol. 54, N 3, p. 1583-1587

40. Yamada I., Takagi T. Current status of ionized-cluster beam technique: a low energy ion beam deposition. //Nucl. Instrum. and Method Phys. Res., 1987, vol. B21, N 2 4, p. 120- 123.

41. Саенко B.A.Устройства термоионного осаждения.//ПТЭ,1985,№ 3,C.9 -21

42. Кучеренко E.T., Саенко B.A. Термоионное осаждение тонких пленок. //ПТЭ, 1976, № 3, С. 261 270.

43. Richer A. Characteristic features of laser produced plasmas for thin film deposition. //Thin solid films, 1990, vol. 188, N 2, P. 275-292.

44. Палатник Л.С., Быковский Ю.А.,Панчеха П.А.,Дудоладов А.Г., Верченко В.И., Марунько С.В. О механизме вакуумной конденсации при высокоскоростных методах испарения. //ДАН,1980,т.254,№3,С.632 635.

45. Аксенов И.И., Андреев А.А., Брень В.Г. и др. Покрытия, полученные конденсацией плазменных потоков в вакууме (способ КИБ).// Укр. Физ. Журн., 1979.-t.24, №4.-С.515-525.

46. Белоусов В.Я., Бурда М.И., Гегельчий А.В Газоабразивное изнашивание металлов, упрочненных комбинированными ионными потоками.// Защитное покрытие на металлах, 1991.-вып.25.-С.61-63.

47. Верещака А.С., Третьяков И.П. Режущие инструменты с износостойкими покрытиями.// М: Машиностроение, 1986.- 196 с.

48. Фукс-Рабинович Г.С. Особенности структуры и свойств комбинированных покрытий для режущего инструмента.// Трение и износ, 1994, т. 15,№6.-С.994-1002.

49. Мокрицкий Б.Я., Кабалдин Ю.Г. Комбинированное упрочнение твердосплавного инструмента.// Физика и химия обработки материалов, 1991.-№5. С.153-154.

50. Чапланов A.M., Шибко А.Н. Влияние дополнительного облучения на окисление пленок титана, обработанных лазерным излучением.// Поверхность, 1988.-№9.-С.89-92.

51. Файзрахманов И.А., Шустов В.А., Хайбулин И.Б. Влияние ионной имплантации на адгезионную прочность и механические напряжения текстурированных пленок алюминия//Поверхность,1989.-№8.-С.114-119.

52. Фукс-Рабинович Г.С. О некоторых принципах выбора композиционных материалов с поверхностью упрочненной по комбинированной технологии, для условий адгезионного изнашивания режущего инструмента.// Трение и износ, 1994, т. 15, №4. -С636-644.

53. Мурзин И.Г., Чупятова Л.П., Пекшева Т.Е. Ионно-лучевое смешивание металлов: структурно-фазовые превращения.// Поверхность, 1993.-№6.-С.121-128.

54. Чупятова Л.П., Мурзин И.Г., Пекшева Т.Е., Комаровский И.А. Ионно-лучевое смешивание металлов: изменение состава поверхности.// Поверхность, 1993.-№11.-С.5-29.

55. Мурзин И.Г., Чупятова Л.П., Пекшева Т.Е. Фазообразование в поверхности a-Fe с алюминиевым покрытием после ионно-лучевого смешивания // Поверхность, 1992. №6. - С. 127-128.

56. Дектярев С.В., Рябчиков А.И., Сергеев О.В. Совмещенные технологии ионной имплантации и плазменного осаждения покрытий. //Тезисы докл. IV Всеросс. конф. по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц. Томск, 1996, С.469.

57. Жилин В.А. Субатомный механизм износа режущего инструмента.// Ростов: изд. Ростовского ун-та, 1973, с 165.

58. Мацевитый В.М. Покрытия для режущих инструментов.// Харьков: изд. Харьковского ун-та, 1987, С. 127.

59. Самсонов Г.В., Кофтун В.И. Конфигурационная локализация электронов в твердом теле.// Киев: Наукова думка, 1978, с 147-152.

60. Верещака А.С. Работоспособность режущего инструмента с износостойкими покрытиями.// М: Машиностроение, 1993.-107с.

61. Барвинок В.А. Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий.// М.: Машиностроение, 1990, 384с.

62. Прокудина Н.А. "Повышение износостойкости твердосплавного инструмента методом комплексной ионно-лучевой и термической обработке" дисс. к.т.н. Омск, 2000, 154 с.

63. Isakov I.F., Kolodii V.N., Opekunov M.S., Matvienko V.M., Pechenkin S.A., Remnev G.E. and Usov Yu.P. Sources of high power ion beams for technological applications. //Vacuum, 1991, v. 42, N 1/2/, P. 159 162.

64. Remnev G.E. and Shulov V.A. Application of high-power ion beams for technology. //Laser and Particle Beams, 1993, v. 11, N 4, P. 707 731.

65. Логачев Е.И.,Ремнев Г.Е.,Усов Ю.П.Ускорение ионов из взрыво-эмиссионной плазмы. //Письма в ЖТФ, 1980, т. 6, в. 22, С. 1404 1406.

66. Пападичев В.А.Получение, транспортировка и фокусировка ионных12пучков мощностью 10 Вт//Атомная техника за рубежом, 1978, №12, С.З-13.

67. Prono D.S., Shearer J.W., Briggs R.J. Pulsed Ion Diode Experiment. //Phys. Rev. Lett., 1976, v. 37, N 1, P. 21 25.

68. Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. М.: Атомиздат, 1972,304с.

69. P.V.Kuznetsov, V.E. Panin / Direct observation of flows of defects and of nm-range localization of deformation on duralumin surface with the aid of scanning tunneling and atom force microscopes // Phys. Mesomech., 3, No. 2, 2000, P.85-91.

70. Бойцов А.Г., Машков В.Н., Смоленцев В.А., Хворостухин Л.А./Упрочнение поверхностей деталей комбинированными способами.-М.Машиностроение, 1991, 144 с.

71. Третьяков В.И. Основы металловедения и технологии производства спеченных твердых сплавов. М.: Металлургия, 1976. - 528 с.

72. Зимон А.Д. Адгезия пленок и покрытий.// М.Изд.«Химия», 1977, 352 с.

73. Remnev G.E., Tarbokov V.A. The intense pulsed ion beam treatment and the nitride-titanic coating of hard alloy for cutting tool // Proceedings of 4th Int. Symp. on pulse power and plasma application, Nagaoka, Japan, 2003, P. 100-104

74. Полещенко K.H., Ремнев Г.Е., Иванов Ю.Ф., Волошина И.Г., Поворознюк С.Н., Вершинин Г.А. Изменение структурно-фазового состояния покрытия TiN под воздействием мощных ионных пучков //Физика и химия обработки материалов, 2000, №3, С. 18-23