Плазменный источник тяжелых ионов на базе разряда с двойным контрагированием тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.12.10, кандидат технических наук Задера, Александр Викторович

• Задера, Александр Викторович
• кандидат технических наук
• 1984

Оглавление диссертации кандидат технических наук Задера, Александр Викторович

ВВВДЕНИЕ.

ГЛАВА I. ТИПЫ ГАЗОРАЗРЯДНЫХ ИСТОЧНИКОВ ИОНОВ МЕТАЛЛОВ

И ТРЕБОВАНИЯ, ПРВДШВШЕМЫЕ К НИМ. II

1.1. Требования, предъявляемые к плазменным источникам ионов металлов, эксплуатируемых в инжекторах электростатических ускорителей.

1.2. Основные типы плазменных источников ионов металлов.*.

1.2.1. Искровые источники ионов металлов.

1.2.2. Источники ионов металлов на основе магнет-ронного разряда.

1.2.3. Источники ионов металлов на основе дугового разряда.

1.2.4. Плазматрон.

1.2.5. Дуоплазматрон.

1.2.6. ВЧ-источники ионов металлов.

1.2.7. Источники ионов металлов на основе разряда с осцилляцией электронов.

1.3. Обоснование основных направлений работы.

ГЛАВА 2. ИССЛЕДОВАНИЕ ГЕНЕРАТОРА ПЛАЗМЫ, СОДЕРЖАЩЕЙ

ИОНЫ МЕТАЛЛА НА ОСНОВЕ РАЗРЯДА С ДОЙНЫМ КОНТРАГИРОВАНИШ.

2.1. Методы получения свободных атомов металла.

2.2. Расчет распределения концентрации атомов распыляемого материала в объеме сплошной цилиндрической камеры.

2.3. Расчет распределения концентрации атомов распыляемого материала в объеме составной цилиндрической камеры.

2.4. Оценка процентного содержания ионов металла в ионном пучке, извлекаемом из источника ионов.

Выводы по главе 2.

ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРЕДЕЛЬНЫХ РЕЖИМОВ Iff ОТЕКАНИЯ

ТОКА В РАЗРЯДЕ С ДВОЙНЫМ КОНТРАГИРОВАНИШ.

3.1. Расчет частот ионизации атомов электронным ударом.

3.2. Условия обрыва тока в разряде с двойным конт-рагированием.

3.3. Сравнение расчетных результатов с экспериментальными данными и их обсуждение.

Выводы по главе 3.

ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПРИАНОДНОЙ

ПЛАЗМЫ В ДУ0Ш1АЗМАТР0НЕ.

4.1. Описание экспериментальной установки.

4.2. Методика исследования прианодной плазмы.

4.3. Экспериментальное исследование прианодной плазмы и обсуждение результатов.

Выводы по главе 4.

ГЛАВА 5. ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ИОНОВ НА БАЗЕ РАЗРЯДА

С ДВОЙНЫМ КОНТРАГИРОВАНИШ.

5.1. Повышение эффективности холодных катодов, применяемых в ИИП.

5.2. Уточнение условий на поверхности плазменного эмиттера.

5.3. Конструкции плазменных источников ионов на базе разряда с двойным контрагированием.

Выводы по главе 5.

ГЛАВА 6. МАСС-СЕПАРАТОР ИОННОГО ПУЧКА НА БАЗЕ ФИЛЬТРА ВИНА.

6.1. Теория идеального фильтра Вина при условии

Е -L-B

6.1.1. Дисперсионные свойства фильтра Вина.

6.1.2. Фокусирующие свойства фильтра Вина.

6.2. Стигматический фильтр Вина.

6.2.1. Фильтр Вина с неоднородным электрическим полем.

6.2.2. Фильтр Вина с неоднородным магнитным полем.

6.3. Реальный фильтр Вина.

6.3.1. Уменьшение влияния полей рассеяния.

6.3.2. Оптимизация конфигурации электродов фильтра

Вина.

Выводы по главе 6.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Плазменный источник тяжелых ионов на базе разряда с двойным контрагированием»

В основных направлениях экономического и социального развития СССР на I98I-I985 годы и на период до 1990 года, принятых на ХХУ1 съезде КПСС, среди главных задач, выдвигаемых перед работниками науки, отмечались и такие как разработка и внедрение высокоэффективных методов повышения прочностных свойств, коррозионной стойкости металлов, широкое использование электрохимических, плазменных, лазерных, радиационных и других высокоэффективных методов обработки металлов и других материалов и изделий с целью существенного улучшения их свойств [i] .

Большой комплекс исследований, проведенных в семидесятых годах, показал, что многие из указанных выше задач могут решаться с применением ионных пучков различных ионов, ускоренных до соответствующей энергии.

Особо важное значение приобретает применение ионных пучков в деле повышения качества и надежности изделий микроэлектроники [2-5].

Ввиду высоких удельных потерь энергии в твердом теле, тяжелые ионы могут с успехом использоваться при испытаниях материалов на радиационную стойкость. Применение ускорителей тяжелых ионов позволяет за несколько часов создавать в материалах радиационные дефекты, которые в самых мощных реакторах достигаются в течение нескольких десятков лет [б] .

Многие другие применения ионных пучков описаны в [7,в] .

В связи с этим в последние годы значительно возрос интерес к физике и технике тяжелых ионов. Одной из проблем, возникающих при разработке ускорительных комплексов тяжелых ионов, является создание эффективных плазменных источников ионов. Среди различных типов источников ионов наибольшее распространение в настоящее время получили плазменные источники ионов. (ИИП), как обладающие наибольшей интенсивностью извлекаемых ионных пучков и рядом других положительных качеств [9,10] . Вместе с тем, в последнее время для некоторых применений начались разработки лазерных ионных источников [il] и жвдкометаллических эмиттеров ионов [l2,I3] . Однако пока они еще не нашли сколь либо широкого распространения.

Характеристики источника ионов главным образом определяются возможностями эмиттера ионов. Высокоэффективным эмиттером ионов является газовый разряд с двойным контрагированием [9,ю] . Этот тип разряда широко применяется в ИИП для получения газообразных веществ [4,14] . Возможности же разряда с двойным контрагированием в качестве источника ионов твердых веществ и,в частности, металлов изучены еще недостаточно полно. В литературе приводятся только отдельные конструкции [lO,I5] . Описание же методик, позволяющих оценить их параметры или провести проектирование на заданные параметры,отсутствует.

В связи с изложенным, исследование разряда дуоплазматронно-го типа и создание на его основе источников ионов металлов и других веществ является актуальной задачей, имеющей существенное значение для дальнейшего углубления знаний об ИИП и совершенствования конструкций ионных источников и расширения областей их применения.

Рациональное применение разряда с двойным контрагированием невозможно без детального исследования его свойств,в том числе и процессов в прианодной плазме, параметры которой, во многом определяют эмиссионные свойства ИИП. Эксплуатационные характеристики и возможности ионных источников в значительной мере зависят от типа используемого катода. Так их возможности существенно расширяются при использовании разрядов с ненакаливаемыми катодами и, в частности, тлеющего разряда.

Таким образом для решения задачи, касающейся дальнейшего улучшения характеристик ИИП на базе разряда с двойным контраги-рованием представляет интерес рассмотреть следующие основные вопросы:

1. Исследовать процессы в положительном столбе дуоплазмат-рона с сильным контрагированием разряда.

2. Изучить вопросы, касающиеся получения металлосодержащей плазмы в генераторе плазмы на базе дуо плаз матрона.

3. Разработать методику оценки эффективности генератора металло содержащей плазмы.

4. Выбрать экспериментальную методику определения симметричной части функции распределения электронов (ФРЭ) и исследования распределения потенциала в прианодной плазме дуоплазматронного разрцца.

5. Создать эффективный генератор плазмы, содержащей ионы металла, на базе разряда с двойным контрагированием; усовершенствовать дуоплазматрон для использования его в качестве источника газовых ионов.

6. Рассмотреть вопросы сепарации первичного пучка ионов по массам.

При выполнении диссертационной работы использовались: систематический анализ и обобщение литературных данных с целью исследования последних достижений и выявления возможностей даль-шейшего совершенствования конструкций ИИП рассматриваемого типа; теоретические методы решения задач методами математической физики с пп-фоким применением ЭВМ; различные экспериментальные методы диагностики: масс-спектрометрия, зондирование и т.п.

На защиту в диссертационной работе выносятся следующие научные положения:

1. Предельная энергия электронов в предобрывном состоянии при протекании тока в разряде с контрагирующим электродом определяется начальным давлением газа в области контрагирования.

2. Для эффективного использования атомов распыленного вспомогательным разрядом вещества в ионном источнике типа дуоплаз-матрон с сильно контрагиро ванным разрядом необходимо, чтобы результирующее направление электрического тока в плазме вспомогательного разряда пересекало направление тока основного разряда.

3. При получении в дуоплазматроне ионов веществ, которые при попадании на стенку не возвращаются обратно в разрядную область, эффективное извлечение ионов возможно лишь тогда, когда диаметр выходного отверстия в аноде меньше диаметра разрядного шнура, при этом в прианодной области исчезает электрическое поле тормозящее ионы.

При выполнении работы были получены следующие основные научные результаты:

- разработана методика оценки содержания ионов металла в извлекаемом пучке;

- разработана модель процессов при протекании тока через сужение применительно к генераторам плазмы ИИП, имеющим сужения;

- получено соотношение, связывающее величину плотности тока в предобрывном состоянии с предельной энергией электронов и начальным давлением газа;

- уточнена модель, позволяющая уточнить граничные условия на границе раздела плазма-вакуум;

- предложены методы снижения величины катодного падения напряжения при использовании тлеющего разряда и повышения эффективности плазменного катода с применением эффекта усиления плазменного тока в магнитном поле;

- уточнены выражения, позволяющие провести расчет фильтра Вина в одночастичном приближении.

Результаты практической части работы заключаются в разработке и внедрении ИИП на базе разряда дуоплазматронного типа для получения ионов металлов и газообразных веществ ориентированных на применение в аналитической аппаратуре, электростатических ускорителях и технологических установках.

В первой главе рассматриваются конструкции ионных источни-кой, позволяющие получать ионы металла.На основе анализа конструкций делается выбор базовой конструкции и обосновываются основные направления работы.

Вторая глава посвящена теоретическому и экспериментально лгу исследованию генератора плазмы, содержащей ионы металла, и разработке методики оценки содержания ионов металла в ионном пучке.

В третьей главе дано описание модели процессов в прианод-ной области разряда с контрагированием при протекании токов близких к критическим.

В четвертой главе приведены результаты экспериментального исследования прианодной плазмы дуоплазматрона, установлено необходимое условие для обеспечения эффективной эмиссии ионов металла.

Пятая глава посвящена описанию вопросов, связанных с проек-Т1фованием ионных источников дуоплазматронного типа. В ней дается описание разработанных узлов ИИП и некоторых конструкций дуопла-зматронов.

В шестой главе рассмотрены характеристики фильтра Вина, используемого в качестве масс-сепаратора ионного пучка, извлекаемого из ИИП, и приводятся уточненные выражения, позволяющие рассчитать масс-сепаратор на заданные параметры.

В заключении сформулированы основные результаты диссертационной работы.

Заключение диссертации по теме «Вакуумная и газоразрядная электроника, включая материалы, технологию и специальное оборудование», Задера, Александр Викторович

Основные результаты диссертационной работы, посвященной изучению вопросов, возникающих при разработке ИИП на базе разряда с двойным контрарнованием, заключаются в следующем:

1. С целью получения количественных оценок содержания ионов металла в извлекаемом из ИИП ионном пучке цроведены расчеты распределения концентрации распыленных атомов металла для двух вариантов геометрии генератора плазмы, содержащей ионы металла. Получены распределения концентрации атомов распыленного вещества по объему камер.

2.Разработана методика оценки содержания ионов металлов в извлекаемом из дуоплазматрона ионном пучке.

3. Проведено экспериментальное изучение двух вариантов конструкций дуоплазматронного генератора плазмы, содержащей ионы металлов. Показано, что эффективность использования атомов распыляемого вещества может быть увеличена за счет организации вспомогательного разряда таким образом, чтобы направление тока основного разряда пересекало направление тока вспомогательного разряд да.

4. С целью обеспечения условий дрейфа ионов, образовавшихся в плазме вспомогательного разряда, в направлении положительного столба основного разряда целесообразно использовать для питания вспомогательного разряда независимый источник питания, у которого ни один из полюсов не соединен с источником питания основного разряда.

5. Исследованы факторы, определяющие максимальный ток разряда в генераторе плазмы дуоплазматронного типа. Получены выражения, устанавливающие связь между плотностью разрядного тока, электронной температурой и начальным давлением, позволяющее определить максимально достижимые токи в контрагированном разряде низкого давления применительно к дуоплазматрону. Максимальная величина энергии электронов достигается в предо брывных режимах разряда. Показано, что предельная энергия электронов в предобрывном состоянии зависит от начального давления газа в области сужения и с увеличением начального давления падает.

6. Экспериментально исследованы характеристики прианодной плазмы в разряде с двойным контрагированием. Экспериментально установлено, что в дуоплазматроне при некоторых условиях отсутствует отрицательное анодное падение напряжения. Для реализации режима работы ШП с отрицательным анодным падением необходимо, чтобы диаметр отверстия в сжимающем электроде превосходил диаметр отверстия в аноде. Установлено, что образование области положительного анодного падения препятствует эмиссии ионов металлов из дуопл азматрона.

7. Проведены исследования катодных узлов различных конструкций с целью снижения величины катодного падения напряжения. Показано, что повышение энергетической эффективности генератора плазмы ИИП, использующего тлеющий разряд с полым катодом, возможно при создании условий, ограничивающих выход из катодной полости быстрых катодных электронов, не растративших энергию, приобретенную ими в слое катодного падения напряжения. Предложена конструкция полого катода, в которой уменьшен уход быстрых электронов из катодной полости, и за счет этого получено снижение катодного падения напряжения (при использовании в качестве рабочего газа аргона) на 20-25%.

8. Эффективность катодного узла может быть увеличена при использовании эффекта усиления плазменного тока. Показано, что эффективность этого способа возрастает при использовании магнитного поля, вектор индукции которого параллелен поверхности дополнительных электродов, на которые осуществляется отбор тока положительных ионов из плазмы разряда.

9. Проведено уточнение условий на поверхности плазменного эмиттера ионов. Показано, что эмиссионная способность плазмы, проникающей в вакуум определяется не только ее параметрами, но и формой границы раздела плазма-слой пространственного заряда. Получено выражение, позволяющее определить величину напряженности электрического поля на поверхности плазменного эмиттера через параметры плазмы, проникающей в вакуум.

10. Разработана конструкция ИИП типа дуоплазматрон для получения ионов металла с катодным распылением рабочего вещества, позволяющая получать пучок ионов металла интенсивностью в несколько десятков мкА, при суммарном разрядном токе не более 0,6 А и потребляемой мощности примерно на порядок меньше чем в конструкциях, описанных в главе I.

11. Разработаны конструкции ИИП дуоплазматронного типа для получения ионов газообразных веществ, отличающиеся от известных более высокой энергетической эффективностью, большим сроком службы, простотой схемы электрического питания и малым разбросом извлекаемых ионов по скоростям.

12. Усовершенствована методика расчета масс-сепаратора на базе фильтра Вина.

В заключении хочу выразить искреннюю признательность руководителю работы доктору технических наук, профессору Августу Авгус-товичу Потсару, кандидату технических наук Владимиру Тимофеевичу Барченко, кандидату технических наук, доценту Виктору Владимировичу Черниговскому за помощь в работе и полезные консультации.

187

184 ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Задера, Александр Викторович, 1984 год

1. Материалы ХХУ1 съезда КПСС. - М.: Политиздат, 1981, 223 с.

2. Лабунов В.А., Данилович Н.И. Современные системы ионной имплантации. Зарубежная электронная техника, 1982, № 3, с.3-101.

3. Лабунов В.А., Рейсе Г. Ионно-лучевые источники для обработки поверхности твердых тел и получения тонких пленок. Зарубежная электронная техника, 1982, № I, с.3-112.

4. Лабунов В.А., Мельянец Г.И., Вальков Б.И. и др. Формирование конфигурации элементов полупроводниковых приборов и ИС с помощью ионного травления. Зарубежная электронная техника, 1977, № 17, с.3-46.

5. Киреев В.Ю., Данилин Б.С., Кузнецов В.И. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур. М.: Радио и связь, 1983, 128 с.

6. Герасимов Е.И., Голубев В.П., Никифоров С.А. Источники многозарядных ионов. Обзор ОД-28, Л.: НИИЭВД, 1979 , 64 с.

7. Барашенков B.C. Новые профессии тяжелых ионов. М.: Атомиздат, 1977, 120 с.

8. Взаимодействие атомных частиц с твердым телом. Материалы У1 Всесоюзной конференции, ч.1, Минск.: МРТИ, 1981, 273 с.

9. Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. М.: Атомиздат, 1972, 304 с.10 tVa2uji L. Л torn, and Sources.- Budajyzst; йкао(амСа Ксас1ол19 77^29 p.

10. Габович М.Д. Жвдкометаллические эмиттеры ионов. Усп. Физ.Наук, 1983, т.140, № I, с.137-151.

11. Ооп SOURCES. Ыысв. Insbt. and Metft. 3 V. Щ /V-Ч,

12. Денисов А.Г., Черняк Е.Я., Козлов А.А. Ионно-плазмен-ные источники в технологии микроэлектронных приборов. Обзоры по электронной технике. Сер.7, 1982, № 14, 65 с.

13. Семашко Н.И., Владимиров А.Н., Кузнецов В.В. Инжекторы быстрых атомов водорода. М.: Энергоиздат, 1981, 168 с.

14. Фаворский О.Н., Фишгойт В.В., Литовский Е.И. Основы теории космических электрореактивных двигательных установок. -М.: Высшая школа, 1978, 384 с.

15. Морозов А.И. Физические основы космических электро-реак-тивных двигателей. М.: Атомиздат, 1978, 328 с.

16. Комар Е.Г. Основы ускорительной техники. М.: Атомиздат, 1975, 367 с.

17. Быстров Ю.А., Иванов С.А. Ускорительная техника и рентгеновские приборы. М.: Высшая школа, 1983, 328 с.

18. Плешивцев Н.В. Катодное распыление. М.: Атомиздат, 1968, 343 с.

19. Бериш Р. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. М.: Мир, 1984, 397 с.

20. Mud. InsU. and MetA., mi v. 189, N-4t p. -M-<M<3.uon

21. Черепин В.Т. Ионный зонд. Киев.: Наукова думка, 1981,327 с.

22. Черепин В.Т., Васильев М.А. Методы и приборы для анализа поверхности: Справочник. Киев: Наукова думка, 1982, 399 с.

23. Барченко В.Т. Исследование физических явлений и некоторые вопросы разработки плазменных источников электронов. Автореф. дис.канд.техн.наук. Л.: 1978, 17 с.

24. Кервалццзе К.Н., Кварцхава И.Ф., Плютто А.А. Искровой источник многозарядных ионов. Атомная энергия, 1957, т.З, № 8, с.153-156.

25. Слуцкин А.А. Применение магнитного поля для образования ионно-электронных пучков. Журн.техн.физ., 1935, т.5, №8, с.1362-1371.

26. Брауде С.Я., Вигдорчик И.М., Слуцкин А.А. Получение ионных токов в высоком вакууме с помощью магнитного поля. Журу. экспер. и теор.физ., 1935, т.5, № I, с.66-76.

27. Орлов Н.И., Пахомов Л.П., Голант В.Е. Получение плотной плазмы в разряде с накаленным катодом в магнитном поле. Журн. техн.физ., 1961, т.31, №7, с.797-807.

28. CaxEston С. Е., Haqnusori G.D. ^ Mah&deU&n РЕ. А. Hccph effucienc^ source {р>ъ me£a£ Cons ReU ScXent. Ins fa,., 19ебу.Э6,№2, p. 4Э6--Й2.

29. ИМ K.l.j NeCson R.S. A spjtt&ouricj- Con souzce ~ Nuce.Instx. and MeiA. a 4965, v. 38, N4,

30. Арцимович Л.А. Управляемые термоядерные реакции. М.: Физматгцд, 196I, 468 с.

31. San&Dxn С. 8гои/п Неф- Px&cfptency, Gas -DCscfiax^e BzeoikdobUh. fhooedm^s o(r the LR.E. v. 39, N42,1951, jb. М93Ч501.

32. Гуревич А.В. Функция распределения электронов по скоростям в переменном электрическом и постоянном магнитном полях -Докл.АН СССР, 1955, т.104, № 2. с.201-204.

33. Meyertdfnol R.C., Вхогоп S. С. э Russet 6. Htigkt -Cwxtent Ion Source- ReV. ScCent.Insti. 3 v. 30,

34. Бредихин М.Ю., Зеленский ВИльенко Б.П. и др. Ускорительный комплекс тяжелых ионов. Вопросы атомной науки и техники. Сер.Общая и ядерная физика, Харьков: ХФТИ АН УССР,1980, вып.2(12), с.65-69.

35. Бредихин М.Ю., Зеленский В.Ф., Ильенко Б.П. и др. Источник многозарядных ионов. Приборы и техника эксперимента,1981, № 6, с.147-149.

36. Bey S.,Moitik А/А Me-taB Con souxee- ustncf, ксф, povJm densdy е&лЬъоп Cmfxxot technufyAe-Int. I 4 Mass Spectrometry and Ion Physics9i97S, v. 27, is/4, p. 49-53.

37. HCxVbnenLK, Ca%osMa C.A, Нивв&г 6K

38. Production off fvoafb ouirvzrib т&Ьав ton Seams-Nuae.Insti. and MM., <1984 л v. 489* f>.-fQ5406.

39. Гьеетсиг 1.К,СЫггею Р.1.лваъЫ &A. 3 e.a1.n Becims StudCos . РаъЬ VI. ЗЪе jbxoo/ucfcorz, keenly Con Seams NucS. Instn. and Metf>. ,4977, f>. m-505.

40. Чайковский Э.Ф., Пузиков B.M., Семенов А.В. Дуоплазмат-рон для получения ионов углерода. Приборы и техника эксперимента, 1981, № 2, с.163-166.

41. Ваитапп Н.,Ве,Ькср К. The Finnic fuRt PIG» Ion. Source. ~ Nuct Insti. and NetA., 1981, v. 489, N4, jb. <Ю7-*Ю.

42. Зеленский В.Ф., Хоренко В.К., Рубашков В.Г. и др. Инжектор ионов металлов для электростатического ускорителя. Вопросы атомной науки и техники. Сер.Общая и ядерная физика. Харьков, ХФТИ АН УССР, 1980, вып.2(12), с.20-25.

43. Барченко В.Т., Потсар А.А. Электронно-ионный плазменный источник. Изв.ЛЭТИ. Научн.тр.Денингр.электротех.ин-т им.В.И. Ульянова (Ленина), 1980, в.279, с.42-47.

44. Попов В.Ф. Анализ газовой экономичности дуоплазматронного источника ионов Электронная техника. Сер.З. Электровакуумные и газоразрядные приборы, 1982, № 5, с.3-6.

45. Левитский С.М. Сборник задач и расчетов по физической электронике. Киев: Изд-во Киевского ун-та, 1964, 211 с.

46. Еейф Ф. Статистическая физика. М.: Наука, 1977, 352 с.

47. Кикоин И.К. Таблицы физических величин: Справочник. -М.: Атомиздат, 1976, 1007 с.

48. Смирнов В.И. Курс высшей математики, т.2. М.: Наука, 1974, 655 с.

49. Мышкис А.Д. Лекции nt высшей математике. М.: Наука, 1969, 639 с.

50. Корн Г., Корн Т. Справочник по математике для научных работников и инженеров. М.: Наука, 1984, 831 с.

51. Прудников А.П., Брычков Ю.А., Маригев О.И. Интегралы и ряды. Элементарные функции.- М.: Наука, 1981, 800 с.

52. Грановский В.Л. Электрический ток в газе. Установившийся ток. М.: Наука, 1971, 543 с.

53. Рабинович В.А., Хавин З.Я. Краткий химический справочник. М.: Химия, 1977, 376 с.

54. Глинка Н.Л. Общая химия. Л.: Химия, 1980, 719 с.

55. Ахметов H.G. Неорганическая химия. М.: Высшая школа, 1975, 672 с.

56. Кнунянц И.Л. и др. Химический энциклопедический словарь-М.: Советская энциклопедия, 1983, 792 с.

57. Грановский В.Л. Электрический ток в газе. Общие воцросы электродинамики. -М.-Л.: ГИШ, 1952 , 432 с.

58. Крестова Н.А., Полякова О.И., Слесарева Е.Г. К вопросу об устойчивости токопрохождеиия через диафрагмированные промежутки в водородном разряде низкого давления. Электронная техника. Сер.З. Газоразрядные приборы, 1970, в.2, с.22-26.

59. Черниговский В.В., Шалашев О.М., Ярцев В.И. Расчет сечения ионизации при электронном столкновении с атомами. В Меж вуз. сб. науч. тр.: Вакуумная и газоразрядная электроника. -Рязань, РРТИ, 1982, с.43-51.

60. Vi66exs I.N. а de Sanolez K.F. Cuxxe^t ^umCtoition tP)rvouMsCnjg&.'ho& cytods CnQ ггтмгш-спс dcsofwrtgtr Pxoa Inst E&ee. Emy.а -/97Q v.Ж №2, p. 295 -Ш

61. Le4enn& С. Jheo<Let>ccc\& and еогрештопЬя^study ofj duojoCasmotbon olCecha^^ -Nuct. Inst%. and H&tPb. s 427Ц, v. MB, f>. Ч7-Ш

62. L^'enneC. T-fieozetccaS anol eodDeAXmenta-^ slud^ off t&e duop&tsmoi/ion Con source,. PctztJ: Emissive jorcojD&tties ofj- fcfie somce.- Ыы(£.1пзЬъ. and MM.3 497% V: Ш, p. Ч29-Ш

63. Форсайт Дж., Мальколам M., Моулер К. Машинные методы математических вычислений. М.: Мир, 1980 , 280 с.

64. Крейндель Ю.Е. Плазменные источники электронов. М.: Атомиздат, 1977, 144 с.

65. Звеито 0. Принципы лазеров. М.: Мир, 1984, 400 с.

66. Козлов О.В. Электрический зонд в плазме. М.: Атомиздат, 1969, 292 с.

67. Сенченков А.П. Техника физического эксперимента. М.: Энергоатомиздат, 1983, 240 с.

68. Хадцлстоун Р., Леонард С. Диагностика плазмы. М.: Мир, 1967, 516 с.

69. Васильев A.M. Введение в статистическую физику. М.: Высшая школа, 1980, 272 с.

70. Уэймаус Д. Газоразрядные лампы. М.: Энергия, 1977,343 с.

71. Барченко В.Т., Задера А.В., Соколовский А.Ю. Источникионов для моделирования процессов в СВЧ-приборах. В сб. Из в. ЛЭТИ. Науч.тр./Ленингр.электротехн.ин-т им.В.И.Ульянова (Ленина),1982, вып.315, с.57-60.

72. KoSayaski, И. Studies of t&e ko££ouf dcschortge daojD&?isf7icdnon as a source, H~ corns-Rexf. Srt. InstR,, -/976, v. YT, N4Q, fx U25 <l№

73. J. fif>f£. Phys.9J96Q, jb.

74. Гойхман B.X., Заграничный G.H., Задера А.В. Исследование характеристик тлеющего разряда в трехэлектродной системе.

75. В Меж вуз. сб. науч. тр. Вакуумная и газоразрядная электроника, Рязань, РРТИ, 1984, с.33-36.

76. Барченко В.Т., Заграничный С.Н., Соколовский А.Ю. Некоторые вопросы исследования плазменных источников заряженных частиц. В сб.Изв.ЛЭТИ. Науч.тр./Ленингр. электротехн.ин-тим.В.И.Ульянова (Ленина), 1981, вып.282, с.7-11.

77. Stanqe&y R.S.0Shmaudoi И/J. EMfsslon£ess Fbu/ек Cathode ReU Sbt.iwte., -f076, N48, |b. 935-937

78. Барченко В.Т., Задера А.В., Соколовский А.Ю. О влиянии магнитного поля на эффект усиления плазменного тока. В Межвуз. сб.науч.тр.: Вакуумная и газоразрядная электроника, Рязань, РРТИ, 1984, с.33-36.

79. Глазунов В.Н., Метель А.С. О механизме потерь быстрых электронов в тлеющем разряде с осциллирующими электронами. -Физика плазмы, 1982, № 5, с.1099-1104.

80. Болдасов B.C., Волков Б.И., Свешников А.Г. и др. Численный расчет формы плазменного эмиттера и ускоренного пучка в ионно-оптической системе. В кн. Вычислительные методы и программирование. М.: Изд.МГУ, 1975,с.290-298.

81. Волков Б.И., Свешников А.Г., Семашко Н.Н. К задаче определения формы плазменного эмиттера в ускоряющем электрическом поле. Докл.АН СССР, 1971, т.201, № 4, 1971, с.806-810.

82. Фрфсов О.Б. Ток положительных ионов на электроды вакуумной дуги. Журн.тех.физ., 1956, т.26, №2, с.445-447.

83. Барченко В.Т., Заграничный С.Н., Задера А.В. 0 граничных условиях на поверхности плазменного эмиттера. В сб.Тез. докл. 5 Всесоюз.симпоз.по сильноточ.электрон., 4.2, Томск, ИСЭ, СО АН СССР, 1984, с.207-209.

84. Сьифнов Б.М. Физика слабо ионизованного газа. М.: Наука, 1972, 416 с.

85. Болдасов B.C., Волков Б.И., Свешников А.Г. К определению формы плазменного эмиттера и ускоренного пучка в ионно-оптической системе. Докл. АН СССР, 1974, т.218, № 5, с.1049-1051.

86. Кленов Г.И., Ларионов В.П. Математическое модел*фова-ние плазменной границы в системах вытягивания ионных источниках.-Труды радиотехнического института АН СССР, 1983, № 4, с.47-56.

87. Сысоев А.А. Физика и техника масс-спекарометрических приборов и электромагнитных установок. М.: Энергоатомиздат, 1983, 255 с.

88. Кг££&ъ I.H. Beam Optics Ыезй^п ffoz Con CmpCaniatCon NucE. Inste. and Me-tA.s Ш! ,

89. GOavish, HS. Magnet ojbt Cos fjoz Qearn items-роъЬ Nuc& Instz. and MM., Iffl, N-1fp.p. 43-53.

90. Фрвдрихов С.А. Энергоанализаторы и монохроматоры для электронной спектроскопии. Л.: ЛГУ, 1978

91. GaCys Knyati &.Е. Focusing and diSpetsCn^-pxop&ttCes cfi a stcamatic crossed НеЫ епгъеш апа&^ъ&г. I Vac.ScC. and TecAnoC. 3 1978, v. 15, №3, |э. 363-367.

92. Ho(tmtcd L. Mass despezsion and mass tesoBution On czossed $iomoc^zneous e^eetsUo and magnetic Qce£ds: The Wuen V-e£ocCty Setter, аз a mass speottomebx, In-t&tn, J. off Mass. Spec Ьъогп. and Ion Pkys., 1975, v.fl, №3, jb. 405-№1

93. SeBo^eR R.L. Ex В Mass Sepax&t zn PesCcfn -J. Appt Phys. 31979 , V. 13, N£5, p. 2262-2357.

94. Ioanotfcccri D.,Cuna C, ResoSutCon test ofy W^en {jiM&v Mass spec,ЪготеЬеъ ufitH in homoc^meovs faMs -Ink J. 4 Mass Jpectnom. and1.n PAys.,19T7,v.25,p.117-m

95. WahsCCn L. The СоЬл&хоп Исак E , a velocity fffl&t Csotope sepatatoi NucL Insbt. arid Mebh., •1965 л v. 36, p. 133-139.

96. Агранович В.Л. и др.Спектрометр со скрещенными электрическим и магнитным полями для изменения направления вектора поляризации пучка электронов. Приборы и техника эксперимента, 1983, № 5, с.13-15.

97. Ццрлин Л.Э. Избранные задачи расчета электрических и магнитных полей. М.: Сов.радио, 1977, 320 с.