Моделирование начальных стадий роста пленок на подложках тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Мизина, Виктория Валерьевна

• Мизина, Виктория Валерьевна
• кандидат физико-математических наук
• 2006

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Мизина, Виктория Валерьевна

ВВЕДЕНИЕ

1. ОБЗОР ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ И ТЕОРЕТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ

ИССЛЕДОВАНИЯ НАЧАЛЬНЫХ СТАДИЙ ОБРАЗОВАНИЯ ПЛЁНОК

И ВОЗМОЖНЫХ ФАЗОВЫХ ПЕРЕХОДОВ В НИХ

1.1 Адсорбция как начальный этап конденсации плёнок. Теоретическое исследование адсорбции

1.2 Обзор экспериментальных и теоретических результатов по изучению начальных стадий формирования тонких плёнок

1.3 Теоретический и экспериментальный обзор фазовых переходов в плёнках на подложках

1.4 Экспериментальное изучение структуры монослойных покрытий

Выводы по главе

2. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ НАЧАЛЬНЫХ СТАДИЙ

ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ СТРУКТУР

2.1 Квантово-статистическая модель начальных стадий роста плёнки на кристаллической подложке

2.2 Динамика образования плёнок и релаксационные процессы

2.3 Оценка вкладов квантовых эффектов в определение энергии активации

Выводы по главе

3. ПОСТРОЕНИЕ ФАЗОВЫХ ДИАГРАММ. СРАВНЕНИЕ С ЭКСПЕРИМЕНТОМ

3.1 Расчёт спинодалей появления соразмерных тонкоплёночных структур на подложках

3.2 Исследование концентрационной зависимости энергии активации десорбции

3.3 Исследование температурной зависимости энергии активации десорбции

Выводы по главе

4. МОДЕЛИРОВАНИЕ СТРУКТУРНЫХ ФАЗОВЫХ ПЕРЕХОДОВ В

ПЛЁНКАХ

4.1 Построение модели структурных фазовых переходов типа упорядочение в плёнках

4.2 Расчёт особенностей термодинамических характеристик плёнки в модели {ф3ф4}

4.3 Моделирование структурных фазовых переходов в плёнках редкоземельных металлов на поверхности кремния

Выводы по главе

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Моделирование начальных стадий роста пленок на подложках»

Актуальность темы исследования. Развитие тонкоплёночных технологий привело к прогрессу в микро- и оптоэлектронике, определяющему лицо современной информационной цивилизации. При выращивании плёнок со сложным составом и структурой приходится, в отсутствии общепризнанных теоретических моделей, экспериментально подбирать как материал и структуру подложек, так и технологические параметры процесса эпитаксии. Повышение требования к технологии материалов и компонентов электронной техники, необходимость получения материалов с точно заданным составом и свойствами, переход к субмикронным размерам элементов ужесточает требования к структурному совершенству материала, требуют глубокого изучения закономерностей протекания отдельных процессов, включая их математическое описание. Для того чтобы определить зависимость структурно-физических свойств растущей плёнки от условий роста необходимо исследовать сложный комплекс конкурирующих процессов.

Получение плёнок с заранее заданными параметрами становится особенно важным в связи с проявляющимся в последнее время интересом к эффектам самоорганизации на поверхности полупроводников. Различие в структуре нано- и обычных материалов приводят к новым физическим явлениям, уникальным структурам и свойствам, присущим наномасштабу. И хотя очевидны экспериментальные достижения в этой области, до сих пор не полностью выяснены механизмы роста подобных структур. Несмотря на большое количество теоретических разработок, приемлемых теоретических моделей создано к настоящему времени очень мало. Были выявлены значительные проблемы, связанные как с фундаментальным пониманием поведения наносистем, так и с количественным измерением и интерпретацией их свойств, что задерживает развитие и применение нанотехнологий на практике.

Возникает проблема обновления подхода к построению моделей кинетики фазовых переходов первого рода в двухфазных системах, свободных от неконтролируемого использования неприменимых к наноструктурам макроскопических характеристик. Необходима разработка новых квантово-статистических подходов к описанию кинетики образования тонких плёнок, исследованию возможных фаз и структурных фазовых переходов. Объектом диссертационного исследования являются квазидвумерные поверхностные структуры и структурные фазовые переходы (СФП) в них. Предметом диссертационного исследования является начальные стадии формирования тонкоплёночных структур, особенности динамических и термодинамических характеристик двумерных систем при СФП в них. Целью диссертационного исследования является математическое моделирование начальных стадий формирования квазидвумерных структур в виде тонких плёнок на поверхности кристаллической подложки, а также исследование возможных СФП в квазидвумерных структурах. Научные задачи исследования

- построение квантово-статистической модели начальных стадий формирования квазидвумерных структур на кристаллической подложке;

- построение и исследование фазовых диаграмм появления тонких плёнок на поверхности подложки; построение математической модели СФП в квазидвумерных структурах;

- определение динамических и термодинамических свойств кристаллических плёнок вблизи температуры фазового перехода с учётом влияния поля подложки;

- исследование зависимости энергии активации десорбции от концентрации в случае тонких плёнок редкоземельных металлов (Yb, Sm, Eu), нанесённых на поверхность кремния Si(l 11);

- исследование температурной зависимости энергии активации десорбции, полученной при обработки экспериментальных термодесорбционных спектров в случае термодесорбции кремния с текстурированных лент тантала и термодесорбции европия с текстурированных вольфрамовых лент.

Методы исследования. Для решения поставленных научных задач использован спектр методов статистической физики, таких как метод двухвремен-ных функций Грина, метод «квазисредних» Боголюбова, методы химической физики тонких плёнок, методы теории СФП, численные методы и математические пакеты прикладных программ.

Достоверность и обоснованность полученных в диссертационной работе теоретических результатов и формулируемых на их основе выводов обеспечивается согласованием с экспериментальными результатами, полученными другими авторами, а также использованием современных методов статистической физики и численных методов математики, строгостью производимых математических вычислений, базирующихся на использовании пакета прикладных программ типа Mathcad 2001. Научная новизна результатов

1. В работе предложен новый квантово-статистический подход в описании начальных стадий формирования тонкоплёночных структур, позволяющий построить спинодали появления тонких плёнок на поверхности подложки и исследовать влияние различных факторов на вид фазовых диаграмм.

2. Предложена модель концентрационной зависимости энергии активации в плёночных системах редкоземельных металлов (Yb, Sm, Eu), нанесённых на поверхность кремния Si(lll); оценены параметры различных типов взаимодействия в плёнках.

3. Сопоставлены температурные зависимости энергии активации десорбции, полученные при обработке экспериментальных данных по термодесорбции кремния с текстурированных лент тантала и термодесорбции европия с тек-стурированных вольфрамовых лент, с зависимостями, рассчитанными теоретически по разработанным моделям, что позволило оценить интенсивность латеральных взаимодействий при разных степенях покрытия плёнок.

4. Предложена модель описания СФП I рода близких ко второму в плёнках на подложках, позволяющая исследовать фазовые переходы как в соразмерную, так и в несоразмерную фазу.

5. Определены динамические и термодинамические свойства кристаллических плёнок вблизи температуры фазового перехода с учётом влияния поля подложки и латерального взаимодействия.

6. Предложены модели для исследования температурной зависимости энергии активации десорбции кремния на текстурированных лентах тантала и зависимости энергии активации десорбции от концентрации в случае тонких плёнок редкоземельных металлов (Yb, Eu), нанесённых на поверхность кремния Si(lll).

Практическая значимость

1. Представленные в диссертационной работе модели позволяют исследовать начальные стадии формирования тонкоплёночных структур, строить фазовые диаграммы, проводить корректировку и оптимизацию технологического процесса формирования тонкоплёночных структур.

2. Предложенная модель СФП в плёнках, методы и алгоритмы исследования динамики и термодинамики моделей СФП могут послужить основой для расчёта технологических режимов кристаллизации, а также теоретической основой для создания новых технологий получения кристаллических структур с заданными свойствами.

Основные положения, выносимые на защиту

1. Квантово-статистическая модель описания начальных стадий формирования тонкоплёночных структур, позволяющая построить спинодали появления тонких плёнок на поверхности подложки.

2. Расчёт спинодалей появления тонких плёнок на поверхности кристаллической подложки и сравнение с экспериментом.

3. Модель описания СФП I рода близких ко второму в плёнках на кристаллических подложках с помощью гамильтониана критической локальной моды, моделируемой системой связанных ангармонических осцилляторов в поле несимметричных двухъямных потенциалов подложки.

4. Модель концентрационной зависимости энергии активации десорбции пленочных систем редкоземельных металлов (Yb, Sm, Eu), нанесённых на поверхность кремния Si(l 11).

5. Модель описания температурных зависимостей энергии активации десорбции, полученных при обработке экспериментальных термодесорбци-онных спектров в случае термодесорбции кремния с текстурированных лент тантала и термодесорбции европия с текстурированных вольфрамовых лент. Апробация работы Основные результаты работы докладывались и обсуждались на семинарах кафедры физики и информатики СевКавГТУ, на XXIX, XXXIV, XXXV научно-технической конференции по результатам научно-исследовательской работы ППС, аспирантов и студентов СевКавГТУ (Ставрополь 1999, 2005, 2006 гг.); V, VII, IX региональной научно-технической конференции СевКавГТУ "Вузовская наука - Северо-Кавказскому региону" (Ставрополь 2001, 2003, 2005 гг.); Ill, IV региональной научной конференции "Математическое моделирование и информационные технологии в технических, естественных и гуманитарных науках " (Георгиевск 2003, 2004 гг.); 48 научно-методической конференции преподавателей и студентов СГУ "Университетская наука - региону" (Ставрополь 2003г.); V межрегиональной научной конференции "Студенческая наука - экономике России" (Ставрополь 2005г); III, IV, V Международной научной конференции "Химия твёрдого тела и современные микро- и нанотехнологии" (Кисловодск 2003, 2004, 2005 гг.); I, II международной научно-технической конференции "Инфотелеком-муникационные технологии в науке, производстве и образовании" (Ставрополь 2004, 2006 гг); IV Международной научно-практической конференции "Проблемы синергетики в трибологии, трибоэлектрохимии, материаловедении и мехатронике " (Новочеркасск 2005г.); Всероссийской научной студенческой конференции "Научный потенциал студенчества - будущему России " (г. Ставрополь, 2006г ), IV Всероссийской научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых учёных "Молодёжь и современные информационные технологии" (г. Томск 2006г.).

Публикации. По теме диссертации опубликованы 22 работы.

1. Д.П.Валюхов, В.В.Войтюк, И.М. Хабибулин К вопросу о механизме образования оксидного покрытия на поверхности А3В5// материалы XXIX научно-технической конференции по результатам научно-исследовательской работы ППС, аспирантов и студентов за 1998г. - Ставрополь:СГТУ,1999,с. 19-20.

2. Лебедев В.И., Мизина В.В. Статистическая теория образования плёнок на поверхности кристалла // Материалы V региональной научно-технической конференции "Вузовская наука - Северо-Кавказскому региону". - Ставрополь: СевКавГТУ ,2001 ,с.31.

3. Лебедев В.И., Мизина В.В. Модель образования тонких плёнок на кристаллической подложке // Материалы VII региональной научно-технической конференции "Вузовская наука - Северо-Кавказскому региону"- Ставрополь: СевКавГТУ,2003,с.12.

4. Лебедев В.И., Мизина В.В. Динамика образования и роста оксидных плёнок на поверхности кристалла // Материалы третьей региональной научной конференции (17-19 апреля 2003г.,Георгиевск) "Математическое моделирование и информационные технологии в технических, естественных и гуманитарных науках "- Ставрополь: СевКавГТУ,2003,с.32.

5. Лебедев В.И., Мизина В.В. Динамика образования и роста плёнок на поверхности кристалла //Проблемы физико-математических наук : материалы 48 научно-методической конференции преподавателей и студентов "Университетская наука - региону" - Ставрополь:СГУ, 2003г,с.72.

6. Лебедев В.И., Косова Е.Н., Мизина В.В. Модель динамики роста плёнок на поверхности кристалла // III Международная научная конференция "Химия твёрдого тела и современные микро- и нанотехнологии"14-19 сентября 2003г, г.Кисловодск. - Ставрополь: СевКавГТУ,2003,с.172-173.

7. Лебедев В.И., Мизина В.В. Модель образования кристаллических плёнок // Материалы IV региональной научной конференции (16-17 апреля 2004г.,Георгиевск) "Математическое моделирование и информационные технологии " - Ставрополь: СевКавГТУ,2004,с.13-15.

8. Косова Е.Н., Лебедев В.И., Мизина В.В. Модель образования кристаллических плёнок на подложке // Материалы IV Международной научной конференции "Химия твёрдого тела и современные микро- и нанотехноло-гии" 19-24 сентября 2004г, г.Кисловодск. - Ставрополь: СевКавГТУ,2004,с.64-66.

9. Лебедев В.И., Мизина В.В., Галай Е.О. Квантовая модель образования плёнок на подложках // Материалы первой международной научно-технической конференции "Инфотелекоммуникационные технологии в науке, производстве и образовании" 19 декабря 2004г. - Ставрополь: СевКав-ГТУ,2004,с.450-452.

Ю.Мизина В.В. Моделирование начальных стадий формирования тонкоплёночных структур // Материалы V межрегиональной научной конференции (19-20 апреля 2005г.) "Студенческая наука - экономике России". - Ставрополь: СевКавГТУ,2005,с,33-34.

11.Мизина В.В. Начальные стадии формирования тонкоплёночных структур // Материалы XXXIV научно-технической конференции по результатам работы ППС, аспирантов и студентов СевКавГТУ за 2004г. - Ставрополь: Сев-КавГТУ,2005,с.29.

12.Лебедев В.И., Мизина В.В. Квантовая модель образования плёнок на подложках // Материалы V Международной научной конференции "Химия твёрдого тела и современные микро- и нанотехнологии" 18-23 сентября 2005г, г.Кисловодск,. - Ставрополь: СевКавГТУ,2005,с.201-202.

13.Мизина В.В. Математическое моделирование зависимости энергии активации от степени покрытия при формировании границы раздела Yb-Si(lll)// IV Международная научно-практическая конференция "Проблемы синергетики в трибологии, трибоэлектрохимии, материаловедении и мехатронике " ноябрь 2005г. - Новочеркасск: ЮРГТУ, 2005, с.41-43.

14.Мизина В.В. Математическое моделирование зависимости энергии активации от степени покрытия на начальных стадиях формирования тонкоплёночных структур. // Материалы IX региональной научно-технической конференции "Вузовская наука - Северо-Кавказскому региону". - Ставрополь: СевКавГТУ,2005,сЛ0.

15.Лебедев В.И., Мизина В.В. Моделирование структурных фазовых переходов в плёнках. // Фундаментальные исследования. -№2. - 2006. - С.71-72.

16.Мизина В.В. // Материалы XXXV научно-технической конференции по итогам работы ППС, аспирантов и студентов СевКавГТУ за 2005г - Ставрополь: СевКавГТУ,2005,с.29.

17.Мизина В.В. Исследование температурной зависимости энергии активации при термодесорбции европия с поверхности вольфрама W(100) // Материалы Всероссийской научной студенческой конференции "Научный потенциал студенчества - будущему России" 19-20апреля 2006года. -Ставрополь: СевКавГТУ,2006,с.15.

18.Лебедев В.И., Мизина В.В. Исследование структурных фазовых переходов в монослойной плёнке кремния на подложке тантала // Материалы второй международной научно-технической конференции "Инфотелекоммуникаци-онные технологии в науке, производстве и образовании" 24-28апреля 2006г. - Ставрополь: СевкавГТУ,2006,с.83-85.

19.Мизина В.В. Квантово-статистическая модель образования плёнок на подложках//Сб. научн. тр. СевКавГТУ .Серия «Естественнонаучная». -2006. -№2.-С.8-13.

20.Лебедев В.И., Мизина В.В. Квантово-статистическое моделирование концентрационной зависимости энергии активации // Вестник СевКавГТУ. -2006.-№2(6).-С. 16-21.

21.Лебедев В.И., Мизина В.В., Баранник А.А., Слуцкая О.В. Квантово-статистическое рассмотрение процесса эпитаксиального выращивания полупроводниковых плёнок // Известия вузов Северо-Кавказский регион. Естественные науки. Приложение №3. - 2006. -С.52-59.

22. Мизина В.В. Построение математической модели структурных фазовых переходов в плёнках. // Сб. тр. IV Всероссийской научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых учёных "Молодёжь и современные информационные технологии" 28 февраля-2марта 2006г. - Томск: ТПУ, 2006.-С.121-122.

Структура и объём диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, четырёх глав, заключения, списка литературы, содержащего 121 наименование и двух приложений. Основная часть работы содержит 138 страниц машинописного текста, 34 рисунка и 5 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Мизина, Виктория Валерьевна

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

1. В работе предложен новый квантово-статнстический подход в описании начальных стадий формирования тонкоплёночных структур. В рамках метода квазисредних Боголюбова и метода двухвременных функций Грина получено интегральное уравнение для определения щели в спектре возбуждений монослоя кристаллического конденсата на кристаллической подложке. Решение полученного уравнения позволяет построить спинодали появления тонких плёнок на поверхности подложки и проследить влияния поля подложки и латерального взаимодействия между частицами плёнки на температуру появления "конденсата".

2. Отождествление ширины щели с энергией активации десорбции позволило воспользоваться полученным уравнением для объяснения особенностей концентрационной зависимости энергии активации десорбции пленочных систем редкоземельных металлов (Yb, Sm, Eu), нанесённых на поверхность кремния Si(l 11) и предсказать возможные фазовые переходы.

3. Рассчитанные теоретически температурные зависимости ширины щели сопоставлены с температурными зависимостями энергии активации десорбции, полученными при обработке экспериментальных данных по термодесорбции кремния с текстурированных лент тантала и термодесорбции европия с текстурированных вольфрамовых лент. Сопоставление зависимостей на начальных этапах десорбции обнаруживает качественное совпадение полученных результатов, а также позволяет оценить интенсивность латеральных взаимодействий при разных покрытиях

4. Предложена модель описания СФП I рода близких ко второму в плёнках с помощью гамильтониана критической локальной моды, моделируемой системой связанных ангармонических осцилляторов в поле несимметричного двухъямного потенциала подложки; которая позволяет моделировать фазовые переходы как в соразмерную, так и в несоразмерную фазу.

5. Исследование поведения кристаллических плёнок на основе самосогласованной системы уравнений для фононных корреляционных функций критической моды колебаний позволило определить особенности динамических и термодинамических свойств системы. Предложенная модель адекватно описывает особенности термодинамических параметров вблизи точки фазовых переходов I рода плёнки, а также позволяет учесть влияние поля подложки и латерального взаимодействия на термодинамические свойства системы.

6. В рамках модели {срЗ-<р4} для локальной критической моды колебаний проведено исследование температурной зависимости энергии активации в случае термодесорбции кремния с текстурированных лент тантала. Сравнение зависимости, полученной при обработке экспериментальных данных, с расчётной указывает на качественное совпадение расчёта и результатов эксперимента.

7. Проведено исследование экспериментальной зависимости энергии активации десорбции от концентрации в случае тонких плёнок редкоземельных металлов (Yb, Eu), нанесённых на поверхность кремния Si(lll). Моделирование ступенчатого вида концентрационной зависимости энергии активации различными значениями силовых констант потенциала поля подложки позволило проследить изменение последних по мере уплотнения адсорбированного слоя, а также объяснить происходящие структурные изменения.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Мизина, Виктория Валерьевна, 2006 год

1. Автоколебательные режимы роста тонких плёнок из многокомпанентного пара: динамика и управление / П.Ю.Гузенко, С.А.Кукушкин, А.В.Осипов, Фрадков А. Л. // ЖТФ. 1997. - Т.67. - №9. - С.47-51.

2. Агеев, В.Н. Адсорбция европия на поверхности вольфрама с различной степенью окисления / В.Н.Агеев, Е.Ю. Афанасьева // ФТТ. 2001. - Т.43.1. B.4. С.739-744.

3. Адамсон, А. Физическая химия поверхностей/ А.Адамсон. М.: Мир, 1979.-568с.

4. Адсорбционная стадия формирования тонкоплёночных структур Еи-Si(lll) / Т.В.Крачино, М.В.Кузьмин, М.В.Логинов, М.А. Митцев // ФТТ. -2000. Т.42. - Вып.З. - С.553-563.

5. Адхамов, А.А. Применение метода функций Грина в классической статистической механике/ А.А.Адхамов, В.И.Лебедев. Душанбе: Дониш, 1975. -200с.

6. Аксёнов, В.Л.Мягкая мода и центральный пик в квазиодномерных сегне-тоэлектриках. / В.Л.Аксёнов, А.Ю. Дидык / Сообщение Объединённого института ядерных исследований. 1984. - 18с.

7. Аксёнов, В.Л. Рассеяние нейтронов сегнетоэлектриками/ В.Л.Аксёнов, Н.М Плакида, С.Стаменкович. М.:Энергоатомиздат,1984. - 256с.

8. Алексеечкин, Н.В. К теории фазовых превращений с неоднородной скоростью зарождения / Н.В .Алексеечкин // ФТТ. 2000. - Т.42. - Вып. 12.1. C.2205-2212.

9. И.Боголюбов, Н.Н. Метод исследования модельных гамильтонианов/ Н.Н.Боголюбов.- М.: Наука, 1974. 176с.

10. Боголюбов, Н.Н. Введение в аналитический аппарат статистической механики/ Н.Н.Боголюбов, А.Н.Ермилов, А.М.Курбатов. Киев: Наук. Думка, 1988.- 176с.

11. Бондаренко, В.Б. Кинетика десорбции из адсорбированных слоев, образованных двумерными островками и двумерным газом. / В.Б.Бондаренко, М.В.Кузьмин, М.А. Митцев // ФТТ. 2001. - Т.43. - Вып.6. - С.1129-1134.

12. Бонч-Бруевич, B.JI. Метод функций Грина в статистической механике /

13. B.Л.Бонч-Бруевич, С.В. Тябликов. М.: Гос. изд-во физ.-мат. литературы, 1961.-312с.

14. Брус, А. Структурные фазовые переходы / А.Брус, Р.Каули. М.: Мир, 1984.-408с.

15. Взаимосвязь энергии наноостровков SiGe с их формой и размерами / М.Я.Вялых, В.Н.Джаган, З.Ф.Красильник, П.М.Литвин, Д.Н.Лобанов, Е.В.Моздор, А.В.Новиков, В.А.Юхимчук, А.М.Яремко // ФТТ. 2004. - Т.46. -Вып.1.-С.70-73.

16. Влияние резко неравновесных условий на стехиометрию состава слоя тел-лурида кадмия, конденсируемого из паровой фазы / А.П.Беляев, В.П.Рубец, М.Ю.Нуждин, И.П. Калинкин // ФТП. 2003. -Т.37. -Вып.6. -С.641-643.

17. Влияние температуры и степени покрытия на взаимодействие самария с поверхностью кремния Si(lll) / Т.В.Крачино, М.В.Кузьмин, М.В.Логинов, М.А. Митцев // ФТТ. 1998. -Т.40. -№10. - С. 1937-1944.

18. Влияние термодиффузии на совершенство кристаллической структуры, формирующейся при конденсации из паровой фазы / А.П.Беляев, В.П.Рубец, М.Ю.Нуждин, И.П. Калинкин // ЖТФ. 2002. -Т.72. - Вып.4. - С.120-123.

19. Вялых, Д.В. Исследование микротопографии поверхностей S1O2 и Si межфазной границы Si/SiC>2 в структурах SIMOX методом сканирующей тунель-ной микроскопии / Д.В.Вялых, С.И.Федосеенко // ФТП. 1999. - Т.ЗЗ. -Вып.6.-С.708-711.

20. Галь, Н.Р. Взаимодействие алюминия с поверхностью рения: адсорбция, десорбция, рост поверхностных соединений / Н.Р.Галь, Е.В.Рутьков, А.Я. Тонтегоде // ФТТ. 2002. - Т.44. - Вып.7. -С.1332-1336.

21. Галь, Н.Р. Взаимодействие атомов серебра с иридием и двумерной графитовой плёнкой на иридии: адсорбция, десорбция, растворение / Н.Р.Галь, Е.В.Рутьков, А.Я. Тонтегоде // ФТТ. 2004. - Т.46. - Вып.2. - С.360-366.

22. Гетероструктуры с квантовыми точками: получение, свойства, лазеры / Н. Н.Леденцов, В.М.Устинов, В.А.Щукин, П.С.Копьев, Ж. И.Алферов, Д.Бимберг // ФТП. 1998. - Т. 32. - №4. - С.385-409.

23. Глумовский, В.А. Исследование физических свойств ангармонических кристаллов с вакансиями /В.А. Гумовский // Диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук. Киев, 1981. - 103с.

24. Гордон, П.В. Методы возмущений в кинетике роста нанокластеров / П.В.Гордон, С.А.Кукушкин, А.В. Осипов // ФТТ. 2002. - Т.44. - Вып.11. -С.2079-2083.

25. Григорьев, Д.А. Механизмы и кинетика начальных стадий роста плёнок, выращиваемых методом химического газофазного осаждения / Д.А.Григорьев, С.А. Кукушкин // ЖТФ. 1998. - Т.71. - Вып.З. - С.41-45.

26. Грэг Адсорбция. Удельная поверхность. Пористость / Грэг, Синг М.: Мир, 1984.-312с.

27. Давыдов, С.Ю. Адсорбция атомов водорода на кремнии / С.Ю.Давыдов // ЖТФ. 2005. - Т.75. - Вып. 1. - С.141-142.

28. Денисов, Е.А. Взаимодействие графита с атомарным водородом / Е.А.Денисов, Т.Н. Компаниец // ЖТФ. 2001. - Т.71. - Вып.2. - С. 111-115.

29. Дубровский, В.Г. Динамика роста однокомпонентной кристаллической тонкой плёнки / В.Г.Дубровский, Г.Э.Цырлин // ЖТФ. 1997. - Т.67. -№11. -С.136-138.

30. Изюмов, Ю.А. Фазовые переходы и симметрия кристаллов / Ю.А.Изюмов,

31. B.Н. Сыромятников. М.: Наука, 1984. - 248с.

32. Исследование YBa2Cu307.x плёнок на различных стадиях роста методом рассеяния ионов средних энергий / В.В.Афросимов, Р.Н.Ильин,

33. C.Ф.Карманенко, В.И.Сахаров, А.А.Семёнов, И.Т.Серенков, Д.В.Яновский // ФТТ. 1999. -Т.41. -Вып.4. - С.588-595.

34. Кинетика адсорбции и рекомбинации атомов водорода на поверхности твёрдых тел / В.Ф.Харламов, Л.М.Ануфриев, Е.П.Крутовский, Ю.В.Мосин, Е.А.Злоткин, И.В.Емельянов // Письма в ЖТФ. 1998. - Т.24. - №5. - С.23-27.

35. Кинетика начальной стадии фазового перехода первого рода в тонких пленках / В.Н.Децик, Е.Ю.Каптелов, С.А.Кукушкин, А.В.Осипов, И.П.Пронин // ФТТ. 1997. -Т.39. -№1. - С.121-126.

36. Киселёв, В.Ф. Адсорбционные процессы на поверхности полупроводников и диэлектриков / В.Ф.Киселёв, О.В.Крылов. М.: Наука, 1978. - 256с.

37. Ковалёв, А.И. Современные методы исследования поверхности металлов и сплавов / А.И.Ковалёв, Г.В.Щербединский. М.: Металлургия, 1989. -192с.

38. Коропов, А.В. Учёт ненулевой объёмной доли новой фазы в кинетике кристаллизации расплава / А.В.Коропов, С.А.Кукушкин, Д.А. Григорьев // ЖТФ. 1999. - Т.69. - Вып.7. - С.53-58.

39. Косова, Е.Н. Исследование модели структурного фазового перехода первого рода / Е.Н. Косова // Диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук. Ставрополь, СевКавГТУ, 2001. - 125с.

40. Крапухин, В.В. Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии / В.В.Крапухин, И.А.Соколов, Г.Д.Кузнецов. М.: «МИСИС», 1995. - 493с.

41. Кольцов, С.И. Отвердевание веществ: Текст лекций ЛТИ / С.И.Кольцов, P.P. Рачковский. Л.: Изд-во Ленингр. Технол. ин-та, 1987. - 40с.

42. Ктиторов, С.А. Неоднородные состояния тонкоплёночного несоразмерного сегнетоэлектрика / С.А.Ктиторов, О.С.Погорелова, Е.В.Чарная // ФТТ. -2003. Т.45. - Вып. 11. - С.2062-2066.

43. Кузнецов, В.Н. "Низкотемпературная" (Т = 250 400К) адсорбция кислорода на керамике УВагСизО^ / В.Н.Кузнецов // Письма в ЖТФ. - 2001. -Т.27. - Вып. 10. - С. 1 -7.

44. Кукушкин, С.А. К теории кристаллизации расплавов эвтектического состава на поздней стадии / С.А.Кукушкин, Д.А.Григорьев // ФТТ. Т.38. - №4. -С.1262-1271.

45. Кукушкин, С.А. Термодинамика и кинетика начальных стадий переключения в сегнетоэлектриках-сегнетоэластиках / С.А.Кукушкин, М.А. Захаров // ФТТ. 2002. - Т.44. - Вып.2. - С.332-339.

46. Кукушкин, С.А. Кинетика зарождения тонких пленок из многокомпонентного пара / С.А.Кукушкин, А.В. Осипов // ФТТ. 1994. - Т.36. - №5. -С.1258-1270.

47. Кукушкин, С.А. Кинетика переключения в сегнетоэлектриках в области сильной метастабильности / С.А.Кукушкин, А.В. Осипов / ФТТ. 2001. -Т.43. - Вып.2. -С.312-315.

48. Кукушкин, С.А. Метод малого параметра в кинетике фазовых переходов первого рода / С.А.Кукушкин, А.В. Осипов // ФТТ. 1996. - Т.З. - С.443-451.

49. Кукушкин, С.А. Процессы конденсации тонких пленок / С.А.Кукушкин, А.В. Осипов // УФН.-1998. Т. 168. -№10. - С. 1083-1116.

50. Кукушкин, С.А. Самоорганизация при зарождении многокомпонентных плёнок / С.А.Кукушкин, А.В. Осипов // ФТТ. 1995. - Т.37. - №7. - С.2127-2132.

51. Кукушкин, С.А. Термодинамика и кинетика начальных стадий переключения в сегнетоэлектриках-сегнетоэластиках / С.А.Кукушкин, А.В. Осипов // ФТТ. 2001. - Т.43. - Вып. 1. - С.80-87.

52. Кукушкин, С.А. Формирование и эволюция фазового состава и связанных с ним свойств в процессе роста тонких плёнок / С.А.Кукушкин, А.В. Осипов // ЖТФ. 1997. - Т.67. - №10. - С.112-120.

53. Куни, Ф.М. Теория гетерогенной нуклеации в условиях постепенного создания метастабильного состояния пара / Ф.М.Куни, А.К.Щёкин, А.П.Гринин // УФН. 2001. - Т.171. - №4. - С.345-3 85.

54. Ландау, Л.Д. Теоретическая физика: учеб. пособие для вузов. В Ют. T.V. Статистическая физика. 4.1. / Л.Д.Ландау, Е.М.Лифшиц. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2002. - 606с.

55. Лебедев, В.И. Метод корреляционных функций в теории фазовых переходов первого рода / В.И.Лебедев //Диссертация на соискание учёной степени доктора физико-математических наук. Киев, 1988. - 312с.

56. Лебедев, В.И. Псевдокритическая релаксация метастабильных состояний и зародышеобразование при фазовом переходе жидкость-пар / В.И.Лебедев // Сборник научных трудов. Сер. «Физико-химич.», вып.1. Ставрополь, СтГТУ, 1998. -С.80-84.

57. Лебедев, В.И. Бивакансионная сверхтекучесть квантовых кристаллов. /

58. B.И. Лебедев // Доклады Академии наук Таджикской ССР. 1980. -. T.XXIII. №6. - С.303-306.

59. Лебедев, В.И. Самоорганизация структур вблизи структурных фазовых переходов. / В.И. Лебедев // Вестник Ставропольского госуниверситета, Ф-М науки. 1997. -Вып.11.-С.80-85.

60. Любов, Б.Я. Теория кристаллизации в больших объёмах / Б.Я.Любов. -М.: Наука, 1975.-256с.

61. Механизм и кинетика начальных стадий роста плёнки GaN /

62. C.А.Кукушкин, В.Н.Бессолов, А.В.Осипов, А.В.Лукьянов // ФТТ. 2002. -Т.44. -Вып.12. - С. 1337-1343.

63. Микроструктура и физические свойства тонких плёнок Sn02. / С.И.Рембеза, Т.В.Свистова, Е.С.Рембеза, О.И.Борсякова // ФТП. 2001. -Т.35. -Вып.7. - С.796-799.

64. Начальные стадии образования фуллереновой плёнки на кремниевой подложке. / Ю.Ф.Бирюлин, А.Я.Вуль, И.К.Ионова, О.И. Коньков и др.// ФТТ. -1995. Т.37. -№10. -С.3124-3129.

65. Начальные стадии роста островковых алмазных пленок на кристаллическом кремнии. / Н.А.Фектистов, В.В.Афанасьев, В.Г.Голубев, С.А.Грудинкин, С.А.Кукушкин, В.Г.Мелехин // ФТП. 2002. - Т.36. - Вып.8. -С.910-913.

66. Начальные стадии роста GaN на оксидированном кремнии/ В.Н.Бессолов, Ю.В.Жиляев, Е.В.Коненкова, С.А Кукушкин, А.В.Лукьянов, С.Д.Раевский,

67. B.А.Федирко // Письма в ЖТФ. 2001. - Т.27. -Вып.23. - С.60-66.

68. Начальные стадии формирования границы раздела Sm-Si(lll) / Крачино Т.В., Кузьмин М.В., Логинов М.В., Митцев М.А. / ФТТ. -1998. -Т.40. №2.1. C.371-378.

69. Паташинский, А.З. Флуктуационная теория фазовых переходов / А.З.Паташинский, В.Л.Покровский. М.:1982. - 382с.

70. Перекрестов, В.И. Образование островковых структур при осаждении слабопересыщенных паров алюминия / В.И.Перекрестов, А.В.Коропов, С.Н.Кравченко // ФТТ. 2002. - Т.44. -Вып.6. - С.1131-1136.

71. Плакида, Н.М. Метод двухвременных функций Грина в теории ангармонических кристаллов/ Н.М.Плакида// Сборник "Статистическая физика и квантовая теория поля". М.: Наука. - 1973. - С.205-240.

72. Протодьяконов, И.О. Механика процесса адсорбции в системах газ-твёрдое тело / И.О.Протодьяконов, С.В.Сипаров. Л.: Наука, 1985. - 298с.

73. Роль температуры при изменении структуры нанокластеров Ni / ЮЛ.Гафнер, С.Л.Гафнер, Р.Мейер, Л.В.Редель, П.Энтель // ФТТ. 2005. -Т.47. -Вып.7. -С.1304-1308.

74. Рост и структура наноостровков Ge на атомарно-чистой поверхности окиси Si. / А.И.Никифоров, В.В.Ульянов, О.П.Пчеляков, С.А.Тийс, А.К. Гута-ковский // ФТТ. 2004. -Т.46. -Вып.1. - С.80-82.

75. Рост сверхтонких YBa2Cu307.x плёнок на подложках SrTi03. / Е.К.Гольман, Р.Н.Ильин, Д.А.Плоткин, С.В.Разумов, В.И.Сахаров, И.Т.Серенков // ФТТ. 2000. -Т.42. -Вып.З. - С.397-399.

76. Румер, Ю.Б. Термодинамика, статистическая физика и кинетика / Ю.Б.Румер, М.Ш.Рывкин. Новосибирск: Новосиб. ун-т, 2001. - 608с.

77. Сегнетоэлектрические плёнки титаната свинца на монокристаллическом кремнии / А.С.Сидоркин, А.С.Сигов, А.М.Ховив, О.Б.Яценко, В.А.Логачёва // ФТТ. 2002. - Т.44. - Вып.4. - С.745-749.

78. Слёзов, В.В. Метод виртуальных сред в теории фазовых превращений первого рода / В.В.Слёзов // ФТТ. 2000. - Т.42. - Вып.4. - С.733-740.

79. Слёзов, В.В. Зарождение твердой фазы в переохлажденных расплавах / В.В.Слёзов, С.А.Кукушкин // ФТТ. 1996. - Т.38. - №2. - С.433-451.

80. Слёзов, В.В. Кинетика распада твердого раствора с образованием новой фазы сложного стехиометрического состава / В.В.Слёзов, Ю.П.Шмельцер // ФТТ. 2001. - Т.43. - Вып.6. - С.1101-1109.

81. Смирнов, М.Б. Приближение независимых ангармонических осцилляторов в теории структурных вазовых переходов в кристаллах. / М.Б.Смирнов, J.Hinka // ФТТ. 2000. - Т.42. - Вып. 12. - С.2219-2225.

82. Спонтанно формирующиеся периодические InGaAsP-структуры с модулированным составом / Н.А.Берт, Л.С.Вавилова, И.П.Ипатова, В.А.Капитонов, А.В.Мурашова, Н.А.Пихтин, А.А.Ситникова, И.С.Тарасова,

83. B.А.Щукин // ФТП. 1999. - Т.ЗЗ. - Вып.5. - С.544-548.

84. Спонтанное упорядочение полупроводниковых наноструктур / Д.Бимберг, И.П.Ипатова, П.С.Копьев, Н.Н.Леденцов, В.Г.Малышкин, В.А. Щукин //УФН. 1997. - Т. 167. - №5. - С.552-555.

85. Струков, Б.А., Физические основы сегнетоэлектрических явлений в кристаллах / Б.А.Струков Б.А., А.П.Леванюк .- М.: Наука, 1983. 240с.

86. Структура и электронные свойства плёнок сурьмы на МО(ПО) / Д.А.Городецкий, Ю.П.Мельник, Д.П.Проскурин, В.А. Усенко // ФТТ. 2004. -Т.46. - Вып. 10. - С.1873-1880.

87. Твёрдофазные реакции и фазовый переход порядок беспорядок в тонких плёнках / В.Г.Мягков, Л.Е.Быкова, Г.Н.Бондаренко, Г.В.Бондаренко, Ф.В. Мягков // ЖТФ. - 2001. - Т.71. -Вып.6. - С. 104-108.

88. Термодесорбция кремния с текстурированных лент тантала / В.Н.Агеев, Е.Ю.Афанасьева, Н.Д.Потехина, А.Ю. Потехин // ФТТ. 2000. - Т.42. -Вып.2. -С.347-353.

89. Термодинамические и кинетические аспекты реконструкционных переходов на поверхности (001) GaAs / Ю.Г.Галицын, В.Г.Мансуров,

90. C.П.Мощенко, А.И. Торопов // ФТП. 2000. - Т.34. -Вып.8. - С. 978-399.

91. Тонкие плёнки углерода. II. Строение и свойства / А.П.Семенов,

92. A.Ф.Белянин, И.А.Семёнова, П.В.Пащенко, Ю.А. Барнаков // ЖТФ. 2004. -Т.74. - Вып.5. - С.101-104.

93. Трофимов, В.И. Кинетика взаимодействия кислорода с поверхностью. Образование и рост оксидной фазы на поверхности металла. / В.И.Трофимов,

94. B.А. Осадченко // Поверхность. 1991. - №10. - С. 128-131.

95. Трофимов, В.И. Самосогласованная модель кинетики объемного роста тонкой пленки / В.И.Трофимов, В.А. Осадченко // Поверхность. 1986. - №1. - С.29-37.

96. Упорядочение кислорода с точки зрения теории Ландау / А.Ю.Гуфан, Ю.М.Гуфан, Ю.В.Прус, Накамура Кейкичи // ФТТ. Т.42. - Вып. 10.1. C. 1774-1779.

97. Фатеев, М.П. К теории фазовых переходов первого рода многих переменных / М.П.Фатеев // ФТТ. 2002. - Т.44. - Вып. 12. - С.2212-2216.

98. Фелдман, Л. Основы анализа поверхности и тонких плёнок / Л.Фелдман, Д.Майер. М.: Мир, 1989. - 344с.

99. Фольмер, М. Кинетика образования новой фазы / М.Фольмер. -М.: Наука, 1986.-208с.

100. Формирования тонкоплёночной структуры Eu-Si(lll): стадия силици-дообразования / Т.В.Крачино, М.В.Кузьмин, М.В.Логинов, М.А. Митцев // ФТТ. 2004. - Т.46. - Вып.З. - С.544-548.

101. Хачатурян, А.Г. Теория фазовых превращений и структура твёрдых растворов / А.Г.Хачатурян. М.: Наука, 1974. - 384с.

102. Церковников, Ю.А. Вычисление корреляционных функций неидеального бозе-газа в рамках метода коллективных переменных / Ю.А.Церковников // Теоретическая и математическая физика. 1976. - Т.26. -№1.-С.77-95.

103. Черепин, В.Т. Методы и приборы для анализа поверхности материалов: справочник / В.Т.Черепин, М.А. Васильев. Киев: Наукова думка, 1982. -400с.

104. Юхновский, И.Р. Фазовые переходы второго рода. Метод коллективных переменных / И.Р.Юхновский. Киев: Наук. Думка, 1985. - 224с.

105. Kerr, W.C. First-order displacive structural phase transitions studied by computer simulation/ W.C.Kerr, A.R. Bishop //Phys.Rev.B.-1986.-V.34.-P.6225-6310.

106. Meier, P.F. Green's function approach to phonon hydrodynamics in solids / P.F.Meier//Phys. kondens. Materie. 1969. -N.8. -P.241-267.

107. Nagai, T. Molecular dynamics of interacting kinks.I / T.Nagai, K.Kawasaki // Physica. 1983. - 120A. -P.587-599

108. Okada, K. Phase diagram and critical point / K. Okada // Bulletin of Nagoya Institute of Technology. 1979. -V.31. -P.135-144

109. Robledo, A. The liquid-solid transition of the hard sphere system from uniformity of the chemical potential / A.Robledo // J. Chem. Phys. 1980. - V.72. -N.3. -P.1701-1712.

110. Robledo, A. Rigorous interface properties for the van der Waals fluid mixture/ A.Robledo, C. Varea, A. Valderrama // J. Chem. Phys. 1980. - V.73. -N.12. -P.6265-6271.

111. Takeno, S. A theory of fonon-like excitation in non-cristalline solids and liquids / S.Takeno, M.Goda // Progress of theoretical physics. 1972. - V.47. -N.3. -. P.790-806

112. Varea, C. Rigorous interface properties for the van der Waals fluid mixture / C.Varea, A.Varderrama, A.Robledo // J. Chem. Phys. 1980. - V.73(12). - N.15. -P.6265-6271.

113. Yukalov,V.I. On solid-liquid phase transition / V.I.Yukalov // Preprint 5281, Dept. Theor. Phys. Oxf. Univ., Oxford, 1981. 32p.