Метод контроля параметров эмиссионных материалов СВЧ устройств в процессе их производства и эксплуатации тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.12.07, кандидат технических наук Королев, Дмитрий Сергеевич

• Королев, Дмитрий Сергеевич
• кандидат технических наук
• 2011

Оглавление диссертации кандидат технических наук Королев, Дмитрий Сергеевич

ГЛАВА I. ЭМИССИОННАЯ НЕОДНОРОДНОСТЬ КАТОДНЫХ.МАТЕРИАЛОВ И ЕЕ ВЛИЯНИЕ

НА ПАРАМЕТРЫ СВЧ УСТРОЙСТВ.

1.1 Связь параметров СВЧ приборов с эмиссионной неоднородностью катодных материалов.

1.2 Исследование поверхности эмиссионных материалов методом эмиссионной микроскопии.

1.3 Уравнение токоотбора с учетом эмиссионной неоднородности.

1.4 Методы определения эмиссионной неоднородности.

ГЛАВА П. ЭМИССИОННО-СПЕКТРАЛЬНЫЙ МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЭМИССИОННОЙ НЕОДНОРОДНОСТИ КАТОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ.

2.1 Некорректные задачи.

2.2 Определение эмиссионной неоднородности методом регуляризации.

2.3 Определение эмиссионной неоднородности методом.Фурье преобразования.

2.4 Определение распределения форм-фактораавтоэмиссионных наноструктур.

2.5 Аппроксимация экспериментальных данных на равномерные сетки.

ГЛАВА Ш. ПРОГРАММНО-АППАРАТНЫЙ КОМПЛЕКС ЭМИССИОННО-СГШКТРАЛЬНОГО МЕТОДА ИССЛЕДОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ КАТОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ.

ГЛАВА IV. МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ СПЕКТРАЛЬНЫХ ПАРАМЕТРОВ ЭМИССИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ.

4.1 Алгоритм определения параметров бимодальных нормальных распределений.

4.2 Алгоритм определения параметров трех модальных.нормальных распределений.

ГЛАВА V. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ТЕРМОЭМИССИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ ЭМИССИОННО-СПЕКТРАЛЬНЫМ МЕТОДОМ.

5.1 Исследование поверхности оксидного материала в процессе активирования.

5.1.1 Моделирование процесса вакуумно-термической обработки.

5.1.2 Исследование процесса активирования оксидных катодов эмиссионно-спектральным методом.

5.2 Исследование процесса отравления гексаборида лантана.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Метод контроля параметров эмиссионных материалов СВЧ устройств в процессе их производства и эксплуатации»

Актуальность работы. Анализ научных публикаций [1-12] показал - параметры и успешное функционирование СВЧ устройств, используемых в радиолокации и радионавигации, приемо-передающих СВЧ устройств космической связи зависят от эмиссионной неоднородности катодных материалов используемых в этих устройствах.

Эмиссионная неоднородность материалов приводит к снижению токоотбора и как следствие, к снижению выходной мощности, неравномерной тепловой нагрузке на коллектор и снижению КПД приборов. Пространственное распределение эмиссионной неоднородности катодных материалов приводит к возбуждению "паразитных" видов колебаний и увеличению шума, что отрицательно сказывается на характеристиках СВЧ устройств и их серийной пригодности [13-26].

Очевиден и интерес к разработке метода исследования поверхности эмиссионных материалов в условиях, когда применение традиционных методов, таких как OGE, SIMS, LEED невозможно, например, когда окружающая среда отрицательно сказывается на работоспособности исследовательского оборудования, при воздействии радиации или ионной бомбардировки. Разработка оперативного метода определения эмиссионной неоднородности катодных материалов, позволяющего контролировать качество СВЧ устройств на всех этапах их производства и эксплуатации, является актуальной задачей, решению которой посвящена настоящая диссертационная работа.

Целью диссертационной работы является разработка оперативного нераз-рушаемого метода определения эмиссионной неоднородности катодных материалов в процессе их вакуумно-технологической обработки и эксплуатации, позволяющего контролировать и прогнозировать выходные параметры СВЧ устройств различного назначения.

Цель достигается путём:

- обоснования выбора наиболее информационного параметра, характеризующего состояние эмиссионного материала в СВЧ приборах (клистронах, клистродах, лампах бегущей и обратной волны и т.д.);

- разработки математической модели исследования термоэмиссионного материала с учетом эмиссионной неоднородности;

- моделирования влияния погрешности регистрирующей аппаратуры на результат определения эмиссионной неоднородности и разработки метода интерпретации эмиссионного спектра катодных материалов СВЧ устройств;

- разработки программно-аппаратного комплекса для измерения эмиссионной неоднородности катодных материалов;

- проведения анализа результатов экспериментальных исследований эмиссионных материалов, используемых в современных СВЧ устройствах.

Научная новизна диссертации заключается в том, что впервые:

1. Предложено уравнение токоотбора с учетом эмиссионной неоднородности. По своей структуре уравнение токоотбора является интегральным уравнением Фредгольма 1-го рода, содержащее под знаком интеграла произведение двух функций - ядра, отражающего свойства электронно-оптической системы (ЭОС) и второй сомножитель, отражающий эмиссионные свойства материала (ТЭМ) - статистическую функцию распределения работы выхода (ФРРВ) поверхности катода;

2. Показано, что обратная задача - определение ФРРВ из результатов эмиссионных испытаний является некорректной. В . результате традиционное решение задачи - определение ФРРВ эмиттера из результатов эмиссионных испытаний, может сколь угодно сильно отличаться от истинного значения. Для обеспечения устойчивости решения и его сходимости к точному решению при погрешности регистрации исходной информации, стремящейся к нулю, использована априорная информация об искомом решении — его положительность, ограниченность решения вместе с его производными;

3.Предложены два метода определения статистической функции распределения работы выхода (ФРРВ) эмиттера из результатов эмиссионных испытаний с учетом некорректности задачи. Первый метод связан с регуляризацией и минимизацией функционала Тихонова. Второй метод основывается на применении быстрого преобразования Фурье для минимизации функционала Тихонова. Методом Монте-Карло доказана сходимость решения задачи определения статистической ФРРВ эмиттера из результатов эмиссионных испытаний к точному при погрешности, стремящейся к нулю. Показано, что адекватное определение ФРРВ в диапазоне 1 эВ из результатов эмиссионных испытаний возможно при регистрации ее с погрешностью порядка 0,001%;

4. Показано, что на основе анализа статистической ФРРВ можно определить химический и фазовый состав материала поверхности термоэлектронного эмиттера СВЧ приборов.

Методы исследования:

Теоретические исследования проведены с использованием метода численного моделирования и статистического моделирования методом Монте-Карло. Экспериментальные исследования эмиссионных материалов выполнены эмис-сионно-спектральным методом.

Достоверность научных положений, выводов, рекомендаций подтверждается путем сравнения результатов теоретических и экспериментальных исследований, а также их сравнением с результатами, опубликованными ранее в отечественных и зарубежных научных публикациях.

На защиту выносятся следующие научные положения и результаты:

1. Математическая модель токоотбора с учетом эмиссионной неоднородности материала;

2. Методы определения эмиссионной неоднородности материала из результатов эмиссионных испытаний;

3. Математическая модель влияния величины погрешности регистрирующей аппаратуры на результат определения эмиссионной неоднородности материала;

4. Результаты экспериментальных исследований обезгаживания и активирования оксидных термоэмиссионных материалов, а также отравления и активирования гексаборида лантана.

Практическая ценность результатов диссертации:

1. Разработан метод оперативного контроля эмиссионной неоднородности, позволяющий осуществлять оперативный контроль химического и фазового состава поверхности эмиссионных материалов СВЧ устройств в процессе вакуумно-термической обработки, активирования и эксплуатации;

2. Результаты работы использованы при разработке мощных СВЧ устройств специального назначения, а также при создании катодов компенсаторов холловских электродинамических двигателей для корректировки орбит космических аппаратов;

3. Результаты работы использованы в учебном процессе в МГИЭМ.

Публикации. По теме диссертационной работы сделано 7 докладов на отечественных и международных конференциях, опубликовано 7 статей, из них 3 статьи в рецензируемых журналах ВАК.

Реализация результатов диссертационной работы:

Результаты работы использованы при разработке пучково-плазменных СВЧ устройств оборонного назначения и электрореактивных холловских двигателей коррекции орбит космических аппаратов. Результаты подтверждены актами ФГУП ВЭИ имени В.И.Ленина и ОАО НТО "Контакт".

Апробация работы. Основные положения диссертации докладывались и обсуждались на конференциях:

1. Коваленко Ю.А., Ермилов А.Н., Королев Д.С. Закон токоотбора в сильноточных инжекторах электронов с учетом эмиссионной неоднородности термоэмиттеров. // 6-я школа молодых ученых, Москва ИЯИ им. Курчатова, 16-22 ноября 2008;

2. Kovalenko Yu. A., Korolev D.S. Р2-38: Ill-posed problems of emission electronics. II XI IEEE International Vacuum Electronics Conference IVEC 2010 18-22 May 2010, Monterey US, California. - P. 297-298;

3. Kovalenko Y.A., Korolev D.S. ILL-Posed Problem of the Physical Electronics // (SHCE-1 -1-90022) 16-th International Symposium on High Current and 10-th International Conference on Modification of Material with Particle Beams and Plasma Flows Tomsk, RUSSIA, 19-24 September 2010;

4. Коваленко Ю.А., Королев Д.С.Эмиссионно-спектральный метод исследования поверхности. Состояние и перспективы дальнейшего развития. // Конференция молодых ученых ВЭИ, Москва, 16-18 ноября 2010 года;

5. Kovalenko Yu.A., Korolev D.S. Problem diagnostics of electronics and plasma units. II IVEC 2011. Bangalore, India. 19-25 February 2011. -P. 447 - 448;

6. Kovalenko Yu.A., Korolev D.S. Simulation of thermodynamic process with share of thermo emission materials // IVEC 2011, Bangalore, India. 19-25 February 2011.-Pages: 129-130;

7. Королев Д.С. Алгоритм определения эмиссионной неоднородности материалов из результатов эмиссионных испытаний // Материалы XVIII научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов. "Вакуумная наука и техника" / Под. ред. д.т.н., проф. Д.В.Быкова. М.~:МИЭМ.2011.С.276-279.

Структура и объем диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, заключения, приложения и списка используемых источников. Имеет общий объем 162 страницы, в том числе 56 рисунков, 2 таблицы, 140 наименований списка использованных источников на 15 страницах, 3 страницы приложений.

Заключение диссертации по теме «Антенны, СВЧ устройства и их технологии», Королев, Дмитрий Сергеевич

Основные результаты работы:

1. Предложено уравнение токоотбора с учетом эмиссионной неоднородности, позволяющее адекватно описывать токоотбор в СВЧ устройствах. По своей структуре уравнение токоотбора является интегральным уравнением Фредгольма 1-го рода, содержащее под знаком интеграла произведение двух функций: ядра - отражающего геометрические характеристики ЭОС системы и второго сомножителя, отражающего эмиссионные свойства ТЭМ статистическую функцию распределения работы выхода;

2. Доказано, что задача определения ФРРВ из результатов эмиссионных испытаний является некорректной. Некорректность связана с неоднозначностью решения обратной задачи, описываемой интегральным уравнением Фредгольма-1-го рода и влиянием погрешности исходной информации на результат. Для обеспечения однозначности и сходимости решения к точному при погрешности исходной информации, стремящейся к нулю необходимо использование априорной информации о характере решения и использование методов регуляризации;

3. Предложены два метода определения ФРРВ из результатов эмиссионных испытаний. Доказана корректность предлагаемых методов, их однозначность, устойчивость и сходимость к точному значению. Показано, что точность определения статистической функции распределения работы выхода по поверхности катодного материала из результатов эмиссионных испытаний соизмерима с точностью регистрации В АХ или НДХ;

4. Методом Монте-Карло доказана сходимость решения к точному при погрешности, стремящейся к нулю. Показано, что адекватное восстановление функции распределения работы выхода в диапазоне 1 эВ из результатов эмиссионных испытаний возможно при регистрации эмиссионной характеристики с погрешностью порядка 0,001% ;

5. Методом эмиссионной спектрометрии исследован процесс активирования оксидного эмиссионного материала. Показано, что процесс активирования носит многостадийный характер и связан с образованием ряда твердых растворов различной концентрации. Результаты исследования согласуются с результатами термодинамических расчетов;

6. Методом эмиссионной спектрометрии исследован процесс отравления ЬаВб. Данные по значениям работ выхода пиков ФРРВ позволили сделать вывод -снижение эмиссии при отравлении связано в первую очередь с окислением свободного Ьа до соединеия Ьа2Оз\

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Основным итогом диссертационной работы является решение актуальной задачи, заключающейся в разработке оперативного неразрушающего метода контроля параметров эмиссионных материалов катодов в процессе их вакуум-но-технологической обработки и эксплуатации, позволяющего прогнозировать надежность электронных и плазменных приборов для СВЧ устройств различного назначения.

При решении поставленной задачи в работе разработаны модели, методы расчета, научно - обоснованные технические решения, которые позволили создать новый метод исследования поверхности эмиссионных материалов. Особенностью работы является её прикладная направленность, позволяющая использовать полученные теоретические и экспериментальные результаты для решения конкретных научно-практических задач.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Королев, Дмитрий Сергеевич, 2011 год

1. Самсонов Д. Б. Низкочастотные колебания пространственного заряда и их влияние на характеристики винтового электронного потока и параметры ги-ротронов. Автореферат дис. на соискание ученой степени к.ф.м.н. Код специальности ВАК: 01.04.04 С-П. 2008 29 с.

2. Глявин М.Ю. Гиротроны для технологических комплексов и диагностических систем. Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора ф.м.н. 01.04.04 физическая электроника. СП-б.:-2009.

3. Шаповалов A.C. Исследование особенностей трансформации флукту-аций в радиоэлектронных системах СВЧ с повышенным уровнем собственных шумов. Автореферат дис. на соискание ученой степени док. фмн — Саратов. :-2002, Код сп ВАК: 01.04.03, 01.04.04 ст. 686

4. Запевалов В.Е., Малыгин С.А., Мануйлов В.Н., Цимринг Ш.Е. Катодная неустойчивость в мощных гиротронах // Известия ВУЗов. Радиофизика. -1990.-Т. 33, №10. -С. 1193-1196.

5. Ilyin V.N., Louksha O.I., Mjasnikov V.E., et al. Effect of emission inhomoge-neities on low-frequency oscillations in gyrotron-type electron beams // Ргос.12л Int. Conf. on High-Power Particle Beams "Beams'98". Haifa, Israel, 1998.-Vol.2.-P. 800.

6. Самсонов Д.Б., Лукша О.И. Экспериментальное исследование влияния эмиссионной неоднородности катода на характеристики 72ГТц/100кВт гиро-трона //XXXIII неделя науки СПбГПУ: материалы НТК. СПб.:-2005. -Ч. VI.-C. 93-95.

7. Лисс В.В., Эфрос В.Я. Связь коэффициента шума ЛБВ с эмиссионной неоднородностью катода // Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. 1971. -В. 7.-С. 55-62.

8. Глявин М.Ю., Запевалов В.Е., Кулыгин М.Л., Куфтин А.Н. Учет реального распределения электронов по скоростям при расчете КПД гиротрона. // Электронная техника. Сер. 1. СВЧ техника. 1999.-Вып. 2(474). - С.9.

9. Louksha О. I., Sominski G. G. and Samsonov D. В., et al. Effect of ion bombardment on emission characteristics of gyrotron cathodes // 35th IEEE International Conference on Plasma Science June 15 19, 2008. Karlsruhe, Germany 2008.

10. Воронков И.Е., Ходневич С.П. Связь эмиссионной неоднородности с низкочастотными шумами эмиссии неоднородных катодов // Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. -1973,- Вып. 10. С. 92-95.

11. Шаповалов A.C., Голубенцев А.Ф., Денисов Ю.И. Эмиссионные и шумовые свойства неоднородных эмиттеров / Под редакцией профессора В.М. Лопухина. Саратов.: Изд-во СГУ.-1983. -90 с.

12. Голубенцев А.Ф., Шаповалов A.C. О влиянии статистических неоднород-ностей катода на его эмиссию // Аннотированный указатель литературы по электронной технике. М.: ЦНИИ "Электроника". 1969. -В. 10(71).-С. 33.

13. Голубенцев А.Ф., Шаповалов A.C. К вопросу о влиянии статистических неоднородностей катода на его шумовые свойства // Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. 1970. -Вып. 5. С. 132-133.

14. Голубенцев А.Ф., Шаповалов A.C. О спектральной плотности флуктуаций скорости и кинетического потенциала на неоднородном катоде //ЖТФ. -1970. -Т. 40, №7. -С. 1542-1546.

15. Шаповалов A.C., Шаповалов С.А., Плеханов O.A. Спектральные характеристики флуктуаций поперечной скорости электронного пучка на неоднородном катоде //Вопросы прикладной физики.: Межвуз. науч. сб. Саратов.: Изд-во СГУ.- 1999. Вып. 5. - С. 80-83.

16. Голубенцев А.Ф., Шаповалов A.C. К вопросу о спектральной плотности флуктуаций тока эмиссии термокатода // Изв. вузов. Радиофизика. 1974. Т. 17, № 12.-С. 1885-1890.

17. Голубенцев А.Ф., Шаповалов A.C. О влиянии смены эмиссионных состояний термокатода на шумовые свойства СВЧ приборов. В кн.: ВИМИ "РИ-ПОРТ". М.: ЦНИИ "Электроника". - 1976. - №17. Деп. №4318/76.

18. Шаповалов A.C. Шумовые инварианты электронного пучка на неоднородном катоде // Вопросы прикладной физики. : Межвуз. науч. сб. Саратов.: Изд-во СГУ. 1997. -Вып. 3. С. 12-16.

19. Шаповалов A.C. Влияние корреляции флуктуаций на шумовые параметры электронного пучка на неоднородном эмиттере // Вопросы прикладной физики. : Межвуз. науч. сб. Саратов.: Изд-во СГУ. 1997. -Вып. 3. С. 17-20.

20. Шаповалов A.C. Взаимный спектр флуктуаций электронного пучка на неоднородном эмиттере // Мат. межд. научн.-техн. конф. Актуальные проблемы электронного машиностроения. Саратов.: СГТУ. -1998. -4.1.-С. 226-230.

21. Воробьев М.Д., Юдаев Д.Н. Шумы, создаваемые термокатодом в электронно-лучевой пушке. Материалы 39-го международного научно-методического семинара "Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых проборах", Москва.- 2009.

22. Беспалов А.Н., Усыченко В.Г. О влиянии эмиссии катода на уровень флуктуаций колебаний в магнетроне // ЖТФ. 1976. Т. 46, В. 7. -С. 1542.

23. Дружинин A.B., Кондрашенков Ю.А., Некрасов В.И. Эмиссионная неоднородность эффективных термокатодов // Изв. АН СССР. Сер. Физическая. 1969. Т. 33, № 5. - С. 411-420.

24. Ходневич С.П., Киселев А.Б. Низкочастотные шумы и эмиссионная неоднородность окислов щелочноземельных металлов // Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. 1972.- В. 7. С. 23-32.

25. Глумова М.В., Воробьев М.Д. Исследование влияния эмиссионной неоднородности катода на вольт амперные характеристики электронных приборов. // Ученые записки ТНУ. - 2001. - N 14. - с. 42-47.

26. Nusinovich G.S., Vlasov A.N., Botton M., et al. Effect of the azimuthal inho-mogeneity of electron emission on gyrotron operation // Phys. Plasmas. 2001. Vol. 8, no. 7. - P. 3473-3479.

27. Леонов A.C. Решение некорректно поставленных задач. Очерк теории, практические алгоритмы и демонстрация в МАТЛАБ.-М.: Книжный дом "Либ-роком".- 2010. -С.336.

28. Hasker J.and Van Hijngen N.C.J. Cathode and scaling properties related to the shape of current voltage characteristics // Applied Surface Science. 1985. v24.- p 318-329.

29. Tonnerre J.C., Brion D., Shroff A.M. Evaluation of the work function distribution of impregnated cathodes. // Applications of Surface Science. -1983.- v. 16. -p.23 8-249.

30. Адамар Ж. Задача Коши для линейных уравнений с частными производными гиперболического типа. М.: Наука 1978. -С.351.

31. Братман B.JL, Глявин М.Ю., Гольденберг А. Л., Савилов А.В. Разброс начальной энергии электронов в гиротроне,вызваный развитием неустойчивости отрицательной массы в магнетронно-инжекторной пушке // ЖТФ-2000.-Т.70,№ 4. С.90.

32. Radiophysics and Quantum Electronics.- 1997.- vol.40, no.4,

33. Dumbrajs O., Glyavin M., Zapevalov V., Zavolsky N. Influence of reflections on mode competitions in gyrotrons // IEEE Transactions on Plasma Science. 2000-v.28, №3. -P.588.

34. Венедиктов Н.П., Глявин М.Ю., Гольденберг А.Л., Запевалов В.Е., Куф-тин А.Н., Постникова А.С. Измерение разброса начальной энергии электронов в гиротроне // ЖТФ.-2000.- Т. 70,№ 4. -С.95.

35. Глявин М.Ю. Мощный высокоэффективный гиротрон для микроволновых технологий // Избранные труды молодых ученых ИПФ РАН, Н.Новгород.:-1999. -С.23.

36. Anderson J.P., Korbly S.E., Temkin R.J., Shapiro M.A., Felch K.L., Cauff-man S. Design and emission uniformity studies of a 1.5-MW gyrotron electron gun // IEEE Trans. Plasma Sci. -2002. Vol. 30. - P. 2117-2123.

37. Воробьев М.Д., Глумова M.B., Анджело Я.Г. Низкочастотные шумы пленочных электронных эмиттеров. Материалы 37-го международного научно-методического семинара "Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых проборах". М.: 2007.

38. Численное моделирование физических процессов в осесимметричных электронно-лучевых приборах: Автореф. дис. канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / М.В. Глумова / Харк. нац. ун-т им. В.Н.Каразша. X., 2000. - 18 с. - укр.

39. Воробьев М.Д., Глумова М.В., Анджело Я.Г. Шумовая модель термоэлектронного катода. 16 Международная Крымская конференция "СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии", сентябрь 2006, Севастополь, Украина.

40. Воробьев М.Д., Глумова М.В. Моделирование дробового шума в электровакуумных приборах // X Междунар. конф. "СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии": Сб. докл. Севастополь. -2000.- Т.1.

41. Глумова М.В., Воробьев М.Д., Старостенко В.В. Численные исследования шумовых характеристик электронного пучка. Ученые записки СГУ, N 7(46), Симферополь.:- 1998. -С. 128-130.

42. Глумова М.В., Воробьев М.Д. Возможности эксплуатации численной динамической модели электронно-лучевых приборов // Радиоэлектроника и информатика. 2002. - N 1. - с. 16-18.

43. Глумова М.В., Воробьев М.Д. Моделирование дробового шума в электровакуумных приборах Материалы 10-й Международной микроволновой конференции //СВЧ техника и телекоммуникационные технологии. - Севастополь. -2000. - С. 177-178.

44. Глумова М.В., Митриченко В.В., Терещенко В.Ю. Модель высокочастотной электронной пушки// Материалы конференции 14 международной Крымской конференции "СВЧ техника и телекоммуникационные технологии" . -Севастополь. - 2004. - с. 225-226.

45. Глумова М.В., Анджело Я.Г., Воробьева М.Д. "Моделирование эмиссионных процессов с поверхности катода" //Материалы Харьковской нанотехноло-гической Ассамблеи 2006. 2-9 октября 2006 г.149

46. Голубенцев А.Ф., Денисов Ю.И., Минкин JI.M. Введение в статистическую электронику / Под общей ред. проф. А.Ф. Голубенцева. Саратов: Изд-во Сарат. ун-та.- 1991.

47. Шаповалов A.C., Шаповалов С.А. Методика моделирования и расчёта спектров шумов локально-неоднородного катода. Вопросы прикладной физики. : Межвуз. науч. сб. Саратов.: Изд-во СГУ. 1999. -В. 5. С. 11-14.

48. Голубенцев А.Ф., Шаповалов A.C. К статистической модели неоднородного катода // Аннотированный указатель литературы по электронной технике. М.: ЦНИИ "Электроника". 1970. - В. 13. - С. 57.

49. Воробьев М.Д., Юдаев Д.Н., Чирков М.Н. Имитационная модель шумов контактов. Материалы 38-го международного научно-методического семинара "Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых проборах". Москва, 2008.

50. Голубенцев А.Ф., Шаповалов A.C. О токе эмиссии для одной статистической модели неоднородного катода // Радиотехника и электроника. 1969. Т. 14, № 11.-С. 2086.

51. Голубенцев А.Ф., Шаповалов A.C. Об одном методе учета статистических неоднородностей катода // Известия вузов. Радиофизика. -1972.- Т.15. № 2.

52. Вудраф Д., Детчал Т. Современные методы исследования поверхности. Пер. с англ. -М.: Мир.- 1989. 564 с.

53. Мелютин В.И. Эмиссионный электронный микроскоп. //УФН. T.XXXVIII.-1949.-Вып.З.- С.377-409.

54. Мюлер Э. Автоионная микроскопия. // УФН. -1967.- Т. 92, Вып. 2.-С. 293320.

55. Knyazev A.Ya., Kondrashenkov Yu.A. A thermoionic cathodes with micro150geometry of emission surface // 1994 Tri-service / NASA, Cathode workshop, Conference record, Cleveland, Ohio. USA.- 1994. -P. 249.

56. Камерцель А.Ю., Карпухин C.B. Диагностика поверхности металлопорис-тых катодов с различным составом губки // Изв. АН СССР. Сер. Физическая.-1988.-Т. 52,№8.-С. 1628.

57. Спивак Г.В., Дубинина Е.М., Сбитникова И.С., Прямкова И.А., Виноградов Д.П. Развитие методов электронной микроскопии для наблюдения микрогеометрии и центров эмиссии термокатодов // Радиотехника и электроника.-1958. Т. 3, № 8. - С. 1077-1083.

58. Ибрагимов Х.И., Корольков В.А. Работа выхода электрона в физико-химических исследованиях. Москва. Интермед-Инженеринг. -2002.-С. 526.

59. Sandor A. Activation Process of Impregnated Dispenser Cathode viewed in the Large-screen Emission Microscope // J. Electron, and Control. First Series. -1962. -Vol. 13,№5.-P. 401-416.

60. Sandor A. Emission Mechanism of Oxide Cathode in the Thermionic Emission Microscope // Internat. J. Electron. First Series 1965. -Vol. 18, №4. - P. 349-368.

61. Tuck R.A. Surface studies of thermoionic by methods unique to them. //Applied of surface Science. -1979.-V.2, № 2. -P.128-148.

62. Shis A., Haas C.A., Jensen J.T. and Hor. C.Work function and desorption studies during turn on of various shield-stored cathodes.// Applications of Surface Science.- 1981.-V.8,№ 1,2.

63. Shim A.and Haas G.A. Poisoning and reaction processes in oxide-type cathodes. Part I. Polycrystalline mixed oxides. // Application of Surface Science.-1981.-V.2, № 1-2 .-P. 128.

64. D. Jones. Surface and emission characterization of the impregnated dispenser cathodes. // Application of Surface Science. -1979.-V.2, № 2. -P.232-257.

65. S. Jamamoto, S.Toguchi, T.Aida and S.Kavase. Study of Metal fllmeoting on Sc203 Mixed matrix impregnated cathodes.// Application of Surface Science. -1984.-V.7, № 3.-P. 526.

66. Haas G.A., Shin A., Marrian C.R.K. S1EEP topographs in processed activia-tion.//Applied of Surface Science. 1983.- V.16, № !4.-P. 139-162.

67. Tonich D.H., Hescher J.A., Wittberg Т.Н., Grant J.T. Relative work function surface composition and topography of "pedigreed" impregnated tungsten cathodes // Application of Surface Science. -1985. -V.24, № 3-4.-P. 557-574.

68. Jiancan Yang, Zuoren Nie and Yiman Wang . Microstructure and emission ability of rare earth oxides doped molybdenum cathodes // Applied Surface Science.- 2003.-V. 215, № 1-4.- P. 87-95.

69. Jenkins S. N., Barber D. K., Whiting M. J. and Baker M. A. Preliminary results on the chemical characterization of the cathode nickel—emissive layer interface in oxide cathodes // Applied Surface Science. -2003.-V. 215, № 1-4. P. 78-86

70. L.X. Li, R.P. Liu, C.Z. Fan, M.Y. Lv, J. Li and W.K. Wang. I-V curve oscillation observed by atomic force microscopy. // Applied Surface Science. —2006. -V. 252. P. 5803-5807.

71. Roquais J. M., Poret F., le Doze R., Ricaud J. L., Monterrin A. and Steinbrunn A. Barium depletion study on impregnated cathodes and lifetime prediction.// Applied Surface Science.- 2003. -V. 215, № 1-4.- P. 5-17 .

72. Добрецов Л.Н., Гомоюнова M.B. Эмиссионная электроника. Из-во. Наука. М.:, -1966.-С. 564.

73. Преображенский Н.Г., Пикалов В.В. Неустойчивые задачи диагностики плазмы.-Новосибирск. :Наука, 1982.

74. Киселев А. В., Левитин С. М., Ходневич С. П. Изменение эмиссионной неоднородности оксидных катодов в процессе их форсированного старения // Электрон, техн. Сер. Электроника СВЧ.— 1974.— № 5.— С.64.

75. Ермилов А.Н., Королев Д.С. Токоотбор в мощных СВЧ приборах с учетом эмиссионной неоднородности термоэмиттеров // Электронная техника. СВЧ-техника2010. -Вып. 4(507). -С.37-45.

76. Коваленко Ю.А., Ермилов А.Н., Королев Д.С. Закон токоотбора в сильноточных инжекторах электронов с учетом эмиссионной неоднородности термоэмиттеров. 6-я школа молодых ученых. Москва. ИЯИ им. Курчатова, 1622 ноября 2008 г.

77. Kovalenko Yu.A., Korolev D.S. Problem diagnostics of electronics and plasma units. 19-25 February 2011, IVEC 2011, Bangalore, India.-Page(s): 447 448

78. Воробьев M.Д., Масленников О.Ю., Юдаев Д.Н., Орлова Е.Д., Соловьева JI.A. Электрофлуктационная диагностика металлопористых катодов. // Вакуумная, плазменная и твердотельная электроника. -2010. -№1.

79. Воробьев М.Д., Юдаев Д.Н. Шумовая диагностика термокатодов в составе электронно-лучевой пушки.// Прикладная физика.- 2010.

80. Воробьев М.Д., Склизнев С.М., Смирнов Л.П., Цветков П.А. Оценка качества электронно-лучевых приборов с оксидным катодом по характеристикам низкочастотного шума // Электронная техника. Сер. 1. СВЧ-техника. -1994.- В. 2. С. 27-32.

81. Винокуров B.A. Вычислимое и невычислимое в вычислительной математике WWW.vinokur.narod.ru.computable.htm.

82. Пикалов В.В., Преображенский Н.Г. Реконструктивная томография в газодинамике и физике плазмы.- Новосибирск.: Наука.- 1987.

83. Тихонов А. Н. О решении некорректно поставленных задач и методе регуляризации. //Доклады АН СССР. 1963. -Т. 151.

84. Kovalenko Yu. A., KorolevD.S. Р2-38: Ill-posed problems of emission elec91. ironies. // IVEC 2010, Monterey , California, USA, 18-22 May 2010.-P. 297298.

85. Коваленко Ю.А., Королев Д.С. Эмиссионно-спектральный метод исследования поверхности. Состояние и перспективы дальнейшего развития // Конференция молодых ученых ВЭИ, Москва, 16-18 ноября 2010 .

86. Kovalenko Yu.A., Korolev D.S. Problem diagnostics of electronics andplasma units. // IVEC 2011, Bangalore, India.19-25 February 2011.- P. 447 448

87. Тихонов A.H., Арсенин В Л. Методы решения некорректных задач М:Наука-1979.-С. 352.

88. Тихонов А.Н., Гласко В.В. О приближенном решении уравнения Фред-гольма 1-го рода //ЖВМ и МФ 1964. -Т.4,№3.

89. Тихонов А.Н., Гончарский A.B., Степанов В.В., Ягола А.Г. Численное решение некорректных задач. М.: Наука. 1990.

90. Винокуров В.А. О понятии регуляризуемости разрывных отображений // Журнал вычислительной мат. и мат. физики. -1971. т. 11, № 5.

91. Воеводин В.В., Кузнецов Ю.А. Матрицы и вычисления.-М.:-Наука.-1984.-С.320.

92. Березин И.С., Жидков Н.П. Методы вычислений. Т.11, М.: 1968.

93. Кристиан К. Руководство по программированию на языке Модула-2.пер. с. англ.- М.:Мир.- 1989.-С. 463.

94. Отнес Р., Эноксон JI. Прикладной анализ временных рядов.-М.: Мир.-1982.-432 с.

95. Сергиенко А.Б. Цифровая обработка сигналов. Изд.З СПб.: БХВ-Петербург. -2011.-С.768.

96. Королев Д.С. Исследование поверхности эмиссионных материалов в режиме насыщения // Журнал научных публикаций аспирантов и докторантов.-2010. -№ 12(54).-Сс. 101-109.

97. Legagneux R., Le Sech N., Guiset P. Carbon nanotube based cathodes for microwave amplifiers// IVEC 2009, Rome, Italy. -2009.-P. 80-81.

98. Gulyaev Yu. V., Sinitsyn N.I., Torgashov G.V. et al. Work function estimate for electrons emitted from nanotube carbon cluster films // Ninth Int. Vacuum Microelectronics Conf. St. Petersburg, Russia, July 7-12, 1996. Technical Digest. P. 206-210.

99. Gulyaev Yu.V., Chernozatonskii L.A., Kosakovskaya Z.Ya., Sinitsyn N.I., Torgashov G.V., Zakharchenko Yu.F. Field Emitter Arrays on Nanofila-ment Carbon Structure Films // Revue "Le Vide, Les Couches Minces".-1994.- № 271.-P. 322.

100. Голеницкий И.И., Марычева JI.H., Победоносцев A.C. и др. Расчет параметров вакуумного микротриода с автоэмиссионным катодом // Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. -1990.- В. 6.- С. 8.

101. Djubua B.C., Chubun N.N. Emission properties of Spindt-type cold-cathodes with different emission cone material // IEEE Transaction on Electron Devices. -1991. Vol. 38, № 10. - P. 2314.

102. Chubun N.N., Djubua B.C., Gorfinkel B.I., Rusina E.V. Field-emission array cathodes for a flat panel display // Third Int. Vacuum Microelectronics Conf. Naga-hama, Japan 1991- Technical Digest. - P. 60.

103. Chubun N.N., Sudakova L.N. 4 inches diagonal field-emitters matrix on glass substrate for a flat panel display // Seventh Int. Vacuum Microelectronics Conf. -Grenobl, France, July 4-15, 1994. Technical Digest. -P. 211.

104. Бондаренко Б.П., Ильин В.Н., Кузьмич К.В. и др. Эмиссионные характеристики автокатодов из пластин пирографита // Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. -1988.- В. 1. С. 34-39.

105. Wood R. W. A new form of cathode discharge and the production of X-rays, together with some notes on diffraction // Phys. Rev. -1897. -Series I,№ 5.

106. Nordheim L. Die Theorie der Electronenemission der Metalle, //Physikalische Zeischrift, -1929 Bd.30,№7.-P. 117-196.

107. Fowler R.H. and Nordheim L.W. Proc. Roy. Soc. London.: 119 (1928) 173.

108. Nordheim L.W., Proc. Roy. Soc.(London) 121 (1928) 626.

109. Levchenco B.B. On parameterizations of the Nordheim function arXiv.cond-mat/0512513vl cond-mat.mtrl-sci. 20 Dec 2005, 4c.

110. Манжиров А. В., Полянин А. Д. Справочник по интегральным уравнени-ям.-М.: «Факториал Пресс».- 2000.

111. Алифанов О.М. Идентификация процессов теплообмена летательных аппаратов.-. М: Машиностроение-1979.-С.219.

112. Шмелева Н.И., Никонов Б.П. Методика контроля эмиссионных характеристик оксидного катода // Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. -1977.-В. 60.-С. 81-86.

113. Borovkov М., Savelova Т. The computational approaches to calculate normal distributions on the rotation group // Journal of Applied Crystallography. -2007. V.40.-P. 449.

114. Савелова Т.И., Иванова Т.М. Обзор методов восстановления функции распределения ориентации; по полюсным фигурам // Заводская лаборатория.-2008,- т.78, № 7.-С. 25.

115. Иванова Т.М., Савелова Т.И. Устойчивый метод аппроксимации функции распределения ориентации каноническими нормальными распределениями // Физика металлов и металловедение. 2006. -Т. 101. № 2.- С. 129-133.

116. Савёлова Т.И., Коренькова Е.Ф.Оценка точности некоторых статистических характеристик в текстурном анализе. // Заводская лаборатория. 2006. - Т. 72. № 12. - С. 29-33.

117. Венецкий И.Г., Венецкая В.И. Основные математическо-статистические понятия и формулы в экономическом анализе. Справочник. -М:. Статистика, 1979.-С. 447.

118. Коваленко Ю.А., Королев Д.С., Алгоритм определения параметров бимодальных нормальных распределений // Журнал научных публикаций аспирантов и докторантов.- 2010.- № 12(54) .-С. 141-145.

119. Калинина Е.А., Утешев А.Ю. Теория исключения: Учеб.пособие.

120. СПб.: НИИ Химии СПбГУ. -2002.-С. 72.

121. Alekhina V.I., Ermilov A.N., Kovalenko Yu.A., Korolev S.V., Shapiro

122. A.L., Shumilin A.P. P3-31: Giant cathode-heating units for relativistic electron injectors and powerful electron-bea, vacuum and plasma devices // IVEC 2010 Monterei, California, USA 19-24 Mai 2010.

123. Alekhina V.I., Ermilov A.N., Kovalenko Y.A., Korolev S.V., Shapiro

124. A.L., Shumilin A.P. Great and shaft of beam Cathode-Heating Units for Powerful

125. Microwave device and Relativistic Electron injectors // IVEC 2011 Bangalore, India,19.25 February 2011.

126. Алехина В.И., Ермилов A.H., Коваленко Ю.А., Королев С.В., Шапиро A.JI. Гигантские катодно-подогревательные узлы для инжекторов электронов и мощных электронных приборов //Вакуумная электроника 2011, Судак.:- 2011г.

127. Коваленко Ю.А., Ермилов А.Н., Королев Д.С. Оптимизация конструкции крупногабаритных торцевых катодно-подогревательных узлов с контактным подогревателем // Электронная техника, сер. 1 СВЧ-техника, -2010.-Вып. 4(507).- С.24-36.

128. Синеряев Г.В., Слинько Л., Трусов В.Г. Принципы и метод определения параметров равновесия. Московский Технический Университет им Н.Э.Баумана.- 1978 № 268.

129. Коваленко Ю.А., Королев Д.С. Термодинамика процессов, протекающих при вакуумно-термической обработке оксидных эмиссионных материалов // Электронная техника, сер. 1, СВЧ-техника. -2011. -вып. 2(509).-С.56-62.

130. Kovalenko Yu.A., Korolev D.S. Simulation of thermodynamic process with share of thermoemission materials // IVEC 2011, Bangalore, India. 19-25 February 2011. P. 129 130.

131. Королев C.B., Киселев А.Б., Логинов Л.В. Исследование технологии производства и вакуумных свойств окисного катода // Электронная техника. Сер 1. Электроника СВЧ.-1982.-№.4 (340) .-С.48-50.

132. Фоменко B.C. Эмиссионные свойства элементов и химических соедине-ний.(Справочник) .:Киев. Наукова Думка, 1981.- С.340.