Электронная структура и технологии оксидно-никелевых катодных материалов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат наук Леденцова Наталья Евгеньевна

• Леденцова Наталья Евгеньевна
• кандидат наук
• 2019

Оглавление диссертации кандидат наук Леденцова Наталья Евгеньевна

Введение

Глава 1. Литературный обзор

1.1. Классификация и области применения катодных материалов

1.1.1. Катодные материалы на основе тройных оксидов

1.1.2. Оксидно-никелевые катодные материалы

1.1.3. Эмиссионные свойства оксидно-никелевых катодных материалов

1.2. Технологии изготовления катодных материалов

1.3. Физико-химические свойства катодных материалов

1.3.1. Фазовый состав катодных материалов

1.3.2. Термическое испарение компонентов катодных материалов

1.4. Методы измерения эмиссионных свойств катодных

материалов

1.4.1. Теоретическая модель эмиссионных свойств катодных материалов

1.4.2. Методы измерения работы выхода катодных материалов

1.4.3. Методы оценки качества и долговечности катодных

материалов

1.4.4. Методы исследования эмиссионной неоднородности катодных материалов

1.5. Выводы по главе 1 и постановка цели и задач исследований

Глава 2. Исследование электронной структуры оксидно-никелевых

катодных материалов

2.1. Методика приготовления экспериментальных образцов

2.2. Исследование структуры уровней кислородных вакансий в

оксиде бария методом оптической спектроскопии

2.3. Исследование состава поверхности катодных материалов методом ЭСХА

2.4. Исследование электронных состояний бария в оксидно-никелевых катодных материалах

2.5. Исследование структуры валентной зоны оксидно-никелевых катодных материалов методом фотоэлектронной спектроскопии

2.6. Выводы по главе

Глава 3. Исследование и разработка базовых технологий оксидно-

никелевых катодных материалов

3.1. Физические и физико-химические основы разработки технологий

3.2. Разработка технологий оксидно-никелевых катодных материалов

3.3. Исследование фазовых превращений в оксидно-никелевых катодных материалах

3.4. Исследование микроструктуры оксидно-никелевых катодных материалов

3.5. Выводы по главе

Глава 4. Исследование эмиссионных свойств оксидно-никелевых

катодных материалов

4.1. Методика экспериментальных исследований

4.2. Оксидно-никелевый катодный материал

4.3. Агломерированный оксидно-никелевый катодный материал

4.4. Обсуждение результатов исследований эмиссионных свойств

4.5. Выводы по главе

Глава 5. Испытания оксидно-никелевых катодных материалов в составе

катодов СВЧ приборов

5.1. Конструкции катодно-подогревательных узлов на основе оксидно-никелевых катодных материалов

5.2. Технологии изготовления катодно-подогревательных узлов

5.3. Результаты испытаний катодно-подогревательных узлов

5.4. Выводы по главе

Общие выводы

Список литературы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Электронная структура и технологии оксидно-никелевых катодных материалов»

ВВЕДЕНИЕ

Несмотря на интенсивное развитие микроэлектроники, в настоящее время всё больше повышаются требования к современным типам электровакуумных приборов сверхвысокочастотного диапазона длин волн (СВЧ ЭВП), которые связаны с необходимостью уменьшения габаритов приборов, увеличения их надёжности и долговечности. Для удовлетворения этих требований необходимо проведение научных и технических исследований, направленных на совершенствование существующих и разработку новых типов материалов катодов, работающих при воздействии дестабилизирующих факторов различной природы, новых технологий их серийного производства. Данная задача может быть решена путем разработки и исследования новых физико-технологических и физико-химических моделей работы катодов.

Типичными представителями катодных материалов СВЧ ЭВП являются оксидные катоды, эффективно применяемые во многих типах приборов при рабочей температуре катодов не выше 900°С. Эмиссионно-активной фазой таких катодов являются кристаллиты оксида бария, формирующиеся на этапе активирования катодов. Одной из разновидностей оксидных катодов являются оксидно-никелевые катоды, создаваемые на основе прессованных порошковых композиций «никель -тройной карбонат бария-стронция-кальция» [1-5]. Они допускают применение при рабочей температуре катодов до 1200°С и могут быть использованы в СВЧ ЭВП магнетронного типа, работающих в сантиметровом и дециметровом диапазонах длин волн. В то же время применение оксидно-никелевых катодов в приборах миллиметрового диапазона длин волн, где наблюдается значительная плотность электронной бомбардировки поверхности катода, невозможно из-за недостаточной для данных типов приборов однородности эмиссионных параметров традиционных оксидно-никелевых катодов, «ухода» геометрических размеров катодов в процессе срока службы приборов и, как следствие, ухудшения качества выходного спектра приборов [6].

К началу исследований считалось, что диспергированное введение никеля в тройную карбонатную фазу сводится исключительно к повышению теплопроводности материала катода и снижению его электросопротивления, предотвращая тем самым разогрев катода и его искрение [5-6]. В то же время проведенный анализ различия эмиссионных и эксплуатационных характеристик оксидных и оксидно-никелевых катодов, имеющих различный состав и выполненных по различным технологиям, позволил сделать заключение о возможной важной роли и других физико-химических факторов, влияющих на эмиссионные и эксплуатационные свойства таких катодов. Такими факторами, в частности, могут быть дефекты и микропримеси в эмиссионно-активной фазе катодов, влияющие на ее электронную структуру и эмиссионные свойства, физико-химические процессы межфазного взаимодействия, протекающие на этапах активирования и срока службы катодов и сопровождающиеся фазовыми превращениями в материалах катодов.

Из литературных данных [6] известно, что предпринимавшиеся ранее исследования особенностей электронной структуры оксидно-никелевых катодных материалов методами электронной спектроскопии не были успешными из-за недостаточно высокой разрешающей способности используемой аппаратуры. Более того, фактор возможного влияния микропримесей в эмиссионно-активной фазе катодных материалов на их эмиссионные и эксплуатационные характеристики в литературных источниках вообще не рассматривался. В то же время очевидно, что тип и концентрация этих микропримесей будут существенно зависеть от состава катодного материала и технологии изготовления катода.

Целью диссертационной работы являлась разработка новых технологий изготовления оксидно-никелевых катодных материалов для электровакуумных СВЧ приборов, обеспечивающих повышение стабильности эмиссионных параметров катодов, стабильности геометрических размеров катодов в процессе срока службы приборов, улучшение качества выходного спектра СВЧ приборов.

В соответствии с целью работы основными ее задачами являлись:

1. Разработка и исследование физико-химической модели влияния состава катодного материала и технологии изготовления катода на процессы формирова-

ния микропримесей в эмиссионно-активных кристаллитах оксида бария и, соответственно, на их электронную структуру.

2. Разработка и исследование новых технологий изготовления оксидно-никелевых катодных материалов, основанных на предварительном агломерировании компонентов катодов.

3. Исследование эмиссионных свойств оксидно-никелевых катодных материалов, параметров неоднородности эмиссионных свойств, влияния технологических параметров на эмиссионные свойства материалов.

4. Исследование качества и надежности новых типов катодов, изготовленных по предложенным технологиям, при испытании их на специализированных стендах и в макетах СВЧ электровакуумных приборов.

Предмет исследования - электронная структура, микроструктура, фазовый состав, фазовые превращения в катодных материалах, а также физические свойства материалов оксидно-никелевых катодов, включая влияние на указанные характеристики материалов параметров технологий и технологических сред, используемых при изготовлении катодов.

Объектами исследования в работе являлись: модельные материалы на основе карбоната и оксида бария, в том числе легированные элементами II группы Периодической системы, а также экспериментальные образцы оксидно-никелевых катодных материалов на основе тройных карбонатов бария-стронция-кальция и никеля. Чистота исходных компонентов при изготовлении образцов катодных материалов была не ниже ЧДА.

Основными методами исследований являлись: оптическая и электронная микроскопия; рентгенофазовый и рентгеноструктурный анализы; химический анализ и рентгеноспектральный микроанализ; оптическая спектроскопия; электронная спектроскопия для химического анализа; методы исследования и испытания термоэмиссионных свойств материалов.

Научная новизна результатов заключается в следующем:

1. Впервые экспериментально установлен факт влияния микропримесей на электронную структуру и, соответственно, на эмиссионные свойства кристалли-

тов оксида бария, формирующихся в оксидно-никелевых катодных материалах на этапе активирования катодов.

2. Впервые установлен синергетический эффект влияния микропримесей кальция и стронция на электронную структуру кристаллитов оксида бария, а также эффект формирования дополнительных поверхностных состояний в кристаллитах оксида бария микропримесями никеля, приводящих к снижению работы выхода оксида бария.

3. Впервые экспериментально показано, что в оксидно-никелевых катодных материалах никелевая матрица является не только фактором, влияющим на электрические и теплофизические свойства материала, но и катализатором фазовых превращений в катодном материале, сопровождающихся разложением карбонатов и формированием эмиссионно-активных фаз на основе оксида бария.

4. С использованием методов математической обработки эмиссионных измерений впервые установлено влияние технологических параметров изготовления катодов на параметры эмиссионной неоднородности катодов - среднего размера центров термоэмиссии, среднего расстояния между центрами термоэмиссии, относительной площади поверхности катода, занятого эмиссионно-активными центрами.

На защиту выносятся следующие основные научные положения:

1. В оксидно-никелевых катодных материалах никелевая матрица не только влияет на электрические и теплофизические свойства катодного материала, но и катализирует фазовые превращения в катодном материале, инициируя разложение тройных карбонатов бария-стронция-кальция и формирование кристаллитов оксида бария, легированных никелем.

2. Физико-химической основой «агломератной» технологии изготовления оксидно-никелевых катодных материалов является обеспечение равномерного легирования кристаллитов оксида бария атомами никеля и равномерного разложения карбонатов бария-стронция-кальция на этапе активирования катода в сочетании с повышением теплопроводности и электропроводности катодного материала.

3. Технологические параметры изготовления катодов существенно влияют на параметры эмиссионной неоднородности катодов - средний размер центров термоэмиссии, среднее расстояние между центрами термоэмиссии, относительную площадь поверхности катода, занятой центрами термоэмиссии.

4. Электронная структура и, соответственно, эмиссионные свойства чистых кристаллитов оксида бария определяются концентрацией кислородных вакансий, которые в кристаллической структуре оксида бария распределены неупорядоченно. Некоторые типы микропримесей в кристаллитах оксида бария приводят к упорядочению пространственного распределения кислородных вакансий, что сопровождается повышением диффузионной подвижности кислорода по кислородным вакансиям и влияет на эмиссионные свойства и долговечность катода.

5. При легировании кристаллитов оксида бария никелем, кроме эффекта упорядочения кислородных вакансий, на поверхности кристаллитов формируются дополнительные поверхностные состояния, приводящие к снижению искривления энергетических зон оксида бария вверх и, соответственно, к снижению работы выхода оксида бария.

Практическая значимость диссертации состоит в следующем:

1. Разработаны новые лабораторные технологии изготовления оксидно-никелевых катодных материалов, перспективные к применению для изготовления катодов существующих и вновь разрабатываемых СВЧ ЭВП.

2. На основе разработанных технологий изготовлены экспериментальные образцы оксидно-никелевых катодов, которые успешно прошли испытания на специализированных стендах и в макетах СВЧ ЭВП.

Достоверность положений и выводов диссертации обеспечивается применением апробированных методик исследования материалов, воспроизводимостью результатов исследований, соответствием предложенных моделей экспериментальным результатам, адекватностью выводов и научных положений диссертации предложенным и известным физическим моделям.

Апробация результатов диссертации: Результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на XXV Международной конференции «Радиа-

ционная физика твердого тела» (Севастополь, 2015 г.); Международных научно-технических конференциях "ШTERMATIC" (Москва, 2014 г., 2015 г., 2016 г. и 2018 г.); на XX и XXIII научно-технических конференциях с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника» (Сочи, 2013 г. и Судак, 2016 г.); научно-технических конференциях молодых специалистов АО «Плутон» (Москва, 2014 г. и 2015 г.); научно-технических конференциях студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ (Москва, 2013 г., 2014 г. и 2015 г.).

Публикации: Основные результаты диссертации изложены в 15 публикациях, 7 из которых опубликованы в научных журналах из Перечня ВАК РФ, получен Патент РФ на изобретение.

Личный вклад автора: Автором лично разработана новая технология изготовления оксидно-никелевых катодных материалов и катодов на их основе, проведены исследования микроструктуры и распределения элементов и фаз в образцах материалов. Автором лично проведены исследования электронной структуры модельных материалов и образцов катодных материалов, а также исследования эмиссионных свойств катодов. Автором лично изготовлены образцы оксидно-никелевых катодов для их испытания в макетах СВЧ ЭВП. При исследовании параметров эмиссионной неоднородности катодных материалов использована методика, разработанная в АО «Плутон» А.В. Шумановым.

Структура и объем диссертации: Диссертация состоит из введения, литературного обзора, четырёх глав, в которых изложены результаты исследований, общих выводов и списка цитированной литературы. Выводы работы приведены по главам и в общих выводах. Объем диссертации составляет 167 страниц, включая 39 таблиц, 106 рисунков, список литературы содержит 118 наименований.

Глава 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР 1.1. Классификация и области применения катодных материалов 1.1.1. Катодные материалы на основе тройных оксидов

Оксидные катоды используются практически во всех классах электровакуумных приборов и устройств - от телевизионных кинескопов и приёмно-усилительных ламп до линейных ускорителей элементарных частиц и мощных приборов СВЧ [7-8]. В мощных импульсных клистронах и ЛБВ оксидный катод

л

работает с отбором тока до 5 А/см в течение более 10 тыс. ч, в ЛБВ для аппара-

л

туры спутниковой связи - с отбором тока до 0,15 А/см в течение 100 тыс. ч [1,9]. Вместе с тем, использование оксидных катодов затруднительно в триодах сверхвысокочастотного диапазона длин волн, в клистродах и мощных магнетронах в связи с большим распылением активного покрытия под действием обратной бомбардировки поверхности катода электронным потоком и нагревом катода вследствие низкой теплопроводности покрытия и выделения в нём мощности обратной бомбардировки. Оксидный катод также недостаточно устойчив к ионной бомбардировке. Поэтому применение его в приборах с протяжённым электронным потоком (например, в кинескопах и лампах бегущей волны) имеет свои ограничения.

Для устранения известных недостатков оксидного катода предпринимались попытки снизить электрическое сопротивление оксидного слоя, повысить теплопроводность и запас активного вещества в катоде, усовершенствуя конструкцию катодов, технологии откачки, обезгаживания и активирования.

Широко распространённой разновидностью оксидного катода являются губчатые, или синтерированные, катоды. Такие эмиттеры представляют собой губчатую пористую структуру, заполненную порошком карбоната и сформованную на металлическом керне, выполненном из тугоплавкого металла, чаще всего никеля или его сплавов. Формирование губчатого тела производится методами

намазки, насыпки, электрофореза, сухой синтеровки, методом формирования пористого губчатого полотна. Также известна технология формирования губчатого тела, заключающаяся в нанесении на керн не металла, а его соли, в частности, щавелевокислого никеля (оксалата) и восстановлении её до металлического порошка непосредственно на керне.

Карбонаты в губку синтерированных катодов вводят различными методами: методом втирания пасты карбоната кистью или шпателем; методом пульверизации (по данным работы [10] запас активного вещества может быть доведен до

Л

15 мг/см ); методом погружения катода в вязкую суспензию карбонатов и «вбивания» частичек карбоната в поры губки подачей на суспензию импульсов светового излучения от квантового генератора с энергией от 10 до 60 Дж в импульсе; ультразвуковым, катафорезным методами и методом центрифугирования. Плазменный способ, разработанный сотрудниками ФГУП «НПП «Торий», заключается в заполнении губки с использованием плазменной струи.

В начале 50-х годов был предложен прессованный металлооксидный катод, известный также как БН-катод, барий-никелевый, оксидно-никелевый и никелевый матричный катод. Технология изготовления таких катодов заключается в напрессовке на поверхность металлических кернов смеси порошков металла и эмиссионно-активного вещества - твёрдого раствора карбонатов щелочноземельных металлов. Иногда из этой смеси порошков заранее спрессовывают таблетку и укрепляют её на керне [11-12]. Для БН-катода разложение карбоната и спекание активного тела катода производят непосредственно в приборе. Однако это занимает весьма длительное время. Поэтому нередко эти операции производят вне прибора, что приводит к частичной деградации свойств катода при взаимодействии с атмосферой воздуха.

Практически во всех работах по прессованным катодам отмечаются трудности по их обезгаживанию и активированию. Для этого в металлический порошок добавляют активаторы, чаще всего - гидрид циркония. Известно добавление в основной порошок циркония, алюминия, кремния, магния, титана - материалов, ко-

торые обычно применяются в качестве присадок к кернам традиционных оксидных катодов.

Прессованные металлооксидные катоды использовались в высоковольтных

л

клипперных диодах с отбором тока до 0,5 А/см при рабочей температуре 875-925°С (ярк.). При 760°С (ист.) катод обеспечивал в режиме насыщения отбор тока

Л

на уровне 50 мА/см . При использовании прессованных катодов в магнетронах была получена при малых анодных напряжениях и при плотности тока не выше

Л

0,5 А/см долговечность от 2 тыс. до 8 тыс. часов. В импульсном режиме (1 мкс,

Л

500 имп/с) плотность тока 10 А/см обеспечивалась в течение 600 ч испытаний.

Прессованные металлооксидные катоды прошли успешные испытания в мощном импульсном усилительном клистроне КИУ-12. При этом шихта содержала в себе порошки никеля, тройного карбоната и гидрида циркония в соотношении 70:29:1. Применялись прессованные катоды в линейных ускорителях электронов. При этом основным требованием к катодам была их устойчивость к многократному развакуумированию установки. Прессованные металлооксидные катоды удовлетворили данному требованию.

Для получения катодов с равномерным распределением частиц никеля и тройного карбоната применяли металлизацию частиц карбоната из газовой фазы. Суть заключалась в пропускании через нагретую суспензию карбоната нейтрального газа, в который добавлено термически нестойкое металлоорганическое соединение никеля, разлагающееся до никеля на зёрнах карбоната. В качестве такого соединения использовали карбонил никеля либо дициклопентадиенил никеля.

Металлизировать никелем из газовой фазы сразу частицы оксидного покрытия, а не карбоната, предложено В.А.Смирновым и сотрудниками [13]. Суть состоит в том, что во время нанесения оксидного покрытия плазменным методом в струю плазмообразующего газа, транспортирующего частицы оксидов на поверхность, дополнительно вводили мелкодисперсный порошок никеля с величиной зерна до 6 мкм в количестве до 5 %. Авторы [13] отмечали, что в плазме металлические частицы превращаются в пар и конденсируются на относительно холодных частицах оксидов при их подлёте к покрываемой поверхности катода.

Известны также следующие методы металлизации карбонатов:

- высаживание на частицы тройного карбоната ЩЗМ соли металла с последующим восстановлением реактивом (химическая металлизация);

- металлизация тройного карбоната ЩЗМ, основанная на использовании ге-терофазных реакций ионного обмена;

- осаждение на кристаллы карбоната ЩЗМ изоморфной карбонату соли никеля;

- введение металлов в кристаллическую решётку оксидов ЩЗМ на этапе синтеза тройного карбоната бария-стронция-кальция.

Катоды с высокодисперсной металлизацией прошли успешную апробацию в лампах бегущей волны, лампах обратной волны, магнетронах, импульсных рентгеновских трубках, электронно-лучевых трубках и дисплеях, видиконах, высоковольтных вентилях и газоразрядных приборах [11].

Молекулярно-напылённые оксидные катоды используются в малошумящих вакуумных СВЧ-приборах, работающих на циклотронном резонансе. Их оксидное покрытие наносится ионно-плазменным методом на металлические керны. Технология предусматривает предварительное нанесение методом пульверизации тройного карбоната (Ba, Sr, Ca) на мишень и последующее распыление с неё тройного оксида (Ba, Sr, Ca)O. Распыление мишени происходит при бомбардировке её положительно заряженными ионами аргона и углекислого газа, при этом происходит частичная карбонизация покрытия катодов в процессе напыления. При температуре катода не выше 750°С и толщине нанесённого эмиссионного покрытия 0,8...2,7 мкм авторы [14-16] получили в непрерывном режиме уровень токоотбо-

Л

ра 10 А/см при долговечности 1000 ч.

1.1.2. Оксидно-никелевые катодные материалы

Одной из разновидностей традиционных оксидных катодов являются оксидно-никелевые катоды, которые получают либо на основе прессованных композиций «никель - тройной карбонат бария-кальция-стронция», либо путем плаз-

менного напыления указанных композиций на керн катода [3,5]. Такие катоды обеспечивают более высокую плотность тока термоэмиссии при относительно низкой температуре, а также возможность применения их в приборах магнетрон-ного типа, в которых имеет место заметная электронная бомбардировка поверхности катода.

Оксидно-никелевые катоды нашли применение в магнетронах, клистронах,

в инжекторах волноводных ускорителей при токоотборе в непрерывном режиме

2 2 до 2 А/см и импульсном токоотборе до 50 А/см [4,6].

Традиционно считается, что диспергированное введение никеля в карбонатную фазу, прежде всего, повышает теплопроводность материала катода и снижает его электросопротивление, предотвращая разогрев оксидного слоя и его отслоение, а также искрение катода [3,5-6]. Однако более низкие значения работы выхода оксидно-никелевого катода, составляющие 1,5 - 1,6 эВ в интервале температур 500 - 800 К по результатам измерения методами полного тока и контактной разности потенциалов [6], по сравнению с работой выхода традиционных оксидных катодов и более высокая долговечность оксидно-никелевых катодов дают основание предположить, что диспергирование никеля в объеме оксидной фазы такого катода сопровождается определенными изменениями в электронной структуре оксида бария, являющегося основным эмиссионным компонентом и оксидного, и оксидно-никелевого катодов, а также определенными отличиями в физикохимии оксидного и оксидно-никелевого катодов.

1.1.3. Эмиссионные свойства оксидно-никелевых катодных материалов

Различают низкотемпературные и высокотемпературные катоды, основными эмиссионно-активными компонентами которых являются различные оксидные фазы. В качестве активного вещества для высокотемпературных катодов используют оксиды редкоземельных металлов (иттрий, скандий, торий и др.). Рабочая температура таких катодов лежит в интервале 1400-1600°С. Рабочая температура низкотемпературных катодов лежит в интервале 600-950°С, обеспечивая при этом

16

2 2

в постоянном режиме отбор тока 1 А/см и до 15 А/см в импульсном режиме при долговечности в несколько тысяч часов [17]. В качестве активного вещества в таких катодах используются оксиды бария-стронция-кальция.

Эмиссионные свойства оксидно-никелевых катодных материалов, используемых для изготовления низкотемпературных катодов, зависят от состава и структуры покрытия, материала керна, вакуумных условий, плотности токоотбо-ра, рабочей температуры и др. В Таблице 1 приведены основные физико-химические характеристики оксидно-бариевых катодных материалов [4].

В работе [18] была предложена математическая модель расчёта работы выхода оксидно-бариевого катода, которая позволила авторам работы [18] составить алгоритм расчёта температурной зависимости работы выхода. Используя данный алгоритм, авторы рассчитали работу выхода бариевого катода в диапазоне температур 500 - 1000 К. Результаты расчета приведены на Рис. 1.1.

Таблица 1 .

Физико-химические характеристики оксидно-бариевых катодных материалов

п/п Параметр Величина Примечания

1 Работа выхода, эВ 1,12+ 4,5-10-4 Т, К Эффективная работа выхода

2 Теплота испарения, эВ 2,5-2,6 -

3 Область рабочих температур, °С 600-950 Для разных типов катодов

4 Плотность тока, А/см Долговечность, ч 0,1; 0,7 105; 3-103 1,5 А/см2 для губчатых катодов

5 КВЭЭ атах 4,5-6,0 Т - 600°С

6 Удельная электропроводность, Ом-1 •см-1 10-1-10-4 Зависит от структуры, рабочей температуры

7 Теплопроводность, Вт/см 10-4-10-2

8 Л Коэффициент диффузии, см /с 10-6 10-10 Поверхностной Объёмной

9 -5 Плотность покрытия, г/см 1,5-4,5 Зависит от технологии изготовления

10 Л Мощность излучения, Вт/см 1,0-5,0 Зависит от типа катода

11 Л Скорость испарения, г/см •с 10-12-10-8 Зависит от структуры и Т

Рис. 1.1. Расчётная и экспериментальная зависимости работы выхода бариевого катода от температуры: — расчёт авторов [18]; — расчёт А.Я.Князева;

.....эксперимент Б.П.Никонова

На Рис. 1.2 представлена типичная кривая изменения тока катода при его охлаждении [19].

И

Рис. 1.2. Форма недокальной характеристики катода: I - область пространственного заряда, II - переходная область, III - область насыщения

Плотность тока с оксидного катода при температуре 1000 К составляет

л

100 mА/см с эффективностью порядка 20 mA/W. Вольфрамовый катод при тем-

пературе 2300 К даёт примерно ту же эмиссию, однако эффективность его меньше и составляет не более 1 mA/W. Срок службы оксидного катода, работающего при температуре 1000 К, составляет несколько тысяч часов [20].

Соколов А.М. в работе [21] приводит типичные кривые изменения тока эмиссии металлооксидных катодов с запасом карбонатов до 25 мг/см2, измеренного в глубоком недокале, в процессе срока службы в диодах. Указанные зависимости приведены на Рис. 1.3, где обозначено: 1, 2 - при наличии поверхностного слоя активного вещества; 3 - без поверхностного слоя.

Рис. 1.3. Кривые изменения тока эмиссии металлооксидных катодов во времени

л

при отборе тока 0,1 А/см и форсированных температурах (выше 950°С)

Предложенная автором технология металлооксидных катодов состоит в нанесении на поверхность керна никелевого порошка марки ПНК-2К10 (фракцией 40-70 мкм) с последующим запеканием в водородной печи при 1280°С; пропитке полученной губки тройным мелкодисперсным карбонатом КТА-1-6-СП (запас в губке составлял 40...50 мг/см ) и прессовании губки до толщины 0,3...0,5 мм. Отмечается, что возможно нанесение дополнительного поверхностного слоя.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Леденцова Наталья Евгеньевна, 2019 год

Список литературы

1. Дюбуа Б.Ч., Поливникова О.В. О некоторых особенностях и проблемах современных эффективных катодов // Электронная техника. Сер. 1. СВЧ-техника. 2013. Вып. 4 (519). С. 187-190.

2. Дюбуа Б.Ч., Култашев О.К., Поливникова О.В. Эмиссионная электроника, нанотехнология, синергетика (к истории идей в катодной технологии) // Электронная техника. Сер. 1. СВЧ-электроника. 2008. Вып. 4 (497). С. 3-22.

3. Дюбуа Б.Ч., Королев А.Н. Современные эффективные катоды. К истории их создания на ФГУП «НПП «Исток» // Электронная техника. Сер. 1. СВЧ-техника. 2011. Вып. 1 (509). С. 5-25.

4. Масленников О.Ю., Ушаков А.Б. Эффективные термокатоды (конструкции и технологии): Учебное пособие. М.: Изд-во МФТИ, 2003. Ч. 2. 129 с.

5. Соколов А.М., Каргин А.Н., Морозов О.А. Современные металлооксидные катоды для СВЧ-приборов // Электронная техника. Сер. 1. СВЧ-техника. 2011. Вып. 1 (508). С. 64-69.

6. Исследование поверхности оксидно-никелевого термокатода / Ю.В. Алексеев [и др.]. Москва. 1987. 16 с. (Препринт ЦНИИатоминформ).

7. Никонов Б.П., Бейнар К.С. Термоэлектронная эмиссия оксидного катода в потоке бария // Радиотехника и электроника. 1970. Т.15, №6. С. 1272-1282.

8. Никонов Б.П. Оксидный катод. М.: Энергия, 1979. 240 с.

9. Дюбуа Б.Ч., Королёв А.Н. Современные эффективные катоды // Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. 2011. Вып.1 (508). С. 5-24.

10. Соколов А.М. Прессованные металлооксидные катоды с повышенным запасом активного вещества // Наукоёмкие технологии. 2003. Т.4, № 2. С. 47-49.

11. Киселёв А.Б. Металлооксидные катоды на основе электронных приборов. М.: Изд-во МФТИ, 2001. 240 с.

12. Марин В.П. Состояние и перспективы развития катодного материаловедения для мощных СВЧ ЭВП // Наукоёмкие технологии. 2003. Т.4, № 2. С. 8-16.

13. Зубов Л.Н., Потапов Ю.А., Смирнов В.А. Технология покрытия губчатых оксидных катодов плазменным методом. Электронная техника. Сер. 1. 1969. № 12. С. 129-135.

14. Жабин Г.А. Эмиссионные характеристики молекулярно-напылённых оксидных катодов в циклотронных защитных устройствах // Электронная техника. Сер.1. СВЧ-техника. 2017. Вып. 2 (533). С. 49-53.

15. Жабин Г.А., Пашков А.Н., Пелипец О.В. Исследование влияния температурного отжига на эмиссионные свойства молекулярно-напылённых оксидных катодов // Электронная техника. Сер.1. СВЧ-техника. 2017. Вып. 4 (535). С. 15-21.

16. Жабин Г.А., Магамеднебиев З.М., Пашков А.Н. Молекулярно-напылённый

л

оксидный катод с повышенной до 10 А/см плотностью тока // Электронная техника. Сер.1. СВЧ-техника. 2018. Вып. 3 (538). С. 50-58.

17. Петров В.С., Шмыков А.А. Материалы электронных эмиттеров: Учебное пособие. М.: Изд-во МИЭМ, 1986. 80 с.

18. Свешников В.К., Базаркин А.Ф. Расчёт температурной зависимости работы выхода оксидного катода // Электронная техника. Сер.1. СВЧ-техника. 2014. Вып. 1 (520). С. 70-75.

19. Шмелева Н.И., Никонов Б.П. Методика контроля эмиссионных характеристик оксидного катода // Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ. 1977. № 6. С. 81-86.

20. Блюитт Джон П. Свойства оксидных катодов // Успехи физических наук. 1940. Т. XXIV, вып. 2. С. 228-275.

21. Соколов А.М. Опыт применения прессованных металлооксидных катодов при разработке и реставрации вакуумных приборов // Электронная техника. Сер.1. СВЧ-техника. 2013. Вып. 4 (519). С. 191-194.

22. Киселев А.Б. Физические основы создания, конструирования и применения оксидных катодов с высокодисперсными металлическими включениями: дис. ... д-ра техн. наук: 01.04.07 / Киселев Алексей Борисович. - М., 2002. - 264 с.

23. Зильберман М.М. Термоэлектронные оксидно-никелевые катоды: Учеб. пособие. Рязань: Изд-во Рязан.гос.радиотехн.акад., 2003. 44 с.

24. Каргин А.Н., Соколов А.М. Взаимодействие кислорода с поверхностью оксидного катода в магнетроне // Электронная техника. Сер.1. СВЧ-техника. 2015. Вып. 4 (527). С. 13-22.

25. Марин В.П., Смирнов В.А., Гаценко В.П. Новое в технологии изготовления синтерированных катодов // Наукоёмкие технологии. 2003. Т.4, № 2. С. 23-25.

26. Влияние структуры поверхности металлопористых катодов на их эмиссионные свойства / Б.Ч. Дюбуа [и др.] // Электронная техника. Сер.1. СВЧ-техника. 2010. Вып. 1 (504). С. 25-34.

27. Каргин А.Н. Миниатюрные синхронизированные магнетроны для систем связи // Радиотехника. 2000. № 2. С. 62-66.

28. Фоменко В.С., Подчерняева И.А. Эмиссионные и адсорбционные свойства веществ и материалов. М.: Атомиздат, 1975. 320 с.

29. Королев С.В., Киселев А.Б. Исследование эмиссионной неоднородности губчатого прессованного оксидного катода // Радиотехника и электроника. 1991. Т. 36, № 7. С. 1353-1361.

30. Каргин А.Н., Соколов А.М. Явления на поверхности оксидного катода в магнетроне // Радиотехника. 2007. № 3. С. 69-70.

31. Ребров С.И. Повышение надёжности электронных приборов СВЧ в процессе производства. М.: Изд-во ЦНИИ Электроника, 1968. 320 с.

32. Пикус Г.Я., Шнюков В.Ф. Влияние примеси никеля в оксидном слое на физико-химические свойства оксидного катода // Радиотехника и электроника. 1965. Т.10, вып. 1. С. 124-132.

33. Александров Е.М. Химическая металлизация оксидного слоя и влияние её на свойства оксидного катода: автореф. дис. ... канд. техн. наук: Иваново, 1969. -26 с.

34. Лурье Ю.Ю. Справочник по аналитической химии: Справ. изд. М.: ИД Альянс, 2007. 448 с.

35. Бабко А.К., Пятницкий И.В. Количественный анализ. М.: Мир, 1968. 495 с.

36. Применение термической обработки в атмосфере водорода с целью получения гомогенных эмиссионных покрытий / Б.Ф. Абалдуев [и др.] // Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1973. Вып.7. С. 8-14.

37. Влияние некоторых факторов на гомогенизацию оксидного слоя приемно-усилительных ламп // Электронная техника. Сер. 10. Технология и организация производства. 1971. Вып. 7. С. 82.

38. Герман Г., Вагенер С. Оксидный катод. М.-Л.: Государственное изд-во технико-технической литературы, 1949. 508 с.

39. Eisenstein A. A study of the oxide coated cathodes by Х-ray diffraction method // J. of Appl. Phys. 1946. V. 17, № 26. P. 654.

40. Мойжес Б.Я. Физические процессы в оксидном катоде. М.: Наука, 1968. 480 с.

41. Термоэлектронные катоды / Г.А.Кудинцева [и др.]. М.: Энергия, 1966. 368 с.

42. Блискунов Н.А., Каменецкий И.Я. Технология производства электровакуумных приборов. Ч.1. Изготовление катодов, подогревателей и газопоглотителей. Л.-М.: Госэнергоиздат, 1959. 220 с.

43. Русанов К.Е. Комплексный контроль теплового состояния катодных узлов в электровакуумном СВЧ-приборостроении // Наукоёмкие технологии. 2006. Т.7, № 4-5. С. 21-24.

44. Есаулов Н.П. Физико-технологические основы разработок эффективных ме-таллосплавных и металлооксидных катодных материалов и катодов на их основе для мощных ЭВП: дис. ... д-ра техн. наук: 05.27.06 / Есаулов Николай Петрович. -М., 1996. - 165 с.

45. Исследование образования твердых растворов в оксидном катоде / А.Ф. Большаков [и др.] // Электронная техника. Сер. V. Приемно-усилительные лампы. 1968. № 3. С. 13-17.

46. Пикус Г.Я., Шнюков В.Ф. Некоторые особенности процесса разложения карбонатов щелочноземельных металлов // Электронная техника. Сер. Приемно-усилительные лампы. 1967. № 2. С. 9-20.

47. Козловская Г.П. Химия термического разложения SrCO3, BaCO3, (Sr, Ba)CO3 и влияние добавки оксида никеля: дис. ... канд. хим. наук: 02.00.01 / Козловская Галина Павловна. - Иваново, 1981. - 152 с.

48. Абалдуев Б.В., Большаков А.Ф., Попов А.И. Фазовые превращения в эмиссионном слое при обработке оксидного катода в процессе изготовления приёмно-усилительных ламп // Электронная техника. Сер. 5. Физико-химические процессы в ЭВП. 1971. №2 (19). С. 11-15.

49. Чистякова М.А., Подкопаева Н.Н., Коникова Р.А. Исследование структурно-фазовых превращений оксидного покрытия катодов в процессе формирования и срока службы // Электронная техника. Сер. 4. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1977. № 4. С. 106-113.

50. Большаков А.Ф., Абалдуев Б.В., Попов А.И. Фазовая неоднородность смешанных кристаллов карбонатов щелочноземельных металлов и ее влияние на свойства оксидного катода // Известия АН СССР. Сер. Неорганические материалы. 1977. Т. 13, № 7. С. 1270-1274.

51. Коваленко Ю.А., Королёв Д.С. Термодинамика процессов, протекающих при вакуумно-термической обработке оксидных эмиссионных материалов // Электронная техника. Сер. 1. СВЧ-техника. 2011. Вып. 2 (509). С. 56-62.

52. Куликов И.С. Термическая диссоциация соединений: Спр. изд. М.: Металлургия, 1966. 250 с.

53. Испарение оксидов щелочно-земельных металлов в вакууме / В.П. Марин [и др.] // Наукоёмкие технологии. 2009. Т.10, № 11. С. 10-13.

54. Добрецов Л.Н., Гомоюнова М.В. Эмиссионная электроника. М.: Наука, 1966. 564 с.

55. Кульварская Б.С. К вопросу об оценке влияния поверхностных и объемных эффектов на величину работы выхода катодных материалов из окислов // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1976. Т.40, № 12. С. 1345-1349.

56. Киреев П.С. Физика полупроводников. М.: Высшая школа, 1975. 584 с.

57. Schoenbeck L. Investigation of reactions between barium compounds and tungsten in a simulated reservoir hollow cathode environment. In Partial Fulfillment of the

Requirements for the Degree Master of Science in Materials Science and Engineering. Georgia Institute of Technology. February 2005. 118 р.

58. Zalm P. Thermionic cathodes // Advances in Electronics and Electron Physics. Acad. Press. N.Y.-Lon. 1968. V. 25. PP. 211-272.

59. Дэвисон С., Левин Дж. Поверхностные (Таммовские) состояния. М.: Мир, 1973. 232 с.

60. Мотт Н., Дэвис Э. Электронные процессы в некристаллических веществах: Пер. с англ. М.: Мир, 1982. Т.1. 1368 с.

61. Лившиц И.М., Гредескул С.А., Пастур Л.А. Введение в теорию неупорядоченных систем. М.: Наука, 1982. 358 с.

62. Капустин В.И. Расчет температурной зависимости работы выхода окиси бария // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1991. Т.55, №12. С. 2455-2458.

63. Капустин В.И. Физико-химические основы создания многокомпонентных оксидсодержащих катодных материалов // Перспективные материалы. 2000. № 2. С. 5-17.

64. Hasker J., van Esdonk J., Crombeen J.E. Applied Surface Science. 1986. V. 26. PP. 173-195.

65. Yamamoto S., Sasaki S., Taguchi S., Watanabe I., Koganczawa N. Applied Surface Science. 1988. V. 33-34. PP. 1200-1207.

66. Yamamoto S., Taguchi S., Aida T., Kawase S. Applied Surface Science. 1984. V. 17. PP. 517-529.

67. Yamamoto S., Watanabe I., Taguchi S., Sasaki S., Yaguchi T. Journal of Applied Physics. 1989. V. 28. PP. 490-494.

68. Vacuum Microelectron / G. Gartner [et al] // IOP Conf. Ser. 1989. V. 99. P. 25-28.

69. Raju R. S., Maloney C. E. Characterization of an impregnated scandate cathode using a semiconductor model // IEEE Transactions on Electron Devices. 1994. Vol. 41, № 12. PP. 2460-2467.

70. J.A.Becker Thermionic electron emission and adsorption // Reviews of Modern Physics. 1935. Vol.7, № 2. P. 95-128.

71. Hasker J., Van Dorst A.M. Pitfalls in the evaluation of cathode properties from I-V characteristics. IEEE Transactions on Electron Devices. 1989. Vol. 36, № 1. PP. 201-208.

72. Recent Progresses on Nanosized-Scandia-Doped Dispenser Cathodes / Yiman Wang [et al] // IEEE International Vacuum Electronics Conference. Monterey (California) on April 22-24, 2014. PP. 51-52.

73. Brodie I., Vancil B. The Nature of the Emitting Surface of Scandate Cathodes // IEEE International Vacuum Electronics Conference. Monterey (California) on April 22-24. 2014. PP. 53-54.

74. Vaughn J. M. Thermionic Electron Emission Microscopy Studies of Barium and Scandium Oxides on Tungsten // The faculty of the College of Arts and Sciences of Ohio University. USA. 2010. P. 193.

75. Марин В.В., Капустин В.И., Никитин О.В. Физические основы контроля качества и прогнозирования долговечности катодов // Наукоемкие технологии. 2003. № 2. С. 50-57.

76. Капустин В.И., Ли И.П., Шуманов А.В. Методика определения параметров эмиссионной неоднородности катодных материалов // Электронная техника. Сер. 1. СВЧ-техника. 2016. Вып. 2 (529). С. 54-68.

77. Капустин В.И., Ли И.П., Шуманов А.В. Физический механизм отклонения термоэмиссии катодов от закона Шоттки // Письма в Журнал технической физики. 2017. Т. 43, вып. 19. С. 12-20.

78. Царев Б.М. Расчет и конструирование электронных ламп. М.-Л.: Госэнергоиз-дат, 1961. 672 с.

79. Структура электронных уровней кислородных вакансий в оксиде бария / Н.Е. Леденцова [и др.] // Электронная техника. Сер. 1. СВЧ-техника. 2015. Вып. 2 (525). С. 45-58.

80. Электронная структура кислородных вакансий в микролегированном оксиде бария / Н.Е. Леденцова [и др.] // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: Материалы Международной научно-технической конференции «Intermatic-2015». М.: МИРЭА, 2015. Ч. 2. С. 27-30.

81. Янг М. Оптика и лазеры, включая волоконную оптику и оптические волноводы. Пер. с англ. М.: Мир, 2005. 541 с.

82. Физико-химические свойства окислов: Справочник / Под ред. Г.В. Самсонова. М.: Металлургия, 1969. 456 с.

83. Капустин В.И., Марин В.П. Влияние температуры и точечных дефектов на вторичную электронную эмиссию окислов // Радиотехника и электроника. 1983. № 7. С. 1366-1370.

84. Физико-химические особенности «скандатных» катодных материалов / Н.Е. Леденцова [и др.] // Наукоемкие технологии. 2014. № 11. С. 40-49.

85. Электронная структура и физико-химические особенности оксидно-никелевых катодных материалов / Н.Е. Леденцова [и др.] // Электронная техника. Сер. 1. СВЧ-техника. 2016. Вып.1 (528). С. 8-18.

86. Электронная структура оксида бария в оксидно-никелевых катодах / Н.Е. Ле-денцова [и др.] // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: Материалы Международной научно-технической конференции «Шегта1:1с-2015». М.: МГТУ МИРЭА, 2015. Ч. 2. С. 22-26.

87. Физикохимия формирования и электронная структура оксидно-бариевой фазы в оксидных катодах / Н.Е. Леденцова [и др.] // Физика и химия обработки материалов. 2016. № 3. С. 81-89.

88. Перспективные технологии оксидно-никелевых катодов СВЧ приборов сантиметрового диапазона длин волн / Н.Е. Леденцова [и др.] // Тонкие химические технологии. 2016. Т. 11, № 3. С. 74-81.

89. Прасицкий В.В., Тай А.В., Пчелинцева Н.И. Техника получения и исследования спеченных электродов для разрядных осветительных ламп высокого давления // Наукоёмкие технологии. 2013, Т.14, № 7. С. 65-70.

90. Леденцова Н.Е., Ли И.П. Агломераты никеля и тройного карбоната (Ва, Са, Бг) в производстве прессованных оксидно-никелевых катодов для магнетронов сантиметрового диапазона длин волн // Материалы ежегодной научно-технической конференции студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В.Арменского. М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2015. С. 277-278.

91. Исследование процессов прессования, спекания и химической обработки прессованных оксидно-никелевых катодов / Н.Е. Харитонова [и др.] // Вакуумная наука и техника: Материалы XX юбилейной научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов. М., 2013. С. 246-248.

92. Харитонова Н.Е. Исследование процессов прессования и спекания прессованных оксидно-никелевых катодов для малогабаритных магнетронов сантиметрового диапазона длин волн // Электровакуумные приборы, материалы и технологии: Материалы научно-технической конференции молодых специалистов ОАО «Плутон». М., 2014. С. 22-24.

93. Харитонова Н.Е. Прессование и спекание прессованных оксидно-никелевых катодов для магнетронов сантиметрового диапазона длин волн // Материалы научно-технической конференции студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ. М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014. С. 223.

94. Исследование пористости и подбор оптимального соотношения компонентов прессованного оксидно-никелевого катода / Н.Е. Харитонова [и др.] // Тезисы докладов научно-технической конференции студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ НИУ ВШЭ. М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 249-250.

95. Исследование изменения структурных характеристик конгломератов порошков карбонильного N1 при различных режимах их термообработки / Н.Е. Ле-денцова [и др.] // Радиационная физика твёрдого тела: Труды XXV Международной конференции. М., 2015. С. 379-386.

96. Леденцова Н.Е. Повышение однородности распределения компонентов в прессованном оксидно-никелевом катоде за счёт агломерации никеля и тройного карбоната (Ва, Са, Бг) // Электровакуумные приборы, материалы и технологии: Материалы II Научно-технической конференции молодых специалистов ОАО «Плутон». М., 2015. С. 39-42.

97. Экспериментальное сопровождение технологии производства оксидно-никелевого катода магнетрона / Леденцова Н.Е. [и др.] // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2015. Т. 18, №4. С. 285-290.

98. Experimental support production technology of nickel oxide cathode of the magnetron / Ledentsova N.E. [and etc.] // Russian Microelectronics. 2018. Vol. 47, № 8. PP. 591-596

99. Горшков В.С., Тимашев В.В., Савельев В.Г. Методы физико-химического анализа вяжущих веществ: Учеб. пособие. М.: Высшая школа, 1981. 335 с.

100. Пилоян Г.О. Введение в теорию термического анализа. М.: Наука, 1964. 233 с.

101. Берг Л.Г. Введение в термографию. М.: Наука, 1969. 395 с.

102. Фотиев А., Мочалов В. Оценка величины кажущейся энергии активации с помощью дифференциальной термогравиметрии // Журнал неорганической химии. 1968. Т.13, № 12. С. 3174 - 3178.

103. Shelekhov E.V., Sviridova T.A. Programs for X-ray Analysis of Polycrys-tals // Metal Science and Heat Treatment. 2000. Vol. 42, № 8. PP. 309-313.

104. Шелехов Е.В., Свиридова Т.А. Программы для рентгеновского анализа поликристаллов // Материаловедение и термическая обработка металлов. 2000. № 8. С. 16-19.

105. Курс физической химии / Я.И. Герасимов [и др.]. М.: Химия, 1973. 624 с.

106. Landolt-Bornstein, Zahlenwerte und Funktionen aus Physik, Chemie, Astronomie, Geophysik und Technik. 4 Teil. Kalorische Zustandsgrossen. Berlin, Germany: Springer-Verlag, 1961. 863 р.

107. Браун М., Доллимор Д. Галвей А. Реакции твердых тел. М.: Мир, 1983. 360 с.

108. Ахметов Т.Г. Химия и технология соединений бария. М.: Химия, 1974. 152 с.

109. Птицын С.В. Физические явления в оксидном катоде. М.-Л.: Государственное изд-во технико-технической литературы, 1949. 136 с.

110. Говядинов А.Н. Исследование тонкоплёночного молекулярно-напылённого оксидного катода для вакуумных интегральных микросхем: дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / Говядинов Александр Николаевич. - Минск, 1991. - 183 с.

111. Капустин В.И., Ли И.П., Шуманов А.В. Новый метод определения параметров неоднородности термоэмиссии материалов катодов СВЧ приборов // Журнал технической физики. 2018. Т. 88, вып. 3. С. 472-478.

112. Эмиссионные свойства оксидно-никелевых катодов / Н.Е. Леденцова [и др.] // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: Материалы Международной научно-технической конференции «1П:егша1:1с-2016». М.: МГТУ МИРЭА, 2016. Ч. 2. С. 31-34.

113. Эмиссионные свойства оксидно-никелевых материалов катодов СВЧ приборов / Леденцова Н.Е. [и др.] // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: Материалы Международной научно-технической конференции «Шегшайс-2018». М.: МГТУ МИРЭА, 2018.

114. Физический механизм работы скандатных катодов СВЧ приборов /

B.И. Капустин [и др.] // Журнал технической физики. 2017. Т. 87, вып.1.

C. 106-116.

115. Леденцова Н.Е., Ли И.П. Исследование возможности создания прессованных оксидно-никелевых катодов для магнетронов сантиметрового диапазона длин волн // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: Материалы Международной научно-технической конференции «1П:егша1:1с-2014». М.: МГТУ МИРЭА, 2014. Ч. 3. С. 156-158.

116. Пути совершенствования конструкции и технологии изготовления катодов для магнетронов коротковолновой части миллиметрового диапазона длин волн / Н.Е. Леденцова [и др.] // Наукоёмкие технологии. 2014. Т.15, № 11. С. 51-56.

117. Некоторые особенности конструирования катодных узлов для магнетронов импульсного действия с повышенной надёжностью и сроком службы / Н.Е. Ле-денцова [и др.] // Наукоёмкие технологии. 2014. Т.15, № 11. С. 32-39.

118. Коржавый А.П., Капустин В.И., Козьмин Г.В. Методы экспериментальной физики в избранных технологиях защиты природы и человека / Под ред. А.П. Коржавого. М.: Изд-во МГТУ им.Н.Э.Баумана, 2012. 352 с.