Исследование объемной и контрагированной форм высокочастотного емкостного разряда тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.08, кандидат физико-математических наук Матюхин, Владимир Дмитриевич

• Матюхин, Владимир Дмитриевич
• кандидат физико-математических наук
• 1984

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Матюхин, Владимир Дмитриевич

Введение

Глава I. Экспериментальная установка, методики измерений

1.1. Экспериментальная установка. Типы газоразрядных систем.

1.2. Измерение электрических полей, токов и ВЧ потенциалов в плазме.

1.3. Измерение температуры в разряде.

1;4. Измерение продуктов плазмохимических реакций

Глава П. Объемный разряд при средних давлениях

2.1. Основные характеристики объемного разряда

2.2. Структура электрического поля в объемном разряде.

2.3. Влияние толщины диэлектрических покрытий на параметры разряда.

2.4. Переход объемной формы ВЧЕ разряда в состояние с пространственно-неоднородной структурой

2.5. Роль структуры электрического и теплового поля в поведении ВЧЕ разряда.

2.5.1. Модель свободной границы ВЧЕ разряда

2.5.2. Профили электрического поля в объемной форме разряда.

2.5.3. Профили температуры в объемной форме

ВЧЕ разряда. III

Глава Ш. Контрагированный разряд при средних давлениях

3.1. Контрагиро ванный разряд на молекулярных и инертных газах.

3.2. Механизм развития канала. I

3.3. Анализ нелинейных уравнений, описывающих поведение контрагированного разряда

Глава ГУ. ВЧЕ разряд как гшазшхимический реактор . . . J

4.1. Особенности плазмохимического реактора на основе ВЧЕ разряда

4.2. Реаятор с поперечным продувом контрагированного разряда.

4.3. Модель канала разряда как генератора продуктов реакции.

4.4. Реактор с продувом объемного разряда вдоль электрического поля.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование объемной и контрагированной форм высокочастотного емкостного разряда»

Низкотемпературная плазма газового разряда широко использует ся для проведения химических реакций, получения потоков активных частиц, создания инверсной заселенности в молекулярных газах и многих других целей. Это связано прежде всего с благоприятными возможностями, которые открываются при плазменном способе активации молекулярной среды. Значительно возрастает эффективность и сокращается многостадийность процессов. Неравновесные условия плазмы газового разряда дают в руки исследователя дополнительные параметры управления, позволяющие улучшить выходные характеристики процесса. Степеш неравновесности плазмы, определяемая отклонением температуры электрс нов Те от газовой температуры Тр будет тем выше, чем больше (относительная величина электрического поля Е/№ (К1 - концентрация частиц в см®) и чем меньше частота столкновений электронов с молекулами. Отсвда следует, что давление газа будет наиболее существенным параметром, разграничивающим области неравновесности плазмы газового разряда. Условно шжно выделить три таких области. Область сильной

2 —4неравновесности (р=10 - 10 торр) реализуется в гшазменно-пучковых разрядах, имеющих степень неравновесности Те/Тг ~10 при степени ионизации плазмы <1* 10"®-Ю""'" /1,2./ . Область средней неравновее ности Те/Тг^З-5 характерна для разрядных систем, работающих в диапазоне р=30-*300 торр (границу названы условно), степень ионизации

3*1П~7 * ЗЛ0~^ /"ЬД/ . Разряды на атмосферном и выше давлени имеют слабую степень неравновесности (Те Тг, дуговые разрдцы), которая однако может усиливаться за счет высоких электрических поле: (коронированный разряд, барьерный разряд, объемный ВЧЕ разряд)/5\6/ В каждой из названных областей по давлению преобладает тот или ино] механизм активации молекул газа электронами разряда. В плазменно-пучковом разряде внешний поток электронов возбуждает интенсивные ленгмгоровокие колебания , натревающие электроны плазмы до температуры 10-15 эв. В работе /2/ исследовалось разложение шлекул СО^ до СО, С и 0. При мощности пучка электронов менее 2 квт процес диссоциации проходил через возбуждение колебательных степеней свободы, а при мощности более 2 квт - через электронно-возбужденные состояния. Затраты энергии на получение молекулы СО составили 5,6э; при минимальных затратах 2.9 эв на шлекулу (кпд химического процес са К - Ъ2%). В дуговом разряде атмосферного давления при мощности 2 квт /б,?/ также исследовался процесс разложения С0г>. Энергозатраты на получение шлекулы СО составили 16 эв ( - 1Я%). Испош зованное авторами математическое моделирование процесса хорошо объясняет совокупность полученшх результатов в рамках кинетики термического разложения СО2, в предположении, что электронная компоненте разряда играет пассивную роль нагревателя газа. В области средних давлений (л- 100 торр) температура электронов лежит в диапазоне 1-2 эв, когда канал передачи энергии через электронное возбуждение молекул практически закрыт и энергия электронов идет в основном на возбуждение колебательных степеней свободы шлекул. В условиях, когда температуру газа удается удержать на уровне менее 1000 К, реализуется состояние с сильным отрывом колебательной температуры (Ту 4500 К) от поступательной и кпд процесса разложения С0г> в ВЧЕ разряде может достичь значений 60-Я0% / 4/ ''затраты 4.8*3.7эв/ молекула СО).

Таким образом, как следует из приведенных работ, неравновесность плазмы газового разряда может быть использована для селективного возбуждения тех степеней свободы молекул, которые с наименьшим энергетическими потерями приводят к наибольшему выходу по конечному продукту (концентрации про диссоциированных молекул, потоку: колебаг-тельно-возбужденных частиц, потоку атомов и т.д.). Характер плазмы, получаемой при различных давлениях определяет в значительной мере специфику ее использования. Так, плазма дуговых плазмотронов атмо

VJI сферного давления Ш1фоко используется в крпнотоннажных производствах мелкодисперсных порошков, в получении ацетилена из метана, е создании высокотемпературных потоков восстановительных газов Н^, СО для целей металлургии. Интересна сфера применения плазменно-лу^ ковых разрядов /1,0./ для создания потоков атошв для обработки поверхности в задачах микроэлектроники. Остановился более подробно на газоразрядных устройствах, работающих в области умеренной нерав новесности эв, Тг=£-Ю3-5-Ю3 К, р=3л+300 торр). п точки зрения физики газового разряда эта область является переходной от тлеющих разрядов к дуговым. В этом диапазоне давлений происходит изменение структуры разряда от объемного (тлеющий разряд) к кон-трагированному (дуговой разряд). Достаточно высокая электронная температура вызывает эффективное возбуждение колебательных степене: свобода молекул, а частота молекулярных столкновений еще не слишко: велика, чтобы обратные реакции подавляли выход конечного продукта. Времена основных элементарных процессов, включая время диффузии молекул через разрядную зону, сгруппированы в одном диапазоне и упра ляются изменением давления и пространственных размеров газоразрядной системы. Спектроскопические измерения, проведенные в работе/Ф/ показали, что для разряда на N £ при давлении 100 торр, происходит существенное изменение его характеристик. В объемной форме разряда на СОр при том же давлении появляется канал, и кпд процесса диссоциации С02 проходит через максимум /Э/íО/ . в связи с этим переходная область средних давлений (условно ее называют так) пр^влека ет повышенный интерес исследователей не только плазмохимического профиля, но и тех, кто занимается вопросами создания газоразрядных л аз еров, вопросами взаимодействия активных частиц с поверхностью, моделированием процессов в средних слоях атмосферы, связанных с образованием плазш.

Для получения и исследования плазмы средних давлений использу ютея газоразрядные системы, которые удобнее всего классифицировать по временным характеристикам электрической энергии, возбуждающей разряд. Выделяются системы импульсные и стационарные. Особенность импульсных разрядов состоит в том, что время импульса и связанная I ним мощность разряда являются дополнительными параметрами управления. Интересной особенностью этих разрядов является сильная неравновесность (время импульса может быть сравнимо со временем электронных переходов ЛЙ/ ). Стационарные газоразрядные систеш подразделяются в соответствии с областью частот электромагнитной энергии и группируются в области трех частотных диапазонов: постоянного тока и низкочастотные (промышленной частоты) электродные газоразрядные систеш, в том числе с источниками внешней ионизации, высокочастотные (ВЧ) электродные и безэлектродные разряды ( ^ = =0.5*100 МГц), сверх Еысокочастотные (СВЧ) разряды на частотах 1+10 ГГц, и, наконец, оптические разряды, создаваемые лазерным излучением Ж диапазона. Разряды разных частот отличаются друг от друга силой "связи" плазма разряда - электрод, которая определяет ряд важных особенностей разряда и влияет на его практическое исполь зование. Поясним этот термин. Под силой связи разряда постоянного тока мэжно понимать отношение Т^р/у Пр> ГД® 1/~р ~ падение напряжения на разряде, V ^ - падение напряжения в приэлектродных областях. Увеличивать V / у*^ необходимо для повышения эффективности процесса, т.к. потери в приэлектродных областях, как правило, невосполнимы. В емкостных высокочастотных разрядах величина ^"цр есть в основном падение ВЧ напряжения в диэлектрических переходах плазма - электрод и носит чисто реактивный характер. Величину силы связи сможно регулировать, влияя на характеристики разряда/Ш/ В СВЧ разрядах и тем более в оптических разрядах сила связи ослабевает, т.к. источник энергии связан с разрядом электромагнитным излз чением, и на характер разряда начинает влиять направление потока энергии от источника. Кроме этого, особенности разрядов разных частот могут определяться влиянием частоты электрического поля на фунв цию распределения электронов плазма по энергиям. В работе приведены данные о влиянии частоты разряда на шход ряда плазмохимичес ких процессов, а в'работе /установлена зависимость электрофи-ч зических характеристик разряда от частаты. Рассмотренные (физические моменты важны тем, что они определяют гибкость газоразрядной системы, ее способность удовлетворить заданным требованиям. Существенным фактором является технологичность газоразрядной систеш, т.е. оптимальное сочетание электродинамических, газодинамических, геометрических характеристик разряда с целью обеспечения нзсоких выходных характеристик процесса и необходимого ресурса работы устройства. Задачи технических приложений диктуют необходимость повышения удель ного энерговклада в плазму разряда, его устойчивость к контракции при повышенных давлениях. Важным требованием является возможность масштабного перехода к шсоким ( ~ Мвт) уровням мощности без измене ния локальных электродинамических и газодинамических характеристик разряда, что обеспечивает сохранение высоких еыходных характеристик полученных для одного модуля системы, а также сохраняет постоянным уровень тепловых и электрических напряжений на элементы конструкций реактора. Не^малотважным является требование технологической чистоты плазмы, т.е. отсутствие загрязнений со стороны электродов и стенок разрядной камеры. Естественно, невозможно удовлетворить всем этим требованиям в рамках одной универсальной газоразрядной системы. Это стимулирует поиск новых систем и расширение возможностей уже существующих с целью более полного удовлетворения предъявляемому комплексу требований.

Газоразрядные системы постоянного тока на основе тлеющего разряда являются наиболее проработанными. Обычно такие разряда реализуются в цилиндрических трубках и широко используются для проведения плазмохимических реакций /^5,16/ . Однако при повышении давления до 30-50 торр наступает контракция разряда, приводящая к образованию перегретого канала, окруженного слабоионизованной оболочкой, что затрудняет использование такой систеш, например, для создания лазерно-активной сре^ды. Другим недостатком этой системы является "длинная" геометрия вдоль тока, приводящая к неоднородности при продуве разряда. Поэтому было предпринято развитие таких систем с целью улучшения однородности разряда при повышенных давлениях. Так, тлеющий разряд в протоке газа /")7/ имеет разрядный промежуток геометрии плоского конденсатора с расстоянием между электродами 1-5 см. Поперечные размеры электродов в несколько раз превосходят расстояния между ними. Проток газа может осуществляться как перпендикулярно току вдоль пластин (поперечный разряд), так и вдоль тока сквозь отверстия в электродах (продольный продув). Контракция разряда устраняется секционированием катода с индивидуальным звпитыванием каждого модуля через баластное сопротивление. Объемный разряд создается за счет диффузионного и теплового "перемешивания" отдельных разрядов в средней части объема разрядного промежутка. Вследствие этого тлеющий разряд сохраняет характеристики по плотности тока, характерные для отдельного модуля, что препятствует переходу разряда в дугу. Фиксация средней плотности тока на катоде, осуществляемая б властными сопротивлениями, неизбежно связана с потерями энергии,.т.к. для поддержания объемного состояния разрдда необходимо, чтобы баластное сопротивление было сравнимо с сопротивление}, отдельного модуля разряда. ВЧЕ газоразрядные системы, которые мог} обеспечить меньшую силу связи плазма - электрод', обладают большими возможностями по рассредоточению тока по поверхности электрода, Тс как оба эти параметра взаимно связаны. Таким образом, речь идет о дополнительном параметре управления, с помощью которого можно осуществлять переход дуги в объемный тлеющий разряд в области давлени превышающих 30-50 торр. В литературе имеются данные, указывающие н то, что для "каждой газоразрядной системы существует свое критическое давление, при котором объемный разряд контрагируется /)7,18/ На наш взгляд этот факт можно связать с различной пространственной организацией разрядного промежутка, приводящей к разной степени рассредоточенности тока по поверхности электродов. В настоящей раб' те проводится детальное исследование этого вопроса в высокочастотной газоразрядной системе.

Отметим еще один способ рассредоточения тока в разряде, который реализуется в системах с внешними источниками ионизации, когда газ дополнительно ионизуется релятивистским пучком электронов или УФ излучением. Разряд носит несамостоятельный характер и горит там, где имеется ионизация от внешнего источника, который и создает объемное распределение тока. Основная мощность идет в разряд от приложенного к электродам напряжения. Удельный энерговклад растет с ростом плотности электронного пучка. Несмотря на предложенный в этом варианте радикальный способ устранения контракции, имеются серьезные технические трудности, связанные с прохождением мощного электронного пучка из вакуумного объема через металлическую диафрагму в объем с газом высокого давления.

СВЧ разрдцы находятся на другом конце частотного диапазона и имеют, как-уже отмечалось, минимальную связь с источником электромагнитной энергии. Это обеспечивает рад положительных свойств газоразрядных систем на основе СВЧ разрядов. СВЧ плазма обладает высокой чистотой, отсутствуют приэлектродние слои и связанные с ними потери энергии. Последнее обстоятельство в определенной степени обуславливает высокие значения кпд процессов, проводишх в условия) СВЧ разрядов /^Э/ . Контракция ОВЧ разряда наступает при тех же давлениях, что и в постоянного тока разряде. Имеются отрывочные сведения о влиянии способа подачи СВЧ энергии в разряд на его характеристики, однако вопрос этот практически не исследован.

Разряды ВЧ диапазона существуют в нескольких разновидностях: индукционный (ВЧИ) разряд, поддерживаемый" вихревым электрическим 1 полем, емкостный (ВЧЕ) разряд поддерживается в электрическом поле между двумя электродами, которые мэгут иметь разную форму и расположение, и факельный (В1®) разряд, который горит с одного металлического электрода. Наличие многих разновидностей ВЧ разряда говорит о том, что ВЧ разрядная система имеет внутренний параметр,изменение которого приводит к смене разновидностей ВЧ разряда. Такой параметр мы определили качественно, как силу связи электрод - разряд, которая зависит от способа подачи электромагнитной энергии в разряд /20/ В этом отношении СВЧ и постоянного тока разряды представляют собой предельные случаи сильной и слабой связи, когда параметр связи практически не влияет на параметры разряда.

Факельный разряд, горящий с заостренного конца металлического электрода^обладает особенностью увеличивать свою длину пропорционально вкладываемой в разряд мощности /21,22,23/. Втором электродом является распределенная емкость элементов конструкции плазмотрона. Связь разряд - первый электрод сильная, связь разряд - второй электрод слабая. Погонная мощность разряда сохраняется постоянной не зависит от полной мощности разряда) и составляет десятки вт/см. 3

Температура газа в канале лежит в пределах (3*5)'10 К. Продув газа осуществляется, как правило, вдоль канала, длина которого может достигать нескольких метров. ВЧЕ разряд с кольцевыми электродами, которые надеваются на разрядную трубку, имеет фиксированную длину, равную расстоянию между электродами. Электромагнитная энергия подается через емкостный переход палектрод - плазма." Параметры разряда могут быть более высокими, чем в факельном разряде, так как длина разряда постоянна /24,25,2€/ . ВЧЕ разряд геометрии плоского конденсатора исследовался в сравнительно небольшом числе работ. Показана возможность получения лазерной генерации в емкостном разряде на С0£ при давлении 48 торр и плотности тока 30 ма/см /27/ . Б работах

28,29, ЗО/рассмр- звалось влияние расстояния между электродами на контракцию разряда, стабилизирующее влияние ВЧ поля на постоянно-точный разряд. Последний вопрос также исследуется в работах /ъгъг! .

Теоретическому исследованию ВЧЕ разряда геометрии плоского кон денсатора и геометрии длинной трубки посвящена работа ¡ЪЪ). Получены стационарные решения для основных параметров разрядов обеих геометрий как с учетом, так и без учета диссоциации газа. Проведено исследование устойчивости ВЧЕ разряда по отношению к ионизационно-тепловым возмущениям.

Из приведенных работ можно сделать вывод, что ВЧЕ разрццы обладают определенными возможностями в плане управления их параметрами. Эти возможности заложены в разнообразии пространственных структур, которые может иметь ВЧЕ разряд при одном и том же давлении газа. Управление структурой разряда представляет несомненный интерес, так как позволяет получать объемные разряды при повышенных давлениях, .осуществлять масштабный переход к большим уровням мощности, достигать оптимального согласования электродинамики и газодинамики разряда. Поэтому представляется актуальной следующая постановка задачи диссертации:

1. Исследование электрофизических и энергетических характеристик объемной формы ВЧЕ разряда в широком диапазоне внешних условий.

2. Исследование условий перехода объемной формы в другие структурные формы.

3. Изучение структуры контрагированного состояния ВЧЕ разрвда.

4. Использование ВЧЕ разряда разных форм для эффективного проведения плазмохимических реакций.

Заключение диссертации по теме «Физика плазмы», Матюхин, Владимир Дмитриевич

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Исследован высокочастотный емкостный разряд в его двух основных формах объемной и контрапфованной. Полученные в работе основные результаты могут быть сформулированы следующим образом:

1. Экспериментально доказано, что изменением способа подачи электромагнитной энергии в разряд граница перехода объемной формы разряда в контрагированную форму может быть смещена в область высоких давлений газа. Таким путем получены стационарные объемные разряды, вплоть до атмосферного давления на углекислом газе, кислороде азоте, водороде, гелии, аргоне.

2. На основании проведенных в объемном разряде в широком диапазоне внешних условий измерений электрических полей, плотности токов, удельных энерговкладов установлено, что параметрами объемного ВЧЕ разряда можно эффективно управлять, изменяя толщину диэлектрических покрытий, влияя на силу электрической связи плазма - электрод.

Экспериментально показано, что в объемном разряде со свободао$ боковой границей параметр V Ф сохраняет постоянство при значитель ном изменении внешних параметров ( \)Ш /хГ^ , где Т/д - падение напряжения в диэлектрических покрытиях электродов, и*. - падение напряжения в плазме).

Постоянство параметра V Ф обосношно расчетами электрических и температурных полей в разряде.

3. Экспериментально установлено, что при изменении внешних параметров, объемная форма разряда, шжет переходить в одно из следующих контрагированных состояний: в ячеистую структуру, в уединенный канальный разряд, в квазирегулярную структуру каналов. Шяснено, что характер перехода зависит от толщины диэлектрических'покрытий электродов; их формы, размеров и взаимного расположения, а также от структуры электродов.

4. На основании проведенных исследований радиальных профилей температуры в разрядах в COg и N ^ показано, что диссоциация газа приводит к изменению вида температурного профиля, вызывая тем самыь изменение радиальной структуры^разряда (к резкому контрагированию i центре при сохранении объемной формы на периферии). Предложена методика анализа системы нелинейных уравнений, описывающих поведение контрагированной формы разряда в области перехода объемная форма -канал, которая связывает поперечную и продольную структуру разряда со структурой функции источников.

5. На основе контрактованной формы разряда предложен и осущес влен реактор с поперечным продувом канала разряда с короткой по пс току газа длиной разрядной зоны. На примере реакции восстановления окиси углерода из углекислого газа продемонстрирована высокая эффек тивность реактора. Получен кпд 60% при конверсии 18%. Предложена -фк зическая шдель канала разряда, как генератора мэлекул СО, учитывающая неравновесность процесса диссоциации СО^ и неоднородность пространственного распределения параметров в разряде.

6. На основе исследования физических свойств объемного ВЧЕ pas ряда предложена и реализована газоразрядная система типа плоского конденсатора. В системе осуществлен однородный без обтекания горяо чих областей продув разрядной зоны с энерговкладом до 150 вт/см . Полную шщность разряда можно наращивать за счет увеличения площада электродов без изменения локальных характеристик разряда. Показана эффективность такой системы для создания химически активной плазмы.

Считаю своим приятным долгом выразить благодарность моему научному консультанту В.Л.Русанову за постоянное внимание к работе. Выражаю сердечную признательность В.Ф.МуравьеЕу и В.Е.Брагину за неоценимую помощь в работе. Автор искренне благодарен Ю.Ф.Колесни-ченко за ценные и плодотворные обсуждения работы, С.И.Омазнову, А.Н.Быканову, В.Г.Лужнову за помощь в проведении некоторых экспериментов. Автор благодарит' коллектив сотрудников кафедры молекулярной физики за дружескую поддержку.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Матюхин, Владимир Дмитриевич, 1984 год

1. Иванов A.A., Соболева Т.К., Юпманов П.Н. Перспектиш использовг нияпл аз менно-пучкового разряда~в плазмохимии. - Физика плазмы, 1977, т. 3,- вып. 1. с. 152-162.

2. Иванов A.A., Никифоров В.А. Применение плазменно-пучкового разряда в плазмохимии. В кн.: Химия плазмы / Под ред. Б.М.Смирне ва. М.: Атомиздат, I97Ö, вып. 5, с. 148-175.

3. Колесниченко Ю.Ф., Матюхин В.Д., Муравьев В.Ф., Смазнов С.И. Высокочастотный емкостный разряд прибавлениях порядка атмосфер ного. Доклады АН СССР, 1979, т. 246, № 5, с. I09I-I094.

4. Легасов В.А., Животов В.К., Крашенинников Е.Г. и др. Неравновес ный плазмохимический процесс разложения COg в ВЧ и СВЧ-разрядах Доклады АН СССР, 1978, т. 238, № I, с. 66-69.

5. Жуков М.Ф., Смоляков.В.Я., Уроков Б.А. Электродугоше нагревате ли газа (плазмотроны). М.: Наука, 1973. - 256 с.

6. Гриненко A.A., Иванов Ю.А., Штова Н.М. и др. Исследование диссоциации двуокиси углерода в электрических разрядах. М.: ИНХС АН СССР, 1977.

7. Левицкий A.A. Исследование кинетики и механизмов некоторых хими ческих реакций методами математического моделирования. : Автор© дис. канд. хим. наук. М.: 1978. - 24 с. - В надзаг. : ИНХС АН СССР.

8. Солнцев Г.С., Дмитриева М.М. Двухэлектродный высокочастотный разряд при давлении от IOO мм рт.ст. до атмосферного. Журнал эксперим.теорет.физики, 1955, т. 29, вып. 5 (П), с. 651-657.

9. Крашенинников Е.Г. Экспериментальные исследования неравновесныхплазмэхимических процессов в СВЧ-разряде повышенного давления. ■ Дюс.канд. физ.-мат.наук. М., 1981. - 210 с. - В надзаг.: Институт атомной энергии им. И.В.Курчатова.

10. Братин Б.Е., Матюхин Б.Д., Муравьев В.Ф. Диссоциация СО^ в плазме высокочастотного емкостного разряда. В кн.: У1 Всесоюзная конференция по физике низкотемпературной плазш: Тез.док Ленинград: Наука, 1983, т. П, с. 375-377.

11. Асиновский Э.И., Марковец В.В., Самойлов И.С. Структура ударно электромагнитной волны в слабоионизованной плазме. В кн. У1 Всесоюзная конференция по физике низкотемпературной плазмы: Тез.докл. Ленинград: Наука, 1983, т. I, с. 372-374.

12. Братин В.Е., Матюхин В.Д. Об управлении параметрами объемного ВЧЕ разряда. В кн. УШ Всесоюзная конференция по генераторам низкотемпературной плазш: Тез.докл. Новосибирск: Наука, 1980,т. 3, с. 128-130.

13. Мак-Таггарт Ф. Диссоциация СО^. В кн.: Плазмохимические реакции в электрических разрядах. - М.: Атомиздат, 1972, с. 221231.

14. Григорович Р., Кристеску Д. К теории шсокочастотного факельно го разряда. Оптика и спектроскопия, 1959, т. У1, вып. 2,с. 129-136.

15. Иванов Ю.А., Полак Л.С., Словецкий Д.И. О кинетике разложения углекислого газа в тлеющем разряде. Химия высоких энергий, 1971, т. 5, №5, с. 382-387.

16. Мальцев А.Н., Еремин Е.Н.?Ивантер В.Л. Диссоциация С0£ в тлеющем разряде. й^грнал физ.химии, 1967, т. 41, с. 1190-1193.

17. Велихов Е.П., Голубев В.С., Пашкин С.В. Тлеющий разряд в поток газа. Успехи физических наук, 1982, т. 137, вып. I, с. 117-15

18. Налартович А.П., Старостин А.Н. Механизш неустойчивости тлеющего разряда повышенного давления. В кн.: Химия плазмы /Под ред. Б.М.Смирнова. М.: Атомиздат, 1979, вып. 6, с. 153-208.

19. Русанов В.Д., Фридман A.A., Шолин Г.В. Физика химически активной плазмы с неравновесным колебательным возбуждением молекул. Успехи физических наук, 1981, т. 134, с. 185

20. Тихомиров И.А., Тоболкин A.C., Ткаченко А.Г. Исследование характеристик и режимов горения ВЧ факельного разряда. Журнал техн.физики, 1983, т. 53, №6, с. II79-TI8I.

21. Тихомиров И.А., Теплоухов В.Л., ВерзЦев В.А. и др. Некоторое электрофизические характеристики шсокочастотного факельного разряда. Изв. Томского политехнического института, 1976, т. 276, с. 60-65.

22. Тихомиров И.А., Тихомиров В.В., Соловьев A.A. и др. Определение параметров воздушной высокочастотной плазш микроволновыми методами. Изв. Томского политехнического института, 1976, т.276, с. 26-29.

23. Митин Р.В., Звягинцев A.B., Прядкин К.К. Безэлектродный УВЧ разряд шсокого давления. Теплофизика высоких температур, 1У73, т. II, № 3, с. 4УЗ-497.

24. Митин Р.В., Гончар Н.И., Звягинцев A.B. Возможности и некоторые новые конструкции высокочастотных емкостных плазмотронов. -Теплофизика высоких температур, 1982, т. 20, № 2, с. 342-346.

25. Митин Р.В., Шамраев В.Т., Яременко В.И. Емкостный ВЧ-разрядв углекислом газе при атмосферном давлении. Теплофизика высоких температур, 1983, т. 21, № 3, с. 595-596.

26. Акиртава О.С., Джекия Б.Л., Квития З.А., Шенгелия H.A. Применение стационарного ВЧЕ-разряда для возбуждения быстропроточного Cü2 лазера. Письма в ЖГФ, 1981, т. 7, вып. 20, с. I23I-I235.

27. Мышенков В.И., Яценко H.A. Влияние межэлектродного расстояния на максимальный поперечный размер пространственно-однородного плазменного столба. Журнал техн.физики, 1982, т. 51, № 10, с. 2055-2060.

28. Мышенков В.И., Яценко H.A. Исследование устойчивости комбинированного разряда, поддерживаемого постоянным и высокочастотным электрическими полями. Физика плазмы, 1982, т. 8, № 4, с. 704 711.

29. Яценко H.A. Исследование структуры неограниченного стенками ста ционарного газового разряда типа тлеющего. В кн. Шестая Всесо юзная конференция по физике низкотемпературной плазмы: Тез.докл Ленинград: Наука, 1983, т. П, с. 51-53.

30. Brourri О.С. Davis Ц-.W. СLosed-cycLe perj-ormanse of higk-pou/er eiectrfk- clTschaгде ioüer,

31. QppL. Ph^S. Lett, mi vZI A/10 p.Li&O-bBi

32. Генералов H.A., Зимаков В.П., Косынкин В.Д. и др. Метод существенного повышения предела стабильности разряда в быстропроточ-ных лазерах большого объема. Письма в ЖТШ, 1975, т. I, шп.9, с. 431-435.

33. Колесниченко Ю.Ф. Теоретическое исследование высокочастотного емкостного разряда различной геометрии на молекулярных газах. -Дисс.канд.физ.-мат.наук. М., 1979, - 117 с. - В надзаг.: МВД

34. Матюхин В.Д., Яценко H.A., Установка для исследования плазмохи-мических процессов. В кн.: Труды ШТИ, Сер.: Общая и молекулярная физика. М.: ШТИ, 1У71, с. 72-76.

35. Андронов'А.А, Витт A.A., Хайкин С.Э. Теория колебаний. М.: Наука. - 568 с.

36. Быканов А.Н., Матюхин В.Д., Муравьев В.Ф., Смазнов С.И. Исследование энергетических характеристик электродного высокочастотного разряда в азоте при средних давлениях. Известия СО АН СССР, серия техн.наук, 1980, в. 3, с. 70-72.

37. Диагностика плазмы: Пер. с англ./Под ред. Р.Хаддлстоуна, П.Леонарда/. М.: Мир, 1967. - 515 с.

38. Никольский В.В. Теория электромагнитного поля. М.: йюшая школа. - 384 с.

39. Яценко H.A. Связь высокого постоянного потенциала, плазмы с режимом горения высокочастотного-емкостного разряда среднего давления. Журнал техн.физики, 1981, т. 51, №6, с. 1195-1204.

40. Ю. Филькенбург В., Меккер Г. Электрические дуги и термическая плазма.: Пер. с нем. М.: Изд. иностр. лит., 1961. - 369 с.

41. J. Лохте-Хольтгревен В. Определение параметров плазмы. В кн.: Методы исследования плазмы. Под ред. В.Лохте-Хольтгревена. М.: Мир., 197I, с. 108-166.

42. Брицка М.Э., Игнатко В.П., Сукач Ю.С. Исследование малошпрого высокочастотного разряда в аргоне при атмосферном давлении. -Теплофизика высоких температур, 1972, т. 10, № 2, с. 265-272.

43. Гейдон А. Спектроскопия пламен: Пер. с англ. М.: Изд.иностр. лит., 1959, 382 с.

44. Хохлов М.З. К вопросу о возможности измерения температуры канала факельного разряда по полосе гидроксила 3064 А0. Журнал эксп. и теор.физики, 1955, т. 29, вып. 5(11), с. 645-650.

45. Оптическая пирометрия плазмы. Сб.статей. Пер.с англ./Под ред. Н.Н.Соболева/. М.: Мир, i960 - 438 с.

46. Кудрявцев Е.М. Экспериментальное определение матричного элемента дипольного момента электронного перехода фиолетовой системы полос циана. В кн.: Труды ®Н. М.: Наука, 1966, т.ХХХУ,с. 74-149.

47. Хохлов М.З. Ротационная температура гидроксила и азота. Оптика и спектроскопия, 1958, т^ЗУ, вып. 4, с. 438-447.

48. Очкин В.Н., Савинов С.Ю., Соболев H.H. Распределение интенсивности во вращательной-структуре 2+ системы N ^ в газовом разряде. М., 1977. - 54 с. (Препринт № 150 ФИАН СССР).

49. ТрубачеевЭ.А. Изучение физико-химических свойств плазш СО-лазера. В кн.: Труды ФИАН. М., Наука, 1977, т. 102, с. 3-57.

50. Рчкин В.Н., Савинов С.Ю., Соболев H.H., Трубачеев Э.А. Концен-^ трация радикалов С N в плазме лазера на окиси углерода. Квантовая электроника, 1974, № 3, с. 573-578.

51. Фриш О.Э. Определение концентраций нормальных и возбужденныхатошв и сил осцилляторов методами испускания и поглощения света. В кн.: Спектроскопия газоразрядной плазмы. Ленинград: Наука, 1970, с. 7-62.

52. Грим Г. Уширение спектральных линий в плазме: Пер.с англ. М.: Мир, 1978. - 491 с.

53. Калитиевский Н.И., Чайка М.П. Интерферометр Фабри-Перо и некоторые его приложения в спектроскопии. В кн.: Спектроскопия газоразрядной плазмы. Ленинград: Наука, 1970, с. 160-200.

54. Биберман Л.М., Норман Г.Э. Непрерывные спектры атомарных газов и плазмы. Успехи физических наук, 1967, т. 91, в. 2, с. 194223.

55. Шитиков Г.Т. Стабильные диапазонные автогенераторы. М.: Советское радио, 1965. - 614 с.

56. Мак-Нейр -Г., Бонелли Э. Введение в газовую хроматографию: Пер. с англ. М.: Мир, 1970. - 277 с.

57. Киселев A.B., Яшин Я.И. Газо-адсорбционная хроматография. М.: Наука. - 256 с.

58. Велихов Е.П., Письменный В.Д., Рахишв А.Т. Несамостоятельный газовый разряд, возбуждающий непрерывные СО^-лазерч. Успехи физ.наук, 1977, т. 122, в. 3, с. 419-447.

59. Велихов Е.П., Голубев С.А., Ковалев A.C. и др. Стационарный несамостоятельный газовый разряд в молекулярных смесях пошшенно-го давления. Физика плазмы, 1975, т. I, в. 5, с. 847-853.

60. Чеботарев В.П. Неконтрагированный типа тлеющего, продольный разряд постоянного тока при атмосферных давлениях. Доклады АН СССР, сер.техн.физика, 1972, т. 206, Р 2, с. 334-336.

61. Шмелев В.М., Марголин А.Д. К теории вихревого тлеющего разряда. -Журнал техн.физики, 1980, т. 50, №4, с. 745-748.

62. Брагйн В.Е., Колесниченко Ю.Ф., Матюхин В.Д., Муравьев В.Ф., Смазнов С.И. Об устойчивости высокочастотного емкостного разряда. В кн.: У Всесоюзная конференция по физике низкотемпературной плазш: Тез.докл. Киев, 197Э, т. I, с. 107.

63. Братин В.Е., Матюхин В.Д. Пространственное распределение джоу-левой энергии в объемном высокочастотном емкостном разряде. -В кн.: Ш Всесоюзный симпозиум по плазмэхимии: Тез.докл. Звенигород: Наука, 1979, т. 2, с. 184-186.

64. Грановский В.М. Электрический ток в газе. М.: Гостехиздат, 1952, т. L- 430 с.

65. Варгафтик Н.Б. Справочник по теплофизическим свойствам газов и жидкостей. М.: Наука, 1972. - 720 с.

66. Новгородов М.З. Экспериментальное исследование электрических и оптических характеристик положительного столба тлеющего разрядав молекулярных газах. В кн.: Труцы ФИАН. М.; Наука, 1974, т. 78, с. 60-116.

67. Хаксли JI., Кромптон Р. Диффузия и дрейф электронов в газах: Пер. с англ. М.: Мир, 1977. - 672 с.

68. Колесниченко Ю.Ф., Матюхин В.Д., Муравьев В.Ф., Смазнов С.И. О механизмах ионизации в высокочастотном емкостном разряде на молекулярных газах. В кн.: Ш Всесоюзный симпозиум по плазмэ-химии: Тез.докл. Звенигород: Наука, 1979, т. I, с. 84-88.

69. Оришич A.M., Пономаренко А.Г., Солоухин Р.И. Энергетические характеристики и устойчивость двойного поперечного разряда при накачке лазера на COg. Доклады АН СССР, 1973, т. 212, № 5,с. I099-II02. -ч

70. Баранов В.Ю., Ульянов К.Н. Контракция положительного столба. I.- Журнал техн.физики, 1969, т. XXXIX, № 2, с. 249-258.

71. Баранов В.Ю., Ульянов К.Н. Контракция положительного столба. П.- Журнал техн.физики, 1969, т. XXXIX, № 2, с. 259-268.

72. Kenty К. Votume Recom brnatjon, ConStr-jctTon and Vott-Qmptre Charact&rTStrc? of Po$Ttrv СоСитп. The PhySTcaL Review 1962 v 12.6 NH p 1235-/23873.

73. ALbrecht icKer Qy and MULLer K.G. Theorje der Kontratjon der positron $anle.- Is. A/atnrforsh ¡962 p. 154-MO.

74. EcKer Q, KroUWand loLLtrO. IhermaL IngtQblLTty of the PLazma Cotumn.- The Phyg7c$ of j-LuTdf V? N12 p.W0i-W06

75. Матюхин В.Д., Смазнов С.И. Динамические характеристики контра-гированного разряда. В кн.: Труды МФТИ. Сер,- Общая й молекулярная физика. М.: ШТИ, 1979, вып. П, с. 152-156.

76. Михалев Л.А., Селин Л.Н. Контракция положительного столба тлеющего разряда, обусловленная наличием отрицательных ионов. -Журнал техн.физики, 1974, X 1У, в. 5, с. 1095-1097.

77. Герасимов Г.Н. О контракции электрического разряда в инертных газах при средних давлениях. Оптика и спектроскопия, 1977, т. 42, №2, с. 362-354.

78. Ульянов К.Н., Менахин Л.П. Неустойчивость тока в газе при средних давлениях. Журнал техн.физики, 1971, т. X I, в. 12,с. 2545-2551.

79. Козлов Ю.Г. О контракции положительного столба разряда. Оптика и спектроскопия, 1970, т. ХХУШ, в. 4, с. 654-658.

80. Ульянов К.Н. Контракция положительного столба разряда в газах с диссоциативным механизмом рекомбинации. Журнал техн.физики, 1973, т. ХШ, в. 3, с. 570-578.

81. Голубовский Ю.Б., Зонненбург Р. О контракции разряда в инертных газах. I. Журнал техн.физики, 1979, т. 49, в. 2, с. 295-301.

82. Голубовский Ю.Б., Зонненбург Р. О контракции разряда в инертных газах. 1У. Журнал техн.физики, 1980, т. 50, в. 10, с. 20942098.

83. Баранов ВЛ)., Ульянов К.Н. Контракция положительного столба. -Письма в ЖЭТФ, 1967, т. 6, с. 622-626.

84. Дыхне A.M. Теория одномерной контракции дуг. В кн.: Некоторые вопросы исследования газоразрядной плазш и создания сильных магнитных полей. Л.: Наука, 1970, с. 84-94.

85. Елецкий A.B., Рахимов А.Т. Неустойчивости в плазме газового разряда. В кн.: Химия плазш /Под ред. Б.М.Смирнова/ М.: Атомиз-дат, 1977, в. 4, с. 123-167. .

86. Витшас А.Ф., Голубев B.C., Маликов М.М. О величине нормальной плотности тока в контрагированной плазме. В кн.: Некоторыевопросы исследования газоразрядной плазмы и создания сильных магнитных полей. Л.: Наука, IVJ70, с. У5-105.

87. Смирнов Б.М. Физика слабоионизованного газа. М.: Наука, 1978.- 416 с.

88. Смайт В. Электростатика и электродинамика: Пер.с англ. М.: Изд.иностр.лит., 1954. - 604 с.

89. Тихонов А.Н., Самарский А.А. Уравнения математической физики.1. М.: Наука, 1977. 735 с.до. Нааё A.R. Plasma stability of £lectrfc

90. DTsharqe Tti ITIoCtcuLar &ases. Physical Review A, №b}V&, N11 p.WI*-№Z.

91. Л. flLghon W.l. £Lectron Energy Distributionfand CoLLWon. Rateg In iiectrlcaily Excite?

92. CO and C02 Phy$JcaL Review A} 4910 VZ N5 p. ¡9&Q- 2000.

93. Полак Л.С., Соловецкий Д.И. Механизм ионизации азота. Теплофизика высоких температур, 1977, т. 15, № I, с. 15-21.

94. Кондратьев В.Н. Константы скорости газофазных реакций: Справочник. М.: Наука, 1971. - 352 с.

95. Райзер Ю.П., Основы современной физики газоразрядных процессов.- М.: Наука, 1980. 415 с.

96. Голубовский Ю.Б., Некучаев В.О. Волны сжатия в контрагированномразряде.' В кн.: Шестая Всесоюзная конференция по физике низкотемпературной плазмы: Тез.докл. Ленинград, I98ö, т. I, с. 4^:2-424.

97. Галечян Г.А. Плазменный столб в потоке газа.—В кн.: Химия плазш /Под ред. Б.М.Смирнова/." М.: Атомиздат, 1983, в. 10, с. 73-108.

98. Голубовский Ю.Б., Лягущенко Р.И. О существовании предельного тока и нескольких состояний стационарного разряда в диффузион-но-рекомбинационном режиме. Журнал техн.физики, 1977, т. 47, в. 9, с. 1852-1859.

99. Каган Ю.М., Лягущенко Р.И. О возбуждении инертных газов в положительном столбе разряда при средних давлениях. ТУ. Оптика и спектроскопия, 1964, т. ХУ11, в. 2, с. 168-175.

100. Матюхин В.Д., Франк-Каменецкий Д.А. Ширина и устойчивость зоны прогрева в индукционном плазмотроне. В кн.: 1У Всесоюзная конференция по физике и генераторам низкотемпературной плазмы: Тез.докл. Алма-Ата, 1970, т. I, с. 729-731.

101. Белоусов И.Г., Легасов В.А., Русанов В.Д. О двухстадийном плаз-мохимическом цикле восстановления водорода из воды. В кн.: Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Атомно-водородная энергетика. М.: МЭ, 1977, в 2(3), с. 158-163.

102. Животов В.К., FycaHOB В.Д., Фрццман A.A. Диссоциация углекислого газа в неравновесной плазме. В кн.: Химия плазмы /Под ред. Б.М.Смирнова/. М.: Атомиздат, 1982, в. 9, с. 206-236.

103. Андреев Ю.П., Семиохин И.А., Панченков Г.М. и др. Исследование диссоциации углекислого газа в тихом электрическом разряде. -Журнал физ.химии, 1964, т. 38, с. 794-797.

104. Фридман A.A. Физическая кинетика неравновесных плазмохимичес-ких процессов. Дисс.канд.физ .-мат.наук. - М., 1979. - 129 с.-197В надзаг.: МФТИ.

105. Братин в.Е., Быков В.Н., Лубневский в.И., Матюхин в.Д. Энергетические характеристики В4Е разряда с продольным продувом.

106. В кн.: Элементарные процессы в химически реагирующих средах: Межведомственный сборник. М.: №Ш, 1983, с. 18-22.

107. Братин В.Е., Лубневский В.И., Матюхин В.Д. Энергетические характеристики ВЧЕ разряда с пространственной периодичностью. -В кн.: Элементарные процессы в химически реагирующих средах: Междуведомственный сборник. М.: МШ, 1983, с. 23-27.

108. Братин В.Е., Матюхин В.Л. О пространственной однородности объемного ВЧЕ разряда. В кн.: Труды М®ГИ. Сер.: Общая и молекулярная физика. М.: МФТИ, 1979, в. П, с. 179-182.1 Ч

109. Taylor R.L, ßrtterman. g, Survey of vTbratTonaL Refcaxcrtjort Data 4or Proce$$e$ Important jn the С0Z'N% Later fysttm-tevTtW of modern PhysTcg \Ш MUÍ Ni p.

110. НО. Матюхин В.Д., Муравьев В.Ф. Некоторые особенности высокочастотных разрядов в газах. В кн.: Труды ШТЙ. Сер.: Радиотехника и электроника. М.: МФТИ, 1971, с. 167-169.

111. I. Лужнов В.Г., Матюхин В.Д., Смазнов С.И. Степень разложения С02 , в контрагированном разряде. В кн.: Труда МФТИ. Сер.: Общая и молекулярная физика. М.: МФТИ, 1979, в. П, с. 187-190.

112. EI2. Братин В.Е., Матюхин В.Д., Муравьев В.Ф. Диссоциация С02 в высокочастотном емкостном разряде пространственно-периодической структуры. Письма в ЗШ, 1983, т. 9, в. 21, с. 1284-1286.