Исследование и численное моделирование физико-технологических параметров ионообменных волноводных структур в стеклах тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.05, кандидат физико-математических наук Прохоров, Владимир Петрович

• Прохоров, Владимир Петрович
• кандидат физико-математических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Прохоров, Владимир Петрович

ВВЕДЕНИЕ.

1. ИОНООБМЕННЫЕ ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИЕ ВОЛНОВОДЫ

НА ОСНОВЕ СТЕКОЛ.

1.1. Технологические основы процесса ионного обмена из солевых расплавов.

1.1.1. Ионообменная технология формирования волноводных структур.

1.1.2. Профили показателя преломления ионообменных слоев.

1.2. Теоретическое моделирование процесса ионного обмена из солевых расплавов.

1.3. Моделирование оптического распространения в ионообменных волноводах.

1.4. Определение характеристик и моделирование технологических параметров ионообменных волноводов.

1.4.1. Определение профиля показателя преломления градиентных волноводов.

1.4.2. Моделирование технологических параметров ионообменных волноводов.

Выводы к главе 1.

2. ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ИОНООБМЕННЫХ ВОЛНОВОДОВ

НА ОСНОВЕ СТЕКОЛ.

2.1. Изготовление и исследование опытных образцов ионообменных волноводов.

2.2. Численная реконструкция градиентного профиля показателя преломления п(х) ионообменных волноводов.

2.3. Численное восстановление максимального приращения показателя преломления Ап и эффективной глубины d градиентных волноводов.

2.4. Получение полуэмпирического соотношения связи между максимальным приращением Ап показателя преломления волновода и молярной концентрацией С0 расплава.

2.5. Получение полуэмпирического соотношения связи между эффективной глубиной d волновода и временем t ионообменной диффузии.

2.6. Получение полуэмпирического соотношения связи между волноводными (т) и технологическими (С0, /) параметрами ионообменных волноводов.

2.7. Прогнозирование параметров технологического процесса изготовления ионообменных волноводов.

2.8. Алгоритм проектирования технологического процесса изготовления ионообменных волноводов в стеклах.

Выводы к главе 2.

3. РАСЧЕТ ВНОСИМЫХ ПОТЕРЬ В ПАССИВНЫХ ВОЛНОВОДНЫХ

• СТРУКТУРАХ ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИХ СХЕМ.

3.1. Пассивные волноводные компоненты интегрально-оптических схем и расчет их волноводных характеристик.

3.2. Двухканальные волноводные разветвители в режиме деления оптической мощности.

3.3. Элементы изгиба волноведущих каналов.

3.4. Элементы направленной связи и направленные ответвители оптической мощности.

3.5. Волноводные пересечения Х- и Y-типов.

Выводы к главе 3.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование и численное моделирование физико-технологических параметров ионообменных волноводных структур в стеклах»

Актуальность темы. Интегрально-оптические (ИО) устройства в настоящее время находят широкий спектр применений в области оптоэлектронной обработки информации и оптической связи. Волноводы являются базисными элементами любых ИО схем. Пассивные волноводные структуры применяются для расщепления оптических сигналов и маршрутизации излучения по выбранным направлениям. При этом стекло представляет собой наиболее популярный материал для изготовления пассивных компонентов ИО схем в силу его относительно низкой стоимости, очень хорошей прозрачности, высокой устойчивости к оптическим повреждениям и доступности.

Ионный обмен является ведущим технологическим процессом изготовления стеклянных волноводов, поскольку обеспечивает существенную гибкость в выборе технологических параметров изготовления волноводных структур, является достаточно простым и вполне пригодным для крупномасштабного серийного производства.

Теоретическое моделирование ионообменной технологии необходимо для решения многих насущных задач: проектирования самого процесса изготовления одномодовых волноводных структур, конструирования различного рода компонентов ИО схем, оптимизации волноводных характеристик и т.п.

Для реализации данной задачи необходимо наличие прогнозируемого технологического процесса изготовления волноводов с заданными оптико-физическими свойствами, поскольку стеклянные ионообменные волноводы, будучи пассивными структурами, не допускают возможности электрооптической юстировки с целью компенсации погрешностей изготовления.

Для получаемых в результате ионного обмена градиентных волноводов существенной задачей является определение максимального приращения показателя преломления An волновода и его эффективной глубины d, поскольку без учета данных параметров невозможно моделировать волноводные процессы в

ИО схемах. Указанные параметры (An, d) должны быть связаны с основными технологическими параметрами изготовления волновода, что требует построения полуэмпирических соотношении связи между технологическими и волно-водными параметрами ионообменных волноводов.

Исходя из этого, разработка научно обоснованной полуэмпирической методики прогнозирования технологических условий изготовления ионообменных волноводных структур с требуемыми волноводными характеристиками представляет собой весьма актуальную задачу интегральной оптики.

Цель работы - проведение комплекса теоретических и экспериментальных исследований, связанных с разработкой полуэмпирической методики определения характерных параметров оптических градиентных ионообменных волноводов, установлением их связи с технологическими параметрами и прогнозированием технологического режима изготовления волноводов с требуемыми оптико-физическими свойствами.

Для достижения указанной цели потребовалось решить следующие задачи:

1) сформировать и исследовать различные серии опытных образцов градиентных оптических волноводов на основе термического ионного обмена из расплава солей AgNC>3 и ЫаЫОз в стеклянные подложки К8 и КФ4 при опреде ленных технологических условиях;

2) выполнить численное моделирование профильной функции оптических ионообменных волноводов для определения точек поворота волноводных мод и реконструкции профиля показателя преломления градиентных волноводов;

3) проанализировать задачу численного восстановления эффективной глубины d и максимального приращения показателя преломления А/7 планар-ных градиентных волноводов и возможные методы ее решения;

4) разработать методику численной реконструкции параметров (А/7, d) градиентных волноводов, обеспечивающую минимизацию среднеквадратичной погрешности между расчетными и эмпирическими значениями эффективных показателей преломления мод;

5) разработать методику определения полуэмпирических соотношений связи между технологическими и волноводными параметрами ионообменных волноводов и численную аппроксимацию соответствующих зависимостей для волноводов с градиентным профилем, полученных ионным обменом из расплавов солей AgN03+NaN03 в стеклянные подложки К8, КФ4 и ТСМ;

6) исследовать оптимальные технологические параметры ионообменных Ag+:K8 и А§+:КФ4-волноводов, обеспечивающие одномодовый режим функционирования;

7) сформулировать алгоритм проектирования технологического процесса изготовления ионообменных волноводов с требуемыми волноводными характеристиками;

8) выполнить численный анализ вносимых потерь в различных пассивных волноводных структурах ИО схем с рекомендациями по выбору параметров пассивных элементов и контролю соответствующих технологических погрешностей.

Научная новизна. Основными новыми научными результатами проведенных исследований являются:

1) Численная реконструкция профиля показателя преломления планарных градиентных ионообменных Ag+:K8 и А§+:КФ4-волноводов на основе модификации инверсного ВКБ-метода.

2) Формулировка в самом общем виде задачи численного восстановления эффективной глубины d и максимального приращения показателя преломления An планарных градиентных волноводов и анализ возможных методов ее решения.

3) Методика численной реконструкции параметров (An, d) градиентных волноводов, обеспечивающая минимизацию среднеквадратичной погрешности между расчетными и экспериментальными значениями эффективных показателей преломления волноводных мод и ее программная реализация.

4) Результаты численной реконструкции параметров (А/7, d) и полуэмпирические соотношения связи между технологическими и волноводными параметрами для волноводов с градиентным профилем, полученных ионным обменом из расплавов солей AgNC>3, AgNCb+NaNCb в стеклянные подложки К8, КФ4, ТСМ.

5) Методика построения различных полуэмпирических соотношений связи между технологическими и волноводными параметрами ионообменных волноводов в стеклах и их программная реализация.

6) Формулировка научно обоснованного алгоритма проектирования технологического процесса изготовления ионообменных волноводов в стеклах с требуемыми волноводными характеристиками.

7) Результаты численного расчета вносимых оптических потерь в различных пассивных волиоводных структурах ИО схем, сформированных на основе канальных ионообменных Ag+:K8 и Ag+:KФ4-вoлнoвoдoв, позволяющие оценивать геометрические, технологические и волноводные параметры, с помощью которых обеспечиваются требуемые размеры схемы, допустимый уровень вносимых потерь и контроль соответствующих технологических погрешностей.

Практическая ценность работы непосредственно связана с научной новизной ее результатов и состоит в возможности применения разработанных методик, результатов расчетов и подготовленных программных пакетов для решения следующих практических задач:

1) численного восстановления характерных параметров градиентных ионообменных волноводов;

2) определения полуэмпирических зависимостей между волноводными и технологическими параметрами;

3) проектирования технологических режимов изготовления волноводов с требуемыми оптико-физическими свойствами;

4) выбора оптимальных параметров пассивных волноводных компонентов ИО схем, обеспечивающих требуемые размеры схемы, допустимый уровень вносимых оптических потерь и контроль соответствующих технологических погрешностей изготовления.

5) проектирования фотошаблонов различных волноводных структур ИО схем.

Результаты проведенных исследований в течение ряда лет активно использовались при проведении научно-исследовательских работ в рамках хоздоговорных работ кафедры оптоэлектроники Кубанского государственного университета (КубГУ) для прогнозирования параметров технологического процесса изготовления ионообменных волноводов с требуемыми волноводными характеристиками, а также при проектировании фотошаблонов различных волноводных структур в ИО схемах.

Применяемые в диссертации методы анализа ИО волноводных структур используются в спецкурсе «Волноводная оптоэлектроника» и соответствующем лабораторном компьютерном практикуме, изучаемых студентами физико-технического факультета КубГУ.

Защищаемые положения. В результате проведенной работы автором решены поставленные задачи и на защиту выносятся следующие положения:

1. Практическая реализация численной реконструкции градиентного профиля показателя преломления планарных оптических ионообменных Ag+:K8 и Ag+:KФ4-вoлнoвoдoв.

2. Физико-математическая модель численного восстановления эффективной глубины d и максимального приращения показателя преломления А/2 планарных ионообменных Ag+:K8 и Ag+:KФ4-вoлнoвoдoв с градиентным профилем показателя преломления и результаты численной реконструкции параметров (A/?, d) для указанных волноводов.

3. Методика построения полуэмпирических соотношений связи между технологическими и волноводными параметрами ионообменных Ag+:K8 и Ag+:KФ4-вoлнoвoдoв и результаты численной аппроксимации данных соотношений связи.

4. Методика определения технологических параметров градиентных ионообменных Ag+:K8 и А§+:КФ4-волноводов, обеспечивающих одномодовый режим функционирования волноводов.

5. Алгоритм проектирования технологического процесса изготовления ионообменных волноводов в стеклах с требуемыми волноводными характеристиками.

6. Методика численного анализа параметров пассивных компонентов ИО схем, обеспечивающих допустимый уровень вносимых оптических потерь в схеме и контроль соответствующих технологических погрешностей изготовления волноводных структур.

Объем и структура диссертации. Диссертация состоит из 3-х глав, введения, заключения, списка использованных источников и приложений.

Первая глава представляет собой аналитический обзор, выполненный на основе анализа литературных источников. Особое внимание здесь уделяется основным параметрам технологического процесса изготовления ионообменных волноводных структур, а также задачам теоретического моделирования: а) процесса ионного обмена из солевых расплавов; б) оптического распространения в ионообменных волноводах; в) волноводных характеристик и технологических параметров ионообменных волноводов.

Вторая глава непосредственно посвящена решению задачи численного моделирования технологических параметров ионообменных волноводов в стеклах и разработке основ прогнозирования технологических условий изготовления волноводов с требуемыми оптико-физическими свойствами.

Третья глава посвящена теоретическому расчету вносимых оптических потерь в различных пассивных волноводных структурах ИО схем и методике выбора оптимальных параметров данных компонентов.

Диссертация содержит 180 печатных страниц, 48 рисунков, 7 таблиц, список литературы, включающий 240 наименований и 20 приложений, содержащих таблицы экспериментальных и расчетных данных и распечатки отдельных программ численного расчета.

Заключение диссертации по теме «Оптика», Прохоров, Владимир Петрович

Выводы к главе 3

1. Используя метод непрерывного сшивания тангенциальных составляющих оптических полей в поперечной плоскости нарушения однородности вол-новедущей структуры, сводящегося к вычислению в пределах данной плоскости интеграла перекрытия поля волноводной моды во входном канале и суммарного поля, распространяющегося в пятислойной волноводной структуре, получена основная расчетная формула, определяющая зависимость вносимых потерь в симметричных одномодовых делителях оптической мощности Y-типа, формируемых на основе канальных ионообменных волноводов, от геометрических и технологических параметров этих волноводов. Для обеспечения большей точности расчетных данных предложено рассчитывать волноводные характеристики входного и выходных каналов разветвителей не на основе плана

Угол пересечения О, град а) б)

X = 0,6328 мкм (1); 0,85 мкм (2); 1,15 мкм (3); 1,3 мкм (4).

Рис. 48. Потери оптической мощности в волноводных 1 ш> Х-иересечешш (а) и Y-пересечении (б). рной модели, а с помощью метода эффективного показателя преломления.

Разработанный программный пакет позволяет, фиксируя требуемый уровень потерь в интегрально-оптическом разветвителе, определять необходимые диапазоны изменения геометрических и технологических параметров канальных волноводов для любой используемой длины волны излучения, а также решать обратную задачу: численно оценивать суммарные вносимые потери в распределительных интегрально-оптических схемах с конкретными топологией и волноводными параметрами. Численно рассчитываемые зависимости вносимых потерь от технологических параметров волноводов могут достаточно эффективно использоваться для контроля технологических погрешностей формируемых разветвителей Y-типа.

Численные расчеты выполнены для одномодовых делителей мощности на основе ионообменных Ag+:K8- и А§+:КФ4-волноводов. Анализ полученных результатов свидетельствует, что одномодовые разветвители на обоих видах стекол имеют вносимые потери L < 1 дБ в диапазоне углов разветвления 0 < 2° и L < 0,25 дБ при 9 < 1° на длине волны X = 0,6328 мкм (что соответствует углам раскрыва выходных каналов 0 < 4° и 0 < 2°). При фиксированном угле разветвления 0 потери заметно снижаются с увеличением используемой X. Так для Х= 1,15 и 1,3 мкм в более широком диапазоне углов 0 < 3° потери L < 1 дБ у А§+:КФ4-волноводов и L < 0,75 дБ у А§+:К8-волноводов.

2. Для определения излучательных потерь на изгибах канальных ионообменных волноводов использован метод фазовых скоростей Маркузе. Модификация используемой методики заключается в том, что полноводные характеристики канальных волноводов рассчитываются не на основе планарной модели, а с помощью метода эффективного показателя преломления. Подготовленный программный пакет позволяет численно рассчитывать излучательные потери на волноводных изгибах в зависимости от радиуса изгиба L(R) с учетом геометрических (0, IV) и технологических (d, An) параметров волноводных каналов. Результаты расчетов дают возможность определять пороговые значения радиусов кривизны, начиная с которых потерями на излучение можно пренебречь в силу их малости, а также количественно оценивать влияние конкретных геометрических и технологических параметров волноводов на величину излучательных потерь.

3. На основе волнового подхода разработана методика теоретического расчета коэффициента передачи оптической мощности в элементе направленной связи двух канальных волноводов, расположенных на различных подложках. Расчет выполнен для общего случая нерезонансной связи одномодовых канальных волноводов с градиентным профилем показателя преломления. Как частный случай, получены основные расчетные формулы для резонансных направленных ответвителей на основе канальных волноводов, сформированных на одной подложке. Данные формулы характеризуют зависимости коэффициента передачи оптической мощности в направленном ответвителе от длины перекрытия волноводов и величины зазора между ними, а также длины перекрытия от величины зазора при задаваемой эффективности связи.

С целыо прогнозирования характеристик канальных направленных ответвителей и установления допустимых геометрических и технологических погрешностей их изготовления подготовлен соответствующий программный пакет, с помощью которого численно рассчитывались зависимости эффективности направленной связи от длины перекрытия волноводов K(Z) и величины зазора между волноводными каналами К(Н), а также длины перекрытия от величины зазора Z(H) при задаваемой эффективности связи К = const. Численные расчеты, в частности, были выполнены для одномодовых направленных ответвителей на основе проектируемых в данной работе ионообменных Ag+:K8- и Ag+:KФ4-вoлнoвoдoв.

Расчетные данные свидетельствуют, что при фиксированной длине перекрытия Z величина соответствующего зазора Н увеличивается с ростом длины волны используемого излучения X. С точки зрения минимизации размеров интегральных схем очевидно преимущество работы с более высокими X: например, на X = 0,6328 мкм зазор между волноводами величиной Н= 1 мкм требует минимальное значение длины связи /0 = 5 мм, тогда как на X - 1,15 и 1,3 мкм при зазоре Н = 3 мкм длина связи /0 = 2 и 1 мм, соответственно. Следует отметить крайнюю чувствительность ответвителя к погрешностям по величине зазора Н и по длине связи /о волноводов. В частности, на X = 1,15 мкм при зазоре Н— 2,1 мкм погрешность 8// = ± 0,1 мкм снижает эффективность связи на 2%.

4. Используя геометрооптический подход, получены приближенные расчетные формулы для численной оценки потерь направляемой оптической мощности в волноводных пересечениях X и Y типов в зависимости от угла пересечения G с учетом геометрических и технологических параметров канальных ионообменных волноводов. Выполненный для базовых одномодовых волноводов численный расчет свидетельствует, что потери при передаче мощности в основной канал в Х-пересечении не превышают 1 дБ только для углов 0 > 12° (X = 0,6328 мкм). Излучательные потери в Y-пересечении в том же диапазоне углов 0 не превышают 0,5 дБ. С увеличением длины волны X потери полезной оптической мощности возрастают.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Проанализированы и обобщены сведения по проблеме создания прогнозируемого технологического процесса изготовления волноводов с требуемыми свойствами. Установлено, что для получаемых в результате ионного обмена градиентных волноводов существенной задачей является определение максимального приращения показателя преломления Ап волновода и его эффективной глубины d, поскольку без учета данных параметров в принципе невозможно моделировать волноводные процессы в интегрально-оптических схемах. Сделан вывод, что данная задача может быть выполнена исключительно путем численной реконструкции. Указанные параметры (А/7, d) должны быть связаны с основными технологическими параметрами изготовления волновода, что требует построения полуэмпирических соотношений связи между технологическими и волноводными параметрами ионообменных волноводов. Практическая реализация указанных задач и представляет собой вариант создания прогнозируемого технологического процесса формирования волноводов с требуемыми свойствами.

2. Используя инверсный ВКБ-метод и модельную профильную функцию N(m) для градиентных ионообменных волноводов, выполнена численная реконструкция точек поворота волноводных мод и профиля показателя преломления п(х) планарных Ag+-вoлнoвoдoв, сформированных посредством термального ионного обмена из солевых расплавов AgN03+NaN03 в подложках промышленных стекол К8, КФ4, ТСМ. Полученные результаты свидетельствуют, что профили п(х) исследуемых ионообменных волноводов в стеклах лучше всего моделируются линейной функцией п(х) = ns+An(\-x/d) и дополнительной функцией ошибок п(х) = /7s+A/7-erfc(jc/i/).

3. Сформулирована в общем виде задача численного восстановления эффективной глубины d и максимального приращения показателя преломления А/7 планарных градиентных волноводов на основе использования ВКБ-метода и проанализированы возможные методы ее решения. Предложено проводить численную реконструкцию параметров (А/7, d) посредством решения методом Левенберга-Маркардта оптимизационной задачи наименьших квадратов. Предлагаемый вариант поиска значений (А/7, d) заключается в решении переопределенной системы нелинейных уравнений /(А/7, d) = 0; (/ =0, 1, 2, ., //7), представляющих собой дисперсионные ВКБ-уравнения для волноводных мод соответствующих порядков {//?}. Решение системы сводится к поиску локального минимума min Ф(А/7, d) функционала невязок данной системы. Точность полученного приближенного решения повышается за счет последующего итерационного уточнения значений (А/7, d), обеспечивающего минимизацию среднеквадратичной погрешности а между расчетными и экспериментальными значениями ЭПП волноводных мод.

4. Выполнена численная реконструкция волноводных параметров (А/7, d) для ионообменных Ag+:K8, Ag+:K04 и Ag^TCM-волноводов с погрешностью полученного приближенного решения а е (2-10"7, 4-Ю-5), что дает возможность проектировать и оптимизировать разнообразные пассивные волноводные компоненты ИО схем.

5. Установлен оптимальный температурный диапазон AT формирования ионообменных волноводов из расплава солей AgN03+NaN03. На этой основе промоделирована температурная зависимость коэффициента диффузии D(7)=D0 ехр(-А#//?7) для ионообменных Ag+:K8 и Ag+:KФ4-вoлнoвoдoв.

6. Выполнена численная аппроксимация полуэмпирического соотношения связи между эффективной глубиной d градиентного волновода и временем t ионообменной диффузии d = const \[t, а также полуэмпирической температурной зависимости d (Т, /) для ионообменных Ag+:K8 и Ag+:KФ4-вoлнoвoдoв.

7. Выполнена численная аппроксимация полуэмпирической зависимости максимального приращения показателя преломления волновода An от концентрации ионов диффузанта Со в солевом расплаве Ап = Аи(Со) для ионообменных Ag+:K8- и А§+:КФ4-волноводов.

8. Для ионообменных Ag+:K8 и Ag+:KФ4-вoлнoвoдoв получена численная аппроксимация дополнительных полуэмпирических соотношений связи типа d(Co), An(t) и Ап(Т). Все установленные полуэмпирические формулы в целом обеспечивают важную связь между волноводными (Д«, d, т) и технологическими (Со, Т, t) параметрами ионообменных волноводов и позволяют, исходя из планируемых технологических условий изготовления волноводов, оперативно проектировать их волноводные характеристики (An, d).

9. Используя дисперсионные ВКБ-уравнения, для планарных ионообменных Ag+:K8 и Ag+:KФ4-вoлнoвoдoв получены полуэмпирическое соотношение связи между параметрами ионного обмена и модовым составом градиентных волноводов F(Co, Т, t, X, m), позволяющее прогнозировать технологические параметры процесса изготовления одномодовых или маломодовых градиентных ионообменных волноводов в стеклах.

10. Используя разработанную методику численного моделирования волноводных, геометрических и технологических параметров ионообменных волноводов на основе стекол, выполнены численные расчеты вносимых оптических потерь в различных пассивных волноводных структурах ИО схем, формируемых на основе канальных ионообменных Ag+:K8 и Ag+:KФ4-вoлповодов: симметричных одномодовых делителях оптической мощности Y-типа; волноводных изгибах; канальных направленных ответвителях; волноводных пересечениях X и Y типов. Проанализирована методика выбора оптимальных параметров пассивных волноводных компонентов интегрально-оптических схем, обеспечивающих требуемые размеры схемы в целом, допустимый уровень вносимых оптических потерь в схеме и контроль технологических погрешностей изготовления волноводных структур.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Прохоров, Владимир Петрович, 2005 год

1. Del Giudiee М. Structural and Optical Properties of Silicon Oxynitride on Silicon Planar Waveguides / M. Del Giudiee, F.Bruno, T.Cicinelli, M.Valli // Appl. Opt., 1990. V. 29. P. 3489-3496.

2. Robertson G.R.J. Optical Waveguide Laser Using an RF Sputtering Nd:Glass Film / G.R.J.Robertson, J.Jessop // Appl. Opt., 1991. V. 30. P. 276-278.

3. Kominato T. Very Low-Loss Ge02-doped Silica Waveguides Fabricated by Flame Hydrolysis Deposition Method / T.Kominato, Y.Ohmori, H.Okazaki, M.Yasu // Electron. Lett., 1990. V. 26. P. 327-329.

4. Kawachi M. Silica Waveguides on Silicon and Their Application to Integrated Optic Components // Opt. Quant. Electron., 1990. V. 22. P. 391-416.

5. Hanabusa M. Single-Step Fabrication of Ridge Type Glass Optical Waveguides by Laser Chemical Vapor Deposition / M.Hanabusa, Y.Fukuda // Appl. Opt., 1989. V. 28. P. 11-12.

6. Hewak D.W. Fabrication of Tapers and Lenslike Waveguides by Microcon-trolled Dip Coating Procedure / D.W.Hewak, J.Y.Lit // Appl. Opt., 1988. V. 27. P. 4562-4564.

7. Towsend P.D. Optical Effects of Ion Implantation // Reports on Prog, in Physics, 1987. V. 50. P. 501-558.

8. Ashley P.R. Low Loss Ion Implanted Ag Waveguides in Glass / P.R.Ashley, D.K.Thomas // Proc. Integrated and Guided Wave Optics Technical Meeting (IGWO'89), 1989. P. 152-155.

9. Ross L. Integrated Optical Components in Substrate Glasses // Glastechn. Ber., 1989. V. 62. N 8. P. 285-297.

10. Izawa T. Silver Ion-Exchanged Glass Waveguides (Optical Waveguide Formed by Electrically Induced Migration of Ions in Glass Plates) / T.Izawa, H.Nakagome // Appl. Phys. Lett., 1972. V. 21. P. 584-586.

11. Giallorenzi T.G. Optical Waveguides Formed by Thermal Migration of Ions in Glass / T.G.Giallorenzi, E.J.West, R.Kirk, R.Ginther, R.A.Andrews // Appl. Opt., 1973. V. 12. P. 1240-1245.

12. Findakly T. Glass Waveguides by Ion Exchange: a Review // Opt. Eng., 1985. V. 24. N2. P. 244-250.

13. Ramaswamy R.V. Ion-Exchanged Glass Waveguides: a Review / R.V.Ramaswamy, R.Srivastava // J. Lightwave Technol., 1988. V. 6. N 6. P. 9841001.

14. Introduction to Glass Integrated Optics / Ed. S. Iraj Najafi. Boston: Artech House, 1992. 170 p.

15. Righini G.C. Ion-exchange Process for Glass Waveguide Fabrication // Proc. SPIE "Glass Integrated Optics and Optical Fiber Devices". 1994. V. CR53. P. 3-24.

16. Opilski A. Technology of Ion Exchange in Glass and Its Application in Waveguide Planar Sensors / A.Opilski, R.Rogozinski, M.Blahut, P.Karasinski, K.Gut, Z.Opilski // Opt. Eng., 1997. V. 36. N 6. P. 1625-1638.

17. Петровский Г.Т. Волноводные структуры на основе стеклообразных материалов для задач интегральной оптики / Г.Т.Петровский, К.А.Агафонова // Физ. и хим. стекла. 1980. Т. 6, № 1. С. 3-17.

18. Ланда К.А. Аморфные планарные волноводы / К.А.Ланда, Г.Т.Петровский. Красноярск: Изд-во Краснояр. ун-та, 1987. 196 с.

19. Никоноров Н.В. Стекла для ионного обмена в интегральной оптике: современное состояние и тенденции дальнейшего развития (обзор) / Н.В.Нико-норов, Г.Т.Петровский // Физ. и хим. стекла. 1999. Т. 25, № 1. С. 21-69.

20. Никоноров Н.В. Влияние ионообменной обработки на физико-химические свойства поверхности стекол и волноводов // Физ. и хим. стекла. 1999. Т. 25, №3. С. 271-308.

21. Albert J. Insertion Loss Reduction Between Single-Mode Fibers and Diffused Channel Waveguides / J.Albert, G.L.Yip // Appl. Opt., 1988. V. 27. P. 48374843.

22. Никоноров Н.В. Оптические планарные волноводы на основе стеклообразных материалов и фотофизические явления в них: Дис. докт. техн. наук / Гос. оптич. ин-т. СПб., 1996. 564 с.

23. Najafi S.I. Optical Behaviour of Potassium Ion-Exchanged Glass Waveguides // Appl. Opt., 1988. V. 27. N 17. P. 3728-3731.

24. Miliou A.N. Modelling of the Index Change in K+-Na+ Ion-Exchanged Glass / A.N.Miliou, R.Srivastava, R.V.Ramaswamy // Appl. Opt., 1991. V. 30. N 6. P. 674-681.

25. Chartier G.H. Fast Fabrication Method for Thick and Highly Multimode Optical Waveguides//Electron. Lett., 1977. V. 13. P. 763.

26. Аксенов E.T. Формирование маломодовых оптических волноводов в стекле, образованных диффузией ионов К+ / Е.Т.Аксенов, А.А.Липовский, А.В.Павленко // Журн. технич. физики. 1981. Т. 51, № 1. С. 222-224.

27. Аксенов Е.Т. Исследование оптических волноводов, сформированных диффузией из расплавов смесей нитратов / Е.Т.Аксенов, А.А.Липовский,

28. Л.В.Павленко, Г.Ю.Сотникова // Журн. технич. физики. 1981. Т. 51, № 4. С. 874-876.

29. Аксенов Е.Т. Исследование оптических волноводов, формируемых в стеклах диффузией расплавов нитратов / Е.Т.Аксенов, А.В.Кухарев, А.А.Ли-повский, А.В.Павленко // Журн. технич. физики. 1982. Т. 52, № 12. С. 23892393.

30. Finak J. Planar Diffusion Glass Waveguides Obtained by Immersing in Molten KN03 / J.Finak, H.Jerominek, Z.Opilski, K.Woitala // Opt. Appl., 1982. V. 12. N 1. P. 11-17.

31. Finak J. Some Optical Properties of Planar Borosilicate Glass Waveguides Formed in Molten KN03 Bath / J.Finak, H.Jerominek, Z. Opilski // Opt. Appl., 1983. V. 13. N2. P. 149-157.

32. Yip G.L. Directional-Coupler Power Divider by Two-Step K+-Ion Exchange / G.L.Yip, J.Finak // Opt. Lett., 1984. V. 9. N 9. P. 423-425.

33. Yip G.L. Characterization of Planar Optical Waveguides by K+-Ion Exchange in Glass / G.L.Yip, J.Albert//Opt. Lett., 1985. V. 10. N3. P. 151-153.

34. Gortych J.E. Fabrication of Planar Optical Waveguides by K+-Ion Exchange in BK7 and Pyrex Glass / J.E.Gortych, D.G.Hall // IEEE J. Quant. Electron., 1986. V. QE-22. P. 892-895.

35. Honkanen S. Control of Birefringence in Ion-Exchanged Glass Waveguides / S.Honkanen, A.Tervonen, M.McCourt // Appl. Opt., 1987. V. 26. N 22. P. 4710-4711.

36. De Bernardi C. Time and Temperature Influence on Surface Index Change K+-Na+ Ion Exchanged Optical Waveguides / C. De Bernardi, C.Malvicino, S.Mo-rasca, M.Morra //J. Appl. Phys., 1988. V. 63. N 1. P. 234-236.

37. Tsutsumi K. Relation Between the Ordinary and Extraordinary Index Profiles of Ion-Exchanged Glass Waveguides / K.Tsutsumi, H.Hirai, Y.Yuba // Opt. Lett., 1988. V. 13. N 5. P. 416-418.

38. Miliou A. Fiber-Compatible K+-Na+ Ion-Exchanged Channel Waveguides: Fabrication and Characterization / A.Miliou, H.Zhenguang, H.C.Cheng, R.Srivastava, R.V. Ramaswamy// IEEE J. Quant. Electron., 1989. V. 25. N 8. P. 1889-1897.

39. Yip G.L. Characterization, Modelling and Design Optimization of Integrated Optical Waveguide Devices in Glass // Proc. SPIE "Glass for Optoelectronics. II". 1991. V. 1513. P. 26-36.

40. Johansson J. Optical Waveguides Fabricated by Ion Exchange in High-Index Commercial Glasses / J.Johansson, G.Dianta, J.L.Coutaz // Appl. Opt., 1992. V. 31. N 15. P. 2796-2799.

41. Kishioka K. Determination of Diffusion Parameter Values in K+ Ion Exchange Waveguides Made by Diluted KN03 in Soda-Lime Glass // IEICE Trans. Electron., 1995. V. E78-C. N 10. P. 1409-1418.

42. Ctyroky J. Glass Waveguides Prepared by a Low Temperature Field Assisted Ion Exchange K+-Na+ / J.Ctyroky, J.Denk, J.Hradilova, J.Kosikova, J.Schrofel // Photonics'95, Eur. Opt. Soc. Annual Meetings Digest Series: V.2A. Prague, 1995. V. 1. P. 178-181.

43. Neuman V. Double-Alcali Effect and Influence of Index Profile of Ion* Exchanged Waveguides / V.Neuman, O.Parriaux, L.Walpita // Electron. Lett., 1979.1. V. 15. P. 704-706.

44. Ross L. Improved Substrate Glass for Planar Waveguides by Cs Ion-Exchange / L.Ross, H.J.Lilienhof, H.Holscher, H.F.Schlaak, A.Brandenburg // Topical Meeting on Integrated and Guided-Wave Optics, IGWO. Atlanta (USA), 1986. Pap. ThBB2. P. 25-26.

45. Глебов Л.Б. Планарные оптические волноводы, образованные ионообменной диффузией цезия / Л.Б.Глебов, С.К.Евстропьев, Н.В.Никоноров, Г.Т.Петровский //Журн. технич. физики. 1989. Т. 59, № 6. С. 72-75.

46. Reichelt A. Single-Mode Waveguides and Components by Two-Step Cs+-K+ Ion-Exchange in Glass / A.Reichelt, P.C.Clemens, H.F.Mthlein // Proc. SPIE "Glasses for Optoelectronics". 1989. V. 1126. P. 166-168.

47. Righini G.C. Analysis of the Refractive Index Profile in Ion-Exchanged Waveguides / G.C.Righini, S.Pelli, R.Saracini, G.Battaglin, A.Scaglione // Proc. SPIE "Glasses for Optoelectronics. II. 1991. V. 1513. P. 418^24.

48. Zhenhua L. The Refractive Index Profiles and Diffusion Analysis of Cs+-Na+ Ion-Exchange Waveguides / L.Zhenhua, W.Shu // Proc. XVII Intern. Congress on Glass. Beijing, 1995. V. 5. P. 97-102.

49. Gallagher J.G. Single-Mode Stripe Optical Waveguides Formed by Silver Ion Exchange / J.G.Gallagher, R.M. De La Rue // Electron. Lett., 1976. V. 12. N 16. P. 397-398.

50. Stewart G. Planar Optical Waveguides Formed by Silver-Ion Migration in Glass / G.Stewart, C.A.Millar, P.J.R.Laybourn, C.D.W.Wilkinson, R.M. De La Rue // IEEE J. Quant. Electron., 1977. V. QE-13. N 4. P. 192-200.

51. Ghatak A.K. Modes in Optical Waveguides Formed by Silver Sodium Ion Exchange / A.K.Ghatak, E.Khular, K.Thyagarajan // IEEE J. Quant. Electron., 1978. V. QE-14.N6. P. 389-391.

52. Зленко A.A. Исследование параметров плоских оптических волноводов, полученных методом ионного обмена в стекле / А.А.Зленко, Н.М.Лындин,

53. B.А.Сычугов, А.В.Тищенко, Г.П.Шипуло // Квант, электроника. 1979. Т. 6, № 5.1. C. 1043-1047.

54. Лындин Н.М. Анизотропия стеклянных диффузионных волноводов / Н.М.Лындин, В.А.Сычугов, А.В.Тищенко // Письма в ЖТФ. 1979. Т. 5, № 8. С. 501-504.

55. Finak J. Some Optical Properties of Planar Light Waveguides Formed by Silver-Ion Diffusion in Glass / J.Finak, H.Jerominek, M.Zelechower // Opt. Appl., 1981. V. 11. N 1. P. 61-69.

56. Петровский Г.Т. Волноводный эффект в оптических стеклах, модифицированных методом ионообменной диффузии из расплавов AgN03~NaN03 / Г.Т.Петровский, К.А.Агафонова, А.В.Мишин, Н.В.Никоноров // Физ. и хим. стекла. 1981. Т. 7,№ 1.С. 98-102.

57. Дорош B.C. Исследование оптических свойств диффузионных волноводов на стеклах / В.С.Дорош, И.А.Одувалина, Е.Б.Хотнянская, Н.А.Яковенко // Журн. технич. физики. 1983. Т. 53, № 9. С. 1854-1856.

58. Ramaswamy R.V. Planar Buried Ion-Exchanged Glass Waveguides: Diffusion Characteristics / R.V.Ramaswamy, S.Najafi // IEEE J. Quant. Electron., 1986. V. 22. N6. P. 883-891.

59. Forrest K. Channel Waveguides in Glass via Silver-Sodium Field-Assisted Ion Exchange / K.Forrest, S.J.Pagano, W.Viehmann // J. Lightwave Technol., 1986. V. LT-4.N2. P. 140-150.

60. Lagu R.K. Process and Waveguide Parameter Relationships for the Design of Planar Silver Ion-Exchanged Glass Waveguides / R.K.Lagu, R.V.Ramaswamy // J. Lightwave Technol., 1986. V. LT-4. N 2. P. 176-181.

61. Najafi S.I. Wavelength-Dependent Propagation Characteristics of Ag+-Na+ Exchanged Planar Glass Waveguides / S.I.Najafi, R.Srivastava, R.V.Ramaswamy // Appl. Opt., 1986. V. 25. N 11. P. 1840-1843.

62. Najafi S.I. Silver Film-Diffused Glass Waveguides: Diffusion Process and Optical Properties / S.I.Najafi, P.G.Suchoski, R.V.Ramaswamy // IEEE J. Quant. Electron., 1986. V. QE-22. N 12. P. 2213-2218.

63. Righini G.C. Gradient-Index Glass Waveguides: Fabrication and Characterization / G.C.Righini, S.Ricciardi, A.Losacco, C.Raffini // Vuoto: scienza e tec-nologia. 1987. V. 17. N 4. P. 364-368.

64. Chludzinski P. Ion Exchange Between Soda-Lime Silica Glass and Sodium Nitrate - Silver Nitrate Molten Salts / P.Chludzinski, R.V.Ramaswamy, T.J.Anderson // Physics and Chemistry of Glasses. 1987. V. 28. N 5. P. 169-173.

65. Ramaswamy R.V. Influence of Ag+-Na+ Ion-Exchange Equilibrium on Waveguide Index Profiles / R.V.Ramaswamy, R.Srivastava, P.Chludzinski, T.J.Anderson // IEEE J. Quant. Electron., 1988. V. 24. N 5. P. 780-786.

66. Ramaswamy R.V. Process Optimization of Buried Ag+-Na+ Ion-Exchanged Waveguides: Theory and Experiment / R.V.Ramaswamy, H.C.Cheng, R.Srivastava//Appl. Opt., 1988. V. 27. N 9. P. 1814-1819.

67. Jackel J.L. Glass Waveguides Made Using Low Melting Point Nitrate Mixtures // Appl. Opt., 1988. V. 17. N 3. P. 472^75.

68. Honkanen S. Experimental Analysis of Ag+-Na+ Exchange in Glass with Ag Film Ion Sources for Planar Optical Waveguide Fabrication / S.Honkanen, A.Tervonen // J. Appl. Phys., 1988. V. 63. N 3. P. 634-639.

69. Tervonen A. A General Model for Fabrication Processes of Channel Waveguides by Ion Exchange // J. Appl. Phys., 1990. V. 67. N 6. P. 2746-2752.

70. Jackel J.L. Ion-Exchanged Optical Waveguides for All-Optical Switching / J.L.Jackel, E.M.Vogel, J.S.Aitchison //Appl. Opt., 1990. V. 29. N 21. P. 3126-3129.

71. Gonella F. Stress.Induced Optical Effect in Ag+-Na+ Ion-Exchanged Glass Waveguides // Opt. Lett., 1992. V. 17. N 23. P. 1667-1669.

72. Gonella F. Stress-Induced Birefringence in Silver-Diffused Glass Waveguides / F.Gonella, A.Quaranta // J. Modern Opt., 1992. V. 39. N 7. P. 1401— 1405.

73. Gonella F. Refractive-Index Profiles of Double-Silver-Exchanged Glass Systems / F.Gonella, A.Quaranta//J. Modern Opt., 1994. V. 41. N 1. P. 1-4.

74. Lilienhof J. Minimizing Losses in Silver Ion Exchanged Waveguides Using a Double Ion Exchange Process / J.Lilienhof, P.Lefebre, W.G.Zhang, C.Y.Li, L.Ross, S.I.Najafi // Proc. SPIE. 1995. V. 2401. P. 188-196.

75. Gato L. Time Dependent Surface Index Change in Ion Exchanged Waveguides / L.Gato, R.Srivastava // Opt. Commun., 1996. V. 123. N 4-6. P. 483486.

76. Barbosa L.C. Ag+-Na+ Exchanged Waveguides from Molten Salts in a Chemically Durable Phosphate Glass / L.C.Barbosa, N.Aranha, O.L.Alves, R.Srivastava// Electron. Lett., 1996. V. 32. N 20. P. 1919-1920.

77. Bogomolova L.D. EPR and Optical Study of Copper Diffusion Layers Produced by Ion Exchange in Oxide Glasses / L.D.Bogomolova, V.A.Gan'shin, M.E.Kubrinskaya, V.Z.Petrova // J. Non-Crystalline Solids, 1981. V. 45. P. 249-255.

78. Петрова В.З. Планарные оптические волноводы, полученные ионным обменом в подложках стекол / В.З.Петрова, В.А.Ганьшин, М.Э.Кубринская // Физ. и хим. стекла. 1983. Т. 9, № 3. С. 317-319.

79. Геворкян С.Ш. Планарные волноводы в стекле К8, полученные электродиффузией из медных пленок // Физ. и хим. стекла. 1990. Т. 16, № 3. С. 489491.

80. Marquez Н. Characterization of Planar Optical Waveguides by Copper Ion Exchange in Glass / H.Marquez, D.Salazar // Proc. XVII Intern. Congress on Glass. Beijing, 1995. V. 5. P. 19-24.

81. Петровский Г.Т. Планарные оптические волноводы, полученные в промышленных стеклах методом ионообменной диффузии ионов Т1 / Г.Т.Петровский, К.А.Агафонова, А.В.Мишин // Письма в ЖТФ. 1981. Т. 7, № 15. С. 917-921.

82. Ланда К.А. Анизотропные Т1 (К) диффузионные волноводы в оптическом стекле / К.А.Ланда, Л.М.Ланда, А.В.Мишин, Г.Т.Петровский // ДАН СССР. 1983. Т. 269, № 6. С. 1355-1357.

83. Ланда К.А. Исследование планарных волноводов, полученных в оптических стеклах методом ионообменной диффузии из расплавов TINO3 и KNO3 / К.А.Ланда, Г.Т.Петровский, А.В.Мишин, С.А.Гуменный // Физ. и хим. стекла. 1985. Т. 11, № 5. С. 542-546.

84. Carny P. Ion-Exchanged Planar Lossless Splitter at 1.5 mkm / P.Camy, J.E.Roman, F.W.Willems, M.Hempstead, J.C. van der Plaats, C.Prel, A.Beguin, A.Koonen, J.S.Wilkinson, C.Lerminiaux // Electron. Lett., 1996. V. 32. P. 321-323.

85. Doremus R.H. Ion Exchange in Glass. V. 2. / Ed. J.A.Marinsky. New York: Dekker, 1969.

86. Евстропьев K.K. Диффузионные процессы в стекле. Л.: Стройиздат, 1970. 168 с.

87. Глебов Л.Б. Влияние напряжений на показатель преломления градиентных слоев стекла, полученных методом ионообменной диффузии / Л.Б.Глебов, Н.В.Никоноров, Г.Т.Петровский, М.Н.Филиппова // Физ. и хим. стекла. 1983. Т. 9, №6. С. 683-688.

88. Brandenburg A. Stress in Ion-Exchanged Glass Waveguides // J. Lightwave Technol., 1986. V. LT-4. N 10. P. 1580-1593.

89. Бабукова М.Б. Влияние толщины подложки на фор,мирование показателя преломления стекла при низкотемпературном ионном обмене / М.В.Бабу-кова, Л.Б.Глебов, И.С.Морозова, Н.В.Никоноров, Г.Т.Петровский // Физ. и хим. стекла. 1987. Т. 13, № 1. С. 60-66.

90. Глебов Л.Б. Роль степени связанности каркаса силикатного стекла в формировании профиля показателя преломления при низкотемпературном ионном обмене / Л.Б.Глебов, С.К.Евстропьев, Г.Т.Петровский // Физ. и хим. стекла. 1987. Т. 13, № 2. С. 218-225.

91. Глебов Л.Б. Влияние структурных микронапряжений на формирование показателя преломления стекол при низкотемпературном ионном обмене / Л.Б.Глебов, В.Г.Докучаев, С.К.Евстропьев, Г.Т.Петровский // Физ. и хим. стекла. 1988. Т. 14, № 1.С. 79-86.

92. Глебов Л.Б. Изменение объема стекла при низкотемпературном ионном обмене / Л.Б.Глебов, В.Г.Докучаев, Н.В.Никоноров, Г.Т.Петровский // Физ. и хим. стекла. 1988. Т. 14, № 2. С. 232-239.

93. Глебов Jl.Б. Основы теории формирования показателя преломления стекол методом низкотемпературного ионного обмена / Л.Б.Глебов, Н.В.Нико-норов, Г.Т.Петровский, М.Н.Филиппова // Физ. и хим. стекла. 1988. Т. 14, № 5. С. 706-715.

94. Докучаев В.Г. Механизм формирования профиля показателя преломления стекла при низкотемпературном ионном обмене Li+-K+ / В.Г.Докучаев, Е.Г.Настай, Н.В.Никоноров// Физ. и хим. стекла. 1992. Т. 18, № 3. С. 124-133.

95. Глебов Л.Б. Оптический пробой и лазерное окрашивание диффузионных волноводов, содержащих серебро / Л.Б.Глебов, Н.В.Никоноров, Г.Т.Петровский // Журн. технич. физики. 1983. Т. 53, № 12. С. 2403-2405.

96. Bubnov I.A. Influence Ion Exchange Treatment on Laser-Induced Damage of Glass Surface / I.A.Bubnov, O.M.Efimov, L.B.Glebov, N.V.Nikonorov, V.S.Popikov // Proc. SPIE "Laser-Induced Damage in Optical Materials". 1993. V. 2114. P. 178-186.

97. Глебов Л.Б. Микротвердость слоев стекла, полученных методом низкотемпературной ионообменной диффузии / Л.Б.Глебов, С.Н.Державин, А.В.Иванов, Н.В.Никоноров, Г.Т.Петровский // Физ. и хим. стекла. 1984. Т. 10, № 3. С. 301-304.

98. Глебов Л.Б. Оптический пробой поверхности стекла К8, модифицированной низкотемпературным ионным обменом / Л.Б.Глебов, О.М.Ефимов, Н.В.Никоноров, Г.Т.Петровский // Квант.электроника. 1985. Т. 12, № 10. С. 2144-2147.

99. Глебов Л.Б. Профиль микротвердости слоев стекла, сформированных ионным обменом / Л.Б.Глебов, С.Н.Державин, С.К.Евстропьев, Н.В.Никоноров, Г.Т.Петровский // Физ. и хим. стекла. 1987. Т. 13, № 6. С. 927-930.

100. Глебов Л.Б. Концентрационная зависимость микротвердости слоев стекла, полученных низкотемпературным ионным обменом / Л.Б.Глебов, С.Н.Державин, С.К.Евстропьев, Н.В.Никоноров, Г.Т.Петровский // Физ. и хим. стекла. 1988. Т. 14, № 2. С. 280-282.

101. Fantone S.D. Refractive Index and Spectral Models for Gradient-Index Materials // Appl. Opt., 1983. V. 22. P. 432-440.

102. Albert J. Stress-Induced Index Change for K+-Na+ Ion Exchange in Glass / J.Albert, G.L.Yip // Electron. Lett., 1987. V. 23. N 14. P. 737-738.

103. Albert J. Refractive-Index Profiles of Planar Waveguides made by Ion-Exchange in Glass / J.Albert, G.L.Yip // Appl. Opt., 1985. V. 24. N 22. P. 36923693.

104. Albert J. Wide Single-Mode Channels and Directional Coupler by Two-Step Ion-Exchange in Glass / J.Albert, G.L.Yip // J. Lightwave Technol., 1988. V. LT-6. P. 552-563.

105. Albert J. Full Modelling of Field-Assisted Ion-Exchange for Graded-Index Buried Channel Optical Waveguides / J.Albert, J.W.Y.Lit // Appl. Opt., 1990. V. 29. P. 2798-2804.

106. Stewart G. Fabrication of Ion-Exchanged Optical Waveguides from Dilute Silver Nitrate Melts / G.Stewart, P.J.R.Laybourn // IEEE J. Quant. Electron., 1978. V. QE-14. P. 930-934.

107. Terai R. Ionic Diffusion in Glasses / R.Terai, R.Hayami // J. Non-Cryst. Solids. 1975. V. 18. P. 217-264.

108. Garfinkel H.M. Ion-Exchange Equilibrium Between Glass and Molten Salts//J. Phys. Chem., 1968. V. 72. P. 4175-4181.

109. Saarikoski H. Fast Numerical Solution of Nonlinear Diffusion Equation for the Simulation of Ion-Exchanged Micro-Optics Components in Glass / H.Saarikoski, R.P.Salmio, J.Saarinen, T.Eirola, A.Tervonen // Opt. Commun., 1997. V. 134. P. 362-370.

110. Poszner T. Development and Characterization of Ag+-Na+ Exchanged Waveguides in Glass / T.Poszner, G.Schreite, R.Muller // Proc. SPIE Int. Soc. Opt. Eng. (USA). 1989. V. 1085. P. 413-418.

111. Ryan-Howard D.P. Model for the Chromatic Properties of Gradient-Index Glass / D.P.Ryan-Howard, D.T.Moore // Appl. Opt., 1985. V. 24. P. 4356-4366.

112. Адаме M. Введение в теорию оптических волноводов / Пер. с англ. Под ред. И.Н.Сисакяна. М.: Мир, 1984. 512 с.

113. Conwell Е.М. Modes in Optical Waveguides Formed by Diffusion // Appl. Phys. Lett., 1973. V. 23. N 6. P. 328-329.

114. Marcuse D. ТЕ Modes of Graded-Index Slab Waveguides // IEEE J. Quant. Electron., 1973. V. QE-9. N 10. P. 1000-1006.

115. Gedeon A. Comparison Between Rigorous Theory and WKB-Analysis of Modes in Graded-Index Waveguides // Opt. Commun., 1974. V. 12. N 3. P. 329-332.

116. Kogelnik H. Scaling Rules for Thin-Film Optical Waveguides / H.Kogel-nic, R.V.Ramaswamy // Appl. Opt., 1974. V. 13. N 8. P. 1857-1862.

117. Hocker G.B. Modes in Diffused Optical Waveguides of Arbitrary Index Profile / G.B.Hocker, W.K.Burns // IEEE J. Quant. Electron., 1975. V. QE-11. N 6. P. 270-276.

118. Lotspeich J.F. A Perturbation Analysis of Modes in Diffused Optical Waveguides with Gaussian Index Profile // Opt. Commun., 1976. V. 18. N 4. P. 567572.

119. Janta J. On the Accuracy of the WKB Analysis of ТЕ and TM Modes in Planar Graded-Index Waveguides / J.Janta, J.Ctyroky // Opt. Commun., 1978. V. 25. N 1. P. 49-52.

120. Kumar A. A Perturbation Analysis for Modes in Diffused Waveguides with a Gaussian Profile / A.Kumar, E.Khular // Opt. Commun., 1978. V. 27. N 3. P. 349-352.

121. Сычугов В.А. Распространение и преобразование световых волн в градиентных плоских волноводах / В.А.Сычугов, И.Чтыроки // Квант, электроника. 1982. Т. 9. № 3. С. 634-637.

122. Мартынов А.А. Собственные моды планарных волноводов с произвольным распределением диэлектрической проницаемости / А.А.Мартынов, В.И.Чижиков // Опт. и спектр., 1984. Т. 56. № 5. С. 971-973.

123. Srivastava R. WKB Analysis of Planar Surface Waveguides with Truncated Index Profiles / R.Srivastava, C.K.Kao, R.V.Ramaswamy // J. Lightwave Technol., 1987. V. LT-5. N 11. P. 1605-1609.

124. Маркузе Д. Оптические волноводы / Пер. с англ. Под ред. В.В.Шевченко. М.: Мир, 1974. 576 с.

125. Введение в интегральную оптику / Под ред. М.Барноски. Пер. с англ. под ред. Т.А.Шмаонова. М.: Мир, 1977. 308 с.

126. Интегральная оптика / Под ред. Т.Тамира. Пер. с англ. под ред. Т.А.Шмаонова. М.: Мир, 1978. 344 с.

127. Унгер Х.-Г. Планарные и волоконные оптические волноводы / Пер. с англ. Под ред. В.В.Шевченко. М.: Мир, 1980. 656 с.

128. Содха М.С. Неоднородные оптические волноводы / М.С.Содха,

129. A.К.Гхатак / Пер. с англ. Под ред. В.А.Киселева. М.: Связь, 1980. 216 с.

130. Хансперджер Р. Интегральная оптика. Теория и технология / Пер. с англ. Под ред. В.А.Сычугова. М.: Мир, 1985. 384 с.

131. Снайдер А., Лав Дж. Теория оптических волноводов / Пер. с англ. Под ред. Е.М.Дианова, В.В.Шевченко. М.: Радио и связь, 1987. 656 с.

132. Ярив А. Оптические волны в кристаллах / А.Ярив, П.Юх / Пер. с англ. Под ред. И.Н. Сисакяна. М.: Мир, 1987. 616 с.

133. Семенов А.С. Интегральная оптика для систем передачи и обработки информации / А.С.Семенов, В.Л.Смирнов, А.В.Шмалько. М.: Радио и связь, 1990. 224 с.

134. Волноводная оптоэлектроника / Под ред. Т.Тамира. Пер. с англ. под ред. В.И.Аникина. М.: Мир, 1991. 576 с.

135. Борн М. Основы оптики / М.Борн, Э.Вольф / Пер. с англ. Под ред. Г.П.Мотулевич. М.: Наука, 1970. 856 с.

136. Hocker G.B. Mode Dispersion in Diffused Channel Waveguides by the Effective Index Method / G.B.Hocker, W.K.Burns // Appl. Opt., 1977. V. 16. N 1. P. 113-118.

137. Ramasvvamy R.V. Numerical Field Solution for an Arbitrary Asymmetrical Graded-Index Planar Waveguide / R.V.Ramaswamy, R.K.Lagu // J. Lightwave Technol., 1983. V. LT-1. N 2. P. 408-416.

138. Kim C.M. Analysis of Dielectric Rectangular Waveguide by Modified Effective-Index Method / C.M.Kim, B.G.Jung, C.W.Lee // Electron. Lett. 1986. V. 22. N. 6. P. 296-298.

139. Chiang K.S. Dual Effective-Index Method for the Analysis of Rectangular Dielectric Waveguides // Appl. Opt. 1986. V. 25. N. 13. P. 2169-2174.

140. Kumar A. Analysis of Rectangular-Core Dielectric Waveguides: an Accurate Perturbation Approach / A.Kumar, K.Thyagarajan, A.K.Ghatak // Opt. Lett., 1983. V. 8. N. l.P. 63-65.

141. Гончаренко A.M. Методы приближенного разделения переменных в теории слабонеоднородных оптических волноводов / А.М.Гончаренко,

142. B.А.Карпенко, В.Н.Могилевич, А.Б.Сотский // Журн. прикл. спектроскопии, 1986. Т. 45, Кч 1.С. 7-16.

143. Schweig Е. Computer Analysis of Dielectric Waveguides: a Finite-Difference Method / E.Schweig, W.B.Bridges // IEEE Trans. Microwave Theory Tech., 1984. V. 32. P. 531-541.

144. Lamouche G. Finite-Element Analysis of Ion-Exchanged Channel Waveguides / G.Lamouche, S.I.Najafi // SPIE, Vol. 1128: Glasses for Optoelectronics. 1989. P.124-131.

145. Lamouche G. Accurate Analysis of Ordinary and Grating Assisted Ion-Exchanged Glass Waveguides / G.Lamouche, S.I.Najafi // Proc. SPIE Int. Soc. Opt. Eng. (USA), 1990. V. 1338. P. 54-63.

146. White J.M. Optical Waveguide Refractive Index Profiles Determined from Measurement of Mode Indices: a Simple Analysis / J.M.White, P.F.Heidrich // Appl. Opt., 1976. V. 15. N. 1. P. 151-155.

147. Парье О. О восстановлении профиля показателя преломления в диффузионных волноводах / О. Парье, В.А. Сычугов, А.В. Тищенко // Квант, электроника. 1980. Т. 7. № 9. С. 2028-2031.

148. Sarid D. Recovery of the Refractive-Index Profile of an Optical Waveguide from the Measured Coupling Angles // Appl. Opt., 1980. V. 19. N. 10. P. 1606-1608.

149. Griffiths G. Analysis of Planar Optical Waveguide Fabrication by Ion Exchange in Glass / G. Griffiths, P.J. Khan, // IEEE J. Quant. Electron., 1981. V. QE-17. N. 4. P. 529-535.

150. Колосовский E.A. Численный метод восстановления профиля показателя преломления диффузных волноводов / Е.А.Колосовский, Д.В.Петров, А.В.Царев // Квант, электроника. 1981. Т. 8. № 12. С. 2557-2568.

151. Kirsch S.T. Determining the Refractive Index and Thickness of Thin Films from Prism Coupler Measurements // Appl. Opt., 1981. V. 20. N 12. P. 20852089.

152. Chiang K.S. Construction of Refractive-Index Profiles of Planar Dielectric Waveguides from the Distribution of Effective Indexes // J. Lightwave Technol. 1985. V. 3.N. 2. P. 385-391.

153. Hertel P. Improved Inverse WKB Procedure to Reconstruct Refraction Index Profiles of Dielectric Planar Waveguides / P.Hertel, H.P.Menzler // Appl. Phys., 1987. V. B-44. P. 75-80.

154. Spenner K. Calculated and Measured Refractive Index Profiles of K+-exchanged Glass Waveguides / K. Spenner, A. Brandenburg, W. Lotze // SPIE. V. 1014: Micro-Optics. 1988. P. 137-142.

155. Глебов Л.Б. Простой метод восстановления профиля показателя преломления планарных волноводов / Л.Б. Глебов, В.Г. Докучаев, И.С. Морозова // Оптика и спектроскопия. 1989. Т. 66. № 5. С. 1110-1114.

156. Weiss M.N. Determination of Ion-Exchanged Channel Waveguide Profile Parameters by Mode-Index Measurements / M.N. Weiss, R. Srivastava // Appl. Opt.,1995. V. 34. N. 3.P. 455^58.

157. Mathey P. Refractive-Index Profile Reconstructions in Planar Waveguides by the WKB Inverse Method and Reflectivity Calculations / P. Mathey, P. Jullien, J.L. Bolzinger // J. Opt. Soc. Amer. B. 1995. V. 12. N. 9. P. 1663-1670.

158. Kapila D. Integrated Optical Waveguides: Refractive-Index Profile Control by Temperature and Electric-Field Programming / D. Kapila, J.L. Plawsky // Appl. Opt., 1995. V. 34. N. 34. P. 8011-8013.

159. Mathey P. Numerical Analysis of a WKB Inverse Method in View of Index Profile Reconstruction in Diffused Waveguides / P. Mathey, P. Jullien // Opt. Commun, 1996. V. 122. P. 127-134.

160. Batchelor S. Reconstruction of Refractive Index Profiles from Multiple Wavelength Mode Indices / S. Batchelor, R. Oven, D.G. Ashworth // Opt. Commun.,1996. V. 131. P. 31-36.

161. Linares J. Graded-Index Profiles Produced by Ion Exchange in an Interacting System / J. Linares, K.S. Rama Krishna, M.C. Nistal // Appl. Opt., 1997. V. 36. N. 27. P. 6838-6842.

162. Tonova D. Determination of Refractive Index Profiles of Gradient Optical Waveguides by Ellipsometry / D. Tonova, A. Paneva, B. Pantchev // Opt. Commun., 1998. V. 150. P. 121-125.

163. Демидович Б.П. Основы вычислительной математики / Б.П.Демидович, И.А.Марон. М.: Наука, 1970. 664 с.

164. Chung P.S. A Simple Chart Defining Conditions for Single-Mode Opera* tion in Channel Diffused Waveguides // J. Phys. D: Appl. Phys. 1984. V. 17. N. 11.1. P. L175-L178.

165. Chung P.S. Waveguide Modes, Coupling Techniques, Fabrication and Losses in Optical Integrated Circuits // J. Electric. Electron. Eng. 1985. V. 5. N. 3. P. 201-214.

166. Прохоров В.П. Элементы волноводной оптоэлектроники для устройств функциональной обработки цифровой информации / В.П.Гладкий, В.Л.Никитин, В.П.Прохоров, Н.А.Яковенко // Квант, электроника, 1995. Т. 22. № 10. С. 1027-1033.

167. Prokhorov V.P. Waveguide optoelectronic components for devices used in functional processing of digital information / V.P.Gladkii, V.A.Nikitin, V.P.Prokhorov, N.A.Yakovenko // Quantum Electronics, 1995. V. 25. N. 10. P. 992998.

168. Прохоров В.П. Волноводная оптоэлектроника. Часть I: Численный расчет эффективных показателей преломления мод градиентных волноводов / В.П.Прохоров, Н.А.Яковенко / Краснодар, 2005. 132 с.

169. Chiang K.S. Simplified Universal Dispersion Curves for Graded-Index Planar Waveguides Based on the WKB Method // Journ. Lightwave Technol., 1995. V. 13. N. 2. P. 158-162.

170. Miliou A. Fiber-Compatible K+-Na+ Ion-Exchanged Channel Waveguides: Fabrication and Characterization / A.Miliou, H.Zhenguang, H.C.Cheng, R.Srivastava, R.V.Ramaswamy // IEEE J. Quant. Electron. 1989. V. 25. N. 8. P. 1889-1897.

171. Рабинович В.А. Краткий химический справочник / В.А.Рабинович, З.Я.Хавин / Л.: Химия, 1977. 376 с.

172. Никитин В.А. Разработка и исследование интегрально-оптических элементов, получаемых электростимулированной диффузией в стеклах: Дис. . канд. техн. наук: (05.02.01) / Кубан. гос. ун-т. Краснодар, 1991. 283 с.

173. Яковенко Н.А. Технология и схемотехника логико-арифметических устройств волноводной оптоэлектроники (на основе стекол и ниобата лития): Дис. . доктора техн. наук: (05.02.01) / Кубан. гос. ун-т. Краснодар, 1992. 363 с.

174. Ulrich R. Measurement of Thin-Film Parameters with a Prism Coupler / R.Ulrich, R.Torge//Appl. Opt., 1973. V. 12. N. 12. P. 2901-2908.

175. Seligson J. Prism Couplers Guided-Wave Optics: Design Considerations // Appl. Opt., 1987. V. 26. N. 13. P. 2609-2617.

176. Справочник по специальным функциям / Под ред. М. Абрамовича и И. Стиган; Пер. с англ. под ред. В.А. Диткина, Л.Н. Кармазиной. М.: Наука, 1979. 832 с.

177. MathCAD 6.0 PLUS: Руководство пользователя. М.: Филинъ, 1997.712 с.

178. Дьяконов В.П. MathCAD 2001 i/11. Энциклопедия. М.: СОЛОН-Пресс, 2004. 850 с.

179. Форсайт Дж. Машинные методы математических вычислений / Дж.Форсайт, М.Малькольм, К.Моулер / Пер. с англ. под ред. Х.Д.Икрамова. М.: Мир, 1980. 280 с.

180. Каханер Д. Численные методы и программное обеспечение / Д.Каханер, К.Моулер, С.Нэш / Пер. с англ. под ред. Х.Д.Икрамова. М.:Мир, 1998. 576 с.

181. Вержбицкий В.М. Основы численных методов. М.: Высшая школа, 2002. 840 с.

182. Химмельблау Д. Прикладное нелинейное программирование / Пер. с англ. под ред. М.Л.Быховского. М.: Мир, 1975. 536 с.

183. Гилл Ф. Практическая оптимизация / Ф.Гилл, У.Мюррей, М.Райт / Пер. с англ. В.Ю.Лебедева. Под ред. А.А.Петрова. М.: Мир, 1985. 509 с.

184. Сухарев А.Г. Курс методов оптимизации / А.Г.Сухарев,

185. A.В.Тимохов, В.В.Федоров / М.: Наука, 1986.

186. Ортега Дж. Итерационные методы решения нелинейных систем уравнений со многими неизвестными / Дж.Ортега, В.Рейнболдт / М.: Мир, 1975.476 с.

187. More J.J. Users Guide to Minpack I / J.J.More, B.S.Garbow, K.E.Hill-strom / Argonne National Laboratory publication ANL-80-74, 1980.

188. Семенов А.С. Элементы волноводного тракта оптических интегральных схем на основе трехмерных оптических волноводов / А.С.Семенов,

189. B.Л.Смирнов, А.В.Шмалько // Квант, электроника, 1988. Т. 15. № 7. С. 1327— 1357.

190. Соколов С.В. Волноводная вычислительная оптика / С.В.Соколов,

191. C.О.Крамаров / Ростов-на-Дону, 1999. 266 с.

192. Прохоров В.П. Исследование в ближней ИК области спектра микролинз, полученных методом электростимулированной диффузии / В.Н.Иванов, В.Л.Кондратьев, В.Л.Никитин, В.П.Прохоров, Н.А.Яковенко // Квант, электроника, 1984. Т. 11. № 11. с. 2364-2366.

193. Прохоров В.П. Получение элементов интегральной оптики методом диффузии, локализованной электрическим полем / В.Н.Иванов, В.А.Кондратьев, В.А.Никитин, В.П.Прохоров, Н.А.Яковенко // Автометрия, 1987. № 1.С. 97-99.

194. Разработка и исследование высокоэффективных устройств ввода оптического излучения: Отчет о НИР (промежуточ.) / Кубан. гос. ун-т (КубГУ); Руководитель В.Н.Иванов; № ГР 78019957; Инв. № Б731827. Краснодар, 1978. 206 с. (гл. 1,4,5).

195. Прохоров В.П. Расчет характеристик устройства связи двух планар-ных тонкопленочных волноводов / В.П.Прохоров, Л.И.Спириденко, Н.А.Яковенко // Изв. вузов. Электромеханика. 1982. -№ 2. - С. 251.

196. Прохоров В.П. Численный расчет и анализ основных характеристик интегрально-оптического элемента связи направленного типа / В.П.Прохоров, Л.И.Спириденко, Н.А.Яковенко // Автометрия. 1983. -№ 5. - С. 90-97.

197. Marcuse D. Radiation Losses of Tapered Dielectric Slab Waveguides // Bell Syst. Techn. J., 1970. V. 49. N 2. P. 273-290.

198. Tien P.K., Smolinsky G., Martin R.J. Radiation Fields of a Tapered Film and a Novel Film-to-Fiber Coupler / P.K.Tien, G.Smolinsky, R.J.Martin // IEEE Trans. Microwave Theory Techn., 1975. V. MTT-23. N 1. P. 79-85.

199. Burns W.K. Mode Conversion in Planar-Dielectric Separating Waveguides / W.K.Burns, A.F.Milton // IEEE J. Quant. Electron., 1975. V. QE-11. N l.P. 32-39.

200. Anderson I. Transmission Performance of Y-junctions in Planar Dielectric

201. Waveguide // Microwaves, Optics and Acoustics, 1978. V. 2. N 1. P. 7-12.

202. Yajima H. Coupled Mode Analysis of Dielectric Planar Branching Waveguides // IEEE J. Quant. Electron., 1978. V. QE-14. N 10. P. 749-755.

203. Sasaki H. Theoretical and Experimental Studies on Active Y-junctions in Optical Waveguides / H.Sasaki, I.Anderson // IEEE J. Quant. Electron., 1978. V. QE-14. N 11. P. 883-892.

204. Burns W.K. An Analytic Solution for Mode Coupling in Optical Waveguide Branches / W.K.Burns, A.F.Milton // IEEE J. Quant. Electron., 1980. V.1. QE-16. N 4. P. 446-454.

205. Sasaki H. Normalised Power Transmission in Single Mode Optical Branching Waveguides / H.Sasaki, N.Mikoshiba // Electron. Lett., 1981. V. 17. N 3. P. 136-138.

206. Izutsu M. Operation Mechanism of the Single-Mode Optical-Waveguide Y-junction / M.Izutsu, Y.Nakai, T.Sueta // Opt. Lett., 1982. V. 7. N 3. P. 136-138.

207. Baets R. Calculation of Radiation Loss in Integrated-Optic Tapers and Y-junctions / R.Baets, P.E.Lagasse // Appl. Opt., 1982. V. 21. N 11. P. 1972-1978.

208. Cullen T.J. Radiation Losses from Single-Mode Optical Y-Junctions Formed by Silver-Ion Exchange in Glass / T.J.Cullen, C.D.W.Wilkinson // Opt. Lett., 1984. V. 10. N4. P. 134-136.

209. Kuznetsov M. Radiation Loss in Dielectric Waveguide Y-Branch Structures // J. Lightwave Techn., 1985. V. LT-3. N 3. P. 674-677.

210. Burns W.K. Optical Waveguide Parabolic Coupling Horns / W.K.Burns, A.F.Milton, A.B.Lee // Appl. Phys. Lett., 1977. V. 30. N 1. P. 28-30.

211. Milton A.F. Mode Coupling in Optical Waveguide Horns / A.F.Milton, W.K.Burns // IEEE J. Quant. Electron., 1977. V. QE-13. N 10. P. 828-835.

212. Marcatili E.A. Bends in Optical Dielectric Guides // Bell Syst. Techn. J., 1969. V. 48. N 7. P. 2103-2132.

213. Marcuse D. Bending Losses of the Asymmetric Slab Waveguide // Bell Syst. Techn. J., 1971. V. 50. N 8. P. 2551-2563.

214. Geshiro M. A Method for Diminishing Total Transmission Losses in Curved Dielectric Optical Waveguides / M.Geshiro, S.Savva // IEEE Trans. Microwave Theory Techn., 1981. V. MTT-29. N 11. P. 1182-1187.

215. Takuma Y. Bent Asymmetric Dielectric Slab Waveguides: a Detailed Analysis / Y.Takuma, M.Miyagi, S.Kawakami // Appl. Opt., 1981. V. 20. N 13. P. 2291-2298.

216. Baets R. Loss Calculation and Design of Arbitrarily Curved Integrated-Optic Waveguides / R.Baets, P.E.Lagasse // J. Opt. Soc. Amer., 1983. V. 73. N 2. P. 177-182.

217. Geshiro M. Loss Reduction in Curved Dielectric Optical Slab Waveguide / M.Geshiro, S.Savva// Electron. Lett., 1983. V. 19. N 9. P. 321-323.

218. Сухов B.A. Расчет показателя излучения на изогнутом световоде // Оптика и спектроскопия, 1990. Т. 69. № 2. С. 447^52.

219. Ihaya A., Furuta Н., Noda Н. Directional Coupling Between Thin Film Optical Guides / A.Ihaya, H.Furuta, H.Noda // FUJITSU Scient. Techn. J., 1973. N 6. P. 101-119.

220. Yariv A. Coupled-Mode Theory for Guided-Wave Optics // IEEE J. Quant. Electron., 1973. V. QE-9. N 9. P. 919-933.

221. Noda J. Design Calculations for Directional Couplers Fabricated by Ti-diffused LiNb03 Waveguides / J.Noda, M.Fukuma, O.Mikami // Appl. Opt., 1981. V. 20. N 13. P. 2284-2290.

222. Kim C.M. WKB Analysis of Asymmetric Directional Couplers and Its Application to Optical Switches / C.M.Kim, R.V.Ramaswamy // J. Lightwave Tech-nol., 1988. V. 6. N 6. P. 1109-1118.

223. Wilson M.G.F. Optical Power Division in a Multimode-Waveguide Intersection / M.G.F.Wilson, C.W.Pitt, R.Manku, A.D.De Oliveira, O.Parriaux // Electron. Lett., 1976. V. 12, N 17. P. 434-435.

224. Kurokawa T. Optical Waveguide Intersections Without Light Leak / T.Kurokawa, S.Oikawa // Appl. Opt., 1977. V. 16. N 4. P. 1033-1037.

225. Ескин К.Ф. Распределение мощности в пересечении оптических канальных волноводов / К.Ф.Ескин, И.И.Магдина // Изв. вузов. Радиоэлектроника, 1984. Т. 27. № 11. С. 23-27.

226. Волноводные характеристики образцов, изготовленных на подложках стекла К8 (ns = 1,5136) при одинаковых молярном составе расплава AgNCb+NaNC^ = 1:10 и температуре ионообменной диффузии Т= 350°С

227. Волноводные характеристики образцов, изготовленных на подложках стекла К8 (ns = 1,5136) при одинаковых температуре Т= 300°С и времени t = 20 мин ионообменной диффузии