Исследование физических процессов при электретировании диэлектрических пленок в плазме газового разряда и разработка электретных датчиков тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.10, кандидат технических наук Лабутин, Александр Валериевич

• Лабутин, Александр Валериевич
• кандидат технических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат технических наук Лабутин, Александр Валериевич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I. ЭЛЕКТРЕТНЫЙ ЭФФЕКТ В ДИЭЛЕКТРИКАХ.

1.1. Электреты. Общие сведения.

1.2. Анализ существующих моделей электретного эффекта.

1.3. Строение и физико-химические свойства политетрафторэтилена.

1.4. Основы взаимодействия низкотемпературной плазмы с поверхностью полимеров.

ПОСТАНОВКА ЗАДАЧ ДИССЕРТАЦИИ.

ГЛАВА П. ФИЗИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ПЛЕНОЧНОГО ЭЛЕКТРЕТА

НА ОСНОВЕ НЕПОЛЯРНОГО ДИЭЛЕКТРИКА.

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ II.

ГЛАВА Щ. ПОЛУЧЕНИЕ ЭЛЕКТРЕТОВ В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ

ПЛАЗМЕ.

3.1. Подготовка диэлектрических образцов к электретированию.

3.2. Установка для электретирования в плазме.

3.3. Методика измерения зарядов.

3.4. Исследование влияния режимов электретирования на параметры получаемых электретов.

3.5. Токи деполяризации пленок ПТФЭ.

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ III.

ГЛАВА IV. РАЗРАБОТКА УСТРОЙСТВА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ

ВЕНТИЛЯЦИОННОЙ ФУНКЦИИ ЛЕГКИХ.

4.1. Области применения электретных преобразователей.

4.2. Разработка устройства для анализа проходимости бронхов.

4.3. Разработка информационно-диагностического комплекса.

4.4. Разработка конструкции электретного датчика.

4.5. Разработка подсистемы ввода информации.

4.6. Разработка программы для обслуживания устройства и обработки данных.

4.7. Экспериментальные исследования.

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ IV.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование физических процессов при электретировании диэлектрических пленок в плазме газового разряда и разработка электретных датчиков»

Электреты нашли широкое применение в электронике, промышленности, биологии и медицине в качестве источников внешнего постоянного электрического поля для различных устройств. Потребность в создании электретов с заданными параметрами, необходимость прогнозирования и контроля этих параметров при изготовлении и эксплуатации делают важным исследование структуры заряда^ условий его формирование и релаксации. Знание физики процессов позволяет проводить расчеты стабильности заряда электретов, улучшить технологию производства и оптимизировать приборы, выполненные на их основе.

Теории, существующие на данный момент^ не дают описания всей совокупности процессов, протекающих в электретах полученных различными методами и на базе различных материалов. Большинство из них разработано в предположении существования электрического поля исключительно внутри электрета, что справедливо только для короткозамкнутых или заземленных образцов. Реально практически все устройства на основе электретов работают по принципу создания постоянного электрического поля в окружающем пространстве. Таким образом, существующие модели лишь частично применимы для: реально эксплуатируемых структур. Для объяснения процессов в тонкопленочных электретах из неполярных диэлектриков в ряде случаев использовалась барьерная физическая модель. Однако, эта модель не рассматривала изменение постоянной времени релаксации заряда во времени и не учитывала экранировки гомозаряда положительными ионами атмосферы. Оставался открытым вопрос о природе и расположении положительного пространственного заряда, компенсирующего внедренный гомозаряд. Таким образом, создание физической модели, наиболее полно отражающей процессы накопления и релаксации гомозаряда в неполярном диэлектрике, является актуальной задачей.

Целью диссертации является: развитие модели процессов накопления и релаксации электронного гомозаряда в тонких пленках политетрафторэтилена

ПТФЭ) с учетом физической структуры материала и определение путей повышения величины и стабильности гомозаряда пленочных электретов, получаемых в плазме тлеющего разряда. Научная новизна работы,

1. Развита физическая модель тонкопленочного электрета из неполярного диэлектрика, построенная с учетом существования на поверхности политетрафторэтилена дипольных участков молекул. Модель позволяет объяснить отсутствие быстрого спада гомозаряда и показывает природу и расположение положительного пространственного заряда, компенсирующего внедренный гомозаряд.

2. Экспериментально показано образование новых ловушек в процессе электретирования. Образование новых ловушек в процессе электретирования подтверждается увеличением плотности поверхностного заряда на 60% при увеличении напряжения тянущего поля с 500 до 2000 В.

3. Развита активационно-дрейфовая модель релаксации гомозаряда. Предлагается рассматривать процесс релаксации как активацию электронов с ловушек и их последующий вынос через поверхность, в отличие от ранее предлагавшегося рассмотрения их дрейфа в объеме материала.

4. Впервые в активациошю-дрейфовой модели предлагается рассматривать процесс выноса носителей в самосогласованном электрическом поле, величина которого определяется накопленным гомозарядом в каждый момент времени.

5. Проведено математическое моделирование процесса изотермического спада релаксации гомозаряда с учетом активационно-дрейфового механизма его релаксации. Результаты моделирования согласуются с практическими результатами с погрешностью до 7%.

Положения, выносимые на защиту. 1. Заряд электрета получаемого в тлеющем разряде имеет многослойное строение. Электроны захватываются пршюверхностным слоем диэлектрика на изначально существующие и созданные при электретировании ловушки.

Гомозаряд экранируется положительным ОПЗ в объеме материала и положительными ионамй внешней среды с образованием динамически равновесной системы ОПЗ—гомозаряд—дипольный слой—положительный экран.

2. В процессе электретирования в плазме тлеющего разряда происходит образование диполей на поверхности ПТФЭ. Плотность поверхностного заряда зависит от режимов изготовления, что объясняется увеличением концентрации создаваемых при электретировании ловушек.

3. Релаксация гомозаряда в неполярных диэлектриках определяется термоактивацией электронов с ловушек, их последующим выносом на поверхность диэлектрика в самосогласованном поле электрета. Время релаксации определяется произведением величин обратных вероятностям процессов активации носителей и их дрейфа.

4. Разработана установка для исследования вентиляционной функции легких на базе электретного датчика. Установка позволяет оценить вентиляционную функцию легких путем анализа акустических характеристик форсированного выдоха. Рабочий частотный диапазон датчика 20—2000 Гц, чувствительность на частоте 1000 Гц 5 мВ/Па, время обработки сигнала 3—10 с.

Основные результаты работы докладывались и обсуждались на 2-ой научно-практической конференции «Человек—Экология—Здоровье» и всероссийской научно-технической конференции студентов, молодых ученых и специалистов «Биотехнические, медицинские и экологические системы и комплексы» в 1997 г. Результаты положенные в основу диссертации опубликованы в восьми работах. Разработанный прибор внедрен в лабораторный практикум для студентов специальности 190500.

Диссертация состоит из введения, четырех глав, общих выводов и списка литературы.

Заключение диссертации по теме «Физика полупроводников», Лабутин, Александр Валериевич

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1. Развита физическая модель тонкопленочного электрета из неполярного диэлектрика, построенная с учетом существования на поверхности политетрафторэтилена дипольных участков молекул. Модель объясняет природу ловушек, показывает природу и расположение положительного пространственного заряда^ компенсирующего внедренный гомозаряд. Также модель объясняет физические процессы, на которых основан ряд методов ускоренной стабилизации гомозаряда.

2. Развита активационно-дрейфовая модель релаксации гомозаряда. Предлагается рассматривать процесс релаксации как активацию электронов с ловушек и их последующий вынос через поверхность, в отличие от ранее предлагавшегося рассмотрения их дрейфа в объеме материала. Впервые предлагается рассматривать процесс выноса носителей не в электрическом поле постоянной напряженности, а в самосогласованном электрическом поле, величина которого определяется накопленным гомозарядом в каждый момент времени.

3. Проведены исследования влияния режимов электретирования в тлеющем разряде на параметры электретов. Выбраны следующие режимы электретирования пленок ПТФЭ, обеспечивающие накопление в диэлектрических образцах предельной величины гомозаряда (1,1 -10"3 Кл-м"2) без разрушения образца: 3 цикла электретирования, давление в рабочей камере р = 3-10 ммрт. ст., ток разряда 1р — 2 мА, напряжение управляющего поля иу = 1500 В, время электретирования: в каждом цикле 1 мин.

4. Показано, что процесс электретирования в плазме газового разряда состоит из двух этапов: осаждения электронов из плазмы на поверхность образца и их затягивания в приповерхностный объем с последующим закреплением на ловушках, изначально существующих в материале и создаваемых в результате взаимодействия плазмы с поверхностью мембраны.

5. Показано, что повторная обработка образцов в плазме тлеющего разряда приводит к увеличению поверхностной плотности захваченного заряда на 60% за счет появления новых ловушек в материале.

6. Исследована структура заряда электрета в пленках ПТФЭ, полученного в плазме газового разряда с помощью метода ТСД и определены усредненные значения энергии активации уровней захвата, составляющие Ей = 0,43 эВ,

Еа = 0,68 эВ, Etз = 0,78 эВ. Увеличение напряженности тянущего поля до предпробивных значений (2000 В) при электретировании ведет к увеличению накопленного заряда и сдвигу высокотемпературного максимума тока ТСД в сторону больших температур.

7. Проведено математическое моделирование изотермического распада гомозаряда при 300 К. Найденные энергии Ел =0,44 эВ, Еа =0,63 эВ, Е1Ъ = 0,82 эВ показали хорошую сходимость (с погрешностью в пределах 7%) с результатами, полученными при исследовании токов ТСД.

8. Разработано устройство для исследования проходимости бронхов методом трахеофонографии на базе ПЭВМ IBM РС/АТ. В устройстве используется специально разработанный электретный датчик. Преобразователь отличается от аналогов большей чувствительностью (5 мВ-Па"1) и сниженной неравномерностью частотной характеристики, в сочетании с повышенной помехоустойчивостью. Время анализа данных составляет 3— 10 с. Результаты обследований накапливаются в базах данных, что позволяет уточнять математические модели применяемые при анализе.

В заключение выражаю признательность научному руководителю д. ф-м. н., профессору Вихрову Сергею Павловичу и научному консультанту к. т. н. Тимофееву Владимиру Николаевичу за научное руководство и помощь при выполнении данной работы, благодарность сотрудникам кафедры Микроэлектроники за внимание к работе и непосредственное участие в ее выполнении.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Лабутин, Александр Валериевич, 2000 год

1. Браун В. Диэлектрики: Пер. с англ. / Под ред. В. А. Чуешсова. — М.: Изд-во иностранной литературы, 1961. — 326 с.

2. Губкин А. Н. Электреты. — М.: Изд-во. АН СССР, 1961. — 140 с.

3. Мяздриков О. А., МанойловВ. Е. Электреты. — М.: Гос. энерг. изд-во, 1962, —99 с.

4. Wintle Н. J. Introduction to electrets // J. of Acoustical Society of America. 1973. V. 53. №6. P. 1578—1588.

5. Khare M. L, Bhatnaqar С. B. A Hypothesis to Explain Observed Characteristics of Charge Density in Magnetoelectrets // Indian Journ. of Pure and Applied Physics. 1970. V. 8. № 11. P. 700—703.

6. Фридкин В. M., Желудев И. С. Фотоэлектреты и электрофотографический процесс. — М.: Изд-во АН СССР, 1960. — 247 с.

7. Фридкин В. М., Желудев И. С. О фотоэлектретном и термоэлектретном состояниях в монокристаллах серы // Изв. АН СССР. Сер. «Физическая». 1958. Т. XXII. № 3. С. 352—358.

8. Ковальский Н. П., Янишевский В. С. Кинетика фотоэлектретного состояния в фоточувствительных пироэлектриках // Республиканский межведомственный науч.-техн. сбор. «Физическая электроника» — Львов: Изд-во «Свит», 1990. С. 116—123

9. Кузьмин Р. Н. Возникновение устойчивой внутренней поляризации в фотоэлекгрете // Известия вузов MB ССО и СССР. Физика. 1987. № 5. С. 58—61.

10. Панченко Т. В., Карпова Л. М. Фото- и термоэлектретные эффекты в кристаллах Bij2Si02o, легированных ионами Со и Мп // Тез. докл. междунар. науч.-техн. конф. по физике твердых диэлектриков «ДИЭЛЕКТРИКИ—97». Санкт-Петербург. 1997. С. 119—120.С. 113—115.

11. Влияние УФ-излучения на поверхностный заряд анодоэлектретов / С. И. Наймушина, Л. А. Зудова, А. И Зудов., В. А. Стерхов // Межвуз. сб. М.: Изд-е МИЭМ, 1979. С.130—137.

12. Федосов С. Н., Сергеева А. Е., Мотылинская М. М. Переходные фототоки при облучении заряженных пленок политетрафторэтилена // Изв. вузов МВ и ССО СССР. Физика. 1987. №9. С. 16—19.

13. Лущейкин Г. А. Полимерные электреты. — М.; Изд-во «Химия», 1984. — 180 с.

14. Локальная неоднородность заряжения поверхности диэлектриков / В. А. Клюев, В. А. Кузнецов, А. Г. Липсон, Е. С Ревина., А. М. Саков, Ю. П. Топоров // Письма в ЖТФ. 1994. Том 20. Вып. 17. С. 19—23.

15. Процессы релаксации заряда свежеобразованной поверхности момнокристалла фтористого лития / Д. М. Саков, А. Г. Липсон, В. А. Кузнецов, В. А. Клюев, Ю. П. Топоров // Межвуз. сб. науч. тр. «Материалы радиоэлектроники». — МИРЭА, М., 1986. — С. 33—44.

16. Никольский А. В., Козаков А. Т. Спекты аномальной электронной эмиссии и поляризационные явления в монокристалле магнитониобата свинца // ФТТ. 1997. Т. 39. Вып. 8. С, 1446—1451.

17. Электреты: Пер. с англ. / Под ред. Г. Сесслера. — М.:Мир, 1983. — 487 с.

18. Радиационные эффекты в полимерах / А. В. Ванников, В. К. Матвеев,

19. B. П. Сичкарь, А. П. Тютнев. — М.: Наука, 1982. — 270 с.

20. Электрические явления при облучении полимеров. / А. В. Ванников, Г. С. Мингалев, В. С. Саенко, А. П. Тютнев. — М.: Атомиздат, 1987. — 87 с.

21. Громов В. В. Электрический заряд в облученных материалах. — М.: Энергоиздат, 1982.— 111 с.

22. Боев С. Г. О способности диэлектриков накапливать электрический заряд при облучении ускоренными электронами // ЖТФ. 1984. Т. 54. Вып. 12.1. C. 2403—2404.

23. Боев С. Г., Падерин В. А. Электризация диэлектриков при инжекции легких ионов // Межвуз. сб. науч. тр. «Материалы радиоэлектроники». — МИРЭА, М„ 1986. — С. 22—28.

24. Боев С. Г., Падерин В. А. Накопление заряда в диэлектриках при облучении протонами // Изв. вузов MB ССО и СССР. Физика. 1987. № 5. С. 75—79.

25. Сергеев А. И., Ягушкин Н. И. Перенос и накопление заряда в диэлектриках при облучении ионным пучком // Изв. вузов. Физика. 1988. № 8. С. 20—25.

26. Рогальский Ю. К., ЯловецА. П. Исследование формирования поля объемного заряда в диэлектриках при электронном облучении // Изв. вузов. Физика. 1992. № 1 С. 35—40.

27. Куликов В. Д., ЛисюкЕ. В. Моделирование процесса заряжения диэлектриков при электронном облучении с помощью электрических цепей //ЖТФ. 1993. Т. 63. № 7. С. 74—86.

28. Архипов В. И., Перова И. А. «Вспышечная» кинетика радиационного заряжения в неупорядоченных диэлектриках // ФТП. 1993. Т. 27. Вып. 4. С. 682—687.

29. Владыкина Т. Н., Дерягин Б. В., Топоров Ю. П. К вопросу о влиянии шероховатости поверхности на трибоэлектризацию диэлектриков // Поверхность. Физика, химия, механика. 1989. № 9. С. 149—151.

30. Губкин А. Н., Гамилова Т. П. Электретные свойства фторполимера Ф-10 // Электретные поля и электретные свойства диэлектриков // Сб. трудов МИЭМ. Москва. 1989. С. 51—56.

31. Corona charging electrets. Models and results / Leal Ferreita G. F., Figueitedo M. T. // IEEE Trans. Elec. In. sul. 1992. V. 27. № 4. P. 719—738.

32. Oliveira O. N., Leal Ferreira G. F. Electron transport in corona charged 127 mOm teflon-FEP with saturable deep traps. // Appl. Phys. 1987. V. 42. № 3. P. 213— 217.

33. Stark W. Surface potential homogeneity of corona charged FEP and PVDF electrets // J. Electrostatics. 1990. V. 25. № 3. P. 277—285.

34. Закржевский В. И. Электризованные диэлектрики и их применение // Тез. докл. междунар. науч.-техн. конф. по физике твердых диэлектриков «ДИЭЛЕКТРИКИ—97». Санкт-Петербург. 1997. С. 99—101.

35. Tonkonogov М. P. Dielectric spectroscopy of hydrogen-bonded crystals, and proton relaxation // Uspekhi Fizicheskikh Nauk. 1998. V. 41. № 1. P. 25—48.

36. Gross B. Experiments On Elektrets. II «Physical Review». 1944. V. 66. P. 26— 28.

37. Губкин А. Н.,Сканави Г. И. Получение и свойства новых электретов из неорганических диэлектриков. 11 Изв. АН СССР. Сер. «Физическая». 1958. Т. 22. №3. С.ЗЗО—342.

38. Губкин А. Н. Электреты: электретный эффект в твердых диэлектриках. — М.: «Наука», 1978. — 192с.

39. Богородицкий Н. П., Таирова Д. А., Сорокин В. С. Роль свободных носителей заряда в образовании электретного состояния в поликристаллических диэлектриках // ФТТ. 1964. Т. 6. Вып. 8. С.2301— 2306.

40. Поздняков А. А., Судтанаев Р. М., Киселев В. И. Феноменологическая теория поляризации диэлектриков. // Изв. вузов. Физика. 1992. № 1. С. 44— 48.

41. Козловский В. X. Электронная неустойчивость^ электропроводность и электретный эффект в диэлектриках // Изв. вузов. Физика. 1994. Т. 37. Вып. 4. С. 20—26

42. Койков С. Н., РымшаВ.П. Теоретический анализ дрейфа подвижных носителей заряда в диэлектрических пленках при блокирующих электродах в квазистатическом приближении // Изв. вузов. Физика. 1981. № 9. С.78— 81.

43. Койков С. Н., РымшаВ.П. Оценка параметров дрейфа ионов в диэлектрических пленках по динамическим вольт-амперным характеристикам // Изв. вузов. Физика. 1984. № 1. С.87—94.

44. Сопоставление результатов теоретического анализа и экспериментального исследования динамических вольт-амперных характеристик / М. Э. Борисова, О. В. Галюков, С. Н. Койков, В. П. Рымша // Изв. вузов. Физика. 1984. №11. С.47—55.

45. Борисова М. Э., Галюков О. В., Койков С. Н. Миграционная поляризация в полимерах и максимумы тока динамических вольт-амперных характеристик // Изв. вузов. Физика. 1988. № 8. С. 29—34.

46. Борисова М. Э., Галюков О. В., Койков С. Н. Накопление, релаксация гетерозаряда и эффекты нелинейного переноса в полимерных пленках // Изв. вузов. Физика. 1994. № 4. С. 15—19.

47. Исследование гомозаряда в полимерных пленках / П. Т. Орешкин, В. Н. Тимофеев, Б. К. Старченков, М. И. Емелин, А. В. Воскресенский // Изв. вузов. Физика. 1973. № 6. С. 57—61.

48. Моос Е. Н., Тимофеев В. Н., Емелин М. И. Расчет процесса электритрования неполярных пленочных диэлектриков в газовом разряде // Сб. тр. МИЭМ «Электретный эффект и электрическая релаксация в твердых жиэлектриках». — М., 1976. С. 46—51.

49. Моос Е. Н., Тимофеев В. Н., Емелин М. И. Образование электретного состояния в диэлектрике под воздействием плазмы газового разряда // Сб. тр. МИЭМ «Электретный эффект и электрическая релаксация в твердых жиэлектриках». — М., 1976. С. 51—57.

50. Орешкин П. Т., Старченков Б. К., Андреева Л. П. О миграционной поляризации в диэлектриках и полупроводниках // Изв. вузов. Физика. 1970. № 5. С.13—16.

51. Тимофеев В. Н., ШемонаевН. В. Определение времени «жизни» гомозаряда на основе барьерной модели // Физика полупроводников и микроэлектроника: Межвуз. сб. науч. тр. Рязань, 1995. С. 56—-59.

52. Электретный эффект и его применение: Учеб. пособие / В. Н. Тимофеев, Н. В. Шемонаев; Рязан. гос. радиотехн. акад.; Рязань, 1996. — 40 с.

53. Волькенштейн М. В. Конфигурационная статистика полимерных цепей. — М.-Л.: Изд-во АН СССР, 1959. — 466 с.

54. Фторполимеры: Пер. с англ. / Под ред. И. Л. Кнунянца и

55. B. А. Пономаренко. — М.: «Мир», 1975. — 448 с.

56. Николаев А. Ф. Синтетические полимеры и пластические массы на их основе. — М.-Л.: Изд-во «ХИМИЯ», 1966. — 768 с.

57. Чегодаев Д. Д., Наумова 3. К., Дунаевская И. С. Фторопласты. — Л.: Госхимиздат, 1960.—

58. Лазар М., Радо Р., КлиманН. Фторопласты: Пер. со словацкого / Под ред.

59. C. А. Яманова. — M —Л.: Изд-во «ЭНЕРГИЯ», 1965. — 304 с.

60. Rayan J. W., Baird S. L. The décomposition of teflon in high level gamma radiation / U. S. Government Res. Rep., 27, 5, 276, 1957.

61. Райзер Ю. П. Физика газового разряда: Учеб. руководство. — М.: Наука, 1987, —592 с.

62. Синкевич О. А., Стаханов И. П. Физика плазмы. Стационарные процессы в частично ионизированном газе. — М.: Высшая школа, 1991. — 191 с.

63. ОутлетР., БарбьеМ., Черемисинофф П. Технологическое применение низкотемпературной плазмы. — М.: Энергоатомиздат, 1983 — 143 с.

64. YasudaH. «Plasma for Modification of Polymers» // J. Macromol. Sei. Chem. 1976. A10. № 3. P. 383—420

65. Гриневич В. И., Максимов А. И. Применение низкотемпературной плазмы в химии / Под ред. С. С. Полака. — М.: Наука, 1981. — С. 135—169.

66. Повстугар В. И., КодоловВ. И., Михайлова С. С. Строение и свойства поверхности полимерных материалов. — М.: Изд-во «ХИМИЯ»,, 1988. — 190 с.

67. Грановский В. А. Электрический ток в газе. Установившийся ток. — М.: Изд-во «НАУКА»Д971. — 543 с.

68. АброянА. И. Физические основы электронной и ионной технологии. — М.: Знание, 1984. — 328 с.

69. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Т. Бершпа — М.:3нание,1984. —.

70. Экштайн К. Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела / Пер. с англ. — 1994. — 456 с.

71. Фелдман Р., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок: Пер. с англ. / Под ред. В. В. Белошицкого— М.: Мир, 1989. — 344 с.

72. Лабутин А. В., Тимофеев В. Н., Шемонаев Н. В. Модель формирования заряда в пленочных электретах на основе неполярных диэлектриков // Межвуз. сб. науч. тр. «Физика полупроводников и микроэлектроника». — Рязань, 2000. — С. 11—15.

73. Перелыгина Т. К. Исследование природы электретного эффекта в пленках политетрафтоэтилена и разработка приборов на их основе. Дисс. канд, техн. наук. Рязань, 1975.

74. ЗбинденР. Инфракрасная спектроскопия высокополимеров. — М.: Мир, 1966. —

75. Волькенштейн М. В. Физика полимеров. — М.:, 1960. —

76. Скугарев А. С. Пути повышения стабильной величины плотности заряда в электретах из фторполимеров // Тез. докл. междунар. науч.-техн. конф. по физике твердых диэлектриков «ДИЭЛЕКТРИКИ—97». Санкт-Петербург. 1997. С. 119—120.

77. Сейсян Е. Л. // Дисс. канд.техн.наук. — Л.: ЛЭТИ, 1972.

78. Федосов С. Н., Сергеева А. Е. // Тез. докл. н.-т. конф. «Электреты и их применение в радиотехнике и электронике». — М., 1988. — С. 4—5.

79. Тимофеев В. Н. Исследование электретного эффекта в полимерных пленках при поляризации в плазме газового разряда // Дисс. на соиск. уч. степ. канд. техн. наук. Рязань, 1973. 198 с.

80. Шемонаев Н. В. Релаксационные процессы в электретных пленках политетрафторэтилена и стабилизация параметров приборов на их основе // Дисс. на соиск. уч. степ. канд. техн. наук. Рязань, 1997.124 с.

81. Боев С. Г., Лучников А. П., Падерин В. А. Релаксация объемного заряда в радиоэлектретах из политетрафторэтилена // Межвуз. сб. науч. тр. «Материалы радиоэлектроники». — МИРЭА, М., 1986. — С. 29—32.

82. Бойцов В. Г., Рычков А. А. Определение механизма релаксации заряда в неполярных диэлектриках // ЖТФ. 1985. Т. 55. Вып. 5. С.881—886.

83. FanjeauO., MaryD. and Malee D. A note on charge recombination in low density polyethylene under a moderate ac 50 Hz field // J. Phys. D: Appl. Phys. 2000 33 L61—L64.

84. РеминаЛ. В. Разработка и исследование электретных преобразователей. Диссертация канд. техн. наук. — М., 1975.

85. Алехин Ю. С., Липаев С. М., Лучников А. П. Акустостимулированная релаксация заряда в полимерных электретах // Межвуз. сб. науч. тр. «Материалы радиоэлектроники». — МИРЭА^ М., 1986. — С. 89—96.

86. Бойцов В. Г., Рычков А. А., Швец В. В. Формирование глубоких поверхностных ловушек для носителей заряда во фторполимерных пленках // ЖТФ. 1986. Т. 56. Вып. 11. С. 2265—2267.

87. Влияние диэлектрических жидкостей на электретные свойства фторопласта-4 и лавсана / А. Н. Губкин, Т. П. Гамилова, В. А. Оглоблин, 3. Г. Михневич, JI. М. Пискалов // Межвуз. сб. науч. тр. «Материалы радиоэлектроники». — МИРЭА, М., 1986. — С. 45—49.

88. Губкин А. Н., Гамилова Т. П. Электронно-дырочная дипольная поляризация в электретах из фторопластов // Тез. докл. междунар. науч.-техн. конф. по физике твердых диэлектриков «ДИЭЛЕКТРИКИ—97». Санкт-Петербург. 1997. С. 95—96.

89. ЛабутинА. В., Тимофеев В. Н., Шемонаев Н. В. Исследование влияния режимов получения электретов в плазме газового разряда на величину и структуру их заряда // Межвуз. сб. науч. тр. «Физика полупроводников и микроэлектроника». — Рязань, 2000. — С. 34—39.

90. Гороховатский Ю. А., Бордовский Г. А. Термоактивационная токовая спектроскопия высокоомных полупроводников и диэлектриков. — М.: Изд-во «НАУКА», 1991. — 248 с.

91. АхматовА. А., Беляков В. И. Моноэлектреты и их применение в электроаккустических преобразователях // Тез. докл. междунар. науч.-техн. конф. по физике твердых диэлектриков «ДИЭЛЕКТРИКИ—97». Санкт-Петербург. 1997. С. 84—85.

92. Yasufusa Tada. Electret Motor Having Rotor Employing Plastic Substrate // Jpn. J. Appl. Phys. Vol.33(1994) 1394 Part 1, No. ЗА.

93. Yasufusa Tada. Reviewing the Forces of Electret Motors by Applying Maxwell Stress Tensor and Delta Function // Jpn. J. Appl. Phys. Vol.34(1995) 1595 Part 1, No. 3.

94. ЕфашкинГ. В. Закономерности формирования приповерхностных полей электретов и создание на их основе принципиально новых устройств. У/ Дисс. на соискание уч. степ, д.т.н. — М.: МИЭМ, 1986. — 428 с.

95. Классификационный подход в прогнозировании тяжести течения бронхиальной астмы / В. М. Провоторов, С. И. Кузнецов, В. А. Чурюмов, С. А. Копылов // Медицинская техника, 1997. № 3. С. 7—10.

96. Анохин М. И., Сергеев В. Н., Доманский В. Л. Коррекция дыхания при лечении бронхиальной астмы методом биологической обратной связи // Медицинская техника, 1996. № 1. С. 26—29.

97. Злыдников Д. М. Бронхография. — Л.: Медгиз., 1959. — 148 с.

98. Алтыпарнаков А. М. Бронхоскопия и бронхография. М.: Медгиз., 1961. — 127 с,

99. Мажбич Б. И. Электроплетизмография легких. — Новосибирск: «Наука», 1969, — 184 с.

100. Особенности спиротахоанализатора «Эльф-Ласпек-01» / Гришин О. В., Д. Е. Грошев, А. Ю. Кузминский, В. К. Макуха, Е. Н. Невейко // Медицинская техника, 1997. № 6. С. 42—43.

101. Лабутин А. В., Шемонаев Н. В. Прибор для определения проходимости бронхов акустическим методом // Межвуз. сб. науч. тр. «Физика полупроводников и микроэлектроника». — Рязань, 1997. С. 52—54.

102. Ткачева В. А., Рогинский Р. Э. Миниатюрный электретный микрофон // Техника средств связи. Сер. «Техника проводной связи». 1977. № 3. С. 86—92.

103. Иванов А. А., Семякин Ф. В. Исследование работы емкостных микрофонов // Техника средств связи. Сер. «Техника проводной связи». 1984. № 3. С. 35—43.

104. Рогинский Р. Э., Семякин Ф. В., СобенинЯ. А. О задаче оптимального синтеза механоакустических систем микрофонов // Техника средств связи. Сер. «Техника проводной связи». 1985. № 9. С. 90—93.

105. Андреев А. А., Лещинский Л. А. Опыт разработки приборов медицинского назначения на примере электронного стетофонендоскопа // Медицинская техника, 1996. № 3. С. 13—15.

106. Новиков Ю. В., Калашников О. А., Гуляев С. Э. Разработка устройств сопряжения. — М.: «ЭКОМ», 1997. — 222 с.

107. Блейхут Р. Быстрые алгоритмы цифровой обработки сигналов // Пер. с англ. — М.: Мир, 1989. — 448 с.

108. Акимов П. С., Сенин А. И., Соленов В. И. Сигналы и их обработка в информационных системах. —М.: Радио и связь, 1994. — 256 с.

109. Утверждаю >р по учебной работе Рубцов А. В. 2000 г.1. АКТвнедрения в учебный процесс результатов диссертационной работы ЛАБУТИНА Александра Валериевича

110. Проректор по научно-исследовательской работе с ) И. В. Закурдаев

111. Зав. кафедрой микроэлектроники1. С. П. Вихров