Исследование эффекта дальнодействия при малых дозах ионного и малых мощностях светового облучений тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Азов, Алексей Юрьевич

• Азов, Алексей Юрьевич
• кандидат физико-математических наук
• 2006

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Азов, Алексей Юрьевич

Введение 2

Глава 1. Обзор литературных данных:

1.1. Разновидности эффектов дальнодействия7

1.2. Эффект дальнодействия при ионной имплантации в режиме высоких доз (высокодозный эффект дальнодействия) 10

1.3. Эффект дальнодействия при ионной имплантации в режиме малых доз (ма-лодозный эффект дальнодействия) 20

1.4. Эффект дальнодействия при плазменной обработке поверхностей26

1.5. Влияние фотонного облучения на свойства металлов и сплавов 28

1.6. Модели, предложенные для объяснения проявлений эффектов дальнодействия 34

Постановка задач

Глава 2. Эффект дальнодействия при ионной бомбардировке в режиме малых доз

2.1. Проверка возможного влияния радиационного нагрева 44

2.2. Влияние пострадиационных отжигов 46

2.3. Влияние предварительной термической обработки на МЭД 49

2.4. МЭД при облучении стопок фольг 52

2.5. Изменение элементного состава металлов как проявление малодозного эффекта дальнодействия 60

Глава 3. Эффект дальнодействия при маломощном фотонном облучении металлических фольг - эффект фотомеханической памяти металлов (ФПМ)

3.1. Выяснение возможной роли термического нагрева 70

3.2. Основные закономерности влияния слабых фотонных потоков на микротвердость металлических фольг 71

3.3. ФПМ для случая облучения стопок фольг 81

Глава 4. Модели дальнодействующего влияния при малодозном ионном и маломощном фотонном облучениях

4.1. Модельные представления МЭД 85

4.2. Качественная модель влияния фотонного облучения --94

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование эффекта дальнодействия при малых дозах ионного и малых мощностях светового облучений»

Актуальность темы

Эффект дальнодействия (ЭД) заключается в изменении структуры и свойств твердых тел на глубинах, значительно превышающих область первичного выделения энергии, при взаимодействии энергетических (корпускулярных) потоков с поверхностью твердых тел.

Первоначально эффект был связан с проблемами ионной имплантации. Он оказался настолько сложным и многогранным, что будучи обнаруженным в 60-ых годах 20 века, до сих пор продолжает открывать все новые «грани», которые зачастую заставляют по-новому взглянуть на эффект в целом.

Ионная имплантация уже давно применяется не только в полупроводниковых технологиях, но и как метод модификации структуры и свойств различных, в том числе, металлических материалов. Существенным недостатком ионной имплантации, с точки зрения имплантационной металлургии, является малая глубина проникновения ионов (толщина модифицированного слоя), что ограничивает широкое применение метода. Тот факт, что при ионной имплантации имеет место ЭД, до некоторой степени снимает эту проблему. Особый интерес представляет область малых доз, позволяющая существенно сократить время обработки и исключить эффекты, связанные с нагревом и деградацией поверхности. ЭД при малых дозах - малодозному эффекту дальнодействия (МЭД) было посвящено довольно большое количество работ, однако для установления его природы требовались дополнительные исследования.

Впоследствии, по мере исследований процессов, протекающих при различных видах обработки поверхностей твердых тел (таких как ионно-лучевая, лазерная, химическая, электрохимическая, механическая и др.), сопровождающихся перемещением и взаимодействием различного типа дефектов, дальнодействующие изменения структуры и свойств обнаруживались практически при всех видах воздействия (если подобрать определенные условия обработки). Данное обстоятельство в перспективе позволяет связать между собой и обобщить на первый взгляд совершенно разные явления. Чтобы разобраться в природе этих явлений целесообразно в качестве модельного использовать такой вид энергетического воздействия, который позволял бы по возможности исключить из рассмотрения побочные факторы, имитирующие эффект, и в то же время сохранял бы наиболее важные факторы внешних воздействий, такие как вложенная энергия, скорость ее введения (интенсивность). Одним из наиболее подходящих видов воздействия, удовлетворяющим этим требованиям, служит в принципе облучение слабыми (не вызывающими существенного нагрева) фотонными потоками, например, светом. Использование световых потоков, будучи чрезвычайно простым и контролируемым способом для практической реализации, позволяет за разумное время достаточно всесторонне изучить закономерности влияния различных факторов. Однако, к началу выполнения работы не было сведений о дальнодействукяцем влиянии слабых световых потоков на твердые тела, в т.ч. на металлы. Опубликованные результаты по влиянию света на свойства твердых тел относились либо к мощным импульсным воздействиям (облучение лазерными пучками, вызывающее ударные волны), либо к изменению свойств материала непосредственно во время воздействия и (или) в области поглощения света («фотопластический» и «фотомеханический» эффекты). Таким образом, тема работы является актуальной.

Цель работы

Экспериментальное получение дополнительной информации о закономерностях малодозного эффекта дальнодействия при ионном облучении, установление и изучение закономерностей дальнодействующего влияния облучения светом на микротвердость металлов.

Научная новизна работы

1. Получены новые данные об особенностях малодозного эффекта дальнодействия при ионном облучении: показано, что результаты не могут быть следствием побочных факторов; установлены новые особенности эффекта для стопок фольг, изучено влияние предварительных и пострадиационных отжигов, установлены структурные изменения, обусловленные эффектом дальнодействия.

2. Впервые установлено явление сверхглубокого проникновения атомов имплантированной примеси (В, Р) и атомов отдачи (А1), а также изменение соотношения компонентов сплава на обратной стороне фольги при малодозном ионном облучении.

3. Впервые обнаружено дальнодействующее влияние маломощного фотонного облучения на микротвердость металлических фольг (эффект фотомеханической памяти металлов) и изучены закономерности эффекта.

Практическая значимость работы Продемонстрирована возможность целенаправленного изменения свойств металлических фольг путем облучения светом. Полученные результаты в области малодозного эффекта дальнодействия могут быть использованы при экспрессной модификации свойств металлов ионными пучками.

Положения, выносимые на защиту

1. Установленные в работе новые закономерности малодозного эффекта дальнодействия при ионном облучении согласуются с механизмом эффекта дальнодействия, связанным с влиянием на систему дефектов акустических волн, возбуждаемых ионами.

2. Малодозный эффект дальнодействия при ионном облучении сопровождается массо-переносом, проявляющимся в изменении элементного состава сплава и аномальном переносе имплантируемой примеси, обнаруживаемых на стороне фольги, противоположной облучаемой.

3. Облучение металлов слабыми световыми потоками вызывает дальнодействующие изменения механических свойств. Закономерности этого эффекта свидетельствуют о том, что наиболее вероятной причиной его является влияние акустических волн, возникающих при облучении системы металл-естественный окисел.

Личный вклад автора

Основные эксперименты были спланированы автором совместно с научным руководителем. Самостоятельно выполнялись подготовка образцов, исследования механических свойств (измерения микротвердости). Ионная имплантация производилась вед.инж. НИФТИ В.К.Васильевым, В.Л.Шаргелем, а также самостоятельно автором. Структурные исследования осуществлялись автором. Исследования диффузионных свойств выполнялись совместно с ФТИ Уро РАН (В.Я.Баянкин). Анализ результатов и разработка моделей производились совместно с научным руководителем.

Апробация работы. Результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на: 11th International conference on ion beam modification of materials (IBMM, Amsterdam, August 31- September 4, 1998). 4 Всероссийский семинар "Физические и физико-химические основы ионной имплантации " (Н.Новгород ,9-11 июня 1998). 28 Международная конференция по физики взаимодействия заряженных частиц с кристаллами (Москва, 25-27 мая, 1998). Конференция «Структура и свойства твердых тел» (Н.Новгород, 27 - 28 сентября 1999). XIV Международная конференция. (Звенигород, Россия, 30 августа-3 сентября, 1999). XXIX Международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. (Москва, 31 мая-2 июня, 1999). 5 межгосударственный семинар «Структурные основы модификации материалов методами нетрадиционных технологий (MHT-V)». (Обнинск, 14-17 июня 1999 ). V Всероссийский семинар «Физико-химические основы ионной имплантации» (Н. Новгород, 11-13 октября 2000). 7th Russian-Japanese International Symposium «On interaction of fast charged particles with solids» (N. Novgorod, October 9- 16, 2000). XI конференция по химии высокочистых веществ (H. Новгород, 15-18 мая 2000). XXX Международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами (Москва, 29-31 мая 2000). European Material Conference (E-MRS-2000) (Strasbourg, May 30 - June 2, 2000). XXXI Международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами (Москва, МГУ, 28 - 30 мая 2001 г.). Всероссийская научно-техническая конференция «Перспективные технологии физико-химической размерной обработки и формирования эксплуатационных свойств металлов и сплавов» (Уфа, сентябрь, 2001). Конференция «Взаимодействие ионов с поверхностью» (Звенигород, 27-31 Августа, 2001).Конференция «Структурные основы модификации материалов методами нетрадиционных технологий (MHT-VI)» (Обнинск, 12 - 15 июня 2001 г.). IV International Conference on Modification of Properties of Surface Layers of Non-Semiconductor Materials using particle beams (Feodosia, August 27-30, 2001). XI Межнациональное совещание «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 25 - 30 июня 2001 г.).Отчетная конференция-выставка по подпрограмме «Транспорт» (Москва-Звенигород, 11-13 февраля 2002 г.). IV International symposium ION 2002 (June 10-13, 2002, Kazimierz Dolny, Poland). VI Всероссийский семинар «Физические и физико-химические основы ионной имплантации» (15-17 октября 2002, Нижний Новгород). Fifth International Ural Seminar on Radiation Damage Physics of Metals and Alloys (February 23 - March 1 2003, Snezhinsk, Russia). Конференция «Структурные основы модификации материалов методами нетрадиционных технологий (MHT-VII)» (16-20 июня 2003 г., Обнинск). VII Всероссийский семинар "Физические и физико-химические основы ионной имплантации" (Нижний Новгород, 26-29 октября 2004 г.). 2-nd International Workshop "Relaxed, nonlinear and acoustic optical processes; materials - growth and optical properties" -RNAOPM'2005 (June 01-05, 2005, Lutsk, Ukraine). 43-я Международная конференция «Актуальные проблемы прочности» (Вологда, 26-30 сентября, 2005).

Публикации

По теме диссертации опубликовано 46 работ, в том числе 11 статей в реферируемых научных журналах. Список основных публикаций приведен в конце диссертации.

Структура и объем диссертации

Диссертация состоит из введения, четырех глав и выводов. Общий объем диссертации составляет 113 страниц, включая 8 таблиц и 59 рисунков. Список цитируемой литературы, содержит 137 наименований.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Азов, Алексей Юрьевич

выводы

1. Экспериментальные данные свидетельствуют о том, что изменения микротвердости при малодозном эффекте дальнодействия не являются следствием влияния побочных факторов и представляют собой объективное фундаментальное явление.

2. Исходное состояния образца не влияет на ключевые (универсальные) параметры эффекта (такие, как энергетический порог и положения максимумов на дозовой зависимости).

3. При исследовании малодозного эффекта дальнодействия в системах (стопках) металлических фольг обнаружено влияние нижележащих образцов на изменения микротвердости в вышележащих фольгах, это свидетельствует в пользу модели, связывающей малодозный эффект дальнодействия с действием акустических волн, возбуждаемых при облучении.

4. Одним из направлений малодозного эффекта дальнодействия служит перенос массы (имплантированных ионов и атомов отдачи) на аномально большие расстояния.

5. Обнаружено новое явление - дальнодействующее влияние маломощного фотонного облучения на механические свойства металлических фольг. Установлено, что зависимость микротвердости от дозы облучения носит немонотонный характер, сходный с характером изменения микротвердости в малодозном эффекте дальнодействия при ионном облучении. Закономерности влияния фотонного и ионного облучений для стопок фольг также аналогичны. В отличие от случая ионного облучения, при облучении светом имеет место релаксация изменений микротвердости, с энергией активации (для фольг пермаллоя-49) ~0,2 эВ. Показано, что необходимое условие проявление эффекта при облучении одиночных фольг и фольг в стопках - наличие естественного окисла на стороне, обращенной к световому пучку. При облучении нефильтрованным светом лампы накаливания микротвердость изменяется только на обратной стороне фольги, тогда как при облучении светом, в котором отсутствуют фотоны с к<0,65 мкм, изменения микротвердости происходят с обеих сторон фольги.

6. Обсуждены модели малодозного эффекта дальнодействия при ионном облучении и предложена качественная модель дальнодействующего влияния маломощного светового облучения. Сделан вывод о том, что в обоих случаях действие возбуждаемых при облучении акустических волн наиболее адекватно объясняет экспериментальные результаты с учетом специфики каждого из видов облучения.

Заключение

Исследование эффектов дальнодействия при ионном и маломощном фотонном облучениях позволило установить ряд общих закономерностей и в то же время выявило отличия. Естественной явилась попытка объяснить оба эффекта с единых позиций и построить качественную модель, которая бы не расходилась с экспериментальными данными. Нам не удалось в рамках поставленной работы объяснить все наблюдаемые закономерности. Учитывая сложность явлений и ограниченность применяемых методов исследования, такая задача была бы преждевременной. Однако, проведенные исследования позволили установить наиболее важные особенности эффектов и выявить «болевые точки» в их интерпретации, которые требуют дальнейших экспериментальных и теоретических исследований. В качестве примера можно привести наличие энергетического порога в МЭД, выяснение природы его универсальности, изучение влияния внутреннего фактора в эффекте ФПМ, прямое обнаружение акустических волн при облучении ионами и светом и т.д. Эти факторы должны исследоваться с применением всего арсенала современной экспериментальной и теоретической физики. Несомненно, это изучение эффекта дальнодействия создает благоприятные условия для исследователей и имеет перспективу разнообразных практических применений.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Азов, Алексей Юрьевич, 2006 год

1. Павлов П.В. Характеристики фотодиодов, полученных путем бомбардировки кремния ионами бора. / П.В.Павлов, Е.И.Зорин, Д.И.Тетельбаум // ФТТ. 1966. - Т.8. -С.750.

2. Гусева М.И. Исследование в электромагнитном изотопном сепараторе распыляющего действия высокоэнергетических ионов и их внедрения в металл: диссертация на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук. / Гусева М.И. Москва, ИАЭ им.И.В.Курчатова. 1962.

3. Gardner Е.Е. Nitrogen and boron bombardment of single crystal silicon. / E.E.Gardner, G.N.Schwuttke, H.M.De Angelis. // Bull. Amer. Phys. Soc. Ser. II. 1967. - V.12. - P.l 119.

4. Исследование эффекта дальнодействия при высокодозной ионной имплантации в металлы. / О.Г.Бахарев и др.. // Металлофизика и новейшие технологии. 1999. -Т.21, №8. - С.61-70.

5. Шулов В.А. Влияние ионной имплантации на химический состав и структуру поверхностных слоев жаропрочных сплавов. / В.А.Шулов // Известия ВУЗов. Физика. -1994. -№5. С.72-91.

6. Tetelbaum D.I. Long-range effect at low-dose ion and electron irradiation of metals. / D.I.Tetelbaum, E.V.Kurilchic, N.D.Latisheva. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. B. 1997. - V.127/128. - P.153-156.

7. Перевощиков В.А. Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников. / В.А.Перевощиков, В.Д.Скупов Н.Новгород: Изд.ННГУ, 1992198 с.

8. Ионная имплантация. / Под ред. Дж.К.Хирвонена. М.:Метеллургия,1985. - 392 с.

9. Аброян И.А. Физические основы электронной и ионной технологии. / И.А.Аброян, А.Н.Андронов, А.И.Титов. М.:ВШ, 1984. - 320 с.

10. П.Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлы. / Ф.Ф.Комаров М.:Металлургия, 1990.-216 с.

11. Диденко А.Н. Воздействие пучков заряженных частиц.на поверхность металлов и сплавов. / А.Н.Диденко, А.Е.Лигачев, И.Б.Куракин М.:Энергоатомиздат, 1987 - 184 с.

12. Плешивцев Н.В. Защита от коррозии металлов, сплавов и сталей ионной бомбардировкой (обзор). / Н.В.Плешивцев, Е.А.Красиков // Метеллы 1995. - №4 - С.98-129.

13. Гусева М.И. Эффект дальнодействия при имплантации ионов N+, В+ и С+ в титановый сплав. / М.И.Гусева, А.М.Смыслов // Поверхность. 2000. - №6. - С.68-71.

14. Кричевер Е.И. Влияние низкотемпературной имплантации азота на субструктуру твердых сплавов. / Е.И.Кричевер // Физика и химия обработки материалов. 1990. -№3. - С.25-27.

15. Дислокационные структуры приповерхностных слоев чистых металлов после ионной имплантации. / А.Н.Диденко и др. // Поверхность 1989. - №3. - С.120-131.

16. Радиационные нарушения в монокристаллах молибдена при ионном облучении. / В.Н.Быков и др. // Кристаллография. 1977. - Т.22, В.1. - С.138-143.

17. Структурные изменения глубинных слоев материала после модификации ионными пучками и природа его упрочнения. / А.Н.Диденко и др. // ДАН СССР. 1987. -Т.296. -С.869-871.

18. Шаркеев Ю.П. Дислокационные структуры и упрочнение ионно-имплантированных металлов и сплавов. / Ю.П.Шаркеев, А.Н.Диденко, Э.В.Козлов // Известия ВУЗов. Физика. 1994. - №5. - С.92-108.

19. Didenco A.N. Observation of deep dislocation structures and "long-range effect" in ion-implanted a-Fe. / A.N.Didenco, E.V.Kozlov, Yu.P.Sharkeev // Surface Coat. Techn. 1993. -V.56.-P.97.

20. Эффект дальнодействия в металлах при ионной имплантации. / Ю.П.Шаркеев и др. // Метеллы. 1998. -№1. - С.109-115.

21. Таран А.А. Изменение дислокационной структуры в монокристаллах вольфрама, облученных ионами аргона. / А.А.Таран, З.Б.Батуричева, Э.Ф.Чайковский // Поверхность. 1988 - №2. - С. 146-148.

22. Крейндель Ю.Е. Фазовые превращения нетепловой природы и эффекты дальнодействия при бомбардировке сплавов ионами газов. / Ю.Е.Крейндель, В.В.Овчинников // Физика и химия обработки материалов. 1991. -№3. - С. 14-20.

23. Нетепловые фазовые превращения и эффекты дальнодействия при облучении сплавов ускоренными ионами. / С.Н.Бородин и др. // Письма в ЖТФ. 1989. - Т. 15, В. 17. -С.51-55.

24. Гусева М.И. Ионная имплантация в неполупроводниковые материалы / М.И.Гусева // Итоги науки и техники. Физические основы лазерной и пучковой технологии. 1989. -Т.5. - С.5-54.

25. Повышение циклической прочности металлов и сплавов методом ионной имплантации. / Б.Г.Владимиров и др. // Поверхность. 1982. - №7. - С.139 - 147.

26. Кривелевич С.А. Волны переключения и эффекты дальнодействия. / С.А.Кривелевич // Вестник ННГУ им.Н.И.Лобачевского. Сер.Физика твердого тела. -1998. -В.2. С.71-78.

27. Тетельбаум Д.И. Об энергетическом пороге эффекта дальнодействия при ионном облучении тонких фольг металлов. / Д.И.Тетельбаум, Е.В.Курильчик // Высокочистые вещества. 1995. - №2. - С.98-100.

28. Влияние экранирования на эффект дальнодействия при ионном облучении металлических фольг. / Д.И.Тетельбаум и др. // Металлы. 1996. - №5. - С.114-116.

29. Кузнецов Г.Д. Влияние ионной бомбардировки на структурные и фазовые превращения при химико термической обработке в тлеющем разряде. / Г.Д.Кузнецов // Металловедение и термическая обработка металлов. 1981. - №11. - С.21-27.

30. Козлов Э.В. Физическая картина модификации поверхностных слоев и объема металлов и сплавов при воздействии низкоэнергетической плазмы. / Э.В.Козлов, И.В.Терешко, Н.А.Попова// Известия ВУЗов. Физика. 1994. - №5. - С.127-140.

31. Модификация свойств металлов под действием мощных ионных пучков. / А.Д.Погребняк и др. // Известия ВУЗов. 1987. - №1. - С.52-65.

32. Формирование дефектной структуры при воздействии на металлы плазмы газового разряда. / Э.В.Козлов и др. // Известия ВУЗов. Физика. 1992. - №1. - С.14-19.

33. Бабад-Захряпин А.А. Атермические эффекты в меди при облучении низкоэнергетическими ионами. / А.А.Бабад-Захряпин, В.А.Попенко // Поверхность. 1987. - №7. -С.139-140.

34. Лущик Ч.Б. Распад электронных возбуждений с образованием дефектов в твердых телах. / Ч.Б.Лущик, А.Ч.Лущик. -М.: Наука. 1989. -262с .

35. Коваленко B.C. Обработка материалов импульсным излучением лазеров. / В.С.Коваленко Киев.: Вища школа. - 1977. - 142с.

36. Миркин Л.И. Физические основы обработки материалов излучением лазера. / Л.И.Миркин М.: издательство МГУ. - 1975. - 393с.

37. Рэди Дж. Действие мощного лазерного излучения. / Дж.Рэди М.: Мир. - 1974. -468с.

38. Криштал М.А. Структура и свойства сплавов, обработанных лучами лазера. / М.А.Криштал М.:Металлургия. - 1973. - 192с.

39. Действие излучения большой мощности на металлы. / С.И.Анисимов и др.. М,: Наука.-1970.-235с.

40. Действие мощных световых потоков на металлы. / С.И.Анисимов и др.. // ЖТФ. -1966. Т.36, №7. - С.1273 - 1284.

41. Концентрация носителей заряда в полупроводнике, освещенном оптическим квантовым генератором. / Л.М.Блинов и др.. // ФТТ. 1967. - Т.9, №3. - С.854 - 863.

42. Поглощение лазерного излучения и разрушение в полупроводниках. / А.А.Гринберг и др.. // ФТТ. 1967. - Т.9, №5. - С.1390 - 1397.

43. Изменение отражательной способности некоторых полупроводников при возбуждении их излучением ОКГ. / А.М.Бонч-бруевич и др.. // ЖТФ. 1968. - Т.38, №4. - С.677 - 685.

44. Берсукер И.Б. Вибронные взаимодействия в молекулах и кристаллах. / И.Б.Берсукер, В.Э.Полингер. -М.: Наука. 1983. - 336с.

45. Кашкаров П.К. Образование дефектов в полупроводниках при импульсном лазерном облучении. /П.К.Кашкаров, В.Ю.Тимошенко. // Поверхность. 1995. - №6. - С.5 - 34.

46. Создание дефектов в твердых телах при распаде электронных возбуждений. /М.И.Клингер и др.. // УФН. 1985. - Т.147, №3. - С.523 - 558.

47. Статистическое взаимодействие электронов и дефектов в полупроводниках. / В.Л.Винецкий. и др.. Киев.: Наукова думка. - 1969. - 187с.

48. Шалаев A.M. Радиационно-стимулированные процессы в металлах. / А.М.Шалаев. -Москва.: Энергоатомиздат. 1988. - 176с. Шалаев A.M. Радиационно-стимулированное изменение электронной структуры. / А.М.Шалаев, А.А.Адаменко. - М.:Атомиздат. - 1977. - 176с.

49. Finnis M.W. Vacancy formation energy and volumes in simple metals. / M.W.Finnis, M.Sachdev // J. Phys. F: Metal Phys. 1976. - V.6, N.6. - P.965-978.

50. Popovic Z.D. On the vacancy formation energy and volume of simple cubic metals. / Z.D.Popovic, J.P.Carbotte, G.R.Piercy // J. Phys. F: Metal Phys. 1974. - V.4, N.2. - P.351-360.

51. Гуров К.П. Основания кинетической теории. Метод Н.Н.Боголюбова / К.П. Гуров. -М.:Наука,-1966.-352с.

52. Glyde H.R. Relation of vacancy formation and migration energies to the Debye temperature. / H.R. Glyde // Phys.Chem.Solids. 1967. - V.28, N.8. - P. 2061-2073.

53. Tewory V.K. On a relation between the monovacavcy formation energy and Debye temperature for metals. / V.K. Tewory // J. Phys. F: Metal Phys. 1973. - V.3, N.4. - P.704-708.

54. Мосс Т. Оптические свойства полупроводников. / Т. Мосс. М.:ИЛ. - 1961. - 304с.

55. Хмелевская B.C. Неустойчивость в металлических материалах, облученных лазером. / В.С.Хмелевская, В.Г Малынкин, Е.В.Базалев // Письма в ЖТФ. 1994. - Т.20, В.23. -С.21-25.

56. Хайбулин И.Б. Импульсный отжиг полупроводников. Состояние проблемы и нерешенные вопросы. / И.Б.Хайбулин, Л.С.Смирнов // ФТП. 1985. - Т. 19, №4. - С.569 - 591.

57. Плавление полупроводников под действием импульсного лазерного излучения. / С.Ю. Карпов и др. // ФТП. 1986. - Т.20, №11. - С. 1945 - 1969.

58. Эффект изменения электропроводности полупроводниковых кристаллов при прохождении ударной волны от импульса излучения ОКГ. / Л.И.Иванов и др. // ЖЭТФ. 1974. -Т.67.-С.148- 155.

59. Влияние лазерного облучения на поверхностные электронные состояния германия. / П.К.Кашкаров и др. // Поверхность. 1982. -№12. - С.47 - 53.

60. Кашкаров П.К. Нетермические процессы в полупроводниках при лазерном облучении. / П.К.Кашкаров, В.Ф.Киселев. // Известия РАН. Сер.физ. 1986. - Т.50, №3. - С.435 - 439.

61. Киселев В.Ф. Электронные явления в адсорбции и катализе на полупроводниках и диэлектриках. / В.Ф.Киселев, Ф.В.Крылов. М.: Наука. - 1979. - 234с.

62. Болтакс Б.И. Диффузия и точечные дефекты в полупроводниках. / Б.И.Болтакс. -Л.:Наука,- 1972.-384с.

63. Эффект дальнодействия при облучении поверхности. / А.А.Козьма и др. // ФММ. -1991. -№7. С.168-175.

64. О влиянии легирования и освещения на микротвердость монокристаллов полупроводников. / Ю.Х.Векилов и др. // Известия РАН. Сер.неорг.мат. 1966. - T.l 1, №4. - С.636.

65. Новиков Н.Н. Относительно возможной природы электромеханического и концентрационного эффектов. / Н.Н.Новиков // Украинский физический журнал. 1972. - Т. 17, №5.- С.724 733.

66. К механизму остаточного фотомеханического эффекта. / А.Б. Герасимов и др. // ФТТ.- 2000. Т.42, В.4. - С.683-684.

67. О распределении величины микротвердости по глубине образца. / А.Б. Герасимов и др. // ФТТ. 1999.-Т.41, В.7. - С. 1225-1227.

68. Влияние режима формирования отпечатка на оценку величины фотомеханического эффекта. / А.Б. Герасимов и др. // ФТТ. 1998. - Т.40, №3. - С.503-504.

69. Федорович Ю.В. Электронно-ионное равновесие на реальной поверхности полупроводников. / Ю.В.Федорович, В.А.Фогель //ФТП. 1969. - Т.З, №6. - С.840 - 846.

70. Фролов О.С. О механизме медленных изменений потенциала на реальной поверхности германия и кремния. / О.С.Фролов, О.В.Снтко, Г.Ф.Романова //Украинский физический журнал. 1969. - Т. 14, №4. - С.585 - 596.

71. Кинетика электродных процессов. / А.Н.Фрумкин и др.. 1952. - МГУ. - 28с.

72. Влияние света на микротвердость металлов. / Герасимов А.Б. и др.. // ФизХОМ. -2003. №4. - С.5-8.

73. Кузьменко П.П. Фотомеханический эффект в сурьме. / П.П.Кузьменко, Н.Н.Новиков, Н.Я.Горидько // ФТТ. 1962. -Т.4, В. 10 - С.2656-2659.

74. Кузьменко П.П. Фотомеханический эффект в титане. / П.П.Кузьменко, Н.Н.Новиков, Н.Я.Горидько // УФЖ. 1963. - Т.8, №1. - С.166-120.

75. Сильно возбужденные состояния в кристаллах. / В.Е.Егоруппсин и др. // Известия ВУЗов. Сер.Физика. 1987. -Т.30, №1. - С.34-51.

76. Кацнельсон А.А. Микроскопическая теория неоднородных структур. / А.А.Кацнельсон, А.И.Олемской. М.: МГУ. - 1987. - 334с.

77. Олемской А.И. Перестройка конденсированного состояния атомов в условиях интенсивного внешнего воздействия. / А.И.Олемской, В.А.Петрунин // Известия ВУЗов. Сер.Физика. 1987. -Т.30, №1. - С.82-121.

78. Влияние упругих волн, возникающих при ионной бомбардировке, на структурное совершенство полупроводниковых кристаллов. / П.В.Павлов и др. // ФТП. 1986. -Т.20, В.З. - С.503-507.

79. Хмелевская B.C. Диссипативные структуры в металлических материалах после облучения и других видов сильного воздействия. / В.С.Хмелевская, В.Г.Малынкин. // Материаловедение. 1989. - №2. - С.25-32.

80. Хмелевская B.C. Неравновесные состояния и локальная перестройка кристаллической решетки, индуцированные ионным облучением. / В.С.Хмелевская, В.С.Карпошин, В.Г.Малынкин // Поверхность. 1998. -№6. - С.95-101.

81. Ахманов С.А. Самофокусировка и дифракция света в нелинейной среде. / С.А.Ахманов, А.П.Сухоруков, Р.В.Хохлов // Успехи физических наук. 1967. - Т.93,1. B.1. С.19 - 70.

82. Рабинович М.И. Введение в теорию колебаний и волн. / М.И.Рабинович, Д.И.Трубецков. М.:Наука. - 1984. - 432с.

83. Мартыненко Ю.В. Эффекты дальнодействия при ионной имплантации. / Ю.В.Мартыненко // Итоги науки и техники. Сер. Пучки заряженных частиц и твердое тело. М.: ВИНИТИ. 1991. - Т.7. - С.82-112.

84. Калиниченко А.И. Возбуждение акустических колебаний пучками заряженных частиц малой плотности. / А.И.Калиниченко, В.Т.Лазурик-Эльцуфин // ЖЭТФ. 1973. -Т.65, В.6(12). - С.2364—2368.

85. Жуков В.П. Расчет пиков смещения в приближении сплошной среды. /В.П.Жуков, А.В.Демидов // Атомная энергия. 1985. - Т.59, В.1. - С.29-33.

86. Жуков В.П. /В.П.Жуков, А.А.Болдин // Атомная энергия. 1987. - Т.63, В.6.1. C.375-379.

87. Carter G. /G.Carter //Rad.Eff.Lett. 1980. - V.50. - Р.105-109.

88. Rauschenbach В. A Simple Approach to the Analysis of Ion Collision Cascade in Solids Based on the Shock Wave Model. /B.Rauschenbach, K.Hohmuth // Phys.St.Sol. 1983. -V.75,N.l. - P. 159-168.

89. Жуков В.П. Роль ударной волны в радиационном повреждении твердых тел при низких энергиях атома отдачи. / В.П.Жуков, А.В.Рябенко // Препринт МИФИ. М. -1983.-18с.

90. Mayers S.M. / S.M.Mayers // J. of Vacuum Science and Technology. 1980. - V.17. -P.310-314.

91. Martynenko Yu.V. /Yu.V.Martynenko, P.G.Moskovkin // Rad. Eff. and Deffects in Solids. 1991. -V.117. -P.321-328.

92. Семин Ю.А. Усиление генерируемых ионной бомбардировкой упругих волн при распространении в кристалле с кластерами дефектов. / Ю.А.Семин, В.Д.Скупов, Д.И.Тетельбаум // Письма в ЖТФ. 1988. - Т. 14, В.З. - С.273-275,

93. Ю4.Адлене Д.З. Генерация упругих волн в имплантируемых твердых телах.

94. Д.З.Адлене, Л.И.Пранявичус // Поверхность. 1984. - №5. - С.100-105.

95. Исследование упругих колебаний в твердом теле в процессе ионной имплантации.

96. И.П.Пожела и др. // Поверхность. 1985. -№2. - С.38-42.

97. Юб.Горшков О.Н. Возникновение упругих волн в кристаллах кремния при химическом травлении поверхности. / О.Н.Горшков, В.А.Перевощиков, В.Д.Скупов // Поверхность. 1989. -№7. - С.155-157.

98. Ю7.Кулемин А.В. Ультразвук и диффузия в металлах. / А.В.Кулемин. М.: Металлургия,-1978.-200с.

99. Ю8.Бакай А.С. О влиянии звука на диффузию в твердом теле. / А.С.Бакай, Н.П.Лазарев // ФТТ. 1984. - Т.26, В.8. - С.2504-2506.

100. Эффект дальнодействия в металлах при ионной имплантации. / Ю.П.Шаркеев и др.. // Металлы. 1998. -№1. - С.109-115.

101. Martynenko Yu.V. / Yu.V.Martynenko, P.G.Moskovkin // Preprint IAE-5438/6. Moscow.- 1991.

102. Мартыненко Ю.В. Механизмы изменения глубоких слоев твердого тела при ионной бомбардировке. / Ю.В.Мартыненко, П.Г.Московкин // Поверхность. 1991. - №4. -С.44-50.

103. И5.Девятко Ю.Н. Неравновесный фазовый переход в системе взаимодействующих броуновских частиц. / Ю.Н.Девятко, В.Н.Тронин // ДАН СССР. 1988. - С.85-88.

104. Горелик С.С. Рекристаллизация металлов и сплавов. / С.С.Горелик. -М. .-Металлургия. 1967. - 403с.

105. Возврат и рекристаллизация металлов. /Под ред. В.Н.Розенберга. -М.:Металлургия. 1966. - 326с.

106. И 8.Ползучесть и возврат. / Перевод с англ. -М.:ГосНТИ. 1961. -412с.

107. Тихонов А.С. Деформируемость металлов и сплавов. / А.С.Тихонов, В.Г.Осипов, С.И.Булат. М.:Наука. - 1971. - 132с.

108. Тетельбаум Д.И. Эффект дальнодействия в составных металлических мишенях при малых дозах облучения. / Д.И.Тетельбаум, Е.В.Курильчик, Н.Д.Латышева. // Неорганические материалы. 1999. - Т.35, №4— С.1 - 5.

109. Тетельбаум Д.И. Закономерности дальнодействующего влияния ионного облучения на микротвердость экранированных фольг пермаллоя. / Д.И.Тетельбаум, Е.В.Курильчик, Е.Е.Доценко. II Вестник ННГУ. Сер. Физика твердого тела. 1998. -№.2.-С. 140- 150.

110. Акулов Н.С. Дислокации и пластичность. / Н.С.Акулов. М:.Наука. - 1958. - 121с.

111. Лазарев В.Б. Химические и физические свойства простых оксидов металлов. / В.Б.Лазарев, В.В.Соболев, И.С.Шаплыгин. М.:Наука. - 1983. - 239с.

112. Физико-химические свойства окислов. /Под ред. Г.В.Самсонова. -М.:Металлургия. 1978. - 471с.

113. Герцрикен С.Д. //Диффузия в металлах и сплавах в твердой фазе. / С.Д.Герцрикен, И.Я.Дехтяр. М.: Изд-во физ.-мат. литературы. - 1960. - 564с.

114. Лариков Л.Н. //Структура и свойства металлов и сплавов. Диффузия в металлах и сплавах. Справочник. / Л.Н.Лариков, В.И.Исайчев. Киев: Наукова думка. - 1987. -510с.

115. Бокштейн Б.С. //Диффузия и структура металлов. / Б.С.Бокштейн. -М.:Металлургия. 1973. - 208с.

116. Массоперенос в гетерогенных материалах при воздействии высокоинтенсивными пучками заряженных частиц. / Г.А.Вершинин и др.. //Поверхность. 2000. - №5. -С.32-35.

117. Эффекты дальнодействия в ионно-имплантированных металлических материалах. / А.Н.Диденко и др.. Томск: из-во НТЛ. - 2004. - 328с.

118. Ш.Богатов А.А. // Механические свойства и модели разрушения металлов. / А.А.Богатов. Екатеринбург: ГОУ ВПО УГТУ-УПИ. - 2002. - 329с.

119. Романов И.Г. Некоторые свойства ионно-имплантированных пленок нитрида титана. / И.Г.Романов, А.Л.Чеканов.// Поверхность. 1993. -№5. - С. 110-114.

120. Соловьев В.Н. К теории диффузионных процессов в неупорядоченных конденсированных средах. / В.Н.Соловьев, В.А.Хрисанов. // ФТТ. 1984. - Т.26, В.8. - С.2399-2404.

121. Дамаск А. Точечные дефекты в металлах. / А.Дамаск, Дж.Динс. М.: Мир. - 1966. -292 с.134а. Алехин В.П. Физика прочности и пластичности поверхностных слоев материалов. / В.П.Алехин. М.: Наука. - 1983. - 280 с.

122. Такер Дж. Гиперзвук в физике твердого тела. / Дж.Такер, В.Рэмптон. М.: Мир. -1975.-454с.

123. Риссел X. Ионная имплантация. /Х.Риссел, И.Руге. М.:Наука. - 1983. - 360 с.

124. Горелик С.С. Материаловедение полупроводников и металловедение. / С.С.Горелик, М.Я.Дашевский. М.Металлургия. - 1973. - 496 с.

125. СПИСОК ПУБЛИКАЦИЙ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

126. Тетельбаум Д.И. Дальнодействующее влияние слабого фотонного облучения (с длиной волны 0.95 мкм) на механические свойства металлов. / Д.И.Тетельбаум и др.. // Письма в ЖТФ. 1998. - Т.24, В .23. - С.9-13.

127. Тетельбаум Д.И. Исследование методом стопок фольг эффекта дальнодействия в меди при ионном облучении и трении. / Д.И.Тетельбаум и др.. // Известия РАН. Сер.физ. -1998. Т.62, №4. - С. 861-866.

128. Тетельбаум Д.И. Эффект фотомеханической памяти в металлах как проявление эффекта дальнодействия. / Д.И.Тетельбаум и др.. // Вестник ННГУ. Серия ФТТ. 1998. - В.2. -С.157-161.

129. Тетельбаум Д.И. Малодозный эффект дальнодействия в радиационной физике металлов. / Д.И.Тетельбаум и др.. // Радиационноя физика твердого тела: труды 7 Межнационального совещания, Севастополь, 29 июня 4 июля, 1998. - Москва, 1998. - С.337-341.

130. Тетельбаум Д.И. О механизме малодозного эффекта дальнодействия. / Д.И.Тетельбаум и др.. // Известия РАН. Сер. физ. 2000. - Т.64, №4. - С.726-731.

131. Тетельбаум Д.И. Эффект дальнодействия в полупроводниках и металлах при облучении светом. / Д.И.Тетельбаум и др.. // Вестник ННГУ. Серия ФТТ. 2000. - В.1(3). - С.263-270.

132. Тетельбаум Д.И. О применении метода измерения микротвердости прибором ПМТ-3 для исследования эффекта дальнодействия в твердых телах. / Д.И. Тетельбаум, А.Ю. Азов. // Вестник ННГУ. Серия ФТТ. 2001. - В.2(5). - С Л 20.

133. Тетельбаум Д.И. Влияние облучения светом на механические свойства металлов. / Д.И. Тетельбаум, А.Ю. Азов, П.И. Голяков. // Письма в ЖТФ. 2003. - Т.29, В.2. - С.35-41.

134. Tetelbaum D.I. The long-range influence of the ion and photon irradiation on the mechanical properties and on the composition of the permalloy-79. / D.I.Tetelbaum et al.. // Vacuum. -2003. V.70, No.2-3. - P.169-173.

135. Тетельбаум Д.И. Дальнодействующее знакопеременное изменение микротвердости металлических фольг при ионном и световом облучениях. / Д.И.Тетельбаум и др.. // Поверхность. 2003. - №.4. - С.67-69.

136. Тетельбаум Д.И. Фоточувствительность механических свойств металлов как проявление эффекта дальнодействия. / Д.И.Тетельбаум и др.. // Вестник ННГУ. Серия ФТТ. -2003. В. 1(6). - С.205-208.

137. Тетельбаум Д.И. Изменение элементного состава необлученных сторон фольг пермаллоя-79 как проявление малодозного эффекта дальнодействия. / Д.И.Тетельбаум и др.. // Вестник ННГУ. Серия ФТТ. 2003. - В Л (6). - С Л 87-194.

138. Тетельбаум Д.И. Дальнодействующие влияние облучения светом на микротвердость металлов в слоисто-гетерогенных системах. / Д.И. Тетельбаум, Ю.А. Менделева, А.Ю. Азов. // Письма в ЖТФ. 2004. - Т.ЗО, вып.11. - С.59-65.

139. Тетельбаум Д.И. О полярности изменений микротвердости в эффекте дальнодействия при облучении металлических фольг светом. / Д.И.Тетельбаум и др.. // Известия РАН. 2006. (принята в печать).

140. Tetelbaum D.I. The new photomechanical effect at irradiation of metals by light. / D. I.Tetelbaum et al.. // Proceedings of SPIE. 2006. (принята в печать).

141. Тетельбаум Д.И. Эффект дальнодействия в полупроводниках и металлах при облучении светом. / Д.И.Тетельбаум и др.. // Структура и свойства твердых тел: тез.докл. на конференции, Нижний Новгород, 27 28 сентября 1999. - С. 137.

142. Тетельбаум Д.И. О механизме малодозного эффекта дальнодействия. / Д.И.Тетельбаум и др.. // Взаимодействие ионов с поверхностью: материалы XIV Международной конференции, Россия, Звенигород, 30 августа-3 сентября, 1999. С.49-52.

143. Тетельбаум Д.И. Эффект дальнодействия в твердых телах: роль примесей и дефектов. / Д.И. Тетельбаум, Е.В. Курильчик, А.Ю. Азов // XI конференция по химии высокочистых веществ, Нижний Новгород, 15-18 мая 2000. С. 229-231.

144. Tetelbaum D.I. The far-spreading influence of weak photon irradiation on the properties of metals and semiconductors. / D.I. Tetelbaum et al.. // Abstracts of the European Material Conference (E-MRS-2000), Strasbourg, May 30 June 2, 2000. - P.3.

145. Тетельбаум Д.И. Эффект дальнодействия в полупроводниках и металлах при облучении светом. / Д.И.Тетельбаум и др.. // тез.докл. конференции, Нижний Новгород, 1999. С.5.

146. Азов А.Ю. Роль температурного фактора в эффекте дальнодействия при ионном облучении. / А.Ю. Азов и др.. // тез.докл. XXXI Международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, МГУ, 28 30 мая 2001. - С. 109.

147. А.Ю.Азов Эффект дальнодействия в изменении состава необлученной стороны фольги пермаллоя. / А.Ю.Азов и др.. // Радиационная физика твердого тела: труды XI Межнационального совещания, Севастополь, 25 30 июня 2001. - М.:НИИ ПМТ, 2001. - С.249 - 254.

148. Менделева Ю.А. Некоторые закономерности эффекта фотопамяти металлов. / Ю.А. Менделева и др.. // Физические и физико-химические основы ионной имплантации: тез.докл. VII Всероссийского семинара, Нижний Новгород, 26-29 октября 2004. С.56.

149. Тетельбаум Д.И. Некоторые вопросы упрочнения и разупрочнения металлов при облучении световыми потоками малой интенсивности. / Д.И. Тетельбаум и др.. // Актуальные проблемы прочности: тез.докл. 43-й Междунар. конф., Вологда, 26-30 сент. 2005. С.45.