Интерференционно-чувствительные фотоприемники и их применения тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.01, кандидат физико-математических наук Иваненко, Александр Анатольевич

• Иваненко, Александр Анатольевич
• кандидат физико-математических наук
• 2009

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Иваненко, Александр Анатольевич

Оглавление.

Введение.

ГЛАВА 1. Технологии изготовления интерференционночувствительных фотоприемников.

1.1. Вакуумные фотоэлектронные приборы с внешним фотоэффектом.

1.2. Фотоприемники на аморфном гидрогенезированном кремнии (а-БкН).

1.3. Кремний на изоляторе.

1.4. Резистивные фотоприемники.

ГЛАВА 2. Интерференционно-чувствительный фотоприемник.

2.1. Определение и свойства ИЧФ.

2.2. Влияние оптической толщины фотоэлектрического слоя на чувствительность ИЧФ.

2.3. Влияние неоднородности оптической толщины ИЧФ на чувствительность.

ГЛАВА 3. Первые интерференционно-чувствительные фотоприемники.

3.1. Вакуумный ИЧФ.

3.1.1. Вакуумный ИЧФ в составе однозеркального интерферометра.

3.2. Резистивный ИЧФ НА РЬЭ.

ГЛАВА 4. Квадратурные интерфернционночувствительные фотоприемники.

4.1. Симметричный квадратурный интерфернционно-чувствительный фотоприемник.

4.2. Квадратурный четырехфазный интерфернционночувствительный фотоприемник с подавлением синфазного сигнала.

ГЛАВА 5. Интерференционно-чувствительные селективные фотоприемники.

5.1. Принцип работы ИЧСФ.

5.2. РвВ- ИЧСФ.

5.3. ИЧСФ с двумя выходами пропускающего и режектороного фильтра.

ГЛАВА 6. Интерференционно-чувствительный фотоприемник - коррелометр оптических сигналов

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Интерференционно-чувствительные фотоприемники и их применения»

Интерференционно-чувствительные фотоприемники (ИЧФ), т. е. фотоприемники, чувствительные к положению относительно интерференционных полос в поле встречных световых потоков, являются основой интерферометров, в которых регистрация осуществляется в месте противоположно-направленных световых лучей.

Впервые, наличие стоячих противоположно-направленных световых волн было зафиксировано Отто Винером (Otto Wiener) в 1890 г. с помощью зеркала и фотоэлектрической эмульсии [1]. Он исследовал слоистую структуру фотографической эмульсии, возникшую при воздействии интерференционного поля, полученного двумя световыми потоками: падающим и отраженным от зеркала. В этом эксперименте, в качестве датчика интерференционного поля, образованного встречными световыми потоками, был использован слой фотографической эмульсии.

Айве и Фрэй в 1933 г. [2] повторили эксперимент Винера с использованием в качестве датчика интерференционного поля встречных световых потоков полупрозрачного тонкого фотоэлектрического слоя.

Датчиком распределения интерференционного поля встречных световых потоков является среда, пропускающая оптическое излучение (иначе интерференционное поле разрушается), чувствительная к интенсивности световой волны и пространственно разрешающая интерференционные полосы.

Интерферометры на встречных световых потоках, имеют более простые оптические схемы, содержат меньше элементов и, соответственно, проще юстируются. Например, устройство, с которым экспериментировал Винер, состоит всего из двух элементов - фотографической пластинки и металлического зеркала, расположенных под небольшим углом друг к другу. В экспериментах Айвса и Фрэя интерференционное поле так же создавалось с помощью одного зеркала.

Однако, фотоприемники, чувствительные к пространственному положению в интерференционном поле, образованном встречными световыми потоками, не имеют серийного применения и в настоящее время [3-47]. Получили распространение интерферометры, в которых регистрируются однонаправленные световые потоки (Майкельсона, Жамена, Фабри-Перо, Рождественского, Рэлея, Физо и др.) традиционными фотоприемниками. Препятствием широкого использования простых однозеркальных интерферометров является практическое отсутствие ИЧФ. Промышленный выпуск таких фотоприемников открывает возможность создания широкого спектра новых опто-электронных устройств.

Прецизионные измерения с помощью интерферометров - это основной метод прямых сверхточных измерений геометрических параметров. Мировые лидеры производят интерферометры с разрешением < 1 нм. При возросшем интересе современной науки к нано-размерным исследованиям, развитие новых принципов интерферометрии весьма актуально. Многоэлементный интерференционно-чувствительный фотоприемник с ИЧ элементами, разнесенными в направлении световых лучей [27, 39, 41], имеет многофазные сигналы, что позволяет значительно увеличить разрешение интерферометров при измерении перемещения.

ИЧФ может быть избирательным по длине волны, без применения каких-либо элементов с селективным поглощением или отражением света [26]. Это позволяет рассмотреть новые принципы создания ячейки матричного приемника цветного изображения. Трехэлементный интерференционно-чувствительный селективный фотоэлемент (ИЧСФ) позволяет получить Ы,С,В-сигналы с селективностью, приближающейся к селективности человеческого зрения [32, 44]. ИЧФ позволяет производить электронную запись голографического изображения [16]. В перспективе ИЧСФ позволит решить задачу записи цветного голографического изображения без освещения объекта монохроматическим излучением, т. е. в белом свете. Иначе говоря, ИЧФ может стать основным элементом цветной топографической видеокамеры.

Используя мульти-пленочный ИЧФ в качестве фотоприемника в Фурье-спектрометре [17, 31, 43], можно отказаться от механического сканирования, которое осуществляется для получения необходимой разности хода световых лучей в традиционных Фурье-спектрометрах [48]. Разработка такого фотоприемника - главный шаг на пути создания Фурье-спектрометра на одной микросхеме. Оптический коррелометр может так же быть использован: для измерения малых задержек и длительности оптических импульсов (принципы измерения задержек сигналов с помощью коррелометра хорошо проработаны в радиотехических дисциплинах [49]); устройствах селективной регистрации интерферирующих встречных световых излучений [26, 32, 44]; устройствах обработки оптической информации, в частности, ее декодирования [49]. Новый коррелометр может стать важным элементом оптического компьютера [50].

Целью настоящей работы является разработка физических основ способа регистрации интерференционных полей встречных световых потоков с помощью тонких фоточувствительных электрических слоев.

Основные задачи, решаемые в данной работе:

1. Исследование влияния неоднородностей, толщины фотоэлектрических слоев на интерференционную чувствительность этих слоев.

2. Разработка вакуумного квадратурного ИЧФ с подавлением синфазного сигнала и со свойствами избирательности по длине волны.

3. Расчет селективного фотоприемника с характеристиками селективности, эквивалентными избирательности усредненного человеческого зрения (ЯОВ-фотоприемник).

4. Расчет характеристик селективности ИЧФ с двумя выходами полосно-пропускающего и режекторного фильтра, не содержащего элементов избирательного поглощения.

5. Разработка схемы коррелометра и автокоррелометра оптических сигналов на основе ИЧФ.

Структура диссертации

Во введении обоснована актуальность выбранной темы исследования, определена цель работы, дана общая характеристика проведенных исследований, отражены научная новизна и практическая значимость полученных результатов.

Во главе 1 описаны существующие технологии изготовления фотоприемников, перспективные для изготовления интерференционно-чувствительных фотоприемников, сообщаются результаты исследований ИЧФ, созданных по этим технологиям.

В главе 2 представлены результаты расчета влияния неоднородностей, толщины фотоэлектрических слоев на интерференционную чувствительность.

В главе 3 представлен первый вакуумный ИЧФ и его сигналы в составе однозеркального интерферометра.

Глава 4 описывает квадратурный ИЧФ и четырехфазный квадратурный ИЧФ с подавлением синфазного сигнала.

Глава 5 посвящена построению селективных интерференционно-чувствительных фотоприемников (ИЧСФ).

В главе 6 заложены основы построения ИЧФ - коррелометра оптических сигналов без механического сканирования разности хода.

Научная новизна

1. Исследовано влияние неоднородностей, толщины фотоэлектрических слоев на интерференционную чувствительность.

2. Произведен расчет селективного ИЧФ с двумя выходами, имеющий характеристики селективности полосно-пропускающего и режекторного фильтра.

3. На основе моделирования расположения фотоэлектрических слоев в интерференционном поле встречных световых потоков, разработан вакуумный квадратурный ИЧФ с подавлением синфазного сигнала и свойствами избирательности по длине волны с высоким отношением сигнал/шум.

4. Показано, что ИЧФ с тремя ИЧ элементами может обладать цветовой избирательностью, приближающейся к цветовой избирательности человеческого глаза.

5. Разработан способ измерения корреляционной функции оптических сигналов без механического сканирования разности оптических путей.

Научная и практическая значимость

1. Разработаны ИЧФ, которые могут быть использованы для оптоэлектроники, интерферометрии, спектроскопии, электронной голографии, телекоммуникаций и других применений.

2. Предложен коррелометр оптических сигналов - основа миниатюрного Фурье-спектрометр без механического сканирования.

3. Разработан вакуумный квадратурный ИЧФ с подавлением синфазного сигнала и со свойствами избирательности по длине волны для измерения перемещений с высоким отношением сигнал/шум (более 100) с граничной частотой >3 МГц.

Основные положения, выносимые на защиту

1. Результаты расчета неоднородностей, толщины фотоэлектрических слоев на интерференционную чувствительность.

2. Вакуумный квадратурный ИЧФ с подавлением синфазного сигнала и со свойствами избирательности по длине волны.

3. Схема и характеристики селективности интерференционно-чувствительного RGB-фотоприемника.

4. Схема и характеристики селективности интерференционно-чувствительного фотоприемника с двумя выходами, имеющего характеристики селективности, характерные для полосно-пропускающего и режекторного фильтра для одних и тех же характерных длин волн.

5. Схема ИЧФ-коррелометра и ИЧФ-автокоррелометра оптических сигналов.

Апробация работы

Результаты, положенные в основу диссертации, опубликованы в журнале

Оптика и спектроскопия», трудах SPIE, представлены на конференциях в США (Орландо), Новосибирске, Москве, Томске, Ялте, в Сибирском Федеральном Университете. ИЧ-фотоприемник и интерферометр на встречных световых потоках демонстрировались на Международных выставках достижений РАН в Китае (г. Шеньян, 2006 г.), «Фотоника-2008» (г. Москва) и «0птика-2008» (г. Москва).

Основные публикации по теме диссертации

1. Shestakov N.P., Ivanenko A.A., Sysoev A.M. Photodetector interference field // Proceedings of SPIE, V. 4900, Part Two. - 2002. - P. 1276-1289.

2. Ivanenko A.A., Shestakov N.P., Sysoev A.M., Shabanov V.F. New photodetector - meter of the correlation function of optical signals // Proceeding SCI, V.10. -2003. -P. 124-129.

3. Пат. 2222039 Российская федерация, МКП G03H1/04, Устройство для записи голограммы объекта во встречных пучках / Иваненко А.А., Шестаков Н.П., Сысоев A.M., Шабанов В.Ф. - № 2002104016/28; 2002.02.13; утв. 2004.01.20, Бюл. №2.

4. Пат. 2217710 Российская федерация, МКП G01J3/457, Способ измерения корреляционной функции световых потоков и устройство для его осуществления / Иваненко А.А., Шестаков Н.П., Сысоев A.M., Шабанов В.Ф. -№ 2002112978/28; 2002.05.13; утв. 2003.11.27, Бюл. №33.

5. Пат. 2227341 Российская федерация, МКП H01J40/02, Фотоэлектронный прибор / Иваненко А.А., Шестаков Н.П., Сысоев A.M. - № 2002103994/09; 2002.02.13; утв. 2004.04.20, Бюл. №11.

6. Пат. 2224331 Российская федерация, МКП НОЮ 1/00, Фотоприемник (варианты) / Шестаков Н.П., Иваненко А.А., Сысоев A.M. - № 2001131679/28; 2001.11.23; утв. 2004.02.20, Бюл. №5.

7. Пат. 2239918 Российская федерация, МКП H01L31/00, Фотоприемник / Шестаков Н.П., Иваненко А.А., Сысоев A.M. - № 2002103558/28; 2002.02.08; утв. 2004.11.10, Бюл. №31.

8. Пат. 2239917 Российская федерация, МКП 7H01L 31/00, Фотоприемник / Шестаков Н.П., Иваненко А.А., Сысоев A.M. - № 2002101414/28; 11.01.2002; утв. 10.11.2004, Бюл. №31.

9. Пат. 2243615 Российская федерация, МКП H01L 31/00, Фотоприемник / Иваненко А.А., Шестаков Н.П., Сысоев A.M. - № 2002105463/28; 2002.02.28; утв. 2004.12.27, Бюл. №36.

10. Пат. 2241280 Российская федерация, МКП НОЮ 1/00, Фотоприемник / Шестаков Н.П., Иваненко А.А., Сысоев A.M. - № 2002102016/28; 2002.01.21; утв. 2004.11.27, Бюл. №33.

11. Ivanenko A.A., Shestakov N.P., Sysoev A.M., Shabanov V.F. Method for measuring light flux correlation function and device for carrying out said method // WO 2005/008201.-2005.- 17 p.

12. Пат. 2255306 Российская федерация, МКП G01B9/02, Интерферометр / Иваненко А.А., Сысоев А.М, Шестаков Н.П. - № 2002107179/28; 2002.03.20; утв. 2005.06.27, Бюл. №18.

13. Иваненко А.А., Шестаков Н.П., Сысоев A.M., Шабанов В.Ф. Квадратурный двухфазный интерфернционно-чувствительный фотоприемник для интерферометров встречных световых потоков // Труды Всероссийской научно-технической конференции. - Красноярск. -2006. С. 339-343.

14. Пат. 2335034 Российская федерация, МКП НОЮ 1/00, Квадратурное фотоприемное устройство / Иваненко А.А., Шестаков Н.П., Сысоев A.M., Шабанов В.Ф. -№ 2007115748/28; 2007.04.25; утв. 2008.09.27, Бюл. №27.

15. Ivanenko А.А., Shabanov V.F., Sysoev A.M., Shestakov N.P. Interference Sensitive Selective Photodetector // Proceedings of SPIE. - 2008. - Volume 7009, 7009IK. 8 pages

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы экспериментальной физики», Иваненко, Александр Анатольевич

Заключение

Настоящая диссертация посвящена разработке физических основ способа регистрации интерференционных полей встречных световых потоков с помощью тонких фоточувствительных электрических слоев. В работе исследовано влияние неоднородностей, толщины фотоэлектрических слоев на интерференционную чувствительность.

На основе моделирования расположения фотоэлектрических слоев в интерференционном поле встречных световых потоков, создан селективный ИЧФ с двумя выходами, имеющий характеристики селективности полосно-пропускающего и режекторного фильтра.

Показано, что ИЧФ с тремя ИЧ элементами может обладать цветовой избирательностью, приближающейся к цветовой избирательности человеческого глаза.

Разработан способ измерения корреляционной функции оптических сигналов без механического сканирования разности оптических путей.

Создан вакуумный квадратурный ИЧФ с подавлением синфазного сигнала и свойствами избирательности по длине волны с высоким отношением сигнал/шум и граничной частотой > 3 МГц.

В заключении автор считает своим долгом поблагодарить научных руководителей В.Ф. Шабанова и Н.П. Шестакова за высококвалифицированное научное руководство.

Автор выражает благодарность A.M. Сысоеву, H.A. Крыловой, А.Д. Игонину, Ю.С. Русецкому, Н.И.Павленко, О.В. Белоусову, В.Я. Зырянову за сотрудничество при создании интерференционно-чувствительных фотоприемников.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Иваненко, Александр Анатольевич, 2009 год

1. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. - М: Наука. - 1973. - 720 с.

2. Ives Н., Fry Т. Standing light waves; Repetition of an experiment by Wiener, using a photoelectric probe surface // J. of Optical Society of America, V. 23. 1933. P. 73-83.

3. Bücher H. Stehende-Wellen-Interferometer zur Messung von optischen Gangunterschieden // Patentschift DE 3300369. 1983. - 6 p.

4. Alexander D.H., Ishizuka K., Sato R.N. Optical Displacement Sensor // US Patent 4443107. 1984. -6 p.

5. Bücher H. Standing wave interferometer four measuring optical path differences // US Patent 4571083. 1986. - 8 p.

6. Jäger G., Bücher H. Inkrementalen Stehende-Wellen-Sensor // Offenlegungsschift DE 3612221 AI. 1986. - 9 p.

7. Miller D.A.B. Laser Tuners and Wavelength-Sensitive Detectors Based on Absorbers in Standing Waves // IEEE Journal of Quantum Electronics, V. 30(3). -1994.-P. 732-749.

8. Sasaki M., Mi X., Hane K. Standing wave detection and interferometer application using a photodiode thinner than optical wavelength // Applied Physics Letters. 1999. - P. 2008-2010.

9. Mi X., Sasaki M., Hane K. Ultra-thin film photodiodes for use in position sensors // J. Modern Optics, V. 48(1). 2001. - P. 55-66.

10. Пат. 2188401 Российская федерация, МКП G01J3/00, G01R23/00, G01J3/45, H01L31/00, Интерферометр / Атнашев A.B., Атнашев В.Б., Атнашев П.В. № 2001113539/28; 16.05.2001; утв. 27.08.2002, Бюл. №24.

11. Пат. 2188402 Российская федерация, МКП G01J3/00, G01J3/45, G01R23/00, H01L31/00, Интерферометр / Атнашев A.B., Атнашев В.Б., Атнашев П.В. № 2001117004/28; 22.06.2001; утв. 27.08.2002, Бюл. №24.

12. Shestakov N.P., Ivanenko A.A., Sysoev A.M. Photodetector interference field // Proceedings of SPIE, V. 4900, Part Two. 2002. - P. 1276-1289.

13. Harris J.S.J, Kung H.L., Miller D.A.B. Compact Transform Spectrometer Based on Sampling a Standing Wave Cross-Reference to Related applications // PCT WO 02/14782 Al. -2002. 24 p.

14. Ivanenko A.A., Shestakov N.P., Sysoev A.M., Shabanov V.F. New photodetector meter of the correlation function of optical signals // Proceeding SCI, V.10. -2003. - P. 124-129.

15. Пат. 2222039 Российская федерация, МКП G03H1/04, Устройство для записи голограммы объекта во встречных пучках / Иваненко A.A., Шестаков Н.П., Сысоев A.M., Шабанов В.Ф. № 2002104016/28; 2002.02.13; утв. 2004.01.20, Бюл. №2.

16. Li Y., Mi X., Sasaki М., Напе К. Precision optical displacement sensor based on ultra-thin film photodiode type optical interferometers // Measurement Science and Technology. 2003. - P. 479-483.

17. Stiebig H., Buchner H.J., Bunte E., Mandryka V., Knipp D., Jäger G. Standing wave detection by thin transparent n-i-p diodes of amorphous silicon. // www.elsevier.com/locate/sna, Thin Solid Films 427. 2003. - P. 152-156.

18. D. Knipp, H. Stiebig, S.R. Bhalotra, H. Kung, D.A.B. Miller, Thin Film Technology based Micro-Fourier spectrometer // SPIE Photonics West, Conference on MOEMS and Miniaturized Systems III, SPIE 4983-15. 2003. 12 p.

19. Buchner H.J., Stiebig H., Mandryka V., Bunte E., Jäger G. An optical standing-wave interferometer for displacement measurements // Measurement Science Technology, NO. 14. 2003. - P. 311-316.

20. Пат. 2227341 Российская федерация, МКП H01J40/02, Фотоэлектронный прибор / Иваненко A.A., Шестаков Н.П., Сысоев A.M. № 2002103994/09; 2002.02.13; утв. 2004.04.20, Бюл. №11.

21. Пат. 2224331 Российская федерация, МКП H01L31/00, Фотоприемник (варианты) / Шестаков Н.П., Иваненко A.A., Сысоев A.M. № 2001131679/28; 2001.11.23; утв. 2004.02.20, Бюл. №5.

22. Пат. 2239918 Российская федерация, МКП H01L31/00, Фотоприемник / Шестаков Н.П., Иваненко A.A., Сысоев A.M. № 2002103558/28; 2002.02.08; утв. 2004.11.10, Бюл. №31.

23. Пат. 2239917 Российская федерация, МКП 7H01L 31/00, Фотоприемник / Шестаков Н.П., Иваненко A.A., Сысоев A.M. № 2002101414/28; 11.01.2002; утв. 10.11.2004, Бюл. №31.

24. Пат. 2243615 Российская федерация, МКП H01L 31/00, Фотоприемник / Иваненко A.A., Шестаков Н.П., Сысоев A.M. № 2002105463/28; 2002.02.28; утв. 2004.12.27, Бюл. №36.

25. Пат. 2241280 Российская федерация, МКП H01L31/00, Фотоприемник / Шестаков Н.П., Иваненко A.A., Сысоев A.M. № 2002102016/28; 2002.01.21; утв. 2004.11.27, Бюл. №33.

26. Stiebig Н., Mandryka V., Bunte Е., Büchner H.J., Jun К.Н. Novel micro interferometer for length measurements // Journal of Non-Crystalline Solids. 2004. - P. 793-796.

27. Bunte E., Mandryka V., Juna K.H., Büchner H.J., Jäger G., Stiebig H. Thin transparent pin-photodiodes for length measurements // Sensors and Actuators, A 113.-2004.-P. 334-337.

28. Büchner H.J., Mandryka V., Jäger G. Design and investigation of an optical standing-wave interferometer for displacement measurements // Proc. of SPIE, V. 5594.-2004. .-P. 57-65.

29. Ivanenko A.A., Shestakov N.P., Sysoev A.M., Shabanov V.F. Method for measuring light flux correlation function and device for carrying out said method // WO 2005/008201. 2005. - 17 p.

30. Ivanenko A. A., Shabanov V.F., Sysoev A. M., Shestakov N. P. Selective interference sensitive photodetector. // Proceeding on CAOL/LFNM/POEO. Yalta, Crimea, Ukraine, 12-17 Septeember, -2005. - P. 275-278.

31. Пат. 2255306 Российская федерация, МКП G01B9/02, Интерферометр / Иваненко A.A., Сысоев А.М, Шестаков Н.П. № 2002107179/28; 2002.03.20; утв. 2005.06.27, Бюл. №18

32. Chen R., Chin Н., Miller D.A.B., Ma К., Harris J.S. MSM-Based Integrated CMOS Wavelength-Tunable Optical Receiver // IEEE Photonics Technology Letters, V. 17, NO. 6.-2005.-P. 1271-1273.

33. Stiebig H., Bunte E., Kung H.L. Optimization of Phase-Sensitive Transparent Detector for Length Measurements // IEEE Transactions on Electron Devices, V. 52, NO. 7.-2005.-P. 1656-1661.

34. Stiebig H., Knipp D., Bhalotra S.R., Kung H.L., Miller D.A.B. Interferometric Sensors for Spectral Imaging // Sensors and Actuators A: Physical, 120/1. 2005. -P. 110-114.

35. Knipp D., Stiebig H., Bhalotra S.R., Bunte E., Kung H.L., Miller D.A.B. Silicon-Based Micro-Fourier Spectrometer // IEEE Transactions on Electron Devices, V. 52, NO. 3. 2005. - P. 419-426.

36. Пат. 2277222 Российская федерация, МКП G01B9/02, Интерферометр / Шабанов В.Ф., Иваненко A.A., Шестаков Н.П., Сысоев A.M. № 2002115414/28; 2002.06.07; утв. 2006.05.07, Бюл. №15.

37. Stiebig Н., Knippa D., Bunte Е. Standing-wave spectrometer // Applied Physics Letters. 2006. - V. 88. - P. 083509-1 - 083509-3.

38. Пат. 2335034 Российская федерация, МКП H01L31/00, Квадратурное фотоприемное устройство / Иваненко А.А., Шестаков Н.П., Сысоев A.M., Шабанов В.Ф. № 2007115748/28; 2007.04.25; утв. 2008.09.27, Бюл. №27.

39. Шабанов В.Ф., Шестаков Н.П, Иваненко А.А., Сысоев A.M. Интерференционно-чувствительный фотоприемник // Фотоника. 2007. - №6. -С. 32-34.

40. Иваненко А.А., Шестаков Н.П., Сысоев A.M., Шабанов В.Ф. Интерференционно-чувствительный фотоприемник-коррелометр оптических сигналов // Оптика и спектроскопия. 2008. - Том 104, № 4. - С. 687-689.

41. Ivanenko А.А., Shabanov V.F., Sysoev A.M., Shestakov N.P. Interference Sensitive Selective Photodetector // Proceedings of SPIE. 2008. - Volume 7009, 7009IK. 8 pages.

42. А.А. Иваненко, Н.П. Шестаков, Интерференционно чувствительный фотоприемник (ИЧФ), Международная выставка "Научно-технические достижения РАН", г. Шеньян, Китай, 2006 г, - С. 86.

43. Н.П. Шестаков, А.А. Иваненко, Интерферометр на встречных световых потоках // Международная выставка "Научно-технические достижения РАН", г. Шеньян, Китай, -2006 г, С. 86

44. А.А. Ivanenko, N.P. Shestakov, A.M. Sysoev, V.F. Shabanov, Interference-sensitive selective photodetector, Third International Forum "Optics 2007", Moscow, Theses science conference in All-Russia exhibition center, - 2007, - P. 53.

45. Вагин B.A., Гершун M.A., Жижин Т.Н., Тарасов К.И. Светосильные спектральные приборы М.: Наука. - 1988. - 264 с.

46. Баскаков С.И. Радиотехнические цепи и сигналы. М.: Высш. щкола -1988.-448 с.

47. Васильев A.A., Касасент Д., Компанец И.Н., Парфенов A.B. Пространственные модуляторы света М.: Радио и связь. - 1987. - 320 с.

48. Мосс Т., Баррел Г., Эллис Б. Полупроводниковая оптоэлектроника. М: Мир. - 1976.-432 с.

49. Hertz Н., Uber einen Einfluss des ultravioletten Lichtes auf die electrische Entladung // Annalen der Physik und Chemie, Bd 31. 1887.

50. Столетов А. Г. Собрание сочинений M;JI: Государственное издательство технико-теоретической литературы, том 1. - 1939. - 464 с.

51. Lenard Р. Erzeugung von Kathodenstrahlen durch ultraviolettes Licht // Sitzungsberichte der Kaiserlichen Akademie der Wissenschaften, 108. 1899. - P. 1649-1666.

52. Эйнштейн А., Собр. научн. тр. // М: Наука, т. 3. - 1966. - 632 с.

53. Шпольский Э.В. Атомная физика. М.: Изд-во физико-математической литературы. - 1963. - 575 с.

54. Dakin J.P., Brown R.G.W. Handbook of Optoelectronics New York, London: Taylor & Fransis Group, Vol. 1. - 2006. - 763 p.

55. Добрецов Jl. H., Гомоюнова М. В. Эмиссионная электроника. М.: Наука. - 1966. - 546 с.

56. Берковский А.Г., Гаванин В.А., Зайдель И.Н. Вакуумные фотоэлектронные приборы. -М.: Радио и связь. 1988. - 272 с.

57. Бабичев А.П., Бабушкина H.A., Братковский A.M. и др. Физические величины: Справочник. -М.; Энергоатоииздат. 1991. - 1232 с.

58. Antypas G.A., James J.W., Uebbing I. J. Operation of III-V Semiconductor Photocathodes in the Semitransparent Mode // J. Appl. Phys. 41,- 1970. P. 2888.

59. James L.W., Antypas G.A., Edgecumbe J., Moon R.L., Bell R.L. Dependence on Crystalline Face of the Band Bending in Cs2 O-Activated GaAs. // J. Appl. Phys. 42.-1971.-P. 4976.

60. James L. W., Antypas G. A., Uebbing J. J., Yep Т. O., Bell R. L. Optimization of the InAsxP l-x—Cs20 Photocathode // J. Appl. Phys, 42. 1971. - P. 580.

61. Spicer W.E., Bell R.L. The III-V Photocathode: a major Detector Development // Pub. Astron. Soc. Pacific, V. 84. 1972. - P. 354-355.

62. Bell R.L. Spicer W.E., 3-5 compound photocathodes: A new family of photoemitters with greatly improved performance // Proceedings of the IEEE. 1970. P. 1788-1802.

63. Пахневич A.A., Бакин B.B., Шайблер Г.Э., Терехов А.С. Эмиссия баллистических фотоэлектронов из p-GaN(Cs,0) с эффективным отрицательным электронным сродством. // ФТТ, т.49, вып.11. 2007. - С. 19761980.

64. Ковтонюк Н.Ф., Сальников Е.Н. Фоточувствительные МДП приборы для преобразования изображений. - М.: Радио и связь, 1990. - 160 с.

65. Новоселова А.В., Лазарева В.Б. Физико-химические свойства полупроводниковых веществ. М.: Наука. - 1979. - 340 с.

66. Гременок В.Ф., Ильчук Г.А., Никитин С.Е., Рудь В.Ю. Получение и фотоэлектрические свойства гетеропереходов ZnO-Cu(In, Ga)Se2. // Физика и техника полупроводников, -т. 39, вып. 2. -2005. -С. 218-221.

67. Тютиков A.M. Электронные умножители нового типа. // Успехи физических наук, т. 10, вып.З. 1970. - С. 467-503.

68. Скрипников А., Канальные фотоумножители PerkinElmer Optoelectronics. // Компоненты и технологии. 2005, №3. - С. 24-26.

69. Анисимова И.И., Глуховской Б.М. Фотоэлектронные умножители. —М.: Советское радио. 1974. 64 с.

70. Spear W.E., Lecomber P.G. Electronic Properties of Substituted Doped Amorphous Si and Ge // Phys. Mag., V. 33. 1976. - P. 935-949.

71. Carlson D.E. Amorphous Silicon Solar Cells // IEEE Trans on Electron Devices, Vol. ED-24. 1977. - P. 449-453.

72. Хамайкава Й. Аморфные полупроводники и приборы на их основе. М.: Металлургия. - 1986. - 376 с.

73. Адонин А. Новые возможности технологии БИС со структурой «кремний на сапфире». // Электронные компоненты, №3. 2000. - С. 2-6.

74. Lau S. S. Improvement of Crystalline Quality of Epitaxial Si Layers by IonImplantation Techniques. // Applied Physics Letters, NO. 1. 1979. - P. 34

75. Lam B.F., Mark Burgener M., Reedy R. Multi-GHz CMOS technology delivers new level of RF integration. // Defense Electronics, 2005. - P. 10-14.

76. Houssaye D.L. Fabrication of n-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistors with 0.2 fi m gate lengths in 500A thin film silicon on sapphire. // Journal of Vacuum Science & Technology B, vol. 10, No. 6, 1992, - P. 2954-2957.

77. Буткевич В. Г., Бочков В. Д., Глобус Е. Р. Фотоприемники и фотоприемные устройства на основе поликристаллических и эпитаксиальных слоев халькогенидов свинца // Прикладная физика, № 6. 2001. - С. 66-112.

78. Мартынов В.Н., Кольцов Г.И. Полупроводниковая оптоэлектроника: Учебное пособие для вузов. -М.: «МИСИС», 1999. - 400 с.

79. Пономаренко В.П., Филачев A.M. Фотоприемники и фотоприемные модули нового поколения (к 55-летию НИИ-801 — НПО «Орион») // Прикладная физика, № 6. 2001. - С. 20-38.