Информационно-измерительная система для измерения пониженных давлений тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.16, кандидат технических наук Солодимов, Иван Александрович

• Солодимов, Иван Александрович
• кандидат технических наук
• 2010

Оглавление диссертации кандидат технических наук Солодимов, Иван Александрович

Введение.

Глава 1. Анализ современного состояния и тенденций развития вакуумметрического приборостроения.

1.1 Вакуум как объект исследования с позиций измерительной техники.

1.2 Обобщенная характеристика методов и принципов измерения пониженного давления.

1.3 Анализ тенденций развития современного вакуумметрического приборостроения.

1.4 Анализ состояния отечественного вакуумметрического приборостроения и постановка задачи исследования.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Информационно-измерительная система для измерения пониженных давлений»

Быстрое развитие наукоемких отраслей промышленности, формирование новых направлений научных исследований требуют разработки новых и совершенствования существующих средств измерений (СИ). Заметную долю в общем объеме измерительных операций составляют измерения давлений ниже атмосферного (далее — пониженных давлений). Такие измерения необходимо проводить при контроле технологических процессов изготовления изделий электронной техники, при выращивании сверхчистых веществ и полупроводниковых материалов в химии, при разработке вакуумных коммутирующих устройств в электротехнике, при проведении управляемых термоядерных реакций в физике, при испытаниях космических аппаратов в условиях земной атмосферы и т. п. Точность задания и поддержания требуемых параметров вакуумной среды зачастую определяет не только качество получаемой продукции, но и принципиальную возможность осуществления технологического процесса.

Большой вклад в решение проблемы контроля параметров вакуумной среды внесли Гуляев М. А., ЕрюхинА. В., Розанов Л. Н. и их ученики [9, 16, 23, 52]. В теории и практике построения датчиков физических величин, вторичных преобразователей и методов обработки электрических сигналов широкую известность получили работы научных коллективов, возглавляемых ГутниковымВ. С. [17], Мартяшиным А. И. [35, 36], Шлян-диным В. М. [80], Шаховым Э. К. [77], Ломтевым Е. А. [20], Светловым А. В. [36], Мокровым Е. А. [37] и рядом других.

К числу основных тенденций развития вакуумной техники следует отнести переход к все более полной автоматизации вакуумно-технологических процессов. В настоящее время промышленность заинтересована в разработке и внедрении информационно-измерительных систем (ИИС) контроля и управления за процессами откачки [14] Основным фактором, сдерживающим внедрение ИИС в вакуумно-технологические процессы, является отсутствие современных вакуумметров, построенных на основе многофункциональных датчиков повышенной точности. Подавляющее большинство задействованных в технологических процессах отечественных датчиков вакуума не удовлетворяют современным требованиям по точности, диапазону измерения давления, уровню автоматизации и обработке информации. Для стандартных датчиков вакуума характерна большая погрешность, вызванная разбросом градуировочных характеристик, низкая надежность, обусловленная необходимостью использования стеклянных корпусов, низкая помехоустойчивость из-за передачи аналоговых выходных сигналов датчика, малых по уровню, на значительные расстояния [28].

Повысить достоверность контроля параметров вакуума можно за счет использования современных методов аналого-цифровой обработки измерительной информации и автоматизации вакуумно-технологических процессов путем внедрения в них ИИС управления и контроля за процессами откачки.

Актуальность решения поставленных вопросов и обусловила постановку данной работы.

Целью диссертационной работы является расширение диапазона и повышение точности измерения пониженного давления за счет использования в информационно-измерительной системе аппаратных и алгоритмических способов обработки измерительной информации.

Для достижения поставленной цели в работе сформулированы и решены следующие основные задачи:

1 Анализ физико-химических процессов, протекающих в вакууме, и определение его информативных параметров.

2 Разработка принципов построения широкодиапазонной информационно-измерительной системы, осуществляющей измерение пониженных давлений с помощью современных инструментальных и программных средств.

3 Разработка структуры унифицированного датчика вакуума, алгоритм функционирования которого не зависит от метода преобразования давления.

4 Выбор параметров вторичных электрических цепей датчиков вакуума на основе их моделирования.

5 Разработка, реализация и внедрение вакуумметров и автоматизированных систем мониторинга технологических процессов откачки на их основе.

В первой главе рассматриваются параметры вакуума как объекта исследования с позиций измерительной техники, анализируются методы измерения пониженного давления с целью выбора методов, наиболее полно удовлетворяющих требованиям современной науки и промышленности, дается оценка современному состоянию разработки и производства вакуумметров, анализируются тенденции развития современного вакуумметри-ческого приборостроения, формулируются требования к метрологическим и эксплуатационным характеристикам разрабатываемых в рамкам данной работы вакуумметров.

Во второй главе формулируются требования к проектированию вакуумметров, предлагается структура как интеллектуального датчика вакуума, так и электронного блока, рассматриваются особенности организации функционирования интеллектуальных датчиков вакуума и электронного блока, предложена система мониторинга процесса откачки вакуумных коммутирующих устройств, позволяющая повысить качество коммутирующих устройств за счет оперативного получения данных и возможности быстрого принятия мер в случае некорректной работы какого-либо откач-ного поста, входящего в систему.

Третья глава посвящена разработке интеллектуальных датчиков низкого и среднего вакуума. В главе проводится анализ физико-химических процессов, протекающих в датчиках низкого и среднего вакуума, позволяющий определить функцию преобразования и выявить оптимальные режимы их работы. На основе стандартного терморезистивного датчика разрабатывается интеллектуальный датчик низкого вакуума и проводится его метрологический анализ с целью выявления требований по точности к основным его узлам. Предлагается оригинальная структура микроэлектронного первичного измерительного преобразователя для термопарного датчика вакуума, реализованная с использованием методов тонкопленочной технологии, позволяющая сохранить электрические параметры стандартных датчиков при значительном снижении массогабарит-ных характеристик.

В четвертой главе рассматриваются особенности контроля давления при высоком вакууме. Показывается, что мерой давления при высоком вакууме является ионизационный ток магнито-разрядного датчика. Рассматриваются условия возникновения ионизации остаточных газов в вакууме.

С целью оптимизации характеристик датчика проводится компьютерное моделирование как высоковольтных источников напряжения, используемых для ионизации остаточного газа, так и измерителей ионизационных токов. Предлагается способ расширения предела измерения давления с помощью одного датчика.

Научная новизна работы заключается в следующем: предложены принципы построения информационно-измерительной системы для измерения пониженных давлений на основе унифицированных датчиков вакуума с различными методами преобразования; разработана обобщенная структурная схема унифицированного многофункционального датчика вакуума, в котором оценка результата преобразований формируется выполнением специального алгоритма принятия решения; предложен принцип построения датчика вакуума, позволяющий расширить диапазон измерения давления сочетанием в едином корпусе чувствительных элементов, реализующих различные методы преобразования.

Практическая значимость работы заключается в следующем: на основе стандартного терморезистивного преобразователя разработан и исследован тепловой вакуумметр, погрешность измерения давления в котором уменьшена в три раза по сравнению со стандартными тепловыми вакуумметрами за счет компенсации температурной погрешности и нелинейности преобразователя программными средствами; предложен миниатюрный термопарный первичный измерительный преобразователь, по своим характеристикам превосходящий стандартные манометрические термопарные преобразователи; предложена ИИС для измерения пониженного давления, позволяющая осуществлять мониторинг процесса откачки воздуха из рабочих камер вакуумных коммутирующих устройств; предложен широкодиапазонный датчик вакуума, сочетающий два метода преобразования давления.

На защиту выносятся:

1 Принципы построения информационно-измерительной системы, позволяющие комплектовать систему унифицированными датчиками вакуума и использовать единые алгоритмы управления, обработки результатов измерения и обмена информацией по каналам связи.

2 Обобщенная структурная схема многофункционального датчика вакуума, обеспечивающая формирование алгоритма принятия решения оценки результата преобразования.

3 Тепловой датчик низкого вакуума, реализованный на основе стандартного терморезистивного манометрического преобразователя и вакуумметр на его основе, позволивший уменьшить погрешность измерения давления по сравнению с существующими тепловыми вакуумметрами более чем в три раза за счет использования алгоритмических способов обработки измерительной информации.

4 Миниатюрный термопарный первичный измерительный преобразователь, обладающий более высокой чувствительностью и меньшими массогабаритными параметрами по сравнению со стандартными манометрическими термопарными преобразователями.

5 Принцип построения датчика вакуума, позволяющий расширить диапазон измерения давления совмещением двух методов преобразования.

По теме диссертации опубликовано 12 печатных работ, в том числе одна из них — в издании, рекомендованном ВАК.

Научные результаты, составляющие основное содержание диссертации, получены лично автором. Соавторы не возражают против использования в диссертации результатов совместных работ.

Заключение диссертации по теме «Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям)», Солодимов, Иван Александрович

Основные результаты и выводы по главе 4

1 Рассмотрены особенности контроля высокого вакуума, позволившие определить требования к проектированию вторичных цепей интеллектуальных датчиков высокого вакуума. Установлено, что при высоком вакууме давление измеряется косвенным методом через молекулярную концентрацию газа, преобразуемую в давление по уравнению газового состояния, при этом мерой давления является ионизационный ток, возникающий при тлеющем газовом разряде.

2 Напряжение зажигания тлеющего газового разряда подчиняется закону Пашена и зависит от произведения давления на расстояние между электродами, поэтому с целью исключения перерастания тлеющего разряда в дуговой анодное напряжение должно изменяться в зависимости от степени вакуума.

3 Разработан источник анодного напряжения для датчика высокого вакуума и проведено его компьютерное моделирование в программной среде Multisim фирмы National Instruments, а также и экспериментальное исследование, позволившее определить режимы его работы и основные характеристики.

4 Рассмотрены принципы построения усилителей сверхнизких токов, установлены основные схемотехнические решения построения усилителей для датчиков высокого вакуума, проведено их компьютерное моделирование и экспериментальные исследования, позволившие определить их основные метрологические характеристики.

5 Предложен широкодиапазонный интеллектуальный датчик давления, сочетающий два метода преобразования давления, позволяющий снизить стоимость как датчика, так и всего вакуумметра в целом при сохранении всех остальных преимуществ интеллектуальных датчиков, а также повысить надежность вакуумной камеры за счет уменьшения количества гермовводов.

Заключение. Основные результаты и выводы по работе

1. Выбраны информативные параметры при контроле вакуума, и определены метрологические требования к вакуумметрам.

2. На основе анализа тенденций развития вакуумметрической аппаратуры разработаны принципы построения широкодиапазонной информационно-измерительной системы, осуществляющей измерение пониженных давлений с применением интеллектуальных датчиков вакуума. Показана перспективность создания интеллектуальных датчиков вакуума, в состав которых входят не только первичный измерительный преобразователь, но и элементы вторичной электрической цепи, при этом в тракт преобразования сигнала вводятся средства аппаратной и алгоритмической коррекции результата измерений, позволяющей повысить точность измерения давления.

3. Предложена обобщенная структура унифицированного датчика вакуума, и разработан алгоритм его функционирования, которые позволили реализовать основные функции интеллектуальной обработки информации.

4. Предложена информационно-измерительная система мониторинга процесса откачки воздуха из вакуумных коммутирующих устройств, позволяющая повысить качество коммутирующих устройств за счет оперативного получения данных и возможности быстрого принятия мер в случае некорректной работы какого-либо откачного поста, входящего в систему.

5. Предложен интеллектуальный терморезистивный датчик вакуума на основе стандартного датчика ПМТ-6М и проведено его схемотехническое моделирование, позволившее определить требования по точности к основным узлам. Разработанный датчик внедрен в установку термовакуумной сушки силовых трансформаторов в ЗАО «ПГЭС» (г. Пенза).

6. Предложен миниатюрный термопарный датчик вакуума, реализованный с помощью методов тонкопленочной технологии, позволившей резко сократить его массогабаритные параметры, при этом повысить чувствительность по сравнению со стандартными термопарными датчиками за счет уменьшения влияния помех при сокращении расстояния до блоков аналого-цифровой обработки сигнала.

7. Определены требования к вторичным цепям датчиков высокого вакуума. Разработан управляемый источник высокого напряжения, зависящего от измеряемого давления, что позволяет избежать возникновения дугового разряда и предотвратить повреждение датчика.

8. Разработан и экспериментально исследован логарифмический усилитель токов, динамический диапазон которого составляет 6 декад, минимальный входной ток — 2 нА, максимальный — 2,5 мА. Разработан и экспериментально исследован усилитель ультранизких токов на основе интегратора с диапазоном выходных токов от 0,1 пкА до 1 нА. Усилители использовались в устройстве измерения ионизационных токов, применяемом при отработке технологического процесса термотренировки электродов вакуумных конденсаторов, разрабатываемых в рамках ОКР «Вольт», выполняемой по заказу Минпромторга РФ.

9. Предложены принципы построения интеллектуального датчика вакуума, позволяющего расширить диапазон преобразуемых давлений за счет сочетания двух методов преобразования.

Перечень принятых сокращений

АК — аналоговый коммутатор АЦП - аналого-цифровой преобразователь БГР - блок гальванической развязки БП - блок питания

БФАС - блок формирования аналоговых сигналов

ВКУ - вакуумное коммутирующее устройство

ГОЧ - генератор опорной частоты

ДНВ - датчик низкого вакуума

ДСВ - датчик среднего вакуума

ДВВ - датчик высокого вакуума

ИДВ - интеллектуальный датчик вакуума

ИИС - информационно-измерительная система

ИВН - источник высокого напряжения

ИУ - исполнительное устройство

ИРТ - измеритель-регулятор температуры

МП - микропроцессор

НУ - нормирующий усилитель

ОП — откачной пост

ОУ - отсчетное устройство

ПИП - первичный измерительный преобразователь

ПТ - повышающий трансформатор

ПУ - пульт управления

ПНТ - преобразователь напряжения в ток

РМ - радиомодем

СИ - средство измерения

УН -умножитель напряжения

УТ - усилитель тока

ФНЧ - фильтр нижних частот

ЦАП - цифроаналоговый преобразователь

ЦПУ - центральное процессорное устройство

ЭНП - энергонезависимая память

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Солодимов, Иван Александрович, 2010 год

1. Агейкин Д. И., Костина Е. Н., Кузнецова Н. Н. Датчик систем автоматического контроля и регулирования. Справочные материалы. М: Гос. научно-техн. изд-во машиностроительной литературы, 1959. 579 с.

2. Алейников А. П., Цапенко М. П. Многофункциональные датчики // Измерение Контроль Автоматизация. 1990. №2, С. 50-56.

3. АшЖ., АндрэП., Бофрон Ж. Датчики измерительных систем: В 2-х книгах / Пер. с франц. М.: Мир, 1992.

4. Библиотека электронных компонентов. Выпуск 11: Датчики давления фирмы 8еп8ут. М.: ДОДЭКА, 2000. - 40 с.

5. Бобровников Н. Р., Яркин С. В., Гридин Ю. Н., Стры-гин В. Д., Чертов Е. Д. Математическое обеспечение микропроцессорных преобразователей аналоговых пневматических сигналов. // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2002 № 2, С. 18-20.

6. Бромберг Э. М., Куликовский К. Л. Тестовые методы повышения точности измерений — М.: Энергия, 1978. 176 с.

7. Бубенков А. Н. Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем М.: Высшая школа, 1989. - 335 с.

8. Вакуумная техника: Справочник / Е. С. Фролов, В. Е. Минайчев, А. Т. Александрова и др.; под общей ред. Е. С. Фролова -М.: Машиностроение, 1985. — 360 с.

9. ВостровГ. А., Розанов Л. Н. Вакуумметры — Л.: Машиностроение, 1967. — 216 с.

10. ГОСТ 27758-88. Вакуумметры. Общие технические требования. -М.: Изд-во стандартов, 1989. 34 с.

11. ГОСТ 8.009-84. ГСИ. Нормирование и использование метрологических характеристик средств измерений. — М.: Изд-во стандартов, 1986.-37 с.

12. ГОСТ Р 51086-97. Датчики и преобразователи физических величин электронные. Термины и определения. — М.: Изд-во стандартов, 1998. -34 с.

13. Гершов В. И., Кутуков К. И. Многоканальный измерительный преобразователь для систем сбора данных и управления. // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2002. № 2., С. 16-18.

14. Грошковский Я. Техника высокого вакуума — М.: Мир, 1975. 622 с.

15. Гуляев М. А., Ерюхин А. В. Измерение вакуума (измерение малых абсолютных давлений) — М.: Издательство комитета стандартов, мер и измерительных приборов при Совете Министров СССР, 1967. — 150 с.

16. ГутниковВ. С. Интегральная электроника в измерительных устройствах. Л.: Энергоатомиздат, 1988. — 158 с.

17. Дешман С. Научные основы вакуумной техники М.: Мир, 1964.-510 с.

18. Дж. Диксон Проектирование систем: изобретательство, анализ и принятие решений. — М.: Мир, 1969. — 440 с.

19. Добровинский И. Р., Ломтев Е. А. Проектирование ИИС для измерения параметров электрических цепей. — М.: Энергоиздат, 1997. — 120 с.

20. Данилов А. А. Правовые и организационные проблемы метрологического обеспечения при эксплуатации ИС // Сборник докладов международной конференции «Правовые и организационные проблемы метрологического обеспечения». Пенза, 2004. с. 50—54.

21. Джексон Р. Г. Новейшие датчики: Справочник -М.: Техносфера, 2007. 380 с.

22. Ерюхин А. В. Основы вакуумных измерений М.: Машиностроение, 1977. — 60 с.

23. Золин С, Махов В., Корниенко Н., Кошта А. Мониторинг газовых регуляторных пунктов. // Современные технологии автоматизации. 1996. №4,-С. 28-31.

24. Земельман М. А. Автоматическая коррекция погрешностей измерительных устройств. М.: Изд-во стандартов, 1972. - 193 с.

25. Исмаилов Ш. Ю. Электрические измерения: Учеб. пособие. -СПб, 2000.-290 с.

26. Карпов Е. М. Измерительные преобразователи с двумя степенями свободы и их применение. М: Энергия, 1972. — 104 с.

27. Кирилина Р. С. Манометры. Вакуумметры. Мановакууммет-ры: Справ, кн. метролога. -М.: Изд-во стандартов, 1993. 249 с.

28. Кузьмин В. В. Состояние и тенденции развития современного вакуумметрического приборостроения // Вакуумная техника и технология. 2001. т. 11, № 1,С. 3-16.

29. Кузьмин В. В., Левина Л. Е., Творогов И. В. Вакуумметриче-ская аппаратура техники высокого вакуума и течеискания. — М.: Энерго-атомиздат, 1984 г. — 240 с.

30. Куликовский К. Л. Электрометрические преобразователи постоянного напряжения. — М.: Энергия, 1968. — 512 с.

31. Лекк Дж. Измерение давления в вакуумных системах М.: Мир, 1966.-208 с.

32. Левшина Е. С., Новицкий П. В. Электрические измерения физических величин: (Измерительные преобразователи) Л.: Энерго-атомиздат. Ленингр. отделение, 1983. — 320 с.

33. Ланис В. А., Левина Л. Е. Техника вакуумных испытаний. — М.-Л.: Госэнергоиздат, 1963. — 512 с.

34. Мартяшин А. И., Шахов Э. К., Шляндин В. М. Преобразователи электрических параметров для систем контроля и измерения. — М.: Энергия, 1976.-392 с.

35. Мокров Е. А. Проблема развития датчиков в информационно-измерительных системах ракетно-космических комплексов. //Измерительная техника. 2001. № 12. С. 6-12.

36. Михеев М. Ю., Сёмочкина И. Ю., ЧувыкинБ. В. Измерительные преобразователи на базе замкнутых структур интегрирующего типа // Под. ред. В. В. Усманова. Пенза: Изд-во ПТИ, 2000. - 100 с.

37. Михотин В. Д., Шахов Э. К. Дискретизация и восстановление сигналов в информационно-измерительных системах: Учеб. пособие. Пенза: Изд-во ППИ, 1982. - 92 с.

38. Методы практического конструирования при нормировании сигналов с датчиков. По материалам семинара Practical design techniques for sensor signal conditioning. Санкт-Петербург: АВТЭКС.

39. НауманнГ., МайлингВ., Щербина А. Стандартные интерфейсы для измерительной техники. М.: Мир, 1982. — 304 с.

40. Новицкий П. В., Зограф И. А. Оценка погрешностей результатов измерений. — JL: Энергоатомиздат, 1991. 304 с.

41. Никольский С. М. Курс математического анализа, в 2- томах, т.2 М.: Наука, 1983. - 464 с.

42. Основы инвариантного преобразования параметров электрических цепей / А. И. Мартяшин, К. J1. Куликовский, С. К. Куроедов, JI. В. Орлова; Под ред. А. И. Мартяшина. — М.: Энергоатомиздат, 1990. — 216 с.

43. Основы вакуумной техники: Справочное пособие/ под ред. JI. Н. Розанова-М.: Машиностроение, 1990. -460 с.

44. Панфилов Д. И., Иванов B.C. Датчики фирмы Motorola. -М.: «Додэка», 2000. 96 с.

45. Пасынков В. В. Материалы электронной техники — М.: Высшая школа, 1980. 406 с.

46. Проектирование датчиков для измерения механических величин / Под. ред. Е. П. Осадчего. М.: Машиностроение, 1979. - 350 с.

47. Прянишников В. А. Интегрирующие цифровые вольтметры постоянного тока. М.: Энергия, 1990. — 320 с.

48. Пипко А. И., Плисковский В. Я., Пенчко Е. А. Конструирование и расчет вакуумных систем. — М.: Энергия, 1979. — 207 с.

49. Рабинович С. Г. Погрешности измерений— Л.: Энергия, 1978.-262 с.

50. Розанов Л. Н. Вакуумная техника: Учебник для вузов. М.: Высшая школа, 1985. - 207 с.

51. Светлов А. В. Принципы построения преобразователей параметров многоэлементных двухполюсных электрических цепей. Пенза: Изд-во ПТУ, 1999.-144 с.

52. Симонович И. Я. Конструкция и применения электровакуумных реле. — М.: Энергоатомиздат, 1986. 252 с.

53. Солодимов И. А. Микропроцессорный системный вакуумметр // Надежность и качество. Труды международ, симпоз. В 2-х томах, т. 1. Пенза: Изд-во ПТУ, 2007. - С. 364-365.

54. Солодимов И. А. Измеритель-регулятор низкого давления для установок вакуумного напыления // Новые технологии в образовании, науке и экономике. Труды ХУП-го Междунар. Симп. — М.: Инф-изд. центр Фонда поддержки вузов, 2007. С. 94-97.

55. Солодимов И. А. Микропроцессорный измеритель-регулятор низкого давления. Материалы для пассивных радиоэлектронных компонентов // Труды Международной научно-технической конференции. — Пенза: Изд-во НИИЭМП, 2007. С. 156-161

56. Солодимов И. А. Интеллектуальный датчик вакуума для контроля герметичности аэрокосмических аппаратов / И. А. Солодимов, И. В. Волохов, Е. Н. Пятышев // Надежность и качество : тр. междунар. симп. В 2 томах, т. 1 Пенза : Изд-во ПТУ, 2008. -С. 483-485.

57. Солодимов И. А. Обзор современного состояния и тенденций развития техники измерения низкого давления // Новые технологии в образовании, науке и экономике. Труды ХХМеждунар. Симп. — М.: Инф-изд. центр Фонда поддержки вузов, 2008. С. 136—142.

58. Солодимов И. А. Широкодиапазонный интеллектуальный датчик вакуума // Датчики и системы №12, 2009. С. 41—49.

59. Солодимов И. А. Измерители токов ионизационных датчиков вакуума // Межвузовский сборник «Цифровая измерительная техника», 2009.-С. 153-163.

60. Солодимов И. А. Система мониторинга процесса откачки вакуумных коммутирующих устройств // Надежность и качество. Труды международ, симпоз. В 2-х томах, т. 1. Пенза: Изд-во ПТУ, 2009. — С. 123-124.

61. Солодимов И. А. Цифровой мановакуумметр для климатических барокамер// Материалы всероссийского форума студентов, аспирантов и молодых ученых «Наука и инновации в технических университетах». СПб.: Изд-во Политехи, ун-та, 2007 — С. 41—42.

62. Солодимов И. А. Интеллектуальные датчики вакуума: принципы построения и особенности функционирования, межвузовский сборник «Цифровая измерительная техника», 2010, ожидается публикация.

63. Солодимов И. А. Повышение точности термопарных вакуумметров /А. С. Ишков, В. И. Кулапин, И. А. Солодимов // Труды I Международной научно-практической интернет-конференции «Молодежь. Наука. Инновации», 2010 — С. 54-60.

64. Смирнова О., Троицкий Ю. Интеллектуальные датчики давления. — Компоненты и технологии, №7,2006. — С. 41—54.

65. Строганов Р. П. Управляющие машины и их применение. Учебное пособие для студентов спец. «Автоматика и телемеханика». 2-е изд., перераб. и доп. М: Высшая школа, 1986. — 252 с.

66. Титце У., Шенк К. Полупроводниковая схемотехника: Справочное руководство. М: Мир, 1982. - 512 с.

67. Телец В. А., Никифоров А. Ю. Микроэлектронные преобразователи физических величин и компоненты датчиков — перспективная элементная база микросистемной техники. // Микропроцессорная техника, 2001. № 1.-С. 41-53.

68. Федорков Б. Г., Телец В. А. Микросхемы ЦАП и АЦП: функционирование, параметры, применение. — М.: Энергоатомиздат, 1990.-320 с.

69. Фролов Е. С., Минайчев В. Е. Вакуумная техника. М.: Машиностроение, 1985. — 360 с.

70. ФроловЕ. С., Никулин Н. К. Теоретические основы процессов высокого вакуума М.: МВТУ им. Н. Э. Баумана, 1978. - 72 с.

71. Хоровиц П., Хилл У. Искусство схемотехники: В 2-х томах, т. 1 / Пер. с англ. М.: Мир, 1983. - 598 с.

72. Цапенко М. П. Измерительная информационная система. Учебное пособие для вузов. — М.: Энергия, 1974., 320 с.

73. Шахов Э. К. Методы построения интегрирующих АЦП: Учеб. пособие. Пенза: Изд-во ППИ, 1984. - 92 с.

74. Шенк X. Теория инженерного эксперимента — М.: Мир, 1972. -381 с.

75. Шлыков Г. П. Функциональный и метрологический анализ средств измерений и контроля: Учебн. пособие. — Пенза.: Изд-во ПТУ, 1998.-96 с.

76. Шляндин В. М. Цифровые измерительные устройства. Учебник для вузов — М.: Высшая школа, 1981. 335 с.

77. Шлетт М. Тенденции индустрии встроенных микропроцессоров -М: Открытые системы, 1998. 50 с.

78. Шило В. J1. Линейные интегральные схемы в радиоэлектронной аппаратуре М.: Сов. радио, 1979. - 368 с.

79. Электрометрические измерители тока / Ансо M. X., Ро-ос М. Э., Сакс О. В. и др. // Приборы и техника эксперимента. 1989. -№6 С. 25-38.

80. Электрические измерения неэлектрических величин / Под. ред. П. В. Новицкого — Л.: Энергия, 1975. 576 с.

81. Ярвуд Дж. Техника высокого вакуума. Теория, практика, применение в промышленности и свойства материалов / Пер. с нем. -М.: Государственное энергетическое изд-во, 1960. — 185 с.

82. Seeker P. Е., Chubb J. N / Instrumentation for electrostatic measurements // J. Electrostatics. 1984 vol.16, № 1. P. 1-19.

83. Electrometres: pensez désormais a 1 ampliop // Mesures / -1988 / vol.53, № l.P. 37-42.

84. Lange W. T. Gauges for Ultrahigh Vacuum, Phys. Today 25(8), 40 (1972), P. 23-35.

85. Smidt G. Electrical discharges in high vacuum. J. Acta Phys. Hungar., 1958, vol.9 №1, P. 33-39.