Фазовая коррекция излучения технологических лазеров тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.07, кандидат технических наук Иванов, Николай Львович

• Иванов, Николай Львович
• кандидат технических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат технических наук Иванов, Николай Львович

ВВЕДЕНИЕ.

Глава 1. ФОРМИРОВАНИЕ ИЗЛУЧЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ

ЛАЗЕРОВ.

1.1. Современное состояние лазерной технологии.

1.2. Технологические требования к процессам лазерной обработки.

1.3. Оптические системы технологических лазеров.

1.3.1. Оптические резонаторы.

1.3.2. Передающие ЛОС.

1.3.3. Формирующие ЛОС.

1.3.4. ЛОС многоканальных ЛТУ.

1.3.5. ЛОС для перемещения лазерного излучения относительно обрабатываемого образца.

1.3.6. Адаптивные оптические системы.

1.4. Особенности расчетов оптических систем технологических лазеров.

1.4.1. Расчет потерь энергии излучения в ЛОС.

1.4.2. Оптические расчеты ЛОС.

Выводы по главе 1.

Глава 2. ГАБАРИТНЫЙ РАСЧЕТ ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ ДЛЯ

СОГЛАСОВАНИЯ ИСХОДНЫХ И ТРЕБУЕМЫХ ПАРАМЕТРОВ ИЗЛУЧЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ

ЛАЗЕРОВ.

2.1. Выбор рационального метода описания лазерного излучения.

2.2. Определение совокупности параметров сформированного лазерного излучения для описания требований со стороны различных технологических задач.

2.3. Зависимость параметров лазерного излучения от величины относительной длины технологической зоны излучения.

2.4. Конструкции ОС для формирование лазерного излучения с заданной относительной длинной технологической зоны излучения.5£

2.5. Различные случаи формирования лазерного излучения оптическими системами.

2.5.1. Вычисление зависимостей между положениями и размерами сформированной и исходной перетяжек при формировании излучения тонкой линзой.

2.5.2. Формирование перетяжки заданного размера на заданном расстоянии от перетяжки известного размера.

2.5.3. Расчет двухкомпонентной системы для формирования перетяжки заданного размера на заданном расстоянии от перетяжки известного размера.

2.5.4. Габаритный расчет двухкомпонентной ОС для согласования исходных и требуемых параметров излучения при заданном положении плоскости установки первого компонента.

2.5.5. Габаритный расчет Л ОС для согласования исходных и требуемых параметров излучения при заданном положении плоскости обработки относительно выходного окна лазера.

2.5.6. Обобщенная методика габаритного расчета ЛОС для ЛТУ.

Выводы по главе 2.

Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТЕЙ ПАНКРАТИЧЕСКИХ

СИСТЕМ РАЗЛИЧНЫХ КОНСТРУКЦИЙ.

3.1. Панкратические системы механической компенсацией.

3.1.1. Двухкомпонентные ЛОС.

3.1.2. Трехкомпонентные ЛОС (исходный вариант).

3.1.3. Трехкомпонентные ЛОС со вторым неподвижным компонентом.

3.1.4. Трехкомпонентные ДОС с последним неподвижным компонентом.

3.1.5. Трехкомпонентные ДОС с тремя подвижными компонентами.

3.2. Панкратические системы с оптической компенсацией.

Выводы по главе 3.

Глава 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОПРЕДЕЛЕНИЕ ОБЛАСТИ

ВОЗМОЖНОГО ИСПОЛЬЗОВАНИЯ РАЗРАБОТАННОЙ МЕТОДИКИ ДЛЯ РАСЧЕТА ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ РЕАЛЬНЫХ ЛАЗЕРНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ УСТАНОВОК.

4.1. Определение расстояния-от плоскости промежуточной перетяжки до главной плоскости формирующего компонента.

4.1.1. Теоретическое обоснование метода определения положения промежуточной перетяжки.

4.1.2. Оценка точности используемого метода расчета радиуса лазерного пучка.

4.2. Экспериментальные исследования физической модели с Не-Ме-лазером.

4.3. Экспериментальные исследования физической модели с АИГ:Ш- лазером.

4.4. Обсуждение результатов экспериментальных исследований.

Выводы по главе 4.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Фазовая коррекция излучения технологических лазеров»

Лазерные методы в последние четыре десятилетия заняли достойное место среди современных технологий обработки различных материалов. Успешное использование лазеров в 60-х годах для прошивки отверстий в часовых камнях постепенно развилось до их применения в различных отраслях промышленности для разделения и сварки материалов различного типа, удаления изоляции проводов и лакокрасочных покрытий, маркировки, гравировки и других видов поверхностной обработки различных материалов и изделий и т.п.

Диапазон применения лазерных технологий в мировой практике постоянно расширяется. При этом каждая новая технология выдвигает специфические требования к параметрам лазерного излучения в области его взаимодействия с обрабатываемым материалом [1-21].

Лазерное излучение можно представить в виде распространяющейся в пространстве световой волны. В результате преобразования в оптических средах и устройствах в такой световой волне меняется амплитуда (интенсивность), фаза (оптический путь), частота (длина волны) и состояние поляризации. Одним из факторов, обуславливающих применение лазерного излучения для обработки материалов, является возможность его фазовой коррекции, т.е. изменения пространственных параметров до требуемых значений. В мировой практике фазовую коррекцию излучения принято называть его формированием. Формирование излучение, как известно, осуществляется с помощью оптических систем (ОС).

Анализ литературных данных, посвященных разработке и использованию современных лазерных технологических установок (ЛТУ) показал, что в повышении эффективности их работы, наряду с улучшением параметров технологических лазеров, существенное влияние оказывает создание новых методов формирования лазерного излучения и управления его пространственным положением (рис.В.1).

Рис.В.1. Некоторые перспективные направления развития ЛТУ, связанные с усовершенствованием ЛОС.

Как правило, ОС для ЛТУ проектируются в соответствии с требованиями отдельных процессов обработки, что не позволяет осуществлять быструю переналадку установки для выполнения других технологических операций. В настоящее время, в связи с расширением спектра задач лазерной обработки материалов, а также повышением требований к гибкости производства, возникает необходимость применения в ЛТУ универсальных лазерных оптических систем (ЛОС) [27].

Вопросы построения оптических схем ЛТУ в систематизированном виде в отечественной литературе до сих пор не излагались, между тем, оптическая схема имеет решающее значение для достижения требуемого высокого качества обработки материалов мощным лазерным лучом. Поэтому композиция и расчет ЛОС вызывают значительный интерес со стороны специалистов, занимающихся разработкой и эксплуатацией лазерного технологического оборудования.

Длительное время основными технологическими лазерами являлись С02-лазеры, вследствие их большой мощности и достаточно высокого КПД. В связи с тем, что существующие оптические материалы, прозрачные для длины волны 10,6 мкм, обладают рядом существенных недостатков (низкая термостойкость, высокая стоимость и т.д.), ОС таких ЛТУ представляли собой, как правило, простейшие одно- или двухкомпонентные фокусирующие системы, так как применение сложных ЛОС вело к неоправданному повышению стоимости ЛТУ. Поэтому практически все вопросы, связанные с необходимостью повышения, например, глубины проплавления при лазерной сварке, решались, в основном, не рациональным формированием излучения с помощью сложных ЛОС, а повышением выходной - мощности СОг-лазера. С помощью твердотельных лазеров осуществлялись лишь процессы обработки материалов малых толщин (микросварка, гравировка и т.п.), и при этом основным требованием к таким ОС являлось достижение минимально возможного диаметра лазерного пучка в плоскости обработки. Такая задача решается с помощью ЛОС, представляющей собой коллиматор и одиночный фокусирующий компонент. Таким образом, исследование вопросов формирования излучения технологических лазеров оптическими системами долгое время было ограничено практической целесообразностью.

В последнее десятилетие, в связи со значительным усовершенствованием элементной базы твердотельных, в частности, АИЛЫс!-лазеров (к = 1,06 мкм), область их применения для обработки материалов существенно расширяется. Так как для формирования излучения таких лазеров могут быть использованы элементы, изготовленные из обычных оптических стекол, то все более актуальным становится вопрос разработки конструкций ЛОС для ЛТУ с твердотельными лазерами, предназначенных для осуществления процессов обработки, традиционно реализуемых с помощью мощных С02-лазеров. Кроме того, в связи с вышеизложенным, появилась реальная возможность создания универсальных ЛОС, позволяющих в широких пределах изменять параметры формируемого лазерного излучения и, тем самым, осуществлять самые различные процессы обработки материалов с помощью одной ЛТУ.

Между тем, разработка рациональных конструкций таких систем сдерживается тем, что требования к формированию лазерного излучения со стороны различных технологических процессов различны и часто формулируются по разным критериям, в зависимости от вида обработки и используемой модели лазерного излучения, в значительной степени определяющей конструкцию формирующей ЛОС. Это затрудняет однозначный выбор исходного варианта такой системы.

В связи с вышеизложенным, разработка обобщенной методики расчета ЛОС, формирующих излучение твердотельных технологических лазеров для осуществления различных технологических процессов, а также составление рекомендаций по рациональным конструкциям таких систем представляют собой актуальную задачу и имеют практическую ценность.

Решение указанных вопросов составило цель нашего исследования, а именно: исследование особенностей формирования оптическими системами мощного лазерного излучения для технологических целей и разработка методики расчета рациональных конструкций таких систем, исходя из решаемых ими задач.

Для достижения этой цели необходимо было решить следующие задачи:

• провести анализ существующих моделей лазерного излучения и определить наиболее рациональную из них с точки зрения реализации задач лазерной технологии;

• сформулировать совокупность параметров, с одной стороны, однозначно определяющих характер взаимодействия лазерного излучения определенной мощности с веществом, а с другой стороны, являющихся исходными для расчета формирующих ОС;

• на основании анализа существующих методов расчета ЛОС разработать обобщенную методику габаритного расчета рациональных конструкций таких систем применительно к задачам лазерной технологии;

• на основе анализа требований к универсальным ЛОС, а также обзора используемых типов лазеров, определить необходимый диапазон изменения размеров лазерного пучка в зоне обработки; разработать математические модели различных конструкций панкратических систем, приемлемых для решения данной задачи; исследовать полученные математические модели с целью определения их возможностей и составления рекомендаций по использованию отдельных конструкций таких систем;

• провести экспериментальные исследования отдельных конструкций ЛОС с целью определения степени соответствия теоретических и экспериментальных результатов.

На основании анализа и обобщения литературных и патентных данных была проведена классификация ЛОС, применяемых в ЛТУ, исходя из выполняемой ими задачи, и выявлены перспективные направления усовершенствования конструкций таких систем; определен рациональный, по мнению автора, метод расчета ДОС; сформулированы универсальные параметры формируемого лазерного излучения.

На основе анализа существующих методов расчета ЛОС, а также проведенных символьных преобразований известных выражений, описывающих прохождение лазерного излучения через ОС, разработана обобщенная методика габаритного расчета ЛОС для ЛТУ и представлены в общем виде решения различных конкретных задач формирования лазерного излучения для технологических целей, а также представлены результаты расчетов отдельных ЛОС. Представлен алгоритм разработанной методики.

Методом математического моделирования проведены исследования различных моделей панкратических ЛОС. Даны рекомендации по использованию отдельных конструкций таких систем.

Фотоэлектрическим (модели с He-Ne- и AHT:Nd-лазерами) методом проведены экспериментальные исследования отдельных конструкций формирующих ЛОС. Для обеспечения аналитического описания экспериментов был разработан косвенный полуэмпирический метод определения положения плоскости промежуточной (мнимой) перетяжки относительно главной плоскости последнего компонента формирующей ОС.

Методом математической аппроксимации были получены эмпирические поправки к теоретическим выражениям, соответствующие результатам проведенных экспериментов. Все математические преобразования и расчетные вычисления производились в среде автоматизированных вычислений MCAD 5.0.

Результаты данной работы позволяют специалистам, занимающимся разработкой и эксплуатацией лазерного технологического оборудования, оперативно выбрать рациональную, в зависимости от конкретной технологической задачи и используемого лазера, конструкцию ЛОС и провести ее габаритный расчет. Данное исследование также может служить теоретической основой для разработки и создания универсальных ЛОС, а также являться отцравной точкой для дальнейших теоретических и экспериментальных исследований.

Диссертационная работа выполнялась в Московском государственном университете геодезии и картографии (МИИГАиК). Экспериментальные исследования проводились на базе НТФ "ОПТЭКС" (г. Москва), а также на кафедре МТ-12 МГТУ им. Н.Э. Баумана.

Основные результаты исследований, которые выносятся на защиту:

• совокупность параметров, предназначенная для формулирования требований к формированию лазерного излучения для достаточно широкого круга технологических задач (резка, сварка, прошивка отверстий, локальная термообработка и т.п.);

• способ формирования лазерного излучения в виде квазицилиндрической световой трубки;

• обобщенная методика определения основных параметров рациональных конструкций ЛОС для решения различных технологических задач;

• инженерные формулы для расчета фокусного расстояния одного из компонентов двухкомпонентной ОС, согласующей исходные и требуемые параметры лазерного излучения, при заданном значении фокусного расстояния другого компонента;

• результаты теоретических исследований панкратических ЛОС;

• результаты экспериментальных исследований.

Заключение диссертации по теме «Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы», Иванов, Николай Львович

Основные результаты диссертационной работы автор видит в следующем:

1. Проведена классификация ОС ЛТУ, на основании которой может осуществляться дальнейшая систематизация сведений по этому вопросу, а также могут быть сформулированы задачи исследований с целью создания новых типов таких систем.

2. Предложен новый способ формирования излучения, повышающий эффективность обработки материалов значительных толщин.

3. Разработана методика габаритного расчета ЛОС, позволяющая определить конструкцию ОС, требуемой для реализации конкретных технологических процессов обработки материалов, и рассчитать ее основные параметры. Данная методика применима для излучения с гауссовым профилем распределения энергии, что, согласно сведениям, изложенным в литературе, является типичным случаем при технологическом использовании лазеров.

4. Созданы математические модели двух- и трехкомпонентных панкратических ЛОС, результаты исследования которых могут служить основой для создания универсальных ОС ЛТУ.

5. Отдельные конструкции панкратических ЛОС, исследованные в данной работе, рекомендованы к использованию в макете для экспериментального определения оптимальных режимов обработки материалов.

6. Отработана методика измерений распределения энергии в поперечном сечении мощного лазерного излучения. Результаты обработки соответствующих измерений могут быть использованы для разработки математической модели лазерного излучения неопределенномодового состава.

7. Разработанная методика расчета ЛОС и оптические схемы, полученные на основе анализа результатов проведенных исследований, переданы на предприятия-изготовители ЛТУ.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Иванов, Николай Львович, 2000 год

1. Абильсиитов Г.Р., Велихов Е.П., Голубев B.C., Григорьянц А.Г., Лебедев Ф.В., Николаев Г.А. Мощные газоразрядные СОг-лазеры и их применение в технологии. - М.: Наука, 1984. - 106 с.

2. Крылов К.И., Прокопенко В.Т., Митрофанов А.С. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении. М.'.Машиностроение, 1978. - 336с.

3. Лазеры в технологии / Под ред. М.Ф. Стельмаха. М.¡Энергия, 1975. -216 с.

4. Промышленное применение лазеров /Под ред. Г. Кебенера. Пер. с англ. под ред. И.В. Зуева. М.: Машиностроение, 1988. - 280 с.

5. Реди Дж. Промышленные применения лазеров. М.: Мир, 1981. - 636 с.

6. Le laser, outil de production pour l'an 2000// La revue polytechnique. 1995. -№6-7.-P.357-358.

7. Андрияхин В.M. Процессы лазерной сварки и термообработки металлов. -М.: Наука, 1988. 220 с.

8. Григорьянц А.Г., Шиганов И.Н. Лазерная сварка металлов. М.: Высшая школа, 1988. - 207 с.

9. Soudage par rayon laser// La revue polytechnique. 1997. - № 5. - P.257.

10. Григорьянц А.Г., Соколов A.A. Лазерная обработка неметаллических материалов. M.: Высшая школа, 1987. - 191 с.

11. Григорьянц А.Г., Соколов А.А. Лазерная резка металлов. М.: Высшая школа, 1988. - 127 с.

12. Крупа Н.Н. Формирование субмикронной фазовой структуры методом лазерного скрайбирования пленок карбида кремния// Оптический журнал. -1998.-т. 65. № 3. - с. 80-82.

13. Cossavella M., Kaplan D., Milosevic Z. Comportement en emboutissage de pieces découpées par laser// Opto électronique. 1989. - № 51. - P.31-36.

14. Faisceau laser guidé dans un jet d'eau// La revue polytechnique. 1997. - № 8.- P.450-451.

15. Заявка 3-48485 Япония, МКИ G02B27/00, B23K26/06. Лазерное устройство для пробивки отверстий/ К.К. Тосиба (Япония) № 56-124714; Заявл. 11.08.81; Опубл. 24.07.91; НКИ 8106-2Н, 7920-4Е.

16. Международная заявка 90/01392 РСТ, МКИ В23К26/06. Способ образования глубокого паза в алмазе высокоэнергетическим лазерным лучом/ V. Cooper et àl. (Великобритания). № 00942; Заявл. 15.08.89; Опубл. 22.02.90.

17. Григорьянц А.Г., Сафонов А. Н. Методы поверхностной лазерной обработки. М.: Высшая школа, 1987. - 191 с.

18. Marcus P., Moulin G., Siffre J-M. Fusion superficielle et revêtement par laser C02// Opto électronique. 1989. - № 50. - P.38-44.

19. Rechargement dur par laser de puissance// La revue polytechnique. 1993. -№11. - P.804.

20. Виттеман В. СОг-лазеры /Пер. с англ. под ред. Н.Н. Соболева. М.: Мир, 1990.- 360 с.

21. Голубев B.C., Лебедев Ф.В. Физические основы технологических лазеров.- М.: Высшая школа, 1987. 191 с.

22. Голубев B.C., Лебедев Ф.В Инженерные основы технологических лазеров.- М.: Высшая школа, 1987. 176 с.

23. Мак А.А., Соме Л.Н., Фромзель В.А., Яшин В.Е. .Лазеры на неодимовом стекле. М.: Наука, 1990. - 287 с.

24. Микаэлян А.Л., Тер-Микаэлян М.Л., Турков Ю.Г. Оптические генераторы на твердом теле. М.: Советское радио, 1968. - 262 с.

25. Блинков В.В., Вакуленко В.М., Ковш И.Б., Усанов Ю.Я. Мощные лазеры для технологических применений и лазерные технологические установкидля машиностроения / Итоги науки и техники, сер. Электроника. М.: ВИНИТИ, 1991.-т. 28.

26. Справочник по лазерной технике/ Пер. с нем. М.: Энергоатомиздат, 1991. - 544 с.

27. Технологические лазеры: Справочник в 2 т. Т.1: Расчет, проектирование и эксплуатация/ Под общ. ред. Г.А. Абельсиитова. М.-.Машиностроение, 1991.- 432 с.

28. Технологические лазеры: Справочник в 2 т. Т.2: Системы автоматизации. Оптические системы. Системы измерения / Под общ. ред. Г.А. Абельсиитова. М.: Машиностроение, 1991. - 544 с.

29. Лазеры в автомобильной промышленности// Лазерные новости. 1997. -№4.

30. Плохих А.П. Мощные оптические квантовые генераторы: Учеб. издание. -М.: Изд-во МАИ, 1994. 96 с. .

31. Заявка 63-215390 Япония, МКИ В23К26/00, Í01L31/04, H01S31/10. Способ лазерной обработки/ Semiconductor Energy Lab. Co. Ltd. (Япония). -№62-49342; Заявл. 04.03.87; Опубл. 07.09.88.

32. Патент 4629859 США, МКИ В23К26/00. Способ лазерного испарения материала мишени/ K.V. Reddy (США), Standard Oil Company. № 722802; Заявл. 12.04.85; Опубл. 16.12.86; НКИ 219-121 LM.

33. Diodes laser 300 W quasi continue// Opto électronique. 1992. - № 66. - P.55.

34. Goedgebuer J. P., Porte H., Wacogne B. Diode laser accordable par saut de mode et de maniere continue par voie electro-optique// Nouvell revue d'optique 1994 - v.25 - № 2 - p. 51 - 57.

35. Laser diode haut puissance fibre (3 á 60 W)// Opto électronique. 1994. - № 77.-P.44.

36. Григорьянц А.Г., Гаврилюк B.C., Богданов A.B. Сравнение воздействия лазеров с длинами волн 10.6 и 1.06 мкм на металлы // Применение лазеровв науке и технике: Тез. докл. III Всесоюз. науч.-техн. сем. Иркутск, 1990.- с.65-66.

37. Gatinel-Actilaser A. YAG et usinag// Opto électronique. 1989. - № 51. -P.20-24.

38. L'energie lumineuse transmise par fibre optique// La revue polytechnique. -1994. № 2. - P.98.

39. Лазерные новости. 1997. - № 3. - с.35.

40. Коваленко B.C. Лазерная технология: Учебник. К.: Выща школа, 1989. -280 с.43 .Григорьянц А.Г. Основы лазерной обработки материалов. М.: Машиностроение, 1989. - 300 с.

41. Гаврилюк B.C., Измайлова Г.М., Иванов В.В. Исследование процесса плавления при лазерном воздействии // Изв. вузов, Машиностроение. -1988.-№1.

42. Рыкалкин H.H., Углов A.A., Зуев И.В., Кокора А.Н. Лазерная и электронно-лучевая обработка материалов. М.: Машиностроение, 1985. - 496 с.

43. Богданов A.B. Технологические возможности твердотельных лазеров и разработка рациональных режимов их использования: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук (05.03.07)/ МГТУ им. Н.Э. Баумана. -М., 1997,- 16 с.

44. К вопросу оптимизации параметров излучения твердотельных технологических лазеров/ Григорьянц А.Г., Богданов A.B., Гаврилюк B.C. и др. // Сварочное производство. 1991. - № 11.-е. 19-21.

45. Пахомов И.И. Расчет преобразования лазерного пучка в оптических системах. М.: Изд. МВТУ им. Н.Э. Баумана, 1984. - 54 с.

46. Пахомов И.И., Цибуля А.Б. Расчет оптических систем лазерных приборов.- М.: Радио и связь, 1986. 152 с.

47. Прокофьев А.Е., Сизов О.В., Чистяков С.О. Градиентно оптическая система для ввода излучения полупроводникового лазерного диода в волокно// Оптический журнал. 1997. - т. 64. - № 1. - с. 67-69.

48. Патент 4345010 Германия, МКИ В23К26/00. Установка для сварки и пайки световыми лучами/ Опарин М.И. и др. (Россия); НИИМаш. -Заявл. 30,12.93; Опубл. 06.07.95.

49. Sheet metal welding using a pulsed Nd:YAG laser-robot // Optics and lasers in engineering. 1994. - v. 20. - № 1. - p. 3-24.

50. Агалаков Ю.Г., Зинченко М.И., Литова A.M., Рытина E.H., Сафулина С.С., Соснов E.H. Поликристаллические волокна на основе галогенидов серебра для передачи излучения С02-лазеров высокой мощности// Оптический журнал. 1994. - № 7. - с. 11-13.

51. Dagenais D., Woodroffe J., Itzkan I. Optical Beam Shaping of a High Power Laser for Uniform Target Illumination// Applied Optics. 1985. - vol. 24. - № 5.-p. 671-675.

52. Bruno R.J., Liu K.C. Laserbeam Shaping for Maximum Uniformity and Minimum Loss// Lasers and Applications. 1987. - vol. 6. - № 4. - p. 91-94.

53. Li J-C. Étude théorique d'un dispositif optique et de ses variantes pour uniformiser Péclairemenr d'un faisceau gaussien TEMoo// Nouvell revue d'optique. -1987.-v.18.-№2.-p. 73 80.

54. Оптические элементы, фокусирующие когерентное излучение в произвольную фокальную линию/ В.А. Данилов, В.В. Попов, А.М. Прохоров и др.-М.: 1983.-48 с.

55. А. с. 1730606 СССР, МКИ G02B27/42. Устройство для фокусировки излучения в кольцо/ Волостников В.Г. и др.; Куйбышевский филиал Физического института им. П:Н. Лебедева. № 4828548/10; Заявл. 22.05.90; Опубл. 15.07.92.

56. Бородин В.Г., Красов C.B., Шацев А.П., Чарухчев А.В. Оптимизация пространственной структуры лазерных пучков// Оптический журнал. 1996. -№ 12.-с. 33-38.

57. А. с. 1748127 СССР, МКИ G02B27/44, 27/48. Устройство для фазового преобразования структуры лазерного пучка/ Бородин В.Г. и др.; ГОИ им. С.И. Вавилова. № 4789013; Заявл. 08.02.90; Опубл. 15.07.92.

58. Заявка 3532416 Германия, МКИ G02B27/00; H01S3/08, 3/10; В23К26/06. Способ и устройство для повышения плотности мощности в сфокусированном лазерном пучке высокой энергии/ Diehi GmbH & Со (Германия). -Заявл. 11.09.85; Опубл. 12.03.87.

59. Патент 5206763 США, МКИ G02B5/10, 17/06. Корректирующая оптика для прямоугольных лазерных пучков.

60. Международная заявка 90/01392 РСТ, МКИ В23К26/06. Способ образования глубокого паза в алмазе высокоэнергетическим лазерным лучом/ V. Cooper et al. (Великобритания). № 00942; Заявл. 15.08.89; Опубл. 22.02.90.

61. Заявка 0262363 ЕПВ, МКИ В23К26/00. Способ и приспособление для непрерывного изготовления трубчатого корпуса при помощи лазерной продольной роликовой сварки/ R. Krebs et al. (Германия). № 3632952; Заявл. 27.09.86; Опубл. 06.04.88.

62. А. с. 2068328 Россия, МКИ В23К26/00. Установка для лазерной обработки кольцевым пучком/ Малащенко А.Т. и др. (Беларусь); Гомельский государственный университет им. Франциска Скорины. № 4884890/08; Заявл. 26.11.90; Опубл. 27-10.96. - Бюл. № 30.

63. Заявка 4-39647 Япония, МКИ G02B27/00. Оптическая система построения изображения лазерным лучом/Кянон К. К. (Япония). № 59-146180. Заявл. 14.07.84; Опубл. 04.06.86.

64. Документация на СОК-1. ТДЗ.854.000.

65. Козлов Г.И., Кузнецов В.А. Многолучевой непрерывный газоразрядный С02-лазер "Иглан-3" // Квантовая электроника. 1986. - Т. 12. - № 3. -с.553-558.

66. Патент 4953950 США, МКИ G02B27/14, 17/00. Устройство для получения сверхмощного лазерного луча со сверхвысокой плотностью/ Yoshiaki А. et al. (Япония); Toyon akashi, Osaka. № 271270; Заявл. 30.04.87; Опубл. 15.11.88; НКИ 350-174.

67. А. с. 1612783 СССР, МКИ G02B27/48. Устройство для сложения пучков излучения нескольких импульсных излучателей.

68. А. с. 1612784 СССР, МКИ G02B27/48. Устройство для сложения пучков излучения нескольких импульсных излучателей.

69. Патент 4813762 США, МКИ G02B27/44, 5/08. Дифракционная решетка из микролинз для объединения лазерных лучей/ J.R. Leger et al. (США); Institute of Techology. № 154898; Заявл. 11.02.88; Опубл. 21.03.89; НКИ 350-162.16.

70. Заявка 0342836 ЕПВ, МКИ G02B27/12; H01S3/00. Устройство для суммирования лучей/ Lumonics Ltd. (Великобритания). № 8811523; Заявл. 08,05.89; Опубл. 23.11.89.

71. Патент 4024299 Германия, МКИ G02B27/14, 26/08; В23К26/06. Устройство для фокусировки луча оптического излучения в двух точках/ К. Behler, Е. Beyer (Германия); Н. Krupp. Заявл. 31.07.90; Опубл. 06.02.92.

72. Патент 2064388 Россия, МКИ В23К26/00. Устройство для лазерной обработки/ Сафонов А.Н., Микулыдин Г.Ю.; НИЦТЛ РАН. № 50037852/08; Заявл. 14.08.91; Опубл. 26.07.96. - 2с. //Б. И. - 1996. - № 21.

73. Тарасов JI.B. Лазеры: действительность и надежды. М.: Наука, 1985. -176 с.

74. Байков В.В., Иванов В.В. Исследование динамических характеристик процесса проплавления лазерным лучом. В кн. Оптоэлектроника. Труды МВТУ им. Баумана, № 431. -1985. - с. 114-122.

75. А. с. 1299025 СССР, МКИ В23К26/00, 26/02. Способ лазерной обработки/ Кравченко В.И. и др.; Институт физики АН УСССР. № 3870158/27; Заявл. 21.03.85; Опубл. 27.11.95.

76. А. с. 1514130 СССР, МКИ G02B27/48, 27/00. Способ формирования лазерного излучения и устройство для его осуществления/ Климков Ю.М. -№ 4271550/24-10; Заявл. 29.06.87.

77. А. с. 1568758 СССР, МКИ G02B27/48, 27/00. Устройство для формирования в лазерном пучке перетяжки постоянного размера на различных расстояниях от лазера/ Климков Ю.М. № 4404485/24-10; Заявл. 05.04.88.

78. А. с. 1738559 СССР, МКИ В23К26/00. Устройство для лазерной обработки материалов/ В.В. Романенко, B.C. Коваленко, Ван Чук Нгуен (Вьетнам); Киевский политехнический институт. № 4866651/08; Заявл. 08.06.90; Опубл. 07.06.92.

79. Бельдюгин И.М., Галушкин М.Г., Земеков Е.М. О свойствах резонаторов с обращающими волновой фронт зеркалами// Квантовая электроника. -1979. Т. 6. - с. 38-44.

80. Патент 4217705 Германия, МКИ В23К26/06. Способ и устройство для обработки материалов лазерным лучом высокой мощности, а также применение такого устройства/ Р. Hoffmann et al. Diel GmbH & Co. Заявл. 01.06.92; Опубл. 02.12.93.

81. Парвулюсов Ю.Б., Солдатов В.В., Якушенков Ю.Г. Проектирование оптико-электронных приборов. М.: Машиностроение, 1990.

82. Прикладная оптика: Учебное пособие для вузов / Под общей редакцией A.C. Дубовика. М.Машиностроение, 1992. - 486 с.

83. Климков Ю.М. Прикладная лазерная оптика. М.'.Машиностроение, 1985. - 128 с.

84. Peretz R. Weld cross-section profile prediction for deep penetration welding with laser beams // Optics and lasers in engineering. 1989. - № 11. - p. 27-48.

85. Технология оптических деталей / Под ред М.Н. Семибратова. М.: Машиностроение, 1978. - 415 с.

86. ЮО.Ефимов О.М. Изменение оптических характеристик и разрушение стекол под действием мощного лазерного излучения// Оптический журнал. 1994. -№ 11. - с. 67-73.

87. Николаев В.Н. Размерный эффект и статистика лазерного разрушения оптических материалов на длине волны 1,06 мкм: Автореферат дис. на со-иск. учен. степ. канд. физ. мат. наук (01. 04. 04.). - М.: 1983. - 25 с.

88. Ито М., Огура И. Разрушение оптических материалов под действием лазерного излучения// Сейсан кэнкю. 1984. - v. 36. - № 6. - р. 255-260.

89. Bennett Н. Е. et all. Laser-induced damage in optical materials fifteentn ASTM simposium// Applied Optics. 1986. - vol. 25. - № 2. - p. 258-274.

90. Ю4.Слюсарев Г.Г. Расчет оптических систем. . JI.: Машиностроение, 1975. -672 с.

91. Лазерные оптические элементы: Каталог / Сост.: И.А. Морозов. Минск, 1983. -48с.

92. Юб.Лысов А.Б. Методы расчета оптических систем для формирования лазерных пучков: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук (05.11.07)/МИИГАиК. М., 1986. - 16 с.

93. Короленко В.П. Оптика когерентного излучения: Учебное пособие. М.: Изд.-во МГУ, 1997.

94. Вычислительная оптика: Справочник/ М.М. Русинов, А.П. Грамматин, П.Д. Иванов и др. Под общ. Ред. М.М. Русинова. Л.: Машиностроение, 1984.-423 с.

95. Маркузе Д. Оптические волноводы/ Пер. с англ. под ред. В.В. Шевченко. М.: Мир, 1974. - 576 с.

96. Ищенко Е.Ф., Климков Ю.М. Оптические квантовые генераторы. М.: Советское радио, 1968. - 472 с.

97. Ш.Жилкин A.M., Климков Ю.М., Заболотный Н.С., Иванов Н.Л. Современные методы расчета оптических систем, обеспечивающих требуемые параметры излучения в технологической зоне // Известия вузов. Геодезия и аэрофотосъемка. 1999. - № 5. - с. 83-91.

98. Дешан Ж., Мает П. Преобразование пучка при распространении в системе квадратичных линз. В кн.: Квазиоптика/ Пер. с англ. и нем. под ред. Б.З. Каценеленбаума и В.В. Шевченко. - М.: Мир, 1966. - с. 189-209.

99. Климков Ю.М. Основы расчета оптико-электронных приборов с лазерами. М.: Советское радио, 1978. - 262 с.

100. Белоногова Е.К., Дьякова Ю.Г., Калинина В.К., Мирошниченко Т.А., Шавкунов C.B. Лазерная технология трудные шаги к рынку // Лазерная техника и оптоэлектроника. - 1993. - № 1-2. - с. 3-24.

101. Optic and optical instruments catalog 1998. - p.208.

102. Климков Ю.М. Оптическая система для формирования лазерных пучков с постоянным размером перетяжки на различных расстояниях от лазера // Известия вузов. Геодезия и аэрофотосъемка. 1990. - № 6. - с.90-95.

103. Хирд Г. Измерение лазерных параметров: Перевод с английского / Под редакцией Ф.С. Файзуллова. M .: Мир, 1970. - 540 с.

104. Климков Ю.М. Сравнение коллимирующих и фокусирующих лазерных систем // Известия вузов. Геодезия и аэрофотосъемка. 1993. - № 1-2. -с.172-176.

105. Нефедов Б.Л. Методы решения задач по вычислительной оптике. -М.-Л.: Машиностроение, 1966. 312 с.

106. Пахомов И.И. Панкратические системы. М.: Машиностроение, 1976. -160 с.

107. Русинов М.М. Композиция оптических систем. Л.: Машиностроение, 1989.- 383 с.

108. Хваловский В.В. Общая теория геометрического расчета гомотопических систем // Оптический журнал. 1998. - т.65 - № 3. - с. 66-76.

109. Журова С.А., Зверев В.А, Основы композиции принципиальных схем оптических систем переменного увеличения // Оптический журнал. 1999. -т.66-№ 10. - с. 68-86.

110. Корн Г., Корн Т. Справочник по математике для научных работников и инженеров. М.: Наука, 1968. - 720 с.

111. Кривовяз Л.М., Пуряев Д.Т., Знаменская М.А. Практика оптической измерительной лаборатории. М.: Машиностроение, 1974. - 332 с.

112. Большаков В.Д. Теория ошибок наблюдений. М.: Недра, 1983. - 324 с.

113. Эпштейн М.И. Измерения оптического излучения в электронике. М.:1. Энергия, 1975. 248 с.

114. Ми Сук Чжун, Вон Дон Чжу, Родионов С.А. Определение размера пятна в лазерных сканирующих системах с бинарной регистрацией изображения //Оптический журнал. 2000. - т.67 - № 2.

115. Лазерные новости. 1997. - № 3.

116. Лазерные новости. 1998. - № 2.- с.17.

117. Laser 99: nouvelles dimensions pour la téchnique des lasers// La Revue Polytechnique. 1999. - № 5. - p. 322-323.