Электрофизикохимическая обработка фасонных поверхностей в кремниевых заготовках тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.02.07, кандидат технических наук Абитов, Андрей Равильевич

• Абитов, Андрей Равильевич
• кандидат технических наук
• 2011

Оглавление диссертации кандидат технических наук Абитов, Андрей Равильевич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ВОПРОСА. ЦЕЛЬ И ЗАДАЧИ

ИССЛЕДОВАНИЯ.У.

1.1. Анализ объекта исследования.

1.2. Обзор методов формообразования в кремнии.

1.3. Методы травления кремния.

1.3.1. Методы ионно-плазменного травления кремния.

1.3.2. Химическое травление кремния.

1.4. Лазерная обработка кремния.

1.5. Электроэрозионная обработка.

1.6. Электрохимические методы обработки.

1.6.1. Особенности электрохимической обработки кремния.

1.6.2. Электрохимическое травление кремния.

1.7. Выводы по главе I. Цель и задачи исследования.

- ГЛАВА -II. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ

ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ФОРМООБРАЗОВАНИЯ ФАСОННЫХ

ЭЛЕМЕНТОВ В КРЕМНИЕВЫХ ЗАГОТОВКАХ.

2.1. Математическое моделирование процесса анодного растворения кремния.

2.2. Расчет погрешности электрохимического формообразования.

2.3. Выводы по главе II.

ГЛАВА III. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИКОХИМИЧЕСКОГО ФОРМООБРАЗОВАНИЯ В

КРЕМНИЕВЫХ ЗАГОТОВКАХ.

3.1. Обоснование выбора методов, схем и режимов формообразования.

3.2. Разработка и создание экспериментального оборудования.

3.3. Методы изготовления электродов-инструментов.

3.3.1. Электроэрозионная вырезка электродом-проволокой.

3.3.2. Прецизионная токарная обработка.

3.3.3. Изготовление сферических электродов-инструментов.

3.4. Обоснование технологии электрофизикохимической обработки.

3.4.1. Исследование метода электрохимического формообразования.

3.4.2. Исследование метода электроэрозионного формообразования.

3.5. Исследования качества поверхности элементов в кремниевых заготовках

3.6. Выводы по главе III.

ГЛАВА IV. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ И ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ

ЭЛЕКТРОФИЗИКОХИМИЧЕСКОГО ФОРМООБРАЗОВАНИЯ.

4.1. Разработка экспериментальной установки.

4.1.1. Система формирования импульсов.

4.1.2. Система перемещения электрода-инструмента.

4.1.3. Электрическая схема блока управления перемещением электрода-инструмента.

4.1.4. Описание программы для перемещения электрода-инструмента

Step Control.:.%.

4.1.5. Алгоритм подготовки установки к работе.

4.2. Разработка технологии формообразования в кремниевых заготовках.

4.2.1. Разработка технологических рекомендаций для изготовления литьевых кремниевых форм.

4.2.2. Кремниевые литьевые формы.

4.3. Выводы по главе IV.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Электрофизикохимическая обработка фасонных поверхностей в кремниевых заготовках»

В последнее десятилетие в приборостроении актуальной остается задача изготовления микродеталей и микрообъектов из пластмасс. К таким деталям предъявляются повышенные требования по качеству и точности функциональных элементов. Спрос на такие изделия растет с каждым годом. Повышение требований, предъявляемых к качеству микродеталей с точки зрения улучшения точности и качества поверхности при изготовлении, заставляет технологов и исследователей искать пути их обеспечения, в том числе разрабатывать и создавать новые технологии, оборудование и инструментарий. Среди множества методов изготовления микроизделий из пластмасс, технологии литья под давлением получили широкое распространение в связи с высоким уровнем автоматизации процесса и малым временем цикла производства.

На рынке наблюдается быстрый рост потребления продукции, изготовленной литьем под давлением, - это миниатюрные отливки массой в несколько ^ миллиграмм и размерами в несколько 'десятков- микрометров (прецизионные шестерни, микрокнопки, детали часов и цифровой техники), изделия, имеющие микроструктурные участки и функциональные поверхности (оптические микролинзы, разъемы для оптоволоконной технологии), и многие другие. Например, оптические микролинзы являются важными компонентами в устройствах для микро- и оптоэлектроники, для военной техники, астрономии, теле- и оптической коммутации.

Из-за малых размеров отливок требуется использование специальных литьевых форм. В настоящее время благодаря своим хорошим механическим и теплофизическим свойствам (коэффициент температурного расширения 1,5-10'6/К, предел прочности 7 ГПа, теплопроводность 80- 150 Вт/(м-К) кремниевые заготовки с изготовленными в них фасонными полостями используются в качестве литьевых форм в технологии литья под давлением. Причем литьевые формы, изготовленные из кремния, отличаются низким износом, что является важным фактором для обеспечения размерной стабильности и точности изготавливаемых изделий.

Перспективными для формообразования полостей литьевых форм являются методы размерной электрохимической и электроэрозионной обработки. Однако эти методы недостаточно изучены, и поэтому необходимо провести исследования с целью изучения влияния электрофизикохимической обработки на точность и качество поверхности полостей литьевых форм.

Таким образом, изучение условий обработки и разработка технологии изготовления литьевых форм из кремния с применением электрофизикохимических методов обработки для производства полимерных деталей, в том числе оптических микролинз методом литья под давлением, I является актуальной задачей.

Актуальность исследований подтверждается грантом на выполнение НИР в рамках реализации ФЦП «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009 - 2013 годы на тему «Разработка электрофизикохимических методов 4 для формообразования фасонных микроэлементов и микролинз в кремнии с нанопараметрами, исключающих использование защитных и формообразующих масок» (государственный контракт № 14.740.11.0484 от 01.10.2010 г.).

Целью работы является обоснование технологических схем и режимов электроэрозионного и электрохимического формообразования фасонных элементов в кремниевых заготовках без использования масок.

Достижение указанной цели в работе потребовало решения следующих задач:

1. Провести теоретические исследования с целью определения режимов электрохимического формообразования для достижения требуемой точности и производительности на основе математического моделирования процессов анодного растворения кремния.

2. Сделать выбор и обосновать режимы электрохимического формообразования на основе теоретического расчета функций заряжения 5 двойного электрического слоя анода в различных точках анодной поверхности.

3. Разработать технологические схемы электрохимического и электроэрозионного формообразования элементов в кремниевых заготовках без использования масок на обрабатываемых поверхностях с обоснованием последовательности применения разработанных технологических схем.

4. Провести экспериментальные исследования электрофизикохимического формообразования для определения рациональных технологических режимов, обеспечивающих достижение требуемой шероховатости поверхностей элементов в кремниевых заготовках (Ra <0,16 мкм) и точности (погрешность Д<0,02 мм).

5. Разработать экспериментальное оборудование для осуществления технологических схем электроэрозионного и электрохимического формообразования в кремниевых заготовках.

Методы исследования. - 4

Теоретические исследования проводились с использованием основных положений электрохимии полупроводников и математического моделирования. При проведении экспериментальных исследований использовалась современная измерительная и регистрирующая аппаратура (сканирующий зондовый микроскоп Solver PRO Р47Н, профилограф - профилометр Surf Corder 1400а и др.).

Положения, выносимые на защиту:

1. Закономерности влияния разности времени заряжения двойного электрического слоя анода в различных точках его поверхности на точность электрохимического формообразования.

2. Технологические схемы электроэрозионного и электрохимического формообразования фасонных элементов в кремниевых заготовках без использования масок с наложением формообразующих движений на электрод — инструмент.

3. Результаты экспериментальных исследований влияния технологических режимов и сред формообразования (амплитуд и длительностей импульсов, величин межэлектродных зазоров, рабочих жидкостей и электролитов) на погрешность, производительность обработки и качество поверхности элементов в кремниевых заготовках.

4. Режимы и условия обработки, обеспечивающие достижение наношероховатости поверхности элементов в кремниевых заготовках.

Научная новизна заключается в обосновании диапазонов режимов электрохимической обработки кремния на основе расчета и сравнения функций заряжения двойного электрического слоя на границе кремний — электролит в различных точках анодной поверхности. Определено, что максимальная точность формообразования при обработке кремния достигается путем использования длительностей импульсов напряжения, меньших, чем разность времени заряжения двойного электрического слоя анода между двумя сравниваемыми межэлектродными зазорами.

Практическая ценность работы состоит в следующем:

- на основе выполненных исследований разработаны технологические рекомендации для осуществления процессов электрохимического и электроэрозионного формообразования фасонных элементов в кремниевых заготовках с достижением требуемой точности и шероховатости поверхностей без использования масок на обрабатываемой поверхности;

- создано экспериментальное оборудование для осуществления процессов электрохимической и электроэрозионной обработки.

Теоретическая значимость работы состоит в том, что обоснованы режимы электрохимического формообразования на основе расчетов функций заряжения двойного электрического слоя анода для зон электрохимической ячейки с различными межэлектродными зазорами.

Практическая реализация работы.

Спроектированы и изготовлены кремниевые литьевые формы для изготовления полимерных деталей, в том числе оптических микролинз, методом литья под давлением. Изготовлена экспериментальная партия оптических микролинз из поликарбоната ТУ 6-05-1668-80, ТУ 6-05-1762-81.

Апробация работы.

Основные положения диссертационной работы докладывались и обсуждались на региональных конференциях «Современная электротехнология в промышленности центра России» (Тула, ТулГУ, 2008 — 2011), на конференциях профессорско-преподавательского состава ТулГУ (2008 — 2011), Международной молодежной научной конференции «Гагаринские чтения» (Москва, МАТИ, 2008), Международной научно-технической конференции «Нанотехнологии и наноматериалы» (Москва, МГОУ, 2008), Третьей Всероссийской конференции молодых ученых и специалистов «Будущее машиностроения России» (Москва, МГТУ им. Баумана, 2010).

Публикации.

По результатам исследований опубликовано 10 печатных работ, в том числе 5 работ в издании, входящем в Перечень рецензируемых научных журналов ВАК. Общий объем публикаций 3,75 п.л.

Структура и объем работы.

Диссертационная работа состоит из введения, 4 глав, списка используемых источников из 100 наименований, 3 приложений, общим объемом 146 страниц машинописного текста, включая 88 рисунков и 11 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Автоматизация в машиностроении», Абитов, Андрей Равильевич

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ г

1. На основе анализа литературных источников установлено, что при обработке кремния применяются, в основном, методы травления, связанные с созданием маски на обрабатываемой поверхности заготовки, что ограничивает возможности фасонного формообразования в полупроводниках. При изготовлении возникают трудности управления процессом или невозможность изготовления фасонных элементов в кремниевых заготовках с требуемой геометрией. Выявлено, что наиболее перспективными методами формообразования, исключающими использование масок и позволяющими изготовление фасонных элементов с требуемыми геометрическими параметрами, являются методы электроэрозионной и электрохимической обработки.

2. Доказано влияние разности времени заряжения двойного электрического слоя на границе кремний - электролит Ат в различных точках анодной поверхности на точность электрохимического формообразования. Определено, что максимальная точность формообразования при обработке кремния достигается при использовании длительностей импульсов напряжения, меньших, чем разность времени заряжения двойного электрического слоя анода при двух сравниваемых межэлектродных зазорах.

3. Обоснованы технологические схемы электроэрозионной и электрохимической обработки кремния, позволяющие осуществлять формообразование фасонных элементов в кремниевых заготовках с заданной геометрией без использования масок на обрабатываемых поверхностях.

4. Теоретически установлено и экспериментально подтверждено, что максимальная погрешность электрохимического формообразования формируется в результате влияния амплитуды и длительности импульсов, а также концентрации электролита. Выявлено, что при использовании амплитуд импульсов 5 —7 В, длительностей импульсов 0,05-0,1 мкс и электролита 5 %-го Ш7 максимальная погрешность электрохимического формообразования Лтах не будет превышать 0,01 - 0,02 мм.

129

5. Экспериментально установлено, что концентрация электролита и величина плотности тока влияют на качество поверхности элементов в кремниевых заготовках. При увеличении концентрации электролита HF от 2,5 до 10 % шероховатость поверхности Ra увеличивается от 0,07 до 0,16 мкм. Увеличение величины плотности тока от 150 до 400 мА/см при обработке кремния в электролите 5 %-м HP приводит к увеличению шероховатости поверхности Ra от 0,07 до 0,12 мкм.

6. По результатам исследований электроэрозионного формообразования в кремниевых заготовках определены зависимости максимальной погрешности Лтах и производительности обработки, а также качества поверхности Ra от параметров импульсов и типа рабочей жидкости. Установлено, что при амплитуде импульсов 20 — 25 В, длительности импульсов 0,65 — 0,7 мкс и использовании воды деионизированной в качестве рабочей жидкости Дтах составляет 8,5-10 мкм, a Ra - не боле 1,5 мкм.

7. Разработано и создано экспериментальное оборудование, позволяющее осуществлять процессы как электрохимического, так и электроэрозионного формообразования фасонных элементов в кремниевых заготовках с использованием импульсов длительностями 0,05. 10 мкс.

8. I Спроектированы и изготовлены кремниевые литьевые формы для изготовления полимерных деталей, в том числе микролинз методом литья под давлением. Изготовлена экспериментальная партия микролинз из поликарбоната ТУ 6-05-1668-80, ТУ 6-05-1762-81. Точность и качество поверхностей микролинз полностью соответствуют требуемым (погрешность -Д = 0,01.0,015 мм, шероховатость поверхности Ra = 0,07.ОД мкм).

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Абитов, Андрей Равильевич, 2011 год

1. Абитов, А.Р. Формообразование фасонных элементов в пластинах кремния с применением электроэрозионной обработки // Известия Тульского государственного университета. Сер. Технические науки. -Тула: Изд-во ТулГУ, 2010. Вып. 4. - с. 181-189.

2. Любимов В.В., Абитов А.Р. Электрохимическая обработка кремниевых пластин // Известия Тульского государственного университета. Сер. Элекрофизикохимические воздействия на материалы и нанотехнологии. Тула: Изд-во ТулГУ, 2009.- Вып. 1. - с. 135-139.

3. Абитов А.Р., Любимов В.В., Электрохимическая обработка кремния // Материалы международной научно-технической конференции «Нанотехнологии и наноматериалы». М., МГОУ, 2009. - с. 439-443.

4. Аверкин С.Н. и др. Разработка низкотемпературных плазмохимических процессов и серии плазменных установок для микро- и нанотехнологий // Труды ФТИАН, т. 18.: Наука. 2005. - с. 121-137.

5. Амитан Г. Л. И др. Справочник по электрохимическим и электрофизическим методам обработки. Л.: Машиностроение. 1988. 719 с.

6. Антропов Л.И. Теоретическая электрохимия. М.: Высш. школа, 1969. -512 с.

7. Анализ моделей процессов электрохимической и электроэрозионной обработки. Часть 3. Новые технические решения по электрохимической и электроэрозионной обработки.1. М. :ВНИИПИ, 1991. 163 с.

8. Артамонов Б. А. и др. Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов: Учеб. пособие (в 2-х томах). Т. 1. Обработка материалов с применением инструмента.- под ред. В. П. Смоленцева. М.: Высш. ш к., 1983. - 257 с.

9. Атанасянц А.Г. Анодное поведение металлов. М.: Высш. шк, 1989.151 с.

10. Батенков В. А. Электрохимия полупроводников.- Учеб. пособие. Изд. 2-е, допол. Барнаул: Изд-во Алт. ун-та, 2002. 162 с.

11. Витлин В. Б. Электрофизические методы обработки в металлургическом производстве. М.: Металлургия, 1979. - 158 с.

12. Волгин В.М., Давыдов А.Д. Численные методы моделирования нестационарного ионного переноса с учетом миграции • в электрохимических системах // Электрохимия. 2001. - Т.37. - С. 13761385.

13. Головачев В.А. Электрохимическая размерная обработка деталей сложной формы. М.: Машиностроение, 1969. - 198с.

14. Горбань А.Н., Кравчина В.В. Направленные упругие напряжения и анизотропия травления монокристаллического кремния п и р-типа проводимости // Складш системи i процессии, № 2, 2006. с. 55 - 61.

15. Горленко O.A., Михеенко Т.А. Свойства поверхностей упрочненных лазерных обработкой //Физика и химия обработки материалов, 1983, №6, с. 18-23.

16. Григорьев Ф.И. Плазмохимическое и ионно-химическое травление в технологии микроэлектроники.- Учебное пособие: Московскийгосударственный институт электроники и математики. М., 2003. 48 с.133

17. Григорьянц А.Г., Соколов A.A. Лазерная техника и технология. В 7 кн. Кн 7. Лазерная резка металлов: Учеб. Пособие для вузов; под ред. Григорьянца А.Г. М.: Высш. шк., 1988. - 127 с.

18. Давыдов А.Д., Козак Е. Высокоскоростное электрохимическое формообразование. М.: Наука, 1990. - 272 с.

19. Дамаскин Б.Б., Петрий O.A. Введение в электрохимическую кинетику. М.: Высш. школа., 1975. - 416 с.

20. Дамаскин Б.Б. Принципы современных методов изучения электрохимических реакций. М.: Из-во МГУ, 1965. - 104 с.

21. Де Барр А.Е., Оливер Д.А. Электрохимическая обработка (пер. с англ.). -М., 1973. 184с.

22. Зайдман Г.Н., Петров Ю.Н. Формообразование при электрохимической размерной обработке металлов; под ред. А.И. Дикусара. Кишинев: Штиинца, 1990. - 205 с.

23. Золотых Б. Н. Физические основы электрофизических и * электрохимических методов обработки. Ч. I4.- М.: МИЭМ, 1975. 106 с.

24. Иващенко Е.И., Цветков Ю.Б. Метод размерного стоп-травления кремния в производстве изделий микромеханики // Нано- и микросистемная техника, М., 2008. С. 72-76.

25. Киш Л. Моделирование влияния среды на анодное растворение металлов // Электрохимия. -2000. -Т.36, № 10. - С. 1191-1196.

26. Клоков В.В. Электрохимическое формообразование. Казань, 1984.

27. Коваленко B.C. Лазерная технология: Учебник.- К.: Высш. шк., Головное изд-во, 1989.- 280 с.

28. Коренблюм М. В. Чистовая электроэрозионная обработка с малым износом инструмента // Станки и инструмент, № 6, 1980.

29. Кохановская Т. С. Зависимости торцовых межэлектродных зазоров от величины расхода жидкости // Электрофизические иэлектрохимические методы обработки, вып. 6 М.: НИИ МАШ, 1971. -с. 368-374.

30. Кохановская Т. С. Методика расчета межэлектродного зазора при проектировании электрода-инструмента для электроэрозионной обработки // Электрофизические и электрохимические методы обработки, вып. 1 М., НИИМАШ, 1974. - с. 124-128.

31. Левинсон Е. М., Лев B.C. Электроэрозионная обработка: Справочное пособие по электротехнологии. Л.: Лениздат, 1972. - 326 с.

32. Леонтьев П.А. и др. Лазерная поверхностная обработка металлов и сплавов М.: Металлургия, 1986 г. - 142 с.

33. Лившиц, А. Л., Кохановская Т. С. Характеристики межэлектродных зазоров // Электрофизические и электрохимические методы обработки, вып. 5-М.: НИИМАШ, 1971.-е. 257-265.

34. Мицкевич М. К. и др. Электроэрозионная обработка материалов/ Минск. Наука и техника, 1988.

35. Мороз И.И. и др. Электрохимическая-обработка металлов. М., 1969. - 4 208с.

36. Немилов Е. Ф. Электроэрозионная обработка материалов. Л.: Машиностроение, 1983, - 160 с.

37. Ньюмен Дж. Электрохимические системы. М.: Мир. 1977. - 463 с.

38. Петров Ю.Н. Основы повышения точности электрохимического формообразования. Кишинев, Штиница, 1977. - 153с.

39. Подураев В.Н., Камалов B.C. Физико-химические методы обработки. -М.: Машиностроение, 1973. 346с.

40. Попилов Л. Я. Электрофизическая и электрохимическая обработка материалов: Справочник. Л.: Машиностроение. 1982, - 400 с.

41. Рыкалин H.H. и др. Лазерная и электронно-лучевая обработка материалов: Справочник. М.: Машиностроение, 1985. - 496 с.

42. Седыкин Ф.В. Размерная электрохимическая обработка деталей машин. М., 1976.

43. Суминов В.М. Обработка деталей лучом лазера. М.: Машинотсроение, 1969. - 220с.

44. Тутов, Е.А. и др. Влияние адсорбции паров воды на вольт-фарадные характеристики гетероструктур с пористым кремнием // Журнал технической физики, М., 2003, том 73, выпуск 11. С. 83-89.

45. Углов А.А. Состояние и перспективы лазерной технологии // Физика и химия обработки материалов. 1992. №4. С. 32-42.

46. Фотеев Н. К. Технология электроэрозионной обработки. М.: Машиностроение. 1980, - 184 с.

47. Электроэрозионная и электрохимическая обработка: расчет, проектирование, изготовление и применение электродов-инструментов. Часть I: Электроэрозионная обработка. М., 1980.

48. Bernd M., Schumacher K. After 60 years of EDM the discharge process remains still disputed // Proceedings of International Symposium for Electromachining, 2004.- ISEM XIV. - P. 376 - 381.

49. Chen R.L. et al. Fabricating a silicon microlens mold by ICP dry etching // Lasers and Electro-Optics, 2003. - CLEO/Pacific Rim 2003.

50. Chou T.-K.A et al. Fabrication of out-of-plane curved surfaces in Si by utilizing RIE // Proceedings of the IEEE Inf. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2002, P. 145-148.

51. Electrochemistry of Silicon and Its Oxide. Kluwer Academic Publishers New York, Boston, Dordrecht, London, Moscow, - 2004. - P. 537.

52. Fauchet P. Porous polycrystalline silicon thin film solar cells.- Prepared under Subcontract No. AAD-9-18668-06, University of Rochester Rochester, New York. P.257.

53. Fletcher Daniel A. et al. Microfabricated Silicon Solid Immersion Lens. -Electronic data. Journal of microelectromechanical systems, - 2001.- Vol. 10, № 3. - Mode acess :http://www.stanford.edu/group/microheat/publications/A50.pdf.

54. Foil H. Formation and application of porous silicon // Materials science & engineering, 2002. - Vol. 39, № 4.- P. 93-141.

55. Huster R. et al. 3-D Micro Free-Form Manufacturing in Silicon // Micro System Technologies, 2005. - München. - P.55-62.

56. Ivanov A. et al. Optimization of surface quality of 3D silicon master forms for injection molding of optical micro elements // Hochschule Furtwangen University, 78120 Furtwangen.- P.45-48.

57. Ivanov A. et al: Formation of arbitrarily shaped 3D-forms in silicon by electro-chemical wet-etching // Tagungsband 19th Micromechanics Europe Workshop, 28-30 September, 2008. - Aachen, Deutschland. - P. 315-318.

58. Jeon J-W. et al. Sloping profile and pattern transfer to silicon by shape-controllable 3-D lithography and // Sensors and Actuators A 139, 2007.-P. 281-286.

59. Jeong Ki-Hun et al. Tunable microdoublet lens array Electronic resource.- Electronic data, 31 May 2004 / Vol. 12, No. 11 / Optics express 2495.-Mode acess :http://biopoets.berkeley.edu/publications/jeong-opex-tunable.pdf.

60. Kenney J. A., Hwang G. S. Etch Trends in Electrochemical Machining with Ultrashort Voltage Pulses // Electrochemical and Solid-State Letters, 2006.- 9(1) D1-D4.

61. Kenney J. A. Transient Charging Processes at Liquid-Solid and Vacuum-Solid Interfaces: dissertation for the degree of doctor of philosophy, the university of Texas at Austin, December 2006.

62. Kim B.H. et al. Microelectrochemical machining of 3D micro structure using dilute sulfuric acid // Annals of CIPR, 2005.-V. 54, - № 1.- P. 191194.

63. Klocke L. F. Innovation and performance in wire-EDM. Proceedings of International Symposium for Electromachining // ISEM XIII, - 2001.

64. Kulkarni Milind S. Acid-Based Etching of Silicon Wafers: Mass-Transfer and Kinetic Effects // Journal of The Electrochemical Society, 2000. -№ 147(1).-P. 176-188.

65. Larsen K.P. et al. Investigations of the isotropic etch of an ICP source for silicon microlens mold fabrication // J. Micromech. Microeng. 15, 2005. -P. 873-882.

66. Lehmann V. Electrochemistry of silicon // Wein-heim: Wiley-VCH, 2002.

67. Lehmann Volker. Electrochemistry of Silicon: Instrumentation, Science, Materials and Applications, 2002.- Wiley-VCH Verlag GmbH.

68. Li Lei et al. Fabrication of Micro and Diffractive Optical Devices by Use of

69. Slow Tool Servo Diamond Turning Process. Electronic data. - Department138of Industrial, Welding and Systems Engineering, The Ohio State University,- 2005. Mode acess :http://www.aspe.net/publications/Annual 2005/POSTERS/4OPTICS/1 OPT FAB/1871 .PDF. .

70. Lu Y. et al. Marangoni effect in nanosphere-enhanced laser nanopatterning of silicon // Applied physics letters, 2003. - Vol. 82, № 23. - P. 4143-4145.

71. Memming Rüdiger. Semiconductor Electrochemistry. WILEY-VCH Verlag GmbH, D-69469 Weinheim (Federal Republic of Germany), - 2001.- P.407.

72. Mescheder U. et al. Finite-Elements Simulation for True 3D Structure Generation of Anisotropic Electrochemical Wet-Etching Processes. -Institute of Applied Sciences, Furtwangen University, Germany.

73. Nantel Marc et al. Laser micromachining of semiconductors for photonics applications. Electronic data. - Mode acess: http://www.vashkir.com/pdfs/SPIE2Q01 .pdf.

74. Rajurkar K.P. et al. Micro and nano machining by elecrto-physical and chemical processes// Annals of CIPR, 2006. - V. 55, - № 2. - P. 643-666.

75. Rath P. et al. Modeling two-dimensional diffusion-controlled wet chemical etching using a total concentration approach // International Journal of Heat and Mass Transfer 49, 2006. - P. 1480-1488.

76. Rath P. et al. Modeling two-dimensional diffusion-controlled wet chemical etching using a total concentration approach // International Journal of Heat and Mass Transfer 49, 2006,- P. 1480-1488.

77. Rauscher Markus, Herbert Spohn. Porous silicon formation and electropolishing // Physical review, Vol. 64. P.470.

78. Reynaerts D., Meeusen W. Machining of three-dimensional microstructures in silicon by electrodischarge machining // Sensors and Actuators A 67, -1998.-P. 159-165.

79. Reynaerts D., Heeren P.-H, Van Brüssel H. Microstructuring of silicon by electro-discharge machining (EDM) part I: theory // Sensors and Actuators A 60,- 1997.-P. 212-218.

80. Reynaerts D., Heeren P.-H, Van Brüssel H. Microstructuring of silicon by electro-discharge machining (EDM) part II: applications // Sensors and Actuators, A 61, - 1997,- P. 379-386.

81. Shikida M. et al. Surface morphology of anisotropically etched single-crystal silicon // J. Micromech. Microeng, 2000. - Vol.10.- P. 522-527.

82. Sibailly O. et al. Laser micro-machining in microelectronic industry by water jet guided laser. Electronic data.- Mode acess : http://www.synova.ch/pdf/2004 Spie %20micromaehining.pdf

83. Teo E.J. et al. Fabrication of silicon microstructures using a high energy ion beam // Proceedings of SPIE Vol. 5347. P. 1-7.

84. Tjerkstra R. W. Isotropic etching of silicon in fluoride containing solutions as a tool for micromachining. ISBN 90-36513286. - P. 123.

85. Trifonov T. et al. Macroporous silicon: A versatile material for 3D structure fabrication// Sensors and Actuators A 141, 2008. - P. 662-669.

86. Varadan V. K. et al. RF MEMS and Their Applications / British Library Cataloguing in Publication Data, 2003. - P.408.

87. Volgin V.M., Davydov A.D. Calculation of limiting current density of metal electrodeposition on vertical plane electrode under condition of natural convection // Electrochim. Acta, 2004. -V.49, - P. 365-366.

88. Volgin V. M., Lyubimov V. V. Mathematical Modelling of Three

89. Dimensional Electrochemical Forming of Complicated Surfaces //140