Электрохимическое микроформообразование на сверхмалых межэлектродных зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.02.07, кандидат наук Веневцев, Алексей Юрьевич

• Веневцев, Алексей Юрьевич
• кандидат наук
• 2014

Оглавление диссертации кандидат наук Веневцев, Алексей Юрьевич

ОГЛАВЛЕНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ВОПРОСА. ЦЕЛЬ И ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ

1 Л. Анализ объекта исследования

1.2. Классификация микрообъектов и изделий

1.3. Анализ методов микроформообразования

1.3.1. Механические методы микроформообразования

1.3.2. Термомеханические методы микроформообразования

1.3.3. Лазерное микроформообразование

1.3.4. Ультразвуковое микроформообразование

1.3.5. Электроэрозиопная микрообработка

1.3.6. Химическое микроформообразование

1.3.7. Электрохимическое микроформообразование

1.4. Анализ путей повышения точности электрохимического микроформообразования

1.5. Выводы по главе 1. Цель и задачи исследования

ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО МИКРОФОРМООБРАЗОВАНИЯ НА СВЕРХМАЛЫХ ЗАЗОРАХ С ПРИМЕНЕНИЕМ ПАКЕТОВ МИКРОСЕКУНДНЫХ ИМПУЛЬСОВ НАПРЯЖЕНИЯ

2.1. Определение коэффициента локализации па основе огибающих кривых по максимумам импульсов тока в пакете

2.2. Разработка математической модели процесса электрохимического микроформообразования на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения

2.2.1. Анализ влияния нагрева электролита на электрохимическое микроформообразование

2.2.2. Анализ влияния газонаполпепия и зашламлепия межэлектродного промежутка на электрохимическое формообразование

2.3. Выводы по главе 2

ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО МИКРОФОРМООБРАЗОВАНИЯ НА СВЕРХМАЛЫХ ЗАЗОРАХ С ПРИМЕНЕНИЕМ ПАКЕТОВ МИКРОСЕКУНДНЫХ ИМПУЛЬСОВ НАПРЯЖЕНИЯ

3.1. Разработка системы перемещения и позиционирования

электрода-инструмента

3.2. Выбор 3-координатного стола подходящей конфигурации

3.3. Выбор линейного позиционера высокой точности

3.4. Проектирование и изготовление электрододержателя

3.5. Проектирование и изготовление электродов-инструментов и тестовых образцов

3.6. Разработка системы энергообеспечения электрохимической ячейки

3.7. Разработка системы автоматического управления и синхронизации экспериментальной электрохимической установки

3.8. Выводы по главе 3

ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО МИКРОФОРМООБРАЗОВАНИЯ НА СВЕРХМАЛЫХ ЗАЗОРАХ С ПРИМЕНЕНИЕМ ПАКЕТОВ МИКРОСЕКУ11ДНЫХ ИМПУЛЬСОВ НАПРЯЖЕНИЯ

4.1. Комплексная методика проведения экспериментальных исследований для изучения ЭХМФО на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения

4.1.1. Разработка методики получения, оцифровки и анализа осциллограмм пакетов импульсов тока при ЭХМФО

4.1.2. Разработка методики ЭХМФО, с последующим анализом точностных характеристик полученных полостей

4.1.3. Разработка методики получения мультиплицированных полостей и геометрических элементов поверхности

4.2. Исследование ЭХМФО на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения

4.2.1. Исследования формы пакетов импульсов тока, протекающего в электрохимической ячейке и огибающих кривых

4.2.2. Исследование электрохимического микроформообразования на сверхмалых межэлектродных зазорах с применением пакетов микросекуидных импульсов напряжения

4.3. Выводы по главе 4

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

ПРИЛОЖЕНИЕ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Электрохимическое микроформообразование на сверхмалых межэлектродных зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения»

ВВЕДЕНИЕ

Микросистемиые технологии рассматриваются сегодня как ключевые технологии с экономическим потенциалом, сравнимым с микроэлектроникой.

Преимущества микротехпических изделий очевидны: повышенная функциональная точность, меньшая масса детали или узла, обладающих при этом более высокими эксплуатационными возможностями. Тенденцией последних лет стало увеличение потребности не только в самих деталях, но и в составленных из нескольких таких деталей микрокомпонентах, располагаемых в более крупных деталях и узлах. Это обусловлено массовым переходом на модули, в которых функции нескольких деталей или подсистем не могут осуществляться посредством только одного узла, даже достаточно сложного.

Наибольшее распространение микродетали и микрокомпоненты получили в медицинской и биомолекулярной технике и электронике. Очевидна потребность в подобных деталях в медицине, где от их размеров (и размеров изготовленных из таких деталей приборов, например кардиостимуляторов) нередко зависят возможность выполнения операций и время выздоровления пациентов. Авиационная промышленность также нуждается в миниатюрном крепеже, фитингах и датчиках, приборах для контроля потока воздуха и жидкости. В автомобилестроении вполне реально использование сверхмалых электродвигателей и исполнительных органов для систем безопасности, обеспечения удобства водителей и т. д. В сложных системах впрыска топлива и их элементах микродетали также находят свое место. При этом точность и качество обработанных изделий стремительно растут, а размеры типовых деталей уменьшаются. Однако оптимальный выбор размеров изделия представляет собой компромисс между возможностями технологии и затратами на его изготовление. Учитывая вышесказанное, возникает острая необходимость в технологическом

решении, позволяющем получать высокое качество обработанной поверхности.

Электрохимическое микроформообразование (ЭХМФО) занимает лидирующие позиции во всем объеме получаемых микроизделий [52]. Это связано с рядом неоспоримых преимуществ по сравнению как с традиционными, так и с нетрадиционными методами обработки. Во-первых, форма электрода-инструмента (ЭИ) остается неизменной на протяжении всего процесса обработки. Во-вторых, электрохимическое анодное растворение протекает, не оказывая практически никакого воздействия на поверхностный слой обрабатываемой детали. В-третьих, при электрохимическом микроформообразовании электрод-инструмент не разрушается, что в отличие от электроэрозионной обработки позволяет изготавливать такие электроды минимальных размеров.

В данный момент времени в технической литературе отсутствуют данные о технологическом обеспечении и технологических режимах, позволяющих проводить электрохимическую микрообработку на межэлектродных зазорах размером порядка 5 мкм.

В связи с этим обоснование рациональных режимов и разработка технологического обеспечения для осуществления процесса электрохимического микроформообразования на малых и сверхмалых межэлекгродных зазорах (МЭЗ) с применением пакетов микросекундных импульсов технологического напряжения для получения микрополостей с точностью порядка 5 мкм является актуальной научной задачей.

Цель работы

Целыо настоящей работы является повышение точности электрохимического микроформообразования с помощью использования сверхмалых межэлектродных зазоров и применения пакетов микросекундных импульсов напряжения.

Для достижения указанной цели необходимо решить следующие

задачи:

1. Провести анализ получаемых микроизделий и их классификации, а также возможных конкурентных методов микроформообразования относительно электрохимической обработки.

2. Провести теоретические исследования по обоснованию условий электрохимического микроформообразовапия па сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения с целью выбора и обоснования рациональных технологических параметров обработки.

3. Разработать технологическое обеспечение, позволяющее осуществлять электрохимическое микроформообразование на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения.

4. Разработать комплексную методику получения фасонных поверхностей в заготовках и регистрации форм импульсов тока при электрохимическом микроформообразовапии па сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения.

5. Провести экспериментальные исследования для определения рациональных технологических режимов электрохимического микроформообразования на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения, обеспечивающих увеличение точности и уменьшение шероховатости поверхностей элементов в заготовках.

Методы исследования

Теоретические исследования проводились па основе положений теории электрохимической обработки с использованием математического моделирования. Параметры обработки при электрохимическом микроформообразовании рассчитывались с применением программных продуктов РТС Matlab, Maple и MS Office 2010. При проведении экспериментальных исследований использовалась современная измерительная и регистрирующая аппаратура.

Положения, выносимые на защиту:

1. Закономерности влияния процесса газоиаполнения и нагрева, а также скважности и длительности импульсов напряжения па плотность тока при электрохимическом микроформообразовапип на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекупдпых импульсов напряжения.

2. Технологическая схема для электрохимического микроформообразования на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения.

3. Результаты экспериментальных исследований по получению фасонных поверхностей в металлических заготовках и регистрации форм импульсов тока при электрохимическом микроформообразовании на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения.

4. Рациональные диапазоны изменения технологических режимов для электрохимического микроформообразования на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекупдпых импульсов напряжения.

Научная новизна заключается в обосновании условий осуществления ЭХМФО на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения для достижения максимальной точности обрабоши.

Практическая ценность работы состоит в следующем:

- разработаны рекомендации по выбору технологических параметров (режимов) для реализации процесса ЭХМФО на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекупдпых импульсов напряжения;

- разработано технологическое обеспечение и создано экспериментальное оборудование для ЭХФМО на сверхмалых межэлектродных зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения;

- разработано программное обеспечение для полной автоматизации процесса ЭХМФО па сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения;

- на основе разработанной автоматизированной системы для регулирования межэлектродного зазора при электрохимической обработке металлических и полупроводниковых материалов был получен патент на полезную модель;

- отдельные результаты работы использованы в учебном процессе подготовки бакалавров по направлению 150700 «Машиностроение» (профиль "Машины и технологии высокоэффективных процессов обработки материалов"): включены в разделы лекционных курсов ряда дисциплин («Технология и методы обработки концентрированными потоками энергии», «Технология физико-химической обработки металлических и неметаллических материалов», «Физико-химические методы микро- и панообработки»); применяются при выполнении курсовых и дипломных проектов, а также при проведении научно-исследовательской работы.

Теоретическая значимость работы состоит в том, что на основе математического моделирования получена система уравнений, описывающая зависимости плотности юка от времени, учитывающая влияние процесса газонаполнения и нагрева электролита, длительности переднего фронта импульсов напряжения и временных параметров пакетов микросекундных импульсов напряжения.

Апробация работы

Основные положения диссертационной работы докладывались и

обсуждались на Международной научно-технической конференции

"Современная электротехиология в промышленности России (молодежные

инновации)" (Тула, 2010, 2011), региональных научно-технических

конференциях "Современная электротехнология в промышленности Центра

России" (Тула, 2010-2013), Всероссийской научно-технической

конференции "Высокие, критические электро- и нанотехнологии" (Тула,

9

2011, 2012), X Всероссийской научно-технической конференции студентов, магистрантов, аспирантов и молодых ученых "Техника XXI века глазами молодых ученых и специалистов" (Тула, 2011, 2012), Международной молодежной конференции (ГАГАРИНСКИЕ ЧТЕНИЯ. М., 2011, 2013).

Публикации

По результатам исследований опубликовано 5 печатных работ, в том числе 3 работы в изданиях, входящих в перечень рецензируемых научных журналов ВАК. Общий объем публикаций 1,5 печ.л.

Структура и объем работы

Диссертационная работа состоит из введения, 4 глав, списка литературы из 104 наименований, 1 приложения; общий объем - 164 страниц машинописного текста, включая 85 рисунков и 21 таблицу.

Работа выполнена на кафедре «Электро-и нанотехнологии» и лаборатории «Электрофизических и электрохимических методов обработки» им. Ф.В. Седыкина Тульского государственного университета.

Автор выражает благодарность научному руководителю профессору В.В. Любимову, д-ру.техн.паук, профессору , д-ру.техн.наук, профессору В.М. Волгину, канд.техн.наук, доценту И.В. Гнидиной, канд.техн.наук С.Н. Веневцевой, а также всем сотрудникам кафедры и лаборатории за помощь, поддержку и полезные замечания при выполнении работы.

д-ру.техн.наук, В.К. Сундукову

ГЛАВА 1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ВОПРОСА. ЦЕЛЬ И ЗАДАЧИ

ИССЛЕДОВАНИЯ 1.1. Анализ обьекта исследования

Микросистемные технологии рассматриваются сегодня как ключевые технологии с экономическим потенциалом, сравнимым с экономическим потенциалом технологии, основанной на микроэлектронике. Согласно результатам маркетинговых исследований особенно активно эти технологии развиваются в США, Японии и Германии. В США, где сильно развита микроэлектроника, особенно развивается производство комплектующих на базе микросистем, в Германии большое развитие получили прикладные направления и микросистемные технологии, встраивающиеся в производственные процессы для удешевления конечного продукта и улучшения его потребительских свойств. В Японии миниатюризация всегда была приоритетным направлением в развитии производства, поэтому сегодня практически в каждой крупной японской компании есть научное подразделение, которое занимается проблемами микросистемных технологий в режиме свободного поиска [51].

В последнее десятилетие рынок микродеталей и микрокомпонентов развивается наиболее динамично, демонстрируя рекордные темпы роста: если в 2000 году его объем составлял порядка 30 млрд долл., то на 2008 год он достиг 60 млрд долл., и это не предел [52].

Так, например, в 2012 году был подписан документ: «Программа

развития инновационного территориального кластера. Территориальный

кластер «Зеленоград», который регламентирует развитие отечественной

промышленности в области лазерной, медицинской техники,

микроэлектроники и микроизделий в городе Зеленоград. В частности,

изготовлением деталей на микроуровне занимается ОАО «НИИМЭ и

Микрон» - научно-производственное предприятие, входящее в состав

дивизиона «Микроэлектроника» АФК «Система». При этом в 2011 году

совокупная выручка участников кластера составила 24,7 млрд руб., из

11

которых на исследования и разработки было потрачено 4,9 млрд руб. Объем инвестиций па период до 2017 г. должен составить 153 млрд. руб. [1]. Окупаемость порядка 400 % делает рынок микроэлектроники и микроизделий наиболее привлекательным па сегодняшний день в области научно-технических инноваций.

Преимущества микротехнических изделий очевидны: повышенная функциональная точность, меньшая масса детали или узла, обладающих при этом более высокими эксплуатационными возможностями. Тенденцией последних лет стало увеличение потребности не только в самих деталях, но и в составленных из нескольких таких деталей микрокомпонентах, располагаемых в более крупных деталях и узлах. Это обусловлено массовым переходом на модули, в которых функции нескольких деталей или подсистем не могут осуществляться посредством только одного узла, даже достаточно сложного.

Наибольшее распространение микродетали и микрокомпоненты получили в медицинской и биомолекулярной технике и электропике. Очевидна потребность в подобных деталях в медицине, где от их размеров (и размеров, изготовленных из таких деталей приборов, например, кардиостимуляторов) нередко зависят возможность выполнения операций и время выздоровления пациентов. Авиационная промышленность также нуждается в миниатюрном крепеже, фитингах и датчиках, приборах для контроля потока воздуха и жидкости. В автомобилестроении вполне реально использование сверхмалых электродвигателей и исполнительных органов для систем безопасности, обеспечения удобства водителей и т. д. В сложных системах впрыска топлива и их элементах микродетали также находят свое место [53, 51].

Процесс миниатюризации изделий активно начался в 70-80-х гг XX в.

При этом точность и качество обработанных изделий стремительно растет, а

размеры типовых деталей уменьшаются. Однако оптимальный выбор

размеров изделия представляет собой компромисс между возможностями

12

технологии и затратами на его изготовление. На сегодняшний день уровень техники достиг небывалых высот, например, точность механической обработки на специальных токарпо-фрезерпых центрах достигает 5-10 мкм, при этом существует специальный инструмент и оснастка, позволяющие проводить такую обработку. Существуют минисверла с покрытием Miracle, выпускаемые фирмой Mitsubishi Carbide для прецизионного микросверления, диаметрами 0,1-2,0 мм с градацией 0,01 мм и диаметрами 2,0 - 3,0 мм с градацией 0,05 мм, а также сверла типа MINI-MZ, начиная с диаметра 1,0 мм. Эти сверла имеют каналы для подачи СОЖ [67,51]. Однако, как можно заметить, при микрометровой точности данный инструмент не позволяет обрабатывать микроизделия, размер которых меньше размера самого инструмента, да и стоимость инструмента оставляют желать лучшего.

Учитывая вышесказанное, возникает острая необходимость в технологическом решении, позволяющем получать высокое качество обработанной поверхности исключительную точность, порядка 1 - 5 мкм, которое при этом позволит изготавливать микроизделия в диапазоне размеров 50 - 300 мкм.

1.2. Классификация микрообьектов и изделий

Термин «микрогеометрия» или «микрорельеф» чаще всего употребляется применительно к шероховатости поверхности [27, 28].

Однако, обобщая мнения многих специалистов, можно сказать, что микродеталями и микроизделиями являются детали с размерами менее 0,1 мм. При этом микрорельеф также можно отнести к микроизделиям.

В работах [38, 51] авторами рассматривались вопросы классификации и систематизации микроэлементов поверхности. Согласно этим работам, микрообъекты и микроизделия можно классифицировать по области применения и принципу действия [51] и по виду формообразующей поверхности [38].

Так с учетом применяемости изделий возможна следующая

классификация, приведенная в таб. 1.1.

13

Таблица 1.1

Классификация микрокомпонентов и микроизделий по применяемости_

Основной принцип действия

Группа изделий Физический Химический Оптический Биомедицинский Механический Электромагнитный Примеры использования

Датчики + + + + + + Гироскопы, акселераторы, микронасосы, микросистемы для комплексного анализа

Исполнительные механизмы и приводы - - - - + + Магнитные приводы, пьезоэлектрические и микродвигатели, электростатический привод, микротрансмиссии

Оптика - - + - - - Голографические блоки памяти, линзы, микрооптические переключатели, оптические схемы

Дисплеи - - + - + + Микрозеркала, дисплейные устройства

Детали электронных приборов - - - - + + Сопла струйных принтеров, сопла форсунок в системе подачи топлива, цветные принтеры, слуховые аппараты, микродетали на платах

Медицинское оборудование и изделия Имплантаты, хирургические инструменты

- + - + + +

Микропресс-формы - - - - + - Медицинские инструменты и приборы, линзы, зубчатые колеса,

Если же рассматривать микроизделия как набор микроэлементов поверхности, то возможна классификация, приведенная на рис. 1.1.

Рис. 1.1. Систематизация геометрических элементов поверхностей микродеталей [871

Несмотря на попытки создать качественную классификацию микрообъектов и изделий, данная задача так и не была достигнута указанными авторами. Так в работе [51] не рассматриваются вопросы формы микроэлементов, их расположения и ориентации относительно друг друга, не учтены материалы, из которых изготавливаются изделия. В работе [38] также не рассмотрены возможные материалы изделий, не совсем понятен подкласс «геометрия формы элемента», в классификации не предложены к рассмотрению формообразующие элементы тел вращения.

С учетом вышесказанного предлагается классификация, приведенная на рис. 1.2. Такая классификация позволяет разделить рассматриваемые микроизделия на два типа в зависимости от последующего использования. Первый тип микрообъектов - конечные изделия, такие, как микролинзы, микрошестерни, медицинские микрозацепы и микрозахваты и т.д.

Микрообъект

Материал микрообъекта

Геометрические характеристики

Назначение микрообъекта

Диэлектрик

Полупроводник

Проводник

Тела вращения

Многоугольники

Формообразующие элементы

X

Готовое изделие

Расположение элементов

Геометрические

размеры микрообъекта

От 10 до 100 мкм

Микрообъект для последующего производства

От 100 до 1000 мкм

Рядное

Шахматное

Кольцевое

Случайное

Рис.1.2. Предлагаемая классификация микрообъектов

Изготовленные микроизделия, с помощью которых в последующем будут получены готовые микродетали, являются вторым типом микроизделий. К данному типу в первую очередь относятся микропрссс-формы, которые служат для дальнейшего использования с целью получения других микродеталей. Также к таким микроизделиям можно отнести инструмент для последующего применения в микрообработке, например, микрофрезы. Ввиду многократности использования микроизделий второго типа к ним предъявляются повышенные требования по точности, качеству обработанной поверхности, износостойкости и прочим показателям. В данной работе будет рассматриваться получение микрообъектов второго типа, в частности, микроформообразование пресс-форм.

В данной работе не будут рассматриваться непроводящие материалы, к которым относятся различные пластики, полимеры и керамики, так как из таких материалов чаще всего изготавливаются конечные изделия, т.е. микрообъекты первого типа. К тому же изготовление изделий из керамики и полимеров достаточно широко рассмотрено в работах [25, 90, 94, 96]. При этом зачастую такие микродетали получают методом литья под давления в специальные пресс-формы, однако о получении таких микропресс-форм в источниках не сообщается. С учетом вышесказанного, в данной работе будет рассматриваться микроформообразование в металлических и полупроводниковых материалах. При этом необходимо отметить, что процесс изготовления микропресс-форм из металлов более изучен по сравнению с обработкой кремния.

В настоящее время кремний благодаря своим хорошим механическим, упругим и тсплофизическим свойствам (коэффициент температурного расширения 1,5-10-6 К"1, предел прочности 7 ГПа, теплопроводность 80-150 (Вт/м-К) все шире используется в качестве материала для изготовления литьевых форм. Причем кремниевые литьевые формы отличаются низким износом, что является важным фактором для

обеспечения точности размеров в партии изготавливаемых изделий [95].

17

Свойства монокристаллического кремния но сравнению со сталью сведены в таб. 1.2.

Свойства монокристаллического кремния по с

Показатели Кремний Сталь (0,8 % С)

Предел прочности, ГПа 7 0.3

Удельная прочность, м~/с" 6.5 2.5

Модуль Юнга, ГПа <100>:129.5 200

<110>: 168.0

<111>: 186.5

Модуль сдвига, ГПа <100>:79.0 75

<110>:61.7

<111>:57.5

Теплопроводность, Вт/мК От 80 до 150 50

Коэффициент температурного расширения, 10"6К~' 1.5 при 100°К 4.0 при 600°К 12

Таблица 1.2 равнению со сталью

На рис. 1.3, а приведено изображение кремниевой литьевой формы, изготовленной методом химического травления в электролите КОН, на рисунке 1.3, б - микролинза из поликарбоната, изготовленная методом литья под давлением с помощью данной литьевой формы.

а б

Рис. 1.3.Кремниевая литьевая форма [88]: а - модель кремниевой литьевой формы; б - микролинза из поликабоната

Таким образом, кремний, несмотря на свою хрупкость, целесообразно использовать в качестве материала инструмента для изготовления полимерных деталей, в том числе микролинз, в технологии литья под давлением. Соответственно разработка технологии изготовления кремниевых литьевых форм является актуальной задачей [4].

В связи с этим в дальнейшем будут рассматриваться вопросы получения микрообъектов, в частности микропресс-форм, изготовленных именно из стали и монокристаллического кремния /9-типа.

С учетом геометрических характеристик микрообъектов будет рассматриваться получение полостей при помощи различных формообразующих элементов, различной систематизации на поверхности заготовки. Диапазон исследуемых геометрических размеров определим в области 10 - 1000 мкм, так как большие объекты можно получить лезвийной обработкой, а меньшие микроизделия являются узкоспецифичными, поэтому получение таких микрообъектов не является целью данной работы.

1.3. Анализ методов микроформообразования Микроформообразование является чрезвычайно актуальной задачей, в частности, технология изготовления микропресс-форм занимает лидирующие позиции по количеству изготовленных микроизделий. Использование таких пресс-форм имеет чрезвычайно большое значение в современной микроэлектронной, медицинской, оптической и других отраслях промышленности. Зачастую в качестве материала заготовок применяется сталь 18Х12Н10Т [59] или монокристаллический кремний [4].

Анализ различных методов микроформообразования в металлах показал преимущества классификации, предложенной в работе [38] и приведенной на рис. 1.4.

Методы микроформообразования в кремнии подробно рассмотрены в работах [2, 3, 5, 6, 7, 56]. В работе [10] обоснованы основные закономерности электрохимического микроформообразования в кремнии. В работе [4] обоснованы предпочтительные методы, а также режимы микроформообразовапия в монокристаллическом кремнии, однако, несмотря на высокое качество получаемой поверхности, обработка осуществляется за две операции: электроэрозионную и электрохимическую, что существенно увеличивает время изготовления и стоимость готового изделия.

Рис. 1.4. Возможные меч оды обработки микрообъектов [87]

Рассмотрим различные методы обработки материалов и их комбинации, которые могли бы быть использованы при изготовлении микроизделий и микропресс-форм в металлических и полупроводниковых материалах.

При этом не рассматривались методы формообразования в монокристаллическом кремнии, так как анализ научно-технической литературы показал, что в работе [4] это сделано в достаточном объеме и с обоснованием оптимальных методов и режимов обработки. Также можно утверждать, что данная работа основывается современном уровне развития науки и техники. Однако в данной работе не рассмотрены вопросы применения импульсно-циклических схем при обработке электроэрозионным и электрохимическим методами. Также автором не было рассмотрено использование сверхмалых межэлектродных зазоров и применения пактов микросекундных импульсов напряжения.

1.3.1. Механические методы микроформообразования Рассматривая микроформообразование пресс-форм,

микроуглублений, полостей и пазов, можно прийти к выводу, что из всего разнообразия методов механической, и, в частности, лезвийной обработки получать такие изделия возможно только микрофрезеровапием.

В настоящее время в процессе микрофрезерования сделал большой шаг в сторону миниатюризации. Известно [46], что, начиная с апреля 2003 года, страны НС финансируют совместный проект CRAFT (Cooperative Research Action for Technology) по использованию микрофрезеровапия для изготовления пресс-форм инжекциониого литья (контракт G1ST-CT-2002-50232). Разработки в данном направлении отражают достигнутый уровень микрофрезерования на сегодняшний день. Причем совместно с технологией фрезерования рассматривались вопросы разработки CAD/CAM-системы, учитывающей все нюансы лезвийной обработки. Целевыми технологическими параметрами проекта являлись:

• максимальное отношение длины инструмента к диаметру: 10;

• диаметр инструмента: < 100 мкм;

• угол уклона в матрице пресс-формы: до 1,52°;

• точность обработки: до 5 мкм;

• шероховатость поверхности (Ra): < 0,2 мкм;

• материал изделия: инструментальная сталь.

В результате завершения проекта были разработаны специальные микрофрезы диаметром менее 50 мкм. При этом форма режущей кромки инструмента усовершенствована для лучшего качества обработки. Работа инструмента происходит при скоростях шпинделя порядка 160000 об/мин (станок Kern) [102].

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Веневцев, Алексей Юрьевич, 2014 год

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Абашкиы В. Л. [и др.]; Пилотные инновационные территориальные кластеры в Российской Федерации / Под общ. ред. Л. М. Гохберг, А. Е. Шадрин. М.: Издательский дом ПИУ ВШЭ, 2013.

2. Абитов А.Р. Исследование качества фасонных поверхностей, изготовленных в кремниевых пластинах методом электрохимической обработки // Современная электротехнология в промышленности центра России: сборник трудов XI региональной научно - технической конференции. Тула, 10 ноября 2010 г. - Тула: Изд-во ТулГУ, 2010. - С. 79-84.

3. Абитов А.Р. Исследование процесса электроэрозионного формообразования в кремнии [Электронный ресурс] // Сборник трудов Третьей Всероссийской конференции молодых ученых и специалистов «Будущее машиностроения России», 22 - 25 сентября 2010 г. - Электрон, дан.

- М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана. - Режим доступа: http://mt2.bmstu.ru/BMR2010/а 10/2.pdf, свободный.

4. Абитов А.Р. Электрофизикохимическая обработка фасонных поверхностей в кремниевых заготовках: дис. ... канд. техн. наук. - Тула, 2011.

- 146 с.

5. Абитов А.Р., Любимов В.В., Кочкин И.А. Формообразование фасонных элементов в кремнии методом электроэрозии // Современная электротехнология в промышленности центра России: сборник трудов X региональной научно - технической конференции. Тула, 28 октября 2009 г.

- Тула: Изд-во ТулГУ, 2009. - С. 3-7.

6. Абитов А.Р., Любимов В.В., Электрохимическая обработка кремния // Материалы Международной научно-технической конференции «Напотехнологии и наноматериалы». - М.: МГОУ, 2009. - С. 439-443.

7. Абитов А.Р. Формообразование фасонных элементов в пластинах кремния с применением электроэрозионной обработки // Известия ТулГУ. Сер. Технические науки. - Тула: Изд-во ТулГУ, 2010. - Вып. 4. - С. 181-189.

8. Алексеев Г.А., Мороз И.И., Смирнов И.А. Особенности электрохимической размерной обработки при введении в электролит сжатого воздуха// Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов. - М.: МДНТП, 1972. - С. 30-34.

9. Артамонов Б. А. [и др]; Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов: Учеб. пособие: в 2 т. Т. 1. Обработка материалов с применением инструмента/ под ред. В. П. Смоленцева. - М.: Высш. ш к., 1983.-257 с.

10. Батенков В. А. Электрохимия полупроводников, учеб. пособие.-Изд. 2-е, допол. - Барнаул: Изд-во Алт. ун-та, 2002. - 162 с.

11. Безруков C.B. [и др] Прецизионная электрохимическая обработка. Повышение эффективности применения электрофизических и электрохимических методов обработки материалов/ -JI., 1990.

12. Безруков C.B., Белогорский А.Л., Гимаев Н.З. и др. Прецизиоипая электрохимическая обработка. Повышение эффективности применения электрофизических и электрохимических методов обработки материалов.-Ленинград, 1990

13. Боришанский В. М., Козырев А. П., Светлова JI. С. Теплообмен при кипении воды в широком диапазоне изменения давления насыщения //Теплофизика высоких температур. - 1964. - № 1. — С. 193 — 199.

14. Буевич Ю.А. Коллективные эффекты в концентрированной системе крупных пузырей//ИФЖ. - 1981. Т. 41. - № 6. - С. 105-107.

15. Васильев Е.Ю., Осипчук C.B., Помпеев К.П., Третьяков С.Д., и др. «Применение современного технологического оборудования и программного обеспечения для изготовления и контроля формообразующих деталей литьевых форм». Современное машиностроение. Наука и образование: материалы 3-й Международной научно-практической конференции / под ред. М.М. Радкевича и А.Н. Евграфова. - СПб.: Изд-во Политехи, ун-та, 2013. - 1205 с.

16. Веневцев А.Ю. Создание экспериментальной электрохимической установки для получения микро- и напорельефов импульсами наносекундной длительности : материалы докладов XI Всероссийской научно-технической конференции студентов, магистров, аспирантов и молодых ученых «ТЕХНИКА XXI ГЛАЗАМИ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ И СПЕЦИАЛИСТОВ ». - Тула: Изд-во ТулГУ, 2012. - С. 227-230.

17. Веневцев А.Ю. Усовершенствование установки для электрохимической обработки полупроводниковых материалов с применением импульсно-циклических схем // Известия ТулГУ. Технические науки.-Тула: Изд-во ТулГУ, 2013.-Вып. 8.-С. 335-341.

18. Веневцев А.Ю. Экспериментальная установка для электрохимического микроформообразования с применением ультракоротких импульсов напряжения// Известия ТулГУ. Технические иауки. - Тула: Изд-во ТулГУ, 2013. - Вып. 8. - С. 321 - 326.

19. Веневцев АЛО., Веневцева С.II., Максимов Д.А. Анализ перспектив применения паносекупдпых импульсов в размерной электрохимической обработке / XXX V1X ГАГАРИПСКИЕ ЧТЕНИЯ: научные труды Международной молодежной конференции: в 9 т. Москва, 913 апреля 2013 г. - М.:МАТИ, 2013. - ТЗ. - С. 123-125.

20. Веневцев А.Ю., Веневцева С.Н., Максимов Д.А. Анализ перспектив применения наносекундных импульсов в размерной электрохимической обработке// XXXVIX ГАГАРИНСКИЕ ЧТЕНИЯ: научные труды Международной молодежной конференции: в 9 т. Москва, 9-13 апреля 2013 г. - М.-.МАТИ, 2013. - ТЗ. - 216 с.

21. Веневцева С.Н. Микроэлектрохимичсская обработка на малых и сверхмалых межэлектродных зазорах с применением микросекундных импульсов напряжения: дис ... канд.техн.наук. -Тула: ТулГУ, 2013. - 110 с.

22. Вишницкий А.Л., Дрозд Е.А., Мирзоев P.A. Обработка импульсным током в пульсирующем потоке электролита // Новое в

электрофизической и электрохимической обработке материалов. - JL: Машиностроение, 1972. - С. 25-29.

23. Волгин В.М., Давыдов А.Д., Кабанова Т.Б. Расчет эффективного коэффициента диффузии в коллоидном кристалле методом конечных элементов// ЭЛЕКТРОХИМИЯ. - 2012. - Т. 48. - № 8. - С. 898-916.

24. Волосова М.А. Исследование влияния комбинированной поверхностной обработки на физико-механические характеристики оксидной и нитридной режущей керамики// Вестник МГТУ «Станкин»: научный рецензируемый журнал. - М., 2013. № 2 (25)- 126 е.: ил.

25. Петровский Г.Т. Оптические материалы// Справочник технолога-оптика/ под ред. М.А. Окатова. 679 с. - Спб: Политехник, 2004. - Гл. - С. 5 -77.

26. Газизуллин K.M. Расчет гидродинамических режимов обработки в пульсирующем двухфазном потоке // Нетрадиционные методы обработки: сб. трудов Междунар. научи.-техн. конф. - Воронеж: Изд-во ВГУ. 2002.

27. Гальперин А.Д., Смаев В.П. Методы регистрации и тиражирования изобразительных рельефно-фазовых голограмм // ОМП. -1988.-№ 11.

28. ГОСТ 24773-81. Поверхности с регулярным микрорельефом. Классификация, параметры и характеристики.

29. Григорьянц А.Г., Соколов A.A. Лазерная техника и технология: в 7 кн. Кн 7. Лазерная резка металлов: учеб. пособие для вузов/ под ред. Григорьянца А.Г. - М.: Высш. шк., 1988. - 127 с.

30. Давыдов А.Д. и др. О влиянии электродных процессов на точность электрохимической размерной обработки. //Электрохимия. - 1972. -Т.УШ. - Вып. 10.

31. Давыдов А.Д. Электрохимическое растворение металлов в импульсных режимах: сб. трудов Всесоюзной научно- технической конференции «Современная электротехнология в машиностроении». - Тула: Изд-во ТулГТУ, 1997. - С.6-11.

32. Давыдов А.Д., Козак Е. Высокоскоростное электрохимическое формообразование. - М.: Наука., 1990. - 340 с.

33. Дамаскин Б.Б., Петрий O.A. Введение в электрохимическую кинетику. - М.: Высш. школа, 1975. - 416.

34. Дмитриев J1. Б., Смоленский О. В. Электрохимическая обработка больших поверхностей на малых межэлектродных зазорах много секционным катодом // Размерная электрохимическая обработка деталей машин.-Тула., 1975.-Ч. 1.-С. 179-182.

35. Дмитриев Л.Б. Технологические основы повышения точности размерной электрохимической обработки: автореф. дис. ... д-ра.техн.наук, -Тула, 1975.-394с.

36. Елисеев Ю.С., Саушкин Б.П.. Электроэрозионная обработка изделий авиационно-космической техники- М.: Изд-во МГТУ им. Н.Баумана. 2010,- 437 с

37. Житников В.П., Зайцев A.M. Импульсная электрохимическая размерная обработка.-М. Машиностроение, 2008. - 413с.

38. Жоголев А.Б. Электрохимическое микроформообразование микродеталей типа тел вращения: дис. ... канд. техн. наук. - Тула, 2005. -140 с.

39. Журавский А. К. Стабильность процесса электрохимической размерной обработки // Вопросы совершенствования технологии производства машин,: труды УАИ - Уфа, 1970.- Вып 20. - С. 54 - 57.

40. Забельян Д.М., Рогов В.В., Митрюшин Е.А. и др. Скоростная электроэрозиоппая обработка пазов системы охлаждения жаровой трубы камеры сгорания / Металлообработка. - 2012. - № 3. - С. 14-19.

41. Зайцев В.А. Электрохимическая обработка деталей из WC-CO твердых сплавов биполярными импульсами тока микросекундного диапазона: дис. ... канд. техн. наук. - Уфа, 2005. - 228 с.

42. Захаркин С.И. Установка для электрохимической обработки при

сверхмалых межэлектродных зазорах // Современная электротехнология в

156

промышленности центра России: сб. трудов региональной НТК. - Тула: Изд-воТулГУ, 1998.-С. 77-79.

43. Захаркин С.И. Электрохимическая размерная обработка при сверхмалых межэлектродных зазорах: дис. ... канд. техн. наук. Тула, 2002. -154 с.

44. Иванов В.М., Семененко К.А., Прохорова Г.В., Симонов Е.Ф. Аналитическая химия натрия// М.: Наука, 1986. С. 245.

45. Идрисов Т.Р. Влияние дополнительной поляризации электродов на точность и качество поверхности при электрохимической обработке микросекундными импульсами тока: автореф. дис. ... канд. техн. наук. - Уфа: УГАТУ, 2003.- 18 с.

46. Иорген В. Боденхаузен, Вольфганг Мюллер. Новые технологии и средства микрофрезерования [Электронный ресурс] // САПР и графика. 2008. №5. URL: http://www.sapr.ru/article.aspx?id=7818&iid=317 (дата обращения: 03.12.2012).

47. Кедринский В.К. Распространение возмущений в жидкости, содержащей пузырьки газа// Прикладная механика и техническая физика. -1967. - №3 -. С. 120-126.

48. Коваленко B.C. Лазерная технология: учебник.- К.: Высш. шк. Головное изд-во, 1989.- 280 с.

49. Коренблюм М. В. Чистовая электроэрозионная обработка с малым износом инструмента // Станки и инструмент. - 1980. - № 6

50. Кутателадзе С. С., Мамонтова Н. II. Исследование критических тепловых потоков при кипении жидкостей в большом объеме в условиях пониженных давлений // Инж.-физ. Жури. -1967. -Т. 12. - № 2. - С. 178-181.

51. Къртунов С. К., Диордица И. М., Исследования в области обработки микрокомпонентов и микродеталей на обрабатывающих центрах, МК "Авангардни машиностроителни обработки", АМО-08. - Кранево, 2008. С. 233-239.

52. Къртунов С. Състояние и тенденции в развитието на водещите технологии за изделия от микро- и нано-техниката. Габрово, 35 години катедра "МУ" на 'ГУ Габрово, 2003.

53. Къртунов С., Тодорова В. Микросистемна техника. Габрово: УИ "В. Априлов", 2002.

54. Лимаренко Г. Н. Методология проектирования реечных передач с автоматизированным приводом: монография. - Красноярск. ИПК СФУ, 2010. - 362 с.

55. Любимов В. В. Исследование вопросов повышения точности электрохимического формообразования на малых межэлектродных зазорах: дис. ... канд.техн.наук. -Тула: ТПИ, 1973. - 200 с.

56. Любимов В.В., Абитов А.Р. Электрохимическая обработка кремниевых пластин // Известия ТулГУ. Сер. Элекрофизикохимические воздействия на материалы и нанотехнологии. - Тула: Изд-во ТулГУ, 2009.-Вып. 1. - С. 135-139.

57. Любимов В.В., Веневцев А.Ю. Исследование электрохимического получения микро- и нанорельефов в полупроводниковых материалах с применением импульсно-циклических схем // Известия ТулГУ. Технические науки. - Тула: Изд-во ТулГУ, 2013. — Вып. 9. - 4.2.-С. 358 -364.

58. Любимов В.В., Захаркин С.И., Медведев В.В. Анализ возможностей и условий осуществления электрохимической обработки на сверхмалых межэлектродных зазорах// Современная электротехнология в промышленности центральной части России. Исследования, инновации, применение. - Тула: Изд-во ТулГУ, 1998. - С. 74 - 77.

59. Любимов В.В., Сундуков В.К. Современные способы электрофизико-химической обработки микро- и макрообъектов // Современные наукоемкие технологии. - 2004. - № 1. - С. 77-79

60. Максимов Е.В. Газогидродинамика жидкой ванны //Комплексная

переработка минерального сырья Казахстана (состояние, проблемы,

158

решения): в 10 т. Т. 3. Подготовка и металлургическая переработка железных и марганцевых руд. - Астана: Фолиант, 2003. - С. 260-321.

61. Машок B.JL, Варепко Е.С., Мороз И.И. О механизме сглаживания шероховатости при ЭХРО. Сглаживание шероховатости при идеальных условиях формообразования // Электронная обработка материалов.-1980.-№2.-С.26-30.

62. Металлообрабатывающие станки и оборудование [сайт]. [2013]. URL: http://http://acl-russia.ru// (дата обращения: 05.10.2013)

63. Мицкевич М. К. и др. Электроэрозионная обработка материалов/ Минск: Наука и техника, 1988.

64. Наукоемкие технологии машиностроительного производства: Физико-химические методы и технологии / под ред. Б.П. Саушкина.- М.: Изд-во «Форум». 2013.- 930 с.

65. Немилов Е. Ф. Электроэрозионная обработка материалов. - Д.: Машиностроение, 1983. - 160 с.

66. Нэй Мьо Туп. Повышение точности электрохимической обработки крупногабаритных тел вращения: дис. ... канд. техн. наук. - М., 2008. - 166 с.

67. Остафьев В.А., Диордица H.H., Исследование точности обработки микромеханических компонентов. - Киев: НТУУ "Киевский политехнический институт", 2007.

68. Парфенов В. А. Лазерная микрообработка материалов: учеб. пособие. - СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2011. - 59 с.

69. Пат. 141538 Российская Федерация, МПК U1 В23Н7/32. Автоматизированная система для регулирования межэлсктродного зазора при электрохимической обработке металлических и полупроводниковых материалов / Любимов В.В., Веневцев АЛО., Веневцева С.Н.; заявитель и патентообладатель «Общество с ограниченной ответственностью "Новые технологии" Тульского государственного университета". - № 2013151627/02;

заявл. 20.11.13; опубл. 10.06.14. Бюл. № 16 (II ч.). -2 с.

159

70. Пат. 2465992 Российская Федерация, МПК С2 B23H3/00. Способ импульсной электрохимической обработки / Ирдисов Т.В., Зайцев В.А.; заявитель и патентообладатель «Общество с ограниченной ответственностью "ЕСМ"». - № 2010149363/02; заявл. 02.12.2010; опубл. 10.11.12. Бюл. № 31 (II

Ч.).- 11 С.

71. Поставка научного оборудования для лабораторий и промышленных компаний [сайт]. [2013]. URL: http://standa.vicon-se.ru/ (дата обращения: 01.08.2013).

72. Потапова Г. С. Обозрение зарубежных изданий// Вестник машиностроения. - 2009. - N 1. - С. 88-91.

73. Производство электрохимического оборудования [сайт]. [2013]. URL: http://stanok.dimetm.ru/(дата обращения: 16.08.2013).

74. Разработка и производство малогабаритного обрабатывающего оборудования - малогабаритные станки с ЧПУ [сайт]. [2013]. URL: http://reabin.ru// (дата обращения: 25.09.2013).

75. Рыбалко A.B., Дикусар A.B. Электрохимическая обработка импульсами микросекундного диапазонаЮлектрохимия. - 1994. - Т.ЗО. - №4. - С. 490 - 498.

76. Саушкин Б.П., Атанасянц А.Г., Сычков Г.А. Проблемы и перспективы развития импульсной электрохимической размерной обработки //Электронная обработка материалов. -2003. - №2. - С. 10-22.

77. Серебреницкий П. П. Современные электроэрозионные технологии и оборудование: учеб. пособие - СПб. : БГТУ, 2007. - 228 е.: ил.

78. Смирнов М.С. Повышение точности и качества поверхности при электрохимической обработке за счет применения импульсов тока сверхвысокой плотности: дис. ... канд. техн. наук. - Уфа, 2004. - 127 с.

79. Современные лазерно-информационные и лазерные технологии: сб. трудов ИПЛИТ РАН / под ред. чл.-кор. РАН В.Я. Панченко и проф. B.C. Голубова. - М.: Интерконтакт «Наука», 2005.-304 с.

80. Соколов С. П. Доводка // Тонкое шлифование и доводка/ под общей ред. Г. Ф. Кудасова. - Л.: Ленинградское отделение Машгиза, 1961. -Вып. 9. - С. 52. - 87 с.

81. Специализированный журнал РИТМ.-2013. - №5 (83)

82. Справочник по электрохимическим и электрофизическим методам обработки / Г.Л. Амитан [и др.]; под общ. ред. В.А. Волосатов. - Л.: Машиностроение, 1988. - 719 с.

83. Справочник по электрохимическим и электрофизическим методам обработки // Г.Л. Амитан Г.Л. Амитан [и др.]; под общ. ред. В.А. Волосатов. - Л.: Машиностроение, 1988. - 719 с.

84. Станки электрохимические копировально-прошивочные [сайт]. [2013]. иЯЬ: http://www.indec-ecm.com/(дата обращения: 15.08.2013).

85. Сундуков В.К. Технологические основы высокоэффективного электролитического формования: автореф. дис. ... д-ра техн. наук: 05.03.01/ -Тула: Изд-во ТулГУ, 1998. - 36с.

86. Терешин М.В. Влияние переменных режимов резания на износ быстрорежущих сверл // Вестник МГТУ «Стапкин»: научный рецензируемый журнал. - М.: МГТУ «СТАНКИН»., - 2013. - № 2 (25) - 126 с.

87. Терешин М.В., Кулагин О.А. Оперативное регулирование процесса резания в технологических системах металлообработки // Вестник МГТУ «Станкин»: научный рецензируемый журнал. - М.: МГТУ «СТАНКИН», - 2013. - № 2 (25) - 126 е.: ил.

88. Хмелёв В.Н., Барсуков Р.В., Цыганок СЛ. Ультразвуковая размерная обработка материалов: монография - Барнаул: Изд-во АлтГТУ, 1997. - 120с.

89. Алтынбаев А. К., Гейкин В. А. Электроэрозионные методы обработки глубоких прецизионных отверстий в деталях авиационных двигателей / Металлообработка научно-производственный журнал. - 2003. -№6(18). -С.47-49

90. Эрлих Г. Малые объекты - большие идеи. Широкий взгляд на нанотехпологии. - М.: Бином, 2011. - 254 с.

91. Abuthakeer S.S. Mohanram P.V., Mohan Kumar G. Dynamic characteristics analysis of high speed motorized spindle // Annals of faculty engineering hunedoara - international journal of engineering. Т. IX. India. Fascicule 2. - 2011. - P. 219-224.

92. Bernd M., Schumacher K. After 60 years of EDM the discharge process remains still disputed // Proceedings of International Symposium for Electromachining. - 2004,- ISEM XIV. - P. 376 - 381.

93. Bernd M., Schumacher K. After 60 years of EDM the discharge process remains still disputed // Proceedings of International Symposium for Electromachining. - 2004. - P. 376 - 381.

94. Chang Т. H. P., Thomson M. G. R., Yu M. L., Kratschmer E., Kim H. S., Lee K. Y., Rishton S. A., Zolgharnain S. Electron beam technology - SEM to microcolumn // Microelectronic Eng. - 1996. - V. 32. - P. 113-130.

95. Formation of arbitrarily shaped 3D-forms in silicon by electrochemical wet-etching // Tagungsband 19th Micromcchanics Europe Workshop, -28-30 September, 2008/ Ivanov A. [et al.] - Aachen, Deutschland. - P. 315-318.

96. James E. McClellan III, Harold Dorn. Science and Technology in World History // Second Edition. Johns Hopkins university press, 2006. - P.263.

97. Klocke L. F. Innovation and performance in wire-EDM. - Proceedings of International Symposium for Electromachining // ISEM XIII. - 2001.

98. Kozak J., Gulbinowicz Z., Rozenek. Selected Problems of Pulse ECM // Proceeding of the 16th International Symposium on Electromachining. Shanghai. -China, 2010.-P. 299-305.

99. Kozak J., Rajurkar K., Makkar J. Selected problems of micro EDM // J. Mater. Proc. Technol. - 2004. - V. 149. - № 1-3. - P. 426-431.

100. Ma X., Li Y. Research of Micro Electrode Fabrication Based on ECM // Proceeding of the 16th International Symposium on Electromachining. Shanghai. -China, 2010. - P. 331-334.

101. Skoczypiec S., Ruszaj A., Lipiec P. Research on ECD Localization in Case of Micro Machining with Ultra Short Pulses // Proceeding of the 16th International Symposium on Electromachining. Shanghai. China. 2010. - P. 319— 322.

102. Gietzelt Т., Eichhorn L. Mechanical Micromachining by Drilling, Milling and Slotting [Электронный ресурс] // Karlsruhe Institute of Technology, Campus Nord, Institute for Micro Process Engineering, Karlsruhe, Germany. URL: http://cdn.intechopen.com/pdfs/27085/InTechMechanical_micromachining_by_dri lling_milling_and_slotting.pdf (дата обращения: 03.01.2013).

103. Wu W., Chang CH., Liu Sh. Experimental Study of Hydrodynamic Bearing Groove Machining Using Fixed Position Cathode Pulse // Proceeding of the International Symposium of Electro Machining. - Shanhau, 2010- P. 293-297.

104. Zaitsev A.N., Idrisov T.R. Aspects of Improving of ECM Accuracy/ Proceeding of the International Symposium of Electro Machining. - Shanhau, 2010. - P. 341-345.