Электрофизикохимическая обработка с применением плазменного катода-инструмента тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.02.07, кандидат технических наук Грачев, Олег Евгеньевич

• Грачев, Олег Евгеньевич
• кандидат технических наук
• 2011

Оглавление диссертации кандидат технических наук Грачев, Олег Евгеньевич

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА I. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ВОПРОСА. ЦЕЛЬ И ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ

1.1. Аналитический обзор методов обработки материалов, связанных

с воздействием концентрированными потоками энергии

1.1.1 .Электрохимическая обработка

1.1.2. Лазерная обработка

1.1.3. Комбинированные методы обработки

1.2. Общая характеристика способов создания нетвердотельных проводников электрического тока применительно к использованию в качестве катодов-инструментов при электрохимической обработке

1.2.1 .Плазма дугового разряда

1.2.2. Сжатая электрическая дуга

1.2.3. Плазма СВЧ-разряда

1.2.4. Плазма, полученная вследствие оптического пробоя среды импульсным лазерным излучением

1.3. ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ I. ЦЕЛЬ И ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ

2.1. Моделирование теплопереноса в электролите с учетом его течения в межэлектродном промежутке в процессе электрофизикохимической обработки с применением плазменного катода-инструмента

2.2. Моделирование процесса анодного растворения материала заготовки при электрофизикохимической обработке с применением плазменного катода-инструмента

2.3. ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ II

ГЛАВА III. РАЗРАБОТКА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ ПРОЦЕССА ЭЛЕКТРОФИЗИКОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ С ПРИМЕНЕНИЕМ ПЛАЗМЕННОГО КАТОДА-ИНСТРУМЕНТА

3.1. Анализ и обоснование выбора возможных технологических схем обработки с применением плазменного катода-инструмента

3.2. Разработка и создание экспериментального оборудования

3.2.1. Компоненты установки, серийно выпускаемые

промышленностью

3.2.1.1. Лазерная установка с оптической системой

3.2.1.2. Система позиционирования анода-заготовки

3.2.1.3. Источник питания технологической ячейки

3.2.1.4. Измерительное устройство

3.2.1.5. Система подачи и хранения электролита

3.2.2. Разработка и создание оригинальных компонентов и систем экспериментальной установки

3.2.2.1. Разработка и создание токоподеодов к плазменному катоду-инструменту

3.2.2.2. Технологическая ячейка

3.2.3. Создание экспериментальной установки ЛЭУ-1

3.2.4 Алгоритм подготовки установки ЛЭУ-1 к работе

3.3. ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ III

ГЛАВА IV. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПРОЦЕССА ЭЛЕКТРОФИЗИКОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ С ПРИМЕНЕНИЕМ ПЛАЗМЕННОГО КАТОДА-ИНСТРУМЕНТА

4.1. Комплексная методика проведения экспериментальных исследований процесса электрофизикохимической обработки с применением плазменного катода-инструмента

4.1.1. Методика исследования электрических параметров процесса обработки

4.1.2. Методика исследования токоподводов к плазменному катоду-инструменту в процессе обработки

4.1.3. Методика исследования электрофизикохимического формообразования с применением плазменного катода-инструмента

4.1.4. Методика исследования получения искусственных рельефов

на поверхностях анода-заготовки

4.2. Исследование электрических параметров электрофизикохимической обработки с применением плазменного катода-инструмента

4.3. Исследование токоподводов к плазменному катоду-инструменту

в процессе обработки

4.4. Исследование электрофизикохимического формообразования с применением плазменного катода-инструмента

4.5. Исследование получения искусственных рельефов с применением плазменного катода-инструмента

4.6. ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ IV

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

ПРИЛОЖЕНИЕ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Электрофизикохимическая обработка с применением плазменного катода-инструмента»

ВВЕДЕНИЕ

В подавляющем большинстве случаев обработка деталей в современной промышленности осуществляется с помощью механической обработки. На точность механической обработки влияет ряд факторов, обусловленных наличием определенных физических явлений при воздействии инструмента на обрабатываемый материал: износ формообразующих инструментов, упругие перемещения элементов станков, приспособлений и инструментов вследствие возникновения силовых явлений, деформация обрабатываемых заготовок, тепловые явления, происходящие в технологической системе и в смазочно-охлаждающей жидкости. Кроме того, для достижения заданной точности и качества поверхности при реализации способа механической обработки зачастую обработку производят за несколько технологических переходов.

Снять ограничения, присущие механическим методам обработки, представляется возможным путем использования методов, основанных на воздействии концентрированными потоками энергии на обрабатываемый материал.

Общими характерными свойствами методов, основанных на воздействии концентрированными потоками энергии, обеспечивающими им преимущества по сравнению с механической обработкой, являются [91]:

1) Практическая независимость от твердости и вязкости обрабатываемого материала;

2) Обработка практически без силового воздействия на обрабатываемое изделие;

3) Простота автоматизации процесса обработки, возможность

многостаночного обслуживания.

Таким образом, использование концентрированных потоков энергии в технологических процессах изготовления деталей позволяет существенно

расширить технологические возможности и повысить эффективность обработки материалов [81].

Электрохимическая обработка (ЭХО) является одним из методов обработки концентрированными потоками энергии, основанном на процессе удаления материала за счет анодного растворения заготовки при протекании электрического тока в растворах электролитов.

Однако электрохимическая обработка на сегодняшний день имеет ряд существенных недостатков:

1. Ограничения электродов-инструментов по максимальной токовой нагрузке, которые особенно существенно проявляются при микрообработке.

2.Наличие технологических трудностей, связанных с вероятностью коротких замыканий и выходом из строя электродов-инструментов при обработке деталей сложной формы.

Исключить указанные недостатки электрохимической обработки можно с помощью разработки способа электрохимической обработки, при котором в качестве катода-инструмента используется нетвердотельный проводник.

По результатам анализа научно-технической литературы наиболее подходящим является использование в данных целях протяженных плазменных каналов, созданных в результате оптического пробоя среды импульсным лазерным излучением.

Исследование процесса электрохимической обработки, основанного на

использовании протяженных плазменных каналов в качестве катодов-

инструментов является достаточно актуальной задачей, поскольку

обработка с применением плазменных электродов-инструментов имеет ряд

преимуществ по сравнению с обработкой твердотельными инструментами,

таких как возможность реализации комбинированного электрохимического

процесса за счет наличия явлений, сопровождающих формирование

плазменного катода-инструмента, исключение вероятности коротких

замыканий в процессе обработки, снятие ограничения по предельной токовой

нагрузке, что особенно актуально при микрообработке. Кроме того обработка

5

с применением плазменных электродов-инструментов является саморегулирующимся импульсным процессом, автоматически прекращающемся при прекращении подачи лазерных импульсов и формирования плазменного электрода-инструмента.

Целью работы является совершенствование технологического оснащения электрофизикохимических методов обработки за счет использования нетвердотельных электродов-инструментов.

Достижение указанной цели в работе потребовало решения следующих

задач:

1. Провести теоретические исследования процесса электрофизикохимической обработки с применением плазменного катода-инструмента с целью получения информации об основных физических процессах, имеющих

место в зоне обработки.

2. Разработать технологические схемы электрофизикохимической обработки с применением плазменного катода-инструмента.

3. Разработать возможные способы токоподводов к плазменному катоду-инструменту в процессе электрофизикохимической обработки.

4. Разработать экспериментальное оборудование для осуществления процесса электрофизикохимической обработки с применением плазменного катода-инструмента.

5. Провести экспериментальные исследования электрофизикохимической обработки с применением плазменного катода-инструмента с целью определения диапазонов рациональных технологических режимов и условий обработки для достижения высоких технико-экономических показателей процесса.

Методы исследования.

Теоретические исследования проводились с использованием основных положений электрохимии и математического моделирования. При проведении экспериментальных исследований использовалась разработанная и изготовленная установка ЛЭУ-1, а также современная измерительная и

регистрирующая аппаратура (сканирующий зондовый микроскоп Solver PRO Р47Н, профилограф - профилометр Surf Corder 1400а и др.). Положения, выносимые на защиту:

1. Модель электрофизикохимической обработки с применением плазменного

катода-инструмента.

2. Технологические схемы электрофизикохимической обработки с применением плазменного катода-инструмента.

3. Способы подведения электрической энергии к плазменному катоду-инструменту в условиях электрофизикохимической обработки.

4. Результаты экспериментальных исследований влияния технологических параметров обработки (напряжение, тип электролита) на погрешность, производительность обработки и качество поверхности полученных элементов.

Научная новизна заключается в обосновании возможности электрофизикохимической обработки с применением плазменного катода-инструмента, сформированного посредством оптического пробоя среды импульсным лазерным излучением, и выбора диапазонов рациональных технологических параметров обработки.

Практическая ценность работы состоит в следующем: •на основе проведенных теоретических и экспериментальных исследований разработаны технологические рекомендации для осуществления процесса электрофизикохимической обработки с применением плазменного катода-инструмента;

•разработана и изготовлена экспериментальная установка для осуществления процесса электрофизикохимической обработки с применением плазменного катода-инструмента.

Теоретическая значимость работы состоит в том, что на основе математического моделирования получена информация об основных физических процессах, оказывающих влияние на удаление материала во время обработки.

Апробация работы.

Основные положения диссертационной работы докладывались и обсуждались на региональных конференциях «Современная электротехнология в промышленности центра России» (Тула, ТулГУ, 2010), Всероссийской научно-технической конференции «Высокие, критические, электро- и нанотехнологии» (Тула, ТулГУ, 2011), на конференциях профессорско-преподавательского состава ТулГУ (2009-2011), X Всероссийской научно-технической конференции и школы молодых ученых, аспирантов и студентов «АКТ-2009» (Воронеж, ВГТУ, 2009), Третьей Всероссийской конференции молодых ученых и специалистов «Будущее машиностроения России» (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010).

Публикации.

По результатам исследований опубликовано 9 печатных работ, в том числе 2 работы в издании, входящем в Перечень рецензируемых научных журналов ВАК. Общий объем публикаций 4,3 п.л.

Структура и объем работы.

Диссертационная работа состоит из введения, 4 глав, списка используемых источников из 116 наименований, 1 приложения; общий объем -163 страницы машинописного текста, включая 86 рисунков и 9 таблиц.

Работа состоит из следующих основных частей:

1. Анализа состояния вопроса;

2. Теоретических исследований электрофизикохимической обработки с применением плазменного катода-инструмента;

3. Разработки экспериментального оборудования для осуществления процесса электрофизикохимической обработки с применением плазменного катода-инструмента;

4. Экспериментальных исследований электрофизикохимической обработки с применением плазменного катода-инструмента.

Работа выполнена на кафедре «Физико-химических процессов и

технологий» и лаборатории «Электрофизических и электрохимических

8

методов обработки» им. Ф.В. Седыкина Тульского государственного университета.

Автор выражает огромную благодарность научному руководителю д.т.н., профессору В.В. Любимову, д.т.н., профессору В.К. Сундукову, д.т.н., профессору В.М. Волгину, а также всем сотрудникам кафедры и лаборатории за помощь, поддержку и полезные замечания при выполнении работы.

Заключение диссертации по теме «Автоматизация в машиностроении», Грачев, Олег Евгеньевич

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1. По результатам анализа научно-технической литературы установлено, что существуют перспективы разработки электрофизикохимического способа обработки материалов с применением нетвердотельного электрода-инструмента. Выявлено, что наиболее подходящим способом создания нетвердотельного электрода-инструмента для электрофизикохимической обработки является способ получения плазменных катодов-инструментов, основанный на явлении оптического пробоя различных сред импульсным лазерным излучением. Установлено, что ввиду отсутствия в научно-технической литературе данных о технологическом применении импульсных плазменных каналов, исследование электрофизикохимической обработки с применением плазменного катода-инструмента является весьма актуальным на сегодняшний день.

2. На основе проведенного моделирования физических процессов в зоне обработки с применением плазменного катода-инструмента установлено, что в определенных временных интервалах плазменный катод-инструмент оказывается окруженным парогазовой оболочкой величиной до 75 мкм, обладающей электрическим сопротивлением, превышающим сопротивление электролита.

3. По результатам моделирования процесса анодного растворения с применением плазменного катода-инструмента установлено, что в процессе обработки происходит значительное падение электрического потенциала по длине плазменного катода-инструмента, что отражается на распределении плотности тока по поверхности анода-заготовки и геометрии поверхности, полученной в результате обработки. Предложены меры по выбору рациональных параметров обработки, согласно которым предложено подводить электрическую энергию в разных точках по длине плазменного катода-инструмента. Для минимизации электрических потерь целесообразно использование импульсного напряжения с подачей импульса во временном интервале t = 5,0. 15,0 мкс, что позволяет наиболее рационально использовать электрическую энергию для осуществления процесса анодного растворения, получить наиболее равномерное распределение плотности тока по поверхности анода-заготовки и, как следствие, достичь более высокой точности обработки и производительности процесса.

4. Разработаны основные технологические схемы обработки с применением плазменного катода-инструмента. Предложены различные способы подачи электролита в зону обработки, по результатам анализа которых выбран способ струйной подачи электролита по краю анода-заготовки как наиболее простой с точки зрения его технической реализации.

5. Разработана и создана экспериментальная установка ЛЭУ-1 для проведения исследований процесса электрофизикохимической обработки с применением плазменного катода-инструмента.

6. Проведены экспериментальные исследования электрических параметров процесса обработки в различных типах электролитов. Установлено, что для обработки с преобладанием процесса анодного растворения, целесообразно выбирать значения напряжения: для обработки в электролите 10 %-м водном растворе NaCl - 100. 180 В, для обработки в электролите 10 %-м водном растворе NaNCb - 100. .270 В.

7. Произведено исследование процесса формообразования с применением плазменного катода-инструмента. Оценены производительность процесса, максимальная погрешность формообразования, шероховатость поверхности при обработке в электролитах на основе NaCl различных концентраций. Установлено, что максимальная производительность и погрешность формообразования достигается при обработке в 30 %-м водном растворе NaCl при напряжении ¿7= 180 В.

8. Даны рекомендации по выбору электрических параметров с целью улучшения технологических показателей обработки. Согласно разработанным рекомендациям обработку следует производить с

147 использованием импульсного напряжения при синхронизации с лазером, используя длительности импульсов напряжения до 8,0. 12,0 мкс.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Грачев, Олег Евгеньевич, 2011 год

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1. Абитов А.Р. Электрофизикохимическая обработка фасонных поверхностей в кремниевых заготовках: дис. ... канд. техн. наук. Тула, 2011. 146 с.

2. Антропов Л.И. Теоретическая электрохимия. М.: Высш. школа, 1969. 512 с.

3. Атанасянц А.Г. Анодное поведение металлов. М.: Высш. шк, 1989. 151 с.

4. Афанасьев С.А., Бровкин В.Г., Колесниченко Ю.Ф. Инициация СВЧ-разряда посредством лазерной искры // Письма в ЖТФ. 2010. Т. 36. № 14. С. 73-78.

5. Ахмадеев Ю.Х. Несамостоятельный тлеющий разряд с полым катодом для азотирования титана: автореф. дис. ... канд. техн. наук. Томск, 2007. 19 с.

6. Бабин A.A., Карташов Д.В., Кулагин Д.И. Фокусировка фемтосекундного излучения аксиконной линзой // Квантовая электроника. 2002. Т.32. №4. С. 308-310.

7. Базелян Э.М., Райзер Ю.П. Механизм притяжения молнии и проблема лазерного управления молнией // УФН. 2000. Т. 170. № 7.

8. Байбородин Ю.В. Основы лазерной техники: 2- е изд., перераб. и доп. Киев: Выща шк. Головное изд-во, 1988. 383 с.

9. Борейшо A.C. Лазеры: устройство и действие: учеб. пособие. СПб: Мех. Ин-т., 1992. 215 с.

Ю.Веденов A.A., Гладуш Г.Г. Физические процессы при лазерной обработке материалов. М.: Энергоатомиздат, 1985. 206 с.

П.Вейко В.П. Опорный конспект лекций по курсу «Физико-технические основы лазерных технологий». Раздел: Технологические лазеры и лазерное излучение: изд. 2-е, испр. и доп. СПб: СПбГУ ИТМО, 2007. 52 с.

12.Влияние газодинамических процессов на структуру и пороги СВЧ-разряда при инициации лазерной искрой / С.П. Афанасьев [и др.] // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37. №15. С. 40-46.

13.Волгин В.М. Аналитическое решение задачи о предельном токе анодного растворения металла при естественной конвекции электролита // Известия Тульского государственного университета. Серия: Электрофизикохимические воздействия на материалы. Тула. 2003. С. 39.

14.Волгин В.М. Расчет предельной плотности тока анодного растворения вольфрама на вертикальном плоском электроде в условиях естественной конвекции электролита // Сборник трудов НТК «Современная электротехнология в промышленности центра России». Тула: Изд-во ТулГУ, 2004. С. 10-17.

15.Волгин В.М. Теоретические основы и методы анализа трехмерного электрохимического формообразования: дис. ... д-ра техн. наук. Тула, 1999. 503 с.

16. Волгин В.М., Давыдов А. Д. Численные методы моделирования нестационарного ионного переноса с учетом миграции в электрохимических системах //Электрохимия. 2001. Т.37. С.1376-1385.

17.Гаар Н.П. Электрохимическая обработка нержавеющей стали 12Х18Н9Т в условиях лазерного воздействия: автореф. дис. ... канд. техн. наук. Новосибирск, 2010. 20 с.

18.Галанин С.И., Гончар В.И., Дмитриев Э.Г. Электрические переходные процессы в парогазовой оболочке в условиях анодного электролитного нагрева при воздействии прямоугольными импульсами напряжения // Электронная обработка материалов. 1990. №2. С. 36-38.

19.Голубев B.C., Лебедев Ф.В. Лазерная техника и технология. В 7 кн. Кн. 1. Физические основы технологических лазеров / учеб. пособие для вузов; под ред. А.Г. Григорьянца. М.: Высш. шк., 1987. 191 с.

20.Грачев O.E. Моделирование процесса электрохимической обработки с применением импульсного нетвердотельного катода // Известия Тульского государственного университета. Сер. Естественные науки. Тула: Изд-во ТулГУ, 2011. Вып. 3. с. 160-169.

21.Григорьянц А.Г., Шиганов И.Н., Мисюров А.И. Технологические процессы лазерной обработки: учеб. пособие для вузов / под ред. А.Г. Григорьянца. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2006. 644 с.

22. Давыдов А. Д. Лазерно-электрохимическая обработка металлов // Электрохимия. 1994. Т. 30. №8. С. 965-976.

23. Давыдов А. Д., Козак Е. Высокоскоростное электрохимическое формообразование. М.: Наука, 1990. 272 с.

24.Дамаскин Б.Б. Принципы современных методов изучения электрохимических реакций. М.: Изд-во МГУ, 1965. 104 с.

25.Дамаскин Б.Б., Петрий O.A. Введение в электрохимическую кинетику. М.: Высш. школа., 1975. 416 с.

26.Де Барр А.Е., Оливер Д.А. Электрохимическая обработка: пер. с англ. М., 1973. 184 с.

27.Делоне Н.Б. Взаимодействие лазерного излучения с веществом: курс лекций: учеб. руководство. М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1989. 280 с.

28.Делоне Н.Б., Крайнов В.П. Нелинейная ионизация атомов лазерным излучением. М.:ФИЗМАТЛИТ, 2001. 320 с.

29.Диденко А. Н. СВЧ - энергетика. Теория и практика / М.: Наука, 2003. 446 с.

30.Динамика периодических структур в протяженной лазерной искре / С.С. Бычков [и др.]. Квантовая электроника, 1999. Т. 26. №3. С. 243-245.

31.Динамика сплошного оптического разряда в воздухе / В.В. Коробкин [и др.] // Препринт ИВТАН № 5-127. 1983. 32 с.

32.Евланов A.A. Электроэрозионная обработка с применением СВЧ-разрядов: дис. ... канд. техн. наук. Тула, 2009. 132 с.

ЗЗ.Зайдман Г.Н., Петров Ю.Н. Формообразование при электрохимической

размерной обработке металлов / под ред. А.И. Дикусара. Кишинев:

Штиинца, 1990. 205 с.

34. Золотых Б. Н. Физические основы электрофизических и

электрохимических методов обработки. Ч. 1. М.: МИЭМ, 1975. 106 с.

151

35.Кайе Г., Лаби Т. Физические и химические константы: пер. с англ. М.:

Энергоатомиздат, 1978. 102 с.

36.Киш Л. Кинетика электрохимического растворения металлов: пер. с англ.

М.: Мир, 1990. 272 с.

37.Киш Л. Моделирование влияния среды на анодное растворение металлов // Электрохимия. 2000. Т.36. № Ю. С. 1191-1196.

38.Клоков В.В. Электрохимическое формообразование. Казань, 1984.

39.Коваленко B.C. Лазерная технология: учебник. Киев.: Высш. шк. Головное изд-во, 1989. 280 с.

40.Коротеев Н.И., Шумай И.Л. Физика мощного лазерного излучения. М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1991. 312 с.

41.Корягин С.И., Пименов И.В., Худяков В.К. Способы обработки материалов: учеб. пособие. Калининград: Калинингр. ун-т, 2000. 448 с.

42.Косарева О.Г., Григорьевский A.B., Кандидов В.П. Формирование протяженных плазменных каналов в конденсированной среде в результате аксиконной фокусировки фемтосекундного лазерного импульса // Квантовая электроника, 2005. Т.35. №11. С.1013-1014.

43.Крылов К.И., Прокопенко В.Т., Тарлыков В.А. Основы лазерной техники: учеб. пособие для студентов приборостроительных специальностей вузов. Л.: Машиностроение. Ленингр. отд-ние, 1990. 316 с.

44.Куликов И.С., Ващенко C.B., Каменев А.Я. Электролитно-плазменная обработка материалов. Минск: Беларусская навука, 2010. 232 с.

45.Лазаренко Б.Р., Белкин П.Н., Факторович A.A. Образование парогазовой оболочки при нагреве анода электролитной плазмой // Электронная обработка материалов. 1975. №6. С. 31-33.

46.Лазерная искра со сплошным каналом в воздухе / Ф.В. Бункин [и др.] // Квантовая электроника. 1983. Т.10. №2. С. 443-444.

47.Лазерная поверхностная обработка металлов и сплавов / П.А. Леонтьев [и др.]. М.: Металлургия, 1986. 142 с.

48.Лазеры на алюмоиттриевом гранате с неодимом / Г.М. Зверев [и др.]. М.: Радио и связь, 1985. 144 с.

49.Лебедев, Ю.А. СВЧ плазма и ее применение // Физика конденсированного состояния: тезисы докладов IV международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии, 13-18 мая 2005 г., Россия, Иваново. 2005.

50.Лесков Г. И. Электрическая сварочная дуга. М.: Машиностроение, 1970. 335 с.

51.Любимов В. В., Сабинин Е. А. Микроформообразование нетвердотельными инструментами // Современная электротехнология в промышленности центра России: труды XI региональной научно-технической конференции. Тула: Изд-во ТулГУ, 2010. С. 3 - 10.

52.Любимов В.В., Грачев O.E. Электрофизикохимическая обработка стали 12х18н10т с применением нетвердотельного катода // Известия Тульского государственного университета. Сер. Технические науки. Тула: Изд-во ТулГУ, 2011. Вып. 3. С. 483 - 491.

53.Любимов В .В., Грачев O.E., Козырь Д.В. Исследование процесса электрофизикохимической обработки с применением импульсного плазменного катода // Высокие, критические электро- и нанотехнологии: труды всероссийской научно-технической конференции. Тула: Изд-во ТулГУ, 2011. С. 27-36.

54.Любимов В.В., Грачев O.E., Сабинин Е.А. Анализ плазменных каналов, как инструментов, при импульсном лазерном излучении наносекундной длительности // Современная электротехнология в промышленности центра России: труды XI региональной научно-технической конференции. Тула: Изд-во ТулГУ, 2010. С. 53 - 64.

55.Любимов В.В., Грачев O.E., Степанов П.В. Исследование токоподводов к плазменному катоду для осуществления процесса электрофизикохимической обработки // Высокие, критические электро- и

нанотехнологии: труды всероссийской научно-технической конференции. Тула: Изд-во ТулГУ, 2011. С. 41-49.

56.Марголин Л.Я. Нелинейное распространение бесселева пучка света околопробойной интенсивности в воде V/ Квантовая электроника. 1996. Т.23. №3. С. 281-283.

57.Марин М. Ю. Динамика и структура оптических разрядов в бесселевых лазерных пучках: дис. ... канд. физ.-мат. наук. М., 2005. 101 с.

58.Мороз И.И. и др. Электрохимическая обработка металлов. М., 1969. 208 с.

59.Морозов В.В. Исследование и разработка технологических режимов изготовления отливок по выжигаемым моделям, полученных методом лазерной стерео литографии: дис. ... канд. техн. наук. М., 2005. 161 с.

60.Направление электрического разряда сплошной лазерной искрой при фокусировке излучения С02-лазера коническим зеркалом / В.В. Апполонов [и др.] // Квантовая электроника. 2002. Т. 32. №2.

61.Низкотемпературная плазма. Т. 6. ВЧ- и СВЧ-плазмотроны / C.B. Дресвин [и др.] // Наука. Сиб. отд-е, 1992. 319 с.

62.Носуленко В.И. Размерная обработка металлов электрической дугой // Электронная обработка материалов. 2005. №1. С. 8-17.

63.Ньюмен Дж. Электрохимические системы. М.: Мир. 1977. 463 с.

64. Петров Ю.Н. Основы повышения точности электрохимического формообразования. Кишинев, Штиница, 1977. 153 с.

65.Плазменная технология. Опыт разработки и внедрения / Составитель А.Н. Герасимов. Л.: Лениздат, 1980. 152 с.

66.Погребняк А.Д., Тюрин Ю.Н. Модификация свойств материалов и осаждение покрытий с помощью плазменных струй // Успехи физических наук. 2005. Том 175. № 5. С. 515-544.

67.Подураев В.Н., Камалов B.C. Физико-химические методы обработки. М.: Машиностроение, 1973. 346 с.

68.Полонский Л .Я. Формирование сплошной протяженной лазерной искры и электрофизические свойства ее канала: дис. ... канд. физ.-мат. наук. М., 1985. 183 с.

69-Попилов Л.Я. Электрофизическая и электрохимическая обработка материалов: Справочник. Л.: Машиностроение. 1982. 400 с.

70.Пятницкий Л.Н., Коробкин В.В. Волновые пучки с компенсированной дифракцией и протяженные плазменные каналы на их основе // Труды Института общей физики. 2000. Т. 57. С. 59-114.

71.Рыбкин В.В. Низкотемпературная плазма как инструмент модификации поверхности полимерных материалов // Соросовский образовательный журнал. Том 6. 2001. №3. С. 58-63.

72.Рыкалин Н.Н. и др. Лазерная и электронно-лучевая обработка материалов: справочник. М.: Машиностроение, 1985. 496 с.

73.Свойства сплошных протяженных лазерных искр в газах пониженного давления/ А.И. Кобылянский [и др.] // Препринт ИВТАН №5-264. 1989. 59 с.

74.Седыкин Ф.В. Размерная электрохимическая обработка деталей машин. М., 1976.

75.Создание в вакууме протяженного плазменного канала при воздействии квазибесселева пучка на мишень / В.М. Батенин [и др.]. Квантовая электроника, 2001. Т. 31. № 5.

76. Справочник по электрохимическим и электрофизическим методам обработки / Г.Л. Амитан [и др.]. Л.: Машиностроение, 1988. 719 с.

77.Структура искрового канала при оптическом пробое газов атмосферного давления в каустике аксикона / В.В. Коробкин [и др.] // Квантовая электроника, 1989. Т.16. №9. С. 1885-1894.

78.Структура канала лазерной искры в каустике аскикона/ Марголин Л.Я. [и др.] // Известия академии наук СССР. Серия физическая. 1989. Т.53. №3. С. 474-479.

79.Суминов В.M. Обработка деталей лучом лазера. М.: Машиностроение, 1969. 220 с.

80. Трубчатые пучки электромагнитного излучения: формирование и нелинейное распространение в плазме / Н.Е. Андреев [и др.] // ЖЭТФ. 1994. Т.105. Вып.5. С. 1232-1241.

81.Углов А. А., Селищев C.B. Автоколебательные процессы при воздействии концентрированных потоков энергии. М.: Наука, 1987. 150 с.

82.Фокусировка гауссовых и гипергауссовых лазерных пучков аксиконами для получения сплошных лазерных искр / В.В. Коробкин [и др.] // Квантовая электроника. 1986. Т. 13. №2. С. 265-270.

83.Формирование сплошной лазерной искры в воздухе /В.В. Коробкин [и др.] // Квантовая электроника. 1985. Т. 12. №5. С. 957-963.

84.Формирование трубчатых бесселевых пучков света высокой мощности / Н.Е. Андреев [и др.] // Квантовая электроника. 1996. Т.23. №2. С.130-13.

85.Ширшов И.Г., Котиков В.Н. Плазменная резка. Л.: Машиностроение. Ленингр. отд-ние, 1987. 192 с.

86.Шишковский И.В. Селективное лазерное спекание и синтез функциональных структур: дис. ... д-ра физ-мат. наук. Самара, 2005. 390 с.

87.Щербина В.И., Любимов В.В. Методология проектирования комбинированных методов электрообработки материалов // Успехи современного естествознания. 2004. №4. С. 79-80.

88.Щукин A.C. Лазерное импульсное формообразование деталей из хрупких неметаллических материалов: дис. ... канд. техн. наук. Тула, 2010. 148 с.

8 9. Экспериментальное исследование воздействия субтераваттного фемтосекундного лазерного излучения на прозрачные диэлектрики при аксиконной фокусировке/ A.A. Бабин [и др.] // УФН. 1999. Т. 169. №1.

90.Экспериментальное моделирование системы лазерной молниезащиты на установке с искусственным облаком заряженного водного аэрозоля /В.В.

Апполонов [и др.] // Квантовая электроника. 2002. Т. 32. № 6.

156

91.Электрофизикохимические методы обработки материалов: учеб. пособие. / В.В. Любимов [и др.].Тула: ТулГУ, 2004. 255 с. . , ; '

92. Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов: учеб. пособие: в 2 т. Т.1. Обработка материалов с использование высококонцентрированных источников энергии / Б.А. Артамонов [и др.]; под ред. В. П. Смоленцева. М.: Высш. школа, 1983. 208 с.

93.Borowiec A., Haugen Н.К. Femtosecond laser micromachining of grooves in indium phosphide // Applied Physics A. No79 (2004). P. 521-529.

94.Brujan E.-A. Stress wave emission and cavitation bubble dynamics by nanosecond optical breakdown in a tissue phantom // J. Fluid Mech. 2006. Vol. 558. P. 281-308.

95.Camacho S.L Industrial-worthy plasma torches: State-on-the-art // Pure & Appl. Chem. 1988. Vol. 60. No 5. P. 619-632.

96.Campbell S. Single-pulse femtosecond laser machining of glass // Journal of Optics A: Pure and Applied Optics. 7 (2005). P. 162-168.

97.Conrads H. Plasma generation and plasma sources // Plasma Sources Sci. Technol. 2000. No 9. P. 441-454.

98.Cremers D. A. Handbook of Laser-Induced Breakdown Spectroscopy. John Wiley & Sons, Ltd. 2006. 293 p.

99.Descoeudres A. Characterization of electrical discharge machining plasmas.

Lausanne: EPFL, 2006. 125 p.

100. Fan C.-H. Modeling optical breakdown in dielectrics during ultrafast laser processing //Applied Optics. 2010. Vol. 40. No 18. P. 3124-3131.

101. Fujimoto J.G. Time-Resolved Studies of Nd: YAG Laser-Induced Breakdown // Investigative Ophthalmology & Visual Science. 1985. Vol. 26. P. 1771-1777.

102. Liu W. Femtosecond laser pulse filamentation versus optical breakdown in H20 // Applied Physics. 2003. P. 215-229.

103. Naddem H. Rizvi. Femtosecond laser micromachining: current status and

applications // Riken Review. No 50 (January, 2003). P. 107-112.

157

104. Pajak P.T. Modeling the aspects of precision and efficiency in laser-assisted jet electrochemical machining // Journal of Materials Processing Technology. 2004. No 149. P. 512-518.

105. Perry M.D. Ultrashort-pulse laser machining of dielectric materials // Journal of Applied Physics. 1999. Vol. 85. No 9. P. 6803-6810.

106. Schaffer C. B. Dynamics of femtosecond laser-induced breakdown in water from femtoseconds to microseconds // Optics Express. 2002. Vol. 10. No 3. P. 196-203.

107. Schütze A. The Atmospheric-Pressure Plasma Jet: A Preview and Comparison to Other Plasma Sources // IEEE Transactions on Plasma Science. 1998. Vol. 26. No 6. P. 1685-1693.

108. Schwarz E. Laser-induced optical breakdown applied for laser spark ignition // Laser and Particle Beams. 2010. No 28. P. 109-119.

109. Shohet J.L. Plasma-Aided Manufacturing // IEEE Transactions on Plasma Science. 1991. Vol. 19. No 5. P. 725-733.

110. Stuart B.C. Nanosecond-to-femtosecond laser-induced breakdown in dielectrics // Physical Review. 1996. Vol. 53. No 4. P. 1749-1761.

111. Venkatramani N. Industrial plasma torches and applications // Current Science. 2002. Vol. 83. No 3. P. 254-262.

112. Vogel A. Energy balance of optical breakdown in water at nanosecond to femtosecond time scales // Applied Physics. 1999. P. 271-280.

113. Vogel A. Femtosecond-Laser-Induced Nanocavitation in Water: Implications for Optical Breakdown Threshold and Cell Surgery // Physical Review Letters. 2008. No 100.

114. Vogel A. Plasma Formation in Water by Picosecond and Nanosecond Nd: YAG Laser Pulses - Part I: Optical Breakdown at Threshold and Superthreshold Irradiance // IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics. 1996. Vol. 2. No 4. P. 847-859.

115. Vogel A. Shock wave emission and cavitation bubble generation by picosecond and nanosecond optical breakdown in water // Acoustical Society of America. 1996. Vol. 100. No 1. P. 148-165.

116. Zheltikov A.M. Generation of Optical Harmonics and Frequency Mixing in a Plasma of Optical Breakdown // Laser Physics. 1994. Vol. 4. No. 3. P. 569578.