Воздействие импульсного пучка электронов на газо-фазные галогениды кремния и вольфрама тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.14.12, кандидат технических наук Пушкарев, Александр Иванович

• Пушкарев, Александр Иванович
• кандидат технических наук
• 2002

Оглавление диссертации кандидат технических наук Пушкарев, Александр Иванович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ВЛИЯНИЕ КОЛЕБАТЕЛЬНОГО ВОЗБУЖДЕНИЯ ОЛЕКУЛ НА ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ГАЗАХ (ОБЗОР ИТЕРАТУРЫ).

1.1. Способы колебательного возбуждения молекул.

1.1.1. Химическое возбуждение.

1.1.2. Образование неравновесного распределения энергии молекул при газодинамическом расширении газа.

Колебательное возбуждение молекул электронным ударом. Особенности инициирования плазмохимических процессов импульсным электронным пучком.

1.2. Цепные газо-фазные реакции, реакции с энергетическим етвлением.

1.3. Плазмо - каталитические процессы.

1.4. Выводы.

ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА И ОСНОВНЫЕ МЕТОДИКИ ИЗМЕРЕНИЯ.

2.1. Экспериментальная установка на базе ускорителя ТЕМП.

2.1.1. Ускоритель ТЕМП в электронном режиме, конструкция и сновные параметры.

2.1.2. Диагностическое оборудование ускорителя.

2.1.3. Плазмохимический реактор, конструкция и диагностическое оборудование.

2.2. Масс-спектроскопия реагентной смеси и продуктов реакции

2.3. Хроматография продуктов плазмохимического процесса.

2.4. Исследование состава газовой смеси методом выпаривания.

ГЛАВА 3. РАДИАЦИОННО-АКУСТИЧЕСКАЯ

ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ.

3.1. Диагностика фазовых превращений продуктов азмохимического процесса.

3.2. Диагностика кластерообразования в объеме реактора.

3.3. Диагностика энерговклада СЭП в реагентный газ.

3.3.1. Измерение энерговклада электронного пучка в газ о скачку давления.

3.3.2. Измерение энерговклада электронного пучка в газ о энергии звуковых волн.

3.4. Диагностика V-T релаксации.

ГЛАВА 4. ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ РАЗЛОЖЕНИЯ

ЕТРАХЛОРИДА КРЕМНИЯ, ИНИЦИИРУЕМЫЕ СИЛЬНОТОЧНЫМ

ЛЕКТРОННЫМ ПУЧКОМ.

4.1. Исследование диссоциации SiCU импульсным ильноточным электронным пучком.

4.1.1. Уменьшение содержания тетрахлорида кремния в реакторе осле воздействия электронного пучка на двойную смесь SiCl4H Н2.

4.1.2. Исследование тройной смеси SiCU+Нг+Аг.

4.1.3. Исследование зависимости уменьшения содержания ТХК в еакторе после воздействия электронного пучка, от экспозиции.

4.1.4. Исследование влияния внешнего магнитного поля на конверсию тетрахлорида кремния.

Исследование баланса энергии плазмохимического роцесса разложения SiCU.

Анализ механизмов диссоциации тетрахлорида кремния ри воздействии СЭП.

4. Выводы.

ГЛАВА 5. ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

ВОССТАНОВЛЕНИЯ ВОЛЬФРАМА ПРИ ДИССОЦИАЦИИ ЕКСАФТОРИДА ВОЛЬФРАМА ИМПУЛЬСНЫМ ЭЛЕКТРОННЫМ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Воздействие импульсного пучка электронов на газо-фазные галогениды кремния и вольфрама»

Техническая революция середины XX века, охватившая электронику, энергетику, вычислительную технику и ряд других областей, почти не затронула основные производства, обеспечивающие цивилизацию металлом, энергоносителями, различными химическими полупродуктами, производимыми в больших объемах. Технологии, применяемые в настоящее время в металлургии, химии, в различных областях энергетики, сформировались на базе научных концепций начала XX столетия или даже конца XIX. Например, один из важнейших продуктов современной химической промышленности - полупроводниковый кремний высшего качества в настоящее время получают из моносилана. Наиболее чистый моносилан получают диспропорционированием трихлорсилана. Основы технологического процесса были разработаны десятки лет назад.

Дальнейшее развитие промышленной базы влечет за собой гигантское наращивание объема отдельных производств, неоправданные затраты ресурсов для создания оборудования, истощение полезных ископаемых, металлов и топлива.

Естественным выходом из сложившейся ситуации, очевидно, должен быть переход на новые технологические решения в металлургии, химии, энергетике и ряде других отраслей. Качественные изменения возможны при резком повышении удельной производительности оборудования, т. е. производительности на единицу объема реакционной зоны. Для этого необходимо значительное увеличение температуры в зоне реакции, так как любой химический или металлургический процесс в рамках классической кинетики при этом экспоненциально ускоряется в соответствии с известным законом Аррениуса [1]. Нагрев зоны реакции и реагентов до такой температуры требует также экспоненциального увеличения расхода энергоносителей, поэтому необходимы новые пути увеличения производительности традиционных производств. 3

Этим требованиям отвечает совмещение реакционной зоны с газоразрядной, что позволяет локально нагревать реагенты до высоких температур без нагрева стенок реактора. Данные условия легко реализуются при возбуждении реагентной газовой смеси непрерывным электронным пучком, в дуговом разряде.

Следующий шаг по снижению энергозатрат на проведение химического процесса - использование неравновесных процессов, характеризующихся значительным превышением запасом энергии на внутренних степенях свободы молекул по сравнению с термодинамически равновесным состоянием. В этом случае энергия поступательного движения молекул (или температура газа) слабо меняется при протекании реакции, что значительно облегчает решение проблемы закалки (стабилизации) продуктов химического процесса.

Кроме того, протекающие при импульсном воздействии плазмохимические процессы имеют ряд преимуществ, позволяющие при их использовании в традиционных производствах увеличить производительность. К ним относятся организация плазмо-каталитических процессов, протекающих при возбуждении газо-фазных смесей импульсным электронным пучком. Кроме того, условия, реализуемые при импульсном возбуждении газовых смесей, благоприятны для организации цепных химических процессов. В этих условиях на получение требуемых продуктов расходуется энергия не только источника импульсного возбуждения, но и химическая энергия исходной реагентной смеси.

Большинство работ, посвященных исследованию разложения газофазных соединений в неравновесных плазмохимических процессах, было выполнено с целью решения экологических задач. Объектом исследования были топочные газы (оксиды азота, серы и др.), органические газо-фазные отходы (стирол, этан и др.), причем их концентрация в исследуемых смесях газов была незначительна. Внедрение неравновесных 4 плазмохимических процессов в основные технологические процессы позволит во многих случаях кардинально решить и проблемы экологии.

Целью представленной работы является исследование возможности использования сильноточного импульсного электронного пучка в отдельных технологических переделах современного химического производства. В качестве объектов исследований были выбраны химические соединения, удовлетворяющие следующим требованиям:

- возможность переработки в газо-фазном или паро-фазном состоянии.

- значительные объемы имеющегося сырья для переработки

- экологическая опасность исходного сырья

- актуальность снижения энергозатрат на переработку

Экспериментальные исследования выполнены на смеси гексафторида вольфрама (WF6) с азотом и аргоном, а также смеси тетрахлорида кремния (SiCl4) с водородом и аргоном при давлении реагентной смеси 100-760 Торр.

Основными задачами данной работы являются:

1. Исследование плазмохимических процессов диссоциации тетрахлорида кремния при воздействии импульсного электронного пучка.

2. Исследование процессов прямого восстановления вольфрама из гексафторида вольфрама при возбуждении импульсным электронным пучком.

3. Разработка методики оперативного контроля плазмохимического процесса при возбуждении импульсным источником энергии в условиях интенсивного кластерообразования и воздействия агрессивных веществ. 5

Научная новизна работы заключается в том, что:

1. Разработана оригинальная радиационно-акустическая диагностика процессов, протекающих в замкнутом реакторе, которая позволяет оперативно и с высокой точностью одновременно измерять энергозатраты электронного пучка на инициирование плазмохимических процессов и степень конверсии исходной реагентной смеси в условиях образования агрессивных соединений, а также регистрировать образование кластеров.

2. Выполненные исследования процессов восстановления вольфрама при воздействии импульсного электронного пучка с параметрами: энергия электронов 250 кэВ, ток пучка в максимуме 8 кА, длительность импульса на полувысоте 60 не, на газо-фазную смесь гексафторида вольфрама с азотом и аргоном впервые показали, что разложение WF6 реализуется в цепном плазмохимическом процессе, в котором основной источник энергии -конденсация атомов восстановленного металла.

3. Впервые экспериментально показано, что при разложении тетрахлорида кремния импульсным электронным пучком источниками энергии процесса диссоциации молекул SiCU , кроме энергии электронов пучка, являются экзотермическая реакция продуктов диссоциации и энергия, выделяющаяся при конденсации атомов восстановленного кремния.

Практическая ценность работы заключается в том, что на основе выполненных исследований разработан способ разложения галогенидов металлов, который позволяет значительно снизить энергозатраты за счет организации цепного плазмохимического процесса. Продукты разложения-соединение галогена с водородом и ультрадисперсные порошки восстановленного металла представляют практическую ценность для применения в промышленности. Разработанная радиационно-акустическая методика позволяет оперативно контролировать ход плазмохимического процесса диссоциации галогенов импульсным электронным пучком. 6

Диссертационная работа состоит из введения, 5 глав и заключения.

Заключение диссертации по теме «Техника высоких напряжений», Пушкарев, Александр Иванович

Результаты работы докладывались и обсуждались на конференциях: 10 Международная научная школа-семинар "Физика импульсных разрядов в конденсированных средах", Украина, Николаев, август 2001;

Международная научно-практическая конференция

Энергосберегающие и природоохранные технологии на Байкале», Улан-Удэ, 2001;

Восьмая международная конференция Физико-химические процессы в неорганических материалах, Кемерово, 2001;

6 Russian-Korean International Symposium on science and technology, Russia, Novosibirsk, 2002.

132

III международная конференция «Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах», Томск, 2002;

VI Всероссийская (международная) конференция Физикохимия ультрадисперсных (нано-) систем, Москва, Томск, 2002;

Международная конференция «Кристаллизация в наносистемах», Иваново, 2002;

3 Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимиии, Плес, 2002;

3rd International Symposium on Pulsed Power and Plasma Applications (ISPP2002), China.

Результаты диссертационной работы представлены в статьях, опубликованных и принятых к печати [80,81,85,117,118], в материалах международных конференций [48,119-127].

Личный вклад автора состоит в создании экспериментальной установки (совместно с сотрудниками лаборатории), выборе и отработке методик эксперимента, проведении экспериментальных исследований и анализе их результатов. Автором самостоятельно выдвинуты защищаемые научные положения, сделаны выводы и даны рекомендации по результатам исследований.

Обсуждение задач исследований, методов их решения и результатов проводилось совместно с соавторами, фамилии которых указаны в опубликованных по теме диссертации работах.

Автор признателен сотрудникам лаборатории Исакову И.Ф. и Пряхину В.В. за помощь в проведении экспериментов и обсуждении результатов исследований.

133

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Пушкарев, Александр Иванович, 2002 год

1. Кондратьев В. Н., Никитин Е. Е. Химические процессы в газах. М.: Наука, 1981,264 с.

2. Елецкий А.В. Процессы в химических лазерах //Успехи физических наук. 1981, том 134, №2, с. 237.

3. Месяц Г.А., Осипов В.В., Тарасенко В.Ф. Импульсные газовые лазеры. М., Наука, 1991.

4. Энергия разрыва химических связей. Потенциалы ионизации и сродство к электрону. Справочник // Под редакцией В, Н. Кондратьева, М.: Изд-во АН СССР, 1962.

5. Александров М.Л., Куснер Ю.С. Газодинамические молекулярные, ионные и кластированные пучки. Л.: Наука, 1989, 271 с.

6. Гартвич Г.Г., Дудников В.Г., Зарвин А.Е., Каляда В.В., Мардибаев В.Ж. Пространственно-временные характеристики сверхзвукового потока, формируемого с помощью импульсного электромагнитного клапана //Приборы и техника эксперимента, 1977, №2, с. 134-136.

7. Зарвин А.Е., Коробейщиков Н.Г., Мардибаев В.Ж., Гартвич Г.Г., Каляда В.В., Айрапетян B.C. Универсальный малогабаритный вакуумный комплекс для газокинетических исследований // Приборы и техника эксперимента, 2000, №5, с.64-70.

8. Зарвин А.Е., Коробейщиков Н.Г., Мардибаев В.Ж., Шарафутдинов Р.Г. Влияние конденсации на параметры импульсных сверхзвуковых потоков // Письма в ЖТФ, 2000, том 26, вып.22, с.21-25.

9. Зарвин А.Е., Коробейщиков Н.Г., Мадирбаев В.Ж., Шарафутдинов Р.Г. Влияние конденсации на параметры сверхзвуковых потоков // Письма в ЖТФ, 2000, том 26, вып.22, с. 21-25.

10. Шарафутдинов Р.Г., Бирюков С.А., Ефимов В.М. Осаждение слоев Si02 из газовых струй при активации реагентов электронным пучком // Журнал технической физики, 1996, т. 66, вып. 6, с. 170- 182.

11. Русанов В. Д., Фридман А.А. Физика химически активной плазмы. М.: Наука 1984,416 с.

12. Животов В.К., Русанов В.Д., Фридман А.А. Диагностика неравновестной химически активной плазмы. М.: Энергоатомиздат, 1985, 216с.

13. Русанов В.Д., Фридман А.А., Шолин Г.В. Диссоциация С02 в неравновесной плазме //Журнал технической физики. 1979. Т. 49. В. 10. с. 2169-2175.135

14. Убеллоде А. Р. Продолжительность жизни активных молекул в газофазных реакциях // В кн. Химическая кинетика и цепные реакции. М.: Наука, 1966.-200 с.

15. Неравновесная колебательная кинетика. Пер. с англ./ Под ред. М. Капителли.-М.: Мир, 1989,- 392с.

16. Елецкий А.В., Смирнов Б.М. Физические процессы в газовых лазерах. М.: Энергоатомиздат, 1986, 152 с.

17. Г.М.Батанов, Е.Ф.Большаков, А.Н.Воронин, А.А.Горбунов, А.А.Дорофеюк, В.И.Конов, И.А.Коссый Плазмохимическое осаждение тонких пленок в свободнолокализованном импульсном микроволновом разоряде // Журнал технической физики, 1993, том 63, №6, с. 87-95.

18. Masahito Ban, Sadao Fujii and Junzo Fujioka Diamond-Like Carbon Films Deposited by Electron Beam Excited Plasma CVD // Proceedings of XXVth International Conference on phenomena in ionized gases. Japan, July 17-22, 2001.136

19. Федосеев Д.В., Дерягин Б.В. Осаждение алмазоподобных пленок из газовой фазы, активированной электрическим разрядом // Доклады Академии Наук, 1988, т.300, №3, с. 629.

20. Аскарьян Г.А., Батанов Г.М., Грицинин С.И., Косый И.А., Костинский А.Ю. Плазмохимические процессы, сопровождающие разряд в воздухе, возбуждаемый СВЧ волновым пучком // Журнал технической физики, 1990, том 60, №11, с.77-84.

21. Осипов В.В. Самостоятельный объемный разряд // Успехи физических наук, 2000, том 170, №3, с.225-245.

22. Королев Ю.Д., Месяц Г.А. Физика импульсного пробоя газов. М.: Наука, 1991,215 с.

23. Ковальчук Б.М., Кремнев В.В., Месяц Г.А., Поталицын Ю.Ф. Разряд в газе высокого давления, инициируемый пучком быстрых электронов // ПМТФ, 1971, №6, с.21-29.

24. Дерюгин А.А., Котельников Д.С., Кочетков И.В., Лобойко А.И., Паль А.Ф., Пичурин В.В. Исследование нагрева в несамостоятельном разряде в азоте и его смеси с СО // Физика плазмы, 1986, том 12, вып. 9, с. 1081-1086.

25. Басов Н.Г., Зворыкин В.Д., Ковш И.Б., Кипшакбаев А.И., Лопатников А.Н., Пятахин М.В., Урин Б.М. Измерение эффективности колебательного возбуждения молекул в несамостоятельном разряде // Журнал технической физики, 1984, том 54, №7, с. 1294-1301.

26. Месяц Г. А. Сильноточные электронные пучки и их применение

27. Абрамян Е.А., Альтеркоп Б.А., Кулешов Г.Д. Интенсивные электронные пучки. Физика. Техника. Применение. М.: Энергоатомиздат, 1984, 232 с.

28. Бондарь Ю.Ф., Заворотный С.И., Ипатов А.Л., Мхеидзе Г.И., Овчинников А.А., Савин А.А. Исследование транспортировки релятивистского электронного пучка в плотном газе // Физика плазмы, 1982,том 8, вып.6, с. 1192-1198.

29. Ткач Ю.В., Магда И.И., Скачек Г.В., Пушкарев С.С., Бондаренко В.А., Панасенко В. Д., Найстетер С.И. Релаксация сильноточного137релятивистского пучка в плазме // Физика плазмы, 1980, том 6, вып.З, с. 586-596.

30. Hammer Thomas. Non-Thermal Plasma Application to the Abatement of Noxious Emissions in Automotive Exhaust Gases // Proceedings of XXVth International Conference on phenomena in ionized gases. Japan, July 17-22, 2001.

31. Suzuki Т., Kannari F., Obara M., Fujioka T. Energy deposition measurements of a large-diameter, intense relativistic electron beam for high-power gas laser excitation // Review of Sci. Instrum. 55 (1984), № 4, p. 472-476.

32. Рыжов В.В., Ястремский А.Г. Распределение энергии электронного пучка в плазме азота // Физика плазмы, 1978, том 4, вып.6, с.1262-1266.

33. Рыжов В.В., Ястремский А.Г. Особенности генерации низкотемпературной плазмы при ионизации смесей газов электронным пучком // Журнал технической физики, 1979, том 49, № 10, с.2141-2145.

34. Норман Г.Э., Полак Л.С., Сопин П.И., Сорокин Г.А. Сильноточные релятивистские электронные пучки в плазмохимии. В кн. Синтез соединений в плазме, содержащей углеводороды. М.: ИНХС АН СССР, 1985, 166 с.

35. Денисов Г.В., Новоселов Ю.Н. Разложение CS2 в ионизированном воздухе в слабых электрических полях // Письма в ЖТФ, 1996, том 22, вып. 7, с. 11-14.138

36. Баранчиков Е.И., Беленький Г.С., Денисенко В.П., Масленников Д.Д., Потапкин Б.В., Русанов В.Д., Фридман А.А. Окисление S02 в воздухе под действием сильноточного пучка релятивистских электронов // Доклады АН, 1990 г., т. 315, № 1, с. 120-123.

37. Бабарицкий А.И., Баранов И.Е., Демкин С.А., Животов В.К., Потапкин Б.В., Русанов В.Д., Рязанцев Е.И., Этиван К. Плазменный катализ процессов конверсии углеводородов // Химия высоких энергий 1999, том 33, №6, с. 458-462.

38. G.E. Remnev, A.I. Pushkarev, М. A.Pushkarev. Chain reactions of halogenides recovery by pulsed high-current electron beam // The 6 Russian-Korean International Symposium on science and technology, Russia, Novosibirsk, 2002.

39. Семенов H.H., Шилов A.E. О роли возбужденных частиц в разветвленых цепных реакциях // Кинетика и катализ, 1965, том 4, вып. 1, с.З-16.

40. Веденеев В.И., Шилов А.Е. Цепные реакции с энергетическим разветвлением. В кн. Физическая химия. Современные проблемы. Ежегодник./Под ред. акад. Колотыркина Я.М. М.: Химия, 1985.-264 с.

41. Воеводский В.В. Разветвленные цепные процессы и реакции свободных радикалов // В кн. Химическая кинетика и цепные реакции. М.: Наука, 1966.- 200 с.

42. Семенов Н.Н. Цепные реакции, ОНТИ, Л., 1934.

43. Химическая физика на пороге XXI века: К 100-летию академика Н.Н. Семенова-М.: Наука, 1996, 224 с.

44. Денисов Д.Л., Месяц Г.А., Новоселов Ю.Н. Удаление окислов серы из дымовых газов под действием импульсных пучков электронов // Теплофизика высоких температур, 1996, том 34, № 6, с. 845-852

45. Денисов Г.В., Новоселов Ю.Н., Ткаченко P.M. Удаление оксидов азота из воздуха при воздействии микросекундного пучка электронов // Письма в ЖТФ, 1998, том 24, № 4, с. 52-56.139

46. Новоселов Ю.Н., Денисов Г.В., Ткаченко P.M. Конверсия оксидов азота в азотно-кислородной смеси, возбуждаемой микросекундным пучком электроновш // Журнал технической физики, 2002, том 72, вып. 2, с. 116120.

47. Радциг А.А., Смирнов Б.М. Справочник по атомной и молекулярной физике. М.: Атомиздат, 1980. 240 с.

48. Денисов Г.В., Кузнецов Д.Л., Новоселов Ю.Н., Ткаченко P.M. Влияние параметров импульсного электронного пучка на процесс удаления оксидов азота из дымовых газов // Письма в ЖТФ, 1998, том 24, №15, с. 47-51.

49. Денисов Г.В., Кузнецов Д.Л., Новоселов Ю.Н., Ткаченко P.M. Конверсия оксидов серы и азота в воздухе под действием микросекундных пучков электронов // Журнал технической физики, 2002, том 72, вып. 5, с. 102-107.

50. Русанов В.Д., Фридман А.А., Шолин Г.В. Синтез окислов азота в неравновесных плазмохимических системах // В кн. Химия плазмы. Сборник статей. Выпуск 5, 1978г., с.222-241.

51. Денисов Г.В., Новоселов Ю.Н., Филатов И.Е. Разложение CS2 в несамостоятельном объемном разряде атмосферного давления // Письма в ЖТФ, 1995, том 21, вып. 18 с.89-93.

52. Храпак А.Г., Якубов И.Т. Электроны в плотных газах и плазме. М.: Наука, 1981,282 с.

53. Денисов Г.В., Новоселов Ю.Н., Суслов А.И., Уостер A.M. Продукты окисления сероуглерода в ионизированном воздухе // Журнал технической физики, 2001, том 71, вып.1, с.136-138.

54. Новоселов Ю.Н., Филатов И.Е. Очистка воздуха от паров акролеина наносекундным пучком электронов // Письма в ЖТФ, 199В, том 24, №16, с. 35-39.

55. Таблицы физических величин. Справочник. // Под редакцией И. К. Кикоина, М.: Атомиздат, 1976, с. 1006.

56. Новоселов Ю.Н., Рыжов В.В., Суслов А.И. Цепной механизм инициирования реакций окисления углеводородов в низкотемпературной плазме // Письма в ЖТФ, 1998, том 24, №19, с. 40-43.

57. Бабарицкий А.И., Деманский М.А., Демкин С.А., Животов В.К., Потапкин Б.В., Потехин С.В., Русанов В.Д., Рязанцев Е.И., Этьеван К. Эффект плазменного катализа при разложении метана // Химия высоких энергий, 1999, том 33, №1, с. 49-56.

58. Deminsky М., Jivotov V., Potapkin В., Rusanov V. Plasma assisted production of hydrogen from hydrocarbons // Proceedings of 15th INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PLASMA CHEMISTRY (ISPC 15), July 9- 13, 2001, Orleans, France .

59. Бабарицкий А.И., Баранов И.Е., Демкин C.A., Животов В.К., Потапкин Б.В., Потехин С.В., Русанов В.Д., Рязанцев Е.И., Этьеван К. Плазменный катализ процессов конверсии углеводородов // Химия высоких энергий, 1999, том 33, №6, с. 458-462.

60. Ремнев Г.Е., Исаков И.Ф., Опекунов М.С., Матвиенко В.М. Источники мощных ионных пучков для практического применения. // Известия вузов. Физика. 1998. №4 (приложение), с. 92-110.

61. Незлин М. В. Динамика пучков в плазме. М. Энергоиздат, 1982г. 399с.

62. Масс-спектрометр типа МХ-7304. Техническое описание и инструкция по эксплуатации.

63. Альбом масс-спектров.Приложение к техническому описанию масс-спектрометра МХ-7304.

64. Филиппов С.И., Арсентьев П.П. Физико-химические методы исследования металлургических процессов. М.: Металлургия, 1968, 520 с.141

65. Лямшев JI.M. Радиационная акустика. М.: Физматлит-Наука, 1996, 302с.

66. Исакович М.А. Общая акустика М.: Наука, 1973, 295 с.

67. Яворский Б.М., Детлаф А.А. Справочник по физике. М.: Наука, 1968, 940 с.

68. Ремнев Г.Е., Пушкарев А.И., Пушкарев М.А., Красильников В.А., Гузеева Т.А. Контроль изменения химического состава газов в плазмохимическом реакторе по частоте звуковых волн при конденсации продуктов реакции. // Известия вузов. Физика, 2001, №5, с.ЗЗ.

69. Пушкарев А.И., Пушкарев М.А., Ремнев Г.Е. Исследование звуковых волн, генерируемых при поглощении импульсного электронного пучка в газе // Акустический журнал, 2002, том 48, №2, с. 260.

70. Pushkarev A.I., Pushkarev М.А., Remnev G.E. Sound waves generated due to the absorption of a pulsed electron beam in gas // Acoustic Physics,v.48, N 2, 2002, p.p. 220-224.

71. Молевич H.E., Ненашев B.E. Влияние объемной вязкости на распространение звука в звесях микрочастиц в газе // Акустический журнал, 2000, №4, с. 520-525.

72. Константинов Б.П. Гидродинамическое звукообразование и распространение звука в ограниченной среде. М.: Наука, 1974, 144 с.

73. Москалев В.А., Сергеев Г.И. Измерение параметров пучков заряженных частиц. М.: Энергоатомиздат, 1991, 240 с.

74. Пушкарев А.И., Пушкарев М.А., Жуков Л.Л., Суслов А.И. Измерение диссипации энергии электронного пучка в плотном газе малоинерционным дифференциальным датчиком давления // Известия вузов. Физика, 2001, №7, С.93.

75. Абдулин Э.Н., Логинов С.В., Рыжов В.В., Турчановский И.Ю. Измерения энергии, выделяемой в газе инжектированным электронным пучком, с помощью механотронов // Приборы и техника эксперимента, 1998, №1, с. 120-122.142

76. Баиадзе К.В., Вецко В.М., Жданок С.А., Напартович А.П., Старостин А.Н. Аномальный нагрев азота в разряде // Физика плазмы, 1979, том 5, вып. 4, с. 923-928.

77. Резниченко М.Ф., Кузнецов Ф.А., Куксанов Н.К., Кучумов Б.М. Использование промышленных ускорителей электронов для активации процессов в технологии кремния // Материалы электронной техники, 2001, №4, с. 28-31.

78. Салимов Р.А. Мощные ускорители электронов для промышленного применения // Успехи физических наук, 2000, том 170, №2, с. 197-201.

79. Гусев А.В., Корнев Р.А., Суханов А.Ю. Исследование процесса плазмохимического восстановления тетрахлорида кремния водородом // 3-й Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии. Сборник материалов, Иваново, 2002, с.254-255.

80. Лапидус И.И., Нисельсон Л.А. Тетрахлорсилан и грихлорсилан. М.: Химия, 1970, 128 с.

81. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Миня А.И. Исследование деструкции молекул силана в импульсном объемном разряде // Письма в ЖТФ, 1998, том 24, №21, с.35-39.

82. Крутилина В.М., Нестеров Г.В. Численное моделирование релаксации мощного электронного пучка в воздухе в сильном неоднородном магнитном поле // Известия вузов. Физика, 1990, № 7, с. 69-73.

83. Туманов Ю.Н., Галкин А.Ф. Плазменно-ректификационная технология переработки газообразного фторидного сырья // Физика и химия обработки материалов, 2001, №6, с. 54-61.143

84. Смирнов Б.М. Кластерная плазма. Успехи физических наук, 2ООО, том 170, №5, с. 495-534.

85. Способ переработки гексафторида урана на металлический уран и безводный фторид водорода. Патент RU №96117830 МПК6 С22В60/02; С22В5/12 опубл. 27.12.1998.

86. Основные свойства неорганических фторидов. // Справочник. Под ред. Галкина Н.П. - М: Атомиздат, 1976. -с.66-67.

87. Гранкин В.П., Стыров В.В., Тюрин Ю.И. //Кинетика и катализ. 1982. Т.23. Вып.6. с. 1480.

88. Корнич В.Г., Пинчук В.П., Горбань А.Н. //Изв. вузов СССР. Физика. 1975. №3. с. 107

89. Томишко М.М. Плазма в каталитических процессах // 3-й Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии. Сборник материалов, Иваново, 2002, с.59.

90. Томишко ММ, Носов В.Н., Бесков B.C. и др. //Кинетика и катализ.1987. Т. 28. № I.e. 255.

91. Томишко ММ, Невский И.А., Бесков B.C. и др. // Доклады АН СССР.1988. Т. 302. № 5. с. 1154.

92. Томишко ММ, Невский И.А., Бесков B.C., Путилов А.В. // Теор. основы хим. технол.1997. Т. 31. № 5. с. 549.из. Томишко ММ, Невский И,А., Бесков B.C., Путилов А.А. //Докл. РАН. 1995. Т. 341, № I.e. 75.

93. Томишко ММ, Невский И.А., Бесков B.C., Путилов А.В. //Докл. РАН 1995. Т.341. № 4. с. 507.

94. Томишко ММ, Невский И.А., Бесков В.С.и др. // Химическая промышленность. 1987. № 10. С. 605.

95. Николаев И.А., Стыров В.В., Тюрин Ю.И. Журнал технической физики, 1981, том 51, №1, с. 175

96. Ремнев Г.Е., Пушкарев А.И., Пушкарев М.А. и др. "Контроль изменения химического состава газов в плазмохимическом реакторе по частоте звуковых волн при конденсации продуктов реакции" // Известия вузов. Физика, 2001, №5, с.ЗЗ.

97. Ремнев Г.Е., Пушкарев А.И., Пушкарев М.А. Цепная реакция прямого восстановления вольфрама из гексафторида вольфрама при возбуждении импульсным электронным пучком. Химия высоких энергий (в печати).

98. Ремнев Г.Е., Пушкарев А.И., Пушкарев М.А. Исследование восстановления галогенидов импульсным сильноточным электронным пучком // Материалы 3 Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимиии, Плес, 2002 (электронный вариант).