Разработка и исследование выходных фазокомпенсированных зеркал с профилем отражения для CO2-лазеров тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.07, кандидат технических наук Прокашев, Вадим Николаевич

• Прокашев, Вадим Николаевич
• кандидат технических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат технических наук Прокашев, Вадим Николаевич

Введение.

Глава 1. Возможность и преимущества использования в неустойчивых резонаторах выходных зеркал с переменным по радиусу коэффициентом отражения.

1.1 Обзор эффектов, влияющих на поперечное распределение структуры поля внутри резонатора.

1.2 Преимущества применения в неустойчивых резонаторах зеркал с переменным профилем коэффициента отражения.

Глава 2. Фазовая компенсация поля излучения в выходных элементах лазерных резонаторов.

2.1 Численная модель распространения поля излучения с фазовыми искажениями волнового фронта.

2.2 Влияние фазовых искажений на распространение излучения.

Глава 3. Исследование плёнкообразующих веществ, используемых при изготовлении оптических элементов иреднего ИК диапазона спектра.

3.1 Технология изготовления плёночных структур и контроль параметров при напылении.

3.2 Методы измерения оптических констант плёнкообразующих веществ и полученные результаты исследования.

3.3 Исследование легированных плёнок фторидов.

Глава 4. Фазокомпенсированные выходные элементы со ступенчатым профилем отражения.

4.1 Некоторые существующие фазокомпенсированные элементы со ступенчатым профилем отражения и результаты их применения в лазерных резонаторах.

4.2 Выходной элемент резонатора с дополнительным фазокомпенсирующим слоем.

Глава 5. Фазокомпенсированные выходные элементы резонаторов с гладким профилем коэффициента отражения.

5.1 Некоторые конструкции выходных элементов лазерных резонаторов с плавным профилем отражения.

5.2 Конструкция выходного элемента с гладким профилем отражения и с фазокомпенсирующим слоем.

5.3 Технология изготовления многослойных плёночных покрытий со слоями переменной по радиусу толщины.

5.4 Результаты испытаний фазокомпенсированных выходных элементов на установке мощного СО2 лазера.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка и исследование выходных фазокомпенсированных зеркал с профилем отражения для CO2-лазеров»

Л ктуалышеть темы.

Одним из важных направлений развития оптической и лазерной техники и технологии является разработка источников когерентного излучения высокой яркости и эффективности. Излучение таких лазерных источников используется в системах оптической локации и связи, лазерной медицины, во многих производственных процессах, то есть там, где требуется высокая концентрация световой энергии на малых площадях или её транспортировка на большие расстояния без существенных' потерь.

При создании лазеров высокой яркости значительное внимание уделяется получению максимальной выходной энергии и мощности генерации в первую очередь за счёт использования эффективных активных сред и систем накачки. Однако улучшение пространственных'характеристик излучения лазера путем выбора оптимальной конструкций оптического резонатора позволяет снизить требования к полной излучаемой мощности лазерной системы, значительно увеличить яркость при' фокусировке излучения, уменьшить дифракционную расходимость при транспортировке, и, таким образом, повысить точность и производительность операций, выполняемых с помощью лазерного пучка.

Традиционные схемы неустойчивых резонаторов, используемых в мощных технологических лазерах с большим коэффициентом усиления активной среды, таких как газовый С02 - лазер с поперечной прокачкой, обладают рядом недостатков. В первую очередь, это возможность одновременной генерации нескольких поперечных мод, имеющих одинаковые потери при данной конфигурации активного, т.е. заполненного усиливающей средой резонатора. Вырождению поперечных мод по потерям также способствует дифракционное рассеяние излучения на краях зеркал резонатора. Как показывает анализ, такое вырождение не снимается £ даже при больших увеличениях. Кроме этого, при использовании дифракционной схемы вывода излучения, т.е. вокруг апертуры непрозрачного выходного зеркала, выходящий лазерный пучок имеет кольцеобразный профиль. Как следствие, это приводит к большей расходимости при транспортировке излучения, а при фокусировке излучения, значительная часть энергии перераспределяется в боковые & максимумы.

Избавится от этих недостатков, позволяет использование в резонаторе лазера выходного зеркала с переменным по радиусу коэффициентом отражения. " Сглаженный " край такого выходного элемента значительно снижает дифракционные эффекты, приводящие к вырождению по потерям поперечных мод и позволяет получить на выходе резонатора лазера ^ поперечный профиль излучения близкий к гауссовому и обладающий минимальной расходимостью.

Вместе с тем, успешная реализация выходных лазерных элементов с переменным профилем отражения, требует решения ряда теоретических и экспериментальных прикладных задач, таких как: синтез градиентных ^ многослойных покрытий, обеспечивающих заданное изменение коэффициента отражения по поверхности элемента; расчёт фазокомпенсирующих слоев для компенсации возможных фазовых искажений, возникающих в отражённом и проходящем фронте излучения; разработка технологических методов нанесения диэлектрических слоев переменной по радиусу толщины; исследование материалов оптических плёнок и выбор структуры таких плёночных конструкций, чтобы обеспечить достаточную лучевую и физическую прочность покрытия.

Лель работы.

Цель настоящей диссертационной работы состояла в разработке многослойных диэлектрических конструкций обеспечивающих заданный радиальный профиль отражения различных типов выходных элементов; разработке методов компенсации фазовых искажений волнового фронта при отражении и прохождении элемента; разработке технологических методов нанесения плёночных конструкций с переменной по радиусу толщиной; исследование различных типов многослойных диэлектрических конструкций и оптических материалов, обеспечивающих достаточную лучевую и физическую прочность покрытия элемента.

С этой целью в настоящей работе:

- проведён численный расчёт и анализ влияния некоторых типов фазовых искажений волнового фронта на дифракционную расходимость лазерных пучков в дальней зоне;

- на основе проведённого анализа предложена величина допустимых фазовых искажений вносимых элементом и не влияющим на распространение пучка и формировании внутрирезонаторной моды;

- рассчитаны многослойные диэлектрические покрытия для различных типов выходных фазокомпенсированных элементов: со ступенчатым и гладким профилем отражения;

- проведён численный расчёт фазовых искажений волнового фронта, вносимых различными отражающими структурами;

- предложены различные методы фазовой компенсации вносимых искажений для различных типов элементов;

- исследованы некоторые плёнкообразующие вещества и многослойные конструкции на их основе, обеспечивающие достаточную лучевую и механическую прочность покрытий элемента;

- рассмотрены технологические методы вакуумного напыления плёнок с заданным радиальным профилем толщины, на их основе разработана и реализована технологическая установка для нанесения таких плёнок;

- изготовлены различные типы фазокомпенсированных элементов со ступенчатым и гладким профилем отражения;

- проведены экспериментальные испытания различных типов выходных фазокомпенсированных элементов в резонаторах мощных СО2 — лазеров, проведён сравнительный анализ качества выходного излучения лазера

Научные результаты выносимые на защиту.

1. Обоснование величины допустимых фазовых искажений вносимых выходным зеркалом.

2. Методы фазовой компенсации искажений волнового фронта, вносимых выходными зеркалами резонаторов.

3. Структуры многослойных диэлектрических покрытия для различных типов выходных фазокомпенсированных элементов со ступенчатым и гладким профилем отражения.

4. Результаты исследования некоторых плёнкообразующих веществ и многослойных конструкции на их основе.

5. Экспериментальные исследования различных типов выходных фазокомпенсированных элементов в резонаторах мощных СО2 - лазеров.

Научная новизна и практическая ценность работы.

Заключается в том, что предложены, реализованы и исследованы различные типы выходных зеркал с радиальным профилем коэффициента отражения, свободных от дополнительных искажений волнового фронта (фозокомпенсированные элементы), а также проведены исследования пленкообразующих материалов и интерференционных покрытий на их основе. т

Апробация работы и публикации.

Основные результаты работы докладывались и обсуждались на международных и российских конференциях "Оптика лазеров 93", "Оптика лазеров 95", "Оптика лазеров 2000", "Оптика лазеров 2003" (Санкт-Петербург), "Лазерные технологии 95" (Шатура). По материалам диссертации опубликовано 13 печатных работ. Результаты работы внедрены в НИИКИ ОЭП ВНЦ " ГОИ им. С.И. Вавилова ".

Личный вклад автора.

Теоретические и экспериментальные исследования, связанные с разработкой и изготовлением выходных элементов выполнены автором самостоятельно. Формулировка направлений исследований, обсуждение и интерпретация результатов проводились совместно с научным руководителем. Экспериментальные исследования элементов в резонаторах мощных лазеров проводились на базе лаборатории НИИКИ ОЭП ВНЦ " ГОИ им. С.И. Вавилова " г. Сосновый Бор, совместно с сотрудниками лаборатории.

Структура и объём работы. f Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, списка

Заключение диссертации по теме «Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы», Прокашев, Вадим Николаевич

Заключение.

Таким образом, в процессе работы над данной диссертацией были проведены следующие исследования и получены следующие основные результаты:

1. На основе публикаций проведен анализ структуры поперечных мод неустойчивых резонаторов мощных газовых лазеров и рассмотрены преимущества использования в резонаторах выходных элементов с радиальным профилем коэффициента отражения.

2. Используя методы Фурье-оптики разработаны программы и проведён численный расчёт и анализ влияния фазовых искажений волнового фронта на дифракционную расходимость лазерных пучков в дальней зоне. Расчёты проведены для распространения поля излучения с некоторыми типами фазовых искажений и различным профилем интенсивности.

3. На основе проведённого анализа предложена величина допустимых фазовых искажений вносимых эле,ментом и не влияющим на распространение пучка и формировании внутрирезонаторной моды. По нашим оценкам амплитуда таких искажений не должна превышать величины 0.14-0.2 7L

4. Разработаны и рассчитаны конструкции различных плёночных структур для выходных элементов со ступенчатым и гладким поперечными профилями коэффициента отражения.

5. Проведён численный расчёт фазовых искажений волнового фронта, вносимых различными отражающими структурами, и предложены различные методы фазовой компенсации вносимых искажений для различных типов элементов.

6. Проведены исследования некоторых плёнкообразующих веществ, используемых при изготовлении различных оптических элементов среднего

ИК диапазона спектра. На их основе разработаны многослойные плёночные конструкции, обеспечивающие достаточную лучевую и физическую прочность оптических покрытий для выходных элементов мощных С02 лазеров.

7. Рассмотрены различные технологические методы вакуумного напыления плёнок с заданным радиальным профилем толщины, на их основе разработана и реализована технологическая установка для нанесения таких плёнок.

8. Изготовлено несколько различных типов фазокомпенсированных выходных элементов со ступенчатым и гладким профилем отражения, для использования в резонаторах мощных С02 лазерах.

9. Совместно с НИИКИ ОЭП проведены экспериментальные испытания различных типов выходных фазокомпенсированных элементов в резонаторах мощных С02 - лазеров, проведён сравнительный анализ качества выходного излучения лазера. Экспериментально продемонстрировано, что применение в резонаторах лазеров выходных фазокомпенсированных элементов с профилем коэффициента отражения значительно улучшает характеристики выводимого излучения: уменьшается дифракционная расходимость, увеличивается осевая яркость при фокусировке, устраняется влияние самовоздействия излучения в течении импульса и от импульса к импульсу.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Прокашев, Вадим Николаевич, 2005 год

1. Fox A.G., Li Т. Resonant modes in maser interferometer // Bell Syst. Techn. J. 1961 - v.40, №2 - p.453

2. Fox A.G., Li T. Modes in maser interferometer with curved and tilted mirrors // Proc. IEEE, v.51 p.80 - 1963

3. Вайнштейн Л.А. Дифракция в открытых резонаторах и открытых волноводах с плоскими зеркалами // ЖТФ 1964 - т.34, №2, - с.193

4. Вайнштейн JJ.A. Открытые резонаторы с цилиндрическими зеркалами // ЖТФ 1964 - т.34, №2, - с.205

5. Siegman А.Е. Unstable optical resonators for laser applications // Proc. IEEE 1965 -v.53,p.277

6. Kogelnik H., Li T. Laser beams and resonators // Appl. Opt. 1966 - v.5, №10 - p.l 550

7. Ананьев Ю.А. Оптические резонаторы и лазерные пучки М: Наука, 1990

8. Ярив А. Введение в оптическую электронику // Пер. с англ. М: Высшая школа, 1983

9. Вахитов Н.Г. Открытые резонаторы с зеркалами, обладающими переменным коэффициентом отражения // Радиотехника и электроника 1965 - т. 10, №9, с. 1677

10. Siegman А.Е., Arrathoon R. Modes in unstable optical resonators and lens waveguides // IEEE J. of Quant. Electr. 1967 - v. QE-3, №4 - p. 1561.. Sanderson R.L., Streifer W. Unstable laser resonator modes // Appl. Optics. 1969- v.8-p.2129

11. Siegman A.E., Miller H.Y. Unstable optical resonator loss calculations using the Prony method // Appl. Optics. 1970 - v.9, №12 - p. 2729

12. Ананьев 10.А., Любимов В.В., Орлова И.Б. Деформация мод в открытых резонаторах с плоскими зеркалами // ЖТФ 1969 - т.39, №10 — с.1872

13. Ананьев 10.А., Шерстобитов В.Е. Влияние краевых эффектов на свойства неустойчивых резонаторов // В сб. " Квантовая электроника " Под ред. Н.Г. Басова 1971 - №3 - стр.82

14. Шерстобитов В.Е., Винокуров Г.Н. Свойства неустойчивых резонаторов с большим эквивалентным числом Френеля. // В сб. "Квантовая электроника" Под ред. Н.Г. Басова 1972 - №3 -стр.36.

15. Вайнштейн Л.А. Открытые резонаторы и открытые волноводы- М.; Сов. радио, 1966

16. Винокуров Г.Н., Любимов В.В., Орлова И.Б. Исследование селективных свойств открытых неустойчивых резонаторов // "Оптика и спектроскопия" 1973 - т.34 - стр.741.

17. Любимов В.В., Орлова И.Б. Влияние формы края зеркала на селективные свойства неустойчивых резонаторов // "Оптика и спектроскопия" 1976 - т.41 - стр.288.

18. Rensch D., Chester A. Iterative diffraction calculations of transverse mode distributions in confocal unstable laser resonators // Appl. Optics -1973 v.12, №5 - p.997

19. Freiberg R., Chenausky P. An experimental study of unstable confocal resonators // IEEE J. of Quant. Electr. 1972 - v.QE-8, № 12 - p.882

20. Steier W., McAllister G. A simplified method for predicting unstable resonator mode profiles // IEEE J. of Quant. Electr. 1975 - v.QE-11- №9 p.725

21. Siegman A., Sziklas E. Mode calculations in unstable resonators withflowing saturable gain // Appl. Optics 1974 - v.13, №12 - p.2775

22. Ananyev Yu. Resonators for high-power lasers // Proc. SPIE 1994v.96 p.2502

23. Ананьев Ю.А., Соловьёв В.Д. О неустойчивых резонаторах с полупрозрачным выходным зеркалом // Оптика и спектроскопия-1996 т.81 - №5 - с.865

24. Борн М, Вольф Э. Основы оптики // Пер. с англ. М.: Наука, 1970

25. Гудмен Дэ/с. Введение в Фурье оптику // Пер. с англ. — М.: Мир, 1970

26. А. Зоммерфельд Оптика // Пер. с англ. ИЛ, 1953

27. Wolf Е., Marchand Е. W. Comparison of the Kirchhoff and Rayleigh -Sommerfeld theories of diffraction at an aperture // Jorn. Opt. Soc. Am. 1964 - v.54 - №5 - p.587

28. Rubinowicz A. Diffraction waves in Kirchhoff s theory // in Progress in

29. Optics, ed. E.Wolf, v.4, Amsterdam 1965

30. Васильев Ф.П. Численные методы. // M: Наука 1980.

31. Б. Мик, П. Хит и др. Практическое руководство по программированию // Пер. с англ. М.: Радио и связь, 1986

32. Корн Г., Корн Т. Справочник по математике М: Наука - 1984

33. Епатко КВ., Малютин А.А. и др. Новый алгоритм численного моделирования распространения лазерного излучения // "Квантовая электроника" т.25 - №8 - стр.717 - 1998

34. Епатко И.В., Малютин А.А. и др. Учёт аберраций плоскопараллельной наклонной пластины при дифракционных расчётах распространения излучения // "Квантовая электроника" — т.25-№8-стр.723 1998

35. McCarthy N., and Lavigne P. Optical resonators with Gaussian reflectivity mirrors: output beam characteristics // Appl. Opt. v.23, №21 -p.3845- 1984.

36. Yasui К., Tanaka М., Yagi S. Unstable resonator with phase-unifying output coupler for high-power laser // Appl. Phys. Lett., 1988 - v.52, №7 -p.530

37. Yasui K., Tanaka M., Yagi S. An unstable resonator with phase-unifyingoutput coupler to extract a large Uniphase beam of a filled-in circular pattern//J. Appl. Phys., 1989-v.65, №l-p.l7

38. Yagi S., Yasui K., Takenaka Y. Development of diffraction-limited highpower C02 laser//Proc. SPIE- 1990-V.1225-p.357

39. Takenaka Y, Motoki Y., Nishimae J. High-power C02 laser using Gausscore resonator for 6-kW large-volume TEMoo mode operation // IEEE J. of Qunt. Electr. 1996 - v.32, №8 - p.1299

40. Котликов E.H. Исследование механизма оптических потерь в плёнках германия // Опт. и спектр. 1990. - Т.69, №4 - с. 846

41. Котликов Е.Н. Исследование поглощения в зеркалах и плёнках изселенида цинка и фторидов // Опт. и спектр. 1991. — Т.70, №4 — с.838

42. Котликов Е.Н., Громов Д.Н., Прокашев В.Н. и др. О проблеме уменьшения поглощения света плёнками в инфракрасной области спектра //Высокочистые вещества- 1992 №2-с.34

43. Котликов Е.Н., Шифрин Б.Ф. Минимизация поглощения в зеркалахна основе плёнок фторидов и селенида цинка // Опт. и спектр. — 1993 т.74, №3 - с.621

44. Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. // М.: Машиностроение 1973

45. Бернинг П.Х. Теория и методы расчёта оптических свойств тонкихплёнок // В кн. Физика тонких плёнок. Т.1 М.: Мир — с.91 — 1967.

46. Аникичев С.Г., Котликов Е.Н., Прокашев В.Н. Зеркала со ступенчатым коэффициентом отражения для технологических лазеров // Тез. докл. конф. "Оптика лазеров 93" - 1993 - т.1 — с.258

47. Ищенко Е.Ф., Рамазапова Г.С. Чувствительность собственных типов колебаний к поперечной неоднородности оптического резонатора // ЖПС 1977 - т.27, №3 - с.534

48. Воронкова Е.М., Гречугшшков Б.Н. и др. Оптические материалы для инфракрасной техники. // М.: Наука 1965.

49. Абельсгтюв Г.А., Гоитаръ В.Г., Колпаков А.А. и др. Техноллогические лазеры. Справочник. // М: Машиностроение -1991.

50. Котликов Е.Н., Шифрин Б.Ф., Иванов В.А., Прокашев В.Н. Разработка оптических элементов хирургического скальпеля на основе С02 лазера // Сб. отчётов "Лазерная физика" вып. 9 - 1994 - с.ЗО

51. Leger J.R., Chen D., MowryG.S. Design and performance of diffractiveoptics for custom laser resonators // Appl. Opt. 1995 - v.34, №14 -p.2498

52. Zucker H. Optical resonator with variable reflectivity mirrors // Bell Syst.

53. Tech. J. v.49, №9 - p.2349 - 1970.

54. De Silvestri S., Laporta P., and Magni V. Laser output coupler based ona radially variable interferometer // J. Opt. Soc. Am. v.4, №8 -p.1413- 1987.

55. Lavigni P., McCarthy N., and Demers J.-G. Design and characterizationof complementary Gaussian reflectivity mirrors // Appl. Opt. v.24, №16 -p.2581 - 1985.

56. Генералов H.A., Зимаков В.П. и др. Применение аподизированныхзеркал в резонаторах мощных технологических лазеров // Тезисы докладов конф. "Оптика лазеров-93" т.1 - с.277 - 1993.

57. Генералов Н.А., Згшаков В.П., Соловьёв Н.Г Повышение качестваизлучения мощных технологических лазеров с поперечной прокачкой путём применения специальных схем оптических резонаторов // Изв. РАН. Сер. Физика т.58 - №2- с. 104 -1994.

58. Аладов А.В., Беззубик В.В., Белашенков Н.Р., Карасёв В.Б., Путшин

59. Э.С., Храмов В.Ю. Применение зеркал с квазитрапециидальным распределением коэффициента отражения в резонаторах твёрдотельных лазеров высокой яркости // Оптический журнал -т.62,№8-с.19- 1995.

60. Белашенков Н.Р., Карасёв В.Б., Назаров В.В., Путшин Э.С., Храмов

61. В.Ю. Влияние фазового отклика выходного градиентного зеркала на характеристики лазерных мод плоскопараллельного резонатора // Оптический журнал т.67 - №1 - с.25 - 2000.

62. Белашенков Н.Р., Карасёв В.Б., Путшин Э.С., Храмов В.Ю., Фимин

63. П.Н. Градиентные лазерные зеркала // Оптический журнал т.68 -№5 — с.9 -2001.

64. Телен А. Конструирование многослойных интерференционных светофильтров // Физика тонких плёнок. Т.5. М: Мир. - с.46 -1969.

65. Борисов М.Ф., Котликов Е.Н., Прокашев В.Н, Родионов А.Ю. Сравнительные исследования зеркала с профилированным отражением для неустойчивого резонатора. // Тез. докл. конф. "Оптика лазеров 95". СПб.-т.1 с.96 - 1995.

66. Борисов М.Ф., Котликов Е.Н., Прокашев В.Н., Родионов А.Ю. Формирование мощного узконаправленного лазерного излучения для дальней транспортировки. // Оптический журнал — т.66 №11 — 1999.

67. Котликов Е.Н., Прокашев В.Н., Хонинева Е.В. Синтез выходных зеркал неустойчивых резонаторов с компенсацией фазового фронта. // Тезисы докладов конф. " Оптика лазеров 2000 " СПб — с.25-2000.

68. Котликов Е.Н., Прокашев В.Н. Выходные фазокомпенсированные зеркала резонаторов технологических С02 лазеров // Оптический журнал т.67, №9 - 2000.

69. Kotlikov E.N., Prokashev V.N., Khonineva Е. V. Synthesis of unstableresonator output mirrors with phase front compensation. // Proc. SPIE — v.4353 p.69-2001.

70. Риттер Э. Плёночные диэлектрические материалы для оптическихприменений // В кн. Физика тонких плёнок М.: Мир, 1978 - т.8 -с.7.

71. Котликов Е.Н., Терещенко Г.В. Исследование оптических константплёнок, используемых для синтеза широкополосных просветляющих покрытий // Опт. и спектр. т.82 - в.4 — с.653 — 1997

72. Swanepoel R. Determination of the thickness and optical constants ofamorphous silicon//J. Phys. E.: Sci. Instrum.-v.16-p.1214- 1983.

73. Каталог "Infrared Laser Components and Accessories". // Oriel GmbH.1. Darmstadt: LOT 1975.

74. Золотарёв В.М., Морозов В.Н., Смирнова Е.В. Оптические постоянные природных и технических средств. // JL: Химия с.216- 1984.

75. Bubenzer A., Koidl P. Exact expressions for calculating thin-film absorption coefficient from laser calorimetric data // Appl. Opt. v.23 -№17-p.2886- 1984.

76. Якобсон P. Неоднородные и совместно напылённые однородныеплёнки для оптических применений // Физика тонких плёнок. М.: Мир-т.8-с.61 - 1978

77. Валидов М.А., Иванов В.А., Ахмадеев М.Х. Авт. свид. №268622 //1. Бюл. изобр. № 14 - 1970.

78. Котликов Е.Н., Прокашев В.Н., Хонинева Е.В. Снижение оптическихпотерь в плёнках фторидов. // Оптический журнал т.71, №6 -с.84-2004.

79. Kotlikov E.N., Khonineva E.V., Prokashev V.N. Output mirrors for tunable lasers in infrared spectral range. // Proc. SPIE v.5481 -p.l 15 -2004.

80. Галоша А.Ф., Лгшанская Л.В., Подколзина Т.М. и др. Влияние легирующих добавок на структуру кристаллических вакуумных конденсатов // Сб. тез. докл. VII Всесоюз. совещ. "Кристаллические материалы" JL, 1986-С.359

81. Kotlikov E.N., Khonineva Е. V. Broadband spectrum selective coating forlaser system//Proc. SPIE- v.3682-p.l96- 1999

82. Котликов E.H., Прокашев B.H., Хонинева E.B., Хонинев А.Н. Синтезсветоделительных покрытий. // Оптический журнал т.68 - №8 — с.49 - 2001

83. Ким Чжон Суп, Путгипш Э.С. Формирование толщины слоев вакуумным испарением // Оптический журнал т.65 - №.10 - с. 108 -1998

84. Eggelson J., Giuliani G., Byer R. Radial intensity filters using radialbirefringent element 11 J. Opt. Soc. Amer. v.71, №10 - p. 1264 -1981