Повышение эффективности финишной обработки поликорундовой керамики путем комбинированного воздействия внешних технологических сред и условий тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.03.01, кандидат технических наук Бахарев, Вениамин Павлович

• Бахарев, Вениамин Павлович
• кандидат технических наук
• 2001

Оглавление диссертации кандидат технических наук Бахарев, Вениамин Павлович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ

1.1 Состояние вопроса алмазной обработки керамических изделий.

1.1.1 Физическая сущность процесса доводки (LAPPING).

1.1.2 Влияние внешней среды на процесс диспергирования.

1.1.3 Особенности алмазной обработки мелкозернистыми пастами.

1.1.4 Влияние гидродинамических явлений процесса.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение эффективности финишной обработки поликорундовой керамики путем комбинированного воздействия внешних технологических сред и условий»

Развитие современного машино- и приборостроения связано с разработкой и внедрением новых материалов и прогрессивных технологических процессов их обработки. К числу таких материалов относятся керамические материалы и ситаллы, которые находят широкое применение в различных областях техники. Уникальные свойства керамики позволяют использовать ее в качестве режущего инструмента, деталей машин, приборов, радиоэлектронной аппаратуры и т.д. Из-за высокой твердости материала механическая обработка заготовок возможна лишь абразивным инструментом. Применение синтетических алмазов позволяет резко интенсифицировать процесс обработки керамики, но нестабильность механических свойств последней ограничивают возможности алмазной обработки. При этом наивысшие показатели качества получают методами доводки свободным абразивом [52, 53].

В настоящее время процесс доводки относится к наименее изученным способам обработки ввиду одновременного действия многочисленных трудноуправляемых процессов и явлений. Производительность, качество поверхности, износ и стойкость инструмента, энергетические затраты определяются свойствами керамики, характеристиками алмазного инструмента, режимами и технологическими особенностями оборудования. Поэтому повышение эффективности механической обработки керамики обусловлено изучением закономерностей сложного многофакторного процесса резания.

Типовая технология керамического производства состоит из стадий:

- помол и смешивание со связкой для получения формовочной массы;

- оформление заготовки прессованием, горячим или холодным литьем, литьем пленки, прокаткой, т.е. приготовление полуфабриката;

- обжиг в камерных или туннельных печах, в вакууме или под давлением в определенной газовой среде и т.д.;

- механическая обработка для окончательного оформления изделия.

Все перечисленные стадии случайным образом влияют на значение коэффициента усадки керамики при высокотемпературном обжиге. Следовательно, получить необходимую точность керамических деталей без механической обработки (резки, сверления, шлифования, доводки) в серийном производстве невозможно. Конфигурация керамических деталей после обжига вследствие деформаций - поводок - может значительно отличаться от указанной на чертеже. Это относится прежде всего к плоским заготовкам площадью 20-40 см2. Все это приводит к необходимости назначать большие припуски на обработку, достигающие в ряде случаев нескольких миллиметров. Для снятия этих припусков при черновом шлифовании алмазным инструментом необходимо выбирать такое оборудование, инструмент и технологические режимы, которые обеспечат высокую производительность процесса обработки [32]. При этом точность размера должна составлять несколько десятков микрометров, а параметр шероховатости^ - около 0,63-1,25 мкм.

Задачей чистого шлифования алмазным инструментом является обеспечение заданной точности размеров и уменьшение глубины нарушенного слоя. Для получения минимальной высоты неровностей обрабатываемой поверхности применяют доводку свободным алмазным зерном. При доводке сохраняется макрогеометрия и размерная точность, полученные при чистовом шлифовании, параметр Ra может быть доведен до 0,01 мкм.

Детали приборов и устройств, пластины режущих инструментов из высокопрочных керамических материалов изготовляют в промышленности в массовом количестве. К числу таких изделий относятся подложки для тонкопленочной электроники из керамики ВК100-1 - "поликор". Оксидная керамика обладает широким диапазоном физико-механических свойств, причем в ряде случаев для специальных применений эти свойства уникальны. Так, например, в радиоэлектронике используют керамику с диэлектрической проницаемостью от 3 до 10000, температурный коэффициент этой характеристики может варьироваться от ±3-10"5 до ±1 град"1. Максимальная температура эксплуатации конструкционной керамики может быть от 1270 до 4150 К, термический коэффициент линейного расширения от 2 до 14-10"6 град"1. Предел прочности при сжатии от 0,2 до 2 ГПа, при изгибе - от 0,07 до 0,4 ГПа; твердость по шкале Мооса от 4 до 9,5 баллов. Такое разнообразие свойств определяемое рецептурой и соответствующей технологией изготовления керамики, вносят определенные трудности в проектирование механической обработки.

На поликоровых подложках задаются: параметр шероховатости Ra< 0,01 мкм, допуск плоскостности на 20 см должен быть равен 1-5 мкм, регламентированы наибольшие размеры микровыколов и сколы краев, а также количество царапин (ТУ 11.027.031-72). В связи с широким распространением в практике многослойных покрытий режущих граней минералокерамических пластин инструментов, грани под покрытия должны быть обработаны с параметром шероховатости Ra < 0,01 - 0,05 мкм, а режущие кромки должны иметь сколы не более 2-5 мкм [16]. Обеспечение этих требований возможно только методами доводки, что позволяет изготавливать инструменты с высокими режущими свойствами и повысить их надежность.

Причинами возникновения чрезмерно больших микровыколов и микротрещин на поверхности является недостаточность числа доводочных операций или времени их осуществления, т.е. когда трещиноватый слой с поверхности детали не удален полностью. Если же слой удален, а размеры дефектов больше допустимых, в первую очередь необходимо обратить внимание на соответствие режимов обработки, размерам используемых при доводке алмазных зерен пасты или порошка, возможность загрязнения рабочей зоны более крупным зерном (на поверхности деталей в этом случае появляются редкие глубокие риски), фактическую твердость материала инструмента - притира и его плоскостность.

Мягкие притиры из меди, текстолита при длительной эксплуатации, особенно если на их рабочей поверхности нет спиральных или кольцевых канавок, насыщаются алмазами, становятся твердыми. Прирабатываемость притиров и шаржируемость свежими алмазами ухудшаются, что резко сказывается на производительности процесса и качестве доведенной поверхности. Этими же причинами объясняются трудности стабильного обеспечения требуемой шероховатости поверхности.

Существующие в настоящее время рекомендации по технологии доводки основываются, как правило, на эмпирических подходах и разнообразных гипотезах, рассматривающих процесс диспергирования с различных теоретических позиций. В связи с этим возникла необходимость проведения исследований процесса тонкой доводки с целью его стабилизации на основе анализа комплексного воздействия абразивной среды и обрабатываемой поверхности и создания физико-математической модели такого взаимодействия. Наличие подобной модели позволяет прогнозировать выходные показатели процесса диспергирования и появляется возможность создания управляемого технологического процесса.

При этом возможны два принципа построения технологии.

1. Построение техпроцесса обработки деталей с учетом технологической наследственности. Этот принцип основан на анализе структурной схемы построения технологического процесса от заготовки к детали и позволяет повысить параметры качества изделия, при стабильных и управляемых процессах производства заготовок. Применительно к построению доводочных операций применение указанного принципа приводит к необоснованно завышенному числу переходов с постепенно уменьшающейся зернистостью суспензии. При этом значительно удлиняется по времени производственный цикл и возрастает себестоимость.

2. Проектирование технологического процесса изготовления прецизионных деталей основано на решении задачи по формированию параметров качества изделий на основе установления связей: качество детали - необходимые операции - требования к заготовке. Реализация этого принципа позволяет сократить трудоемкость изготовления изделия и обеспечить требуемые показатели качества с учетом статистических закономерностей конкретного производства.

В соответствии с изложенными особенностями, стабилизация процесса диспергирования на финишных операциях механической обработки керамики является первым этапом создания управляемого процесса обработки свободным абразивом. Для этого необходимо проанализировать закономерности процесса с учетом всех реально действующих факторов и подобрать адекватные критерии обрабатываемости. Затем необходимо обеспечить условия равномерного изнашивания поверхности инструмента и сохранения геометрической формы во времени, что и обеспечит возможность управления процессом финишной обработки.

Кроме отмеченного, необходимо учитывать тот факт, что при отработке технологии в производственных условиях основные закономерности, полученные при проведении "чистых" экспериментов, могут нивелироваться побочными явлениями и процессами. Поэтому оптимизация параметров переменных входных факторов по критериям, характерным для данного производства, является составной частью комплексного подхода к проектированию технологии. Решение этой задачи возможно при использовании системно-структурного подхода.

Таким образом, проблема стабилизации процесса доводки свободным абразивом и физико-математическое описание характера диспергирования является актуальной. В настоящей работе предпринята попытка создания теоретических основ инженерной методики расчета технологической точности, основанной на кинетике разрушения обрабатываемого материала.

Заключение диссертации по теме «Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки», Бахарев, Вениамин Павлович

Основные выводы по работе.

1. Эффективность механической обработки корундовой керамики ВК 100-1 определяется как показателями физико-механических свойств обрабатываемой поверхности, так и технологическими условиями. Установлена корреляция между распределением параметров шероховатости шлифованной поверхности и характером распределения размеров зерна по величине, а также пористостью материала.

Достижение параметра шероховатости Ra < 0,63 мкм возможно с использованием специальных методов обработки - доводки (LAPPING).

2. Стабилизация процесса диспергирования мелкозернистыми пастами возможна путем комплексного воздействия комбинированной внешней среды определенного состава, геометрической формы рабочей поверхности притира и технологических режимов операции доводки. Технологические режимы подбираются экспериментально в зависимости от конкретных условий производства.

3. Установлено положительное влияние на производительность обработки и показатели качества поверхности гидродинамических условий процесса, создаваемых путем формирования специальных канавок треугольного профиля, располагающихся по спирали Архимеда на поверхности притира, подбора состава СОТС и технологических режимов. Для СОТС-334 оптимальной скоростью вращения притира является п- 120 об/мин.

4. Установлено влияние ПАВ в составе СОТС на величину скорости съема керамики и характер потери абразивной способности суспензии в течении времени, т.е. ее "затупления".

5. Разработана физико-математическая модель абразивного диспергирования при комплексном воздействии внешней среды с учетом кинетических процессов накопления повреждений при циклическом воздействии абразива на микронеровности поверхности с использованием обобщенных функций повреждаемости fi(Gd), К(о). Характер обобщенных функций повреждаемости определяется на основе экспериментальных данных полученных при исследовании эффективности реального технологического процесса.

6. Предлагаемые обобщенные функции повреждаемости учитывают процессы накопления скрытой энергии деформации и процессы разрыхления материала в виде микропор и микротрещин (3(Gd), К(о) при циклическом деформировании микронеровности, являются информативными, и могут быть использованы при проектировании технологических операций доводки и расчетах периода стойкости Т минералоке-рамического режущего инструмента.

7. Разработана методика рентгенографического контроля качества механической обработки керамики, позволяющая оценить глубину нарушенного слоя, размеры кристаллитов и микронапряжений в поверхностных слоях.

8. Промышленная апробация результатов на ОАО "Поликор" показала, что предложенные технологические мероприятия привели к улучшению показателей качества полированной поверхности, санитарно-экологических условий производства, повышению коэффициента выхода годных на 0,03 по всему производственному циклу, что дало экономический эффект 218 тыс. рублей (в ценах 1990 года).

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Бахарев, Вениамин Павлович, 2001 год

1. Абрамзон А.А., Зайченко Л.П. и др. Поверхностно-активные вещества. Синтез, анализ, свойства, применение. Учебн. пособие для вузов. /Под ред. А.А. Абрамзона -Л.: Химия, 1988, с. 200.

2. Алехин В.П. Физика, прочности и пластичности поверхностных слоев материалов. -М.: "Наука", 1983, с. 280.

3. Ахматов А.С. Молекулярная физика граничного трения. М.: "Машиностроение", 1963, с. 462.

4. Бакли Д. Поверхностные явления при адгезии и фрикционном взаимодействии. /Пер. с англ. Белого А.В. под ред. Свириденка А.И. М.: "Машиностроение", 1986, с. 400.

5. БалкевичВ.Л. Техническая керамика. -М.: "Стройиздат", 1984, с. 226.

6. Балыбердин B.C., Бахарев В.П., Смирнов Г.А. К вопросу об отыскании оптимальных критериев оценки механических свойств керамических подложек. /Деп. в ВИНИТИ №59б5-В87, Москва, 1987.

7. Балыбердин B.C., Бахарев В.П. О значении физических концепций в исследовании кинетики усталостной повреждаемости материалов. /Деп. в ВИНИТИ №3967-В88, Москва, 1988.

8. Балыбердин B.C., Бахарев В.П., Широкая О.А. Развитие кинетического подхода к суммированию усталостных повреждений. //Известия Вузов. М.: "Машиностроение", 1994, №7-9, с. 19-28.

9. Бахарев В.П., Смирнов Г.А., Антюфеева Т.П. Некоторые закономерности финишной обработки изделий из технической керамики. //Технология, автоматизация и организация производства технических систем. Межвузов, об. научн. трудов. М.: МГИУ, 1999.

10. Бердичевский Е.Г. Смазочно-охлаждающие технологические средства для обработки материалов. -М.: "Машиностроение", 1984, с. 224.

11. П.Божко А.Е., Шпачук В.П. Деформационный критерий усталостного разрушения материала. //Проблемы прочности. 1985, №12, с. 66.

12. Булычев С.Н., Алехин В.П. Испытание материалов непрерывным вдавливанием индентора. -М.: "Машиностроение", 1990, с. 224.

13. Бычков Н.Г. и др. Некоторые особенности кинетики деформирования конструкционных материалов при циклическом упругопластическом деформировании. // Проблемы прочности,- 1986, №11, с. 7.

14. Ваксер Д.Б., Иванов В.А., Никитков Н.В. и др. "Алмазная обработка технической керамики."-Л.: "Машиностроение", 1976, с. 160.

15. Вассерман Н.Н., Гладковский В А. Закономерности упрочнения и накопления повреждений в процессе циклического нагружения стали. Известия ВУЗов. "Машиностроение" 1965 - №2.

16. Верещака А.С., Третьяков И.П. Режущий инструмент с износостойкими покрытиями. -М: "Машиностроение", 1986, с. 190.

17. Виноградов В.Н. и др. Абразивное изнашивание. М.: "Машиностроение", 1990, с. 224.

18. Геминов В.Н., Балыбердин B.C. Обобщенная функция накопления повреждений при усталости. Сб. усталость и вязкость разрушения металлов. Изд-во "Наука. "

19. Гогоци Г.А., Гнессин Г.Г., Грушевский Я.Л. и др. Прочность и трещиностойкость керамики. // Проблемы прочности. 1987, №5, с.77.

20. Головкина Н.Е., Саратов Н.М. Пути повышения прочности керамических материалов.// Аналитический обзор. Обнинск. ФЭИ, 1980.

21. Глубинное шлифование деталей из труднообрабатываемых материалов. /С.С. Силин, В.А, Хрульков, Н.С.Рыкунов и др. М.: Машиностроение, 1984. с.64.

22. Гурьев А.В., Богданов Е.П. Закономерности перехода микропластической деформации в макропластическую для структурно-неоднородных металлов. // Проблемы прочности. 1986, №6, с. 35.

23. Дунин Барковский И.В., Карташова А.Н. Измерение и анализ шероховатости, волнистости и некруглых поверхностей. -М.: "Машиностроение", 1978, с. 232.

24. Дроздов Ю.Н. и др. Трение и износ в экстремальных условиях: Справочник. /Ю.Н. Дроздов, В.Г. Павлов, В.Н. Пучков-М: "Машиностроение", 1986, с. 224 (ОПМ).

25. Иванова B.C. Усталостное разрушение металлов. М.: "Металлургиздат", 1963.

26. Кабалдин Ю.Г. Трение и износ инструмента при резании. // "Вестник машиностроения", №1, 1995, с. 26-32.

27. Кабалдин Ю.Г. Структурно-энергетический подход к процессу изнашивания режущего инструмента. // "Вестник машиностроения", №12, 1990, с. 62 68.

28. Карзов Г.М., Марголин Б.З. Швецова В.А. Физико-механическое моделирование процесов разрушения. С.-Пб.: "Политехника", 1993, с. 391.

29. Катрич М.Д., Беркович Е.С. и др. Исследование твердости монокристаллов карбида кремния методом царапанья. в сб. "Склерометрия." - М.: "Наука", 1968.

30. Качанов Л.М. Основы механики разрушения. -М.: "Наука", 1974.

31. Кащеев В.Н. Абразивное разрушение твердых тел. М.: "Наука", 1970, с. 247.

32. Кащук В.А. Особенности шлифования конструкционных керамических материалов. //Вестник машиностроения, 1994, №10, с. 21-26.

33. Клушин М.И. Теория резания. Вводные главы. Горький, 1975.

34. Кобл P.JL, Парих Н.М. Разрушение поликристаллической керамики. /Под ред. Г.Т. Либовица М.: "Мир", т.7, ч.1, с. 634.

35. Ключников С.В. Повышение обрабатываемости поликорундовой керамики при шлифовании путем воздействия на контактные процессы эффективными СОТС. Автореферат диссерт. .канд. техн. наук Горький, 1990.

36. Коллинз Дж. Повреждение материалов в конструкциях. Анализ, предсказание, предотвращение. -М.: "Мир", 1984, с. 624.

37. Костецкий Б.И. и др. Поверхностная прочность материалов при трении. /Под. ред. Б.И. Костецкого Киев: "Техшка", 1976, с. 296.

38. Коцаньда С. Усталостное разрушение металлов. М.: "Металлургия", 1976.

39. Крагельский И.В. Трение и износ. М.: "Машиностроение", 1974, с. 418.

40. Красовский А .Я. Динамика дислокаций и пластический сдвиг в кристаллических твердых телах. //Проблемы прочности. 1969, №1, с. 65.

41. Кремень З.И. Доводка плоских поверхностей. -Изд-во "Техника", Киев, 1974.

42. Лозицкий Л.П., Игнатович С.Р. Математическая модель процесса накопления повреждений в деформируемых материалах. // Проблемы прочности. 1985, с. 34.

43. ЛокиМ. Оптимизация стохастических процессов. -М.: "Мир", 1970, с. 381.

44. Макклинтон Ф., Аргон А. Деформация и разрушение материалов. М.: "Мир", 1970, с. 443.

45. Маслов Е.Н. Теория шлифования материалов М.: "Машиностроение", 1974, с. 315.

46. Маталин А. А. Новые направления развития технологии чистовой обработки. Киев: "Техника", 1972, с. 136.

47. Машиностроение. Терминология: Справочное пособие Вып. 2 - М.: Изд-во стандартов, 1989, с. 432.

48. Механические свойства металлов. Учебн. для Вузов. /Золотаревский B.C. М.: Металлургия, 1983, с. 352.

49. Новицкий П.В., Зогриф И.А. Оценка погрешностей результатов измерения. Л.: Энергоатомиздат. Ленинградское отделение, 1991, с. 304.

50. Огородов Л.И., Курнаков С.Я. Экспериментальная проверка проведения кинетического уравнения повреждений наследственного типа для расчета момента разрушения жаропрочного сплава. // "Вестник машиностроения", №10, 1995, с. 26 28.

51. Орлов П.Н., Полухин В.А. Стенд П8 ТММ для исследования процесса алмазно-абразивной доводки. /Сб. Алмазы, Вып. 4. -М.: ПИИМАШ, 1972, с. 11 — 18.

52. Орлов П.Н., Савелова А.А., Полухин В.А. и др. Доводка прецизионных деталей машин. /Под ред. Ипполитова Г.М./ М.: "Машиностроение", 1978, с. 266.

53. Орлов П.Н. Технологическое обеспечение качества деталей методами доводки. -М.: "Машиностроение", 1988, с. 384.

54. Подураев В.Н. Автоматически регулируемые и комбинированные процессы резания. М.: "Машиностроение", 1977, с. 304.

55. Позднышева А.П., Шумячер В.М., Волков М.П. Влияние структурно-механических свойств абразивных суспензий на диспергирование металла при доводке. //Вестник машиностроения, 1986, №1.

56. Полосаткин Г.Д., Соломеин И.А. Исследование механизма образования микроцарапины на металлах в диапазоне скоростей от 0.02 до 120 м/с. В сб. "Склерометрия., -М.: "Наука", 1968.

57. Попов С. А., Малевский Н.П., Терещенко JIM. Алмазно абразивная обработка металлов и твердых сплавов. -М.: "Машиностроение", 1977, с. 263, (Б-ка технолога).

58. Протодьяконов М.М., Тедер Р.Н. Методика рационального планирования экспериментов. М.: "Наука", 1970, с. 75.

59. Райхель A.M., Непомнящий О.А., Шведун В.Г. К вопросу о влиянии масштабного фактора на прочность ситаллов. //Проблемы прочности. 1986, №10, с. 43 -46.

60. Ребиндер А.А., Калиновская Н.А. Понижение прочности поверхностного слоя твердых тел при адсорбции поверхностно-активных веществ. Ж.Т.Ф. 1932, №2

61. Романов А.Н. Энергетические критерии разрушения при малоцикловом нагруже-нии. // Проблемы прочности, №1, 1974.

62. Семибратов М.Н. Управление формообразованием оптических поверхностей в процессе притирки. "ОМП", 1970 №11, с. 55-60.

63. Скоростная алмазная обработка деталей из технической керамики. /Н.В. Никитов, В.Б. Рабинович и др. Под ред. З.И. Кремня Л.: "Машиностроение", Ленинградское отделение, 1984, с. 131.

64. Словарь справочник по трению, износу и смазке деталей машин. - Киев: Наук, думка, 1979, с. 188.

65. Смазочно-охлаждающая жидкость для полирования керамики. А.С. №1162862 СССР, кл. С10М 141/12 /Смирнов Г.А. и др. 1983, с.6.

66. Сосновский ДА. Об оценке долговечности при циклических нагружениях. // Проблемы прочности. 1986 №11, с. 16.

67. Спиридонов А.А. Планирование эксперимента при исследовании технологических процессов. -М.: "Машиностроение", 1981, с. 184.

68. Смазочно-охлаждающие технологические средства для обработки резанием. Справочник. /Под ред. С.Г. Энтелиса, Э.М. Берлинера-М.: "Машиностроение", 1986, с. 352.

69. Справочник по теории упругости. / Под ред. Варвака П.М., Рябова А.Ф. Киев: "Бущвельник", 1971, с. 320.

70. Справочник по триботехнике. / Под общей ред., М. Хебды, А.В. Чичинидзе. Т.1, -М.: "Машиностроение", 1989, с. 400.

71. Тамбулатов Б Я. Доводочные станки. -М.: "Машиностроение", 1980, с. 160.

72. Таратынов О.В. Основы процесса суперфиниширования и пути повышения его производительности и качества. Учебн. пособие М.: МАМИ, 1977, с. 86.

73. Формообразование оптических поверхностей. /Сб. под ред. Проф. Куманина К.Г. -М.: Оборонгиз, 1962.

74. Федоров В.В. Кинетика повреждаемости и разрушения твердых тел Ташкент: Фан, 1985.

75. Федоров В.В. и др. Прогнозирование остаточной работоспособности деталей машин. // Проблемы прочности. 1987, №8.

76. Федоров В.В. Термодинамические аспекты прочности и разрушения твердых тел. -Ташкент: Фан. 1979.

77. Хартман К., Лецкий X. и др. Планирование эксперимента в исследовании технологических процессов. -М.: "Мир", 1977, с. 552.

78. Ходаков Г.С., Кудрявцева H.JI. Физико-химические процессы полирования оптического стекла. -М.: "Машиностроение", 1985, с. 224.

79. Хрульков В.А. Взаимодействие алмазного порошкового инструмента со спеченной алюминиевой керамикой при шлифовании. В кн. Синтетические алмазы - ключ к техническому прогрессу. 4.1 - Киев: Наукова думка, 1977 - с. 183-190.

80. Хрульков В.А., Матвеев В,С., Волков В.В. Новые СОЖ, применяемые при шлифовании труднообрабатываемых материалов. М.: "Машиностроение", 1983,

81. Х.*уЬьков В.А., Тародей В.А., Головань А .Я. "Механическая обработка деталей из керамики и ситалов." Изд-во Саратовского ун-та, 1975, с. 352.

82. Цеснек JI.C. Статистическая интерпретация механического изнашивания трущихся тел. В кн. Контактное взаимодействие твердых тел и расчет сил трения и износа. - М: "Наука", 1971, с. 176 - 190.

83. Черняков М.К. Возможности управления технологическим процессом алмазной обработки пластин из хрупких материалов. Автореферат диссерт. . к.т.н. Л.: 1981, с. 16.

84. Шипилов Н.Н. Исследование технологических возможностей скоростной алмазной доводки плоских заготовок из керамических материалов. Автореферат диссерт. . к.т.н. — Л.: 1980, с. 16.

85. Шубников А.В. "Элементарные механические явления при шлифовании и полировании." сб. "Качество поверхности деталей машин." №3. - Изд-во АН СССР, 1957.

86. Эванс А.Г., Лэнгтон Т.Г. Конструкционная керамика. -М.: "Металлургия", 1980, с. 256.

87. Этин О.Л. Выбор оптимальных условий при решении технологических задач. //Станки и инструмент, 1976, №3, с. 24-25.

88. Ящерицын П.Н. и др. Теория резания. Физические и тепловые процессы в технологических системах: Учебн. для ВУЗов Мн.: Высшая школа 1990, с. 512.

89. Ящерицын и др. Тонкие доводочные процессы обработки деталей и приборов. -Минск: Наука и техника, 1977, с. 328.

90. Gotz J. Die Polierforschung. Heutiger Stand und neue Erkenntnisse. Sprechsaal Keramik, Glass, Enail., Silik., 1968, bd. 101, N. 13, SS. 539 - 540, 542 - 544.

91. Gotz J. Untersuchung tiber den Polierprozess von Glass. Tail 4. Oberflachenfehler beim Polieren mit gebundenen Korn. Glastechnische Berichte, 1967, N. 12, SS. 468 - 479.

92. Kaller A. Einflufi der chemischen, kristallographischen und physikalischen Eigenschaften der Polirmittel beim Polieren des Glases. Silikattechnik, 1983, v. 34, N. 1, pp. 15-17.

93. Kaller A. Elementar vorgange im Wirkspalt beim Polieren von Funktionsflachen sproder optischer Medien, insbesondere von Glass. Silikattechnik, 1980, v. 31, N. 2, pp. 35 -40.

94. Mindt U. Zur Fartebestimmung von loosen Schlifmaterialen Sclileifmittelindustrie, 1926.