Получение тонких плёнок оксидов металлов на развитой поверхности травленой алюминиевой фольги и измерение их диэлектрических параметров тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Кречетов, Илья Сергеевич

• Кречетов, Илья Сергеевич
• кандидат физико-математических наук
• 2011

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Кречетов, Илья Сергеевич

Введение.

1 Аналитический обзор литературы.

1.1 Электролитические конденсаторы.

1.2 Геометрическая и физическая поверхность.

1.2.1 Методы увеличения физической поверхности.

1.2.1.1 Электрохимическое травление.

1.2.1.2 Вакуумное напыление.

1.3 Диэлектрическая проницаемость.

1.3.1 Методы увеличения диэлектрической проницаемости.

1.3.2 Методы получения оксидных диэлектриков.

1.3.2.1 Методы осаждения оксидов, основанные на гидролизе солей в растворах.

1.3.2.2 Гидролитические методы.

1.3.2.3 Золь-гель метод.

1.3.2.4 Пиролиз раствора соли металла в органической кислоте.

1.3.3 Методы осаждения из газовой фазы.

1.3.3.1 Химическое осаждение из газовой фазы (СУБ-процесс).

1.3.3.2 Физическое осаждение из газовой фазы (РУО-процесс).

1.3.3.3 Метод распылительного пиролиза.

1.3.4 Другие методы.

1.3.5 Анализ методов нанесения и выбор метода получения оксидного диэлектрика.

1.4 Некоторые физические свойства оксидов металлов. Основные кристаллические структуры в оксидах.

1.5 Выбор оксидных систем для проведения исследований.

1.6 Основные физико-химические свойства выбранных оксидных систем.

1.6.1 Физико-химические свойства оксидов алюминия.

1.6.2 Физико-химические свойства оксидов титана.

1.6.3 Физико-химические свойства оксидов лантана.

1.6.4 Физико-химические свойства оксидов свинца.

1.6.5 Физико-химические свойства оксидов кадмия.

1.6.6 Физико-химические свойства оксидов марганца.

1.6.7 Физико-химические свойства оксидов циркония.

1.6.8 Физико-химические свойства оксидов иттрия.

1.6.9 Физико-химические свойства оксидов церия.

1.6.10 Физико-химические свойства титаната и цирконата свинца РЬТЮз и РЬггОз.

2 Материалы и методы.

2.1 Методика нанесения диэлектрической оксидной плёнки на фольгу.

2.1.1 Процедура нанесения плёнки.

2.1.2 Требования к растворам для осаждения.

2.1.3 Контроль массы образцов в ходе нанесения.

2.1.4 Маркировка образцов.

2.1.5 Особенности методики получения плёнок оксидов "П, Ьа, РЬ, С<1, Мп, Хт и У на травленой фольге (серия КОК-Ме 1г/кг).

2.1.6 Особенности методики получения плёнок оксида иттрия на травленой фольге (серия КОК-У 5 г/кг).

2.1.7 Особенности методики получения плёнок оксида титана на травленой фольге (серия КОК-Тл и хКОК-ТГ).

2.1.8 Особенности методики получения плёнок оксида церия на гладкой фольге (серия ФГ1-073).

2.2 Методика получения плёнок оксидов систем РЬ-ТьО и РЬ^г-О и синтез перовскитов.

2.3 Методика измерения ёмкости.

2.4 Методика измерения электропрочности.

2.5 Приготовление измерительного электролита.

2.6 Средства проведения электронной микроскопии и рентгеновского фазового анализа образцов.

3 Результаты.

3.1 Получение образцов плёнок оксидов Тл, Ьа, РЬ, Сс1, Мп, 7х и У на травленой алюминиевой фольге из растворов с концентрацией 1 г/кг и измерение ёмкости и электропрочности полученных образцов.

3.1.1 Оксид титана.

3.1.2 Оксид лантана.

3.1.3 Оксид свинца.

3.1.4 Оксид кадмия.

3.1.5 Оксид марганца.

3.1.6 Оксид циркония.

3.1.7 Оксид иттрия.

3.1.8 Сравнение результатов экспериментов по измерению ёмкости и электропрочности образцов плёнок оксидов Тл, Ьа, РЬ, Сё, Мп, ггй У.

3.1.9 Оценка толщины диэлектрика и удельной поверхности образцов по результатам измерения ёмкости.

3.2 Получение образцов плёнок оксида иттрия на травленой алюминиевой фольге из раствора с концентрацией 5 г/кг и измерение зависимости ёмкости образцов от приложенного напряжения.

3.2.1 Результаты измерения ёмкости образцов.

3.2.2 Трансмиссионная микроскопия плёнок оксида иттрия.

3.2.3 Модель формирования диэлектрического оксидного слоя на поверхности пор травленой фольги при осаждении оксидных нанопленок из растворов карбоксилатов. Оценка ёмкости из предложенной модели.

3.3 Получение образцов плёнок оксида титана на травленой алюминиевой фольге из раствора с концентрацией 7 г/кг и измерение их ёмкости и электропрочности.

3.4 Получение образцов плёнок оксида церия на гладкой алюминиевой фольге из раствора с концентрацией 1 г/кг и измерение их электропрочности.

3.5 Низкотемпературный синтез перовскитов в оксидных системах Pb-Ti-O и Pb-Zr-O.

Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Получение тонких плёнок оксидов металлов на развитой поверхности травленой алюминиевой фольги и измерение их диэлектрических параметров»

Актуальность работы

В последние годы в мире наблюдается резкая активизация научной деятельности в области исследования материалов и разработки новых технологий изготовления конденсаторов с целью найти способы повышения их ёмкости и уменьшения габаритов. А именно, повысился интерес к конденсаторам как к приборам, которые, возможно, в будущем смогут заменить аккумуляторы в различных областях техники. Преимуществами конденсаторов перед другими накопителями энергии являются их долговечность (они выдерживают на несколько порядков больше циклов зарядки-разрядки чем аккумуляторы), значительно более высокие зарядные и разрядные токи (что, например, приводит к более высокой скорости зарядки), отсутствие агрессивных химических соединений (как, например, в кислотных аккумуляторах), более широкий интервал рабочих температур, неприхотливость в эксплуатации и т.д. Всё это делает конденсаторы перспективным средством аккумуляции электрической энергии для самого разнообразного технического применения.

В настоящее время широко распространены электролитические конденсаторы, имеющие высокую ёмкость при сравнительно небольших габаритах. Повышения ёмкости электролитических конденсаторов добиваются в первую очередь путём повышения эффективной физической поверхности обкладок. При этом диэлектриком служит оксид материала используемой обкладки (алюминия, тантала, ниобия, титана) [1-3]. Наиболее распространены электролитические конденсаторы с алюминиевыми обкладками, ёмкость которых повышают путём электрохимического травления алюминиевой фольги, используемой в качестве обкладок, которое позволяет одновременно получать в качестве диэлектрика на поверхности фольги оксид алюминия [1,2]. Повышения рабочего напряжения при этом добиваются путём увеличения толщины выращиваемой электрохимически на поверхности фольги плёнки оксида. Лучшие на сего* - ^. > 1 дняшний день значения ёмкости и электропрочности, достигнутые таким методом, составляют до 340 мкФ/см при напряжении до 8 В; показатели промыш-ленно изготавливаемых фольг в России составляют от 54-104 мкФ/см при л электропрочности 10 В до 1,65-3,20 мкФ/см при 150 В для низковольтных фольг и от 0,55-1,74 мкФ/см2 при 200 В до 0,15-0,52 мкФ/см2 при 600 В для высоковольтных [3]. Аналогичные показатели для фольг зарубежных производи

О О телей составляют от 27,1-250 мкФ/см при 8 В до 1,17-5,15 мкФ/см при 143 В для низковольтных фольг и от 0,67-2,15 мкФ/см2 при 208 В до 0,39-0,44 мкФ/см при 693 В для высоковольтных [4]. Этот традиционный метод близок к физическому пределу дальнейшего улучшения, поскольку более глубокое травление приводит к потере прочности анодной фольги, а увеличение толщины диэлектрической плёнки оксида алюминия приводит к увеличению габаритов получаемого конденсатора. Выход из создавшегося положения может быть найден, в частности, путём нанесения на поверхность фольги нано-плёнки оксида какого-либо другого металла, с более высокой диэлектрической проницаемостью. Так как ёмкость конденсатора прямо пропорциональна диэлектрической проницаемости используемого диэлектрика, то при той же толщине плёнки, ёмкость при использовании такого оксида должна быть пропорционально выше. ■ - I.! т

Кроме того, отдельную непростую научную задачу представляет собой сама возможность получения равномерных оксидных плёнок на сложных развитых поверхностях с таким сложным рельефом, как поверхность используемой при изготовлении электролитических конденсаторов фольги.

Таким образом, актуальной является задача разработки способа получения диэлектрических оксидных наноплёнок на сложной поверхности травленой алюминиевой фольги с целью получения анодных фольг для электролитических конденсаторов, с оксидным диэлектриком, не являющимся оксидом алюминия, и улучшения электрических характеристик электролитических конденсаторов.

Цель работы

Целью настоящей работы является создание способа получения тонких 7 диэлектрических наноплёнок оксидов различных металлов на поверхности травленой алюминиевой фольги, используемой для изготовления электролитических конденсаторов, и измерение диэлектрических параметров получаемых плёнок, таких как ёмкость фольги с осаждёнными плёнками и электропрочность плёнок.

Для достижения поставленной цели в работе были решены следующие задачи:

- адаптация метода осаждения оксидов металлов пиролизом растворов солей карбоновых кислот как способа получения диэлектрических наноплёнок на поверхности травленой алюминиевой фольги, используемой для изготовления электролитических конденсаторов;

- получение образцов анодной конденсаторной фольги с диэлектрически 1 ! < ми пленками оксидов титана, лантана, свинца, кадмия, марганца, циркония и иттрия с различным числом слоёв диэлектрика и различной структурой осаждённого оксида;

- изучение влияния материала диэлектрика на ёмкость конденсаторной фольги и определение электропрочности полученных плёнок оксидов металлов;

- исследование тонкой структуры наноплёнок оксида иттрия методом просвечивающей электронной микроскопии;

- оценка толщины осаждённых плёнок и физической поверхности конденсаторной фольги по значениям ёмкости полученных фольг;

- построение модели поверхности фольги и заполненности пор оксидом, а также оценка ёмкости по предложенной модели и сравнение расчёта с экспериментом;

- апробация возможности синтеза диэлектриков со структурой типа пе-ровскит в системах РЬ-ТьО и РЬ^г-О при температурах, пригодных для осаждения на поверхности традиционной алюминиевой конденсаторной фольги.

Научная новизна работы

Основная научная новизна работы заключается в следующем:

- получены наноплёнки оксидов различных металлов на чрезвычайно 8 сложной развитой поверхности травленой алюминиевой конденсаторной фольги;

- измерены значения ёмкости и электропрочности анодных фольг с диэлектриком из оксидов различных металлов с различным числом слоев оксидной плёнки, проанализированы зависимости ёмкости и электропрочности фольг от толщины и числа слоев оксидного диэлектрика на поверхности фольги;

- средствами просвечивающей электронной микроскопии получены данные о тонкой структуре наноплёнок оксида иттрия, сформированных на поверхности травленой алюминиевой конденсаторной фольги методом пиролиза солей карбоновых кислот;

- предложена модель, описывающая поверхность фольги и заполненность пор оксидом, позволяющая оценить ёмкость фольги по значениям массы осаждённого на поверхность фольги оксида;

- произведена апробация возможности синтеза диэлектриков со структурой типа перовскит в системах РЬ-ТьО и РЬ-2г-0 с помощью метода пиролиза солей карбоновых кислот при температурах, не превышающих температуру плавления алюминия.

Практическая значимость работы

1. Разработан способ получения анодной фольги для электролитических конденсаторов на основе метода пиролиза солей карбоновых кислот [5], позволяющий получать анодную алюминиевую фольгу с диэлектриком из оксидов различных металлов.

2. Получены и исследованы образцы фольг с диэлектриком из оксидов титана, лантана, свинца, кадмия, марганца, циркония и иттрия с различным числом слоёв диэлектрика и различной структурой осаждённого оксида.

3. При этом достигнуты следующие характеристики. На травленой алюминиевой фольге толщиной 50 мкм при осаждении диэлектрика из оксида иттрия из раствора с концентрацией 5 г/кг получены значения ёмкости от 20 мкФ/см при электропрочности 30 В до 90 мкФ/см при электропрочности 11В, что превышает ряд аналогов российского и зарубежного производства. 9

При тех же значениях электропрочности, при толщине фольги до 60 мкм, существующие промышленные образцы имеют меньшую ёмкость; большее значение ёмкости достигается только при использовании производителями фольги толщиной 70-107 мкм [3, 4]. Таким образом, полученные фольги позволяют изготовить конденсатор с меньшими габаритами при тех же параметрах ёмкости и рабочего напряжения, используя при этом традиционную алюминиевую конденсаторную фольгу.

Основные положения, выносимые на защиту

На защиту выносятся:

- способ получения анодной фольги для электролитического конденсатора за счёт осаждения оксидного диэлектрика на поверхности травленой алюминиевой катодной конденсаторной фольги путём термического разложения растворов солей карбоновых кислот в инертной атмосфере;

- результаты измерения ёмкости и электропрочности образцов плёнок оксидов Т1, Ьа, РЬ, Сс1, Мп, 7л и У, полученных на поверхности травленой алюминиевой фольги;

- оценки толщины оксидной плёнки и удельной поверхности фольги, произведённые по результатам измерения ёмкости фольг;

- модель, описывающая поверхность пористой фольги и заполненность пор оксидом, результаты оценки ёмкости по предложенной модели;

- результаты апробации возможности получения структур типа перовскит в системах РЬ-ТьО и РЬ^г-О при температурах ниже температуры плавления алюминия.

Апробация работы

Основные положения диссертации докладывались и обсуждались на конференциях: 62-е и 63-е Дни науки студентов МИСиС: международные, межвузовские и институтские научно-технические конференции и на III Международном форуме по нанотехнологиям 1Ш8КАМОТЕСН 2010. . * » V. • 1

Публикации

По результатам выполненных исследований опубликованы следующие печатные работы:

1. Страумал П.Б., Кречетов И.С. Получение и исследование нанокристал-лических плёнок электролитов на базе двуокиси церия и циркония, предназначенных для использования в плёночных оксидных топливных элементах // 62-е Дни науки студентов МИСиС: международные, межвузовские и институтские научно-технические конференции —М., 2007 — С. 180-181.

2. Кречетов И.С. Исследования в области нанесения диэлектрических тонких плёнок на конденсаторную фольгу // 63-е Дни науки студентов МИСиС: международные, межвузовские и институтские научно-технические конференции.-М., 2008.-С. 196.

3. Мятиев A.A., Рязанцев С.Н., Кречетов И.С. Нанесение диэлектрических наноплёнок на пористую поверхность анодной конденсаторной фольги // Нано-и микросистемная техника- 2009- № 3 — С. 23-29.

4. И.С. Кречетов, A.A. Мятиев, П.А. Петренко. Получение наноплёнок оксидов металлов на поверхности катодной конденсаторной фольги и измерение их диэлектрических параметров // III Международный форум по нанотех-нологиям RUSNANOTECH 2010.-2010.

5. A. Myatiev, I. Krechetov. Low-temperature synthesis of perovskites PbTi03 and PbZr03 // Defect and diffusion forum.- 2011.- V. 309-310.- P. 271-274.

Структура и объём работы

Диссертация состоит из введения,3 глав, выводов^и 4 приложений и изложена на 140 страницах, содержит 78 рисунков, 20 таблиц и список использованных источников из 129 наименований.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Кречетов, Илья Сергеевич

Выводы

1. Разработан метод получения диэлектрических пленок оксидов металлов на поверхности травленной алюминиевой фольги пиролизом при 450-550°С в инертной атмосфере солей карбоновых кислот, наносимых на поверхность фольги в виде растворов их карбоксилатов.

2. Получены образцы диэлектрических плёнок оксидов Тл, Ьа, РЬ, Сё, Мп, Ъх и У с разным числом слоёв плёнки на поверхности травленой алюминиевой фольги КОК при использовании растворов с расчетной концентрацией металла 1 г/кг. Зависимость ёмкости и электропрочности ряда образцов (с оксидами Сс1, Мп и Ъх) от числа слоёв носит немонотонный характер (причём, как с минимумами, так с максимумами значений). Ёмкость полученных образцов лежит в интервале от 40 до 240 мкФ/см , электропрочность - в интервале 0,5 до 2 В, за исключением оксида Тл, образцы которого имеют электропрочность от 2 до 8 В. Для оксидов Тл и У электропрочность монотонно растёт, а ёмкость - монотонно убывает с ростом числа слоёв.

3. По результатам измерения ёмкости полученных образцов проведены оценки толщины осаждённых плёнок, которые составили 1,6-8,3 нм для оксидов Ьа, РЬ, Сё, Мп, Ъх, У и 5,9-16,2 нм для оксида Ть При этом величина удельной поверхности чистой фольги оценивается в 30 см2/см2. Столь малые, близкие к периоду решётки оксидов, значения толщины, следующие из сделанных оценок, свидетельствуют о несплошностях сформированных плёнок, что объясняет низкие значения их электропрочности и немонотонность зависимостей ёмкости и электропрочности ряда образцов от числа слоёв. v v » *

4. Показано, что диэлектрические плёнки оксида У, формирующиеся на поверхности травленой алюминиевой фольги КОК при использовании раствора с более высокой расчетной концентрацией металла - 5 г/кг, обладают, по сравнению с раствором 1 г/кг, близкими значениями ёмкости от 20 до 90 мкФ/см2, при более высоких показателях электропрочности - от 11 до 30 В. Последнее

V ! указывает на формирование пленок с лучшими показателями сплошности покрытая поверхности фольги оксидом, что подтверждается данными электронной микроскопии.

5. Предложена модель описания пор в поверхности фольги (с учётом заполненности пор оксидом по мере нанесения плёнок),, в виде полых пирамид, вершины которых уходят внутрь поверхности. На основе предложенной модели сделаны оценки ёмкости изготовленных образцов с оксидом иттрия, показавшие хорошее согласие с экспериментом.

6. Показано, что дополнительный отжиг на воздухе пленок оксидов металлов на поверхности травленой алюминиевой фольги KDK, полученных методом пиролиза солей карбоновых кислот из раствора, приводит к значительному окислению поверхности самой фольги, и как следствие - уменьшению разбросов значений емкости и электропрочности. При этом ёмкость неото-жжённых образцов оксида Y, полученных при использовании раствора с расчетной концентрацией металла 5 г/кг, убывает с ростом числа слоёв, а электропрочность - растёт, а ёмкость и электропрочность отожжённых - практически одинаковы для разного числа слоёв и составляют примерно 20-25 мкФ/см2 и 21-23 В соответственно. В то же время ёмкость неотожжённых образцов оксида Ti, полученных при использовании раствора с расчетной концентрацией металла 7 г/кг, меняется в интервале от 3 до 180 мкФ/см , т.е. имеет большой разброс значений, и характеризуется тенденцией к увеличению ёмкости с ростом числа слоёв. Ёмкость отожжённых образцов Ti, полученных при этой концентрации, лежит в достаточно узком интервале от 150 до 180 мкФ/см , и для них наблюдается тенденция к снижению ёмкости с ростом числа слоёв. Электропрочность * * 1 * h \ * всех образцов с оксидом Ti, полученных при этой концентрации, составляет около 3 В для обоих вариантов их изготовления.

7. Показано, что при осаждении плёнок оксида церия методом пиролиза солей карбоновых кислот из раствора с концентрацией металла 1 г/кг на поверхности гладкой алюминиевой фольги 1050А, для неотожжённых образцов электропрочность меняется в интервале от 1,78 до 10,9 Вис увеличением числа слоёв убывает, а для отожжённых - растёт с числом слоёв от 10,4 В до 22,8 В.

8. Показана возможность низкотемпературного синтеза структур типа пе-ровскит в системах РЬ^г-О и РЬ-Тл-О с использованием метода пиролиза солей карбоновых кислот путём осаждения на подложку аморфной плёнки смеси оксидов, из которой при отжиге, в силу высокой энергетики аморфной плёнки, в первую очередь выделяются высокотемпературные фазы. При температуре 550 °С системе РЬ-2г-0 получен перовскит l>ЪZrOз, а в системе РЬ-ТьО -РЬТ1307.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Кречетов, Илья Сергеевич, 2011 год

1. Меркулов В.И. Основы конденсаторостроения: Учебное пособие — Томск: Изд. ТПУ, 2001.

2. Семенов Б.Ю. Силовая электроника для любителей и профессионалов — М.: СОЛОН-Р, 2001.

3. ОАО «Элеконд». Алюминиевые травленые и формованные фольги. Каталог.- Сарапул, 2010.

4. KDK Corporation. Aluminum Foil For Aluminum Electrolytic Capacitors. Online Catalogue-http://www.kdk.eom/e/productinfo/specifications/index.html.

5. Myatiev A.A. New advances in surface physics, chemistry, and mechanics: materials with deposited oxide films. Findings, effects, and applications Moscow, 2000.

6. Патент RU 2391442 Cl, H01G 9/045, 06.11.2008. Способ получения анодной фольги. Мисожников JI.B., Юркевич И.Н., Кошелевский В.Ф. и др.

7. Палатник JI.C., Черемской П.Г., Фукс М.Я. Поры в пленках-М.: Энергоиздат, 1982.

8. Сахновский М.Ю., Кузнецкий М.Г. Рассеяние излучения металлической чернью // Оптика и спектроскопия.- 1974 — Т.6.- С. 175-180.

9. Патент 763229 США, МКИ H01G 9/00, 23.12.1987. Aluminium Capacitor Plate for Electroluitic Capacitor and Process for Making the Same. Ohtuka T., Mu-rooka Y., Arai S., Nishizaki T.

10. Патент RU 2098878, H01G9/0, 03.04.1996. Способ изготовления катодной фольги и катодная фольга электролитического конденсатора. Рязан-цев С.Н., Юркевич И.Н.

11. Международная заявка PCT/RU96/00104 от 26.04.96. Способ и устройство для напыления пористых покрытий, катодная фольга электролитического конденсатора. Рязанцев С.Н., Кошелевский В.Ф., Юркевич И.Н.

12. Савельев И.В. Курс общей физики, т.2. Электричество и магнетизм.

13. Волны. Оптика.-М.: Наука, 1982.

14. Тамм И.Е. Основы теории электричества-М.: Наука, 1976.

15. Hendriks M.G.H.M. Solid state supercapacitors based on metal/yttria-stabilised zirconia composites — Enschede, The Netherlands, 2001.

16. Maleto M., Pevtsov E., Sigov A. e.a. // Ferroelectrics- 2003- V.286.-P.301-309.

17. Scott J.F. // Ferroelectrics Review.- 1998- V.l(l).-P.l-32.

18. Muralt P. // Reports on Progress in Physics.- 2001.- V.64.- P.1339-1388.

19. Poznyak S.K., Kokorin A.I., Kulak A.I. // J Electroanal Chem.- 1998.-V.442.-P.99.

20. Carp O., Reller A. Unpublished results.

21. Pedraza F., Vasquez A. // J Phys Chem Solids.- 1999.- V.60.- P.445.

22. Xie Y., Yuan C. // Mater Res Bull.- 2004.- V.39.- P.533.

23. Yin S., Fujishiro Y., Wu J. e.a. // J Mater Proc Tech.- 2003.- V.137.- P.45.

24. Kang M. // J Mol Catal A: Chem.- 2003.- V.97.- P.173.

25. Kim C.S., Moon B.K., Park J.H. e.a. // J Cryst Growth.- 2003.- V.254.1. P.405.

26. Wang C.C., Ying J.Y. // Chem Mater.- 1999.- V. 11.- P.3113.

27. Yanagisava K., Yamamoto Y., Feng Q. e.a. // J Mater Res 1998 - V.131. P.825.

28. Ito S., Yoshida S., Wanabe T. // Chem Lett.- 2000.- V. 1.- P.70.

29. Kolen'ko Y.V., Burukhin A.A., Churagulov B.R. e.a. // Mater Lett 2003-V.57- P. 1124.

30. Aruna S.T., Tirosh S., Zaban A. // J Mater Chem.- 2000.- V.10.- P.2388.<■;',- i' i 7

31. Ovesnstone J., Yanagisawa K. // Chem Mater 1990 - V.l 1.- P.2770.

32. Hirano M., Nakahara C., Ota K. e.a. // J Solid State Chem.- 2003- V.l70.1. P.39.

33. Inagaki M., Nakazawa Y., Hirano M. e.a. // Int J Inorg Mater.- 2001-V.3.-P.809.

34. Hirano M., Ota K. // J Mater Sci.- 2004.- V.39.- P. 1841.

35. Kolen'ko Y.V., Maximov V.D., Garshev A.V. e.a. // Chem Phys Lett-2004.-V.388.-P.411.

36. Furlong D.N., Parfitt C.D. // J Colloid Interface-Sci.- 1978.- V.65.- P.548.

37. Qian Y., Chen Q., Chen Z. e.a. // J Mater Chem.- 1993 V.3.-P.203.

38. Iwasaki M., Hara M., Ito S. // J Mater Sci Lett.- 1988 V.17.- P.1769.

39. Bach U., Lupo D., Comte P. e.a. // Nature.- 1998.- V.395.- P.583.

40. Sivakumar S., Krishna Pillai P., Mukundan P. e.a. // Mater Lett- 2002.-V.52.—P.330.

41. Matijevic E., Budnik M., Meites L. // J Colloid Interface Sci.- 1997.-V.61.-P.302.

42. Watson S.S., Beydoun D., Scott J.A. e.a. // Chem Eng J- 2003 V.95.1. P.213.

43. Haga Y., An H., Yosomiya R. // J Mater Sci!- 1997.- V.32.- P.3183.

44. Yung KJ.Y., Park S.B. // J Photochem Photobiol A: Chem.- 1999.-V. 127.-P. 177.

45. Livage J., Henry M., Sanchez C. // Prog Solid State Chem 1988.- V.18.1. P.259.

46. Doeuff S., Dromzee Y., Taulelle F. // Inorg Chem.- 1989.- V.28.- P.4439.

47. Doeuff S., Henry M., Sanchez C. // Mater Res Bull.- 1990.- V.25.- P.1519.

48. Guillard C., Beaugiraud B., Dutriez C. e.a. // Appl Catal B: Environ-2002.-V.39.-P.331.

49. Campostrini R., Ischia M., Palmisano L. // J Therm Anal Cal 2003-V.71.-P.997.

50. Campostrini R., Ischia M., Palmisano L. // J Therm Anal Cal 2003-V.71.-P.1011.

51. CampostriniR., IschiaM., PalmisanoL. // J Therm Anal Cal- 2004-V.75- P. 13.

52. Legrand-Buscema C., Malibert C., Bach S. // Thin Solid Films 20021. V.418 —P.79.

53. Harizanov O., Harizanov A. // Solar Energy Mater Solar Cells — 2000-V.63 — P.185.

54. Nakamoto K. Infrared spectra of inorganic compound. New York, London: John Wiley & Sons, 1963.

55. Dick S., Suhr C., Rehspringer J.L. e.a. // Mater Sci Eng A.- 1989.- V.109.1. P.227.

56. Li S., Condrate R.A., Jang S.D. e.a. // J Mater Sci.- 1989.- V.24.- P.3873.

57. Chandler C., Roger C., Hamden-Smith M. // Chem Rev- 1993- V.93.-P.1205.

58. Barringer E.A., Bowen H.K. // Langmuir 1985.- V. 1.- P.420.

59. Al-Salim N.Y., Abagshaw S., Bittar A. e.a. // J Mater Chem.- 2000.-V.10.-P.2358.

60. Takahashi Y., Matsuoka Y. // J Mater Sci.- 1988.- V.23.- P.2259.

61. Li Y., White T.J., Lim S.H. // J Solid State Chem.- 2004.- V. 177.- P. 1372.

62. Hague D.C., Mayo M.J. // J Am Ceram Soc.- 1994.- V.77.- P. 1957.

63. Kaliszewski M.S., Heur A.H. // J Am Ceram Soc.- 1990.- V.73.- P. 1504.

64. Philipse A.P., van Bruggen M.P.B., Pathmamanoharan C. // Langmuir-1994.-V.10.-P.92.

65. Okudera H., Yokogawa Y. // Thin Solid Films.- 2003.- V.423.- P. 119.

66. Stir M., Traykova T., Nicula R. e.a. // Nucl Instrum Meth Phys Res B-2003.-V.199.-P.59.

67. Tonejc M., Djerdj I., Tonejc A. // Mater Sci Eng B.- 2001.- V.85.- P.55.

68. Phani R., Santucci S. // Mater Lett.- 2001.- V.50.-P.240.

69. Chen Y.F., Lee C.Y., Yeng M.Y. e.a. // J Cryst Growth.- 2003.- V.247.1. P.363.

70. Yang P., Lu C., Hua N. e.a. // Mater Lett 2002 - V.57.- P.794. 70Brezova V., Beazkova A., Karpinsky L. e.a. // J Photochem Photobiol A:

71. Chem.-1997.-V. 109.-P. 177.

72. Arabatzis I.M., Antonaraki S., Stergiopoulos T. e.a. // J Photochem Photo-biol A: Chem.- 2002.- V. 149.- P.237.

73. Zhang H., Reller A. // J Mater Chem.- 2001.- V.l 1.- P.2537.

74. Stone V.F., Davis R.J. // Chem Mater.- 1998.- V.10.- P. 1468.

75. Antonelli D.M., Ying J.Y. // Angew Chem Int Ed Engl.- 1995.- V.34.-P.2014.

76. Sato S., Oimatsu S., Takahashi R. e.a. // Chem Commun.- 1997.-P.2219.

77. Putnam R.L., Nakagawa N., McGrath K.M.M. e.a. // Chem Mater.- 1997.-V.9-P.2690.

78. Thieme M., Schuth F. // Micropor Mesopor Mater 1999,- V.27.- P.193.

79. Cabrera S., El Haskouri J., Beltran-Porter A. e.a. // Solid State Sci.- 2000.-V.2.-P.513.

80. Singhal B., Porwal A., Sharma A. e.a. // J Photochem Photobiol A: Chem-1997.-V.108.-P.85.

81. Cassiers K., Linssen T., Mathieu M. e.a. // J Phys Chem B.- 2004 V.l 08,-P.3713.

82. Yang P., Zhao D., Margolese D.I. e.a. //Nature.- 1998.- V.396.- P. 152.

83. Li D.L., Zhou H.S., Hibino M. e.a. // J Mater Res.- 2003.- V.l8.- P.2743.

84. Kartani I., Meredith P., da Costa J.C.D. e.a. // Curr Appl Phys.- 2004.-V.4.-P.160.

85. Thorns H., Epple M., Froba M. e.a. // J Mater Chem.- 1998.- V.8.- P. 1447.

86. SaadounL., Ayllon J.A., Jimenez-Becerril J. e.a. // Appl Catal B: Environ-1999.-V.21.-P.269.

87. Zheng J.H., Qiu K.Y., Wei Y. // Mol Ciyst Liq Cryst.- 2000.- V.354.1. P.183.

88. Wang C., Li Q., Wang R. // J Mater Chem.- 2004.- V.39.- P. 1899.

89. Wang C., Xi H., Wang R.D. // Chem Lett.- 2004.- V.33.- P.20.

90. Jones A.C., Chalker P.R. // J Phys D-Appi Phys.- 2003.- V.36 P.R80.

91. Choy K.L. // Prog Mater Sci.- 2003.- V.48.- P.57.

92. Van de KrolR., Goossens A., Schoonman J. // J Electrochem Soc- 1997-V. 144,- P. 1723.

93. Smith A., Rodriguez-Clemente R. // Thin Solid Films.- 1999.- V.345.1. P.192.

94. Sanchez-Juarez A., Tiburcio-Silver A., Ortiz A. // Solar Energy Mater Solar Cells.- 1998,-V.52.-P.301.

95. Ahonen P.P., Tapper U., Kauppinen E.I. e.a. // Mater Sci Eng A 2001-V.315.-P.113.

96. Ahonen P.P., Kauppinen E.I., Joubert J.C. // J Mater Res 1999 - V.14-P.3938.

97. Paraguay F.D., Estrada W.L., Acosta D.R.N. // Thin Solid Films.- 1999.-V.350.-P.192.

98. Veluchamy P., Tsuji M., Nishio T. e.a. // Solar Energy Mater Solar Cells-2001.-V.67.-P.179.

99. Zhang S.Z., Messing G.L.//J Am Ceram Soc.-1990.-V.73.-P.67.

100. Lyons S.W., Ortega J., Wang L.M. // Mater Res Soc SympProc.- 1992,-P.271- V.907.

101. Ogihara T., Ookura T., Yanagawa T. // J Mater Chem.- 1991- V.I.1. P.789.

102. Dubois B., Ruffier D., Odier P. // J Am Ceram Soc.- 1989.- V.72.- P.713.

103. Mardare D., Rusu G.I. // Mater Lett.- 2002.- V.56 P.210.

104. Treichel O., Kirchhoff V. // Surf Coat Technol.- 2000.- V. 123.- P.268. 104Rodriguez J., Gomez M., Ederth J. // Thin Solid Films.- 2000 V.3651. P.119.

105. Okimura K., Maeda H., Shibata A. // Thin Solid Films.- 1996.- V.427.-P.281-2.

106. Ong C.K., Wang S.J. //Appl Surf Sci.-2001.-V. 185.-P.47.

107. Herman G.S., Gao Y. // Thin Solid Films.- 2001.- V. 397.-P. 157.

108. Marakami M., Matsumoto Y., Nakajima K. e.a. // Appl Phys Lett 20011. V.78 — Р.2664.

109. Miyake S., Kobayashi Т., Satou M. e.a. // J Vac Sci Technol A.- 1991.-V.9.-P.3036.

110. David P.Norton // Materials Science and Engineering R- 2004 43 — 139-247.

111. F.S.Galasso. Perovskites and High Tc Superconductors — NewYork: Gordon and Breach, 1990.

112. Калужский H.A., ВолоховЮ.А. Алюминия оксид // Химическая эн-циклопедия.-Т. 1 / И.Л. Кнунянц, Н.С. Зефиров, Н.Н. Кулов и др.-М.: Советская энциклопедия, 1988.- С. 118-119.

113. ВолоховЮ.А. Алюминия гидроксид // Химическая энциклопедия-Т. 1 / И.Л. Кнунянц, Н.С. Зефиров, Н.Н. Кулов и др.-М.: Советская энциклопедия, 1988.-С. 118.

114. ФедоровП.И. Титана оксиды // Химическая энциклопедия- Т. 4 / Н.С. Зефиров, Н.Н. Кулов, Ю.А. Золотов и др.-М.: Большая Российская.Энциклопедия, 1995.- С. 593-594.

115. Afifl М.А., Abdel-Aziz М.М., Yahia I.S. e.a. Transport properties of poly-crystalline Ti02 and Ti203 as semiconducting oxides // Journal of Alloys and Compounds.- 2008.- V.455.- P.92-97.

116. Титанаты // Химическая энциклопедия-Т. 4 / Н.С. Зефиров, Н.Н. Кулов, Ю.А. Золотов и др.- М.: Большая Российская Энциклопедия, 1995.- С. 596.

117. Мартыненко Л.И., Моисеев С.Д., Киселёв Ю.М. Лантан // Химическая энциклопедия.-Т. 2 / И.Л. Кнунянц, Н.С. Зефиров, Н.Н. Кулов и др.— М.: Советская энциклопедия, 1990 С. 577

118. Хариф Я.Л., Ковтуненко П.В. Свинца оксиды // Химическая энциклопедия.-Т. 4 / Н.С. Зефиров, Н.Н. Кулов, Ю.А. Золотов и др.-М.: Большая российская энциклопедия, 1995.- С. 303-305.

119. Федоров П.И. Кадмия оксид // Химическая энциклопедия.-Т. 2 /

120. И.Л. Кнунянц, Н.С. Зефиров, H.H. Кулов и др.-М.: Советская энциклопедия, 1990.- С. 282.

121. Чукуров П.М. Марганца оксиды // Химическая энциклопедия.-Т. 2 / И.Л. Кнунянц, Н.С. Зефиров, H.H. Кулов и др.-М.: Советская энциклопедия, 1990.-С. 649-650.

122. Раков Э.Г. Цирконий // Химическая энциклопедия.-Т. 5 / Н.С. Зефиров, H.H. Кулов, Ю.А. Золотов и др.-М.: Большая российская энциклопедия, 1998-С. 384-386.

123. Раков Э.Г. Циркония диоксид // Химическая энциклопедия.-Т. 5 / Н.С. Зефиров, H.H. Кулов, Ю.А. Золотов и др.—М.: Большая российская энциклопедия, 1998 С. 387

124. Мартыненко Л.И., Моисеев С.Д., Киселёв Ю.М. Иттрий // Химическая энциклопедия.-Т. 2 / И.Л. Кнунянц, Н.С. Зефиров, H.H. Кулов и др-М.: Советская энциклопедия, 1990 С. 277-278

125. Мартыненко Л.И., Моисеев С.Д., Киселёв Ю.М. Церий // Химическая энциклопедия.-Т. 5 / Н.С. Зефиров, H.H. Кулов, Ю.А. Золотов и др.— М.: Большая российская энциклопедия, 1998 С. 351-352.

126. Гармаш В.М., Жашков A.A. Свинца титанат // Химическая энциклопедия.-Т. 4 / Н.С. Зефиров, H.H. Кулов, Ю.А. Золотов и др.-М.: Большая российская энциклопедия, 1995.- С. 305.

127. Noheda В. // Current Opinion in Solid State and Materials Science—2002-№6.- P. 27-34127SnitkaV., Ulcinas A., Nemciauskas K. e.a. // Microelectronic Engineer-ing.-2006.-V. 83.-P. 1456-1459.

128. KDK Corporation. Aluminum Foil For Aluminum Electrolytic Capacitors. Test Methods-http://www.kdk.eom/e/productinfo/testmethods/index.html.

129. МосковичЮ.Л. Адипиновая кислота // Химическая энциклопедия-Т. 1 / И.Л. Кнунянц, Н.С. Зефиров, H.H. Кулов и др.-М.: Советская энциклопедия, 1988.-С. 35-36.