Плазменные источники ионов на базе разрядов с ненакаливаемыми катодами в магнитном поле тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.02, кандидат технических наук Вересов, Олег Леонидович

• Вересов, Олег Леонидович
• кандидат технических наук
• 2011

Оглавление диссертации кандидат технических наук Вересов, Олег Леонидович

ВВЕДЕНИЕ.

1. ДОСТИЖЕНИЯ В ОБЛАСТИ РАЗРАБОТКИ ПЛАЗМЕННЫХ ИСТОЧНИКОВ ИОНОВ.

1.1. Области применения источников ионов и требования, предъявляемые к ним.

1.2. Источники ионов.

1.3. Газоразрядные камеры источников ионов для формирования пучков ионов газа.

1.4. Газоразрядные камеры источников ионов для формирования пучков ионов металла.

1.5. Цели и задачи диссертационной работы.

2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ, ДИАГНОСТИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И МЕТОДИКИ ИЗМЕРЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ИОННЫХ ИСТОЧНИКОВ.

2.1. Состав оборудования экспериментального стенда.

2.2. Диагностическая аппаратура.

2.3. Малогабаритный, многофункциональный измеритель характеристик пучка.

2.4. Модуль для измерения массовых и зарядовых спектров частиц в пучках.

2.5. Модуль для измерения токовых характеристик и массового состава пучков ионов водорода и дейтерия.

2.6. Методики измерения параметров ионных пучков.

Выводы по главе 2.

3. РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ИСТОЧНИКОВ ИОНОВ ДУОПЛАЗМАТРОННОГО ТИПА С НЕНАКЛИВАЕМЫМИ ВТОРИЧНОЭМИССИОННЫМИ КАТОДАМИ.

3.1. Особенности плазменных систем с вторично-эмиссионными ненакаливаемыми катодами.

3.2. Особенности разработанных эмиссионных газоразрядных структур с полым и магнетронным катодами.

3.3. Сравнение конструкций и параметров дуоплазматрона с ПС и

ОЦММ катодами.

3.4. Источник ионов с ненакаливаемым магнетронным катодом и магнитным сжатием плазмы вблизи эмиссионного электрода.

3.5. Конструкция источника ионов с ненакаливаемым магнетронным катодом и магнитным сжатием плазмы в области эмиссионного отверстия.

3.6. Результаты экспериментального исследования источника с ненакаливаемымым магнетронным катодом и магнитным сжатием j q^ плазмы вблизи эмиссионного отверстия.

3.7. Физическая модель процессов, происходящих в источнике.

3.8 Сравнение характеристи дуоплазматрона ПС и ОЦММ катодами и источника с ненакаливаемым катодом и магнитным сжатием.

Выводы по главе 3.

4. ИСТОЧНИК ИОНОВ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ

МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ ПУЧКОВ.

4.1. Экспериментальная установка для исследования ионного источника Пеннинга с модифицированной ГРК.

4.2. Экспериментальные результаты и их обсуждение.

4.2.1. Исследование ионного источника с подключением двух источников электропитания.

4.2.2. Исследование ионного источника с одним источником электропитания.

4.2.3. Исследование ионного источника в импульсном режиме работы. 173 Выводы по главе 4.

5. ПРИМЕНЕНИЕ РАЗРАБОТАННЫХ ИОННЫХ ИСТОЧНИКОВ

5.1. Инжектор протонов для линейного резонансного ускорителя.

5.2. Пучково-плазменный технологический комплекс для модификации поверхности конструкционных материалов.

5.3. Установка Т-50 для модификации поверхности конструкционных материалов.

Выводы по главе 5.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Плазменные источники ионов на базе разрядов с ненакаливаемыми катодами в магнитном поле»

Актуальность темы

Ионные источники начали активно применять в двадцатых годах прошлого века. С этого момента их использование в науке и технике только расширялось. Это было связано и с атомным проектом (разделительные установки), и с работами по изучению изотопов, и развитию ускорительной техники, где они являются основным элементом инжекторов. Поскольку неуклонно растёт круг задач, которые решают с помощью ускорителей, как в научной области, так и в области промышленности, медицины, экологии, борьбе с контрабандой, нелегальным распространением наркотических и взрывчатых веществ и т.д., ускорительная техника динамично развивается. В связи с чем, растут требования к элементам ускорителей, в том числе и к ионным источникам, как к их эмиссионным характеристикам, так и технико-эксплуатационным. Ионные источники тяжёлых ионов получили распространение в середине прошлого века и при производстве полупроводниковых приборов в микроэлектронике, являясь неотъемлемой частью имплантеров. Ионные источники являются основным инструментом в ионно- плазменных технологиях.

Традиционно наибольшее распространение ионно- плазменные технологии имели при производстве изделий электроники, микро- и оптоэлектрони-ки. Однако в последние годы сфера их применения значительно расширилась. Анализ современного состояния развития исследований и производства в области «критических» технологий и техники новых поколений позволяет сделать заключение о том, что одним из наиболее динамично развивающихся междисциплинарных научно-технических направлений является физика и технология микро - и наносистем. Ввиду того, что в указанных системах в качестве характерных выступают размеры атомного уровня, при их изготовлении необходимо использовать «инструмент», обеспечивающий устойчивое воспроизведение размеров в нанометровом диапазоне. В качестве «инструмента» для указанных целей весьма эффективно использование потоков заряженных частиц и плазмы.

В настоящее время, в связи со значительным расширением фронта работ в области нанотехнологии и наноматериалов, теоретические и прикладные исследования в указанных областях начинают активно развиваться, что отражает объективные потребности современной науки, техники и производства. Поэтому, представляется целесообразным более детальное и глубокое изучение плазменных эмиссионных систем на базе разрядов низкого давления для модификации поверхности и нанесения различного рода покрытий.

Изложенное выше, определяет актуальность исследований, выполненных в настоящей работе. Их постановка обусловлена стремлением получения новых знаний о физике процессов в многокомпонентной плазме низкого давления, а также потребностями науки, техники и производства в разработке и использовании более совершенного аналитического и технологического оборудования, обеспечивающего расширение областей использования новых процессов, базирующихся на применении потоков заряженных частиц и плазмы.

К таким процессам, в частности, относятся пучково-плазменные технологии. Без их применения невозможно выполнить некоторые из технологических операций, а на других они существенно повышают качество. Среди таких процессов можно отметить ионную имплантацию, ионно-плазменное травление или обработку диэлектриков потоками быстрых нейтралов. Весьма перспективно применение пучково-плазменных технологий для модификации поверхности конструкционных материалов в машиностроении.

Для повышения эффективности применения пучково-плазменных технологий требуется разработка нового оборудования или существенная модернизация уже применяемого. Несмотря, на значительные достижения, достигнутые в области плазменной эмиссионной электроники, до сих пор актуальной остаётся задача создания источников ионов различных сортов ионов и источников направленных плазменных потоков с технико - эксплуатационными характеристиками, отвечающими потребностям сегодняшнего дня. К таким характеристикам, в частности, относятся: ресурс работы, газовая экономичность, токовая и энергетическая эффективность, интенсивность потока заряженных частиц, экономичность при изготовлении и эксплуатации и т.п.

Цель работы.

Целью диссертационной работы является разработка и исследование источников интенсивных пучков ионов с ненакаливаемыми катодами в магнитном поле на базе разрядов низкого давления, предназначенных для технологических пучково-плазменных установок и инжекторов линейных ионных ускорителей прикладного назначения.

Для достижения поставленной в работе цели, было необходимо решить следующие задачи:

1. Выполнить анализ достижений в области разработки и применения плазменных эмиссионных систем с ненакаливаемыми катодами.

2. Разработать и исследовать перспективные конструкции ненакаливае-мых катодов, адаптированных к работе в газоразрядных камерах плазменных источников ионов.

3. Разработать диагностическую аппаратуру для оперативного измерения параметров пучков ионов, извлекаемых из газоразрядных камер плазменных источников ионов и методику ее применения.

4. Провести исследование физических процессов, протекающих в газоразрядных камерах плазменных источников ионов с ненакаливаемыми катодами в магнитном поле, и областях эмиссии и первичного формирования пучков ионных источников.

5. Разработать и испытать плазменные источники ионов новых оригинальных конструкций и провести исследование их возможностей для применения в технологических установках и ускорителях для прикладных целей.

6. Оптимизировать параметры отдельных узлов и инжекторов в целом, используемых для формирования ионных пучков требуемого качества и получения исходной информации для проектирования новых, более совершенных ионных инжекторов.

Научная новизна работы заключается в том, что:

- предложены не применявшиеся ранее конструкции ненакаливаемых катодов для газоразрядных структур, использующих тлеющий разряд, обеспечивающие более высокий срок службы, высокую газовую экономичность и пониженное напряжение зажигания и горения разряда и выполнено исследование их характеристик;

- исследованы характеристики источника ионов водорода типа дуоплаз-матрон оригинальной конструкции с газоразрядной камерой, в которой возбуждается несамостоятельный тлеющий разряд в электродной структуре с многокамерным полым катодом в магнитном поле;

- впервые исследованы характеристики плазменного источника ионов на базе отражательного разряда с виртуальным антикатодом, способного генерировать многокомпонентные пучки, состоящие из ионов плазмообразующе-го газа и металла катода-мишени;

Положения, выносимые на защиту:

1. Использование в дуоплазматроне катодного узла с многокамерным полым катодом с конусной вставкой в магнитном поле и вспомогательным анодом обеспечивает снижение напряжения зажигания и горения разряда, повышает газовую экономичность и исключает попадание в пучок ионов материала катода.

2. Локализация открытой эмиссионной поверхности в экспандере с газопроницаемыми стенками позволяет повысить электрическую прочность ускоряющего промежутка в 1,5-2 раза и уменьшить нормализованный эмиттанс сформирован 1 ного пучка с 1,4-10' до 2-10" м-рад, за счет «обрезания» периферийных ионов, имеющих значительные поперечные скорости.

3. В плазменном источнике ионов с газоразрядной камерой на базе отражательного разряда низкого давления (вакуумный режим) и продольным извлечением ионов роль антикатода может выполнять открытая граница плазмы, локализованная в промежутке между анодом ГРК и экстрактором. Управляя ее положением можно формировать как ионный поток газовых ионов, так и поток, содержащий ионы материала катода.

Практическая ценность диссертации состоит в том, что:

- разработан оригинальный компактный диагностический комплекс аппаратуры для измерения характеристик ионных потоков, формируемых в плазменных источниках ионов, и отработаны методики оперативных измерений параметров пучков с его использованием;

- на базе созданных ионных источников и оптимизированных ионно-оптических систем разработаны ионные инжекторы для ускорителей прикладного назначения и технологических установок с улучшенными эксплуатационными характеристиками.

Внедрение результатов работы.

1. Инжектор на базе источника ионов водорода с ненакаливемым магне-тронным катодом и магнитным сжатием плазмы вблизи эмиссионного отверстия, является частью строящегося линейного ускорителя протонов на энергию 16 МэВ для наработки медицинских радионуклидов для применения в медицинских учреждениях юга России (договор № 9910-Н между МПО «Радиевый институт им. В.Г. Хлопина» и СФТИ).

2. Ионный источник на базе отражательного разряда с ненакаливаемым катодом, в котором формируется поток ионов из плазмообразующего газа и распыленных атомов катода-мишени, был применён в инжекторе многокомпонентных пучков ионов газа и металла, который вместе с пучково-плазменным реактором составляют технологический комплекс по нанесению плёночных покрытий методом ионно-лучевого распыления. Работа выполнялась по договору № 1485/0202-07 от 05.04.2007 с ОАО «Композит» по теме «Разработка технологии формирования композиционных изделий и покрытий, экспериментальные исследования в обеспечение создания новых материалов и технологических процессов для энергетических установок».

3. Специальный диагностический комплекс, включающий анализатор характеристик пучка и две модификации многоканального масс-анализатора, используемый для оперативного измерения параметров ионных пучков: тока пучка, радиального распределения плотности тока аксиально-симметричного пучка, угла расходимости и эмиттанса пучка, компонентного состава смешанных ионных пучков, в настоящее время эксплуатируется в СФТИ и НИИЭФА им. Д.В. Ефремова.

Личный вклад автора.

Приведенные в диссертации результаты разработок и исследований получены при непосредственном участии автора. Автором внесён определяющий вклад в постановку задач, выбор методик исследования, анализ полученных результатов исследований и разработку инжекторов на базе полученных данных.

Апробация результатов работы. Основные результаты работы докладывались на V Международной конференции по модификации материалов пучками частиц и плазменными потоками (Томск, 2000 г.), на IX Конференции по физике газового разряда (Рязань, 1998), на XI Международном совещании по применению ускорителей заряженных частиц в промышленности и медицине (СПб, 2005 г.), на 8ой и 9ой Международных конференциях «Плёнки и покрытия» (СПб, 2007 и 2009 г.г.), на 7ой Всероссийской с международным участием научно-технической конференции «Быстрозакалённые материалы и покрытия» (Москва, 2008 г.), на Международном семинаре «Вакуумная техника и технология» (СПб, 2008 г.), на III Международном Крейнделевском семинаре «Плазменная эмиссионная электроника» (Улан-Удэ, 2009 г.), на Международной научно-технической конференции «Инновационные технологии в машиностроении» (Новополоцк, Беларусь, 2011г.).

Публикации. По результатам работы опубликовано 17 работ, в числе которых 7 статей в изданиях, рекомендованных ВАК России, и одна монография (находится в печати).

Структура и объём диссертации.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, приложения и содержит 147 страниц машинописного текста, 98 рисунков, 6 таблиц и список литературы из 124 наименований.

Заключение диссертации по теме «Вакуумная и плазменная электроника», Вересов, Олег Леонидович

Основные результаты диссертационной работы можно кратко сформулировать следующим образом:

1. Разработаны и исследованы новые перспективные конструкции катодных узлов с полым сотовым катодом и обращенным цилиндрическим многокамерным магнетронным катодом. За счёт увеличения площади эмитирующей поверхности и увеличения индукции магнитного поля удалось в магнетронном катоде понизить напряжение возбуждения и поддержания разряда (с 500 до 300 В) и снизить расход плазмообразующего газа (с 1600 до 667 Па-см /имп.).

2. Разработан и исследован дуоплазматрон с магнетронным многополостным катодом и реверсивным магнитным полем, в котором роль сжимающего электрода выполняет конусная насадка на катоде, а плазменная граница формируется в экспандере с газопроницаемыми стенками и диафрагмой, отсекающей периферийные ионы, увеличивающие эмиттанс формируемого пучка.

3. Разработан и исследован ионный источник с ГРК на базе ячейки Пеннинга с виртуальным антикатодом, роль которого выполняет граница плазмы, проникающей в ускоряющий промежуток.

4.Показано, что управляя положением виртуального антикатода, можно реализовать два режима работы источника: режим с отражательным разрядом, когда в формируемом ионном пучке преобладают газовые ионы, и режим с магнетронным разрядом, когда формируется многокомпонентный ионный пучок, содержащий газовые ионы и ионы материала катода.

5. Разработан аналитический измерительный комплекс, позволяющий измерять параметры ионных пучков при работе ионных источников, как в непрерывных, так и в импульсных режимах.

6. Разработана и применена на практике оригинальная методика определения эмитганса и диаграммы эмиттанса с помощью прибора, в котором для визуализации элементарных пучков использовано явление люминисценции кварцевых стекол, легированных редкоземельными элементами.

7. Разработаны и апробированы подходы к конструированию измерителей массового состава ионных пучков, позволяющих определять компонентный состав ионного пучка даже в режиме одиночных импульсов.

8. Разработан, изготовлен и введен в эксплуатацию технологический кластер для модификации поверхности потоками заряженных частиц и плазмы.

9. Разработана и испытана плазменная ловушка оригинальной конструкции, применение которой позволило отказаться от азотной ловушки, а также проводить с ее помощью финишную ионную очистку внутрикамерной арматуры.

10. На базе выполненных исследований разработаны образцы ионных источников и диагностической аппаратуры, используемые в настоящее время в Сухумском физико-техническом институте и НИИ ЭФА им Д.В. Ефремова.

199

11. Материалы диссертации используются в отделе линейных ускорителей ГНЦ ИФВЭ (Протвино Московской области) при проведении работ по модернизации инжектора линейного ускорителя.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Вересов, Олег Леонидович, 2011 год

1. Барченко В.Т., Быстров Ю.А., Колгин Е.А. Ионно-плазменные технологии в электронном производстве. С.-Пб.: Энергоатомиздат. 2001.

2. Денбновецкий С.В., Барченко В.Т., Белоусов В.Д. и др. Ионно-плазменные и ионно-лучевые устройства технологического назначения. Часть 3. Киев. УМК ВО. 1992.

3. Вересов О.Л., Григоренко С.В., Межов И.И., Удовиченко С.Ю., Цыганков С.С. «Функциональные вакуумные покрытия в ускорительной технике» // Вакуумная техника и технология, т.17, №2, 2007, С.131 136.

4. Ворогушин М.Ф., Степанов А.В., Строкач А.П., Гавриш Ю.Н. Состояние работ по созданию циклотронов для прикладных целей. // Труды 18 конференции по ускорителям заряженных частиц. Обнинск. 2002. С.

5. Svistunov Yu.A., et all. Testing of a New 2 MeV RFQ and perspectives of 433 MHz linac for applied purposes. // Proceedings of the 19 Int. Linac Conf. Chicago. USA. 1998. V.l. P. 768.

6. Аринин Л.В., Кузнецов Г.В., Марколия А.И. и др. // Тез. докл. 9-го Всероссийского совещания по применению ускорителей заряженных частиц в промышленности и медицине. Санкт-Петербург. 1998. С. 122.

7. Svistunov Yu.A., Vorogushin M.F., Gavrish Yu.N., Sidorov A.V., Fialkowski A.M. NPK LUTS Project of Contraband Detection System. // Proceedings of the XX Int. Linac Conf. Monterey. USA. 2000. V.l. P. 639.

8. Ворогушин М.Ф., Кудинович И.В., Свистунов Ю.А., Струев В.И. Реактор с внешним источником нейтронов для безопасной ядерной энергетики ивозможность создания модели электроядерной установки. // Атомная энергия. 1999. Т.87. № 2. С. 101.

9. Ворогушин М.Ф., Кудинович И.В., Свистунов Ю.А., Струев В.И. Электроядерная установка на базе подкритического реактора с внешнимисточником нейтронов ускорителем протонов. // Proceedings of the Int. Workshop BDO. St. Peterburg. 2002. P. 153 - 162.

10. Симонов B.B., Корнилов A.A. и др. Оборудование ионной имплантации. M.: Радио и связь. 1988.

11. Головко Н.Г., Гуля А.Г., Дракин В.И. и др. Опытно-промышленное имплантационное оборудование // Тезисы докладов IV Всероссийской конференции по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц. Томск. 1996. С. 87.

12. Ворогушин М.Ф., Свистунов Ю.А., Строкач А.П., Удовиченко С.Ю. Выбор системы инжекции для высокочастотного ускорителя ионов. // Труды XV совещания по ускорителям заряженных частиц. Протвино. 1996. Т.1, С. 110-113.

13. Зуев Ю.В. Методы расчёта и исследование согласующей оптики для ускоряющих структур с интенсивными пучками. Автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук. С.Петербург. 1998.

14. Лобанов Н.Р. Разработка инжекторов ионов для малогабаритных линейных ускорителей. Автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук. МИФИ. Москва. 1989.

15. Вересов O.J1., Григоренко C.B., Зуев Ю.В., Строкач А.П., Удовиченко С.Ю., Цыганков С.С. Исследование системы внешней инжекции пучка ионов Н" для циклотрона. // ВАНТ, 2004, №2, серия(43), С. 60-63.

16. Форрестер А.Т. Интенсивные ионные пучки. М.: Мир. 1992.

17. Copley M.J., Phipps Т.Е. The Surface Ionization of Potassium on Tungsten. // Phys. Rev. 1935. V.48. P. 960.

18. Menon M.M. at all. Quasi-Steady-State Multimegawatt Ion Source for Neutral Beam Injection. // Rev. Sci. Instrum. 1985. V.56. P. 242.

19. Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. М.: Атомиздат. 1972.

20. Cook С., Heinz О., Lorenz D., and Peterson J. // Rev. Sci. Instrum. 1962. V.33. P. 649.

21. Szuszczewicz E. Spatial Distributions of Plasma Density in a High-Frequency Discharge with a Superimposed Static Magnetic Field. // Phys. Fluids. 1972. V.15. P. 2240 2246.

22. Green T.S. Intense ion beams. // Reports on Progress in Physics. 1974. V. 37. №10. P. 1257- 1340.

23. Голубев В.П. и др. Дуоплазматрон со смещённым эмиссионным отверстием как источник положительных ионов. // М.: ЦНИИатоминформ. Препринт. НИЭФА. № П Д - 0678. 1984.

24. Браун Я. Физика и технология источников ионов. М.: Мир. 1998.

25. Geller R. IEEE Nrans. Nucl. Sci. NS-23, 904. 1976.

26. Geller R. Proceedings of the 8th International Conference on Cyclotrons and Their Applications, Bloomington, Indiana, September 1978, IEEE, P. 2120.

27. Musil J. and Zacek F. // Czeck. J. Phys. 1972. V. В 22. P. 133.

28. Musil J. and Zacek F. // Czeck. J. Phys. 1973. V. В 23. P. 736.

29. Musil J., Zacek F., and Schmiedbergen P. // Plasma Phys. 1974. V.16. P. 971.1. V

30. Kopecky V., Musil J., and Zacek F. Absorption of Electromagnetic Waves in a Radially Inhomogeneous Plasma at High Magnetic Fields. // Plasma Phys. 1975. V.17. № 12. P. 1147 1153.

31. Nanobashvili S., Rostomashvili G., and Tsintsadze N. // Sov. Phys. Tech. Phys. 1975. V.20. P. 280.

32. Sakudo N., Tokiguchi K., Koike H., and Kanomata I. // Rev. Sci. Instrum. 1977. V.48. P. 762.

33. Tokiguchi K., Sakudo N., and Koike H. Energy Analysis of Microwave Ion Sources. // J. Vac. Sci. Technol. 1984. V. A 2. P. 29 34.

34. Габович М.Д. Плазменные источники ионов. К: Наукова Думка. 1964.

35. Thomson J.J. Rays of Positive Electricity. // Phil. Mag. 1910. V.20. P. 752.

36. Thomson J.J. Rays of Positive Electricity // Phil. Mag. 1911. V.21. P. 225.

37. Lamar E.S., Buechner W.W. // J. Appl. Phys. 1947. V.18. P. 22.

38. Allison S.K. //Rev. Scient. Instrum. 1948. V.19. P. 291.

39. Zinn W.H. // Phys. Rev. 1937. V.52. P.655.

40. Von Ardenne M. New Developments in Applied Ion and Nuclear Physics. // Atomkernenergie. 1956. V.l. P. 121.

41. Finkelstein A.T. A High Efficiency Ion Source. // Rev. Sci. Instrum. 1940. V.ll.P. 94.

42. Abele M., Meckbach W. Design and Performance of a Hot Cathode Magneticallv Collimated Arc Discharge Ion Source. // Rev. Sci. Instrum. 1959. V.30. P. 335.

43. Penning F.M., Moubis J.H.A. A Neutron Source Without Extra Pumping. // Physica. 1937. V.4. P. 1190.

44. Баталии В.А., Коломиец А.А., Кондратьев Б.К., Куйбида Р.П. Дуоплазматрон с холодным катодом для инжектора линейного ускорителя протонов. // ПТЭ. 1975. № 2. С. 21 23.

45. Нижегородцев В.В. // Тр. 5-го Всесоюз. Совещания по ускорителям заряженных частиц. Т. 1. Протвино. 1978. С. 368 370.

46. Кондратьев Б.К., Столбунов B.C., Турчин В.И. Модернизация дуоплазматрона линейного ускорителя И-2. // ПТЭ. 2004. № 1. С. 39 42.

47. Anderson С.Е. and Ehlers K.W. Ion Source for the Production of Multiply Charged Heavy Ions. // Rev. Sci. Instrum. 1956. V.27. № Ю. P. 809 817.

48. Pavlovic M., Dobrovodsky J., Golubev V.P. An ion beam injector for a linear electrostatic accelerator. // Elektrotechnicky casopis. 1994. V.45. № 6. P. 214 — 220.

49. Davis R.C., Jarningan Т.С., Morgan О.В., Stewart L.D., Stirling W.L. DuoPIGatron II Ion Source. // Rev. Sci. Instrum. 1975. V.46. P. 576.

50. Kaufman H., R., Reader P.D. Experimental Performance of Ion Rockets Employing Electron-Bombardments Ion Sources. // ARS Electrostatic Conference. Monterey. Calif. Nov. 1960. P. 3 4.

51. Freeman J.H. //Nucl. Instrum. Methods. 1963. V.22. P. 306.

52. Капцов H.A. Электрические явления в газах. М., JL Гос. издат. технико-теоретической литературы. 1950.

53. Ховатсон A.M. Введение в теорию газового разряда. М.: Атомиздат. 1980.

54. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука. 1987.

55. Барченко В.Т. Плазменные приборы и устройства на базе тлеющего разряда. С.- Петербург. Издательство СПбГЭТУ «ЛЭТИ». 2002.

56. Плютто А.А., Рыжков В.Н., Капин А.Т. Высокоскоростные потоки плазмы вакуумных дуг. // ЖЭТФ. 1964. Т. 47. № 2. С. 494 507.

57. Порошин О.Ф., Кутан Ж.Ж. Формирование и исследование интенсивных пучков ионов водорода. // Изд-во ФТИ ГК ИАЭ СССР. 1963. С. 102.1 с

58. Penning F.M. A New Manometer for Pressures between 10" and 10" Torr // Physica. 1937. V.4. P. 71.

59. Backus J. Studies of Cold Cathode Discharges in Magnetic Fields. // J. Appl. Phys. 1959. V.30. P. 1866 1869.

60. Backus J. and Huston N.E. Ion Energies in a Cold Cathode Discharge in a Magnetic Field. // J. Appl. Phys. 1960. V.31. № 2. P. 400 403.

61. Барченко B.T., Заграничный C.H., Соколовский А.Ю. Дуоплазматрон для электронной и ионной технологии. // Изв. ЛЭТИ. Вып. 303. Л.: ЛЭТИ, 1982. С. 42-47.

62. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь. 1982.

63. Thornton J.A. Magnetron sputtering: basic physics and application to cylindrical magnetrons. // J. Vac. Sci. Technol. 15(2) March / April 1978. P. 171 -177.

64. Литвинов П.А. Источник отрицательных ионов нового типа для линейных ускорителей. // Вопросы атомной науки и техники. Серия. Ядерно-физические исследования. 1997. Вып. 4,5. С. 31 32.

65. Gavrilov N.V., Kuleshov S.V. A Source of Ribbon Gas Ion Beams. // 5th Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. Tomsk. 2000. P. 181 185.

66. Гаврилов H.B., Оке E.M. Источники широких пучков ионов газов наthоснове тлеющих разрядов с осциллирующими электронами. // 6 Conferenceon Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. Tomsk. 2002. C. 23 28.

67. Гаврилов H.B., Емлин Д.Р., Никулин С.П. Использование тлеющего разряда в магнитном поле для получения широких ионных пучков технологического применения. // Изв. вузов. Физика. 2001. № 9. С. 48 56.

68. Гаврилов Н.В., Емлин Д.Р. Источник широких пучков ионов газов для использования в установке ионно-плазменного нанесения покрытий. // 6th Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. Tomsk. 2002. C. 104- 107.

69. Rautenbach W.L. A High Temperature Sputtering Ion Source for a Laboratory Isotope Separator. //Nucl. Instrum. Methods. 1960. V.9. P. 199 211.

70. Cobic B. e.a. An Intense Magnetron Ion Source for High-Melting Point Materials. //Nucl. Instrum. Methods. 1963. V.24. P. 358 364.

71. Hill K.I., Nelson R.S. A Sputtering Ion Source. // Nucl. Instrum. Methods. 1965. V.38. P. 15-18.

72. Ренская И.В., Абрамычева О.Ф. Ионный источник для получения ионов твёрдых веществ. // ПТЭ. 1969. №4. С. 142 143.

73. Морозов П.М. и др. // В кн. «Труды Второй международной конференции по мирному использованию атомной энергии. Женева, 1958.» Доклады советских учённых. Т.6. М. Атомиздат. 1959. С.111.

74. NielsenК.О. //Nucl. Instrum. Methods. 1957. V.l. P. 289.

75. Uhler J., Alvager T. // Arkiv. fys. 1959. V.14. P. 473.

76. Ильин Б.Н., Кривцов A.K. Капиллярно-дуговой источник ионов металла. // ПТЭ. 1970. № 2. С. 197 198.

77. Severac I. An Ion Source with Plasma Compression. // Nucl. Instrum. Methods. 1965. V.38. P. 12 14.

78. Шпеник О.Б., Завилопуло A.M. // В сб. «Материалы 21-й научн. конферен. Ужгородского ун-та». Киев. Изд-во КГУ. 1968. С.99.

79. Sarrouy J.-L., Klapish R. // Proc. Internet. Symp. on Electromagnetic Separation of Radioactive Isotopes. (Vienna, 1960) Wien, 1960.

80. Magnuson G.D. e.a. High Efficiency Source for Metal Ions. // Rev. Scient. Instrum. 1965. V.36. № 2. P. 136 142.

81. Wahlin L. The Colutron Mark II, a Velocity Filter Isotope Separator. // Nucl. Instrum. Methods. 1965. V.38. P. 133 139.

82. Гусев B.M. // В кн. «Труды Всесоюзной научно-технической конференции по применению радиоактивных и стабильных изотопов». М.: Издательство АН СССР. 1958. С.68.

83. Месяц Г.А. Эктоны в вакуумном дуговом разряде: пробой, искра, дуга. М: Наука. 2000.

84. Месяц Г.А., Баренгольц С.А. Эктонный механизм генерации ионных потоков вакуумной дуги. // Изв. вузов. Физика. 2001. № 9. С. 5 8.

85. Brown I.G., Galvin J.E., and MacGill R.A. High Current Ion Source. // Appl. Phys. Lett. 1985. V.47. № 4. P. 358 360.

86. Бугаев С.П., Оке E.M., Щанин П.М., Юшков Г.Ю. Источник ионов (ЮОкВ) на основе вакуумной дуги, возбуждаемой контрагированным разрядом. // ПТЭ. 1990. №6. С. 125 129.

87. Бугаев С.П., Николаев А.Г., Оке Е.М., Юшков Г.Ю., Щанин П.М., Браун Я. Технологические источники ионов на основе вакуумного дугового разряда. // Изв. вузов. Физика. 2001. № 9. С. 23 27.

88. Вересов Л.П., Литвинов П.А., Неустроев Ю.П., Николаев Э.С. А.С. № 1507114. С приоритетом от 8.05.1989.

89. Переводчиков В.И., Покровский С.В., Хомский И.Г. Коммутатор постоянного тока для мощных электронно-лучевых технологических установок на основе электронно-лучевого вентиля. // Электротехника. 1982. № 12. С. 49-51.

90. Вересов JI.П., Вересов О.Л., Скрипаль Л.П. Прибор для измерения параметров ионного пучка круглого сечения, позволяющий оценивать эмиттанс пучка за импульс. // ЖТФ. 1997. Т.67. Вып. 9. С. 135.

91. Вересов Л.П., Вересов О.Л., Дзкуя М.И. и др. Прибор для анализа состава многокомпонентных ионных пучков. // ЖТФ. 2000. Т.70 Вып. 3. С. 66 -68.

92. Lejeune С. and Flbert J. Applied Charged Particle Optics. // AJ Septier (Ed.), Hart 13A. Academic. 1980. New York. P. 159 259.

93. Москалёв B.A., Сергеев Г.И. Измерение параметров пучков заряженных частиц М.: Энергоиздат, 1991.

94. Мелета Е.А., Вересов Л.П., Кижин В.Н. и др. // Физика и химия стекла. 1991. Т.17. № 3. С. 77 79.

95. Мелета Е.А., Малых Н.И., Сидорова И.К. и др. Люминесцентный датчик плотности тока пучка протонов // ПТЭ. 1991. № 2. С. 31 33.

96. Шпольский Э.Б. Атомная физика. Т. 1. М.: Наука. 1984.

97. Арцимович Л.А., Лукьянов С.Ю. Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях. М.: Наука. 1972.

98. Kelley G.G., Lazar N.H., Morgan О.В. A Source for the Production of Large DC Ion Currents. //Nucl. Instrum. Methods. 1961. V. 10. P. 263.

99. Demirhanov R.A., Frohlich H., Kursanov Yr.V., and Gutkin T.I. // High Energy Accelerator. Papers from USSR. BNL-767 (C-36). Prepared for Presentation at 1961, International Conference Brookhaven Nat. Lab. 1962. P. 224.

100. Демирханов P.А., Курсанов Ю.В., Благовещенский B.M. Источник ионов высокой интенсивности. // ПТЭ. 1964. №1. С. 30 -33.

101. Samson J.A.R., Liebl H. Duoplasmatron as a Vacuum Ultraviolet Light Source. // Rev. Scient. Instrum. 1962. V.33. P. 1340 1343.

102. Delbarre J.P., Faure J., Noël R., and Vienet R. // C.R. Acad. Sei. В (France). 1966. V.262. № 24. P. 1494 1497.

103. Никулин С.П. Влияние размеров анода на характер тлеющего разряда с полым катодом. // ЖТФ. 1997. Т.67. Вып.5. С. 43 47.

104. Никулин С.П. Тлеющий разряд с полым катодом в длинных трубках. // ЖТФ. 1999. Т.69. Вып.6. С. 36 39.

105. ЗавьяловМ.А., Крейндель Ю.Е., Новиков A.A., Шантурин Л.П. Плазменные процессы в технологических электронных пушках. М.: Энергоатомиздат. 1989.

106. Барченко В.Т., Голубев В.П., Потсар A.A., Тарвид Г.В. A.C. № 866610. С приоритетом от 16.11.79.

107. Вересов Л.П., Вересов О.Л., Дзкуя М.И. и др. Исследование холодных катодов плазменных источников, генерирующих пучки ионов водорода. // ЖТФ. 2001. Т.71. Вып. 10. С. 50 53.

108. Kellog Е.М., Eklund К.Е. Plasma and Ion Beam Characteristics of the Dynamag Ion Source. // Rev. Sei. Instrum. 1962. Vol. 33. P. 1338 1339.

109. Вересов Л.П., Вересов О.Л. Ионный источник с холодным магнетронным катодом и магнитным сжатием плазмы. // ЖТФ. 2003. Т.73. Вып. 10. С. 122 129.

110. Калашников С.Г. Электричество. М.: Наука. 1985.

111. Спитцер Л. Физика полностью ионизованного газа. М.: Мир. 1965.

112. Вересов Л.П., Вересов О.Л., Чачаков А.Ф. Источник ионов водорода с холодным магнетронным катодом и магнитным сжатием плазмы. // ЖТФ. 2006. Т.76. Вып. 1. С. 132 135.

113. Вересов Л.П., Вересов О.Л., Кушакевич Ю.П., Петров Г.Ф., Чачаков А.Ф.,

114. Вересов Л.П., Вересов О.Л., Литвинов П.А. Исследование ионного источника, предназначенного для пучковых технологий. // ЖТФ. 2000. Т.70. Вып.4. С. 111-117.

115. Барченко В.Т., Вересов О. Л. Плазменный источник ионов технологического назначения. // Тезисы докладов IX Конференции по физики газового разряда. Рязань. 1998. Часть 2. С. 71 72.

116. Barchenko V.T., Veresov L.P., Veresov O.L. and Grigorenko S.V. Plasma Ion Source for Modification of Materials. // 5th Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. Tomsk. 2000. P. 220 223.

117. Барченко В.Т., Вересов Л.П., Вересов О.Л. Установка для модификации поверхности потоками заряженных частиц и плазмы. // Труды 9ой Международной конференции «Плёнки и покрытия 2009», Санкт- Петербург, 26 29 мая 2009, С. 317 - 321.

118. Москалёв Б.И. Разряд с полым катодом. М.: Энергия. 1969.