Пластическая деформация и разрушение одноосно растянутых НК кремния, стимулированные импульсами электрического тока тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Яценко, Светлана Николаевна

• Яценко, Светлана Николаевна
• кандидат физико-математических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Яценко, Светлана Николаевна

Введение

Глава 1. Пластическая деформация и разрушение кристаллов, стимулированные импульсами токовых воздействий (обзор)

1.1. Влияние различных энергетических воздействий 10 на структуру и свойства твердых тел

1.2. Обнаружение электронно-пластического эффекта в металлах

1.3.Современные представления об электронно-пластическом 13 эффекте и электропластической деформации металлов

1.4. Экспериментальные исследования токовых воздействий 20 на массивные монокристаллы

1.5. Экспериментальные исследования токовых воздействий 29 на нитевидные кристаллы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Пластическая деформация и разрушение одноосно растянутых НК кремния, стимулированные импульсами электрического тока»

Актуальность темы. Исследования пластической деформации и разрушения нитевидных кристаллов (НК) кремния при воздействии импульсов электрического тока и осевой нагрузки растяжения актуальны в двух аспектах. Во-первых, для физики твердого тела и физического материаловедения установление закономерностей изменения кристаллической структуры исходно бездислокационных монокристаллов кремния представляет самостоятельный научный интерес, поскольку большинство систематических исследований в этом направлении проведено в основном в условиях воздействия упругих и тепловых полей в отсутствие электрического тока. Во-вторых, такие исследования вызывают большой научный интерес в связи с открытием электронно-пластического эффекта, который широко исследован в металлах, но практически совсем не изучен в монокристаллах кремния. Так как последние широко используются при создании силовых электронных приборов, работающих в условиях воздействия импульсных электрических токов, полученные результаты будут иметь также огромный практический интерес. Кроме того, НК кремния сами являются уникальными модельными образцами для создания миниатюрных, особопрочных и малоинерционных тензо- и терморезисторов, используемых при создании первичных преобразователей неэлектрических физических величин в электрический сигнал для различного рода приборов: датчиков деформации, акселерометров, экстензометров, термоанемометров, термометров и др. Поэтому встает вопрос об определении упругих свойств, выявлении условий зарождения первых дислокаций, приводящих к нестабильности свойств приборов, изготовленных на основе НК, при токовых воздействиях. Все сказанное выше определяет актуальность данной темы.

Диссертационная работа выполнена в проблемной научно-исследовательской лаборатории нитевидных кристаллов на кафедре физики Воронежского государственного технического университета по госбюджетной теме: ГБ 98.1 - «Дефекты структуры и свойства нитевидных кристаллов полупроводников» (номер г.р. 019.80002972).

Цель работы: установление закономерностей влияния импульсов электрического тока на пластическую деформацию и разрушение одноосно растянутых НК кремния.

Для достижения поставленной цели решались следующие задачи:

1. Разработка способов и выбор режимов воздействия импульсов электрического тока на исходно бездислокационные НК кремния при комнатной температуре; исследование условий, приводящих к изменению структуры НК кремния.

2. Создание воздействием одиночного импульса электрического тока при 300 К нарушения кристаллической структуры (искусственного макроскопического дефекта) в исходно бездислокационном НК кремния и исследование его влияния на пластичность и разрушение НК в отсутствие электрического тока.

3. Исследование микропластической деформации в одноосно растянутых исходно бездислокационных НК кремния при комнатной температуре в условиях воздействия импульсов электрического тока.

4. Исследование макроскопической пластической деформации и разрушения одноосно растянутых НК кремния при комнатной температуре в условиях воздействия импульсов электрического тока.

Объекты исследования. В качестве объектов исследования были выбраны нитевидные кристаллы (НК) кремния ( р-Б1 <111>), имеющие длину 3-10 мм, диаметр 5-80 мкм. В исходном состоянии НК являются бездислокационными; при комнатной температуре ведут себя хрупко, при повышении температуры проявляют пластичность. Отмеченные свойства делают НК уникальными модельными объектами для исследования процессов пластической деформации и разрушения.

Методики и оборудование. В экспериментах по исследованию влияния на структуру и свойства НК кремния тепловых и упругих полей, а также прямоугольных импульсов электрического тока и осевой нагрузки растяжения наряду со стандартным (электроизмерительные приборы, электронный вакуумный пост), ранее разработанным (универсальная установка для исследования механических свойств и др.) также применялось вновь разработанное оборудование (генератор прямоугольных импульсов электрического тока, установка для воздействия импульсами электрического тока). Применялись как широко апробированные методики (метод электросопротивления, внутреннего трения, селективного травления и др.), так и специально разработанная методика воздействия на НК р-Бг импульсами электрического тока совместно с осевой нагрузкой растяжения.

Научная новизна полученных в работе результатов определяется тем, что в НК кремния в условиях воздействия импульсов электрического тока впервые: обнаружен эффект электростимулированной генерации дефектов кристаллической структуры в неравновесных условиях; экспериментально показано, что созданное импульсом электрического тока скопление подвижных дислокаций имеет градиент плотности и оказывает такое же влияние на механические свойства НК кремния, как и деформационные дислокации, порожденные упругими и тепловыми полями в отсутствие импульсов тока; установлено, что наблюдаемое при 300 К в исходно бездислокационных НК явление микропластичности стимулировано импульсами электрического тока. Полученные результаты позволяют отнести микропластичность к одной из разновидностей электропластического эффекта, специфичного для исходно бездислокационных монокристаллов; экспериментально установлено семь наиболее характерных уровней протекания процесса и закономерности локализации микропластической деформации в приповерхностных слоях исходно бездислокационного НК, обусловленные особенностями зарождения и эволюции дислокаций, сильно взаимодействующих со свободной поверхностью; экспериментально выявлено, что резкое увеличение релаксационной способности упруго деформированного при комнатной температуре исходно бездислокационного НК кремния в условиях воздействия импульсов электрического тока связано со сменой механизма пластической деформации при переходе от микро- к макропластичности; на основе экспериментально полученных результатов установлено, что воздействия импульсов электрического тока подавляют процессы упрочнения в «шейке» НК и способствуют развитию явления «сверхпластичности»; экспериментально обнаружено, что при температуре 300 К в условиях воздействия импульсов электрического тока и малой (ар < 105 Па) осевой нагрузки растяжения НК кремния разрушаются вязко в отличие от практически хрупкого разрушения в отсутствие тока. Разрушение носит характер взрывного процесса.

Практическая значимость. Полученные в работе новые результаты углубляют знания о закономерностях зарождения и эволюции сдвиговой деформации в исходно бездислокационных монокристаллах кремния, имеющих форму тонких нитей. Новые данные о закономерностях процессов макроскопической пластической деформации, в особенности разупрочнения (явление «сверхпластичности») и разрушения в условиях воздействия импульсов электрического тока имеют общефизическое значение и могут быть использованы при создании современных теорий пластичности и разрушения, при разработке технологических процессов создания на основе монокристаллов кремния мощных силовых устройств и омических контактов к ним. Полученные данные о микропластической деформации НК кремния в условиях импульсных токовых воздействий имеют важное самостоятельное значение для предсказания стабильного поведения монокристаллов кремния, используемых в различных приборах и устройствах измерительной и электронной техники.

Основные результаты и положения, выносимые на защиту

1. Эффект электростимулированной генерации дефектов кристаллической структуры.

2. Электростимулированная микропластическая деформация локализована только в приповерхностных слоях исходно бездислокационного НК и контролируется механизмом зарождения на поверхности дислокаций и эволюцией их ансамбля в объеме.

3. Переход от микро- к макроскопической пластической деформации при воздействии импульсов электрического тока сопровождается резким увеличением релаксационной способности НК и свидетельствует о смене механизмов пластической деформации.

4. Воздействия импульсов электрического тока подавляют процессы упрочнения в «шейке» НК кремния и способствуют развитию явления «сверхпластичности».

5. При комнатной температуре в условиях воздействия импульсов электрического тока одноосно растянутые НК кремния разрушаются вязко, а разрушение носит характер взрывного процесса.

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались и обсуждались на международных и всероссийских научных конференциях и семинарах, таких как: XIV Международная конференция «Физика прочности и пластичности материалов» (Самара, 1995); Международный семинар «Релаксационные явления в твердых телах» (Воронеж, 1995); IV Международная конференция «Действие электромагнитных полей на пластичность и прочность материалов» (Воронеж, 1996); IX Международная конференция «Взаимодействие дефектов и неупругие явления в твердых телах» (Тула, 1997); X и XI Международные научно-технические конференции «Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления» (Гурзуф, 1998, 1999); Третий (зимний) Московский семинар «Физика деформации и разрушения твердых тел» (Москва, ИКАН, 1998); Второй Всероссийский семинар «Нелинейные процессы и проблемы самоорганизации в современном материаловедении» (Воронеж, 1999); Первая Международная научно-техническая конференция «Металлофизика и деформирование перспективных материалов» (Самара,1999); XII International Conference on Internal Friction and Ultrasonic Attenuation in Solids (Buenos Aires, Argentina, 1999); XX Международная конференция «Релаксационные явления в твердых телах» (Воронеж, 1999); отчетные конференции сотрудников ВГТУ (1996-1999).

Публикации. По материалам диссертации опубликовано 24 работы, из них 10 статей и 14 тезисов докладов. Во всех работах, выполненных в соавторстве, автор принимал непосредственное участие в проведении экспериментов, написании статей, разработке моделей экспериментально наблюдаемых процессов, формулировании выводов.

К.ф.-м.н. А.П.Ермаков консультировал автора по методикам токовых воздействий, электрофизическим измерениям и обработке полученных результатов.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав, основных результатов и выводов, списка цитируемой литературы из 149 наименований. Весь объем составляет 133 страницы, включая 36 рисунков и 3 таблицы.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Яценко, Светлана Николаевна

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1. Экспериментально обнаружен эффект электростимулированной генерации дефектов кристаллической структуры, выражающийся в дополнительном изменении структуры НК кремния в неравновесных условиях воздействия импульсов электрического тока.

2. Выбраны режимы и установлены условия, обеспечивающие изменение структуры опытных образцов. На основе полученных результатов разработан способ генерации дефектов в исходно бездислокационных НК кремния, позволяющий в неравновесных условиях при воздействии импульсов электрического тока получать изменение структуры (макроскопический дефект) в

Л С локальном микрообъеме, в раз меньшем объема НК.

3. Экспериментально установлена природа созданного макроскопического дефекта, выражающаяся в дополнительном образовании неровностей рельефа в локальной зоне боковой поверхности и скопления под ней дислокаций с градиентом плотности. По данным, полученным методами рентгенографии, внутреннего трения, ползучести и др., сделан вывод о том, что скопление образовано любыми возможными типами подвижных дислокаций разных знаков, которые оказывают такое же влияние на механические свойства НК кремния, как и деформационные дислокации, порожденные упругим и тепловым полями в отсутствие электрического тока.

4. Обнаружена стадия микропластичности, стимулированная воздействием импульсов электрического тока. Экспериментально установлено, что микропластичность локализована только в приповерхностных слоях объема исходно бездислокационного НК, резко гетерогенна по свободной поверхности и сечению образца. Выделено семь наиболее характерных уровней ее протекания. Стадия микропластичности объяснена механизмом электростимулированной генерации на поверхности сильно взаимодействующих с ней дислокаций и эволюцей их ансамбля в объеме исходно бездислокационного

118

НК. Сделан вывод о том, что обнаруженная микропластичность является разновидностью электропластического эффекта, специфичного для исходно бездислокационных монокристаллов.

5. Экспериментально выявлено резкое увеличение релаксационной способности упруго деформированного при температуре 300 К НК кремния в условиях воздействия импульсами электрического тока, обусловленное переходом от микро- к макропластичности образца и связанное со сменой механизма пластической деформации.

6. В области наиболее интенсивно развивающегося процесса обнаружена локализация пластичности, образование «шейки» на длине в несколько диаметров НК. Расчетами показано, что степень пластической деформации в «шейке» достигает сотен процентов и свидетельствует в пользу явления «сверхпластичности». Эти экспериментальные факты, а также влияние отжига на возврат структуры позволяют сделать вывод о том, что воздействия импульсов электрического тока подавляют процессы упрочнения в «шейке» НК.

7. Экспериментально получено, что при 300 К в условиях воздействия импульсами электрического тока и малой (ар < 105 Па) осевой нагрузки растяжения НК кремния претерпевают вязкое разрушение в отличие от практически хрупкого разрушения в отсутствие тока. Недостаток объема кремния в разрушенном образце, по сравнению с исходным, не только подтверждает факт плавления, но и указывает на взрывной характер процесса разрушения.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Яценко, Светлана Николаевна, 2000 год

1. Бережкова Г.В. Нитевидные кристаллы. - М.: Наука, 1969. - 158 с.

2. Антипов С.А., Дрожжин А.И., Рощупкин A.M. Релаксационные явления в нитевидных кристаллах полупроводников. Воронеж: Изд-во ВГУ, 1987,- 191 с.

3. Пластическая деформация нитевидных кристаллов / А.М.Беликов, А.И.Дрожжин, A.M.Рощупкин, С.А.Антипов, М.И.Старовиков, И.Л. Батаронов, А.П.Ермаков Воронеж: Изд-во ВГУ, 1991. - 204 с.

4. Дежин В.В., Ермаков А.П., Парфеньев А.Б., Антипов С.А., Батаронов И.Л., Дрожжин А.И., Рощупкин A.M., Старовиков М.И. Разрушение нитевидных кристаллов кремния и германия. Воронеж: ВПИ, 1989.216 с. Деп. в ВИНИТИ 24.10.89. № 6403-В89.

5. Дрожжин А.И. Преобразователи на нитевидных кристаллах p-Si <111>. Воронеж: ВПИ, 1984. - 241 с. Деп. в ВИНИТИ 8.10.84. № 6606-84.

6. Беленов Г.Н., Дрожжин А.И., Свиридов В.В. Циклическая прочность НК.- Воронеж: ВПИ, 1990. 160 с. Деп. в ВИНИТИ № 3261-В90.

7. Зуев Л.Б. Физика электропластичности щелочно-галоидных кристаллов. Новосибирск: Наука. Сиб.отделение, 1990. - 120 с.

8. НК и неферромагнитные пленки: Тез. докл. Всесоюзн. конф. Воронеж, 1970.

9. НК и тонкие пленки: Тез. докл. Всесоюзн. конф. Воронеж, 1975.

10. НК для новой техники: Тез. докл. Всесоюзн. конф. Воронеж, 1979.

11. Иевлев В.М., Трусов В.А., Холмянский В.А. Структурные превращения в тонких пленках. М.:Металлургия, 1982. - 248 с.

12. Спицын В.И., Троицкий O.A. Электропластическая деформация металлов. М.:Наука, 1985. - 160 с.

13. Алехин В.П. Физика прочности и пластичности поверхностных слоев материалов. М.:Наука, 1983. - 280 с.

14. Балалаев Ю.Ф. Деформация и разрушение металлов ультразвуком// Дис. . докт. техн. наук, Воронеж, 1972.

15. Действие электромагнитных полей на пластичность и прочность металлов и сплавов: Тез. докл. I Всесоюзн. конф. Юрмала, 1987. - 267 с.

16. Влияние внешних энергетических полей на структуру и свойства твердых тел: Сб. тр. конф. Юрмала, 1988, 1989.

17. Влияние внешних энергетических полей на структуру и свойства твердых тел: Сб. тр. конф. Новокузнецк, 1991.

18. Действие электромагнитных полей на пластичность и прочность материалов: Тез. докл. Ш Межд. конф. Воронеж: ВГТУ, 1994. - 104 с.

19. Действие электромагнитных полей на пластичность и прочность материалов: Тез. докл. IV Межд. конф. Воронеж ВГТУ, 1996.

20. Кашкаров П.К., Тимошенко В.Ю. Образование дефектов в полупроводниках при импульсном лазерном облучении// Поверхность. Физика, химия, механика. 1995. - № 6.- С.5 -33.

21. Головин Ю И. Электромагнитные аспекты физики прочности и пластичности твердых тел И Вестник ТГУ, 1996.- Т.1, вып.1. С.3-20.

22. Антипов С.А. Механические свойства нитевидных кристаллов кремния // Дис. . докт. физ.-мат. наук, Воронеж, 1999. - 360 с.

23. Классен-Неклюдова М.В. Пластические свойства и прочность кристаллов. Л., М.: ГТТИ, 1933. - 156 с.

24. Westbrook J.H., Giknan I.J. Electric-mechanical effect on semiconductors // J.Appl.Phys. 1962, V.33. - № 4. - P.2360-2372.

25. Воробьев А.А., Воробьев Г.А. Электрический пробой и разрушение твердых диэлектриков. М.: Высш. школа, 1966. - 224 с.

26. Девиссон Дж.В., Вэйгхан В.Х. Разрушение материалов, вызванное электрическими эффектами // Разрушение. 1976. Т.6. - С.419-471.

27. Троицкий О.А., Лихтман В.И. Об анизотропии действия электронного и у-облучения на процесс деформации монокристаллов цинка в хрупком состоянии//Докл. АН СССР, 1963.- Т.148. С.332-334.

28. Кравченко В Л. Воздействие направленного потока электронов на движущиеся дислокации//ЖЭТФ, 1966. Т. 51.- С. 1676-1681.

29. Троицкий O.A., Спицын В.И., Глазунов П.Я. Тонкое изменение прочности облучаемых кристаллов//ДАН СССР, 1972. Т.206. - С.597-600.

30. Троицкий O.A., Спицын В.И. Электропластическая и радиационно-пластическая деформация металла// Докл. АН СССР, 1973. Т.210.-С.1388-1391.

31. Троицкий O.A., Спицын В.И., Глазунов П.Я. Низкотемпературная ползучесть облучаемых кристаллов свинца// Докл. АН СССР, 1972. Т. 207. - С. 834-837.

32. Гегузин Я.Е., Каганов М.И., Лифшиц И.М. Влияние длины свободного пробега электронов на образование трека вокруг частицы// ФТТ, 1973.- Т. 15. С.2425-2430.

33. Лифшиц И.М., Каганов М.И., Танатарев Л.В. К теории радиационных изменений в металлах// Атом, энергия, 1959. Т.6.- С.391-402.

34. Румянцев В.В. О затухании плазмонов в твердых телах// ФТТ, 1971.-Т.13. С.2038-2042.

35. Klemperer O.K., Shephard J.P. Characteristic energy losses of electrons in solids//Adv. Phys., 1963. V.12. -P. 355-361.

36. Фикс В.Б. Ионная проводимость в металлах и полупроводниках. М.: Наука, 1969. - 295 с.

37. Фикс В.Б. Увлечение и торможение подвижных дефектов в металлах электронами проводимости. Роль закона дисперсии электронов// ЖЭТФ, 1981. Т.80. - С. 1539-1542.

38. Фикс В.Б. О взаимодействии электронов проводимости с одиночными дислокациями в металлах// ЖЭТФ, 1981.- Т.80. С.2313-2316.

39. Предводителев A.A., Троицкий O.A. Дислокации и точечные дефекты в гексагональных металлах. М.: Атомиздат, 1973. - 198 с.

40. Климов K.M., Новиков И.И. Влияние градиента температуры и электрического тока высокой плотности на пластическую деформацию при растяжении металлических проволок// Изв. АН СССР. Сер. Металлы, 1978.-№ 6.-С. 175-179.

41. Климов K.M., Новиков И.И. Особенность пластической деформации металлов в электромагнитном поле// Докл. АН СССР, 1980. Т.253,-С.603-610.

42. Троицкий O.A., Спицын В.И., Сташенко В.И. Влияние основных параметров тока на величину электронно-пластического эффекта// Докл. АН СССР, 1981. Т.256. - С. 1134-1137.

43. Сташенко В.И., Троицкий O.A. Влияние частоты импульсного тока и внешнего механического напряжения на скорость ползучести кристаллов// Физика металлов и металловедение, 1982. Т.53. - С. 180-184.

44. Троицкий O.A., Рощупкин A.M., Сташенко В.И. и др. Исследование прямого действия тока на пластическую деформацию металла// Физика металлов и металловедение, 1984. Т.67. - С.524-528.

45. Granato О. Dislocation inertial model for the increased plasticity of the superconducting state // Phys. Rev. Lett., 1971. V.27. - P. 660-665.

46. Бобров B.C., Осипьян Ю.А. Термическое разупрочнение кристаллов// ФТТ, 1973. Т. 15. - С.3266-3270.

47. Бобров B.C., Лебедев М.А. Наблюдение электрических эффектов при низкотемпературном двойниковании ниобия// Письма в ЖЭТФ, 1983.-Т.38. № 7. - С.334-336.

48. Зайцев С.И., Надгорный Э.М. Моделирование термоактивированного движения дислокаций через сетку препятствий// ФТТ, 1973.- Т. 15.-С.2669-2674.

49. Панин В.Е., Лихачев В.А., Гриняев Ю.В. Структурные уровни деформации твердых тел. Новосибирск: Наука, 1985. - 228 с.

50. Рыбин В.В. Большие пластические деформации и разрушение металлов. М.: Металлургия, 1986. - 224 с.

51. Хирт Дж., Лоте И. Теория дислокаций.- М.: Атомиздат, 1972,- 600 с.

52. Белявский В.И., Даринский Б.М., Шалимов В.В. Влияние электронных связанных состояний на подвижность дислокационных перегибов в полупроводниках // ФТТ, 1981. Т.23. - в.1. - С.326-328.

53. Белявский В.Н., Даринский Б.М., Шалимов В.В. К теории подвижности дислокаций в легированных полупроводниках // ФТТ, 1982. Т.24.1. B.2.-С.511-516.

54. Erofeev V.N., Nikitenko V.I., Osvenskii V.B. Effect of Impurities on the Individual Dislocation Mobility in Silicon // Phys. Stat. Sol., 1969. V.35. - P 79-88.

55. Ерофеев B.H., Никитенко В.И. Подвижность дислокаций в кремнии, содержащем примеси замещения и внедрения // ФТТ,1971. Т.13.- в.1.1. C.146-151.

56. Петухов Б.В., Покровский B.JI. О влиянии заряженных примесей на подвижность дислокаций в кристаллах с высокими барьерами Пайер-лса//ФТТ. 1971, -Т.13. -№ 12. С.3679-3682

57. Петухов Б.В., Сухарев В.В. О влиянии заряженных примесей на подвижность дислокаций в кристаллическом рельефе // ФТТ, 1980. Т.22.-в.2. - С.456-462.

58. Patel J.R., Chandchuri A.R. Charged Impurity Effects on the Deformation of Dislocation-free Germanium // Phys. Rev., 1966. V.143. - № 2. - P.601-608.

59. Громов В.E., Гуревич JI.И. Влияние токовых импульсов на подвижность дислокаций в Zn при 77 К// Изв. вузов. Физика, 1990. Т.ЗЗ.- № 3.-С.35-39.

60. Зуев Л.Б., Громов В.Е., Гуревич Л.И. Действие импульсов электрического тока на подвижность дислокаций в монокристаллах Zn // Металлофизика, 1990. Т.12. - № 4. - С. 11-15.

61. Троицкий О.А., Рощупкин A.M., Сташенко В.И., Моисеенко М.М., Калымбетов П.У. Развитие представлений о прямом физическом действии тока в электронно-пластическом эффекте // ФММ, 1986.-Т.61.-В.5.- С.990-995.

62. Громов В.Е., Зуев Л.Б., Батаронов И.Л., Рощупкин A.M. Развитие представлений о подвижности дислокаций при токовом воздействии// ФТТ, 1991. Т.ЗЗ. - № 10. - С.3027-3032.

63. Argon A.S. Thermally-activated Motion of Dislocations through Random Localized Obstacles // Phil. Magazine, 1972. V.25. - № 5. - P. 1053-1072.

64. Тамм И.Е. Основы теории электричества. М.: Наука, 1976. - 616 с.

65. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Электродинамика сплошных сред. М.: Наука, 1966. - 624 с.

66. Беклемишев H.H., Корягин Н.И., Шапиро Г.С. Влияние локально неоднородного импульсного электромагнитного поля на пластичность и прочность проводящих материалов// Изв. АН СССР. Сер. Металлы, 1984.-№4.-С.184-187.

67. Климов K.M., Новиков И.И. К вопросу об «электроннопластическом эффекте» // Проблемы прочности, 1984. № 2. - С.98-103.

68. Сидоренков В.В., Семенцов Д.И., Корнев Ю.В. О механизме разупрочнения при электропластической деформации металлов// Докл. АН СССР, 1990.- Т.310. № 6. - С.1371-1374.

69. Базайкин В.И., Громов В.Е., Кузнецов В.А., Перетятько В.Н. Волочение круглого профиля с внешней энергетической стимуляцией. Напряжения и анализ// Изв. вузов, Черная металлургия, 1989. № 8. - С.76-80.

70. Троицкий O.A., Спицын В.И., Калымбетов П.У. Электронно-пластический эффект на встречных импульсах // Докл. АН СССР, 1980. Т.253. - С.96-100.

71. Троицкий O.A., Спицын В.И., Линке Е. Эмиссия электронов при электропластической деформации металла//Докл. АН СССР, 1980.- Т.254.-С.680-683.

72. Троицкий O.A., Розно А.Г. Электропластическая деформация металла//ФТТ, 1970. Т.12. - С.203-210.

73. Спицын В.И., Троицкий O.A. Моделирование теплового и пинч-действия импульсного тока на пластическую деформацию металла// Докл. АН СССР, 1975. Т.220. - С. 1070-1073.

74. Троицкий O.A., Спицын В.И., Сташенко В.И. Влияние электрического тока на релаксацию напряжений в кристаллах цинка, кадмия и свинца//Докл. АН СССР, 1978. Т.241. - С.379-353.

75. Троицкий O.A., Сташенко В.И. Исследование электропластической деформации металла методом релаксации напряжений // ФММ, 1979.-Т.47. С.180-187.

76. Сташенко В.И., Троицкий O.A. Определение механических напряжений, вызванных действием тока// ФММ, 1981. Т.51. - С.219-221.

77. Сташенко В.И., Троицкий O.A., Яновский Ю.С., Ульянов Л.П. Оценка влияния электрического тока на подвижность дислокаций в кадмии// Изв. АН СССР. Сер. Металлы, 1981. №2. - С.176-180.

78. Каганов М.И., Кравченко В.Я., Нацик В.Д. Электронное торможение дислокаций в металлах // Успехи физ. наук, 1973. Т. 111. - С.655-683.

79. Silveira V.L., Porto M.F.S., Mannheimer W.A. Electroplastic effect in copper subjected to low density electric current // Scr. met., 1981. V.15. - P.945-950.

80. Лебедев В.П., Хоткевич В.И., Влияние импульсов электрического тока на низкотемпературную (1,7-4,2 К) деформацию алюминия// ФММ, 1982. Т.54. - С.353-360.

81. Stepanov À.W. Uber den Mechanismus der plastischen Deformation. 1// Zs. Phys., 1933. V.81. - № 2. - S.706-713.

82. Тяпунина H.A., Белозерова Э.П. Заряженные дислокации и свойства щелочно-галоидных кристаллов// УФНД988. Т.156. - № 4. - С.683-717.

83. Загоруйко Н.В., Щукин Е.Д. Влияние электрического поля на пластическое течение кристаллов NaCl // Кристаллография, 1968. Т. 13. - № 5.-С.908-910.

84. Белозерова Э.П., Тяпунина H.A., Светашов A.A. Влияние электрического и ультразвукового полей на внутренние напряжения в щелочно-галоидных кристаллах // Кристаллография, 1975.-Т.20.- № 5.- С.788-791.

85. Brissenden S., Gardner J.W., Illingworth J., Kovacevic J., Whitworth R.W. The influence of an electric field on the flow stress of crystals of NaCl // Phys. Stat. Sol. (a), 1979. V.51. -№ 1. - P.521-526.

86. Зуев Л.Б., Царев O.K., Громов В.Е., Рыбянец В.А. Релаксация напряжений в кристаллах NaCl в электрическом поле // Изв. вузов. Физика, 1974. -№3. -С.61-64.

87. Smoluchowsky R. Dislocations in ionic crystals// J. Phys., 1966,- V.27. №1,-P.3-11.

88. Николаев В.И., Смирнов Б.К. Электропластический эффект в сегнето-электрических монокристаллах NaNKb// ФТТ, 1985. Т.27. - № 11. - С. 3369-3372.

89. Бобров B.C., Лебедкин М.А. Разупрочнение монокристаллов никеля при перестройке доменной структуры в магнитном поле// ФТТ, 1985. -Т.27. № 3. - С.820-824.

90. Осипьян Ю.А., Петренко В.Ф. Эффект короткого замыкания в пластической деформации ZnS и движение заряженных дислокаций// ЖЭТФ, 1975. Т.69. - № 4(10). - С.1362-1371.

91. Осипьян Ю.А., Петренко В.Ф. Экспериментальное наблюдение влияния электрического поля на пластическую деформацию кристаллов ZnSe // Письма в ЖЭТФ, 1973. Т. 17. - С.555-557.

92. Зуев Л.Б., Мальцев В.Д., Высовень Л.М., Ступин В.А. Неупругие явления в нитевидных кристаллах хлористого натрия // ФТТ, 1972. Т. 14. - № 6. - С. 1-6.

93. Зуев Л.Б., Мальцев В.Д., Данилов В.И., Нарожный А.Н. Деформация нитевидных кристаллов NaCl при электрическом и механическом на-гружении//ФТТ, 1975. Т.17. - № 2. - С.501-505.

94. Сыркин В.Г. Материалы будущего. О нитевидных кристаллах металлов,- М.: Наука, 1990, 192 с.

95. Антипов С.А., Седых Н.К. Изменение электросопротивления НК кремния в электростатическом поле // Релаксационные явления в твердых телах : Тез. докл. школы-семинара. Воронеж: ВПИ, 1993. - С.4.

96. Антипов С.А., Седых Н.К., Заславский Е.Л. Электропроводность кристаллов кремния при деформации в электрическом поле// Действие электромагнитных полей на пластичность и прочность материалов: Тез. докл. Ш Межд. конф. Воронеж: ВГТУ, 1994,- С.63

97. Седых Н.К., Дрожжин А.И. Влияние слабых магнитных полей и упругих деформаций на электросопротивление монокристаллов кремния// Изв. РАН. Сер. физическая, 1997. Т.61. - № 2. - С.257-262.

98. Дрожжин А.И., Новокрещенова Е.П. Создание контактов методом ультразвуковой микросварки и исследование их свойств. Воронеж: ВПИ, 1983. - 21 с. Деп. в ВИНИТИ 31.08.83. № 4925-83.

99. Дрожжин А.И. Нитевидные кристаллы с аксиальным р-п переходом.- Воронеж, 1984. 127 с. Деп. в ВИНИТИ 7.05.84, № 2932-84.

100. Парфеньев А.Б., Дрожжин А.И. Ротационная ползучесть нитевидных кристаллов кремния в условиях протекания электрических токов// Изв. вузов. Черная металлургия, 1992. № 6. - С.99-101.

101. Барамзина Е.А., Батаронов И.Л., Долгачев A.A. Электропластическая деформация НК кремния в условиях воздействия импульсных токов // Изв. вузов. Черная металлургия, 1992. № 6. - С.101-103.

102. Никитенко В.И., Полянский A.A. Влияние дислокаций на электрические свойства кремния // В сб. «Материалы Всесоюзного совещания подефектам структуры в полупроводниках», ч. I. Новосибирск, 1969.-С.382-391.

103. Родес Р.Г. Несовершенства и активные центры в полупроводниках.-М., Металлургия, 1968.- 372 с.

104. Рейви К. Дефекты и примеси в полупроводниковом кремнии. М.: Мир, 1984. -472 с.

105. Вишневский А.И., Руденко B.C., Платонов А.П. Силовые ионные и полупроводниковые приборы. М.: Высшая школа, 1975. - 344 с.

106. Дунаев А.И., Татаренков А.Ф., Бубнов Л.И., Федоров Ю.П. Исследование процессов зарождения и роста НК кремния // Физико-химия полупроводникового материаловедения.- Воронеж:ВГУ, 1978.- С.82-89.

107. Ю9.Дрожжин А.И., Антипов С.А., Ермаков А.П. Нитевидные кристаллы полупроводников.- Воронеж, 1987.-145 с. Деп. в ВИНИТИ № 7702- В87.

108. Дрожжин А.И., Ермаков А.П., Яценко С.Н. Влияние импульсов электрического тока и осевой нагрузки растяжения на структуру и свойства НК кремния // Изв. РАН. Сер.физ.1997. Т.61. №5. - С.1012-1018.

109. Пшеничнов Ю.П. Выявление тонкой структуры кристаллов.- М.: Металлургия, 1974. 528 с.

110. Старовиков М.И., Дрожжин А.И., Антипов С.А., Беликов A.M. Исследование прямыми методами дислокационной структуры НК кремния на начальной стадии пластичности. Воронеж: ВПИ, 1983. - 40 с. Деп. в ВИНИТИ 16.06.83, № 3318-83.

111. Горелик С .С., Расторгуев Л.Н., Скаков Ю.А. Рентгенографический и электроннооптический анализ. М.: Металлургия, 1970. - 368 с.

112. Постников B.C. Внутреннее трение в металлах. М.: Металлургия, 1974.-351 с.

113. Головин С.А., Криштал М.А. Внутреннее трение и структура металлов. М.: Металлургия, 1976. - 376 с.

114. Никаноров С.П., Кардашев Б.К. Упругость и дислокационная неупругость кристаллов. М.: Металлургия, 1985. - 256 с.

115. Лебедев А.Б. Внутреннее трение при квазистатическом деформировании кристаллов// ФТТ, 1993. Т.35. - № 9. - С.2305- 2341.

116. Ермаков А.П., Батаронов И.Л., Дрожжин А.И., Яценко С.Н. Деформация и стабильность свойств НК кремния в тепловых, упругих и электромагнитных полях // Изв. РАН. Сер. физ. 1997. Т.61. - №5.-С.906-912.

117. Ермаков А.П., Дрожжин А.И. Ползучесть НК германия при одноосном растяжении в условиях слабого электрического тока // Изв РАН. Сер. физ. 1995. Т.59. - № 10. - С.97-102.

118. Дрожжин А.И., Ермаков А.П. Особенности ползучести при одноосном растяжении НК Ge // Изв. вузов. Физика, 1996. № 6. - С.58-64.

119. Ермаков А.П., Яценко С.Н., Батаронов И.Л., Дрожжин А.И. Релаксационные явления в предварительно деформированных кручением НК германия при воздействии термического и упругого полей // Изв. РАН. Сер. физ. 1997. Т.61. - № 2. - С.228-231.

120. Ермаков А.П., Яценко С.Н., Батаронов И.Л., Дрожжин А.И. Релаксационные явления в предварительно деформированных кручением

121. НК германия при воздействии термического и упругого полей // Релаксационные явления в твердых телах: Тез. докл. Междунар. семинара-Воронеж, 1995. С.37.

122. A.I.Drozhzhin, A.P.Ermakov, S.N.Yatsenko. Internal friction in defomied germanium whiskers at the annealing// ICIFUAS-12:Abstract Book.-Argentina, 1999

123. Антипов С.А., Батаронов И.Л., Дрожжин А.И., Яценко С.Н. Модель вязкохрупкого разрушения нитевидных кристаллов кремния // Вестник ВГТУ. Сер. Материаловедение. Воронеж, 1999. - Вып. 1.5. - С.82-84.

124. Дрожжин А.И., Яценко С.Н., Ермаков А.П. Влияние импульсов тока и осевой нагрузки растяжения на структуру и свойства НК кремния //

125. Действие электромагнитных полей на пластичность и прочность материалов: Тез. докл. IV Междунар. конф. Воронеж, 1996. - С.27.131 .Ван Бюрен. Дефекты в кристаллах. М.: Изд-во ин. лит., 1962. - 570 с.

126. Pearson G.L., Read W.T., Feldmann W.L. Deformation and fracture of small silicon crystall // Acta Met., 1957. V.5. - №4 - P.181-191.

127. Дрожжин А.И., Ермаков А.П. Начальная стадия пластической деформации в исходно бездислокационных НК полупроводников. Воронеж: ВПИ, 1986. - 17 с. Деп. в ВИНИТИ 27.03.86. № 2108 - В86.

128. Дрожжин А.И., Ермаков А.П., Яценко С.Н. Микропластичность НК кремния при действии импульсов электрического тока и осевой нагрузки растяжения// Релаксационные явления в твердых телах: Тез. докл. XX Междунар. конф. Воронеж, 1999. - С.91-92.

129. Беленов Г.Н., Дрожжин А.И., Яценко С.Н. Возбуждение миллиметровых изгибных волн и их визуализация// Релаксационные явления в твердых телах : Тез. докл. XX Междунар. конф. Воронеж, 1999. -С.156-157.

130. Дрожжин А.И., Ермаков А.П., Яценко С.Н. Разрушение НК кремния п-импульсами электрического тока и осевой нагрузкой растяжения // Релаксационные явления в твердых телах: Тез. докл. XX Междунар. конф. Воронеж, 1999. - С.292-293.

131. Постников B.C., Аммер С.А., Дрожжин А.И., Татаренков А.Ф. О высокотемпературной пластичности НК германия// Изв. вузов. Физика, 1973. №1.-С. 128-130.

132. Ермаков А.П., Яценко С.Н. Измеритель скорости потока на основе нитевидного кристалла // Изобретатели машиностроению, - 1999. -N4. - С.36.

133. Дрожжин А.И., Ермаков А.П., Яценко С.Н. Датчики давления и температуры на основе НК // Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления: Матер. X Междунар. науч.-техн. конф. Гурзуф, 1998. - Т.1. - С.258-260.

134. Дрожжин А.И., Ермаков А.П., Яценко С.Н. Датчик температуры с частотным выходом// Датчики и преобразователи информации, системизмерения, контроля и управления: Матер. XI Междунар. науч.-техн. конф,-Гурзуф, 1999. С.91-93.

135. Ермаков А.П., Ермакова О.Н., Яценко С.Н. Преобразователи на основе нитевидных кристаллов полупроводников // Датчики и преобразователи информации, систем измерения, контроля и управления: Матер.XI Междунар. науч.-техн. конф. Гурзуф, 1999. - С.93-94.

136. А.С. 1714337. Способ определения деформации и температуры/ Ермаков А.П, Дрожжин А.И, Батаронов И.Л, Антипов С.А. Б.И. № 7,1992.