Рекомендованный список диссертаций по специальности «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», 05.27.01 шифр ВАК
Технология структур "карбид кремния - кремний" для приборов микроэлектроники и микросистемной техники2008 год, кандидат технических наук Матузов, Антон Викторович
Разработка методологических основ создания первичных измерительных преобразователей механических величин при слабых возмущениях на основе прямого пьезоэффекта2001 год, доктор технических наук Яровиков, Валерий Иванович
Туннельные и эмиссионные акселерометры на основе микроэлектромеханических систем2012 год, кандидат физико-математических наук Вопилкин, Евгений Александрович
Структурно-морфологические особенности нитрида алюминия в зависимости от условий получения2000 год, кандидат технических наук Четвергов, Михаил Владимирович
Теплофизические свойства микросистем на основе структур "карбид кремния на изоляторе"2002 год, кандидат наук Никитин, Илья Владимирович