Определение примесных элементов в кварце и кремнии методами масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой, спектрофотометрии, пламенной атомно-эмиссионной и атомно-абсорбционной спектрометрии тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.02, кандидат химических наук Сокольникова, Юлия Владимировна
- Специальность ВАК РФ02.00.02
- Количество страниц 182
Оглавление диссертации кандидат химических наук Сокольникова, Юлия Владимировна
ОБОЗНАЧЕНИЯ И СОКРАЩЕНИЯ.
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ МЕТОДОВ ЭЛЕМЕНТНОГО АНАЛИЗА И СПОСОБОВ ХИМИЧЕСКОЙ ПРОБОПОДГОТОВКИ КВАРЦА И КРЕМНИЯ.
1.1. Характеристика исследуемых объектов.
1.2. Специфические особенности анализа высокочистых веществ и основные источники погрешностей результатов.
1.3. Методы определения аналитов в кварце и кремнии.
1.3.1. Методы определения щелочных элементов.
1.3.2. Методы определения фосфора.
1.3.3. Метод ИСП-МС для многоэлементного определения примесей, преимущества и недостатки.
1.4. Способы химической пробоподготовки.
1.5. Интенсификация способов пробоподготовки.
1.5.1. Разложение в автоклавах с резистивным нагревом.
1.5.2. Разложение под воздействием микроволнового излучения.
1.6. Способы статистической обработки данных при выборе оптимальных условий аналитической процедуры.
1.7. Цель и задачи исследований.
ГЛАВА 2. ОПТИМИЗАЦИЯ УСЛОВИЙ ХИМИЧЕСКОЙ ПРОБОПОДГОТОВКИ КВАРЦА И КРЕМНИЯ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСЕЙ ИЗ РАСТВОРОВ МЕТОДАМИ ПФ, СПФ, ИСП-МС.
2.1. Объекты исследования.
2.1.1. Влияние способов измельчения материала на результаты определения примесей в кварце и кремнии.
2.2. Условия проведения эксперимента.
2.2.1. Аппаратура и инструментальные условия.
2.2.2. Реагенты.
2.2.3. Используемые процедуры переведения в раствор кварца и кремния
2.3. Применение кластеризованной ранжировки для оптимизации условий аналитических процедур.
2.4. Выбор оптимизированного способа пробоподготовки изучаемых объектов.
2.4.1. Выбор способа переведения в раствор кварца.
2.4.2. Выбор способа переведения в раствор проб кремния.
2.5. Оптимизация условий автоклавной пробоподготовки кварца и кремния для анализа методами ИСП-МС, ПФ и СПФ.
2.5.1. Выбор температурно-временного режима.
2.5.2. Выбор навески пробы и фактора разбавления раствора.
2.5.3. Выбор объёма реакционной смеси.
2.6. Оптимизация условий измерения аналитических сигналов при определении примесного состава кварца и кремния.
2.6.1. Определение элементов методом ИСП-МС.
2.6.2. Определение натрия, калия и лития методом ПФ.
2.6.3. Определении фосфора методом СПФ.
2.6.4. Улучшение пределов обнаружения методик СПФ определения Р и ПФ определения К и 1л при анализе кварцитов и кремния.
2.6.5. Исследование условий прямого определения натрия и калия в кварцитах методом ААС.
2.7. Выбор оптимальных условий для трёх аналитических процедур с использованием кластеризованной ранжировки.
2.8. Выводы к главе 2.
ГЛАВА 3. ОЦЕНКА ПОТЕРЬ АНАЛИТОВ И ЗАГРЯЗНЕНИЙ ПРИ ПРОБОПОДГОТОВКЕ И ХРАНЕНИИ РАСТВОРОВ КВАРЦА И КРЕМНИЯ
3.1.Оценка потерь элементов и загрязнений при пробоподготовке кварцитов и кремния.
3.2. Оценка продолжительности хранения растворов проб кварца.
3.3. Выводы к главе 3.
ГЛАВА 4. МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МЕТОДИК ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ. ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДИК ДЛЯ АНАЛИЗА КВАРЦА И КРЕМНИЯ.
4.1. Методика определения примесных элементов в кварце и кремнии методом ИСП-МС.
4.2. Методика определения К, Na и Li в кварце методом ПФ.
4.3. Методика определения фосфора в кварце и кремнии методом СПФ
4.4. Результаты применения методик определения примесного состава кварца и кремния.
4.4.1. Исследование материала образцов состава кварца и кремния кандидатов в стандартные образцы.
4.4.2. Оценка примесного состава природных кварцитов и обогащенной кварцевой крупки.
4.4.3. Оценка примесного состава рафинированного металлургического кремния и мультикремния по длине слитка.
4.5. Выводы к главе 4.
ВЫВОДЫ.
Рекомендованный список диссертаций по специальности «Аналитическая химия», 02.00.02 шифр ВАК
Совершенствование схем анализа горных пород, почв и донных отложений с использованием атомно-абсорбционной спектрометрии2009 год, кандидат химических наук Пройдакова, Ольга Анатольевна
Микроволновая пробоподготовка в анализе ферросплавов, магнезиальных огнеупоров и наплавочных порошков методом АЭС ИСП2011 год, кандидат технических наук Тормышева, Екатерина Александровна
Система компьютерной интерпретации дуговых атомно-эмиссионных спектров в анализе твердых природных и техногенных образцов2006 год, доктор технических наук Васильева, Ирина Евгеньевна
Анализ цинка, свинца и руд редких металлов методом атомно-эмиссионной спектрометрии с индуктивно связанной плазмой2008 год, кандидат химических наук Пелевина, Наталья Геннадьевна
Структурные примеси в промышленном жильном кварце и породообразующем кварце гранитоидов2004 год, кандидат геолого-минералогических наук Федющенко, Сергей Владимирович
Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Определение примесных элементов в кварце и кремнии методами масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой, спектрофотометрии, пламенной атомно-эмиссионной и атомно-абсорбционной спектрометрии»
Актуальность работы. Исследование элементного состава природных кварцитов, обогащенного кварца и продуктов их восстановления, таких как металлургический, рафинированный металлургический и мультикристаллический кремний (мультикремний), используемых в оптической промышленности и солнечной энергетике, является важной аналитической задачей, поскольку примесные элементы определяют свойства конечных продуктов производства.
1 О
Согласно технологическим требованиям' содержание контролируемых элементов-примесей (1л, В, Ыа, М§, А1, Р, К, Са, Тл, V, Сг, Мп, Бе, Со, N1, Си,
8 5 2 1
Ое, Ъг) в исследуемых объектах изменяется от 10" -10" до 10" -10" мае. %.
Существующие методики ГОСТ 26239.0-9-84 «Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц» содержат трудоёмкие операции пробоподготовки и не обеспечивают для оценки качества технологических продуктов одновременное определение всех необходимых примесей в диапазоне содержания 5-8 порядков. В связи с этим актуальным является совершенствование действующих и разработка новых информативных методик определения элементов-примесей в кварце и кремнии. Благодаря новому оборудованию для пробоподготовки расширились возможности рутинных аналитических методов: пламенной атомно-эмиссионной фотометрии, (ПФ), спектрофотометрии (СПФ), атомно-абсорбционной спектрометрии (ААС) и др. За последние десятилетия появились и стали общедоступными
5 8 многоэлементные методы анализа с пределами обнаружения 10"-10" мае. %, такие как, например, масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой (ИСП-МС). Перечисленные методы требуют переведения твёрдых проб в раствор, поэтому особое внимание в работе уделено оптимизации условий химической пробоподготовки и инструментального определения примесей, которые характеризуют производительность анализа и точность результатов.
1 ТУ 5726-002-11496665-97. Кварцевые концентраты из природного кварцевого сырья для наплава кварцевых стекол. Москва, 1997.
2 Непомнящих А.И. и др. Мультикристаллический кремний для солнечной энергетики // Материалы электронной техники. -2002. № 4. С. 16-24.
В настоящее время перспективным при решении оптимизационных задач получения и обработки аналитических данных для выбора наилучших условий анализа является использование методов непараметрической статистики3.
Целью работы явилась разработка методик определения 18 элементов в кварце и кремнии методом ИСП-МС; прямого определения ИаиКв кварцевой крупке методом ААС; совершенствование методик определения 1л, 1Ча и К методом ПФ и фосфора методом СПФ. Для достижения поставленной цели требовалось решить следующие задачи:
1. Сформулировать оценки для описания качества результатов анализа и логически обоснованные критерии сравнения вариантов химической пробоподготовки, измерения и обработки аналитического сигнала для оптимизации условий анализа кварца и кремния методами ИСП-МС, ПФ, СПФ.
2. Выбрать способ химической пробоподготовки кварца и кремния и оптимизировать его режимы для анализа растворов методами ИСП-МС, ПФ и СПФ.
3. Оптимизировать условия получения, измерения и обработки аналитического сигнала аналитов для анализа кварца и кремния методами ИСП-МС, ПФ и СПФ.
4. Оценить возможность применения метода ААС с атомизатором «печь-пламя» (ААС-ПП) для определения № и К в пробах кварцевой крупки без предварительного переведения в' раствор.
Научная новизна исследования заключается в следующем: - Сформулированы оценки, описывающие качество аналитических процедур, и ранговые критерии для использования модификаций кластеризованной ранжировки при выборе способа пробоподготовки растворов кварца и кремния для инструментальных методов анализа, режима разрешения масс-спектрометра и внутреннего стандарта при определении аналитов методом ИСП-МС.
3 Орлов А.И. Теория принятие решений: учебник. М: «Экзамен», 2006. 573 с.
- Оптимизированы условия пробоподготовки кварца и кремния по способу кислотного разложения в однокамерных автоклавах с резистивным нагревом для снижения пределов обнаружения аналитов до мае. % и расширения диапазонов определяемых концентраций методами ИСП-МС, ПФ и СПФ.
- Разработана методика определения 18 аналитов (1л, В, Ыа, А1, Р, К, Са, Тл, V, Сг, Мп, Бе, Со, N1, Си, Се и Ъх) в кварцитах, кварце и различных сортах кремния методом ИСП-МС.
- Снижены на 1-2 порядка пределы обнаружения К, Ыа и 1л методом ПФ в кварце, а также Р в кварце и кремнии методом СПФ без предварительного экстракционного концентрирования.
- Установлена зависимость аналитического сигнала (атомной абсорбции) от гранулометрического состава кварцевой крупки при прямом определении К и Ыа методом ААС с атомизатором «печь-пламя», что позволило выбрать оптимальную навеску и оценить необходимый размер частиц пробы.
Практическая значимость. Результаты анализа, полученные по методикам определения массовых долей К, Ыа иУв диоксиде кремния и кварце методом ПФ (СТП-ИГХ-013-02); К и Ыа в кварцевой крупке методом ААС; Р в мультикремнии, оксиде кремния и кварце методом СПФ (СТП-ИГХ-014-02); 18 элементов в кварце и кремнии методом ИСП-МС, использованы для оценки качества кварцитов различных месторождений Иркутской области и Республики Бурятия, при разработке технологий обогащения кварцитов и получения мультикремния для солнечной энергетики; в межлабораторном эксперименте по аттестации СОПов состава кварца Кв-1 (ИГХ СО РАН, г. Иркутск) и металлургического кремния (ЗАО «Кремний», г. Шелехов).
Результаты работы использованы при выполнении проекта «Разработка технологии получения мультикристаллического кремния для солнечной энергетики» по программе МН РФ «Приоритетные направления науки и техники Иркутской области»; гранта РФФИ № 05-05-64752 «Теоретические и экспериментальные исследования влияния внешних воздействий на процессы тепломассопереноса и механизмы формирования структуры мультикристаллического кремния при направленной кристаллизации»; интеграционных проектов СО РАН: № 156 «Фундаментальные проблемы технологии получения кремния солнечного качества и создания высокоэффективных солнечных элементов», № 55 «Научные основы новых технологий создания кремниевых солнечных элементов» и № 84 «Создание физической модели и исследование процессов выращивания крупногабаритных монокристаллов кремния»; Госконтракта № 02.516.11.6006 (шифр 2007-6-1.6-00-01-025) «Влияние внешних воздействий на процессы тепломассопереноса и механизмы формирования структуры мультикристаллического кремния для солнечной энергетики». На защиту выносятся:
1. Способ выбора при использовании модификаций кластеризованной ранжировки оптимального варианта пробоподготовки кварца и кремния для анализа методами ПФ, СПФ и ИСП-МС, режима разрешения масс-спектрометра и внутреннего стандарта для определения аналитов методом ИСП-МС.
2. Оптимизированные условия получения растворов кварца и кремния в однокамерных автоклавах с резистивным нагревом для анализа методами ИСП-МС, ПФ и СПФ с пределами обнаружения аналитов 10"5-10-7 мае. %.
3. Методики определения примесей в кварце и кремнии: 18 аналитов (1л, В, Ыа, А1, Р, К, Са, П, V, Сг, Мп, Бе, Со, Си, ве и Ъх) методом ИСП-МС; К, Ыа и Ы методом ПФ; Р методом СПФ без экстракционного концентрирования.
4. Рекомендуемые операционные условия определения содержания Ыа и К в кварцитах методом ААС с атомизатором «печь-пламя».
Достоверность результатов исследования. Для решения классификационных задач выбора оптимального варианта использованы модификации кластеризованной ранжировки. Логическое обоснование оценок и ранговых критериев оптимизации процедур выполнено в рамках общих для аналитической химии представлений о минимизации случайных и систематических погрешностей результатов при увеличении производительности анализа. Достоверность результатов разработанных и усовершенствованных методик анализа подтверждена контролем качества по стандартным образцам состава, методом добавок и согласованностью результатов определения независимыми аналитическими методами.
Личный вклад автора. Анализ литературных данных, планирование и проведение экспериментальной части работы, включая обработку и интерпретацию результатов анализа кварца и кремния, выполнены лично автором. Обсуждение полученных результатов и подготовка материалов для публикаций проводились совместно с научным руководителем.
Апробация работы. Результаты работы представлены на следующих российских и международных конференциях: 1-ой, 2-ой, 4-ой и 6-ой научных конференциях молодых учёных ИГХ СО РАН «Современные проблемы геохимии» (Иркутск, 1998, 2000, 2004, 2009); Европейской конференции по плазменной спектрометрии «\¥т1ег'99» (По, Франция, 1999); XIV Уральской конференции-по спектроскопии, (Заречный, 1999); Конференциях по аналитической химии «Аналитика Сибири и Дальнего Востока » (Новосибирск, 2000; Томск, 2008); Международном Сибирском геоаналитическом семинаре «ШТЕК81В-ОЕОСНЕМ» (Иркутск, 2001); Всероссийской конференции «Актуальные проблемы аналитической химии» (Москва, 2002); 5-ой и 6-ой Международных конференциях по анализу геологических и природных материалов «Оеоапа1уз18» (Рованиеми, Финляндия, 2003; Пекин, Китай, 2006); Совещании «Кремний 2004» (Иркутск, 2004); Годичном собрании Российского минералогического общества «Современные методы минералогогеохимических исследований как основа выявления новых типов руд и технологии их комплексного освоения» (С-Петербург, 2006); Всероссийской научной конференции «Проблемы геохимии эндогенных процессов и окружающей среды» (Иркутск, 2007).
Публикации. По теме диссертации опубликовано 23 работы, из них 2 статьи в рецензируемых журналах, 4 - в сборниках трудов региональных конференций, 17 - в материалах российских и международных конференций.
Похожие диссертационные работы по специальности «Аналитическая химия», 02.00.02 шифр ВАК
Получение кремния высокой чистоты карботермическим способом2010 год, доктор технических наук Немчинова, Нина Владимировна
Совместное применение гравиметрии и атомно-эмиссионной спектроскопии для прецизионного определения высоких содержаний платины и палладия2013 год, кандидат технических наук Шнейдер, Борис Владимирович
Электротермическая атомно-абсорбционная спектрометрия в почвоведении: методология и ее практическая реализация2004 год, доктор сельскохозяйственных наук Кахнович, Зинаида Николаевна
Атомно-спектральный анализ продуктов цветной металлургии2001 год, доктор химических наук Шабанова, Лариса Николаевна
Методология анализа объектов различного происхождения методами газовой хроматографии-масс-спектрометрии и элементного анализа на содержание следов среднелетучих органических веществ2012 год, доктор химических наук Ревельский, Александр Игоревич
Заключение диссертации по теме «Аналитическая химия», Сокольникова, Юлия Владимировна
ВЫВОДЫ
1. Использование кластеризованной ранжировки для оценивания качества результатов и показателей производительности анализа позволило сравнить различные способы переведения в раствор кварца и кремния (кислотное разложение в открытых сосудах, автоклавах с резистивным нагревом, автоклавах с микроволновым воздействием, сплавление со смесью соды и буры) и выбрать как наилучший способ кислотного разложения в автоклавах с резистивным нагревом. Для этого способа оптимизированы условия химической пробоподготовки (температурно-временной режим нагрева автоклавов, навески и состав реакционной смеси, фактор разбавления растворов), что обеспечило сокращение в 2-10 раз временных затрат, минимизацию потерь легколетучих элементов и расширение диапазона определяемых концентраций на 1-3 порядка за счёт снижения пределов обнаружения в 4-20 раз по сравнению с разложением в открытых сосудах при определении аналитов методами ИСП-МС, ПФ и СПФ.
2. Оптимизированы условия химической пробоподготовки кварцитов и кремния, что позволило усовершенствовать и аттестовать методики определения массовой доли К и Na в диапазоне (1-1000)-10"4 мае. % и Li в диапазоне (0,1-50)-10"4 мае. % методом ПФ, и определения массовой доли Р методом СПФ без процедуры экстракционного концентрирования в диапазоне (0,1-160)-10"4 мае. %.
3. Выполнен выбор внутреннего стандарта для определения элементов-примесей на масс-спектрометрах с ИСП PQ 2+ и Element 2, а также режима разрешения масс-спектрометра Element 2 на основании результатов рангового оценивания признаков, описывающих структуру оценок качества результатов анализа, и применения логически обоснованных критериев их оптимальности.
4. Разработана методика определения 18 аналитов (Li, В, Na, Mg, Al, Р, К, Са, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Со, Ni, Си, Ge, Zr) методом ИСП-МС на масс-спектрометре высокого разрешения Element 2.
5. Исследование стабильности растворов проб кварцитов показало, что значимых изменений концентрации аналитов не наблюдается при хранении растворов в ПЭ и ПМП контейнерах при комнатной температуре в течение 15-20 дней в обычной лаборатории или в атмосфере «чистой» комнаты в холодильнике до 40 дней.
6. Показана возможность использование прямого метода ААС с атомизатором «печь-пламя» для определения Ыа и К в порошковых пробах кварцитов. Экспериментально установлены оптимальные навеска (10-20 мг) и требования к гранулометрическому составу пробы (не более 0,3 мм).
Выполненные аналитические исследования были направлены на разработку и совершенствование методик анализа различных сортов кварца и кремния методами ИСП-МС, ПФ, СПФ из растворов, а также методом ААС-ПП из кварцевой крупки для определения примесных элементов в широких диапазонах содержаний с целью характеризации: исходных, промежуточных и конечных продуктов (включая высокочистые вещества), используемых в оптической промышленности, металлургии и солнечной энергетике. Непараметрические методы статистической обработки данных - варианты кластеризованной ранжировки - были использованы для сравнения оценок качества и производительности операций при оптимизации условий химической пробоподготовки, режимов измерения и способов обработки аналитических сигналов.
Полученные аналитические данные использованы при аттестации стандартных образцов состава кварца Кв-1 (ИГХ СО РАН, г. Иркутск) и кремния (ЗАО «Кремний», г. Шелехов), разработке технологии выращивания кристаллов мультикристаллического кремния, для оценки качества природных кварцитов различных месторождений и корректировки процесса очистки кварцевых концентратов.
Список литературы диссертационного исследования кандидат химических наук Сокольникова, Юлия Владимировна, 2010 год
1. Бурьян Ю.И., Борисов JI.A., Красильников П.А. Кварцевое сырьё — важнейший вид минеральных ресурсов для высокотехнологичных отраслей промышленности // Разведка и охрана недр. 2007. № 10.-С. 9-12.
2. Методические рекомендации по оценке качества кварцевого сырья для плавки и оптического стекловарения. М.: Всесоюзное промышленное объединение Союзкварцсамоцветы. 1983. 69 с.
3. Непомнящих А.И., Ерёмин В.П., Красин Б.А., Васильева И.Е., Елисеев И.А., Золотайко A.B., Попов С.И., Синицкий В.В. Мультикристаллический кремний для солнечной энергетики // Материалы электронной техники. 2002.- № 4. — С. 16-24.
4. Непомнящих А.И., Красин Б.А., Васильева И.Е., Елисеев И.А., Ерёмин В.П., Федосенко В.А., Синицкий В.В. Кремний для солнечной энергетики // Известия Томского политехнического университета. — 2000. — Т. 303. — Вып. 2. -С. 176-190.
5. ТУ 5726-002-11496665-97. Кварцевые концентраты из природного кварцевого сырья для наплава кварцевых стекол. Москва, 1997.
6. Воробьев Е.И., Спиридонов A.M., Непомнящих А.И., Кузьмин М.И. Сверхчистые кварциты восточного Саяна (Республика Бурятия, Россия) // ДАН.- 2003. Т. 390. - №2. - С. 219-223.
7. ГОСТ 26239.0-84 ГОСТ 26239.3-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц // М: изд-во стандартов, 1985. -127 с.
8. Отраслевая техническая инструкция РЭТИ №223-61. Кремний и его неорганические соединения (двуокись, тетрахлорид, тетраиодид, трихлорсилан). Методы химического анализа. Москва, 1961
9. Методы анализа веществ высокой чистоты / Под ред. И.П. Алимарина. М.: Наука, 1965. 528 с.
10. Девятых Г.Г. Получение и анализ веществ особой чистоты. М.: Наука, 1978.-276 с.
11. Карпов Ю.А. Анализ веществ высокой чистоты // Журн. Аналит. Химии.1992. Т. 47. - № 9. - С. 1572-1580.
12. Карпов Ю.А. Анализ высокочистых неорганических веществ. М.: Знание, 1988.-32 с.
13. Юделевич И.Г., Буянова JI.M., Шелпакова И.Р. Химико-спектральный анализ веществ высокой чистоты. Новосибирск.: Наука, 1980. 222 с.
14. Недлер В.В., Аракельян Н.А. Проблемы анализа чистых металлов (обзор) // Зав. лаборатория. 1962. - Т. 28, № 6. - С. 672-674.
15. Спектральный анализ чистых веществ / Под ред. X. И. Зильберштейна. Л.: Химия, 1971.-416 с.
16. Becker J.S., Dietze H.-J. State-of-the-art in inorganic mass spectrometry for analysis of high-purity materials // Intern. J. Mass Spectrom. 2003. - V. 228. - C. 127-150.
17. Кузьмин H.M., Золотов Ю.А. Концентрирование следов элементов. М.: Наука, 1988.-267 с.
18. Спектроскопические методы определения следов элементов / Под ред. Дж. Вайнфорднера. -М.: Мир, 1979. 496 с.
19. Суриков В.Т. Кислотное растворение кремния и его соединений для анализа методами масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой // Аналитика и контроль. 2008. - Т. 12, № 3-4. - С. 93-100.
20. Сапрыкин А.И., Шелпакова И.Р., Чанышева Т.А. и др. Некоторые аспекты подготовки проб к атомно-эмиссионному спектральному и масс-спектрометрическому определению микроэлементов II Журн. Аналит. Химии. — 2003. Т. 58, № 3. - С. 273-279.
21. Horn М. Applications of ICP-MS in semiconductor industry // Fresenius J. Anal. Chem. 1999. - V. 364, № 5. - C. 385-390.
22. Seubert A. A critical comparison of on-line coupling IC-ICP-(AES, MS) with competing analytical methods for ultra trace analysis of microelectronic materials //
23. Fresenius J. Anal. Chem. 1999. - V. 364. - C. 404-409.
24. Radle M., Gluodenis T. Characterization of surface metal contamination on silicon wafers using surface metal extraction inductively coupled plasma mass spectrometry (SME-ICP-MS) // Agilent Technologies
25. Darbouret D., Капо I. Blank quality impact on ICP-MS trace element analyses // European Winter Conference on Plasma Spectrometry. Book of Abstracts. Pau (France). C. 59.
26. Мышляева JI.B., Краснощеков B.B. Аналитическая химия кремния. М.: Наука, 1972. 209 с.
27. Пименов В.Г. Концентрирование примесей отгонкой матрицы в анализе высокочистых веществ атомно-эмиссионным и атомно-абсорбционным методами // Журн. Аналит. Химии. 2003. - Т. 58, № 7. - С. 736-737.
28. Шелпакова И.Р., Чанышева Т.А., Косяков В.И. Концентрирование микропримесей отгонкой основы пробы в анализе высокочистых веществ // V конференция «Аналитика Сибири и Дальнего Востока». Тезисы докладов, Новосибирск. 1996. - С. 39-42.
29. Мицуике А. Методы концентрирования микроэлементов в неорганическом анализе. М.: Химия, 1986. 152 с.
30. Шапкина Ю.С., Прудников Е.Д. Распыление импульсами микрообъёмов растворов в эмиссионной пламенной спектрометрии // Журн. Аналит. Химии:.— 1980.-Т. 35, № 10.-С. 1891-1897.
31. Прудников Е.Д. Импульсное распыление микрообъёмов растворов непосредственно в ламинарные пламёна // Журн. Аналит. Химии. 1982. - Т. 37, №6.-С. 1133-1135.
32. Прудников Е.Д., Шапкина Ю.С. Прямой анализ порошковых проб в атомной аналитической спектрометрии методом импульсного распыления микрообъемов суспензий // Журн. Прикл. Спектроскопии. 1988. - Т. 48, №2. -С. 195-201.
33. Fuyi W., Zunchen J., Tianyou P. Use of politetrafluoroethylene slurry for silica matrix removal in ETAAS direct determination of trace cobalt and nickel in silicon dioxide powder // Anal. Atom. Spectrom. 1999. - № 14. - C. 963-966.
34. Hauptkorn S., Krivan V. Solution and slurry sampling electrothermal atomic absorption spectrometry for the analysis of high purity quartz // Spectrochim. Acta. B. 1996. — V. 51. - P. 1197-1210.
35. Fries K.C., Krivan V. Analysis of silicon nitride powders for Al, Cr, Cu, Fe, K, Mg, Mn, Na, Zn determination by slurry-sampling electrothermal atomic absorption spectrometry // Anal. Chem. 1995. - V. 67, № 2. - C. 354-359.
36. Пименов В.Г., Гайворонский П.Е., Шишов В.Н. Автоклавное вскрытие пробы в электроде при химико-спектральном анализе кварца // Зав. лаборатория. 1984. - Т.50, № 2. - С.36.
37. Красильщик В.З., Жителева О.Г., Сокольская Н.Н. и др. Автоклавное парофазное разложение некоторых труднорастворимых соединений // Журн. Аналит. Химии. 1986. - Т. 41, № 4. - С. 586-589.
38. Пименов В.Г., Тимонин Д.А., Шишов В.Н. Атомно-эмиссионный анализ высокочистого диоксида германия с предварительным парофазным автоклавным концентрированием примесей в электроде // Журн. Аналит. Химии. 1986. - Т. 41, № 7. - С. 1173-1176.
39. Красильщик В.З. Камера для химического разложения проб в парах кислоты // Зав. лаборатория. 1976. - Т. 42, № 2. - С. 153-155.
40. Новиков Ю.В., Ласточкина К.О, Болдина З.Н. Методы исследованиякачества воды водоемов. — М.: Медицина, 1990. 40 с.
41. Карандашев В.К., Туранов А.Н., Орлова Т.А. и др. Использование метода масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой в элементном анализе объектов окружающей среды // Зав. лаборатория. 2007. - Т. 73, № 1. — С. 1222.
42. Struempler A.W. Adsorption characteristics of silver, lead, calcium, zink and nickel on borosilicate glass, polyethylene and polypropylene container surfaces // Anal. Chem. 1973. - V. 45. - C. 2251- 2254.
43. Добижа E.B., Красильщик B.3., Сокольская H.H. и др. Автоклавное разложение образцов диоксида кремния для последующего спектрального анализа//Журн. Аналит. Химии. 1981. -Т. 36, № 10. -С. 1939-1944.
44. Schuster М., Ringmann S., Gartner R. and other. Studies on a new cleaning procedure for PFA-surfaces // Fresenius J. Anal. Chem. 1997. - V. 357. - C. 258265.
45. Moody J.R., Beary E.S. Puriefied reagents for trace metal analysis // Talanta.,-1982.-V. 29, № ll.-C. 1003-1010.
46. Кингстон Г.М., Джесси JI.B. Пробоподготовка в микроволновых печах. -М.: Мир, 1991.-326 с.
47. Кубракова И.В. Воздействие микроволнового излучения на физико-химические процессы в растворах и гетерогенных системах: использование! в аналитической химии // Журн. Аналит. Химии. 2000. - Т. 55, № 12, С. 12391249.
48. Maichin В., Kettisch P., Knapp G. Investigation of microwave assisted drying of samples and evaporation of aqueous solutions in trace element analysis // Fresenius J. Anal. Chem. 2000. - V. 366, № 1. - C. 26-29.
49. Пржибыл M., Чупахин M.C., Сухановская А.И. и др. Методы анализа чистых химических реактивов. М.: Химия, 1984. - 280 с.
50. Карпов Ю.А., Орлова В.А. Аналитические автоклавы // Высокочистые вещества 1990. - № 2. - С. 40-55.
51. Орлова В.А., Шерстнякова С.А., Карпов Ю.А. Современные возможности автоклавной химической подготовки аналитических проб // Зав. лаборатория.1993.-Т. 59,№9.-С. 1-7.
52. Hoelzl R., Fabiy L., Kotz L. and other. Routine analysis of ultra pure water by ICP-MS in the low- and sub-ng/1 level // Fresenius J. Anal. Chem. 2000. -V. 366. -C. 64-69.
53. Darbouret D., Капо I. Ultrapure water blank for boron trace analysis // Anal. Atom. Spectrom. -2000. V. 15.-C. 1395-1399.
54. Paulsen P.J., Beary E.S., Bushee D.S. and other. Inductively coupled plasma mass spectrometric analysis of ultrapure acids // Anal. Chem 1988. - V. 60, № 10. -C. 971-975.
55. Bollinger D.S., Schleisman A.G. Analysis of high purity acids using a dynamic reaction cell ICP-MS // Atom. Spectr. 1999. - V. 20, № 2. - C. 60-63.
56. Cawthon M., Enenmoh C. Developing highly reliable analytical systems for sub-one ppb analysis of electronic process chemicals // Microcontamination. C. 625634.
57. Denoyer E.R., Bruckner P., Debrah E. Determination of trace impurities in semiconductor-grade hydrofluoric acid and hydrogen peroxide by ICP-MS // Atom. Spectr.-1995.-V. 16, № l.-C. 12-15.
58. Бок P. Методы разложения в аналитической химии. / Пер. с англ. под ред. Бусева А.И. и Трофимова Н.В. М.: Химия, 1984. - 427 с.
59. Мартынов Ю.М., Корнблит И.И, Смирнова Н.П. и др. Определение примесей металлов в четыреххлористом кремнии и двуокиси кремния спектрохимическим методом // Зав. лаборатория. 1961. - Т. 27, Вып. 7 — С. 839-842.
60. Морачевский Ю.В., Зильберштейн Х.И., Пирютко М.М., Никитина О.Н. Спектральное определение примесей в полупроводниковом кремнии после химического обогащения // Журн. Аналит. Химии. 1962. - Т. 17, № 5. -С.614-620.
61. Зильберштейн Х.И., Пирютко М.М., Никитина О.Н. и др. Некоторые приёмы спектрохимического анализа полупроводникового кремния //Зав. лаборатория. 1962. - Т. 28, № 6. - С. 680-682.
62. Пирютко М.М. О химических реакциях, протекающих при взаимодействии кремния с плавиковой и азотной кислотами // Журн. Аналит. Химии. 1963. — Т. 29, № 10.-С. 1179-1180.
63. Зильберштейн Х.И., Легеза С.С., Семов М.П. Химико-спектральный анализ тонких пластин полупроводникового кремния // Журн. Аналит. Химии. 1973, Т. 28, №7.-С. 1323-1329.
64. Зильберштейн Х.И., Пирютко М.М., Никитина О.Н. и др. Ускоренное химическое обогащение кремния при подготовке проб к спектральному анализу // Зав. лаборатория. 1963. - Т. 29, № 10. - С. 1266-1267.
65. Столярова И.В., Орлова В.А. Пробоподготовка трихлорсилана и тетрахлорида кремния для определения микроэлементов бора, фосфора и мышьяка // Журн. Аналит. Химии. 1995. - Т. 50, № 2. - С. 142-146.
66. Thangavel S., Dash К., Chaurasia S.C. A simple vapour phase decomposition (VPD) of quartz powder in a polypropylene vessel and determination of phosphorus by spectrophotometry // Talanta. 2001. - № 55. - C. 501-507.
67. Xiao Y.K., Vocke R.D., Swihart G.H. and other. Boron volatilization and its isotope fractionation during evaporation of boron solution // Anal. Chem. 1997. -V. 69, № 24. - C. 5203-5207.
68. Feldman C. Evaporation of boron from acid solution and residues // Anal. Chem. 1961. -V. 33. - C. 1917-1920.
69. Herrera R.S., Denison J.R., Spate V.L. and other. Can instrumental neutron activation analysis keep pace with the needs of the high purity materials industry? // Radioanal. And Nucl. Chem. 2001. - V. 248, № 1. - C. 39-44.
70. Kim N.B., Choi H.W., Chun S.K. and other. Instrumental neutron activation analysis of silicon wafers using the silicon matrix as the comparator // Radioanal. Nucl. Chem.-2001.-V. 248, № l.-C. 125-128.
71. Шулепников M.H., Александрова Г.И., Кудинов B.C., Фирсов В.И. Ядерно-физические методы контроля примесного состава чистых материалов редкометаллической промышленности (обзор) // Зав. лаборатория. 1981. -Т.47, № 9. - С. 26-31.
72. Яковлев Ю.В., Колотов В.П. Нейтронно-активационное определение фосфора с использованием экстракционного выделения фосфат-иона с динитратами диалкилолова // Журн. Аналит. Химии. 1981. - Т.36, № 8. -С. 1534-1540.
73. Chu С.С., Chen P.J., Yang M.N. and, other. Determination of trace impurities in silicon and chlorosilanes by ICP-AES and neutron activation analysis // Analyst. -1990.-V. 115. C. 29.
74. Семов М.П. Спектрохимический метод определения бора в двуокиси кремния // Зав. лаборатория. 1963. - Т. 29, № 12. - С. 1450-1451.
75. Швангирадзе В.В., Мозговая Т.А. Определение кальция, магния, меди, алюминия, железа, титана и бора спектральным методом в кремнии высокой чистоты // Журн. Аналит. Химии. 1957. - Т. 12, № 6.- С. 708-713.
76. Стандарт предприятия. СТП ИГХ-015-01 «Мультикремний, кремний кристаллический, диоксид кремния, кварц и трихлорсилан. Методика выполнения измерений массовых долей примесей атомно-эмиссионным методом». 24 с.
77. Flem В., Larsen R.B., Grimstvedt A., Mansfeld J. In situ analysis of traceelements in quartz by using laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry // Chem. Geol. 2002. - V. 182. - C. 237-247.
78. Mizobuchi K., Yukinari M., Gutierrez A. Multi-element determination of impurities in photoresist using ICP-MS cool plasma with shield plate // European Winter Conference on Plasma Spectrometry. Book of Abstracts. Pau (Франция). С. 69.
79. Becker J.S., Tenzler D. Studies of LA-ICP-MS on quartz glasses at different wavelengths of a Nd:YAG laser // Fresenius J. Anal. Chem. 2001. - V. 370. -C. 637-640.
80. Yamazaki H. Matrix effects in SIMS analysis of high-dose boron implanted silicon wafers // Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. B. 1998. - V. 134. - C. 121125.
81. Muller A., Wiedenbeck M., Flem B. and Schiellerup H. Refinement of phosphorus determination in quartz by LA-ICP-MS through defining new reference material values // Geostandards and geoanalytical research. 2008. - V. 32, № 3. -C. 361-376.
82. Deibold A. Metrology Roadmap: A Supplement to the National Technology Roadmap for Semiconductors /Technology Transfer № 94102578A-TR / SEMATECH, 1995.
83. Анбалаган Г., Прабакаран A.P., Гунасекаран С. Исследование индийского стандартного песка спектроскопическими методами // Журн. Прикл. спектроскопии. 2010. - Т. 77, № 1. - С. 95-103
84. Ковалёв И.Д., Котерева Т.В., Гусев А.В., Гавва В.А., Овчинников Д.К. Определение примесей кислорода и углерода в поликристаллическом кремнии методом ИК-спектрометрии // Журн. Аналит. Химии. 2008. - Т. 63, № 3. - С. 274-278
85. Kojima I., Jinno F., Noda Y., Iida C. Vapour-phase acid decomposition of highly pure silicas in a sealed PTFE bomb and determination of impurities by "one-drop" atomic spectrometry // Anal. Chim. Acta. 1991. - V. 245. - C.35-41.
86. Yudelevich I. G., Zelentova L.V., Beisel N. F. Atomic-absorption methods for analysis of high-purity substances // Talanta. 1987. - V. 34, № 1. - C. 147-151.
87. Хавезов И., Цалев Д. Атомно-абсорбционный анализ / Пер. с болг. JL: Химия. Ленингр. отд-ние, 1983. - 144 с.
88. Полуэктов Н.С. Методы анализа по фотометрии пламени. М.: Госхимиздат, 1959. - 231 с.
89. Прудников Е.Д., Шапкина Ю.С. Пламенно-атомно-эмиссионное определение ультрамалых содержаний щелочных металлов // Журн. Аналит. Химии. 1995. - Т. 50, № 9. - С. 936-941.
90. Прудников Е.Д., Шапкина Ю.С. Прямое пламенное атомно-эмиссионное определение микроколичеств щелочных элементов в порошковых пробах // Журн. Аналит. Химии. 1990. - Т. 45, № 9. - С. 1740-1748.
91. Прудников Е.Д. Прямое определение ультрамалых содержаний элементов эмиссионной пламенной спектрометрией // Журн. Аналит. Химии. 1972. - Т. 27, № 11. - С. 2129-2131.
92. Прудников Е.Д., Шапкина Ю.С. Пламенно-спектрофотометрическое микроопределение следовых количеств лития, рубидия и цезия // Журн. Аналит. Химии. 1970. - Т. 25, № 2. - С. 250-252.
93. Бабко А.К., Пилипенко А.Т. Фотометрический анализ. Методы определения неметаллов. М.: Химия, 1974. - 360 с.
94. Wollenweber D.; Strabburg S., Wunsch G. Determination of Li, Na, Mg, K, Ca and Fe with ICP-MS using cold plasma conditions // Fresenius J. Anal. Chem. -1999. V. 364, № 5. - C. 433-437.
95. Tanner S.D., Paul В., Beres S.A. and other. The application of cold plasma conditions for the determination trace levels of Fe, Ca, K, Na, Li by ICP-MS //
96. Atomic Spectrosc. 1995. - № 1-2. - С. 16-18.
97. Dash К., Chandrasekaran К., Thangavel S. and other. Determination of trace metallic impurities in high-purity quartz by ion chromatography // Chromatography A. 2004. - V. 1022. - C. 25-31.
98. Меньшиков В.И., Малых В.Д, Шестакова Т.Д. Прямое определение золота в твердых образцах методом атомно-абсорбционной спектрометрии // Журн. Аналит. Химии. 1974. - Т. 29.- С. 2132-2136.
99. Дубовик Д.Б., Тихомирова Т.И., Иванов A.B. и др. Определение кремния, фосфора, мышьяка и германия в виде гетерополикислот (обзор) // Журн. Аналит. Химии. 2003. - Т. 58, № 9. - С. 902-920.
100. Птушкина М.Н., Лебедева Л.И., Кравцова И.П. Определение малых количеств фосфора в присутствии кремния по образованию молибдо-фосфорной сини в уксуснокислых растворах // Журн. Аналит. Химии. 1978. -Т. 33, №2.-С. 308-313.
101. Птушкина М.Н., Лебедева, Петроканская И. Ю. Определение малых количеств фосфора по образованию молибдо-фосфорной сини в водно-ацетоновой среде // Журн. Аналит. Химии. 1980. - Т. 35, № 11. - С. 21322137.
102. Москвин Л.Н., Булатов A.B., Николаева Д.Н., Грирорьев Г.Л. Проточно-инжекционное экстракционно-фотометрическое определение фостфат- и силикат-ионов // Журн. Аналит. Химии. 2002. - Т. 57, № 7. - С. 709-714.
103. Горюшкина В.Г., Есенина Н.В., Снесарев К.А. Экстракционный вариант определения фосфора по восстановленному фосфорномолибденовому гетерополикомплексу // Журн. Аналит. Химии. 1970. - Т. 25, № 8. - С. 16101615.
104. Клитина В.И., Судаков Ф.П., Алимарин И.П. Экстракция восстановленной фосфорномолибденовой кислоты кислородсодержащими растворителями // Журн. Аналит. Химии. 1965. Т. 20, № 11. - С. 1145-1152.
105. Арсланова Н.В., Мясоедова А.С., Судаков Ф.П. Косвенное фотометрическое определение с использованием комплексообразования молибдена с азосоединениями // Журн. Аналит. Химии. 1971. - Т. 26, № 5. -С. 947-952.
106. Не Z.L., Baligar V.C., Martens D.C., Ritchey K.D. Determination of soluble phosphorus in the presence of organic ligands or fluoride // Soil Sci. Soc. Am. J. — 1998.-V.62.-P. 1538-1541.
107. Вишникин А.Б., Кривокобыльская Т.Г., Аль-Швейят М.И. и др. Модифицирование аналитических реакций с использованием гетерополикомплексов // Всероссийская конференция «Аналитика России». Тезисы докладов, г. Москва, 2002. С. 24-25.
108. Малютина Т.М., Саввин С.В., Орлова В.А. и др. Повышение чувствительности экстракционно-фотометрического определения микроколичеств мышьяка и фосфора // Журн. Аналит. Химии. 1974. Т. 29, №5.-С. 925-928.
109. Немондрук А.А., Безрогова Е.В. Применение фотохимического восстановления при определении кремния и фосфора в виде их синих гетерополикомплексов // Журн. Аналит. Химии. 1969. - Т.24, № 11. - С. 17041709.
110. Crouch S.R., Malmstadt H.V. A mechanism investigation of molibdenium blue method for determination of phosphate // Anal. Chem. 1967. - V. 39, № 10. - C. 1084-1093.
111. Тихомирова Т.И., Крохин O.B., Дубовик Д.Б., Иванов А.В, Шпигун О.А. Хроматографическое определение кремния и фосфора в виде молибденовых гетерополикислот с предварительным концентрированием // Журн. Аналит. Химии. 2002. - Т. 57, № 1. - С. 24-29.
112. Дедков Ю.М., Кельина С.Ю., Коничев М.А. Определение фосфатов в водах на уровне ПДК // Зав. лаборатория. 2001. - Т. 67, №7. - С. 8-10.
113. Трохименко О.М., Фалендыш Н.Ф. Экстракционно-атомно-абсорбционное определение фосфора в виде 11-молибдо-железофосфата // Журн. Аналит. Химии. 1998. - Т. 53, № 5. - С. 475-478.
114. Джеффери П. Химические методы анализа горных пород М.: Мир, 1973. - 470 с.
115. Keck Р.Н., Mac Donald A.L., Mellichamp J.W. Semiquantitative spectrochemical analysis of silicon // Anal. Chem- 1956. V. 28, № 6. - C. 995996.
116. Кузнецов B.B., Ермоленко Ю.В., Новиков Д.В. и др. Сочетание концентрирования соосаждением и химического усиления сигнала в проточно-инжекционном определении наноколичеств фосфора // Журн. Аналит. Химии. -2000. Т. 55, № 7. - С. 702-707.
117. Томпсон М., Уолш Д.Н. Руководство по спектрометрическому анализу с индуктивно связанной плазмой. М.: Недра, 1988. - 288 с.
118. Елохин В.А., Чернецкий С.М., Чопоров Д.Я. Масс-спектрометрия с ионизацией в индуктивно связанной плазме: основы метода и области применения // Журн. Аналит. Хим. 1991, Т. 46, № 9. - С. 1669-1674.
119. Музгин В.Н., Емельянова Н.Н., Пупышев А.А. Масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой новый метод в аналитической химии // Аналитика и контроль. - 1998. - № 3-4. - С. 3-25.
120. Jarvis I., Jarvis Е. Plasma spectrometry in the earth sciences: techniques, applications and future trends // Chem. Geology. 1992. - V. 95, № 1/2. - C.l-33.
121. Пупышев А.А., Суриков B.T. Масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой. Образование ионов. Екатеринбург: УрО РАН, 2006. -275 с.
122. Риверс Р.Д., Брукс P.P. Анализ геологических материалов на следы элементов. М.: Недра, 1983. - 404 с.
123. Методические основы исследования химического состава горных пород, руд и минералов / Под ред. Остроумова Г. В. М.: Недра, 1979. - 400с.
124. Laptash N.M. and Kurilenko L.N. Trace Element Analysis of Siliceous Materials // International Congress on Analytical Sciences. Book of Abstracts. Москва, 2006. -С. 588-589.
125. Митькин В.Н. Фторокислители в аналитической химии благородных металлов // Журн. Аналит. Химии. 2001. - Т. 56, № 2. - С. 118-142.
126. Кузьмин Н.М. Интенсификация пробоподготовки при определении следов элементов (обзор) // Зав. лаборатория. 1990. - Т. 56, № 7. - С. 5-9.
127. Schramel Р., Wendler I., Knapp G. Total digestion of silicate containing matrices (plants, soil, sludges) using a pressure ashing device with PFA-vessels // Fresenius J. Anal. Chem.- 1996. V. 356, № 8. - C. 512-514.
128. Suzuki Т., Sensui M. Application of the microwave acid digestion method to the decomposition of rock samples // Anal. Chim. Acta. 1991. - V. 245. - C. 43-48.
129. Гончарова H.H., Жиляева T.B., Утенкова Т.И., Бухарова Ю.А. Атомно-абсорбционное определение ртути и других тяжелых металлов в почвах и биологических материалах после ультразвукового разложения // Аналитика и контроль. 1999. - № 3. - С. 43-48.
130. Столярова И.В., Орлова В.А. Автоклавная пробоподготовка в анализе алюминий-кремнийсодержащих соединений // Журн. Аналит. Химии. 1994. -Т. 49, №8.-С. 817-821'.
131. Разворнева Л.И., Аношин Г.Н., Цимбалист В.Г., Юсупов Т.С. Механохимический метод подхода к химическому разложению трудновскрываемых минералов и руд // V конференция «Аналитика Сибири и Дальнего Востока». Тезисы докладов. Новосибирск, 1996. С. 151-152.
132. Васильева И.Е. Разработка системы компьютерной интерпретации дуговых атомно-эмиссионных спектров в анализе твердых природных и техногенных образцов: Автореферат дисс. докт. техн. наук. М.: ГИРЕДМЕТ, 2006. - 46 с.
133. Орлов А.И. Теоретическое обоснование «турнирного» метода ранжирования вариантов // Зав. лаборатория. 2005. — Т. 71, № 7. - С. 60-61.
134. Орлов А.И. Теория принятия решений: учебник. 2006. - М.: Изд-во «Экзамен». - 573 с.
135. Орлов А.И. 30 лет статистике объектов нечисловой природы (обзор) // Зав. лаборатория. 2009. - Т. 75, № 5. - С. 55-64.
136. Тюрин Ю.Н., Шмерлинг Д.С. Непараметрические методы статистики // Социология. 2004. - № 18, С. 154-166.
137. Файн В.Б., Дейль М.В. «Турнирный» метод ранжирования вариантов // Зав.лаборатория. 2005. - Т. 71, № 7. - С. 58-59.
138. Коган Р.И., Белов Ю.П., Родионов Д.А. Статистические ранговые критерии в геологии. — М.: Изд-во «Недра», 1983. 136 с.
139. Рунион Р. Справочник по непараметрической статистике. 1982. - М.: Изд-во «Финансы и статистика». - 198 с.
140. Васильева И.Е., Шабанова Е.В., Васильев И.Л. Оптимизации задачи при выборе методических условий анализа вещества // Зав. лаборатория. 2001. -Т. 67, № 5.- С. 60-66
141. Шабанова Е.В., Васильева И.Е., Непомнящих А.И. Модель аналитического параметра спектральной линии в атомно-эмиссионном анализе // Зав. лаборатория.-2005.-Т. 71, № 1.-С. 11-18.
142. Пройдакова O.A., Васильева И.Е. Способ совершенствования схем пробоподготовки и атомно-абсорбционного анализа геохимических проб // Зав. лаборатория. 2009. - Т. 75, № 4. - С. 6-15.
143. Сокольникова Ю.В. Влияние пробоподготовки на анализ примесей в высокочистом природном кварце // «Современные проблемы геохимии», ИГХ СО РАН. Сборник докладов. Иркутск, 2004, С. 105-108.
144. Сокольникова Ю.В., Васильева И.Е. Способы выбора оптимальных условий проведения анализа // VI Конференция «Аналитика Сибири и Дальнего Востока 2000». Тезисы докладов. Новосибирск, 2000. - С. 360.
145. Сокольникова Ю.В. Интенсификация способов подготовки проб разнообразного состава с использованием аналитических автоклавов // «I конференция молодых ученых Института геохимии СО РАН». Сборник докладов ИГХ СО РАН. Иркутск, 1999. С.37-39.
146. Сокольникова Ю.В. Васильева И.Е., Матвеева JI.H. Пробоподготовка кварца и металлического кремния при определении примесей СПФ, ИСП MC, АА методами // XIV Уральской конференция по спектроскопии. Тезисыдокладов, г. Заречный, 1999. С. 213-215.
147. Сокольникова Ю.В. К выбору оптимальных условий пробоподготовки кварца при определении примесей методами ИСП-МС и ПФ // VIII научная конференция «Аналитика Сибири и Дальнего Востока». Материалы конференции. Томск, 2008. С. 99.
148. Сокольникова Ю.В., Пшонко Т.В. Влияние чистоты реактивов и некоторых, условий хранения растворов на результаты анализа кварца и металлического кремния // Конференция молодых ученых 2000, ИГХ СО РАН. Сб. Докл. -Иркутск, 2000. С. 90-93.
149. Sokolnikova J.V., Vasilyeva I.E., Menshikov V.I. Determination of trace alkaline metals in quartz by flame atomic emission and atomic absorption spectrometry // Sectrochimica Acta, B. 2003. - V. 58. - C. 387-391.
150. Стандарт предприятия. СТП ИГХ-013-02 «Оксид кремния и кварц. Методика выполнения измерений массовой доли калия, натрия и лития методом пламенной фотометрии». 14 с. .
151. Стандарт предприятия. СТП ИГХ-014-02 «Мультикремний, оксид кремния, кварц. Методика выполнения измерений массовой доли фосфора методом спектрофотометрии». 10 с.
152. Налимов В.В. Применение математической статистики для анализа вещества. 1960. - М.: изд-во «Фитмазгиз». - 430 с.
153. Доерфель К. Статистика в аналитической химии. 1969. - М.: изд-во «Мир». - 247 с.
154. Смагунова А.Н., Карпукова О.М., Белых Л.И. Алгоритмы определения метрологических характеристик методик количественного химического анализа: учеб. пособие. Иркутск: Иркут. Ун-т, 2006. - 98 с.
155. ГОСТ Р ИСО 5725-1-2002 ГОСТ Р ИСО 5725-6-2002 Точность (правильность и прецизионности) методов и результатов измерений.
156. Рекомендации по межгосударственной стандартизации РМГ-61-2003. Государственная система обеспечения единства измерений. Показатели точности, правильности, прецизионности методик КХА. Методы оценки.2004. М.: Изд-во стандартов. - 41 с.
157. Бродовиков Н.Р., Непомнящих А.И. Михайлов М.А, Демина Т.В., Журавлев В. А., Фоминов С.П., Васильева И.Е., Сокольникова Ю.В. Гранулированный кварц Патомского нагорья // Совещание «Кремний 2004», Тезисы докладов. Иркутск, 2004. С. 16.
Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.