Лазерное формирование микролинз на базе оптических волокон тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.03, кандидат технических наук Петров, Андрей Анатольевич

• Петров, Андрей Анатольевич
• кандидат технических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат технических наук Петров, Андрей Анатольевич

Введение.

Глава 1. Аналитический обзор существующих методов изготовления микрооптических элементов на торцах волокон.

1.1. Вводные положения.

1.2. Изготовление микролинз методом шлифовки/полировки.

1.3. Изготовление микролинз методом фотолитографии.

1.4. Метод химического травления.

1.5. Метод обработки ионным пучком.

1.6. Выводы и постановка задачи.

Глава 2. Лазерная технология изготовления МОЭ на торцах ОВ.

2.1. Установка для изготовления МОЭ на торцах ОВ с диаметром

- 600 мкм.

2.2. Технология изготовления микролинз на волокнах 300 — 600 мкм.

2.3. Экспериментальная лазерная установка для изготовления микролинз на торце оптического волокна с внешним диаметром

125 мкм.

2.4. Технология изготовления микролинз на торце оптического волокна с внешним диаметром 125 мкм.

2.5. Методы контроля параметров микролинз в процессе изготовления.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Лазерное формирование микролинз на базе оптических волокон»

Актуальность работы

В XXI веке разнообразные оптические технологии играют всё более значительную роль, они находят применение для решения самых различных задач в промышленности, медицине, связи, научных исследованиях и т. п. С каждым новым годом растут их возможности и расширяется круг задач их использования.

Одним из важнейших направлений развития современных оптических технологий является волоконная оптика. Оптические волокна находят широкое применение в таких областях, как телекоммуникации и связь — для передачи оптического сигнала на дальние расстояния; промышленное производство — для транспортировки мощного лазерного излучения в зону обработки; медицинская лазерная техника (лазерные микроинструменты, медицинские эндоскопы и т. п.); ближнепольная микроскопия; осветительные приборы и т. д. [1 - 4].

В настоящее время разработано и активно используется большое количество различных типов оптических волокон, различающихся по конструкции, назначению и используемым материалам. Это и кварцевые волокна, оптимизированные для передачи оптического сигнала на дальние расстояния, и активные волокна, служащие для усиления оптического сигнала. Кроме того, существует класс волокон для передачи мощного лазерного излучения для технологических целей, таких как лазерная сварка и резка материалов, которые выдерживают значительные плотности мощности лазерного излучения. Можно также выделить волокна для медицинского применения, волокна для передачи излучения среднего ИК-диапазона (Х= 10,6 мкм) и др. Относительно недавно появились «дырчатые» оптические волокна, обеспечивающие значительно меньшее затухание сигнала, чем традиционные.

При таком многообразии видов оптических волокон и их практических применений возникают дополнительные задачи, требующие решения. Одной из них является создание разнообразных микрооптических элементов на торцах оптических волокон. Возникновение этой задачи связано с активным развитием таких областей применения волокон, как интегральная оптика, лазерная медицина, ближнепольная микроскопия, технологии передачи оптических сигналов и др.

В области интегральной оптики одной из важнейших проблем является проблема обеспечения эффективной передачи оптической мощности между оптическими волокнами и оптическими волноводами других типов (планарными, канальными, полосковыми и т. д.), а также источниками излучения - полупроводниковыми лазерами [5]. Для повышения эффективности соединения различных волноводных структур применяют, как правило, оптические согласующие элементы и плавные волноводные переходы, с помощью которых обеспечивается согласование распределений полей стыкуемых волноводных структур. Требования, предъявляемые к таким согласующим элементам - это эффективность согласования, технологичность, надежность, минимальные размеры и невысокая стоимость. [6-9].

Рис. 1. МОЭ изготовленные в лаборатории лазерных технологий ИТМО (1,4, 5 - микролинзы, 2 - отклоняющий МОЭ, 3 - рассеивающий МОЭ, 6 -ближнепольный оптический зонд (БОЗ)).

Другое направление - это изготовление оптического микроинструмента на торце волокна, используемого в лазерной терапии и хирургии. В связи с тем, что современная медицина все чаще отказывается от проведения операций лапаротомическим методом (с обширными разрезами) в пользу менее травматичного лапароскопического метода (с использованием локальных проколов и эндоскопического инструмента), это направление является особенно актуальным. В этом случае необходимо изготовление самого разнообразного оптического микроинструмента, способного облучать различные области и имеющего различные диаграммы направленности - от узко-направленного или фокусирующего под определенным углом, до равномерно излучающего во всех направлениях (элементы 1 - 4 на рис. 1.).

Недавно появившееся направление - ближнепольная оптическая микроскопия - в настоящее время значительно расширила границы использования оптических микроскопов и позволила изучать объекты с размерами менее длины волны света. Зонд ближнепольного оптического микроскопа, как правило, тоже представляет собой оптический элемент -острие, изготовленное на конце оптического волокна [10 - 12] (элемент 6 на рис. 1.).

За последние годы предложено большое количество технологий изготовления миниатюрных оптических элементов на торцах оптических волокон. Основные из них - это механическая шлифовка/полировка, химическое травление, изготовление микролинз методом плавления в электрическом дуговом разряде, при резистивном нагреве или в пламени газовой горелки, ионная полировка. Несмотря на такое многообразие методов, остается целый ряд нерешенных проблем, важнейшими из которых являются следующие:

1)не выявлена универсальная или, по крайней мере, приоритетная технология изготовления разнообразных микрооптических элементов, одинаково пригодная для работы с различными типами и размерами волокон

2) в большинстве существующих методов изготовления отсутствуют возможности контроля параметров получаемых оптических элементов в режиме реального времени.

3) те методы изготовления, которые позволяют получать микрооптические элементы с высокими эксплуатационными качествами на торцах волокон, как правило, требуют дополнительного дорогостоящего оборудования.

В настоящее время ни один из известных методов не получил широкого распространения. Это является следствием нерешенности вышеозначенных проблем. В связи с активным развитием и совершенствованием лазерных технологий -[13] представляется целесообразным использование лазерного излучения для получения микрооптических элементов. До сих пор лазерное излучение использовалось как источник нагрева при многоступенчатом процессе, включающем в себя химическое травление волокна [36]. В других работах предложено лазерным пучком непосредственно удалять материал за счет лазерной абляции и придания необходимой формы торцу волокна [14 -16]. Представляется возможным создать более совершенные лазерные технологии, свободные от очевидной сложности вышеуказанных процессов. Использование лазерного излучения для изготовления микрооптических элементов имеет ряд преимуществ по сравнению с другими методами, основанными на нагреве оптических волокон, и методами, использующими другие принципы формирования (механическая обработка, раздельное формирование микролинзы, химическое травление и т. д.), а именно — локальность лазерного воздействия в пространстве и во времени, отсутствие химических загрязнений при лазерном нагреве, возможность точного управления энергетическими параметрами лазерного излучения и т. д. [17 -22].

Несмотря на потенциальные преимущества лазерной технологии, в существующих вариантах её применения они реализованы далеко не полностью. В частности, не известны методы формирования МОЭ с обратной связью по оптическим параметрам в процессе изготовления. Не достаточно ясны вопросы управляемости и воспроизводимости процесса. Все это приводит к тому, что до сих пор фактически лишь продемонстрирована возможность применения лазерных технологий для изготовления МОЭ. Для создания реальной лазерной техники необходимо решить все вопросы точности, производительности, управляемости и воспроизводимости метода. Создать соответствующее оборудование, разработать методы контроля и т. д.

Кроме того, оптические свойства торцевых микролинз изучены слабо, требуется создать их оптические модели, методы измерения их свойств, и научится использовать их для решения практических задач согласования элементов оптических цепей и других целей. Цель работы

Целью работы является разработка и исследование технологии и оборудования для изготовления микрооптических элементов на торцах волокон методом лазерного нагрева, изучение их оптических свойств и их применение для оптимизации оптических контактов.

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи:

• разработать технологию формирования микрооптических элементов на торцах волокон,

• создать экспериментальную лазерную установку для изготовления микрооптических элементов на торцах оптических волокон,

• исследовать и оптимизировать оптические характеристики микрооптических элементов

• исследовать возможность использования полученных микрооптических элементов для оптимизации оптических межсоединений

Методы исследования и материалы

Для решения поставленных задач были выбраны следующие методы исследования и материалы:

- для создания микрооптических элементов на торцах волокон была разработана и реализована экспериментальная лазерная установка, использующая комбинацию механических перемещений волокна при одновременном нагреве квазинепрерывным излучением С02-лазера;

- для расчета температуры в зоне лазерного воздействия был применен аппарат теории теплопроводности;

- методы оптической микроскопии, микрофотографии и микровидеосъемки использовались при изучении процесса формирования микролинз;

- метод сканирующей электронной микроскопии применялся для изучения качества поверхности получаемых микролинз;

- использовалась разработанная автором методика для определения параметров получаемых микрооптических элементов, основанная на комбинации современных методов оптико-электронной регистрации и компьютерной обработки изображения;

- калориметрические методы применялись для определения мощности лазерного излучения.

Научная новизна диссертации

- Впервые предложен и продемонстрирован принцип оптической обратной связи при изготовлении оптических деталей.

- Разработана лазерная технология и экспериментальная установка для изготовления микрооптических элементов на торцах волокон различно типа с оптической обратной связью.

- Предложен метод анализа эффективности оптических межсоединений на основе инварианта Лагранжа-Гельмгольца.

- Проведены экспериментальные исследования эффективности согласования оптических волокон с канальными волноводами при использовании согласующих микрооптических элементов.

- Разработан метод лазерной юстировки и оригинальная конструкция привода для точного пространственного позиционирования волокна с торцевой микролинзой.

Основные научные положения, выносимые на защиту

- Введение обратных связей по оптическим параметрам в лазерный метод формирования ОЭ на торцах ОВ позволяет увеличить точность и воспроизводимость получаемых ОЭ.

- Анализ энергетической и информационной эффективности оптических межсоединений может быть выполнен на основе инварианта Лагранжа-Гельмгольца, что позволяет достаточно просто и точно выявить перспективные и непригодные типы оптических межсоединений.

- Наибольшего повышения эффективности оптических межсоединений типа оптическое волокно - канальный волновод (КВ) за счет введения торцевых микролинз можно добиться в случае ввода типа одномодовое ОВ - КВ и вывода типа КВ - многомодовое ОВ. Эффективность этих соединений повышается при этом на 20 - 80 %, а допуск на совмещение растет в 2 — 5 раз.

- Прецизионная оптическая юстировка может быть достигнута за счет комбинированных термомеханических эффектов усадки, удлинения и скручивания при воздействии лазерного излучения на сложноперфорированные оправы МОЭ, изготовленные из тонколистовых металлов (пластин).

Практическая ценность работы:

1. Разработан действующий макет экспериментальной установки для производства микрооптических элементов на торцах оптических волокон с различными параметрами, который может служить прототипом автоматизированной промышленной установки.

2. Предложена лазерная технология изготовления согласующих микрооптических элементов, обладающая достаточной точностью и воспроизводимостью за счет обратной связи по оптическим параметрам.

3. Продемонстрирована возможность повышения эффективности оптических межсоединений при использовании полученных микрооптических элементов.

4. Определены оптимальные методы тестирования микрооптических элементов.

5. Разработан метод юстировки микрооптических элементов, поддающийся автоматизации, и оригинальная конструкция соответствующего привода.

Реализация на практике

Результаты работы по согласованию оптических волокон с канальными волноводами были использованы в международном проекте с Бременским институтом силовой лучевой оптики BIAS (Германия) и СПбГУ ИТМО (Россия) - "Fiber-Chip coupling in integrated-optical polymer devices". Установка для изготовления микролинз на торцах OB и сами микролинзы в успешно эксплуатирует фирма «Медлаз-Нева» при создании лазерных терапевтических установок. Апробация работы

Результаты были доложены на следующих конференциях:

1. Международной конференции Photon Processing in Microelectronics and Photonics II (2003 San Jose, California, USA).

2. IV Международная конференция Прикладная Оптика СПб 2004.

3. XXXIV Научно-техническая конференция профессорско-преподавательского состава СПб УИТМО 2005.

4. II Межвузовская конференция молодых ученых СПб УИТМО 2005.

5. Всероссийская межвузовская научно-технической конференция XXXIII неделя науки СПб ГПУ 2005.

Заключение диссертации по теме «Квантовая электроника», Петров, Андрей Анатольевич

Основные результаты и перспективы развития данной работы:

1. Разработан действующий макет экспериментальной установки для производства микрооптических элементов на торцах оптических волокон с различными параметрами и диаметром сердцевины от 10 до 600 мкм, который может служить прототипом автоматизированной промышленной установки.

2. Разработана двухступенчатая технология изготовления микролинз на коническом окончании волокна. Для получения конических микролинз с г«0.5¿4 эффективно использование метода получения конуса - с использованием вытяжки волокна при нагреве лазерным излучением (схема с тороидальным зеркалом).

3. В качестве параметров для контроля получаемых микролинз наиболее эффективно использование числовой апертуры (ЧА) микролинзы и углового распределения энергии (диаграммы направленности). Разработаны и опробованы две экспериментальные схемы по тестированию торцевых микролинз в процессе их изготовления, основанные на:

- включении измерительного канала для ЧА линз в схему изготовления на основе предварительного расчета требуемых оптических параметров торцевых микролинз (ЧА микролинз),

- измерении в процессе изготовления микролинзы эффективности стыковки.

4. Определены и экспериментально исследованы методы измерения параметров торцевых микролинз таких как: числовая апертура, фокальный отрезок, радиус кривизны.

5. Анализ энергетической и информационной эффективности оптических межсоединений может быть выполнен на основе инварианта Лагранжа-Гельмгольца, что позволяет достаточно просто и точно выявить перспективные и непригодные типы оптических межсоединений.

6. Проведены экспериментальные исследования и математическое моделирование применения торцевых микролинз для решения задачи оптимизации оптических межсоединений для двух случаев — согласования оптического волокна и канального волновода, и оптического волокна и полупроводникового лазера. Результаты экспериментов показывают, что использование торцевых микролинз повышает эффективность оптического контакта на 20 — 35% и существенно расширяет поле допусков на поперечное смещение волокна.

7. В работе предложено решение проблемы юстировки пространственного положения волокон с торцевыми микролинзами на основе метода управляемого деформирования деталей с помощью лазерного излучения. Представлена конструкция и результаты экспериментальных исследований привода для точного пространственного позиционирования, который позволяет юстировать положение детали по двум линейным и двум угловым координатам с шагом 1 мкм (0,2 мрад) и менее.

Заключение.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Петров, Андрей Анатольевич, 2005 год

1. Убайдуллаев Р. Р. Волоконно-оптические сети. - М.: Эко-Трендз, 2000. -268 с.

2. Волоконно-оптические датчики. Под ред. Окоси Т. — Л.: Энергоатомиздат, 1990. — 256 с.

3. Маркузе Д. Оптические волноводы. М.: Мир, 1974. - 576 с.

4. Чео П. К. Волоконная оптика: Приборы и системы. — М.: Энергоатомиздат, 1988. — 280 с.

5. Хансперджер Р. Интегральная оптика: Теория и технология. М.: Мир, 1985.-384 с.

6. Семенов А. С., Смирнов В. Л., Шмалько A.B. Интегральная оптика для систем передачи и обработки информации. М.: Радио и связь, 1990. -224 с.

7. Дедушенко К. Б., Семенов А. С., Смирнов В. Л., Шмалько А. В. Методы согласования устройств интегральной оптики и волоконно-оптических линий связи (обзор) // Квантовая электроника. 1983. № 9, Т. 10. С. 17331763.

8. Семченко О. Н., Шмалько А. В., Исследование возбуждения и стыковки многомодовых полосковых оптических волноводов // Изв. Вузов. Радиофизика. 1984. № 4, Т. 27. С. 496 504.

9. Gallagher D. Photonic crystals show promise for wiring optical chips // Europhotonics. 2004. № 4. P. 20 21.

10. Калачев А.И. Кандидатская диссертация. Разработка и исследование лазерной технологии вытяжки БОЗ. СПб.: СПбГИТМО (ТУ). 2002.

11. Атласов К.А., Вейко В.П., Калачев А.И., Капорский Л.Н., Яковлев Е.Б. Экспериментальные и теоретические исследования процесса лазерной вытяжки оптических ближнепольных зондов // Изв. РАН. Сер. физ. 2001. №6, Т. 65. С. 941-945.

12. Atlasov К.A., Voznessensky N.B., Veiko V.P. Technical aspects of the optical far-field evaluaton method for SNOM-tips characterization //

13. Proceedings of the 1 st scientific workshop-presentation "Optical Micro- and Nanotechnologies" SPb, IFMO, 2002. P. 72-79.

14. Новиков B.M., Змиевский Г.Н. Лазерная и оптическая техника и технология. Курск. 1997.

15. Presby Н. М., Benner A. F., Edwards С. A. Laser micromachining of efficient fiber microlenses // Applied Optics. 1990. No 18, Vol. 29. P. 2892 2895.

16. Edwards C. A., Presby H. M., Dragone C. Ideal microlenses for laser to fiber coupling // Journal of lightwave technology. 1993. No. 2, Vol. 11. P. 252 -257.

17. Edwards C. A., Presby H. M. Coupling-sensitivity comparison of hemispheric and hyperbolic microlenses // Applied Optics. 1993. No 9, Vol. 32. P. 1573 — 1577.

18. Вейко В.П., Березин Ю.Д., Чуйко B.A. Лазерные технологии формирования волоконно-оптических инструментов // Изв. РАН. Сер. физ. 1997. №8, Т.61. С. 1627-1631.

19. Вейко В. П., Метев С. М. Лазерные технологии в микроэлектронике. — София.: Болгарская АН, 1991. 364 с.

20. Вейко В.П., Либенсон М.Н. Лазерная обработка. Л.: Лениздат, 1973.

21. Тархов Г.Н. Обработка материала сфокусированным излучением ОКГ.-М.:ЭНИМС,1965.

22. Вейко В.П., Либенсон М.Н., Мелючев A.M. и др. Лазерная технология. -М.: ЦНИИ, Электроника, 1970.

23. Вейко В.П., Либенсон М.Н. Обработка материалов излучением оптических квантовых генераторов. — Л.: ЛДНТП, 1969.

24. Григорьянц А.Г. Основы лазерной обработки материалов. — М.: Машиностроение, 1989.

25. Лазеры в технологии. Под ред. Стельмаха. — М.: Энергия, 1975.

26. Рыкалин Н.Н., Углов А.А., Кокора А.Н. Лазерная обработка материалов. М.: Машиностроение, 1975.

27. Применение лазеров. Под ред. М. Росса. М.: Мир, 1974.

28. Крылов К.И., Прокопенко В.Т., Митрофанов Л.С. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении. -Д.: Машиностроение, 1978.

29. Лазерное технологическое оборудование. Обзор. — "Радиоэлектроника за рубежом", вып. 13, 1976.

30. Kozo Т., Kentaro A., Takeshi N., Masahiro I. Lévitation of a microscopic object using plural optical fibers // Optics communications. 2000. Vol. 176. P. 43-47.

31. Kozo T., Masaru T., Masahiro I. Theoretical study of an optical lévitation using dual beam from optical fibers inserted at an angle // Optics communications. 2001. Vol. 194. P. 67-73.

32. Rahman F.A., Takahashi K., Teik C.H. A scheme to improve the coupling efficiency and working distance between laser diode and single mode fiber // Optics communications. 2002. Vol. 208. P. 103-110.

33. Lu S., Yan Y.B., Yi D.E., Jin G.F., Wu M.X. Integrated difractive optical mode converter for fiber-to-waveguide coupling // Optics & Laser Technology. 2003. No. 35. P. 369 373.

34. Галютина Т.А., Козлов В.А. Волоконные микролинзы для высокоэффективного ввода излучения лазерных диодов // Оптический журнал. 1997. № 11, Том 64. С. 79-83.

35. Lee K.S., Barnes F.S. Microlenses on the end of single-mode optical fibers for laser applications // Applied Optics. 1985. No. 19, Vol. 24. P. 3134 -3139.

36. Rahman F.A., Takahashi K., Teik C.H. Theoretical analysis of coupling between laser diodes and conically lensed single-mode fibres utilising ABCD matrix method// Optics Communications. 2003. No. 215. P. 61 68.

37. Barnard C. W., Lit J. W. Y. Single-mode fiber microlens with controllable spot size // Applied Optics. 1991. No 15, Vol. 30. P. 1958 1962.

38. An H.L. Theoretical investigation on the effective coupling from laser diode to tapered lensed single-mode optical fiber // Optics Communications. 2000. No. 181. P. 89-95.

39. Марковкина H.H. Кандидатская диссертация. Лазерное формирование микропипеток. СПб.: СПбГУ ИТМО. 2005.

40. Barnard С. W., Lit J. W. Y. Mode transforming properties of tapered singlemode fiber microlenses // Applied Optics. 1993. No 12, Vol. 32. P. 2090 -2094.

41. Lee K.S. Focusing characteristics of a truncated and aberrated Gaussian beam through a hemispherical microlens // Applied Optics. 1986. No 20, Vol. 25. P. 3671 -3675.

42. Kuwahara H., Sasaki M., Tokoyo N. Efficient coupling from semiconductor lasers into single-mode fibers with tapered hemispherical ends // Applied Optics. 1980. No 15, Vol. 19. P. 2578 2583.

43. Hillerich B. Shape analysis and coupling loss of microlenses on single-mode fiber tips // Applied Optics. 1988. No 15, Vol. 27. P. 3102 3106.

44. Gangopadhyay S., Sakar S. N. Laser diode to single-mode fiber excitation via hyperbolic lens on the fiber tip: Formulation of ABCD matrix and efficiency computation // Optics Communications. 1996. No 132. P. 55 60.

45. Кухтин C.B. Кандидатская диссертация. Лазерное формирование медицинского волоконно-оптического рассеивающего инструмента. -СПб.: СПбГИТМО (ТУ), 1999.

46. Мачулка Г. А. Лазерная обработка стекла. М.: Наука, 1977. - 135 с.

47. Миркин Л.И. Физические основы обработки материалов лучами лазера.-М.: МГУ, 1975.

48. Яковлев Е.Б. Лазерное оборудование, автоматизация и контроль технологических процессов. Конспект лекций. Часть 1. Учебное пособие. СПб.: СПбГИТМО (ТУ), 2002.

49. Газовые лазеры. Сборник статей. Под ред. Соболева H.H. — М.: Мир, 1968.

50. Калева Т.Ф., Огнин В.Н., Соболев H.H. С02-лазер при комнатной температуре // Квантовая электроника. Под ред. Басова Н.Г. М.: Сов. Радио, 1973.

51. Белоусов Е.К., Кондратенко B.C., Мачулка Г.А., Чуйко В.А. Управляемое термораскалывание стекла лазерным излучением диапазона 10,6 мкм // Электронная промышленность. 1978. №9.

52. Мачулка Г.А., Гурьянов В.М., Муратова Л.П. Лазерная резка стекла // Стекло и керамика. 1972. №10.

53. Болыпов В.Ф., Гурьянов В.М., Мачулка Г.А. Муратова Л.П. Лазерная технологическая установка для резки профильного стекла // Квантовая электроника. Под ред. Басова Н.Г. №6. М.: Сов.радио, 1971.

54. Ландсберг Г. С. Оптика. М.: Наука, 1976. - 928 с.

55. Пахомов И.И., Цибуля А.Б. Расчет оптических систем лазерных приборов. М.: Радио и связь, 1986. - 152 с.

56. Матвеев А.Н. Оптика. М.: Высшая школа, 1985.

57. Бартенев Г.М. Механические свойства и тепловая обработка стекла. -М.: Стройиздат, 1960.

58. Яковлев Е.Б. Изменение структуры стекла при лазерном нагревании // Оптич. журн. 1996. №2. С. 5 9.

59. Стекло. Справочник под ред. Н.М. Павлушкина. -М.: Стройиздат, 1973.

60. Мазурин О.В., Стрельцина М.В., Швайко-Швайковская Т.П. Свойства стекол и стеклообразующих расплавов // Справочник. Т.З. —Л.: Наука, 1977.

61. Вейко В.П., Шахно Е.А. Сборник задач по лазерным технологиям. -СПб, СПбГУИТМО, 2003.

62. Лыков A.B. Теория теплопроводности. -М.: Высшая школа, 1967.

63. Физические величины. Справочник под ред. Григорьева И.С., Мейлихова Е.З. М.: Энероатомиздат, 1991.

64. Исаченко В.П., Осипова В.А., Сукомел А.С. Теплопередача. М.: Энергия, 1969.

65. Шорин С.Н. Теплопередача. -М.: Высшая школа, 1964.

66. Креопалова Г. В., Лазарева Н. JL, Пуряев Д.Т. Оптические измерения: Учебник для вузов по специальностям «Оптико-электронные приборы» и «Технология оптического приборостроения». — М.: Машиностроение, 1987.-264 с.

67. Veiko V.P., Voznesensky N.B., Voznesenskaya N.N., Pashin V.F., Petrov A.A., Metev S.M., Wochnowski C. Optical interconnection optimization based on a classical approach // Proceedings SPIE. 2003. Vol. 4977. P.569-577.

68. Вейко В.П., Вознесенский Н.Б., Пашин В.Ф., Петров А.А. Вознесенская Н.Н. Гибридные оптические схемы: исследование проблемы оптических межсоединений на основе классического подхода // Известия вузов Приборостроение. 2004. №10, т. 47. С. 5 14.

69. Born М., Wolf Е. Principles of optics 6-th ed. Pergamon. Oxford. 1970.

70. Стерлинг Д. Дж. Техническое руководство по волоконной оптике. М.: ЛОРИ, 1998.

71. Вознесенская Н.Н. Кандидатская диссертация. Математическое моделирование распространения света в оптических микроструктурах. — СПб.: СПбГУ ИТМО. 2005.

72. Wochnowski С., Metev S. Photochemical laser technology for integrated-optical components of polymer basis. LAT'02, Moscow, Russia

73. Frank W.F.X., Schosser A., Brunner S., Linke F., Strempel Т.К., Eich M. Optical properties of waveguiding structures in polymers // Proceedings SPIE. 1992. Vol. 1774. P. 268-277.

74. Петров А.А., Вейко В.П. Оптимизация оптических межсоединений с использованием волоконных микролинз // VI Международная конференция Прикладная Оптика. Сборник трудов. 2004. Т. II. С. 125126.

75. Петров A.A., Вейко В.П. Использование волоконных микролинз для повышения эффективности соединения типа волокно-волновод // Вестник II межвузовской конференции молодых ученых. Сборник научных трудов СПб: СПбГУ ИТМО. 2005. Т. 3. С. 170 174.

76. Погарев Г. В. Юстировка оптических приборов. -JI.: Машиностроение, Ленингр. отд-ние, 1982. -237 с.

77. Sterkenburgh Т., Franke Н., Becker М. Recording grooves for fiber-chip coupling in PMMA using KrF excimer laser radiation: experiment and simulation // Applied Physics B. 1999. No 68. P. 1061-1067.

78. Frank W.F.X., Schösser A., Stelmaszyk A., Schulz J. Ionizing radiation for fabrication of optical waveguides in polymers // Polymers in Optics: Physics, Chemistry, and Applications. Critical Reviews. Vol. CR63. P. 65 — 82.

79. Vollertsen F. Mechanisms and Models for Laser Forming // Manufacturing Systems. 1995. Vol. 24, No 3. P. 207-214.

80. Vollertsen F. An analytical model for laser bending // Lasers in Engineering. 1994. No 2. P. 261 -276.

81. Muller B. Virtual Engineering helps to get laser adjustment industrially accepted // Proc. SPIE. 2000. Vol. 4088. P. 164-167.

82. Hoving W. Laser adjustment, a novel technique to obtain fast, sub-micron accuracy in mass production // Proc. SPIE. 2002.Vol. 4426.

83. Vollertsen F., Geiger M. Laserstrahljustieren mechatronischer Komponenten. Laser Von der Wissenschaft zur Anwendung. Strahltechnik Bd. 10. BIAS Verlag, Bremen 1997, 309-320.

84. Li W., Yao Y.L. Numerical and experimental study of strain rate effects in laser forming // Journal of manufacturing science and engineering. 2000. Vol. 122. P. 445-451.

85. Cheng J., Yao Y.L. Microstructure integrated modeling of multiscan laser forming // Journal of manufacturing science and engineering. 2002. Vol. 124. P. 379-387.

86. Дарков А.В., Шапиро Г.С. Сопротивление материалов. М.: Высшая школа, 1975.

87. Steen W.M. Laser material processing. Springer-Verlag. London. 2003

88. Дьяконов В.П., Абраменкова И.В. Mathcad 7 в математике, физике и в Internet. -М.: Нолидж, 1998.

89. Вейко В.П., Петров А.А. Пространственное позиционирование микродеталей с помощью лазерного излучения // Микросистемная техника. 2002. № 7. С. 23-27.

90. Тел. [phone] Факс(812} 251-03-851. Исходящий №1. Дата fa/OO'f

91. АКТ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ результатов диссертационной работы Петрова A.A.

92. Р/сч 40702810025000000354 в ОАО "Промышленно-строительный банк" , к/сч. 30101810200000000791, БИК 044030791 ,ОПЕРУ 5., г. Санкт-Петербург.1.A'XO.»