Исследование физических процессов взаимодействия излучения лазера на парах меди с материалами электронной техники и разработка технологии их прецизионной обработки тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.03.07, кандидат технических наук Жариков, Валерий Михайлович

• Жариков, Валерий Михайлович
• кандидат технических наук
• 1999

Оглавление диссертации кандидат технических наук Жариков, Валерий Михайлович

Оглавление стр.

Введение

Глава 1. Сравнительный обзор традиционных методов обработки тонколистовых материалов

1.1. Электроискровая обработка

1.2. Сравнение различных лазеров применяемых в микрообработке

Выводы

Глава 2. Параметры импульсов излучения и использованные

режимы работы лазера на парах меди

2.1. Описание импульса излучения

2.2. Экспериментальное исследование параметров импульса

воздействия

2.3. Математическая модель импульса воздействия

Результаты и выводы

Глава 3. Взаимодействие излучения ЛПМ с материалом мишени

3.1. Взаимодействие излучения ЛПМ с поверхностью

3.2. Отражение излучения лазера на парах меди при больших

значениях интенсивности

3.3. Эрозионный факел и его энергия

3.4. Пробой газов и паров сфокусированным излучением ЛПМ

3.5. Взаимодействие излучение ЛПМ - факел

3.6. Баланс энергии импульса излучения лазера на парах меди при воздействии на

металлическую мишень

Результаты и выводы

Глава 4. Технологические параметры обработки

излучением ЛПМ

4.1. Влияние различных факторов на параметры обработки

4.2. Особенности обработки материалов излучением лазера на

парах меди

4.3. Исследование факторов, влияющих на точность и

воспроизводимость изготовления деталей ИЭТ с помощью ЛПМ

Результаты и выводы

Глава 5. Примеры применения излучения ЛПМ

5.1. Макет автоматизированной лазерной технологической

установки "Каравелла"

5.2. Макет АЛТУ "Каравелла-К"

5.3. Макет АЛТУ "Кинескоп"

5.4. Особенности эксплуатации АЛТУ на базе лазера на парах меди

5.5. Основные направления технологического применения ЛПМ

5.6. Образцы деталей

Выводы и результаты

Общие выводы

Литература

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование физических процессов взаимодействия излучения лазера на парах меди с материалами электронной техники и разработка технологии их прецизионной обработки»

Введение

Создание мощных источников оптического излучения - лазеров -существенным образом изменило представление о возможностях его использования. Замечательные свойства лазерного излучения способствовали появлению новых областей фундаментальной и прикладной оптики, коренному изменению некоторых направлений науки и техники, внедрению в практику широкого круга новых технологий. Произошли значительные изменения в различных сферах человеческой деятельности. Лазеры устойчиво обосновались в науке, промышленности, медицине, сельском хозяйстве и т.д.. Некоторые производства уже немыслимы без их использования. Освоены новые лазерные методы обработки материалов : резка, прошивка отверстий, скрайбирование, сварка, наплавка, легирование, термоупрочнение, отжиг, травление и осаждение, модификация поверхности, пайка, напыление. В основном эти технологические процессы основаны на тепловом действии лазерного излучения [1-12]. В последнее время появляется большое количество публикаций, в которых постепенно осознаются возможности использования сильно неравновесного лазерного излучения для специфического избирательного воздействия на определенные процессы протекающие в твердом теле, на структуру материалов, на рост и разрушение кристаллов [13-17]. Лазерное излучение обладает сложной пространственной, временной и спектральной структурой. Специально подбирая необходимую структуру лазерного сигнала можно последовательно включать те или иные механизмы воздействия на материал, что позволит значительно повысить избирательность и эффективность процессов. В дальнейшем, можно будет наблюдать переход от простых задач обработки, не требующих высокоточного луча, к более сложным применениям, где качество луча имеет существенное значение (каустика, распределение интенсивности в пространстве и во времени и т.д.). В целом, по совокупности параметров обработки, лазерные методы могут конкурировать с различными стандартными технологиями

И.

Развитие электронной техники постоянно ставит задачи поиска новых методов обработки материалов. Одним из перспективных направлений исследований является изучение обработки лазерным излучением. К началу предлагаемой на рассмотрение работы (1984г.) вне сферы лазерной прецизионной обработки оставался целый ряд пластичных металлов и сплавов с высокой теплопроводностью (Си, А1, N1 и др.), тугоплавких металлов (Мо, Та, Ъх и др.),

полупроводниковых материалов (81, ваАз, ве). Для выяснения возможности ликвидации этого технологического пробела была предпринята попытка привлечения излучения лазера на парах меди (ЛПМ) [18].

Лазеры на парах меди исторически появились на десятилетие позже основных типов лазеров. Причиной этого явились технически труднореализуемые условия генерации. Следствием - значительное отставание в поиске конкурентных областей применения. Прогресс в разработке и производстве ЛПМ, наблюдаемый в последние два десятка лет, в основном связан с применением ЛПМ в качестве эффективного средства для накачки лазеров на красителях. Применение последних для селекции изотопов [19] и определило бурное развитие всех составляющих их устройств.

Разработка и создание надежных, долговечных и высокоэффективных лазеров на парах меди подвигло исследователей к применению их в качестве основного инструмента в технологическом процессе обработки материалов [20]. ЛПМ были применены для задач обработки тонких пленок : ретуширования и изготовления фотошаблонов [21,22]. Исследования по технологическому применению излучения ЛПМ для прецизионной обработки тонколистовых материалов не проводились.

Традиционно прецизионную технологию тонколистовых материалов составляли методы электроискровой обработки, химическое травление, механическая обработка. Необходимыми условиями прецизионной обработки являются наличие оборудования с высокой степенью точности, с надежным и устойчивым инструментом и контролем протекания процесса. Для такой обработки характерны стабильность, избирательность и минимальные побочные эффекты. Она построена на локальном удалении материала через хорошо согласованное энергетическое воздействие.

Возможностям применения лазера на парах меди для прецизионной обработки и выработке требований к параметрам излучения для реализации такой обработки, а так же рассмотрению различных факторов влияющих на параметры процесса удаления материала при воздействии импульсов излучения лазера на парах меди и посвящена данная работа.

На защиту выносятся следующие научные положения :

• Эрозионный факел от воздействия на металлическую мишень (Мо,Си) излучения ЛПМ с плотностью мощности в диапазоне 109...10п Вт/см2, практически (в пределах ошибки эксперимента в 2%), прозрачен для этого ■излучения.

• Основным каналом диссипации энергии импульса излучения ЛПМ при

Р 2

воздействии на металлическую мишень с интенсивностью выше 10 Вт/см является унос энергии паром. Доля этого канала может превышать 50%, а в пересчете на один удаленный атом составляет ЮэВ.

• Специфика многоимпульсной многопроходной резки трудоемких деталей излучением лазера на парах меди с нестабильным резонатором позволяет компенсировать уход оси диаграммы направленности в пределах ± 0()ф при последующих проходах, (©¿¡¿-дифракционная расходимость излучения ЛПМ).

Результаты работы были использованы при создании двух макетов автоматизированной лазерной технологической установки "Каравелла" на базе лазера на парах меди с излучателем типа "Карелия" и одного макета АЛТУ "Кинескоп" на базе лазера на парах меди типа "Кулон".

Процессы лазерной прецизионной резки и сверления тонколистовых материалов на опытном макете АЛТУ "Каравелла" используются в условиях экспериментального производства при изготовлении ответственных деталей и узлов из Мо, Си , керметов и др., для приборов, выпускаемых подразделениями предприятия.

Основные материалы и результаты опубликованы в 10 печатных работах, в том числе одном авторском свидетельстве. Материалы работы составили также содержание соответствующих глав шести научно-технических отчетов по НИР и ОКР.

Результаты работы докладывались на :

• конкурсах молодых специалистов и технологов НПО"Исток" в 1982 и 1986гг.

• П отраслевой научно-технической конференции "Источники питания и применения газовых лазеров" в октябре 1986г.

• IV national conference and technical exhibition with international participation "Laser and their applications", oktober 23-26, 1990, Plovdiv, Bulgaria.

• Отраслевом научно-техническом семинаре "Лазерная техника и технология", 23-26 апреля 1991г., г.Брянск.

• Симпозиуме "Лазеры на парах металлов и их применение", 22-25 сентября 1996г.,г.Новороссийск, Абрау-Дюрсо.

• VIII Международной конференции "Лазеры в науке, технике и медицине", 9-12 сентября 1997г., г.Пушкинские горы.

• International conference on LASERS '98, december 7-11,1998, Tucson, Arizona.

• Научно-техническом семинаре ЛАС "Лазерные технологии и технологическое оборудование", 1 апреля 1999 года.

Заключение диссертации по теме «Оборудование и технология лазерной обработки», Жариков, Валерий Михайлович

Общие выводы.

1.Из технологических лазеров, пригодных для обработки основных материалов электронной техники, характеристики лазера на парах меди наиболее полно отвечают требованиям прецизионной обработки : малая длина волн генерации, малая энергия импульса при высокой (до 10пВт/см2) плотности мощности, короткий импульс при большой скважности (-5000), близкая к дифракционной расходимость и др.

2.В сферу лазерной прецизионной обработки вовлечены материалы с высокой теплопроводностью (медь, алюминий, серебро и др.), тугоплавкие (молибден, вольфрам, тантал и др.) и ряд полупроводников (кремний, германий и др.).

3.При экспериментальном исследовании взаимодействия излучения ЛПМ с материалом мишени обнаружено следующее :

1 2

• начиная с 5*10 Вт/см, повышение плотности мощности приводит к резкому уменьшению отражения от металлической поверхности;

• эрозионный факел от воздействия на металлическую мишень (Мо,Си) излучения ЛПМ с плотностью мощности в диапазоне Ю9.10п Вт/см2 (в пределах ошибки эксперимента в 2%) прозрачен для этого излучения;

• основным каналом диссипации энергии импульса излучения ЛПМ при воздействии на металлическую мишень с интенсивностью выше 109Вт/см2 является унос энергии паром. Доля этого канала может превышать 50%. Энергия, уносимая продуктами разрушения, в пересчете на один удаленный атом составляет ЮэВ;

4.0собенностью обработки излучением ЛПМ является преобладающее влияние на параметры резки и сверления соотношения энергии в пучках. Это соотношение определяется типом и параметрами резонатора, величиной синхронизации запуска активных элементов, параметрами разрядной цепи, частотой следования импульсов.

5.Поддув защитного газа (гелия) в зону обработки приводит к повышению чистоты поверхности, уменьшению объема жидкой фазы и росту производительности : сверления в 4, а резки в 1,5 раза.

6.Селекция зеленой линии генерации позволяет уменьшить размер отверстия, в среднем, в 1,4 раза.

7.Размер дифракционного пучка, в конечном итоге, определяет :

• величину погрешности обработки по контуру (точность) при многопроходной резке;

• предельную шероховатость поверхности реза;

• размер минимального элемента обработки.

8.Высокая скорость охлаждения металлов (~Ю10 °К/с) и значительный градиент температуры (Ю9.Ю10 °К/м) после локального воздействия импульса излучения лазера на парах меди приводят к модификации приповерхностного слоя. Свойства такого слоя, в ряде случаев, являются уникальными, например, в 2.4 раза возрастает электрическая прочность электродов.

9.Примененная методика исследования позволила установить, что

• расходимость излучения лазера на парах меди с нестабильным резонатором монотонно убывает на протяжении длительности импульса;

• поверхностный тепловой источник, эквивалентный по энерговыделению действию сфокусированного импульса лазера на парах меди, представляет быстро стягивающуюся область с непрерывным нарастанием плотности теплового потока;

• в математической модели теплового источника достаточно учитывать два осесимметричных пучка с различными коэффициентами сосредоточенности и разнесенными по времени на характеристическую постоянную резонатора;

10.Разработка, изготовление и длительная эксплуатация (более Юлет) опытного образца АЛТУ "Каравелла" продемонстрировали возможность создания высокотехнологичного оборудования на базе лазеров на парах меди.

11.Образцы деталей из меди, молибдена, кремния, графита, кермета и др., изготовленные для конкретных приборов СВЧ электроники, подтвердили высокое качество обработки излучением лазера на парах меди.

12. Относительно традиционных методов обработки (электроискровой, штамповки и др.), использование макета АЛТУ "Каравелла" позволяет сократить в 3.8 раз время изготовления малых партий деталей (включая подготовительный период).

13.Применение усовершенствованной системы наблюдения на базе лазерного проекционного микроскопа позволило полнее использовать возможности лазеров на парах меди в технологических установках на их основе.

14.Использование изменения оптических свойств активной среды усилителя в процессе генерации позволило осуществить модуляцию мощности излучения лазера на парах меди. Это расширило технологические возможности установки, т.к. оперативное управление мощности при помощи стандартных методов, из-за специфики излучения ЛПМ, проблематично.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Жариков, Валерий Михайлович, 1999 год

Литература.

1. Лазерная и электронно-лучевая обработка материалов: Справочник / Н.И. Рыкалин, А.А.Углов, И.В.Зуев и др. - М.: Машиностроение, 1985. - 496с.

2. Рэди Дж. Промышленные применения лазеров. - М.: Мир, 1981. - 638 с.

3. Григорьянц А.Г., Шиганов И.Н. Оборудование и технология лазерной обработки материалов. - М.: Высшая школа, 1990. - 159 с.

4. Крылов К.И., Прокопенко В.Т., Митрофанов A.C. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении. - Л.: Машиностроение, 1978. - 335 с.

5. Лазерная техника и технология: В 7 кн. / Под ред. А.Г.Григорьянца. - М.: Высшая школа, 1987-1988. - Кн. 3: Методы поверхностной лазерной обработки. - 1987. -191 с.

6. Лазерная техника и технология: В 7 кн. / Под ред. А.Г.Григорьянца. - М.: Высшая школа, 1987-1988. - Кн. 7: Лазерная резка металлов. - 1988.-127 с.

7. Дьюли У. Лазерная технология и анализ материалов. - М.: Мир, 1986. - 504 с.

8. Лазерная техника и технология: В 7 кн. / Под ред. А.Г.Григорьянца. - М.: Высшая школа, 1987-1988. - Кн. 4: Лазерная обработка неметаллических материалов. -1988.-191 с.

9. Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных элементов. - Л.: Машиностроение, 1986. - 248 с.

10.Лазерная техника и технология: В 7 кн. / Под ред. А.Г.Григорьянца. - М.: Высшая школа, 1987-1988. - Кн. 6: Основы лазерного термоупрочнения сплавов. - 1988.159 с.

П.Коваленко B.C., Романенко В.В., Олещук Л.М. Малоотходные процессы резки лучом лазера. - Киев: Техшка, 1987. - 112 с.

12.Лазерная техника и технология: В 7 кн. / Под ред. А.Г.Григорьянца. - М.: Высшая школа, 1987-1988. - Кн. 5: Лазерная сварка металлов. - 1988. - 207 с.

13.Мирзоев Ф.Х., Панченко В.Я., Шелепин Л.А. Лазерное управление процессами в твердом теле // Успехи физических наук. - 1996. - Т. 166, №1. - С. 3-32.

Н.Басов Н.Г., Катулин В.А. Грядущая революция в технологии // Наука сегодня: Ежегодный справочник. - М., Знание, 1993. - С.47-61.

15.Модифицирование и легирование поверхности лазерными,ионными и электронными пучками / Под ред. Дж.М.Поута, Г.Фоти, Д.К.Джекобсона. - М.: Машиностроение, 1987. - 424 с.

16.Воздействие мощного лазерного излучения на поверхность полупроводников и металлов : нелинейно-оптические эффекты и нелинейно-оптическая диагностика / С.А.Ахманов, В.И.Емельянов, Н.И.Коротеев и др. // Успехи физических наук. -1985. - Т. 147, вып. 4. - С. 675-745.

17. Керл Р.Ф. Истоки открытия фуллеренов:эксперимент и гипотеза // Успехи физических наук. - 1998. - Т. 168, вып. 3. - С. 331-342.

18.Применение ЛПМ для прецизионной размерной обработки металлов и полупроводниковых материалов ИЭТ / В.С.Алейников, В.П.Беляев, В.М. Жариков и др. // Электронная техника: Тез. докл. конференций / ЦНИИЭ. - М., 1986. - С. 21-22. - (Серия 11. Лазерная техника и оптоэлектроника; Вып.5(239)).

19.Copper Vapor Lasers for Isotope Separation / C.Yamanaka, E.Fujiwara, T.Naka and an. // Technology reports of the Osaka University. - 1986. - Vol. 36, № 1859. - P. 353-359.

20.Алейников B.C., Беляев В.П., Печенин Ю.В. Принципиальные вопросы создания эффективных газовых лазеров для высокопроизводительного технологического оборудования // Электронная промышленность. - 1981. - вып. 5-6 (101-102). - С. 39-51.

21. Формирование лазерного пучка при внутрирезонаторной обработке объектов

/ Земсков К.И., Казарян М.А., Петраш Г Г. и др. // Квантовая электроника. - 1986. -Т. 13, № 11. - С. 2096-2101.

22.Лазерная обработка объектов с одновременным визуальным контролем в системе генератор-усилитель на парах меди / К.И.Земсков, М.А.Казарян, Г.Г.Петраш и др. // Кв.электроника. - 1984. - Т. 11, № 2. - С. 418-420.

23.Электроэрозионная обработка металлов / М.К.Мицкевич, А.И.Бушик, И.А.Бакуто и др. - Минск: Наука и техника, 1988. - 216 с.

24.Технологии электроэрозии XXI века: Рекламные материалы / фирма Sodick Co., Ltd., 1996.-18 с.

25. Оборудование производства фирмы Sodick // Инженерно-технический журнал "Бизнес и технология". - Новосибирск, 1996. - № 1. - С. 11-12.

26.Ставицкий Б.И., Бойко П.И., Конушин C.B. Особенности электроискрового прорезания сверхузких пазов // Электроника СВЧ. - 1977. - № 10. - С. 97-101.

27.Особенности обработки пиролитического графита / H В.Коньков, Р.В.Гри-цук, Г.А.Парилова и др. // Электронная техника: Науч.-техн. сб. / ЦНИИЭ. - М., 1993. -С. 29-33. - (Сер. "СВЧ-техника"; Вып. 4 (458)).

28.Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: В 9 т. / Под ред. Г.Хасса и Р.Э.Туна. - М.: Машиностроение, 19691978. - Т. 6. - 1973. - 392 с.

29.Физические величины: Справочник / Под. ред. И.С.Григорьева, Е.З.Мейлихова. -М.: Энергоатомиздат, 1991. - 1232 с.

30.Лазерные технологические установки и лазерные технологии обработки материалов: Каталог-справочник по странам СНГ и Прибалтики / Лазерная ассоциация. - М., 1995.-182 с.

3 l.The INNOVA 100 system : a new frontier: Рекламные материалы / фирма COHERENT, 1985. - 4 с.

32.3убов В.В., Лябин H.A., Чурсин А.Д. Эффективная система генератор-усилитель на основе лазерных активных элементов на парах меди // Кван-товая электроника. - 1986. - Т. 13, № 12. - С. 2431-2436.

33.LPX the 5th generation in Eximer Lasers: Рекламные материалы / фирма Lambda Physik, 1988. - 24 с.

34.Christensen S.С., Christensen C.P. Small excimer lasers create tiny pieces // Laser Focus World. - March 1997. - P. 83-90.

35.Poulin D., Eisele P., Znotins T. Excimer laser in manufacturing // Lasers in Manufacturing: Тез. докл. 6th Int.Conf. - May 1989. - P.41-50.

36.The advanced copper laser: Рекламные материалы / фирма OXFORD LASERS, Великобритания, 1994. - 14 с.

37.Применение активных элементов импульсных лазеров на парах меди в технологическом оборудовании для изготовления и контроля изделий

электронной техники / В.П.Беляев, В.В.Зубов, М.А.Лесной и др. // Электронная промышленность. - 1981. - Вып. 5-6 (101,102). - С. 82-83.

38.Разработка лазерного активного элемента на парах меди для технологических установок импульсного локального отжига поверхностей пластин интегральных схем изделий микроэлектроники: Отчет по ОКР / НПО "ИСТОК"; Руководитель В.В.Зубов. - Ф13794/0003236 - Фрязино, 1982. - 68 с.

39.Пространственные, временные и энергетические характеристики излучения лазера на парах меди / В.П.Беляев, В.В.Зубов, А.А.Исаев и др. // Квантовая электроника. - 1985. - Т. 12, № 1. - С. 74-79.

40.Эффективный излучатель на парах меди / В.П.Беляев, В.В.Зубов, Н.А.Лябин и др. // Электронная промышленность. - 1984. - Вып. 10 (138). - С. 28-30.

41. Разработка излучателя лазера на парах меди со средней мощностью 20 Вт, частотой следования импульсов 8... 12 кГц, минимальной наработкой активных элементов 500 часов для лазерного технологического оборудования: Отчет по ОКР / НПО"ИСТОК"; Руковод. В.В.Зубов. - Ф20415/3003069. - Фрязино, 1986. -36с.

42.3убов В.В., Лябин H.A., Чурсин А.Д. Лазер на парах меди с высокостабильным однопучковым излучением и управляемой расходимостью // Квантовая электроника. - 1988. - Т. 15, № 10. - С. 1947-1954.

43 Лябин H.A. Безрезонаторный лазер на парах меди с высоким качеством излучения // Квантовая электроника. - 1989. - Т. 16, № 4. -С. 652-657.

44.Методы повышения точности лазерной размерной обработки / М.Н.Либенсон, Г.П.Суслов, А.Н.Кокора и др. - Л.: ЛДНТТ, 1973. - 40с.

45.Воздействие лазерного излучения на материалы / Р.В.Арутюнян, В.Ю.Баранов, Л.А.Болыпов и др. - М.: Наука, 1989. - 367 с.

46.Лифшиц Б.Г., Крапошин B.C., Линецкий Я.Л. Физические свойства материалов и сплавов. - М.: Металлургия, 1980. - 320 с.

47.Розбери Ф. Справочник по вакуумной технике и технологии. - М.: Энергия, 1977.

- 454 с.

48.Вынос материала твердой мишени при комбинированном воздействии двух лазерных импульсов разной длительности / Р.В.Арутюнян, В.Ю.Баранов, Л.А.Болыпов и др. // Квантовая электроника. - 1984. - Т. 11, № 6. - С. 1220-1224.

49Лазерное напыление материалов,применяемых в электронной технике / Л.А. Сурменко, Ю.Д.Самаркин, Т.Л.Якушева и др. // Обзоры по электронной технике / ЦНИИЭ. - М., 1989. - С. 1-52. - (Сер.7, Технология, организация производства и оборудование; Вып.6 (1440), часть1).

50.Миркин Л.И. Физические основы обработки материалов лучами лазера. - М.: Изд-во МГУ, 1975.-384 с.

51.Т.Н.Соколова,Л.А.Сурменко. Лазерная размерная обработка материалов, применяемых в электронной технике // Обзоры по электронной технике / ЦНИИЭ.

- М., 1989. - С. 1-53. - (Сер.7, Технология, организация производства и оборудование; Вып. 11 (1463), часть 2).

52.Политехнический словарь / Редкол.: А.Ю.Ишлинский (гл.ред.) и др. - 3-е изд., перераб. и доп. - М.: Советская энциклопедия, 1989.-656 с.

53.Рэди Дж. Действие мощного лазерного излучения. - М.: Мир, 1974. - 470 с.

54.Делоне Н.Б. Взаимодействие лазерного излучения с веществом. -М.: Наука, 1989.

- 280 с.

55.Физико-химические свойства окислов: Справочник / Под ред. Г.В.Самсонова. -

М.: Металлургия, 1969. - 456 с. 56.0 квантовой природе снижения порога пробоя газов лазерным УФ излучением / В.К.Клинков, А.В.Назаркин, Л.В.Норинский и др. // Письма в Журнал технической физики. - 12октября 1987. - Т. 13, вып. 19. - С. 1186-1190.

57.Гришин Ю.М., Козлов Н.П., Тлатов А.Г. Оптический пробой газовой атмосферы при воздействии излучения на металлы в отсутствие интенсивного поверхностного испарения // Физика и химия обработки материалов. - 1990. - №3. -С. 33-38.

58.Смирнов Б.М. Процессы в расширяющемся и конденсирующемся газе // Успехи физических наук. - 1994. - Т. 164, № 7. - С. 665-703.

59.Митчнер М., Кругер Ч. Частично ионизованные газы. - М.: Мир, 1976. - 496с.

60.Арцимович Л. А., Сагдеев Р.З. Физика плазмы для физиков. - М.: Атомиздат, 1979.

- 320 с.

61.Взаимодействие поверхности с плазмой ее паров после окончания лазерного импульса / В.М.Батенин,И.И.Кшшу1овский,А.И.Ко6ьшянский и др. // Теплофизика высоких температур. - 1990. -Т. 28, № 6. - С. 1093-1100.

62.0пачко И.И., Шевера B.C. Исследование взаимодействия излучения лазера на парах меди с поверхностью твердого тела // Процессы элементарных взаимодействий в атомах: Сб. Статей. -УГУ, Ужгород, 1985. - С. 189-198. 63.Industrial applications of high-power copper vapor lasers / B.E.Warner, C.D.Boley, J.J.Chang and an. // Pulsed Metal Vapour Lasers: NATO ASI Series, August 6-10, 1995.

- Kluwer, Netherlands, 1996. - P. 331-346.

64.Справочник физических величин / Под ред. И.К.Кикоина. - М.: Атомиздат, 1976. -1008 с.

65.Бункин Ф.В., Прохоров A.M. Использование лазерного излучения для создания реактивной тяги // Успехи физических наук. - 1976. - Т. 119, вып. 3. - С. 425-446.

66.Басов Н.Г., Лебо И.Г., Розанов В.Б. Физика лазерного термоядерного синтеза. -М.: Знание, 1988. - 176 с.

67. Лазерная техника и технология: В 7 кн. / Под ред. А.Г.Григорьянца. - М.: Высшая школа, 1987-1988. - Кн. 3: Физические основы технологических лазеров. - 1987. -191 с.

68.Никончук М.О., Пресняков В.А. Исследование образования жидкой фазы при испарительном режиме обработки // Лазерная технология: Сб. докл. / ИФАН ЛитССР. - Вильнюс, 1989. - С. 80. - (Вып. 8).

69.Создание экспериментальной технологической установки на базе импульсного лазера на парах меди с выходной мощностью 20 Вт для прецизионной обработки материалов, используемых в производстве ИЭТ: Отчет о НИР / НПО"ИСТОК"; Руководитель В.П.Беляев; - У25273/5004793. - Фрязино, 1987. - 73 с.

70.Levis R.R., Naylor G.A., Kearsley A.J. Copper vapor lasers reach high power // Laser Focus/Electro-Optics. - April, 1988. - P. 92-96.

71.Kearsley A. J., Knowles M., Foster-Turner R. Copper laser machining of ceramics

// Pulsed Metal Vapour Lasers: NATO ASI Series. - Kluwer (Netherlands), 1996. - P. 353-358.

72.Dickinson G.J., Maddocks I. Exploring high power material processing applications

with copper vapour lasers. // Pulsed Metal Vapour Lasers: NATO ASI Series. - Kluwer (Netherlands), 1996. - P. 347-352.

73.Pini R. Drilling and cutting transparent substrates with copper vapour lasers // Pulsed Metal Vapour Lasers: NATO ASI Series. - Kluwer (Netherlands), 1996. - P. 359-364.

74.Газовая тепловая линза в лазере на парах меди / В.М.Жариков, В.В.Зубов, М.А.Лесной и др. // Квантовая электроника. - 1984. - Т. 11, № 5 (И). - С. 918-923.

75 .Destruction of opaque solid materials using radiation of copper vapour laser for their dimensional treatment / V.S.Aleynikov, V.P.Belyaev, V.M.Zharikov and an. Laser and their applications: IV National Conference and Technical Exhibition with International Participation. - Plovdiv (Bulgaria), 1990. - P. 190.

76.Использование эффектов разрушения непрозрачных твердых материалов излучением ЛПМ с целью их размерной обработки / В.С.Алейников, В.П.Беляев, В.М.Жариков и др. // Лазерная техника и технология: Сб.тезисов докладов отраслевого научно-технического семинара. - Брянск, 1991. -С. 28.

77.Feinstschneiden mit Nd:YAG - und Cu-Lasern / K.Dickmann, E.Dik, V.M.Zharikov и др. // Laser und Optoelektronik. - №28 (1), 1996, s. 52-57.

78.Daurelio G., Dell'Erba M., Cento L. Cutting copper sheets by C02 laser // Lasers & Applications. - March 1986. - P. 59-64.

79.Lee C.S., Goel A., Osada H. Parametric studies of pulsed-laser cutting of thin metal plates // J.Appl.Phys. - August 1985. - № 58 (3). - P. 1339-1343.

80.Lee C.S., Goel A., Osada H. Parametric studies of pulsed-laser cutting of thin metal plates // ICALEO. - 1984. -Vol.44. - P. 86-93.

81. Automated Cu-vapour laser-based setup for dimensional treatment of low thickness materials / V.M.Zharikov, V. V.Zubov, Y.N.Ivanov and an. // Laser and their applications: Сб.тезисов докладов конференции IV National Conference and Technical Exhibition with International Participation, October 23-26,1990. - Plovdiv, Bulgaria, 1990. - P. 188.

82.Жариков B.M., Зубов B.B., Иванов Ю.Н. Макет автоматизированной установки на базе лазера на парах меди и его технологические возможности в области размерной обработки материалов малых толщин // Лазерная техника и технология: Сб.тезисов докладов отраслевого научно-технического семинара. -Брянск, 1991. -С. 66.

83 .Лазерная технологическая установка "Кантата" для размерной обработки диэлектрических материалов / А.Н.Ануфриев, А.Е.Баланин, В.С.Белозеров и др. // Электронная техника: Науч.-техн. сб. / ЦНИИЭ. - М., 1985. - С. 56-60. - (Сер. Электроника СВЧ; Вып. 12 (384).

84.Лазерная технологическая установка для размерной обработки / В.А.Лопота, М.О.Никончук, В.А.Пресняков и др. // Лазерная технология: Сб. докл. / ИФАН ЛитССР. - Вильнюс, 1988. - С. 60-61. - (Вып. 6).

85.Никончук М.О. Эффективность резки в испарительном режиме с помощью лазера на парах меди // Лазерная технология: Сб. докл. / ИФАН ЛитССР. - Вильнюс, 1990. -С. 25-26. -(Вып. 10).

86.Жариков В.М., Зубов В.В. Получение пленки a-Si при помощи лазерного излучения // Письма в Журнал технической физики. - 12 апреля 1992. - том 18, вып.7. - С. 67-68.

87. Application of copper vapour lasers in the production of elertronic parts / V.M.

Zharikov, V.V. Zubov, Yu.I. Ivanov and an. // J.Moscow Phys. Soc. - №7 1997 P 339350.