Исследование пространственно-временных и энергетических параметров излучения импульсно-периодических XeCl- и CO2-лазеров высокого давления тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.05, кандидат физико-математических наук Орлов, Альберт Николаевич

• Орлов, Альберт Николаевич
• кандидат физико-математических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Орлов, Альберт Николаевич

Введение

Глава 1. Формирование лазерного пучка с равномерным распределением интенсивности по сечению и резкими краями

1.1. Неустойчивые резонаторы

1.1.1.Формирование основной моды в неустойчивых резонаторах

1.1.2. Способы достижения П - образного распределения интенсивности лазерного излучения

1 ^.Экспериментальная установка и методика измерений

1.3. Экспериментальные результаты и их обсуждение

1.4. Методика и результаты расчетов

1.5. Оптические аберрации двухзеркального неустойчивого резонатора с несимметричным выводом излучения и наклонными выпуклыми зеркалами

Выводы к главе 1

Глава 2. Исследование энергетических и ресурсных характеристик импульсно -периодического ТЕ ХеС1-лазера с системой регенерации газовой смеси

2.1. Снижение выходной мощности ТЕ ХеС1-лазера в импульсно-периодическом режиме работы и способы ее восстановления

2.1.1. Оптимизация параметров схемы накачки эксимерных лазеров

2.1.2. Методы восстановления мощности излучения импульсно-периодического ТЕ ХеС1- лазера

2.3. Общие характеристики импульсно-периодического ТЕ ХеС1-лазера с системой регенерации газовой смеси

2.4. Результаты экспериментальных исследований и их обсуждение

2.4.1. Увеличение выходного излучения эксимерного лазера при оптимизации соотношения величин накопительной и обострительной емкостей

2.4.2. Разработка методики определения микроколичеств хлористого водорода~

2.4.3. Описание методики регенерации и экспериментальные результаты

Выводы к главе 2

Глава 3. Исследование энергетических и ресурсных характеристик импульсно периодического TEA ССЬ-лазера с системой регенерации

Введение

3.1. Общие характеристики импульсно-периодического TEA СОг-лазера

3.2. Экспериментальное исследование энергетических и ресурсных характеристик импульсно-периодического TEA СОг-лазера

3.2.1. Устойчивый резонатор с несимметричным выводом излучения импульсно-периодического TEA СОг-лазера

3.2.2. Создание и исследование системы регенерации газовой смеси

TEA СОг - лазера с твердотельным катализатором

Выводы к главе 3

Глава 4. Исследование возможности управления интенсивностью излучения ТЕ ХеС1-лазера наносекундными импульсами тока при отражения его от алюминиевой пленки

4.1. Основные закономерности взаимодействия лазерного излучения с отражающей поверхностью

4.1.1. Необратимые изменения в отражательной способности металлов при воздействии на них излучением разной интенсивности

4.1.2. Обратимые изменения коэффициента отражения металлов при воздействии на них лазерным излучением

4.2. Описание экспериментальной установки и методика измерений

4.3. Необратимые изменения отражательной способности алюминиевой пленки и диэлектрического зеркала в результате действий импульсов тока и излучения —

4.3.1. Увеличение отражательной способности алюминиевой пленки в результате действий импульсов тока и излучения

4.3.2. Изменение отражательной способности диэлектрического зеркала в результате действия лазерного излучения

4.4. Обратимые изменения отражательной способности алюминиевой пленки за время действия импульсов тока и излучения

Выводы к главе 4

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование пространственно-временных и энергетических параметров излучения импульсно-периодических XeCl- и CO2-лазеров высокого давления»

К настоящему времени импульсно-периодические эксимерные и СО^-лазеры высокого давления с поперечной накачкой являются наиболее мощными источниками когерентного излучения в ультрафиолетовом и инфракрасном диапазонах спектра [1]. Они находят самое широкое применение в микроэлектронике (осаждение металлических и оксидных пленок [2], импульсный отжиг [3], прямое легирование поверхностных слоев [4 - 9]), фотохимии [10 - 12], разделении изотопов [13], зондировании атмосферы, образовании плазмы и других областях. Однако, несмотря на длительный период исследования и применения этих лазеров в различных технологиях, они по-прежнему обладают целым рядом недостатков. К ним в первую очередь относятся следующее: неоднородность распределения интенсивности в пятне фокусировки лазерного излучения, малый срок службы лазеров, ограниченные возможности по управлению их характеристиками. Дальнейший прогресс в расширении области их применения может быть достигнут лишь при возможности гибкого управления пространственно-временными, энергетическими параметрами излучения эксимерных и углекислотных лазеров.

Однородность распределения интенсивности лазерного излучения важна для многих практических применений. В частности, особые требования к качеству лазерного пучка предъявляют широко развивающиеся в последние годы нанотехнологии. Так, при получении нанопорошков лазерным испарением [14,15 ], образовании наноструктур при воздействии излучения на ниобат лития [16-22 ], нанесении качественных пленок из магнитного материала [23] для записи информации и др., требуется равномерное распределение интенсивности излучения с резкими краями (П-образное распределение) в зоне взаимодействии излучения с материалом. Существующие способы формирования П - образного распределения интенсивности излучения достаточно сложны, неудобны при эксплуатации и не всегда дают желаемый результат [24 ].

В импульсно-периодическом режиме работы газовые лазеры высокого давления с поперечной накачкой также позволяют реализовать высокую среднюю мощность излучения от нескольких ватт до десятков киловатт[1], соответствуя тем самым разным технологическим требованиям. Но в процессе работы в импульсно-периодическом режиме средняя мощность излучения газовых лазеров постепенно снижается, создавая неудобства, в основном, из-за деградации рабочей смеси [25, 26] и загрязнений оптических элементов резонатора [27]. Разработанные к настоящему времени различные системы восстановления газовых смесей основаны либо на вымораживании ненужных примесей, либо на связывании их в высокотемпературных печах с использованием дорогих химических веществ. Системы регенерации рабочей среды газовых лазеров, основанные на применении криогенной техники [28] и высокотемпературных нагревательных [29] элементов сложны, дороги и неудобны при эксплуатации. Поэтому, несмотря на уже имеющиеся системы восстановления газовых смесей, проблема разработки простых систем поддержания состава газовой смеси на одном уровне до сих пор остается актуальной.

В случае импульсно-периодического ТЕ СОг-лазера высокого давления, требование равномерного распределения интенсивности излучения в пучке дополняется еще одним необходимым качеством - энергия в течение импульса излучения должна как можно равномернее распределяться во времени. В противном случае, мощный кратковременный выброс энергии в начале импульса излучения создает плазму на мишени, которая в дальнейшем отражает остальную часть импульса, тем самым значительно снижая эффективность воздействия луча. Чтобы избежать потери энергии излучения при отражении от плазмы, нужно применять специальные резонаторы и различные устройства, увеличивающие длительность импульса излучения, а также выбрать оптимальные давление и состав газовой смеси [26, 30]. Кроме того, для TEA СОг-лазеров также необходимо разработать систему регенерации, не требующую высокотемпературного нагрева.

Широкое применение лазеров в инфракрасной и видимой областях спектра во многом обусловлено возможностью управления параметрами их пучков с помощью различных электрооптических модуляторов типа ячейки Керра, Поккельса. Но в ультрафиолетовой области, в особенности - в вакуумной УФ части спектра электромагнитных излучений к настоящему моменту отсутствуют материалы со свойствами, необходимыми для оптических модуляторов. Эту проблему можно решить, создавая новые материалы, либо преобразованием излучения не при прохождении его через вещество, а при его отражении от поверхности, изменив ее коэффициент отражения различными способами.

Основное внимание в диссертационной работе было уделено решениям перечисленных проблем.

Цель работы. Исследование пространственно-временных, энергетических характеристик импульсно-периодических ТЕ ХеС1- и СОг-лазеров.

Для достижения этой цели необходимо решить следующие основные задачи исследований:

1. Создать ТЕ ХеС1-, СОг-лазеры и исследовать их характеристики с целью улучшения и оптимизации пространственно-временных и энергетических параметров излучения.

2. Исследовать возможность формирования равномерного распределения интенсивности лазерного излучения по сечению пучка с резкими краями.

3.Создать и исследовать системы регенерации: а) газовой смеси ХеС1-лазера без использования криогенной аппаратуры и нагревательных устройств и разработать методику ее восстановления; б) газовой смеси СОг-лазера и разработать методику ее восстановления при относительно невысоких температурах нагрева, используя недорогие твердотельные катализаторы.

4. Исследовать возможность увеличения коэффициента отражения алюминиевой пленки при одновременном воздействии наносекундных импульсов лазерного излучения и тока большой плотности.

Структура и объем работы. Диссертационная работа изложена на 122 страницах машинописного текста, иллюстрируется рисунками, таблицами. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и библиографического списка (159 источников).

Заключение диссертации по теме «Оптика», Орлов, Альберт Николаевич

Выводы к главе 4

1. Показано необратимое улучшение отражательной способности Я алюминиевой пленки до 25% как одновременным воздействием импульсами лазерного излучения и тока, так и отдельно излучением. При дальнейшей оптимизации параметров импульсов тока и излучения можно предположить, что увеличение И. будет значительнее.

2. Одновременное воздействие импульсов лазерного излучения (т = 15 - 30 не, Р ~106 Вт/см2) и импульсов электрического тока () = 107 + 108 А/см2, т = 50 - 120 не) на алюминиевые пленки приводят к обратимым увеличениям коэффициента отражения алюминиевой пленки до 5 - 6%.

Заключение

В настоящей работе представлены результаты экспериментальных и теоретических исследований пространственно - временных, энергетических характеристик излучения импульсно - периодических ТЕ ХеС1 - и СОг - лазеров. Направление и характер проведенных исследований в основном определялись тремя факторами: во - первых -решением исключительно актуальных и фундаментальных научных проблем сотрудниками лаборатории квантовой электроники ИЭФ УрО РАН; во - вторых -чисто технологическими требованиями к качеству излучения эксимерных и угле-кислотных лазеров при их использовании для обработки различных материалов; в-третьих - содержанием НИР по созданию отпаянных эксимерных лазерных систем специального назначения.

В ходе проведенных исследований получены новые экспериментальные и расчетные данные, а также сделаны выводы на основе их сравнения и анализа.

Результаты исследований позволили сделать следующие основные выводы:

1. Формирование одномодового излучения в импульсно-периодическом ХеС1-лазере при длительностях импульса излучения 15 - 30 не невозможно без использования угловых фильтров и ограничения апертуры луча диафрагмами независимо от типа выбранного оптического резонатора.

2. Расходимость W = 1,16 Wд^ф = 1,4x1с4 рад.) получена при использовании самофильтрующего неустойчивого резонатора и достигнута расходимость = 1,5 Wд^ф. = 9.3x10'5 рад.) в случае применения неустойчивого резонатора с несимметричным выводом.

Неустойчивый резонатор с выпуклыми зеркалами и со смещенным выходным зеркалом формирует излучение по расходимости, близкой к дифракционной, при сохранении энергии до ~ 60% в дифракционном керне. Основная часть излучения сосредоточена в квадрате или прямоугольнике со сторонами, отличающимися по длине незначительно.

3. Показано, что при типичных экспериментальных условиях влияние скорости прокачки газа и частоты следования импульсов на расходимость лазерного излучения сравнительно мало. В импульсно-периодическом режиме работы ХеС1-лазера оптические неоднородности в газовой среде, вызванные прокачкой газовой смеси и высоковольтным разрядом накачки, увеличивают расходимость до 7 - 8 %.

4. При использовании устойчивого резонатора с несимметричным выводом луча получено увеличение длительности излучения СОг - лазера до 40 мкс при энергии в импульсе до 160 мДж.

5. Впервые на одной лазерной установке с двухконтурной системой накачки разряда обнаружено два максимума в зависимости энергии излучения от соотношения обострительной емкости С0б к накопительной С„, сильноотличающихся по величине при Соб/С„= 0,06 и Соб/С„= 0,7.

6. Создана и исследована система регенерации газовых смесей ХеС1 лазера, которая обеспечивает эффективную очистку от мелкодисперсных частиц и ряда вредных молекулярных примесей, восстанавливает газовую среду при комнатной температуре без использования криогенной аппаратуры и нагревательных устройств с помощью небольшого количества двух недорогих реагентов и без замены газовой среды.

7. Разработан метод рефрактометрического определения микроколичеств хлористого водорода в газовой фазе эксимерного ХеС1-лазера, основанный на изменении показателей преломления сильноконцентрированных растворов NaOH при введении в них небольших количеств HCl. Предел обнаружения составляет 0,3 мкг, минимально определяемая концентрация — HCl Зх10~5 % масс. Продолжительность анализа 5-7 мин.

8. Создана и исследована система регенерации газовых смесей С02-лазера, позволяющая восстанавливать газовые смеси при относительно невысоких температурах нагрева на основе использования недорогих твердотельных катализаторов ИКТ-12-9 и ИК-12-11. Их применение позволяет стабилизировать мощность излучения лазера на первоначальном уровне.

9. Разработан метод формирования П - образного распределения интенсивности излучения по сечению пучка при его фокусировке, основанный на использовании геометрических аберраций в неустойчивом резонаторе с несимметричным выводом излучения. Для осуществления этого метода необходимы следующие условия: 1) угловая расходимость лазерного излучения W < 3 W диф ; 2) отсутствие оптических элементов, ограничивающих апертуру лазерногопучка, между выходным зеркалом резонатора и коллимирующей оптической системой; 3) оптические элементы коллими-рующей системы должны находится на одной оптической оси с лазерным пучком.

10. В ходе проведенных экспериментов обнаружен эффект обратимого увеличения коэффициента отражения алюминия до 5 - 6% при пропускании тока высокой плотности и предложено качественное объяснение этого явления.

Результаты, представленные в настоящей работе, открывают возможность дальнейших исследований.

Во-первых, в результатах исследований по формированию равномерного распределения интенсивности лазерного излучения с резкими краями были приведены оценочные расчеты величины астигматизма. Для строгого обоснования предложенного метода получения П - образного распределения интенсивности излучения необходимо решить задачу формирования электромагнитного поля в неустойчивом резонаторе с несимметричным выводом излучения с учетом основных видов аберраций.

Во-вторых, при проведении экспериментальных исследований по увеличению отражательной способности алюминиевой пленки за время действия наносекундных импульсов излучения и тока нами получены результаты беэ учета толщины оксидной пленки образцов. Для получения более полной картины процессов, происходящих в системе «металл + оксидная пленка» при пропускании импульсов тока плотностью до 100 МА/см и S воздействии наносекундных импульсов лазерного излучения мощностью до 10 МВт/см нужно провести исследования с постоянным контролем толщины как алюминиевой, так и оксидной пленки.

Следует особо подчеркнуть, что разработку нового метода по формированию равномерного распределения интенсивности лазерного излучения по сечению пучка с резкими краями невозможно было бы осуществить без высокоточного трехкоординатного стола с электронным блоком управления от ЭВМ. С помощью прецизионного трехкоординатного стола нами были проведены исследования распределения интенсивности лазерного пучка на разных расстояниях от коллимирующей системы с точностью до микрона при перемещении держателя образца в одном направлении.

В заключении автор выражает глубокую благодарность: научному руководителю профессору, доктору физ.-мат. наук Осипову В.В. за поддержку и помощь при проведении исследований, обсуждения и написания работы; Каширину В.И.

- за консультации по оптическим системам, составление программы по расчету распределения интенсивности излучения в фокальной и близфокальной областях; Лисенкову В.В.

- за помощь при объяснении увеличения отражательной способности алюминиевой пленки при воздействии импульсов тока наносекундной длительности; Соломонову В.И и Журавлевой В.П. - за полезные обсуждения по оптическим аберрациям в оптических системах; Никифорову A.B. - за помощь в проведении экспериментов по СОг - лазеру; Кро-паневу А.Ю. - за консультацию, обсуждения результатов исследований по восстановлению рабочей смеси лазера и предоставлении химических реагентов для системы регенерации XeCl - лазера ; Тонкачеву В. И и Гвоздкову А. Н. - за предоставленные образцы для проведения исследований по отражению алюминиевых пленок.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Орлов, Альберт Николаевич, 2007 год

1. СОг-усилитель с большой апертурой / В.В. Апполонов и др.. // Квантовая электроника.-1987.-Т.14,№1.-С. 220-221.

2. Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений. М.: Наука, 1981.-257 С.

3. Naiay J. Excimer laser annealing of ion-implanted silicon / J. Naiay etc. // J. Appl. Phys.- 1984. Vol. 55, N 4. - P. 1125 - 1130.

4. Electrical properties of laser chemically doped silicon / T.F. Deutsch etc. // 1981. - Vol. 39,N 10.-P. 825-827.

5. Ibbs R.G. Ultra-violet laser doping of silicon / R.G. Ibbs, M.L. Uoyd // Opt. and Laser Techn. -1983. N 2. - P. 36 - 39.

6. Efficient Si solar cells by laser photochemical doping / T.F. Deutsch etc. //Appl. Phys. Lett.- 1981. Vol. 38, N 3 . - P. 144 - 146.

7. Deutsch T.F. Application of Excimer laser to simicondustor processing/ T.F. Deutsch // PTOC. Intern. Conf. Austria. July 1984, Springer-Verlag. P. 239 - 251.

8. Metall-silicon reaction using pulsed excimer and ruby laser / E.D. Anna etc.//Proc. Intern. Conf. Austria. July 1981, Springer-Verlag.- P. 370 374.

9. Sejka J. /Ultraviolet (193 nm) laser induced oxygen exchage and bulk diffusion in gallium arsenide native oxides / J. Sejka, J. Perriere, R. Srinivasa //Appl. Phys. Lett. -1985. Vol. 46, N 8.-P. 773-775.

10. Metal film removal and pattering using a XeCl laser / J.E. Andrew, P.E. Dyer. R.D. Greenough, P.H. Kly //Appl. Phys. Lett. 1983. - Vol. 43, N 11. - P. 1076 - 1078.

11. Koren G. Emission spectra and etching of polymers and graphite irradiated by excimer laser / Koren G., Yeh J.T.C. // J. Appl. Phys. 1984. - Vol. 56, N 7. - P. 2120 - 2126.

12. Excimer laser projection photoetching / M. Latta, R. Moore, S. Rice, K. Jain // J. Appl. Phys. -1984. Vol. 56, N 2. - P. 586 - 589.

13. Хартфорд А. Лазерная очистка веществ / А. Хартфорд, Дж. Кларк / Применение лазеров в спектроскопии и фотохимии / Под ред. И.А. Семиохина. М.: Мир, 1983. - С. 213 -231.

14. Laser synthesis of nanopowders / V.V. Osipov etc. // Laser Physics. 2006. - Vol. 16, N 1. -P. 116-125.

15. Formation of Self-similar Surface Nanoscale Domain Structures in Lithium Niobate Caused by Pulse Laser Irradiation / V.Ya. Shur etc. // The 8th Russia /CIS/Baltic/Japan Symposium on Ferroelectricity: abstract book. Tsukuba, 2006. - P. 91.

16. Self-similar Nano-domain Structures in LiNbC>3 Caused By Laser Irradiation / V.Ya. Shur etc. // The 9th International Symposium on Ferroic Domains and Micro- to Nanoscopic Structures: abstract book. Dresden, 2006. - P. 224.

17. Formation of self-assambled Nano-domain Structures in LiNbCb Caused by Lser Irradiation / V.Ya. Shur etc. // The 8th European Conference on Applications of Polar Dielectrics: abstract book. Metz, 2006.-P. 294.

18. Self-similar Nano-scale Surface Domain Structures in Lithium Niobate: Formation by Laser Irradiation / D.K. Kuznetsov etc. // The 5th International Seminar on Ferroelastic Physics-Voronezh, 2006 .-P. 130.

19. Поверхностные самоподобные нано-доменные структуры в LiNbCb индуцированные лазерным облучением / В.Я. Шур и др. // Оптика и спектроскопия конденсированных сред: тезисы конференции. Краснодар, 2006. - 1 С.

20. Самоподобные нано-доменные структуры в LiNbOj индуцированные лазерным облучением / В.Я. Шур и др. // Нелинейные процессы и проблемы самоорганизации в современном материаловедении: тезисы 6-го международного семинара Астрахань, 2006.

21. Magnetic properties of Рез04 thin films grown on different substrates by laser ablation / M.L. Parames, Z. Viskadourakis, M.S. Rogalski, J. Mariano, N. Popovici, J. Giapintzakis, O. Conde // Appl. surf. sci. 2007. - Vol. 15, iss. 5. - P. 8201 - 8205.

22. Получение пучка с равномерным распределением интенсивности в СОг-лазере с обобщенным конфокальным резонатором / В. Турин, В.А. Епишин, В.А. Маслов, И.М. Милитинский, В.А. Свич, А.Н. Топков // Квантовая электроника. -1998. Т. 25, №5. - С. 424-428.

23. Веденов А.А. Характеристики лазерного излучения импульсно-периодического СОг лазера с замкнутым газовым циклом / А.А. Веденов, С.В. Дробязко, М.М. Корзинкин // Квантовая электроника. -1980. Т.7, № 6. - С. 1186 - 1190.

24. О причинах снижения мощности импульсно-периодического ХеС 1 -лазера в процессе работы / В.Ю. Баранов и др. // Квантовая электроника. 1983. - Т. 10, № 11. - С. 2336 -2340.

25. Industrial Eximer Lasers: Continuous Operation and Proven Applications / Lindsay Austin, Dirk Basting, Hans-Jurgen Kahiert, Wolfgang Muckenheim, Urich Rebhan // SPIE. Gas Laser Technology, 1988. - Vol.894. - P. 3 - 8.

26. Kutschke K. 0. Rare gas recovery systems for rare gas halide lasers / K. 0. Kutschke, P. A. Hackett, and C. Willis // Rev. Sci. Instrum. 1981. - Vol. 52, N 11. - P. 1655 - 1656.

27. A closed-cycle gas recirculating system for rare-gas halide Eximer lasers / M. Philp etc. // Appl. Phys. Lett. 1978. - Vol. 32, N 5. - P. 291 - 292.

28. Girard A. The effects of the insertion of a CW low-preasure CO2 laser into a TEA CO2 laser cavity / A. Girard // Opt. Commun. 1974. - Vol. 11, N 4. - P. 346 - 351.

29. Григорянц A.T. Основы лазерной обработки материалов.-M.: Машиностроение,1989.-304 С.

30. Self-filtering unstable Resonator Operation of XeCl Eximer Laser / Boffa V. etc. // JEEE J. Quant. Electron. 1987. - Vol. 23, N.8. - P.1241 - 1244.

31. James D. High magnification unstable resonator excimer laser / D. James, T. McKee, W. Skrlac // IEEE J. Quant. Electron. 1979. -Vol. 15, iss. 5. - P. 335 - 336.

32. Иванов Н.Г. Повышение яркости излучения ХеС1-лазера с апертурой 20 см. / Н.Г. Иванов, В.Ф. Лосев. Препринт ИСЭ СО РАН. - Томск, 1994, N2.-14 С.

33. Технологический СОг-лазер мощностью 3кВт с высоким качеством излучения / А. И. Иванченко, В.В. Крашенинников, А. Л. Смирнов, В.Б. Шульятьев // Квантовая электроника. 1994. - Т. 21, № 7. - С. 643 - 646.

34. Ананьев Ю.А. Оптические резонаторы и лазерные пучки / Ю.А. Ананьев М.: Наука,1990.-264 С.

35. Gobbi P.G. A novel unstable resonator configuration with a self filtering aperture / P.G. Gobbi, G.S. Reali // Opt. Comm. 1984. - Vol. 52, iss. 3. - P. 195-198.

36. Siegman A.E. Unstable optical resonators / A.E. Siegman // Appl. optics. 1974. - Vol. 13, N 2. -P.353 -367.

37. Detailed optical characterization of a near diffraction limited xenon fluoride laser / C. Lon-dono etc. // IEEE J. Quant. Elektron. 1988. - Vol. 24, N 12. - P. 2467 - 2475.

38. Fulghum S.F. Transient refractive index measurements in XeF laser gas mixtures / S.F.Fulghum, D.W. Trainor, C.H. Appel // IEEE J. Quant. Elektron. 1989. - Vol.25, N 5. - P. 955-962.

39. Климков Ю.А. Прикладная лазерная оптика / Ю.А. Климков. М.: Машиностроение, 1985.-С.61.

40. Формирование основной моды излучения ИПЛ ХеС1-лазера и уменьшение ее расходимости / В.В.Осипов, А.Н. Орлов, К.В.Баянов, В.Ф.Лосев // Оптика атмосферы и океана.-1998.- Т. 11, №2-3.-С. 100-103.

41. Характеристики излучения ХеС1-лазера с неустойчивым резонатором и несимметричным выводом излучения / В.В.Осипов, А.Н. Орлов, В.И.Каширин, В.И.Соломонов,

42. A.B. Коротаев // Квантовая электроника. 1999. - Т. 28, №2. - С. 157 - 160.

43. Осипов В.В. Изменение характеристик излучения ХеС1-лазера после ее фокусировки /

44. B.В. Осипов, А.Н. Орлов, А.И. Липчак // Лазерные технологии 98: тезисы докладов VI Международной конф. - Шатура, 1998. - 2 С.

45. Звелто О. Физика лазеров / О. Звелто. М.: Мир, 1979. - 373 С.

46. Тарасов Л. В. Физика процессов в генераторах когерентного оптического излучения / Л. В.Тарасов. М.: Радио и связь, 1981. - 440 С.

47. Быков В. П. Лазерные резонаторы / Быков В. П., Силичев О. О. М.: Физматгиз, 2004. -320 С.

48. Получение пучка с равномерным распределением интенсивности в СОг-лазере с обобщенным конфокальным резонатором / В. Турин и др. // Квантовая электроника. -1998.-Т. 25, №5.-С. 424-428.

49. Иванов Н. Г. Формирование минимальной расходимости излучения в ХеС1-лазере с апертурой 12 х16 см / Н. Г. Иванов, В. Ф. Лосев // Квантовая электроника. 1996. - Т.23, №9.-С. 611-615.

50. Промышленное применение лазеров / Под ред. Г. Кебнера. М.: Машиностроение, 1988.

51. Wagner M. High-performance laser beam shaping and homogenization system for semiconductor processing / M. Wagner, H.D. Geiler, D. Wolff // Measurement Science and Technology. -1990.-Vol. l,iss. ll.-P. 1193-1201.

52. Veldkamp W.B. Beam profile shaping for laser radars that use detector arrays / W.B. Veld-kamp, C.J. Kastner // Appl. Opt. 1982. - Vol. 21, iss. 2. - P. 345.

53. Парыгин B.H. Оптическая обработка информации / B.H. Парыгин, В.И. Балакший. -М.: МГУ, 1987.

54. Сухоруков А.П. Проблемы управления пространственной структурой световых пучков / А.П. Сухоруков, В.А. Трофимов // Итоги науки и техники. Сер. Управление пространственной структурой оптического излучения,-М.: ВИНИТИ, 1990. Т. 1. - С.71.

55. Визнюк С.А. О выпрямлении распределения интенсивности гауссовых пучков асферическими линзами / С. А. Визнюк, А.Т. Суходольский // Квантовая электроника. 1990 . -Т. 17,№2.-С. 214-217.

56. Geary J.M. Data analysis in fiber optic testing of cylindrical optics / J.M. Geary // Opt. Eng. 1989.-Vol. 28.-P. 859.

57. Благодатова Н.Б., Гамолина O.B., Осипенкова M.B. Тезисы докладов

58. VIII всес. конф.«Фотометрия и ее метрологическое обеспечение». М., 1990 . - С. 187.

59. Сакян A.C. Преобразование гауссовых пучков с помощью пространственно-неоднородного светоотделителя / A.C. Сакян // Квантовая электроника. 1989 . - Т. 16, №13.-С. 613-616.

60. Chao S.H. Theoretical analysis of stable and unstable aspherical laser cavities / S.H. Chao, D.L. Sheali // Appl.Opiics. 1988 . - Vol.27. - P. 75 - 79.

61. Никитенко А.Г. Формирование негауссова профиля интенсивности в лазере с неоднородными зеркалами / А.Г. Никитенко, Ю.В. Троицкий // Квантовая электроника. 1982. -Т. 9, №8. -С. 1600- 1607.

62. Матизен Ю.Э. Получение негауссовых световых пучков в лазере с выходным зеркалом, имеющим плавную амплитудную неоднородность / Ю.Э. Матизен, Ю.В.Троицкий // Квантовая электроника. 1986.-Т. 13.-№7. -С. 1437- 1441.

63. Graded-phase mirror resonator with a super-gaussian output in a CW-CO2 laser / R.V. Van Neste etc. // IEEE J. Quant. Elektron. 1994. - Vol.30, N 11. - P. 2663 - 2669.

64. Матизен Ю.Э. Получение пучка с равномерным распределением интенсивности в лазере с внутрирезонаторным неоднородным свветоотделителем / Ю.Э. Матизен, Ю.В. Троицкий // Квантовая электроника. 1989. - Т. 16, №3. - С. 604 - 609.

65. Матизен Ю.Э. Управление профилем выходного пучка лазера с помощью неоднородного интерфотометра / Ю.Э. Матизен, Ю.В. Троицкий // Квантовая электроника. 1988. -Т. 15, №1.- С. 208-211.

66. Сравнительный анализ резонаторов одномодовых лазеров / Вахитов Н.Г., Исаев М.П., Кушнир В.Р., Шариф Г.А. // Квантовая электроника. 1987. -Т. 14, №8. - С. 1633 - 1637.

67. Кропанев А. Ю. Характеристики импульсно-периодического ХеС1-лазера с системой регенерации газовой смеси / А. Ю. Кропанев, А. Н. Орлов, В.В. Осипов // Квантовая электроника. 1996. - Т.23, №3 . - С. 225 - 228.

68. Захаров В. П. Малоапертурные импульсно периодические электроразрядные лазеры с плазменными электродами и высокой частотой повторения импульсов : дис. докт. физ.-мат. наук. - Самара, 1998.

69. Phillips Е. A. Off axis unstable laser resonator: operation / E. A. Phillips, J. P. Reilly, D. B. Northam//Appl.Opt.- 1976.-Vol. 15,N9.-P. 2159-2166.

70. Слюсарев Г.Г. Теория оптических систем / Г.Г. Слюсарев.- 2-е изд. М., 1981.

71. Борн М. Основы оптики / М. Борн, Э. Вольф. М.: Наука, 1973. - 720 С.

72. Расходимость излучения электроразрядного ХеСЬлазера в импульсно-периодическом режиме / В.Ю. Баранов, и др. // Квантовая электроника. 1988. -Т. 15 , №9. - С. 1712 -1718.

73. Слюсарев Г.Г. Методы расчета оптических систем / Г.Г. Слюсарев. M.-JL: Машиностроение, 1963. -670 С.

74. Каширин В.И. Универсальная асферическая поверхность / В.И. Каширин. 1985. -Деп. в ВИНИТИ 26.12.84,8358-84 РЖ Физ., i 3, ЗЛ570.

75. Персональный компьютер "ZS-SPECTRUM". Прикладная графика / М.: Инфорком, 1993.

76. Попов Г.М. Современная астрономическая оптика / Г.М.Попов. М.: Наука, 1988.

77. Ландсберг Г. С. Оптика / Г. С. Ландсберг . М.: Физматгиз, 2003. - 848 С.

78. Губель Н.Н. Аберрации децентрированных систем / Н.Н. Губель. -Л., 1975.- 272 С.

79. Ануфрик С.С. Влияние параметров LC-контура на энергию генерации ХеС1-лазера / С.С. Ануфрик, К.Ф. Зноско, А.Д. Курганский // Квантовая электроника. 1989. - Т. 16, №11.-С. 2228-2231.

80. Электроразрядный эксимерный Хе-С1-лазер с длинным импульсом генерации / В.В. Атежев и др. //Квантовая электроника. 1991.-Т. 18.-С. 560-562.

81. Хирамацу М. Компактный и надежный Хе-С1-лазер с автоматической предионизацией / М. Хирамацу, Т. Гото // ПНИ. 1986. - №4. - С. 18 - 23.

82. Efficient and compact discharge XeCl laser with automatic UV preionization / M. Kenzo, T. Yuzo, H. Toshifimi, S. Tokuzo // Rev. Sci. Instrum. 1985. - T. 58, N 2. - P. 201 - 203.

83. Industrial Eximer Lasers: Continuous Operation and Proven Applications / Lindsay Austin, Dirk Basting, Hans-Jurgen Kahiert, Wolfgang Muckenheim, Urich Rebhan // SPIE, Gas Laser Technology. 1988. - Vol. 894. - P. 3 - 8.

84. Tennant R. /Control of contaminants in XeCl lasers / R. Tennant // Laser Focus. P. 66-68.

85. Газовые лазеры / Под ред. И. Мак-Даннели и У. Нигена; пер. с англ.-М.: Мир, 1986 С. 391 -393.

86. О причинах снижения мощности импульсно-периодического XeCl-лазера в процессе работы / В.Ю. Баранов и др. // Квантовая электроника. 1983. - Т. 10, № 11. - С. 2336 -2340.

87. Фрумина Н. С. Хлор / Н. С. Фрумина, Н. Ф. Лисенков, М. А. Чернова. М: Наука, 1983.- 190 С.

88. Ланоба И. С. Активные среды эксимерных лазеров / И. С. Ланоба, С. И. Яковенко / Квантовая электроника. 1980. - Т.7, №4. - С. 677 - 719.

89. Lifetime extension of XeCI and KrCl lasers with additives / T. J. McKee, D. J.James, W. S. Nip, R. W. Weks // Appl. Phys. Lett. 1980. - Vol. 36, N 12. - P. 943-945.

90. United States Patent №4661963, МПК4 HOIS 3/223. Recovery system for xenon chloride laser /Chi-Sheng Liu et. al., Westinghouse Electric Corp., Pittsburgh, Pa. -№788,301 ; Field Okt. 17.1985 ; Date of Patent Apr. 28.1987. P. 4.

91. Орлов A.H. Импульсно-периодический ХеС1-лазер с системой регенерации газовой смеси/ А.Н.Орлов, В.В.Осипов, А.Ю. Кропанев // Импульсные лазеры на переходах атомов и молекул (ИЛПАМ-95): материалы междунар. конфер. Томск. - 1995.

92. Osipov V.V. TEA СО2 and eximer lasers with high specific output / V.V.Osipov, V.V. Lis-enkov, and A.N. Orlov // Gas Lasers-Recent Development and Future Progress. Moskow, July 2-6,1995.-P. 12.

93. Орлов A. H. Влияние характеристик объемного разряда на энергию излучения им-пульсно-периодического ХеС1-лазера / А. Н.Орлов, В.В. Осипов, А.Ю.Кропанев // VII конференция по физике газового разряда: тез. докл. Самара, 1994. - 2 С.

94. Способ регенерации газовой среды ксенонхлоридного лазера и система ее осуществления: пат. 2097890 Рос. Федерация / Орлов А.Н., Кропанев А.Ю., Осипов В.В.; заявитель и патентообладатель ИЭФ УрО РАН; зарегистрирован 27.11.97. 5С.

95. Орлов А. Н. Рефрактометрическое определение микроколичеств хлористого водорода в газовой фазе / А. Н. Орлов, А. Ю. Кропанев, Е. А. Чуксина // Заводская лаборатория.- 1994,-№9.-С. 14-15.

96. Орлов А.Н. Оптико-акустический метод определения НС1 в газовой фазе/ А.Н. Орлов, В.В.Никифоров Деп. в ВИНИТИ 19.02.96, № 513 - 696.

97. Макаров М.К. Устойчивость самостоятельного электрического разряда накачки экси-мерных лазеров: дис. канд. физ.-мат. наук / Макаров Максим Константинович. Томск, ИСЭ СО РАН, 1993.-89 С.

98. Гороновский И. Т. Краткий справочник по химии / И. Т. Гороновский, Ю. Назаренко, Е. Ф. Некряч // Киев: Наукова думка, 1987. 646 С.

99. Устойчивость самостоятельного разряда в эксимерных смесях / Ю.И. Бычков, Пантелеев В.П., А.Суслов, А.Г. Ястремский // Физика плазмы.- 1989 Т. 15, вып.З - С. 330-334.

100. Гельмуханов Ф.Х. Светоиндуцированная диффузия газов / Ф.Х. Гельмуханов, A.M. Шалагин // Письма в ЖЭТФ. 1979. - Т.29, №12. - С.773 - 776.

101. Price Н. Т. High repetition rate sealed CO2 TEA laser usingheterogeneous catalysts / H. T. Price, S. R. Shaw // NASA Tech. Rep.- 1987,- N 87,- P. 20529.

102. Scattering and chlorine absorption in discharge-pumped XeCI excimer lasers / H. -J. Weig-mann etc. // Appl. Phys. B. 1991. - vol. 52, N4. - P. 262 - 265.

103. Conference on Lasers and Electro-optics, Technical Digest Series / Y. Kawakubo, S. Oqura, R. Sasaki, Y. Kubota, A. Miki. Washington, 1989. - Vol. 7. - P. 102.

104. Stark D. S. A compact sealed pulsed C02 TEA laser / D. S. Stark, P. H. Cross, H. Foster // IEEE J. Quant. Elektron. 1975. - Vol. QE-11. - P. 774 - 778.

105. Месяц Г.А. Импульсные газовые лазеры. / Г.А. Месяц, В.В. Осипов, В.Ф. Тарасенко-М.: Наука, 1991.-272 С.

106. Cobine J.D. Gaseous conductor theory and engineering application / J.D. Cobine. N.Y.: Dover, 1941.-P. 177- 181.

107. Bruce F.M. Calibration of uniform-field spark gap for high volume measurement atpower frequencies / F.M. Bruce //J. Inst. Electr. Eng. 1947. - Vol. 94, N 4. - P. 138 - 149.

108. Harrison J.A. A computer study of uniform-field electrodes / J.A. Harrison // Brit. J. Appl. Phys.- 1967.-Vol. 18, № 11.-P. 1617-1627.

109. Felici N.J. Lei surfaces a champ electrique constant / N.J. Felici // Rev. Gen. Electr. 1950. -Vol. 59,N11.-P. 479-501.

110. Чанг Т. Дж. Улучшение профиля электродов, применяемых для создания однородного поля в лазерах с поперечным разрядом и в других областях / Т. Дж. Чанг // ПНИ. 1973. -Т. 44, №4.-С. 43-46.

111. High-power СО2 later with graphite electrodes / M. Kasamatsu etc. // IEEE J. Quant. Electron. 1982. - Vol. 18, N 2. - P. 173 - 175.

112. Mesyats G. A. Compact CO2 lasers operating in the pulsed repetitive mode /G. A. Mesyats , V.V. Osipov, V.M. Orlovsky // Proc. Intern. Conf. "Laser ' 88". Lake Tanoe: STS press: McLean, 1989.- P. 343-346.

113. Mesyats G. A. Pulsed Gas Lasers / G. A. Mesyats, V.V. Osipov, V. F. Tarasenko // SPIE Optical Engineering Press. Bellindham. Wash., 1995. - P. 272.

114. Theoretical operational life study of the closed-cycle transversely excited atmospheric CO2 laser / H. Hokazono, M. Obara, K. Midorikawa, H. Tashiro // J. Appl. Phys. 1991. - Vol. 69, N 10.-P. 6850-6868.

115. Catalyst for long-life closed-cycle C02 laser / D. R Schryer, B. D. Sidney, 1. M. Miller, R. V. Hess, G. M. Wood, G. Batten // NASA Tech. Rep. 1987. - N 87.- P. 20532.

116. Price H. T. High repetition rate sealed CO2 TEA laser usingheterogeneous catalysts /Н. T. Price, S. R. Shaw // NASA Tech. Rep.- 1987.- N 87.- P. 20529.

117. Catalyzed recombination of CO and O2 in sealed CO2 TEA laser gases at temperatures down to 27° С / D. S. Stark and M. R. Harris // J. Phys. E: Sci. Instrum. - 1983. - Vol. 16, N 6. - P. 492-496.

118. Macken J. A. CO2 laser performance with a distributed gold catalyst / J. A. Macken, S. K. Yagnik, M. A. Samis // IEEE J. Quant. Elektron. 1989. - Vol. 25. - P. 1695 -1703.

119. Uchida Y. Effects of H2 and CO additives on the O2 accumulation in the TEA C02 laser / Y.Uchida, S. Okuyama, S. Sato, and T. Goto // Japan, J. Appl. Phys. 1990. - Vol. 29, N 7. - P. 1266-1269.

120. Marchetti J. R. Sealed, miniaturzed. corona-preionized, high-repetition-rate TEA CO2 laser using hydroges buffered gas mixtures / J. R. Marchetti, E. Penco, and G. Salvetti // IEEE J. Quant. Elektron. 1985. - Vol. QE-21. - P. 1766 - 1771.

121. Изменение характеристик импульсно-периодического лазера в процессе работы/ Беляков И.И., Богданов П.И., Осипов В.В., Тельнов В.А. // Лазерная техника и опто-электроника. 1991. - № 3. (59). - Сер. 11. - С. 56.

122. Horasono Н. Theoretical Analysis of the CO2 Molekule Decomposition and Contaminant Yield in Transversely Exited CO2 Laser Discharge / H. Horasono, H. Fujimoto H. / J. Appl. Phys. 1987. -Vol. 62, N5.-P. 1585-1594.

123. Исследование характеристик системы регенерации газовой смеси С02-лазера с твердотельным катализатором / В.В.Осипов, А.В. Никифоров, А.Н. Орлов, В.А.Садыков, JI.A. Исупова//Оптика атмосферы и океана. 1997. - Т. 10, №11- С. 1302-1305.

124. TEA СОг-лазер с системой регенерации газовой смеси / В.В.Осипов, А.В. Никифоров, А.Н. Орлов, В.А. Садыков, Л.А.Исупова // Приборы и техника эксперимента-1998.-№2.-С. 110-113.

125. Osipov V.V. Space Discharge and Gas Lasers / V.V.Osipov, V.V. Lisenkov, A.N. Orlov // Laser Physics.-2006.-V. 16, N1.-P. 1-12.

126. Никифоров B.B. Импульсно-периодический ТЕ СОг-лазер с плавноперестраиваемой добротностью резонатора и длительным импульсом излучения / В.В.Никифоров, А.Н. Орлов // Оптика атмосферы и океана.- 1995. Т. 8, № 11. - С. 1622 - 1625.

127. Никифоров В.В. Импульсно-периодический ТЕ СОг-лазер с перестраиваемыми длительностью и энергией излучения / В.В.Никифоров, А.Н. Орлов, В.В.Осипов // Приборы и техника эксперимента. 1995. - № 6. - С. 99 - 102.

128. Малогабаритный СО2-лазер с высокой частотой следования импульсов / В.А. Визирь, В.В. Осипов, В.А Тельнов, Г.М. Хамидулин // Квантовая электроника. 1988. - Т. 15, №6. -С.1256.

129. Stark D. A compact sealed pulsed С02 TEA laser / D. Stark, P. Cross, H. Foster //IEEE J. Quant. Elektron. 1975. - Vol. 11, iss. 9. - P. 774 - 778.

130. Plasma chemistry of the closed-cycle 1kHz transversely excited atmospheric CO2 laser with an efficient catalytic CO2 regeneration / H. Hokazono etc. // IEEE J.Quant. Electron. 1992. -Vol. 28, N8.-P. 1792-1797.

131. Плазменно-химические явления при окислении ванадия под действием лазерного излучения / В.И. Бойко и др. // Краткие сообщения по физике. 1982. - Т.З, № 9- С.49 -55.

132. Твердые тела под давлением / Под ред. Пола В. И. Варшауера Д. М.: Мир, 1966. -524 С.

133. Физико химические свойства окислов / Под ред. С. В. Самсонова. - М., Металлургия, 1978.

134. Термоэлектрические явления при окислении ванадия под действием лазерного излучения / Ф.В. Бункин и др. // Квантовая электроника. 1982. - Т. 9, № 9. - С. 1848 - 1850.

135. Ивлев И.В. Взаимодействие импульсного лазерного излучения с приповерхностным слоем электронов эмиссии в присутствии магнитного поля / И.В.Ивлев, М.А.Яковлев // ЖТФ. 1995. - Т.65, вып. 4. - С. 142 - 149.

136. Ивлев И.В. Взаимодействие излучения с приповерхностным слоем термоэлектронов и эффект отрицательной электропроводности. / И.В. Ивлев, К.Б. Павлов, М.А.Яковлев // ЖТФ. -1994. Т.64, вып. 9. - С. 50 - 59.

137. Осипов В.В. Отражательная способность алюминиевой пленки при воздействии импульсов тока и лазерного излучения // В.В.Осипов, А.Н. Орлов, В.В. Лисенков / Оптика атмосферы и океана. 2004. - Т. 17, № 2-3. - С. 206 - 208.

138. Осипов В.В. Исследование отражательной способности алюминиевой пленки при одновременном воздействии импульсов тока и лазерного излучения / В.В.Осипов, А.Н. Орлов, В.В. Лисенков // Письма в ЖТФ. 2004. - Т. 30, вып. 9. - С. 33 - 37.

139. Способ очистки оптических поверхностей: пат. 2119217 Рос. Федерация / Осипов

140. B.В., Орлов А.Н., Царапкин В. В.; заявитель и патентообладатель ИЭФ УрО РАН; за-явл. 16.10.96; зарегистр. 16.10.98. 2 С.

141. Орлов А.Н. Изменение отражательной способности алюминиевой пленки в результате воздействия мощных наносекундных импульсов тока и лазерного излучения /А.Н. Орлов, В.В.Царапкин, А.Н.Гвоздков // Физика и химия обработки материалов 1998-№31. C. 26-29.

142. Физика тонких пленок / под ред. Г. Хааса и Туна; перевод с англ. Т. 2 - М: Мир, 1967.-С. 306.

143. Либенсон М. П. Учет влияния температурной зависимости оптических постоянных металла на характер его нагрева излучением ОКГ / М. П. Либенсон, Г. С. Романов, Я. А. Имас //ЖТФ. 1968 . - Т. 38, вып. 7 - С. 1116 - 1119.

144. Гуревич Г. Л. Воздействие излучения окг на тонкие пленки / Г. Л. Гуревич, В. А. Муравьев // ФХОМ . 1973 . - №1 . - С. 4 - 8.

145. Термохимическое действие лазерного излучения / В. II. Вейко, Г. А. Котов, М. Н. Либенсон, М. II. Никитин //ДАН СССР. 1973. -№ 3. - С. 587 - 590.

146. Болотин Г. А. О температурной зависимости отражательной способности металлов / Г. А. Болотин. // Оптика и спектроскопия. 1965. - Т. 28, вып. 4 . - С. 746 - 747.

147. Нагревание окисляющегося металла излучением СОг-лазера / В. Л. Володькина, К.И. Крылов, М. Н. Либенсон, П. Т. Прокопенко //ДАН СССР. 1973. - Т. 210, №1. - С. 66 -69.

148. Либенсон М. Н. Нагрев и разрушение тонких пленок излучением ОКГ / М. Н. Либенсон // ФХОМ . 1968. -№ 2. - С. 3 - 11.

149. С. Д. Пудков. Изменение коэффициентов отражения меди и алюминия при высоких температурах / С. Д. Пудков // ЖТФ. Т. 47, вып. 3. - С. 649 - 653.

150. Арзуов М.И. Исследование кинетики нагрева металлов в окислительной среде излучением непрерывного СОг-лазера / М.И. Арзуов, В.И. Конов, С.М. Метелев // Физика и химия обработки материалов. 1978. - № 5. - С. 19 - 23.

151. Динамический метод измерения оптических и диффузных констант окисных пленок / М.И. Арзуов, Ф. В. Бункин, Н. А. Кириченко, В. И. Конов, Б. С. Лукъяпчук // Письма в ЖТФ. -1978. Т. 27, вып. 4. - С. 230 - 234.

152. Влияние диффузии и растворения кислорода в металле при изменении его оптических свойств при нагреве излучением / A.M. Бонч-Бруевич и др. // Письма в журнал технической физики. 1978. - Т. 4, вып. 15. - С. 921 - 926.

153. Влияние эксимерного состава на оптические свойства сплавов при импульсном нагреве излучением / А. Г. Акимов, A.M. Бонч Бруевич, А.П. Гагарин, А.Г. Дорофеев, М.Н. Либенсон, B.C. Макин, С. Д. Пудков // Письма в ЖТФ. - 1980. - Т.6, вып. 16. - С. 1017.

154. Взаимодействие лазерного излучения с веществом. / А. М. Прохоров, И. Урсу, В. И. Иванов, И. Н. Михэилеску. М.: Наука, 1988. - 537 С.

155. Изменение отражательной способности металлов за время действия импульсов ОКГ / A.M. Бонч-Бруевич, Я.А. Имас, Г.С.Романов, М.Н. Либенсон, Л.Н.Мальцев // Письма в ЖТФ. -Т. 38, вып. 5. С. 851 - 855.

156. Вершинин Ю.Н. Электронно-тепловые и детонационные процессы при электрическом пробое твердых диэлектриков / Ю.Н. Вершинин. Екатеринбург, УрО РАН, 2000. -258 С.

157. Haas G. Optical Constants and Reflectance and Transmittance of Evaporated Aluminum in the Visible and Ultraviolet. / G.Haas, J.E.Waylons / J. Opt. Soc. Amer. 1961. - Vol. 51, N 7. -P. 719-722.

158. Соколов А. В. Оптические свойства металлов. / А. В. Соколов. M.: Гос. изд. физ.-мат. литературы, 1961.-464 С.