Исследование эффективности низкотемпературных радиационно-технологических процессов при создании кремниевых прецизионных стабилитронов, сверхвысокочастотных и силовых диодов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, кандидат технических наук Дренин, Андрей Сергеевич

  • Дренин, Андрей Сергеевич
  • кандидат технических науккандидат технических наук
  • 2013, Москва
  • Специальность ВАК РФ05.27.01
  • Количество страниц 156
Дренин, Андрей Сергеевич. Исследование эффективности низкотемпературных радиационно-технологических процессов при создании кремниевых прецизионных стабилитронов, сверхвысокочастотных и силовых диодов: дис. кандидат технических наук: 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах. Москва. 2013. 156 с.