Формирование излучения в XeCl лазерной системе с использованием процесса ВРМБ тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.05, кандидат физико-математических наук Панченко, Юрий Николаевич

• Панченко, Юрий Николаевич
• кандидат физико-математических наук
• 2002

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Панченко, Юрий Николаевич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ВРМБ ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ПАРАМЕТРАМИ ИЗЛУЧЕНИЯ ЭКСИМЕРНЫХ ЛАЗЕРОВ

1.1 Использование ОВФ при ВРМБ для улучшения расходимости излучения.

1.2 Использование ВРМБ для формирования короткой длительности импульса излучения.

1.3 Характеристики излучения эксимерного лазера в резонаторе с ВРМБ зеркалом.

1.4 Формирование высококогерентного излучения в задающем генераторе на молекуле ХеСГ.

ГЛАВА 2. АППАРАТУРА И МЕТОДИКИ ЭКСПЕРИМЕНТОВ

2.1 Электроразрядные лазеры.

2.2 Задающий генератор.

2.3 Лазерные системы.

2.4 Кюветы и оптические элементы.

2.5 Методики измерений.

ГЛАВА 3. ОСОБЕННОСТИ BP УФ ИЗЛУЧЕНИЯ В НЕЛИНЕЙНОЙ СРЕДЕ

3.1 Условия развития ВРМБ и ВТР излучения ХеС1 лазера в алифатических углеводородах.

3.2. Особенности ОВФ при BP излучения ХеС1 лазера.

3.3 Влияние двухфотонного поглощения на длительность рассеянного излучения.

3.4.Фото диссоциация молекул гептана при взаимодействии с УФ излучением.

ГЛАВА 4. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ОВФ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ИЗЛУЧЕНИЯ С ДИФРАКЦИОННОЙ РАСХОДИМОСТЬЮ

4.1 Исправление искажений волнового фронта излучения в оптическом тракте лазерной системы.

4.2 Влияние неоднородности активной среды на расходимость усиливаемого излучения.

4.3 Формирование дифракционной расходимости излучения в режиме однопроходового усиления.

ГЛАВА 5. УПРАВЛЕНИЕ СПЕКТРАЛЬНЫМИ И ВРЕМЕННЫМИ ПАРАМЕТРАМИ ИЗЛУЧЕНИЯ С ПОМОЩЬЮ ВРМБ

5.1 Использование ВРМБ для повышения контраста излучения.

5.2 Спектральная селекция излучения.

5.3 Повышение качества излучения в резонаторе с ВРМБ зеркалом.

5.4 Формирование короткой длительности импульса излучения ХеС1 лазера при

ВРМБ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Формирование излучения в XeCl лазерной системе с использованием процесса ВРМБ»

Первые сообщения о получении генерации излучения в лазерах на галогенидах благородных газов появились в 1975 г. К настоящему моменту времени эксимерные (эксиплексные) лазеры являются наиболее мощными источниками когерентного УФ излучения. Это позволяет использовать их в целом ряде приложений, таких как: фотолитография, разделение изотопов, воздействие на вещество, нелинейная оптика, медицина и др. Для большинства применений требуется не только определенный уровень энергии излучения, но и его высокое качество (наличие высокой степени пространственной и временной когерентности). В то же время, ряд особенностей этих лазеров, а именно: слабосвязанный или разлетный нижний терм эксимерных молекул, высокий коэффициент усиления активной среды (g0 ~ 0.1 см"1), и малая длительность импульса генерации (10-20 не) существенно усложняют формирование высококогерентного излучения в режиме свободной генерации. Например, выходное излучение ХеС1 лазера с резонатором Фабри-Перо имеет ширину спектральной линии Дул ~ 30 см"1, угловую энергетическую направленность -3-10 мрад.

Применение различных типов дисперсионных элементов в резонаторе позволяет улучшить качество излучения, но приводит к значительному снижению выходной лазерной энергии. Один из наиболее распространенных способов получения мощного высококогерентного УФ излучения заключается в формировании качественного пучка в задающем генераторе и дальнейшее его усиление в лазерных каскадах. Однако при этом сложно сформировать дифракционную расходимость излучения, особенно для широкоапертурных усилителей, поскольку мешают интенсивные потоки усиленного спонтанного излучения (УСИ) и неоднородности в оптическом тракте.

Использование нелинейной среды в лазерной системе позволяет существенно снижать интенсивность УСИ и компенсировать оптические неоднородности за счет эффекта обращения волнового фронта (ОВФ). Наиболее часто используют эффект ОВФ, возникающий при вынужденном рассеянии Манделылтама-Бриллюэна (ВРМБ). В основе физического механизма ОВФ при ВРМБ, лежит преимущественное усиление в поле накачки фазосопряженной волны. Однако при ВРМБ из спонтанного шума стартуют волны с различными волновыми фронтами, поэтому необходимо выбирать такие условия, при которых происходит дискриминация усиления необращенных компонент. В ранее проводимых исследованиях по ОВФ при ВРМБ в основном использовалось излучение Nd-лазера и было показано, что для эффективного осуществления ОВФ необходимо иметь излучение близкое к монохроматическому и неоднородное распределение интенсивности в области взаимодействия.

Первые сообщения о применении ОВФ при ВРМБ для улучшения расходимости излучения эксимерных лазеров появились 1981г. [1, 2]. Однако, до настоящего времени данный метод пока не нашел широкого распространения из-за низкой эффективности вынужденного рассеяния (BP). Кроме того, мнения разных авторов относительно факта реализации ОВФ и его механизма весьма противоречивы и не однозначны. В одних работах, исследующих BP широкополосного излучения, сообщается о наличии ОВФ [4, 6-10], в других говорится об его отсутствии [2, 11, 12].

Таким образом, к началу данной работы 1990г. не было полной ясности о возможности ОВФ излучения эксимерных лазеров, также не были найдены условия получения высокой эффективности вынужденного рассеяния.

При ВРМБ, кроме ОВФ, в процессе встречного BP возможна компрессия импульса излучения эксимерных лазеров [19-22]. Однако существующие на данный момент теоретические модели компрессии не позволяют однозначно ответить на вопрос о минимальной длительности импульса. В экспериментах оптимальные условия формирования минимальной длительности импульса и получения высокой эффективности перекачки энергии из пучка накачки в стоксов сигнал зачастую различаются.

Целью настоящей работы являлось исследование процессов формирования излучения ХеС1 лазера с высокой спектральной яркостью методами, основанными на использовании ВРМБ.

Основным методом исследования в работе являлся физический эксперимент, который включал в себя измерение энергетических, временных, спектральных, поляризационных и пространственных параметров лазерного и рассеянного излучения, для ряда изучаемых вопросов проводились также численные и оценочные расчеты.

Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, заключения и приложения. В первой главе дан краткий обзор работ, посвященных методам получения в эксимерных лазерах, работающих в режиме генератора, узкополосного излучения с расходимостью, близкой к дифракционному пределу, представлены полученные на настоящий момент результаты по применению ВРМБ для

Заключение диссертации по теме «Оптика», Панченко, Юрий Николаевич

Основные результаты и выводы работы можно сформулировать следующим образом:

1. Обнаружено, что при использовании гептана (С7Н16) в качестве нелинейной среды, накачка которой осуществляется излучением ХеС1 лазера с шириной спектральной линии, находящейся в диапазоне Av = (0.01-0,2) см"1 порог ВРМБ достигается при интенсивности накачки 107 Вт/см2. Максимальный коэффициент отражения нелинейной среды для малой ширины спектральной линии Av = 0,01 см"1 составляет 80 % в области интенсивности накачки 109 Вт/см2. При увеличении ширины линии накачки максимальный коэффициент отражения нелинейной среды снижается, так для Av = 0.2 см"1. Rorp ~ 20 %. При

10 ^ увеличении интенсивности накачки до Ю'и Вт/см" и более коэффициент отражения ВРМБ снижается при любой ширине линии накачки.

2. Экспериментально выявлено, что процесс вынужденного теплового рассеяния (ВТР) создает нелинейную среду с большим коэффициентом отражения до 90 %. Также обнаружено, что при ВТР в широком диапазоне интенсивностей накачки от 1010 Вт/см2 до ЗхЮ12 Вт/см", а также в диапазоне Av = (0,01-0.7) см"' обращение волнового фронта не происходит.

3. Показана возможность получения ОВФ при ВРМБ для излучения накачки с широкой спектральной линией до 24 см"' или длительностью импульса более 40 не при условии, что в качестве нелинейной среды используется среда, в которой под действием излучения накачки не происходит фото диссоциация молекул, например SFb.

4. В пучке ХеС1 лазера диаметром 75 мм с дифракционной расходимостью, искаженном до (р < 20срл при прохождении оптического тракта, методом ОВФ при ВРМБ были скомпенсированы фазовые аберрации и восстановлен волновой фронт с качеством ОВФ г) > 0,9.

5. Экспериментально получено высокое увеличение контраста излучения XeCi лазера с 10 до 106 путем использования селективных свойств ВРМБ.

6. Достигнуто временное сжатие импульса ХеС1 лазера с 20 не до 1 не с помошыо процесса ВРМБ. При этом эффективность по энергии составляла 50 %. а сжатый импульс излучения сохранял дифракционную расходимость.

7. Экспериментально показано, что в электроразрядном ХеС1 усилителе с апертурой активного объема 2x4 см при длительности импульса возбуждения 300 нс и мощностью накачки 250 кВт/см"1, в смеси Ne-Xe-HCl - 1800:10:1 при давлении Р = 2 атм, активная среда не вносит искажений в волновой фронт усиливаемого пучка, имеющего дифракционную расходимость 3,7x10° рад.

8. Экспериментально показано, что использование ОВФ для компенсации макро- и микро неоднородностей в активной среде ХеС1 усилителя с длительностью импульса возбуждения 300 не малоэффективно, поскольку основные искажения волнового фронта обусловлены амплитудными неоднородностями за счет роста усиления или поглощения части лазерного пучка.

9. Разработан электроразрядный ХеС1 задающий генератор со следующим!! параметрами:

В заключении автор считает своим приятным долгом выразить глубокую признательность своему научному руководителю, зав. лабораторией газовых лазеров ИСЭ СО РАН, д.ф.-м.н. В. Ф. Лосеву за помощь в постановке задач и обсуждении результатов, д.ф.-м.н. профессору Ю. И. Бычкову за постоянную поддержку работы, а также Н. Г. Иванову, С. Е. Коваленко, В. Е. Прокопьеву и другим сотрудникам лаборатории, участвовавших в проведении отдельных экспериментов и их обсуждении. объем активной среды. коэфф. усиления малого сигнала длительность импульса накачки мощность накачки. энергосъем с активной среды. энергия лазерного пучка. диаметр выходного пучка. длительность генерации. ширина спектральной линии. степень поляризации пучка. расходимость пучка. контраст излучения.

0.5x2x65 см;

0,1 см"': 200 не: 1 МВт/см3: 2,1 Дж/литрхатм; 1 мДж; 1,4 мм; 50 не; 0.003 см"1; 0.97;

5.2x10"4 рад (ф = 1,04фл): . 103.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В настоящей работе рассмотрен ряд вопросов, посвященных формированию высококогерентных импульсов излучения в ХеС1 лазерах и лазерных системах. Наиболее подробно изучена возможность применения процесса ВРМБ для управления пространственными, временными и спектральными характеристиками излучения.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Панченко, Юрий Николаевич, 2002 год

1. Саго R. G., Gower М. С. Phase conjugation of KrF laser radiation // Opt. Lett. 1981. Vol.6. №. l.P. 557-559.

2. Phase conjugation and image-retaining reflection of KrF laser radiation at 248,6 nm /I. J. Bigio, B. J. Feldman., R. A. Fisher., M. Slatkin //IEEE J. Quant. Electron. 1981. Vol. 17. 12. P. 220-223.

3. M. Slatkin, I. J. Bigio, B. J. Feldman., R. A. Fisher // Opt. Lett. 1982. Vol. 7. №. 3. P. 108-110.

4. Gower M. C., Caro R. G. A phase conjugate Brillouin mirror for KrF laser // Opt. Lett. -1982. Vol. 7. №.4. P. 162-163.

5. Armandillo E., Proch D. Highly Efficient, high-quality phase-conjugate reflection at 308 nm using stimulated Brillouin scattering 11 Opt. Lett. 1983. Vol. 8. P. 523-525.

6. Kurnit N. A., Thomas S. I. Amplification of a phase-conjugate Brillouin mirror to generation of high-quality variable-duration KrF pulses // IEEE J. Quant. Electron. -1989. Vol. 25. №3. P. 421-429.

7. Поповичев В.И., Рагулъский В.В., Файзуллов Ф.С. ВРМБ при широком спектре возбуждающего излучения // Письма в ЖЭТФ. 1974. Т.19. № 6. С. 350-352.

8. ДьяковЮ.Е. //Письма в ЖЭТФ. 1970. T.l 1. С. 362-365.

9. Davis G.M., Gower М.С. Stimulation Brillouin scattering of a KrF laser // IEEE J. Quant. Electron. 1991. Vol.27. № 3. P. 496-501.

10. Filippo A.A., Perrone M.R. Experimental study of stimulated Brillouin scattering by broad band pumping 11 IEEE J. Quant. Electron. 1992. Vol.28. № 9. P. 1859-1863.

11. Особенности ВРМБ одномодовой сфокусированной широкополосной накачки / Глазков. Д.А, Гордеев А.А., Зубарев И.Г., Михайлов С.И. // Квантовая электроника. 1992. Т. 19. №3. С. 286-289.

12. Глазков. Д.А, Гордеев А.А., Зубарев И.Г. и др. О ВРМБ широкополосной сфокусированной накачки // Квантовая электроника. 1993. Т. 29. №1. С. 101-102.

13. Алилшиев С.С., Букреев B.C., Вартапетов С.К. и др. Сужение спектра и ОВФ излучения эксимерного KrF лазера// Квантовая электроника. 1991. Т. 18. №1. С. 89-91.

14. Карпов В.Б. Коробкин В.В, Долголенко В.А. ОВФ излучения эксимерного XeCIлазера при возбуждении различных видов BP света // Квантовая электроника. 199!. Т. 8. №11. С. 1350-1353

15. Single-Stage High-Beam-Quality XeCl Laser with a Phase-Conjugate Brillouin Mirror Sugii M., Okabe M., Watanabe A. and Sasaki К. // IEEE J. Quant. Electron. 1988. Vol.24. № 11. P. 2264-2269.

16. Damzen M.J., Hutchinson H. Laser pulse compression by SBS in tapered waveguides V IEEE J. Quant. Electron. 1983. Vol.19. P. 7-14.

17. Schiemann S., Ubachs W., Hogcrvorst W. Efficient temporal compression of coherent nanosecond pulses in a compact SBS generator-amplifier setup // IEEE J. Quant. Electron. 1997. Vol. 33. P. 358-366.

18. Murray J.R., Goldhar J., Eimerl D., Szoke A. II IEEE J. Quant. Electron. 1979. Vol. 15. P. 342-344.

19. Fedosejev R., Offenberger A. A. Subnanosecond pulses from a KrF laser pumped SF0 Brillouin amplifier // IEEE J. of Quantum Electronics. 1985. Vol.21. P. 1558-1562.

20. Укорочение импульсов излучения KrF лазера I А. А. Алимпиев, В. С. Букреев, С. К. Вартапетов, И. А. Веселовский, В. И. Кусакин, С.В. Лиханский, А. 3. Обидин // КИНО-91. Ленинград. 1991. Т. 3. Р. 151.

21. Tomov I.V., Fedosejevs R., and McKen D.C.D. Fligh-efficiency stimulated Brillouin scattering of KrF laser radiation in SF611 Opt. Lett. 1984. Vol. 9. № 9. P. 405-407.

22. Tomov I.V., Fedosejevs R., and McKen D.C.D. Stimulated Brillouin scattering of KrF laser radiation in Dichloridifluoromethane // IEEE J. Quant. Electron. 1985. Vol. 21. № 1. P. 9-11.

23. Bourne O.L., Alcock A.J. Generation of picosecond pulse duration of XeCl laser by SBS // Optics Lett. 1984. Vol. 9. P. 411-413

24. Bourne O.L., Alcock A.J., Miller I.J. Generation of 50ps 308 nm pulses by means of truncated SBS // Opts. Commun. 1987. Vol. 62. № 2. P. 127-129.

25. Использование усеченного ВРМБ для генерации короткого импульса XeCl лазера / Джиджоев М.С., Краюшкин С.В., Платоненко В.Т. и др., // Квантовая электроника. 1991. Т. 18. С. 313-316.

26. Mclnture I.A., Boyer К., Rhodes С.К. Shortening of KrF laser using SBS /7 Opt. Lett. 1987. Vol. 12. № 11. P. 909-911.

27. Filippo A.A., Perrone M.R. Shortening of free-running XeCl laser pulses by SBS // J. of Modern Optics. 1992. Vol. 39. № 9. P. 1829-1836.

28. Исследование характеристик эксимерного лазера с узкой линией генерации /К.А. Валиев, JI.B. Великое, Г.С. Волков, Д.Ю. Зарослов // Квантовая электроника. 1990. Т. 17. № 1.С. 43-45.

29. McKee T.J. Optical cavity design for long pulse excimer lasers // Appl. Opt. 1991. Vol.30. P. 635-644.

30. Chen J.W., Nassisi V., Perrone M.R. Narrow-linewidth SFUR applied to a XeCI laser /V Opts. Commun. 1989. Vol. 74. №3. P. 211-213.

31. Cooper D., Tankers/ay L.L., Reitjes J. Narrow-linewidth unstable resonator // Opt. Lett.1988. Vol. 13. №7. P. 568-570.

32. Shay T.M., Sze R.C., Moloney M, Figueira J.F. II J. Appl. Phys. 1988. Vol. 64. P. 3758-3760.

33. Грасюк A.3., Ефимовский С.В., Жигалкин А.К. и dp. // Квантовая электроника.1989. Т. 16. С. 411-414.

34. Ефимовский С.В., Жигалкин А.К., Карев Ю.И., Курбасов С.В. II Квантовая электроника. 1993. Т. 20. № 11. С. 1087-1094.

35. WatanabeS., Watanabe М., Endoh A. //Appl. Phys. Letts. 1983. Vol.43. P. 533-535.

36. Efthimiopoulos Т. 11 Appl. Phys. Letts. 1984. Vol. 45. P.346-348.

37. Лесник C.A., Соскин M.C., ХижнякА.И. // ЖТФ. 1979. Т. 34. С. 2257-2260.

38. Зельдович Б.Я., Пилипецкий Н.Ф., Шкунов В.В. Обращение волнового фронта. (М„ Наука, 1985).

39. Беспалов В.И., Пасманик Г.А. Нелинейная оптика и адаптивные лазерные системы. (М., Наука, 1986)

40. Low-divergence operation of a long-pulse excimer laser using a SBS phase-conjugate cavity / M.R. Osborne, W. A. Shroecler, M.J. Damzen, M.H.R. Hutchinson И Appl. Phys. 1989. Vol. 48. P. 351-356.

41. Perrone M.R., Yao Y.B. Phase-conjugated XeCI laser resonator//Opt. Lett. 1994. Vol.19. № 3. P. 1052-1054.

42. Al.Bersev V. V., Pastor A. A., Bulanin M. O. Stimulated scattering of the XeCI and KrF excimer laser radiation by inert gas fluids // Opts. Commun. 1990. Vol. 77. № 1. P. 71-74.

43. Pulse shortening of KrF and ArF lasers in a process of optical breakdown on a liquid surface / S. S. Alimpiev, S. K. Vartapetov, I. A. Veselovsky, S. V. Likhansky, A. Z. Obidin 11 Optcs. Commun. 1993. Vol. 96. P. 71-74.

44. Hawkins R.T., Egger H., Bokor J., Rhodes C.K. A tunable, ultrahigh spectral brightness KrF excimer laser source // Appl. Phys. Letts. 1980. Vol. 36. № 6. P. 391-392.

45. Анохов С.П., Марусий Т.Я., Соскин M.C. Перестраиваемые лазеры. (М. Радио и связь, 1982.)

46. Pacala Т. J., McDermid I.S., Laudenslager J.B. Single longitudinal mode operation of an XeCl laser//Appl. Phys. Lett. 1984. Vol. 45. № 5. P. 507-510.

47. Pacala T.J., McDermid I.S., Laudenslager J.B. Ultranarrow line-width, magnetically switched xenon chloride laser//Appl. Phys. Lett. 1984. Vol.44. P. 658-661.

48. Сужение линии и ОВФ излучения XeCl лазера / С.С. Алимпиев, B.C. Букреев, С.К. Вартапетов и др. II Кратк. сообщение по физике. 1989. № 12. С. 11-13.

49. Егоров А.Л., Коробкин В.В., Серов Р.В. Одночастотный лазер на неодимовом стекле, работающий в режиме модуляции добротности // Квантовая электроника. 1975. Т. 2. №3. С. 513-518.

50. Кудипое И.А., Платопепко В.Т., Слободчиков Е.В. Узкополосный перестраиваемый эксимерный лазер на XeCl // Квантовая электроника. 1990. Т. 17. №5. С. 543-547.

51. Efficient spectral narrowing of XeCl laser / R. Buffa, P. Burlamacchi, R. Salimbeni, M. Matera/П. Phys. D.: Appl. Phys. 1983. Vol. 16. P. 125-128.

52. Armandillo E., Lopatriello V.M., Giuliani G. Single-mode tunable operation of a XeF excimer laser employing an original interferometer 11 Optics Lett. 1984. Vol.9. № 8. P. 327-329.

53. Перестраиваемый XeCl лазер с высокой спектральной яркостью / Б.Ч. Белаш, В.А. Картазаев, С.З. Лшгинский, В.Л. Наумович II Квантовая электроника. 1988. Т. 15. №8. С. 1545-1547.

54. Джиджоев М.С., Краюшкин С.В., Платопепко В. Т. Одночастотный перестраиваемый эксимерный лазер на XeCl // Квантовая электроника. 1990. Т. 17. №5. С. 533-534.

55. Бураков B.C., Бохонов А.Ф., Титарчук В.А. Исследование влияния внутрирезонаторното поглощения на спектр генерации электроразрядного лазера // Доклад АН БССР. 1983. Т. 27. №10. С. 885-888.

56. Люцканов В.Л., Христов Х.Г., Томов И.В. Перестройка частоты генерации газорязрядного XeCl лазера // Квантовая электроника. 1980. Т. 7. № 11. С. 2493— 2494.

57. Sugii M., Ando M., Sasaki К. Simple long pulse XeCl laser with narrow line output / IEEE J. of Qauntum. Electron. 1987. Vol. 23. №9. P. 1458-1460.

58. Partanen J.P., Show M.J. A single-mode KrF laser // Appl. Phys. 1987. Vol. 43. P. 231-237.

59. Баранов В.Ю., Борисов B.M., Степанов Ю.Ю. Электроразрядные эксимерные лазеры на галогенидах инертных газов. (М., Энергоатомиздат. 1988).

60. Электроразрядный XeCl лазер / В.Ф. Тарасенко, B.C. Верховский, А.И. Федоров, Е.Н. Тельманов // Квантовая электроника. 1980. Т. 7. № 9. С. 2039 2041.

61. Бычков Ю.И., Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Экспериментальное исследование эффективности ОВФ пучка ХеС1-лазера при ВРМБ // Квантовая электроника. 1992. Т. 19. №7. С. 688-690.

62. Taylor R.S. Preionization and discharge stability study of long optical pulse duration UV-preionized XeCl lasers 11 Appl. Phys. B. 1986. Vol. 41. P. 1-24.

63. Taylor R.S., Corkum P.B., Watanabe S., Leopold K.E. and Alcock A.J. 11 IEEE J. Quantum Electron. 1983. Vol. 19. № 3. P. 416-425.

64. Osborne M.R., Hutchinson M.H.R. //J. Appl. Phys. 1986. Vol.59. P. 711-713.

65. Иванов Н.Г., Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Степень изменения диаграммы направленности излучения при его усилении в ХеС1-лазерной системе // Квантовая электроника. 2000. Т. 30. № 4. С.325-328.

66. Карапузиков А.И., Макуха В.К., Ражее A.M. Активная синхронизация мод XeCl лазера//Квантовая электроника. 1982. Т. 9. № 1. С. 150-152.

67. Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Влияние неоднородностей активной среды на расходимость излучения длинноимпульсного электроразрядного ХеС1-лазера // Квантовая электроника. 2001. Т. 31. №4. С. 293-297.

68. Kushner M.J. Microarcs as a termination mechanism of optical pulses in electric-discharge-excited KrF excimer lasers 11 IEEE Trans, on Plasma Science. 1991. Vol. 19. №2. P. 387-399.

69. Демьянов A.B., Кочетов И.В., Напартович А.И, Капителли М., Лонго С. //

70. Квантовая электроника. 1995. Т. 22. № 7. С. 673-682. IQ.Leeb W.R. Losses introduced by tilting intracavity etalons // Appl. Phys., 1975. Vol. 6. P. 267-272.

71. Х.Ананьев Ю.А. Оптические резонаторы и проблема расходимости лазерного излучения. (М.: Наука, 1979.)

72. Рагульский В.В. Обращение волнового фронта при вынужденном рассеянии света. (М., Наука, 1990).

73. Климков Ю.М. Прикладная лазерная оптика. (М. Машиностроение, 1985).

74. Максимова Н.Ф. Влияние кривизны преломляющей поверхности на поляризационные параметры излучения // Изв. вузов СССР. Приборостроение. 1982. № 6. С. 78-82.

75. Лазерная система на молекулах ХеС1 с высокой спектральной яркостью/ H.F. Иванов, С.Е. Коваленко, В.Ф. Лосев, Ю.Н. Панченко /7 Оптика атмосферы и океана 1995. Т. 8. № 11. С. 1590-1594.

76. McKee T.J., Fendrykowski S. Long-pulse eximer laser with a variable reflectivity mirror resonator// Appl. Opt. 1993. Vol.32. P. 275-277.

77. Characterization of an unstable Gaussian-reflectivity resonator in a XeCl laser / C. Call, F. Mezzola, С. Pace, M. R. Perrone, P. Rejfir 11 Opt. Commun. 1991. Vol. 81. P. 301-305.

78. Super-Gaussian reflectivity unstable resonator for excimer laser / M. R. Per rone, F. Mezzola, C.Cali, C. Pace //Appl. Phys. Lett. 1991. Vol. 59. P. 1 153-1155.

79. Unstable laser resonator with super-Gaussian mirrors / S. De Silvestri, P. Laporta, V. Magni, O. Svelto // Opt. Lett. 1988. Vol. 13. P. 201-203.

80. Goldhair J., Rapoport W.R., Murray J.R. An injection-locked unstable resonator rare-gas halide discharge laser of narrow linewidth and high spatial quality // IEEE J.Quantum Electron. 1980. Vol 16. P. 235-241.

81. Bigio I. J., Slatkine M. Injection locked unstable resonator eximer laser // IEEE J. Quantum Electronics. 1983. Vol. 19. №9. P. 1426-1436.

82. Bourne O.L., Alcock A.J. A high-power, narrow linewidth XeCl oscillator // Appl. Phys. Lett. 1983. Vol. 42. № 9. P. 777-779.

83. Simonis G.J. II Appl. Phis. Lett. 1976. Vol. 19. № 1. P. 42-44.

84. Борисов В.П., Великанов С.Д., Квачев Д.Д. и др. // Квантовая электроника. 1981. Т. 8. №6. С. 1208-1214.

85. Корниловский И.М., Ражее A.M. Способ изменения биомеханических свойств ротовичной ткани // Авт. Свидетельство № 1781875. 1992. СССР.

86. Bloembergen N. // Appl. Optics. 1973. Vol. 12. P. 661-662.

87. Задающий генератор на молекулах XeCI с малым уровнем фона / Бычков Ю.И., Коваленко С.Е., Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. II Журн. прикл. спектроскопии. 1992. Т. 56. №3. С. 504-507.

88. Рагулъский В.В., Файзуллов Ф.С. Простой метод измерения расходимости лазерного излучения // Оптика и спектроскопия. 1969. Т. 27. № 4. С.707-710.

89. Зайдель А.Н. Элементарные оценки ошибок измерений. (JI., Наука, 1967).

90. ХеС1-лазерная система с выходной апертурой 25x25 см / Иванов Н.Т., Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н., Ястремский А.Г. // Квантовая электроника. 1999. Т. 29. № 1. С. 14-18.

91. Клнмков Ю.М. Прикладная лазерная оптика. (М., Машиностроение, 1985).

92. Григорьянц А.Г., Шиганов И.Н. Лазерная сварка металлов. (М., Высшая школа. 1988).

93. Разработка мощного йодного лазера в Институте физики плазмы в Гарчинге, ФРГ./ Бредерлов Г., Фнлл Е., Фусс В., Хола К., Фольк Р., Витте К.Й II Квантовая электроника. 1976. Т. 3. № 4. С. 906-913.

94. Исследование возможности применения ВРМБ для повышения контраста лазерного излучения / С.Б. Кормер, С.М. Куликов, В.Д. Николаев и dp. II Письма в ЖТФ. 1979. Т. 5. Вып. 4. С. 213-216.

95. Контраст излучения неодимового лазера с использованием ОВФ при ВРМБ / В.М. Гулевич, А.А. Илюхин, В.А. Маслянкин, А.В. Шелоболин // Квантовая электроника. 1982. Т. 9. № 3. С. 537-541.

96. Дьяков Ю.Е. // Кр. сообщения по физике, ФИАН. 1973. Т. 23. № 4. С. 12-13.

97. Поповичев В.И., Рагулъский В.В., Файзуллов Ф.С. ВРМБ при широком спектре возбуждающего излучения // Письма в ЖЭТФ. 1974. Т. 19. Вып. 6. С. 350-355.

98. Stolen R.H., Ippen E.P., TynesA.R. II Appl. Phys. Lett. 1972. Vol. 20. P. 2-64.

99. Аникеев И.Ю., Зубарев И.Г., МихаСшов С.И. // ЖЭТФ. 1983. Т. 4. С. 1677-1679.

100. Napartovich А.Р., Dem'yanov A.V., Deryugiu А.А., Dyatko N.A., Kochetov I.V. / Proc. SPIE. 1992. V. 1625. P. 221-223.

101. Bahr M, Botticher W., Choroba S. The time-dependent development of the macroscopic instability of a XeCl laser discharge // IEEE Trans, on Plasma Science.1991. Vol. 19. №2. P. 369-371.

102. Виноходов А.Ю. Электроразрядный импульсно-периодический ХеС1-лазер. Дисс. канд. физ.-мат. наук. Москва. 1987. С. 128.

103. Коваленко С.Е. Формирование импульсов узкополосного излучения с малой расходимостью в лазере на молекулах XeCl. Дисс. канд. физ.-мат. наук. Томск.1992. С. 102.

104. Влияние неоднородности накачки и усиленного спонтанного излучения на характеристики широкоапертурного XeCl усилителя / А.В. Демьянов, А.А. Дерюгин, Н.А. Дятко и др. // Квантовая электроника. 1990. Т. 17. № 9. С. 11501154.

105. Иванов Н.Г., Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Использование ВРМБ для формирования дифракционной расходимости и повышения контраста излучения в эксимерной лазерной системе // Оптика атмосферы и океана. 2001. Т. 14. № 5. С. 447-454.

106. Иванов Н.Г., Лосев В. Ф., Панченко Ю.Н. Степень изменения диаграммы направленности излучения при его усилении в ХеС1-лазерной системе // Квантовая электроника. 2000. Т. 30. № 4. С. 325-328.

107. Бельдюгин И.М., Галушкин М.Г., Земское Е.М. Распространение пространственно-неоднородного излучения в нелинейных резонансных средах // Квантовая электроника. 1983. Т. 10. №10. С. 2066-2070.

108. Григорьев С.Ф., Заскалько О.И., Кузьмин В.В. Особенности ВРМБ в поглощающих свет средах // ЖЭТФ. 1987. Т. 92. Вып. 4. С. 1246-1255.

109. Кривощеков Г.В., Стунак М.Ф. Одновременное и раздельное возбуждение ВРМБ и ВТР при обращении волнового фронта // Квантовая электроника. 1983. Т. 10. № 10. С. 2071-2075.

110. Lincle von der D., Maier M., Kaizer W. 11 Phvs. Rev. 1969. V. 179. № 1. P. 11 -17.

111. K.B. Грацианов., В.И. Крыжановский., В.В. Любимов и др. Обращение волнового фронта излучения в нелинейных средах. Горький: ИПФ. 1982. С. 143.

112. Влияние теплового самовоздействия на возбуждение ВРМБ в поглощающихсредах / Е.Л. Бубис, В.В. Дроботенко, О.В. Кулагин и dp. // Квантовая электроника. 1988. Т. 15. № 1. С. 147-152.

113. Карпов В.Б. Влияние многофотонного поглощения на вынужденное рассеяние и ОВФ эксимерного XeCI лазера // автореферат диссертации на соискание ученой степени к.ф.-м.н. (Москва, 1992).

114. Антипов О.Л. О влиянии теплового изменения фазы светового пучка на его BP и ОВФ//Квантовая электроника. 1987. Т. 14. №4. С. 728-735.

115. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. (М.Наука.1973).

116. Соколовская А.И., Бреховских Г.Л., Кудрявцева А.Д. Восстановление волнового фронта световых пучков при ВКР света // ДАН СССР. 1977. Т. 233. С. 356-359.

117. Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Длительность стоксова сигнала при ВРМБ излучения XeCI лазера//Квантовая электроника. 1997. Т. 24. № 9. С. 812-814.

118. Davydov М.А., Koslievnikova I.N. Laser-pulse compression by SBS in liquids // Phys. Lett. 1988. Vol. 127. P. 345-346.

119. Марголин А.Д., Шмелев B.M. Тепловая неустойчивость молекулярного газа при поглощении резонансного излучения//Химическая физика. 1982. №5. С. 679-684.

120. Беспалов В.И., Манииши В.Г., Пасманик Г.А. Нелинейная селекция оптического излучения при его отражении от зеркала на ВРМБ // ЖЭТФ. 1979. Т. 77. Вып. 5(11). С.1756-1770.

121. Пасманик Г.А. Воспроизведение волнового фронта сложных сигналов при обратном вынужденном рассеянии //Письма в ЖТФ. 1978. Т. 4. Вып. 9. С. 504-508.

122. Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Особенности вынужденного рассеяния широкополосного излучения ХеС1-лазера // Квантовая электроника. 1995. Т. 22. № 5. С. 473-474.

123. Losev V.F., Panchenko Yu.N. Spectral and spatial selection of XeCI laser radiation by an SBS mirror// Optic Communications. 1997. Vol. 136. P. 31-34.

124. Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Формирование качественного излучения ХеС1-лазера в резонаторе с ВРМБ зеркалом//Квантовая электроника. 1995. Т. 22. № 5. С. 475476.

125. Вращательно-колебательные резонансы в спектрах электронных переходов молекул XeCI / Н.Г. Басов., И.С. Горбань., В.А. Даштычев., Н.Г. Зубрилин., М.П. Черноморец II Доклады АН СССР. 1985. Т. 281. № 1. С. 64-67.

126. Waynant R.W., Eden J.G. Destruction of ground state XeCl molecules by HC1 and rare gas collisions // Appl.Phys.Lett. 1980.Vol. 36. № 4. P. 262-264.

127. Спектроскопия поглощающих примесей электроразрядного XeCl лазера / Е.Б. Берик., А.А. Вилл., В.А. Давыденко., В. Т. Михкельсоо., С.А. Царенко Н Труды ИФ АН ЭССР. Лазерная техника. 1984. Т. 56. С. 53-60.

128. Dane С.В., Neuman W.A., Hackel L.A. High-Energy SBS Pulse Compression // IEEE J.Quantum Electron. 1994. Vol. 30. P. 1907-1915.

129. Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Компрессия импульса излучения XeCl лазера за счет ВРМБ // Квантовая электроника. 1994. Т. 21. № 1. С. 1-2.

130. Временное сжатие импульсов при ВРМБ в газах / В.А. Еорбунов., С.Б. Паперныи., В.Ф. Петров., В.Р. Старцев // Квантовая электроника. 1983. Т. 10. № 7. С. 13861395.

131. Hon D.T. Pulse compression by SBS // Opt. Lett. 1980. Vol.5.№ 12. P. 516-518.

132. Takahasi A., Maeda M., Noda Y. Short generation and compression in XeCl lasers // IEEE J.Quantum Electron. 1984. Vol. 20. № 10. P. 1196-1201.

133. Zheng Cheng-En., Lo D., Lin Shao-Chi. Performance improvement of an X-ray preioized XeCl laser of very small discharge volume // Appl. Phys. В 41. 1986. P. 31-37.

134. Королев Ю.Д., Месяц E.A. Физика импульсного пробоя газов. (М., Наука. 1991).

135. Dreiskemper R., Botticher W. II IEEE Trans, on Plasma Science. 1995. Vol. 23. P. 987990.

136. Басов Н.Г., Зубарев И.Е., Миронов А.Б. и др. // ЖЭТФ. 1980. Т. 79. С. 1678-1686.

137. Сидорович В.Е. И Письма в ЖТФ. 1982. Т. 8. № 10. С. 608-610.

138. A.Yariv. Quantum. Electronics. New York: Wiley. 1967. P. 455-456.

139. Спектральные характеристики эксимера XeCl в диапазоне 300 311 нм. /В.А. Адамович, В.Ю. Баранов, АЛ. Дерюгин и др. // Квантовая электроника. 1986. Т. 14. С. 80-84.

140. Коваленко Е.С. Моды произвольного порядка в неоднородных резонаторах ОКГ // Квантовая электроника. 1976. Т. 3. № 2. С. 433-435.

141. Коваленко С.Е., Лосев В.Ф. Управление излучением XeCl лазера в режимах усиления//Квантовая электроника. 1992. Т.19. № 3. С. 219-221.

142. Боровков В.В., Адроманов А.В., Воронов С.Л. Интерференционные исследования плазмы трехэлектродного XeCl лазера // Квантовая электроника. 1999. Т. 26. № 1. С.19-24.

143. Бычков Ю.И., Суслов А.И., Тинчурин К.А., Ястремский А.Г. Препринт Томский научный центр СО АН СССР. Томск. 1990. № 37.

144. Плотников В.Г., Овчинников А.А. Фото- и радиационно-химическая устойчивость молекул. Реакции мономолекулярного отщепления атома водорода. // Успехи химии. 1978. Т. 47. Вып. 3. С. 444-476.

145. Майер Г.В., Артюхов В.Я., Базыль O.K. и др. Электронно-возбужденные состояния и фотохимия органических соединений. (Н-ск., Наука, СО РАН, 1997).

146. Malliken R. S. Electronic population analysis on LCAO-MO molecular wave functions. I.//J. Chem. Phys. 1955. Vol. 23. №10. P. 1833-1838.

147. Гурвич Л. В., Карачевцев Г. В., Кондратьев В. П., и др. Энергия разрыва химических связей. Потенциалы ионизации и сродство к электрон}'. (М. Наука, 1974).

148. Беллами Л. Инфракрасные спектры молекул. (М., Изд-во иностр. Лит., 1957).

149. Беспалов В.И., Пасманик Г.А. Оптические системы с усилителями яркости. (Горький, Ин-т прикладной физики АН СССР, 1988).

150. СПИСОК РАБОТ, ОПУБЛИКОВАННЫХ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

151. Коваленко С.Е., Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Узкополосный ХеС1-лазер с внутрирезонаторным призменным телескопом // Журн. прикл. спектр. 1990. Т. 52. №4. С. 687-689.

152. Панченко Ю.Н., Коваленко С.Е., Лосев В.Ф. Компактный электроразрядный ХеС1-лазер с высоким качеством излучения // Приборы и техника эксперимента. 1991. №3. С. 150-152.

153. Характеристики излучения лазеров на молекулах XeCl в режимах управления внешним сигналом / Ю.И. Бычков, Н.Г. Иванов, С.Е. Коваленко, В.Ф. Лосев, Ю.Н. Панченко, А.И. Черников // Препринт СО АН СССР. Томск. 1991. №42.

154. Режим йнжекционной синхронизации в мощном ХеС1-лазере / Ю.И. Бычков, Н.Г. Иванов, С.Е. Коваленко, В.Ф. Лосев, Ю.Н. Панченко // Квантовая электроника. 1992. Т.: 19. №2. С. 133-135.

155. Задающий генератор на молекулах XeCl с малым уровнем фона / Ю.И. Бычков, С.Е. Коваленко, В.Ф. Лосев, Ю.Н. Панченко // Журн. прикл. спектр. 1992. Т. 56. № 3. С.499-502.

156. Бычков Ю.И., Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Экспериментальное исследование эффективности ОВФ пучка ХеС1-лазера при ВРМБ // Квантовая электроника. 1992. Т. 19. №7. С. 688-690.

157. Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Компрессия импульса излучения ХеС1-лазера за счет ВРМБ /АКвантовая электроника. 1994. Т. 21. № 1. С. 55-56.

158. Лосев ' В.Ф., Панченко Ю.Н. Особенности вынужденного рассеяния широкополосного излучения ХеС1-лазера // Квантовая электроника. 1995. Т. 22. № 5. С. 473-474.

159. Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Формирование качественного излучения ХеС1-лазера в резонаторе с ВРМБ зеркалом // Квантовая электроника. 1995. Т. 22. № 5. С. 475476.

160. Лазерная система на молекулах XeCl с высокой спектральной яркостью излучения / Н.Г. Иванов, С.Е. Коваленко, В.Ф. Лосев, Ю.Н. Панченко // Оптика атмосферы и океана. 1995. Т. 8. №11. С. 1590-1594.

161. On the spectral brightness of the SRS radiation excited in metal vapors by a XeCl laser/ N.G. Ivanov, S.E. Kovalenko, V.F. Losev, Yu.N. Panchenko and V.E. Prokop'ev II J. of Russian Laser Research. 1996. Vol. 17. №4. P. 401-405.

162. Лосев В. Ф., Панченко Ю.Н. Длительность стоксова сигнала при ВРМБ излучения

163. XeCI лазера// Квантовая электроника. 1997. Т. 24. № 9. С. 812-813.

164. Losev V.F., Panchenko Yu.N. Spectral and spatial selection of XeCI laser radiation by an SBS mirror // Optic Communications. 1997. Vol.136. P. 31-34.

165. Ivanov N.G, Losev V. F., and Panchenko Yu. N. Influence of the optical aberration type on the accuracy of wave front inversion at stimulated Brillouin scattering of a XeCl-laser beam // Atmos. Oceanic Opt. 1997. Vol. 10. №9. P. 646-649.

166. Панченко Ю.Н., Лосев В.Ф. Способ получения узкополосного излучения с малой расходимостью в эксимерном лазере // Патент РФ. № 2077756. 1997.

167. Losev V.F., Panchenko Yu. N. Use of Brillouin scattering in excimer lasers 11 Proceedings of SPIE. 1998. Vol. 3403. P. 46-54.

168. Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Длительность стоксова сигнала при ВРМБ излучения XeCI лазера // Оптика атмосферы и океана. 1998. Т. 11. № 2-3. С. 288-291.

169. Losev V. F., Ivanov N. G., Panchenko Y. N. High quality beam formation in wide aperture excimer lasers and laser systems // Proceeding SPIE. 1998. Vol. 3574. P. 104111.

170. XeCI лазерная система с выходной апертурой 25x25 см / Н. Г. Иванов, В. Ф. Лосев, Ю.Н.Панченко, А.Г.Ястремский // Квантовая электроника. 1999. Т. 29. № 1. С. 15.

171. Лосев В.Ф., Иванов Н.Г., Панченко Ю.Н. Формирование высококогерентного излученния в широкоапертурном эксимерном лазере // Изв. Вузов Физика. 1999. Т.42. № 8. С. 54-57.

172. Иванов Н.Г., Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Степень изменения диаграммы направленности излучения при его усилении в ХеС1-лазерной системе // Квантовая электроника. 2000. Т. 30. № 4. С. 325-328.

173. Иванов Н.Г., Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Формирование лазерных пучков с минимальной расходимостью в УФ-области спектра // Изв. Вузов. Физика. 2000. Т.43. №5. С. 64-68.

174. Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Влияние неоднородностей активной среды на расходимость излучения длинноимпульсного электроразрядного ХеС1-лазера // Квантовая электроника. 2001. Т. 31. № 4. С. 293-297.

175. Иванов H.F., Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Использование ВРМБ для формирования дифракционной расходимости и повышения контраста излучения в эксимерной лазерной системе // Оптика атмосферы и океана. 2001. Т. 14. № 5. С. 447-454.

176. Российская академия наук Сибирское отделение Институт сильноточной электроники1. Зам. д^кт^а-ИС^С^АН1. С.Д.КЬровин /-^•'■ у i •->- ^

177. X "Утверждаю" Замдиректора ИЭФ УрО РАН1. Чл.-kW РАН||1. Щ-t, В.Г.Шпак // 1999г.1. АКТ ВНЕДРЕНИЯ

178. В организации Институте электрофизики УрО РАН Министерства РАН

179. Внедрены Результаты исследований по формированию минимальной расходимости излучения в эксимерном лазере

180. Разработанные в Институте сильноточной электроники СО РАН лабораторией газовых лазеров

181. Месяц и год внедрения март 1998 года.

182. Разработка выполнена группой в составе Иванова Н.Г., Лосева В.Ф., Панченко Ю.М. Научно-технический эффект от внедрения позволяет фокусировать лазерное излучение на мишень с диаметром пятна ~ Юмкм.

183. Уе9 -"i^r-cp Зам.ректора ИПС АН СССР.В. И. Бе с па л о буУ\КТ ВНЕДРЕНИЯ Л.'

184. Институт прикладной физикл АН СССР1. АН СССР ' ~эксимерный лазер "Ш1АН"п количество ЧлЗ .v,0. газовых лазеров1. СОШНЧГ! ''О. Институт прикладной физики АН СССРи ;r;roTorvHT:;s,; : л!пч:;гт::п.-Л.-Г~1. Ме-:я'! л год

185. Шуххх передачи документации: март 1967 г.р;; -,,vnn-.i :: со;к1зе Ьычков Ю.И., Коваленко С.Е., Федоров A./I. ,

186. Верховский B.C., Панченко Ю.Н., Ушакова A.M. , Лосев В.Ф.

187. Ппг; виезрепил рч .л. чогли предпрппти': полулч л-; .^очл-.••■. чффокт :л оллого ллчеллг зpa.-мсра

188. Со:лл;ль;:ын j(1kv,.:-k: л . лпя'.

189. Паупло-гех:кгл.,ллл- ,фф,лг от ■„„■,• расширяет СПбКТралЬНЫЙ ДИЗПаЗРН В ИССЛ6довании 0В5

190. Тсхиико-гкокомнчееп::? чоказ.телп режКМ рабОТЫ ИМПуЛЬСНЫЙ, ЭНбрГИЯ излучения нз ( = ЗОВ ач) 0,1-0,3 Дж, длительность импульса 20*60 не.1. Замечания

191. Настоящий акт елстпслил с;> r'^lil::'oJ?v. хоуис.ллн а составе от ИСЭ СО АН СССРот .НПО АН СССРсок;; аы и о;; \ ;< и мv. гг ■ • г;-— '.- /Бычков Ю.И./ Т^^Г"^— /Пасманик Г.А./

192. Беспалько А.А / / , -г. /Соустсг Л.В. //Цуравьев С.В./и. о. подгний» у ф. и. о. подпись