Электронная структура, оптические и люминесцентные свойства слоев пористого кремния тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Ян, Дмитрий Тхякбонович

  • Ян, Дмитрий Тхякбонович
  • кандидат физико-математических науккандидат физико-математических наук
  • 2002, Владивосток
  • Специальность ВАК РФ01.04.07
  • Количество страниц 145
Ян, Дмитрий Тхякбонович. Электронная структура, оптические и люминесцентные свойства слоев пористого кремния: дис. кандидат физико-математических наук: 01.04.07 - Физика конденсированного состояния. Владивосток. 2002. 145 с.

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Ян, Дмитрий Тхякбонович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ВЗАИМОСВЯЗЬ МОРФОЛОГИИ, СТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ.

1.1. Механизм формирования пористого кремния.

1.2. Морфология и кристаллическая структура пористого кремния.

1.3. Оптические свойства и электронная структура пористого кремния.

1.4. Механизмы фотолюминесценции пористого кремния: эксперимент и теория.

Выводы.

ГЛАВА 2. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ, АППАРАТУРА И МЕТОДИКИ.

2.1. Методы исследования.

2.1.1. Оптическая спектроскопия на просвет и отражение.

2.1.2. Сканирующая электронная микроскопия.

2.1.3. Фотолюминесцентная спектроскопия.

2.2. Экспериментальная аппаратура.

2.2.1. Ячейка для анодного травления и окисления монокристаллического кремния.

2.2.2. Фурье ИК-спектрометр фирмы "Bruker".

2.2.3. Спектрофотометры SPECORD 71IR, SPECORD UV-VIS и МДР-3 спектрофотометр.

2.2.4. Установка для регистрации спектров фотолюминесценции пористого кремния.

2.3. Методы получения пористого кремния и расчета его оптических функций.

2.3.1 Методы получения и окисления пористого кремния.

2.3.2 Расчет оптических функций тонких пленок пористого кремния в рамках двухслойной модели.

2.3.3 Расчет оптических функций пористого кремния из соотношения Крамерса-Кронига.

ГЛАВА 3. МОРФОЛОГИЯ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ СЛОЕВ

ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ.

3.1. Морфология и толщина слоев пористого кремния.

3.2. Оптические функции и параметры зонной структуры тонких слоев ПК в диапазоне энергий 0.1-6.2 эВ.

3.3. Расчет толщины окисла на тонких слоях пористого кремния из данных спектров пропускания.

Выводы по главе.

ГЛАВА 4. ЛЮМИНЕСЦЕНТНЫЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ И ТОЛСТЫХ СЛОЕВ

ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ.

4.1. Люминесцентные свойства тонких окисленных слоев пористого кремнияЮЭ

4.2. Влияние лазерного возбуждения на фотолюминесценцию пористого кремния после анодирования.

4.3. Фотостимулированное анодирование и люминесцентные свойства толстых слоев пористого кремния.

4.4. Модель фотолюминесценции в окисленных слоях пористого кремния.

4.5. Выводы по главе.

Рекомендованный список диссертаций по специальности «Физика конденсированного состояния», 01.04.07 шифр ВАК

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Электронная структура, оптические и люминесцентные свойства слоев пористого кремния»

В настоящее время ведутся интенсивные исследования по совершенствованию полупроводниковых приборов, по применению для них новых материалов. Этот процесс происходит по двум основным направлениям.

Первое из них относится к поиску и исследованию материалов и структур с очень малыми размерами - наноструктур (с размерами от единиц до десятков нанометров). Наука, изучающая такие структуры - наноэлектроника - изучает фундаментальные закономерности, определяет физико-химические особенности формирования наноструктур, их электронные и оптические свойства. Исследования в этой области актуальны в настоящее время для разработки принципов создания систем получения и обработки информации нового поколения, обладающих малыми размерами и большим быстродействием.

Второе направление исследования связано с излучательными свойствами новых полупроводниковых материалов. Разработка устройств на их основе открывает перспективу создания оптоэлектронных структур и систем.

В связи с этим большое внимание в последнее время уделяется исследованию пористого кремния (ПК) - материала, получаемого в результате анодного травления монокристаллического кремния в растворе плавиковой кислоты (HF). Слои ПК представляют собой массив кристаллитов нанометрового размера, разделенных порами. Пористый кремний как материал значительно отличается от исходного кристаллического кремния и характеризуется высоким значением удельного сопротивления, а также высокой химической активностью и большой удельной поверхностью [ 1 ].

Особое внимание посвящено исследованию тонких слоев пористого кремния вследствие обнаруженного в 1990 г. явления сильной фотолюминесценции (ФЛ) в видимой области спектра при комнатной температуре[2]. В настоящее время во многих лабораториях мира проводится исследование излучающих свойств структур, полученных на основе ПК.

Исследования, связанные с поиском материала, являющегося основой технологии электрооптических и волновых устройств и одновременно обладающего свойством фотолюминесценции (ФЛ) и электролюминесценции (ЭЛ) проводились с давнего времени и многими исследователями. В качестве подобных материалов были выбраны полупроводники Ащ - Bv или Ац - Byi, LiNbC>3 или другие материалы.

Однако устройства, изготовленные из этих материалов, не обладают высокими излучательными свойствами по сравнению с аналогичными на основе пористого кремния. Эффективность квантового выхода ФЛ и ЭЛ устройств на основе ПК повышается в 2-4 раза при комнатной температуре [3,4]. К одному из главных преимуществ создания оптических устройств на основе ПК в настоящее время, несомненно, относится высокая степень развития кремниевой технологии в настоящее время в электронной промышленности развитых стран мира. Процесс анодного травления (AT) кремния в растворах плавиковой кислоты[5-8] в достаточной степени технологичен и может быть легко включен в технологию производства микросхем, оптических устройств и т.д. Таким образом, сочетание свойств интенсивной ФЛ и высокой поглощательной способности ПК открывают путь к созданию оптических устройств на основе кремниевой технологии [9-14].

Структура и излучающие свойства ПК, получаемого анодным травлением, зависят от большого числа технологических параметров: типа проводимости, удельного сопротивления и кристаллографической ориентации исходной кремниевой пластины; концентрации кремниевой кислоты, типа растворителя и температуры травящего раствора и режимов травления (плотности тока, длительности процесса, освещенности поверхности пластины) [15,16]. Фактором, влияющим на интенсивность ФЛ ПК, является состояние (степень) окисления поверхности, т.к. это влияет на химическую активность поверхности ПК. Высокие механические свойства слоев ПК и высокое качество окисла, покрывающего внутреннюю поверхность ПК, достигается путем анодного окисления [17]. С помощью процесса последующего анодного окисления (АО) достигается свойство фотолюминесценции (ФЛ) ПК [18-20]. Процедура AT контролируется путем изменения параметров электрохимического процесса: плотности анодного тока, анодного потенциала и времени проведения анодного процесса. В анодно окисленном ПК (АОПК), полученном из пластин кремния n-типа, обнаружен фотоиндуцированный рост люминесценции [21]. В [22] зарегистрирован 18% рост интегральной интенсивности ФЛ и сдвиг максимума спектральной интенсивности ФЛ в коротковолновую область спектра в течение 20 минут облучения образца. Насыщение роста интегральной интенсивности ФЛ наблюдается при более длительной экспозиции. В [23] установлено, что линейный рост интегральной интенсивности ФЛ сопровождается уменьшением концентрации оборванных связей. Таким образом, основным фактором повышения интенсивности ФЛ ПК является воздействие на параметры ФЛ возбуждающего излучения.

В работах [24-26] было исследовано влияние длительного воздействия стационарного возбуждения низкой мощности (в основном, лазерного излучения видимого и ультрафиолетового диапазонов спектра) на интенсивность ФЛ свежеприготовленных образцов ПК, полученных из пластин монокристаллического кремния р-типа. В [27] обнаружено, что ультрафиолетовая засветка образца, люминесцирующего в красной области спектра, вызывает уменьшение ФЛ на 10-20% за 12 часов и сдвиг максимума спектральной интенсивности ФЛ в коротковолновую область спектра. В образце, люминесцирующем в зеленой области спектра, интенсивность ФЛ падает более чем на порядок и также наблюдается сдвиг максимума ФЛ в коротковолновую область спектра. Темп деградации ФЛ увеличивается, если энергия кванта возбуждения превосходит 3.0 эВ. Сделаем некоторые выводы.

К настоящему времени существует необходимость создания квантоворазмерных структур на основе монокристаллического кремния, обладающих высокой интенсивностью излучения в видимой области.

Таким образом, целью работы явилось экспериментальное исследование особенностей электронной структуры, оптических и люминесцентных свойств слоев пористого кремния в зависимости от условий его получения, лазерного воздействия и хранения.

Для достижения этой цели необходимо было решение ряда научных задач, которые и составили содержание данной работы:

1. Исследование морфологии и толщины слоев нанопористого кремния.

2. Исследование оптических функций и электронной структуры слоев нанопористого кремния в зависимости от его толщины

3. Исследование влияния условий анодного окисления на толщину окисла и фотолюминесценцию в тонких слоях нанопористого кремния.

4. Исследование лазерной стимуляции и продолжительности хранения на излучающие свойства слоев нанопористого кремния.

5. Исследование фотостимуляции слоев меза-порисгого кремния в процессе их получения и окисления на излучающие свойства слоев мезапористого кремния.

Научная новизна результатов, полученных автором, заключается в следующем: 1. Исследована морфология и определена толщина слоев ПК, полученной продолжительности травления. Определена зависимость толщины слоев ПК от времени травления, которая отклоняется от линейности.

2. В области прозрачности монокристаллического кремния были рассчитаны оптические функции слоев пористого кремния из данных оптической спектроскопии на отражение и пропускание структуры "пористый кремний -кремний". Скорректирована спектральная зависимость коэффициента отражения пористого кремния в области прозрачности монокристаллического кремния (0.1-1.6 эВ).

3. Проведены расчеты оптических функций пористого кремния ( £i, ег, к, п, а) из данных оптической спектроскопии на отражение с использованием интегральных соотношений Крамерса-Кронига. Определены функции потерь энергии Im(si)"1 и 2 плотности состоянии S2S0® 5 которые отражают сложную энергетическую структуру пористого кремния.

4. Из спектральной зависимости коэффициента преломления от энергий рассчитаны величина бездисперсионного коэффициента преломления ПК п0=2.2 и 4 высокочастотной диэлектрической проницаемости £„=4.84.

5. Определена величина первого межзонного перехода в пористом кремнии. Переход является прямым и имеет величину 1.85-2.0 эВ. Показано, что максимальное поглощение в слоях Г1К с различной толщиной соответствует области энергий 3.23.5 эВ.

6. Из расчета оптических функций слоев пористого кремния с продолжительностью травления 2, 6 и 12 мин. установлено, что с увеличением толщины слоя происходит рост плотности состояний в пористом кремнии.

7. На основании данных оптической спектроскопии на пропускание предложена модель окисления кристаллитов ПК и рассчитана эффективная толщина слоя окисла на их поверхности, которая составила около 1.1 нм.

8. Показано, что увеличение времени анодного травления кристаллического кремния приводит к изменению структуры квантово-размерных объектов от столбов к кластерам с ростом толщины слоя пористого кремния (ПК) от 0.8 до 2.1 мкм. Слои ПК без дополнительной процедуры анодного окисления не обладают люминесценцией в видимой области спектра.

9. Установлено, что образцы анодно окисленного пористого кремния (АОПК) независимо от толщины слоя ПК обладают люминесценцией в видимой области спектра. Структура слоев АОПК, размеры кластеров и поверхностные состояния на границе раздела с окислом определяют люминесцентные свойства анодно окисленных слоев пористого кремния.

10. Предложена модель, объясняющая фотолюминесценцию в анодно окисленном пористом кремнии на основе теории квантового ограничения и учета влияния поверхностных состояний на границе раздела Si02-Si на спектральный состав и интенсивность фотолюминесценции.

11. Показано, что процесс анодного окисления определяется значением поверхностного потенциала. При значении поверхностного потенциала U=1.3 В анодное окисление слоев ПК приводит к существенно большему, по сравнению с соответствующим процессом при U=1.5 В, количеству связей Si-H на границе раздела Si02-Si и расширению спектра ФЛ до 900-950 нм.

12. Обнаружена экстремальная зависимость интенсивности ФЛ от толщины слоя АОПК. Показано, что максимальной фотолюминесценцией обладают слои АОПК (толщина около 1.1 мкм), состоящие из двумерных кремниевых столбов. В слоях АОПК толщиной 1.9 мкм фотолюминесценция имеет меньшую интенсивность и определяется наноразмерными кластерами с большим эффективным размером кристаллитов и количеством и составом связей на границе раздела с окислом.

13. Показано, что кинетика лазерно-стимулированной модификации тонких слоев ПК зависит от условий анодного окисления и определяется количеством Si-H связей на границе раздела Si02-Si, которые имеют низкую энергию разрыва. Увеличение интенсивности ФЛ при длительном лазерном возбуждении определяется плотностью формирующихся связей Si-OH и O-Si-H.

14. Установлено, что длительное хранение образцов АОПК-1.3 В с повышенной плотностью Si-H связей приводит к их разрыву, накоплению оборванных связей на границе раздела Si02~Si и сильному снижению интенсивности ФЛ.

На защиту выносятся следующие научные положения:

1. Апробирована методика получения тонких слоев (0.8 - 2.1 мкм) высокопористого (70-72%) кремния с наноразмерными (3.5-4 нм) кремниевыми столбами, в которых при толщине более 1.5 мкм происходит переход к нанокластерной структуре.

2. Электронная структура и оптические функции тонких слоев высокопористого кремния определяются первым прямым межзонным переходом 1.9-2.0 эВ, максимумом плотности состояний в диапазоне энергий 3.2-3.5 эВ, бездисперсионным коэффициентом преломления по=2.2±0.02 и высокочастотной диэлектрической проницаемости Soo=4.84.

3. Процесс анодного окисления высокопористого кремния с наноразмерными столбами зависит от поверхностного потенциала, величина которого (1.0-1.5 В) определяет состав и плотность поверхностных состояний на границе раздела ПК -Si02.

4. Анодно окисленный высокопористый кремний обладает экстремальной зависимостью интенсивности фотолюминесценции от толщины с максимумом интенсивности для образцов, состоящих из двумерных кремниевых столбов.

5. Кинетика лазерно-стимулированной модификации тонких слоев анодно окисленного пористого кремния зависит от условий анодного окисления и определяется плотностью сформированных Si-H связей, скоростью их разрыва и плотностью формирующихся гидроксильных и кислородосодержащих связей на границе раздела ПК - S1O2.

6. Коротковолновый сдвиг максимума интенсивности фотолюминесценции анодно окисленного высокопористого кремния при хранении связан с уменьшением эффективных размеров столбов (кристаллитов) в результате роста толщины слоя окисла, а кинетика изменения интенсивности фотолюминесценции при хранении зависит от соотношения плотностей и скорости генерации водородных, гидроксильных и кислородсодержащих связей на границе раздела пористы кремний - Si02.

Практическая ценность результатов диссертационной работы:

1. Рассчитаны основные оптические функции тонких слоев пористого кремния на Si(100) и определены параметры их зонной энергетической структуры.

2. Разработана, изготовлена и апробирована ячейка для анодного травления и окисления кристаллического кремния.

3. Разработана установка для регистрации спектров фотолюминесценции в диапазоне 400-1600 нм.

4. Свойство ФЛ ПК при комнатной температуре, обнаруженное для слоев пористого кремния в результате анодного окисления может быть использованы при создании новых оптоэлектронных приборов.

Апробация работы. Основные результаты, вошедшие в диссертацию, докладывались на 2-й Российской конференции по физике полупроводников (Нижний Новгород, Россия, 1996), конференции EMRS (Страсбург, Франция, 1995), 1st Int .Conf. Materials for Optoelectronics (Sheffield, England, 1995), IV и VI Региональных конференциях по физике полупроводниковых, диэлектрических и магнитных материалов (Владивосток, Россия, 2000 и 2002), 2-й Азиатско-Тихоокеанской конференции по фундаментальным проблемам опто - и микроэлектроники (Владивосток, Россия, 2001), 3-й Региональной научной конференции (Благовещенск,

Россия, 2002), 4-й Всероссийской молодежной конференции по физике полупроводников и полупроводниковой оптоэлектронике, Санкт-Петербург, 2002.

Публикации. По материалам диссертации опубликованы 11 печатных работ: 2 статьи в цитируемых российских и международных журналах, 2 статьи в сборниках трудов международных конференций, 7 тезисов докладов.

Личный вклад соискателя. При подготовке и написании всех работ автор лично подготовил и выполнял эксперименты, или принимал участие на всех стадиях получения данных и интерпретации результатов, выполнял теоретические расчеты, участвовал в обсуждении результатов и написании статей.

Достоверность результатов обеспечивалась использованием точной измерительной аппаратуры, стабилизированных источников питания, проверенных экспериментальных методик, повторяемостью результатов с малыми разбросами измеряемых величин, а также согласованностью полученных результатов с известными литературными данными.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав, общих выводов и списка цитируемой литературы. Общий объем диссертации составляет 146 страниц, включая 103 рисунка, 10 таблиц и список литературы из 122 наименований.

Похожие диссертационные работы по специальности «Физика конденсированного состояния», 01.04.07 шифр ВАК

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Ян, Дмитрий Тхякбонович

Выводы по диссертации

1. Исследована морфология тонких (0.8-2.1 мкм) слоев высокопористого (70-72%) кремния (ПК), полученных в одинаковых режимах анодного травления в зависимости от времени травления. Определены средние размеры двумерных столбов (3.5-4 нм) в слоях ПК толщиной до 1.1 мкм и показано, что при толщине выше 1.9 мкм слои ПК подвержены отслаиванию от кристаллического кремния, что коррелирует от структуры ПК в виде двумерных столбов к нанокластерной структуре.

2. Впервые проведены расчеты оптических функций тонких слоев ПК из данных оптической отражательной спектроскопии с использованием интегральных соотношений Крамерса-Кронига и коррекции спектра отражения ПК в ИК-области из данных пропускания и отражения системы ПК - кристаллический кремний. Из спектральной зависимости коэффициента преломления определены величины бездисперсионного коэффициента преломления по=2.2±0.02 и высокочастотной диэлектрической проницаемости 8да=4.84.

3. Из данных функции потерь Im(si)"1 и оптической проводимости (аопт) рассчитана функция плотности состояний в диапазоне энергий 3.2 - 3.5 эВ в слоях с различной толщиной. Установлено, что с ростом толщины слоя ПК происходит уменьшение плотности состояний при заданной энергии.

4. Предложена методика анодного окисления ПК. Показано, что процесс анодного окисления определяется поверхностным потенциалом, от величины которого зависят состав и плотность состояний на границе раздела ПК - Si02. Из данных оптической спектроскопии и предложенной модели окисления рассчитана толщина слоя окисла (1.1 нм), покрывающего двумерные столбы в структуре пористого кремния.

5. Установлено, что образцы анодно окисленного пористого кремния (АОПК) независимо от толщины слоя ПК обладают люминесценцией в видимой области спектра. Структура слоев АОПК, размеры двумерных столбов (кластеров) и состав поверхностных состояний на границе раздела ПК - Si02 определяют спектральный состав и интенсивность фотолюминесценции. Показано, что максимальной фотолюминесценцией обладают слои АОПК (толщина 1.1 мкм), состоящие из двумерных кремниевых столбов с размерами менее 4 нм в диаметре.

6. Установлено, что кинетика лазерно-стимулированной модификации тонких слоев АОПК зависит от условий анодного окисления и определяется количеством Si-H связей на границе раздела ПК - Si02, обладающих низкой энергией разрыва. Увеличение

135 интенсивности ФЛ при длительном лазерном возбуждении определяется плотностью формирующихся Si-OH O-Si-H связей.

7. Длительное хранение тонких слоев АОПК с повышенной плотностью Si-H связей приводит к их разрыву, накоплению оборванных связей на границе раздела ПК - Si02 и сильному снижению интенсивности ФЛ. Длительное хранение тонких слоев АОПК с низкой плотностью Si-H связей и высокой плотностью гидроксильных и кислородсодержащих групп приводит к уменьшению числа оборванных связей на границе раздела ПК - Si02 и увеличению интенсивности ФЛ. Коротковолновый сдвиг интенсивности ФЛ образцов АОПК при хранении связан с уменьшением эффективных размеров столбов (кристаллитов) в результате роста толщины окисла.

8. Освещение при анодном окислении меза-пористого кремния приводит к повышению интенсивности фотолюминесценции в зависимости от длины волны падающего света и его мощности, что связано с увеличением пористости слоев и изменением состава поверхностных состояний. Фотолюминесценция в видимой области спектра образцов мезо-пористого кремния со средним размером кристаллитов 4 мкм может быть объяснена только в предположении существования внутри макрокристаллов нанокристаллитов, разделенных окислом и нанопорами. Уменьшение размеров нанокристаллитов при окислении под воздействием ультрафиолетового излучения приводит к коротковолновому сдвигу максимума интенсивности ФЛ в слоях анодно окисленного меза-пористого кремния. Снижение интенсивности ФЛ высокопористых слоев меза-пористого кремния связано с разрушением его макроструктуры и возникновением плотности оборванных связей на поверхности расколов.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Ян, Дмитрий Тхякбонович, 2002 год

1. W. TheiB. Optical properties of porous silicon // Surf. Sci. Rep. 1997. - Y.29. - P.92-192.

2. L.T. Canham. Visible photoluminescence in porous Si // Appl. Phys. Lett. 1990-V.57. P.1046-1049.

3. C. S. Chang and J. T. Lue. Photoluminescence and Raman studies of porous silicon under various temperatures and light illuminations // Thin Solid Films. 1995. -V.259. P.275-280.

4. S. Billat, F. Gaspard, R. Herino, M. Ligeon, F. Muller, F. Romestain and J. C. Vial. Electroluminescence of heavily doped p-type porous silicon under electrochemical oxidation in the potentiostatic regime // Thin Solid Films. 1995. У.263. -P.238-242.

5. Th. Dittrich, S. Rauscher, I. Sieber and J. Rappich. Preparation of thin nanoporous silicon layers on n- and p-Si H Thin Solid Films. 1996. V.276. -P.200-203.

6. D.Dimova-Malinovska, M. Sendova-Vassileva, N. Tzenov and M. Kamenova. Preparation of thin porous silicon layers by stain etching // Thin Solid Films. 1997. -V.297. -P.9-12.

7. R. Laiho and A. Pavlov. Preparation of porous silicon films by laser ablation // Thin Solid Films. 1995.-V.255.-P.9-11.

8. A. Loni, L. T. Canham, M. G. Berger, R. Arens-Fischer, H. Munder, H. Luth, H. F. Arrand and Т. M. Benson. Porous silicon multilayer optical waveguides // Thin Solid Films. 1996. -V.276. P.143-146.

9. J. Linnros and N. Lalic.A porous silicon light-emitting diode with a high quantum efficiency during pulsed operation // Thin Solid Films. 1996. V.276. - P.155-158.

10. P. Steiner and W. Lang. Micromachining applications of porous silicon // Thin Solid Films. 1995. V.255. - P.52-58.

11. V. Raiko, D.Therich and J.Engelmann. Application of porous siliconin diamond coated silicon emitters // Int. Conf. Nanomeeting-97.Abstracts.Minsk.1997.- P.329-332.

12. Y.E.Babanov, E.Buchin, A.V.Prokaznikov and V.B.Svetovoy. Laser fabrication of light emitting structures based on porous silicon // Int. Conf. Nanomeeting-97.Abstracts.Minsk.1997.- P.238-241.

13. L.Pavesi. Porous silicon based microcavities and light emitting diodes // Int. Conf. Nanomeeting-99.Abstracts.Minsk.1999.- P.337-355.

14. M. Thonissen, M. G. Berger, R. Arens-Fischer, O. Gluck, M. Krtiger and H. Liith. Illumination-assisted formation of porous silicon // Thin Solid Films. 1996. У.276. -P.21-24.

15. S. Hilbrich, W. TheiB, R. Arens-Fischer, O. Gluck and M. G. Berger. The influence of the doping level on the optical properties of porous silicon // Thin Solid Films. 1996. V.276. - P. 231 -234 .

16. B.B. Филиппов, В.П. Бондаренко, П.П. Першукевич. Спектры фотолюминесценции и фотовозбуждения пористого кремния, подвергнутого анодному окислению и травлению // Физ. и техн. полупроводн. 1997. Т.31. -С. 1135-1141.

17. F. Kozlowski, A. Wiedenhofer, W. Wagenseil, P. Steiner and W. Lang. Stability of electroluminescence and photoluminescence of porous silicon // Thin Solid Films. 1996,-V.276. P.284-286.

18. Th. Dittrich, H. Flietner, V. Yu. Timoshenko and P. K. Kashkarov. Influence of the oxidation process on the luminescence of HF-treated porous silicon // Thin Solid Films. 1995. V.255. - P.149-151.

19. C. Delerue, M. Lannoo, G. Allan and E. Martin. Theoretical descriptions of porous silicon // Thin Solid Films. 1995. V.255. - P. 27-34.

20. J. L. Gavartin, С. C. Matthai and I. Morrison. The influence of the spatial structure on the electronic properties of porous silicon: quantum chemical study // Thin Solid Films. 1995. V.255. - P.39-42.

21. L.Pavesi, M.Ceschini and H. E.Roman. Recombination dynamics in porous silicon // Thin Solid Films. 1995. V.255. - P.67-69.

22. Е. Шатковский, Я.Верцинский. Фотолюминесценция в пористом кремнии при интенсивном лазерном возбуждении // Физ. и техн. полупроводн. 1997. Т.31. - С.593-596.

23. V. Grivickas and J. Linnros. Free-carrier absorption and luminescence decay of poroussilicon//Thin Solid Films. 1995. V.255. - P. 70-73.

24. M. Schoisswohl, H. J. von Bardeleben, V. Bratus and H. Miinder. Defects in luminescent and non-luminescent porous Si //Thin Solid Films. 1995. V.255. -P.163-166.

25. V. Petrova-Koch and T. Muschik. The relation between the visible and the infrared luminescence bands in porous silicon. Comparison with amorphous Si alloys // Thin Solid Films. 1995. V.255. - P.246-249. 27

26. A.Uhlir, Formation of porous silicon //Bell Syst.Tech. 1956. -V.35. -P.333-336.

27. A. Bsiesy, J.C. Vial, F.Gaspard, R.Herino, M.Ligeon, F.Muller and R.Romestain. Mechanism of formation of porous silicon on Si(100) // Surf.Sci. 1991. V. 195.-P.254-258.

28. Д.Н. Горячев, Л.В.Беляков, О.М.Сресели. О механизме образования пористого кремния// Физ. и техн. полупроводн. 2000. -Т.34. -С.1130-1134.

29. V. Lehmann. The physics of macroporous silicon formation // Thin Solid Films.1995.-V.255.-P. 1-4.

30. H. W. Lau, G. J. Parker and R. Greef. High aspect ratio silicon pillars fabricated by electrochemical etching and oxidation of macroporous silicon // Thin Solid Films. 1996.-V.276. -P.29-31.

31. R. Schwarz, F. Wang, M. Ben-Chorin, S. Grebner, A. Nikolov and F. Koch. Photocarrier grating technique in mesoporous silicon // Thin Solid Films. 1995. -V.255.-P.23-26.

32. J.-S. Lee, N.-H. Cho. Nanosructural and photoluminescence features of nanoporous silicon preparing by anodic etching // Appl. Surf. Sci. 2002. V. 171-175.

33. G. Hashiguchi, H.Mimura. Investigation of porous silicon by scanning electron microscopy// Jpn. J. Appl. Phys. 1994. -V. 33. -P.1544-1549.

34. M. Schoisswohl, H. J. von Bardeleben, V. Morazzani, A. Grosman, C. Ortega, St. Frohnhoff, M. G. Berger and H. Miinder. Analysis of the surfaces structure in porous Si// Thin Solid Films. 1995. V.255. - P. 123-127.

35. G. Amato, V. Bullara, N. Brunetto and L. Boarino. Drying of porous silicon: A Raman, electron microscopy, and pliotoluminescence study // Thin Solid Films. 1996.-Y.276.-P. 204-207.

36. А.Н.Зайдель, Г.В. Островская, Ю.И.Островский. Техника и практика спектроскопии // М.: Наука. 1972. С. 31.

37. V.Grivickas and P.Basmaji. Optical absorption in porous silicon of high porosity // Thin Solid Films. 1993. V.235. - P.234-238.

38. S.Guha, P.Steiner, F. Kozlowski and W. Lang. Investigation of porous Si grains by optical spectroscopy // Thin Solid Films. 1995. Y.255. - P. 119-122.

39. W. TheiB. The dielectric function of porous silicon How to obtain it and how to use it //Thin Solid Films. 1996. - Y.276. - P.7-12.

40. D.J.Bergman. Phys.Rep. 1978. -V.43.

41. D.J.Bergman and D.Stroud. Solid St. Phys. 1992. V.46.

42. W.Theis. Advanced in Solid State Physics. 1994. V.46.

43. J.C. Maxwell-Garnett. Philos. Trans.R. Soc. 1994. V.203.

44. D.A.G. Bruggeman. Ann.Phys. 1995. V.24.

45. H.Looyenga, Phisica. 1965. V.31.

46. J. Sturm. Doctoral Thesis. RWTH, Aachen. 1993.

47. Ч.Уэрт, Р.Томсон. Физика твердого тела // M.: Мир. 1969. С. 408.

48. Л.Д.Ландау, Е.М.Лифщиц. Квантовая механика // Физматгиз.1963.

49. Л.А.Балагуров, В.Ф.Павлов, Е.А.Петрова, Е.П. Воронина. Исследование пористого кремния и его старения методами полного внешнего отражения рентгеновских лучей и инфракрасной спектроскопии // Физ. и техн. полупроводн. 1997. -Т.31. С.957-960.

50. Копылов А.А., Холодилов А.Н. Инфракрасное поглощение в пористом кремнии, полученном в электролитах, содержащих этанол //Физ. и техн. полупроводн. 1997. -Т.31. С.556-558.

51. J. Zi, Н. Bucher, C.Falter, W.Ludwig, К. Zhang and X.Xie. Raman shifts in Si nanocrystals // Appl. Phys. Lett. 1996. Y. 69. -N.2. - P. 200-202.

52. X.L.Wu, G.G.Siu, S.Tong, X.N.Liu, F.Yan, S.S.Jiang, X.K.Zhang ahd D.Feng. Raman scattering of alternating nanocrystalline silicon/amorphous silicon multilayers // Appl. Phys. Lett. 1996. V. 69. - N.4. - P. 523-525.

53. J.Zuk, M.Kulik, G.T.Andrews, H.Kiefte, M.J.Clouter, R.Gouding, N.H.Rich and E.Nossarewska-Orlowska. Characterization of porous silicon by Raman scattering and photoluminescence // Thin Solid Films. 1997. V.297. - P. 106-109.

54. M.E. Kompan, У.В. Kulik, I.I.Novak, J.Salonen and A.V.Subashiev. Raman light scattering in system of oriented wires in porous silicon // J. Por.Mater. 2000. V.7.-P. 275-278.

55. O. Bisi, L. Dorigoni, F. Bernardini and S. Ossicini. The luminescence transition in porous silicon: The nature of the electronic states // Thin Solid Films. 1996. -V.276. P.261-264.

56. Z. J. He, Y. P. Huang and R. Kwor. A modified computer model for the formation of porous silicon // Thin Solid Films. 1995. Y.265. -P.96-100.

57. М.С.Соминский. Полупроводники // M.: Наука. 1967.-С. 192.

58. Е. У. Astrova, S. У. Belov, A. A. Lebedev, A. D. Remenjuk and Yu. V. Rud. Optical and electrical properties of porous silicon and stain-etched films II Thin Solid Films.1995.-V.255. P.196-199.

59. J. Diener, M. Ben-Chorin, F. Koch, D. I. Kovalev and S. D. Ganichev. Excitation of the porous silicon photoluminescence by a multiphoton vibronic process // Thin Solid Films.1996. -V.276. -P.l 16-119.

60. Th. Dittrich, P. K. Kashkarov, E. A. Konstantinova and V. Yu. Timoshenko. Relaxation mechanisms of electronic excitation in nanostructures of porous silicon // Thin Solid Films. 1995. V.255. -P.74-76.

61. K.B. Шалимова. Физика полупроводников // ML: Энергия. 1971. С.325.

62. S.Sawada, N.Hamada and N.Ookubo. Mechanisms of visible photoluminescence in porous silicon // Phys. Rev. B. 1994. V. 49. - N.8. - P. 5236-5245.

63. M.Cruz, M.R. Beltran, C.Wang and J. Taguena-Martinez. Quasi-confirement, localization and optical properties of porous silicon // Thin Solid Films. 1997. -V.297. -P.261-264.

64. D. Dimova-Malinovska, M. Sendova-Vassileva, Ts. Marinova, V. Krastev, M. Kamenova and N. Tzenov. Correlation between the photoluminescence and chemical bonding in porous silicon// Thin Solid Films. 1995. V.255. - P.191-195.

65. P. Deak, Z. Hajnal and J. Miro. Recombination with larger than bandgap energy at centres on the surface of silicon microstructures // Thin Solid Films. 1996. V.276. -P.290-292.

66. C.Delerue, G.Allan and M.Tannoo. Optical band gap of Si nanoclusters // J. Turn. 1999.-Y.80.-P.65-71.

67. V.Ranjan, Y.A.Singh and G.C.John. Effective component for the size dependance of luminescence in semiconductor nanocrystallites // Phys. Rev. B. 1998. V.58. -N.3.-P. 1158-1161.

68. M.Cruz, M.R. Beltran, C.Wang and J. Taguena-Martinez. Efficient non-vertical interband transitions in porous silicon// Physica A. 1997. Y. 241,- P. 382-385.

69. J. Zeman, M. Zigone, G. Martinez, G. L. J. A. Rikken, P. Bordet and J. Chenavas On the origin of the porous silicon luminescence // Thin Solid Films. 1995. V.255. -P.35-38.

70. Я.С.Уманский, Ю.А.Скаков, А.Н.Иванов, Л.Н.Расторгуев. Кристаллография, рентгенография и электронная микроскопия // М.: Металлургия. 1982. С.549-562.

71. J. J. Mare, J. Kritofik and P. Hubik.On electric contacts to porous silicon // Thin Solid Films. 1997. V.295. -P.305-309.

72. A. Bsiesy, F. Gaspard, R. Herino, M. Tigeon, F. Muller, R. Romestain and J. C. Vial. Voltage-induced modifications of porous silicon luminescence // Thin Solid Films. 1995. V.255. -P.80-86.

73. Р.В.Смирнов. Проблемы и перспективы развития приборов на МДП-структурах // Микроэлектроника и полупроводниковые приборы.М.: Радио и связь. 1978.

74. А.Милне, Д.Фойхт. Гетеропереходы и переходы металл-полупроводник // М.:Мир. 1975.

75. А.Н.Зайдель. Основы спектрального анализа//М.: Физматгиз. 1965.

76. М.Д.Аксененко, М.Л.Бараночников. Приемники оптического излучения // М.: Радио и связь. 1987. С.61.

77. С.А. Гаврилов, А.И Белогорохов, Л.И.Белогорохова. Механизм кислородной пассивации пористого кремния в растворах HF : НС1 : С2Н5ОН // Физ. и техн. полупроводн. 2002. Т.36. - С. 104-108.

78. Ю.А. Уханов. Оптические свойства полупроводников // М.: Наука. 1997. С. 252.

79. Л.Д.Ландау, Е.М.Лифшиц. Квантовая механика // М.:Физматгиз.1963.

80. В.В.Соболев, С.А.Алексеева, В.И. Донецких. Расчеты оптических функций полупроводников по ссотношениям Крамерса-Кронига // Кишинев : Штиница. 1976.-С.42.

81. О. Belmont, С. Faivre, D. Bellet and Y. Brechet. About the origin and the mechanisms involved in the cracking of highly porous silicon layers under capillary stresses // Thin Solid Films. 1996. V.276. -P.219-222.

82. H. W. Lau, G. J. Parker and R. Greef. High aspect ratio silicon pillars fabricated by electrochemical etching and oxidation of macroporous silicon // Thin Solid Films. 1996.- V.276.-P.29-31.

83. L. M. Peter, D. J. Riley and R. I. Wielgosz. An in-situ method of monitoring the surface area of porous silicon // Thin Solid Films. 1996. V.276. - P. 61 -64.

84. Д.Т.Ян, Н.Г.Галкин. Оптическая спектроскопия и оптические свойства неокисленного и окисленного пористого кремния // III Региональная научная конференция. Тезисы. Благовещенск.2002. С. 152-154.

85. Г. Хасс, Р.Э. Тун. Физика тонких пленок // М.: Мир. 1970. Т.4.- С.34.

86. L.N.Dinh, L.L.Chase, M.Balooch and F. Wooten. Optical properties of passivated Sinanocrystals and SiOx nanoclusters // Phys. Rev.B. 1996. V.54. -N.7.- P. 50295037.

87. Handbook of Optical Constants of Solids // Ed. by D.E.Palik. New York. 1985.

88. T.S.Moss, G.I.Burrel, B.Ellis. Semiconductor Opto-electronics // Butterworth Publisher. 1973. -P.328.

89. Г. Хасс, Р.Э. Тун. Физика тонких пленок // М.: Мир. 1970. Т.8.- С.62.

90. Р. Смит. Полупроводники // М.: Мир. 1982. С. 558.

91. Н.Г Галкин, Д.Т.Ян. Электронная структура и процессы люминесценции в анодно окисленных слоях пористого кремния // YI Региональная конференция по физике полупроводниковых, диэлектрических и магнитных материалов. Тезисы. 2002. Владивосток. С.45.

92. V. Ranjian, V.A. Singh, G.C.John. Effective exponent for the size dependance of luminescence in semiconductor nanocrystallites // Phys. Rev. B. 1998. V. 58. -N.3.-P. 1158-1161.

93. J. Zeman, M. Zigone, G. Martinez, G. L. J. A. Rikken, P. Bordet and J. Chenavas On the origin of the porous silicon luminescence // Thin Solid Films. 1995. V.255.- P.35-38.

94. G. Amato, L. Boarino, N. Brunetto, A. M. Rossi and A. Parisini. Investigation of the non-radiative processes in porous silicon // Thin Solid Films. 1996. V.276. -P. 51-54.

95. L. M. Peter, D. J. Riley, R. I. Wielgosz, P. A. Snow, R. V. Penty, I. H. White and E. A. Meulenkamp. Mechanisms of luminescence tuning and quenching in porous silicon // Thin Solid Films. 1996. Y.276. - P.123-129.

96. H.Tamura, M.Riickschloss, T.Wirschem and S.Vepek On the possible origin of the photoluminescence from oxidized nanocrystalline silicon // Thin Solid Films. 1995. -V.255.-P. 92-95.

97. P. Deak, Z. Hajnal and J. Miro. Recombination with larger than bandgap energy at centres on the surface of silicon micro structures // Thin Solid Films. 1996. V.276. -P.290-292.

98. S. С. Bayliss, D. A. Hutt, Q. Zhang, P. Harris, N. J. Phillips and A. Smith. Structural study of porous silicon // Thin Solid Films. 1995. Y.255. - P.128-131.

99. С.Г Дмитриев, Ю.В. Маркин. Проявление процесса денейгрализации подвижного заряда в SiC>2 при спектроскопии границы раздела кремний-окисел // Физ. и техн. полупроводн. 1998. Т.32. - С. 1445-1449.

100. А.Н. Образцов, В.Ю. Тимошенко, X. Окуши, Х.Ватанабе. Сравнительное исследование оптических свойств пористого кремния и оксидов SiO и Si02 // Физ. и техн. полупроводн. 1999. Т.ЗЗ. - С.322-326.

101. Д.Т. Ян и Н.Г. Галкин, Электронная структура и процессы люминесценции в анодно окисленных слоях пористого кремния, Тезисы VI конференции по физике полупроводниковых, диэлектрических и магнитных материалов, Владивосток, 2002, С. 45-50.

102. А.Н. Образцов, В.А. Караванский, X. Окуши, Х.Ватанабе. Поглощение света и фотолюминесценция пористого кремния // Физ. и техн. полупроводн. 1998. -Т.32. С.1001-1005.

103. С.Н. Кузнецов, В.Б. Пикулев, А.А. Сарен, Ю.Е. Гардин, В.А. Гуртов. Возбуждение люминесценции пористого кремния при адсорбции молекул озона // Физ. и техн. полупроводн. 2001. Т.35. - С.604-608.

104. Hiroyuki Mizuno, Hideki Koyama and Nobuyoshi Koshida. Photo-assisted continuous tuning of photoluminescence spectra of porous silicon // Thin Solid Films. 1997. V.297. - P.61-63.145

105. М. Fried, H. Wormester, E. Zoethoul. T.Lohner, O.Polgar, I.Batsony. In situ spectroscopic investigation of vacuum annealed and oxidized porous silicon layers // Thin Solid Films. 1998. V.313-314. - P. 459-463.

106. L. M. Peter, D. J. Riley and R. I. Wielgosz. An in-situ method of monitoring the surface area of porous silicon // Thin Solid Films. 1996. N216. - P. 61-64.

107. M. Schoisswohl, H. J. von Bardeleben, V. Bratus and H. Miinder. Defects in luminescent and non-luminescent porous Si //Thin Solid Films. 1995. V.255. -P.163-166.

108. K.C. Журавлев, А.Ю. Кобицкий. Рекомбинация автолокализованных экситонов в нанокристаллах кремния, сформированных в оксиде кремния // Физ. и техн. полупроводн. 2001. Т.З5. - С. 1254-1257.

109. R.Ferraro, K.Krishnan. Practical Fourier Transform Infrared Spectroscopy // San Diego. Academic Press. 1990.

110. J. Wang, B. Zou and M.A. El-Sayed. Comparison beetwen Fourier-transform infrared spectra of aged porous silicon and amorfous silicon dioxide films on Si(100) surface // J. Mol. Struct. 1999. V.508. - P.87-96.

Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.