Эффективность и стабильность эксиплексных ламп и HF-лазера тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.05, кандидат физико-математических наук Ерофеев, Михаил Владимирович

• Ерофеев, Михаил Владимирович
• кандидат физико-математических наук
• 2001

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Ерофеев, Михаил Владимирович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1 ОБЗОР РАБОТ, ПОСВЯЩЕННЫХ ВОПРОСАМ ЭФФЕКТИВНОЙ И СТАБИЛЬНОЙ РАБОТЕ ЭКСИПЛЕКСНЫХ ЛАЗЕРОВ И ЛАМП, А ТАКЖЕ НЕ-ЛАЗЕРА.

1.1. Эксилампы тлеющего и барьерного разрядов.

1.2. Эффективность и стабильность эксиплексных лазеров.

1.3. Эффективность и стабильность НР-лазера.

ГЛАВА 2 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ АППАРАТУРА И МЕТОДИКИ

ИЗМЕРЕНИЙ.

2.1. Источники питания для возбуждения эксиплексных молекул емкостным разрядом.

2.2. Конструкции эксиламп емкостного разряда.

2.3. Конструкция НР-лазера.

2.3.1. С накачкой радиально сходящимся пучком.

2.3.2. С накачкой планарным пучком электронов.

2.3.3. Электроразрядный НР-лазер.

2.4. Газовые системы, экспериментальная аппаратура, методики измерений и обработка их результатов.

ГЛАВА 3 ИНЕРТНО-ГАЛОИДНЫЕ БЕЗЭЛЕКТРОДНЫЕ ЭКСИЛАМПЫ ЕМКОСТНОГО ТИПА ПРИ НИЗКИХ ДАВЛЕНИЯХ.

3.1. Энергетические и спектральные характеристики ХеС1 и КгС1-эксиламп емкостного разряда.

3.2. Процессы потерь хлора в безэлектродных ХеС1 и КгС1-эксилампах емкостного разряда.

3.3. Энергетические и спектральные характеристики ХеВг-эксилампы емкостного разряда.

ВЫВОДЫ.

ГЛАВА 4 ИМПУЛЬСНЫЕ КгО-ЭКСИЛАМПЫ ЕМКОСТНОГО ТИПА.

4.1. Энергетические характеристики импульсных КгС1-эксиламп емкостного разряда.

4.2. Энергетические характеристики однобарьерной импульсной КгС1- эксилампы.

ВЫВОДЫ.

ГЛАВА 5 ХИМИЧЕСКИЙ ИР-ЛАЗЕР С РАЗЛИЧНЫМИ ТИПАМИ

НАКАЧКИ.

5.1. Энергетические, временные и спектральные характеристики нецепного НР-лазера с накачкой радиально сходящимся пучком электронов, планарным пучком электронов и электроразрядного НР-лазера.

5.2. Увеличение стабильности электроразрядного НР-лазера путем использования цеолитов.

ВЫВОДЫ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Эффективность и стабильность эксиплексных ламп и HF-лазера»

В последние два десятилетия достигнуты большие успехи в создании эксип-лексных лазеров и ламп с различными способами накачки и возбуждения [1-5]. Благодаря тому, что данные устройства являются наиболее мощными и эффективными источниками когерентного (лазеры) и некогерентного (эксилампы) излучения в ультрафиолетовой и вакуумной ультрафиолетовой областях спектра, они получили широкое распространение в различных областях науки и техники: в научном эксперименте, в технологии (отжиг и легирование полупроводников, обработка и упрочнение поверхности), в медицине и биологии, в фотохимии и т.д. Поэтому в настоящее время наиболее актуальными являются исследования, направленные на увеличение эффективности и стабильности (длительное сохранение энергетических параметров) эксиплексных лазеров и ламп, а также поиск новых активных сред с целью расширения областей применения этих устройств.

В литературе за последнее десятилетие имеется сравнительно мало данных о времени жизни рабочих сред эксиплексных лазеров и ламп, а также процессах, ответственных за снижение времени жизни.

В последнее время значительно возрос интерес к фтороводородным лазерам с накачкой нецепной химической реакцией, обусловленный новыми возможностями их использования в ИК диапазоне спектра. Для инициирования химической реакции в активной среде фтороводородного лазера, благодаря высокой проникающей способности электронов, наиболее широко применяют электронные пучки и электрические разряды. С их помощью можно однородно инициировать большие объемы активной среды химического фтороводородного лазера при достаточно высоких давлениях и обеспечивать значительные мощности накачки. Кроме того возможности различных применений фтороводородных лазеров с нецепным механизмом накачки, излучающих в ИК области спектра, накладывают целый ряд условий на их характеристики и в том числе на спектральный диапазон генерации. Однако оптимальные условия работы нецепных НР и БР лазеров и в настоящее время остаются недостаточно изученными. Для практического применения важны не только большие энергии, но и КПД (не менее 1%).

При этом эффективность и возможность работать в автономном режиме становится актуальной задачей.

Целью настоящей работы является: 1) определение условий получения эффективного УФ излучения эксиплексных молекул при возбуждении емкостным разрядом, создание отпаянных образцов эксиламп со сроком службы не менее 2000 часов; 2) экспериментальное исследование выходных характеристик нецепного химического НР-лазера в зависимости от способа накачки, увеличение ресурса работы лабораторных образцов электроразрядных НР-лазеров.

Задачами работы^ которые решались в рамках поставленных целей, являлись:

- создание и исследование лабораторных источников спонтанного УФ излучения;

- изучение влияния параметров накачки, состава рабочей смеси и конструкции излучателя на среднюю и импульсную мощности и эффективность спонтанного УФ излучения;

- исследование механизмов, ответственных за снижение времени жизни инертно-галоидных безэлектродных эксиламп;

- исследование, спектральных, временных и энергетических характеристик нецепного электроразрядного ОТ-лазера и НР-лазера с накачкой электронным пучком;

- исследование динамики образования основных каналов колебательно возбуждённых молекул НР;

- использование селективных адсорбентов — цеолитов для увеличения срока службы НР-лазера и роль процессов дезактивации молекул НР*.

Защищаемые положения:

1) Уменьшение мощности излучения КгС1-, ХеС1-эксиламп емкостного разряда во время работы происходит за счет гетерофазной химической реакции взаимодействия атомарного хлора с кварцевой стенкой по механизму анти-Яндера с образованием полимерных продуктов хлорсилоксанов.

2) В смесях Хе-Вг2 при возбуждении емкостным разрядом низкого давления реализуется высокая эффективность излучения молекулы ХеВг* (-15 %) на переходе В—>Х, А^282 нм.

3) В эксилампах емкостного и барьерного разрядов при возбуждении смеси

Кг-СЬ достигаются высокие импульсные плотности мощности излучения >200

2 2

Вт/см и >1 кВт/см , соответственно, на длине волны Х-222 нм.

4) В НР-лазере с накачкой нецепной химической реакцией, инициируемой пучком электронов, достижение высоких КПД (более 10%) происходит за счёт одновременного образования атомарного и молекулярного фтора при воздействии электронного пучка на рабочую смесь и участии молекулярного фтора в создании инверсии.

5) Использование цеолитов в качестве абсорбентов частиц НР и Н20, дезактивирующих молекулы НР*, позволяет уменьшить относительный спад энергии излучения НР-лазера.

Научная новизна: 1) При помощи компьютерного расчета проведен выбор наилучшей кинетической модели твердофазной реакции. Установлено, что в эксилампах емкостного разряда протекает гетерофазная химическая реакция взаимодействия атомарного хлора с кварцевой стенкой по механизму анти-Яндера с образованием полимерных продуктов хлорсилоксанов (51„ОпС12п); 2) впервые исследованы ХеВг оптические среды в условиях возбуждения емкостным разрядом низкого давления; 3) показано, что достижение высоких КПД в НР-лазере с накачкой нецепной химической реакцией, инициируемой пучком электронов, происходит за счёт одновременного образования атомарного и молекулярного фтора и участии молекулярного фтора в создании инверсии. При этом генерация идет на переходах Р\-Рв, 4) предложены к использованию цеолиты для повышения ресурса работы нецепного химического НР-лазера.

Научная и практическая ценность: 1) использование емкостного разряда для возбуждения ХеВг-эксилампы низкого давления позволяет получать мощное эффективное спонтанное излучение в области длин волн л~282 нм; 2) использование импульсного барьерного разряда позволяет получать высокие импульсные мощности излучения на длине волны 222 нм; 3) созданы отпаянные образцы эк-силамп со сроком службы не менее 2000 часов; 4) введение цеолитов в объем лазерной камеры позволяет уменьшить относительный спад энергии излучения в случае НР-лазера с накачкой планарным пучком электронов при частоте повторения импульсов 1 выстрел в минуту с 40 до 13 %, в случае малогабаритного электроразрядного HF-лазера с 60 до 15 % при частоте повторения импульсов 1 Гц и с 80 до 25 % при частоте повторения импульсов 2 Гц.

Сведения о внедрении результатов диссертации: KrCl- эксилампа с импульсной мощностью излучения 1 кВт/см2 на длине волны 222 нм передана в Alameda Applied Science Corporation (США); отпаянная малогабаритная KrCl-эксилампа со средней мощностью излучения 5 Вт передана в Сибирский физико-технический институт.

Апробация работы. Материалы, вошедшие в диссертацию, обсуждались на следующих конференциях: 1) Международная конференция «Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах». Томск. 22-25 сентября, 1998; 2) 9-я конференция по физике газового разряда. Рязань, 1998; 3) 4-й всероссийский научно-технический семинар "Энергетика: экология, безопасность, надежность". Томск, 1998; 4) 4-th International Conference "Atomic and molecular pulsed lasers". Томск. 13-17 сентября, 1999; 5) 5-th International Conference on Laser Ablation (COLA'99). Gottingen, Germany. 19-23 July, 1999; 6) Photonics West- 1998, 1999,2000. San-Jose, 1998, 1999,2000; 7) 13-th International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers and High-Power Laser Conference. Florence, Italy, 09.2000; 8) Lase 2000. San Jose, CA, USA, January 2000; 9) 5-th Russian-Chinese Symposium on Laser Physics and Technologies. Россия, Томск, 10.2000; 10) 10-th Conference on Laser Optics. Russia, St. Petersburg, 26-30 June, 2000; 11) Lasers 2000. Albuquerque, NM, 2000; 12) 2-я школа-семинар молодых ученых «Современные проблемы физики и технологии». Томск, 5-7 февраля, 2001.

Структура и объем работы. Диссертационная работа изложена на 133 страницах машинописного текста, иллюстрируется 59 рисунками, 3 таблицами, состоит из введения, пяти глав, заключения, приложения и 100 наименований в списке литературы.

Заключение диссертации по теме «Оптика», Ерофеев, Михаил Владимирович

Основные результаты и выводы настоящей диссертационной работы состоят в следующем:

1) Исследования ХеС1 и КгС1 эксиламп низкого давления показали, что на ряду с высокой эффективностью и средней мощностью излучения возможно создание отпаянных образцов эксиламп со сроком службы более 2500 часов, что сопоставимо с подобными характеристиками промышленных эксиламп. Уменьшение мощности излучения КгС1-, ХеС1-эксиламп емкостного разряда со временем происходит за счет гетерофазной химической реакции взаимодействия атомарного хлора с кварцевой стенкой по механизму анти-Яндера с образованием полимерных продуктов хлорсилоксанов. Определены способы увеличения времени жизни рабочей смеси в безэлектродных эксиламп, возбуждаемых различными видами емкостного разряда.

2) В смесях Хе:Вг=18:1 при возбуждении емкостным разрядом низкого давления реализуется высокая эффективность излучения молекулы ХеВг* (-15 %) в области длин волн А.«282 нм. Ресурсные испытания отпаянной ХеВг-эксилампы показали, что за 254 часа работы не наблюдалось заметной деградации рабочей смеси.

3) Использование импульсных емкостного и барьерного разрядов позволяет получать импульсные мощности 200 Вт/см2 и 1 кВт/см2, соответственно, при эффективности до 5 % в смесях Кг + С12. Показано, что использование обострительной емкости на эксилампах Н- и 1-типов ведет к увеличению импульсной мощности в два раза.

4) В НБ- лазере с накачкой нецепной химической реакцией, инициируемой планарным и радиально сходящимся пучком электронов, достижение высоких КПД (более 10%) возможно за счёт одновременного образования атомарного и молекулярного фтора при воздействии электронного пучка на рабочую смесь и участии молекулярного фтора в создании инверсии.

5) Введение цеолитов в объем лазерной камеры позволяет уменьшить относительный спад энергии излучения в случае НР-лазера с накачкой планарным пучком электронов при частоте повторения импульсов 1 выстрел в минуту с 40 до 13

115 в случае малогабаритного электроразрядного НР-лазера с 60 до 15 % при частоте повторения импульсов 1 Гц и с 80 до 25 % при частоте повторения импульсов 2 Гц.

В заключение автор выражает признательность и благодарность своим научным руководителям: профессору, доктору физико-математических наук Виктору Федотовичу Тарасенко, кандидату физико-математических наук Эдуарду Анатольевичу Соснину, а также ведущему научному сотруднику, кандидату физико-математических наук Виктору Михайловичу Орловскому за постановку задачи, постоянное внимание к работе, помощь в подготовке и проведении эксперимента и обсуждение полученных результатов; сотрудникам Лаборатории оптических излучений кандидату физико-математических наук Ломаеву Михаилу Ивановичу, кандидату физико-математических наук Виктору Семеновичу Скакуну, аспиранту Дмитрию Владимировичу Шитцу за внимание к работе и критические замечания.

Автор благодарит кандидата химических наук, доцента Томского государственного университета Чернова Евгения Борисовича за участие в работе по определению кинетической модели гетерофазных реакций в КгС1- эксиламие.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Ерофеев, Михаил Владимирович, 2001 год

1. Газовые лазеры./ Под редакцией И. Мак-Даниеля, У. Нигена. М.: Мир, -1986. -552 с.

2. Pulsed Gas Lasers./ Mesyats G.A., Osipov V.V., Tarasenko V.F. SPIE Optical Engineering Press. -1995. -374 p.

3. Light Sources 6. Budapest, Hungary. -1992.

4. Searles S.K., Hart G.A. Stimulated emission at 281 nm from XeBr*.// Appl. Phys. -1975. Vol. 27. № 4. - P. 243-245.

5. Ewing J.J., Bran S.A. Laser action on the bands of KrF* and XeCl*.// Appl. Phys. -1975. Vol. 27. № 6. - P. 350-352.

6. Ault E.R., Brandford R.S., Bhaumik M.L. High-power xenon fluoride laser.// Appl. Phys. 1975. - Vol. 27. № 7. - P. 413-415.

7. Коваль Б. А., Скакун В. С., Тарасенко В. Ф., Фомин Е. А., Янкелевич Е. Б. Мощная широкоапертурная эксиплексная лампа.// ПТЭ. 1992. № 4. - С. 244.

8. П.Ломаев М.И., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. HF-лазер с накачкой от генератора с индуктивным накопителем энергии. .// Квантовая электроника. -1997. Т. 24, № 6. -С. 499-500.

9. Великанов С.Д., Запольский А.Ф., Фролов Ю.Н. Физические аспекты работы HF- и DF-лазеров с замкнутым циклом смены рабочей среды. .// Квантовая электроника. -1997. Т. 24, № 1. -С. 11-14.

10. Finn Т. G., Palumbo L. J., Champagne L. F. A kinetics scheme for the XeF laser. //Appl. Phys. Lett. 1978.-Vol. 33. №2.-P. 148-151.

11. Moratz Т., Saunders Т., Kushner M. High temperature kinetics in He and Ne buffered XeF lasers: the effect on absorption.// Appl. Phys. Lett. 1989. - Vol. 54. № 2.-P. 102-104.

12. Kumagai H., Obara M. Theoretical and experimental study of KrF fluorescence in a multimicrosecond longitudinal discharge.// Transactions on Plasma Science. 1988. -Vol. 16. № 4. - P.453-458.

13. Herweg H., Albertz J., Eichler H. Active mode-locking of a longitudinal KrF laser.// J. Phys. D: Appl. Phys. 1993. - Vol. 26. - P. 367-370.

14. Owadano Y., Okudo I., Matsumoto Y., Matsushima I., Koyama K., Tomie Т., Yano M.Performance of the ASHURA KrF laser and its upgrading plan.// Laser and Particle Beams. 1993. - Vol. 11. №2. -P. 347-351.

15. Lacour В., Besaucele H., Brunei H., Gagnol C., Vincent В. Improvement in the performance of a high average power XeCl laser.// Proc. of GCL Conf. 1996.

16. Sentis M., Delaporte P., Forestier В., Fontaine В. Design and characteristics of high pulse repetition rate and high average power excimer laser system.// IEEE J. of Quantum Electronics. 1991. - Vol. 27. № 10. - P. 2332-2339.

17. Ломаев М.И., Панченко A.H., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф. Источники спонтанного ультрафиолетового излучения: физика процессов и экспериментальная техника. Уч. пособие Томск: Томский государственный университет, 1999. - 108 с.

18. Taylor R., Leopold К., Tan К. Continuous В-Х excimer fluorescence using direct current discharge excitation.// Appl. Phys. Lett. 1991. - Vol. 59. - P. 525-527

19. Головицкий А. П. О возможности создания эффективных ультрафиолетовых излучателей на основе непрерывного тлеющего разряда в смесях инертных газов и галогенов.// Письма в ЖТФ. 1992. - Т. 18. вып. 8. - С. 73-76

20. Головицкий А. П., Кан С. Н. Характеристики ультрафиолетового излучения эксимерного излучения непрерывного тлеющего разряда низкого давления.// Оптика и спектроскопия. 1993. - Т. 75, вып. 3. - С. 604-609.

21. Панченко А. Н., Скакун В. С., Соснин Э. А., Тарасенко В. Ф., Ломаев М. И. Мощные коаксиальные эксилампы со средней мощностью более 100 Вт.// Письма в ЖТФ. 1995. - Т. 21, вып. 20. - С. 77-80.

22. Ломаев М. И., Панченко А. Н., Скакун В. С., Соснин Э. А., Тарасенко В. Ф. Мощные источники спонтанного УФ- излучения с накачкой импульсными и непрерывными разрядами.// Оптика атмосферы и океана. 1996. -Т. 9, №2, с. 199-206.

23. Schwabedissen A., Botticher W. UV radiation of low pressure XeCl* and KrCl* glow discharges.// Contrib. Plasma Phys. 1995, - Vol. 35, 6, pp. 517-535.

24. Panchenko A. N., Tarasenko V. F., Sosnin E. A. Improvement of output parameters of glow discharge UV excilamps.//Optics Comminications. 1999. - 161. pp. 249252.

25. Панченко A. H., Тарасенко В. Ф. Исследование характеристик поднормального тлеющего разряда в смесях инертных газов с галогенаями.// Оптика и спектроскопия. 1998. - Т. 84. № 3. - С. 389-392.

26. Павловская Е. Н., Яковлева А. В. Континуумы инертных газов в барьерном разряде .//Оптика и спектроскопия. 1983. - Т.54, вып. 2. - С. 226-231.

27. Eliasson В., Gellert В. Investigation of resonance and excimer radiation from dielectric barrier discharge in mixtures of murcury and the rare gases.// J. Appl. Phys. 1990, - Vol. 68 (5), 1, pp. 2026-2037.

28. Kogelschatz U. Silent discharges for the generation of ultraviolet and vacuum ultraviolet excimer radiation.//Pure&Appl. Chem. -1990. Vol. 62, № 9, pp. 16671674.

29. Gellert В., Kogelschatz U. Generation of excimer emission in dielectric barrier discharge.// Appl. Phys. B. 1991. - Vol. 52, 14-21.

30. Eliasson В., Kogelschatz U. Modeling and application of silent discharge plasmas.// Transactions on plasma science. 1991. - Vol. 19. №2, pp. 309-323.

31. Кузнецов А. А., Скакун В. С., Тараеенко В. Ф., Фомин Е. А. Ультрафиолетовые и вакуумноультрафиолетовые эксилампы с накачкой барьерным разрядом.// Журнал технической физики. —1994, Т. 64, вып. 10, с. 146-150.

32. Boichenko А. М., Skakun V. S., Tarasenko V. F., Fomin E.A., Yakovlenko S. I. Cylindrikal excilamp pumped by a barrier discharge.// Laser Physics. -1994, Vol. 4, № 3, pp. 635-637.

33. Визирь В. А., Скакун В. С., Сморудов Г. В., Соснин Э. А. Тараеенко В. Ф., Фомин Е. А., Червяков В. В. Коаксиальные эксилампы, накачиваемые барьерным и продольным разрядами.// Квантовая электроника. -1995, Т. 22, №5.-С. 519-522.

34. Борисов В. М., Водич В. А., Ельцов А. В., Христофоров О. Б. Мощные высокоэффективеые KrF- лампы с возбуждением скользящим и барьерным разрядами.// Квантовая электроника. -1998, Т. 25, №4. - С. 308-314.

35. Ахмадеев В. В., Василяк JI. М., Иванов Ю. В., Костюченко С. В. Импульсное возбуждение барьерного разряда в галогенах и эксимерных смесях. -С. 177-180.

36. Falkenstein Z., Coogan J. The development of silent discharge-driven XeBr* excimer UV light source.// J. Phys. D.: Appl. Phys.,1997, Vol. 30, pp. 2704-2710.

37. Zang J.-Y., Boyd I. W. Efficient Xel* excimer ultraviolet sources from a dielectric barrier discharge.// J. Appl. Phys. 1998. - Vol. 84, № 3.

38. Barnes P. N., Kushner M. J. Reactions in the afterglow of time modulated inductive discharges of Xe and I2 mixtures.// J. Appl. Phys. 1998. - Vol. 84, № 9, pp. 47274730.

39. Zang J.- Y., Boyd I. W.// Appl. Phys. 1996. 80, 633.

40. Бойченко A.M., Панченко A.H., Тараеенко В.Ф., Яковленко С.И. Эффективное излучение смеси Хе-С12(НС1) и Кг-С12(НС1) накачиваемой тлеющим разрядом. //Квантовая электроника. 1996. - Т.23, №3. - С.417-419.

41. Boichenko А. М., Skakun V. S., Sosnin Е. A., Tarasenko V. F., Yakovlenko S. 1. Emission efficiency of exciplex and excimer molecules pumped by a barrier discharge.// Laser Phys. 2000. - Vol.10, № 2, pp. 540-552.

42. Kessler F., Bauer A. H. VUV excimer light source for deposition of amorphons semiconductors // Applied Surface Science. 1992. Vol. 54. P. 430-434.

43. Saito Т., Ito S., Tada A. Long lifetime operation of an ArF- excimer laser.// Appl. Phys. В 1996. - Vol. 63, pp. 229-235.

44. Jursich G. M., Von Drasek W. A., Brimacombe R. K., Reid J. Gas contaminant effects in discharge-excited KrF lasers.// Appl. Optics. 1992. - Vol. 31, № 12, pp. 1975-1981.

45. Hwang H. H., James K., Hui R., Kushner M. J. Fluorocarbon impurities in KrF laser.// J. Appl. Phys. 1991. - Vol. 69 (11), pp. 7419-7424.

46. Saito Т., Ito S. Gas contaminant effect in a discharge- excited ArF excimer laser.// Appl. Phys. В 1998. - Vol. 66, pp. 579-583.

47. Gover M. G., Kearsley A. J., Webb С. E. Gas composition and lifetime studies of discharge excited rare- gas hilide lasers. // J. of Quant. Electronics. 1980. -Vol.16, №2, pp. 231-235.

48. Малинин A. H., Шимон Jl. Л., Опачко И. И., Добош В. М., Хомяк Б. Я. Повышение энергии излучения и ресурса работы малогабаритного газоразрядного импульсно-периодического эксимерного ХеС1- лазера.// Квантовая электроника.-1994. Т. 21, № 12.-С. 1174-1176.

49. Малинин А. Н., Шимон Л. Л., Добош В. М., Хомяк Б. Я. Образование отрицательных ионов в газовых смесях активного элемента ХеС1- лазера.// Квантовая электроника. -1995. Т. 22, № 12. -С. 1195-1173.

50. Химические лазеры. / Под редакцией Р. Гросса и Дж. Ботта. М.: Мир, 1980. -832 с.

51. Tomizava Н., Salvermoser М., Wieser J., Ulrich A. Influence of water vapor impurities and gas temperature on the 1.73 pm atomic xenon laser. // Atmospheric and oceanic optics. 2000. - Vol.13. № 3. -P. 236-242.

52. Физика импульсного пробоя газов. / Королев Ю.Д., Месяц Г.А. М.: Наука, 1991.-с.

53. Voignier F., Gastaud М. Improved performance of a double discharge initiated pulsed HF chemical laser.//Appl. Phys. Letts. -1974. -Vol. 25. -P. 649

54. Баранов В. Ю., Высикайло Ф. И., Демьянов А. В. Параметрические исследования импульсного нецепного HF- лазера.//Квантовая электроника. -1984.-Т. 11.-С. 1173.

55. Баранов В. Ю., Высикайло Ф. И., Демьянов А. В., Кочетов И. В., Малюта Д. Д., Толстов В. Ф. Спектрально-временные и энергетические характеристики импульсного нецепного HF-лазера.// Квантовая электроника. -1983. -Т. 10. № 10.-С. 2075-2081.

56. Горюнов Ф.Г., Гурков К.В., Ломаев М.И., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф. Импульсный химический электроразрядный лазер на смеси SF6-H2.// Квантовая электроника. 1994. - Т. 21, № 2. - С. 1148-1150.

57. Батовский О. М., Гурьев В. И. //Квантовая электроника. -1974. -Т.1. 676.

58. Аполлонов В.В., Казанцев С.Ю., Орешкин В.Ф., Фирсов К.Н. Эффективные нецепные НР(ОР)лазеры с высокими выходными характеристиками.// Письма в ЖТФ. 1996. - Т. 22, № 24. - С.60.

59. Аполлонов В.В., Казанцев С.Ю., Орешкин В.Ф., Фирсов К.Н. Возможности увеличения выходной энергии нецепного HF(DF)^ia3epa.// Квантовая электроника. 1997. - Т. 24, № 3. - С. 213-215.

60. Аполлонов В.В., Казанцев С.Ю., Орешкин В.Ф., Фирсов К.Н. Неценной электроразрядный HF(DF)^a3ep с высокой энергией излучения.// Квантовая электроника. 1998. - Т. 25, - С. 123.

61. Башкин А.С., Ораевский А.Н., Томашов В.П. Энергетические характеристики химического HF-лазера, возбуждаемого электронным пучком.// Квантовая электроника.-1977.-Т. 4. № 1.-С. 169-171.

62. Орловский В.М., Пономаренко А.Г., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф., Хапов 10.И. Эффективность химического лазера на смеси SF6 Н2 с накачкой электронным пучком.//ЖТФ. -1999. -Т. 69. № 1. -С. 76-81.

63. Генерирование мощных наносекундных импульсов. / Месяц Г.А. М.: «Советское радио», -1974 г. 256 с.

64. Середа О.В., Тарасенко В.Ф., Феденев А.В., Яковленко С.И. Мощные ИК лазеры на переходах атома Xel. // Квантовая электроника. 1993. - Т.20. - №6. -С.535-558.

65. М.В.Ерофеев, М.И.Ломаев, В.С.Скакун, Э.А.Соснин, В.Ф.Тарасенко, Д.В.Шитц. Эксилампы, возбуждаемые емкостным разрядом.// Оптика атмосферы и океана. 1999. - Т.12, -№ 11. - С.1047-1049.

66. Sosnin E .A., Erofeev M. V., Lomaev M. I., Panchenko A. N., Skakun V. S., Shitz D. V., Tarasenko V. F. Capacitive Discharge Excilamps.// SPIE Proc. (Lase 2000, San Jose, CA, January). 2000. Vol. 3933. - pp. 425-431.

67. Ломаев М.И., Панченко A.H., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф. Цилиндрические эксилампы с накачкой тлеющим разрядом // ЖТФ. 1998. - Т. 68. - № 2. - С. 6468.

68. Ерофеев М.В., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф., Чернов Е.Б. Надежность эксплуатационных характеристик эксиламп, содержащих хлориды.//

69. Материалы четвертого всероссийского научно-технического семинара «Энергетика: экология, безопасность, надежность», Томск, 1998. С.30-31.

70. Ерофеев М.В., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф. О причинах снижения мощности излучения RrCl-эксиламп барьерного разряда в процессе работы.// Известия вузов. Физика,-1999.- №4. С.68-71.

71. Ерофеев М.В., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф., Панченко А.Н. Факторы, влияющие на время жизни хлорсодержащих эксиламп.// Труды V Всероссийской школы-семинара "Люминесценция и сопутствующие явления", Иркутск: Изд-во Иркут. ун-та, 2000. С.143-146.

72. Ерофеев М.В., Скакун B.C., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф., Чернов Е.Б. Время жизни рабочих смесей ХеС1- и KrCl- эксиламп. // Оптика атмосферы и океана. -2000. Т.13. - №3. - С.312-315.

73. Твердофазные реакции. / Третьяков Ю. Д. «Химия», -1978 г. 360 с.

74. Ерофеев М.В., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В. Эффективная ХеВг-эксилампа, возбуждаемая емкостным разрядом.// Оптика атмосферы и океана. -2000. Т.13. - №9. - С.865-870.

75. Ломаев М.И., Полякевич A.C., Тарасенко В.Ф. Влияние давления смеси на эффективность излучения молекул ХеС1 при при накачке продольным тлеющим разрядом // Оптика атмосферы и океана. 1996. - Т.9. - №2. -С .207-210.

76. S. Bollanti, G. P.Clementi, Р. Di Lazzaro, F. Flora, G. Giordano, T. Letardi, F. Muzzi, G. Schina, and C.E. Zheng, "Excimer Lamp Pumped by a Triggered Longitudinal Discharge," IEEE Transactions and Plasma Science. -1999. -Vol.27. -pp. 211-218.

77. Скакун B.C., Кривоносенко A.B., Ломаев М.И., Соснин Э.А. Тарасенко В.Ф. Источники мощного УФ-излучения с малой длительностью импульса. // Оптика атмосферы и океана. -2000. -Т. 13. № 3. -С. 309-311.

78. Бойченко A.M., Скакун B.C., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф., Яковленко С.И. Характеристики эксиплексной KrCl-лампы, накачиваемой объемным разрядом. // Квантовая электроника. 1996. Т. 23. № 4. С. 344-348.

79. Sosnin Е.А., Erofeev M.V. Experimental results on small pulse duration discharge excited KrCl-excilamp.// The Proc. of the 5-th Russian-Chinese Symposium on Laser Physics and Technologies. Tomsk: Tomsk State University. 2000. pp. 137-139.

80. Галь A.B., Русанов В.Д., Ширяевский B.JI., Шолин Г.В.// Квантовая электроника. 1992. Т. 19. № И. с.1055-1057.

81. Химические лазеры./Под ред. Н.Г. Басова. // М.: Наука, -1982. С. 400.

82. Орловский В. М., Ерофеев М. В., Тарасенко В. Ф. Лазер на смеси SF6-H2 с накачкой разрядом, инициируемым пучком электронов.// Тез. докл. 9-й конф. по физике газового разряда. 4.1, Рязань, 1998. С. 72.

83. Sosnin Е.А., Erofeev M.V., Orlovskii V.M., Skakun V.S., Tarasenko V.F. On the efficiency of e-beam and electric discharge pumped SP6-H2 laser.// SPIE Proc. (Lase 2000, San Jose, CA, January). 2000. vol. 3931. - pp. 22-28.

84. Ерофеев M. В., Орловский В. M., Скакун В. С., Соснин Э. А., Тарасенко В. Ф. Об эффективности лазера на смеси Н2- SF6 при инициировании химических реакций потоком электронов.// Квантовая электроника. 2000. - Т.30, №6. - С. 486-488.

85. Измерение полной энергии пучков тормозного излучения от электронных ускорителей./ Комар А.П., Круглов С.П., Лопатин Н.В. Ленинград: Наука , 1972.-С. 172

86. Тарасенко В.Ф., Феденев А.В., Скакун B.C. Об эффективности лазера на атомарных переходах ксенона при накачке пучком электронов.// Квантовая электроника. 1999. - Т. 26, № 3. - С. 209 - 213.

87. Химия каталитических процессов./ Гейтс Б., Кетцир Дж., Шуйт Г. М.: Мир, 1981.- 552 с.

88. Якерсон В.И., Розанов В.В. Физическая химия. Кинетика. Т. 3. М.: ВИНИТИ, 1974,- 115 с.

89. Гетерогенный катализ./ Томас Дж., Томас У. М.: Мир, 1969. 452 с.

90. Золотые инновации России и стран СНГ Москва, ВВЦ, 6 9 декабря, 2000г.1. Присужден

91. Лаборатории оптических излучений института сильноточной электроники СО РАН

92. За отличную работу стендиста по представлению инновационного проекта

93. КгС1 лампа емкостного разряда»рвый заместитель шистра промышленности, уки и технологий ссийской Федерации1. М.П. Кирпичников127 Document liumbcrUS 40/00■.;'■'■■v /::; .L^.™^,- /? ^1.CERepresentative

94. Alameda Applied Sciences Соф.1. Dr. Sergei KOROVIN1. Dr. Jochen Schein1. Deputy Director

95. CONTRACTOR has carried out the work on the contract completely.lead of Laboratory of optical radiation1. V. Tarasenko

96. Article 1 SUBJECT OF THE CONTRACT

97. The purpose of this contract is scientific research, construction, and manufacturing of a KrCl cxcilamp, and shipment of the cxcilamp to the Customer.1. Article 2 OBLIGATIONS

98. The Contractor shall perform the works in accordance with the Articles 4 and 6 of the Contract.

99. The Customer shall accept the delivered equipment and make payment for the performed work in accordance with the Articles 4 and 7 of the Contract.

100. Article 3 TOTAL PRICE OF THE CONTRACThe total fixed price of the Contract is US$ 8,000.00. le total price includes: All expenses needed for scientific research and manufacture of the equipment to be delivered.

101. Packing materials, all transportation expenses of equipment delivery to the Airport of San Francisco.

102. Customs clearance, all tax duties imposts or charges levied at the territory of the Russian Federation.

103. Travelling expenses to test the excilamp at the territory of the Customer.