Газоразрядные источники спонтанного и вынужденного излучения с рабочими средами на основе инертных газов и галогенов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.05, доктор физико-математических наук Ломаев, Михаил Иванович

• Ломаев, Михаил Иванович
• доктор физико-математических наук
• 2010

Оглавление диссертации доктор физико-математических наук Ломаев, Михаил Иванович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.

1.1. Механизмы достижения инверсной, заселенности в газофазных средах при накачке электрическим разрядом^.

1.1.1. Инверсная заселенность в режимах ионизационной и рекомбинационной неравновесности.

1.1.2. Столкновительная очистка нижнего лазерного уровня

1.1.3. Пеннинговские плазменные лазеры.

1.2. Эксилампы - эффективные источники спонтанного УФ и ВУФ излучения.

1.2.1. Анализ работ по исследованию и применению эксиламп

1.2.2. Спектроскопия, механизмы образования эксимерных и эксиплексных молекул.

1.2.3. Особенности различных способов возбуждения эксиламп

1.3. Источники спонтанного УФ и ВУФ излучения с повышенной импульсной мощностью

1.3.1. Тепловые импульсные источники излучения

1.3.2. Люминесцентные импульсные источники излучения.

1.4. Преимущества и недостатки методик определения, некоторых параметров газоразрядной плазмы

1.4.1. Определение параметров энерговвода в газоразрядную плазму барьерного разряда.

1.4.2. Измерения энергетических характеристик оптического излучения.

1.4.3. Измерения концентрации и температуры электронов газоразрядной плазмы спектральными методами.

1.5. Постановка задачи.

ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ,

МЕТОДИКИ ИЗМЕРЕНИЙ И РАСЧЕТОВ

2.1. Методики измерений и расчетов.

2.1.1. Способы и экспериментальные установки для определения пе и Те газоразрядной плазмы спектральными методами.

2.1.2. Определение тока разряда и падения напряжения на разрядном промежутке

2.1.3. Определение мощности и энергии возбуждения в безэлектродных лампах.

2.1.4. Определение спектральных, временных и энергетических характеристик излучения

2.1.5. Расчет мощности и энергии излучения в случае широкополосного спектра излучения

2.2. Экспериментальные установки.

2.2.1. Источники питания и конструкция электроразрядных лазеров.

2.2.2. Источники питания и конструкции эксиламп импульсно-периодического и непрерывного действия.

2.2.3. Источники питания и конструкции импульсных ламп высокой плотности мощности излучения.

2.3. Условия проведения экспериментов, оценки погрешности измерений.113>

2.3.1. Система откачки и напуска газов

2.3.2. Оценки погрешностей измерений

ГЛАВА 3; АКТИВНЫЕ СРЕДЫ ЛАЗЕРОВ НА- АТОМАРНЫХ ПЕРЕХОДАХ ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ. МНОГОВОЛНОВОЙ РЕЖИМ ГЕНЕРАЦИИ.

3.1. Активные среды для получения генерации на атомарных переходах инертных газов в смесях с NF3.

3.1.1. Получение и оптимизация генерации в смесях R - NF3.

3.1.2. Определение концентрации и температуры электронов плазмы лазера спектральными методами.

3.1.3. Механизм достижения инверсной населенности в смесях R - NF

3.2. Многоволновой режим генерации.

3.2.1. Получение одновременной генерации на X = 540.1 нм и

Х = 585.3 нм Nel.

3.2.2. Получение одновременной генерации на А, = 337 нм N21 и

X = 585.3 нм Nel; на X = 337 нм N2 и X = 706.5 нм Не1.

3.2.3. Влияние добавок НС1 на спектр генерации в смеси Не - NF3.

3.3. Выводы

ГЛАВА 4. ЛАМПЫ УФ ДИАПАЗОНА.

4.1. Особенности электродных и безэлектродных ламп.

4.1.1. Особенности барьерного и емкостного разрядов

4.1.2. Особенности тлеющего разряда

4.2. KrCl- XeCl-эксилампы барьерного и тлеющего разряда.

4.2.1. KrCl- XeCl-эксилампы тлеющего разряда.

4.2.2. KrCl- XeCl-эксилампы барьерного разряда

4.3. Динамика формирования барьерного разряда в смесях инертный газ

- галоген

4.4. Характеристики ламп с рабочими средами на основе паров

4.5. Характеристики ламп с рабочими средами N2, Ar - N2, возбуждаемых емкостным и барьерным разрядами

4.6. Ресурс KrCl- XeCl-эксиламп

4.7. Выводы

ГЛАВА 5. ЛАМПЫ ВУФ ДИАПАЗОНА.

5.1. Ксеноновые одно - и двухбарьерные лампы.

5.1.1. Формирование объёмного разряда и эффективность излучения в ксеноновой однобарьерной эксилампе

5.1.2. О причинах формирования объёмного разряда в однобарьерных лампах.

5.1.3. Ксеноновая двухбарьерная эксилампа с эффективной системой охлаждения

5.2. ВУФ эксилампы, возбуждаемые коронным барьерным разрядом.

5.3; Аг2- Кг2-эксилампы лампы открытого разряда

5.4. Рабочая среда для получения излучения на переходах (4+) системы СО

5.5. Выводы

ГЛАВА 6. ЛАМПЫ ПОВЫШЕННОЙ ИМПУЛЬСНОЙ МОЩНОСТИ.

6.1. Особенности источников повышенной импульсной мощности излучения.

6.1.1. Рабочие среды.

6.1.2. Формирование излучения при повышенных давлениях и высоких мощностях возбуждения.

6.2. Импульсные разряды в газах повышенного давления.

6.2.1. Объемные разряды, инициируемые пучком электронов лавин.

6.2.2. Одно- и двухбарьерные разряды.

6.2.3. Искровой разряд в инертных газах.

6.3. Амплитудно-временные и спектральные характеристики излучения при сильноточном разряде в газах повышенного давления.

6.3.1. Характеристики излучения при возбуждении ОРИПЭЛ.

6.3.2. Эксилампы с возбуждением барьерным разрядом с повышенной энергией и мощностью излучения.

6.3.3. Характеристики излучения при возбуждении искровым разрядом.

6.4. Выводы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Газоразрядные источники спонтанного и вынужденного излучения с рабочими средами на основе инертных газов и галогенов»

Источники спонтанного и вынужденного оптического излучения - устройства, преобразующие энергию какого - либо вида (как правило, электрическую)-в энергию электромагнитных волн в оптическом диапазоне длин волн, находят все большее применение в науке, технике, медицине, обороннош промышленности и многих других областях. Соответственно, они привлекают заметное внимание и интенсивно исследуются.

Вынужденное излучение получено при использовании различных способов и систем накачки активных сред, которые могут находиться в различных агрегатных состояниях, в том числе, в газофазном [1, 2]. Одной из возможностей для создания инверсной заселенности в газофазной среде является использование переохлажденной рекомбинирующей плазмы. Успешный запуск плазменного лазера высокого давления в видимой области спектра на X = 585.3 нм атома неона с накачкой электронным пучком, осуществленный в 1985 г [9, 10], привлек повышенное < внимание к данному классу лазеров. Вследствие решающей роли реакции Пеннинга в разгрузке нижнего, а процессов рекомбинации - в заселении верхнего лазерного, уровней этот тип лазеров получил название пеннинговских плазменных лазеров (ГТГТЛ).

По механизму расселения нижнего лазерного уровня (НЛУ) ПГТЛ относятся к достаточно многочисленному классу столкновительных лазеров, в которых акты девозбуждения осуществляются в процессах столкновения рабочей частицы с тяжелыми частицами—"тушителями" [18]. Конкретные механизмы столкновительного тушения НЛУ достаточно разнообразны - радиационная очистка НЛУ, девозбуждение электронами или ионизующейся примесью. В литературе отмечалась также возможность очистки НЛУ посредством химических реакций, в частности, с участием молекул галогенов [I]. Экспериментальная реализация данного типа столкновительного девозбуждения НЛУ была впервые осуществлена в электроразрядных лазерах с активными средами на основе смесей инертных газов (Не, Аг) с трифторидом азота №3 [32]. Амплитудно-временные и энергетические характеристики полученного лазерного излучения, а также условия накачки указывали на иной (по отношению к ППЛ) механизм достижения инверсной населенности в данных активных средах. Возможность увеличения мощности лазерного излучения в видимой области спектра, а также реализации режима многоволновой генерации обусловили актуальность дальнейших исследований кинетики процессов, определяющих накачку и инверсию населенностей в активных средах Я - №3 (Я = Не, N6, Аг).

Наряду с лазерами не менее широко используются искусственные источники спонтанного излучения - лампы [147]. Они применяются при создании новейших технологий обработки полупроводников, синтеза новых материалов и модификации их свойств, фотостимулирования различных химических процессов, в фотобиологии, фотомедицине, в новейших технологиях обеззараживания промышленных отходов, воды, воздуха, при создании осветительных установок и многих других областях.

В" течение последних 15-20 лет наблюдается интенсивное развитие источников спонтанного излучения ультрафиолетового (УФ) и вакуумного ультрафиолетового (ВУФ) диапазонов, в которых используется неравновесное излучение эксимерных и эксиплексных молекул - димеров и галогенидов инертных газов [14, 62]. Удельные энергетические параметры излучения таких источников, названных эксилампами, существенно превышают характеристики традиционных источников спонтанного излучения в данных областях спектра, таких, как водородные и дейтериевые лампы, лампы низкого давления на резонансных переходах инертных газов.

К началу исследования эксиламп в рамках диссертационной работы как отечественными, так и зарубежными научными группами был проведен цикл работ по созданию, исследованию и применению эксиламп [254, 69, 49, 50]. Их дальнейшее совершенствование актуально в силу растущих потребностей в мощных и недорогих источниках УФ и ВУФ излучения в различных областях науки и техники [73, 303]. В научной и технологической практике все чаще требуются источники коротковолнового излучения с заданным спектральным составом, изменяемыми временными и энергетическими параметрами излучения, высоким уровнем эффективности и ресурсом. В то же время, многообразие возможных условий возбуждения эксиламп, влияние на их выходные характеристики многих, часто взаимозависимых, факторов, трудности с созданием теоретических моделей, описывающих в целом как процессы возбуждения, так и плазмохимические реакции, существенно осложняют создание эксиламп с необходимыми для практических применений выходными параметрами [171]. Так, например, в литературе отмечалась перспективность возбуждения люминесценции эксимеров сильноточным тлеющим разрядом повышенного давления [40]. Однако, вследствие контрагирования самостоятельного разряда в тяжелых инертных газах повышенного давления при использовании традиционных схем возбуждения разряда до проведения настоящей работы такой способ не был реализован на практике. Для ряда наиболее востребованных на практике эксиламп (КгС1-, ХеС1-, ХеВг-эксилампы барьерного разряда) были актуальны также исследования" влияния на "их выходные характеристики режима возбуждения (формы и амплитуды импульса напряжения, частоты следования импульсов), а также состава и давления рабочих сред.

Одним из преимуществ эксиламп по отношению к ряду других источников спонтанного излучения, в частности, разрядных ламп с парогазовым наполнением, является малое время выхода на рабочий режим после включения лампы. Тем не менее, вопрос о динамике формирования барьерного разряда, наиболее часто используемого для возбуждения эксиламп и, соответственно, временном ходе мощности излучения при включении лампы оставался открытым.

Традиционно актуальными с точки зрения создания газоразрядных источников оптического излучения были также поиск новых газофазных рабочих сред, обеспечивающих эффективное преобразование введенной в газоразрядную плазму электрической энергии в энергию оптического излучения, а также оптимизация режимов возбуждения, включая режимы, ранее не применявшиеся для этой цели.

Таким образом, к началу выполнения настоящей работы с точки зрения изучения и создания газоразрядных источников оптического излучения были актуальны следующие направления исследований. Во-первых, поиск новых рабочих сред, энерговвод в которые осуществляется посредством самостоятельного газового разряда. Во-вторых, исследование физических процессов в данных средах и повышение выходных характеристик газоразрядных источников излучения с рабочими средами на основе инертных газов и их смесей с галогенами при использовании различных режимов возбуждения, включая ранее не использовавшиеся для этой цели. В связи с этим, тематика настоящей диссертационной работы, связанная с поиском новых и изучением наиболее перспективных из известных рабочих сред, исследованием протекающих в них физических процессов, а также с оптимизацией выходных параметров газоразрядных источников излучения представляется актуальной.

Цель и задачи диссертационной работы. Целью работы было изучение физических процессов, протекающих в рабочих средах газоразрядных источников спонтанного и вынужденного излучения при их возбуждении, в том числе при использовании ранее не применявшихся режимов возбуждения; расширение класса газофазных рабочих сред данных источников излучения; повышение их выходных характеристик. При этом основное внимание "было уделено рабочим^ средам-источников спонтанного и вынужденного излучения на основе инертных газов и их смесей с галогенами.

Достижение цели работы предполагало решение следующих задач:

1). Определение механизма достижения1 ииверсной населенности в активных средах К - №3 (К = Не, Аг) при накачке поперечным разрядом с УФ предыонизацией; исследование амплитудно-временных и спектральных характеристик лазерного излучения в активных средах Я - №з;„ Я - №3 - N2 в одно - и многоволновом режимах.

2). Определение эмиссионных свойств плазмы высоковольтного наносекундного разряда в инертных газах повышенного давления в условиях неоднородного электрического поля, а также плазмы емкостного и коронного барьерного разрядов.

3). Исследование эксиламп с известными рабочими средами, возбуждаемыми тлеющим, одно- и двухбарьерным разрядами, в частности: исследование зависимости эффективности излучения эксиламп тлеющего разряда от удельной мощности возбуждения и давления рабочей смеси; определение влияния частоты следования и формы импульсов напряжения, а также однородности горения разряда на эффективность работы эксиламп барьерного разряда; выявление факторов, определяющих условия формирования однобарьерного разряда в ксеноне и величину эффективности излучения димеров ксенона.

4). Исследование режимов возбуждения и эмиссионных свойств плазмы сильноточного искрового разряда в тяжелых инертных газах в УФ области спектра.

5). Исследование закономерностей формирования разряда и динамики мощности излучения в эксилампах, возбуждаемых барьерным разрядом.

6). Разработка методик расчета: а) мгновенных значений* мощности и энергии возбуждения в емкостном, барьерном, коронном барьерном разрядах; б) спектрального распределения энергии полихроматического излучения в абсолютных единицах.

Научная новизна работьгзаключается в том, что впервые:

1). Определен механизм достижения инверсной населенности в активных средах Не (Ые, Аг) - при накачке сильноточным объемным разрядом. Экспериментально реализован режим многоволновой генерации в активных средах № - №3, Не (Ие) - №3 - N2, Не - №3 - НС1 (Авторские свидетельства: № 8Ш455962, приоритет от 29.06.87; № 8Ш748599, приоритет от 19.01.90).

2). Предложены и экспериментально реализованы более эффективные по сравнению с ранее использовавшимися рабочие среды газоразрядных источников спонтанного излучения: а) смеси Хе - 12, Не - 12, Хе - Не - 12 йод-содержащих ламп, обеспечивающих увеличение мощности излучения в УФ области спектра (Патенты: № 1Ш 2151442 С1, приоритет от 18.02.98; №БШ 2154323 С1, приоритет от 1.06.98.); б) смесь Аг - N2, позволяющая увеличить мощность и эффективность излучения на (2+) системе азота при возбуждении емкостным и барьерным разрядами по сравнению с результатами, получаемыми в чистом азоте; в) природный газ для получения свечения полос (4+) системы СО в области л

150 - 200 нм с мощностью до 5 мВт/см и эффективностью до 2 %.

3). Определено влияние формы импульса возбуждения и степени однородности барьерного разряда на эффективность работы КгС1-, ХеС1-эксиплексных барьерных ламп. Установлено, что наличие микроразрядов является необходимым условием получения высокой эффективности излучения в данных эксилампах.

4). Установлена динамика формирования барьерного разряда и мощности излучения в КгС1-, ХеС1-, ХеВг-эксилампах.

Для возбуждения источников спонтанного излучения предложены и экспериментально реализованы: а) высоковольтный наносекундный разряд в инертных газах повышенного давления для получения мощного ВУФ излучения гомо- и гетероядерных димеров инертных газов; б) емкостной и коронный барьерный разряды для получения спонтанного излучения эксимерных и эксиплексных молекул.

В диффузном разряде атмосферного давления получена интенсивная люминесценция на переходах димеров тяжелых инертных газов и на А, - 147 нм гетероядерных димеров АгХе* и КгХе*. Обоснована перспективность использования плазмы данного разряда в качестве активной среды лазера в ВУФ $ * области спектра на переходах димеров криптона и молекул АгХе и КгХе . В плазме высоковольтного наносекундного разряда спектральными методами проведены измерения концентрации электронов и оценки температуры электронов.

Реализован' режим искрового разряда с импульсом тока без осцилляций, что обеспечило более высокие энергетические параметры излучения искровой лампы (Patent No. US 7, 221,100 В2, опубл. US 2007/0035256 A1 15.02.2007; патент на полезную модель № RU46402 U1, приоритет от 22.02.2005). Установлены оптические переходы, ответственные за формирование спектра излучения плазмы искрового разряда в ксеноне.

Научная ценность полученных в работе результатов состоит в том, что:

Разработаны физические основы создания электроразрядных лазеров на атомарных переходах инертных газов, в том числе в многоволновом режиме. Экспериментально продемонстрирована возможность столкновительной очистка НЛУ в плазмохимических реакциях с участием галогеноносителя NF3. Расширен класс излучательных сред газоразрядных источников излучения -предложен ряд новых рабочих сред, обеспечивающих увеличение выходных характеристик источников спонтанного излучения в УФ и ВУФ областях спектра.

Установлена физическая причина зависимости эффективности излучения КгС1-ХеС1-эксиламп барьерного разряда от формы,, частоты импульсов возбуждения; а также степени однородности горения разряда.

Установленная, закономерность формирования, разряда в КгС1-, ХеС1-, ХеВг-эксилампах барьерного разряда может проявляться; для барьерного разряда и в других газовых средах.

Экспериментально реализовано возбуждение ряда рабочих сред некоторыми типами самостоятельного разряда,. ранее не использовавшимися < для этой цели: высоковольтным наносекундным разрядом, емкостным и .коронным барьерным разрядами.

Экспериментально показана возможность зажигания диффузного разряда в тяжелых инертных газах при повышенных давлениях без источника предварительной: ионизации. На этой основе указана возможность получения * индуцированного излучения на димерах криптона и; молекул АгХе и КгХе с электроразрядной накачкой.

Экспериментально продемонстрирована возможность увеличения эффективности энерговвода и эффективности излучения димеров инертных« газов при возбуждении коронным барьерным разрядом по сравнению с режимом возбуждения коронным разрядом постоянного тока.

Спектральными методами получена информация о концентрации и температуре' электронов плазмы ¡высоковольтного наносеку ндного разряда в гелии и азоте. Ряд экспериментальных результатов, полученных в рамках настоящей работы, стимулировал выполнение теоретических исследований нескольких проблем, актуальных с точки зрения создания газоразрядных источников излучения:

- моделирование процесса развития разряда в неоднородном электрическом поле в однобарьерных Хе2-эксилампах;

- моделирование 12-эксилампы тлеющего и емкостного разрядов;

- исследование влияния удельной мощности возбуждения на эффективность КгС1-, ХеС1- и Хе2-эксиламп барьерного разряда;

- определение физической причины формирования микроразрядов наблюдаемой в эксперименте конусообразной формы;

- определение основных физических процессов, приводящих к формированию спектра излучения искровой ксеноновой лампы;

- анализ возможности получения лазерной генерации в криптоне и ксеноне повышенного давления при накачке высоковольтным наносекундным разрядом.

Практическая значимость работы состоит в том, что:

1). Существенно улучшены выходные параметры эксиламп: а) в KrCl- и Хе2-эксилампах барьерного разряда достигнута средняя плотность мощности излучения до 100 мВт/см2 и 120 мВт/см2, соответственно; созданы KrCl-, Хе2-эксилампы барьерного разряда с мощностью излучения до 100 Вт, 50 Вт, соответственно; б) в йодных лампах емкостного разряда при плотности мощности до 10 мВт/см" достигнут ресурс работы не менее 500 часов; в) созданы эксилампы тлеющего разряда мощностью на молекулах KrCl* -1.5 кВт, ХеСГ -1.1 кВт.

2). Созданы конструкции эксиламп барьерного разряда, пригодные для практического применения (Патенты: №RU 2195044 С2, приоритет от 01.02. 2001; № RU 2281561 С1, приоритет от 23.12.2004; №<RU 2291516 С2, приоритет от 18.03.2005; Patents: Application number FR 20040006018 20040603, publication number FR3871290, publication date 09. 12. 2005; Application number, W02005FR01361 20050602, publication number W02006000697, publication date 05.01.2006; Japanese Patent No. 3887641, issued on 1.12.2006); создана эффективная воздушная система охлаждения барьерных эксиламп, значительно упрощающая конструкцию и уменьшающая стоимость прибора (Патент на изобретение № 2310947, приоритет от 28.03.2006).

3). Созданы импульсные источники спонтанного излучения с повышенной плотностью мощности излучения: а) на димерах инертных газов при возбуждении высоковольтным о наносекундным разрядом - до 1 МВт/см ; б) на основе искрового разряда в ксеноне - до 700 кВт/см2 на внутренней и до 400 кВт/см" на внешней поверхности колбы; в) на основе однобарьерного разряда-до 1.1 кВт/см2.

4). Разработанные источники излучения были использованы на практике: а) Xe2-, KrCl-, XeCl-эксилампы барьерного разряда применялись: при разработке технологических) процессов «по изготовлению полупроводниковых приборов; при воздействии на поток природного- газа и для облучения метанольных растворов (ООО «Томскнефтехим», г. Томск); при разработке высоковольтных коммутаторов на основе кристаллов алмаза (компания-Alameda Applied Science, г. Сан-Леандро, США); при создании облучателей, используемых в медицине (компания DermOptics SAS, г. Ницца, Франция)г б) импульсная искровая ксеноновая лампа применялась при исследовании процессов формирования наночастиц железа и углерода в результате фотолиза пентакарбонила железа и недокиси углерода (Институт теплофизики экстремальных состояний ОИВТ РАН, г. Москва). в) созданный на основе однобарьерной ксеноновой эксилампы фотореактор был использован для воздействия на жидкости и газы.

5). Разработанные методики' расчета мгновенных величин) мощности и энергии возбуждения как функций времени в безэлектродных типах разрядов, а также расчета спектрального распределения энергии полихроматического излучения в? абсолютных единицах применимы при проведении исследований не только эксиламп, но и других объектов, в которых требуется определение указанных параметров.

Достоверность защищаемых положений и выводов диссертации обеспечивается:

1). Комплексным характером исследований при взаимном соответствии результатов экспериментов и теоретического анализа исследуемых явлений:

- зависимости эффективности излучения Хе2-, XeCl-эксиламп барьерного разряда от удельной мощности возбуждения;

- спектрального состава и мощности излучения искровых источников;

- использования высоковольтных наносекундных разрядов для накачки лазеров и возбуждения эксиламп с рабочими средами, в которых излучающие частицы возникают в стадии рекомбинации плазмы;

- величин мощности излучения на димерах криптона в плазме диффузных разрядов атмосферного давления.

2). Воспроизводимостью результатов измерения величин тока и напряжения, а также их временной формы (погрешность калибровки и время нарастания переходной характеристики делителей напряжения и токовых шунтов не превышали 10 % и ~ 250 пс, соответственно).

3). Воспроизводимостью результатов измерения мощности и энергии как лазерного, так и спонтанного излучения:

- погрешность измерения мощности и энергии лазерного излучения не превышала 10 % при использований приборов ИМО-2Н, ИКТ-1Н;~

- получением равноценных данных в пределах доверительного интервала (18%) при использовании различных методик при измерении полихроматического излучения [71];

- погрешность измерения величины плотности мощности с помощью фотоприемника С8026 Hamamatsu Photonics составляла от 8 до 10 % в зависимости от выбора фотоприемной головки;

- погрешность измерения величины энергии излучения, фотоприемником «OPH1R» (Ophir Optronics LTD, Inc.) не превышала 5 %.

4). Совпадением в пределах ~ 5 % измерений величины средней мощности возбуждения в эксилампах барьерного разряда тремя независимыми способами [49].

5). Однотипностью регистрируемой закономерности развития барьерного разряда во всех исследованных рабочих средах.

6). Согласием полученных результатов с данными других авторов при близких экспериментальных условиях, в частности, согласием по основным закономерностям зажигания диффузных разрядов в газах повышенного давления при высоком перенапряжении [336], величине эффективности излучения в ксеноне при возбуждении коронным разрядом [313], условиям достижения максимальной эффективности KrCl-эксилампы барьерного разряда [374]. Сведения о внедрении результатов и предложения по их использованию.

При участии автора созданы и внедрены лазеры ДИЛАН, ЛИДА-Т, импульсная ксеноновая лампа, а также различные эксилампы, которые были переданы в научные и коммерческие организации как в России, так и за рубежом (всего более 200 шт.). Так, лазер ДИЛАН был внедрен: в отделе высоких плотностей энергии ИСЭ СО АН СССР, г. Томск, (1988 г.), в Институте кардиологии ТНЦ АМН СССР, г. Томск,

1989 г.), на кафедре физики плазмы Томского государственного университета, г. Томск, (1988 г.). Лазер ЛИДА-Т был внедрен в Институте общей физики АН СССР, г. Москва, (1990 г.). Импульсная ксеноновая лампа внедрена в Институте теплофизики экстремальных состояний ОИВТ РАН, г. Москва, (2004 г.). Импульсные одно- и двухбарьерные KrCl-экси лампы. переданы, в компанию Alameda Applied Science (CA USA) в рамках контракта в 2000 г. Эксилампы барьерного и емкостного разряда переданы в компанию DermOptics SAS (Ницца, Франция) в 2003 г., в ЗАО «ИЦ Эксимер», Санкт-Петербург (2007 г.), в компании USHIO Inc., Япония (2004 г.), Sen Engineering CO., LTD, Япония (2003 - 2009 гг.). Акты внедрения включены в Приложение диссертации.

Созданные при проведении настоящей работы эксилампы были также использованы в НИИ полупроводниковых приборов (г. Томск) при разработке технологических процессов по изготовлению полупроводниковых приборов на основе GaAs [375]. Результаты работы были также востребованы компаниями Heraeus

Noble Light, Германия (1999 г.) и USHIO Inc., Хиого, Япония (2004 г.) - мировыми^ лидерами по производству светотехнической продукции, включая» эксилампы. Созданные образцы KrCl-и Хеч-экснламп были успешно использованы для воздействия на поток природного газа и для облучения метанольных растворов [376, 377]. Созданные установки использовались также в учебном процессе при выполнении курсовых и дипломных работ студентами Томского государственного университета.

Полученные результаты могут быть использованы при создании электроразрядных лазеров на атомарных переходах инертных газов, мощных эффективных эксиламп непрерывного и квазинепрерывного действия, а также газоразрядных источников спонтанного излучения повышенной импульсной мощности.

Реализация результатов работы. Диссертационная работа выполнялась в рамках госбюджетных НИР, проводившихся в Лаборатории оптических излучений (ЛОИ) ИСЭ СО РАН в период 1986 - 2009 гг., а также в ходе проведения ряда работ в области фундаментальных и прикладных исследований, поддержанных: 1). Проектами РФФИ: «Эффективное излучение эксиплексных молекул в электроразрядной плазме низкого давления», № 96-02-16668-а, (1996-1998 гг.);

Исследование и создание эффективных газоразрядных источников спонтанного излучения в ВУФ области спектра», № 05-08-33621-а, (2005 - 2007 гг.).

2). Проектом INTAS № 96-0351 (1997 - 1999 гг.).

3). Проектами МНТЦ (ISTC): № 1270 (2001-2003 гг.), № 2706 (2004-2006 гг.), № 3583р (2007-2010 гг.).

4). Проектами IPP-CRDF: № В506095 (2000-2001 гг.); CRDF № RP2-538-TO-02 (2002-2005 гг.).

5). Средствами по контрактам с зарубежными компаниями: Heraeus Noblelight

GmbH, Германия (2 контракта, 1999 г.); Alameda Applied Sciences Corporation, США (3 контракта, 1999-2000 гг.); DermOptics SAS, Франция (2 контракта, 2003-2005 гг.); USHIO Inc., Япония (2004 г.); Sen Engineering CO., LTD, Япония (12 контрактов, 2003-2009 гг.).

6). Средствами по хоздоговорам с российскими партнерами: с Институтом теплофизики экстремальных состояний ОИВТ РАН, г. Москва (2003-2004 гг.); с Физическим Институтом РАН в рамках программы "Фундаментальные проблемы нано- и пикосекундной электроники большой мощности", г. Москва (2005 г.); с ЗАО «ИЦ Эксимер», г. Санкт-Петербург (2007 г.). Личный вклад автора. В исследованиях, представленных в диссертации, автору принадлежит выбор направлений исследования в рамках общего направления и постановка задач, анализ и интерпретация полученных результатов. Результаты исследований получены автором лично или при его определяющем участии. На различных этапах в работе принимали участие сотрудники ЛОИ ИСЭ СО РАН: А.Н. Панченко, B.C. Скакун, Д.В. Шитц, М.В. Ерофеев, Э.А. Соснин - при исследовании эксиламп барьерного, емкостного и тлеющего разрядов; Е.Х. Бакшт, Д.В. Рыбка - при проведении исследований искровой лампы, а также эксиламп при возбуждении высоковольтным наносекундным разрядом при большом перенапряжении. B.C. Скакун и автор настоящей работы предложили в 1998 г. использовать емкостной разряд для возбуждения эксиламп. В работе использовался s токовый шунт на полосковых линиях, изготовленный по предложению И.В. Пегеля

1 (ИСЭ СО РАН, г. Томск). Моделирование ряда эксиламп УФ и ВУФ диапазонов, а также источника излучения на основе искрового разряда было выполнено

A.M. Бойченко, С.И. Яковленко, А.Н. Ткачевым (Институт общей физики им. A.M. Прохорова РАН, г. Москва). Моделирование усилительных свойств плазмы ОРИПЭЛ в криптоне было выполнено Г.Н. Зверевой (ГОИ им. С.И. Вавилова, г. С.Петербург). Автор работы получил полезные консультации от С.Д. Коровина (ИСЭ СО РАН, г. Томск) при разработке методики определения энерговвода в барьерном разряде, а также от A.M. Янчариной (СФТИ им. В.Д. Кузнецова, г. Томск) при освоении методики* измерений концентрации и температуры электронов спектральными методами. В pa3pä6ÖTKe методики расчета спектральной плотности мощности в1 абсолютных единицах автору принадлежат идея и вывод используемых аналитических выражений. Решающее влияние на выбор общего направления исследований и возможность проведения большинства исследований, результаты которых представлены» в настоящей работе, было оказано заведующим ЛОИ ИСЭ СО РАН В.Ф. Тарасенко.

Публикации. По материалам диссертации опубликовано более 100 работ, включая более 90 публикаций в журналах из списка ВАК и 17 патентов, из них 4 международных.

Апробация результатов работы. Результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на следующих конференциях, совещаниях и симпозиумах: Всесоюзном совещании «Инверсная населенность и генерация на переходах в атомах и молекулах» (г. Томск, Россия, 1986 г.); Всесоюзном семинаре «Процессы ионизации, с участием возбужденных атомов» (г. Ленинград, Россия, 1988 г.); VI Всесоюзной конф. «Оптика лазеров» (г. Ленинград, Россия, 1990 г.); Международной конф. «Laser Optics» (С.-Петербург, Россия, 1993 г.); I—IX Международных конф. «Импульсные лазеры на переходах атомов и молекул» (г. Томск, Россия, 1992, 1995, 1998, 1999,2001, 2003, 2005, 2007, 2009 гг.); IX конф. по физике газового разряда (г. Рязань, Россия, 1998 г.); 10-й международной конф. по радиационной физике и химии неорганических материалов (г. Томск, Россия, 1999 г.); the 5- (2000 г.) and 7й (2004 г.) Russian-Chinese Symp. on Laser Physics and Laser Technologies (Tomsk, Russia); международной конф. «LASE 2003» (Photonics West, San Jose, CA USA, 2003 г.); XIV (Liverpool, UK, 2002 г.), XV (Toulouse, France, 2004 г.), XVI (Xi'an, China, 2006 r.) Intern. Confer, on Gas Discharges and their Applications; the VIII (Greifswald, Germany, 1998 г.), IX (Ithaca, NY, USA, 2001 r.) and XI (Shanghai, China, 2007 r.) Intern. Symp. of Science and Technology of Light Sources;

13ш — 15— Intern. Symp. on High Current Electronics (Tomsk, Russia, 2004, 2006, 2008 гг.); 13^ Intern. Conf. on Radiation Physics and Chemistry of Inorganic Materials (Tomsk, Russia, 2006 г.); X Intern. Conf. on Gas Discharge1 Plasma and Their Technological Applications (Tomsk, Russia, 2007 г.); XVI IEEE Intern. Pulsed Power and Plasma Science (PPPS) Conf. (Albuquerque, New Mexico, 2007 г.); the 35ш IEEE Intern. Conf. on Plasma Science (ICOPS) (Karlsruhe, Germany, 2008 г.); 24th Summer School and Intern. Symp: on the Physics of Ionized Gases (SPIG) (Novi Sad, Serbia, 2008 г.); на X Харитоновских чтениях - международной конф. «Мощные лазерьь и исследования физики высоких-плотностей энергии», РФЯД-ВНИИЭФ (г. Саров, Россия, 2008 г.); на Симпозиуме «Лазеры на парах металлов» (ЛПМ - 2008) (г. Лоо, Россия, 2008 г.); the VII Intern. Conf. on High - Power Laser Ablation (Taos, NM, USA, 2008 г.); the 11~ Intern. Symp. on High Pressure Low Temperature Plasma Chemistry (Hakone XI) (Oleron Island, France, 2008 г.); the 36- Intern. Conf. onPlasma Science (ICOPS) (San Diego, CA, USA, 2009 г.); the 17- IEEE Intern. Pulsed Power Conf. (PPC) (Washington, USA, 2009 г.).

Структура, и« объем работы. Диссертация состоит из Введения, шести глав, Заключения и Приложения. Она содержит 346 страниц, включая Л 49 рисунков, 12 таблиц и список литературы из 377 наименований, из них 73 - работы автора.

Заключение диссертации по теме «Оптика», Ломаев, Михаил Иванович

Основные результаты диссертационной работы заключается ,в следующем: (

1). Определен' механизм достижения инверсной населенности в активных средах Не (Ые, Аг) - №3 при накачке сильноточным объемным разрядом. Экспериментально реализована столкновительная очистка нижнего лазерного уровня в реакциях гарпунного типа; в активных средах Не (№) - №3 - N2, N6 - №3 реализован многоволновой режим генерации.

2). Расширен класс излучательных сред газоразрядных источников излучения — предложены и экспериментально реализованы более эффективные по сравнению с ранее использовавшимися рабочие среды, обеспечивающие увеличение выходных характеристик источников спонтанного излучения в УФ и ВУФ областях спектра: а) смеси Хе - 12, Не - 12, Хе - Не - 12 йод-содержащих ламп, обеспечивающих существенное увеличение мощности излучения на атомарной линии* йода в УФ области спектра; б) смесь Аг~ - N2, позволяющая существенно увеличить мощность и эффективность излучения на (2+) системе азота при газоразрядном возбуждении по сравнению с результатами, получаемыми в чистом азоте; в) при возбуждении емкостным разрядом природного газа обнаружено свечение полос (4+) системы 60 в области 150—200-нм с мощностью до 5 мВт/см? при эффективности ~ 2 %.

3). Для возбуждения источников спонтанного излучения предложено использовать: а) высоковольтный наносекундный разряд в инертных газах повышенного давления для получения мощного ВУФ излучения димеров инертных газов; б) емкостной и коронный барьерный разряды - для возбуждения люминесценции эксиплексных и эксимерных молекул, соответственно.

Установлено, что возбуждение тяжелых инертных газов высоковольтным наносекундным, а также коронным барьерным разрядами имеет ряд преимуществ с точки' зрения генерации оптического излучения в ВУФ области спектра. В первом случае удается существенно (в ксеноне - до 1 МВт/см?) увеличить мощность излучения. Во втором случае имеется возможность зажигания коронного разряда без ограничительного сопротивления, что практически вдвое (дс~ 40 % в случае возбуждения ксенона) увеличивает величину технического КПД устройства по отношению к ранее полученным результатам при использовании коронного разряда постоянного тока.

Эксилампы емкостного разряда обладают рядом преимуществ по отношению к лампам на иных типах разряда. Так, в отличие от ламп тлеющего разряда, в лампах емкостного разряда отсутствует контакт рабочей среды с металлическими электродами; в емкостном разряде по сравнению с барьерным разрядом реализуются меньшие удельные мощности возбуждения. Оба фактора обеспечивают увеличение - до нескольких тысяч часов ресурса эксиламп емкостного разряда.

4). Экспериментально показана возможность зажигания диффузного разряда в газах при повышенных давлениях (в гелии - до 15 атм) без источника

280 предварительной ионизации при использовании высоковольтных наносекундных импульсов с удельной мощностью и энергией возбуждения, соответственно, до л л сотен МВт/см и ~1 Дж/см-. При данных условиях возбуждении в аргоне, криптоне, ксеноне атмосферного давления удельные мощности излучения в полный телесный угол достигают ~ 100, ~ 350, ~ 500 kBt/cmj соответственно. В эмиссионном спектре газоразрядной плазмы в спектральном диапазоне от 120 до 850 нм до ~ 90 % энергии излучения сосредоточено в полосах переходов димеров инертных газов с полушириной не более ~ 20 нм. При- увеличении-давления ксенона до 12 атм достигнуто увеличение мощности' излучения до ~ 1МВт/см3 и сокращение длительности импульса излучения на полувысоте до ~ 8 не в ВУФ области спектра.

При возбуждении бинарных смесей аргона и криптона с малыми добавками ксенона кроме излучения димеров аргона и криптона зарегистрировано узкополосное излучение на X ~ 147 нм гетероядерных димеров* АгХе* и КгХе*. Экспериментально обоснована перспективность использования плазмы разряда данного типа в качестве активной среды лазера ВУФ диапазона спектра на переходах димеров криптона, молекул АгХе* и КгХе*.

В плазме высоковольтного наносекундного разряда спектральными методами проведены измерения концентрации электронов и оценки температуры. Установлено, что при возбуждении азота высоковольтным наносекундным разрядом низкая эффективность излучения является следствием короткой (не более ~ 3 не) длительности фазы эффективной наработки молекул азота в состоянии С3Пи за счет прямого электронного удара из основного состояния, а динамика населенности состояния С3Пи молекулы азота на спаде импульса излучения определяется радиационным и столкновительным тушением. Реализован режим искрового разряда с импульсом тока без осцилляций, что обеспечило увеличение мощности излучения искровой лампы. Плотность мощности излучения в диапазоне от 200 до 400 нм на внешней границе плазменного образования в режиме свободного расширения плазмы разряда составила ~1 МВт/см2.

Установлено, что форсирование возбуждения газа сокращением фронта импульса тока (менее 1 мкс) и ограничение энергозапаса на уровне ~ 30 - 40 Дж при возбуждении искровой ксеноновой лампы (внутренний диаметр 3 мм, межэлектродный зазор 4 мм, давление ксенона 550 Тор) позволяет избежать "запирания" УФ излучения и достичь плотности мощности излучения в УФ области спектра ~ 400 кВт/см2 на внешней и ~ 700 кВт/см2 на внутренней поверхностях колбы лампы. На основе экспериментальных данных и результатов моделирования определено; что в искровом-разряде в-ксеноне при удельной мощности и энергии возбуждения, соответственно, ~ сотни МВт/см3 и ~ десятки Дж/см3 спектр излучения формируется в основном за счет фоторекомбинационных переходов из квазиконтинуальных состояний одно- и двухкратных ионов ксенона.

Проведен цикл исследований эксиламп с известными рабочими средами и возбуждением тлеющим, одно- и двухбарьерным разрядами: а) определена зависимость эффективности излучения ХеС1-эксилампы тлеющего разряда от удельной, мощности возбуждения и давления рабочей смеси. Показано, что при возбуждении тлеющим разрядом эффективность излучения молекул ХеСГ 10 % реализуется при давлениях рабочей смеси 0.5-4 Тор; б) экспериментально исследованы зависимости выходных характеристик КгС1-, ХеС1-эксиламп барьерного разряда как от режима возбуждения - формы и амплитуды импульса напряжения, частоты следования импульсов, так и состава и давления рабочей среды, геометрии разрядного промежутка, режима теплоотвода. Установлено, что наличие микроразрядов является необходимым условием получения высокой эффективности работы КгС1-ХеС1-эксиламп на основе барьерного разряда. Равномерное распределение той же вводимой мощности возбуждения по объему в условиях однородного разряда приводит к снижению эффективности; в) проведен комплекс исследований, направленных на изучение факторов, определяющих условия формирования однобарьерного разряда в ксеноне и величину эффективность излучения димеров ксенона. В результате моделирования однобарьерного разряда в ксеноне при условиях, близких к

282 реализованным в эксперименте, установлено, что слой плотной плазмы вблизи катода выполняет роль плазменного катода, а развитие разряда характеризуется наличием волны ионизации, направленной от катода с малым радиусом кривизны к аноду. Накопление заряда электронов на диэлектрическом барьере при токопрохождении приводит к запиранию электронного тока. При снятии внешнего напряжения накопленный заряд обеспечивает протекание тока в обратном направлении.

9). Установлено, что переход к установившейся стадии разряда в эксилампах барьерного разряда происходит за время около одной секунды в четыре стадии с разными формами разряда. Перед формированием установившейся стадии регистрируется искровая стадия, при которой наблюдаются яркие ветвистые каналы (искры). Экспериментально установлено, что в этот временной интервал эффективность излучения эксилампы принимает минимальные значения. Показано, что использование «дежурного» разряда позволяет избежать искровой стадии при включении эксилампы и, соответственно, уменьшения мощности излучения в этот временной интервал.

10). Разработаны методики расчета мгновенных величин мощности возбуждения и энерговвода как функций времени в эксилампах емкостного, барьерного и барьерного коронного разрядов, а также расчета спектрального распределения энергии полихроматического излучения в абсолютных единицах, которые могут быть использованы при проведении исследований в других областях.

11). При проведении работы разработаны и созданы: а) электроразрядные лазеры ДИЛАН и ЛИДА; б) модульные эксилампы тлеющего разряда с мощностью излучения 1.6 кВт (КгС1-эксилампа) и 1.1 кВт (ХеС1-эксилампа); в) эксилампы барьерного разряда: КгС1-эксилампа с мощностью излучения ~100 Вт; Хе2-эксилампа с мощностью излучения до 50 Вт с размером излучающей области 20 х 24 см" и плотностью мощности излучения до 100 мВт/см2; г) эксилампы аксиально-симметричной и плоской безоконной (с размером излучающей области 23 х 23 см2) конструкций для получения излучения на димерах аргона и криптона, излучение которых не пропускается кварцевыми стенками эксиламп традиционных конструкций; д) импульсная искровая ксеноновая лампа с пиковой мощностью излучения в диапазоне от 190 до 250 нм до ~ 200 кВт; е) на основе однобарьерной ксеноновой эксилампы создан фотореактор для воздействия на жидкости илитазы при давлении до 40 атм.

Таким образом, можно" заключить, что при проведении*- настоящей работы решена крупная научно-техническая задача исследования и создания газоразрядных источников с улучшенными выходными параметрами излучения в оптической части спектра. Расширен класс газофазных рабочих сред источников спонтанного излучения, возбуждаемых различными типами самостоятельного разряда в газе, включая ранее не применявшиеся для данной цели; исследованы физические процессы в наиболее перспективных рабочих средах газоразрядных источников' спонтанного и вынужденного излучения и определены их выходные характеристики; создан ряд мощных» эффективных эксиламп непрерывного и квазинепрерывного действия, а также газоразрядных источников спонтанного излучения повышенной импульсной мощности в УФ и ВУФ областях.

Результаты научно-исследовательской работы внедрены в Томском государственном университете, Институте общей физики АН СССР, (г. Москва), Институте сильноточной электроники СО РАН, (г. Томск), Институте кардиологии ТНЦ РАМН, (г. Томск), в ЗАО «ИЦ Эксимер», (г. Санкт-Петербург), Институте теплофизики экстремальных состояний ОИВТ РАН, (г. Москва), а также в зарубежных организациях: компаниях Alameda Applied Science (США), DemiOptics SAS (Франция), USHIO Inc. (Япония), Sen Engineering CO LTD (Япония).

В заключение автор выражает глубокую признательность научному консультанту - д.ф.-м.н, профессору В.Ф. Тарасенко, а также коллегам по Лаборатории оптических излучений ИСЭ СО РАН - А.Н. Панченко, B.C. Скакуну, Е.Х. Бакшту, Д.В. Шитцу, Д.В. Рыбке, Д.А. Сорокину, Э.А. Соснину и М.В. Ерофееву за помощь, оказанную при проведении настоящей работы.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Газоразрядная плазма является одним из объектов, широко используемых в качестве рабочих и активных сред. Преимуществом генерации плазмы посредством электрического разряда в газе по сравнению с иными способами - ударными)волнами, взрывами, лазерным излучением и другими способами является технологичность, возможность работы в импульсно-периодическом режиме, относительная простота, а» также возможность в широких пределах изменять длительность, удельные энергетические, а также спектральные характеристики излучения плазмы. В этом случае для получения плазмы част используются различные типы электрического разряда в газе.

Помимо выбора типа энерговвода в излучающую среду принципиальными с точки зрения создания источника излучения с заданными спектральными, временными и энергетическими параметрами излучения являются характеристики используемой рабочей среды. Одними из наиболее эффективных в УФ и ВУФ областях спектра являются среды на основе неравновесного излучения димеров и галогенидов* инертных газов. Настоящая работа посвящена- исследованию газоразрядных источников спонтанного и вынужденного излучения с рабочими» и активными1 средами на основе инертных газов и их смесей с галогенами.

Список литературы диссертационного исследования доктор физико-математических наук Ломаев, Михаил Иванович, 2010 год

1. Гудзенко Л.И., Яковленко С.И. Плазменные лазеры. -М.: Атомиздат, 1978.-256 с.

2. Справочник по лазерам / Под ред. A.M. Прохорова. В 2-х томах. Т. 1. -М.: Советское радио, 1978. -504 с.

3. Bridges W.B., and Chester A.N. Visible and UV Laser Oscillation of 118 Wavelengths in Ionized Neon, Argon, Krypton, Xenon, Oxygen, and Other Gases // Appl. Optics. -1965. -Vol. 4. No. 5.-P. 573-530.

4. Pixton R.M., and Fowles G.R. Visible laser oscillation in helium at 7063 A // Phys. Letters. -1969. Vol. 29A. -P. 654-655.

5. Schmieder D., Brink D.J., Salamon T.I., and Jones E.G. A high pressure 535.3 nm neon hydrogen laser // Optics Communications. -1981. -Vol. 36. No. 3. -P. 223-226.

6. Schmieder D., and Salamon T.I. A visible helium plasma recombination laser // Optics Communications. -1985. -Vol. 55. No. 1. -P. 49-54.

7. Иванов И.Г., JIamyui E.JI., Сэм М.Ф. Ионные лазеры на парах металлов. -М.: Энергоатомиздат, 1990. -256 с.

8. Бункин Ф.В., Держиев В.И., Месяц Г.А., Скакун B.C., Тарасенко В.Ф., ФеденевА.В., Яковленко С.И. Мощный Ne-H2 лазер с накачкой от малогабаритного промышленного ускорителя // Квантовая электроника. -1985. Т. 12. № 10. -С. 1993-1994.

9. Бункин Ф.В., Держиев В.И., Месяц Г.А., Муравьев И.И., Скакун B.C., Тарасенко В. Ф„ Феденев A.B., Яковленко С.И., Янчарина A.M. Пеннинговские плазменные лазеры на переходах неона // Известия АН СССР, серия физическая. -1986.-Т. 50.-С. 1064-1074.

10. Эксимерные лазеры / Под ред. Ч. Роудза. -М.: Мир. 1981.-245 с.

11. Китаева В.Ф., Одинцова А.И., Соболев H.H. Ионные аргоновые квантовые генераторы непрерывного действия // УФН. -1969. Т. 99. Вып. 3. -С. 361^416.

12. Jcivan A., Bennett W.R., and Herriott D.R. Population Inversion and Continuous Optical Maser Oscillation in a Gas Discharge Containing a He-Ne Mixture // Physical Review Letters. -1961. -Vol. 6. No. 3. -P. 106-110.

13. Яковленко С.И. Плазма для лазеров / В сб. Физика плазмы. Т. 3 Итоги науки и техники. -М.: Изд-во ВИНИТИ АН СССР, 1982. -С. 57-118.

14. Bennet W.R. Inversion mechanism in gas lasers // Apply Optics Supplement on Chemical Lasers. -1965. -P. 3-33.

15. Елецкий A.B., Смирнов Б.М. Физические процессы в газовых лазерах. -М.: Энергоатомиздат, 1985. -152 с.

16. Васильев Б.И, Ястребков A.B. О возможности NH3 -лазера высокого давления // Квантовая электроника. -1984. Т. 11. № 5. -С. 1052-1060.

17. Бохан П.А. Процессы релаксации и влияние метастабильных состояний атомов и ионов металлов на механизм генерации и энергетические характеристики лазеров // Квантовая электроника. -1986. Т. 13. № 9. -С. 1837-1847.

18. Бердникое А.Н., Доржиев В.И., Муравьев И.PI., Яковленко С.И., Янчарина A.M. Пеннинговский плазменный лазер на новых переходах атома гелия в видимой области спектра // Квантовая электроника. -1987. Т. 14. № 11. -С. 2197-2200.

19. Ломаев М.И., Тарасенко В.Ф. Генерация на длинах волн 583.3, 540.1 нм неона и на 428 нм иона азота при накачке поперечным разрядом // Оптика и спектроскопия. -1986.-Т. 61. Вып. 5.-С. 1102-1105.

20. Ломаев ММ., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Исследование генерации в неоне при накачке самостоятельным разрядом с УФ предыонизацией // Квантовая электроника. -1987. Т. 14. № 5. -С. 993-996.

21. Ломаев М.И., Тарасенко В.Ф. Генерация в инертных газах при накачке поперечным разрядом // Письма в ЖТФ . -1988. Т. 14. В. 11. -С. 1045-1048.

22. Горюнов Ф.Г., Ломаев М.И., Тарасенко В.Ф., Янчарина A.M. Генерация на атомарных переходах инертных газов при накачке самостоятельным разрядом. Томск, 1988. -23 с. (Препринт / Томский филиал СО АН СССР, № 50).

23. Ломаев М.И., Нагорный Д.Ю., Тарасенко В.Ф., Феденев A.B., Кириллин Г.В. Генерация на атомарных переходах инертных газов в смесях с NF3 // Квантовая электроника. -1989. Т. 16. № 10. -С. 2053-2056.

24. Ломаев М.И., Тарасенко В.Ф., Янчарпна A.M. Спектроскопия активных сред на основе смесей инертных газов с NF3 // Известия СО АН СССР, сер. тех. наук. —1989. Вып. 6.-С. 125-132.

25. Ломаев М.И. Электроразрядные лазеры на переходах Hei, Nel, Arl, FI, N2+ со столкновительной очисткой нижнего лазерного уровня водородом и NF3. Диссертация на соискание ученой степени к.ф.-м.н. -Томск, 1992. -126 с.

26. Пастор A.A., Романов Л.А., Сердобинцев П.Ю. Исследование рекомбинационного режима заселения возбужденных состояний неона в смеси неон водород в импульсном поперечном разряде // Вестник ЛГУ. -1984. № 10. -С. 102 - 104.

27. Бункин Ф.В., Держиев В.И., Латуш Е.Л., Муравьев И.И., Сэм М.Ф., Чеботарев Г.Д., Яковленко С.И. Инверсия и генерация па переходе Ne I X = 585,3 нм в разрядах с жесткой составляющей // Квантовая электроника. -1986. Т. 13. № 12. -С. 2531 -2533.

28. Salomon T.I., Schmieder D. The Inversion mechanism of the 585.3 nm neon laser // Opt. Commun. -1987. -Vol. 62. No. 5. -P. 323-327.

29. Boichenko A.M., Skakun KS., Tarasenko V.F., Fomin E.A., Yakovlenko S.I. Cylindrical Excilamp Pumped by a Barrier Discharge // Laser Physics. -1994. -Vol. 4. No 3. -P. 635-637.

30. Алехин A.A., Баринов B.A., Герасько Ю.В., Костенко О.Ф., Любченко Ф.Н., Тюкавкин A.B., Шалашков В.И. Непрерывные плазмохимические источники света. / Под ред. Ф.Н. Любченко. -М.: "БИОР", 1997. -160 с.

31. Протасов Ю.С. Плазменные источники излучения высокой спектральной яркости / Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том IV. / Под ред. В.Е. Фортова.-М.: Наука, 2000. -С. 232 262.

32. Wieser J., Murnick D.E., Ulrich A., Huggins H.A., Liddle A., and Brown W.L. Vacuum ultraviolet rare gas excimer light sources // Rev. Sci. Instrum. -1997. -Vol. 68. No. 3. -P. 1360- 1364.

33. Wilkinson P.G., Tanaka Y. New Xenon-Light Source for the Vacuum Ultraviolet // J. Opt. Soc. Am. -1955. -Vol. 45. -P. 344-349.

34. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. Характеристики поперечного, высокочастотного разряда на смеси ксенона с хлором // Физика плазмы. -2004. -Т. 30. № 5.-С. 475^480.

35. Newman D.S. and Brennan M.J. The Dielectric Barrier Discharge: A Bright Spark for Australia's Future//Aust. J. Phys. -1995. -Vol. 48. -P. 543-556.

36. Борисов B.M., Водчгщ В.А., Ельцов A.B., Христофоров О.Б. Мощные высокоэффективные KrF-лампы с возбуждением скользящим и барьерным разрядами // Квантовая электроника. -1998. Т. 25. № 4. -С. 308-314.

37. Бойченко A.M., Тарасенко В.Ф., Фомин Е.А., Яковленко С.И. Широкополосные континуумы в инертных газах и их смесях с галогенидами // Квантовая электроника. -1993. Т. 20. № 1. -С. 7-30.

38. Головицкий А.П. Возможности создания эффективных излучателей на основе непрерывного тлеющего разряда в смесях инертных газов и галогенов // Письма в ЖТФ.-1992.-Т. 18. Вып. 8.-С. 73-76.

39. Jones R.B, Schloss J.H, Eden J.G. Discharge-excited free jet source of rare gas-halide and oxide molecules // J. Appl. Phys. -1992. -Vol. 71. No. 4. -P. 1674-1682.

40. Ломаев М.И.', Скакун B.C., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф., Шшпц Д.В. Отпаянные эффективные эксилампы, возбуждаемые емкостным разрядом // Письма в ЖТФ. -1999. Т. 25. В. 21. -С. 27-32.

41. Ломаев М.И., Скакун B.C., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В., Ерофеев М.В. Эксилампы эффективные источники спонтанного УФ- и ВУФ-излучения // Успехи физических наук. -2003, - Т. 173. № 2. -С. 201-217.

42. Curtis W.E. A New Band Spectrum Associated with Helium // Proc. Roy. Soc. London. -1913. Ser. A89. -P.146-149.

43. Goldstein F. Uber ein noch beschriebenes, anscheinend dem Helium angehörendes, Spektrum // Verh. Deutsche Phys. Ges. -1913. -Vol. 15. -P. 402^113.

44. HopfieJd J.J. New ultra-violet spectrum of helium // Astrophys. J. -1930. -Vol. 72. -P.133-145.

45. Mulliken R.S. Potential curves of Diatomic Rare-Gas Molecules and» Their Iona and Particular Reference to Xe2* // J. Chem. Phys. -1970. -Vol. 52. -P. 5170-5182.

46. Stevens В., Hutton E. Radiative life-time of the pyrene dimer and the possible role of excited dimers in energy transfer processes // Nature. -1960. -Vol. 186. No. 4730. -P. 1045-1046.

47. Басов Н.Г., Данилычев B.A., Попов Ю.М., Ходкевич Д.Д. Квантовый генератор в вакуумной области спектра при возбуждении жидкого ксенона электронным пучком // Письма в ЖЭТФ. -1970. Т. 12. № 10. -G. 473-474.

48. Rhodes С. Review of ultraviolet laser physics // IEEE J. Quantum Electronics. -1974. -Vol. 10. No. 2.-P. 153- 174.

49. Лакоба И.С., Яковленко С.И. Активные среды эксиплексных лазеров (Обзор) // Квантовая электроника. -1980. Т. 10. -С. 389-410.

50. Смг1рнов Б.М. Эксимерные молекулы // УФН. -1983. Т. 139. Вып. 1. -С. 53-81.

51. Газовые лазеры / Под редакцией И. Мак-Даниэля и У. Нигена. -М.: Мир, 1986. -550 с.

52. Баранов В.Ю., Борисов В.М., Степанов Ю.Ю. Электроразрядные эксимерные лазеры. -М.: Энергоатомиздат, 1988. -216 с.

53. Герасимов Г.Н., Крылов Б.Е., Логинов А.В., Щукин С.А. Ультрафиолетовое излучение возбужденных молекул инертных газов // УФН. -1992. Т. 162. № 5. -С. 123- 159:

54. Волкова Г.А., Кириллова Н.Н., Павловская Е.Н., Подмошенский И.В., Яковлева А.В. Лампа для облучения в вакуумной ультрафиолетовой области спектра // Бюл. изобр. -1982. №41.-С. 179.

55. Shevera V.S., Shuaibov А.К., Malinin A.N., and Gerts S.Yu. Investigation of the efficiency of the formation of monohalides of inert gases in pulsed discharge through a dielectric // Opt. Spectrosc. (USSR). -1980. -Vol. 49. -P. 662-663.

56. Malinin A.N., Shuaibov A.K., Shevera V.S. Excitation of a mixture of mercury vapor and halogen-containing molecules in a pulsed discharge through a dielectric // J. Appl. Spectrosc. -1980. -Vol. 32. -P. 313-316.

57. Eliasson В., Kogelschatz U. Modeling and Applications of Silent Discharge Plasmas // IEEE Transactions on Plasma Science. -1991. -Vol. 19. No. 2. -P. 309-323.

58. Von Arx C., Kogelschatz U. High-power radiator // US Patent 5,198,717. March.30, 1993.

59. Kogelschatz U. High-power radiator// US Patent 5,386,170. Jan. 31, 1995.

60. Gellert В., Kogelschatz U. Generation of Excimer Emission in Dielectric Barrier Discharges // Appl. Phys. B. -1991. -Vol. 52. -P. 14-21.

61. Kogelschatz U. Dielectric-barrier Discharges: Their History, Discharge Physics, and Industrial Applications // Plasma Chemistry and Plasma Processing. -2003. -Vol. 23. No. 1. -P. 1-45.

62. Kogelschatz U. High-power radiator // US Patent 5,214,344. May 25, 1993.

63. Kogelschatz U., Salger J. High-Pressure Plasmas: Dielectric-Barrier and Corona Discharges Properties and Technical Applications. In: Low Temperature Plasma. Fundamentals, Technologies, and Techniques (2nd Edn.). / Ed. By R. Hippler, H. Kersten,

64. M. Schmidt, К.Н. Schoenbach. WILEY-VCH Verlag GmbH&Co. KGaA, Weinheim, 2008. - Vol. 2. -P. 439-462.

65. Zhang J.-Y, Boyd I. W. Efficient excimer ultraviolet sources from a dielectric barrier discharge in rare-gas/halogen mixtures // J. Appl. Phys. -1996. Vol. 80 (2). -P. 633-638.

66. Boyd I.W., Zhang J. Y. New large area ultraviolet lamp sources and their applications // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research- B. -1997. -Vol. 121.-P. 349-356.

67. Zhang J.-Y, Boydl.W. Lifetime investigation ofexcimei UV sources //Applied Surface Science. -2000. Vol. 168. -P. 296-299.

68. Boyd I.W., Zhang J. Y., Kogelschatz U. Development and applications of UV excimer lamps. Photo-Excited Piocesses, Diagnostics and Applications. / Ed. by A. Peled. Kluwer Academic. The Netherlands, 2003. -P. 161-199.

69. Энциклопедия низкотемепратурной плазмы. Серия Б. Справочные приложения, базы и банки данных. Том XI-4. Газовые и плазменные лазеры / Под< ред. С.И. Яковленко. -М.: Физматлит, 2005. -С. 471-636.

70. Ломаев М.И, Соснш Э.А., Тарасенко В.Ф., Ulumif Д.В., Скакун В. С, Ерофеев М.В., Лисенко А.А. Эксилампы барьерного и емкостного разрядов и их применения // Приборы и техника эксперимента. -2006. № 5. -С. 5 26.

71. Шуаибов А.К, Шевера И.В., Шимон Л Л., Соснин Э.А. Современные источники ультрафиолетового излучения: разработка и применение. -Ужгород: Ужгородский национальный университет, 2006. -225 с.

72. Falkenstein Z., Coogan J. The development of a silent discharge-driven XeBr* excimer UV light source // J. Phys. D: Appl. Phys. -1997. Vol. 30. -P. 2704-2710.

73. Zhang J.—Y., Boyd I.W. Efficient Xel excimer ultraviolet sources from a dielectric barrier discharge // J. Appl. Phys. -1998. Vol. 84. No. 3. -P. 1174-1178.

74. Волкова Г.А., Зверева Г.Н. Исследование параметров барьерного разряда в смесях^ . Кг -12, Хе- Т2 // Оптика и спектроскопия. -2004. Т. 96. № 3. -С. 419-427.

75. Arnold Е., Dreiskemper R., and Reber S. High-Power Excimer Sources Proc. Of the 8th Internatinal Symposium on the Science and Technology of LIGHT SOURCIES LS-8. Greifswald. Germany, 30 Aug.- 3 Sept. 1998. -P. 90-98.

76. Eliasson В., Egli W., Kogelschatz U. Modeling of Dielectric Barrier Discharge Chemistry // Pure and Applied Chemistry. -1994. Vol. 66. No. 6. -P. 1275-1286.

77. Kogelschatz U., Eliasson В., Egli W. From ozone generators to flat television screens: history and future potential of dielectric barrier discharges // Pure Appl. Chem. -1999. -Vol. 71. No. 10.-P. 1819-1828.th

78. Vollkommer F., Hitzschke L. Dielectric Barrier Discharge // Proc. Of the 8- Internatinal Symposium on the Science and Technology of LIGHT SOURCIES LS-8. Greifswald. Germany, 30 Aug.- 3 Sept. 1998. -P. 51-60.

79. Kogelschatz U. Filamentary, Patterned, and Diffuse Barrier Discharge // IEEE Transactions on Plasma Science. -2002. Vol. 30. No. 4. -P. 1400-1408.

80. Gibalov V.I., Pietsch G.J. The development of dielectric barrier discharges in gas gaps and on surfaces // J. Phys. D: Appl. Phys. -2000. Vol. 33. -P. 2618-2636.

81. Brauer I., Pvmset C., Pui-wins H. -G., Boeuf J. P. Simulations of self-organized filaments in a dielectric barrier glow discharge plasma // J. Appl. Phys. -1999. Vol. 85. No. 11.-P. 7569-7572.

82. Akashi H., Oda A., Sakai Y. Modeling of Multifilament Formation in Dielectric Barrier Discharge Excimer Lamp // IEEE Transactions on Plasma Science. -2005. Vol. 33. No. 2. -P. 308-309.

83. Boichenko A.M., Tarasenko V.F., Yakovlenko S.I. Exciplex rare-halide lasers // Laser Physics.-2000. Vol. 10. No. 6.-P. 1159-1187.

84. О da A., Sakai Y:, Akashi H., andSugawara H. One-dimensional modeling of low-frequency and high-pressure Xe barrier discharges for the design of excimer lamps // J. Phys. D: Appl. Phys. -1999. Vol. 32. -P. 2726-2736.

85. Carman R.J., and Mildren R.P. Computer modeling of a short-pulse excited dielectric barrier discharge xenon excimer lamp (k ~ 172 ran) // J. Phys. D: Appl. Phys. -2003. -Vol. 36.-P. 19-33.

86. Bogdanov E.A., Kudryavtsev A.A., Arslanov R.R., and Kolobov V.I. Simulation of pulsed dielectric barrier discharge xenon excimer lamp // J. Phys. D: Appl. Phys. -2004. -Vol. 37.-P. 2987-2995. '

87. Beleznai Sz., Mihajlik G., Agod A., Maros I., Jithasz R., Nemeth Zs., Jakab L., and Richter P. High-efficiency dielectric barrier Xe discharge lamp: theoretical and experimental investigations // J. Phys. D: Appl. Phys. -2006. Vol. 39. -P. 3777-3787.

88. Boichenko A.M., Yakovlenko S.I., Tarasenko V.F. Electron beam-excited Xe excilamp's optimal characteristics // Laser and Particle beams. -2000. Vol. 18. -P. 655-660.

89. Mildren R.P., Carman R.J. Enhanced performance of a dielectric barrier discharge lamp using short-pulsed excitation // J. Phys. D: Appl. Phys. -2001. Vol. 34. -P. LI - L6.

90. Nakamura I, Kannari F, Obara M. Improvement of the KrF(B-X) excimer lamp with 248 and 193 nm dual wavelength emission using an Ar buffer // Appl. Phys. Lett. -1990. Vol. 57. -P. 2057-2059.

91. Tanaka Y„ Jursa A.S. Combining of the Rare-Gas Continua // J. Opt. Soc. America. -1960.-Vol. 50.-P. 1118-1119.

92. Зайдель A.H., Шрейдер Е.Я. Спектроскопия вакуумного ультрафиолета. -М.: Наука, Главная редакция физико-математической литературы, 1967. -472 с.

93. Shuaibov A.K Multiwave excimer lamps using XeF/XeCl/KrF/KrCl molecules // Technical Physics. -1998. Vol. 43. No. 12. -P. 1459-1462.

94. Malinin A.K, Guivan N.N., and Shimon L.L. Emission Spectra of Working Mixtures of a HgBr/HgCl Excimer Lamp // Optics and Spectroscopy. -2000. Vol. 89. No. 6. -P. 829-833.

95. Шуаибов А.К., Дагценко A.M. Условия одновременного образования хлоридов Аг, Кг, Хе в многоволновом излучателе с накачкой поперечным-разрядом-// Квантовая электроника. -2000. Т. 30. № 3. -С. 279-281.

96. Guivan N.N., Janca J., BrabJec A., Stahel P., Stavicek P., Shimon L.L. Planar UV excilamp excited by a surface barrier discharge // J. Phys. D: Appl. Phys. -2005. -Vol. 38.-P. 3188-3193.

97. Шуаибов A.K, Грабовая И.А. Электроразрядная ультрафиолетовая лампа на смеси ксенон-йод // Журнал прикладной спектроскопии. -2005. Т. 72. № 2. -С. 247-250.

98. Шуаибов А.К., Шевера И.В. Эксиплексно-галогенные широкополосные лампы на смесях инертных газов с молекулами хлора и фреона-12 // ЖТФ. -2007. Т. 77. Вып. 9. -С. 93-101.

99. Рыкстин Н.Н., Углов А.А., Зуев КВ., Кокора А.Н. Лазерная и электронно-лучевая обработка материалов: Справочник. -М.: Машиностроение, 1985. -496 с.

100. Excimer Laser Technology / Ed. by D. Basting and G. Marowsky. Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2005. -434 P.

101. Mehnert R. UV Curing Equipment-Monochromatic UV Lamps, in UV and EB Curing Technology and Equipment / Ed. by J. Wiley. S1TA. 1999. Chapter 4. -P. 83-105.

102. Falkenstein Z Another Route to the Ultraviolet // Photonics Spectra. -2001. -Vol.35. Is.ll.-P. 108-110.

103. Hitzschke L. and Vollkommer F. Product Families based on Dielectric Barrier Discharge // Proc. of the 9th International Symposium on the Science and Technology of Light Sources. Cornell University. Ithaca, NY, USA, 12-16 August 2001. -P. 411-421.

104. Laroussi M., Dobbs F.C., Doblin M.A., Ball L.G., Moreira K.R., Dyer F.F., Richardson J.P. Decontamination of Water by Excimer UV Radiation // IEEE Transactions on Plasma Science. -2002. Vol. 30. No. 4. -P. 1501- 1503.

105. Oppenlander T. Photochemical Purification of Water and Air, Advanced Oxidation Processes (AOPs): Principles, Reaction Mechanisms, Reactor Concepts. New York/Weinheim: Wiley-VCH, 2003. ISBN 3-527-30563-7.

106. Oppenlander T Mercury-free sources of VUV-UV radiation application of modern excimer lamps (excilamps) for water and air treatment //J. Envirom. Eng. Sci. -2007. Vol. 6. -P. 253-264.

107. Lazzaro D., Murra P., Felici D., Fu S. Spatial distribution of the light emitted by an excimer lamp used for ultravioletB photo-therapy: experiment and modeling // Rev. Sci. Instrum. -2004. Vol. 75. Is. 5. -P. 1332-1336.

108. Muzzi F., Baldesi A. Apparatus with ultraviolet spectrum lamp for the treatment of psoriasis // Int. Pat. Class. A61N5/06, Int. Publ. No. WO 03/024526 Al.

109. Oppenlander Т., Gliese G. Mineralization of Organic Micropollutants (Homologous Alcohols and Phenols) in Water by Vacuum-UV-Oxidation (H20-VUV) with an Incoherent Xenon-Excimer Lamp at 172 nm // Chemosphere. -2000. -Vol. 40.-P. 15-21.

110. Айзенберг Ю.Б. Световые приборы. Справочная книга по светотехнике. / Под ред. Ю.Б. Айзенберга. -М.: Энергоатомиздат, 1983. -С. 111-136.

111. Смирнов Б.М., Яценко А.С. Димеры. -Новосибирск: Наука, Сибирская издательская фирма РАН. 1997. -148 с.

112. Гордон Е.Б., Егоров В.Г., Михелъсо В.Т., Наливайко С.Е., Павленко B.C., ПеэтВ.Э., Трещалов А.Б. О гарпунном канале образования эксимерных молекул в электроразрядном ХеС1-лазере // Квантовая электроника. -1988. Т. 15. № 2. -С. 285-288.

113. Eliasson В., Kogelschatz U. Nonequilibrium volume plasma chemical processing // IEEE Transactions on Plasma Science. -1991. Vol. 19. -P. 1063-1077.

114. Райзер Ю.П., Шиейдер М.Н., Яценко Н.А Высокочастотный емкостной разряд: Физика. Техника эксперимента. Приложения: Учеб. пособие: Для вузов. -М.: Изд-во Моск. физ.-техн. ин-та. Наука. Физматлит. 1995. -320 с.

115. Протасов Ю.С., Чувашев С.И. Динамика частиц и особенности процессов переноса в низкотемпературной плазме / Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том 1. / Под ред. В.Е. Фортова. -М.: Наука, 2000. -С. 101-126.

116. Браун С. Элементарные процессы в плазме газового разряда: Пер. с англ. / Под ред. Д.А. Франк-Каменецкого. -М.: Атомиздат, 1961. -323 с.

117. Мак-Доналд А. Сверхвысокочастотный пробой в газах: / Пер. с англ. Под ред. М.С. Рабиновича-М.: Мир, 1969. -205 с.

118. Kiimagai И., Obara М. New high-efficiency quasi-continuous operation of an ArF(B-X) excimer lamp excited by microwave discharge // Appl. Phys. Lett. -1989. -Vol. 54.-P. 2619-2621.

119. Kutamura M, Mitsuka K, Sato H. XeCl (B-X) Excimer Lamp Excited by Microwave Discharge // Appl. Surface Science. -1994. Vol. 79/80. -P. 507.

120. Kumagai H., and Toyoda K. Properties of new high-efficiency vacuum ultraviolet fluorine lamp excited by microwave discharge // Appl. Phys. Lett. -1991. Vol. 59. -P. 2811-2813.

121. Schoenbach K, El-Habachi A., Shi W., and Ciocca M. High-pressure hollow cathode discharges It Plasma Sources Sci. Technol. -1997. Vol. 6. -P. 468-477.

122. El-Habachi A., Schoenbach K.H. Emission of excimer radiation from direct current, high-pressure hollow cathode discharges // Appl. Phys. Lett. -1998. Vol. 72. No. 1. -P. 22-24.

123. Schoenbach КН., El-Habachi A., Moselhy M.M., Shi W., Stark R H. Microhollow cathode discharge excimer lamps // Physics of Plasmas. -2000. Vol. 7. No. 5. -P. 2186-2191.

124. Zhu IV., Takano N. Schoenbach K.H., Guru D., McLaren J., Heberlein J., May R.and Cooper J. R. Direct current planar excimer source // J. Phys. D: Appl. Phys. -2007. -Vol. 40.-P. 3896-3906.

125. Райзер Ю.11. Физика газового разряда. Учеб. руководство. -М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1987. -592 с.

126. Taylor R.S, Leopold К.Е., Tan К.О. Continuous B-X excimer fluorescence using direct current discharge excitation // Appl. Phys. Lett. -1991. Vol. 59. No. 5. -P. 525-527.

127. Головицкий А.П., Кан С.H. Характеристики ультрафиолетового эксимерного излучения непрерывного тлеющего разряда низкого давления // Оптика и спектроскопия. -1993. Т. 75. Вып. 3. -С. 604-609.

128. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Излучательные характеристики поднормального тлеющего разряда в смесях инертных газов и галогенов // Оптика и спектроскопия. -1998. Т. 84. № 3. -С. 389-392.

129. Панченко А.Н, Соснин Э.А, Тарасенко В.Ф. Рабочая среда лампы тлеющего разряда низкого давления // Патент RU 2089962 Cl. Бюлл. изобр. -1997. № 25.-С. 350.

130. Импульсные источники света /Под ред. И.С. Маршака. -М.: Энергия, 1978. -472 с.

131. Справочная книга по светотехнике. Под ред. Ю.Б. Айзенберга. -М.: Энергоатомиздат, 1983. -472 с.

132. Рохлин Г.Н. Разрядные источники света. -М.: Энергоатомиздат, 1991. -720 с.

133. Басов Ю.Г. Источники накачки микросекундных лазеров. -М.: Энергоатомиздат, 1990. -240 с.

134. Фортов В.Е. Динамические методы в физике плазмы // УФН. -1982. -Т. 138. Вып. 3. -С. 361-412.

135. Радиационная плазм о динамика. Т. 1 / Под ред. Ю.С. Протасова. Т. 1. Материалы I Всесоюзного симпозиума по радиационной плазмодинамике. -М.: Энергоатомиздат, 1991.-574 с.

136. Протасов Ю.С., Протасов Ю.Ю. Светоэрозионный источник высокоэнтальпийных газово-плазменных потоков сложного химического состава / ПТЭ. -2003. № 2. -С. 65-71.

137. Протасов Ю.С., Протасов Ю.Ю. Импульсный источник коротковолнового ультрафиолетового излучения высокой плотности мощности / ПТЭ. -2003. № 2. -С. 72-77.

138. Lam S.K., Lo D., Zheng C.E., Yuan C.L., Shanggitan C. Yang, T.L., Kochetov I.V. Parametric study of Xe2* dimer in high-pressure electrical discharges // Applied Physics B: Lasers and Optics. -2002. Vol. 75. No. 6-7. -P. 723-730.

139. Panchenko A.N., Tarasenko V.F., Belokurov A.N., Mendoza P., and Rios I. Planar KrGl excilamp pumped by transverse self-sustained discharge with optical system for radiation concentration // Phys. Scr. -2006. Vol. 74. -P. 108-113.

140. Noggle R.C., Krider E.P., Wayland J.R. A search fort X rays from helium and air discharges at atmospheric pressure // J. Appl. Phys. -1968. Vol. 39. -P. 4746^1748.

141. Тарасова JI.B., Худякова Л.H. Рентгеновское излучение при импульсных разрядах в воздухе//ЖТФ. -1969. Т. 39. Вып. 8. -С. 1530-1533.

142. Tarasenko VF, Yakovlenko S.I. High-powet subnanosecond beams of runaway electrons and volume discharge formation in gases at atmospheric pressure // Plasma Devices and Operations. -2005. Vol. 13. No 4. -P. 231-279.

143. Тарасенко В.Ф., Орловский B.M., Шунайлов С А Формирование пучка электронов в воздухе при атмосферном давлении // Известия вузов. Физика. -2003. № 3. -С. 94-95.

144. Бабич Л.П., Лойко Т.В., Тарасова Л.В. Характеристики газоразрядного источника световых импульсов наносекундной длительности // ПТЭ. -1977. № 1. -С. 203-205. .

145. Костыря И.Д., Скакун B.C., Тарасенко В.Ф., Феденев А В Оптические свойства плазмы при объемном наносекундном разряде атмосферного давления в неоднородном электрическом поле // ЖТФ. -2004. Т. 74. Вып. 8. -С. 35-40.

146. Manley Т.С. The ekectric characteristics of the ozonator discharge // Trans. Electrochem. Soc. -1943. Vol. 84. -P. 83-96.

147. Falkenstein Z., Coogan J J Microdischarge behavior in the silent discharge of nitrogen -oxigen and water-air mixtures // J. Phys. D: Appl. Phys. -1997. Vol. 30.-P. 817-825.

148. Емельянов Ю.М., Филиппов Ю.В. Электрическая теория озонаторов II. Теория динамических характеристик озонаторов // Журнал физической химии. -1957.-Т. 31. №7.-С. 1628-1635.

149. Емельянов Ю.М., Филиппов Ю.В. Электрическая теория озонаторов IV. Об активной мощности озонаторов // Журнал физической химии. -1959. Т. 33. № 5: -С. 1042-1046.

150. Самойлович В.Г., Гибалов В И., Козлов КВ. Физическая химия барьерного разряда. -М.: Изд-во МГУ, 1989. -176 с.

151. Liu S. and Neiger М Excitation of dielectric barrier discharges by unipolar submicrosecond square pulses // J. Phys. D: Appl. Phys. -2001. Vol. 34. -P. 1632-1638.

152. Автаева C.B. Барьерный разряд. Исследование и применение. -Бишкек. Изд-во Киргизско-Российского Славянского Университета, 2009. -152 с.

153. Jumo М., Okamoto М., Takeda М., and Motomura Н. Luminance and efficacy impiovement of low-pressure xenon pulsed fluorescent lamps by using an auxiliary external electrode // J. Phys. D: Appl. Phys. -2001. Vol. 40. -P. 3889-3895.

154. Schwarz-Kiene P., Heering W. Improved power converter for pulsed operation of DBD // Proc. SPIE. -2000. Vol. 4071. -P. 271-282. Int. Conference on Atomic and Molecular Pulsed Lasers III, Tomsk (Russia), 13-17 Sept. 1999.

155. Эпштейн М.И. Измерения оптического излучения в электронике. -М.: Энергоатомиздат, 1990. -254 с.

156. Гуревич ММ. Фотометрия (теория, методы и приборы). -Д.: Энергоатомиздат, 1983. -272 с.176. http://www.ophiropt.com/

157. Подмошенский И.В., Пухов A.M., Яковлева A.B. // Журнал прикладной спектроскопии. -1972. Т. XVI. Вып. 3. -С. 415.

158. Малышев В-.И. Введение в экспериментальную спектроскопию. -М.: Наука, Главная редакция физико-математической литературы, 1979. -480 с.

159. Диагностика и метрология плазменных процессов / Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том II. Раздел V. / Под ред. В.Е. Фортова. -М.: Наука, 2000. -С. 382-634.

160. БекефиД., Дейч К., Якоби Б. Спектроскопическая диагностика лазерной плазмы / В сб. Плазма в лазерах. / Под ред. Д. Бекефи. -М.: Энергоиздат, 1982. -С. 312-409.

161. Очкин В.Н. Спектроскопия низкотемпературной плазмы. -М.: Физматлит, 2006. -472 с.

162. Колесников В.Н. Низкотемпературная плазма как объект диагностики / Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том II. / Под ред. В.Е. Фортова. -М.: Наука, 2000. -С. 393-411.

163. Колесников В.Н. Спектроскопическая диагностика плазмы в УВИ диапазоне / Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том II. / Под ред. В.Е. Фортова. -М.: Наука, 2000. -С. 491-507.

164. Методы исследования плазмы. / Под ред. В. Лохте-Хольтгревена. Перевод с англ. Под ред. С.Ю. Лукьянова. -М.: Мир, 1971. -552 с

165. Грим Г. Уширение спектральных линий в плазме. -М.: Мир, 1978. -492 с.

166. Воробьев B.C., Железняк М.Б. Определение концентрации и температуры электронов по абсолютной интенсивности спектральных линий в неравновесной плазме // Оптика и спектроскопия. -1973. Т. 35. Вып. 4. -С. 619-625.

167. Кудрявцев A.A., Скребов В.И. Об определении температуры электронов по абсолютной интенсивности спектральной линии в неравновесной плазме // Оптика и спектроскопия. -1982. Т. 52. Вып. 4. -С. 621-625.

168. Britun N., Gaillard M., Ricard A., Kim Y.M., Kim К. S., Han J. G. Determination of the vibrational, rotational and electron temperatures in N2 and Ar-N2 rf discharge // J. Phys. D: Applied Physics. -2007. Vol. 40. -P. 1022-1029.

169. Загулов Ф.Я., Котов A.C., Шпак В.Г., Юрике Я.Я., Яландин М.И. РАДАН -малогабаритный импульсно-периодический сильноточный ускоритель электронов // ПТЭ. -1989. №2. -С. 146-149.

170. Жовтянский В.А., Пелен КВ., Новик О.М. Практическая спектроскопия рекомбинирующей плазмы в области перехода от ЛТР к ЧЛТР // ЖПС. -1988. Т. 49. № 3. -С. 400—407.

171. Makuchowski J., Pokora L. Theoretical model of TEA nitrogen laser excited by electric discharge. Part 1. Problem formulation // Optica Applicata. -1993. Vol. XXIII. No. 2-3.-P. 113-129.

172. GodargB. Simple High-Power Large-Efficiency N2 Ultraviolet Laser // IEEE Journal of Quantum Electronics. -1974. Vol. 10. No. 2. -P. 147-153.

173. Шваб А. Измерения на высоком напряжении. Пер. с нем. Кужекина И. П. -М.: Энергоатомиздат, 1983. -264 с.

174. Клаассен КБ. Основы измерений. Электронные методы и приборы в измерительной технике. / Перевод с английского Е.В. Воронова и A.JI. Ларина. -М.: Постмаркет, 2000. -352 с.

175. Ломаев М.И. Определение энерговвода в эксилампах с возбуждением барьерным разрядом // Оптика атмосферы и океана. -2001. Т. 14. № 11. -С. 1091-1095.

176. Liu S. and Neiger М. Electrical modeling of homogeneous dielectric barrier discharges under an arbitrary excitation voltage // J. Phys. D: Applied Physics. -2003. Vol. 36. -P. 3144-3150.

177. Ломаев М.И., Рыбка Д.В. Определение спектральной плотности энергии полихроматического излучения в абсолютных единицах // ПТЭ. -2006. № 3. -С. 111-114.

178. Тарасенко В.Ф., Верховский B.C., Федоров А.И., Телъминов Е.Н. Электроразрядный ХеС1 лазер // Квантовая электроника. -1980. Т. 7. № 9. -С. 2039-2041.

179. Мельчеико С.В., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Электрораэрядный KrCl лазер с энергией излучения 0.6 Дж // Письма в ЖТФ. -1986. Т. 12. Вып. 3. -С. 171-175.

180. Ломаев М.И., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Электроразрядный многоволновой лазер ДИЛАН // ПТЭ. -1990. № I. -С. 179-180.

181. Ломаев М.И., Панченко А.Н., Тарасенко В. Ф. Газовый импульсно-периодический лазер с накачкой поперечным разрядом // Авторское свидетельство № 1498350, 1989.

182. Силовые полупроводниковые приборы. / Пер. с англ. под ред. Токарева В.В. -Воронеж: Элист, 1995. 661с.

183. Ломаев МИ., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В., Скакун B.C. Газоразрядный источник излучения // Патент на изобретение № 2310947, зарег. 20. 11. 2007. БИ № 32 от 20. 11. 2007.

184. Panchenko A.N., Sosnin Е.А., Tarasenko VF. Improvement of output parameters of glow discharge UV excilamps // Optics Communications. -1999. Vol. 161. -P. 249-252.

185. Бакигт E.X., Панченко АН., Тарасенко В.Ф. Эффективный длинноимпульсный ХеС1-лазер с предымпульсом, формируемым индуктивным накопителем энергии // Квантовая электроника. -2000. Т. 30. № 6. -С. 506 - 509.

186. Рукин С.Н. Генераторы мощных наносекундных импульсов с полупроводниковыми прерывателями тока // Приборы и техника эксперимента. -1999. №4.-С. 5-36.

187. Рабинович С.Г. Погрешности измерений. -Л.: Энергия, 1978. -262 с.

188. Тарасов Л.В. Физика процессов в генераторах когерентного оптического излучения. -М.: Радио и связь, 1981. -440 с.

189. Willett C.S., Litynski D.M. Power increase in N2 UV and IR lasers by addition of SF6 // Appl. Phys. Lett. -1975. Vol. 26. No. 3. -P. 118-120.

190. Лосев В.Ф., Тарасенко В.Ф. Влияние добавок SFg на характеристики N2 -лазера // ЖТФ. -1976. Т. 46. -С. 2202-2204.

191. Каслин В.М., Петрат Г.Г. Новые линии импульсной генерации и сверхсветимости» на переходах неона в видимой области спектра // ЖПС. -1970. Т. ХП. Вып. 3. -С. 540-542.

192. Sutton B.G., Galvan L., Valenzuela P.R., Suchard S.N. Atomic laser action in rare-gas-SF6 mixtures // IEEE J. Quantum Electronics. -1975. Vol. QE-11. No. 1. -P. 54-57.

193. Качмарек Ф. Введение в физику лазеров. -М.: Мир, 1981. -542 с.

194. Rollins R.S., Jordan D.L. Multi-wavelength operation of rare-gas-halide lasers // J. Phys. D.: Appl. Phys. -1986. Vol. 19. No. 5. -P. 717-720.

195. Shusen M.A., Yongbang Y., Xinxin S. The double laser oscillating with KrCl and XeCl // Rev. Roum. Phys. -1986. Vol. 31. No. 9-10. -P. 881-884.

196. Kovacs M.A., Ultee C.J. Visible laser action in fluorine I // AppLPhys. Lett. -1970. -Vol. 17.No.L-P. 39-40.

197. Тарасенко В.Ф., Бычков Ю.И., Лосев В.Ф., Федоров А.И. Характеристики мощного азотного лазера// Квантовая электроника. -1973. -Т. 15. № 3. -С. 103-105.

198. Ломаев М.И., Тарасенко В.Ф. Генерация в инертных газах при накачке поперечным разрядом // Квантовая электроника. -1988. Т. 15. № 10. -С. 1978-1981.

199. Держиев В.И., Ломаев М.И., Тарасенко В.Ф., Яковленко С.И. Генерация на переходе X = 585,Знм в смеси Ne-NF3 // Оптика и спектроскопия. -1989. Т. 67. Вып. 5.-С. 1188-1189.

200. Бионди М.А. Рекомбинация. В сб. Плазма в лазерах. Под ред. Дж. Бекефи. -М.: Энергоиздат, 1982.-С. 145-176.

201. Бионди М.А. Электрон-ионная рекомбинация в газовых лазерах. В сб. Газовые лазеры. / Под ред. И. Мак-Даниэля и У. Нигена. -М.: Мир. 1986. -С. 216 234.

202. Грим Г. Спектроскопия плазмы. -М.: Атомиздат, 1969. -451 с.

203. Биберман Л.М., Воробьев B.C., Якубов И.Т. Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы. -М.: Наука, 1982. -376 с.

204. Пастор А.А., Сердобинцев П.Ю., Шубин Н.Н. Исследование роли ступенчатых процессов в начальной стадии импульсного поперечного разряда в неоне // Оптика и спектроскопия. -1986. Т. 60. Вып. 4. -С. 706-710.

205. Brake М., Repetti Th.E. Electron temperatures of intense electron-beam-produced plasma // IEEE Trans. Plasma Sci. -1989. Vol. 17. No.l. -P. 60-61.

206. Вирин JJ.K, Джагацпанян P.В., Карачевцев Г.В., Потапов В.К., Тальрозе В.Л. Ионно-молекулярные реакции в газах. -М7: Наука, 1979. -548 с.

207. Александров А.Ю., Долгих В.А., Керимов О.М, Мызников Ю.Ф., Рудой И.Г, Сорока A.M. Основные механизмы образования инверсии на Зр—3s переходах неона// Квантовая электроника. -1987. Т. 14. № 12. -С. 2389-2395.

208. Thynne J.C.J. Negative Ion Formation by Electron Impact in Nitrogen Trifluoride // J. of Phys. Chem. -1969. Vol. 73. No. 5. -P. 1536-1588.

209. Радциг A.A., Б.М. Смирнов Справочник по атомной и молекулярной физике. -М.: Атомиздат, 1980. -240 с.

210. Ломаев М.И., Тарасенко В.Ф. О механизме возникновения инверсии населенностей в смесях He(Ne, Ar)-NF3 при накачке самостоятельным разрядом // Квантовая электроника. -1992. Т. 19. № 2. -С. 146-150.

211. Григорян Ю.И., Папанян В.О., Тараеенко В.Ф. Электроразрядный He-N3 лазер // Квантовая электроника. -1986. Т. 13. № 10. -С. 2015-2024.

212. Collins С.В. The nitrogen ion laser pumped by charge transfer // IEEE Journal of Quantum Electronics. -1984. Vol. 20. No. 1. -P. 47-63.

213. Радциг A.A., Б.М. Смирнов Параметры атомов и атомных ионов. Справочник. -М.: Энергоатомиздат, 1986. -344 с.

214. Демшредер В. Лазерная спектроскопия: Основные принципы и техника эксперимента. -М.: Наука, 1985. -608 с.

215. Clunie D.M., Thorn R.S.A., Trezise К.Е. Asymmetric visible super-radiant emission from a pulsed neon discharge // Phys. Lett. -1965. Vol. 14. No. 1. -P. 28-29.

216. Leonard D.A. The 5401 A pulsed neon laser // IEEE Journal of Quantum Electronics. -1967. Vol. QE 3. No. 3. -P.133-135.

217. Shipman D. Traveling wave excitation of high power gas lasers // IEEE Journal of Quantum Electronics. -1967. Vol. QE 10. No. 1. -P. 3-4.

218. Смирнов Б.М. Физика атома и иона. -М.: Энергоатомиздат, 1986. -216 с.

219. Dougal R.A., Williams P.P. Fundamental processes in' laser-triggered electrical breakdown of gases // J. Phys. D.: Appl. Phys. -1984. Vol. 17. No. 5. -P. 903-918.

220. Moriarty J. J., Milde H.I., Bettis J.R., Quenther A.ff. Precise Laser Initiated Closure of Multimegavolt Spark Gaps //' Rev. Sci." Instrum. -1971. Vol; 42. No. 12.- --P.1767-1776.

221. Ломаев M. И., Тарасенко В. Ф. Рабочая среда двухчастотного электроразрядного лазера // Авторское свидетельство № SU1455962. Заявка № 4271185. Приоритет от 29.06.87. Зарегистрировано в Государственном реестре изобретений СССР 1 октября 1988 г.

222. Лисицын В.Н., Ражее A.M. Мощный лазер высокого давления на красных линиях фтора // Письма в ЖТФ. -1977. Т. 3. Вып. 7. -С. 862-864.

223. Kovacs М.А., Mltee C.J. Visible laser action in fluorine I // Appl. Phys. Lett. -1970. -Vol. 17. No. 8.-P. 39-40.

224. Bigio I.J., Begley R.P. High-power visible laser action in neutral atomic fluorine // Appl. Phys. Lett. -1976. Vol. 28. No. 5. -P. 263-264.

225. Lawler J. E., Parker J. W., Anderson L.V., Pitzsimmons W.A. Experimental Investigation of the Atomic Fluorine Laser // IEEE Journal of Quantum Electronics. -1979. Vol. QE-15. No. 7. -P. 609-613.

226. Tanaka Y. Continuous Emission Spectrum of Rare Gases in the Vacuum Ultraviolet Region // J. Opt. Soc. Amer. -1955. Vol. 45. -P. 710-716.

227. Волкова Г.А., Кириллова H.H., Павловская E.H., Яковлева А.В. ВУФ лампы на барьерном разряде в инертных газах // ЖПС. -1984. Т. 41. Вып. 4. -С. 691-695.

228. Eliasson В., Kogelschatz U. UV excimer radiation from dielectric barrier discharges //Appl. Phys. B. -1988. Vol. 46. No. 4. -P. 299-303.

229. Kogelschatz U„ Esrom H., Zhang J., Boyd I. W. High-intensity sources of incoherent UV and VUV excimer radiation for low-temperature materials processing // Applied Surface Science. -2000. Vol. 168. -P. 29-36.

230. Герасимов Г.Н. Оптические спектры бинарных смесей инертных газов // УФН. -2004. Т. 174. № 2. -С. 155- 175.

231. Хи Xueji. Dielectric barrier discharge properties and applications // Thin Solid Films. -2001. - Vol. 390. -P. 237—242.

232. Коновалов И.Н., Тарасенко В.Ф. Излучение смесей Ar (Ne) : Хе : C2F4Br2 (NF3) при возбуждении электронным пучком // Журнал прикладной спектроскопии. 1981. -Т. 34. Вып. 1.-С. 177-179.

233. Шуаибов А.К, Шимон Л.Л., Шевера И. В. Многоволновая электроразрядная лампа на галогенидах инертных газов // Приборы и техника эксперимента. -1998. № 3. -С. 142-144.

234. Шуаибов А.К., Дащенко А.И. Условия одновременного образования хлоридов Аг, Кг, Хе в многоволновом излучателе с накачкой поперечным разрядом // Квантовая электроника. -2000. Т. 30. № 3. -С. 279-281.

235. Sasaki W., Kubodera S., Kawanaka J. Efficient VUV light sources from rare gas excimer and their applications // Proc. SPIE. -1997. Vol. 3092. -P. 378-381.

236. Liuti G., Mentall J.E. Monochromatic iodine lamp // Rev. Sci. Instr. -1968. -Vol. 39.No. 11.-P. 1767-1768.

237. Harteck P., Reeves R. R, Thompson Jr., and B. A. The iodine lamp: a light source for selective excitation of CO // Z. Naturforschg. -1963. Vol. 19 a. -P. 2-6.

238. Gross U., Ubelis A., Spietz P., Burrows J. Iodine and mercury resonance lamps for kinetics experiments and their spectra in the far ultraviolet // J. Phys. D: Appl. Phys. -2000. -Vol. 33.-P. 1588-1591.

239. Ernst W. E., Tittel F. K., Wilson W. L., Marowsky G. Gain conditions for electron-beam-excited Ar-N2 laser lines at 337.1, 357.7, and 380.5 nm I I Journal of Applied Physics. -1979. Vol. 50. -P. 3879-3883.?

240. Bennett W. R., Flint Jr. and J. Ar ( P2)-N2 (С Г1и) excitation transfer cross section and radiative lifetimes of the nitrogen-molecular-laser transitions // Phys. Rev. A 18. -1978. -P. 2527-2532.

241. Бойченко A.M., Скакун B.C., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф., Яковленко С.И. Характеристики эксиплексной KrCl-лампы, накачиваемой объемным разрядом // Квантовая электроника. -1996. Т. 23. № 4. -С. 344-348.

242. Ломаев М.И., Панченко A.H., Соснин Э. А., Тарасенко В.Ф. Цилиндрические эксилампы с накачкой тлеющим разрядом // ЖТФ. -1998. Т. 68. № 2. -С. 64-68.

243. Иванов В. В, Саенко В Б, Рулев Г Б. Применение излучающих микрошнуров плазмы для создания открытых широкоапертурных источников ультрафиолета // Письма в ЖТФ. -1995. Т. 21. Вып. 7. -С. 65-68.

244. Kumagai Н, Obara М. New High-Efficiency Quasi-Continuous Operation of a KrF (B—>X) Excimer Lamp Excited by Microwave Discharge // Appl. Phys. Lett. -1989. -Vol. 54. -P. 2619-2621.

245. Furusawa H, Okada S, Obara M. High-efficiency continuous operation HgBr excimer lamp excited by microwave discharge // Appl. Phys. Lett. -1995. Vol. 66. -P. 1877-1879.

246. He Z, Prelas M. A., Meese J. M., Lin Li-Te. Microwave excitation and applications of an elliptical excimer lamp // Laser and Particle Beams. -1998. Vol. 16, No. 3. -P. 509-524.

247. Eden J.G., ParkS.J., Ostrom N.P., Chen K.F. Recent advances in microcavity plasma devices and arrays: a versatile' photonic platform // J. Phys. D: Appl. Phys. -2005. Vol. 38. -P. 1644-1648.

248. Лисенко А.А., Ломаев М.И., Тарасенко В.Ф. L-лампа емкостного разряда // Оптика атмосферы и океана. -2004. Т. 17. № 8. -С. 689-691.

249. Kogelschatz U. Silent-discharge driven excimer UV sources and their applications // Applied Surface Science. -1992. Vol. 54. -P. 410-423.

250. Xu Y„ Xu X. One dimensional Self-consistent Model for Xenon Dielectric Barrier Discharge (DBD) // Physica Scripta. -2000. Vol. 62. -P. 76-80.

251. Ломаев М.И., Полякевич А.С., Тарасенко В.Ф. Влияние давления смеси на эффективность излучения молекул ХеСГ при накачке продольным тлеющим разрядом // Оптика атмосферы и океана. -1996. Т. 9. № 2. -С. 207-210.

252. Панченко А.Н., Соснин Э.А., Скакун B.C., Тарасенко В.Ф., Ломаев ММ. Мощные коаксиальные эксилампы со средней мощностью более 100 Вт // Письма в ЖТФ. -1995. Т. 21. Вып. 21. -С. 77-80.

253. Boichenko A.M., Skakun V.S., Sosnin E.A., Tarasenko V.F, Yakovlenko S.I. Emission efficiency of exciplex and excimer molecules pumped by a barrier discharge // Laser Physics. -2000. Vol. 10. No 2. -P. 540-552.

254. Boichenko A. M, Lomaev M. I., Tarasenko V. F., Yakovlenko S. I. The Effect of the Excitation Power on the Emission Efficiency of Barrier and Glow-Discharge Pumped Exciplex and Excimer Lamps // Laser Physics. -2004. - Vol. 14. No. 8. -P. 1036- 1049.

255. Тарасенко В.Ф., Д. В. Шитц, Ломаев ММ. О формировании барьерного разряда в KrCl-эксилампе // Известия вузов. Физика. -2003. № 7. -С. 94-96.

256. Ломаев MM. , Тарасепко В.Ф., Ткачев А.Н., Шитц Д.В., Яковленко СМ. О формировании конусообразных микроразрядов в KrCl и ХеС1 эксилампах // ЖТФ. -2004. Т. 74. Вып. 6. -С. 129-133.

257. Ломаев ММ., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В. О формировании «барьерного разряда в эксилампах // ЖТФ. -2007. Т. 77. Вып. 8. -С. 86-92.

258. Месяц Г.А., Осипов В.В., Тарасенко В.Ф. Импульсные газовые лазеры. -М.: Наука, 1991. -272 с.

259. Klimkin V.M. Stability of longitudinal repetitively pulsed discharges in metal vapor lasers // Proc. SPIE. -2002. Vol. 4747. -P. 164-179.

260. Xu X.P. and Kushner M. Multiple microdischarge dynamics in dielectric barrier discharges // J. of Appl. Physics. -1998. Vol. 84. No. 8. -P. 4153-4160.

261. Barnes P.N., Kushner M.J. Ion-ion neutralization of iodine in radio-frequency inductive discharges of Xe and I2 mixtures // J. Appl. Phys. -1997. Vol. 82. No. 5. -P. 2150-2155.

262. Шуаибов A.K, Грабовая Я.Л. Электроразрядный ультрафиолетовый эксимерно-галогенный излучатель на смеси гелия и ксенона с парами йода // ЖТФ. -2004. -Т. 74. Вып. 4.-С. 66-69.

263. Feng X., Zhu S. Investigation of excimer ultraviolet sources from dielectric barrier discharge in krypton and halogen mixtures // Phys. Scr. -2006. Vol. 74. -P. 322-325.

264. Ломаев, М.И., Панченко A.H., Тарасенко В.Ф. Рабочая среда лампы тлеющего разряда. // Патент РФ № 2151442 С1. Приоритет 18.02.98. Рег.20.06.00. Опубл. 20.06.2000. Бюл. №17.

265. Ломаев ММ., Скакун B.C., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф. Рабочая среда лампы высокочастотного емкостного разряда. // Патент № RU 2154323 С1. Приоритет 01.06.1998. Per. 10.08.00. Опубл. 10.08.2000. Бюл. №22.

266. Lomaev M. /., Tarasenko V. F. Xe(He) I2 Glow and Capacitive discharge excilamps //Proc. of 9th International Symposium on the Science and Technoloy of Light Sources. Cornel University, Ithaca, NY, USA 12-16 Aug. 2001. -P. 433-434.

267. Lomaev M. /., Tarasenko V. F. Xe(He) I2 Glow and capacitive discharge excilamps //Proc. of SPIE. -2002. - Vol. 4747. -P. 390-398.

268. Лисенко A.A., Ломаев М.И., Тарасенко В.Ф. УФ излучение в азоте при возбуждении безэлектродным разрядом // Известия вузов. Физика. -2004. № 12. -С. 83-84.

269. Searles S.K., Hart G.A. Laser emission at 3577 and 3805 A in electron-beam-pumped Ar-N2 mixture //Appl. Phys. Lett. -1974. Vol. 25. No. 1. -P. 79-81.

270. Schreiber A., Kuhn В., Arnold E., Schilling F.J., Witzke H.D. Radiative resistance of quartz glass for VUV discharge lamps // J. Phys. D: Appl. Phys. -2005. -Vol. 38.-P. 3242-3250.

271. Salvermoser M. and Murnick D.E. High-efficiency, high-power 172 nm xenon excimer light source // Appl. Phys. Lett. -2003. Vol. 83. No. 10. -P. 1932 - 1934.

272. Kogelschatz U. Excimer Lamps: History, Discharge Physics, and industrial Applications // Proc. of SPIE. -2004. Vol. 5483. -P. 272-286.

273. Ломаев М.И., Скакун B.C., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В., Лисенко А.А. Безоконная эксилампа вакуумного ультрафиолетового диапазона // Письма в ЖТФ. -2006. Т. 32. Вып. 13.-С. 74-79.

274. Tilford S G., Simmons J.D. Atlas of the Observed Absorption Spectrum of Carbon Monoxide between 1060 and 1900 A // J. Phys. Chem. Ref. Data. -1972. Vol. 1. No. 1. -P. 147-188.

275. Arnold E., Lomaev M.I., Skakun V.S., Tarasenko V.F., Tkachev A.N., Schitts D.V., and Yakovlenko S.I. Formation of a volume discharge in a xenon single barrier excilamp with a low curvature cathode // Laser Physics. -2002. Vol. 12. No. 9.-P. 1227-1233.

276. Arnold. E., Lomaev M.I., Lisenko A.A., Skakun V.S., Tarasenko V.F., Tkachev A.N., Schitts D. V., and Yakovlenko S.I. Volume Discharge Formation in a One-Barrier Xenon excimer Lamp // Laser Physics. -2004. Vol. 14. No. 6. -P. 809 - 817.

277. Ломаев М.И., Скакун B.C., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В. Одно- и двухбарьерные эксилампы ВУФ диапазона на димерах ксенона // ЖТФ. -2008. Т. 78. Вып. 2. -С. 103- 107.

278. О da A., Sugawara IT., Sakai Y., Akashi Н. Estimation of the output power and efficiency of Xe barrier discharge excimer lamps using a one-dimensional fluid model for various voltage waveforms // J. Phys. D: Appl. Phys. 20 00. Vol. 33. -P. 1507-1513.

279. Shiga Т., Pitchford L.C., Boejl J.P. and Mikoshiba. Study of efficacy in a mercury-free flat discharge fluorescent lamp using a zero-dimensional positive column model // J. Phys. D: Appl. Phys. -2003. Vol. 8. -P. 512-521.

280. Avtaexa S.V., Kulumbaev E.B. Effect of the Scheme of Plasmachemical Processes on the Calculated Characteristics of a Barrier Discharge in Xenon // Plasma Physics Report. -2008. Vol. 34. No. 6. -P. 452-470.

281. Bogdanov E.A., Kudiyavtsev A.A., Arslanov R.R. and Kolobov V.I. Simulation of pulsed dielectric barrier discharge xenon excimer lamp // J. Phys. D: Appl. Phys. -2004. -Vol. 37. -P. 2987-2995.

282. Salvermoser, M., Murnick, D.E. Efficient, stable, corona discharge 172 nm xenon excimer light source // J. of Appl. Physics. -2003. Vol. 94. No. 6. -P. 3722 -3731.

283. Akashi H., Oda A., and Sakai Y. Effect of gas heating on excimer distribution in DBD Xe excimer lamp // Proc. of the 28th ICPIG, July 15-20, 2007, Prague, Czech Republic. -P. 851- 854.

284. Ломаев М.И., Скакун B.C., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В. Мощная эксилампа на димерах ксенона // Письма в ЖТФ. -2006. Т. 32. Вып. 11. -С. 68 73.

285. Алексеев С.Б., Кувшинов В.А., Лисенко А.А., Ломаев МИ., Орловский В.М., Панарин В.А., Рождественский Е.А., Скакун B.C., Тарасенко В.Ф. Фотореактор на основе Хе2 эксилампы // Приборы и техника эксперимента. -2006. № 1. -С. 142-144.

286. Tkachev A.N., Yakovlenko S.I. Simulation of plasma cathode layer parameters of effective excilamps // Laser Physics. -2002. Vol. 12. No. 7. -P. 1022-1028.

287. Lisenko A. A., Lomaev M. I., Skakun V. S., and Tarasenko V.F. Effective emission of Xe2 and Kr2 bounded by a dielectric barrier// Phys. Scr. -2007. Vol. 76. No.3. -P. 211-215.

288. Lisenko A.A., Lomaev M.I., Skakun V.S, Tarasenko'V.F. Effective emission of Xe2 and Kr2 excited by pulsed corona discharge bounded by a dielectric barrier // Proc. SP1E. -2006. -Vol. 6263.-P. 626317-1 -626317-5.

289. Акишев Ю.С., Дементьев A.B., Каральник В.Б., Монич А.Е., Трушкин НИ. О сходстве и различии барьерной короны переменного тока с положительной и отрицательной коронами постоянного тока и барьерным разрядом // Физика плазмы. -2003. Т. 29. №1. -С. 90-100.

290. Ломаев М.И., Лисенко А.А., Скакун B.C., Шитц Д.В., Тарасенко В.Ф., Матсумото Й. Источник спонтанного вакуумного ультрафиолетового излучения // Патент на полезную модель № RU 42694 U1. Приоритет от 21.07.2004. Опубл. 10.12.2004. Бюл. № 34.

291. Lomaev M.I., Lisenko A.A., Skakun VS., Shitz D. V, Tarasenko V.F., Matsumoto Y. Dielectric Barrier Discharge Excimer Light Source // Japanese Patent No. 3887641. Issued on 1.12.2006.

292. Пирс P., Гейдон А. Отождествление молекулярных спектров // Перевод с англ. Под ред. СЛ. Мандельштама и М.Н. Аланцева -М.: Изд-во иностранной литературы, 1949.-240 с.

293. Ubachs W., Hinnen Р. С., Hansen P., Stolte S., Hogervorst W., and Cacciani P. Laser Spectroscopic Studies of the ClE, v = 0 and v = 1 states of CO // Journal of Molecular Spectroscopy. -1995. Vol. 174. -P. 388-396.

294. Hotta A. VUV emission from CO gas discharge // Proc. of the 10th International Symposium on the Science and Technology of Light Sources, Toulouse. 2004. 18-22 July. -P.561-562.

295. Hatta A. VUV Emission Spectroscopy of CO Gas Discharge // J. Light & Vis. Env. -2005. Vol. 29. No. 3. -P. 79-84.

296. Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том. Кн. II / Под ред. В.Е. Форгова. -М:: Наука, 2000. -С. 1- 381.

297. Биберман JI.M., Норман Г.Э. Непрерывные спектры атомарных газов и плазмы. // УФН. -1967. Т. 91. Вып. 2. -С. 193 - 246.

298. Мнк Д., Карэгс Д. Электрический пробой в газах. / Перевод с англ. Под ред. B.C. Комелькова М.: Изд-во иностранной литературы, 1960. -605 с.

299. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Планарная эксилампа на хлоридах инертных газов с накачкой поперечным самостоятельным разрядом // Квантовая электроника. -2006. Т. 36. № 2. -С. 169- 173.

300. Бабич Л.П., Лойко Т.В., Цукерман В.А. Высоковольтный наносекундный разряд в плотных газах при больших перенапряжениях, развивающийся в режиме убегания электронов // УФН. -1990. Т. 160. Вып. 7. -С. 49 - 82.

301. Wilson C.T.R. The acceleration of р-particles in strong electric fields such as those of thunderclouds // Proc. Cambridge Philos. -1924. Vol. 22. -P. 534-538.

302. Ткачев A.H., Яковленко С.И. Моделирование электронной лавины в гелии // ЖТФ. -2003. Т. 74. Вып. 3. -С. 91-97.

303. Яковленко С.И. Механизм распространения стримера к аноду и к катоду, обусловленный размножением электронов фона // Электронный журнал "Исследовано в России". -2004. № 9. -С. 86-100.

304. Пучки убегающих электронов и разряды на основе волны размножения электронов фона в плотных газах. // Труды Института общей физики им. A.M. Прохорова РАН. Т. 63. Отв. ред. С.И. Яковленко. М.: Наука, 2007. -186 с.

305. Fridman A., Shirokov A., and Gutsol A. Non-thermal atmospheric pressure discharges II J. Phys. D: Appl. Phys. -2005. Vol. 38. -P. R1-R24.

306. Ломаев М.И., Месяц Г.А., Рыбка Д.В., Тарасенко В.Ф., Бакшт Е.Х. Мощный короткоимпульсный источник спонтанного излучения на димерах ксенона // Квантовая электроника. -2007. Т. 37. № 6. -С.595-596.

307. Яковленко С.И. Газовые и плазменные лазеры / Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том IV. / Под ред. В.Е. Фортова. -М.: «Наука», МАИК «Наука/Интерпериодика». 2000: -С. 262 291.

308. Tarasenko V.F., Baksht E.Kh., Burachenko A. G., Kostyiya ID., Lomaev M.I., Rybka D.V. Supershort Avalanche Electron Beams in Discharges in Air and Other Gases at High Pressure // IEEE Transactions on Plasma Science. -2009. Vol. 37. No. 6. ~P. 832-838.

309. Baksht E.H., Burachenko A.G., Kostyrya I.D., Lomaev M.I., Rybka D.V., Shulepov M.A. and Tarasenko V.F. Runaway-electron-preionized diffuse discharge at atmospheric pressure and its application // J. Phys. D: Appl. Phys. -2009. Vol. 42. 185201.

310. Тарасенко В.Ф., Бакшт E.X., Костыря И.Д., Ломаев М.И., Рыбка Д.В. Диффузные разряды в неоднородном электрическом поле при повышенных давлениях, инициируемые убегающими электронами // ЖТФ. -2010. Т. 80. Вып. 2. -С. 51-59. " '

311. Тарасова Л.В., Худякова Л.Н., Лойко Т.В., Цукерман В.А. Быстрые электроны и рентгеновское излучение наносекундных импульсных разрядов в газах при давлениях 0.1 760 Тор // ЖТФ. -1974. - Т. 44. Вып. 3. -С. 564 - 568.

312. Костыря И.Д., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В. Ускоритель сверхкороткого лавинного электронного пучка СЛЭП-150 // ПТЭ. -2008. № 4. -С. 159-160.

313. Бойченко A.M., Яковленко С.И. О возможности накачки Хе2*- лазеров и ламп ВУФ диапазона в послесвечении волны размножения электронов фона // Квантовая электроника.-2006.-Т. 36. № 12.-С.1176 1180.

314. Зверева Г.Н., Ломаев М.И., Рыбка Д.В., Тарасенко В.Ф. О возможности применения объемного разряда, инициируемого пучком электронных лавин, для создания лазера на димерах криптона // Оптика и спектроскопия. -2007. Т. 102. № 1. -С. 46-53.

315. Герасимов Г.Н., Крылов Б.Е., Ломаев М.И., Рыбка Д.В., Тарасенко В.Ф. Излучение в аргоне и криптоне на длине волны 147 нм при возбуждении диффузным разрядом, инициируемым убегающими электронами И Квантовая электроника. -2010. -Т. 40. №3.- С. 241-245.

316. Бабич Л.П., Березин И.А., Лойко Т.В., Тарасов М.Д. Роль ускорительных процессов в формировании объемных наносекундныхъ разрядов в плотных газах // Известия вузов. Радиофизика. -1982. Т. XXY. № 10. -С. 1131- 1137.

317. Ломаев М.И., Рыбка Д.В., Сорокин Д.В., Тарасенко В.Ф, Кривоногова К.Ю. Излучательные характеристики азота при возбуждении объемным разрядом, инициируемым пучком убегающих электронов // Оптика и спектроскопия. -2009.-Т. 107. -С. 37-44.

318. Бычков Ю.И., Лосев В.Ф., Савин В.В., Тарасенко В.Ф. Повышение эффективности N2 лазера //Квантовая электроника. -1975. Т. 2. №2. -G. 2047-2053.

319. Gupta Р.К., Majumder S К., Uppal A. Breast cancer diagnosis using N2 laser excited autofluorescence spectroscopy // Lasers in Surgery and Medicine. -1997. -Vol. 21. No. 5. -P. 417-422.

320. Kossyi I.A., Kostinsky A.Yu., Matveyev A.A., and Silakov KP. Kinetic scheme of the non-equilibrium discharge in nitrogen-oxygen mixtures // Plasma Sources Science and Technology. -1992. Vol.1. No. 3. -P. 207-220.

321. Ерофеев M.B., Ломаев М.И., Соснин ЭА., Тарасенко В.Ф. Импульсная KrCl эксилампа с плотностью мощности 1 кВт/см2 // ЖТФ. -200 h Т. 71. Вып. 10.-С. 137-140.

322. Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том. Кн. IV. / Под ред. В.Е. Фортова. -М.: Наука, 2000. -С. 231-262.

323. Рыбка Д.В., Бакшт Е.Х., Ломаев М.И., Тарасенко В.Ф. Импульсный источник мощного спонтанного излучения в ультрафиолетовой области спектра // Приборы и техника эксперимента. -2004. №. 6. -С. 136-137.

324. Бакшт Е.Х-., Ломаев М.И., Панченко А.Н., Рыбка Д.В., Тарасенко В.Ф., Кршинан М., Томпсон Дж. Мощный источник спонтанного излучения в УФ области спектра: режимы возбуждения // Квантовая электроника. -2005. Т. 35. № 7. -С. 605-610.

325. Рыбка Д.В., Бакшт Е.Х., Ломаев М.И., Тарасенко В.Ф., Кришнан М., Томпсон Дж. Характеристики излучения импульсного разряда в ксеноне // ЖТФ. — 2005.-Т. 75. Вып. 2.-С. 131-134.

326. Рыбка Д.В., Бакшт EX., Ломаев М.И, Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф., Кршинан М., Томпсон Дж. Мощный источник спонтанного излучения в области 200350 нм, возбуждаемый однополярным импульсом тока // Письма в ЖТФ. 2005. -Т. 31. Вып. 10.-С. 70-75.

327. Бакшт Е.Х., Ломаев М.И., Рыбка Д.В., Тарасенко В.Ф. Излучение плазмы объемного наносекундного разряда в ксеноне, криптоне и аргоне при повышенном давлении'// Квантовая электроника. -2006. Т. 36. № 6. -С. 576-580.

328. Бакшт Е.Х., Ломаев М.И., Рыбка Д.В., Тарасенко В.Ф. Излучение димеров ксенона, криптона и аргона в послесвечении объемного наносекундного разряда при повышенных давлениях // Письма в ЖТФ. -2006. Т. 32. Вып. 19. -С. 52-57.

329. Копылова TH., Майер Г.В., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф:, Дегтяренко K.M., Суханов В.В., Телъминов E.H., Ломаев М.И., Мельченко C.B., Кузнецова Р.Т.,

330. Самсонова Л.Г. Мощный узкополосный лазер на красителях с накачкой джоульнымiэксиплексным лазером на хлориде ксенона // Квантовая электроника. —1993. Т. 20. № 7. -С. 657-662.

331. Кумпяк Е.В., Ломаев М.И., Месяц Г.А., Панченко« АН, Поталицын Ю.Ф., Тарасенко В.Ф Запуск искрового разрядника лазерным ультрафиолетовым излучением, передаваемым по световоду // ПТЭ. -1987. № 2. -С. 171-173.

332. Кумпяк Е.В., Ломаев М.И., Мельченко C.B., Месяц Г.А., Поталицын Ю.И., Тарасенко В.Ф., Топтыгин В.В. Запуск мегавольтного газового коммутатора излучением эксиплексного лазера // ЖТФ. -1987. Т. 57. Вып. 4. -С. 675-680.

333. Мельченко C.B., Ломаев ММ., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Эффект световода в лазерной плазме, образованной на поверхности металлов и диэлектриков // Оптика атмосферы. -1988. Т. 1. № 8. -С. 125-126.

334. Рыбка Д.В., Бакшт Е.Х., Ломаев М.И., Тарасенко В. Ф. Импульсный источник мощного спонтанного излучения в ультрафиолетовой области спектра // ПТЭ. -2004. №. 6.-С. 136-137.

335. Rahmani В., Bhosle S., Zissis G. Dielectric-Barrier-Discharge Excilamp in Mixtures of Krypton and Molecular Chlorine // IEEE Transactions on Plasma Science. -2009. Vol. 37. No. 4. -P. 546-550.

336. Tarasenko V.F., Kagadei V.A., Lomaev ML, Panchenko A.N., Proskurovskii D.I. Application of KrCl excilamp for cleaning GaAs surfaces using atomic hydrogen // Proc. SPIE. -1998. Vol. 3274. -P. 323-330.

337. Медведев Ю.В., Попыгалов Ю.И., Ерофеев В.И., Ерофеев М.В., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф., Истомин В.А. Облучение метанольных растворов Хе2- и KrCL-эксилампами барьерного разряда // Газовая промышленность. -2005. № 2. -С. 63-65.