Атомарная структура поверхности и сенсорные свойства углеродных нанотрубок тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, кандидат технических наук Строганов, Антон Александрович

• Строганов, Антон Александрович
• кандидат технических наук
• 2007

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Атомарная структура поверхности и сенсорные свойства углеродных нанотрубок»

Актуальность диссертационной работы4

Цель работы и основные задачи5

Научная новизна работы6

Достоверность научных положений, результатов и выводов7

Основные научные положения, выносимые на защиту7

Апробация работы8

Публикации 10

Структура и объем диссертации 10

Заключение диссертации по теме «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», Строганов, Антон Александрович

Основные результаты выполненных исследований могут быть сформулированы следующим образом:

1. Разработана методика получения атомарного изображения углеродных структур в сканирующем туннельном микроскопе на воздухе. Впервые получено изображение атомарной структуры отдельной углеродной нанотрубки на воздухе. Измерены основные геометрические параметры углеродных нанотрубок (диаметр и хиральность), а также их электрические характеристики в туннельном режиме. Продемонстрирована атомарная структура углеродных нанотрубок, находящихся в пучке.

2. Показано, что размер ямки, образующейся на поверхности пиролитического графита на прямую связан со временем воздействия на него электрическим полем.

3. Разработана методика осаждения нанотрубок с заданной концентрацией на подложках диаметром до 76 мм. Показано, что для равномерного распределения нанотрубок по поверхности подложки диспергирование целесообразно проводить из раствора поверхностно активного вещества. В нашем случае в качестве ПАВ был использован цетилтриметиламмония бромид.

4. Предложено и обосновано использование углеродных нанотрубок в качестве тестовых структур для оценки параметров сканирующих зондовых микроскопов. Проведены измерения параметров острий из алмазоподобного углеродного вискера и электрохимически заточенных вольфрамовых зондов и показана применимость данной калибровочной структуры для оценки острия сверхострых зондов.

5. Показано, что сопротивление структур на основе многослойных УНТ и сеток УНТ, лежащих на тонких углеродных электродах, уменьшается на 25% при увеличении температуры от 25 до 210 °С, имеет активационный характер и определяется контактным сопротивлением нанотрубок и электродов. Сопротивление структур на основе однослойных УНТ полупроводникового типа, лежащих на тонких углеродных электродах, уменьшается на 80% при увеличении температуры от 25 до 210 °С при потенциале затвора 10 В и сопротивление структур при температуре выше 100 °С слабо зависит от потенциала затвора и определяется понижением барьера Шоттки.

6. Показано, что скорость восстановления проводимости структур на основе пленок углеродных нанотрубок после сорбции паров спирта может возрастать в 25 раз при нагреве структур до 500°С. Изменение проводимости структуры с пленкой нанотрубок при изменении концентрации паров спиртов определяется двумя факторами: поверхностной площадью сенсора при низких концентрациях паров и скоростью диффузии паров вглубь пленки при насыщении поверхности парами.

7. Показано, что чувствительность структур на основе углеродных нанотрубок определяется методикой высаживания нанотрубок и составляет 0.33% на 1 ррт аммиака при комнатной температуре для структур, высаженных и ПАВ. Увеличение сопротивление структур на основе одиночных УНТ полупроводникового типа и золотых электродов на 55% при изменении влажности на 20%, что объясняется компенсацией дырочных носителей электронами внесенными адсорбированными молекулами воды.

Таким образом, были исследованы атомарная структура и сенсорные свойства структур на основе углеродных нанотрубок, их пучков, сеток и пленок атмосфере воздуха. Были реализованы тестовые структуры для СЗМ, и макеты сенсорных структур температуры, влажности, аммиака и спирта на основе углеродных нанотрубок.

БЛАГОДАРНОСТИ

Автор выражает огромную благодарность и искреннюю признательность своему руководителю профессору Лосеву В.В. за постоянное внимание и помощь на всех этапах работы, а также Руковдителю УНЦ «Зондовая микроскопия и нанотехнология» Неволину В.К. за доверие, опыт и целеустремленность переданные им за время работы над диссертацией. Также автор благодарит академика В.И. Петрика, к.ф.-м.н. Е.Д. Образцову (ИОФАН), д.ф.-м.н. Крестинина А.В. (ИПХФ РАН), Чевонобродова С.П. (NanCarbLab) и д.х.н. Ракова Э.Г. (РХТУ им. Д.И. Менделева) за предоставленный для исследований материал углеродных нанотрубок. Автор выражает огромную благодарность за проведение измерений сенсорных свойств структур к.х.н. Ивановой О.М. и к.т.н. Крутоверцева С.А.

Автор благодарит за помощь, оказанную на основных этапах работы, к.т.н. А.Н. Булатова и к.т.н. И.И. Бобринецкого.

За помощь в проведении экспериментальных исследований автор благодарит К.В. Горшкова, М.М. Симунина, С.В. Хартова, Д.Ю. Шмалько, К.В. Баллижа, А.И. Аксенова и А.И. Фримана.

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ СОКРАЩЕНИЙ

АСМ - атомно-силовой микроскоп

ВАХ - вольтамперная характеристика

ВОПГ - высокоориентированный пиролитический графит

МИЭП - микроскопия индуцированного электрического поля

МДП - метал - диэлектрик - полупроводник

МСНТ - многослойная нанотрубка

МЭП - микроскопия электрического поля

ОСНТ - однослойная нанотрубка

ПХО - плазмохимическое осаждение

ПЭМ - просвечивающая электронная микроскопия

СЕМ - сканирующая емкостная микроскопия

СЗМ - сканирующий зондовый микроскоп

СТМ - сканирующий туннельный микроскоп

СЭМ - сканирующий электронный микроскоп

ЦАП - цифро-аналоговый преобразователь

ЦОС - цифровая обработка сигнала

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Строганов, Антон Александрович, 2007 год

1. Эддисон У. Аллотропия химических элементов. Пер. с англ., М., 1966.

2. Heimann R.B., Evsyukov S.E., Koga Y. // Carbon. 1997. V.35. P.1654-1658.

3. E.Osawa, Kagaki (Kyoto), 25, p.854 (1970) (in Japanese).

4. Chem. Abstr. 74, p.75698 (1971).

5. Z.Yashida and E.Osawa, Aromaticity (Kyoto), (in Japanese) p.174 (1970).

6. Д.А.Бочвар, Е.Г.Гальперн, ДАН СССР, 209, с.610 (1973).

7. Kratshmer W., Lamb L.D. Fostiropoulos К. et al. Solid C60: a new form of carbon //Nature. -1990. Vol. 347. - P. 354-358.

8. Iijima S. Helical Microtubules of Grafitic Carbon //Nature. 1991. - Vol. 354. - P. 56-58.

9. Локтев B.M. Легированный фуллерит первый трехмерный органический сверхпроводник//Физ. низк. темп. - 1992. - Т. 18. - № 3. - С. 217-237.

10. Ajie Н. et al.// J. Phys. Chem. V. 94. P. 8630.

11. Saito S., Oshiyama A, // Phys. Rev. Lett. 1991. V. 66. P. 2637.

12. Achiba Y. et al. // Chem. Lett. 1233.

13. Kikuchi K. et al. // Ibidem. P. 1607.

14. Шпилевский М.Э.,Шпилевский Э.М., Стельмах В.Ф. Фуллерены и фуллереноподобные структуры основа перспективных материалов //Инж.-физич. журн. - 2001.- Т. 74. - № 6. - С. 106-112.

15. Березкин В.И., Викторовский И.В., Вуль А.Я.и др. Фуллереновые микрокристаллы как адсорбенты химических соединений//ФТП. 2003. - Т. 37, вып. 7.-С. 802-810.

16. Wang Y. Photoconductivity of fullerene doped polymers//Nature. 1992. - Vol. 356. - P. 585-587.

17. Cagle D.W., Kennel S.J., Mirzadeh S. et al. Invivo studies of fullerene-based materials using endohedral metallofullerene radiotracers //Proc. Natl. Acad. Sci. USA.- 1999.-Vol.96. -P. 5182-5187.

18. Zhao Y.B., Poirier D.M., Pechman R.I. et al. Electron stimulated polymerization of solid C60 //Appl. Phys. Lett. 1994. - Vol. 64. -P. 577-579.

19. Ивановский A.JT. Неуглеродные нанотрубки: синтез и получение //Усп. химии.- 2002. Т. 71. - № 3. - С. 204-224.

20. Liu X., Lee С., Han S. et al. Carbon Nanotubes: Synthesis, Devices, and Integrated Systems. In Molecular Nanoelectronics Ed. by Reed M.A. and Lee Т. M., American Science Publishers, 2003.

21. Won Bong Choi, Eunja Bae, Donghum Kang et al. Aligned carbon nanotubes for nanoelectronics //Nanotechnology. 2004. - Vol. 15. -P. S512-S516.

22. McEuen P.L.,Fuhrer M.S., Park H. Single-Walled Carbon Nanotube Electronics//IEEE Trans. Nanotechnol. 2002. - Vol. 1. - № 1. - P. 78-85.

23. Kociak M., Kasumov A.Yu., Gueron S et al. Superconductivity in Ropes of Single-Walled Carbon Nanotubes //Phys. Rew. Lett. 2001. - Vol. 86. - P. 2416.

24. Wilson E. Superconducting nanotubes// Science.- 2001. Vol. 79. - № 27. - P. 8.

25. Salvetat J.P., Bonard J.M., Thomson N.H. et al. Mechanical properties of carbon nanotubes// Appl. Phys. A. 1999. - Vol. 69. - № 3. -P. 255-260.

26. Раков Э.Г. Химия и применение углеродных нанотрубок //Усп. хим.- 2001. Т. 70.-№10.-С. 934-973.

27. Reulet В., Kasumov A.Yu., Kociak М. et al. Acoustoelectric Effects in Carbon Nanotubes // Phys. Rew. Lett. 2000. - Vol. 85. - № 13. - P. 2829-2832.

28. Moulton S.E., Minett A.I., Wallace G.G. Carbon nanotube Based Electronic and Electrochemical Sensors // Sensor Letters. 2005. - Vol. 3. -P. 183-189.

29. Gao H., Kong Y., Cui D. Spontaneous insertion of DNA oligonucleotides into carbon nanotubes // Nano Letters. 2003. - Vol. 3. - P. 471-473.

30. Ajayan P M, Ebbesen T W. Nanometre-size tubes of carbon // Rep. Prog. Phys. 1997. Vol. 60. P. 1025-1062.

31. Kosakovskaya Z.Ya., Chernozatonskii L.A., Fedorov E.A.// Nature, (1992), 355

32. Chernozatonskii L.A., Fedorov E.A., Kosakovskaya Z.Ya., Panov V.I., Savinov S.V. STM evidence of smallest rod presence in nanofilament carbon structure.// JETP Lett. (English translation from Pia'sma v Zh.Eksp.Teor.Fiz.), 1993, v.57, No.l, pp.35

33. Wildoer J.W.G, Venema L.C., Rinzler A.G., Smalley R.E., and Dekker C. Electronic structure of atomically resolved carbon nanotubes // Nature. 1998. V. 391, N. 6662. P. 59-62.

34. Бобринецкий И.И., Неволин В.К., Строганов А.А. Петрик В.И. Атомная структура нанотрубок из углеродной смеси высокой реакционной способности // Письма в журнал технической физики. 2003. Том 29, вып. 8. С. 84-90.

35. Hertel Т., Martel R., Avouris Ph. Manipulation of individual carbon nanotubes and their interaction with surfaces // J. Phys. Chem. 1998. Vol. 102. P. 910-915.

36. Гаврилов С.А., Ильичев Э.А., Полторацкий Э.А., Рычков Г.С., Дворкин В.В., Дзбаиовский Н.Н., Суетин Н.В. Эмиттеры из углеродных нанотрубок для планарной эмиссионной вакуумной микро- и наноэлектроники // Письма в ЖТФ. 2004. Том 30. Вып. 14. С. 75-81.

37. Wind S. J., Appenzeller J., Martel R., Derycke V., Avouris Ph. Vertical scaling of carbon nanotube field-effect transistors using top gate electrodes // Appl. Phys. Lett. 2002. V. 80. P. 3817-3819.

38. Tseng, Y.-C.; Xuan, P.; Javey, A.; Malloy, R.; Wang, Q.; Bokor, J.; Dai, II. Monolithic Integration of Carbon Nanotube Devices with Silicon MOS Technology. Nano Lett. 2004,4(1), pp 123-127.

39. Бобринецкий И.И., Строганов А.А., Неволин В.К., Иванова О.М., Крутоверцев С.А. Чувствительность структур на основе сеток пучков углеродных нанотрубок, к изменению концентрации аммиака в атмосфере // Датчики и системы. 2007. №9. С. 58-63.

40. Rosa Н., Chan М., Carmen К., Fung М., Li J. Rapid assembly of carbon nanotubes for nanosensing by dielectrophoretic force // Nanotechnology. 2004. V. 15. P. S672-S677.

41. Gao Y., Bando Y. Carbon nanothermometer containing gallium // Nature. 2002. V. 415. P. 599-600.

42. Someya Т., Small J., Kim P., Nuckolls C., Yardley J.T. Alcohol vapor sensors based on single-walled carbon nanotube field effect transistors // Nano Letters. 2003. V. 3. N. 7. P. 877-881.

43. Dekker C. Carbon Nanotubes as Molecular Quantum Wires // Physics Today . 1999. V. 52. N. 5. P.22-28.

44. Неволин B.K., Строганов A.A., Петрик В.И., Чаплыгин Ю.А. Зондовая микроскопия наноструктурированных форм углерода // Второй международный симпозиум "Безопасность и экономика водородного транспорта". IFSSEHT -2003. С. 137.

45. Saito R., Dresselhaus G. Dresselhaus M. Physical Properties of Carbon Nanotubes // Imperial College Press, London, (1998)

46. Nardelli M., Yakobson В., Bernholc J. Brittle and Ductile Behavior in Carbon Nanotubes // J. Phys. Rev. Lett. 1998. V. 81,P. 4656-4659.

47. Iijima S., Ichihashi T. Single-shell carbon nanotubes of 1-nm diameter. // Nature. 1993. V. 363. P. 603-605.

48. Odom Т., Huang J.-L., Kim P. Lieber C. Quantum transport properties of intermolecular nanotube contacts. // Nature 391, 62-64 (1998)

49. Kim P., Odom Т., Huang J.-L., Lieber C. Electronic density of states of atomically resolved single-walled carbon nanotubes: van Hove singularities and end states // Phys. Rev. Lett. 1999. V. 82. P. 1225-1228.

50. Bobrinetskii I.I., Chaplygin Yu. A., Nevolin V.K., Petrik V.I., Stroganov A.A. The atomic structure of nanotubes synthesized from a highly reactive carbon mixture // Technical Physics Letters. 2003. V. 29. № 4. P. 347-349.

51. Binnig G., Rohrer Н., Gerber Ch., Weibel E. 7 x 7 Reconstruction on Si(lll) resolved in real space // Phys. Rev. Lett. 1983. V. 50. Iss. 2. P. 120 123.

52. Kusunoki K., Sakata I., Miyamura K. Interaction between tip and HOPG surface studied by STS //Analytical Sciences. 2001. V. 17. P. il267 il268.

53. Atamny. F., Spillecke 0., Schlogl R. On the STM imaging contrast of graphite: towards a "true" atomic resolution // Physical Chemistry Chemical Physics 1999. V. 1. N. 17. P. 4113-4118.

54. Строганов А.А. Модификация поверхности пиролитического графита электрическим полем // Микроэлектроника и информатика -2006. XIII всероссийская межвузовская НТК студентов и аспирантов: Тезисы докладов. -М.: МИЭТ. 2006.-с. 16.

55. Петрик В.И. Патент RU 2163840 С1 1999.

56. Zhanga J.; Caoa G. STM Study of Moire Patterns on HOPG // Chinese journal of chemical physics. 2006. V. 19. N. 3. P. 197-199.

57. Kobayashi K. Moire pattern in scanning tunneling microscopy: Mechanism in observation of subsurface nanostructures // Phys. Rev. B. 1996. V. 53. N. 16. P. 11091 -11099

58. Kuwabara M., Clarke D. R., Smith D.A. Anomalous superperiodicity in scanning tunneling microscope images of graphite // Appl. Phys. Lett. 1990. V. 56. Iss. 24. P. 2396 2398.

59. Крестинин A.B. Однослойные углеродные нанотрубки: механизм образования и перспективы технологии производства на основе электродугового процесса. // Российский Химический Журнал. 2004. Т. 48. № 5. С. 21-27.

60. Guo Т., Nikolaev P., Thess A., et al. Catalitic growth of single-walled nanotubes by laser vaporation // Chem. Phys. Lett. 1995. N. 243. P. 49-54.

61. Царева С.Ю., Жариков E.B., Аношкин И.В., Коваленко А.Н. Исследование влияния вида, размера, и концентрации частиц катализатора на образование углеродных нанотрубок при каталитическом пиролизе углеводородов // Электроника. 2003.№1. С. 20-24

62. Venema L.C., Meunier V., Lambin Ph., Dekker С. Atomic structure of carbon nanotubes from scanning tunneling microscopy // Phys. Rev. B. 2000. Vol. 61. N. 4. P. 2991-2996

63. Hertel Tobias, Walkup Robert E., and Avouris Phaedon. Deformation of carbon nanotubes by surface van-der-Waals forces // Phys. Rev. B. 1998. Vol. 58. N. 20.

64. Эдельман B.C. Сканирующая туннельная микроскопия. // ПТЭ № 5, 1989. С. 2549

65. Неволин В.К. Основы туннельно-зондовой нанотехнологии. // М. МГИЭТ. 1996. 90с.

66. Патент RU 2 121 130,MnKG01 В 15//00, 1998.

67. Vesenka J., Manne S., March Т., Henderson "Colloidal gold particles as an incompressible atomic force microscope imaging standard for assesing the compressibility of biomolecules." Byophysical J., 1993, v.65, pp. 1-6.

68. Sui Y.Ch., Saniger J.M. Characterization of anodic porous alumina by AFM. Materials Letters. 2001. V. 48. P. 127-136.

69. Патент US 6,591,658. Carbon nanotubes as linewidth standarts for SEM and AFM. 2003 прототип.

70. Chopra N.G., Luyken R.J., Cherrey K., Crespi V.H., Cohen M.L., Louie S.G., Zettl A. Boron nitride nanotubes. Science. V. 269. N. 5226. P. 966-967.

71. Hertel Т., Walkup R.E., Avouris Ph. Deformation of carbon nanotubes by surface van-der-Waals forces. Phys. Rev. B. 1998. Vol. 58. N. 20. P.l3870-13874.

72. Marrk, G. I.; Biror, L. P.; Gyulai, J. Phys Rev В 1998, 58,12645.

73. Computation of STM Images of Carbon Nanotubes International Journal of Quantum Chemistry, Vol 95,493-503 (2003)

74. Rubio, A.; Sanchez-Portal, D.; Artacho, E.; Ordejon, P.; Soler, J. M. Phys Rev Lett 1999, 82, 3520. Dordrect, 2001, pp. 233-244.

75. Clauss, W.; Bergeron, D. J.; Freitag, M.; Kane, C. L.; Mele, E. J.; Johnson, A. T. Europhys Lett 1999,47, 601

76. Бобринецкий И.И.Формирование и исследование электрических свойств планарных структур на основе углеродных нанотрубок. Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Москва,2005.146

77. Бобринецкий И.И., Неволин В.К., Петрик В.И., Чаплыгин Ю.А. Вольтамперные характеристики двухэлектродных элементов с углеродными нанотрубками // Микроэлектроника. 2003. Том 32. № 2. С 102-104.

78. Collins Ph.G., Ilersam М., Arnold М., Martel R., Avouris Ph. Current saturation and electrical breakdown in multiwalled carbon nanotubes // Phys. Rev. Lett. 2001. V. 86. N. 14. P. 3128-3131.

79. Kanbara Т., Iwasa Т., Tsukagoshi K., Aoyagi Yo., Iwasa Yo. Gate-induced crossover from unconventional metals to Fermi liquids in multiwalled carbon nanotubes // Appl. Phys. Lett. 2004. V. 85. N. 26. P. 6404-6406.

80. Graugnard E., de Pablo P. J., Walsh В., Ghosh A. W., Datta S., Reifenberger R. Temperature dependence of the conductance of multiwalled carbon nanotubes // Phys. Rev. B. 2001. V. 64. N. 12. P. 125407(7).

81. Zhou Ch., Kong J., Dai H. Electrical measurements of individual semiconducting single-walled carbon nanotubes of various diameters // Appl. Phys. Lett. 2000. V. 76. N. 12. P. 1597-1599.

82. Xue Yo. Atomic-scale physics and modeling of Schottky barrier effect in carbon nanotube nanoelectronics// Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 2005. V. 858E. P. HH7.3.1-HH7.3.8.

83. Ulbricht H., Moos G., Hertel T. Interaction of molecular oxygen with single-wall carbon nanotube bundles and graphite // Surface Science. 2003. V. 532 -535. P. 852856.

84. Kr?ger M., Widmer I., Nussbaumer Т., Buitelaar M., Sch?nenberger C. Sensitivity of single multiwalled carbon nanotubes to the environment // New Journal of Physics. 2003. V. 5. P. 138.1-138.11.

85. Bae D.J., Kim K.S., Park Yo.S., Suh Eu.K., An K.H., Moon J.-M., Lim S.Ch., Park S.H., Jeong Yo. H., Lee Yo.H. Transport phenomena in an anisotropically aligned single-wall carbon nanotube film // Phys. Rev. 2001. B. V.64. N. 23. P. 233401(4).

86. Marliele C., Poncharal P., Vaccarini L., Zahab A. Effect of gas adsorbtion on theelectrical properties of single wall carbon nanotubes mats // Material Research Society

87. Symposium Proceedings. 2000. N. 593. P. 173.147

88. Romero H.E., Sumanasekera G.U., Kishore S., Eklund P.C. Effects of adsorption of alcohol and water on the electrical transport of carbon nanotube bundles // J. Phys.: Condens. Matter. 2004. V. 16. P. 1939-1949.

89. Tucker J.R., Wang C., Carney P.S. Silicon field-effect transistor based on quantum tunneling// Appl. Phys. Lett. 1994. V. 65. N. 5. P. 618-620.

90. Heinze S., Tersoff J., Martel R., et al. Carbon nanotubes as Schottky barrier transistors//Phys. Rev. Lett. 2002. V. 89. N. 10. P. 106801-1-106801-4.

91. Nosho Y., Ohno Yu., Kishimoto Sh., Mizutani T. n-type carbon nanotube field-effect transistors fabricated by using Ca contact electrodes // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 86. N. 7. P. 073105(3).

92. Zahab A., Spina L., Poncharal P. Water-vapor effect on the electrical conductivity of a single-walled carbon nanotube mat // Phys. Rev. B. 2000. V.62. N. 15. P. 1000010003.

93. Collins Ph.G., Bradley K., Ishigami M., Zettl A. Extreme oxygen sensitivity of electronic properties of carbon nanotubes // Science. 2000. V. 287. N. 5459. P. 18001804.

94. Zhao J., Buldum A., Han J., Lu J.P. Gas molecule adsorption in carbon nanotubes and nanotube bundles // Nanotechnology. 2002. V. 13. P. 195-200.

95. Yamamoto K, Akita S and Nakayama Y. Orientation of carbon nanotubes using electrophoresis // 1996 Jpn. J. Appl. Phys. V. 35. N. 7B. P. L917-L918.

96. Неволин B.K. Вольтамперные характеристики квазиодномерных микропроводников // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. В. 21. С.57-60.

97. Kim W., Javey A., Vermesh О., Wang Q., Li Y., Dai H. Hysteresis caused by water molecules in carbon nanotube field-effect transistors // Nano Letters. 2003. Vol. 3.P. 193-198.

98. Qi P., Vermesh O., Grecu M., Javey A., Wang Q, Dai H. Toward large arrays of multiplex flinctionalized carbon nanotube sensors for highly sensitive and selective molecular detection // Nano Lett. 2003. Vol. 3. N. 3. P. 347-351.

99. Wongwiriyapan W, Honda Sh., Konishi H., et al. Single-walled carbon nanotube thin-film sensor for ultrasensitive gas detection // Japanese Journal of Applied Physics. 2005. V. 44. N. 16. P. L 482-L 484.

100. Suehiro J., Zhou G., Нага M. Fabrication of a carbon nanotube-based gas sensor using dielectrophoresis and its application for ammonia detection by impedance spectroscopy // J. Phys. D: Appl. Phys. 2003. V. 36. P. L109-L114.

101. Zhang Т., Nix M.B., Yoo B.Y., Deshusses M.A., Myung N.V. Electrochemically functionalized single-walled carbon nanotube gas sensor // Electroanalysis. 2006. V. 18. N. 12. P. 1153 1158.

102. Liu X., Luo Z., Han S., Tang Т., Zhang D., Zhoua Ch. Band engineering of carbon nanotube field-effect transistors via selected area chemical gating // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 86. P. 243501-243503.

103. Kim B.K, Park N., Na P.S, So H.-M, Kim J.-J., Kim H, Kong K.-J., Chang H, Ryu B.-H., Choi Y., Lee J.-O. The effect of metal cluster coatings on carbon nanotubes // Nanotechnology. 2006. V. 17. P. 496-500.

104. Булатов A.H., Хартов C.B. Исследование адсорбата воздуха на твердотельных подложках методами атомно-силовой микроскопии // Известия вузов. Электроника. 2004. №.4. С. 9-17.

105. Bradley К., Gabriel J.-C.P., Briman М., Star A., Gruner G. Charge transfer from ammonia physisorbed on nanotubes//Phys. Rev. Lett. 2003. V. 91. N. 21. P. 218301.

106. Sin M.L.Y., Chow G.C.T, Fung C.K.M, Li W.J, Leong P., Wong K. W., Lee T.

107. Ultra-low-power alcohol vapor sensors based on multi-walled carbon nanotube //

108. EE Transactions on Nanotechnology. 2006. V. 4. N. 3. P. 124-128.149

109. Yang C.-M., Kanoh H., Kaneko К., Yudasaka M., Iijima S. Adsorption behaviors of HiPco single-walled carbon nanotube aggregates for alcohol vapors // J. Phys. Chem. B. 2002. V. 106.P. 8994-8999.

110. Manohara H.M.,. Wong E.W, Schlecht E., Hunt B.D., Siegel P.H. Carbon nanotube Schottky diodes using Ti-Schottky and Pt-Ohmic contacts for high frequency applications //2005. V. 5. N. 7. P. 1469-1474.