Разработка элементов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок и технологии их изготовления тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, кандидат технических наук Федотов, Александр Александрович

• Федотов, Александр Александрович
• кандидат технических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат технических наук Федотов, Александр Александрович

Введение.

Глава 1. Углеродные нанотрубки - структура, свойства, приборы на их основе.

1.1. Классификация углеродных тубулентных структур.

1.2. Строение углеродных нанотрубок.

1.3. Свойства углеродных нанотрубок.

1.4. Методы синтеза углеродных наноструктур и механизмы роста углеродных нанотрубок.

1.4.1. Электродуговое распыление графита.

1.4.2. Лазерная абляция графита.

1.4.3. Холодная деструкция графита.

1.4.4. Химическое осаждение из газовой фазы.

1.4.5. Механизмы каталитического роста углеродных нанотрубок методом химического осаждения из газовой фазы.

1.5. Основные направления создания приборов на основе углеродных нанотрубок в микро- и наносистемной технике.

1.5.1. Зонды для атомно-силового микроскопа на основе нанотрубок.

1.5.2. Наноэлектромеханические устройства на основе углеродных нанотрубок.

1.5.2.1. Наномотор на основе УНТ.

1.5.2.2. Переключатели на основе углеродных нанотрубок.

1.5.2.3. Наномеханическая память на основе углеродных нанотрубок.

1.5.3. Датчики для детектирования газов на основе углеродных нанотрубок.

1.6. Выводы по главе 1.

Глава 2. Разработка и исследование моделей приборов наносистемной техники и их элементов на основе углеродных нанотрубок.

2.1. Классификация структур и моделей чувствительных элементов приборов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок.

2.2. Моделирование чувствительных элементов НЭМС на основе углеродных нанотрубок с сосредоточенной силой.

2.3. Моделирование чувствительных элементов НЭМС на основе углеродных нанотрубок с распределенными электростатической и Ван-дер-Ваальсовыми силами.

2.4. Определение параметров конструкции наномеханических элементов на основе углеродных нанотрубок.

2.5. Моделирование конструкционных параметров газочувствительного датчика на основе углеродных нанотрубок.

2.3. Выводы по главе 2.

Глава 3. Исследования методов и разработка технологии выращивания углеродных нанотрубок.

3.1. Экспериментальные исследования методов получения углеродных нанотрубок.

3.2. Разработка технологического процесса формирования каталитических центров.

3.2.1. Топографические исследования каталитических центров.

3.3. Выращивание нанотрубок методом химического осаждения из газовой фазы.

3.4. Выводы по главе 3.

Глава 4. Разработка конструкций и технологогических маршрутов изготовленияи приборов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок.

4.1. Разработка конструкции интегрального микромеханического гироскопа на основе углеродных нанотрубок.

4.1.1. Принцип работы интегрального микромеханического гироскопа на основе углеродных нанотрубок.

4.2. Разработка конструкции и технологического маршрута изготовления наномеханического переключателя на основе углеродных нанотрубок.

4.3. Разработка конструкции и технологического маршрута изготовления газочувствительного датчика на основе углеродных нанотрубок.

4.4. Разработка технологогических маршрутов изготовления приборов наносистемной техники на основе использования многофункционального сверхвысоковакуумного нанотехнологического комплекса НАНОФАБ.

4.5. Разработка чувствительных элементов на основе углеродных нанотрубок и исследование их газочувствительных свойств.

4.6. Выводы по главе 4.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка элементов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок и технологии их изготовления»

Актуальность диссертационной работы

Увеличение степени интеграции, повышение быстродействия и ужесточение условий эксплуатации устройств является современной тенденцией развития технологии интегральных микроэлектромеханических систем (МЭМС). При этом современные многофункциональные МЭМС создаются на основе применения наноматериалов и нанотехнологий. Эти тенденции являются основой для развития фундаментально нового направления - наносистемной техники (НСТ), в рамках которого проводятся исследования и разработки наноэлектромеханических систем (НЭМС). Особое внимание при изготовлении НЭМС отводится наноматериалам, что обусловлено их уникальными свойствами.

Перспективными элементами НЭМС являются углеродные нанотрубки (УНТ) и нановолокна, являющиеся аллотропными формами углерода с уникальными физическими свойствами. В настоящее время растет количество работ, связанных с исследованием свойств УНТ, а в области НСТ ведутся интенсивные исследования по созданию наноэлементов, активной частью которых являются нанотрубки.

Однако, при организации массового производства приборов НЭМС на основе УНТ существует ряд проблем, связанных с отсутствием адекватных математических моделей, позволяющих проводить теоретические исследования режимов работы УНТ в составе НЭМС, методик проектирования чувствительных элементов (ЧЭ) НЭМС на основе УНТ, а также конструкций и технологических процессов изготовления приборов НЭМС, основанных на использовании микроэлектронной технологии и современного кластерного оборудования.

Цель и задачи диссертационной работы

Целью диссертационной работы является разработка и моделирование чувствительных элементов приборов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок и технологических процессов их изготовления.

Для достижения реализации поставленной цели решались следующие задачи диссертационной работы:

- разработка конструктивно-технологического базиса изготовления наномеханического переключателя на основе углеродных нанотрубок;

- разработка математических моделей для исследования условий и режимов деформации чувствительных элементов приборов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок;

- разработка математической модели и проведение вычислительных экспериментов для определения конструктивных параметров наномеханического переключателя;

- разработка конструктивно-технологического базиса изготовления газочувствительного датчика на основе углеродных нанотрубок;

- проведение экспериментальных исследований для определения метода получения углеродных нанотрубок, наиболее адаптированного к разработанным конструктивно-технологическим базисам;

- разработка технологических процессов и экспериментальные исследования режимов получения углеродных нанотрубок для формирования чувствительных элементов приборов наносистемной техники.

Научная новизна работы:

- проведен теоретический анализ возможности использования различных моделей чувствительных элементов на основе нанотрубок, позволяющий разработать методики и построить математические модели для определения конструктивных параметров наномеханического переключателя;

- разработана математическая модель чувствительного элемента приборов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок, которая позволяет анализировать условия и режимы деформации ЧЭ, учитывающая технологические и размерные факторы;

- разработан способ и технологический процесс формирования каталитических центров, на основе нанокластеров Fe и Со с размерами 5 - 50 нм, позволяющий вырастить углеродные нанотрубки диаметром 5-10 нм.

Практическая значимость:

- разработана конструкция интегрального микромеханического гироскопа на основе углеродных нанотрубок, защищенная Патентом РФ;

- разработаны технологические маршруты изготовления наномеханического переключателя и газочувствительного датчика на основе углеродных нанотрубок, совместимые с интегральной технологией микроэлектроники;

- разработаны технологические маршруты изготовления наномеханического переключателя и газочувствительного датчика на основе углеродных нанотрубок, основанные на использовании многофункционального сверхвысоковакуумного нанотехнологического комплекса НАНОФАБ.

Положения, выносимые на защиту:

- математическая модель для исследования условий и режимов деформации чувствительных элементов приборов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок, позволяющая оценить режимы работы наномеханического переключателя на основе углеродных нанотрубок;

- математическая модель, позволяющая определить конструктивные параметры наномеханического переключателя;

- конструкция и технологический маршрут изготовления наномеханического переключателя на основе углеродных нанотрубок, совместимый с интегральной технологией микроэлектроники;

- конструкция и технологический маршрут изготовления газочувствительного датчика на основе углеродных нанотрубок, совместимый с интегральной технологией микроэлектроники;

- технологический процесс формирования наноразмерных каталитических центров на основе переходных металлов, позволяющий выращивать углеродные нанотрубки диаметром 5-10 нм.

Реализация результатов работы

Диссертационная работа выполнялась в соответствии с планом госбюджетных научно-исследовательских работ кафедры ТМ и НА и НОЦ «Нанотехнологии» в 2004 - 2007 гг.: «Разработка теоретических основ построения систем мониторинга природной среды на базе микро- и нанотехнологий» (№ гос. регистрации 01200402781); «Проведение исследовательской работы в области нанотехнологий с привлечением студентов и аспирантов ТРТУ» (№ гос. регистрации 01200508390); «Разработка принципов построения и основ теории нетермически активируемых технологических процессов создания элементной базы наноэлектроники» (№ гос. регистрации 01200501949); «Разработка и исследование элементной базы, методов и средств проектирования микросистем на кристалле» (№ гос. регистрации 01200501947).

Результаты диссертационной работы внедрены на промышленном предприятии: ЗАО «Нанотехнологии - МДТ» (г. Москва), а также в учебный процесс на кафедре ТМ и НА ТТИ ЮФУ.

Апробация работы

Основные научные результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на различных международных и всероссийских научных конференциях и семинарах, в частности: VI МНК "Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии" (Кисловодск, 2006); НТК «Микроэлектроника и информатика» (Москва, 2006); НТК студентов и аспирантов базовых кафедр Южного научного центра РАН, (Ростов-на-Дону, 2005, 2006, 2007); МНТК "Актуальные проблемы твердотельной электроники" (Дивноморское, 2006); НТК студентов и аспирантов «Техническая кибернетика, радиоэлектроника и системы управления » (Таганрог, 2006); НТК профессорско-преподавательского состава ТРТУ (г. Таганрог, 2005, 2006).

Результаты работы отмечены дипломами ряда конференций и конкурсов научных работ: Всероссийского смотра-конкурса научно-технического творчества (Новочеркасск, 2005, 2006), Конференции Южного научного центра РАН (2006, 2007), Всероссийской научной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых «Техническая кибернетика, радиоэлектроника и системы управления» (Таганрог, 2006).

Публикации

По теме диссертации опубликовано 12 печатных работ, в том числе, 2 статьи опубликовано в журнале, входящем в Перечень ВАК. В ВНИИТЦ зарегистрировано 5 отчетов по НИР. Получено положительное решение о выдачи патента РФ на изобретение по заявке №2006122379 от 22.06.2006г.

Структура и объем работы

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка цитируемой литературы и приложений.

Заключение диссертации по теме «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», Федотов, Александр Александрович

Основные результаты работы могут быть сформулированы следующим образом:

1. Разработаны конструкции наномеханического переключателя, газочувствительного датчика и микромеханического гироскопа на основе углеродных нанотрубок, технологические маршруты изготовления которых совместимы с интегральной технологией микроэлектроники.

2. Разработаны технологические маршруты изготовления наномеханического переключателя и газочувствительного датчика с использованием многофункционального сверхвысоковакуумного нанотехнологического комплекса НАНОФАБ НТК-9.

3. Проведены обобщение и систематизация имеющегося практического опыта, а также комплексный анализ современного состояния и развития работ по созданию приборов и элементов на основе углеродных нанотрубок.

4. Разработана математическая модель чувствительного элемента приборов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок для анализа условий и режимов деформации, учитывающая технологические и размерные факторы.

5. Разработана математическая модель для определения конструктивных параметров наномеханического переключателя.

6. Исследованы основные методы выращивания углеродных нанотрубок, определен метод позволяющий контролировать геометрические параметры УНТ.

7. Экспериментально установлено, что для роста тонких углеродных нанотрубок методом газофазного химического осаждения необходимы катализаторы с преобладанием частиц размером 5-50 нм.

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ СОКРАЩЕНИЙ

АСМ - атомно-силовой микроскоп

ВАХ - вольтамперная характеристика

ГФХО - газофазное химическое осаждение

ГФЭ - газофазная эпитаксия

ЛА - лазерная абляция

МЛЭ - молекулярно-лучевая эпитаксия

МУНТ - многослойная углеродная нанотрубка

МЭМС - микроэлектромеханические системы

НСТ - наносистемная техника

НТК - нанотехнологический комплекс

НЭМС - наноэлектромеханические системы

ОУНТ - однослойная углеродная нанотрубка

ПЭМ - просвечивающая электронная микроскопия

СЗМ - сканирующий зондовый микроскоп

СЭМ - сканирующая электронная микроскопия

УНТ - углеродная нанотрубка

УСВР - углеродная смесь высокой реакционной способности ФИП - фокусированные ионные пучки ЧЭ - чувствительный элемент

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Федотов, Александр Александрович, 2007 год

1. П. Харрис. Углеродные нанотрубы и родственные структуры. М.: Техносфера, 2003. 336 с.

2. Андриевский Р.А., Рагуля А.В. Наноструктурные материалы. М.: Издательский центр «Академия», 2005. 192 с.

3. Kroto H.W., Heath J.R., O'Brein S.C., Curl R.F., Smalley R. C60: Buckminsterfullerene//Nature. 1985. Vol. 318. P. 162-163.4. lijima S. Helical microtubules of graphitic carbon // Nature. 1991. Vol. 354. P. 56-58.

4. Heimann R.B., Evsyukov S.E., Koga Y. Carbon allotropes: a suggested classification scheme based on valence orbital hybridization // Carbon. 1997. vol. 35, P. 1654-1657.

5. Беленков E.A. Графанофуллерены и графановые нанотрубки новые структурные модификации углерода // Вестник Объединенного Физического Общества Российской Федерации. 2002. № 1.

6. Dresselhaus M.S., Dresselhaus G., Avouris Ph. Carbon nanotubes: synthesis, structure, properties, and applications (Topics in applied physics) // Springer -Verlag: Berlin. 2001. 448 p.

7. Saito R., Fujita M., Dresselhaus G. et al. Electronic structure of chiral graphene tubules // Appl. Phys. Lett. 1992. Vol 60. N. 18. P. 2204-2206.

8. Елецкий А.В. Углеродные нанотрубки // Успехи физических наук. 1997. том 167. №9. с. 945 972.

9. Лозовик Ю.Е., Попов A.M., Беликов А.В. Классификация двуслойных углеродных нанотрубок с соизмеримыми структурами слоев // Физика твердого тела. 2003, том 45. вып. 7, с. 1333 1338.

10. Раков Э.Г. Нанотрубки и фуллерены. М.: Университетская книга, Логос. 2006.-376с.

11. Collins P. G., Avouris Ph. Nanotubes for electronics // Scientific American. 2000. P. 62 69.

12. Kong J., Zhou C. et.al. Synthesis, integration, and electrical properties of individual single-walled carbon nanotubes.//Appl.Phys.-1999-A.69. P. 305-308.

13. Dresselhaus M.S., Dresselhaus G., Avouris Ph. (eds.). Carbon nanotubes // Springer-Verlag: Berlin. 2002. 463 p.

14. Collins P.G., Avouris P. Nanotubes for Electronics // Scientific American. 2000. P. 62-69.

15. Durkop Т., Kim B.M., Fuhrer M.S. Properties and applications of high-mobility semiconducting nanotubes // J. Phys.: Condens. Matter. 2004. Vol. 16. P. R553-R580.

16. Елецкий A.B. Сорбционные свойства углеродных наноструктур // Успехи физических наук, 2004. т. 174. № 11. с. 1191 1231.

17. Froudakis G.E. Hydrogen interaction with carbon nanotubes: a review of ab initio studies // J. Phys.: Condens. Matter. 2002.14. P. R453-R465.

18. Qian D., Wagner G.J., Liu W.K., Yu M.F., Ruoff R.S. Mechanics of carbon nanotubes // Appl. Mech. Rev. 2002. Vol. 55. No 6. P. 495-533.

19. Salvetat J.-P., Bonard J.-M. Mechanical properties of carbon nanotubes.// Appl. Phys.-1999. P. 255 260.

20. Pop E., Mann D. et.al. Thermal conductance of an individual single-wall carbon nanotube above room temperature // Nano Lett. 2006. Vol.6. №1. P. 96-100.

21. Ивакин E.B., Суходолов A.B., Ральченко В.Г., Власов А.В., Хомич A.B. Измерение теплопроводности поликристаллического CVD-алмаза методом импульсных динамических решеток // Квантовая электроника. 2002. том 32. № 4. с. 367 372.

22. Endo М., Iijima S., Dresselhaus M.S. (eds.). Carbon Nanotubes // Oxford: Pergamon Press, 1996. 202 p.

23. Sanvito S., Kwon Young-Kyun et.al. Fractional quantum conductance in carbon nanotubes // Phys. Rev. Letters. 2000. Vol. 84. № 9.

24. Brintlinger Т., Fahrer M. et.al. Nanotubes are high mobilitysemiconductors.//Phys. Rev. Lett. 2000. Vol. 84. P. 6082 6085.

25. Foster A., Lentinen P. et.al. Structure and magnetic properties of adatomas on carbon nanotubes.//Phys. Rev. Lett. 2004. B69.

26. Zaric S., Shaver J. et.al. Estimation of magnetic susceptibility anisotropy of carbon nanotubes using magnetophotoluminescence // Nano Lett. 2004. Vol. 4. №11. P. 2219-2221.

27. Дьячков П.Н. Углеродные нанотрубки: строение, свойства, применение. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2006.-293с.

28. Неволин В.К. Зондовые нанотехнологии в электронике. М.: Техносфера, 2005. 148 с.

29. Takikawa Н., et al. Carbon nanotubes in cathodic vacuum arc discharge // Appl. Phys. Lett. 2000. Vol. 33. P. 826 830.

30. Ando Y., Zhao X., Sugai Т., Kumar M. Growing carbon nanotubes // Materials Today. 2004. P. 22 29.

31. Scott C.D., Arepalli S., Nikolaev P., Smalley R.E. Growth mechanisms for single-wall carbon nanotubes in a laser-ablation process // Appl. Phys. A. 2001. Vol. 72. P. 573-580.

32. Guo Т., et al. Catalytic Growth of Single-Walled Nanotubes by Laser Vaporization // Chemical Physics Letters. 1995. Vol. 243. P. 49 54.

33. Guo Т., Smalley R.E. Production of Single-Walled Carbon Nanotubes Via Laser Vaporization Technique // Electrochemcial Society Proceedings. Vol. 95. № 10. P. 636 647.

34. Бобринецкий И.И. Формирование и исследование электрофизических свойств планарных структур на основе углеродных нанотрубок. Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Москва. 2004. -145с.

35. Патент 2128624 РФ. Способ получения углеродной смеси высокой реакционной способности и устройство для его осуществления / В.И. Петрик (РФ); Заявл. 17.10.97; Опубликован 10.04.99.

36. Maruyama Sh., Einarsson Е., Murakami Y., Edamura Т. Growth process ofvertically aligned single-walled carbon nanotubes // Elsevier: Chemical Physics Letters. 2005. Vol. 403. P. 320-323.

37. Елецкий A.B. Углеродные нанотрубки// Успехи физических наук.-1997,-том 167.-№9. с. 945-972.

38. Тео В .К., Singh С., Chhowalla М., Milne W.I. Catalytic synthesis of carbon nanotubes and nanofibers // Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology. 2003. Vol. 10. P. 1 22.

39. Bell M.S., et al. Carbon nanotubes by plasma-enhanced chemical vapor deposition // Pure Appl. Chem. 2006. Vol. 78. №. 6. P. 1117-1125.

40. Chhowalla M. et. al. Growth process conditions of vertically aligned carbon nanotubes using plasma enhanced chemical vapor deposition // J. Appl. Phis. 2001. Vol. 90. № 10. P. 5308 5317.

41. Parthangal P.M. et. al. A generic process of growing aligned carbon nanotube arrays on metals and metal alloys // Nanotechnology. 2007. № 18. P. 185605- 185610.

42. Лозовик Ю.Е., Попов A.M. Образование и рост углеродных наноструктур фуллеренов, наночастиц, нанотрубок и конусов // УФН. 1997. Том 167. № 7. с. 751 - 774.

43. Мальцев П.П. Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам. Сборник статей. 2005. 592 с.

44. Deck С.Р., Vecchio К. Growth mechanism of vapor phase CVD // Carbon. 2005. Vol. 43. № 12. P. 2608-2617.

45. Vinciguerra V. et. al. Growth mechanisms in chemical vapour deposited carbon nanotubes // Nanotechnology. 2003. № 14. P. 655 660.

46. Чесноков В., Буянов P. Особенности механизма образования углеродных нанонитей с различной кристаллографической структуройиз углеводородов на катализаторах содержащих металлы подгруппы железа.//Критические технологии. Мембрана.-2005. №4.

47. Shakir М., Nadeem М. et.al. Carbon nanotube electric field emitters and applications // Nanotechnology. 2006. Vol. 17. P. R14 R16.

48. Zhang Y.,Chang A. et.al. Electric-field-growth of aligned single-walled carbon nanotubes // Applied Phys. Lett. 2001. Vol. 72. №19.

49. Nguyen C.V. et. al. Carbon nanotube tips for scanning probe microscopy: fabrication and high aspect ratio nanometrology // Meas. Sci. Technol. 2005. № 16. P. 2138-2146.

50. Yoshimoto S., Murata Y. Electrical Characterization of Metal-Coated Carbon Nanotube Tips // Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 44. P. LI563.

51. Ke C.-H., Pugno N., Peng В., Espinosa H.D. Experiments of carbon nanotube based NEMS devices // Journal of the Mechanics and Physics of solids. 2005. Vol. 53. P. 1314- 1333.

52. Wong E.W., Sheehan P.E., Lieber C.M. Nanobeam Mechanics: Elasticity, Strength, and Toughness of Nanorods and Nanotubes // Science. 1997. Vol. 277. P. 1971 1975.

53. Dai H.J., Hafner J.H., Rinzler A.G., Colbert D.T., Smalley R.E. Nanotubes as nanoprobes in scanning probe microscopy // Nature. 1996. Vol. 384. P. 147- 150.

54. Wong S.S., Woolley A.T., Odom T.W., Huang J.-L., Kim P., Vezenov D.V., Liebera C.M. Single-walled carbon nanotube probes for high-resolution nanostructure imaging // Appl. Phys. Lett. 1998. Vol. 73. № 23. P. 3465 3467.

55. Butt H., Cappella В., Kappl M. Force measurements with the atomic force microscope: Technique, interpretation and applications // Surface Science Reports. 2005. Vol. 59. P. 1-152.

56. Cheung C., Hafner J.H., Lieber C.M. Carbon nanotube atomic force microscopy tips: Direct growth by chemical vapor deposition and application to high-resolution imaging // PNAS. 2000. Vol. 97 № 8.1. P. 3809-3813.

57. Ekinci K.L., Roukes M.L. Nanoelectromechanical systems // Review of Scientific Instruments. 2005. Vol. 76. P. 061101-1-061101-12.

58. Yuzvinsky T.D., Fennimore A.M., Zettl A. Engineering Nanomotor Components from Multi-Walled Carbon Nanotubes via Reactive Ion Etching // Electronic Properties of Synthetic Nanostructures. 2004. P. 512 515.

59. Fennimore A.M., Yuzvinsky T.D., Regan B.C., Zettl A. Electrically Driven Vaporization Of Multiwall Carbon Nanotubes For Rotary Bearing Creation // Electronic Properties of Synthetic Nanostructures. 2004. P. 587 590.

60. Jensen K., Peng H.B., Zettl A. Limits of Nanomechanical Resonators // IEEE. 2006. P. 68-71.

61. Pungo N., Ke C.H., Espinosa H.D. Analysis of doubly clamped nanotube devices in the finite deformation regime.//Journal of Applied Mechanics. Vol. 72. 2005.

62. Hierold C. From micro- to nanosystem mechanical sensors go nano // Micromechanics and Microengineering. 2004. № 14. P. SI SI 1.

63. Jang J.E., Cha S.N., Choi Y., Amaratunga A.J., Kang D.J., Hasko D.G., Jung J.E., Kim J.M. Nanoelectromechanical switches with vertically aligned carbon nanotubes. Applied physics letters. 2005. Vol. 87. P. 163114.

64. Espinosa D., Changhong Ke. Handbook of Theoretical and Computational Nanotechnology.-American Scientific Publishers. 2005. Vol. 1. P. 1 38.

65. Ono Т., Miyashita H., Esashi M. Nanomechanical Structure with Integrated Carbon Nanotube // J. Appl. Phys. Vol. 43. P. 855.

66. Мальцев П.П. Наноматериалы. Нанотехнологии. Наносистемная техника: мировые достижения за 2005 год. М.: Техносфера, 2006. -120 с.

67. Тарасов Б. П., Гольдшлегер Н. Ф. Сорбция водорода углеродными наноструктурами // Альтернативная энергетика и экология.- 2002. № 3. с.20 38.

68. Peng S., Cho К. Carbon nanotubes Chemical and Mechanicalsensors//Mat.3rd International Workshop on Structural Health Monitoring.

69. Zhang Т., Nix M.B., Yoo В., Deshusses M.A., Myung N.V. Electrochemically Functionalized Single-Walled Carbon Nanotube Gas Sensor // Electroanalysis. 2006. № 12. P. 1153 1158.

70. Snow E.S. et al. Chemical detection using single-walled carbon nanotubes // Science. 2005. Vol. 307. P. 1942 -1943.

71. Modi A., Koratkar N., Lass E., Wei В., Ajayan P.M. Miniaturized gas ionization sensors using carbon nanotubes // Nature. 2003. Vol. 424. P. 171-174.

72. Delaney P., DiVentra M., Paantelides. Quantum conductivity carbon nanotube //Appl. Phys. Let. 1999. Vol. 75. № 24. P. 3787 3798.

73. Wongwiriyapan W., Honda S. et al. Single-Walled Carbon Nanotube Thin-Film Sensor for Ultrasensitive Gas Detection // Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 44. P. L482.

74. Dai L., Soundarrajan P., Kim T. Sensors and sensor arrays based on conjugated polymers and carbon nanotubes // Pure Appl. Chem. 2002. Vol. 74. №. 9. P. 1753-1772.

75. Seongjeen Kim. CNT Sensors for Detecting Gases with Low Adsorption Energy by Ionization // Sensors. 2006. № 6. P. 503 513.

76. Minoux E., Groening О., Teo K.B. et. al. Achieving High-Current Carbon Nanotube Emitters // NanoLetters. 2005. Vol. 5. № 11. P. 2135 2138.

77. Fan Z., Zhang В., Yao N., Zhang H., Deng J. Carbon nanotube emitters and field emission triode // Chin. Opt. Lett. 2006. № 4. P. 303-305.

78. Bonard J.M., Salvetat J.P., Stockli Т., Forro L., Chatelain A. Field emission from carbon nanotubes: perspectives for applications and clues to the emission mechanism // Applied-Physics-A. 1999. A69. P. 245.

79. Dequesnes M., Rotkin V.V., Aluru N.R. Calculation of pull-in voltages for carbon nanotube-based nanoelectromechanical switches // Nanotechnology 2002. № 13. P. 120-131.

80. Тимошенко С.П., Гудьер Дж. Теория упругости. М.: Наука, 1975. 576 с.

81. Булашевич К.А., Роткин В.В. Приборы на нанотрубках: микроскопическая модель // Письма в ЖЭТФ. 2002. с. 1-6.

82. Li Y., Rotkin V.V., Ravaioli U. Electronic response and bandstructure modulation of carbon nanotubes in a transverse electrical field // Nano Letters. 2003. Vol. 3. №. 2. P. 183-187.

83. Rotkin V.V. Theory of Nanotube Nanodevices // Kluwer Academic Publishers: Dordrecht-Boston-London. NATO Science Series: II. Mathematics, Physics and Chemistry, 2003. Vol. 102. P. 257-277.

84. Работнов Ю.Н. Механика деформируемого твердого тела. М.: Наука, 1979.-744 с.

85. Лысенко И.Е. Проектирование сенсорных и акттоаторных элементов микросистемной техники. Таганрог: Издательство ТРТУ, 2005. 103 с.

86. Лысенко И.Е., Рындин Е.А. "Моделирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники с использованием языка VHDL-AMS".- Таганрог: Изд-во ТРТУ.- 2003.- 26 с.

87. Детлаф А.А., Яворский Б.М., Милковская Л.Б. Курс физики (том 1). Механика. Основы молекулярной физики и термодинамики. М.: Наука, 1973.-384 с.

88. Kalmagorov A., Crespi V. Registry-depend interlayer potential for graphitic systems // Phys.Rev.Lett. 2005. B71.

89. И.В.Савельев. Курс общей физики: Учеб. пособие. В 3-х т. Т.1. Механика. Молекулярная физика.- 3-е изд., испр.- М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит., 1986.- 432 с.

90. Нанотехнологии в электронике. / Под ред. Ю.А.Чаплыгина. -М.: Техносфера, 2005. 448с.

91. Dimaki М., Boggild P. Dielectrophoresis of carbon nanotubes using microelectrodes: a numerical study // Nanotechnology. 2004. Vol. 15. P. 1095-1102.

92. Фельдман JI., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок.-М.: Мир. 1989. 344 с.

93. Раков Э.Г. Методы получения углеродных нанотрубок // Успехи химии, 2000, т. 69, N 1, с. 41-59.

94. Y.M. Shin, et. al. Influence of morphology of catalyst thin film on vertically aligned carbon nanotube growth // Journal of Crystal Growth. 2004. Vol. 271. P. 81-89.

95. Kim D.H., Huang J., Shin H.K, Roy S., Choi W. Transport phenomena and conduction mechanism of single-walled carbon nanotubes (SWNTs) at Y-and crossed-junctions //Nano Lett. 2006. Vol. 6. No. 12. P. 2821-2825.

96. Быков В.А. Разработка и освоение производства приборов и оборудования для нанотехнологии // Российские нанотехнологии. 2007 Том 2. №1-2.

97. Шилова О.А. Силикатные наноразмерные пленки, получаемые золь-гель методом, для планарной технологии изготовления полупроводниковых газовых сенсоров // Физика и химия стекла. 2005. Т. 31. №2. С. 270-293.

98. Шалимова К.В. Физика полупроводников. М.: Энергоатомиздат, 1985.-392 с.