Системотехническое проектирование электроплазменных технологий и оборудования тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.09.10, доктор технических наук Лисовский, Сергей Михайлович

• Лисовский, Сергей Михайлович
• доктор технических наук
• 2006

Оглавление диссертации доктор технических наук Лисовский, Сергей Михайлович

Введение

Глава 1 Анализ процессов и систем электроплазменной обработки как объектов проектирования

Постановка задачи

1.1. Анализ физико-химических механизмов электроплазменной обработки

1.2. Конструирование и разработка электроплазменного оборудования

1.2.1. Структурная схема электроплазменного оборудования

1.3. Плазмотроны

1.3.1. Требования, предъявляемые к плазмотронам

1.3.2. Конструкции плазмотронов

1.4. Ионные источники

1.4.1. Общая характеристика

1.4.2. Конструкции ионных источников

1.5. Магнетронные распылительные системы 46 Общая характеристика

1.5.1. Конструкции магнетронных распылительных систем и их характеристики

1.6. Формальная модель проектирования электроплазменных технологий и оборудования 53 Выводы по главе

Глава 2 Методологические основы системотехнического процесса проектирования электроплазменных технологий и автоматизированного оборудования на основе проектных моделей знаний

Постановка задачи

2.1. Основные понятия системного и информационного подходов, используемые для формирования проектных моделей знаний

2.2. Нечёткие модели представления знаний процесса проектирования

2.3. Управление формированием проектных моделей знаний для проектирования электроплазменных технологий и оборудования

2.4. Управление распределением ресурсов для решения научно-технических задач 92 Выводы по главе

Глава 3 Автоматизация технологического эксперимента при исследовании процессов электроплазменной обработки 104 Постановка задачи

3.1. Моделирование нечётких знаний при проведении автоматизированного технологического эксперимента

3.2. Алгоритмы управления электроплазменными технологическими процессами при проведении автоматизированного эксперимента

3.3. Научные принципы разработки оборудования для автоматизированного эксперимента электроплазменной обработки 129 Выводы по главе

Глава 4 Исследование и разработка методов повышения устойчивости газовых разрядов в распределённых электродных системах технологических плазменных устройств

Постановка задачи

4.1. Классификация технологических плазменных устройств по принципу распределённости газовых разрядов

4.2. Факторы, определяющие устойчивость газовых разрядов

4.3. Анализ устойчивости тлеющего разряда, обусловленной тепловыми процессами на электродах

4.4. Исследование влияния импульсной формы тока на устойчивость тлеющего разряда

4.5. Исследование влияния технологических факторов и геометрических размеров электродов на устойчивость тлеющего разряда

4.6. Анализ устойчивости коронного разряда, обусловленного скоростью прокачки газа через межэлектродный промежуток распределённой электродной системы

4.7. Экспериментальное определение предельного тока коронного разряда в распределённой электродной системе типа игла-плоскость 218 Выводы по главе

Глава 5 Исследование и разработка электроплазменных технологических процессов

Постановка задачи

5.1. Исследование технологических процессов очистки и нагрева деталей в тлеющем разряде

5.1.1. Анализ процессов очистки деталей в тлеющем разряде

5.1.2. Анализ термических условий очистки и нагрева деталей в тлеющем разряде

5.1.3. Анализ процесса термической активации поверхности основы дополнительным газовым разрядом

5.1.4. Экспериментальные исследования очистки деталей при обработке импульсным тлеющим разрядом

5.1.5. Разработка технологии чернения стальных деталей в тлеющем разряде

5.1.6. Разработка технологических требований к оборудованию очистки и нагрева деталей в тлеющем разряде

5.2. Исследование и разработка технологии озонирования пористых тел

5.2.1. Разработка вероятностной модели озонирования пористых

5.2.2. Экспериментальное исследование пористых тел

5.2.3. Анализ диффузионных процессов обработки пористого материала озоном

5.2.4. Математическое моделирование процесса движения воздушно-озонового потока внутри пористого материала

5.2.5. Разработка технологии озонирования зернистых материалов

5.2.6. Экспериментальные исследования зависимости концентрации озона от параметров массообменных процессов в объёме пористого материала

5.2.7. Разработка технологических требований к оборудованию озоновой обработки 296 Выводы по главе

Глава 6 Научные принципы разработки автоматизированного оборудования для электроплазменных технологических процессов

Постановка задачи

6.1. Автоматизированное оборудование для плазменного нанесения порошковых покрытий с совмещённой активацией основы газовыми разрядами

6.2. Автоматизированное оборудование для плазмохимической обработки

6.2.1. Технологические особенности оборудования

6.2.2. Установка для плазмохимической обработки карусельного типа

6.2.3. Установка для плазмохимического чернения стальных деталей

6.3. Автоматизированное оборудование для нанесения тонких плёнок

6.3.1. Общая характеристика оборудования

6.3.2. Установка для магнетронного напыления тонких плёнок

6.4. Установка ионно-лучевого напыления тонких плёнок

6.5. Установка напыления тонких плёнок на основе плазменного ускорителя

6.6. Разработка адаптивного регулятора для управления процессом электроплазменной обработки изделий

6.7 Пример практической реализации адаптивного регулятора для управления процессом нагрева изделий в тлеющем разряде

Выводы по главе

Выводы по диссертации

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Системотехническое проектирование электроплазменных технологий и оборудования»

Электроплазменная обработка является одной из современных и перспективных операций в технологии производства деталей машин и приборов.

Её перспективность и важность определяется тем, что она может заменить ряд традиционных технологических процессов, выполнявшихся ранее способами, не позволяющими обеспечить высокое качество обработки (очистка поверхности, напыление, диффузионное насыщение и т.п.), либо связанными с вредными условиями на производстве и загрязнением окружающей среды (травление, удаление поверхностных слоев материалов).

С помощью электроплазменных технологий могут быть осуществлены процессы изменения поверхностных слоев деталей, в частности: твердости, адгезии покрытий на поверхности, повышение стойкости материала к агрессивной среде и высокой температуре. К таким процессам относятся азотирование, цементация, силицирование, борирование и др.

Электроплазменными методами получают разнообразные покрытия с уникальными свойствами, например оптические интерференционные фильтры, геттерные покрытия, покрытия, поглощающие и излучающие тепло, и многие другие.

К достоинствам электроплазменных технологий необходимо отнести также благоприятные характеристики газовых разрядов для автоматизации, в частности низкая инерционность и возможность варьировать параметры в широком диапазоне.

Широкое использование электроплазменных технологий в промышленности позволит улучшить качество выпускаемых изделий, повысить производительность и улучшить условия труда.

Одним из факторов, сдерживающих быстрое внедрение электроплазменных технологий в производственный процесс, является низкая эффективность проектных работ, направленных на разработку новых технологий и оборудования. Следовательно, повышение качества и производительности процесса проектирования является решающим условием научно-технического прогресса и повышения эффективности производства.

Среди различных путей повышения качества и производительности проектных работ эффективной является автоматизация на базе современных вычислительных средств - САПР.

При этом эффективность автоматизированных систем обеспечивается не только возможностями вычислительной техники, но в большей степени глубиной наших познаний в области теории проектирования, которая формируется в процессе разработки и эксплуатации САПР.

Особенность современных автоматизированных систем проектирования состоит в том, что они оперируют не данными, а моделями знаний, представляющими собой некоторую базу знаний для принятия решений.

Центральную роль при создании баз знаний играют системный и информационный подходы и методы искусственного интеллекта.

Возникновение новой концепции построения САПР на основе баз знаний приводит к формированию нового подхода к проектированию технологий и оборудования для электроплазменной обработки деталей.

Одной из главных задач в процессе проектирования плазменных технологий и оборудования ставится задача извлечения знаний из различных статей, монографий, справочников, а также эвристик экспертов высококвалифицированных специалистов, и последующая формализация этих знаний в форме моделей знаний для принятия решений.

Цель работы - создание новых конкурентоспособных электроплазменных технологий и оборудования на базе методологии автоматизированного проектирования с использованием проектных моделей знаний, полученных в ходе автоматизированного технологического эксперимента.

Для достижения поставленной цели решается ряд задач:

1. Разработка теоретических представлений и получение экспериментальных данных, направленных на совершенствование технологии и оборудования электроплазменной обработки за счёт повышения устойчивости газовых разрядов.

2. Исследование физических закономерностей взаимодействия частиц газоразрядной среды и поверхности твёрдого тела и теплофизических условий в зоне их взаимодействия для определения направления протекания технологического процесса.

3. Исследование статических и динамических характеристик технологической системы для оптимизации технологических и конструктивных структур проектируемых технологий и оборудования электроплазменной обработки.

4. Развитие концепции гибкой системы управления процессом проектирования электроплазменных технологий и автоматизированного оборудования на основе проектных моделей знаний, направленных на совершенствование процессов проектирования и обработки.

5. Анализ и разработка проектных моделей, алгоритмов и аппаратуры автоматизированного технологического эксперимента при исследовании процессов совершенствования электроплазменных технологий и оборудования.

6. Разработка и внедрение новых технологий и автоматизированного оборудования электроплазменной обработки.

Научная новизна. Сформированы научные основы проведения автоматизированного эксперимента при изучении закономерностей процессов электроплазменной обработки и созданы проектные модели знаний для автоматизированной разработки электроплазменного оборудования. Важнейшими из новых научных результатов, полученных в диссертационной работе, являются следующие:

1. Впервые предложены и обоснованы научные принципы построения новых технологических схем:

- плазменного нанесения покрытий с совмещенным воздействием на основу и покрытие газоразрядной плазмы, позволяющей гибко управлять их активацией в процессе формирования покрытия, что обеспечивает повышение и стабилизацию адгезионно-когезионных характеристик;

- плазмохимического чернения стальных изделий, обеспечивающего содержание Рез04 в защитной пленке до 90%;

- озонирования пористых тел с использованием коронного разряда, обеспечивающего их объемную обработку.

2. Впервые исследованы статические и динамические характеристики электротехнологических систем, на основе которых определены закономерности и методология оптимизации режимов электроплазменной обработки.

3. Определены наиболее значимые факторы, обусловливающие устойчивость тлеющего и коронного разрядов:

- тепловые условия на электродах;

- состояние поверхности электродов;

- геометрические параметры электродов;

- модуляции тока разряда.

Экспериментально впервые установлены количественные требования к этим факторам, обеспечивающие стабильное существование разряда и оптимальное протекание процесса.

4. Впервые предложена модель проведения автоматизированного технологического эксперимента для исследования закономерностей электроплазменной обработки в условиях нечётких знаний, которая позволяет осуществлять в автоматизированном режиме процедуры идентификации, оптимизации и адаптации, что обеспечивает высокую достоверность результатов исследований и создание технологических процессов повышенной эффективности.

5. Разработаны и обладают новизной математические модели, которые позволяют проектировщику электроплазменного оборудования в автоматизированном режиме гибко распределять ресурсы в течение всего периода решения научно-технических задач, что обеспечивает повышение качества и производительности проектных работ.

6. Разработаны проектные модели четких и нечетких знаний, на основе которых создана новая структура адаптивного регулятора для управления процессами электроплазменной обработки и нанесения покрытий, которые позволяют сформулировать управляющий алгоритм, оптимизирующий процесс при случайных изменениях условий обработки.

Практическая ценность работы. Создано методическое обеспечение для системы гибкого управления процессом проектирования электроплазменных технологий и оборудования, направленных на повышение эффективности проектных работ и разработку новых электроплазменных технологий и автоматизированного оборудования.

Предложены конструкции, разработано и внедрено автоматизированное оборудование для электроплазменных технологических процессов, обеспечивающее улучшение качества обрабатываемых изделий и повышение производительности труда: автоматизированное оборудование для плазменного напыления порошковых покрытий с совмещенной активацией подложки газовыми разрядами;

- автоматизированное оборудование для плазмохимической обработки;

- автоматизированное оборудование для нанесения тонких плёнок;

- оборудование для озонирования сельскохозяйственных культур, кормоцехов птицефабрик и свинокомплексов.

Реализация результатов работы. Методическое обеспечение для систем проектирования внедрено на предприятии ОАО «Саратовский научно-исследовательский институт машиностроения» при создании конструкторской и технологической документации в процессе разработки электроплазменных технологий и автоматизированного оборудования. Разработанные электроплазменные технологические процессы внедрены с экономическим эффектом на ФГУП «НЛП «Алмаз», ОАО «МЭЛЗ» (г. Москва), ОАО «Контакт» (г. Саратов), ОАО «Сельхозтехника» (с. Перелюб, Сарат. обл.), СХА «Михайловское» (с. Михайловка, Сарат. обл.), ЗАО «Птицефабрика «Балаковская» (г. Балаково, Сарат. обл.), других предприятиях г. Москвы, Саратова и Саратовской области.

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались на: научно-технической конференции «Актуальные проблемы анализа и обеспечения надёжности и качества приборов, устройств и систем» (Пенза, 1996-1999); первой Всероссийской научно-методической конференции с международным участием (Саратов, 2000); 26-м Всероссийском научно-практическом семинаре «Озон и другие экологически чистые окислители. Наука и технологии» (Москва, 2003), VII Международной конференции «Динамика технологических систем» (Саратов, 2004); 7-й Международной конференции «Современные проблемы имплантологии» (Саратов, 2004); ежегодных научно-технических конференциях СГТУ в 1995-2004 гг., I Всероссийской конференции «Озон и другие экологически чистые окислители. Наука и технологии» (Москва, 2005).

Публикации. По теме диссертации опубликована 33 работы, в том числе 3 монографии и три авторских свидетельства на изобретение.

В соответствии с изложенным, на защиту выносятся следующие положения, определяющие решение проблемы повышения эффективности и производительности проектирования новых электроплазменных технологий и автоматизированного оборудования:

1. Совмещение во времени процессов электроплазменного напыления и воздействия на основу и покрытие газоразрядной плазмой позволяет повысить адгезионно-когезионные характеристики покрытия путем управляемой термической активации, граничные параметры которой определяются полученной в ходе исследований зависимостью.

2. Чернение стальных деталей в тлеющем разряде позволяет получить оксидные пленки с содержанием Ре304 не менее 90%.

3. Продувание через обрабатываемый объект воздушно-озоновой смеси, образуемой в коронном разряде, позволяет озонировать пористые материалы за счет диффузионных процессов, их кинетика описывается уравнением, решение которого позволяет установить требуемую концентрацию озона при сравнительно низком его парциальном давлении.

4. Полученные на основе теоретических и экспериментальных исследований закономерности процесса повышения устойчивости газовых разрядов в распределенных электродных системах технологических плазменных устройств улучшают качество обработки газоразрядной плазмой.

5. Обоснованные проектные модели знаний являются основой концепции гибкой системы управления процессом проектирования электроплазменных технологий и соответствующего автоматизированного оборудования.

6. Разработанные методы представления знаний в виде формальных моделей обучения, идентификации и управления позволяют создать концепцию адаптивного управления процессами электроплазменной обработки и нанесения покрытий.

Заключение диссертации по теме «Электротехнология», Лисовский, Сергей Михайлович

Выводы по диссертации

1. Выявлены наиболее общие проблемы совершенствования процессов проектирования электроплазменных технологий и оборудования, которые с позиций информационного подхода представляются как процесс приобретения и преобразования знаний в условиях информационной неопределённости, связанной с определением разнообразных характеристик проектируемого объекта и в формировании проектных процедур.

На основании анализа процессов электроплазменной обработки как объектов проектирования обоснована методология проектирования как процедура извлечения формальных знаний из проблемно-ориентированного информационного потока и преобразования их в проектные модели знаний для принятия решений.

2. Установлены закономерности, проявляющиеся на обрабатываемой поверхности изделия при воздействии различными формами газовых разрядов, которые обеспечивают предпосылки для синтеза новых способов электроплазменной обработки и оптимизации технологических процессов, а именно:

- высокая прочность сцепления покрытия с поверхностью подложки, достигаемая при совмещении процессов активации поверхности подложки и нанесения покрытия;

- повышение эффективности активации подложки обеспечивается при использовании импульсных разрядов.

Расчетным путём показано, что температура на поверхности подложки при её активации импульсными газовыми разрядами может превышать 700°С, однако средняя температура подложки не превышает 150°С. Данный режим обеспечивает наиболее благоприятные условия для очистки поверхности подложки от органических загрязнений.

3. Предложены факторные, вероятностные, газодинамические и тепловые модели, на основе которых разработаны технологии чернения стальных деталей в тлеющем разряде и озонирования пористых материалов путём продувания через обрабатываемый объём воздушно-озоновой смеси, образуемой за счёт коронного разряда.

4. Выполнен тепловой расчёт условий на поверхности электродов при случайном переходе тлеющего разряда в дуговой, на основании которого установлена технологически допустимая длительность случайного импульса дугового разряда 10'3 с.

Экспериментальными исследованиями определено, что наличие на поверхности электродов количества органических загрязнений более 7

10' г/мм , а также оксидной плёнки приводит к снижению устойчивости тлеющего разряда.

5. Предложены алгоритмы управления электроплазменными технологическими процессами при проведении автоматизированного эксперимента, которые позволяют осуществлять процедуры идентификации в автоматизированном режиме.

6. На основе анализа тенденций развития автоматизированных систем управления технологическими процессами разработана формальная модель проведения автоматизированного технологического эксперимента при исследовании процессов электроплазменной обработки в условиях нечётких знаний, позволяющая повысить достоверность результатов при изучении стохастических многофакторных процессов.

7. Разработаны методические основы гибкой системы управления процессом проектирования, которые позволяют формировать и преобразовывать проектные модели знаний для разработки электроплазменных технологий и оборудования.

Предложены четыре вида проектных моделей знаний для методологического обеспечения проектных задач: информационно-справочные, модели принятия решений, модели шкал различных величин и алгоритмические модели.

Проектные модели знаний позволяют на этапах обучения и адаптации объединять во взаимосвязи априорную информацию, опыт проектирования и аналитические методы математического моделирования.

8. Разработаны математические модели и алгоритмы, которые позволяют проектировщику при помощи ЭВМ гибко (адаптивно) управлять процессом распределения ресурсов в течение всего периода решения научно-технических задач, что обеспечивает повышение качества и увеличивает производительность проектных работ.

9. Разработаны структурные схемы автоматизированных установок для проведения технологического эксперимента и стендов для испытания и отладки систем электроплазменного оборудования в процессе его изготовления, обеспечивающие качественные исследования технологий и систем оборудования.

10. Проведена классификация электродных систем плазменных технологических устройств по принципу распределенности газовых разрядов в пространстве на три группы: для возбуждения сосредоточенных газовых разрядов - плазмотроны; для возбуждения распределенно-сосредоточенных газовых разрядов - магнетроны, ионные источники; для возбуждения распределённых газовых разрядов - плазменные реакторы.

На основе анализа технологических условий на поверхности электродов и в газовой среде определены наиболее значимые факторы, определяющие устойчивость тлеющего разряда, к которым отнесены: тепловые условия на электродах, состояние поверхности электродов и характеристики импульсной модуляции тлеющего разряда.

11. На основе методики гибкой системы управления проектными моделями знаний разработаны общие принципы проектирования, предложены конструкции и разработано автоматизированное оборудование для электроплазменных технологических процессов, обеспечивающее улучшение качества обрабатываемых изделий, повышение производительности и улучшение условий труда, а именно:

- автоматизированное оборудование для плазменного нанесения покрытий с совмещённой активацией подложки газовыми разрядами;

- автоматизированное оборудование для плазмохимической обработки;

- автоматизированное оборудование для напыления тонких плёнок.

12. На основе анализа тенденций развития автоматизированных систем управления технологическими процессами разработаны проектные модели знаний для создания универсального адаптивного регулятора для управления процессами электроплазменной обработки.

Предложена структура адаптивного регулятора для управления электроплазменным процессом, содержащие чёткие и нечёткие модели, которые позволяют сформировать управляющий алгоритм, направленный на оптимизацию технологического процесса при случайных изменениях условий обработки.

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Лисовский, Сергей Михайлович, 2006 год

1. Автоматизация поискового конструирования (искусственный интеллект в машинном проектировании) / под ред. А. И. Половинкина. М.: Радио и связь, 1981.-344 с.

2. Автоматизированное проектирование и производство в машиностроении / под ред. 10. А. Соломенцева и В. Г. Митрофанова. М.: Машиностроение, 1986.-256 с.

3. Автоматический контроль и диагностика систем управления силовыми установками летательных аппаратов / В. И. Васильев, 10. М. Гусев, А. И. Иванов и др. М.: Машиностроение, 1989. - 240 с.

4. Автоматизация обработки масс-спектрометрической информации / А. Л. Гуревич, Л. А. Русиков, А. М. Могильницкий и др. М.: Энергия, 1978. -182 с.

5. Автоматизированное управление технологическими процессами / под ред. В. Б. Яковлева. Л.: Изд-во Ленингр. ун-та, 1988. - 224 с.

6. Адлер, 10. П. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий / Ю. П. Адлер и др. М.: Наука, 1976. - 279 с.

7. Александрова, А. Т. Оборудование электровакуумного производства / А. Т. Александрова. М.: Энергия, 1974. - 383 с.

8. Алексеева, 3. Я. Экспертные системы состояние и перспективы / 3. Я. Алексеева, В. А. Стефанюк // Известия АН СССР. Техническая кибернетика. - 1984. -№ 5. - С.47-56

9. Алиев, Р. А. Управление производством при нечеткой исходной информации / Р. А. Алиев, А. Э. Церковный, Г. А. Мамедов. М.: Энергоатомиздат, 1991. - 240 с. П.Алиев, Р. А. Экспериментальный анализ / Р. А. Алиев. - М.: Машиностроение, 1991. - 272 с.

10. Алиев, Р. А. Статистическая идентификация с уравновешиванием погрешностей / Р. А. Алиев, И. Ф. Мусаева // Теория и системы управления. 1995.-№3.-С. 50-55.

11. Андриенко, Г. JI. Построение информационно-аналитических MULTIMEDIA-систем, основанных на знаниях / Г. JI. Андриенко, Н. В. Андриенко // Теория и системы управления. 1995. - № 5. - С. 160-172.

12. Андреева, В. В. Измерение толщины тонких плёнок на металлах оптическим поляризационным методом / В. В. Андреева // Труды Института физической химии АН СССР. 1957^Вып. 6. - С. 79-98.

13. Арзамасов, А. Б. Ионное азотирование деталей"из аустенитных сталей / А.

14. Б. Арзамасов //Металловедение и термическая обработка металлов. 1991. -№ 1.-С 9-10.

15. Арсеньев, А. А. Кинетические уравнения / А. А. Арсеньев. М.: Знание, 1985.-46 с.

16. Артамонов, А. Г. Математическое моделирование и оптимизация плазмохимических процессов / А. Г. Артамонов, В. М Володин, В. Г. Авдеев. М.: Химия, 1989. - 224 с.

17. A.c. 1208304 СССР. Роторный безмасляный форвакуумный насос / С. М. Лисовский, А. И. Данилов //Б.И. 1986. -№ 41.

18. A.c. 1208306 СССР. Перистальтический форвакуумный безмасляный насос / С. М. Лисовский, С. Н. Чикин, Б. Ш. Мухин // Б.И. 1986. -№ 4.

19. A.c. 1262105 СССР. Роторный безмасляный форвакуумный насос / С. М. Лисовский // Б.И. 1986. - № 37.

20. A.c. 719710 СССР. Способ катодной обработки деталей устойчивым дуговым разрядом // Б.И. 1980. - № 9.

21. A.c. 1201346 СССР. Способ оксидирования стабильной аустенитной стали // Б.И.- 1980.-№48.

22. A.c. 256461 СССР. Устройство для очистки проволоки в поле тлеющего разряда // Б.И. 1969. - № 34.

23. A.c. 1072297 СССР. Устройство для контроля сильноточного тлеющего разряда // Б.И. 1984. - № 5.

24. A.c. 1096765 СССР. Источник питания установки тлеющего разряда // Б.И. 1984.-№21.

25. АСУ ТП. Предпроектная разработка алгоритмов управления / В. И. Скурихин, В. В. Дубровский, В. Б. Шифрин. Киев: Наук, думка, 1980. -296 с.

26. Бабад-Захряпин, А. А. Химико-термическая обработка в тлеющем разряде /

27. A. А. Бабад-Захряпин, Г. Д. Кузнецов. М.: Атомиздат, 1975. - 175 с.

28. Балакирев, В. С. Экспериментальное определение динамических характеристик промышленных объектов управления / В. С. Балакирев, Е. Г. Дудников, А. М. Цирлин. М.: Энергия, 1967. - 232 с.

29. Барвинок, В. А. Управление напряжённым состоянием и свойства плазменных покрытий / В. А. Барвинок. М.: Машиностроение, 1990. -384 с.

30. Барвинок, В. А. Физические основы и математическое моделирование процессов вакуумного ионно-плазменного напыления / В. А. Барвинок,

31. B. И. Богданович. -М.: Машиностроение, 1999. 309 с.

32. Беллман, Р. Динамическое программирование: пер. с англ. / Р. Беллман. -М.: ИЛ, 1960.-342 с.

33. Бенедикт, С. Принятие решений при ненадежной информации / С. Бенедикт // Автоматика и телемеханика. 1996. -№ 9. - С. 151.

34. Бернштейн, JI. С. Функционально-структурное исследование ситуационно-фреймовой сети экспертной системы с нечеткой логикой / JI. С. Бернштейн, С. Я. Коровин, А. И. Мелихов и др. // Техническая кибернетика. 1994. -№4.-С. 21-26.

35. Богомолов, С. Е. Логический вывод на формулах с временными связками / С. Е. Богомолов // Кибернетика и системный анализ. 1992. - № 5. - С. 63-70.

36. Бобров, Г. В. Нанесение неорганических покрытий / Г. В. Бобров, А. А. Ильин. М.: Интермет Инжиниринг, 2004. - 624 с.

37. Большаков, В. А. Применение системы оптимизационного моделирования для задач управления и подготовки решений / В. А.Большаков // Автоматика и телемеханика. 1996. - № 2. - С. 134.

38. Борисов, А. И. Модели принятия решений на основе лингвистической переменной / А. И. Борисов, А. В. Алексеев, О. А. Крумберг и др. Рига: Зинатне, 1982.-256 с.

39. Борисов, А. И. Обработка нечеткой информации в системах принятия решений / А. И. Борисов, А. В. Алексеев, Г. В. Меркурьева и др. М.: Радио и связь, 1989.-384 с.

40. Борисов, Ю. С. Газотермические покрытия из порошковых материалов / Ю. С. Борисов, Ю. А. Харламов. Киев: Наук, думка, 1987. - 544 с.

41. Васильчук, Н. С. Предпосевная обработка семян озоном / Н. С. Васильчук,

42. B. Б. Лебедев, С. М. Лисовский и др. // Arpo XXI.- 2003/2004. № 7-12.1. C. 67-68.

43. Венда, В. Ф. Системный подход в психологическом анализе взаимодействия человека с машиной / В. Ф. Венда // Психологический журнал. 1982. - Т.з. № 1.-С. 85-94.

44. Венда, В. Ф. Системы гибридного интеллекта: эволюция, психология, информатика / В. Ф. Венда. М.: Машиностроение, 1990. - 448 с.

45. Вилкас, Э. Й. Решения: теория, информация, моделирование / Э. Й. Вилкас, Е. 3. Майминас.-М.: Радио и связь, 1981.-328 с.

46. Влияние технологических параметров процесса осаждения из сепарированного плазменного потока TiN-покрытий на их защитные свойства // ФИХОМ. 1991. - № 3. - С. 65-68.

47. Влияние плазмообразующей среды на окисление покрытий / В. А. Першин // Газотермическое напыление в промышленности (ГНТП-91): докл. и рекл. сообщен., предст. на междунар. сессии "Газотерм. напылен, в пром-ти СССР и за рубежом".-Л., 1991.-С. 40.

48. Воронин, В. И. Типовые узлы и механизмы электронной техники / В. И. Воронин, Г. В. Конюшков, С. М. Лисовский. М: Машиностроение, 2004. -321 с.

49. Гаврикова, И. С. Влияние температуры на формирование ионно-плазменных покрытий / И. С. Гаврикова, А. И. Додоков, В. В. Мокрый и др. //ФИХОМ.- 1989. -№ 1.-С. 140-141.

50. Гойчинский, А. М. Гибкие автоматизированные производства. Управление технологичностью РЭА / А. М. Гойчинский, Н. И. Диденко, В. П. Лузин. -М.: Радио и связь, 1987. 272 с.

51. Головина, Е. Ю. Объектно-ориентированный подход к моделированию предметной области / Е. Ю. Головина // Техническая кибернетика. 1994. - № 2. - С. 17-23.

52. Горелик, А. Л. Методы распознавания / А. Л. Горелик, В. А. Скрипкин. -М.: Высшая школа, 1989. 232 с.

53. Горчинская, О. Ю. Метод индуктивного построения базы знаний для экспертных систем, моделирующих нечеткие рассуждения / О. 10. Горчинская, В. А. Рубашкин //Автоматика и механика. -1991. № 3. -С. 113-120.

54. Гусев, В. В. Плазмохимические реакторы для удаления поверхностных слоев материалов / В. В. Гусев, В. Ю. Киреев // ФИХОМ. 1980. - № 1. - С. 72-29.

55. Гуткин, Л. С. Оптимизация радиоэлектронных устройств по совокупности показателей качества / Л. С. Гуткин. М.: Сов. радио, 1975. - 368 с.

56. Данилин, Б. С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С.Данилин. М.: Энергоатомиздат, 1989. - 328 с.

57. Данилин, Б. С. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. М.: Энергоатомиздат, 1987.-264 с.

58. Данилин, Б. С. Модель процесса травления материалов в галогеносодержащей плазме / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев // Физика и химия обработки материалов. 1977. - № 4. - С. 8-13.

59. Данилин, Б. С. Магнетронные распылительные системы / Б. С. Данилин, В. К. Сырчин М.: Радио и связь, 1982. - 72 с.

60. Данилин, Б. С. Основы конструирования вакуумных систем / Б. С. Данилин, В. Э. Минайчев.-М.: Энергия, 1971.-392 с.

61. Данилов, А. И Анализ конструкций механических безмасляных насосов / А. И. Данилов, С. М. Лисовский, В. И. Мухин, С. Н. Чикин // Электронная техника. 1988. - Вып. 5. - С. 41-45.

62. Дмитриев, А. К. Основы теории построения и контроля сложных систем / А. К. Дмитриев, П. А. Мальцев. Л.: Энергоиздат. Ленингр. отд-ние, 1988. -192 с.

63. Дмитриев, В. И. Прикладная теория информации / В. И.Дмитриев. М.: Машиностроение, 1979.-221 с.

64. Донской, А. В. Электроплазменные процессы и установки в машиностроении / А. В. Донской, В. С. Клубникин. Л.: Машиностроение, 1979.-221с.

65. Донец А. М. Автоматизированный анализ и оптимизация конструкций и технологии РЭА / А. М. Донец, Я. Е. Львович, В. Н. Фролов. М.: Радио и связь, 1983.- 179 с.

66. Дороднов, А. М. О физических принципах и типах вакуумных технологических плазменных устройств / А. М. Дороднов, В. А. Петросов // ЖТФ. 1981. - Т.51, № 3. - С. 504-524.

67. Дружинин, В. В. Проблемы системологии. Проблемы теории сложных систем / В. В. Дружинин, Д. С. Конторов. М.: Сов. радио, 1976. - 296 с.

68. Дружинин, В. В. Системотехника / В. В. Дружинин, Д. С. Конторов. М.: Радио и связь, 1985. - 200 с.

69. Дулькин, А. Е. Магнетронная распылительная установка с ионным травлением подложек на базе ВУП-4 / А. Е. Дулькин, Г. И. Наумов // Приборы и техника эксперимента. 1989. - № 4. - С 210-211.

70. Дульнев, Г. Н. Тепло- и массообмен в радиоэлектронной аппаратуре / Г. Н. Дульнев. М.: Высш. шк., 1984. - 247 с.

71. Евгенев, Г. Б. Системология инженерных знаний / Г. Б. Евгенев. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. - 375 с.

72. Емельянов, В. В. Представление знаний для моделирования сложных дискретных систем и процессов / В. В. Емельянов, С. И. Ясиновский // Информационные технологии. 1996. -№ 1. - С. 16-18.

73. Епифанов, Г. И. Физические основы конструирования и технологии РЭА и ЭВА / Г. И. Епифанов, Ю. А. Мома. М.: Сов. радио, 1979. - 352 с.

74. Жук, К. Д. Построение современных систем автоматизированного проектирования / К. Д. Жук, А. А. Тимченко, А. А. Родионов. Киев: Наук, думка, 1983.- 120 с.

75. Заде, Л. А. Понятие лингвистической переменной и его применение к принятию приближенных решений / Л. А. Заде. М.: Мир, 1976. - 165с.

76. Зедгенидзе, И. Г. Планирование эксперимента для исследования многокомпонентных систем / И. Г. Зедгенидзе. М.: Наука, 1976. - 390 с.

77. Зимон, А. Д. Адгезия пыли и порошков / А. Д. Зимон. М.: Химия, 1976. -431 с.

78. Змиевской, Ю. Н. Оборудование для плазменных покрытий / Ю. Н. Змиевской., Н. Ф. Зоткин, В. М. Таран // Электронная промышленность. -1983.-Вып. 5 (122).-С. 54-56.

79. Иванов, Е. М. Теплофизические процессы при плазменном напылении тугоплавких металлов / Е. М. Иванов, А. А. Углов // ФИХОМ. 1985. -№2.-С. 61-64.

80. Ивановский, Г. Ф. Устройство ионно-лучевого нанесения пленок / Г. Ф. Ивановский, С. В.Панин, В. И. Фролов // Электронная промышленность. -1990.- №4. -С. 13-14.

81. Иванов, А. А. Неравновесная плазмохимия / А. А. Иванов, Т. К. Соболева. -М.: Атомиздат, 1978. 264 с.

82. Измерения в промышленности. Кн.1. Теоретические основы: пер. с нем. / под. ред. П. Профоса. М.: Металлургия, 1990. - 264 с.

83. Интеллектуальные системы автоматизированного проектирования больших и сверхбольших интегральных микросхем / В. А. Мищенко, Л. М. Городецкий, Л. И. Гурский и др.; под ред. В. А. Мищенко. М.: Радио и связь, 1988.-272 с.

84. Искусственный интеллект; справочник: в 3 кн. Кн.2. Модели и методы / под ред. Д. А. Поспелова. М.: Радио и связь, 1990. - 527с.

85. Испытания, контроль и диагностирование производственных систем: сб. науч. тр.-М.: Наука, 1988.-217с.

86. Ицкович, Э. Л. Контроль производства с помощью вычислительных машин /Э. Л. Ицкович. М.: Энергия, 1975. -416 с.

87. Казаков, И. Ф. Диффузионная сварка материалов / И. Ф. Казаков. М.: Машиностроение, 1976.-312 с.

88. Касаткин, А. М. Представление знаний в системах искусственного интеллекта / А. М. Касаткин // Кибернетика. 1979. - № 2. - С. 57-66.

89. Кафаров, В. В. Гибкие автоматизированные производственные системы в химической промышленности / В. В. Кафаров, В. В. Макаров. М.: Химия, 1990.-320 с.

90. Кафаров, В. В. Моделирование и системный анализ биохимических производств / В. В. Кафаров, А. Ю. Винаров, Л. С. Гордеев. М.: Лесная промышленность, 1985. - 344 с.

91. Кини, Р. Л. Принятие решений при многих критериях: предпочтения и замещения / Р. Л. Кини, X. Райфа. -М.: Радио и связь, 1981. 560 с.

92. Колунов, В. В. Конструкторское проектирование РЭС в интеллектуальной САПР / В. В. Колунов // Информационные технологии в проектировании и производстве, 1996.-Вып. 3-4.-С. 110-112.

93. Комаров, Ф. Ф. Ионная имплантация / Ф. Ф. Комаров, А. П. Новиков, А. Ф. Буренков. Минск: Университэцкое, 1994. - 303 с.

94. Конюшков, Г. В. Основы конструирования механизмов электронной техники / Г. В. Конюшков, В. И. Воронин, С. М. Лисовский. М.: Машиностроение, 2004. - 123 с.

95. Котельников, Д. И. Сварка давлением в тлеющем разряде / Д. И. Котельников. -М.: Металлургия, 1981. 116 с.

96. Крапивина, С. А. Плазмохимические технологические процессы / С. А. Крапивина.-Л.: Химия, 1981.-248 с.

97. Кудинов, В. В. Нанесение покрытий плазмой / В. В. Кудинов, П. Ю. Пекшев, В. Е. Белащенко и др. М.: Наука, 1990. - 408 с.

98. Лисовский, С. М. Математическое моделирование процесса озонирования пористых тел / С. М. Лисовский, В. М. Таран // Автоматизация и управление в машиностроении: сб. науч. трудов. Саратов: СГТУ, 2000. -С. 83-86.

99. Лисовский, С. М. Формирование моделей знаний для проектирования электроплазменных технологий и оборудования / С. М. Лисовский // Вестник СГТУ. 2005. - № 1 (6). - С.24-34.

100. Лисовский, С. М. Разработка оптимальных технологических условий нагрева стальных деталей в тлеющем разряде / С. М. Лисовский, В. М. Таран, В. Н. Лясников // Высокие технологии путь к прогрессу: сб. науч. тр. - Саратов: Научная книга, 2003. - С. 50-53.

101. Лунин, В. В. Физическая химия озона / В. В. Лунин, М. П. Попович, С. Н. Ткаченко. М.: Изд-во МГУ, 1998. - 480 с.

102. Лясников, В. Н. Гибкий производственный модуль плазменной обработки сеток мощных генераторных ламп / В. Н. Лясников, В. С. Украинский, В. М. Таран и др. // Электронная промышленность. 1988. - Вып. 4 (172). -С. 57-58.

103. Лясников, В. Н. Плазменное напыление покрытий в производстве изделий электронной техники / В. Н. Лясников, В. С. Украинский, Г. Ф. Богатырев. Саратов: СГТУ, 1985. - 200 с.

104. Лясников, В. Н. Гибкая система распределения ресурсов для решения научно-технических задач / В. Н. Лясников, В. М. Таран, С. М. Лисовский // Известия Международной академии наук высшей школы. 2004. - № 3 (29).-С. 2-7.

105. ИЗ. Максимов, А. И. Очистка поверхности металлов в плазме тлеющего разряда / А. И. Максимов, Г. И. Мухина, А. Л. Никифоров и др. // Электрон, обраб. Материалов. 1985. - № 2. - С. 37-39.

106. Максимов, А. И. Роль атомов кислорода и отрицательных ионов кислорода в плазменном анодировании алюминия / А. И. Максимов, В. В. Рыбкин, В. А. Титов // ФИХОМ. 1990. - № 4. - С. 53-56.

107. Малов, В. В. Пьезорезонансные датчики / В. В. Малов. М.: Энергоатомиздат, 1989. - 272 с.

108. Малышев, Н. Г. Нечеткие модели для экспертных систем в САПР / Н. Г. Малышев, Л. С. Берштейн, А. В. Боженюк. М.: Энергоатомиздат, 1991. -136 с.

109. Мануэль, Т. Попытки внедрения экспертных систем и проблема интеграции / Т. Мануэль // Электроника. 1990. - № 6. - С. 15-23.

110. Мелихов, А. Н. Ситуационные советующие системы с нечеткой логикой / А. Н. Мелихов, Л. С. Берштейн, С. Я. Коровин. М.: Наука. Гл. ред. физ,-мат. лит., 1990. - 272 с.

111. Минский, М. Фреймы и представление знаний / М. Минский. М.: Энергия, 1979.- 150 с.

112. Митин, Б. С. Плазменное напыление покрытий с совмещенной активацией поверхности газовыми разрядами / Б. С. Митин, В. М. Таран, Г. В. Бобров // Авиационная промышленность. 1988. - № 4. - С. 51-54.

113. Моделирование и методы расчета физико-химических процессов в низкотемпературной плазме / под ред. JI. С. Полака. М.: Наука, 1974.-270 с.

114. Моисеев, В. С. Системное проектирование преобразователей информации / В. С. Моисеев. JL: Машиностроение, 1982. - 255 с.

115. Намитоков, К. К. Электроэрозионные явления / К. К. Намитоков. М.: Энергия, 1978.-456 с.

116. Нечеткие множества в моделях управления и искусственного интеллекта / под ред. Д. А. Поспелова. -М.: Наука, 1986. 312 с.

117. Нечеткие множества и теория возможностей. Последние достижения / под ред. Р. Ягера. М.: Радио и связь, 1986. - 391 с.

118. Нильсон, Н. Проблемы искусственного интеллекта / Н. Нильсон. М.: Радио и связь, 1985. - 280 с.

119. Николаев, В. И. Системотехника: методы и приложения / В. И. Николаев, В. М. Брук. Д.: Машиностроение, Ленингр. отд-ние, 1985. - 199 с.

120. Норенков, И. П. Введение в автоматизированное проектирование технических устройств и систем / И. П. Норенков. М.: Высшая школа, 1980.-272 с.

121. Норенков, И. П. Основы автоматизированного проектирования / И. П. Норенков. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2000. - 360 с.

122. Обзоры по электронной технике: оборудование и технология плазменной обработки деталей ИЭТ / В. М. Таран, Ю. Н. Змиевской. М., 1985. -Вып. 17. - Сер. 7.-58 с.

123. Обзоры по электронной технике: оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники / В. М. Таран, В. И. Орлов. М., 1987. - Вып. 16. - Сер. 7. - 50 с.

124. Орловский, С. А. Проблемы принятия решений при нечёткой исходной информации / С. А. Орловский. -М.: Наука, 1981. 124 с.

125. Основные концепции технологии автоматизированного проектирования / В. И. Скурихин, Н. Г. Малышев, А. В. Суворов и др. // Управляющие системы и машины. 1986. - № 1. - С. 7-14.

126. Пипко, А. И. Конструирование и расчет вакуумных систем / А. И. Пипко, В. Я. Плисковский, Е. А. Пенчко. М.: Энергия, 1979. - 504 с.

127. Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ. / под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна. М.: Мир, 1987. - 469 с.

128. Плазмохимические реакции и процессы / под ред. Л. С. Полака. М.: Наука, 1977.-313 с.

129. Полак, Л. С Вычислительные методы в химической кинетике / Л. С. Полак, М. Я. Гольденберг, А. А. Левицкий. М.: Наука, 1984. - 280 с.

130. Полак, Л. С. Неравновесная химическая кинетика и ее применение / Л. С. Полак. М.: Наука, 1979. - 405 с.

131. Полищук, Ю. М. Теория автоматизированных банков информации / Ю. М. Полищук, В. Б. Хон. -М.: Высшая школа, 1989. 184 с.

132. Поспелов, Д. А. Логико-лингвистические модели в системах управления / Д. А. Поспелов. М.: Энергоатомиздат, 1981. - 231 с.

133. Поспелов, Д. А. Ситуационное управление: теория и практика / Д. А. Поспелов. М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1986. - 288 с.

134. Поспелов, Д. А. Моделирование рассуждений. Опыт анализа мыслительных актов / Д. А. Поспелов. М.: Радио и связь, 1989. - 184 с.

135. Попов, Э. В. Экспертные системы / Э. В. Попов. М.: Наука, 1987. - 288 с.

136. Применение методов плазменного термоупрочнения в машиностроении / В. Д. Пархоменко, М. В. Крыжановский, П. И. Цибулев и др.// Плазмохимия-88: сб. науч. тр. М., 1988. - С. 73-89.

137. Райзер, Ю. П. Основы современной физики газоразрядных процессов /10. П. Райзер. М.: Наука, 1980. - 415 с.

138. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой: пер. с англ. М.: Мир, 1984.-335 с.

139. Резников, А. И. Тепловые процессы в технологических системах / А. И. Резников, JL А. Резников. М.: Машиностроение, 1990. - 288 с.

140. Рей, У. Методы управления технологическими процессами: пер. с англ. / У. Рей. М.: Мир, 1983. - 368 с.

141. Роберте, М. Химия поверхности раздела металл-газ: пер. с англ. / М. Роберте, Ч. Макки. -М.: Мир, 1981.-539 с.

142. Розанов, JL Н. Вакуумная техника / JI. Н. Розанов. М.: Высшая школа, 1990.-320 с.

143. Розен, В. В. Цель оптимальность - решение (математические модели принятия оптимальных решений) / В. В. Розен. - М.: Радио и связь, 1982. -168 с.

144. Роботизированные технологии для плазменно-дугового поверхностного упрочнения машиностроительных деталей / Д. Ставров, Д. Въев, Ж. Димитров и др. // Машиностроение. 1990. - № 10. - С. 447-451.

145. Рубашкин, В. Ш. Представление и анализ смысла в интеллектуальных информационных системах / В. Ш. Рубашкин. М.: Наука. Гл. ред. физ,-мат. лит., 1989.- 192 с.

146. Рыкалин, H. Н. Лазерная обработка материалов / H. Н. Рыкалин, А. А. Углов, А. Н. Кокора. М.: Машиностроение, 1975. - 296 с.

147. Самсонов, Г. В. Тугоплавкие соединения: справочник / Г. В. Самсонов, И. М. Винницкий. -М.: Металлургия, 1976. 560 с.

148. Системы автоматизированного проектирования: типовые элементы, методы и процессы / Д. А. Аветисян, И. А.Башмаков, 3. И. Геминтерх и др. М.: Изд-во стандартов, 1985. - 264 с.

149. Система плазменной очистки и подготовки поверхности // Solid State Technology. 1989. T. 32. - № 4. - С. 98.

150. Скурихин, В. И. Информационные технологии в испытаниях сложных объектов: методы и средства / В. И. Скурихин, В. Г. Квачев, Ю. Р. Волькман и др. Киев: Наук, думка, 1990. - 320 с.

151. Словецкий, Д. И. Плазмохимическое плавление тугоплавких металлов / Д. И. Словецкий, И. И. Амиров // Микроэлектроника. 1990. - Вып. 19. -№2.-С. 171-130.

152. Соколов, В. Ф. Исследование излучения магнетронного разряда в процессе напыления тонких пленок / В. Ф. Соколов, Ю. А. Соколова, А. А. Протасевич // ФИХОМ. 1996. - № 3. - С. 84-89.

153. Сурис, А. Л. Плазмохимические процессы и аппараты / А. Л. Сурис. М.: Химия, 1989.-304 с.

154. Таран, В. М. Проектирование электроплазменных технологий и автоматизированного оборудования / В. М. Таран, С. М. Лисовский, А. В. Лясникова. -М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2005. 256 с.

155. Таран, В. M Гибкая система управления распределением ресурсов для решения научно-технических задач / В. М. Таран, В. Н. Лясников, С. М. Лисовский // Технология металлов. 2005. - № 1. - С. 43-46.

156. Таран, В. М. Электроплазменные технологии и оборудование для обработки материалов / В. М. Таран, Н. В. Протасова, А. В. Лясникова, С. М. Лисовский // Технология металлов. 2005. - № 5. - С.27-32.

157. Таран, В. М. Оптимизация технологии плазменного оксидирования стальных деталей / В. М. Таран, С. М. Лисовский // Прогрессивные направления развития технологии машиностроения: сб. науч. тр. -Саратов: СГТУ, 1996. С. 129-132.

158. Таран, В. М. Гибкая система управления процессом проектирования технических объектов / В. М. Таран, Н. В. Протасова, С. М.Лисовский // Технология металлов. 2005. - № 10. - С.45-50.

159. Таран, В. М. Математическое моделирование технологических процессов вакуумно-плазменного нанесения покрытий / В. М. Таран, С. М.

160. Лисовский, Д. Е. Мериин // Проектирование и техническая диагностика автоматизированных комплексов: сб. науч. тр. Саратов: СГТУ, 1997. - С. 53-60.

161. Таран, В. М. Гибкая система управления распределением ресурсов для решения научно-технических задач / В. М. Таран, С. М. Лисовский, Н. В. Протасова и др. // Вестник СГТУ. 2004. - № 1 (2). - С. 108-113.

162. Таран, В. М. Формальная модель проектирования технических устройств /

163. B. М. Таран, С. М. Лисовский, О. А. Гуляев и др. //Актуальные проблемы анализа и обеспечения надёжности и качества приборов, устройств и систем: сб.ст. Междунар. конф. Пенза, 1998. - С. 19.

164. Таран, В. М. Плазменное оборудование для обработки материалов биомедицинского назначения / В. М. Таран, А. В. Лясникова, С. М. Лисовский и др. // Современные проблемы имплантологии: сб. науч. тр. -Саратов: СГТУ, 2004. С. 70-78.

165. Таран, В. М. Плазменные технологии для обработки пористых покрытий / В. М. Таран, В. Н. Лясников, С. М. Лисовский // Современные проблемы имплантологии: сб. науч. тр. Саратов: СГТУ, 2004. - С. 78-80.

166. Таран, В. М. Анализ процесса термической активации подложки дополнительным дуговым разрядом / В. М. Таран, А. В. Лясникова, С. М. Лисовский // Технология металлов. 2006. - № 2. - С. 47-49.

167. Фролов, В. Н. Управление технологическими процессами производства РЭА в условиях неоднородностей / В. Н. Фролов. Воронеж: Изд-во ВГУ, 1982.- 161 с.

168. Фролов, В. Н. Системное проектирование технологических процессов / В. Н. Фролов, Я. Э. Львович. Воронеж: Изд-во ВГУ, 1982. - 142 с.

169. Хавличек, В. Л. Интеграция знаний по диагностике / В. Л. Хавличек // Техническая кибернетика. 1992. - № 5. - С. 76-82.

170. Хант, Э. Искусственный интеллект / Э. Хант. М.: Мир, 1978. - 558 с.

171. Хартман, К. Планирование эксперимента в исследовании технологических процессов: пер. с нем. / К. Хартман. -М.: Мир, 1977. 399 с.

172. Хасуй, А. Техника напыления / А. Хасуй. М.: Машиностроение, 1975. -288 с.

173. Хейес-Рот, Ф. Построение экспертных систем / Ф. Хейес-Рот, Д. Уотермен, Д. Ленат. М.: Мир, 1987. - 430 с.

174. Хенней, Н. Химия твердого тела / Н. Хенней. М.: Мир, 1971. - 352 с.

175. Холлэнд, Л. Нанесение тонких пленок в вакууме: пер. с англ. / Л. Холлэнд. -Л.: Госэнергоиздат, 1962. 608 с.

176. Цапенко, М. П. Измерительные информационные системы: структуры и алгоритмы системотехнического проектирования / М. П. Цапенко. М.: Энергоатомиздат, 1985. - 440 с.

177. Цветков, Э. И. Основы теории статистических измерений / Э. И. Цветков. -Л.: Энергоатомиздат, 1986. 254 с.

178. Цымбал, Л. А. Синергетика информационных процессов. Закон информативности и его следствия / Л. А. Цымбал. М.: Наука, 1995. -119 с.

179. Чичварин, Н. В. Экспертные компоненты САПР / Н. В. Чичварин. М.: Машиностроение, 1991. - 240 с.I

180. Чубаров, Е. П. Управление системами с подвижными источниками воздействия / Е. П. Чубаров. М.: Энергоатомиздат, 1985. - 288 с.

181. Шенк, Р. Обработка концептуальной информации / Р. Шенк. М: Энергия, 1980.-360 с.

182. Шоршоров, M. X. Физико-химические основы детонационно-газового напыления покрытий / M. X. Шоршоров, Ю. А. Харламов. М.: Наука, 1978.-224 с.

183. Шпур, Г. Автоматизированное проектирование в машиностроении: пер. с нем. / Г. Шпур, Ф.-Л. Краузе. М.: Машиностроение, 1988. - 319 с.

184. Элты, Дж. Экспертные системы: концепции и примеры / Дж. Элты, М. Кумбс. -М.: Финансы и статистика, 1987. 191 с.

185. Anlagen zum Plasmanitriren und Plasmacarburieren / R. Grün // Electrowarme Int. 1987. 45. No 3-4.- P. 178-182.

186. Application of plasma to processing for ceramics / Akachi Kazuo // Techno Jap. 1987. 20. No 3.-P. 7-26.

187. Effect of contamination on ark initiation on a metal surface exposed to plasma / Kudo Kouichi //Jap. J.'Appl. Phys.- 1985. 24. No 10.-P.1341-1346.

188. Exploiting chamber spraying technology / I.M. Bukley Golder, K.T. Scott // Surface J. 1984.15. No 1-2. - P. 3-7.

189. Krupp lonciert Vakuumplasma spritzenfur den Maschinenbau / Hilschen Gottfried //Techn. Rolsch.- 1990. 82. No 46.- P. 60-61.

190. Plasma arc coating combat component wear // Weld. And Metal Fabr. 1983. 51. No 5.- P. 219-220.

191. Plasma flame coating gives components new lease on life // Can Mach. And Metalwork. 1986. 81. No 5.- P. 53-54.

192. Plasma CVD coats steel-cutting tools // Adv. Mater. And Process. 1990. 138. No 1.-P. 36-42.

193. Plasma spraying has been established. / H. Reh // Powder met. Int. 1990. 22. No 6.-P. 35-36.

194. Plasma spraying an innovative coating techique: Process variant and application / E. Luqscheider, T. Weber // IEEE Trans. Plasma Sei.- 1990. 18. No 6.- P. 968-973.

195. Plasma verzaubert Oberflächen / Miller Franz // Galvanotechnik.-1995.- 86. No 8.-P. 2556-2561.

196. Stand und Entwicklungstendenzen beim Plasmaspritzen / E. Lug scheider, Th. Weber // Electrowarme Int. 1987. 45. No 3-4.-P. 190-195.

197. Plasma processing equipment for minimum damage and chamber contamination / Goto Haruhiro, Sasaki Macoto, Ohme Tadahiro // Solid. State. Technol. 1991. 34. No 2.-P. 513-516.

198. Plasmaober flachentechnologien / Rie Kyong-Tschong, Schnat-baum Frank//LGA-Rd Sch. 1990. No l.-P. 1-7.

199. Plasmatechnologische Foschungen inder Abteilung Plasmatechnik der Technischer Hochschule Ilmenau / W. Reib // Electrowarme Int. B.- 1990. 48. No 4.- P. 224-226.

200. Plasmas et traitement de surface / Gerard Sielet // ARTS et Met-ters mag.-1989. 140.-P. 22-24.

201. Torche a plasma pour traitement de surface / Jean-Pierre Huchim // Galvango-organo-trait. Surface.- 1989. 58. No 5.- P. 597-598.

202. TINA-900-ein Anlagensystem fur die! plasmagestutzte Hartstoff-beschichtung im Hochvakuum // Maschinenbautechnik. 1990. 39. No 11.-P.518.

203. Transient heating and melting of particles in plasma spray coating process / M. A. Jog, L. Huang // Trans. ASME J. Heat Transfer.-1996. 118. No 2.-P. 471477.