Исследование влияния теплофизических процессов в катодной области вакуумной дуги на дисперсный состав капельной фазы в продуктах эрозии катода тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.14, кандидат технических наук Щуренкова, Светлана Александровна

• Щуренкова, Светлана Александровна
• кандидат технических наук
• 2012

Оглавление диссертации кандидат технических наук Щуренкова, Светлана Александровна

ОГЛАВЛЕНИЕ.

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. СОСТОЯНИЕ ИССЛЕДОВАНИЙ ПРОЦЕССОВ

ГЕНЕРАЦИИ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПЛАЗМЫ В

ВАКУ У MHO-ДУГОВОМ РАЗРЯДЕ И ПРОБЛЕМЫ ПОВЫШЕНИЯ КАЧЕСТВА ИЗНОСОСТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ.

1Л. Современные вакуумно-дуговые установки.

1.2. Физические процессы в катодной области вакуумной дуги.

1.3. Анализ недостатков метода вакуумно-дугового испарения и негативного влияния капель на износостойкие, трибологические и коррозионные свойства покрытий.

1.4. Современные требования, предъявляемые к параметрам капельной фазы в покрытиях, применяемых для упрочнения режущего инструмента.

1.5. Постановка задачи исследования влияния параметров разряда и конструктивных особенностей вакуумно-дугового испарителя на состав продуктов эрозии.

ГЛАВА 2. ОБОРУДОВАНИЕ И МЕТОДИКИ ИССЛЕДОВАНИЙ.

2.1. Экспериментальная вакуумно-дуговая установка

N ano A RCmaster85 0.

2.2. Вакуумно-дуговой испаритель с управляемой траекторией движения катодного пятна.

2.3. Торцевой вакуумно-дуговой испаритель с цилиндрическим катодом.

2.4. Методы исследования микроструктур поверхности покрытий и катода.

2.5. Методика измерения толщины покрытий.

2.6. Методика измерения скорости движения катодного пятна.

2.7. Методика измерения индукции магнитного поля в вакуумно-дуговом испарителе.

ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ КАПЕЛЬНОЙ ФАЗЫ В ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЯХ.

3.1. Исследование характерных размеров и формы капель в покрытиях.

3.2. Исследование дисперсного состава и сравнительный анализ капельной фазы в покрытиях, полученных на различных промышленных вакуумно-плазменных установках.

ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ЭРОЗИИ МАТЕРИАЛА КАТОДА И ФОРМИРОВАНИЯ ПОТОКОВ ВЕЩЕСТВА В

ВАКУУМНО-ДУГОВОМ РАЗРЯДЕ.

4.1. Исследование движения катодного пятна в поперечном магнитном поле и влияния скорости движения катодного пятна на дисперсный состав капельной фазы в покрытиях.

4.2. Исследование физических параметров разряда, их влияния на катодные процессы вакуумной дуги и дисперсный состав капельной фазы в продуктах эрозии катода.

4.3. Исследование теплофизических процессов и их влияния на дисперсный состав капельной фазы в продуктах эрозии катода.

4.4. Исследование автографов катодного пятна на массивном катоде.

ГЛАВА 5. ЭМПИРИЧЕСКИЕ ЗАВИСИМОСТИ СОСТАВА КАПЕЛЬНОЙ ФАЗЫ В ПОКРЫТИЯХ ОТ ТЕПЛОВЫХ И ФИЗИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В КАТОДНОЙ ОБЛАСТИ ВАКУУМНОЙ ДУГИ.

5.1. Анализ экспериментальных результатов.

5.2. Рекомендации по проектированию вакуумно-дугового испарителя с уменьшенной долей капельной фазы.

ВЫВОДЫ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование влияния теплофизических процессов в катодной области вакуумной дуги на дисперсный состав капельной фазы в продуктах эрозии катода»

Современная механическая обработка предъявляет высокие требования к режущему инструмент)'. При повышенных режимах и скоростях механической обработки инструмент находится в экстремальных условиях, подвергаясь высоким контактным и циклическим нагрузкам, различным видам износа, температурному воздействию. Работая в таких условиях, инструмент достаточно быстро приходит в негодное состояние и требует замены, что, в свою очередь, тормозит производство и приводит к дополнительным затратам. Рабочая поверхность инструмента должна обладать высокой твердостью, химической пассивностью к обрабатываемым материалам, теплостойкостью, усталостной прочностью, коррозионной стойкостью, а также стойкостью к окислению при высоких температурах. Большинство инструментальных материалов обладают лишь несколькими из указанных выше свойств, что резко снижает их область применения.

Работоспособность режущего инструмента может быть повышена благодаря изменению поверхностных свойств инструментального материала, при котором контактная поверхность инструмента будет наиболее эффективно сопротивляться износу. Эффективным методом упрочнения режущего инструмента является нанесение на рабочую поверхность инструмента защитных покрытий из твердых соединений.

Существует множество способов нанесения защитных покрытий (СУЭ, РУБ), из которых наибольшее распространение для упрочнения режущего инструмента получил способ ионного осаждения с дуговым испарением. На сегодняшний день промышленные вакуумно-дуговые установки производятся во многих странах мира, среди которых Россия, США, Швейцария, Германия, Франция, Япония и Китай. Большинство вакуумно-дуговых износостойких покрытий обладает высокой твердостью (20-40 ГПа), теплостойкостью, низким коэффициентом фения, коррозионной стойкостью. Применение износостойких покрытий позволяет увеличить срок службы режущего инструмента в 2-12 раз, использовать повышенные режимы работы инструмента, а так же обрабатывать особо прочные сплавы (в том числе и жаропрочные ЭИ893, ЭИ929 ЖС6К, ЭГ1539Л, ЦНК7РС). При всем этом качество защитных покрытий может существенно отличаться в зависимости от условий осаждения, конструкции дуговых испарителей, предварительной подготовки поверхности инструмента или деталей машин и многих других условии.

У метода вакуумной дуги есть основной недостаток, который к настоящему времени так и не удалось устранить без существенных потерь в производительности работы испарителя - это наличие капельной фазы в продуктах эрозии катода. Капельная фаза является определяющим минусом вакуумно-дугового разряда и приводит к существенному снижению рабочих свойств покрытий. В дополнении к этому, до настоящего времени не разработано объективных критериев оценки параметров капельной фазы в покрытиях и рекомендаций по ее корректировке.

Таким образом, актуальность темы данной диссертации обусловлена двумя следующими положениями:

- во-первых, она связана с необходимостью создания современных вакуумно-дуговых испарителей с пониженным содержанием капельной фазы в продуктах эрозии катода, позволяющих получать качественные защитные покрытия, которые могут быть конкурентоспособны на мировом рынке подобных технологий и оборудования;

- во-вторых, системное исследование дисперсного состава капельной фазы в продуктах эрозии катода и причин, влияющих на ее параметры, позволит сформулировать объективные критерии оценки капельной фазы в покрытиях и дать рекомендации по ее корректировке.

Целью работы являлось исследование влияния параметров разряда, теплофизических процессов в катодной области вакуумной дуги и скорости движения катодного пятна на параметры капельной фазы в покрытиях, определение способов регулирования капельной фазы, исследование катодной области вакуумной дуги, детальное изучение, сравнительный анализ и классификация капельной фазы в покрытиях.

Для достижения указанной цели были решены следующие задачи:

1) проведены подробные исследования и классификация капельной фазы в титановых и нитрид титановых покрытиях, установлены форма и размеры капель, проведена классификация капель по трем группам. Разработай статистический подход к определению параметров капель, образовавшихся в нанесенном покрытии. Его результатом явился ряд гистограмм и аналитическое выражение распределения капель по диаметрам. Выполнен сравнительный анализ капельной фазы в покрытиях НИ, полученных методом вакуумно-дугового осаждения на 3 современных промышленных РУО-устаповках при одинаковых физических параметрах. Для каждой установки найдено распределение капель по размерам, число капель каждого размера на единицу площади;

2) проведены исследования движения катодного пятна в поперечном магнитном поле, получена эмпирическая формула для скорости движения катодного пятна. Установлена зависимость параметров капельной фазы от скорости движения катодного пятна;

3) исследованы физические параметры вакуумно-дугового разряда. Установлено влияние величины тока разряда на количество катодных пятен вакуумной дуги и параметры капельной фазы в покрытиях. Получены вольтамперные характеристики вакуумно-дугового разряда в зависимости от индукции внешнего магнитного поля;

4) проведены исследования теплофизических процессов в катодной области вакуумной дуги. Получено распределение температуры по толщине катода, установлено влияние температуры катода на дисперсный состав капельной фазы в продуктах эрозии катода;

5) исследованы автографы катодного пятна на массивном катоде. Определены размеры, форма, глубина и структура кратеров, проведена их классификация, зафиксирован след от траектории движения катодного пятпа. Установлена зависимость размеров капель в продуктах эрозии катода от размеров эрозионных кратеров;

6) разработан торцевой вакуумно-дуговой испаритель с управляемой траекторией движения катодного пятна и минимизацией капельной фазы. Проведены испытания, отлажены режимы работы. Научная новизна работы заключается в том, что в ней впервые:

1) проведена классификации капель в покрытии, детально исследованы размеры, форма и физические особенности для каждого типа капель;

2) проведена классификация эрозионных кратеров катодного пятна, для каждого типа кратера установлены размеры, глубина и физические особенности;

3) установлена численная зависимость размеров и количества капельной фазы в покрытиях от параметров разряда, теплофизических процессов в катодной области вакуумной дуги и скорости движения катодного пятна;

4) установлена зависимость размеров капель в покрытии от размеров эрозионных кратеров на катоде вакуумно-дугового испарителя;

5) проведены сравнительные исследования дисперсного состава капельной фазы в покрытиях, полученных на трех промышленных установках Plat.it - -80, ННВ 6.6 И1, УВНИПА-1-002.

На защиту выносятся следующие научные результаты:

1) результаты статистического анализа дисперсного состава капельной фазы в покрытиях (гистограммы и аналитическое уравнение распределения капель по диаметрам);

2) результаты экспериментального исследования движения катодного пятна в поперечном магнитном поле и влияние скорости движения катодного пятна на капельную фазу в продуктах эрозии катода: графики зависимости скорости движения катодного пятна от величины внешнего тангенциального к поверхности катода магнитного поля; эмпирическая формула для скорости движения катодного пятна; графики зависимости относительной площади, занимаемой капельной фазой в покрытиях, от скорости движения катодного пятна;

3) результаты экспериментального исследования физических параметров вакуумно-дугового разряда и их влияния на катодные процессы вакуумной дуги:

- графики зависимости скорости движения катодного пятна от величины тока разряда; влияние тока разряда на количество катодных пятен и их скорости; вольтампериые характеристики вакуумно-дугового разряда в зависимости от величины внешнего магнитного поля; графики зависимости относительной площади, занимаемой капельной фазой в покрытиях, от величины тока разряда;

4) результаты исследования теплофизических процессов в катодной области вакуумной дуги: графики зависимости относительной площади, занимаемой капельной фазой в покрытиях, от температуры поверхности торца катода;

5) результаты исследования автографов катодного пятна на массивном катоде;

Достоверность результатов теоретических исследований обеспечивается использованием адекватных физико-математических моделей и хорошо зарекомендовавших себя программных продуктов, применяемых при расчётах, и сравнением полученных результатов с имеющимися литературными данными. Достоверность экспериментальных исследований гарантируется применением современных и хорошо апробированных методов и методик. Приведены оценки погрешности измерений.

Практмческая значимость результатов работы состоит в том, что:

1) для различных типов режущего инструмента установлены технологические требования к допустимым размерам капельной фазы в покрытиях;

2) на примере трех современных промышленных вакуумно-дуговых установок определены критерии оценки качества покрытий по параметрам капельной фазы (число капель каждого размера на единицу площади, распределение капель по диаметрам). Даны технологические рекомендации по корректировки капельной фазы в покрытиях;

3) разработан торцевой вакуумно-дуговой испаритель с управляемой траекторией движения катодного пятна, отработаны режимы работы с минимизацией капельной фазы и высокой равномерностью выработки катода.

Полученные результаты исследований легли в основу разработки промышленного вакуумно-дугового испарителя с управляемой траекторией движения катодного пятна и пониженным содержанием капельной фазы в продуктах эрозии катода. Испаритель прошел испытание в промышленном цеху по нанесению покрытий ОАО НПО «ЦНИИТМАШ» и был внедрен в производство в качестве основного узла серии промышленных вакуумно-дуговых установок №поАЯС1Ш5и;г, предназначенных для нанесения широкого спектра защитных и триботихнических покрытий на режущий инструмент и детали машин. Испытания показали, что при использовании этого испарителя капельная фаза в покрытиях нитрида титана снижается в 5 раз по относительной площади, занимаемой каплями, по сравнению с дуговым испарителем с торцевым цилиндрическим катодом такого же диаметра и толщины без магнитного управления катодным пятном.

Личный вклад автора состоит в том, что представленные результаты получены автором или при его непосредственном участии. Автором лично проведены все описанные в работе эксперименты: получение образцов с иокрытиями титана и нитрида титана; исследование движения катодного пятна в поперечном магнитном поле и влияния скорости движения катодного пятна на дисперсный состав капельной фазы в покрытиях; исследование физических параметров разряда, их влияния на катодные процессы вакуумной дуги и дисперсный состав капельной фазы в продуктах эрозии катода; исследование теплофизических процессов и их влияния на дисперсный состав капелыюй фазы в продуктах эрозии катода; исследование автографов катодного пятна на массивном катоде, эксперименты по равномерности выработки катода. Автором работы лично проведены исследования покрытий и поверхности катода методами атомпо-силовой, электронной и оптической микроскопии, измерение толщины покрытий, определение тангенциальной к поверхности катода составляющей индукции магнитного поля, измерение параметров разряда. Диссертантом лично разработан универсальный метод определения дисперсного состава капелыюй фазы в покрытиях, получены расчетные модели для определения параметров капелыюй фазы, разработан статистический подход к определению параметров капель, получены две эмпирические формулы: формула для определения скорости движения катодного пятна, функция распределения капель по диаметрам. Автором лично проведено проектирование промышленного вакуумно-дугового испарителя с управляемой траекторией движения катодного пятна и минимизацией капельной фазы в покрытиях, а так же проведен его запуск и отладка режимов работы.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения и приложения.

Заключение диссертации по теме «Теплофизика и теоретическая теплотехника», Щуренкова, Светлана Александровна

-151-ВЫВОДЫ

1. Проведены исследования микроструктуры покрытий, определены размеры и форма капель, проведена их классификация. Разработан статистический подход к определению параметров капель, образовавшихся в нанесенном покрытии. Его результатом явился ряд гистограмм распределения капель по диаметрам и аналитическая зависимость, позволяющая рассчитать число капель в покрытии, имеющих предвари тельно заданный диаметр, если известен тип катода в дуговом испарителе.

2. Проведен сравнительный анализ капельной фазы в покрытиях, полученных на трех современных промышленных установках Platit п -80, ННВ 6.6 И1, УВНИПА-1-002. Установлено, что 40-60% капель в покрытиях, имеет диаметры в диапазоне 0,4-0,5 мкм, распределение капель по диаметрам в диапазоне диаметров 0,3-3 мкм описывается обратной экспонентой, суммарная площадь капель в покрытиях из нитрида титана, имеющих толщину порядка 3 мкм, занимает 6-15% от площади всего покрытия.

3. Исследовано движение катодного пятна в поперечном магнитном поле в диапазоне токов разряда 80-160А, значений индукции внешнего магнитного поля 0-13,7 мТл. Установлено, что при значениях тангенциальной к поверхности катода составляющей внешнего магнитного поля 0-13 мТл скорость движения катодного пятна составляет 6-20 м/с соответственно. Выведена эмпирическая формула для скорости движения катодного пятна, позволяющая рассчитать скорость катодного пятна на титановом катоде, зная ток разряда и величину тангенциальной к поверхности катода составляющей индукции магнитного поля.

-1524. Исследованы физические и теплофизические процессы в катодной области .вакуумной дуги и их влияние на параметры капельной фазы в продуктах эрозии катода. Получены эмпирические зависимости состава капельной фазы в покрытиях от температуры катода, тока разряда, скорости движения катодного пятна. Установлено, что капельная фаза в покрытиях нитрида титана увеличивается по относительной площади, занимаемой каплями: в 2,3 раза при повышении температуры торца катода от 79 до 461 °С; в 5 раз при снижении скорости движения катодного пятна от 15 до 8 м/с.

5. Исследованы автографы катодного пятна вакуумной дуги на массивном катоде. Определены основные размеры и форма эрозионных кратеров. Установлена связь размеров капель в продуктах эрозии катода с размерами эрозионных кратеров на катоде. Определены характерные времена жизни катодного пятна на массивном катоде, и характерные размеры эрозионных кратеров основного трека вакуумной дуги.

6. Полученные автором результаты исследований легли в основу разработки промышленного вакуумно-дугового испарителя с управляемой траекторией движения катодного пятна и пониженным содержанием капельной фазы в продуктах эрозии катода. Испаритель прошел испытание в промышленном цеху по нанесению покрытий ОАО НПО «ЦНИИТМАШ» и был внедрен в производство в качестве основного узла серии промышленных вакуумно-дуговых установок №поАЯСша51ег, предназначенных для нанесения широкого спектра защитных и триботехнических покрытий па режущий инструмент и детали машин. Испытания показали, что при использовании этого испарителя капельная фаза в покрытиях нитрида титана снижается в 5 раз по сравнению с обычным дуговым испарителем с торцевым цилиндрическим катодом.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Щуренкова, Светлана Александровна, 2012 год

1. Верещака А. С., Третьяков И. П. Режущие инструменты с износостойкими покрытиями. М.: Машиностроение, 1986. 192 с.

2. Верещака А. С. Работоспособность режущего инструмента с износостойкими покрытиями. М.: Машиностроение, 1993. 336 с.

3. Дороднов А. М. Некоторые применения плазменных ускорителей в технологии // Физика и применение плазменных ускорителей: Сб. статей. М: Наука и техника, 1974. С. 330-365.

4. Вакуумные сильноточные плазменные устройства и их применение в технологическом оборудовании микроэлектроники / И. Г. Блинов и др.. М.: Электроника, 1974. 159 с.

5. Вакуумно-дуговые устройства и покрытия / А. А. Андреев и др.. Харьков: ННЦ ХФТИ, 2005. 236 с.

6. Сайт фирмы IONBOND: электронный ресурс. URL: http://www.ionbond.com (дата обращения 11.01.2011).

7. Сайт фирмы PLATIT: электронный ресурс. URL: http://www.platit.com (дата обращения 11.01.2011).

8. Сайт фирмы HAUZER: электронный ресурс. URL: http://www.hauzer.nl (дата обращения 11.01.2011).

9. Сайт фирмы OERL1KON BALZERS: электронный ресурс. URL: http://www.oerlikon.com/balzers (дата обращения 11.01.2011).

10. Сайт фирмы Технополис: электронный ресурс. URL:: http://www.technopolice.ru (дата обращения 11.01.2011).

11. Kutznert J., Miller Н. С. Integrated ion flux emitted from the cathode spot region of a diffuse vacuum arc // J. Appl. Phys. 1992. V. 25. P. 686-693.

12. Ion velocities in vacuum arc plasmas / G.Y. Yushkov at al. // J. Appl. Phys. 2000. V. 88, № 10. P. 5618-5622.

13. Плютто А. А., Рыжков В. H., Капин А. Т. Высокоскоростные потоки плазмы вакуумных дуг // ЖЭТФ. 1964. Т. 47. № 2. С. 494-507.

14. Kimblin С. W. Erosion and ionization in the cathode spot regions of vacuum arcs//J. Appl. Phys. 1973. V. 44, № 7. P. 3074-3081.

15. Daalder J. E. Components of cathode erosion in vacuum arcs // J. Phys. D: Appl. Phys. 1976. V. 9, № 11. P. 2379-2395.

16. Daalder J. E. Erosion and the origin of charged and neutral species in vacuum arcs//J. Phys. D: Appl. Phys. 1975. V. 8, № 14. P. 1647-1659.

17. Recent advances of superhard nanocomposite coatings: a review / S. Zhang at al. // Surface and Coatings Technology. 2003 V. 167. P. 113-119.

18. Панфилов Ю. В. Нанотехнология в инженерии поверхности // Инженерный журнал. 2007. № 8. С. 14-24.

19. Patscheider J. Nanocomposite Hard Coatings for Wear Protection. // MRS Bull. 2003. V. 28, №3. P. 180-183.

20. The issue of the reproducibility of deposition of superhard nanocomposites with hardness of 50 GPa / S. Veprek at al. // Surface and Coatings Technology. 2006. V. 200. P. 3876-3885.

21. Саксаганский Г. J1. Электрофизические вакуумные насосы. М: Энергоатомиздат, 1988. 280 с.

22. Хороших В. М. Капельная фаза эрозии катода стационарной вакуумной дуги // Физическая инженерия поверхности. 2004. Т. 2, № 4. С. 200-213.

23. Аксенов А. И. Вакуумная дуга в эрозионных источниках плазмы. Харьков: ННЦ ХФТИ, 2005. 212 с.

24. Аксёнов И. И., Падалка В. Г., Хороших В. М. Формирование потоков металлической плазмы: Обзор. М., ЦНИИ Атоминформ, 1984. 84 с.

25. Исследование капельной фазы эрозии катода стационарной вакуумной дуги/И. И. Аксенов и др.//ЖТФ. 1984. Т. 54, № 8. С. 1530-1533.

26. Вакуумно-дуговые устройства и покрытия / А. А. Андреев и др.. Харьков: ННЦ ХФТИ, 2005. 236 с.

27. Объемная доля и дисперсный состав капельной фазы в покрытиях полученных вакуумно-дуговым методом на установке Platit к 80

28. В. В. Береговский и др. // Защитные и упрочняющие покрытия. 2009. № 1. С. 3-5.

29. Сравнительный анализ капельной фазы в покрытиях, полученных методом вакуумно-дугового осаждения на установках типа ННВ и Platit л80 / В. В. Береговский и др. // Вестник МГТУ им. Г. И. Носова. 2008. №4. С. 29-32.

30. Anders S., Anders A., Brown I. Focused injection of vacuum arc plasmas into curved magnetic filters // J. Appl. Phys. 1994. V. 75, № 10. P. 4895-4899.

31. Anders S., Anders A., Brown I. Macroparticle-free thin films produced by an efficient vacuum arc deposition technique // J. Appl. Phys. 1993. V. 74, № 6. P. 4239-4241.

32. Takikawa H., Tanoue II. Review of cathodic crc deposition for preparing droplet-free thin films // IEEE Trans, plasma Sei. 2007. V. 35, № 4. P. 992999.-15634. Кесаев И. Г. Катодные процессы электрической дуги. М.: Наука, 1968. 244 с.

33. Вакуумные дуги: Пер. с англ. / Под ред. Дж. Лафферти. М.: Мир, 1982. 432 с.

34. Раховский В. И. Физические основы коммутации электрического тока в вакууме. М.: Наука, 1970. 321 с.

35. ХаррисЛ. Катодные процессы // Вакуумные дуги. М.: Мир, 1982.1. С.153-209.

36. Daalder J. Е. Components of cathode erosion in vacuum arcs // J. Phys. D.: Appl. Phys. 1976. V. 9. P. 2379-2395.

37. Аксенов И. И., Тимошенко А. И., Хороших В. М. Потоки частиц и массоперенос в вакуумной дуге: Обзор. М.: ЦНИИ Атоминформ, 1984. 72 с.

38. Плютто А. А., Рыжков В. Н., Капин А. Т. Высокоскоростные потоки плазмы вакуумных дуг // ЖТФ. 1964. Т. 47, № 2. С. 494-507.

39. Кимблин С. В. Ионные токи и электронные явления в вакуумной дуге // ТИИЭР. 1971. Т. 59, № 4. С. 121-130.

40. Мс. Clure G. Plasma expansion as a course of metal displacement in vacuum arc spots //J. Appl. Phys. 1974. V. 45, N 5. P. 2078-2084.

41. Королев В. Д., Месяц Г. А. Автоэмиссионный и взрывные процессы в газовом разряде. М.: Наука, 1982. 355 с.

42. Hantzshe Е. A new model of crater formation by arc spots // Beitrage Plasmaphysik. 1977. V. 17, № 1. P. 65-74.

43. Juttner B. Erosion craters and arc cathode spots in vacuum // Beitrage Plasmaphyaik. 1979. V. 19, № 1. P. 29-48.

44. Месяц Г. А. Эктоны в электрических разрядах // Письма в ЖЭТФ. 1993. Т. 57, № 2. С. 88-90.

45. Boxman R. L., Sanders D. М., Martin P. J. Handbook of Vacuum Arc Science and Technology. Park Ridge, NJ: Noyes, 1995. 742 p.

46. Грановский В. JI. Электрический ток в газе. Установившийся ток. М.: Наука, 1971. 543 с.

47. Райзер Ю. Г1. Физика газового разряда: Учебное руководство. М.: Наука, 1987. 592 с.

48. Месяц Г. А. Эктоны в вакуумном разряде: пробой, искра, дуга. М.: Наука, 2000. 424 с.

49. Emtage P. R., Kimblin С. W., Gorman J. G. Interaction between vacuum arcs and transverse magnetic fields with application to current limitation // IEEE Trans, on Power Appl. and Systems. 1980. V. 8. № 4. P. 314-319.

50. Марахтанов M. К., Марахтанов A. M. Эффект термоэлектронного вентиля и ритм катодного кратера в низковольтной вакуумной дуге с холодным катодом // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. № 14. С. 67-72.

51. Ильичев Л. J1., Насыров Ш. Г., Клевцов Г. В. Сопротивление коррозии ионно-плазменпых покрытий в сероводородсодержащих средах

52. Фундаментальные исследования. 2006. № 8. С. 65-66.

53. Технология конструкционных материалов / А. М. Дальский и др.. М.: Машиностроение, 1977. 664 с

54. Грановский Г. И., Грановский В. Г. Резание металлов. М.: Высшая школа, 1985. 304 с.

55. Подураев В. Н. Резание труднообрабатываемых материалов. М.: Высшая школа, 1974.

56. Лашнев С. И., Юликов М. И. Проектирование режущей части инструмента с применением ЭВМ. М.: Машиностроение, 1980. 208 с.

57. Металлорежущие инструменты: учебник для вузов / Г. Н. Сахаров и др.. М.: Машиностроение, 1989. 328 с.

58. Daalder I. Е. Diameter and current density of single and multiple cathode discharges in a vacuum // IEEE Trans, on Power Appl. and Systems. 1974. V. 93, №6. P. 1747-1758.

59. Electrical Stability and Life of the Heated Field Emission Cathode / W. P. Dyke at al. // J. Appl. Phys. 1960. V. 31, № 5. P. 790-806.

60. Сайт фирмы MeanWell: электронный ресурс. URL: http://www.meanwell.com (дата обращения 11.01.2011).

61. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ: В 2-х книгах. Книга 1. / Д. Гоулдстейн и др.. М.: Мир, 1984. 303 с.

62. Сайт фирмы NTMDT: электронный ресурс. URL: http://ntmdt.ru (дата обращения 11.01.2011).

63. Сайт НОЦ «Нанотехнологии» МЭИ: электронный ресурс. URL: http://nano.mpei.ac.ru (дата обращения 11.01.2011).

64. Сайт фирмы CSM Instruments: электронный ресурс. URL: http://www.csm-instruments.com (дата обращения 11.01.2011).

65. Сайт фирмы «Видеоскан»: электронный ресурс. URL: http://videoscan.ru (дата обращения 11.01.2011).

66. Управление движением катодного пятна в линейных вакуумно-дуговых испарителях / Д. В. Духопельников и др. // Упрочняющие технологии и покрытия. М., 2005. № 11. С. 45-49.

67. Структура и особенности движения катодного пятна вакуумной дуги па протяжённом титановом катоде / Д. В. Духопельников и др.

68. Измерительная техника. М., 2005. № 10. С. 42-44.

69. Кссаев И. Г., Пашкова В. В. Электромагнитная фиксация катодного пятна//ЖТФ. 1959. Т. 29, № 3. С. 287-298.

70. Sethuraman S. К., Barrault М. R. Study of the Motion of Vacuum Arcs in High Magnetic Field//Journal of Nuclear Materials, 1980. V. 93. P. 791-798.

71. Sethuraman S. К., Chatterton P. A., Barrault M. R. A study of the erosion rate of vacuum arcs in a transverse magnetic field // Journal of Nuclear Materials, 1982. V. 111. P. 510-516.

72. Swift P. D., McKenzie D. R., Falconer I. S. Cathode spot phenomena in titanium vacuum arcs // J. Appl. Phys. Vol. 66, N 2, 1989. P. 39^18.

73. Juttner B. Cathode spots of electric arcs // J. Phys. D: Appl. Phys. 2001. V. 34. P. 103-123.

74. Сайт фирмы Femm: электронный ресурс. URL: http://www.femm.info (дата обращения 11.01.2011).

75. Juttner В. On the nature of arc cathode spots in vacuum and plasma // J. Appl. Phys, 1984. V. 26. N 1. P. 249-258.