Методы оптимизации рентгеновского линейчатого излучения лазерной плазмы тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.01, кандидат физико-математических наук Курнин, Игорь Васильевич

• Курнин, Игорь Васильевич
• кандидат физико-математических наук
• 2002

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Курнин, Игорь Васильевич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ЛАЗЕРНАЯ ПЛАЗМА КАК ИСТОЧНИК ИНТЕНСИВНОГО ИМПУЛЬСНОГО МЯГКОГО РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ.

1.1. Лазерная плазма как источник интенсивного импульсного мягкого рентгеновского излучения для микроскопии и литографии.

1.1.1. Лазерная рентгеновская микроскопия биологических объектов.

1.1.2. Лазерная рентгеновская литография.

1.2. Воздействие мощных ультракоротких лазерных импульсов на твердотельные мишени и рентгеновское излучение лазерной плазмы.

1.2.1. Ионизация вещества мишени.

1.2.2. Поглощение энергии лазерного импульса образующейся плазмой.

1.2.3. Излучение субпикосекундной лазерной плазмы.

1.2.4. Предпосылки для повышения интенсивности линейчатого излучения лазерной плазмы.

1.2.5. Численное моделирование взаимодействия с плазмой мощного лазерного импульса.

1.3. Усиление коротковолнового излучения на переходах многозарядных ионов в рекомбинирующей лазерной плазме.

ГЛАВА 2. ЧИСЛЕННАЯ МОДЕЛЬ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ С ПЛАЗМОЙ МОЩНОГО ЛАЗЕРНОГО ИМПУЛЬСА.

2.1. Модельные представления.

2.2. Динамика лазерной плазмы.

2.3. Поглощение энергии лазерного излучения в плазме.

2.4. Расчет зарядового состава плазмы.

2.5. Излучение лазерной плазмы в непрерывном спектре.

2.6. Линейчатое излучение лазерной плазмы.

2.7. Общая методика расчета.

2.8. Результаты тестовых расчетов.

2.9. Выводы.

ГЛАВА 3. ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ СУБПИКОСЕКУНДНОГО ЛАЗЕРНОГО ИМПУЛЬСА С ТОНКОЙ МИШЕНЬЮ И ОПТИМИЗАЦИЯ ИНТЕНСИВНОСТИ

ЛИНЕЙЧАТОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ.

3.1. Поглощение субпикосекундного лазерного импульса.

3.2. Зависимость рентгеновского излучения плазмы от угла падения лазерного импульса.

3.3. Зависимость рентгеновского излучения плазмы от интенсивности лазерного импульса.

3.4. Зависимость линейчатого излучения плазмы от толщины мишени.

3.4.1. Взаимодействие с толстой мишенью.

3.4.2. Взаимодействие с тонкой мишенью.

3.4.3. Аналитическая модель и анализ оптимальных условий излучения Ьу-а линии.

3.4.4. Длительность излучения в линию.

3.4.5. Сравнение экспериментальных результатов зависимости излучения от толщины мкшгпк с результатами аналитической модели.

3.5. Влияние параметров лазерного импульса на рентгеновское излучение плазмы.

3.6. Выводы.

ГЛАВА 4. ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ЛАЗЕРНЫХ ИМПУЛЬСОВ ПИКОСЕКУНДНОЙ ДЛИТЕЛЬНОСТИ С ПЛАЗМОЙ И ОПТИМИЗАЦИЯ ЛИНЕЙЧАТОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ, ОБРАЗОВАННОЙ ПАРОЙ ИМПУЛЬСОВ

4.1. Одиночный пикосекундный импульс.

4.1.1. Зависимость коэффициента поглощения от энергии одиночного лазерного импульса.

4.1.2. Излучение лазерной плазмы в непрерывном спектре.

4.2. Цуг пикосекундных лазерных импульсов.

4.2.1. Зависимость коэффициента поглощения от полной энергии цуга лазерных импульсов.

4.2.2. Излучение лазерной плазмы в непрерывном спектре.

4.2.3. Расчет излучения лазерной плазмы образованной парой лазерных импульсов.

4.3. Аналитическая модель взаимодействия с плазмой пары лазерных импульсов и оптимизации линейчатого высвета.

4.3.1. Описание модели.

4.3.2. Результаты расчетов по аналитической модели и оптимизация линейчатого излучения.

4.4. Выводы.

ГЛАВА 5. МОДЕЛИРОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ АКТИВНОЙ СРЕДЫ

РЕКОМБИНАЦИОННОГО РЕНТГЕНОВСКОГО ЛАЗЕРА.

5.1. Моделируемые экспериментальные условия.

5.2. Численное моделирование и сравнение теоретических результатов с экспериментальными.

5.3. Численное моделирование активной лазерной среды.

5.4. Аналитическая модель.

5.4.1. Аналитическая модель и сравнение с результатами эксперимента и численного моделирования.

5.4.2. Анализ условий достижения максимальных коэффициентов усиления.

5.5. Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Методы оптимизации рентгеновского линейчатого излучения лазерной плазмы»

Актуальность работы. Лазерная плазма является источником интенсивного излучения в диапазоне коротких волн и мягкого рентгеновского излучения. Малые размеры плазменного источника определяют значительное преимущество перед другими источниками, например синхротронным, который обычно применяется для исследований в областях рентгеновской микроскопии, литографии, радиометрии и материаловедении.

В настоящее время большое значение приобретает микроскопия биологических объектов в рентгеновском диапазоне длин волн. Это связано с тем, что поглощательные свойства углерода и кислорода, входящих в состав сложных молекул, различаются на порядок величины в диапазоне так называемого «водяного окна» (2.3-4.4 нм). Использование интенсивного плазменного источника излучения позволит с высоким разрешением изучать структуру молекул. Типичный для данного диапазона спектр излучения лазерной плазмы состоит из рекомбинационного континуума, на который накладывается дискретный линейчатый спектр от электронных переходов в ионах с разной кратностью ионизации. Преобразование лазерной энергии в энергию рентгеновского излучения зависит от интенсивности, длительности и формы лазерного импульса, его длины волны, а также от состава облучаемого материала. При этом желательно, чтобы изображение биологического объекта было получено за один высвет и с хорошим разрешением, что соответственно, накладывает условия на параметры лазерного импульса и динамику взаимодействия.

Динамика взаимодействия является определяющей применительно к рентгеновской литографии. В этом случае, вследствие узкополосного отражения фокусирующей оптики, лазерный плазменный источник должен излучать преимущественно в линии соответствующие заданному частотному диапазону, а в целях минимизации разрушения оптических элементов летящими фрагментами мишени, мишень, например, должна иметь «ограниченную массу». Численное моделирование условий взаимодействия лазерный импульс-плазма позволяет найти оптимальное решение данных проблем. Кроме того, оптимизация условий получения максимальной интенсивности рентгеновского излучения позволит использовать для тех же задач лазерные установки меньшей мощности.

Лазерная плазма может также быть не просто источником излучения, но и активной лазерной средой. Создание активной среды для генерации стимулированного излучения в диапазоне спектра от вакуумной ультрафиолетовой области до мягкого рентгеновского излучения возможно при разлете плотной высокотемпературной лазерной плазмы водородоподобных ионов.

Цель работы. Исследование методов оптимизации условий формирования интенсивных импульсов мягкого рентгеновского излучения лазерной плазмы на основе численного моделирования взаимодействия мощного лазерного излучения с плазмой включало следующие задачи:

1. Исследование зависимости интенсивности рентгеновского излучения лазерной плазмы от параметров лазерных импульсов и материала мишени, а также исследования методов повышения интенсивности рентгеновского линейчатого излучения лазерной плазмы в заданный частотный диапазон.

2. Разработка аналитической модели и формулировка, на ее основе, основных закономерностей оптимизации линейчатого излучения лазерной плазмы.

3. Моделирование рекомбинирующей лазерной плазмы в качестве возможной активной среды для коротковолнового лазера, как одного из способов получения интенсивного линейчатого излучения.

Научная новизна. Новыми результатами, полученными на основе численного моделирования и расчетов по аналитической модели, являются следующие:

1. Дано объяснение различия зависимости коэффициента поглощения от лазерной энергии для одиночного лазерного импульса и цуга импульсов е- и р- поляризаций, обусловленного, вследствие разлета плазмы за время между импульсами, поляризационной трансформацией.

2. На основе численного эксперимента показана возможность оптимизации линейчатого высвета лазерной плазмы посредством варьирования толщины мишени; дан анализ зависимости интенсивности линейчатого высвета от степени согласования взаимодействия лазерный импульс-толщина мишени.

3. На основе численных расчетов показана возможность оптимизации линейчатого высвета при взаимодействии с ыкшсиыс пары импульсов (лазерный импупы, сложной временной формы) и проведен анализ влияния параметров лазерных импульсов и времени задержки между ними на уровень линейчатого излучения лазерной плазмы.

4. Проведено численное моделирование возможности формирования протяженной активной среды на переходе 4-3 Н-подобного иона лития в рекомбинирующей плазме, образованной субнаносекундным лазерным импульсом.

Практическая значимость работы Созданная программа численного расчета дает возможность промоделировать особенности взаимодействия мишень-импульс для конкретных условий облучения мишени и соответственно определить гидродинамические параметры плазмы, зарядовый состав и ее излучение в рассматриваемый частотный диапазон, в частности в диапазон «водяного окна». Программа необходима при разработке приборов для лазерной рентгеновской микроскопии, литографии и лазерной спектроскопии. Применение методов оптимизации условий взаимодействия для получения максимального линейчатого излучения лазерной плазмы позволит использовать лазерные установки значительно меньшей мощности, что существенно снижает энергопотребление, массо-габариты и стоимость элементной базы. Основные положения, выносимые на защиту:

1. Адекватность созданной программы численного моделирования взаимодействия с плазмой мощных лазерных импульсов моделируемым экспериментальным условиям.

2. Аналитическая модель взаимодействия лазерного импульса с мишенью и излучения образующейся плазмы.

3. Формулировка условий согласования взаимодействия лазерного импульса с мишенью в зависимости от ее толщины, как основы метода повышения интенсивности линейчатого излучения лазерной плазмы.

4. Формулировка условий согласования взаимодействия пары лазерных импульсов с мишенью в зависимости от параметров импульсов и времени задержки между ними, как основы метода повышения интенсивности линейчатого излучения лазерной плазмы.

5. Анализ, с помощью аналитической модели, возможности получения инверсной населенности на переходах Н-подобного иона при заданных параметрах падающего лазерного импульса.

Апробация результатов работы Основные результаты работы были представлены: - на Международной конференции «Оптика лазеров» (С-Петербург, Россия, 1993), SPIE International Symposium on Optics, Imaging and Instrumentation (San Diego, USA 1993), The IAEA Technical Committee Meeting on Drivers for Inertial Confinement Fusion (Paris, France 199 A) Tcrjica! rui wirrh Fi<»M Tntm-artimi« япЛ Short- Waveleneth Generation fSt

Malo, France, 1994), 8 Международной конференции «Оптика лазеров» (С-Петербург, Россия, 1995), 12 International Conference on Laser Interaction and Related Plasma Phenomena (Osaka, Japan, 1995), 24 European Conference on Laser Interaction with Matter (Madrid, Spain, 1996), 6 International Workshop on Laser Physics (Prague,Czech Republic, 1997), а также на научных семинарах ГОИ и ИАнП РАН.

Публикации Основное содержание работы раскрыто в публикациях:

1. A.A.Andreev, I.V.Kurnin, V.V.Akulinichev, М. Mavrichev, E.G.Pivinsky. Investigation of laser produced plasmas charge states. Proceeding of SPIE, 1993, v.2097, p.409-413.

2. В.В.Акулиничев, A.A.Андреев, И.В.Курнин, A.B.Логинов. Исследование лазерной плазмы как среды для коротковолнового лазера. Оптика лазеров'93, С-Петербург, 1993, Тезисы докладов (ч.П), с 665.

3. AAAndreev, A.B.Vankov, A.A.Kozlov, I.V.Kurnin, S.A.Chizov,Y.E.Yashin. Superstrong Laser Fields Generation and Their Interaction with Dense Plasma. Proceedings of the IAEA Technical Committee Meeting on Drivers for Inertial Confinement Fusion. Paris, France, 1994, p.371-373.

4. A. AAndreev, I.V.Kurnin. X-ray Emission at High-Power Super-Short Laser Pulse Interaction with Dense Plasmas. Summaries of Papers. Topical Meeting, High Field Interactions and

Short Wavelength Generation, St.Malo, France, 1994, p.43.

5. AAAndreev, A.B.Vankov, A.A.Kozlov, I.V.Kurnin, S.AChizov,V.E.Yashin. Super Strong Laser Fields Generation and their Interaction with Solid Target in Vacuum. Abstracts of 12th International Conference LIRPP, Osaka, Japan, 1995, p. 167.

6. AA.Andreev, V.I.Bayanov, A.B.Vankov, A.A.Kozlov, V.M.Komarov, I.V.Kurnin, N.A.Solov'ov, S. A. Chizov,V.E.Yashin. Absorption of ultrashort laser pulses, and x-ray and fast-particle generation in a hot dense plasma. Proceeding of SPIE, 1996, v.2770, p. 82-97.

7. AAAndreev, I.V.Kurnin. Numerical simulation of subpicosecond laser plasma X-ray emission. J.Opt.Soc.Am. B, 13, p. 405-409, 1996.

8. A. AAndreev, I. V. Kurnin, J. Limpouch. Resonance absorption and fast particle generation in short-pulse laser-target interactions. 24 л ECLIM, Madrid, Spain, June 3-7 1996, Book of Abstracts, PM37.

9. А.А.Андреев,В.И.Баянов,АБ.Ваньков,А.А.Козлов,В.М.Комаров,ИБ.Курнин, Н.А.Соловьев, С.А.Чижов, В.Е.Яшин. Поглощение лазерного УКИ, генерация рентгеновского излучения и быстрых частиц горячей плотной плазмой. Квантовая электроника, 23, № 10, 1996.

10. А.А.Андреев, В.И.Баянов, АБ.Ваньков, А.А.Козлов, В.М.Комаров, ИБ.Курнин, Н.А.Соловьев, С. АЧижов, В.Е.Яшин. Рентгеновский высвет из плазмы, образованной цугом пикосекундных лазерных импульсов. Квантовая электроника, 24, № 1, 1997.

11. А. А.Андреев, В.Г.Бородин, В.М.Комаров, С.В.Красов, И.В.Курнин, В.А.Малинов, В.М.Мигель, Н.В.Никитин, А.В.Чарухчев, В.Н.Чернов. Моделирование инверсной населенности на переходах водородоподобных ионов FIX и Li 1П в рекомбинирующей лазерной плазме. Оптика и спектроскопия, 84, № 3, 1998.

12. A.AAndreev, U.Teubner, I.V. Kurnin, E. Forster. Prospects of "water-window"

X-ray emission from subpicosecond laser plasmas, Applied Physics B, v.70, pp 505-515, 2000.

13. И.В.Курнин, В.В.Акулиничев. Оптимизация излучения субпикосекундной лазерной плазмы в диапазон «водяного окна». Научное приборостроение, т. 11, № 4, с.46-51, 2001.

14. И.В.Курнин, В.В.Акулиничев. Способ оптимизации излучения линейчатого спектра лазерной плазмы. Оптический журнал, т. 69, № 6, с.3-5, 2002.

Содержание работы излагается в пяти главах.

В первой главе представлен обзор работ по взаимодействию коротких мощных лазерных импульсов с конденсированными мишенями, излучению лазерной плазмы в мягком рентгеновском диапазоне и теоретическому описанию данных явлений. Вторая глава посвящена описанию численной модели взаимодействия лазерного излучения с плазмой, реализованной в компьютерной программе. Приведены уравнения динамики лазерной плазмы, представляемой двухтемпературной жидкостью, уравнения описывающие электромагнитную волну в плазме, уравнения зарядовой и поуровневой кинетики, излучения плазмы; представлены методы решения и результаты тестовых расчетов. В третьей главе представлены результаты численного моделирования экспериментальных условий по взаимодействию субпикосекундного лазерного импульса с углеродной мишенью. Сравнение расчетных и экспериментальных результатов показало хорошее согласие. Приведенные результаты численного моделирования взаимодействия того же лазерного импульса с тонкими мишенями показывают, что интенсивность линейчатого излучения углеродной мишени (диапазон "водяного окна") максимальна при определенной толщине мишени. Проведенный, с помощью разработанной аналитической модели, анализ взаимодействия позволяет определить параметры лазерного импульса, толщину и материал мишени, при которых интенсивность излучения в рассматриваемую линию будет максимальной. Выведена формула, связывающая оптимальную толщину мишени и характеристики лазерного излучения.

В четвертой главе рассматривается взаимодействие с твердотельной мишенью цуга лазерных импульсов. Проведено сравнение результатов численного расчета с результатами эксперимента. Показаны особенности, в данных условиях, поглощения лазерного излучения различных поляризаций. Дня условий близких к экспериментальным представлена расчетная зависимость интенсивности излучения Не-а линии Al от времени задержки между парой лазерных импульсов, которая имеет максимум. Построена аналитическая модель и выведена формула позволяющая связать параметры лазерных импульсов и времени задержки между ними, отвечающих максимальной интенсивности излучения Ly-a линии. В пятой главе представлены результаты численного моделирования условий создания инверсной населенности на переходах Н-подобных ионов. Сравнение экспериментальных и теоретических результатов (пространственные профили интенсивностей на переходах лаймановской серии и профили факторов инверсии) показало хорошее согласие. Представлены результаты численного моделирования формирования активной лазерной

10 среды на основе рекомбинирующей лазерной плазмы. Построена аналитическая модель, позволяющая проанализировать возможность получения на рассматриваемом переходе инверсной населенности при данных параметрах лазерного импульса.

Диссертационную работу завершает раздел "Основные результаты и выводы".

Формулы и рисунки пронумерованы по главам. Нумерация цитируемой литературы - едина для всей диссертационной работы. и

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы экспериментальной физики», Курнин, Игорь Васильевич

Основные результаты и выводы

1. Проведено сравнение экспериментальных данных с результатами полученными с помощью созданной программы численного моделирования для случаев: a) взаимодействия еубпикосекундного лазерного импульса с углеродной мишенью. b) взаимодействия одиночного лазерного импульса и цуга импульсов пикосекундной длительности с алюминиевой мишенью в вакууме и дано объяснение экспериментально наблюдаемых отличий в зависимости коэффициента поглощения от лазерной энергии в случае одиночного и цуга импульсов и разных поляризаций. c) получения инверсной населенности на переходах Н-подобного иона FIX в рекомбинирующей лазерной плазме.

Получено хорошее согласие результатов экспериментов и численных расчетов.

2. Показано, на примере облучения тонкой углеродной мишени коротким лазерным импульсом (длина прогрева превосходит толщину мишени), что максимальной интенсивности излучения Ly-a линии, попадающей в диапазон "водяного окна", отвечает определенная толщина мишени.

3. Предложена аналитическая модель взаимодействия лазерного импульса с тонкой мишенью. Результаты расчета по аналитической модели согласуются с результатами численного моделирования и экспериментальными данными. Выведена формула, связывающая параметры лазерного импульса и толщину мишени, соответствующие максимальной интенсивности Ly-a линии.

4. Проведено численное моделирование воздействия пары лазерных импульсов пикосекундной длительности на твердотельную мишень в вакууме. Показано, что в зависимости от времени задержки между импульсами интенсивность излучения Не-а линии имеет максимум.

5. Построена аналитическая модель взаимодействия пары лазерных импульсов с твердотельной мишенью. Показано, что при определенном времени задержки между импульсами, интенсивность излучения линии, в частности Ly-a линии, оказывается максимальной. Выведена формула, связывающая параметры лазерных импульсов и время задержки, отвечающие максимальной интенсивности излучения Ly-a линии.

6. Показано, что оптимизация взаимодействия системы мишень-лазерный импульс дает следующие преимущества: a) интенсивность излучения определенной линии будет максимальной, b) мощность лазерной установки может быть существенно уменьшена при при неизменной интенсивности излучения линии, c) при максимальной интенсивности линейчатого излучения толщина мишени оказывается меньше длины прогрева толстой мишени-«мишень ограниченной массы» - и поэтому вероятность разрушения оптических элементов системы фрагментами мишени, появляющимися на поздней стадии взаимодействия, значительно уменьшается.

Такая оптимизация необходима при разработке систем лазерной рентгеновской микроскопии и литографии.

7. Проведено численное моделирование формирования протяженной активной среды на переходе Н-подобного иона лития. Определены размеры плазменной области,

144 образованной несколькими плазменными факелами и рассчитан полный коэффициент усиления. Предложена аналитическая модель, которая позволяет проанализировать возможность получения максимальных коэффициентов усиления при заданных параметрах лазерного импульса и материала мишени.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Курнин, Игорь Васильевич, 2002 год

1. Solem J.C. Imaging biological specimens with high-intensity soft x-rays. J.Opt.Soc.Am. B, 1986, v.3, p. 1551-1562.

2. Stead A.D., Cotton R. A., Page A M., Goode J. A, Steele C.G., Duckett J.G., Ford T.W. The use of laser-plasma produced soft X-rays to study the ultrastructure of living biological material. Proc. SPIE, 1993, v.2015, p.2-9.

3. Ford T.W., Stead A.D., Hills C.P.B., Rosser R.J., Rizvi R.J. Improved resolution of soft x-ray contact images using laser-produced plasmas. J.X-ray Sci. Tech.,1989, v.l, 207-210.

4. London R.A. et al. Wavelength choice for x-ray laser holography of biological samples. Appl.Optics, 1989, v.28, 3397-3404.

5. Neff W., Rothweiler D., Eidmann K., Lebert R., Richter F., Winhart G. Laser and pinch plasma x-ray sources for microscopy and lithoraphy. Proc.SPIE, 1993, v.2015,32-44.

6. Cotton R.A., Fletcher J.H.,.Webb C.E, Stead A.D., Ford T.W. A comparison of laser generated plasma x-ray sources for contact microscopy. Proc.SPIE, 1993, v.2015, p.86.

7. BurgeRE.,Brown M.T.,Charalambous P.,Slark G.,Smith P. Development and first application of an imaging microscope using the Vulcan x-ray laser. Proc.SPIE, 1993, v. 1741, p. 170-177.

8. Zeng G., Daido H., Nakayama S., Murai K., Nishikawa T., Kiyokawa S., Takabe H., Aritome H., Nakatsuka M., Kato Y., Nakai S. Plasma x-ray source of various materials produced by compact solid state lasers. Proc. SPEE, 1993, v. 2015, p.45.

9. Kondo H., Tomie T. J.Appl.Phys.,1994, v. 75, N 8.

10. Shinohara K., Ito A., Kinjo Y. X-ray microscopy of biological specimens with laser plasma X-rays. Proc. SPIE, 1993, v.2015, p. 10-19.

11. Chaker M., Pepin H., Bareau V., Lafontaine B., Toubhaus I., Fabbro R., Faral B. Laser plasma sources for microlithography. J.Appl. Phys.,1988, 63, p.892-899.

12. Басов Н.Г., Быковский Ю.А., Виноградов А.В., Галичий А.А., Калашников М.П., Канцырев В.Л., Мазур М.Ю., Михайлов Ю.А., Пузырев В.П., Склизков Г.В., Фрондзей И Я. Квантовая электроника, 1982, т. 9, с. 1525.

13. Kaufmann R.L., Phillion D.W., Spitzer R.C. X-ray production ~ 13 nm from laser-produced plasmas for projection x-ray lithography applications. Appl.Optics, 1993, v.32, p.6897.

14. Tichenor D.A., Kubiak G.D., Malinovski M.E., Stulen R.H., Haney S.J. et al. Application of laser plasma sources in soft-x-ray projection lithography. Proc.SPIE,1993, v.2015, p. 104.

15. Ceijan C. X-ray plasma source design simulations. Appl.Optics, 1993, v.32, p.6911.

16. Richardson M., Silfast W.T., Bender H.A., Hanzo A., Yanovsky VP, Jin F., Thorpe J. Characterization and control of laser plasma flux parameters for soft-x-ray projection lithography. Appl.Optics, 1993, v.32, p.6901.

17. Jin F., Gabel K., Richardson M., Kado M., Vasil'ev A.F., Salzmann D. Mass limited laser plasma cryogenic target for 13 nm point x-ray sources for lithography. Proc. SPIE, 1993, v. 2015, p.151.

18. Ng A., Celliers P., Foreman A., More R.M., Lee Y.T., Perrot F., Dharma-wardana M.W.C., Rinker G. A. Reflectivity of intense femtosecond laser pulses from a simple metal. Phys. Rev. Letts, 1994, v.72, p.3351.

19. Gibbon P., Bell A.R. Collisionless absorption in sharp-edged plasmas. Phys. Rev. Letts, 1992, v.68, p. 1535.

20. Kieffer J.C., Audebert P., Chaker M., Matte J.P., Pepin H., Johnston T.M., Maine P., Meyerhofer D., Deletterez J., Strikland D., Bado P., Mourou G. Phys. Rev. Letts, 1989,v.62, p.760.

21. Kieffer J.C., Matte J.P., Belair S., Chaker M., Audebert P., Pepin H., Maine P., Meyerhofer D.,

22. Strikland D., Bado P, Mourou G. IEEE J. Quantum Electron. 1989, Q-25, p.2640.

23. Rozmus W., Tikhonchuk V.T. Skin effect and interaction of short laser pulses with denseplasmas. Phys. Rev. A, 1990,v.42, p.7401.

24. Лютер-ДэвисБ., ГамалийЕ.Г., ВангЯ.,Роде A.B., ТихончукВ.Т. Вещество в сверхсильном лазерном поле. Квантовая электроника, 1992,т. 19, №4.

25. Гинзбург В. J1. Распространение электромагнитных волн в плазме.-М.Наука, 1967.

26. Brunei F. Not-so-resonant, resonant absorption. Phys. Rev. Letts, 1987, v.59, p.52.

27. Manes K.R., Rupert Y.C., Auerbach J.M, Lee P., Swain J.E. Phys. Rev. Letts, 1977, v.39,p.281.

28. Fedosejevs R, Ottmann R, Sigel R, Kuhnle G., Szatmari S., Schafer F.P. Absorption offemtosecond laser pulses in high-density plasma. Phys. Rev. Letts, 1990, v.64, p. 1250.

29. Landen O.L., Stearns D.G., Campbell E.M. Measurement of the expansion of picosecond laser-produced plasmas using resonance absorption profile spectroscopy. Phys. Rev. Letts, 1989,v.63, p. 1475.

30. Stearns D.G., Landen OL, Campbell E.M., Scofield J.H. Phys. Rev. A, 1988, v.37, p. 1684.

31. Nam C.H., Tighe W., Suckewer S., Seely J.F., Feldman U., Woltz L.A. Phys. Rev.1.tts., 1987,v.59,p.2427.

32. Chaker M., Kieffer J.C., Matte J.P, Pepin H., Audebert P., Maine P., Strickland D., Bado P., Mourou G. Phys. Fluids B, 1991, v.3, p. 167.

33. Milchberg H. M., Freeman R. R. J. Opt. Soc. Amer. B,1990, v.6, p. 1351.

34. Fedosejevs R, Ottmann R, Sigel R, Kuhnle G., Szatmari S., Schafer F. P. Appl. Phys.1. B,1990, v. 50, p. 79.

35. Milchberg HM, Freeman R.R. Phys.Fluids B,1990,v.2, p. 1395.

36. Rae S.C., Burnett K., Reflectivity of steep-gradient plasmas in intense subpicosecond laser pulses. Phys.Rev. A, 1991,v.44, p.3835.

37. Teubner U., Bergmann J., B. van Wonterghem, Schafer F.P., Sauerbrey R. Phys.Rev. Lett, 1993,v.70, p.794.

38. Sauerbrey R, Fure J., Le Blanc S.P., B. van Wonterghem, Teubner U., Schafer F.P. Reflectivity of laser-produced plasmas generated by a high intensity ultrashort pulse. Phys. Plasmas, 1994,v.l, p. 1635.

39. Teubner U., Gibbon P., Forster E., Fallies F., Audebert P., Geindre J.P., Gauthier J.C. Subpicosecond KrF*-laser plasma interaction at intensities between 10u-1017 W/cm2. Phys. Plasmas, 1996,v.3, p.2679.

40. Семахин A.H., Андреев А.А., Акулиничев B.B. К вопросу об эффективности рентгеновского излучения лазерной плазмы, создаваемой сверхмощными импульсами. Научное приборостроение, 1993, т.З, с.35.

41. Broughton J.N., Fedosejevs R. KeV x-ray production using 50 mJ KrF laser produced plasmas at 1 and lOOps. J.Appl.Phys., 1993,v.74, p.3712

42. Kieffer J.C., ChakerM. J. X-ray Sci. Tech., 1994,v.4, p.312.

43. Workman J., Maksimchuk A., Liu X., Ellenberger U., Сое J.S., Chien C-Y, Umstadter D. Phys.Rev. Lett, 1995,v.75, p.2324.

44. Teubner U., Kuhnle G., Schafer F.P. Appl.Phys. B, 1992,v.54, p.493.

45. Teubner U., Wulker C., Theobald W., Forster E. Phys. Plasmas, 1995,v.2, p.972.

46. Teubner U., Missala Т., Uschmann I., Forster E., Theobald W., Wulker C. Appl.Phys. В., 1996,v.62,p.213.

47. Harris S.E., Kmetec J.P. Mixed-species targets for femtosecond-time-scale x-ray generation. Phys.Rev. Lett, 1988,v.61, p.62.

48. Murnane M.M., Kapteyn H.C., Falcone R.W. High-density plasmas produced by ultrafast laser pulses. Phys.Rev. Lett, 1989,v.62, p. 155.

49. Umstadter D., Workman J., Maksimchuk A., Liu X., Ellenberger U., Сое J.S., Chien C-Y. Picosecond x-rays from subpicosecond-laser-produced hot-dense matter. J. Quant. Spectrosc. Radiat. Transfer, 1995,v. 54, p.401.

50. Teubner U., Theobald W., Wulker C. Mechanisms and origin of continuum and line emission from carbon plasmas produced by ultrashort laser pulses. J.Phys. B:At.Mol. OptPhys., 1996,v.29, p.4333.

51. Altenbernd D., Teubner U., Gibbon P., Forster E., Audebert P., Geindre J.P., Gauthier J.C., Grillon G., Antonetti A. Soft x-ray brilliance of femtosecond and picosecond laser-plasmas. J.Phys.B:At.Mol.Opt.Phys., 1997,v.30, p.3969.

52. Peyrusse O., Busquet M., Kieffer J.C., Jiang Z., Cote C.Y. Generation of hot solid-density plasmas by laser radiation pressure confinement. Phys. Rev. Letts, 1995,v.75, p.3862.

53. Glibert KM., Authes J.P., Gusinow M.A., Palmer M.A., Whitlock R.R., Nagel D.J. J.Appl.Phys., 1980,v.51, p. 1449.

54. Bleach R.D., Nagel D.J. J.Appl.Phys., 1980,v.49, p.3832.

55. Быковский Ю.А., Канцырев В.JI., Козырев Ю.П. Особенности эмиссии мягкого рентгеновского излучения из лазерной плазмы при умеренных значениях интенсивности лазерного излучения на мишени. Квантовая электроника, 1979,т.6, с.414.

56. Popil R., Gupta P.D., Fedosejevs R., OfFenberger A.A. Measurement of KrF-laser plasma x-ray radiation from targets with various atomic numbers. Phys.Rev. A, 1987,v.35, p.3874.

57. Mochizuki Т., Yabe Т., Okada K., Hamada M., Ikeda N., Kiyokawa S., Yamanaka C. Atomic-number dependence of soft-x-ray emission from various targets irradiated by a 0.53-|j.m-wavelength laser. Phys.Rev. A, 1986,v.33, p.525.

58. Zeng G.M., Daido H., Murai K., Kato Y., Nakatsuka M., Nakai S. Line x-ray emissions from highly ionized plasmas of various species irradiated by compact solid-state lasers. J.Appl.Phys., 1992,v.72, p.3355.

59. Wark J.S., Djaoui A., Rose S.J., He H., Renner O., Missalla Т., Foerster E. Effect of velocity gradients on X-ray line transfer in laser-produced plasmas. Phys.Rev. Lett, 1994,v.72, p. 1826.

60. Райзер Ю.П. Лазерная искра и распространение разрядов. М.:Наука,1974.

61. Tom H.W.K, Wood O.R. П. Study of soft-x-ray generation by laser-heating solid and gaseouse tantalum plasmas with subpicosecond pulses. Appl.Phys.Lett., 1989,v.54, p.517- 519.

62. Teubner U., Kuhnle G., Schafer F.P. Soft x-ray spectra produced by subpicosecond laserdouble-pulses Appl.Phys. Lett., 1991,v.59, p.2672-2674.

63. Kieffer J.C., Beaudoin Y., Chaker M. et al. Int. Colloquium on X-rays Lasers, Schliersee, Germany 1992, Inst. Phys. Conf. Ser. No 125: Section 4.

64. Nakano H., Nishikawa Т., Ahn H., Uesugi N. Effects of an ultrashort prepulse on soft X-ray generation from an aluminium plasma produced by femtosecond Ti:sapphire laser pulses. Appl. Phys.B, 1996,v.63, p. 107-111.

65. Nakano H., Nishikawa Т., Ahn H., Uesugi N. Temporal evolution of soft X-ray pulse emitted from aluminum plasma produced by a pair of Ti:sapphire laser pulses. Appl. Phys. Lett., 1996,v. 69, p.2992-2994.

66. Kato Т., Kato M., Shepherd R., Young В., More R., Osterheld A. Time-dependent H-like and He-likeAl lines produced by ultra-short pulse laser. J.Quant. Spectrosc. Radiat. Transfer, 1997,v.58, p. 661-675.

67. Dzhidzhoev M S., Gordienko V.M., Kolchin V.V., Magnitsky S.A., Platonenko V.T., Savel'ev A.B., Tarasevitch A.P. J. Opt. Soc. Am. B, 1996,v. 13, p.143.

68. Виноградов A.B., Шляпцев В.Н. Квантовая электроника, 1983, т.10, с.509.

69. Виноградов A.B., Шляпцев В.Н. Характеристики лазерно-плазменного рентгеновского источника. Квантовая электроника, 1987, т. 14, с.5-26.

70. Lee R., Nash J.K., Ralchenko Y. Review of the NLTE kinetics code workshop. J.Quant. Spectrosc. Radiat. Transfer, 1997,v.58, p.737-742.

71. Жуков B.B., Латуш Е.Л., Михалевский B.C., Сэм М.Ф. Квантовая электроника, 1977, т.4, с. 1249.

72. Жуков В.В., Кучеров B.C., Латуш Е.Л., Сэм М.Ф. Квантовая электроника, 1977,т.4,с. 1257.

73. Данилычев В.В., Зворыкин В.Д., Холин И.В.,Чугунов А.Ю. Квантовая электроника, 1982, т.9,с.92.

74. Алейников B.C., Шелепо А.П. Оптика и спектроскопия, 1974,т.36, с.813.

75. Боровский A.B., Держиев В И, Яковленко С.И. Препринт ФИАН, М.,1983, № 7.

76. Гудзенко Л И, Яковленко С.И. Плазменные лазеры. М.: Атомиздат, 1978.

77. Бойко В.А., Бункин Ф.В., Держиев В.И., Яковленко С И. Изв. АН СССР. Сер. физ.,1983, т.47, с. 1880.

78. Skinner С., DiCicco D., Kim D. et al. Contact microscopy with a soft X-ray laser. J. of Microscopy, 1990,v.l59, p.51-60.

79. Skinner С., Kim D., Voorhees D., Suckewer S. Development of small-scale soft X-ray lasers: Aspects of data interpretation. J.Opt.Soc.Am. B, 1990,v.7, p.2042-2047.

80. Lee T.N., McLean E.A., Elton R.C. Phys. Rev. Letts, 1987,v. 59, p. 185.

81. Chenais-Popovics C., Corbett R., Hooker C. et al. Phys.Rev.Letts, 1987,v.59, p.2161.

82. Zhang J., Key M.H., Norreys P. A. et al. Phys.Rev.Letts, 1995,v.74, p.1335.

83. Кайнов В.Ю., Линник B.M., Масленников Д.Б., Урлин В.Д. Расчетное моделирование рекомбинационного рентгеновского лазера. Квантовая электроника, 1993,т.20, с. 137-141.

84. Урлин В.Д., Кайнов В.Ю., Масленников Д.Б., Долголева Г.В., Четвергова Т.А. Расчетное моделирование рекомбинационного рентгеновского лазера на ионах CVI при длительности накачки 2 пс. Квантовая электроника, 1997,т.24, с.586-590.

85. Benredjem D., Calisti A., Sureau A., Talin В. Effective gain and Stark profile calculations in the recombination scheme X-ray lasers. J.Quant. Spectrosc. Radiat. Transfer, 1996,v.55, p.439-448.

86. Lee Y.T., MoreRM. Phys.Fluids, 1984,v.27, p.1273.

87. Schlessinger L., Wright J. Phys.Rev. A, 1979,v.20, p. 1934.

88. Luciani J.F., Mora P., Virmont J. Nonlocal heat transport due to steep temperature gradients. Phys.Rev.Lett.,1983, v. 51, p.1664-1667.

89. Афанасьев Ю.В., Басов Н.Г., Крохин О Н, Пустовалов В В., Силин В.П., Склизков Г.В., Тихончук В.Т., Шиканов А.С. Взаимодействие мощного лазерного излучения с плазмой. Итоги науки и техники, сер. Радиотехника т. 17,. М.,ВИНИТИ 1978.

90. Colombant D., Tonon G. X-ray emission in laser-produced plasmas. J. Appl. Phys., 1973,v.44, p.3524-2537.

91. Вайнштейн JI.А., Собельман И.И., Юков E.A. Возбуждение атомов и уширение спектральных линий. М.Наука,1979.

92. McWhirter W., Hearn A.G. Proc.Phys.Soc.,1963,v.82, р.641.

93. JohnsonL.C., HinnovE. J.Quant. Spectrosc. Radiat. Transfer, 1973,v. 13, p.333.

94. Держиев В.И., Жидков А.Г., Яковленко С.И. Излучение ионов в неравновесной плотной плазме. М. Энергоатомиздат, 1986.

95. Ковеня В.М., Яненко Н.Н. Метод расщепления в задачах газовой динамики. Новосибирск, Наука, 1981, с.304.

96. Самарский А.А., Попов Ю.П. Разностные методы решения задач газовой динамики. М.Наука,1980.

97. Зельдович Я.Б., Райзер Ю.П. Физика ударных волн и высокотемпературных газодинамических явлений. М.НаукаД966.

98. Математическое моделирование. Процессы в нелинейных средах. М.Наука,1986.

99. Gauthier J-C., Geindre J-P., Grandjouan N., Virmont J. Implicit coupling of ionization dynamics and electron energy balance in laser target simulations. J. Phys. D: Appl. Phys.,1983,v. 16, p.321-331.

100. Drska L., Senyor M. Calculations of quantum mechanics parameters of a dense high temperature plasmas. Laser and Particle Beams, 1992, v. 11, p.3-7.

101. Andreev A.A., Kurnin I.V., Akulinichev V.V., Mavrichev M., Pivinsky E.G. Investigation of laser produced plasmas charge states. Proceeding of SPIE, 1993, v.2097, p.409-413.