Магнитостатические волны в пленочных структурах сверхпроводник/феррит тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.03, кандидат физико-математических наук Семенов, Александр Анатольевич

• Семенов, Александр Анатольевич
• кандидат физико-математических наук
• 2001

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Семенов, Александр Анатольевич

ОСНОВНЫЕ ОБОЗНАЧЕНИЯ.

ВВЕДЕНИЕ.

1. СОВРЕМЕННЫЕ ДОСТИЖЕНИЯ В РАДИОФИЗИКЕ И ЭЛЕКТРОНИКЕ СТРУКТУР СВЕРХПРОВОДНИК/ФЕРРИТ.

1.1.Магнитостатические волны в ферромагнитных средах.

1.2.Сверхпроводниковые купраты: структура, электрофизические характеристики, пленочная технология.

1.3.Методы аналитической диагностики сверхпроводниковых пленок и слоистых структур феррит-сверхпроводник.

1.4.Радиофизические исследования слоистой структуры феррит-сверхпроводник.

Выводы по главе.

2. ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЛНОВЫХ ПРОЦЕССОВ В

СТРУКТУРЕ СВЕРХПРОВОДНИК-ФЕРРИТ.

2.1 .Электродинамическая модель процесса распространения

МСВ вдоль границы YIG/YBCO.

2.2.Измерительная установка и методика построения дисперсионных характеристик.

2.3.Экспериментальные исследования волновых процессов в структурах сверхпроводник-феррит.

Выводы по главе.

3. ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ДИАГНОСТИКА

СВЕРХПРОВОДНИКОВЫХ ПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР.

3.1 .Схема технологического процесса изготовления криоэлектронного компонента на основе сверхпроводниковых

YBCO пленок.

3.2.Диагностика структуры и состава ВТСП пленок.

3.3.Исследование зависимости СВЧ поверхностного сопротивления пленок YBCO от структуры и толщины.

Выводы по главе.

4. ИССЛЕДОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ И ПРОСТРАНСТВЕННЫХ НЕОДНОРОДНОСТЕЙ В СВЕРХПРОВОДЯЩИХ МИКРОПОЛОСКАХ.

4.1.Исследование пространственных неоднородностей сверхпроводящих пленок методом магнитооптической микроскопии.

4.2.Методика расчета электрических параметров сверхпроводящих пленок на основе магнитооптических изображений.

4.3.Определение критических параметров ВТСП пленок на основе магнитооптических изображений.

Выводы по главе.

5. ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ YBCO ПЛЕНОК НА ХАРАКТЕРИСТИКИ СВЧ УСТРОЙСТВ НА ОСНОВЕ

СТРУКТУРЫ СВЕРХПРОВОДНИК-ФЕРРИТ.

5.1.Определение СВЧ поверхностного сопротивления и глубины проникновения магнитного поля.

5.2.Групповая скорость и фазовый набег МСВ в слоистых структурах сверхпроводник-феррит.

5.3.Передаточные характеристики СВЧ приборов со сверхпроводящих преобразователями и экранами на поверхностных МСВ.

Выводы по главе.

ОСНОВНЫЕ ОБОЗНАЧЕНИЯ.

Н0 - напряженность внутреннего магнитного поля к - волновое число со - циклическая частота

Ms - намагниченность насыщения ферромагнитной пленки Vg - групповая скорость волны

Тс - температура фазового сверхпроводящего перехода Jc - критическая плотность тока

XL - лондоновская глубина проникновения магнитного поля А,аь - лондоновская глубина проникновения в направлении перпендикулярном кристаллографическим осям а и b Хс - лондоновская глубина проникновения в направлении перпендикулярном кристаллографической оси с АН - поле анизотропии ферромагнетика as - проводимость сверхпроводящей фазы gn - проводимость нормальной фазы Аф - фазовый сдвиг А - СВЧ потери

La - расстояние между антеннами спин-волнового устройства L - толщина ферромагнитной пленки в структуре сверхпроводник-диэллектрик-ферромагнетик (СДФ) t - толщина диэлектрического зазора в структуре СДФ d - толщина сверхпроводящей пленки в структуре СДФ Rs - поверхностное сопротивление сверхпроводящей пленки.

ПРИНЯТЫЕ СОКРАЩЕНИЯ

ВТСП - высокотемпературный сверхпроводник

СФ - структура сверхпроводник-феррит

СДФ - структура сверхпроводник-диэлектрик-феррит

МФ - структура металл-ферромагнетик

СВ - спиновая волна

МСВ - магнитостатическая волна

ПМСВ - поверхностная магнитостатическая волна

МО - магнито-оптика

РИСЭ - рассеяние ионов средних энергий

НИЭЗ - напряжение индуцированное электронным зондом

КРС - комбинационное рассеяние света

ПТ MP - магнетронное распыление на постоянном токе

МРУ - магнетронное распылительное устройство

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Магнитостатические волны в пленочных структурах сверхпроводник/феррит»

Одна из основных тенденций развития радиофизики и радиоэлектроники связана с разработкой высокодобротных управляемых СВЧ приборов на основе уникальных физических явлений и материалов, таких как пленочные сверхпроводники, сегнетоэлектрики, ферриты. Быстро развиваются радиофизические исследования слоистых структур, сочетающих пленки указанных материалов. На этой основе разрабатываются СВЧ устройства обработки микроволновых сигналов. Для повышения эффективности подобных исследований и разработок необходимо учитывать физико-технологические особенности перспективных металлоксидных соединений.

Открытие высокотемпературной сверхпроводимости (ВТСП) в перовскит-ных купратах, в 1986-87 годах, и последующие достижения в технологии пленок ВТСП стимулировали развитие ряда новых научно-технических направлений в электронике. На рубеже 80-х - 90-х годов на исследования природы ВТСП материалов и возможностей их практического применения были направлены колоссальные усилия во всем мире. Уже к середине 90-х годов стало очевидным, что самые существенные результаты в области технического применения купратных ВТСП могут быть достигнуты на пленочных СВЧ криоэлек-тронных устройствах [1-3]. Значительный прогресс в технологии ВТСП пленок явился плодотворной основой для развития пленочной технологии широкого класса оксидных материалов, и для качественного «скачка» [4] в развитии физики, технологии тонких пленок, а также микроэлектроники, в целом.

Анализ современного состояния ВТСП-электроники показывает, что данная научно-техническая отрасль обладает значительным практическим потенциалом. В первую очередь, следует ожидать применения ВТСП элементов и их сочетаний с металлооксидными слоями сегнетоэлектриков [1,5] и ферритов [6,7] в телекоммуникационных и навигационных устройствах. В настоящее время, в радиоэлектронных системах (РЭС) спутниковой и сотовой мобильной телефонии уже применяются ВТСП полосно-пропускающие фильтры (ППФ)

3,8]. Активно проводятся разработки других линейных и управляемых СВЧ устройств - переключателей, устройств защиты, фазовращателей и др. [6,9,10]

В рамках ВТСП микроэлектроники самостоятельно развивается ряд направлений. Электродинамическое моделирование волновых процессов и разработка специализированных систем автоматического проектирования (САПР). Экспериментальные исследования СВЧ устройств, в которых металлические линии заменяются на ВТСП пленки. Физико-технологические исследования процессов формирования ВТСП планарных и слоистых структур. В каждом из выделенных направлений достигнуты определенные результаты, обладающие самостоятельной ценностью. Однако, эти результаты почти не находят претворения в реальных СВЧ приборах и устройствах. Поэтому на современном этапе особо актуальным становится комплексный подход, сочетающий достижения из всех выделенных направлений СВЧ микроэлектроники, для наиболее эффективной практической реализации микроволновых устройств на основе многослойных структур. Т.е. при проектировании прибора необходимо проводить теоретическое моделирование волновых процессов в слоистой структуре, на основе которого выясняется влияние свойств всех пленочных слоев на волновой процесс, всестороннюю диагностику структурных и электрофизических свойств пленок используемых в эксперименте и последующую корректировку технологического процесса по результатам сравнения экспериментальных и расчетных данных.

В настоящее время, наиболее изученным ВТСП материалом является иттрий-бариевый купрат - YBa2Cu307.5 (YBCO). Возможности практического применения сверхпроводниковых пленок YBCO в радиоэлектронике определяются их поверхностным импедансом, зависимостью поверхностного сопротивления Rs от температуры, уровня приложенной мощности сигнала и от внешних воздействий. В связи с этим исследование механизмов ВЧ-СВЧ потерь в сверхпроводниках и выявление их источника дает полезную информацию для совершенствования технологии пленок. Данные исследования могут проводится на основе изучения особенностей проникновения магнитного поля в сверхпроводниковые пленочные структуры. Особый интерес представляют экспериментальные методики, позволяющие исследовать магнитный контраст пленочных структур с высокой локальностью. Этими обстоятельствами обусловлено быстрое развитие магнитооптической (МО) микроскопии [12], которая применялась в данной работе для получения информации о качестве пленочных топологий. Физическое моделирование полевых и токовых процессов в пленочных полосках и компьютерная обработка электронно-микроскопической информации преобразуют МО изображения в электрические параметры (распределение магнитного поля и тока, плотность критического тока и критическое магнитное поле). Сравнение экспериментальных распределений магнитного потока в пленочной структуре с теоретическими зависимостями позволяет определять закономерности распределений тока в полосках, выявлять источники потерь и де-градационные механизмы в сверхпроводниковых топологиях [12].

Микрополосковые сверхпроводящие структуры, исследованные в МО микроскопе, могут затем применяться в криоэлектронных схемах, например в качестве антенных микроболометров [13] или переключающих компонентов СВЧ устройств [9]. Поэтому МО исследования могут применяться в качестве метода диагностики реальных приборных топологий. Уникальные результаты дает использование метода МО совместно с такими исследования свойств ВТСП пленок, как картографирование микрополосков с помощью диагностики напряжения, индуцированного электронным зондом (НИЭЗ) [14].

Известно, что параметры купратных ВТСП пленок сильно зависят от многих факторов, среди которых следует выделить содержание кислорода, (индекс 5 в соединении УВа2Сиз07.д.), соотношения катионных компонентов и структурную упорядоченность [11,15]. Измерение указанных характеристик ВТСП пленок необходимо выполнять как на этапе совершенствования технологии формирования ВТСП структур, так и в процессе исследований их взаимодействия с СВЧ сигналами. Для измерений содержания кислорода и структурного совершенства пленок ВТСП очень информативным методом является комбинационное рассеяние света - КРС [11,15]. Определение структурной упорядоченности пленок, катионного состава [11,15], исследования профильных распределений компонентов и состояния границ раздела проводятся в результате применения метода Резерфордовского обратного рассеяния и его модификации -рассеяния ионов средних энергий (РИСЭ) [16].

Определение физических параметров ВТСП пленочных топологий может выполняться путем иссследования дисперсии поверхностной магнитостатиче-ской волны (ПМСВ) распространяющейся в слоистой волноведущей структуре феррит/ВТСП. Магнитостатические волны (МСВ), возбуждаемые в СВЧ диапазоне в ферромагнитных материалах, проявляют высокую чувствительность к свойствам сверхпроводящих экранирующих пленочных слоев. В качестве среды для распространения МСВ наиболее часто используются пленки железо ит-триевого граната ЖИГ - (Y3Fe50i2), эпитаксиально выращенные на подложках гадолиний-галиевого граната - ГГГ (Gd3Ga50i2) [17-19].

Исследования распространения поверхностных МСВ в структуре ЖИГ/ВТСП предоставляют информацию о фундаментальных свойствах пленок ВТСП (глубине проникновения магнитного поля, эффекте пининга магнитных вихрей [20]). Следует отметить, что одна пленочная структура может служить объектом исследований распространения МСВ, МО диагностики и являться компонентом СВЧ приборной структуры. Это обстоятельство определяет эффективность обозначенного комплексного подхода к исследованиям ВТСП пленочных топологий и процессу распространения МСВ в слоистой структуре.

Слоистая структура, состоящая из пленок ВТСП и ЖИГ позволяет существенно улучшить эксплутационные параметры приборов и предоставить дополнительные возможности управления фазовыми характеристиками и групповым временем задержки [6,10]. Повышение управляемости СВЧ компонента имеет комплексный смысл, включающий в себя расширение диапазона перестройки передаточных характеристик при допустимом изменении параметров устройства (например уровня потерь, ширины и фронтов полосы пропускания); сокращении времени перестроения и увеличении точности управления эксплуатационными параметрами радиоэлектронного компонента.

Рассмотренные аспекты актуальной радиофизической проблемы, связанной с волновыми процессами в структурах феррит/сверхпроводник, позволяют определить научные задачи диссертационной работы.

1. Электродинамический анализ процесса распространения МСВ в слоистой структуре ЖИГ/ВТСП, получение теоретических дисперсионных характеристик учитывающих физические параметры отдельных слоев.

2. Исследование дефектной структуры пленок ВТСП и особенностей дефекто-образования в полосковых топологиях на разных стадиях технологического процесса и эксплуатации пленочных структур.

3. Разработка методики определения физических характеристик сверхпроводящих пленок и регистрации пространственных неоднородностей критического тока и магнитного поля с помощью магнитооптической микроскопии.

4. Экспериментальное исследование дисперсионных свойств поверхностной магнитостатической волны, распространяющейся в структуре ЖИГ/ВТСП, и разработка метода определения глубины проникновения магнитного поля в сверхпроводниковую пленку на основе сравнения теоретических и экспериментальных дисперсионных зависимостей МСВ.

5. Изучение передаточных характеристик СВЧ устройств на основе структуры ЖИГ/ВТСП с целью построения радиоэлектронных компонентов, таких как управляемый полосно-пропускающий фильтр и фазовращатель; выработка рекомендаций по их практическому применению в радиоэлектронных системах нового поколения.

Научная новизна диссертационной работы определяется следующими результатами, полученными впервые:

Предложена электродинамическая модель многослойной пленочной структуры сверхпроводник-диэлектрик-ферромагнетик. Получено дисперсионное уравнение поверхностной магнитостатической волны в данной структуре и разработана методика учета потерь в структуре металл-диэлектрик-ферромагнетик, обусловленных конечной проводимостью металла. Полученное уравнение точно описывает электромагнитный процесс в исследуемой структуре. Оно определяет спектр как медленных, так и быстрых волн.

Изучены механизмы СВЧ поверхностного сопротивления в сверхпроводниковых YBCO пленках различного качества. Показано, что пленки толщиной более 1 мкм могут иметь однородную "гладкую" поверхность и высокую структурную упорядоченность, которая определяется низким относительным выходом ионов в диагностическом методе РИСЭ {% « 10 %), и малым значением СВЧ поверхностного сопротивления (Rs~ 0.5 мОм, /= 10 ГГц, Т= 77 К).

Проведены теоретические и экспериментальные исследования процесса распространения МСВ в слоистой структуре феррит-сверхпроводник, измерены дисперсионные характеристики и показана возможность управления скоростью и набегом фазы МСВ в структуре феррит-сверхпроводник.

Оценка практической значимости.

Предложенная электродинамическая модель распространения поверхностной МСВ в структуре феррит-сверхпроводник позволяет выполнять проектирование управляемых СВЧ приборов и устройств. В диссертации приведен пример применения модели для построения фазовращателя.

На основе разработанной методики измерения дисперсионных характеристик МСВ в структуре ЖИГ/ВТСП проводилось определение ряда физических характеристик ВТСП пленок: глубины проникновения магнитного поля, проводимости нормальной фазы в сверхпроводящем состоянии, СВЧ поверхностного сопротивления ВТСП пленок в магнитном поле.

Результаты имеют практическое значение для совершенствования технологии и оценки допустимого магнитного поля в устройствах, совмещающих сверхпроводниковые и ферромагнитные пленки.

Предложенные макеты и конструкции электронных устройств на основе ВТСП пленок (фазовращателя и управляемого полосно-пропускающего фильтра), работающие в криогенных условиях, представляют практическое значение для развития РЭС нового поколения.

Результаты диссертации выразились в практическом применении пленок ВТСП и СЭП в радиоэлектронных устройствах и оказали воздействие на исследования, проводимые в следующих научных коллективах, ФТИ им. А.Ф. Иоффе РАН, ВНЦ «Государственный Оптический институт им С.И. Вавилова; АО «Феррит», Холдинговой компании компании «Ленинец», АО «Светлана», СПбГТУ; лаборатории микроэлектроники в университете г.Оулу (Финляндия), Физического факультета университета Осло (Норвегия), Политехнического института в г. Белосток (Польша), факультета телекоммуникаций университета Токай (Япония), электронной компании «Иностек» (Корея).

Результаты работы вошли в конкурсные проекты по Государственной программе «Актуальные проблемы физики конденсированных сред», направление «Сверхпроводимость». Автор является исполнителем проектов "Интерфейс", "Порог ", "Тау ", "Нева". Автор руководит направлением СВЧ измерений в проекте «Сегнетоэлектрические пленочные структуры для применений в радиоэлектронных приборах», принятым Советом Международного научно-технического центра (МНТЦ) к исполнению 2001-2002 годах, проект № 1708. Материалы диссертации использовались в проекте 001.15.01.70 - «Разработка технологии формирования перовскитных пленочных структур для применений в радиоэлектронике», выполняемого по программе ««Научные исследования высшей школы в области производственных технологий»

Материалы диссертации используются в учебном процессе СПбГЭТУ, курсах кафедры электронно-ионной и вакуумной технологии

Исследования, проведенные в рамках данной работы, позволили сформулировать следующие научные положения:

1. Глубина проникновения магнитного поля в сверхпроводник может быть определена на основе сравнения теоретических и экспериментальных дисперсионных зависимостей поверхностной магнитостатической волны, распространяющейся в структуре сверхпроводник-ферромагнетик. При этом наибольшие изменения дисперсионной характеристики ПМСВ в результате воздействии любых внешних факторов происходят при условии соизмеримости глубины проникновения и толщины пленок, составляющих слоистую структуру.

2. Проводимость сверхпроводящей фазы, которая на несколько порядков превосходит проводимость нормальной фазы, определяет как групповую скорость, так и потери на распространение ПМСВ. В свою очередь проводимость нормальной фазы оказывает существенное влияние только на потери поверхностной магнитостатической волны. Уменьшение на порядок проводимости нормальной фазы приводит к увеличению на порядок потерь ПМСВ в исследуемой структуре.

3. Фазовый набег поверхностных магнитостатических волн с волновыми числами свыше 1000 м"1 в слоистой структуре сверхпроводник-ферромагнетик возрастает в результате увеличения глубины проникновения магнитного поля в сверхпроводник, вызванного пропусканием электрического тока в сверхпроводниковой пленке, в поперечном направлении к волновому вектоРУ

4. Наибольшая управляемость радиоэлектронных устройств на основе структур сверхпроводник-ферромагнетик достигается при использовании сверхпроводниковых пленок УВа2Сиз07.§ с невысоким значением плотности критиче

10 2 ского тока, которое не превышает 1x10 А/м при 77 К, и глубиной проникновения магнитного поля более 500 нм.

Научные материалы диссертационной работы докладывались на конференциях и семинарах различного уровня:

14

По теме диссертации опубликовано 22 печатные работы, в том числе 13 статей, 1 доклад и тезисы к 8-ми докладам. Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, заключения, списка литературы, включающего 131 наименование, и одного приложения. Основная часть работы изложена на 110 страницах машинописного текста. Работа содержит 52 рисунка и 7 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Радиофизика», Семенов, Александр Анатольевич

Выводы по главе.

Экспериментальные исследования процесса распространения поверхностной магнитостатической волны в структуре ЖИГ/ВТСП позволили сформулировать следующие выводы:

1. На основе анализа дисперсионных характеристик ПМСВ в структуре феррит/сверхпроводник можно определять поверхностное сопротивление экранирующей ВТСП пленки. Учитывая тот факт, что измерения производятся в условиях внешнего подмагничивающего поля, данная методика может с успехом применяться для исследования зависимости СВЧ поверхностного сопротивления при воздействии магнитного поля.

2. Исследованные зависимости групповой скорости и фазового набега ПМСВ от глубины проникновения магнитного поля показали, что структура феррит/сверхпроводник позволяет осуществлять эффективное управление фазовыми характеристиками СВЧ устройства в широком частотном диапазоне.

3. Высокая чувствительность ПМСВ к изменению свойств экранирующего

ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

1. С.Ф. Карманенко, В.Ю. Давыдов, А.П. Митрофанов, А.А. Семенов, Р.А. Чакалов. Влияние скорости роста пленок YBa2Cu307.§ на ориентацию кристаллографических осей, Письма в ЖТФ, том 22, вып. 23, (1996), с.69-74.

2. Karmanenko S.F., Dedyk A.I., Barchenko V.T., Chakalov R.A., Lunev V.A., Semenov A.A., Ter-Martirosyan L.T. Patterning of tunable planar ferroelectric capacitor based on YBCO/BSTO film structure. // Superconductors Science and Technol., 1998, V.ll, n.3, p.284-287.

3. A.A. Semenov, A.V. Zhuravlev, S.F. Karmanenko, E.V. Nam Application of stratified film structures of a superconductor ferromagnetic for creation of microwave bandpass filters - Proceeding IEEE Russia conference 1997 High power microwave electronics: Measurements, Identification, Application., Novosibirsk, Russia, September 23-25, 1997, pp. 69-74.

4. Karmanenko S.F., Dedyk A.I., Semenov A.A., Ter-Martirosyan L.T., Leppavuori S., Uusimaki A., Wang F., Sakharov V.I., Serenkov I.T. Influence of layer interface parameters on dielectric characteristics of BSTO ferroelectric film capacitors. - Journal de Physique IV, 1998, vol. 8, col.3.

5. Semenov A.A. Application of superconducting/ferromagnetic layered structures in microwave band-pass filters - Proceedings 5-th International student seminar on high temperature supercinductors at microwaves, S.Petersburg 25-27 May, 1998.

6. Афросимов B.B., Ильин P.H., Карманенко С.Ф., Сахаров В.И., Семенов

А.А., Серенков И.Т. Начальные стадии роста пленок YBa2Cu307x на MgO, SrxBai.xTi03 и LaA103 подложках - Тезисы докладов XXVIII Межд. конф. по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. -М.: Изд-во МГУ, 1998, с.47.

7. Афросимов В.В., Ильин Р.Н., Карманенко С.Ф., Сахаров В.И., Семенов А.А., Серенков И.Т., Яновский Д.В. Исследование YBa2Cu307.x пленок на различных стадиях роста методом рассеяния ионов средних энергий -Физика твердого тела, 1999, том 41, вып. 4, с.588-595.

8. А.В. Бобыль, М.Э. Гаевский, А.И. Дедоборец, С.Ф. Карманенко, В.Н. Леонов, А.В. Лунев, А.А. Семенов, Р.А. Сурис, И.А. Хребтов //Избыточный шум эпитаксиальных пленок YBa2Cu307.s и микроболометры антенного типа на их основе// Физика твердого тела, 1999, том 41, вып. 11, с. 1931-1935

9. А.А. Семенов //Измерение критических характеристик сверхпроводящих микрополосковых линий при помощи магнитооптического контраста. Известия ВУЗов России. Радиоэлектроника. 2000. Вып 2. С. 103-108.

10. С.Ф.Карманенко, А.А. Семенов, А.А. Свищев, И.Т. Серенков, В.И. Сахаров, Нащекин А.В. Зависимость СВЧ поверхностного сопротивления от структуры и толщины YBCO сверхпроводящих пленок. - Письма в ЖТФ, 1999, т.25, вып. 15, с.79-88.

11. S F Karmanenko, А.А. Semenov, I.A. Khrebtov, V.N. Leonov, Т.Н. Johansen, Y.M. Galperin, A.V. Bobyl, A.I. Dedoboretz, M.E. Gaevski, A.V. Lunev, R.A. Suris, Fabrication process and noise properties of antenna-coupled microbolometers based on supercoducting YBCO films. -Superconductors Science and Technol., 13 (2000), p. 273-286.

12. С.Ф. Карманенко, А.А. Семенов, В.Н. Леонов, А.В. Бобыль, А.И. Дедоборец, А.В. Лунев, А.В. Нащекин, Р.А. Сурис Источники фликкер-шума и технология сверхпроводящих микрополосков на основе пленок иттрий-бариевого купрата Журнал технической физики, 2000, том 70, вып. 4 с. 63-72

13. С.Ф. Карманенко, А.И. Дедык, Н.Н. Исаков , В.И. Сахаров, А.А. Семенов, И.Т. Серенков , Л.Т. Тер-Мартиросян, Компонентный состав и деформационные напряжения сегнетоэлектрических пленок титаната бария-стронция. - Письма в ЖТФ, 1999, т.25, вып. 19, с.50-60.

14. С.Ф. Карманенко, А.А. Семенов СВЧ полосовой фильтр на основе пленочной структуры сверхпроводник/феррит (YBCO/YIG) Письма в ЖТФ, 2000, том 26, вып. 3 с. 12-17.

15. С.Ф. Карманенко, А.И. Дедык, Н.Н. Исаков , В.И. Сахаров, А.А. Семенов, И.Т. Серенков , JI.T. Тер-Мартиросян Влияние компонентного состава и деформационных напряжений на диэлектрические свойства пленок титаната бария-стронция. - Тезисы докладов XV Всеросийской Конференции по Физике Сегнетоэлектриков (BKC-XV), г.Ростов-на-Дону, 14-18 сентября 1999г., с. 159.

16. С.Ф. Карманенко, А.А. Семенов, А.А. Мелков, Н.Н. Исаков, Я. Васькевич Исследование дисперсионных характеристик магнитостатических волн, распространяющихся на границе феррит/перовскитный слой Письма в ЖТФ, 2000, том 26, вып. 20 с. 60-67

17. А.А. Семенов, С.Ф. Карманенко, А.И. Дедык, Н.Н. Исаков, А.А. Мелков, JI.T. Тер-Мартиросян Распространение магнитостатических волн в слоистых структурах включающих пленки перовскитных соединений Труды 9-ой международной конференции «Физика диэлектриков» (Диэлектрики 2000) 17-22 сентября 2000г., Санкт-Петербург, Россия, т.1, с.232-233.

18. Барченко В.Т., Быстрое Ю.А., Карманенко С.Ф., А.А. Семенов Микропрофилирование перовскитных пленочных структур ионными пучками из дуопигатронных источников - Тез. докл. 3-ей международ, конф. «Электроника и информатика-XXI век» - Зеленоград - 2000, С. 125126.

19. А.А. Семенов, Б.А. Калиникос, Карманенко С.Ф., А.А. Мелков Исследование дисперсионных свойств спиновых волн в слоистых структурах феррит/перовскитный слой - Тез. докл. 3-ей международ.

144 конф. «Электроника и информатика-XXI век» - Зеленоград - 2000, С. 9091.

20. Семенов А.А., Карманенко С.Ф., Мелков А.А., Бобыль А.В., Сурис Р.А., Гальперин Ю.М., Иохансен Т.Х. Исследование процесса распространения поверхностной магнитостатической волны в структуре феррит/сверхпроводник//ЖТФ, 2001, том. 71, вып. 10, с. 13-20.

21. Bobyl A., Konnikov S., Suris R., Semenov A., Karmanenko S., Melkov A., Johansen Т., Galperin Y. Dispersion properties of Y3Fe5012/YBa2Cu307 film layered structure - Тезисы докладов на международной конференции // 2001 5th European conference on applied superconductivity. Technical Univ. of Denmark, August 26-30, Copenhagen, 2001.

22.Bobyl A., Suris R., Karmanenko S., Semenov A., Konuhov S., Olshevski A. The ferrite/superconductor layered structure for tunable microwave devices - Тезисы th докладов на международной конференции // 2001 5 European conference on applied superconductivity. Technical University of Denmark, August 26-30, Copenhagen, 2001.

145

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Комплексные физические исследования, направленные на решение задач диссертационной работы, позволили получить ряд новых научных результатов, сформулированных в виде следующих выводов.

1. Аналитическое решение граничной задачи и полученное дисперсионное уравнение ПМСВ в слоистой структуре сверхпроводник/диэлектрик/феррит адекватно описывают волновой процесс в касательно намагниченной структуре. Показано, что в предельных случаях нулевой проводимости и проводимости, стремящейся к бесконечности, уравнение соответственно приобретает вид известных выражений: уравнения Деймона-Эшбаха для свободной пленки ЖИГ и уравнения Сешадри для структуры ЖИГ/идеальный металл.

2. В результате измерений дисперсионных характеристик, были получены частотные зависимости для групповой скорости МСВ, фазового набега, СВЧ потерь, построены экспериментальные дисперсионные характеристики, определено влияние свойств ВТСП пленки на перечисленные характеристики. Экспериментальные исследования, проведенные с помощью разработанного криогенного макета и волноведущей структуры феррит/сверхпроводник при комнатной температуре и при температуре жидкого азота, подтвердили теоретические результаты. Хорошее соответствие теоретических и экспериментальных дисперсионных характеристик ПМСВ в структуре ЖИГ/ВТСП, различия которых не превышают 10%, свидетельствуют о правильности принятых электродинамических представлений.

3. Анализ полученного дисперсионного уравнения показал сильную зависимость скорости распространения МСВ в структуре ЖИГ/ВТСП от таких параметров сверхпроводниковой пленки, как СВЧ поверхностное сопротивление и глубина проникновения магнитного поля. Проведенные исследования дисперсионных зависимостей позволили применить на практике новый способ эффективного управления волновым процессом в рассматриваемой

146 структуре с помощью внешнего воздействия на сверхпроводниковую пленку.

4. Обработка результатов магнитооптической диагностики с помощью разработанной расчетной программы позволила восстанавливать из магнитооптических изображений сверхпроводниковых микрополосков распределения магнитного поля и тока в поперечном сечении, определять глубину проникновения магнитного поля и исследовать механизмы токовых и СВЧ потерь в ВТСП микрополосковых топологиях. Расхождение между глубиной проникновения полученной из магнитооптических измерений и пересчитанной из дисперсионного уравнения ПМСВ, составила не более 10%.

5. Групповая скорость и фазовый набег ПМСВ в структуре сверхпроводник-феррит могут эффективно управляться с помощью измененения глубины проникновения магнитного поля в сверхпроводниковую пленку, которая зависит от значения транспортного тока, пропускаемого через сверхпроводниковый экран в поперечном направлении. Высокая чувствительность ПМСВ к изменению свойств экранирующего слоя может быть использована для построения управляемых СВЧ устройств.

6. Электронные устройства, использующие для обработки СВЧ сигналов ПМСВ могут быть реализованы в криогенном исполнении, с применением сверхпроводниковых микрополосковых антенн и управляющих экранов.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Семенов, Александр Анатольевич, 2001 год

1. Vendik O.G., Ter-Martirosyan L.T., Dedyk A.I., Karmanenko S.F., Chakalov R.A. High-Tc superconductivity; new applications of ferroelectrics at microwave frequencies // Ferroelectrics, 1993, v.144, N.l-4, 33-43.

2. Shen Z.-Y.High temperature superconducting microwave circuits. Nortwood, Artech house, 1994, 420 p

3. Hammond R.B., Scalarino D.J., Schrieffer J.R., Willemsen B.A. HTS wireless filters: Past, Present, and future performance // Microwave Journal, 1998, vol.41, № 10 October, p. 94-107.

4. Venkatesan Т., Nazar L., Wu X.D., Inam A. High-Tc thin films: a forerunner to the metal-oxide revolution. // Solid State Technology. 1989, 32, N.8, p. 143-145

5. Vendik O.G., Mironenko I.G., Ter-Martirosyan L.T. Superconductors spur application of ferroelectric films. // Microwave and RF, 1994, 33, p.67.

6. Dionne G. F., Oates D. E., Temme D. H., Weiss J. A. Ferrite-superconductor devices for advanced microwave applications. // IEEE Trans, on microwave theory and techniques. 1996, vol.44, №7 p. 1361-1368.

7. Барыбин A.A., Вендик И.Б., Калиникос Б.А., Мироненко И.Г. Тер-Мартиросян JI.T. Перспективы интегральной электроники СВЧ // Микроэлектроника. 1979. - Т.8. - № 1. - С.3-19

8. Kolesov S., Chaloupka Н., Baumfalk A. Planar HTS structures for high power applications in communication systems. // J.Supercond., 1997, vol.10, p. 179-187.

9. Keis V.N., Kozyrev A.B., Samoilova T.B., Vendik O.G. High speed microwave filter-limiter based on high Tc superconducting films // Electronics Letters, 1993, vol.29, N.6, pp.546-547.

10. Dionne G F., Oates D E., Temme D. H. Femte-superconductor microwave phase shifters II IEEE Trans. Magn., 1994, vol. 30, P. 4518-4520

11. Gaidukov M.M., Karmanenko S.F., Kozyrev A.B., Klimenko V.L., Soldatenkov O.I. Identification of rf and microwave residual loss mechanisms in YBCO films in magnetic fields. // Supercond: Sci & Technol. 1994, vol. 7, p.721-726.

12. Леонов B.H., Хребтов И.А. Антенные тепловые приемники излучения (обзор) // ПТЭ 1993, № 39-40, с 214-230.

13. Umansky V.E., Solov'ev S.A., Konnikov S.G., Karmanenko S.F., Kosogov O.V. Imaging of high-Tc superconducting film spatial inhomogeneities by Low Temperature scanning electron microscopy // Material Letters, 1990, vol.9, No 11, p.417-420.

14. C. Карманенко С.Ф., Давыдов В.Ю., Семенов A.A., Чакалов Р.А. Влияние скорости роста пленок YBCO на ориентацию кристаллографических осей // Письма в ЖТФ.- 1996.- Т.22, Вып.23, С.69-74.

15. Афросимов В.В., Дзюба Г.О., Ганза Е.А., Ильин Р.Н., Панов М.Н., Сахаров В.И., Серенков И.Т., Суворов А.В., Каналирование протонов средних энергий в монокристалле YBCO. /IЖТФ, 1996, т. 66, №11, с. 76-88.

16. Функциональные устройства обработки сигналов (основы теории и алгоритмы)- учебное пособие под ред. Ю.В.Егорова ( глава 3 -Б.А.Калиникос, Н.Г.Ковшиков, Н.В.Кожусь "Спин-волновые устройства"), Москва, Радио и связь . 1997.-287 С.

17. Гуляев Ю.В., Зильберман П.Е. Спинволновая электроника. Серия Радиоэлектроника и связь, 1988 , № 6, М.: «Знание», 24 С.

18. Вашковский А.В., Стальмахов B.C., Шараевский Ю.П. Магнито-статические волны в электронике сверхвысоких частот. Саратов: Изд-во СГУД993. 312 С.

19. Poole С.Р., Farach Н.А., Creswick R.J. Superconductivity. // Academic Press. San Diego (CA), 1995, 620 P.

20. Гуревич А.Г., Мелков Г.А. Магнитные колебания и волны. М.: Физматлит, 1994.464 С.

21. Тамм И.Е. Основы теории электричества. М.: Наука, 1989 380 С.

22. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теоретическая физика (в 10 томах). Квантовая механика. Нерелятивистская теория. 4-е изд. Т.З. М.: Наука, 1989.

23. Калиникос Б.А., Ковшиков Н.Г., Кожусь Н.В. Спинволновые процессы и устройства СВЧ- СПб.: ГЭТУ-ЛЭТИ. 1995. - 92 С.

24. Кондорский Е.И. Зонная теория магнетизма. М.: Изд. МГУ, 1977. 4.2.

25. Damon R.W., Eshbach J.R. Magnetostatic modes of ferromagnetic slab // J.Phys.Chem.Solid, 1961, V. 19, N.3-4, p.308-320.

26. Акустические кристаллы. Справочник/ под ред. М.П. Шаскольской.- М.: Наука. Главная редакция физико-математической литературы, 1982, 630 С.

27. Bednorz J.G., Muller К.А. Possible high Тс- superconductivity in the Ba-La-Cu-O system. // Z Phys. В., 1986, Vol. 64. N.2, p. 189-193

28. Vasiliev A.L., Kvam Е.Р., Foong F., Lion S.-H. The microstructure of (Hg,Tl) -based high temperature superconducting films on LaAlO substrates. // Physica C, 1996, vol. 269, p. 181-192

29. Peacock G.B., Haydon S.K., Ellis A.J., Gameson I., and Edwards P.P Thermal decomposition and chemical stabilization of mercurocuprate high-temperature superconductors //Supercond.: Sci.& Technol. 2000, vol.13, p. 412-416

30. Вишняков A.B. Нестехиометрия, дефекты структуры и свойства фазы - в книге "Высокотемпературная сверхпроводимость. Фундаментальные и прикладные исследования." Л., 1990. стр.377-404

31. Сверхпроводящие материалы / Под ред. Е.М. Савицкого. М.: Металлургия, 1976, 294 С.

32. Wolf S.A., Krestin V.Z. Major parameters of high-Tc oxides // IEEE Trans, on Magn., 1991, vol.27, №2, p

33. Mukaida M., Miyazawa S. Nature of prefered orientation of YBaCuO thin films // JpnJ.Appl.Phys., 1993, vol.32, No 10, P.4521-4528

34. Чопра К.JI. Электрические явления в тонких пленках М: Мир, 1972, 434 С.

35. Палатник Л.С.,Папиров И.И. Эпитаксиальные пленки. М.:Наука, 1971,480 С.

36. Vendik O.G., Samoilova T.B, Karmanenko S.F., Kowalewicz L., Kozyrev A.B., Levoska J., Leppavuori S. Microwave surface resistance and transport properties of superconducting YBaCuO films // J. of Less Common Metals., 1990, vol. 164165. p.1240-1247.

37. Stork F.J.B., Beal J.A., Roshko A., DeGroot D.C., Rudman D.A., Ono R.H., Krupka J. Surface resistance and morphology of YBCO films as a function of thickness // IEEE Trans, on Appl. Supercond., 1997, vol.7, №2, p. 1921-1924

38. Vendik O.G., Likholetov Yu.V., Karmanenko S.F., Kolesov S.G., Konson A.B. -A two-layer simulation of the YBCO film microwave surface resistance. //.Physica C. -1991, vol.179, p. 91-95.

39. Гольман E.K., Плоткин Д.А., Разумов C.B., Тумаркин А.В. Получение толстых пленок УВа2Сиз07х на сапфире с подслоем оксида церия // Письма вЖТФ. 1997. Т.23. В. 5, С.39-43

40. Яковлев Ю.М., Генделев С.Ш. Монокристаллы ферритов в радиоэлектронике. М.: Сов.радио, 1975, 360 С.

41. Schieber М. Deposition of high temperature superconducting films by physical and chemical methods // J.of Cryst.Growth 1991.- Vol.109, N.l/4, P.401-417

42. Wellstood F.C., Kingston J.J., Clarke J. Thin-film multilayer interconnect technology for YBaCuO.//J.Appl.Phys., 1994, v.75, n.2, 683-702

43. Geusic M.E., Weber W.J., Pederson L.R. Preparation and properties of YBa2Cu30 thin films on ЬаАЮз by pulsed eximer laser ablation. // Material Letters, 1990, v. 10, N.l-2, p. 13-16

44. Lynds L., Weinberger B.R., Potrepka D.M., Peterson G.G., Lindsay M.P. High temperature superconducting thin films: The physics of laser ablation.// Physica C., 1989, v. 159, p.61-69

45. Geerk J., Linker G., Meyer O. HTSC film growth by inverted cylindrical magnetron sputtering. II J. of Superconductivity. 1992, vol.5, № 4, p.345-351

46. Rauch W., Behner H., Gieres G., Solkner G., Fox F., Valenzuela A.A., Gornik E. DC-magnetron sputtering for microwave applications. // Physica C, 1992, vol. 198, p. 389-396.

47. Zhao J., Chern C.S., Li Y.Q., Noh D.W., Gallois B. In-situ growth of YBCO high-T superconducting thin films by plasma-enhanced metalorganic chemical vapor deposition. // J. Cryst. Growth. - 1991, 107, 699-704

48. Предтеченский M.P. Метод лазерного напыления в синтезе ВТСП пленок. Автореферат диссертации на соискание степени доктора ф.-м.н., Новосибирск, 1993

49. Данилин Б.С. Методы нанесения пленок высокотемпературных сверхпроводников. Итоги науки и техники. Сер.Электроника. М.: ВИНИТИ, 1990, т.26, с.133-170

50. Schurig Th., Menkel S., Quan Z., Beyer J., Guttner В., Knappe S., Koch H. -Large-area YBCO thin film deposition using linear hollow cathode discharge sputtering. // Physica C, 1996, vol.262, p.89-97

51. Schneider P., Linker G., Schneider R., Reiner J., Geerk J. The effect of Y and Ba content on the properties of YBaCuO thin films. // Physica C, 1996, vol.266, p.271-277

52. Gao J., Aarnik W.A.M., Gerritsma, Rogalla H. High quality YBCO ultra-thin films and Y/Pr/Y multi-layers made by a modified RF-magnetron sputtering technique // Applied Surface Science 1990, 46, p.74-77.

53. Верязов B.A., Китаев Ю.А., Смирнов В.П., Эварестов Р.А. Электронные и фононные состояния в кристаллах ВТСП. В кн. Высокотемпературная сверхпроводимость. Ленинград, «Машиностроение» , 1990, 686 с.

54. Белоусов М.В., Давыдов В.Ю., Карманенко С.Ф., Косогов О.В. Комбинационное рассеяние света как метод анализа ориентированных пленок YBCO // Письма в ЖЭТФ, 1988, т.48, в.5, с.285-287

55. Александров И.В., Быков А.Б., Гончаров И.В. Комбинационное рассеяние света в монокристаллах высокотемпературных сверхпроводников YBCO // Письма в ЖЭТФ, 1988, т.47, в.4, с. 184-187

56. Karmanenko S.F., Influence of growth rate on structural orientation of YBCO superconducting films // Supercond: Sci. & Techno!., 1999, vol.Л 2, N.l p. 36-44

57. Feldman L.C., Mayer J.W., Picraux S.T. Materials Analysis by Ion Channeling. New York: Academic Press, 1982, 300 p.

58. Meyer O., Weschenfelder F., Xi X.X., Xiong G.G., Linker G.,Geerk J. -Channeling analysis of intrinsic and radiation-induced disorder in crystalline YBCO thin films. // Nucl. Instrum.Meth.Phys. Res., B35, 1988, 192-300.

59. Афросимов В.В., Дзюба Г.О., Ильин Р.Н., Панов М.Н., Сахаров В.И., Серенков И.Т., Суворов А.В., Третьяков В.В. Исследование пленок системы Bi-Sr-Ca-Cu-О на подложках из Si, SiC, MgO // СФХТ, 1991, т.4, 1767

60. Косогов О.В., Вендик О.Г., Гацура Е.Ф, Карманенко С.Ф., Ким Гван Де, Колесов С.Г., Конников С.Г., Третьяков В.В. Сверхпроводимость и локальное распределение состава в ориентированных пленках YBCO // Известия Вузов «Физика», 1988, Т.31,№ 4, с. 121-122

61. Шанцев Д.В. Теоретическое исследование влияния пространственных неоднородностей на транспортные и шумовые свойства высокотемпературных сверхпроводников. Диссертация к.ф.м.н. С.Петербург, ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 1997, 130 с.

62. Gross R., Hipler К., Mannhart J., Huebener R.P., Chaudhari P., Dimos D., Tsuei C.C., Schubert J., Poppe U. Spatial imaging of the critical current density in epitaxial YBCO films. // Appl. Phys. Lett. , 1989, v.55, p. 2132-2134

63. Гаевский М.Э. Исследование тонких ВТСП пленок и структур на их основе методом низкотемпературной рстровой электронной микроскопии -Диссертация к.ф.-м.н., ФТИ РАН, 1995

64. К. Bert N.A., Lunev A.V., Bobyl A.V., Karmanenko S.F., Suris R.A., Musihin Yu.G., Matveets L.V., Dedoborez A.I. -Mechanisms of cation defect formation in epitaxial YBCO films. // Physica C, vol.280, 1997, p. 121-136.

65. Jooss C., Warthmann R., Forkl A., Kronmuller H. High-resolution magneto-optical imaging of critical currents in YBa2Cu307-d thin films // Physica С vol.299 no.3&4 1998 p.215-230

66. С Семенов A.A., Карманенко С.Ф., Мелков А.А., Бобыль А.В., Сурис Р.А., Гальперин Ю.М., Иохансен Т.Х. Исследование процесса распространения поверхностной магнитостатической волны в структуре феррит/сверхпроводник // ЖТФ принято к опубликованию.

67. Яковлев C.B., Калюжная JI.А., Николайчук Г.А., Крылова Т.А., Лебедь Б.М. Взаимодействие ферромагнетика и высокотемпературного сверх-проводника на границе раздела в пленочных гетероструктурах. // Письма в ЖТФ, 1997, том 23, №12, с.69-73

68. Miranda F.A., Mueller C.H., Koepf G.A., Yandrofski R.M. Superconducting / dielectric BaSrTi03/YBa2Cu307.x/LaA103 thin-film multilayer structures // Supercond.SciTechnol. 1995,V.8, P.757-763.

69. Физика спинволиовых процессов в ферромагнитных пленках и слоистых структурах / Тематический выпуск под ред.О.Г.Вендика и Б.А.Калиникоса. // Известия ВУЗов "Физика", 1988, т.31, №11, 124 с

70. Ползикова Н.И., Раевский А.О. Эффект увлечения вихрей магнитостатической волной в структуре феррит -высокотемпературный сверхпроводник // Письма в ЖТФ, 1990, т. 16, в. 17, с.73-77

71. Ползикова Н.И., Раевский А.О. Неустойчивость спиновых волн в слоистой структуре феррит сверхпроводник с отрицательной дифференциальной проводимостью II Письма в ЖТФ, 1990, т. 16, в.22, с.59-63.

72. Чивилева О.А., Гуревич А.Г., Анисимов А.Н., Карманенко С.Ф. Затухание спиновых волн в структурах феррит-сверхпроводник // Письма в ЖТФ, 1990, №7, т. 16, с. 17-20

73. Polzikova N.I., Raevskii А.О. Nonlinear effects accompaning magnetostatic wave propagation in the ferrite high temperature superconductor structure //J. of Magnetism & Magnetic Materials, 1991, vol.101, p. 193-197

74. Polzikova N.I., Raevskii A.O. Influence of vortex motion on magnetostatic wave propagation in the ferrite high temperature superconductor layered structure // Journal of Advanced Science, 1992, v.4, No.3, p. 197-201.

75. Ползикова Н.И. Резонансное взаимодействие магнитостатических волн с решеткой вихрей магнитного потока в сверхпроводниках // Письма в ЖТФ, 1993, т.19, в.22, с.28-32

76. Ползикова Н.И., Раевский А.О. Усиление спиновых волн в структуре магнетик-сверхпроводник с нелинейной вольтамперной характеристикой // Письма в ЖТФ, 1994, т.20, в. 19, с.24-29

77. Polzikova N.I., Raevskii А.О. Amplification of spin waves by moving magnetic flux vortices in magnet-superconductor layered structure // Journal of Magnetism and Magnetic Materials, 1995, v. 146, p.351-353

78. Gulyaev Yu.V., Ogrin Yu.F., Polzikova N.I., Ogrin F.Yu., Haycock P.W. Magnetoacoustic echo spectrum of a ferrite dielectric layered strucrure // Journal of Magnetism and Magnetic Materials, 1995, v.157/158, p.482-483.

79. Ползикова Н.И., Раевский А.О. К теории конвольвера на магнитостатических волнах в структуре феррит сверхпроводник II рода // Письма в ЖТФ, 1996, т.22, в. 10, с.56-61.

80. Ползикова Н.И., Раевский А.О. Особенности законов дисперсии поверхностных спиновых волн в структурах, содержащих сверхпроводник // ФТТ, 1996, т.38, в. 10, с.2937-2940

81. Гуляев Ю.В., Огрин Ю.Ф., Ползикова Н.И., Раевский А.О. Наблюдение поглощения объемных спиновых волн в структуре магнетик сверхпроводник// ФТТ, 1997, т.39, в.9, с. 1628-1631

82. Гуляев Ю.В., Огрин Ю.Ф., Ползикова Н.И., Раевский А.О. Однонаправленное уменьшение поглощения спиновых волн в структуре магнетик сверхпроводник под действием транспортного тока // Письма в ЖЭТФ, 1997, т.66, в. 1, с.50-53

83. Беспятых Ю.И., Василевский В., Харитонов В.Д. Влияние абрикосовских вихрей на распространение поверхностных магнитостатических волн в структуре ферромагнетик-сверхпроводник // ФТТ, 1998, т.40, №1, с.32-35

84. Tsutsumi M., Fukusako T. Broadband magnetically tunable superconducting microstrip resonator using yttrium iron garnet single crystal // Electronics Lett., 1998, V.33,(8), pp. 687-688

85. Tsutsumi M., Fukusako Т., Yoshida S. Propagation of magnetostatic surface wave in YBCO-YIG film-layered structure // IEEE Trans, on microwave theory and techniques. 1996, Y.44, N.8, P. 1410-1415

86. Карманенко С.Ф. Сверхпроводниковые и сегнетоэлектрические пленочные структуры в СВЧ микроэлектронике. Диссертация на соискание степени д.т.н.- СПбГЭТУ-ЛЭТИ, 2000, 430 С.

87. Зубков В.И., Щеглов В.И. Набег фазы поверхностных магнитостатических волн, распространяющихся в неоднородно намагниченных ферритовых пленках и структурах феррит-металл // Письма в ЖТФ, 1999, том 25, вып. 4, С. 79-84

88. С Карманенко С.Ф., Семенов А.А. СВЧ полосовой фильтр на основе пленочной структуры сверхпроводник/феррит (YBCO/YIG) // Письма в ЖТФ, 2000, т.26, вып. 4, с. 69-72

89. С Карманенко С.Ф., Семенов А.А., Мелков А.А., Исаков Н.Н., Васькевич Я. Исследование дисперсионных характеристик магнитостатических волн, распространяющихся на границе феррит-перовскитный слой // Письма в ЖТФ, 2000, т.26, вып. 20, с. 60-67

90. Гуляев Ю.В., Никитов С.А. Распространение поверхностных магнитостатических волн в пленках феррита с периодической полупроводниковой структурой // ФТТ, 1983, т.25, №8, с.2515-2517.

91. Гуфан Ю.М., Левченко И.Г., Рудашевский Е.Г. Магнитная восприимчивость и анизотропия глубины проникновения магнитного поля в высокотемпературных оксидных сверхпроводниках IIФТТ, 1999, Т.41,№9, С.1552-1555.

92. Panagopoulus С., Cooper J.R., Athanassopoulou N., Chrosch J. Effects of Zn doping on the anisotropic penetration depth of YBa2Cu307 // Physical Review B, 1996, vol.54, N.18, R12721 R12724

93. С Семенов A.A., Карманенко С.Ф., Мелков А.А., Бобыль А.В. Сурис Р.А. Гальперин Ю.М., Иохансен Т.Х. Исследование процесса распространения поверхностной магнитостатической волны в структуре феррит/ сверхпроводник И ЖТФ, 2001, принята к опубликованию

94. Vassenden F., Linker G., Geerk J. Growth direction control of YBCO thin films // Physica C, 1991, vol.175, p.566-672.

95. С Афросимов B.B., Ильин P.H., Карманенко С.Ф., Сахаров В.И., Семенов А.А., Серенков И.Т., Яновский Д.В. Исследование YBa2Cu307.x пленок на различных стадиях роста методом рассеяния ионов средних энергий // ФТТ, 1999.- Т.41, Вып.4.- с.588-595

96. Huttner D., Meyer O., Reiner J., Linker G. Crystalline quality analysis of YBCO ultrathin films by high resolution ion backscattering and channeling spectrometry. // Appl.Phy s.Lett., 1995,66(10), 1273-12757.

97. Vendik I.B., Vendik O.G. High temperature superconductor devices for microwave signal processing. Part 1. St.-Petersburg, TOO «Складень», 1997., pp.72-86

98. Вендик И.Б., Кондратьев B.B., Свищев A.A., Леппявуори С., Якку Э. Полосно-пропускающие микроволновые фильтры на пленках высокотемпературного сверхпроводника. // Письма в ЖТФ, 1999, т.24, №24, с. 50-54

99. Вендик О.Г., М., Гайдуков М.М., Карманенко С.Ф., Ковалевич Л., Козырев А.Б., Митрофанов А.П. СВЧ поверхностное сопротивление сверхпроводниковых пленок Y-Ba-Cu-O // Письма в ЖТФ, 1989, Т. 15, N.7,c. 69-72.

100. С Карманенко С.Ф., Семенов А.А., Свищев А.А, Сахаров В.И., Серенков И.Т., Нащекин А.В. Зависимость СВЧ поверхностного сопротивления от структуры и толщины YBCO сверхпроводящих пленок. // Письма в ЖТФ, 1999, т.25, № 15, с. 79-88.

101. Nieh C.W., Anthony L., Josefowicz J.Y., Krajenbrink F.G. Microstructure of epitaxial YBa Си О thin films. /IAppl.Phys.Lett., 1990, v.56, n.21, p.2138-2140.

102. Taber R.C. A parallel plate resonator technique for microwave loss measurements on superconductors II Rev.Sci. Instrum. 1990, vol.61, pp2200-2206.

103. Bobyl A.V., Karmanenko S.F., Leonov V.N., et al Excessive noise of epitaxial YBCO films for antenna-like bolometer // Proceed. Of Int.conference "Physics at the turn to the 21st century", St Petersburg, October 1998, Ioffe institute, P. 47.

104. Chien-Jang Wu Microwave properties of a composite superconducting structure in the mixed state // Physica C, 1998, v.305, p.293-300.

105. Vendik O.G., Galchenko S., Kaparkov D., et al Models of HTSC transmission lines as applied for CAD of microwave integrated circuits. // Chalmers University of Technology, 1994, report № 9. Goteborg, Sweden, p. 87.

106. Шанцев Д.В. Программа анализа магнитооптических изображений // (http://www.fys.uio.no/~dansh/).

107. Been С.Р. Magnetization of hard superconductors // Phys. Rev. Lett., 1962, Vol. 8, No. 6, p.250-253.

108. Zeldov E., Clem R.J., McElfresh M.,Darwin M. Magnetization and transport currents in thin superconducting films // Phys. Rev. B, 1994, Vol.49, No. 14, p.9802-9821.

109. Pearl J. Current distribution in superconducting films carrying quantized fluxoids // Appl. Phys. Lett. 1964, Vol. 5, No. 4, p.65-66.

110. Стальмахов B.C., Игнатьев A.A. Лекции по спиновым волнам. Издательство Саратовского университета, 1983, 182с.