Лазерная модификация полимеров тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.21, доктор физико-математических наук Битюрин, Никита Михайлович

• Битюрин, Никита Михайлович
• доктор физико-математических наук
• 2009

Оглавление диссертации доктор физико-математических наук Битюрин, Никита Михайлович

Введение.

Глава1 УФ лазерная модификация полимеров не связанная с нагревом вещества излучением.

1.1. Модели локальной лазерной модификации диэлектриков.

1.2 УФ лазерная модификация гелей и гибридов на основе оксида титана.

1.3. Волна просветления при УФ лазероиндуцированной радикальной полимеризации.

1.4 УФ лазерное фототравление пленок ПММА.

Глава 2 Лазерная абляция полимеров.

2.1 Введение.

2.2. Модель фотохимической лазерной абляции.

2.3. Фототермическая модель лазерной абляции. Наносекундные лазерные импульсы.

2.4. Субпикосекундная абляция.

2.5 Роль механических напряжений при лазерной абляции.

Глава 3. Лазеро- индуцированные структуры на поверхности полимеров.

3.1. Введение.

3.2. Свеллинг за счет давления паров при воздействии лазерного излучения на биологические среды.

3.3. Эксперименты по микро и наносвеллингу в полимерах.

3.4. Релаксационная модель лазерного свеллинга.

3.5. Термомеханическая модель возникновения выпуклой структуры на поверхности полимера.

3.6. Структуры на поверхности растянутых полимеров при воздействии УФ лазерного излучения вблизи порога абляции.

Глава 4. Объемная модификация полимеров фемтосекундными лазерными импульсами.

4.1 Введение.

4.2 Трехмерная побитовая лазерная оптическая запись информации.

4.3. Влияние нелокальных эффектов на пространственное разрешение нанообъектов при фемтосекундной лазерной полимеризации.

4.4. Флуктуационные ограничения минимального размера вокселя при лазерной нанополимеризации.

4.5. Модификация полимеров путем ионизации фемтосекундными лазерными импульсами.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Лазерная модификация полимеров»

Настоящая диссертация посвящена изучению воздействия на вещество лазерного излучения умеренных интенсивностей. Вопросы взаимодействия лазерного излучения с веществом интересовали исследователей с самого начала появления лазеров. В основном изучалось воздействие мощного инфракрасного лазерного излучения на металлы [1-4].

В конце 70-х начале 80-х в связи с коммерческим распространением эксимерных лазеров возник большой интерес к изучению взаимодействия ультрафиолетового излучения с веществом. Одновременно больший интерес стал проявляться к воздействию на вещество УФ гармоник ИК твердотельных лазеров. Особую роль в этих исследованиях стали играть полимерные материалы в связи с их повышенной чувствительностью к действию УФ излучения. Основной областью приложения считалась лазерная микролитография, важная технологическая стадия создания микроэлектронных приборов [5]. До этого в литературе обсуждалось воздействие УФ ламповых источников на полимерные материалы, в основном в связи с моделированием фотостарения конструктивных материалов [6] и в связи с фотолитографией [7]. Экспериментальные данные по воздействию на полимерные материалы мощных УФ ламповых источников лежали в основе кандидатской диссертации автора. В настоящей диссертации обсуждаются эксперименты, касающиеся только лазерного воздействия на вещество. Появление доступных мощных УФ лазерных источников с одной стороны подняло на новый уровень технологию микролитографии, основанной на жидкостном проявлении экспонированных участков, а с другой стороны обозначило интерес к специфическим процессам, таким как лазерное травление и абляция полимеров [8], которые предполагалось использовать в качестве основы для сухой литографии без участия жидкостных процессов. Эти направления развиваются до сих пор, однако не только в связи с микролитографией, так как стало понятно, что указанные процессы могут служить основой для наноструктурирования поверхности, что является одной из основ современных нанотехнологий.

Одновременно большой интерес возник к применению УФ лазеров в медицине, прежде всего в офтальмологии, например, для коррекции кривизны роговицы глаза при лечении близорукости [9]. Надо сказать, что если УФ излучение имеет лишь ограниченное применение в хирургии, то инфракрасные лазеры, особенно те, длина волны которых попадает в область поглощения жидкой воды, применяются очень широко [10].

Появление фемтосекундных лазерных систем, сначала это были лазеры на красителях с эксимерными усилителями, генерирующие УФ фемтосекундные лазерные импульсы, потом инфракрасные титан-сапфировые фемтосекундные лазеры, сделало актуальным рассмотрение вопросов о фемтосекундной лазерной модификации как поверхности, так и объема твердых тел.

В данной диссертации рассмотрены модели таких эффектов, как УФ лазерная модификация, травление и абляция полимерных материалов. Можно выделить основные особенности полимеров с точки зрения их взаимодействия с лазерным излучением, что позволяет выделить их в отдельную группу:

- Поглощение фотонов происходит внутри молекулярной группы - хромофора. Первое возбужденное состояние — связанное (не свободное).

- Полимеры организованы в виде цепей элементарных молекулярных, мономерных, групп. Между соседними элементарными молекулярными группами может быть сильная, ковалентная, связь либо — слабая молекулярная связь

- Рассматриваемые в данной диссертации полимеры, либо полукристаллические, (полиимид, полиэтилентерефталат), либо - аморфные (полиметилметакрилат).

- Особенности структурных изменений, происходящих при нагреве. Для полимеров характерны не фазовые, а релаксационные структурные переходы.

- При поглощении УФ фотонов происходит сильное изменение оптических свойств (меняется спектр поглощения).

При поглощении полимерным материалом УФ фотона происходит электронный переход в участках полимерных молекул, которые называются хромофорами, содержащими, как правило, системы двойных С=С и С=0 связей [11]. Электронно-возбужденное состояние, чаще всего локализовано в области хромофора, таким образом, переход этот является переходом в связанное состояние [12], что является особенностью полимерных материалов, рассмотренных в данной работе. При электронном возбуждении в полимерах с некоторым квантовым выходом происходят химические реакции, это может быть отрыв или развал боковых групп, сопровождающийся появлением низкомолекулярных веществ или разрыв основной полимерной цепи. Таким образом, сильные ковалентные связи заменяются более слабыми молекулярными связями. В исходно прозрачных полимерах эти реакции приводят также к образованию дополнительный двойных С=С связей, что сопровождается увеличением оптического поглощения в УФ диапазоне. Отметим, что химические процессы, происходящие в полимерах при поглощении УФ фотонов, хорошо изучены [13-15] и не являются темой данной работы, в которой изучаются физические аспекты взаимодействия лазерного излучения с полимерами, имея ввиду известные химические процессы. В частности, изменение концентрации двойных связей в полимере делает актуальной задачу о рассмотрении лазерной модификации вещества сопровождающейся существенным изменением коэффициента поглощения в процессе воздействия на длине волны действующего излучения. В достаточно общем виде эта задача рассмотрена в первом параграфе первой главы диссертации. Отметим, что область применимости общих моделей, рассмотренных в первой главе диссертации конечно гораздо больше, чем только модификация полимерных материалов. Тем не менее, именно область науки, обозначенная темой диссертации, дает многочисленный экспериментальный материал для этого, что подтверждается содержанием остальных трех параграфов первой главы, где проведен анализ конкретных экспериментальных результатов по воздействию УФ лазерного излучения на полимерные материалы, при котором действие УФ излучения не связано с общим нагревом вещества излучением.

Так, в работе подробно проанализированы эксперименты по воздействию пятой гармоники неодимового лазера (в экспериментах в качестве задающего генератора использовался Nd:YAP лазер, генерирующий на длине 1.08 мкм, так что длина волны пятой гармоники была 216 нм) на тонкие пленки ПММА, в условиях, когда нагрев вещества был не существенным. Отметим, что эти эксперименты были одними из первых, если не самыми первыми по воздействию пятой гармоники неодимового лазера на полимерные материалы. Особенностью данной длины волны является то, что она попадает в область максимума поглощения сложноэфирной группы, основного хромофора ПММА в области дальнего ультрафиолета. В эксперименте был обнаружен заметный эффект травления пленок, т.е уменьшение их толщины в процессе воздействия. В диссертации показано, что найденная в первом параграфе первой главы симметрия решений уравнений, описывающих объемную модификацию, позволяет получать аналитические решения для задач модификации материалов, приводящей к движению границы среды. Были рассмотрены два предельных случая поверхностного и объемного травления полимерных пленок и путем сравнения с экспериментальными данными показано, что объемные эффекты при травлении пленок ПММА излучения пятой гармоники имеют определяющее значение.

Если эффекты фотодеструкции в прозрачном оптическом диапазоне полимеров связаны с возникновением дополнительных двойных связей, приводящих к общему увеличению оптического поглощения в УФ диапазоне, то существует обратный эффект -полимеризация, объединение исходно низкомолекулярных мономеров в полимерные цепи путем радикальных реакций через раскрытие двойных связей [16]. Таким образом, исходный мономер отличается от мономерного звена в составе полимерной цепи наличием дополнительной двойной связи. То есть, при полимеризации имеет место просветление в определенном диапазоне длин волн. Этот эффект был экспериментально обнаружен и исследован в лаборатории автора диссертации при воздействии четвертой гармоники неодимового лазера на метилметакрилат. В диссертации сформулирована и проанализирована модель этого эффекта с использованием математического аппарата, развитого в первом параграфе. В настоящее время лазерной полимеризации уделяется много внимания в литературе [17], так как лазер оказывается удобным инструментом для создания сложных структур с помощью полимеризации.

До сих пор речь шла об органических полимерах, однако в первой главе анализируется также воздействие лазерного излучения на неорганические полимеры — полимерные гели на основе диоксида титана. Вообще воздействие УФ излучения на различные среды, содержащие диоксид титана очень интенсивно изучаются в литературе в связи с вопросами фотокатализа и создания эффективных солнечных батарей [18]. При воздействии УФ излучения с энергией фотона большей, чем энергия запрещенной зоны этого полупроводника, рождается электрон-дырочная пара. При наличии поверхности между титан-оксидом и окружающей средой эти носители могут уйти через эту поверхность или рекомбинировать внутри среды. Однако, если происходит захват одного из носителей внутри объема или на поверхности окисла, то это приводит к появлению дополнительного поглощения в области прозрачности. В спиртовых коллоидных растворах наночастиц оксида титана происходит захват дырок молекулами растворителя, что приводит к захвату избыточных электронов внутри наночастиц и созданию Ti3+ центров, поглощающих в видимом диапазоне. Автором совместно с группой французских исследователей был обнаружен эффект эффективного создания таких Ti3+ центров в полимерных титан-оксидных гелях. Визуально этот эффект выглядит как резкое почернение исходно прозрачного образца при воздействии лазерного излучения (в экспериментах использовалась третья гармоника Nd:YAG лазера). Высокая эффективность создания Ti3+ центров, по-видимому, связана с тем, что структурные единицы таких гелей, которые изначально находятся в спиртовой среде, настолько малы, что обеспечивается эффективная откачка дырок в растворитель, что приводит к увеличению вероятности создания Ti центров оставшимися избыточными электронами. Полимерные гели имеют уникальные оптические свойства, однако механически они не стабильны, поэтому важным продолжением этой работы было получение гибридных материалов, состоящих из двух взаимно проникающих полимерных сеток, одна из которых титан-оксидный гель, а другая - сетка органического полимера. Так как мономерная единица этого органического полимера является спиртом, то гибридный материал, представляющий собой твердое стабильное вещество, которое может быть подвергнуто полировке, имеет оптические свойства схожие с оптическим свойствами гелей. В первой главе диссертации рассмотрена модель модификации титан-оксидных гелей и гибридов на основе этих гелей при воздействии третьей гармоники Nd:YAG лазера. Показано, что математически эти модели относятся к типу задач, описанных в первом параграфе главы 1, а сравнение теоретических и экспериментальных результатов позволило оценить параметры этих моделей и выделить наиболее важные процессы.

Лазерная абляция или послойное удаление вещества при воздействии лазерного излучения является одним из основных эффектов, используемых для микро- и нано-структурирования поверхности полимерных материалов

Автором диссертации опубликовано два приглашенных обзора по лазерной абляции полимеров [2*, 19].

В третьей главе диссертации сформулирована и проанализирована так называемая объемная модель лазерной абляции полимеров, предложенная и разработанная автором диссертации. В основе этой модели лежит представление о том, что причиной лазерной абляции является реакция разрыва полимерных цепей внутри облучаемого объема за счет реакции, активированной лазерным нагревом. С поверхности испаряются осколки полимерных цепей, связанные с поверхностью молекулярными связями. Предсказания этой модели сравниваются с другими моделями лазерного испарения твердых тел. [1-4].

Одним из интересных и важных явлений с точки зрения микро и наноструктурирования поверхности полимерных материалов является свеллинг или локальное увеличение объема вещества при поверхностной области под действием лазерного излучения. Внешне это выглядит как появление холмика на облученной поверхности.

Несмотря на то, что этот эффект был обнаружен, по-видимому, примерно тогда же, когда и лазерная абляция полимеров, в литературе до начала данной диссертационной работы практически не существовало реальной модели этого явления. Первое время в литературе в разных вариантах присутствовала модель лазерного свеллинга, которую можно условно назвать моделью «аморфизации», которая в явном виде была сформулирована в ранней работе с участием автора данной диссертации [26*]. То есть при некоторой фиксированной температуре происходит некий необратимый структурный переход, приводящий к увеличению объема. Примером такого перехода является по сути необратимая аморфизация поликристаллических полимеров, рассмотренная в работе[26*], как объяснение экспериментальных результатов, полученных в работе [20].

Свеллинг очень ярко выражен при воздействии ИК лазерного излучения на мягкие биологические ткани. Одной из причин свеллинга таких сред можно было бы назвать денатурацию белков при лазерном нагреве. Такое объяснение также лежит в плоскости моделей «аморфизации». Однако в таких средах свеллинг связан, скорее, с испарением внутритканевой воды, пары которой оказывают давление на белковую матрицу, вызывая деформацию последней. Таким образом, одной из моделей свеллинга является деформация полимерной основы под действием давления, оказываемого нагретыми низкомолекулярными веществами.

Однако, как показано в диссертации, для искусственных полимеров, таких как полиметилметакрилат (ПММА), который, кстати, относится к полностью аморфным полимерам, более актуальными являются другие механизмы лазерного свеллинга связанные, в частности, с релаксационным характером структурных изменений вещества при нагреве, характерным для полимерных материалов [21]. В диссертации подробно рассмотрены оригинальные модели свеллинга полимеров.

При воздействии лазерного излучения на поверхности материала могут образовываться спонтанные структуры. Среди подобного рода структур являются так называевые структуры 'walls and naps', образующиеся на поверхности растянутых полимерных пленок при воздействия лазерного излучения вблизи порога абляции. В третьей главе диссертация построена модель, объясняющая некоторые характерные особенности данных структур.

Последняя глава диссертации посвящена изучению особенностей воздействия на полимерные материалы сильно сфокусированного излучения фемтосекундных лазеров.

Важной особенностью фемтосекундных лазерных импульсов, делающей их привлекательной для технологических приложений, является то, что при сравнительно небольшой энергии в импульсе удается путем фокусировки получить достаточно большие плотности мощности для того, чтобы стали существенными нелинейные оптические эффекты в прозрачных на длине волны действующего излучения диэлектриках. Особый интерес здесь представляет возможность локально инициировать фотохимические реакции за счет многофотонного поглощения фемтосекундного излучения, сфокусированного в объем образца. Одно из наиболее ярких приложений этого эффекта — это трехмерная оптическая запись информации [22]. В диссертации показано, что попытки послойно записывать информацию в отдельных точках путем фокусировки излучения линейным образом поглощаемого веществом, обречены на провал с точки зрения получения высокой плотности записываемой информации из-за эффекта паразитной записи. В то же время показано, что при двухфотонной записи плотность записанной информации вполне может обеспечить создание 100 терабайтных оптических дисков, так что основное ограничение здесь связано с проблемой считывания информации.

Другой важной задачей, актуальной для современных нанотехнологий, также решаемой с помощью сканирования сильно сфокусированных в объем диэлектрика фемтосекундных лазерных импульсов, является получение практически произвольных структур и объектов с нанометровым пространственным разрешением. Здесь, однако существует ограничение разрешающей способности, связанной не только с эффектом дифракции, но и с нелокальным откликом среды на локальное воздействие лазерного излучения. Эти вопросы рассмотрены в диссертации на примере одного из наиболее успешных в настоящее время способов получения микро и наноструктур — многофотонной лазерной полимеризации [17].

Важной особенностью действия сильно сфокусированного фемтосекундного лазерного излучения является то, что для создания структур внутри твердых диэлектриков можно использовать эффект лазерного пробоя. Так в начале 90-х годов было показано, что пробой диэлектриков хорошо сфокусированными фемтосекундными лазерными импульсами приводит к модификации вещества локализованной в области фокального объема [23]. Отметим, что это не всегда имеет место при воздействии даже пикосекундными лазерными импульсами, когда область пробоя может иметь сложную морфологию, включающую трещины. Если, как было установлено ранее, при воздействии наносекундных лазерных импульсов важную роль в пробое вещества играют неоднородности, инородные включения, то в случае остро сфокусированных фемтосекундных лазерных импульсов важную роль играет собственный процесс пробоя. В диссертации рассмотрены вопросы увеличения чувствительности полимерных материалов к собственному пробою сильно сфокусированными фемтосекундными лазерными импульсами путем перекачки части энергии основной частоты (ИК) во вторую гармонику. При этом рассматриваются как одноимпульсные лазерные воздействия, так и многоимпульсный пробой, где особую роль играют диэлектрики с большим количеством мелких электронных ловушек.

Таким образом, актуальность темы диссертации связана с тем, что лазерная модификация полимеров является составной частью многих современных технологий, в частности, нанотехнологий.

Целью диссертации является проведение фундаментального исследования процессов, лежащих в основе взаимодействия лазерного излучения умеренных интенсивностей с полимерными средами, создание моделей этих процессов, с одной стороны, имеющих значение с точки зрения решение общей проблемы взаимодействия лазерного излучения с веществом, а с другой стороны отражающих специфику именно полимерных материалов.

Практическая значимость диссертации состоит в том, что здесь на основе анализа большого количества экспериментальных данных построены простые математические модели процессов, происходящих при взаимодействии лазерного излучения с полимерами. Для моделирования такого важного процесса, как лазерная абляция, создана компьютерная программа с дружелюбным интерфейсом, с помощью которой можно проводить конкретные расчеты. Эти модели могут быть использованы при создании новых технологий или совершенствования имеющихся. В частности, получены некоторые фундаментальные ограничения существующих технологий микро- и нано-структурирования материалов.

На защиту выносятся следующие положения

1. Выделенный в диссертации класс систем уравнений, описывающих УФ модификацию вещества, имеет решение, которое при однородных начальных условиях представляют собой движение не деформируемого профиля с переменной скоростью. Эти уравнения применимы для моделирования широкого круга экспериментально изученных процессов. Эта симметрия решений позволяет получить аналитические решения для систем с движущейся границей описывающих такие физические явления как УФ лазерное травление и фотохимическую лазерную абляцию полимеров.

2. При воздействии 3-ей гармоники Nd:YAG лазера на гели и органо-неорганических гибридные материалы на основе двуокиси титана наблюдается сильное наведенное широкополосное оптического поглощение. Время существования наведенного поглощения может быть как угодно долгим. Наведенное поглощение связано с фотоиндуцированным переходом > Эффективность образования центров в гелях большая (в гелях квантовый выход составляет 0.25, до 7% Ti4+ могут быть переведены в

Ti3+ состояние, в гибридах соответственно 0,012, и 14%), по сравнению с эффективностью подобных процессов в кристаллах, порошках и коллоидных растворах TiCb. Основные закономерности этого явления описываются построенной в диссертации теоретической моделью.

3. Лазерное облучение метилметакрилата и родственных ему мономеров в полосе поглощения мономера (Х=270 нм, четвертая гармоника Nd:YAP лазера) приводит к полимеризации в отсутствии специально введенных инициаторов. Полимеризация здесь проходит в режиме просветления реакционной среды. Это делает возможным полимеризацию слоев, толщина которых существенно превышает исходную глубину проникновения инициирующего излучения. Построенная аналитическая модель этого явления позволяет описать экспериментальные данные по лазероиндуцированному просветлению этой сложной среды при воздействии лазерного излучения различной интенсивности.

4. При облучении субмикронных пленок полиметилметакрилата излучением пятой гармоники Nd: YAP лазера (А,=21бнм) ниже порога абляции наблюдается уменьшение толщины облучаемой пленки, то есть происходит УФ лазерное травление. При прочих равных условиях абсолютная скорость травления увеличивается с увеличением исходной толщины пленки, в то время как относительная скорость, то есть отношение скорости к исходной толщине пленки, с увеличением исходной толщины падает. Скорость травления существенно зависит от окружающей среды. В воздухе и в вакууме начальные скорости травления практически совпадают, но при продолжении облучения травление в воздухе происходит более эффективно. Эти особенности объясняются с помощью оригинальной объемной модели лазерного травления.

5. Имеющиеся в литературе экспериментальные данные по абляции сильно поглощающих полимеров наносекундными и субпикосекундными лазерными импульсами УФ диапазона, приведенные в диссертации, описываются построенной в диссертации оригинальной объемной моделью фототермической лазерной абляции полимеров.

6. Экспериментальные результаты по свеллингу ПММА с введенными красителями под воздействием наносекундных импульсов второй гармоники Nd: YAG лазера, полученные в диссертации, и опубликованные в литературе экспериментальные результаты по динамике свеллинга чистого ПММА при воздействии эксимерного KrF лазером с длиной волны 248нм, описываются релаксационной моделью свеллинга полимерных материалов.

7. Самообразующиеся некогерентные структуры, наблюдаемые при воздействии лазерного излучения на растянутые полимерные пленки вблизи порога абляции, можно интерпретировать как системы расположенных на оптимальном расстоянии друг от друга трещин, которые развиваются в модифицированном поверхностном слое.

8. Прямая трехмерная оптическая однофотонная запись информации неэффективна из-за эффекта паразитной экспозиции. При двухфотонной записи для данной допустимой паразитной экспозиции существует оптимальная конфигурация точек записи, которая дает максимально возможную плотность информации. Эффект паразитной экспозиции не препятствует прямой двухфотонной записи 100 терабайтных дисков.

9. Выведенные в диссертации простые формулы позволяют для конкретных полимеризующихся сред оценить влияние диффузии малых радикалов на начальной стадии импульсной полимеризации на возможные минимальные расстояния между элементарными наноструктурами, а также сделать оценки ограничения, накладываемого на минимальный размер наноструктур флуктуационными неоднородностями получающейся в результате полимеризации сетки зацепления макромолекул — геля.

10. При объемной модификации вещества сильно сфокусированным пучком фемтосекундного лазера, когда модификация вещества связана с ионизацией, преобразование части энергии основной частоты во вторую гармонику может существенно понизить порог модификации как в случае как одноимпульсного, так и многоимпульсного воздействия.

Новизна результатов диссертации заключается в следующем.

1. Обнаружено эффективное, с большим квантовым выходом, образование Ti3+ центров, при воздействии 3-ей гармоники Nd:YAG лазера на гели и органо-неорганических гибридные материалы на основе оксида титана. Построена оригинальная модель, описывающая экспериментальные данные по изменению оптического пропускания образцов при воздействии лазерного излучения.

2. Впервые проведено экспериментальное исследование эффекта травления субмикронных пленок полиметилметакрилата излучением пятой гармоники Nd: YAP лазера (Х.=216нм) ниже порога абляции. Построена оригинальная модель объемного травления полимерных пленок, сопровождающегося модификацией оптических свойств вещества, позволяющая объяснить и описать основные черты наблюдаемых явлений.

3. Построены оригинальные модели лазерной абляции полимеров, которые в явном виде учитывают специфику полимерных материалов. Проанализировано различие в предсказаниях этих моделей от традиционных моделей лазерного испарения простых веществ. Показана применимость таких моделей для описания имеющихся экспериментальных данных по УФ лазерной абляции сильнопоглощающих полимеров.

4. Построены оригинальные модели лазерного свеллинга полимеров и полимероподобных сред: модель пластических деформаций при механической разгрузке и релаксационная модель.

5. Впервые показано, что экспериментальные результаты по свеллингу ПММА с введенными красителями под воздействием наносекундных импульсов второй гармоники Nd: YAG лазера, и экспериментальные данные по динамике свеллинга чистого ПММА при воздействии эксимерного KrF лазером с длиной волны 248нм, опубликованные в литературе, описываются релаксационной моделью свеллинга полимерных материалов.

6. Построена оригинальная модель, позволяющая объяснить самообразующиеся некогерентные структуры, наблюдаемые при воздействии лазерного излучения на растянутые полимерные пленки вблизи порога абляции, как системы расположенных на оптимальном расстоянии друг от друга трещин, которые развиваются в модифицированном поверхностном слое.

7. Впервые рассмотрено влияние эффекта паразитной экспозиции при трехмерной оптической фотохимической побитовой записи информации. j 1

8. Впервые получены формулы, позволяющие для конкретных полимеризующихся сред оценить влияние диффузии малых радикалов на начальной стадии импульсной полимеризации на возможные минимальные расстояния между элементарными наноструктурами, а также сделать оценки ограничения, накладываемого на минимальный размер наноструктур флуктуационными неоднородностями получающейся в результате полимеризации сетки зацепления макромолекул — геля.

Апробация результатов диссертации

По теме диссертации опубликовано 36 статей в рецензируемых отечественных и зарубежных научных журналах, 16 статей в сборниках, более 20 тезисов докладов на международных конференциях.

Основные результаты исследований, представленных в диссертации, докладывались и обсуждались на следующих научных конференциях:

Всесоюзная конференция по взаимодействию оптического излучения с веществом, Ленинград, 1990, International Conference Nonresonant Laser Matter Interaction, NLMI-9,10,11, St. Petersburg, 1996,2000, 2003;

Международ, конф.по когерентной и нелинейной оптике, Ленинград, 1991; Int. Conf. on Coherent and Nonlinear Optics, ICONO, St. Petersburg, 1995, Minsk, Belarus, 2001; ICONO/LAT (Laser Applications and Technology), Minsk, Belarus, 2007;

International Conference on Advanced and Laser Technology, ALT'92, Moscow, 1992; International Conference on Photoexcited Processes and Aplications, ICPEPA, Jerusalem, Israel, 1995, Lecce, Italy, 2004, Sapporo, Hokkaido, Japan, 2008;

European Materials Research Society( E-MRS) Spring Meeting, 1996, 2000, 2002, 2004, 2005, 2007, Страсбург, Франция;

International Conference on Laser Ablation, COLA, Monterey , California, USA, 1997, Tsukuba, Japan, 2001, Hersonissos, Crete, Greece, 2003;

International Symposium "Topical Problems of Nonlinear Wave Physics" (NWP-2003), Nizhny Novgorod, 2003;

International Conference on High-Power Laser Ablation, Taos, New Mexico, USA, 2006;

International Conference "Fundamentals of Laser Assisted Micro- and Nanotechnologies" (FLAMN-07), St. Petersburg, 2007;

Международный Форум по Нанотехнологиям. Москва: 2008.

Личное участие автора в получении опубликованных результатов.

Все изложенные в диссертации оригинальные результаты получены при непосредственном и активном участии автора либо им лично, либо под его научным руководством.

Заключение диссертации по теме «Лазерная физика», Битюрин, Никита Михайлович

Заключение

В заключение сформулируем основные результаты диссертационной работы.

1. Выделен класс систем уравнений в частных производных, описывающих УФ модификацию вещества, решение которых с однородными начальными условиями представляют собой движение недеформируемого профиля с переменной скоростью. Показана применимость таких систем уравнений для моделирования широкого круга экспериментально изученных процессов лазерной модификации, не связанной с нагревом вещества излучением. Выделенная симметрия решений позволяет получить аналитические решения для систем с движущейся границей описывающих такие физические явления как УФ лазерное травление и фотохимическую лазерную абляцию полимеров.

2. Обнаружен эффект образования сильного наведенного оптического широкополосного поглощения в гелях и органо-неорганических гибридных материалах на основе двуокиси титана, при воздействии 3-ей гармоники Nd:YAG лазера. Показано, что время существования наведенного поглоще-ния может быть как угодно долгим. Наведенное поглощение связывается с фотоиндуцированным переходом Ti4+—»• Ti3+. Причем эффективность образо-вания Ti3+ центров в гелях оказывается большой (в гелях квантовый выход составляет 0.25, до 7% Ti4+ могут быть переведены в Ti3+ состояние, в гибридах соответственно 0,12, и 14%), по сравнению с эффективностью подобных процессов в кристаллах, порошках и коллоидных растворах ТЮг, что связывается с особенностью строения этих материалов на наноуровне. Построена модель, позволяющая описать основные закономерности этого явления. Показано, что если ограничение максимального числа Ti3+ центров в гелях в основном связано с ионизацией Ti3+ центров, то в случае гибридных материалов существенным также оказывается процесс уничтожения Ti центра быстрыми дырками, образующимися при УФ индуцированном создании электрон-дырочной пары.

3. Показано, что лазерное облучение метилметакрилата и родственных ему мономеров в полосе поглощения мономера (Х-270 нм, четвертая гармоника Nd:YAP лазера) приводит к полимеризации в отсутствии специально введенных инициаторов. Показано, что полимеризация проходит в режиме просветления реакционной среды. Это делает возможным полимеризацию слоев, толщина которых существенно превышает исходную глубину проникновения инициирующего излучения. Построена аналитическая модель этого явления, связывающая просветление с цепной реакцией образования полимера из мономеров. Эта модель позволяет описать экспериментальные данные по

327 лазероиндуцированному просветлению этой сложной среды при воздействии лазерного излучения различной интенсивности.

4. Обнаружено, что при облучении субмикронных пленок полиметилметакрилата излучением пятой гармоники Nd: YAP лазера (>.=216 нм) ниже порога абляции наблюдается уменьшение толщины облучаемой пленки, то есть происходит УФ лазерное травление. При прочих равных условиях абсолютная скорость травления растет с увеличением исходной толщины пленки, в то время как относительная скорость, то есть отношение скорости к исходной толщине пленки, с увеличением исходной толщины падает. Экспериментально показано, что фототравление сопровождается нарастанием среднего коэффициента поглощения на длине волны действующего излучения. Скорость травления существенно зависит от окружающей среды. В воздухе и в вакууме начальные скорости травления практически совпадают, но при продолжении облучения травление в воздухе происходит более эффективно. Эти особенности объясняются с помощью оригинальной объемной модели лазерного травления.

5. Построена модель фотохимической лазерной абляции полимеров с учетом модификации оптических свойств вещества. Эта модель наиболее актуальна для действия лазеров вакуумного ультрафиолетового диапазонов (ВУФ лазеров). Показана необходимость рассмотрения тепловых режимов лазерной абляции для определения самосогласованности таких моделей. Выделены режимы ВУФ лазерной абляции, при которой она может быть рассмотрена как чисто фотохимическая. Показано, что этим требованиям удовлетворяет около пороговая многоимпульсная абляция ПММА наносекундным лазерным излучением с длиной волны 125 нм.

6. Построены оригинальные фотофизическая и объемная фототермическая модели лазерной абляции полимеров. В этих моделях нагрев материала излучением играет существенную роль для процесса абляции. Объемная модель объясняет имеющиеся в литературе экспериментальные данные по лазерной абляции сильнопоглощающих полимеров. Показано, что характерная зависимость толщины аблированного слоя при воздействии двумя одинаковыми УФ фемтосекундными лазерными импульсами от задержки между ними связана в основном со спецификой электронного отклика среды на действие фемтосекундных импульсов и в меньшей степени определяется механизмом абляции. Показано, что время задержки начала абляции после окончания УФ фемтосекундного лазерного импульса чувствительно к механизму лазерной абляции. Для фотофизической абляции эта задержка меньше времени электронно-колебательной релаксации, для поверхностной модели эта задержка порядка времени релаксации и для объемной модели - больше времени релаксации. Показано, что . имеющиеся экспериментальные данные говорят в пользу объемной модели.

7. Построены основные модели лазерного свеллинга полимеров и полимероподобных сред: модель распирания полимерной матрицы газами, образующимися в веществе при действии лазерного излучения, модель пластических деформаций при механической разгрузке и релаксационная модель. Показано, что особенности динамики свеллинга катарактозного хрусталика при воздействии излучения KGSS:Er лазера (/1=1.54 мкм), работавшего в режиме свободной генерации, описывается моделью испарения внутритканевой воды, оказывающей давление и деформирующей белковую основу ткани, с учетом переноса молекул воды в газовой фазе внутри деформированного вещества в присутствии жидкой фазы. Показано, что экспериментальные результаты по свеллингу ПММА с введенными красителями под воздействием наносекундных импульсов второй гармоники Nd: YAG лазера и экспериментальные результаты по динамике свеллинга чистого ПММА при воздействии эксимерного KrF лазером с длиной волны 248 нм, опубликованные в литературе, описываются релаксационной моделью свеллинга полимерных материалов.

8. Самообразующиеся некогерентные структуры, наблюдаемые при воздействии лазерного излучения на растянутые полимерные пленки вблизи порога абляции, можно интерпретировать как системы расположенных на оптимальном расстоянии друг от друга трещин, которые развиваются в модифицированном поверхностном слое. Эта модель удовлетворительно объясняет экспериментально наблюдаемую зависимость периода структур от количества лазерных импульсов, коэффициента поглощения на используемой длине волны и от плотности энергии лазерного излучения.

9. Рассмотрено влияние эффекта паразитной экспозиции при трехмерной оптической фотохимической побитовой записи информации. Показано, что прямая трехмерная оптическая однофотонная запись информации неэффективна. При двухфотонной записи для данной допустимой паразитной экспозиции существует оптимальная конфигурация точек записи, которая дает максимально возможную плотность информации. Оценки показывают, что эффект паразитной экспозиции не препятствует прямой двухфотонной записи 100 терабайтных дисков.

10. На примере получения наноструктур путем двухфотонной полимеризации под воздействием сфокусированного излучения фемтосекундного лазера рассмотрены ограничения, связанные с нелокальным откликом среды. Получены формулы, позволяющие для конкретных полимеризующихся сред оценить влияние диффузии малых радикалов на начальной стадии импульсной полимеризации на возможные минимальные расстояния между элементарными наноструктурами, а также сделать оценки ограничения, накладываемого на минимальный размер наноструктур флуктуационными неоднородностями получающейся в результате полимеризации сетки зацепления макромолекул - геля.

11. Показано, что при объемной модификации вещества сильно сфокусированным пучком ИК фемтосекундного лазера, когда модификация вещества связана с ионизацией, преобразование части энергии основной частоты во вторую гармонику может существенно понизить порог модификации как в случае одноимпульсного, так и многоимпульсного воздействия. В случае одноимпульсной модификации использование второй гармоники может значительно увеличить эффективность многофотонной ионизации, тогда как излучение основной частоты более эффективно для ударной ионизации. При этом существует оптимальный коэффициент преобразования энергии во вторую гармонику. При многоимпульсном воздействии на диэлектрик с большим количеством электронных ловушек преобразование части энергии во вторую гармонику приводит к эффективной ионизации более глубоких ловушек, что существенно увеличивает эффективность процесса модификации вещества.

Список литературы диссертационного исследования доктор физико-математических наук Битюрин, Никита Михайлович, 2009 год

1. Анисимов С.И., Имас Я.А., Романов Г.С., Ходыко Ю.В. Действие излучения большой мощности на металлы. М. : Наука, 1970. - 272с.

2. Веденов А.А., Гладуш Г.Г. Физические процессы при лазерной обработке материалов. -М.: Энергоатомиздат, 1985. 207с.

3. Карлов Н. В, Кириченко Н. А., Лукьянчук Б. С. Лазерная термохимия. Основы и применения. М.: Центрком,.1995. 367с.

4. Bauerle D. Laser Processing and Chemistry. Berlin : Springer, 3rd ed., 2000.

5. Rothschild M., Ehrlich D. J. A review of excimer laser projection lithography// J. Vac. Sci. Technol. B, 1988. V.6. -P. 1-17 .

6. Минскер K.C., Колесов С. В., Заиков Г. Е. Старение и стабилизация полимеров на основе поливинилхлорида,- М.: Наука, 1982. 272 с.

7. Moreau W.M. Semiconductor Lithography. NewYork : Plenum, 1988 .

8. Srinivasan R., Braren B. Ultraviolet-laser ablation of organic polymers// Chem. Rev. 1989, -V. 89, №.6-P. 1303-1316.

9. Ren Q., Keates R.H., Hill R.A., Berns M.W. Laser refractive surgery: a review and current status// Opt. Eng. 1995. -V.34. No 3,- P.642-659.

10. Каменский В.А., Исследование режимов лазерной модификации мягких биотканей при помощи ИК лазерных устройств // Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. Саратовский Государственный Университет, 2001.

11. Гиллем А., Штерн Е. Электронные спектры поглощения органических соединений. — М.: Иностранная литература, 1957. 386 с.

12. Guillet J. Polymer Photophysics and Photochemistry. — Cambridge: Cambridge University Press, 1985.

13. Ranby В., Rabek J.F. Photodegradation, Photooxidation, and Photostabilization of Polymers. London: Wiley, 1975.

14. Шляпинтох В. Я. Фотохимические превращения и стабилизация полимеров. -М.: Химия, 1979.-344с.

15. Эмануэль Н М Бучаченко А Л. Химическая физика старения и стабилизации полимеров. М.: Наука, 1982. - 360с.

16. Оудиан Дж. Основы химии полимеров.- перевод с англ. -М.: Мир, 1974. 614с.

17. Sang-Hu Park, Dong-Yol Yang, and Kwang-Sup Lee, Two-photon stereolithography for realizing ultraprecise three-dimensional nano/microdevices// Laser & Photon. Rev. 2009. V.3, No. 1-2.-P. 1-11.

18. Bach U., Lupo D., Comte P., Moser J.E., Weissortel F., Salbeck J., Spreitzer H. and Gratzel M. Solid-state dye-sensitised mesoporous Ti02 solar cells with high photon-to-electron conversion efficiencies//Nature. 1998. V.395. P. 583-585.

19. Bityurin N., Studies on laser ablation of polymers// Annual Report on the Progress of Chemistry C. 2005. V. 101. - P. 216-247.

20. Himmelbauer M., Arenholz E., Bauerle D., Schilcher K. UV-laser-induced surface topology changes in polyimide// Appl. Phys. A. 1996. V.63 - P.337-339.

21. Тагер А.А. Физикохимия полимеров. M: Химия, 1978. - 544с.

22. Parthenopoulos D.A. , Rentzepis P.M. 2-photon volume information-storage in doped polymer systems// J. Appl. Phys. 1990. -V. 68, №11.- P.5814 -5818.

23. Glezer E.N., Milosavljevic M., Huang L., Finlay R.J., Her T.-H., Callan J.P., and Mazur E. Three-dimensional optical storage inside transparent materials// Opt. Lett. 1996, -V. 21, №24, -P. 2023-2025.

24. Mauser H. Zur formalen Photokinetik. IV. Der Ablauf einfacher Photoreaktionen in Zaehen Medien// Z. Naturforsch. 1967, -V. 22B, №6, S. 569-573.

25. Mauser H. Der Ablauf komplizieter Photoreaktionen in Zaehen Medien// Z. Naturforsch. 1979, -V. 34C, №12, S. 1264-1268.

26. Pettit G.H., Sauerbrey R. Pulsed ultraviolet-laser ablation// Appl. Phys. A. 1993. V.56, № 1,-P. 51-63.

27. Pettit G. H., Ediger M. N., Hahn D. W., Brinson В. E., Sauerbrey R. Transmission of polyimide during pulsed ultraviolet-laser irradiation// Appl. Phys. A. 1994. V. 58, № 6. - P. 573-579.

28. Lippert Т., Bennett L.S., Nakamura Т., Niino H., Ouchi A., Yabe A. Comparison of the transmission behavior of a triazeno-polymer with a theoretical model// Appl. Phys. A. 1996. V. 63, №3,-P. 257-265.

29. Mansour N., Ghaleh K.J. Ablation of polyethylene terephthalate at 266 nm// Appl. Phys. A. 2002. V. 74. - P. 63-67.

30. Dyer P.E., Karnakis D.M., Oldershaw G.A. Analysis and experimental-study of one-photon incubated absorption in polymers// Appl. Surf. Sci. 1995. V. 86, № 1-4. - P. 1-6.

31. Битюрин H. M., Генкин B.H., Соколов В.В., Эволюция наведенного поглощения в полимерах при различных механизмах фотостарения// Высокомолек. соед. сер.А, 1982, -Т.24, №4, С. 748 - 754.

32. Gratzel М. Mesoporous oxide junctions and nanostructured solar cells // Current Opinion in Colloid & Interface Science, 1999, V.4, - P. 314-321.

33. Franco Garcia M.L. Elaboration par voie sol-gel de masses catalytiques a base de dioxyde de titane рощ reactions de photo-oxydation en solution // These de l'universite Claude Bernard, Lyon 1., 1996.

34. Wang R., Hashimoto K., Fujishima A., Chikuni M., Kojima E., Kitamura A., Shimohigoshi M., Watanabe T. Light-induced amphiphilic surfaces // Nature. 1997, Y. 388, - P. 431-432.

35. Mercier Т., Quarton M., Fontaine M.-F., Hague C.F., and Mariot J.-M. Near-surface defects created by 355 nm laser irradiation of rutile // J. Appl. Phys. 1994, V. 76, - P. 3341-3346.

36. Lee S.-K., Robertson P.K.J., Mills A., McStay D. Modification and enhanced photocatalytic activity of ТЮ2 following exposure to non-linear irradiation sources // J. Photochem. and Photobiology A: Chemistry. 1999, Y. 122, - P. 69-71.

37. Bogomolov V.N. and Mirlin D.N. Optical Absorption by Polarons in Rutile (ТЮ2) Single Crystals// Phys. Stat. Sol. 1968, V. 27, - P. 443-453.

38. Naito H. and Arashi H. Electrical properties of Zr02—Ti02—Y2O3 system // Solid State Ionics. 1992, -V. 53-56, P. 436-441.

39. Kodaira S., Sakisaka Y., Maruyama Т., Haruyama Y., Aiura Y., and Kato H. Angle-resolved photoemission study of an in-gap state in Ti02// Solid State Com. 1994, -V. 89, P. 9-12.

40. Okada M., Nakagawa M., Atobe K., and Kavvabata Y. Defects in T1O2 crystals produced by neutron irradiation at 20 K//Nuc. Inst. Meth. Phys. B. 1994, V. 91, - P. 359-361.

41. Gutarra A., Azens A., Stjerna В., Granqvist C.G. Electrochromism of sputtered fluorinated titanium oxide thin films //Appl. Phys. Lett. 1994, V. 64, -P. 1604-1606.

42. Novvotny J., Radecka M., and Rekas M. Semiconducting properties of undoped ТЮ2 // J. Phys. Chem. Solids. 1997,-V. 58, P. 927-937.

43. Bard A.J. Photoelectrochemistry // Science. 1980,- V. 207, P. 139-144.

44. Kraeutler В., Bard A. Photoelectrosynthesis of ethane from acetate ion at an n-type titanium dioxide electrode. The photo-Kolbe reaction// J. Am. Chem. Soc. 1997, -V. 99, P. 7729-7731.

45. Henglein A., Small-Particle Research: Physicochemical Properties of Extremely Small Colloidal Metal and Semiconductor Particles // Chem. Rev. 1989, -V. 89, -P. 1861-1873.

46. Hoffmann M.R., Martin S.T., Choi W., and Bahnemann D.W. Environmental Applications of Semiconductor Photocatalysis // Chem. Rev. 1995, -V. 95, -P. 69-96.

47. Linsebigler A.L., Lu G., and Yates J.T., Photocatalysis on ТЮ2 Surfaces: Principles, Mechanisms, and Selected Results // Chem. Rev. 1995, -V. 95, -P. 735-758.

48. Henglein A. Fluorescence, photochemistry and size quantization effects of colloidal semiconductor particles // Journal de Chimie Physique. 1987, -V. 84, -P. 1043-1047. •

49. Dounghong D., Ramsden J., Gratzel M., Dynamics of Interfacial Electron-Transfer Processes in Colloidal Semiconductor Systems // J. Am. Chem. Soc. 1982, -V. 104, -P. 2977-2985.

50. Bahnemann D., Henglein A., Lilie J., and Spanhel L., Flash Photolysis Observation of the Absorption Spectra of Trapped Positive Holes and Electrons in Colloidal ТЮ2 // J. Phys. Chem. 1984, -V. 88, -P. 709-711.

51. Kolle U., Moser J., Gratzel M. Dynamics of Interfacial Charge-Transfer Reactions in Semiconductor Dispersions. Reduction of Cobaltoceniumdicarboxylate in Colloidal ТЮ2 // Inorg. Chem. 1985, V.24, - P. 2253-2258.

52. Asahi Т., Furube A., Masuhara H. Direct measurements of picosecond interfacial electron transfer from photoexcited ТЮ2 powder to an adsorbed molecule in the opaque suspension // Chem. Phys. Lett. 1997, V. 275, - P. 234-238.

53. Howe R.F. and Gratzel M. EPR Observation of Trapped Electrons in Colloidal Ti02 // J. Phys. Chem. 1985, V. 89, - P. 4495-4499.

54. Gratzel M. and Howe R.F. Electron Paramagnetic Resonance Studies of Doped ТЮ2 Colloids// J. Phys. Chem. 1990, V. 94, - P. 2566-2572.

55. Anpo M., Shima Т., Kodama S., Kubokawa Y. Photocatalytic Hydrogenation of CH3CCH with H2O on Small-Particle ТЮ2: Size Quantization Effects and Reaction Intermediates // J. Phys. Chem. 1987, V. 91, - P. 4305-4310.

56. Henglein A. Colloidal ТЮ2 Catalyzed Photo- and Radiation Chemical Processes in Aqueous Solution // Ber. Bunsenges. Phys. Chem. 1982, -V. 86, P. 241-246.

57. Colombo Jr. D.P., Roussel K.A., Saeh J., Skinner D.E., Cavaleri J.J., Bowman R.M., Femtosecond study of the intensity dependence of electron-hole dynamics in ТЮ2 nanoclusters // Chem. Phys. Lett. 1995, -V. 232, P. 207-214.

58. Skinner D.E., Colombo Jr.D.P., Cavalery J.J., Bowman R.M. Femtosecond Investigation of Electron Trapping in Semiconductor Nanoclusters // J. Phys. Chem. 1995, V. 99, - P. 78537856.

59. Bahnemann D.W., Hilgendorff M., and Memming R., Charge Carriers Dynamics at ТЮ2 Particles: Reactivity of Free and Trapped Holes // J. Phys. Chem. B. 1997, V. 101, - P. 42654275.

60. Yang X., and Tamai N. How fast is interfacial hole transfer? In situ monitoring of carrier dynamics in anatase ТЮ2 nanoparticles by femtosecond laser spectroscopy // Phys. Chem. Chem. Phys. 2001, V. 3, - P. 3393-3398.

61. Bahnemann D., Henglein A., and Spanhel L., Detection of the intermediates of colloidal Ti02-catalysed photoreactions, //Faraday Discuss. Chem. Soc. 1984. V. 78, - P. 151-163.

62. Kormann C., Bahnemann D.W., Hoffmann M.R. Preparation and Characterization of Quantum-Size Titanium Dioxide // J. Phys. Chem. 1988, -V. 92, P. 5196-5201.

63. Serpone N., Lawless D., Khairutdinov R., Pelizzetti E. Subnanosecond Relaxation Dynamics in ТЮ2 Colloidal Sols (Particle Sizes Rp = 1.0-13.4 11111). Relevance to Heterogeneous Photocatalysis// J. Phys. Chem. 1995, -V. 99, P. 16655-16661.

64. Sun L., and Bolton J.R. Determination of the Quantum Yield for the Photochemical Generation of Hydroxyl Radicals in ТЮ2 Suspensions // J. Phys. Chem. 1996, V. 100, - P. 4127-4134.

65. Kaliwoh N., Zhang J.-Y., Boyd I.W. Photo-induced preparation of (Ta205)i.x(Ti02)x dielectric thin films using sol-gel processing with xenon excimer lamps // Appl. Surf. Sci. 2000, -V. 168,-P. 13-16.

66. Zhang J.-Y., Boyd I.W., Low dielectric constant porous silica films formed by photo-induced sol-gel processing // Mat. Sci. Semiconduc. Proc. 2000, V. 3, - P. 345-349.

67. Castellano F.N., Stipkala J.M., Friedman L.A., and Meyer G.J. Spectroscopic and Excited-State Properties of Titanium Dioxide Gels // Chem. Mater: 1994, V. 6, - P. 2123-2129.

68. Pierre A.C. Introduction to Sol-Gel Processing, Dordrecht: Kluwer, 1998

69. Ponton A., Barboux-Doeuff S., Sanchez C., Rheology of titanium oxide based gels: determination of gelation time versus temperature // Colloids and Surfaces A: Physicochem. Eng. Aspects. 1999, V. 162, - P. 177-192.

70. Bityurin N., Znaidi L., Marteau P., Kanaev A. UV absorption of titanium oxide based gels // Chem. Phys. Lett. 2003, V. 367, - P. 690-696.

71. Kuznetsov A. I., Kameneva O., Alexandrov A., Bityurin N., Chhor K., Kanaev A. Chemical activity of photoinduced Ti3+ centres in titanium oxide gels// J. Phys.Chem.B, 2006. V. 110,-P.435-441.

72. Кузнецов А. И. Лазерная модификация гелей и гибридных материалов на основе оксида титана// Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. Институт прикладной физики РАН, Нижний Новгород, 2006.

73. Daude N., Gout С., Jouanin С. Electronic band structure of titanium dioxide// Phys. Rev. B. 1977,-V. 15,-P. 3229-3235.

74. Safrany A., Gao. R., and Rabani J. Optical Properties and Reactions of Radiation Induced Ti02 Electrons in Aqueous Colloid Solutions// J. Phys. Chem. B. 2000, V. 104, - P. 5848-5853.

75. Boschloo G., Fitzmaurice D. Spectroelectrochemical Investigation of Surface States in nanostrucrured Ti02 Electrodes // J. Phys. Chem. В 1999, V. 103, - P. 2228-2231.

76. Boschloo G., and Fitzmaurice D. Electron accumulation in nanostructured ТЮ2 (anatase) electrodes // J. Phys. Chem. B. 1999, V. 103, - P. 7860-7868.

77. Gao R., Safrany A., Rabani J. Fundamental reaction in Ti02 nanocrystallite aqueous solutions studied by pulse radiolysis // Rad. Phys. and Chem. 2002, V. 65, - P. 599-609.

78. Kuznetsov A. I., Kameneva O., Rozes L., Sanchez C., Bityurin N., Kanaev A. Extinction of photo-induced Ti3+ centres in titanium oxide gels and gel-based oxo-PHEMA hybrids// Chem. Phys. Lett.,2006. -V. 429, -P. 523-527.

79. Sanchez C., Soler-Illia G.J.deA.A., Ribot F., Lalot Т., Mayer C.R., and Cabuil V. Designed Hybrid Organic-Inorganic Nanocomposites from Functional Nanobuilding Blocks // Chem. Mat. 2001,-V. 13,-P. 3061-3083.

80. Jiang H.J., Yuan X.-C., Zhou Y., Chan. Y.C., Lam Y.L. Single-step fabrication of diffraction gratings on hybrid sol-gel glass using holographic interference lithography // Opt. Comm. 2000, V. 185,-P. 19-24.

81. Yoshida M. and Prasad P.N., Sol-Gel-Processed Si02/Ti02/Poly(vinylpyrrolidone) Composite Materials for Optical Waveguides // Chem. Mater. 1996, V. 8, - P. 235-241.

82. Lee L.-H. and Chen W.-C. High-Refractive-Index Thin Films Prepared from Trialkoxysilane-Capped Poly(methyl methacrylate)-Titania Materials // Chem. Mater. 2001, V. 13,-P. 1137-1142.

83. Yeh J.-M., Weng C.-J., Huang K.-Y., Huang H.-Y., Yu Y.-H., Yin C.-H. Thermal and Optical Properties of PMMA-Titania Hybrid Materials Prepared by Sol-Gel Approach with НЕМА as Coupling Agent // J. Appl. Polym. Sci. 2004, V. 94, - P. 400-405.

84. Elim H.I., Ji W., Yuwono A.H., Xue J.M., Wang J. Ultrafast optical nonlinearity in poly(methylmethacrylate)-Ti02 nanocomposites // Appl. Phys. Lett. 2003, V. 82, - P. 26912693.

85. Segawa H., Adachi S., Arai Y., Yoshida K. Fine pattering of hybrid titania films by ultraviolet irradiation // J. Am. Ceramic Soc. 2003, V. 86, - P. 761-764.

86. Segawa H., Yoshida K., Kondo Т., Matsuo S., Misawa H., Fabrication of photonic crystal structures by femtosecond laser-induced photopolymerization of organic-inorganic film // J. Sol-Gel Sci.&Tech. 2003, V. 26, - P. 1023-1027.

87. Gbureck A., Gbureck U., Kiefer W., Posset U., and Thull R. FT-Raman Spectroscopic Investigations of Titanium Alkoxides with Polymerizable Organic Ligands // Applied Spectroscopy, 2000, V. 54, - P. 390-395.

88. Matsuura Y., Miura S., Naito H., Inoue H., Matsukawa K. Nanostructured polysilane-titania hybrids and their application to porous titania thin films // J. Org. Chem. 2003, V. 685, - P. 230-234.

89. Maruo S., Nakamura O., Kawata S. Three-dimensional with two-photon-absorbed photopolymerization// Opt. Lett. 1997. V. 22, № 2. - P. 132-134.

90. Maruo S., Ikuta K. Three-dimensional microfabrication by use of single-photon-absorbed polymerization// Appl. Phys. Lett. 2000. V. 76, № 19. - P. 2656-2658.

91. Yamaguchi К., Nakamoto Т. Micro fabrication by UV laser photopolymerization// Memoirs of the School of Engineering, Nagoya University. 1999. V. 50, № 1/2. - P. 33-82.

92. Joshi M.P., Pudavar H.E., Swiatkiewiz J., Prasad P.N., Reianhardt B.A. Three-dimensional optical circuitry using two-photon-assisted polymerization// Appl. Phys. Lett. 1999. V. 74, № 2.-P. 170-172.

93. Shoji S., Kawata S. Photofabrication of three-dimensional photonic crystals by multibeam laser interference into a photopolymerizable resin// Appl. Phys. Lett. 2000. V. 76, № 19. - P. 2668-2670.

94. Sun H.-B., Matsuo S., Misawa H. Three-dimensional photonic crystal structures achieved with two-photon-absorption photopolymerization of resin// Appl. Phys. Lett. 1999. V. 74, № 6. - P. 786-788.

95. Лонин А.Л., Менсов C.H. Оптическое удлинение световодов в фотополимеризующихся композициях// Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28, № 13. - С. 15-18.

96. Лонин А. Л. Оптическое формирование волноведущих структур в прозрачных фотополимеризующихся композициях// Дисс. канд. физ.-мат. наук ННГУ им. Н. И. Лобачевского, Н.Новгород, 1999

97. Александров А.П., Генкин В. H., Китай М. С., Смирнова И. М., Соколов В. В., Кинетика полимеризации и молекулярно-массовое распределение полимера при лазерном инициировании// Квантовая электроника. 1977. Т. 4, - С. 976

98. Генкин В.Н., Соколов В.В. Полимеризация при периодическом импульсном инициировании// ДАН СССР. 1977. Т. 234, № 1. - С. 94-96.

99. Битюрин Н. М. О непрерывном приближении для уравнений, описывающих полимеризацию//, Высокомолекулярные соединения, серия Б. 1981. Т. 23, №11. - С. 859862.

100. Битюрин Н. М., Генкин В. Н., Зубов В. П., Лачинов М. Б. О механизме гель-эффекта при радикальной полимеризации // Высокомолекулярные соединения, серия А. 1981. Т. 23, №8.-С. 1702-1709.

101. Битюрин Н. М., Генкин В. Н., Смирнова И. М., Соколов В. В. Рекомбинация первичных радикалов и синтез полимера в условиях интенсивного импульсного инициирования // Высокомолекулярные соединения, серия Б. 1982. Т. 24, №12. - С. 898902.

102. Битюрин Н. М., Генкин В. Н., Соколов В. В. Эволюция наведенного поглощения в полимерах при различных механизмах фотостарения// Высокомолекулярные соединения, серия А. 1982. Т. 24, №4. - С. 748-754.

103. Гладышев Г. П., Попов В. А. Радикальная полимеризация при глубоких степенях превращения, -М. Наука, 1974.

104. Kiiper S., Stuke М. UV Excimer laser ablation of Polymethylmethacrylate at 248nm: Characterization of incubation sites with Fourier transform IR and UV- spectroscopy// Appl. Phys. A. 1989. - V. 49. - P. 211-215.

105. Baker A.K., Dyer P.E. Refractive index modification of Polymethylmethacrylate (PMMA) thin films by KrF-laser irradiation// Appl. Phys. A. 1993. V. 57. - P. 543-544.

106. Phillips H.M., Wahl S., Sauerbrey R. Submicron electrically conducting wires produced in polyimide by ultraviolet laser irradiation// Appl. Phys. Lett. 1993. V. 62. - P. 2572-2574.

107. Gupta A., Liang R., Tsay F.D., Moacanin J. Characterization of a Dissociative Excited State in the Solid State: Photochemistry of Poly(methyl methacrylate). Photochemical Processes in Polymeric Systems// Macromolecules. 1980. V. 13. - P. 1696-1700.

108. Битюрин H. M. Волны поглощения при объемном фототравлении диэлектрической пленки // Препринт ИПФ АН СССР, №188, Горький 1988. - 26с.

109. Srinivasan R., Mayne-Banton V. Self-developing photoetching of poly(ethylene terephthalate) films by far-ultraviolet excimer laser radiation// Appl. Phys. Lett. 1982. V. 41. -P. 576-578.

110. Kawamura Y., Toyoda K., Namba S. Effective deep ultraviolet photoetching of polymethyl methacrylate by an excimer laser// Appl. Phys. Lett. 1982. V. 40. - P. 374-375.

111. Miller J.C., Haglung R.Jr. (Eds.). Laser Ablation — Mechanisms and Applications. Berlin: Springer-Verlag, 1991. 362p.

112. Fogarassy E., Lazare S. Laser Ablation of Electronic Materials — Basic Mechanisms and Applications. Amsterdam: North-Holland, 1992. 394p.

113. Lazare S., Granier V. Ultraviolet-laser photoablation of polymers a review and recent results// Laser Chem. 1989. - V. 10. - P. 25-40.

114. Zhigilei L.V., Leveugle E., Garrison B.J., Yingling Y.G., Zeifman M. I. Computer simulations of laser abaltion of molecular substrates// Chem. Rev. 2003. — V.103, No 2. P. 321348.

115. Lippert Th., Dickinson J. Th. Chemical and spectroscopic aspects of polymer ablation: spezial features and novel directions// Chem. Rev. 2003. V.103, No 2. - P. 453-486.

116. Andrew J.E., Dyer P.E., Forster D., Key P.H. Direct etching of polymeric materials using a XeCl laser// Appl. Phys. Lett. 1983. V. 43. - P. 717-719.

117. Deutsch T.F., Geis M.W. Self-developing UV photoresist using excimer laser exposure// J. Appl. Phys. 1983. V. 54. - P. 7201-7204.

118. Jellinek H.H.G., Srinivasan R. Theory of etching of polymers by far-ultraviolet high-intensity pulsed laser- and long-term irradiation// J. Phys. Chem. 1984. V. 88. - P. 3048-3051.

119. Dijkkamp D., Gozdz A.S., Venkatesan Т., Wu X.D. Evidence for the Thermal Nature of Laser-Induced Polymer Ablation// Phys. Rev. Lett. 1987. V. 58. P. 2142-2145.

120. Oldershaw G.A. Excimer laser ablation of polyethylene terephthalate prediction of threshold fluences from thermolysis rates// Chem. Phys. Lett. 1991. - V. 186. - P. 23-26.

121. ICiiper S., Brannon J., Brannon K. Threshold behavior in polyimide photoablation single-shot rate measurements and surface-temperature modeling// Appl. Phys. A. 1993. - V.56, №1. -P.43-50.

122. Pettit G.H., Sauerbrey R. Fluence-dependent transmission of polyimide at 248 nm under laser ablation conditions// Appl. Phys. Lett. 1991. V. 58. - P. 793-795.

123. Pettit G.H., Sauerbrey R. Pulsed ultraviolet-laser ablation// Appl. Phys. A. 1993. V.56, № 1. - P. 51-63.

124. Pettit G. H., Ediger M. N., Hahn D. W., Brinson В. E., Sauerbrey R. Transmission of polyimide during pulsed ultraviolet-laser irradiation// Appl. Phys. A. 1994. V. 58, № 6. - P. 573-579.

125. Lippert Т., Bennett L.S., Nakamura Т., Niino H., Ouchi A., Yabe A. Comparison of the transmission behavior of a triazeno-polymer with a theoretical model// Appl. Phys. A. 1996. V. 63, № 3. - P. 257-265.

126. Mansour N., Ghaleh K.J. Ablation of polyethylene terephthalate at 266 nm// Appl. Phys. A. 2002. V. 74. - P. 63-67.

127. D'Couto G.C., Babu S.V. Heat transfer and material removal in pulsed excimer-laser-induced ablation: Pulsewidth dependence//J. Appl. Phys. 1994. V. 76. P. 3052-3058.

128. Cain S.R., Burns F.C., Otis C.E. On single-photon ultraviolet ablation of polymeric materials//J. Appl. Phys. 1992. V. 71. - P. 4107-4117.

129. Cain S.R., Bums F.C., Otis C.E., Braren B. Photothermal description of polymer ablation: Absorption behavior and degradation time scales// J. Appl. Phys. 1993. V. 72. - P. 5172-5178.

130. Cain S.R. A photothermal model for polymer ablation: chemical modification// J. Phys. Chem. 1993. V. 97, № 29. - P. 7572-7577.

131. Masubuchi Т., Tada Т., Nomura E., Hatanaka K., Fukumura H., Masuhara H. Laser-Induced Decomposition and Ablation Dynamics Studied by Nanosecond Interferometry. 4. A Polyimide Film// J. Phys. Chem. A. 2002. V. 106, № 10. - P. 2180-2186.

132. Keyes Т., Clarke R.H., Isner J.M. Theory of photoablation and its implications for laser phototherapy// J. Phys. Chem. 1985. V. 89, № 20. - P. 4194-4196.

133. Sutcliffe E., SrinivasanR. Dynamics ofUV laser ablation of organic polymer surfaces// J. Appl. Phys. 1986. V. 60. - P. 3315-3322.

134. Mahan G.D., Cole H.S., Liu Y.S., Philipp H.R. Theory of polymer ablation// Appl. Phys. Lett. 1988. V. 53. - P. 2377-2379.

135. Lazare S., Granier V. Empirical photoablation rate model exemplified with the etching of polyphenylquinoxaline// Appl. Phys. Lett. 1989. V. 54. - P. 862-864.

136. Schildbach K. Simple analytic model including shielding by the plume during excimer laser ablation of polyimide// Proc. SPIE. 1990. V. 1279. - P. 60-65.

137. Kleinschmidt J., Walther J.-U. Analysis of polymer ablation// Phys. Stat. Sol. (a). 1992. V. 131.-P. 167-178.

138. Furzikov N.P. Approximate theory of highly absorbing polymer ablation by nanosecond laser-pulses// Appl. Phys. Lett. 1990. V. 56, № 17. - P. 1638-1640.

139. Bauerle D., Luk'yanchuk В., P. Schwab P., Wang X. Z., Arenholz E. In: Fogarassy E., Lazare S. (Eds) Laser Ablation of Electronic Materials — Basic Mechanisms and Applications. Amsterdam: North-Holland, 1992. P. 39.

140. Tokarev V. N., Lunney J. G., Marine W., Sentis M. Analytical thermal-model of ultraviolet-laser ablation with single-photon absorption in the plume// J. Appl. Phys. 1995. V.78, No 2. -P.1241-1246.

141. Arnold N., Luk'yanchuk В., Bityurin N. A fast quantitative modeling of ns laser ablation based on non-stationary averaging technique// Appl.Surf.Sci. 1998. -V. 127-129, P. 184-192.

142. Garrison B. J., Srinivasan R. Microscopic model for the ablative photodecomposition of polymers by far-ultraviolet radiation (193 nm)// Appl. Phys. Lett. 1984. V.44, №9. - P.849-851.

143. Garrison В .J., Srinivasan R. Laser ablation of organic polymers microscopic models for photochemical and thermal-processes// J. Appl. Phys. 1985. - V. 57, № 8. - P. 2909-2914.

144. Gorodetsky G., Kazyaka T. G., Melcher R. L., Srinivasan R. Calorimetric and acoustic study of ultraviolet-laser ablation of polymers// Appl. Phys. Lett. 1985. V.46, №9. - P.828-830.

145. Kitai M. S., Popkov V. L., Semchishen V. A. Dynamics of UV excimer laser ablation of PMMA, caused by mechanical stresses theory and experiment// Makromol. Chem. Macromol. Symp. 1990. V.37. - P.257-267.

146. Zweig A. D., Venugopalan V., Deutsch T. F. Stress generated in polyimide by excimer-laser irradiation// J. Appl. Phys. 1993. V.74, №6. - P4181-4189.

147. Hare D. E., Dlott D. D. Picosecond coherent raman-study of solid-state chemical-reactions during laser polymer ablation// Appl. Phys. Lett. 1994, -V.64, №6. P. 715-717 .

148. Hare D.E., Franken J., Dlott D.D. Coherent raman measurements of polymer thin-film pressure and temperature during picosecond laser-ablation// J. Appl. Phys. 1995. V. 77, № 11. -P. 5950-5960.

149. Luk'yanchuk В., Bityurin N., Anisimov S., Malyshev A., Arnold N., Baeuerle D. Photophysical ablation of organic polymers: the influence of stresses// Appl. Surf. Sci. 1996. V. 106. -P.120-125.

150. Zhigilei L.V., Kodali P.B., Garrison B.J. A microscopic view of laser ablation// J. Phys. Chem. B. 1998. V. 102, № 16. - P. 2845-2853.

151. Albagli D., DarkM., Perelman L.T., von Rosenberg C., Itzkan I., Feld M. S. Photomechanical basis of laser-ablation of biological tissue//Opt. Lett. 1994, -V. 19, №21. -P. 1684-1686.

152. John S. R., Langford S. C., Dickinson J. T. Ablation mechanism of PTFE under 157nm irradiation// Appl. Phys. A. 2008. V. 92. - P. 981-985.

153. Dyer P. E., Oldershaw G.A., Schudel D. 157 nm F2 laser ablation of polyethylene terephthalate// J. of Phys. D Appl. Phys. 1993. - V. 26, № 2. - P. 323-325.

154. Lapczyna M., Stuke M. Direct fabrication of micro mesas by VUV laser ablation of polymers: PMMA (polymethylmethacrylate)// Appl. Phys. A. 1998. V. 66, № 4. - P. 473-475.

155. Riedel D., Castex M. C. Effective absorption coefficient measurements in PMMA and PTFE by clean ablation process with a coherent VUV source at 125 nm// Appl. Phys. A. 1999. -V. 69, № 4. P. 375-380.

156. Tinone M.C.K., Tanaka К., Ueno N. Photodecomposition of polymethylmethacrylate) thin-films by monochromatic soft-X-ray radiation// J. Vac. Sci. Technol. 1995. V. 13, № 4. - P. 1885-1892.

157. White J.C., Craighead H.G., Howard R.E., Jackel L.D., Beringer R.E., Epworth R.W., Henderson D., Sweeney J.E. Sub-micron, vacuum ultraviolet contact lithography with an F2 excimer laser // Appl. Phys. Lett. 1984. V. 44. - P. 22-24.

158. Kudo K., Iwabuchi Т., Muton K., Miyata Т., Sano R., Tanaka K. Study of hydrogen vacuum-ultraviolet light-sources for submicron lithography // Jap. J. Appl. Phys. 1990. V. 29, № 11.-P. 2572-2576.

159. Zienkiewicz O.C. The Finite Element Method. New York: McGraw-Hill. 1977. 787 p.

160. Бартенев Г. M. Прочность и механизм разрушения полимеров. М.: Химия, 1984. 279с.

161. Taylor R.S., Singleton D.L., Paraskevopoulos G. Effect of optical pulse duration on the xecl laser ablation of polymers and biological tissue // Appl. Phys. Lett. 1987. V. 50, № 25. - P. 1779-1781.

162. Самарский А. А. Теория разностных схем. -M.: Наука,. 1983. 616с.

163. Ortelli Е.Е., Geiger F., Lippert Т., Wei J., Wokaun A. UV-laser-induced decomposition of Kapton studied by infrared spectroscopy // Macromolecules. 2000. V. 33, № 14. - P. 50905097.

164. Preuss S., Spaeth M., Zhang Y., Stuke M. Time-resolved dynamics of subpicosecond laser ablation//Appl. Phys. Lett. 1993, -4.62, №23. P.3049-3051.

165. Kautek W., Kruger J., Lenzner M., Sartania S., Spielman Ch., Krausz F. Laser ablation of dielectrics with pulse durations between 20 fs and 3 ps// Appl. Phys. Lett. 1996. V. 69, № 21. -P. 3146-3148.

166. Stuart B.C., Feit M.D., Rubenchik A.M., Shore B.W., Perry M.D. Laser-induced damage in dielectrics with nanosecond to subpicosecond pulses //Phys. Rev. Lett. 1995. V. 74, № 12. - P. 2248-2251.

167. Stuart B.C., Feit M.D., Rubenchik A.M., Shore B.W. and Perry M.D., Nanosecond-to-femtosecond laser-induced breakdown in dielectrics // Phys. Rev. B. 1996. V. 53. - P. 17491761.

168. Frisoli J.K., Hefetz Y., Deutsch T.F. Time-resolved uv absorption of polyimide -implications for laser ablation// Appl. Phys. B. 1991. V. 52, № 3. - P. 168-172.

169. Rosenfeld A., Ashkenasi D., Varel H., Wahmer M., Cambell E.E.B. Time resolved detection of particle removal from dielectrics on femtosecond laser ablation // Appl. Surf. Sci. 1998.-V. 127.-P. 76-80.

170. Stoian R., Ashkenasi D., Rosenfeld A., Campbell E.E.B. Coulomb explosion in ultrashort pulsed laser ablation of A1203 // Phys. Rev. B. 2000. V. 62, № 19. - P. 13167-13173.

171. Srinivasan R., Braren В., Casey K.G. Nature of incubation pulses in the ultraviolet-laser ablation of polymethyl methacrylate // J. Appl. Phys. 1990. V. 68, № 4. - P. 1842-1847.

172. Hare D.E., Dlott D.D. Picosecond coherent raman-study of solid-state chemical-reactions during laser polymer ablation // Appl. Phys. Lett. 1994. V. 64, № 6. - P. 715-717.

173. Bennett L.S., Lippert Т., Furutani H., Fukumura H., Masuhara H. Laser induced microexplosions of a photosensitive polymer // Appl. Phys. A. 1996. V. 63, № 4. - P. 327-332.

174. Зельдович Я. Б., Райзер Ю. П. Физика ударных волн и высокотемпературных гидродинамических явлений.- М. : Наука, 1966. 686с.

175. Малышев А. Ю. Абляция и свеллинг полимероподобных сред при воздействии лазерных импульсов в полосе поглощения// Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. Институт прикладной физики РАН, Нижний Новгород, 2002.

176. Blanchet G.B., Cotts P., Fincher C.R.Jr. Incubation: Subthreshold ablation of poly-(methyl methacrylate) and the nature of the decomposition pathways // J. Appl. Phys. 2000. V. 88, № 5. - P. 2975.

177. Mikheev Yu.A., Popravko T.S., Toptygin D.Ya. Formation of unsaturated carbon-carbon bonds in photolysis of polymethylmethacrylate // Doklady AN SSSR. 1973. V. 210. - P. 148150.

178. Fukumura H., Mibuka N., Eura S., Masuhara H. Porphyrin-Sensitized laser swelling and ablation of polymer films // Appl. Phys. A. 1991. -V. 53. P. 255.

179. Озеров И.Н., Петров В.М., Шишкина В.А., Шор В.М. Формирование рельефа матриц, для получения растров со сферическими элементами// ОМП. 1981. № 1. - С. 52-53.

180. Popovic Z.D., Sprague R.A., Connell G.A.N. Technique for monolithic fabrication of microlens arrays // Appl. Opt. 1988. V. 27, № 7. - P. 1281-1284.

181. Nussbaum Ph., Volkel R., Herzig H.P., Eisner M., Haselbeck S. Design, fabrication and testing of micro-lens arrays for sensors and microsystems // Pure Appl. Opt. 1997. V. 6. - P. 617-636.

182. Ruther P., Gerlach В., Gottert J., Ilie M., Mohr J., Muller A., Opmann C. Fabrication and characterization of microlcnses realized by a modified LIGA process // Pure Appl. Opt. 1997. -V. 6.-P. 643-653.

183. Kim D. S., Yang S. S., Lee S.-K., Kwon Т. H., Lee S. S. Physical modeling and analysis of micro-lens formation fabricated by a modified LIGA process // J.Micromech. Microeng. 2003. -V. 13.-P. 523-531.

184. Van Steenberge G., Geerinck P., Van Put S., Van Koetsem J., Ottevaere H., Morlion D., Thienpont H., Van Daele P. MT- compatible laser-ablated interconnections for optical printed cirquit boards// J. Lightwave. Techn. 2004. V. 22, № 9. - P. 2083-2090.

185. Beinhorn F., Ihlemann J., Luther K., Troe J. Micro-lens arrays generated'by UV laser irradiation of doped PMMA // Appl. Phys. A. 1999. V. 68.- P. 709-713.

186. Phillips H.M., Sauerbrey R. Excimer-laser-produced' nanostructures in polymers// Opt. Engineering. 1993. V. 32. - P. 2424-2436.

187. LeCarpentier G.L., Motamedi M., McMath L.P., Rastegar S., Welch A.J. Continuous wave laser ablation of tissue: analysis of thermal and mechanical events// IEEE Transactions on Biomedical Engineering. 1993. V. 40, № 2. - P. 188-200.

188. Athanassiou A., Lakiotaki K., Tornari V., Georgiou S., Fotakis C. Photocontrolled mechanical phenomena in photochromic doped polymeric systems// Appl.Phys. A. 2003. V. 76. -P. 97-100.

189. Furutani H., Fukumura H., Masuhara H., Lippert Т., Yabe A. Laser-induced decomposition and ablation dynamics studied by nanosecond interferometry. 1. A triazenopolymer film// J. Phys. Chem. A. 1997. V. 101. - P. 5742-5747.

190. Masubuchi Т., Furutani H., Fukumura H., Masuhara H. Laser-induced nanometer-nanosecond expansion and contraction dynamics of poly(methyl methacrylate) film studied by time-resolved interferometry// J: Phys. Chem. B. 2001. V.105. -P. 2518-2524.

191. Krueger J., Martin S., Maedebach H., Urech L., Lippert Т., Wokaun A., Kautek W. Femtoand nanosecond laser tretment of doped polymethylmethacrylate// Appl. Surf. Sci. 2005. V. 247.-P. 406-411.

192. Voisey K.T., Fouquet S., Roy D., Clyne T.W. Fibre swelling during laser drilling of carbon fibre composites// Optics and Lasers in Engineering. 2006. V. 44. - P. 1185-1197.

193. London R.A., Glinsky M.E., Zimmerman G.B., Baeley D.S., Eder D.C., Jacques S.L. Laser-tissue interaction modeling with LATIS// Appl. Opt. 1997. V.36., № 34. - P. 9068-9074.

194. Welsh A.J. The thermal response of laser irradiated tissue// J. of Quantum Electronics. 1984. V.20. - P.1471-1481.

195. Majaron В., Plestenjak P., Lukas M. Thermo-mechanical laser ablation of soft biological tissue: modeling the micro-explosions// Appl. Phys. B. 1999. V.69. - P.71-80.

196. Prasad M., Conforti P.F., Garrison B.J. On the role of chemical reactions in initiating ultraviolet laser ablation in poly(methyl methacrylate)// J. Appl. Phys. 2007. V. 101, № 10. -P. 103113.

197. Shiu T.-R., Grigoroupoulos C.P., Cqhill D.G., Greif R. Mechanism of bump formation on glass substrates during laser texturing// J. Appl. Phys. 1999. V. 86, № 3. - P. 1311-1316.

198. Sergeev A.M., Gelikonov V.M., Gelikonov G.V., Feldchtein F.I., Gladkova N.D., Kamensky V.A. Biomedical diagnostics using optical cogerence tomography// OSA. TOPS. 1996.-V.2.-P. 196.

199. Коларов Д., Балтов А., Боячева H. Механика пластических сред -М.: Мир. 1979. 302 с.

200. Ландау Л.Д., Лифшищ Е.М. Теория упругости. Т.VII. М.:Наука, 1987. - 248 с.

201. Вукалович М.П., Ривкин С.Л., Александров А. А. Таблицы теплофизических свойств воды и водяного пара. -М.: Изд-во стандартов. 1969.

202. Jung Н.-Т. Modeling and recording characteristics of a dye-doped polymer bilayer film // Appl. Phys. B. 2000. V. 70. - P. 237-242.

203. Малышев А. Ю., Битюрин H. M. Модель лазерного свеллинга полимерного материала при воздействии ианосекундных лазерных импульсов: Препринт ИПФ РАН № 647. Н. Новгород, 2003. 16 с.

204. Luk'yanchuk B.S. (ed.). Laser cleaning. New Jersey, London, Singapore, Hong Kong: World Scientific, 2002. - 466 p.

205. Luk'yanchuk B.S., Zheng Y.W., Lu Y.F. Laser cleaning of solid surface: optical resonance and near-field effects // Proc. SPIE. 2000. V. 4065. - P. 576-587.

206. Luk'yanchuk B.S., Zheng Y.W., Lu Y.F. Particle on the surface: Basic physical problems related to laser cleaning // Proc. SPIE. 2002. V. 4426. - P. 284-289.

207. Lu Y.F., Zhang L., Song W.D., Zheng Y.W., Luk'yanchuk B.S. Laser writing of a sub wavelength structure on silicon (100) surface with particle — enhanced optical irradiation // JETP Letters. 2000. V. 72, № 9. - P. 457-459.

208. Fourrier Т., Schrems G., Muhlberger Т., Heitz J., Arnold N., Bauerle D., Mosbacher M., Boneberg J., Leiderer P. Laser cleaning of polymer surfaces// Appl. Phys. A. 2001. V. 72. -P. 1-6.

209. Бартенев Г. M., Никольский В. Г. Стеклование.// Энциклопедия полимеров, М.: Советская энциклопедия, -1977, - Т.З. С. 489-498.

210. Garca-Coln L.S., del Castillo L.F., Goldstein P. Theoretical basis for the Vogel-Fulcher-Tammann equation// Phys. Rev. B. 1989. V. 40, № 10. - P. 7040-7044.

211. Kivelson D., Tarjus G., Zhao X., Kivelson S.A. Fitting of viscosity: Distinguishing the temperature dependence predicted by various models of supercooled liquids// Phys. Rev. E. 1996.-V. 53, № 1.-P. 731-758.

212. Dlubek G., Hassan E.M., Krause-Rehberg R., Piontek J. Free volume of epoxy resin and its relation to structural relaxation: Evidence from positron lifetime and pressure-volume-temperature experiments// Phys. Rev. E. 2006. V. 73. - P. 031803.

213. Alves N.M., Mano J.F., Ribelles J.L.G., Tejedor J.A.G. Departure from the Vogel behaviour in the glass transition-thermally stimulated recovery, creep and dynamic mechanical analysis studies// Polymer. 2004. V. 45, № 3. - P. 1007-1017.

214. Roland C.M., McGrath K.J., Casalini R. Volume effects on the glass transition dynamics// Journal of Non-Crystalline Solids. 2006. V. 352. - P. 4910-4914.

215. Theobald S., Pechhold W., Stoll B. The pressure and temperature dependence of the relaxation processes in polymethylmethacrylate)// Polymer. 2001. V. 42. - P. 289-295.

216. Бакеев A.A., Соболев А.П., Яковлев В.И. Исследование термоупругих напряжений, возникающих в поглощающем слое вещества под действием лазерного импульса // ПМТФ. 1982. Т. 6. - С. 92-96.

217. Цой Б., Карташов Э.М., Шевелев В.В., Валишин А.А. Разрушение тонких полимерных пленок и волокон. М.: Химия, 1997. 344 с.

218. Жаховскпй В. В., Иногамов Н. A., Nishihara К. Новый механизм формирования нанорельефа поверхности, облученной фемтосекундпым лазерным импульсом. // Письма в ЖЭТФ. 2008. Т. 87, вып. 8. - С. 491-496.

219. Bahners Т., Schollmeyer Е. Surface modification of polymer fibers by irradiation with excimer laser .3. Synergetic model for the development of surface-structures// Ang. Makromol. Chemi. 1987. V. 151. - P. 39-47.

220. Bahners Т., Schollmeyer E. Morphological-changes of the surface-structure of polymers due to excimer laser-radiation a synergetic effect// J. Appl.Phys. 1989. - V.66, №4. - P. 18841886.

221. Arenholz E., Svorcfk V., Heitz J., Bauerle D. Now coherent structure formation on UV-laser irradiated polymers// 'Excimer Lasers', ed. L.D.Laude, Dortrecht: Kluwer cad. Publ., NATO ASI Ser. E256, P. 237, 1994.

222. Arenholz E., Heitz J., Wagner M., Bauerle D.,Hibst H., Hagemeyer A. Laser-induced surface modification and structure formation of polymers// Appl. Surf. Sci. 1993. -V.69, №1-4. -P.16-19.

223. Arenholz E., Wagner M.,,Heitz J., Bauerle D. Structure formation in UV-laser-ablated polyimide foils// Appl.Phys.A. 1992. -V. 55, №1, -P. 119-120

224. Arenholz E., Svorcik V., Kefer Т., Heitz J., Bauerle D. Sructure formation in UV-laser ablated poly-ethylene-terephthalate (PET)// Appl. Phys. A. 1991. V. 53, № 4. - P.330-331.

225. Emel'yanov V.I., Eriomin K.I. Formation of periodic structures under pulsed UV-laser ablation of stretched polymers // Proc. SPIE. 1998. V. 3343. - P. 1056-1067.

226. Слепян JI. И. Механика трещин. -Ленинград : Судостроение, 1981. -295с.

227. Мусхелишвили Н. И. Некоторые основные задачи математической теории упругости. -М. : Наука, 1966.

228. Панасюк В. В., Саврук М. П., Дацишин А. П. Распределение напряжений около трещин в пластинах и оболочках. Киев: Наукова думка, 1976. — 440с.

229. Strobl G., The Physics of Polymers, 3rd Ed. Springer, Berlin, Heidelberg, New York, 1997. -439 p.

230. Berry J.P., Fracture of Polymeric Glasses, chapter 2 in: H. Liebowitz, Fracture, Academic press, New York, London, 1972.

231. Peacock A .J., Handbook of Polyethylene. Marcel Dekker, New York, Basel, 2000. - 534 P

232. Сметании Б. И. Некоторые задачи о щелях в упругом клине и слое // Инженерный журнал М.Т.Т. 1968, Т.2, - С. 115-122.

233. Александров В. М., Сметанин Б. И. Равновесная трещина в слое малой толщины // Прикл. Мат. Механ. 1965, Т. 29, №4, с. 782-785.

234. Arenholz Е., PhD Thesis.// Johannes-Kepler-University, Linz. 1994.

235. Petit S., Laurens P., Amouroux J., Arefi-Khonsari F. Excimer laser treatment of PET before plasma metallization// Appl. Surf. Sci. 2000. V-. 168, № 1-4. - P.300-303.

236. Andrew J.E., Dyer P.E., Forster D., Key P.H. Direct etching of polymeric materials using a XeCl laser// Appl. Phys. Lett. 1983. V. 43, № 8. - P. 717-719.

237. Wang M.M., Esener S.C., McCormick F.B., Cokgor I., Dvornikov A.S., Rentzepis P.M. Experimental characterization of a two-photon memory // Optics Letters. 1997. V. 22, № 8. - P. 558-560.

238. Dvornikov A.S., Rentzepis P.M. Novel organic ROM materials for optical 3D memory devices// Optics Communications. 1997. V. 136, № 1-2. - P. 1-6.

239. Kawata S., Kawata Y. Three-dimensional optical data storage using photochromic materials// Chem. Rev. 2000. V. 100, № 5. - P. 1777-1788.

240. Sugiyama M., Inasawa S., Koda S., Hirose Т., Yonekawa Т., Omatsu Т., Takami A. Optical recording media using laser-induced size reduction of Au nanoparticles// Appl. Phys. Letters. 2001.-V. 79, № 10.-P. 1528-1530.

241. Makukha V., Meshalkin Y. Two-photon-excitation spatial distribution for crossed focused Gaussian beams// Appl. Optics. 2001. V. 40, № 23. - P. 3932-3936.

242. Абрамович M., Стиган И. Справочник по специальным функциям. М.: Наука, 1979. -830с

243. Kawata S., Sun Н.-В., Tanaka Т., Takada К. Finer features for functional microdevices -Micromachines can be created with higher resolution using two-photon absorption// Nature. 2001. V. 412, № 6848. - P. 697-698.

244. Strickler J.H., Webb W.W. 3-dimensional optical-data storage in refractive media by 2-photon point excitation//Opt. Lett. 1991.-V. 16, №22.-P. 1780-1782.

245. Takada К., Sun H.-B., Kawata S. Improved spatial resolution and surface roughness in photopolymerization-based laser nanowriting // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 86, № 7. - P. 71122.

246. Farsari M., Chichkov B. N. Two-photon fabrication// Nature Photonics. 2009. -V.3. -P.450-452.

247. Maruo S., Nakamura O., Kawata S. Three-dimensional microfabrication with two-photon-absorbed photopolymerization // Optics Letters. 1997. V. 22, № 2. - P. 132-134.

248. Takada K., Sun H.-B., Kawata S. Improved spatial resolution and surface roughness inphotopolymerization-based laser nanowriting // Applied Physics Letters. 2005. V. 86, № 7. - P. 071122-3.

249. Takada K., Sun H.-B., Kawata S. The study on spatial resolution in two-photon induced polymerization // Micromaching Technology For Micro-Optics and Nano-Optics IV. 2006. V. 6110.-P. A1100-A1100.

250. Tan D., Li Y., Qi F., Yang H., Gong Q., Dong X., Duan X. Reduction in feature size of two-photon polymerization using SCR500 // Applied Physics Letters. 2007. V. 90, № 7. - P. 071106-3.

251. Park S.H., Lim T.W., Yang D.-Y., Cho N.C., Lee K.-S. Fabrication of a bunch of sub-30-nm nanofibers inside microchannels using photopolymerization via a long exposure technique // Applied Physics Letters. 2006. V. 89, № 17. - P. 173133-3.

252. Witzgall J., Vrijen R., Yablonovitch E., Doan V., Schwartz B.J. Single-shot two-photon exposure of commercial photoresist for the production of three-dimensional structures// Opt. Lett. 1998. V. 23, № 22. - P.1745-1747.

253. Kato J., TakeyasuN., Adachi Y., Sun Ii.-B., Kawata S. Multiple-spot parallel processing for laser micronanofabrication// Appl. Phys. Lett. 2005. V. 86, № 4. - P. 044102.

254. Campbell M., Sharp D.N., Harrison M.T., Denning R.G., Turberfield A.J. Fabrication of photonic crystals for the visible spectrum by holographic lithography // Nature. 2000. V. 404, № 6773.-P. 53-56.

255. Yang S., Megens M., Aizenberg J., Wiltzius P., Chaikin P.M., Russel W.B. Creating periodic three-dimensional structures by multibeam interference of visible laser // Chemistry Of Materials. 2002. V. 14, № 7. - P. 2831.

256. Joannopoulos J.D., Villeneuve P.R., Fan S.H. Photonic crystals: Putting a new twist on light // Nature. 1997. V. 386, № 6621. - P. 143-149.

257. Serbin J., Ovsianikov A., Chichkov B. Fabrication of woodpile structures by two-photon polymerization and investigation of their optical properties// Optics Express. 2004. V. 12, № 21. - P.5221-5228.

258. Straub M., Gu M. Near-infrared photonic crystals with higher-order bandgaps generated by two-photon photopolymerization// Optics Letters. 2002. V. 27, № 20. - P. 1824-1826.

259. Sun H.-B., Suwa Т., Takada K., Zaccaria R.P., Kim M.S., Lee K.S., Kawata S. Shape precompensation in two-photon laser nanowriting of photonic lattices // Applied Physics Letters. 2004. V. 85, № 17. - P. 3708-3710.

260. Kaneko K., Sun H.-B., Duan X.-M., Kawata S. Submicron diamond-lattice photonic crystals produced by two-photon laser nanofabrication // Applied Physics Letters. 2003. V. 83, № 11. - P. 2091-2093.

261. Kim J.M., Muramatsu H. Two-photon photopolymerized tips for adhesion-free scanning-probe microscopy // Nano Letters. 2005. V. 5, № 2. - P. 309-314.

262. Galajda P., Ormos P. Complex micromachines produced and driven by light // Applied Physics Letters. 2001. V. 78, № 2. - P. 249-251.

263. Sun H.-B., Takada K., Kawata S. Elastic force analysis of functional polymer submicron oscillators // Applied Physics Letters. 2001. V. 79, № 19. - P. 3173-3175.

264. Sun H.-B., ICawakami Т., Xu Y., Ye J.Y., Matuso S., Misawa H., Miwa M., Kaneko R. Real three-dimensional microstructures fabricated by photopolymerization of resins through two-photon absorption // Optics Letters. 2000. V. 25, № 15. - P. 1110-1112.

265. Sun H.-B., Takada K., Kim M.-S., Lee K.S., Kawata S. Scaling laws of voxels in two-photon photopolymerization nanofabrication // Appl. Phys. Lett. 2003. V. 83, № 6. - P. 11041106.

266. Tanaka Т., Sun H.-B., Kawata S. Rapid sub-diraction-limit laser micro/nanoprocessing in a threshold material system // Appl. Phys. Lett. 2002. V. 80, №. 2. - P. 312-314.

267. Sun H.-B., Maeda M., Takada K., Chon J.W.M., Gu M., Kawata S. Experimental investigation of single voxels for laser nanofabrication via two-photon photopolymerization // Appl. Phys. Lett. 2003. V. 83, № 5. - P. 819-821.

268. Lee C.H., Chang T.W., Lee K.L., Lin J.Y., Wang J. Fabricating high-aspect-ratio sub-diffraction-limit structures on silicon with two-photon photopolymerization and reactive ion etching // Appl. Phys. A. 2004. V. 79, № 8. - P. 2027-2031.

269. Sun H.-B., Tanaka Т., Takada K., Kawata S. Two-photon photopolymerization and diagnosis of three-dimensional microstructures containing fluorescent dyes // Appl. Phys. Lett. 2001.-V. 79, № 10. P. 1411-1413.

270. Campagnola P.J., Delguidice D.M., Epling G.A., Hoffacker K.D., Howell A.R., Pitts J.D., Goodman S.L. 3-Dimensional Submicron Polymerization of Acrylamide by Multiphoton Excitation of Xanthene Dyes// Macromolecules. 2000. V. 33, № 5. - P. 1511-1513.

271. Fang N., Sun C., Zhang X. Diffusion-limited photopolymerization in scanning micro-stereolithography // Appl. Phys. A. 2004. V. 79, № 8. - P. 1839-1842.

272. Королев. Г.В. Современные тенденции в развитии исследований микрогетерогенного механизма трехмерной радикальной полимеризации// Успехи химии. 2003. V. 72, № 3. -Р. 222-244.

273. Flory P.J. Principles of Polymer Chemistry. Ithaca: Cornell University Press, 1953. - 688p.

274. Stockmayer W.H. Theory of molecular size distribution and gel formation in branched-chain polymers// J. Chem. Phys. 1943. V. 11, № 2. - P. 45-55.

275. Herrmann H.J., Landau D.P., Stauffer D. New universality class for kinetic gelation// Phys. Rev. Lett. 1982. V. 49, № 6. - P. 412-415.

276. Van Assche G., Verdonck E., Van Mele B. Interrelations between mechanism, kinetics, and rheology in an isothermal cross-linking chain-growth copolymerisation// Polymer. 2001. V. 42, № 7. - P. 2959-2968.

277. Френкель Я. И. Кинетическая теория жидкостей. Москва, Ленинград: Изд. АН СССР, 1959.-460с.

278. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Гидродинамика. Т.VII. М.:Наука, 1986. - 736 с.300. де Жен П. Идеи скейлинга в физике полимеров. М.: Мир, 1982. — 376 с.

279. Grosberg A.Yu., Khokhlov A.R. (translated by Atanov Yu.A.). Statistical physics of macromolecules. New York: AIP Press, 1994. - 384 p.

280. Anseth K.S., Kline L.M., Walker T.A., Anderson K.J., Bowman C.N. Reaction-kinetics and volume relaxation during polymerizations of multiethylene glycol dimethacrylates // Macromolecules. 1995. V. 28, № 7. - P. 2491-2499.

281. Yin X., Fang N., Zhang X., Martini I.B., Schwartz B.J. Near-field two-photon nanolithography using an apertureless optical probe// Appl. Phys. Lett. 2002. V. 81, № 19. - P. 3663-3665.

282. Иржак В.И., Розенберг Б.А., Ениколопян H.C. Сетчатые полимеры (синтез, структура, свойства). М.: Наука, 1979. - 248 с.

283. Sahimi М. Applications of percolation theory. London: Taylor & Francis, 1994. - 258 p.

284. Берлин A.A., Кефели Т.Я., Королев Г.В. Полиэфиракрилаты. М.: Наука, 1967. — 372с.

285. Федер Е. Фракталы: Пер. с англ. М.: Мир, 1991. - 254 с.

286. Stauffer D., Aharony A. Introduction to percolation theory — Revised second edition. — Taylor and Francis, 1994. 192p.

287. Sapoval В., Rosso M., Gouyet J.-F. The fractal nature of a diffusion front and the relation to percolation // Journal de physique lettres. 1985. - V. 46. № 4. - P. L149-L156.

288. Rosso M., Gouyet J.-F., Sapoval B. Gradient percolation in three dimensions and relation to diffusion fronts// Physical Review Letters. 1986. -V. 57, № 25. - P. 3195-3198.

289. Gouyet J.-F., Rosso M. Diffusion fronts and gradient percolation: a survey// Physica A. -2005,-V. 357.-P. 86-96.

290. Desolneux A., Sapoval B. Percolation fractal exponents without fractals and a new conservation law in diffusion // Europhysics Letters. — 2005. V. 72, № 6. — P. 997-1003.

291. Balazs L., Gouyet J.-F. Two-dimensional pitting corrosion of aluminium thin layers// Physica A. 1995,-V. 217, №3-4.-P. 319-338.

292. Balazs L. Corrosion front roughening in two-dimensional pitting of aluminium thin layers // Physical Review E. 1996.-V. 54, №2.-P. 1183-1189.

293. Sapoval В., Santra S.B., Barboux Ph. Fractal interfaces in the self-stabilized etching of random systems// Europhysics Letters. 1998. V. 41, № 3. - P. 297-302.

294. Bunde A., Havlin S. (eds.). Fractals and Disordered Systems Second edition. -Heidelberg: Springer Verlag, 1996. - 408p.

295. Colby R.H., Rubinstein M., Gillmor J.R., Mourey Т.Н. Scaling properties of branched polyesters. 2. Static scaling above the gel point// Macromolecules. 1992. V. 25, № 26. — P. 7180-7187.

296. Colby R.H., Gillmor J.R., Rubinstein M. Dynamics of near-critical polymer gels // Physical Review E. 1993.-V. 48, №5.-P. 3712-3716.

297. Kaya D., Pekcan O. Comparison of critical parameters of polymerization and gelation processes: a fast transient fluorescence study// International Journal of Modern Physics B. 2005. -V. 19,№6.-P. 971-987.

298. Gelir A., Kaya Akta§ D., Cianga I., Cianga L., Yagci Y., Yilmaz Y. Studying the solegel transition of styreneedivinyl benzene crosslinking co-polymerization via excimer forming dye molecules // Polymer. 2006. V. 47, № 16. - P. 5843-5851.

299. Piyaket R., Cokgor I., McCormick F.B., Dvornikov A.S., Esener S., Rentzepis P. Two-photon-induced photochromic reactions in spirobenzopyran-doped poly(methyl methacrylate) thin-film waveguides// Opt. Lett. 1996. V. 21, № 14. - P. 1032-1034.

300. Schaffer Ch.B., Brodeur A., Garcia J.F., Mazur E. Micromachining bulk glass by use of femtosecond laser pulses with nanojoule energy // Opt. Lett. 2001. V. 26, № 2. - P. 93-95.

301. Homoelle D., Wielandy S., Gaeta A.L., Borrelli N.F., Smith Ch. Infrared photosensitivity in silica glasses exposed to femtosecond laser pulses// Opt. Lett. 1999. V. 24, № 18. - P. 13111313.

302. Streltsov A.M., Borrelli N.F. Fabrication and analysis of a directional coupler written in glass by nanojoule femtosecond laser pulses// Opt. Lett. 2001. V. 26, № 1. - P. 42-43.

303. Yamasaki K., Juodkazis S., Watanabe M., Sun H.-B., Matsuo S., Misawa H. Recording by microexplosion and two-photon reading of three-dimensional optical memory in polymethylmethacrylate films// Appl. Phys. Lett. 2000. V. 76, № 8. - P. 1000-1002.

304. Xu Y., Joudkazis S., Sun K., Watanabe M., Matsuo S., Misawa H. Arbitrary-lattice photonic crystals created by multiphoton microfabrication// Opt. Lett. 2001. V. 26, № 6. - P. 325-327.

305. Korytin A.I., Bityurin N.M., Alexandrov A.P., Babina N.A., Smirnova L.A., Sergeev A.M. High contrast bitwise three-dimensional optical data storage in doped polymers // Optical Memory & Neural Networks. 1998. - V. 7, No 1. - P. 11-18.

306. Englert L., Rethfeld В., Haag L., Wollenhaupt M., Sarpe-Tudoran C., Baumert T. Control of ionization processes in high band gap materials via tailored femtosecond pulses// Optics. Express. 2007. V. 15, № 26. - P. 17855-17862.

307. Okoshi M., Inoue N. Laser ablation of polymers using 395 nm and 790 nm femtosecond lasers// Appl. Phys. A. 2004. V. 79, № 4-6. - P. 841-844.

308. Chmel A.E. Fatigue laser-induced damage in transparent materials// Mater. Sci. Eng. B. 1997. V. 49, № 3. - P. 175-190.

309. Rosenfeld A., Lorenz M., Stoian R., Ashkenasi D. Ultrashort-laser-pulse damage threshold of transparent materials and the role of incubation // Appl. Phys. A. 1999. V. 69. - P. S373-S376.

310. Ashkenasi D., Lorenz M., Stoian R., Rosenfeld A. Surface damage threshold and structuring of dielectrics using femtosecond laser pulses: the role of incubation// Appl. Surf. Sci. 1999. -V. 150, № 1-4.-P. 101-106.

311. Wang X.C., Lim G.C., Zheng H.Y., Ng F.L., Liu W., Chua S J. Femtosecond pulse laser ablation of sapphire in ambient air// Appl. Surf. Sci. 2004. V. 228, № 1-4. - P. 221-226.

312. Bonse J., Sturm H., Schmidt D., Kautek W. Chemical, morphological and accumulation phenomena in ultrashort-pulse laser ablation of TiN in air// Appl. Phys. A. 2000. V. 71, № 6. -P.657-665.

313. Baudach S., Bonse J., Kriiger J., Kautek W. Ultrashort pulse laser ablation of polycarbonate and polymethylmethacrylate//Appl. Surf. Sci. 2000. V. 154. - P. 555-560.

314. Bonse J., Wrobel J.M., Brzezinka K.-W., Esser N., Kautek W. Femtosecond laser irradiation of indium phosphide in air: Raman spectroscopic and atomic force microscopic investigations// Appl. Surf. Sci. 2002. V. 202, № 3-4. - P.272-282.

315. Mero M., Clapp В., Jasapara J.C., Rudolph W., Ristau D., Starke K., Kriiger J., Martin S., Kautek W. On the damage behavior of dielectric films when illuminated with multiple femtosecond laser pulses// Opt. Eng. 2005. V. 44, № 5. - P. 051107.

316. Jasapara J., Nampoothiri A.V.V., Rudolph W., Ristau D., Starke K. Femtosecond laser pulse induced breakdown in dielectric thin films // Phys. Rev. B. 2001. V. 63, № 4. - P. 045117.

317. Martin P., Guizard S., Daguzan Ph., Petite G., D'Oliveira P., Meynadier P., Perdrix M. Subpicosecond study of carrier trapping dynamics in wide-band-gap crystals// Phys. Rev. B. 1997. V. 55, № 9. - P. 5799-5810.

318. Kaiser A., Rethfeld В., Vicanek M., Simon G. Microscopic processes in dielectrics under irradiation by subpicosecond laser pulses// Phys. Rev. B. 2000. V. 61, № 17. - P. 11437-11450.

319. Райзер Ю. П., Лазерная искра и распространение разрядов. М.: Наука, 1974. - 308 с.

320. Rethfeld В., Kaiser A., Vicanek M., Simon G. Nonequilibrium electron and phonon dynamics in solids absorbing a subpicosecond laser pulse// Proc. SPIE. 2000. V. 4423. - P. 250261.

321. Wolfram S. The Mathematica Book, 4th ed. Wolfram Media, Cambridge University Press, 1999. - 1496 p.

322. Arnold D., Cartier E., DiMaria D.J. Theory of high-field electron transport and impact ionization in silicon dioxide// Phys. Rev. B. 1994. V. 49. - P. 10278-10297.

323. Bloembergen N. Laser-induccd electric breakdown in solids// IEEE J. Quantum Electronics. 1974.-V. 10, №3.-P. 375-386.

324. Делоне H. Б., Крайнов В. П., Атом в сильном световом поле. М.: Энергоатомиздат, 1984. - 224 с.

325. Келдыш JI. В. Ионизация в поле сильной электромагнитной волны.// ЖЭТФ. 1964. -Т. 47, №5,.-С. 1945-1956.

326. Srinivasan R., Hall R.R., Loehle W.D., Wilson W.D., Allbee D.C. Chemical-transformations of the polyimide kapton brought about by ultraviolet-laser radiation// J. Appl. Phys. 1995. V. 78, № 8. - P. 4881-4887.

327. Ball Z., Feurer Т., Callahan D.L., Sauerbrey R. Thermal and mechanical coupling between successive pulses in KrF-excimer-laser ablation of polyimide // Appl.Phys. A. 1996. V. 62, № 3.-P. 203-211.

328. Lazare S., Guan W., Drilhole D. High sensitivity quadrupole mass spectrometry of neutrals sputtered by UV-laser ablation of polymers // Appl. Surf. Sci. 1996. V. 96-98. - P. 605-610.

329. Fadeeva . E., Koch J., Chichkov В., Kuznetsov A., Kameneva O., BityurinN., KanaevA. Laser imprinting of 3D structures in gel-based titanium oxide organic-inorganic hybrids// Appl. Phys. A. 2006. V. 84, No 1-2. - P. 27-30.