Край оптического поглощения аморфного гидрогенизированного углерода тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Толмачев, Алексей Владимирович

• Толмачев, Алексей Владимирович
• кандидат физико-математических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Толмачев, Алексей Владимирович

СОДЕРЖАНИЕ.

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.

§1.1. Методы получения и структура аморфного углерода.

§ 1.2. Роль водорода в аморфном углероде.

§ 1.3. Модели описания формы края оптического поглощения в аморфном углероде.

§ ] .4. Оптические свойства аморфного углерода.

§1.5. Влияние легирования на свойства аморфного углерода.

§ 1.6. Влияние внешнего воздействия на оптические свойства аморфного углерода.

§ 1.7. Постановка задачи.

ГЛАВА 2. МЕТОДИКИ ИССЛЕДОВАНИЯ.

§ 2.1. Методики приготовления образцов.

§ 2.2. Исследование структуры методом просвечивающей электронной микроскопии.

§2.3. Метод восстановления оптических констант по спектрофотометрическим данным.

§2.3. Методика исследования влияния термического и ультрафиолетового воздействия на оптические свойства аморфного углерода.

ГЛАВА 3. ПЛЕНКИ АМОРФНОГО УГЛЕРОДА, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ГРАФИТА.

§3.1. Оптические свойства аморфного углерода, полученного методом магнетронного распыления графита.

§ 3.2. Микроструктурные исследования аморфного углерода.

§ 3.3. Медные нанокластеры в аморфном углероде, легированном медью.

ГЛАВА 4. ВЛИЯНИЕ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО И ТЕРМИЧЕСКОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ НА КРАЙ ОПТИЧЕСКОГО ПОГЛОЩЕНИЯ АМОРФНОГО УГЛЕРОДА.

§4.1. Исследование влияния ультрафиолетового воздействия на край оптического поглощения.

§ 4.2. Влияние термического воздействия на край оптического поглощения аморфного углерода.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Край оптического поглощения аморфного гидрогенизированного углерода»

Аморфный гидрогенизированный углерод (а-С:Н) впервые был синтезирован в начале 70-х годов и с тех пор интерес к нему непрерывно возрастает, что обусловлено уникальными свойствами этого материла. Эти свойства включают чрезвычайную твердость, химическую инертность, высокое электрическое сопротивление, оптическую прозрачность и высокую теплопроводность, что делает этот материал привлекательным с точки зрения многочисленных технических приложений. Структура и, следовательно, свойства пленок аморфного углерода зависят от технологических режимов синтеза материала и условий последующего контролируемого термического и радиационного воздействия. Введение в аморфный углерод легирующих карбидонеобразующих добавок существенно расширяет возможности управления его свойствами. В результате легирования материала медью в аморфной матрице формируются объекты нанометровых размеров, свойства которых влияют на физические характеристики получаемого материала в целом. Оптическая диагностика структуры таких материалов представляет интерес благодаря своей простоте и информативности, что актуально как с фундаментальной точки зрения, так и при решении задач синтеза материалов с заранее заданными свойствами.

В связи с вышесказанным является перспективным исследование края оптического поглощения пленок аморфного углерода, позволяющее выявлять связь микроструктуры материала с особенностями на оптических спектрах и исследовать влияние на микроструктуру материала технологических режимов и условий температурного и радиационного воздействия.

Цели и задачи диссертационной работы. Цель работы состояла в изучении структуры и оптических свойств а-С:Н в зависимости от условий синтеза материала, легирования медью и условий контролируемого термического и радиационного (ультрафиолетового) воздействия.

В работе ставились следующие задачи: Исследование модификации края оптического поглощения аморфного углерода в результате термического и ультрафиолетового воздействия. Изучение возможности применения оптических методов для диагностики графитоподобной составляющей в аморфном и аморфном гидрогенизированном углероде и медьсодержащих кластеров в аморфном гидрогенизированном углероде, легированном медью. Определение геометрических характеристик алмазоподобных и графитоподобных фрагментов аморфного углерода и медьсодержащих кластеров в аморфном гидрогенизированном углероде, легированном медью.

Научная новизна работы и практическая ценность результатов работы. о Развиты существующие представления о структуре аморфного углерода. о Впервые показано, что существует две подсистемы графитоподобных кластеров, вносящих вклад в спектральную зависимость края собственного поглощения. о Впервые исследована зависимость количества к электронов в таких кластерах от условий ультрафиолетового и термического воздействия. о Впервые, из оптических спектров а-С:Н, легированного медью, по особенностям, обусловленным поглощением электромагнитного излучения поверхностными плазмонами в нанометровых медьсодержащих кластерах, сделан вывод о существовании двух типов медьсодержащих кластеров, и из исследования параметров резонансов определены их геометрические характеристики.

Практическая ценность данной работы состоит в том, что разработаны методы определения оптических констант из спектров пропускания и эллипсометрических данных. На основе данных, полученных из оптических методов, показана возможность управления структурными характеристиками и оптическими свойствами аморфного углерода, путем легирования, контролируемого термического и радиационного воздействия.

Основные положения, выносимые на защиту.

1. Существует две подсистемы графитоподобных кластеров, вносящих вклад в спектральную зависимость края собственного поглощения.

2. Среднее количество л электронов в обоих подсистемах графитоподобных кластеров возрастает с увеличением температурного воздействия.

3. При ультрафиолетовом воздействии среднее количество ж электронов, содержащихся в графитоподобных кластерах, уменьшается при увеличении времени облучения.

4. Обнаруженные резонансные особенности спектров поглощения а-С:Н, легированного медью, связаны с поглощением электромагнитного излучения поверхностными плазмонами в двух типах проводящих кластеров, различающихся геометрическими характеристиками.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались на двух международных конференциях "Фуллерены и атомные кластеры" - IWFAC'97, IWFAC'99 (Санкт-Петербург, 1997, 1999), на двух международных конференциях "Физика и технология наноструктур" (Санкт-Петербург, 1995, 1997), на третьем международном симпозиуме "Алмазоподобные пленки" - ISDF-3 (Санкт-Петербург, 1995) на международной конференции по физике полупроводников CAS'97 (Румыния, 1997), на 192 сессии Электрохимического общества (Париж, 1997), на осенней сессии Общества по исследованию материалов MRS (Бостон, 1998), а также на семинарах лаборатории фотоэлектрических явлений в полупроводниках ФТИ им. А.Ф. Иоффе РАН.

Исследования в данном направлении были поддержаны грантами РФФИ № 97-02-18110а, № 97-03-32273а.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 20 печатных работ, список которых приведен в конце диссертации.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, 4-х глав, заключения с основными выводами и списка цитируемой литературы.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Толмачев, Алексей Владимирович

Основные результаты диссертационной работы сводятся к следующему: Оптические методы способны использоваться для диагностики графитоподобной составляющей в аморфном углероде и медьсодержащих кластеров в аморфном гидрогенизированном углероде, легированном медью.

Существует две подсистемы графитоподобных кластеров, вносящих в клад в спектральную зависимость края собственного поглощения. Геометрические размеры графитоподобных фрагментов меняются в зависимости от величины температурного и ультрафиолетового воздействия.

Результаты проведенного исследования оптических констант а-С:Н, легированного медью, свидетельствуют об образовании в нем двух типов проводящих наноразмерных включений на основе меди, отличающихся геометрическими характеристиками. Характерные размеры таких кластеров лежат в диапазоне от единиц до десятков нанометров и зависят от уровня легирования материала медью. В случае появления на спектре поглощения особенности стандартный подход определения значения края оптического поглощения по формуле Тауца оказывается неадекватным, и необходимо учитывать вклад коллективных явлений в графитоподобных фрагментах.

Основное содержание диссертации опубликовано в следующих работах:

1. V.I. Ivanov-Omskii, S.G. Yastrebov, Т.К. Zvonariova, А.А. Sitnikova, A.V. Tolmatchev, А.А. Suvorova, "Study of Copper and Carbon Nanoclusters in a-C:H" - Abstracts of the International Symposium "Nanostructures: Physics and Technology'95",26-30 June 1995, St.-Petersburg, Russia, p. 386.

2. V.I. Ivanov-Omskii, A.V. Lodygin, A.V. Tolmatchev, S.G. Yastrebov, A.A. Suvorova, A.A. Sitnikova, "Size-Distribution Analysis of Diamond and Graphite-Like Constituent of DLC" - Abstracts of the Third International Symposium on Diamond Films (ISDF-3), 16-19 June 1996, St.-Petersburg, Russia.

3. V.I. Ivanov-Omskii, A.V. Tolmatchev, S.G. Yastrebov, A.A. Suvorova, A.A. Sitnikova, "Optical and ТЕМ Study of Copper-born Clusters in DLC" - Abstracts of the Third International Symposium on Diamond Films (ISDF-3), 16-19 June 1996, St.-Petersburg, Russia.

4. A.V. Chernyshev, A.V. Tolmatchev, I.N. Trapeznikova, S.G. Yastrebov, "Optical Study of UV-Stimulated Mid-Range Order Transform of DLC" -Abstracts of the Third International Symposium on Diamond Films (ISDF-3), 16-19 June 1996, St.-Petersburg, Russia.

5. V.I. Ivanov-Omskii, A.V. Tolmatchev and S.G. Yastrebov, "Optical Absorption of Amorphous Carbon Doped with Copper" - Phil.Mag.B, 73(4), (1996), p.715-722.

6. C. Morosanu, A.V. Tolmatchev, S.G. Yastrebov, "Numerical Analysis of a-C:H Nanostructure" Abstracts of the X International Students' Symposium "Microcomputers in Engineering" 7-11 May 1997; Lodz-Szklarska Poremba-Prague, Poland-Chech, p.20.

7. V.I. Ivanov-Omskii, A.V. Lodygin, A.A. Sitnikova, A.A. Suvorova, S.G. Yastrebov and A.V. Tolmatchev "Size-Distribution Analysis of Diamond and Graphite-Like DLC Constituents" - Journal of Chemical Vapor Deposition (JCVD) Vol. 5, p. 198-206.

8. V.I. Ivanov-Omskii, V.I. Siklitsky, A.A. Sitnikova., A.A. Suvorova, A.V. Tolmatchev, Т.К. Zvonariova and S.G. Yastrebov, "Diamond Nanocrystals in Amorphous Carbon Grown by Ion Sputtering of Graphite" - Phil.Mag. B, 76(6) (1997), pp 973-978.

9. M.V. Baidakova, V.I. Ivanov-Omskii, V.I. Siklitsky, A.A. Suvorova, A.A. Sitnikova, A.V. Tolmatchev, S.G. Yastrebov - "Structure of Copper Nanoclusters Embedded in a-C:H" - Abstracts of the International Symposium "Nanostructures: Physics and Теchnology'97" 23-27 June 1997, St.-Petersburg, Russia, p. 383-386.

10.C. Morosanu, A.V. Tolmatchev, S.G. Yastrebov, "Optical Study of a-C:H Structure" - Abstracts of Invited Lecture and Conritibuted Papers of the "3rd International Workshop "Fullerenes and Atomic Clusters", 30 June-4 July 1997, St.Petersburg, Russia, p.281.

1 l.A.B. Lodygin., A.V. Tolmatchev and S.G. Yastrebov, "Percolation Network in Copper-dopped Diamond-Like Carbon" - Abstracts of Invited Lecture and Conritibuted Papers of the "3rd International Workshop "Fullerenes and Atomic Clusters", 30 June-4 July 1997, St.Petersburg, Russia, p.288.

12.S.G. Yastrebov, V.I. Ivanov-Omskii, V.I. Siklitsky, A.A. Sitnikova, A.V. Tolmatchev, "Diamond and Graphite Clusters in Diamond-Like Carbon" - Abstracts of Invited Lecture and Conritibuted Papers of the "3rd International Workshop "Fullerenes and Atomic Clusters", 30 June-4 July 1997, St.Petersburg, Russia, p.290.

13.A. Taga, С. Morosanu, A.V. Tolmatchev, S.G. Yastrebov, "Optical Properties of Hard DLC Layers" - Proceedings of 1997 International Semiconductor conference. CAS^, v2, (1997) p.471-474. Publisher IEEE, NY, USA.

14.A.B. Lodygin, V.I. Siklitsky, A.V. Tolmatchev and S.G. Yastrebov, "Percolation Network in Copper-doped Diamond-Like Carbon" - 1997 Joint International Meeting - the 192nd Meeting of The Electrochemical Society, Inc. and the 48th Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry 31 August-5 September 1997 Paris, France.

15.Size-Distribution Analysis of Diamond- and Graphite- Clusters in DLC S.G.Yastrebov, V.I.Ivanov-Omskii, A.A. Suvorova, A.A.Sitnikova and A.V.Tolmatchev In "Diamond and Diamond-Like Film Application", Ed. P.J.Gielisse, Technomic Publishing Company, Inc., Lancaster, USA, 1998, pp.446-494.

16.Optical Study and ТЕМ Study of Copper-Born Clusters in DLC Ivanov-Omskii V.I., Yastrebov S.G., Suvorova A.A., Sitnikova A.A., Tolmatchev A.V. In "Diamond and Diamond-Like Film Application", Ed. P.J.Gielisse, Technomic Publishing Company, Inc., Lancaster, USA, 1998, 438-447.

17.A.V.Chernyshev, A.V.Tolmatchev, I.N.Trapeznikova, S.G. Yastrebov Optical Study of UV-Stimulated Mid-Range Order Transform of DLC". In "Diamond and Diamond-Like Film Application", Ed. P.J.Gielisse, Technomic Publishing Company, Inc., Lancaster, USA, 1998, 452-458.

18.C.Morosanu, A.V.Tolmatchev, and S.G.Yastrebov, Optical study of nanostructure of plasma assisted grown a-C:H, Fall Meeting of Material Research Society, November 30-December 4, 1998, Boston, USA.

19.V.I.Ivanov-Omskii, A.A.Sitnikova, A.V.Tolmatchev, and S.G.Yastrebov, Diamond and graphite nanoclusters in diamond-like carbon, Fall Meeting of Material Research Society, November 30-December 4 1998, Boston, USA.

20.A.V. Tolmatchev, A.A Evstrapov, V.I. Ivanov-Omskii, and S.G. Yastrebov, Optical studies of temperature-induced transform of amorphous hydrogenated carbon// Abstracts of Invited Lecture and Conritibuted Papers of the "4th Biennial International Workshop "Fullerenes and Atomic Clusters", October 4-8, 1999, St.Petersburg, Russia, p.200.

Я выражаю глубокую благодарность профессору В.И. Иванову-Омскому и С.Г. Ястребову за внимание и руководство при написании данной работы. Я искренне благодарен тем людям без которых создание и написание данной работы было бы невозможно: А,А. Евстрапову, Т.К. Звонаревой, Л.В. Шароновой, М.И. Абаеву, Г.С. Фроловой, А.В. Чернышеву, А.А. Ситниковой и В.И. Сиклицкому за большой объем проведенных ими измерений и полезные обсуждения результатов. Особую признательность хочу выразить всем сотрудникам лаборатории фотоэлектрических явлений в полупроводниках ФТИ им. А.Ф. Иоффе и кафедры экспериментальной физики СПбГТУ, за их искреннее дружеское отношение.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Толмачев, Алексей Владимирович, 2000 год

1.D., Danielson G.C. Electrical properties of arcevaporated carbon films // J.Appl.Phys., 28(5), (1957), p.583.

2. Aisenberg S. and Chabot R. Ion-Beam Deposition of Thin Films of Diamond-Like Carbon // J.Appl.Phys, 42 (1971), p.2953-2958.

3. Spencer E.G., Schmidt P.H., Joy D.C. and Salsalone F.J. Ion-Beam Deposited Polycristalline Diamond-Like Films // Appl.Phys.Lett., 29 (1976), p. 118-120.

4. McKenzie D.R., McPhedran R.C., Savvides N., Botten L.C. Properties andstructure of amorphous hydrogenated carbon films.- Phil.Mag.B, 1983, V.48, No.4, p.341.

5. Weissmantel C., Bewilogua K., Breuer K., Dietrich D., Ebersbach U., Erier

6. H.-J., Rau В., Reisse G.- Thin Sol.Films, 1982, V.96, p.31.

7. Spitsyn B.V., Bouilov L.L., Derjaguin B.V. Vapor growth of diamond andother surfaces.- J.Cryst.Growth, 1981, V.52, Pt.I, p.219.

8. Sawabe A., Inuzuka T. Thin Sol.Films, 1986, V.137, p.89.

9. Голянов B.M., Демидов А.П. Способ получения искусственных алмазов // Авторское свидетельство №411037, приоритет от 28/Х-71, Бил.Изобр. 29, 172, 1974.

10. Hauser J.J. Electrical, structural and optical properties of amorphous carbon.- J.Non-Cr.Sol., 1977, V.23, No.l, p.21.

11. Banks B.A., Rutledge S.K., Ion beam sputter-deposited diamondlike films.- J.Vac.Sci.Technol., 1982, V.21, No.3, p.807.

12. Savvides N.and Window B. J.Vac.Sci.Technol.A, 1985, V.3, p.2386.

13. Matsumoto S., Sato Y., Tsutsumi M., Setaka N. J.Mater.Sci., 1982, V.17, p.3106.

14. Matsumoto S. J.Mater.Sci.Lett.,1985, V.4, p.600.

15. Sawabe A., Inuzuka T. Thin Sol.Films, 1986, V.137, p.89.

16. Wessmantel C., Bewilogua K., Dietrich D., Erler H.-J., Hinneberg H.-J., Klose S., Nowick W., Reisse G. Thin Sol.Films, 1980, V.72, p. 19.

17. Namba Y. Mori Т., Structural study of the diamond phase carbon films produced by ionized deposition.- J.Vac.Sci.Technol., A, 1985, V.3, No.2, p.319.

18. Seitz F., Koehler J.S. In Progress in Solid State Physics,- Academic, N.Y., 1957, V.2, p.30.

19. Mori T.and Namba Y. Hard diamond like carbon films deposited by ionized deposition of methane gas.- J.Vac.Sci.Technol.A, 1983, V.l,No.l, p.23.

20. Pirker K., Schallauer R., Fallmann W., Olcaytug F., Urban J., Jachimowicz A., Kohl F., Prohaska O. Thin Sol.Films, 1986, V.138, p 121.

21. Ojha S.M., Norstrom H., McCulluch D. Thin Sol.Films, 1979, V.60, No.2, p.213.

22. Angus J.A., Stultz J.E., Shiller P.J., McDonald J.A., Mirtich M.J., Domitz S.- Thin Sol.Films, 1984, V.118, p.311.

23. Nyaiesh A.R., Nowak W.B. Chemisorbed Hydrogen on a-carbon films.-J.Vac.Sci.Technol., A, 1983, V.l, No.2, p.308.

24. Ingram D.C., Woollam J.A., Bu-Albud G. Thin Sol.Films, 1986, V.137, p.225.

25. Мотт H., Дэвис Э. Электронные процессы в некристалических веществах. М.:Мир, 1982, т. 1,2.

26. Аморфные полупроводники, М.:Мир, 1982.

27. J. Tauc, R.Grigorovici, and A.Vancu, Phys.Status Solidi, 15, 627 (1966).

28. J. Robertson, and E.P. O'Reilly, Electronic and atomic structure ofamorphous carbon, Phys.Rev.B., 35, (1987), 2946-2957.

29. D.R. Mc.Kenzie, R.C.McPhedran, N.Savvides, and D.J.H.Cocayne, Anallysis of films prepared by plasma polymerization of acetylene in a D.C. magnetron, Thin Solid Films, 108(1983), pp.247-256.

30. F.W.Smith, Optical properties and local atomic bonding in hydrogenated amorphous carbon and silicon-carbon alloys, Materials Science Forum, 52&53(1989), pp.323-340.

31. Smith F.W. Optical constants of a hydrogenated amorphous carbon film.-J.Appl.Phys., 1984, V.55,No.3, p.764-771.

32. D.Dasgupta, F.Demichelis, C.F.Pirri, and A.Tagliaferro, n bands and gap states from optical absorption and electron-spin-resonance studies on amorphous carbon and amorphous hydrogenated carbon films, Phys.Rev.B. 43, 3(1991), pp.2131-2135.

33. F.Demichelis, C.F.Pirri, and A.Tagliaferro, Evaluation ofл лthe C(sp )/C(sp ). ratio in diamondlike films through the use of a complex dielectric constant, Phys.Rev.B. 45(24), 1992, pp.14364-14370.

34. M.Weiler, S.Sattel, T.Giessen, K.Jung, H.Ehrhardt, V.S. Veerasamy and J. Robertson, Preparation and properties of highly tetrahedral hydrogenated amorphous carbon, Phys.Rev.B., 53(3), 1996, pp. 1594-1608.

35. Bubenzer A., Dischler B, Brandt G. and Koidl P. rf-plasma deposited amorphous hydrogenated hard carbon thin films: Preparation, properties and applications.-J.Appl.Phys., 1983, v.54, No.8, p.4590.

36. Dyer H.B., Rual F.A., Du Preez L., Loubser J.H.N. Optical absorption features associated with paramagnetic nitrogen in diamond.- Phil.Mag., 1965, V.l 1, No.l 12, p.703.

37. Jarman R.H., Ray G.J. Standley R.W, and Zajac G.W., Appl.Pys.Lett., 1986, 49, p. 1065.

38. Kaplan S., JansenF., and MachonkinM., Appl.Phys.Lett., 1985, 47, p.750.

39. Savvides N.J., Appl.Phys., 1986, 59, p.4713.

40. J. Fink, Th. Muller-Heinzerling, J.Pfluger, B. Scherer, D. Dischler, P. Koidl, A. Bubenzer, and R.E. Sah, Investigation of hydrocarbon-plasma-generated carbon films by electron-energy-loss spectroscopy. Phys.Rev.B. 30, (1984), pp.4713-4718.

41. Tamor M.A., and Vassell W.C., J.Appl.Phys., 1994, 76, p.3823.

42. Neugebauer C.A. Thin Sol.Films, 1970, V.6, p.443.

43. Biederman H. at al. Pure Appl.Chem., 1988, V.60, No.5, p.607.

44. Biederman H. et al. Nycl.Instrum. Methods, 1983, V.219, p.497.

45. Wang M., Schmidt K., Reichelt K., Dimigen H. and Hubsch H. Characterization of Metal-Containing Amorphous Hydrogenated Carbon Films // J.Mater.Res., 7(3) (1992), p.667-676

46. Klages C.P., Memming R. Microstructure and physical properties of metal- containing hydrogenated carbon films.- Materials Science Forum, 1989, V. 52-53, p.609.

47. Василевская Т.Н., Ястребов С.Г., Андреев H.C., Дроздова И.А., Звонарева Т.К., Филипович В.Н. Структура пленок аморфного гидрированного углерода, легированного медью// ФТТ, 1999, 41(11), стр. 2088-2096.

48. Иванов-Омский В.И., Лодыгин А.Б., Ястребов С.Г. Электрические и оптические свойства аморфного углерода, легированного медью// Физика твердого тела, 1995, 37(6), стр. 1693-1697.

49. Иванов-Омский В.И., Абаев М.И., Ястребов С.Г. Электрические и оптические свойства аморфного углерода, легированного медью// Письма в ЖТФ, 1984, 20(11), стр.61-67.

50. Аверьянов B.JI., Базиева Н.Е., Мастеров В.Ф., Приходько А.В., Ястребов С.Г. "Экспериментальное наблюдение фазового перехода металл- сверхпроводник в слоях СхСиу при температуре жидкого азота"- Письма в ЖТФ, 1993, т. 19, в. 12, с.77-80.

51. Kay Е., Heeq М. Metal clusters in plasma polymerized matrices:Gold.-Appl.Phys.Lett., 1984, v.55, No.2, p.370.

52. Perrin J., Despax В., Kay E. Optical properties and microstructure of gold-fluorocarbon-polymer composite films.- Phys.Rev.B, 1985, v.32, No.2, p.719.

53. Weissmantel C., Ackermann E., Bewilogna K., Hecht G., Kupfer H. and Ran B. Structure property relationships of carbonaceons films grown under ion enhancement.- J.Vac.Sci.Technol.A, 1986, V4, No.6, p.2892.

54. Иванов-Омский В.И., Криворотов И.Н., Ястребов С.Г. Алмазоподобный гидрогенизированный углерод, легированный медью: спектральная интерферометрия.- ЖТФ, 1995, т.65, в.9, с.121-135.

55. Петров Ю.И. Физика малых частиц, М.: Наука, 1982, 359 с.

56. Петров Ю.И. Кластеры и малые частицы. М.: Наука, 1986 ,368с.

57. Борен К., Хафмен Д. Поглощение и рассеяние света малыми частицами. М.: Мир, 1986, 660с.

58. Ван де Хюлст Г. Рассеяние света малыми частицами. М.: Изд-во иностранной литературы, 1961, 536 с.

59. Skillman D.C. at al. J.Chem.Phys., 1968, V.48, p.3297.

60. Martinu L. et al. Solar Energy Mater., 1987, V.15, p.21.

61. Maxwell-Garnett J.C. Philos.Trans.R.Soc.London, 1904, V.203, p.385.

62. Prawer S., Kalish R., Adel M., Richter V. Effect of Heavy Ion Irradiation on amorphous Hydrogenated (Diamondlike) Carbon Films, J.App.Phys.1987, 61, р.4492.

63. Bountard D., Gudowska I., Schrezer B.M., Moller W. Helium Implantition Effects in Hard Hydrogenated Carbon Layers, J.Appl.Phys. 1990, 68, p.2068.

64. Gonzales-Hernandez J., Azomaza R., Reyes-Mena A. Grafitization of Amorphous Diamondlike Carbon Films by Ion Bombardment, J.Vac.Sci.Technol. 1988, 6(3), p. 1798.

65. Клоцман C.M., Плотников C.A., Рубинштейн А.П., Трахтенберг И.Ш., Выходцев В.Б. Влияние отжигов и ионной бомбардировки на содержание и свойства алмазоподобных пленок. // Физика и химия обработки материалов, 5 (1992), стр. 16-20.

66. I.Watanabe and T.Okumura Annealing Behavior of Amorphous C:H Films Prepared by Glow Discharge Decomposition of CH4 and H2 // Jpn.J.Appl.Phys. 25(12), (1986), pp.1851-1854.

67. Dischler В., Bubenzer A., and Koidl, Bonding in hydrogenated hard carbon studied by optical spectroscopy, Solid State Communications, 48(2), (1983), pp. 105-108.

68. В.И. Иванов-Омский, Г.С. Фролова, С.Г. Ястребов, ПЖТФ, 23(7), (1997) стр. 1-8.

69. Benlahsen М., Brangeg V., Henocque J., Badawi F., Zellama K., The effect of hydrogen evolution on the mechanical properties of hydrogenated amorphous carbon// Diamond and Related Materials, 7(6), 1998, pp. 769-773.

70. Аверьянов B.JI., Звонарева Т.К., Чернышев А.В., Ястребов С.Г.// Физика твердого тела, 1991, 33, р.3410.

71. Yastrebov S.G., Skvortsov А.Р., Lodygin А.В., Masterov V.F., and Prichodko A.V., Threshold nature of photostimulated changes inamrphous carbon thin films// Mol.Mat., 1994, 4, pp.233-235.

72. Mei Zhang, and Yoshikazu Nakayama, Effect of ultraviolen light irradiation on amorphous carbon nitride films// J.App.Phys. 82(10), 1997, pp. 4912-4915.

73. Thompson D.G. Diamond-like Carbon Coatings., Current Awareness

74. Bulletin No. 141, Battelle Columbus Labs, 1984, p. 1.

75. Swanepoel R., Tranmission and Reflection of an Absorbing Film on Absorbing Substrate// S.-Afr.Tydskr.Fiz., 1989, 12(4), pp.148-155.

76. Азам P., Башара H. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981, 583с.

77. Аверьянов B.JL, Федоров В.А., Ястребов С.Г. О применении многоугловой эллипсометрии для исследования и контроля тонкослойных поглощающих оптических покрытий. ЖТФ, 1994, т.64, No.l, с.103-117.

78. Пшеницын В.И., Абаев М.И., Лызлов Н.Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. J1. Химия, 1985, 152 с.

79. Hooke R., and Jeeves Т.А., 1962, J.Assoc.Computer Math., 8, 212.

80. Дъюар М. Теория молекулярных орбиталей в органической химии. М.Мир, 1972.

81. Ramqvist, L., Hamrin, К., Johansson, G., Fahlman, A., and Nording, C., 1969, J. Phys. Chem. Solids, 30, p. 1835.

82. Ландау Л.Д., Лифшиц E.M. Теоретическая физика, т.9, М., Наука, 1985.

83. Bundy, F.P., 1971, J. Geophys. Research, 85, p.6930.

84. Efros, A.L., and Shklovskii, B.I., 1976, Phys. Stat. Sol. B, 76, 475.

85. Robertson J. Deposition of diamond-like carbon.-Phil.Trans.R.Soc.Lond.A, 1993, V.342, p.277-286.

86. Иванов-Омский В.И., Фролова Г.С. Активирование рамановских частот в ИК поглощении гидрогенизированного аморфного углерода медью. ЖТФ, 1995, т.65, в.9, с. 186 - 189.

87. J.C. Angus, P. Koidl, and S. Domitz, in Plasma Deposited Thin Films, edited by J.Mort and F.Jancen (CRC, Boca Raton, FL, 1986), Chap. 4.