Исследование свойств оптических, СВЧ и электронных элементов на основе полимерных и керамических подложек с тонким металлическим покрытием тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Трофимов, Сергей Митрофанович

• Трофимов, Сергей Митрофанович
• кандидат физико-математических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Трофимов, Сергей Митрофанович

Введение

Глава 1. Литературный обзор

1.1. Методы формирования металлического покрытия на полимерной подложке

1.2. Особенности деформации полимерной подложки с тонким твердым покрытием

1.3. Оптические характеристики анизотропных материалов с поверхностным микрорельефом

1.4. Применение подложек с поверхностным микрорельефом в оптоэлектронике и устройствах отображения информации

1.5. Применение полимерных подложек с тонким металлическим покрытием в СВЧ технике

Глава 2. Одномерное деформирование полимерных подложек с тонким твердым покрытием с целью получения периодического поверхностного микрорельефа

2.1. Обработка подложек и методика эксперимента

2.2. Анализ влияния режимов деформирования полимерных подложек с тонким твердым покрытием на параметры микрорельефа

Глава 3. Физические свойства полимерных подложек с периодическим поверхностным микрорельефом

3.1. Оптические характеристики и методы их измерения

3.2. Ориентация жидких кристаллов на подложке с микрорельефом и методы ее измерения

Глава 4. Расчет оптических характеристик подложек из анизотропных материалов с поверхностным микрорельефом

4.1. Описание прохождения поляризованного света через дифракционную решетку, состоящую из множества оптически анизотропных слоев (метод ОАРПМ - оптически анизотропные решетки с поверхностным микрорельефом)

4.2. Сравнение расчетов методом ОАРПМ с результатами прямого интегрирования уравнений Максвелла

4.3. Расчет дифракционной эффективности различных оптически анизотропных решеток с поверхностным микрорельефом для различных применений

Глава 5. СВЧ и электронные элементы на основе полимерных и керамических подложек с тонким металлическим покрытием

5.1. Общие принципы подхода к конструированию и технологии СВЧ и электронных элементов на полимерных и керамических подложках

5.2. Разработка конструкции и технологии микрополоскового преселектора на подложке из поликора

5.3. Разработка конструкции и технологии усилителя СВЧ на подложках из поликора

5.4. Разработка и изготовление платы фильтра Кауэра на керамической подложке

5.5. Технология изготовления микросборок на полиимидной пленке 116 Выводы 129 Литература 130 Заключение

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование свойств оптических, СВЧ и электронных элементов на основе полимерных и керамических подложек с тонким металлическим покрытием»

Актуальность работы. В настоящее время недостаточно изучены свойства различных композитных материалов, в том числе и многослойных, состоящих из веществ с существенно различающимися свойствами. В первую очередь, это система полимер-металл, являющаяся частным случаем более общей системы твердое покрытие на податливом основании. Вследствие большой разности модулей упругости слоев деформация этой системы отличается от деформации обычных анизодиаметрических тел. В таких системах наблюдается возникновение периодического микрорельефа, что делает их привлекательным для применения в оптических приборах в качестве дифракционных оптических элементов (ДОЭ) различного назначения. Кроме того, полимерные подложки обладают меньшим весом и хрупкостью по сравнению со стеклянными или металлическими, что находит применение в оптических и СВЧ системах. Для поиска возможных применений указанных многослойных систем необходимо исследование их деформации при различных условиях, их оптических свойств, взаимодействия с другими материалами. Другим важным классом современных композитных материалов являются керамики, для которых важно влияние электрофизических и механических свойств, поверхностного взаимодействия на характеристики пленочных СВЧ и электронных элементов.

Фундаментальные исследования свойств систем на основе полимеров и керамик, удовлетворяющих требованиям малой плотности, прочности и простоты изготовления, могут применяться для разработки новых конструкционных элементов, жестких и гибких подложек для металлических покрытий, различных оптических деталей. Это особенно актуально для современных задач космического приборостроения, где все более необходимым становится совершенствование элементной базы с целью уменьшения массы устройства, его габаритов, упрощения и удешевления изготовления при сохранении функциональных характеристик без потери надежности.

Целью работы является исследование физических свойств систем, состоящих из полимерных или керамических подложек с металлическими покрытиями, для оптических, СВЧ и электронных элементов различного назначения. Научная новизна.

1. В экспериментах по деформации полимерных подложек с тонким твердым покрытием показано, как влияют условия деформации на период и форму микрорельефа.

2. Для оптически анизотропных полимерных подложек с микрорельефом впервые определены значения двулучепреломления и азимутальной энергии сцепления жидкого кристалла с поверхностью таких подложек.

3. Предложен способ теоретического описания прохождения света через двулучепреломляющую среду с поверхностным микрорельефом путем разбиения среды на слои периодических решеток и вычисления амплитуд световых волн с разными поляризациями на границах между слоями.

Практическая значимость.

1. Разработаны методы нанесения твердого покрытия с толщиной в нанометровом диапазоне на поверхность полимерных материалов и деформации такого двуслойного материала с возможностью управлять параметрами возникающего периодического микрорельефа.

2. Разработаны оптические методы измерения двулучепреломления полимерных подложек с микрорельефом и азимутальной энергии сцепления жидкого кристалла с поверхностью таких подложек.

3. Разработан математический аппарат для расчета значений дифракционной эффективности при различных параметрах двулучепреломляющей среды с поверхностным микрорельефом.

4. На основе проведенных исследований предложены сочетания параметров двулучепреломляющей среды с поверхностным микрорельефом для реализации дифракционных оптических элементов различного назначения и изготовлены опытные образцы таких элементов. 5. Предложена технология формирования многослойных печатных плат на гибкой полиимидной пленке и СВЧ-элементов на жесткой поликоровой подложке с высокой плотностью интеграции.

Защищаемые положения.

1. При одномерной деформации (растяжении или сжатии) полимерной подложки с тонким твердым покрытием на ее поверхности возникает периодический микрорельеф, параметры которого можно изменить при варьировании условий деформации.

2. В исследованных образцах деформированных полимерных материалов двулучепреломление пропорционально величине деформации и находится в диапазоне 0,0003-0,003 при растяжении 250-350%.

3. В ячейках с поверхностным микрорельефом на подложках исследованных полимерных материалов величина азимутальной энергии сцепления жидкого кристалла с поверхностью таких подложек составляет 5х10'6-10"4 Дж см"2 при растяжении 250-350%.

4. Разработанный метод для расчета дифракционной эффективности при различных параметрах двулучепреломляющей среды с поверхностным микрорельефом обеспечивает точность вычислений не хуже 3% для нормального падения света.

5. Метод формирования многослойных печатных плат на полиимидной пленке с 10-12 слоями топологии и СВЧ элементов на керамических подложках с различной диэлектрической проницаемостью.

Апробация работы.

Работа докладывалась на научно-технических конференциях ФГУП ЦНИИ «Комета» 2000 г. и 2003 г., 10-м Международном симпозиуме «Перспективные дисплейные технологии» (Москва, 2000 г.), Международной научно-технической конференции «Межфазная релаксация в полиматериалах» (Москва, 2001), 2-й Международной конференции по изготовлению дисплеев (Сеул, Южная Корея, 2002 г.), 22-й Международной исследовательской конференции по дисплеям (Ницца, Франция, 2002 г.).

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Трофимов, Сергей Митрофанович

5.6. Общие выводы по главе 5.

В ходе выполнения работ по отработке технологии СВЧ-модулей радиопередающих устройств нового поколения были разработаны технологические процессы: изготовления прецизионных СВЧ-плат на подложках из лейкосапфира, поликора; изготовления тонкопленочных низкоомных резисторов (5 Ом) с точностью не хуже ±10 %; изготовления низкооомных резисторов (~5 Ом). установки бескорпусных элементов на плату с использованием термостойких (УП-5-2013, УП-5-201) и токопроводящих (Э4Э-С) клеев; монтажа сверхминиатюрных компонентов на плату; герметизации корпусов с применением жидкой прокладки ГИПК-24

15Б.

Кроме того, определены технологические ограничения и величины технологических погрешностей для прецизионных СВЧ-плат; доработана технология вакуумного напыления проводниковых структур с разбросом толщины по площади подложки размером 60x48 мм, не превышающим ±1,5 мкм (диапазон толщин пленок составил 3—5; 8—11 и 10—13 мкм); определены технологические погрешности на этапах изготовления фотошаблонов и проведения фотолитографических операций; расширен допустимый диапазон номиналов резисторов на плате от единиц ом до десятков килоом.

Это позволило уменьшить массогабаритные характеристики, увеличив плотность компоновки бескорпусных активных (плотность монтажа 0,31) и пассивных пленочных элементов (64 эл./см на сапфире и 12,4 — на поликоре).

Таким образом, изготовление модулей ИВЭП на токи нагрузки до 0,5 А и маломощных узлов управления позволило улучшить массогабаритные характеристики на 40 %.

1. В результате исследований условий возникновения периодического поверхностного микрорельефа при одномерной деформации полимерной подложки с тонким твердым покрытием на ее поверхности показано, что параметры микрорельефа (период, глубину, форму) можно изменять при варьировании условий деформации (температуры, амплитуды и скорости растяжения или сжатия, а также найдены условия формирования микрорельефа с синусоидальной, циклоидоподобной, треугольной и сложной синусоидальной формы.

2. Разработан метод измерения величины двулучепреломления оптически анизотропных образцов с периодическим поверхностным микрорельефом. Показано, что двулучепреломление пропорционально величине деформации и находится в диапазоне 0,0003-0,003 при растяжении 250-350%.

3. Разработан метод измерения величины азимутальной энергии сцепления жидкого кристалла с поверхностью образцов с периодическим s я ч поверхностным микрорельефом. Ее величина составляет 5 10"°-10"* Дж см при растяжении 250-350%.

4. Теоретически обоснован метод для расчета дифракции света на двулучепреломляющей подложке с поверхностным микрорельефом. Сравнение расчетов с независимым методом прямого интегрирования уравнений Максвелла показывает расхождение не более 3% для нормального падения света. В результате расчетов дифракции поляризованного света на подложках с разной величиной двулучепреломления при изменении глубины микрорельефа для первых четырех порядков найдены условия реализации дифракционных оптических элементов для отклонения и расщепления пучков с разной поляризацией.

5. Разработаны методы формирования различных бескорпусных активных и пассивных пленочных печатных плат и СВЧ-элементов на полимерных и керамических подложках с высокой плотностью компоновки.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Трофимов, Сергей Митрофанович, 2004 год

1. Томилин М.Г. Информационные дисплеи на жидких кристаллах // Опт. журнал. - 1998. - Т.65. -№.7. - С.64-76.

2. Petera M.G. LCiDTM Technology for the Automative Market // Proc. of the 6th Annual Strategic and Technical Symposium "Vehicle Displays and Microsensors'99". Ypsilanti, USA. - 1999. - P.47-52.

3. Schadt M., Schmitt K., Kozenkov V. et al. Photoalignment of liquid crystals // Jpn. J. Appl. Phys. 1992. - Vol.31. - P.2155.

4. Schadt M. Photo-Aligned Liquid Crystal Displays and LC-Polymer Optical Films // Proc. of the 19th International Display Research Conference EuroDisplay'99. Berlin, Germany. - 1999. - P.27-31.

5. Cognard J. Alignment of nematic liquid crystals and their mixtures // Molecular Crystals and Liquid Crystals Supplement. 1982. - Vol. 1. - P. 1.

6. Lee E.S., Uchida Т., Капо M. et al. Measurement of surface energy in liquid crystal cells // SID'93 Digest. 1993. - P.957.

7. Example of elements developed at INO // Promotional materials of the INO Corporation.

8. M. Foley Technical advances in microstructures Plastic Optics for Display Applications //SID'99 Digest, 1999. p. 321-324

9. Microstructures surfaces // Promotional materials of the Reed Precision Microstructures corporation. 2000.

10. New Holographic LSDs Work //The promotional materials of the Physical Optics Corporation, 2000.

11. Konovalov V.A., Lagerwall S.T., Minko A.A. et al. Technology for MakingtV»

12. Rigid Liquid Crystal Displays // In Proc. of the 15 International Display Research Conference AsiaDisplay'95. Hamamatsu, Japan. - 1995. - P.421-424.

13. Konovalov V.A., Muravski A.A., Yakovenko S.Ye., Lagerwall S.T. Method for gap formation in liquid crystal displays // Proc. SPIE. 2000. - Vol.4147. - P.293-298.

14. Wenz R.P., Gardner T.J. Development of Microribbed Plastic LCDs // Conf. Records of the 1997 IDRC. Toronto, Canada. - 1997. - P.M-107 - M-l 13.

15. Yamada F., Hellermark C., Taira Y. A development of diamond cutting and 2P replication process for direct view LCDs // Proc. of the 1st International Display Manufacturing Conference IDMC'2000. Seoul, Korea. - 2000. -P.261-264.

16. Wen В., Mahajan M., Rosenblatt C. Atomic-Force Microscopy for Creation of Microrelief Structure for Liquid Crystal Alignment // Appl. Phys. Lett. 2000. Vol.76.-P.1240-1242.

17. A.JT. Волынский, И.В. Чернов, Н.Ф. Бакеев «Явление образования регулярного микрорельефа при деформировании полимеров с твердым покрытием», Доклады Академии Наук, 355, стр.491-493, 1997.

18. А.Л. Волынский, Е.Е. Воронина, О.В. Лебедева, А.Н. Озерин, Н.Ф. Бакеев Пластическая деформация металлического покрытия при деформировании полимера-подложки, Доклады Академии Наук, 360, pp. 205-208, 1998.

19. А.Л. Волынский, С.Л.Баженов, Н.Ф.Бакеев, Сруктурно-механические аспекты деформации систем "твердое покрытие на податливом основании", Рос. Хим. ж. (Журн. Рос. Хим. о-ва им. Д.И.Менделеева) т. 42, с. 57-68, 1998.

20. Belyaev V., Volynsky A., Voronina Е., Bazhenov S., Ivanov S., Chistovskaya L. Fabrication Of Plastic Substrates With Controlled Relief For Liqud Crystals Alignment // Proc.IDW'99, Sendai. 1999. - P.69-72.

21. Volynsky A., Voronina E., Bazhenov S., Belyaev V., Ivanov S. Preparation of plastic substrates with controlled relief for liquid crystal alignment // Proc. SPIE. -2000. -V.4147. P.256-260.

22. Belyaev V., Tsoy V., Volynskii A. et al. New Polymer Material For The Diffraction Gratings Substrates // Proc. of The 1st International Display Manufacturing Conference IDMC'2000. Seoul, Korea. - 2000. - P.293-295.

23. Аззам P., Башара H. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Наука. -1981.

24. Rokushima К., Yamakita J. Analysis of diffraction in perodic liquid crystals: the optics of the chiral smectic С phase // J. Opt. Soc. Am. A.-1987.-Vol.4.-P.27-33.

25. E. N. Glytsis, Т. K. Gaylord, J. Opt. Soc. Am., A4 (1987) 2061.

26. Цой В.И. Граничные матрицы передачи для световых волн в слоистой системе анизотропных диэлектрических решеток // Оптический журнал.1999. Т.66. - №6. - С.100 - 102.

27. Цой В.И. // Оптика и спектроскопия. 94 (2003) 607.

28. Bakeyev N., Belyaev V., Chistovskaya L., et al., Proc. SPIE. 2000. -Vol.4511.-P.115-126.

29. Бакеев Н.Ф., Беляев B.B., Волынский AJI., Иванов С.А., Коновалов В.А., Муравский А.А., Минько А.А., Чистовская Л.В., Яковенко С.Е. // Оптический журнал. 2001. Т.68. №9. С.89 - 95.

30. Belyaev V., Tsoy V., Tarasishin A. Modeling Optical Properties of Birefringent Substrates with Periodical Surface Microrelief for Application in Display Devices // Conf. Proc. of The 22nd Int. Display Research Conf. Nice, France - 2002 -P.413 -416.

31. Berreman D.W. Optics in stratified and anisotropic media:4x4-matrix formulation // J. Opt. Soc. Am.-1972.-Vol.62.-P.502 510.

32. Методы компьютерной оптики. Под ред. В.А.Сойфера. М.: Физматлит.2000. 688 стр.

33. Yee K.S. Numerical solution of initial boundary value problems involving Maxwell's equations in isotropic media // IEEE Trans. Antennas and Propagation. 1966.- Vol.14. -P.302- 307.

34. Taflove A., Brodwin M.E. Numerical Solution of Steady-State Electromagnetic Scattering Problems Using the Time-Dependent Maxwell's Equations // IEEE Trans. 1975. - Vol. mtt-23. - № 8. P.623.

35. Taflove A. Computational Electrodynamics: The Finite-Difference Time-Domain Method. Artech House, Norwood, MA. - 1995.

36. Желтиков A.M., Магницкий C.A., Тарасишин A.B. Локализация и каналирование света // Письма ЖЭТФ. 1999. - Т.70. - №5. С.323.

37. Тарасишин А.В., Желтиков A.M., Магницкий С.А. Синхронная генерация второй гармоники сверхкороких лазерных импульсов в фотонных кристаллах // Письма ЖЭТФ. 1999. - Т.70. - №12. - С.819.

38. Koroteev N.I., Magnitskii S.A., Tarasishin A.V., Zheltikov A.M. Compression of ultrashort light pulses in photonic crystals: when envelopes cease to be slow // Opt. Commun. 1999. - Vol.159. - P.191.

39. Prather D. W., Shi S. Formulation and application of the finite-difference time-domain method for the analysis of axially symmetric diffractive optical elements // J. Opt. Soc. Am. A. 1999. - Vol.16. - No.5. P. 1131 - 1142.

40. Mirotznik M. S., Prather D. W., Mait J. N., Beck W. A., Shi S., Gao X. Three-Dimensional Analysis of Subwavelength Diffractive Optical Elements with the Finite-Difference Time-Domain Method // Applied Optics-IP. 2000. - Vol.39. -No.17.-P.2871-2880.

41. Y. Taira et al., Low-power LCD using a novel Optical System, SID'02 Digest, p.1313-1316.

42. T. Uchida, Advanced reflective LCDs // Proc. 2nd International Display Manufacturing Conf., Seoul, Korea, Jan. 29-31,2002, p. 11-13.

43. M. Suzuki, Y. Oki, A Backlighting Unit with Polarization Recycle by Stacked Transparent Plates // Proc. of the 18th International Display Research Conference AsiaDisplay'98. Seoul, Korea. 1998. p.893-896.

44. T. Ide et al., Moire-Free Collimating Light Guide with Low-Discrepancy Dot Patterns, SID'02 Digest, p.1232-1235.

45. Tanaka et al., Sro'02 Digest, p.1240-1243.

46. Proc. International Display Workshop, Kobe, Japan, 1999, p. 339-342.

47. C.-Y. Kim, T.-H. Choi, Technical Trend for TFT-LCD Back Light Unit (BLU) // Proc. 2nd International Display Manufacturing Conf., Seoul, Korea, Jan. 29-31, 2002, p.185-188.

48. T. Funamoto, O. Yokoyama, S. Miyashita, T. Shimoda, A Front-lighting System Utilizing A Thin Light Guide // Proc. of the 18th International Display Research Conference AsiaDisplay'98. Seoul, Korea. - 1998. - P.897-900.

49. C.Y. Tai, H. Zou, P.-K. Tai // SID'95 Digest, p.375-378 (1995).

50. A. Putilin, A. Lukianitsa, K. Kanashin, Stereodisplay with neural network image processing // Proc. SPIE. V.4511, p.250-255 (2000).

51. Proc. International Display Workshop, Kobe, Japan, 1999, p. 327-330.

52. Proc. International Display Workshop, Kobe, Japan, 1999, p. 322-326.

53. Proc. International Display Workshop, Kobe, Japan, 1999, p. 1025-1028.

54. K. Takahashi and S. Takano, High-Density LED Array with Side-Wall Wiring, Proc. International Display Workshop, Kobe, Japan, 1999, p. 837-840.

55. G. Furui et al., Visibility evaluation of anti-glare (AG) films for LCDs and Design of a novel AG film, Proc. International Display Workshop, Kobe, Japan,1999, p. 399-402.

56. V. Boemer et al. // SID'02 Digest, p.826-829.

57. Wenz R.P., Gardner T.J. Development of Microribbed Plastic LCDs // Conf. Records of the 1997 IDRC. Toronto, Canada. - 1997. - P.M-107 - M-l 13.

58. J. C. Jones et al. // Proc. "Electronic Information Displays'00", London, UK,2000, November 23.

59. M.Ishiyama, T.Tanaka, M.Sato, T.Uchida, H.Seki, Molecular alignment of liquid crystal on microgroove surface, International Liquid Crystal Conference, Sendai, Japan, 24-28 July 2000, Abstracts, 26D-52-P, P.475.

60. J.Park, J.Lee, J.Kim, S.Lee, Vertically-aligned LCD with wide-viewing axial symmetry using surface relief gratings on polymer, International Liquid Crystal Conference, Sendai, Japan, 24-28 July 2000, Abstracts, 24D-8-P, P. 125.

61. Г.В. Подлесная, B.C. Терехов, C.M. Трофимов «Особенности технологии производства гибридных интегральных схем СВЧ-диапазона». Вопросы радиоэлектроники. Сер. общетехническая. Вып.1. С.86-90 (2002).

62. Дэнда С. Гибридные интегральные схемы, этапы их развития и функциональные возможности // Дэне гидзаоюцу. 1983. Т. 25. № 14. С. 2-3.

63. Howard W. Markstein. Hybrid circuits in military find aerospace systems // Electronic packaging and production. 1981. V. 21. № 9. P. 50-61.

64. Rappaport A. Military and high rely ability hybrids // EDN. 1982. V. 27. № 13. P. 103-120.

65. Татинава И. и др. Перспективы гибридной микроэлектроники // Дэнси Дзайрё. 1982. Т. 21. № 5. С. 25-32.

66. Икэноуэ А. Ключ к комбинациям. Материал и технологический процесс //Там же. 1984. Т. 23. № 5. С. 20—21.

67. Футагавара Т., Сибата С. Новый взгляд на тонкопленочную гибридную технологию (в сравнении с толстопленочной) // Там же. С. 38-42.

68. Красов В. Г., Пераускас Г. В., Чернозубов Ю. С. Тонкопленочная технология в СВЧ-микроэлектронике. —М.: Радио и связь, 1985. — 167 с.

69. Kiyoshi Shibuan. A new round of interest in hybrid integrated circuits//Y.E.E. 1984. V. 21. № 208. P. 50-51.

70. Воженин И. H., Блинов Г. А. и др. Микроэлектронная аппаратура на бескорпусных интегральных микросхемах. — М.: Радио и связь, 1985. — 264 с.

71. Блинов Г. А., Гуськов Г. Я. Монтаж микроэлектронной аппаратуры. — М.: Радио и связь, 1987. — 365 с.

72. Пролейко В. М., Абрамов В. А., Брюнин В. Н. Системы управления качеством изделий микроэлектроники. — М.: Сов. радио, 1976. — 224 с.

73. Lien, J. Appl. Phys., V.67, p.2853 (1990).

74. V.A.Konovalov et al., The accurate spectral method for measuring twist angle of twisted cells with rubbed and grooved surfaces, SID'2000 Digest, p.620-623.

75. V.A.Konovalov, A. Muravski, J. Pelzl, Studies of the anchoring energy of nematics on grooved surfaces, Molecular Crystals and Liquid Crystals, v.367, p.251-258 (2001).

76. Karnei I., Melnikova E., Romanov O., Stashkevich I. Effect of orientation inhomogeneity of a profiled-surface liquid crystal on the characteristics of diffraction optical elements // Proc. SPIE. 2000. - Vol.4147. - P.281-286.

77. Аэро Э.Л. Двулучепреломление нематических жидких кристаллов вблизи дефектов поверхности // Оптика и спектроскопия. 1986. -Т.60. С.347-353.

78. Аэро Э.Л. Двумерная ориентация деформаций нематических жидких кристаллов в неоднородном электрическом поле, порожденном поверхностями с электрическим рельефом // Кристаллография. 1995. - Т.40. С.889-899.

79. Konovalov V.A., Muravski А.А., Yakovenko S.Ye., Pelzl J. Accurate spectral method for measuring twist angle of TN cells with rubbed and grooved surfaces // Proc. SPIE. 2000. - Vol.4147. - P.287-292.

80. P. De Gennes, Liquid crystals, Chap.3 (Oxford University Press, 1974).

81. Y. Sato, K. Sato, and T. Uchida // Jap. J. Appl. Phys. V.31, p.LS79 (1992).

82. В.И. Цой, A.A. Тарасишин, B.B. Беляев, C.M. Трофимов «Новый метод расчета оптических характеристик дифракционных элементов из оптически анизотропных материалов» // Опт. Журнал. Т.70. №7. С. 79-83 (2003).

83. В.И. Цой // Оптика и спектроскопия. Т.94. С.607 (2003).

84. Chigrinov V.G., Podyachev Yu. В., Simonenko G.V., Yakovlev D.A. Computer optimization of liquid crystal displays using MOUSE-LCD system // Proc. of the 18th International Display Research Conference AsiaDisplay'98. -Seoul, Korea. 1998. - P.565-568.

85. Л.М. Анищенко, Д.В. Листратов, C.M. Трофимов. «Технология моделирования в технологии производства пассивных элементов ГИС». Электронная техника, №5, с.10-14 (1988).

86. С.М. Трофимов, И.В. Шанин. «Расчёт механических напряжений в системе плёнка-подложка, возникающих при упругом и упруго-пластичном поведении материалов». Электронная техника, №7, с.21-24 (1984).

87. JI.M. Анищенко, С.Ю. Лавренюк, B.C. Терехов, С.М. Трофимов. «Применение метода конечных элементов для проектирования пассивных тонкоплёночных многополюсников». Электронная техника, №3, с.22-25 (1988).

88. В.Ф. Шугаева, Г.В. Подлесная, С.М. Трофимов. «Перспективы использования керамических подложек с повышенной диэлектрической проницаемостью для цифровых микросборок субнаносекундного диапозона». Электронная техника, №4, с. 16 (1988).

89. Kirk-Othmer Encyclopedia of Chemical Technology. 4th Ed. Information Storage Materials. - 1995. - Vol.14. - P.277-339.

90. Энциклопедия полимеров. Т. 2.

91. Новицкий JI.А., Степанов Б.М. «Оптические свойства материалов при низких температурах». Москва: Машиностроение. 1980.1. ЗАКЛЮЧЕНИЕ