Новый метод оценки деформационно-прочностных свойств металлов в слоях нанометрового диапазона тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.01, кандидат химических наук Моисеева, Светлана Владимировна

• Моисеева, Светлана Владимировна
• кандидат химических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат химических наук Моисеева, Светлана Владимировна

Введение.

Глава 1. Литературный обзор.

1.1. Структурно-механические аспекты деформации систем «твердое покрытие на податливом основании».

1.1.1. Особенности разрушения твердого покрытия при деформировании полимера-подложки.

1.1.2. Механизм разрушения металлического покрытия на полимере-подложке.

1.1.3. Количественное описание механизма фрагментации металлического покрытия.

1.1.4. Механизм возникновения регулярного микрорельефа.

1.2. Основные методы изучения механических свойств тонких пленок.

Глава 2. Объекты и методы исследования.

2.1. Объекты исследования.

2.2. Методы исследования.

Глава 3. Особенности фрагментации тонкого металлического покрытия при одноосном растяжении полимера-подложки.

3.1. Влияние природы природы полимера и его физического состояния на особенности особенности поверхностного структурообразования при деформировании полимерных пленок с металлическим покрытием.

3.2. Особенности распределения фрагментов разрушения и его эволюции в процессе деформации полимерных пленок с металлическим покрытием.

Глава 4. Исследование основных условий, определяющих фрагментацию и формирование микрорельефа, возникающего при деформировании полимерных пленок с тонким металлическим покрытием.

4.1 Влияние толщины покрытия и природы металла на параметры образующегося микрорельефа.

4.2 Влияние скорости растяжения ПЭТФ пленок с тонким золотым покрытием на формирование микрорельефа.

4.3. Влияние природы полимерной подложки на средний размер фрагментов золотого покрытия при деформировании ПЭТФ-подложки.

Глава 5. Изучение механических свойств металлических покрытий в слоях нанометровой толщины.

5.1 Оценка прочности металла в нанометровых слоях.

5.2 Пластическая деформация тонкого металлического покрытия.

5.3 Влияние природы и физического состояния подложки на деформационно-прочностные характеристики металлических покрытий.

Глава 6. Прикладные аспекты методики нанесения металлических покрытий на полимерные пленки.

6.1 Применение подложек с различными микрорельефами поверхности в оптоэлектронике и устройствах отображения информации.

6.2. Температурно-силовые воздействия на полимерные пленки с металлическим покрытием, как метод создания пленок с регулярным микрорельефом.

6.2.1.Влияние отжига на формирование микрорельефа на поверхности полипропиленовых пленок с тонким алюминиевым покрытием.

6.2.2. Особенности возникновения и формирования микрорельефа и фрагментации покрытия при растяжении предварительно отожженных пленок ПП с тонким алюминиевым покрытием.

Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Новый метод оценки деформационно-прочностных свойств металлов в слоях нанометрового диапазона»

В последние годы происходит бурное развитие научных направлений, связанных с изучением свойств вещества, измельченного до наноразмера. Положение с этими исследованиями можно охарактеризовать как настоящий нанотехнологический бум. В работы по наноматериалам вовлечены ученые многих стран. Многочисленные достижения в этой области свидетельствуют о том, что переход от микро- к наноразмерам приводит к появлению качественных изменений в физических, механических и физико-химических свойствах материалов. В связи с этим несомненную актуальность приобретает развитие методов исследования, способных дать достоверную информацию о свойствах нановещества. Несмотря на исключительную важность сведений о свойствах вещества в наносостоянии, проблема их оценки пока далека от своего решения. В частности, сведения о деформационно-прочностных свойствах твердого тела, имеющего размеры единицы-десятки нанометров, практически отсутствуют, что объяснятся в первую очередь экспериментальными трудностями изучения образцов столь малого размера. В связи с тем, что исследование таких объектов представляет собой весьма сложную задачу, требуется разработка новых экспериментальных подходов. Для практического решения этой задачи в данной работе предложен новый подход, основанный на изучении процесса деформации материалов, состоящих из гибкой полимерной подложки и более жесткого (металлического) слоя нанометровой толщины.

Необходимо отметить, что такие системы находят широкое применение. В частности, металлизированные полимерные пленки используются в микроэлектронике [1, 2], алюминиевое покрытие, полученное методом осаждения из паровой фазы и обеспечивающее очень гладкую поверхность, имеет высочайшую оптическую отражательную способность [3], полимеры, имеющие БЮг-покрытие, являются эффективными кислородоизолирующими материалами в пищевой и фармацевтической промышленности [4].

Системы, построенные по принципу «твердое покрытие на податливом основании» чрезвычайно широко распространены в окружающем нас мире. К таким системам относятся разнообразные плоды (в частности, фрукты и овощи), тела животных и человека и даже Земля. Полимерные пленки с тонким жестким покрытием являются хорошими модельными системами для изучения общих закономерностей деформирования таких материалов.

Ранее было показано [5-8], что деформирование систем, состоящих из гибкой полимерной подложки и жесткого покрытия, сопровождается рядом явлений общего характера, а именно образованием поверхностного рельефа и фрагментацией покрытия. Также была установлена взаимосвязь параметров структуры поверхностного слоя с механическими свойствами подложки и покрытия [9-12]. Подход по оценке механических свойств твердых тел в нанослоях, предложенный в данной работе, основан на изучении фрагментации и рельефообразования, происходящего при деформировании полимеров с тонким металлическим покрытием.

В связи с этим, целью данной работы явилась разработка нового метода определения деформационно-прочностных свойств твердых тел (в частности, благородных металлов) в слоях нанометрового диапазона на основании изучения общих структурно-механических закономерностей поведения систем «полимер-тонкое покрытие» в процессе деформирования. Предстояло также оценить универсальность использования предлагаемого метода в зависимости от природы и физического состояния полимера-подложки.

Заключение диссертации по теме «Неорганическая химия», Моисеева, Светлана Владимировна

выводы

1. Изучено влияние природы полимера-подложки и его физического состояния на характер поверхностного структурообразования в тонком металлическом покрытии при одноосном растяжении.

2. Показано, что независимо от природы полимера-подложки и его физического состояния фрагментация покрытия осуществляется преимущественно по механизму «деления каждого фрагмента на две равные части».

3. На основании полученных ранее соотношений связывающих параметры микрорельефа с механическими характеристиками материала покрытия и подложки проведена оценка прочности и предела текучести благородных металлов в интервале толщин от 30 до 3 нм. Показано, что в области толщин -15 нм начинается стремительный рост прочности обоих благородных металлов с уменьшением их толщиныц, превышающий более чем в 10 раз их прочность в блоке.

4. Полагают, обнаруженное явление связано с уменьшением размеров зерна металла в нанослоях, а также с существование переходного слоя, в котором наночастицы металла перемешаны с тонкими полимерными прослойками.

5. Обнаружено, что в области нанотолщин (15-Знм) имеет место резкое (в 2-5 раз) увеличение пластической деформации обоих металлов, величина которого зависит от физического состояния полимера-подложки. А также предложен механизм наблюдаемого явления, согласно которому увеличение пластической деформации в области малых толщин металлов связано с их межзеренным скольжением в нанослоях, переходного слоя, в котором наночастицы металла перемешаны с тонкими полимерными прослойками.

6. Показано, что простой метод отжига промышленных двуосно-ориентированных пленок с металлическим покрытием, приводит к возникновению регулярного микрорельефа, период которого контролируется условиями отжига, причем полученный таким образом микрорельеф сохраняется на поверхности полимера и при удалении металлического слоя.

Список литературы диссертационного исследования кандидат химических наук Моисеева, Светлана Владимировна, 2007 год

1. Suo Z., Vlassak J., Wagner S. Micromechanics of macroelectronics. // China particuology. 2005. V. 3. № 6. P. 321.

2. Беляев B.B. Применение подложек с различными микрорельефами поверхности в оптоэлектронике и устройствах отображения информации. // Оптический журнал. 2005. Т. 72. № 9. С. 79.

3. Алюминий: свойства и физическое металловедение. Под ред. Дж. Е. Хэтча, перев. С англ. М.: Металлургия. 1989. С. 23.

4. Felts J. Т. Transparent gas barrier technologies. // J. Plast. Film. Sheet. 1993. V. 9. P. 139.

5. Волынский A.JI., Чернов И.В., Бакеев Н.Ф. Явление возникновения регулярного микрорельефа при деформировании полимеров, имеющих твердое покрытие. // ДАН. 1997. Т.355. № 4. с.491.

6. Баженов С.Л., Чернов И.В., Волынский А.Л., Бакеев Н.Ф. О механизме возникновения регулярного микрорельефа при деформировании полимеров, имеющих жесткое покрытие. // Докл. РАН. 1997. Т.356. № 1.С. 54.

7. Волынский А.Л., Баженов С.Л., Лебедева О.В., Яминский И.В., Озерин А.Н., Бакеев Н.Ф. Явление потери устойчивости жесткого покрытия при деформировании полимера-подложки. // Высокомолек. соед. А. 1997. Т. 39. № п. с. 1805.

8. Volynskii A.L., Bazhenov S.L., Lebedeva O.V., Bakeev N.F. Mechanical buckling instability of thin coatings deposited on soft polymer substrates. // J. Mater. Sci. 2000. V. 35. P. 547.

9. Волынский А.Л., Воронина E.E., Лебедева O.B., Яминский И.В., Баженов С.Л., Бакеев Н.Ф. Зарождение и развитие регулярного микрорельефа при деформировании полимера с метелическим покрытием. // Высокомолек. соед. А. 1999. Т. 41., №10. С. 1627.

10. Волынский A.JI., Воронина Е.Е., Лебедева О.В,.Яминский И.В., Баженов С.Л., Бакеев Н.Ф. О механизме фрагментации металлического покрытия при деформировании полимера-подложки. // Высокомолек. соед. А. 2000. Т.42. №2. С.262.

11. A.L.Volynskii, S.Bazhenov, O.V.Lebedeva, A.N.Ozerin, N.F.Bakeev. Multiple cracking of rigid platinum film covering polymer substrate. // J. Appl. Polymer Sci. 1999. V. 72. P. 1267.

12. Bazenov S., Volynskii A., Aleksandrov V., Bakeev N. Two mechanisms of the fragmentation of thin coatings on rubber substrates. // J. Polym. Sci. Part B: Polym. Phys. 2002. V. 40. № 1. P. 10.

13. Ho P.S. Chemistry and adhesion of metal/polymer interfaces // J. Appl. Surf. Sci. 1989. V. 41/42. P. 559.

14. Ho P.S., Haight R., Wight R.S., Fapuel F. Fundamental of adhesion. New York: Plenum Press. 1991.

15. Leterrier Y., Boogh L., Anderson J., Manson J.-A.E. Adhesion of Silicon Oxide Layers on Poly(ethyleneterephthalate). 1: Effect of Substrate Propereties on Coating's Fragmentation Process. // J. Polym. Sci. B. Phys. 1997. V. 35. №9. P.1449.

16. Leterrier Y., Boogh L., Anderson J., Manson J.-A. E. Adhesion of Silicon Oxide Layers on Poly(ethyleneterephthalate). 2: Effect of Coating Thickness on Adhesive and Cohesive Strengths.// J. Polym. Sci. B. Phys. 1997. V. 35. № 9. P. 1463.

17. Баженов С.Л., Чернов И.В., Волынский А.Л., Бакеев Н.Ф. Растрескивание тонкого покрытия при растяжении полимера-подложки. //Докл. РАН. 1997. Т.356. №2. С. 199.

18. Волынский А.Л., Баженов С.Л., Лебедева О.В. и др. Явление потери устойчивости жесткого покрытия при деформировании полимера-подложки. // Высокомолек. соед. А. 1997. Т.39. № 11. С. 1805.

19. Волынский A.J1., Гроховская Т.Е., Большакова А.В., Кулебякина А.И., Бакеев Н.Ф. Структурные особенности деформации полимеров, находящихся в высокоэластическом состоянии. // Высокомолек. соед. А. 2004. Т. 46. №8. С.1332.

20. Волынский A.J1., Хэ Цзянпин, Баженов C.JL, Ярышева J1.M., Бакеев Н.Ф. Эволюция распределения по размерам фрагментов разрушения металлического покрытия при растяжении паолиэтилентерефталатной подложки. // Высокомолек.соед.А. 2005. Т.47. №5. С. 747

21. Хэ Цзянпин. Дис. канд. хим. наук. М.: МГУ. 2000

22. Kelly A., Tyson W.R. Tensile properties of fibre reinforced metals:, copper/tungsten and copper molybdenum. // J. Mech. Phys. Sol. 1965. V. 13. №2. P. 329.

23. Волынский A.Jl., Лебедева O.B., Баженов С.Л., Бакеев Н.Ф. Влияние физического состояния аморфного полиэтилентерефталата на механизм разрушения тонкого металлического покрытия. // Высокомолек. соед. А. 2001. Т. 43. № 9. С. 1488.

24. Фейнман Р., Лейтон Р., Сэндс М. Фейнмановские лекции по физике. Т. 2. Физика сплошных сред. М.: Мир, 1966.

25. Фейнман Р., Лейтон Р., Сэндс М. Фейнмановские лекции по физике. Т. 2. Физика сплошных сред. М.: Наука, 1983.

26. Biot М.А. Theory of a continuum under initial stress. // Quart. Appl. Math. 1959. V. 17. № 1231. P. 722.

27. Качанов Л.М.// Основы теории пластичности. М.: Наука, 1969. С.420.

28. Arzt Е. Size effects in materials due to microatructural and dimensional constraints: a comparative review. // Acta mater., 1998. V. 46. P. 5611.

29. Heinen D., Bohn H.G., Schilling W. On the mechanical strength of freestanding and substrate-bonded A1 thin films. // J. Appl. Phys., 1995, V. 77. P. 3742.

30. Read D.T. Young's modulus of thin films by speckle interferometry. // Meas. Sci. Technol., 1998, V. 9. P. 676.

31. Hall E.O. The Deformation and Ageing of Mild Steel: III Discussion of Results. //Proc. Phys. Soc. London. 1951. B64. P. 747.

32. Petch N.J. The cleavage strength of polycrystals. // J. Iron Steel Inst. 1953. V. 174. P.25

33. Armstrong R., Codd I. Douthwaite R.M. The plastic deformation of poly crystal line aggregates. //Phil. Mag. 1962. V. 7. P.45.

34. Nix. W.D. Mechanical Properties of Thin Films. // Metall. Trans. A. 1989. 20a. P. 2217.

35. Misra A., Verdier M., Lu Y.C., Kung H., Mitchell Т.Е., Nastasi M., Embury J.D. Structure and mechanical properties of Cu-X (X = Nb,Cr,Ni) nanolayered composites. // Scripta mater. 1998. 39. P. 555.

36. Baral D., Ketterson J.B., Hilliard J.E. Mechanical properties of composition modulated Cu-Ni foils. //J. Appl. Phys. 1985. V. 57. Р.Ю76.

37. Ruud J.A., Josell D., Spaepen F., Greer A.L. A new method for tensile testing of thin films. // J. Mater. Res. 1993. V. 8. P.l 12

38. Sharpe Jr. W.N. Applications of the interferometric strain/displacement gage. // Opt. Engng. 1982. V. 21. P. 483.

39. Xiang Y., Chen X., Tsui T.Y., Jang J.-I., Vlassak J.J. Mechanical properties of porous and Fully dence low-k dielectric thin films measured by means of nanoindentation and the plane strain bulge test technique. // J. Mater. Res. 2006. V. 21. P. 386.

40. Yong Xaing, Xi Chen, Joost J. Vlassak The Mechanical properties of electroplated Cu thin films measured by means of the bulge test technique. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 2002, V.695. L4.9.1.

41. Vlassak J.J., Nix W.D. A new bulge test technique for thedetermination of Young's modulus and Poisson's ratio of thin films. // J. Mater. Res. 1992. V. 7. P. 3242.

42. Dejun Ma, Kewei Xu, Jiawen He, Jian Lu. Evaluation of the mechanical properties of thin metal films. // Surface and Coatings Technology. 1999. №116-119, P. 128.

43. Son D., Jeong J.-H., Kwon D. Film-thickness considerations in microcantilever-beam test in measuring mechanical properties of metal thin film. // Thin Solid Films. 2003. 437. P. 182.

44. Badawi K.F., Villian P., Goudeau Ph., Renault P.-O. Measuring thin film and multilayer elastic constants by coupling in situ tensile testing with x-ray diffraction. // Appl. Phys. Lett. 2002. V. 80. № 25. P. 4705.

45. Huang H. and Spaepen F. Tensile testing of free-standing Cu, Ag and A1 thin films and Ag/Cu multilayers. // Acta mater. 2000. V. 48. P. 3261.

46. Lee H.-J., Zhang P., Bravman J.C. Tensile failure by grain thinning in micromachined aluminum thin films. // J. Appl. Phys. 2003. V. 93. №3. P. 1443.

47. Volynskii A.A., Vella J., Adhihetty I.S., Sarihan V., Mercado L., Yeung B.H., Gerberich W.W. Microstructure and mechanical properties of electroplated Cu thin films. //Mat. Res. Soc. Symp. Vol. 649. 2001. Q5.3.1.

48. G. Simmons, H. Wang. // Single crystal elastic constants and calculated aggregate properties: a handbook, MIT Press: Cambridge. 1971.

49. Волынский A.JI., Баженов C.JI., Бакеев Н.Ф. Структурно- механические аспекты деформации систем "твердое покрытие на податливом основании". // Рос. хим. ж. (журн. рос. хим. об-ва им. Д.И. Менделеева). 1998. Т. 42. С. 57.

50. Воронина Е.Е., Яминский И.В., Волынский А.Л., Бакеев Н.Ф. Явление ориентации жидкого кристалла на полиэтилентерефталатных подложках, имеющих регулярные микроструктуры. // Докл. РАН. 1999. Т. 365. №2. С. 206.

51. Ярышева Л.М., Панчук Д.А., Большакова А.В., Волынский А.Л., Бакеев Н.Ф. Особенности фрагментации металлического покрытия приодноостном растяжении полимера-подложки ниже его температуры стеклования. // Высокомолек.соед. А. 2005. Т. 47. № 9. С. 1652.

52. Перцин А.И., Пашунин Ю.М. Ионное распыление золота на поверхность полимеров. //Высокомолек. Соед. Б. 1996. Т. 38. №5. С. 919.

53. Воронина Е.Е. Дисс.канд.хим. наук. М: МГУ, 2003.

54. Сергеев Г.Б. Нанохимия, Москва, Издательство МГУ, 2003, С.287.

55. Помогайло А.Д., Розенберг А.С., Уфлянд И.Е. Наночастицы металлов в полимерах, М. Химия, 2000, 672 с.

56. Волынский A.J1. Удивительные свойства упаковочной пленки. // Природа. 2005. №5. С. 67.

57. Волынский А.Л., Бакеев Структурная самоорганизация аморфных полимеров. Москва. Физматлит. 2005.

58. Charles D. Hodgman M.S. Handbook of chemistry and physics. Part 2 U.S.A. 1955. P. 1982.

59. Нарисава И. Прочность полимерных материалов. М.: Химия. 1987.

60. Хирт Дж., Лоте И. Теория дислокаций. М.: Атомиздат, 1972. 600 с.

61. Миркин Л.И. Физические основы прочности и пластичности. (Введение в теорию дислокаций). М.: Моск. Ун-т. 1968. С.538.

62. Фридель Ж. Дислокации. М.: Мир. 1967. С. 644.

63. Лякишев Н.П., Алымов М.И. Наноматериалы конструкционного назначения. // Российские нанотехнологии. 2006. Т. 1. №1,2. С. 71.

64. Кайбышев О.А., Утяшев Ф.З. Сверхпластичность, измельчение структуры и обработка труднодеформируемых сплавов. М.: Наука. 2002.

65. Zhilyaev А.Р., Lee S., Nurislamova G.V., Valiev R.Z. and Langdon T.G. Microhardness and microstructural evolution in pure nickel during high-pressure torsion. // Scr. Mater. 2001. 44. P. 2753.

66. Siegel P.W., Fougere G.E. Mechanical properties of nanophase metals. // Nanostr. Mat. 1995. V. 6. № M. p. 205.

67. Александров И.В., Кильмаметов A.P., Валиев Р.З. Рентгеноструктурные исследования ультрамелкозернистых металлов, полученных равноканальным угловым прессованием. // Металлы. 2004. Т. 1.С. 63.

68. Волынский А.Л., Воронина Е.Е., Лебедева О.В., Озерин А.Н., Бакеев Н.Ф. Пластическая деформация металического покрытия при деформировании полимера-подложки. // Докл. РАН. 1998. Т. 360. С. 205.

69. Koch С.С. Optimization of strength and ductility in nanocrystallinc and ultra-fine grained metals. // Scripta Mater. 2003. 49. P.657.

70. Morris D.G. Mechanical Behaviour of Nanostructured Materials. // Trans. Tech. Publ., Uetikon-Zurich. 1998.

71. Li Т., Suo Z. Deformability of thin metal films on elastomer substrates. // Int. J. Solids and Struct. 2006. V. 43. P. 2351.

72. Xiang Y., Li Т., Suo Z., Vlassak J. High ductility of a metal film adherent on a polymer substrate. // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 87. 161910.

73. Li Т., Suo Z. Ductility of thin metal films on polymer substrates modulated by interfacial adhesion. // Int. J. Solids and Struct. 2007 (in press).

74. Nix W.D. Yielding and strain hardening of thin metal films on substrate. // Scripta Mater. 1998. V. 39. P. 545.

75. Валиев Р.З. Создание наноструктурных металлов и сплавов с уникальными свойствами, используя интенсивные пластические деформации. //Российские нанотехнологии. 2006. Т. 1. №1,2. С. 208.

76. Valiev R.Z., Alexandrov I.V., Zhu Y.T. and Lowe T.C. Paradox of strength and ductility in metals processed by severe plastic deformation. // J. Mater. Res. 2002. V. 17. P. 5.

77. Valiev R.Z. Nanomaterial advantage. // Nature. 2002. V. 419. P.887.

78. WangY., Chen M., Zhou F. and Ma E. High tensile ductility in a nanostructured metal. // Nature. 2002. 419. P. 912.

79. Wang Y.M., Ma E. Three strategies to achieve uniform tensile deformation in a nanostructured metal. //Acta Mater. 2004. 52. P. 1699.

80. WangY., Chen M., Zhou F. and Ma E. High tensile ductility in a nanostructured metal. // Nature. 2002. V. 419. P. 912.

81. Zhang X., Wang H., Scattergood R.O., Narayan J., Koch C.C., Sergueeva A.V. and Mukherjee A.K. Studies of deformation mechanisms in ultra-finegrained and nanos tructured Zn. //Acta Mater. 2002. 50. P. 4823.

82. Mughrabi H., Kautz M. and Valiev R.Z. Annealing treatments to enhance thermal and mechanical stability of ultrafme-grained metals produced by severe plastic deformation. // Z. Metallkunde. 2003. 94. P. 1079.

83. Park Y.S., Chung K.H., Kim N.J. and Lavernia E.J. Microstructural investigation of nanocrystalline bulk AI-Mg alloy fabricated by cryomilling and extrusion. // Mater.Sci. Eng. A 2004. 374. P. 211.

84. Валиев P.3., Александров И.В. Наноструктурные материалы, полученные интенсивной пластической деформацией. // Логос, М.: 2000. 272 с.

85. Valiev R.Z., Sergueeva A.V. and Mukherjee A.K. The effect of annealing on tensile deformation behaviour of nanostructured SPD titanium. // Scripta Mater. 2003.49. P.669.

86. Кайбышев О.А. Пластичность и сверхпластичность металлов. // М., «Металлургия», 1975. 279 с.

87. Nie Т.О., Wadsworth J. and Sherby O.D. Superplasticity in Metals and Ceramics. // Cambridge Univ. Press, Cambridge. 1997.

88. Schiotz J., Jacobsen K.W. A maximum in the strength of nanocrystalline copper. // Science 2003. 301. P.l357.

89. Yamakov V, Wolf D., Phillpot S.R., Mukherjee A.K. and Gleiter H. Dislocation processes in the deformation of nanocrystalline aluminium by moleculardynamics simulation. //Nature Mater. 2002.1. P.45.

90. Budrovic Z., Van Swygenhoven H., Derlet P.M., Van Petegem P. and Schmitt B. Plastic deformation with reversible peak broadening in nanocrystalline nickel. // Science 2004. 304. P.273.

91. Van Swygenhoven H., Derlet P.M. and Froseth A.G. Stacking fault energies and slip in nanocrystalline metals. // Nature Mater. 2004. 3. P.399.

92. Гуткин M. Ю., Овидько И.А. Дефекты и механизмы пластичности в наноструктурных и некристаллических материалах. // СПб.: Янус. 2001.180 с.

93. Kolobov Yu.R. et al. Grain boundary diffusion characteristics of nanostructured nickel. // Scripta Mater. 2001.44. P.873.

94. Колобов Ю.Р., Валиев P.3., Грабовецкая Г.П., и др. Зернограничная диффузия и свойства зернограничных материалов. // Новосибирск: Наука, 2001. 232 с.

95. McFadden S.X., Mishra R.S., Valiev R.Z., Zhilyaev A.P. and Mukherjee A.K. Lowtemperature superpiasticity in nanostructured nickel and metal alloys. // Nature 1999. V. 398. P. 684.

96. Ruslan Z. Valiev, Yuri Estrin, Zenji Horita, Terence G. Langdon, Michael J. Zehetbauer, and Yuntian T. Zhu. Producing Bulk Ultrafine-Grained Materials by Severe Plastic Deformation. // JOM. 2006. №4. P.33.

97. Kornura S., Furukawa M., HoritaZ., Nemoto M., Langdon T.G. Optimizing the procedure of equal-channel angular pressing for maximum superplasticity // Mat. Sci. Eng., 2001, A. V. 297, № 1-2. P. 111.

98. Helmann A., Hamann C. // Prog. Colloid Polym. Sci. 1991. V. 85. P. 102.

99. Svorchik V., Efimenko K., Rubka V., Hnatowicz V. Ga penetration into polymers. // J. Appl. Phys. A. 1999. V. 68. P. 357.

100. Gollier P.A., Bertrand P. Metal-polymer interface formationA doffusion and clustering of copper in PET. // Vide. Couches Minces. 1994. V. 50. №272. P. 99.

101. Волынский A.JI., Лебедева O.B., Баженов С.Л., Бакеев Н.Ф. Особенности структурообразования в системе полимер-жесткое покрытие при деформировании в жидких средах. // Высокомолек.соед. А. 2000. Т. 42. № 4. С. 658.

102. Forrest J.A., Dalnoki-Veress К. The glass transition in thin polymer films. // Adv. Colloid and Interface Sci .2001. V. 94. P. 167.

103. Forrest J.A. A decade of dynamics in thin films of polystyrene: Where are we now? // Eur. Phys. J. E. 2002. V. 8. №2. P. 261.

104. Kajiyama Т., Tanaka К., Satomi N., Takahara A. Surface glass transition temperatures of monodisperse polystyrene films by scanning force microscopy. // Sci. and Technol. Advanc. Mater. 2000. V. 1. P. 31.

105. Svorcik V., Rubka V., Maryska M., SpirkovaM., Zehentner J., Hnatowicz V. Microscopic study of ultra-thin gold layers on polyethyleneterephthalate. //Eur. Polym. J. 2004. A. V. 40. № 1. P. 211.

106. Svorcik V., Slepicka P., Svorcikova J., Spirkova M., Zehentner J., Hnatowicz V. Characterization of evaporated and sputtered thin Au layers on polyethylene tereftalate). // J. Appl. Polym. Sci. 2006. V. 99. P. 1698.

107. Томилин М.Г. Информационные дисплеи на жидких кристаллах. // Оптический журнал. 1998. Т. 65. № 7. С. 64.

108. Беляев В.В. // Оптический журнал. 1999. Т. 66. № 7. С. 64.

109. Uchida Т. Advanced reflective LCDs. // Proc. 2nd Int.Display Manufacturing Conf. Seoul, 2002. P. 11.

110. Ide Т., Numata H., Mizuta H., Taira Y., Suzuki M., Noguchi M., Katsu Y. Moire-free collimating light guide withlow-discrepancy dot patterns // SID'02 Digest. 2002. P. 1232.

111. Clabburn R.J.T., Fairhurst A.M., Konishi F. Improved reflectors for ambient lit hand held displays. // Proc. Int. Display Workshop, Kobe, 1999. P. 339.

112. Funamoto Т., Yokoyama O., Miyashita S., Shimoda T. A front-lighting system utilizing a thin light guide. // Proc. of the 18th Int. Display Research Conf. Asia Display'98. Seoul, 1998. P. 897.

113. Sekiguchi H., Honda M., Oda К. Ultra high contrast screens. // Proc. Int. Display Workshop. Kobe, 1999. P. 323.

114. Putilin A., Lukianitsa A., Kanashin K. Stereodisplay with neural network image processing. // Proc. SPIE. 2000. V. 4511. P. 250.

115. Takahashi K., Takano S. High-density LED array with side-wall wiring. // Proc. Int. Display Workshop. Kobe, 1999. P. 837.

116. Example of elements developed at INO // Promotional materials of the INO Corporation. 2000.

117. Foley M. Technical advances in microstructures plastic optics for display applications. // SID'99 Digest. 1999. P. 321.

118. Microstructures surfaces // Promotional materials of the Reed Precision Microstructures corporation. 2000.

119. New holographic LEDs work // The promotional materials of the Physical Optics Corporation. 2000.

120. Bryan-Brown G.P., Wood E.L., Jones J.C. // Proc. Asia Display'98. Seoul, 1998. P. 1051.

121. Аэро Э.Л. Двулучепреломление нематических жидких кристаллов вблизи дефектов поверхности. // Опт. и спектр. 1986. Т. 60. С. 347.

122. Аэро Э.Л. Двумерная ориентация деформаций нематических жидких кристаллов в неоднородном электрическом поле, порожденном поверхностями с электрическим рельефом. // Кристаллография. 1995. Т. 40. С. 889.

123. Цой В.И., Тарасишин А.А., Беляев В.В., Трофимов С.М. Новый метод расчета оптических характеристик дифракционных элементов из оптически анизотропных материалов. // Оптический журнал. 2003. Т. 70. № 7. С. 18.

124. Цой В.И. // Опт. и спектр. 2003. Т. 94. № 3. С. 607.

125. Беляев B.B., Цой В.И., Кушнир E.M., Клыков А.В. Численное моделирование дифракции света на периодических анизотропных решетках с поверхностным прямоугольным микрорельефом. // Оптический журнал. 2005. Т. 72. № 9. С. 86.

126. Wenz R.P., Gardner T.J. Development of microribbed plastic LCDs. // Conf. Records of the 1997 IDRC. Toronto, 1997. P. M-107.

127. Ban B.S., Kim Y.B. A study on surface energy and pretilt angle of rubbed polyimide surfaces. // Proc. 18th IDRC, Asia Display' 98. Seoul, 1998. P. 807.

128. Sato M., Tanaka Т., Seki H., Ishiyama M. Fine structure of microgrooves for the display system ruled by ruling system. // Proc. Int. Liquid Crystal Conf. Sendai, 2000. 24D-1-P. P. 120.

129. Yamada F., Hellermark C., Taira Y. A development of diamond cutting and 2P replication process for direct view LCDs. // Proc. 1st Int. Display Manufacturing Conf. Seoul, 2000. P. 261.

130. Wen В., Mahajan M., Rosenblatt C. Atomic-force microscopy for creation of microrelief structure for liquid crystal alignment. // Appl. Phys. Lett. 2000. V. 76. P. 1240.

131. Ishiyama M., Tanaka Т., Sato M., Uchida Т., Seki H. Molecular alignment of liquid crystal on microgroove surface. // Proc. Int. Liquid Crystal Conf. Sendai, 2000. 26D-52-P. P. 475.

132. Park J., Lee J., Kim J., Lee S. Vertically-aligned LCD with wide-viewing axial symmetry using surface relief gratings on polymer. // Proc. Int. Liquid Crystal Conf. Sendai, 2000. 24D-8-P. P. 125

133. Hl.Nagata Т., Matsui Т., Ozaki M., Kajzan F., Yoshino K. Molecular alignment of liquid crystals on surface relief grating optically formed on containingazobenzene in side chains. // Proc. Int. Liquid Crystal Conf. Sendai, 2000. 27D-35-P. P. 621.

134. Волынский A.JI., Гроховская Т.Е., Сембаева Р.Х., Баженов С.Л., Бакеев Н.Ф. Явление потери устойчивости твердого покрытия в условиях плоскостного сжатия полимера-подложки. // Докл. РАН. 1998. Т. 363. №4. С. 500.

135. Волынский А.Л., Гроховская Т.Е., Сембаева Р.Х., Баженов С.Л., Бакеев Н.Ф. Особенности потери устойчивости твердого покрытия в условиях плоскостного сжатия полимера-подложки. // Высокомолек. соед. 2001. Т43. №2. С. 239.

136. Lacour S.P., Chan D., Wagner S., Li T. and Suo Z. Mechanisms of reversible stretchability of thin metal films on elastomeric substrates. // Appl. Phys. Lett., 2006, 88, P. 204103.

137. Li Т., Hyang Z.Y., Xi Z.C., Lacour S.P., Wagner S., Suo Z. Delocalizing strain in a thin metal film on a polymer substrate//Mechanics of Materials, 2005, 37, P. 261.

138. Watanabe M., Shirai H., Hirai T. Wrinkled Polypyrrole Electrode for Electroactive Polymer Actuators. // J. Appl. Phys. 2002. V 92. № 8, P. 4631.

139. Lacour S. P., Wagner S., Huang Z., Suo Z. Stretchable gold conductors on elastomeric substrates. // Appl. Phys. Letters, 2003, V. 82, № 15, P. 2404.

140. Jones J., Lacoure S.P., Wagner S., Suo Z. Stretchable wavy metal interconnects. // J. Vac. Sci. Technol. A 2004. V. 22 №4, P. 1723.1. Благодарности.

141. Автор выражает искреннюю благодарность кандидату химических наук Ярышевой Ларисе Михайловне за ценные идеи, полезные рекомендации, содержательные дискуссии и поддержку.

142. Автор благодарит доктора физ.-мат. наук, профессора С.Л. Баженова за проведенные им теоретические исследования.

143. Автор выражает благодарность А.С. Кечекьяну за проведение динамомерических исследований пленок ПЭТФ и ПС с тонкими металлическими покрытиями.