Импульсный разряд в тяжёлых газах, возбуждаемый в магнитной ловушке мощным излучением миллиметрового диапазона длин волн в условиях электронного циклотронного резонанса тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.08, кандидат физико-математических наук Разин, Сергей Владимирович

• Разин, Сергей Владимирович
• кандидат физико-математических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Разин, Сергей Владимирович

Введение

Гл.1. Особенности возникновения ЭЦР разряда в газе малой плотности в прямой магнитной ловушке при продольном вводе СВЧ-излучения

1.1. Описание экспериментальной установки

1.2. Пробой газа в прямой магнитной ловушке в условиях ЭЦР

1.3. Влияние на развитие ЭЦР разряда диэлектрика, находящегося вблизи магнитной пробки

1.4. Обсуждение результатов и выводы

Гл.2. Излучение плазмы ЭЦР разряда в области вакуумного ультрафиолета и мягкого рентгена

2.1. Диагностическая аппаратура

2.2. Ультрафиолетовое и вакуумное ультрафиолетовое излучение ЭЦР разряда (диапазон длин волн 540-4000 А)

2.3. Мягкое рентгеновское излучение ЭЦР разряда (диапазон длин волн 10 - 250 А)

2.4. Рентгеновское излучение ЭЦР разряда (диапазон длин волн 1 - 6 А)

2.5. Изображение плазмы ЭЦР разряда в мягких рентгеновских лучах

2.6. Обсуждение экспериментальных результатов, выводы

Гл.3. Распределения ионов плазмы ЭЦР разряда по зарядовым состояниям

3.1. Система импульсного напуска газа

3.2. Система анализа ионов

3.3. Результаты экспериментов

3.4. Интерпретация полученных результатов

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Импульсный разряд в тяжёлых газах, возбуждаемый в магнитной ловушке мощным излучением миллиметрового диапазона длин волн в условиях электронного циклотронного резонанса»

СВЧ разряд в магнитном поле в условиях электронного циклотронного резонанса (ЭЦР) привлекает к себе внимание исследователей на протяжении приблизительно трёх последних десятилетий. Первоначально изучение и применение ЭЦР разряда было связано с экспериментами, проводимыми в рамках программы по управляемому термоядерному синтезу (см., например, [1-10]). В дальнейшем ЭЦР разряд стал использоваться также в других областях науки и техники. В настоящее время плазма, полученная в условиях ЭЦР, применяется, например, во всевозможных плазменно-ионных технологиях в микроэлектронике (травление [11-14], напыление тонких плёнок [11,13,15, 19], ионная имплантация [13, 15-19], ионная литография [20] и др.). Одним из наиболее важных научных приложений ЭЦР разряда в прямой магнитной ловушке явилось создание источников многозарядных ионов (МЗИ) различных химических элементов, в частности, инертных газов. Такие источники МЗИ предназначены в первую очередь для инжекции ионов в циклотронные ускорители [21-23].

В связи с непрерывным развитием исследований в области ядерной физики требования к ионным источникам постоянно возрастают. Прежде всего, необходимо повышать зарядность ионов я, поскольку энергия ускоренных в циклотроне заряженных частиц пропорциональна я2 [22-24]. Кроме того, требуется увеличивать интенсивность ионных пучков. Именно источники МЗИ на основе ЭЦР разряда в прямой магнитной ловушке считаются в настоящее время наиболее перспективными в этом плане [21-23].

Один из путей совершенствования ЭЦР источников МЗИ связан с повышением частоты и мощности СВЧ накачки. Это стало очевидным после того, как в работах [21,25] экспериментально было продемонстрировано значительное увеличение выхода многозарядных ионов из ЭЦР источника при изменении частоты греющего СВЧ излучения с 10 до 18 ГГц - ток ионов со средним по распределению зарядом увеличился пропорционально квадрату частоты накачки Г свч. В то же время распределение ионов по зарядовым состояниям при этом практически не изменилось, что в рамках элементарных представлений можно объяснить следующим образом. При увеличении частоты СВЧ накачки возрастает концентрация электронов в разряде Ке, при этом пропорционально Ме растут и потери плазмы за счёт кулоновских столкновений (время жизни плазмы в магнитной ловушке т, ос 1/Ые). В этом случае, при оптимальной температуре электронов, распределение ионов по зарядам, определяемое параметром [22, 23, 26], не изменяется, а ток многозарядных ионов, определяемый параметром Ые /х, , будет пропорционален f свч , если Ые ^вч •

Отсюда понятен интерес к исследованиям электронно-циклотронного резонансного разряда, создаваемого СВЧ излучением большой частоты, поскольку соответственно должен возрасти ток многозарядных ионов. Кроме того, необходимо подчеркнуть, что при использовании мощного миллиметрового излучения гиротронов возможно настолько значительное увеличение концентрации разрядной плазмы (при сохранении высокой температуры электронов), при котором изменяется характер удержания плазмы в ловушке - реализуется так называемый квазигазодинамический режим с холодными "столкновительными" ионами, горячими "бесстолкновительными" электронами и заполненными конусами потерь в пространстве скоростей [27-29]. В таком режиме время удержания плазмы слабо зависит от её плотности (см., например, [27, 28, 30]), поэтому с увеличением концентрации электронов увеличивается параметр , в результате чего максимум ионных зарядовых распределений смещается в сторону более высоких кратностей ионизации [22, 23]. В связи с вышесказанным понятна актуальность исследований оптимальных с точки зрения образования многозарядных ионов режимов горения электронно-циклотронного резонансного разряда, поддерживаемого в прямой магнитной ловушке миллиметровым излучением гиротрона.

Наряду с использованием ЭЦР разряда в прямой магнитной ловушке в качестве источника МЗИ, такой разряд в тяжёлых газах (азот, кислород, аргон, криптон и др.) рассматривается также как возможный источник вакуумного ультрафиолета (ВУФ) и некогерентного мягкого рентгеновского излучения (МРИ), представляющего собой линейчатое излучение многозарядных ионов [31-34]. Такие источники могут применяться, например, для калибровки рентгеновской аппаратуры [35], модификации поверхности полимеров и т. д. [36]. Но основные перспективы использования ЭЦР разряда как источника МРИ связаны, по-видимому, с микроэлектроникой [32, 33]. В настоящее время в мире интенсивно ведутся работы по созданию различных типов источников мягкого рентгена (МР) с длиной волны порядка 100 А [37-42]. Такое излучение применяется в рентгеновской микролитографии для получения полупроводниковых структур субмикронных размеров, что является чрезвычайно актуальной задачей [43-45].

Для эффективной работы плазменных рентгеновских источников требуется наличие достаточно плотной плазмы с горячей электронной компонентой и заметным количеством многозарядных ионов необходимой кратности ионизации. Физические условия в ЭЦР разряде, поддерживаемом мощным излучением гиротрона миллиметрового диапазона длин волн в прямой магнитной ловушке, позволяют получить значительную температуру Те ~ 100 - 400 эВ [9, 46] основной части электронов, а также плотную плазму с электронной концентрацией Ые ^ 2-10 см [9, 32, 46, 47]. Поскольку указанная электронная температура близка к оптимальной для образования и возбуждения многозарядных ионов тяжёлых газов [48-51], излучающих в мягком рентгеновском диапазоне в области длин волн порядка 100 Ä [52], в плазме ЭЦР разряда должно создаваться большое количество МЗИ, и генерироваться интенсивное линейчатое мягкое рентгеновское излучение.

Говоря о создании плазменных источников МРИ, следует иметь в виду и такую технологическую проблему, как загрязнение элементов рентгеновской оптики, вызванное воздействием разлетающейся разрядной плазмы (особенно это касается лазерно-плазменных источников). При использовании же в качестве источника мягкого рентгена ЭЦР разряда в магнитной ловушке указанная проблема легко решается, если выводить рентгеновское излучение перпендикулярно силовым линиям магнитного поля, поскольку в этом направлении обеспечивается хорошее удержание плазмы.

Таким образом, на основе ЭЦР разряда в тяжёлых газах в прямой магнитной ловушке с накачкой мощным миллиметровым излучением гиротрона может быть реализован весьма эффективный источник мягкого рентгеновского излучения в области длин волн порядка 100 Ä. Поэтому представляются актуальными исследования режимов горения ЭЦР разряда, обеспечивающих оптимальные условия для генерации мягкого рентгена.

В связи с широким применением в научных исследованиях и технологиях ЭЦР разряда в прямых магнитных ловушках, значительный интерес представляет изучение начальной стадии такого разряда, т.е. изучение процесса пробоя. Дело в том, что при создании и нагреве плазмы в условиях электронного циклотронного резонанса (а это, как правило, происходит при достаточно низких давлениях рабочего газа - 10 ~3 Topp и ниже ) наряду с кулоновскими столкновениями появляется дополнительный канал ухода плазмы из ловушки, связанный с рассеянием электронов в конус потерь при взаимодействии их с резонансной СВЧ накачкой [29, 53-56]. При использовании в качестве источника СВЧ излучения современных гиротронов, создающих плотность потока мощности порядка нескольких кВт/см и выше [57-59], указанный механизм потерь может стать доминирующим [56]. В работе [53] была построена теория ЭЦР пробоя газа малой плотности в прямой осесимметричной магнитной ловушке, учитывающая потери электронов при их взаимодействии с СВЧ полем в зоне электронного циклотронного резонанса. Экспериментальная проверка данной теории также представляется актуальной задачей.

Целью настоящей диссертационной работы являлось экспериментальное исследование ЭЦР разряда, создаваемого в прямой магнитной ловушке в тяжёлых (воздух, кислород, аргон) газах излучением мощного импульсного гиротрона миллиметрового диапазона длин волн, а также изучение перспектив использования такого разряда в качестве источника мягкого рентгеновского излучения и многозарядных ионов.

Научная новизна.

1. Экспериментально исследован СВЧ пробой разреженного (давление р < 10 ~ 3 Topp) тяжёлого газа (воздух) в прямой осесимметричной магнитной ловушке в условиях циклотронного резонанса электронов при квазиоптическом продольном вводе мощного (130 кВт) излучения миллиметрового диапазона длин волн через одну из магнитных пробок. Результаты проведённых экспериментов подтвердили существующие теоретические представления о том, что при больших (порядка 100 кВт) микроволновых мощностях и интенсивностях СВЧ излучения на уровне нескольких кВт/см2 в лабораторных экспериментах по ЭЦР-пробою и нагреву плазмы потери электронов из ловушки (по крайней мере, на начальном этапе разряда) определяются рассеянием их в конус потерь при взаимодействии с мощной резонансной СВЧ накачкой.

2. Проведены исследования мягкого рентгеновского излучения импульсного ЭЦР разряда в тяжёлых газах (воздух, кислород, аргон), поддерживаемого мощным пучком миллиметровых волн в прямой магнитной ловушке простой пробочной конфигурации. С помощью монохроматора на основе сменных многослойных рентгеновских зеркал впервые получен спектр линейчатого мягкого рентгеновского излучения (МРИ) плазмы ЭЦР разряда в аргоне в диапазоне длин волн 65 - 200 Ä. Экспериментально показано, что максимум МРИ плазмы лежит в области длин волн А, ~ 100 Ä, а на краях интервала ДА. « 70 -110 Ä интенсивность излучения спадает на порядок.

3. Измерена абсолютная спектральная интенсивность линейчатого излучения аргоновой плазмы ЭЦР разряда в диапазоне 65 - 170 Ä. Показано, что такой разряд является эффективным источником мягкого рентгеновского излучения: максимум спектральной мощности составляет 730 Вт/ Ä на длине волны А, ~ 100 Ä, а интегральная по указанному диапазону длин волн мощность МРИ (в предположении изотропности рентгеновского источника) достигает 16 кВт. Таким образом, эффективность преобразования мощности СВЧ излучения в мягкое рентгеновское излучение оказывается на уровне 12 % .

4. В условиях интенсивной генерации мягкого рентгеновского излучения получен спектр и проведены абсолютные измерения интенсивности тормозного рентгеновского излучения аргоновой плазмы ЭЦР разряда в интервале длин волн А. « 1 — 6 А. Экспериментально показано, что в плазме существуют две фракции электронов - "тёплая" с температурой Т" » 300 - 400 эВ и "горячая" с температурой Teh «6-12 кэВ. На основании абсолютных измерений интенсивностей тормозного рентгеновского излучения определены концентрации обеих групп электронов, которые составили N* « (2-7)-10 13 см-3 для "тёплых" и N, <3109 см-3 для "горячих" электронов.

5. С помощью камеры-обскуры получено рентгеновское изображение плазмы ЭЦР разряда в аргоне в диапазоне длин волн X » 60 — 115 А при несоосном вводе СВЧ мощности в магнитную ловушку, приводящем к азимутально-неоднородному нагреву электронов. Анализ такого рентгеновского изображения позволил сделать оценку времени жизни плазмы в ловушке, которая дала величину порядка 10 мкс. Это соответствует теоретическим представлениям о характере удержания в ловушке плотной сильнонеравновесной плазмы, согласно которым в условиях наших экспериментов в режиме интенсивной генерации МРИ реализуется квазигазодинамический (КГД) режим удержания плазмы с изотропной функцией распределения электронов по скоростям.

6. Экспериментально найдены условия эффективной генерации в ЭЦР разряде многозарядных ионов. В этих условиях проведены измерения распределения ионов аргона по зарядовым состояниям в плазме, вытекающей из магнитной ловушки через её пробки. Обнаружено, что максимум распределения существенно смещён в сторону больших зарядностей по сравнению с распределениями в традиционных ЭЦР источниках МЗИ с накачкой излучением сантиметрового диапазона длин волн.

Исследовано временное поведение распределений ионов аргона по кратностям ионизации в течение разряда.

7. Вся совокупность наблюдаемых экспериментальных фактов объясняется в рамках предположения о том, что в экспериментах был осуществлён квазигазодинамический режим удержания ЭЦР-плазмы. Причём в условиях эффективной генерации высокозарядных ионов реализуется, по-видимому, КГД режим с сильно анизотропной функцией распределения электронов по скоростям ( Тех » Тец), в котором время жизни плазмы в ловушке значительно превосходит время жизни в КГД режиме с изотропной функцией распределения электронов, реализующемся в условиях интенсивной генерации мягкого рентгеновского излучения. Смена анизотропного КГД режима удержания плазмы в ловушке изотропным приводит к уменьшению параметра Ne-ii , определяющего зарядность ионов плазмы, что и объясняет наблюдаемую динамику распределений ионов по кратностям ионизации.

Научная и практическая значимость.

Исследованы особенности возникновения и поддержания плотной неравновесной плазмы импульсного разряда в тяжёлых газах, возникающего в магнитной ловушке простой пробочной конфигурации под действием мощного миллиметрового излучения в условиях электронного циклотронного резонанса. Показано, что такой разряд является эффективным источником как мягкого рентгеновского излучения, так и многозарядных ионов, и может быть использован в рентгеновской микролитографии и ускорителях тяжёлых частиц.

Использование результатов работы.

Результаты проведённых исследований использовались: в работе по теме "Шарж" (отчёт ИПФ АН СССР, 1991 г., № Гос. регистрации 01870089540); при реализации Межотраслевой научно-технической программы России "Физика микроволн" (проект 4.2) и Федеральной целевой программы "Интеграция" (проект "Фундаментальная радиофизика"); при выполнении государственного контракта № 105-5/33/34/35/68(00)-П "Гиротрон"; проектов РФФИ № 93-02-849, № 00-02-16480, а также международных проектов ИНТАС № 97-0094, ИНКАС (МЦФПИН) № 98-2-12, МНТЦ № 325 и № 1496.

Структура и объём диссертации.

Диссертация состоит из введения, трёх глав, заключения и списка литературы. Общий объём диссертации составляет 157 страниц, включая 63 рисунка и 2 таблицы. Список литературы содержит 165 наименований.

Заключение диссертации по теме «Физика плазмы», Разин, Сергей Владимирович

Полученные в диссертационной работе основные научные результаты заключаются в следующем.1. Экспериментально определены условия импульсного ЭЦР пробоя тяжёлого газа

(воздуха) в прямой осесимметричной магнитной ловушке при продольном вводе СВЧ излучения миллиметрового диапазона в зависимости от давления газа р и величины магнитного поля в пробках ловушки Вщ при постоянном уровне СВЧ мощности.Полученные экспериментальные результаты подтверждают теоретические предположения об определяющей роли в электронных потерях (по крайней мере, на стадии пробоя) процесса рассеяния электронов в конус потерь при их взаимодействии с СВЧ полем мощной микроволновой накачки в зоне электронного циклотронного резонанса.Исследовано влияние на порог возникновения ЭЦР разряда положения входного кварцевого окна, через которое СВЧ излучение вводится в разрядную вакуумную камеру.Экспериментально найдено, что при помещении диэлектрического окна в магнитную пробку или внутрь ловушки на плоскости параметров р-Вщ появляется дополнительная область существования ЭЦР разряда, что связано с вьщелением газа с поверхности диэлектрика и последующим развитием разряда в этом газе.2. Проведены исследования спектров излучения аргоновой плазмы ЭЦР разряда, поддерживаемого в прямой осесимметричной магнитной ловушке мощным пучком электромагнитных волн миллиметрового диапазона, с помощью вакуумного спектрографа в ультрафиолетовой и вакуумной ультрафиолетовой областях (интервал длин волн X « 540 — 4000 А). Обнаружено, что интенсивность излучения плазмы нарастает в коротковолновую область спектра вплоть до границы исследованного спектрального интервала. Расшифровка спектральных линий показала наличие в разряде ионов аргона с зарядами +(4 - 5).3. Исследовано мягкое рентгеновское излучение ЭЦР разряда в воздухе, техническом кислороде и чистом аргоне в диапазоне длин волн Я, « 10 - 250 А с использованием фильтров и p-i-n диодов с различными спектральными чувствительностями. Найдено, что основная часть рентгеновского излучения плазм перечисленных газов лежит в интервале Я,«45 —120Ас максимумом в области Я, 70 - 100 А, причём наибольшая интегральная по указанному участку спектра интенсивность излучения наблюдалась в аргоновой плазме. Показано, что исследуемое рентгеновское излучение представляет собой линейчатое излучение многозарядных ионов.4. Исследованы спектры МРИ плазмы ЭЦР разряда в аргоне в интервале длин волн X « 65 - 200 А с помощью рентгеновского монохроматора на основе многослойного рентгеновского зеркала. Проведённые абсолютные измерения интенсивности мягкого рентгена показали, что максимум спектральной мощности составляет 730 Вт /А на длине волны Л, 100 А, а интегральная по диапазону длин волн Я, « 65 — 170 А мощность MP излучения (в предположении изотропности источника) достигает Wwpn « 16 кВт.Следовательно, эффективность преобразования мощности СВЧ излучения в мягкое рентгеновское излучение оказывается на уровне 1 2 % .5. В режиме интенсивной генерации мягкого рентгеновского излучения получен спектр и проведены абсолютные измерения интенсивности рентгеновского излучения аргоновой плазмы ЭЦР разряда в интервале длин волн Я, « 1 - 6 А. Показано, что данное рентгеновское излучение является тормозным излучением, возникающим в объёме плазмы при столкновениях электронов с ионами. Эксперименты показали наличие в плазме двух фракций электронов - "тёплой" с температурой Т^ * « 300 - 400 эВ и "горячей" с температурой TJ" « 6 - 12 кэВ. На основании измеренных абсолютных значений интенсивностей тормозного рентгеновского излучения определены концентрации обеих групп электронов, которые составили N* » (2-7)-10 ''' см •^ для "тёплых" и Nj < 3-10 см для "горячих" электронов. Мощность тормозного рентгеновского излучения, проинтегрированная по диапазону длин волн Я, « 1 — 6 А, составила при этом W юрм. « 1.5 Вт.6. В режиме интенсивной генерации мягкого рентгеновского излучения с помощью камеры-обскуры получено интегральное по времени рентгеновское изображение плазмы ЭЦР разряда в аргоне в диапазоне длин волн А, « 60 - 115 А. Анализ формы рентгеновского изображения излучающей области при несоосном вводе в магнитную ловушку СВЧ мощности позволил оценить время жизни плазмы в ловущке, которое составило около 10 мкс. Данная величина согласуется с результатами существующей теории удержания плотной неравновесной плазмы ЭЦР разряда в прямой магнитной ловушке.7. Экспериментально найдены условия эффективной генерации в ЭЦР разряде многозарядных ионов аргона. В этих условиях проведены измерения распределений ионов аргона по зарядовым состояниям в плазме, вытекающей из магнитной ловушки через её пробки. Обнаружено, что максимум распределений существенно смещён в сторону бо'льших зарядностей по сравнению с распределениями в традиционных ЭЦР источниках многозарядных ионов непрерьгеного действия с накачкой излучением сантиметрового диапазона длин волн.Исследована временная динамика указанных распределений в течение разряда.Измерения показали, что в течение первых нескольких сотен микросекунд после начала ЭЦР разряда распределение ионов аргона по зарядовым состояниям имело максимум на зарядах q « + (Ю - 12), затем кратность ионизации ионов снижалась, и максимум зарядового распределения смещался на заряды q » + (5 - 7).8. Реализован квазигазодинамический режим удержания в магнитной ловушке плотной неравновесной (Те » Tj ) плазмы ЭЦР разряда. Отличительной особенностью такого режима является заполненность электронами конусов потерь в пространстве скоростей, так что время жизни плазмы в ловушке слабо зависит от её плотности. При этом сравнительно холодные ионы имеют длину свободного пробега относительно ион ионных столкновений много меньше характерных размеров магнитной ловушки, в то время как горячие электроны являются бесстолкновительными. В этих условиях в разряде возможно образование как изотропной ( Uei « Оец , где Uei и Оец — соответственно поперечная и продольная по отношению к магнитному полю ловушки составляюшие скорости электрона), так и анизотропной ( U e i » Оец) функции распределения электронов по скоростям, что приводит, как показано экспериментально, к формированию распределений ионов по зарядовым состояниям с максимумом на существенно различных зарядностях.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Разин, Сергей Владимирович, 2004 год

1. Dandl R.А., England A.C., Ard W.B. et. al. Properties of a high-beta plasma produced by electron-cyclotron heating. //Nuclear Fusion. 1964. V. 4. P. 344-353.

2. Ikegami H., Ikezi H., Hosokawa M. et. al. Shell structure of a hot-electron plasma. // Physical Review Letters. 1967. V. 19. N. 14. P. 778-781.

3. Будников B.H., Винопзадов Н.И., Голант В.Е. и др. Исследование плазмы, созданной СВЧ полем в режиме циклотронного резонанса. // Журнал технической физики. 1967. Т. 37. №5 . 851-856.

4. Аликаев В.В., Бобровский Г.А., Позняк В.И. и др. Нагрев плазмы в токамаке ТМ-3 на электронно-циклотронном резонансе при магнитных полях до 25 кЭ. // Физика плазмы. 1976. Т. 2. Вып. 3. 390-395.

5. Димов Г.И., Закайдаков В.В., Кишиневский М.Е. Термоядерная ловушка с двойными пробками. // Физика плазмы. 1976. Т. 2. Вьт. 4. 597-610.

6. Аликаев В.В. ВЧ и СВЧ методы нагрева плазмы. // Итоги науки и техники. Сер. Физика плазмы. 1981. Т. 1. Ч. 2. 80-99.

7. Аликаев В.В., Литвак А.Г., Суворов Е.В., Фрайман А.А. Электронно-циклотронный нагрев плазмы в тороидальных системах. / В кн. : Высокочастотный нагрев плазмы. / Горький : ИПФ АН СССР. 1983. 6-70.

8. Бочаров В.Н., Завадский Н.А., Киселёв А.В. и др. Генерирование плазмы в открытой ловушке на ЭЦР при осевом распространении волны. // Вопросы атомной науки и техники. Сер. Термоядерный синтез. 1985. Вьш. 3. 64-70.

9. Демехов А.Г., Ерёмин Б.Г., Костров А.В., Суворов Е.В., Фрайман А.А., Чеканов А.Л., Шагиев Ю.М. Исследование плазмы, создаваемой в прямой магнитной ловушке при циклотронном СВЧ пробое. // Препринт № 146 ИПФ АН СССР. Горький. 1986. 39

10. Панов Д.А. Амбиполярные открытые ловушки. // Итоги науки и техники. Сер. Физика плазмы. 1988. Т. 8. 5-48.

11. Гуляев Ю.В., Яфаров Р.К. Микроволновое ЭЦР вакуумно-плазменное воздействие на конденсированные среды в микроэлектронике (физика процессов, оборудование, технология). // Зарубежная электронная техника. 1997. № 1. С, 77-120.

12. Asmussen J., Grotjohn Т.А., PengUn Мак et. al. The design and application of electron cyclotron resonance discharges. // IEEE Transactions on plasma science. 1997. V. 25. N. 6. P. 1196-1221.

13. Орликовский А.А. Плазменные процессы в микро- и наноэлектронике. Часть 2. Плазмохимические реакторы нового поколения и их применение в технологии микроэлектроники. // Микроэлектроника. 1999. Т. 28. № 6. 415-426.

14. Путря М.Г. Методология разработки процессов формирования трёхмерных структур СБИС плазменными методами. // Изв. вузов. Электроника. 2001. № 1. 5-13.

15. Matsuoka М., Оно К. Ion extraction from microwave plasma excited by ordinary and extraordinary waves and applications to the sputtering deposition. // Journal of Vacuum Science and Technology A. 1991. V. 9. N. 3. P. 691-695.

16. Matsuda K., Tanjyo M. Ion sources for implantation. // Review of Scientific Instruments. 1996. V. 67. N.3. P. 901-904.

17. Sekiguchi M. Summary of 12 ''' international ECRIS workshop 1995.. // Review of Scientific Instruments. 1996. V. 67. N. 4. P. 1606-1613.

18. Mandl S., Manova D., Rauschenbach B. Balancing incident heat and ion flow for process optimization in plasma based ion implantation. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2002. V. 35. N. 11. P. 1141-1148.

19. Watanabe Т., Yamamoto K., Tsuda O. et. al. Synthesis of amoфhous carbon films by plasma-based ion implantation using ECR plasma with a mirror field. // Surface & Coatings Technology. 2002. V. 156. N. 1-3. P. 317-321.

20. Dudnikov V.G. Review of high brightness ion sources for microlithography. // Review of Scientific Instruments. 1996. V. 67. N. 3. P. 915-920.

21. Geller R. ECRIS - closing remarks. // Journal de Physique. 1989. Colloque CI. Suppl. N 1. V. 50. P. 887-892.

22. Geller R. Electron cyclotron resonance ion sources and ECR plasmas. // Institute of Physics. Bristol. 1996. 434 P.

23. Голованивский K.C., Дугар-Жабон В.Д. Ионные источники на основе электронного циклотронного резонанса (обзор). // Приборы и техника эксперимента. 1991. № 4. 8-18.

24. Лебедев А.Н., Шальнов А.В. Основы физики и техники ускорителей. // М.: Энергоатомиздат. 1991. 528

25. Geller R., Jacquot В., Sortais P. The upgrading of the multiply charged heavy-ion source Minimafios. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. 1986. V. A243. P. 244-254.

26. Голованивский K.C. Зеркальная магнитная ловушка с электронно-циклотронным нагревом плазмы как источник многозарядных ионов (обзор). // Приборы и техника эксперимента. 1985. № 5. 7-26.

27. Гольдберг A.B., Семёнов B.E. Оценка времени жизни ионов в ECR-источнике с плотной плазмой. // Рабочее совещание по источнику ионов с электронно-циклотронным резонансом (ЭЦР). Дубна. Россия. 1991. 16-17.

28. Мирнов B.B., Рютов Д.Д. Газодинамическая ловушка. // Итоги науки и техники. Сер. Физика плазмы. 1988. Т. 8. 77-130.

29. Arata Y., Miyake S., Kishimoto Н. Properties of ECR plasma in a simple mirror field. // Japanese Journal of Applied Physics. 1987. V. 26. N. 12. P. 2079-2085.

30. Arata Y., Miyake S., Kishimoto H. et. al. Production of ECR mirror plasma by high power millimeter-wave radiation. // Japanese Journal of Applied Physics. 1988. V. 27. N. 7. P. 1281-1286.

31. Booske J.H., Aldabe F.A., Ellis R.F., Getty W.D. Modeling of an electron cyclotron resonance heated mirror plasma for highly charged ion and soft x-ray sources. // Journal of Applied Physics. 1988. V. 64. N. 3. P. 1055-1067.

32. Grubling P., Hollandt J., Ulm G. The Electron Cyclotron Resonance Light Source Assembly of PTB-ELISA. // Proceeding of the 14*'' International Workshop on ECR Sources. CERN. Geneva. Switzeriand. 1999. P. 54-57.

33. Chauhan S.S., Rajyaguru C.C., Ito H. et. al. Electron cyclotron resonance light source from TEoii mode microwave plasma. // Review of Scientific Instruments. 2001. V. 72. N. 12. P. 4344-4347.

34. Bollanti S., Albertano P., Belli M. et. al. Soft X-ray plasma source for atmospheric-pressure microscopy, radiobiology and other applications. // Nuovo Cimento. 1998. V. 20D. N. 11. P. 1685-1701.

35. Шевелько А.П., Якушев О.Ф, Интенсивный источник мягкого рентгеновского и ВУФ излучения на основе плазмы капиллярного разряда. // Материалы совещания "Рентгеновская оптика-2002". Нижний Новгород. 2002. 72-78.

36. Juschkin L,, Chuvatin А., Zakharov S. et, al. EUV emission from ICr and Xe capillary discharge plasmas. //Journal of Physics D: Applied Physics. 2002. V. 35. N. 3. P. 219-227.

37. Нагорный В.И., Нефедов Ю.Я., Усенко П.Л. Источник импульсных потоков моноэнергетического мягкого рентгеновского излучения. // Приборы и техника эксперимента. 1996. № 1. 137-141,

38. Bijkerk F., Shmaenok L., van Honk A. et. al. Laser plasma sources for soft X-ray projection lithography. // Nanometer-scale methods in X-ray technology. Journal de Physique. 1994. V,

40. Зорев H.H. Перспективы проекционной рентгеновской литографии. // Рентгеновская оптика. Труды ФИАН. 1989. Т. 196. 129-142.

41. Валиев К.А, Физика субмикронной литографии. // М.: Наука. 1990. 528

42. Моро У. Микролитография. Ч. 1. // Пер. с англ. М.: Мир. 1990. 605

43. Водопьянов А.В., Голубев СВ., Зорин В.Г., Разин СВ., Шилов М.А. Параметры плазмы электронно-циклотронного резонансного разряда в открытой магнитной ловушке в квазигазодинамическом режиме удержания. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. В. 14. 90-94.

44. Lennon М.А., Bell Н.В., Gilbody Н.В. et. al. Recommended data on the electron impact ionization of atoms and ions: fluorine to nickel. // Journal of Physical and Chemical Reference Data. 1988. V. 17. N. 3. P, 1285-1363.

45. Пресняков Л.П., Шевелько В.П., Янев Р.К. Элементарные процессы с участием многозарядных ионов. // М.: Энергоатомиздат. 1986. 200

46. Базьшев В.А., Чибисов М.И. Возбуждение и ионизация многозарядных ионов электронами. //Успехи Физических Наук. 1981. Т. 133. Вып. 4. 617-652.

47. Voronov G.S. Atomic data for fusion. Carbon and oxygen ions excitation rates by electron impact. // Preprint X» 28 General Physics Institute. 1992. 9 P.

48. Стриганов А.Р., Одинцова Г.А. Таблицы спектральных линий атомов и ионов. Справочник. // М.: Энергоиздат. 1982.312

49. Суворов Е.В., Токман М.Д. К теории СВЧ пробоя разреженного газа в адиабатической магнитной ловушке при электронно-циклотронном резонансе. // Физика плазмы. 1989. Т. 15. Вып. 8. 934-943.

50. Беспалов П.А., Трахтенгерц В.Ю, Циклотронная неустойчивость радиационных поясов Земли. // В кн.: Вопросы теории плазмы. Вып. 10. Нелинейная динамика. М.: Атомиздат. 1980. 88-163.

51. Bespalov Р.А., Trakhtengerts V.Yu. The cyclotron instability in the Earth radiation belts. // Reviews of Plasma Physics. New York: Consultant Bureau. 1986. V, 10. P. 155-192.

52. Goldenberg A.L., Litvak A.G. Recent progress of high-power millimeter wavelength gyrodevices. // Physics of Plasmas. 1995. V. 2. N. 6. Pt. 2. P. 2562-2572.

53. Thumm M. Present developments and status of electron sources for high power gyrotron tubes and free electron masers. // Applied Surface Science. 1997. V. 111. P. 106-120.

54. Denisov G.G. Development of 1 MW output power level gyrotrons for fusion systems. // Proceedings of the International workshop "Strong Microwaves in Plasmas". Ed. by A.G. 1.itvak. Nizhny Novgorod. Russia. 2000. V. 2. P. 967-986.

55. Семёнов B.E., Турлапов A.B. Удержание плазмы с анизотропной функцией распределения электронов в открытой магнитной ловушке. // Препринт № 422 ИПФ РАН. Нижний Новгород. 1997. 20

56. Turlapov А.v., Semenov V.E. Confinement of a mirror plasma with an anisotropic electron distribution function. // Physical Review E. 1998. V. 57. N. 5. P. 5937-5944.

57. Semenov V.E., Smimov A.N., Turlapov A. Modeling of a Mirror-Trapped Plasma for an ECR ion Source. // Transactions of Fusion Technology. 1999. V. 35. N IT. P. 398-402.

58. Голубев СВ., Зорин В.Г., Плотников И.В., Разин СВ., Суворов Е.В., Токман М.Д. ЭЦР-пробой разреженного газа в прямой магнитной ловушке при продольном вводе СВЧ-излучения. // Физика плазмы. 1996. Т. 22. № 11. 1007-1011.

59. Голубев СВ., Зорин В.Г., Платонов Ю.Я., Разин СВ. Мягкое рентгеновское излучение ЭЦР разряда, поддерживаемого пучком миллиметровых волн // Письма в ЖТФ. 1994. Т. 20. Вып. 4. 7-11.

60. Golubev S.V., Platonov Yu.Ya., Razin S.V., Zorin V.G. Soft X-Ray Emission from Millimeter-Wave Electron-Cyclotron Resonance Discharge // Journal of X-ray Science and Technology. 1996. V. 6. P. 244-248.

61. Водопьянов А.В., Голубев СВ., Зорин В.Г., Разин СВ., Субботин А.Н., Усенко П.Л. Рентгеновское изображение плазмы импульсного ЭЦР разряда, поддерживаемого миллиметровым излучением гиротрона. // Препринт № 568 ИПФ РАН. Нижний Новгород. 2001. П С

62. Golubev S.V., Zorin V.G., Razin S.V. Ion charge state distribution in plasma of electron cyclotron resonance discharge sustained by powerful millimeter wave radiation. // Review of Scientific Instruments. 1998. V. 69. N. 2. P. 634-636.

63. Golubev S.V., Razin S.V., Vodopyanov A.V., Zorin V.G. Formation of multicharged ions in plasma of ECR discharge sustained by powerful millimeter wave radiation in a mirror trap. // Transactions of Fusion Technology. 1999. V. 35. N. IT. P. 288-291.

64. Golubev S.V., Razin S.V., Semenov V.E., Smimov A.N., Vodopyanov A.V., Zorin V.G. Formation of multicharged ions and plasma stability at quasigasdynamic plasma confinement in a mirror magnetic trap. // Review of Scientific Instruments. 2000. V. 71. N.

65. Пастухов В.П. Классические продольные потери плазмы в открытых адиабатических ловушках. // Вопросы Теории Плазмы. Вып. 13. М.: Энергоатомиздат. 1984. 160-204.

66. Зайцев Н.И., Иляков Е.В., Ковнеристый Ю.К. и др. Калориметр для измерения энергии мощного электромагнитного импульса. // Приборы и техника эксперимента. 1992. №

67. Ковалёв Н.Ф., Резников Н.Г., Слуцкер ЯЗ. Волноводный фильтр-пробка. // Приборы и техника эксперимента. 1979. № 1. 120-122.

68. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. // М.: Наука. 1992. 536

69. Lotz W. Electron-impact ionization cross-sections and ionization rate coefficients for atoms and ions from hydrogen to calcium. // Zeitschrift fur Physik. 1968. V. 216. N. 3. P. 241-247.

70. Voronov G.S. A practical fit formula for ionization rate coefficients of atoms and ions by electron impact: Z = 1 -28. // Atomic data and Nuclear data tables. 1997. V. 65. P. 1.

71. Месси Г., Бархоп E. Электронные и ионные столкновения. // М.: ИЛ. 1958. 604

72. Мотт П., Месси Г. Теория атомных столкновений. // М.: Мир. 1969. 450

73. Lieberman М.А., Lichtenberg A.J. Theory of electron resonance heating. II. Long time and stochastic effects. // Plasma Physics. 1972. V.15. № 2. P.125-150.

74. Лихтенберг A., Либерман M. Регулярная и стохастическая динамика. // М.: Мир. 1984.

75. Гришин Л.В., Дорофеюк А.А., Коссый И.А. и др. Исследование вторично- эмиссионного СВЧ разряда при больших углах пролёта электронов. // Диссипация электромагнитных волн в плазме. Труды ФИАН. 1977. Т. 92. 82-131.

76. Бронштейн И.М., Фрайман Б.С. Вторичная электронная эмиссия. // М.: Наука. 1969.

77. Айнбунд М.Р., Поленов Б.В. Вторично-электронные умножители открытого типа и их применение. //М.: Энергоиздат. 1981. 139

78. Браун Элементарные процессы в плазме газового разряда. // М.: Госатомиздат, 1961.

79. Гинзбург В.Л. Распространение электромагнитных волн в плазме. // М.: Наука. 1967.

80. Голант В.Е. Сверхвысокочастотные методы исследования плазмы. // М.: Наука. 1968.

81. Диагностика плазмы. // Под ред. Р. Хадцлстоуна и Леонарда. М.: Мир. 1967. 515

82. Держиев В.И., Жидков А.Г., Яковленко СИ. Излучение ионов в неравновесной плотной плазме. //М.: Энергоатомиздат. 1986. 160

83. Пресняков Л.П. Рентгеновская спектроскопия высокотемпературной плазмы. // Успехи Физических Наук. 1976. Т. 119. Вып. 1. 49-73.

84. Лукьянов СЮ. Горячая плазма и управляемый ядерный синтез. // М.: Наука. 1975.

85. Жевлакова Т.А., Любарский СВ. Метрологические проблемы изготовления зеркал для проекционной нанолитографии. // Оптический журнал. 2001. Т. 68. № 7. 40-48.

86. Акимов Ю.К., Игнатьев О.В., Калинин А.И. и др. Полупроводниковые детекторы в экспериментальной физике. // М.: Энергоатомиздат. 1989. 344 С

87. Абрамов А.И., Казанский Ю.А., Матусевич Е.С Основы экспериментальных методов ядерной физики. // М.: Энергоатомиздат. 1985.488

88. Гапонов СВ., Гусев А., Платонов Ю.Я., Салащенко Н.Н., Глускин Е.С. Сферические и плоские многослойные зеркала нормального падения для мягкого рентгеновского излучения. // Письма в ЖТФ. 1983. Т. 9. Вып. 4. 208-213.

89. Гапонов СВ., Грудский А.Я., Гусев А., Платонов Ю.Я., Салащенко Н.Н. Многослойные дисперсионные элементы для мягкого рентгеновского излучения. // Журнал Технической Физики. 1985. Т. 55. Вып. 3. 575-579.

90. Виноградов А.В., Кожевников И.В. Многослойные рентгеновские зеркала. // Рентгеновская оптика. Труды ФИАН. 1989. Т. 196. 62-102.

91. Мищетт А. Оптика мягкого рентгеновского излучения. // М.: Мир. 1989. 351 С

92. Гапонов СВ., Дубров В.В., Забродин И.Г,, Кузьмичев А.И., Лускин Б.М., Салащенко Н.Н. Многослойные зеркала нормального падения на диапазон длин волн 125-200 А. // Письма в ЖТФ. 1987. Т. 13. Вып. 4. 214-218.

93. Andreev S.S., Gaponov S.V., Salashchenko N.N. et. al. Multilayer optics for x-ray and y- radiation. // Proceedings of SPIE. 1998. V. 3406. P. 45-69.

94. Виноградов А.В., Кожевников И.В. Оптика мягкого рентгеновского диапазона: состояние и проблемы. // Рентгеновская оптика. Труды ФИАН. 1989. Т. 196. 4-17.

95. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Электродинамика сплошных сред. // М.: Наука. 1992. Т. 8. 661

96. Ландсберг Г.С. Оптика. // М.: Наука. 1976. 926

97. Непке B.L., Lee Р., Тапака T.J. et. al. Low energy X-ray interaction coefficients: photoabsorption, scattering and reflection. // Atomic Data and Nuclear Data Tables. 1982. V. 27. P. 1-144.

98. Henke B.L., Gullikson E.M., Davis J.C. X-ray interaction: photoabsorption, scattering, transmission and reflection at E = 50-30000 eV. // Atomic Data and Nuclear Data Tables. 1993. V. 54. №2. P. 181-342.

99. Басов Н.Г., Захаренков Ю.А., Рупасов A.A. и др. Диагностика плотной плазмы. // М.: Наука. 1989. 368

100. Ness K., Makabe T. Electron transport in argon in crossed electric and magnetic fields. // Physical Review E. 2000. V. 62. N. 3. P. 4083-4090.

101. Braithwaite N. St. J. Introduction to gas discharges. // Plasma Sources Science and Technology. 2000. V. 9. N 4. P. 517-527.

102. Физика и технология источников ионов. // Под ред. Я. Брауна. М.: Мир. 1998. 495

103. Спитцер Л. Физика полностью ионизованного газа. // М.: Мир. 1965. 212

104. Арцимович Л.А., Сагдеев Р.З. Физика плазмы для физиков. // М.: Атомиздат. 1979.

105. Greene J. Bremsstrahlung from a maxwellian gas. // Astrophysical Journal. 1959. V. 130. N. 2. P. 693-701.

106. Шкаровский И., Джонстон Т., Бачинский М. Кинетика частиц плазмы. // М.: Атомиздат. 1969. 396

107. Чен Ф. Введение в физику плазмы. // М.: Мир. 1987. 398

108. Альбиков З.А., Велик В.П., Бобашев СВ. и др. Исследование характеристик детекторов для диагностики импульсного рентгеновского излучения высокотемпературной плазмы. // Диагностика плазмы. Вып. 6. М.: Энергоатомиздат. 1989. 48-52.

109. Bobashev S.V., Golubev A.V., Platonov Yu. Ya., Salashchenko N.N. et. al. Absolute photometry of pulsed intense fluxes of ultrasoft X-ray radiation. // Physica Scripta. 1991. V. 43. P. 356-367.

110. Запысов А.Л., Израилев И.М., Никитин В.П. и др. Градуировка детекторов низкоэнергетического рентгеновского излучения. //Диагностика плазмы. Вып. 6. М.: Энергоатомиздат. 1989. 43-47.

111. May D.P. ECR ion sources for accelerators. // Proceedings of the 15* International Conference "Cyclotrons and Their Applications". Caen. France. 1998. P. 395-401.

112. Geller R. Electron cyclotron resonance sources: Historical review and future prospects. // Review of Scientific Instruments. 1998. V. 69. N. 3. P. 1302-1310.

113. Sortais P. General review of recent developments for electron cyclotron resonance ion sources. // Review of Scientific Instruments. 1996. V. 67. N. 3. P. 867-872.

114. Melin G., Drentje A.G., Girard A., Hitz D. Ion behavior and gas mixing in electron cyclotron resonance plasmas as sources of highly charged ions. // Journal of Applied Physics. 1999. V. 86. N. 9. P. 4772-4779.

115. Douysset G., Khodja H., Girard A., Briand J.P. Highly charged ion densities and ion cofinement properties in an electron cyclotron resonance ion source. // Physical Review E. 2000. V. 61. N. 3. P. 3015-3022.

116. Hitz D., Girard A., Debemardi J. et. al. First results of the SERSE source operation at 28 GHz. // Proceedings of the Workshop on the Production of Intense Beams of Highly Charged Ions Р1ВШ-2000. Catania. Italy. 2000. P. 13-17.

117. Gammino S., Ciavola G., Celona L. et. al. Operation of the SERSE superconducting electron cyclotron resonance ion source at 28 GHz. // Review of Scientific Instruments. 2001. V. 72. N. 11. P. 4090-4097.

118. Sortais P., Bouly J.L., Chauvin N. et. al. The ISN PHOENIX program: ECRIS as charge accumulator. // Proceedings of the Workshop on the Production of Intense Beams of Highly Charged Ions PIBHI-2000. Catania. Italy. 2000. P. 11.

119. Thuillier Т., Sortais P., Peaucelle С et. al. New xenon results of PHOENIX at 28 GHz. // Abstracts of 15* International Workshop on ECR Ion Sources. Jyvaskyla. Finland. 2002.

120. Вайнштейн Л.А., Шевелько В.П. Ионизация многозарядных ионов электронами. // Труды ФИАН. 1987. Т. 179. 95-102.

121. Kato Y., Ishii S. Multiple-ionization effect on charge-state distribution in ECR source. // Journal of the Physical Society of Japan. 1995. V. 64. N. 1. P. 114-123.

122. Teng H., Xu Z. Contribution of excitation autoionization to the electron-impact ionization of Ar^^. // Physical Review A. 1996. V. 54. N. 1. P. 444-448.

123. Sortais P. Electron cyclotron resonance ion sources for production of multicharged ions. // Proceedings of the International Workshop on "Strong Microwaves in Plasmas". Ed. by A.G. Litvak. Nizhny Novgorod. Russia. 1994. V. 1. P. 312-327.

124. Кадомцев Б.Б. Коллективные явления в плазме. // М.: Наука. 1988. 304

125. Трубников Б.А. Теория плазмы. // М.: Энергоатомиздат. 1996. 463

126. Gammino S., Celona L., Ciavola G. et. al. Production of intense highly charged ion beams with SERSE. // Proceeding of the 14* International Workshop on ECR Sources. CERN. Geneva. Switzerland. 1999. P. 5-8.

127. Leitner M.A., Lundgren S.A., Lyneis CM. et. al. Progress report of the З*^** generation ECR ion source fabrication. // Proceeding of the 14* International Workshop on ECR Sources. CERN. Geneva. Switzeriand. 1999. P. 66-70.

129. Shirkov G.D. A classical model of ion confinement and losses in ECR ion sources. // Plasma Sources Science and Technology. 1993. V. 2. P. 250-257.

130. Girard A., Serebrennikov K., Lecot C. The role of the frequency in ECR ion sources. // Proceedings of the Workshop on the Production of Intense Beams of Highly Charged Ions PIBHI-2000. Catania. Italy. 2000. P. 141-146.

131. Иоффе M.C, Кадомцев Б.Б. Удержание плазмы в адиабатических ловушках. // Успехи Физических Наук. 1970. Т. 100. Вып. 4. 601-639.

132. Рютов Д.Д. Открытые ловушки. // Успехи Физических Наук. 1988. Т. 154. Вып. 4. С 565-614.

133. Арсенин В.В. Аксиально-симметричные открытые ловушки. // Итоги науки и техники. Сер. Физика плазмы. 1988. Т. 8. 49-76.

134. Чуянов В.А. Адиабатические магнитные ловушки. // Итоги науки и техники. Сер. Физика плазмы. 1980. Т. 1. Ч. 1. С 119-165.

135. Тимофеев А. В. Теория циклотронного нагрева в длинных адиабатических ловушках. // Физика плазмы. 1975. Т. 1. Вып. 1, С 88-110.

136. Melin G., Bourg Е., Briand P., Geller R. Preliminary electron cyclotron emission measurements from an ECRIS plasma. // Journal de Physique. 1989. Collocue CI. Suppl. N l . V . 50. P. 727-737.

137. Huba J.D. NRL plasma formulary. // Washington. 1994. 65 P.

138. Angert N., Spadtke P., Hill C. et. al. High current, high frequency ECRIS development program for LHC heavy ion beam application. // Proceeding of the \4^ International Workshop on ECR Sources. CERN. Geneva. Switzerland. 1999. P. 220-223.

139. Geller R. From цАтрз to mAmps - ECRIS progress and perspectives for the coming years. // Proceedings of the Workshop on the Production of Intense Beams of Highly Charged Ions PIBHI-2000. Catania. Italy. 2000. P. 163-170.

140. Sortais P., Bex L., Maunoury L, et. al. General рифозе high-performance electron cyclotron resonance ion source for production of multicharged ions. // Review of Scientific Instruments. 1998. V. 69. N. 2. P. 656-658.

141. Хилд M., Уортон Микроволновая диагностика плазмы. // М.: Атомиздат. 1968.

142. Hitz D., Berreby R., Druetta М. Diagnostics of ECR Caprice ion source. // Physica Scripta. 1999. V.T80. P. 511-513.

143. Токман M. Д. Нелинейная теория электронно - циклотронного взаимодействия электромагнитных волн с плазмой. // Диссертация на соискание учёной степени доктора физ.- мат. наук. Н. Новгород. 1996. 403

144. Semenov V., Skalyga V., Smirnov А., Zorin V. Scaling for ECR sources of multicharged ions with pumping at frequencies fi-om 10 to 100 GHz. // Review of Scientific Instruments. 2002. V. 73. N. 2. Pt. II. P. 635-637.