Электрические и магнитные свойства многослойных наноструктур [Co45Fe45Zr10/α-Si:H]n и [(Co45Fe45Zr10)35(Al2On)65/α-Si:H]n тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Королёв, Константин Геннадьевич

• Королёв, Константин Геннадьевич
• кандидат физико-математических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Королёв, Константин Геннадьевич

ВВЕДЕНИЕ.

1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.

1.1. Гетерогенные наносистемы.

1.1.1. Структура нанокомпозитов металл-диэлектрик.

1.1.2. Структура многослойных наносистем.

1.2. Электрические свойства гетерогенных наносистем.

1.2.1. Механизм активированного туннелирования электронов.

1.2.2. Механизм прыжковой проводимости (модель Мотта).

1.2.3. Механизм неупругого резонансного туннелирования.

1.3. Магнитные свойства гетерогенных наносистем.

1.3.1. Магнитные свойства нанокомпозитов металлдиэлектрик

1.3.2. Магнитные свойства многослойных наносистем.

1.4. Выводы, цели и задачи диссертации.

2. ОБРАЗЦЫ И МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА.

2.1. Получение образцов многослойных наноструктур.

2.2. Измерительный комплекс для исследований электрических и магнитных свойств тонкопленочных образцов.

2.3. Измерение низкотемпературных зависимостей электрического сопротивления в диапазоне 80-300 К.

2.4. Измерение магниторезистивного эффекта.

2.5. Измерение намагниченности.

2.6. Измерение комплексной магнитной проницаемости.

3. ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОСИСТЕМ

Со 45 Fe 45 Zrw la - Si : Н ]л.

3.1. Температурные зависимости в интервале 80-300 К электрического сопротивления многослойных структур

Co45Fe 45 Zr10 / a- Si: H]54 перпендикулярно плоскости пленки с толщиной слоев более 10 нм.

3.2. Температурные зависимости в интервале 80-300 К электрического сопротивления многослойных структур [Co45Fe45Zrw /a-Si: Н]т перпендикулярно плоскости пленки с толщиной слоев менее 10 нм.

3.3. Выводы к главе 3.

4. ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И МАЕНИТНЫЕ СВОЙСТВА МНОЕОСЛОЙНЫХ

НАНОСИСТЕМ [(Co45Fe45Zrw)}5(A(2On)65/a-Si:H]i

4.1. Зависимость удельного электрического сопротивления многослойных структур композит—полупроводник от толщины полупроводниковой прослойки.

4.2. Температурные зависимости электрического сопротивления многослойной структуры композит-полупроводник в интервале 80-300 К.

4.3. Магниторезистивный эффект в многослойных структурах

Co45Fe45Zr]0)35(Al2On)65 /а-Si: Я]30.

4.4. Высокочастотные магнитные свойства многослойной структуры [(Co4}Fe45Zrw)35(Al2O,,)65/a-Si:H]i0.

4.5. Влияние термической обработки на электрическое сопротивление и комплексную магнитную проницаемость многослойной структуры [(Co45Fe45Zrl0)35(Al2On)65 la-Si: Н]т.

4.6. Выводы по главе 4.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Электрические и магнитные свойства многослойных наноструктур [Co45Fe45Zr10/α-Si:H]n и [(Co45Fe45Zr10)35(Al2On)65/α-Si:H]n»

Актуальность темы

В последнее время искусственно созданные наномультислойные структуры - многослойные магнитные пленки металл - полупроводник (диэлектрик) с толщинами слоев нанометрового диапазона представляют большой интерес, как для фундаментальной физики, так и для различных применений. Практический интерес связан с обнаруженным в них достаточно сильным обменным взаимодействием между металлическими слоями, которое изменяется от ферромагнитного к антиферромагнитному при изменении толщины прослойки, и открытию в них гигантского магнитосопротивления. Научный интерес к мультислойным структурам обусловлен тем, что уменьшение размеров функциональных устройств современной электроники привело к ряду проблем, которые связаны не только с технологическими ограничениями, но и с тем, что при этом «включаются» новые физические явления, характерные для на-номира. В частности, малый размер слоев в таких системах приводит к квантовым эффектам в транспортных явлениях (проводимости, эффекте Холла, термоэдс, магнитосопротивлении).

В настоящее время актуальной научной проблемой является разработка на основе существующих технологий новых методик получения наномате-риалов с новым составом и функциональными характеристиками, установление новых физических закономерностей и построение новых физических моделей для их адекватного описания. В связи с этим не вызывает сомнений актуальность исследований, направленных на установление более глубокого понимания физических механизмов переноса носителей заряда в многослойных наносистемах металл-полупроводник.

Тема данной диссертации соответствует «Перечню приоритетных направлений фундаментальных исследований», утвержденных Президиумом РАН (раздел 1.2 - «Физика конденсированного состояния вещества», подраздел 1.2.5 - «Физика твердотельных наноструктур, мезоскопика»). Диссертационная работа является частью комплексных исследований, проводимых на кафедре физики твердого тела Воронежского государственного технического университета по плану госбюджетной темы НИР № ГБ 1.4.06 «Природа электронного транспорта в твердотельных гетероструктурах с различной размерностью», а также по гранту РФФИ № 06-02-8103 5-Бела «Нелинейные явления в композитных и мультислойных магнитных наноструктурах при воздействии внешних полей».

Цель работы;

Экспериментально исследовать механизмы электронного транспорта в многослойных системах [Co4SFe45Zrw I a-Si: Н]п в интервале температур 80-300 К и высокочастотные магнитные свойства многослойных гетер о структур [(Co45FeA5Zr]0)35(AlOn)65'*-Si:Hl.

Для достижения указанной цели были сформулированы следующие задачи:

• методом ионно-лучевого распыления получить многослойные наноструктуры [Co45Fe45ZriQ /а-Si: Н]„ И [(Co45Fe45Zri0)i5 (АЮп)ьь /а-Si: Н\ ;

• исследовать квантовые механизмы электропереноса в полученных многослойных наноструктурах в интервале температур 80-300 К;

• изучить высокочастотные магнитные свойства многослойных наноструктур [(Co45Fe45Zrw)35(AlOn)65 /а-Si: Н\ .

Научная новизна. В работе впервые:

1. Исследованы механизмы проводимости многослойной структуры [Co45Fe45Zr]0 / a- Si: Н]54 перпендикулярно плоскости при толщине металлических слоев ~ 11 нм и полупроводниковой прослойки ~14 нм в интервале 80300 К. Экспериментально установлено, что режим неупругого резонансного туннелирования по локализованным состояниям вблизи уровня Ферми в исследуемых структурах реализуется в интервале температур 150-220 К после прыжковой проводимости с переменной длиной прыжка, но раньше прыжковой проводимости между ближайшими локализованными состояниями.

2. Из экспериментальных данных определены: значение плотности состояний на уровне Ферми для полученной гетероструктуры [CoA5Fe45Zr^ / a~Si:H\ в области проводимости с переменной длиной прыжка,

20 1 3 которое составило g{EF) ~3.29><10 эВ" -см" , и энергия активации прыжка W - 0.080±0.005 эВ - в области термоактивированной прыжковой проводимости между ближайшими соседними состояниями.

3. Изучены транспортные и магнитные свойства многослойных нано-размерных систем [(Co45Fe45Zrl0)i5(A!On)65 la-Si: Я]30 с аморфной структурой. Установлено, что при толщинах полупроводниковой прослойки 1-2 нм наблюдается сильное изменение изучаемых характеристик, связываемое с образованием бесконечной сетки проводящих каналов между гранулами металла, разделенных полупроводниковой прослойкой. Показано, что в интервале температур 80-300 К в исследуемых многослойных структурах доминирует прыжковый механизм проводимости с переменной длиной прыжка по локализованным состояниям вблизи уровня Ферми. По результатам исследований температурных зависимостей электрической проводимости была сделана оценка эффективной плотности локализованных состояний на уровне Ферми, которая изменяется от значений g{EF) = 3.51x1020 эВ1см"3 при толщине полупроводниковой прослойки 0.45 нм до g{EF) = 25.07x10 эВ" см" при толщине 1.2 нм.

4. В многослойных структурах [{Co45Fe45Zri0)i5(AlOn)65/a-Si:H]i0 обнаружен переход от суперпарамагнитного состояния гранулированного композита к ферромагнитному упорядочению многослойной структуры при толщине полупроводниковой прослойки -1.1 нм, связанное с возникновением эффективного обменного взаимодействия между ферромагнитными гранулами Co45FeA5Zr]Q через прослойки кремния.

Практическая значимость работы

Исследования высокочастотных магнитных свойств многослойных на-норазмерных систем [(Co45Fe45Zr10)35(AlOn)6s Ja~Si: Н]30 с аморфной структурой показали, что изменением толщины полупроводниковой прослойки можно изменять в широких пределах действительную и мнимую части комплексной магнитной проницаемости и использовать данные структуры в качестве магнитно-мягких ферромагнитных материалов в ВЧ диапазоне. Результаты работы могут быть использованы при разработке технологий получения новых материалов для спинтроники и высокочастотной электроники.

Основные положения и результаты, выносимые на защиту:

1. Механизмы электропереноса в аморфных многослойных наноструктурах [Co4bFe4SZrw! a-Si:H]n И [(Со 4SFe 4iZrw) „(АЮ п) ьъ la-Si: Я]30 В интервале температур 80-300 К.

2. Влияние толщины слоев на электрические свойства многослойных систем [Co45FeKZr]Q /а-Si: Н]п с аморфной структурой.

3. Высокочастотные магнитные свойства аморфной многослойной наноструктуры [(Co4iFe45Zrw )35 (ЛЮп)65 /a-Si:H])0.

4. Образование межгранульной полупроводниковой прослойки а - Si: Н в мультислойной структуре [(Co45Fe4SZrw)35(A/OJ65 la-Si\H]iQ приводит к возникновению эффективного обменного взаимодействия между ферромагнитными гранулами Co45Fe45ZrlQ.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы были представлены на следующих научных конференциях: II научно-практическая конференция «Нанотехнологии - производству 2005» (Фрязи-но, 2005); Научно-техническая конференция профессорско-преподавательского состава, сотрудников, аспирантов и студентов (Воронеж, ВГТУ, 2006, 2007); The Fifth International Seminar on Ferroelastics. Voronezh, Russia. September 10-13, 2006; XX Международная юбилейная школа-семинар «Новые магнитные материалы микроэлектроники» (Москва, 2006); III Всероссийская конференция «Химия поверхности и нанотехнология» (Санкт-Петербург - Хилово, 2006).

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Королёв, Константин Геннадьевич

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

1. Изучена температурная зависимость проводимости перпендикулярно плоскости пленки многослойной структуры [Co45Fe45Zrw /а-Si: Н]54 при толщине металлического слоя -11 нм и полупроводниковой прослойки -14 нм в интервале 80-300 К. Установлено, что в интервале температур от 80 до 150 К электрическая проводимость подчиняется закону Мотта, что свидетельствует о доминирующем переносе заряда путем прыжков электронов с переменной длиной прыжка по локализованным состояниям, лежащим в узкой полосе энергий вблизи уровня Ферми. Сделана оценка плотности состоя

20 1 3 ний на уровне Ферми g(EF)~3.29x10 эВ" -см" .

2. Установлено, что в интервале температур 150-220 К электрическая проводимость описывается степенным законом 1п(ег0 / <т) ос 1п(Г0 / Т), т.е. доминирует механизм неупругого резонансного туннелирования электронов по отдельным проводящим каналам от одного металлического слоя к другому через локализованные состояния в полупроводниковой прослойке. Сделана оценка среднего числа.локализованных состояний (и), принимающих участие в электронном транспорте между металлическими слоями через полупроводниковую прослойку в многослойной структуре: (и)-3.8.

3. Показано, что при температурах выше 220 К зависимость электрического сопротивления является линейной функцией от обратной температуры, т.е. доминирует механизм термоактивированной прыжковой проводимости между ближайшими соседними состояниями. Сделана оценка энергии активации прыжка электрона W = 0.080±0.005 эВ.

4. Изучено влияние толщины прослойки на электрические свойства многослойных систем [Co4sFe45Zri0 /cc-Si:H]n с аморфной структурой. Установлено, что в исследуемых многослойных структурах температуры перехода от режима неупругого резонансного туннелирования по локализованным состояниям близи уровня Ферми к механизму прыжковой проводимости между ближайшими локализованными состояниями смещаются в сторону меньших температур при уменьшении толщины прослойки.

5. Изучена температурная зависимость проводимости многослойной структуры [(Co4SFe45Zr^)J5(AlOn)6i la-Si :#]30 при толщине полупроводниковой прослойки 0.45-1.2 нм в интервале 80-300 К. Установлено, что в интервале температур 80-300 К в исследуемых многослойных структурах доминирует прыжковый механизм проводимости с переменной длиной прыжка по локализованным состояниям вблизи уровня Ферми. По результатам исследований температурных зависимостей электрической проводимости была сделана оценка эффективной плотности локализованных состояний на уровне Ферми, которая изменяется в интервале g(EF) = (3.51-25.07)*Ю20 эВ~'см~3 при толщине полупроводниковой прослойки от 0.45 до 1.2 нм.

6. Установлена корреляция между значениями удельного электрического сопротивления, магнитосопротивления, комплексной магнитной проницаемости, намагниченности от толщины полупроводниковой прослойки. Обнаружен переход от суперпарамагнитного состояния многослойной структуры к ферромагнитному упорядочению при толщине полупроводниковой прослойки -1.1 нм. Показано, что наблюдаемое ферромагнитное упорядочение имеет перколяционную природу и связано с возникновением эффективного обменного взаимодействия между ферромагнитными гранулами Co45Fe45Zri0 через электроны проводимости аморфного гидрогенизированного кремния.

7. Исследовано влияние термической обработки на электрические и высокочастотные свойства многослойной системы. Экспериментально показано, что термообработка, не приводящая к кристаллизации, понижает абсолютную величину комплексной магнитной проницаемости. Сделан вывод о доминирующем влиянии прослойки кремния на эффект обменного взаимодействия между ферромагнитными гранулами.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Королёв, Константин Геннадьевич, 2007 год

1. Огнев А.В., Самардак А.С. Спинтроника: физические принципы, устройства, перспективы // Вестник ДВО РАН.-2006. № 4.-С.70-80.

2. Granular Fe-Pb-0 films with large tunneling magnetoresistance / Y.-H. Huang, J.-H. Hsu, J.W. Chen, C.-R. Chang // Appl. Phys. Lett.-1998.-V.72,-P.2171-2173.

3. Structural and electrical properties of granular metal films / B. Abeles, P. Sheng, M.D. Coutts and Y. Arie // Advances in Physics.-1975.-V.24.-P.407-461.

4. Helman J.S., Abeles B. Tunneling of Spin-Polarized Electrons and Magnetoresistance in Granular Ni Films // Phys. Rev. Lett.-1976.-V.37, №21.-P. 1429-1433.

5. Sankar S., Berkowitz A.E., Smith D.J. Spin-dependent transport of Co-Si02 granular films approaching percolation // Phys. Rev. B.-2000.-V.62, №21.-P.14273-14278.

6. Tunneling giant magnetoresistance in heterogeneous Fe-Si02 granular films / S. Honda, T. Okada, M. Nawate, M. Tokumoto // Phys. Rev. В.-1997,-B56.-P. 14566-14573.

7. Distribution of Co particles in Co-Al-0 granular thin films / M. Ohnuma, K. Hono, H. Onodera, J.S. Pedersen, S. Mitani, H. Fujimori // Materials Science Forum.-1999.-V.307.-P. 171-176.

8. Ковнеристый Ю.К., Осипов Э.К., Трофимова Е.А. Ковнеристый Ю.К. Физико-химические основы создания аморфных металлических сплавов//М.: Наука, 1983.-145с.

9. Leslie-Pelesky D.L., Rieke R.D. Magnetic properties of nanostructured materials // Chem. Mat.-1996.-V.8.-N.8.-P. 1770-1783.

10. Gittleman J.L., Goldstain Y., Bozowski S. Magnetic properties of Granular Nikel Films // Physical Review B.-1972.-V.B5.-P.3609-3621.

11. Gerber A., Milner A., Groisman B. Magnetoresistance of granular ferro-magnets // Physical Review B.-1997.-V.55.-№10.-P.6446-6452.

12. Mitani S., Fujimori H., Ohnuma S. Spin-dependent tunneling phenomena in insulating granular systems / // JMMM.-1997.-V.165.-P.141-148.

13. Температурная зависимость проводимости композитных пленок Си: БЮг эксперимент и численное моделирование / Д.А. Закгейм, И.В. Ро-жанский, И.П. Смирнова, С. А. Гуревич // ЖЭТФ.-2000.-Т.118,-вып.3(9).-С.637-646.

14. Немошкаленко В.В. Аморфные металлические сплавы // Киев: Наукова думка, 1987.-248с.

15. Шматко О.А., Усов Ю.В. Структура и свойства металлов и сплавов (Электрические и магнитные свойства металлов и сплавов) // Киев: Наукова Думка,-1987.-582с.

16. Фролов Г.И. Магнитомягкие свойства в нанокристаллических пленках Зd-мeтaллoв//ЖTФ.-2004.-T.74.-№7.-C.102-109.

17. Characterizations of Co/A1203/Co/NiFe multilayers elaborated by ultra-high vacuum ion beam sputtering / E.H. Oubensaid, C. Maunoury, T. Devolder, N. Marsot, C. Schwebel // Materials Science and Engineering.-2005.-C.25.-P.752-755.

18. Yang D.P., Zhang Y.D., Hui S. Mossbauer spectroscopic and x-ray diffraction studies of Fe/Si02 nanocomposite soft magnetic materials // Journal of Applied Physics.-2002.-V.91.-Issue 10.-P.8198-8200.

19. Synthesis and characterization of Fe-A1203 composites / A. Paesano, C.K. Matsuda; J.B.M. da Cunha; M.A.Z. Vasconcellos; B. Hallouche, S.L. Silva // Journal of Magnetism and Magnetic Materials.-2003.-V.264.-Issue 2-3.-P.264-274.

20. Магнетизм слоев Co в составе многослойных пленок Co/Si / В.О. Вась-ковский, Г.С. Патрин, Д.А. Великанов, А.В. Свалов, П.А. Савин, А.А. Ювченко, Н.Н. Щеголева // Физика твердого тела.-2007.-т.49.-вып.2. С.291-296.

21. Бозорт P.M. Ферромагнетизм // ИЛ, М.-1956.-622с.

22. Milner A., Gerber A., Groisman В. Spin-dependent electronic transport in granular ferromagnets // Phys. Rev. Lett.-1996.-V.76.-№3.-P.475-478.

23. Neugebauer C.A. Resistivity of Cermet Films Containing Oxides of Silicon // Thin Solid Films.-1970.-V.6.-P.443-447.

24. Соколов И.М. Размерности и другие геометрические критические показатели в теории протекания // УФН.-1986.-Т.150.-вып.2.-С.78-94.

25. Efros A.L., Shklovski B.I. Conduction of nanostructured metal insulator // Phys. Stat. Solid. B.-1976.-№76.-P.475-490.

26. Abeles В., Cohen R.W., Cullen G.W. Enhancement of Superconductivity in Metal Films // Phys. Rev. Lett.-1966. V.17. - P.632-634.

27. Fujimori H., Mitani S., Ohnuma S. Tunnel-type GMR in metal-nonmetal granular alloy thin films // Mater. Sci. & Eng.-1995.-V.B31.-P.219-223.

28. Mitani S., Fujimori H., Takanashi K. Tunnel MR and spin electronics in metal-nonmetal granular systems // JMMM, 1999.-V.198-199.-P.179-184.

29. Аронзон Б.А., Варфоломеев A.E., Ковалев Д.Ю. Проводимость, магни-тосопротивление и эффект Холла в гранулированных пленках Fe-Si02 // ФТТ.-1999.-Т.41.-вып. 6.-С.944-950.

30. Honda S., Okada Т., Nawate М. Tunneling giant magnetoresistance in Fe-Si02 multilayered and alloyed films // JMMM.-1997.-V.165.-P.153-156.

31. Giant magnetoresistance of Co-Al-0 insulating granular films deposited at various substrate temperatures / Z. Zhang, Chengxian Li, Chao Li, Shihui Ge // JMMM.-1999.-V.198-199.-P.30-32.

32. Mitani S., Takahashi S., Takahashi K. Enhanced magnetoresistance in insulating granular-systems: Evidence for Higher-order tunneling // Phys.Rev.Lett.-1998.-V.81 ,-№13.-P.2799-2802.

33. Fujimori H., Mitani S., Takanashi K. Giant magnetoresistance in insulating granular films and planar tunneling junctions // Mat.Sci.Eng.A.-1999.-V.A267.-P. 184-192.

34. Magnetic and transport properties of granular cobalt films / S. Barzilai, Y. Goldstain, I. Balberg, J.S. Helman // Phys.Rev.B.-1981.-V.23.-N.4-P.1809-1817.

35. Metal-dielectric nanocomposites with amorphous structure / I.V. Zolotukhin, Yu.E. Kalinin, A.T. Ponomarenko, V.G. Shevchenko, A.V. Sitnikov, O.V. Stognei, O. Figovsky // J. Nanostructured Polymers and Nanocomposites, 2006.-V.2.-N1.-P.23-34.

36. Phisique des Semiconducters / ed. M. Hulin.-Paris: Dunod, 1964.-417p.

37. Губанов А.И. Квантово-электронная теория аморфных полупроводников // М.-Л.: Изд-во АН СССР, 1963.-250с.

38. Мотт Н., Дэвис Э. Электронные процессы в некристаллических веществах // М.: Мир,-1982.-Т.1.-368с.

39. Anderson P.W. Absence of Diffusion in Certain Random Lattices // Phys. Rev.-1958.-V.109.-P. 1492-1505.

40. Miller A., Abrahams S. //Phys. Rev.-1968.-V.166.-P.871.

41. Kirkpatrick S. // Garmish.-1974.-P.l83.

42. Электронный транспорт в магнитном поле в гранулированных пленках аморфной двуокиси кремния с ферромагнитными наночастицами / JI.B. Луцев, Ю.Е. Калинин, А.В. Ситников, О.В. Стогней // ФТТ.-2002.-Т.44.-№11.-С.1802-1810.

43. Глазман Л.И., Матвеев К.А. Неупругое туннелирование через тонкие аморфные пленки // ЖЭТФ.-1988.-Т.94.-Вып.6.-С.332-343.

44. Глазман Л.И., Шехтер Р.И Неупругое туннелирование электронов через потенциальный барьер //ЖЭТФ.-1988.-Т.94.-Вып.1.-С.292-306.

45. Sheng P., Abeles В., Arie Y. Hopping conductivity in granular Metals // Phys.Rev.Lett.-1973.-V.31 ,-N. 1 .-P.44-47.

46. Sheng P. Electronic transport in granular metal films // Phylosophical Magazine B.-1992.-V.65.-N.3.-P.357-384.

47. Mobius A., Richter M., Drittler B. Coulomb gap in two- and three-dimensional systems: Simulation results for large samples // Phys. Rev. B.-1992.-V.45.-N.20.-P.11568-11579.

48. Cuevas E., Ortuno M., Ruiz J. Ground state of granular metals // Phys. Rev. Let.-1993.-V.7 l.-N. 12.-P. 1871-1874.

49. Мейлихов Е.З. Термоактивированная проводимость и вольт-амперная характеристика диэлектрической фазы гранулированных металлов // ЖЭТФ.-1999.-Т.115.-вып.4.-С.1484-1496.

50. Vyshenski V. // Письма в ЖЭТФ.-1995.-Т.61.-Вып.1-2.-С.Ю5.

51. Тартаковский А.В., Фистуль М.В., Райх М.Э., Рузин И.М. // ФТП,-1987.-Т.21.-Вып.4.-С.603.

52. Калинин Ю.Е., Ремизов А.Н., Ситников А.В. Электрические свойства аморфных нанокомпозитов (Co45Fe45Zrio)x(Al203)i-x // ФТТ.-2004.-Т.46.-№11.-С.2076-2082.

53. Вонсовский С.В. Магнетизм // М.: Наука, 1971.-1032с.

54. Spin relaxation in small free iron clusters / A. De Heer Walt, Milani Paolo and A. Chtelain H Phys.Rev.Lett.-1990.-V.65.-№4.-P.488-491.

55. Chien C.L. Granular magnetic solids // J.Appl.Phys.-1991.-V.69, №8,-P.5267-5272.

56. Sumiyama K., Suzuki K., Makhlouf S.A. Structural evolution and magnetic properties of nano-granular metallic alloys // J. Non-Cryst. Solids.-1995.-V. 192-193.-P.539-545.

57. Magnetic properties of granular Co-polimer films / C. Laurent, D. Mauri, E. Kay and S.S. Parkin// J. Appl. Phys.-1989.-V.65.-№5.-P.2017-2020.

58. Kodama R.H. Magnetic nanoparticles // JMMM.-1999.-V.200.-P.359-372.

59. Hesse J., Bremers H., Hupe O. Different susceptibilities of nanosized single-domain particles derived from magnetization measurements / // JMMM.-2000.-V.212.-P. 153-167.

60. Magnetic properties of fine particles / Ed. by J.L. Dormann, D. Fiorani // North-Holland: Amsterdam, 1992.-19 lp.

61. Dormann J.L., Bessais L., Fiorani D. A dynamic study of small interacting particles: superparamagnetic model and spin-glass laws // J. Phys. C: Solid State Phys.-1988.-V.21.-P.2015-2034.

62. Denardin J.C., Brandl A.L., Knobel M. Thermoremanence and zero-field-cooled/field cooled magnetization study of Cox(SiC>2)i-x granular films / // Phys.Rev.B.-2002.-V.65.-P.064422-1-064422-8.

63. Tandem deposition of small metal particle composites / E.M. Logothetis, W.J. Kaiser, H.K. Pluammer and S.S. Shinozaki. // J. Appl. Phys.-1986.-V.60.-№7.-P.2548-2552.

64. Yakushiji K., Mitani S., Talcanashi K. Composition dependence of particle size distribution and giant magnetoresistance in Co-Al-0 granular films // JMMM.-2000.-V.212.-P.75-81.

65. Sankar S., Dender D., Borchers J.A. Magnetic correlations in non-percolated Co-Si02 granular films // JMMM.-2000.-V.221.-P.1-9.

66. Rydman A.F., Kirk T.L., Dynes R.C. Superparamagnetism in discontinuous Ni films // Solid State Communications.-2000.-V.l 14.-P.481-486.

67. Brown W.F. Thermal fluctuations of a single-domain particle // Phys. Rev.-1963.-V. 130.-P. 1677-1686.

68. Jacobs I.S., Bean C.B. Magnetism / Ed. by G.T. Rado, H. Suhl // N.Y.: Academic Press, 1963.-275p.

69. Коренблит И.Я., Шендер Е.Ф. Спиновые стекла и неэргодичность // УФН.-1989.-Т.157.-вып.2.-С.267-310.

70. Fiorani D., Tholence J., Dormann J.L. Magnetic properties of small ferromagnetic particles (Fe-Al203 granular thin films): comparison with spin glass properties // J.Phys.C.-1986.-V.19.-P.5495-5507.

71. Dormann J.L From pure superparamagnetic regime to glass collective state of magnetic moments in a-Fe203 nanoparticle assemblies // JMMM.-1998.-V.187.-P.L139-L144.

72. Fiorani D. Collective magnetic state in nanoparticles systems // JMMM.-1999.-V. 196.-P. 143-147.

73. Djurberg C., Svedlindh P., Nordblad P. Dynamics of an interacting particle system: Evidence of critical slowing down // Phys. Rev. Lett.-1997.-V.79.-P.5154-5165.

74. Hansen M.F., Morup S. Models for dynamics of interacting magnetic nanoparticles // JMMM.-1998.-V.184.-P.262-274.

75. Critical dynamics of an interacting magnetic nanoparticle system / M.F. Hansen, P.E. Jonsson, P. Nordblad and P. Svedlindh // J. Phys.: Condens. Matter.-2000.-V. 14.-P.4901-4914.

76. El-Hilo M., O'Grady K, Chantrell R.W. Susceptibility phenomena in a fine particle system // JMMM.-1992.-V.114.-P.295-306.

77. Gavrin A., Chien C.L. Fabrication and magnetic properties of granular alloys // J.Appl.Phys.-1990.-V.67.-№2.-P.938-942.

78. Slonczewski J.C. Conductance and exchange coupling of two ferromagnets separated by tunneling barrier // Physical Review B.-1989.-V.39.-№10.-P.6995-7002.

79. Магнитные свойства трехслойных пленок Fe/Si/Fe / Г.С. Патрин, С.Г. Овчинников, Д.А. Великанов, В.П. Кононов// ФТТ.-2001.-Т.43.-вып.9.

80. Е.Г. Елисеева, В.П. Кононов, В.М. Попел, Е.В. Тепляков, А.Е. Худяков // ПТЭ.-1986.-2.-С.141.

81. S. Toscano, В. Briner, Н. Hopster, М. Landolt II J. Magn. Magn. Mater. -1992.-144.-L6.

82. J.E. Mattson, S. Kummar, E.E. Fullerton, S.R. Lee, C.H. Sowers, M. Grims-dith, S.D. Bader, F.T. Parker // Phys. Rev. Lett.-1993.-71.-P.185.

83. Патрин Г.С., Волков H.B., Кононов В.П. // Письма в ЖЭТФ.-1998.-68,-С.287.

84. Бехштедт Б., Эндерлайн Р. Поверхности и границы разделы полупроводников. М.: Мир.-1990.-484с.

85. ImabaM., Fujimori A., Tokura Y. //Rev. Mod. Phys.-1998.-70.-P. 1039.

86. Спир В. Аморфный кремний и родственные материалы / Под ред. X. Фрицше // М.: Мир.-1991.-С.315.

87. Наногранулированные структуры, как сенсоры водорода и других газов / Гусев A.JL, Золотухин И.В., Калинин Ю.Е., Ситников А.В., Стогней О.В. // Альтернативная энергетика и экология (Международный научный журнал).-2000.-N. 1 .-С. 191.

88. Бессонов Л.А. Теоретические основы электротехники: электрические цепи // М.: Высшая школа, 1984.-556с.

89. Калантаров П.Л., Цейтлин Л.А. Расчет индуктивностей // Л.: Энерго-атомиздат, 1986,-187с.

90. М. Naito, M.R. Beasley // Phys. Rev.-1987.-B.35.-P.2548-2551.

91. Калинин Ю.Е., Королев К.Г., Ситников А.В. Электрические свойства многослоек металл-полупроводник с аморфной структурой // Письма в ЖТФ.-2006.-т.32.-вып.6.-С.61-67.

92. Ольхафен П. Металлические стекла // Мир: Москва, Ч.2.-1986.-С.328-378.-(Topics in applied physics v 53 Glassy metals II, ed. by H. Beck, H.-J. Giintherodt, Springer Verlag, Berlin Heidelbegr New York Tokyo (1983)).

93. Королев К.Г., Ситников А.В., Калинин Ю.Е. Транспортные явления в аморфных мультислойках ферромагнетик-полупроводник // Abstract Book The Fifth International Seminar on Ferroelastics. Voronezh, Russia. September 10-13, 2006.-P.122.

94. Королев К.Г., Ситников A.B., Калинин Ю.Е. Электрические свойства мультислоек нанокомпозит гидрогенизированный аморфный кремний // Новые магнитные материалы микроэлектроники (НМММ-ХХ): сб. тр. XX международной школы-семинара.-Москва.-2006.-С.560-562.

95. Ершов А.В., Чучмай И.А., Хохлов А.Ф. Многослойные аморфные кремниевые структуры, полученные испарением // Труды 2-го совещания по проекты НАТО Sfp-973799 Semiconductors.Нижний Новгород.-2002.-С. 100-110.

96. Королев К.Г., Ситников А.В., Калинин Ю.Е. Электрические свойства многослоек металл-полупроводник с аморфной структурой // Тезисы докладов конференции «Нанотехнологии производству-2005».-2005.-Фрязино.-С.65-66.

97. Himpsel F.J., Ortega J.E., Mankey G.J. Magnetic nanostructures // Advances in Physics.-1998.-V.47.-№.4.-P.511-597.

98. Moodera J.S., Mathon G. Spin polarized tunneling in ferromagnetic junctions // JMMM.-1999.-V.200.-P.248-273.

99. Резистивные и магниторезистивные свойства гранулированных аморфных нанокомпозитов CoFeB-Si02 / О.В. Стогней, Ю.Е. Калинин, А.В. Ситников, И.В. Золотухин, В.А. Слюсарев // Физика металлов и метал-ловедение.-2001 .-Т.91 .-№ 1 .-С.24-31.

100. Origin of Biquadratic Exchange in Fe/Si/Fe / G.J. Strijkers, J.T. Kohlhepp, H.J.M. Swagten, and W.J.M. de Jonge // Phys. Rev. Lett.-2000.-84.-P.l 8121815.