Закономерности изменения неупругих свойств сплава Ti49.5Ni50.5 после магнетронного осаждения и ионной модификации покрытий из молибдена и тантала на его поверхности тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат технических наук Нейман, Алексей Александрович

• Нейман, Алексей Александрович
• кандидат технических наук
• 2010

Оглавление диссертации кандидат технических наук Нейман, Алексей Александрович

Введение

1 Влияние объемного и поверхностного легирования на механические свойства, эффекты памяти формы и сверхэластичности в сплавах на основе никелида титана

1.1 Эффекты неупругости в сплавах на основе никелида титана

Классификация неупругих свойств в сплавах с термоупругими мартенситными превращениями

Закономерности проявления мартенситной неупругости- в сплавах на основе никелида титана

1.2 Влияние термических обработок, поверхностного и объемного легирования на неупругое поведение сплавов на основе никелида титана

1.3 Твердость, как интегральная характеристика механических свойств материалов, покрытий и поверхностных слоев

Использование статического микро- и динамического наноиндентирования для исследования механических свойств в материалах с градиентными структурами нано- и микрометровых масштабов

Особенности измерения микротвердости в поверхностных слоях сплавов со сдвигонеустойчивыми фазами.

1.4 Основные закономерности изменения физико-механических свойств в поверхностных слоях твердого тела, обусловленных ионно-пучковыми воздействиями

1.5 Возможности современных методов растровой электронной микроскопии для анализа морфологии, структуры и химического состава поверхностных слоев материалов

2 Материалы, методы поверхностной обработки и исследований 44 2.1 Обоснование выбора сплава и приготовление образцов для исследований

2.2 Методы и режимы поверхностных обработок образцов. Составы мишеней для магнетронного напыления и ионной имплантации

2.3 Методика определения химических составов в поверхностных слоях и толщин покрытий

2.4 Методика определения эффектов сверхэластичности, памяти формы и реактивных напряжений в образцах никелида титана

2.5 Измерение микротвердости методом статического микроиндентирования

2.6 Измерение микротвердости методом динамического наноиндентирования

3 Химический состав и физико-механические свойства композиций из сплава Ti49.5Ni5o.5 с покрытиями из молибдена или тантала

3.1 Химический состав, морфология поверхности и закономерности разрушения покрытий из молибдена и тантала, сформированных методом магнетронного напыления на образцах T^p.sNiso.s

3.2 Изменение структуры поверхности, химического состава и закономерности поверхностного разрушения покрытий из молибдена и тантала, модифицированных ионами Si", Mo , Та

3.3 Физико-механические свойства покрытий из молибдена и тантала, сформированных методом магнетронного напыления на образцах Ti49.5Ni5o.5, и их изменение в результате ионно-пучковых воздействий ионами С+, Si+, Мо+, Та+

4 Эффекты сверхэластичности и памяти формы в Ti49.5Ni5o.5 с покрытиями из молибдена и тантала и влияние на них имплантации ионов Si+, Мо+, Та+

4.1 Влияние покрытий субмикронной толщины из молибдена и тантала на параметры сверхэластичности сплава T^g.sNiso.s

4.2 Сверхэластичность образцов сплава Ti49.5Ni5o.5 с покрытиями из молибдена и тантала, модифицированными методом имплантации ионов Мо+

4.3 Влияние покрытий субмикронной толщины из молибдена и тантала на величину эффекта памяти формы в сплаве Ti49.5Ni5o.

4.4 Деформационные параметры, характеризующие эффект памяти формы в сплаве Tu^Niso.s с покрытиями из молибдена и тантала, модифицированными при помощи ионных пучков

Выводы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Закономерности изменения неупругих свойств сплава Ti49.5Ni50.5 после магнетронного осаждения и ионной модификации покрытий из молибдена и тантала на его поверхности»

Актуальность темы. В настоящее время хорошо известно, что эффекты памяти формы и сверхэластичности в сплавах на основе никелида титана обусловлены протекающими в них термоупругими мартенситными превращениями (МП), которые испытывает высокотемпературная фаза с упорядоченной В2-структурой. Механизмы термоупругих мартенситных превращений обеспечивают накопление большой деформации (до 10-15%), обратимой при снятии нагрузки или изменении температуры, получившие в отечественной и зарубежной литературе название — неупругих деформаций [1-4].

В основном теоретические и экспериментальные исследования мартенситных превращений в сплавах на основе никелида титана были направлены на изучение кинетики мартенситных превращений, эволюции структуры и свойств в предпереходных состояниях, закономерности и механизмы мартенситной неупругости, влияние объемного легирования сплавов на основе никелида титана. Практическое же использование никелида титана в технике и, особенно, в медицине, наряду с объемными свойствами сплава, требует улучшения еще и поверхностных свойств, например улучшения коррозионной стойкости сплава, его биосовместимости, рентгеноконтрастности. В этом направлении ведется большая работа, в частности в последнее время в научной группе под руководством JI.JI. Мейснер ведутся исследования влияния модификации поверхности сплавов на основе никелида титана ионно- и электронно-лучевыми обработками. Представляемая работа является продолжением исследований в этом направлении, однако в данном случае модификация сплава осуществляется путем создания на его поверхности барьерные слоев, защищающих как биологическую среду от токсичных ионов Ni, так и изделие (имплантат) от воздействия среды. Однако эти слои- должны удовлетворять некоторым условиям: быть биоинертными, обладать высокими параметрами адгезии, не приводить к значительному изменению химического состава приповерхностных слоев никелида титана, а так же не приводить к существенному уменьшению эффектов сверхэластичности и памяти формы, проявляемых данным сплавом. В этой связи магнетронное напыление в вакууме - наиболее подходящая методика, поскольку она позволяет создавать тонкие, равномерные по толщине покрытия, обладающие высокими физико-механическими свойствами.

Известно, что состояние поверхности и поверхностных слоев во многом определяет деформационное поведение материала. Поэтому можно ожидать, что модификация поверхности или создание новых слоев на поверхности сплава из никелида титана приведет к изменению закономерностей накопления пластической и возврата неупругой деформации. В настоящее время существует большое количество публикаций, посвященных модификации поверхности сплавов на основе никелида титана, в том числе и путем нанесения покрытий. Однако мало работ, в которых рассматривается влияние модификации на свойства неупругости в этих сплавах.

Таким образом, цель работы - исследовать влияние покрытий субмикронной толщины из молибдена и тантала, сформированных методом магнетронного напыления, и их последующей модификации методом имплантации ионов С+, Si+, Мо+, Та+ на химический состав и неупругие свойства сплава Ti49.5Ni5o.5.

Для достижения поставленной цели были сформулированы следующие задачи:

1. Исследовать химический состав, морфологию поверхности, физико-механические свойства покрытий из молибдена и тантала на поверхности сплава Ti49.5Ni5o.5 и последующее их изменение вследствие модификации покрытий и поверхностных слоев подложки посредством имплантации ионов С+, Si+, Мо+, Та+.

2. Изучить закономерности накопления и возврата неупругой деформации при кручении образцов из сплава Ti49.5Ni5o.5 с покрытиями субмикронной толщины из молибдена и тантала, выявить влияние химического элемента и толщины покрытия на параметры сверхэластичности и памяти формы в этом сплаве.

3. Установить закономерности изменения параметров сверхэластичности и памяти формы образцов Ti49.5Ni5o.5 с ионно-модифицированными покрытиями субмикронной толщины из молибдена и тантала. Выявить влияние на них ионно-лучевых воздействий.

Первый раздел работы посвящен описанию механических свойств сплавов, испытывающих термоупругие мартенситные превращения, а также закономерностям проявления мартенситной неупругости (в том числе влиянию на них термических обработок, поверхностного и объемного легирования) непосредственно в сплавах на основе никелида титана. Рассмотрены методы, позволяющие исследовать свойства поверхностно-модифицированных материалов, а также особенности, которые необходимо учитывать при исследовании сплавов со сдвигонеустойчивыми фазами.

Второй раздел содержит цель и задачи исследования, обоснование выбора исследуемого материала, методов и режимов нанесения и модификации покрытий, описание методик экспериментальных исследований.

Третий раздел посвящен исследованию морфологии, химического состава и микротвердости поверхностных слоев и покрытий, а также их изменений в результате ионного облучения.

Четвертый раздел содержит результаты экспериментальных исследований неупругих свойств (эффектов сверхэластичности, памяти формы и реактивных напряжений) никелида титана с осажденными и ионно-модифицированными покрытиями.

В работе выносятся следующие положения на защиту:

1. Экспериментальные результаты исследования химического состава и физико-механических свойств тонких покрытий из молибдена и тантала на поверхности сплава Ti49.5Ni5o.5, показывающие, что после осаждения металлов магнетронным методом атомы примеси по-разному распределены между покрытием и подложкой: углерод преимущественно сконцентрирован в 7 покрытиях, а кислород — в поверхностном слое матрицы из никелида титана. Закономерное перераспределение атомов этих элементов между покрытием и основой после ионной модификации обеспечивает повышение адгезионной прочности и сохранение покрытий на подложке из Ti49.5Ni50.5

2. Экспериментально установленное перераспределение вкладов механизмов сверхэластичности и памяти формы в величину восстанавливаемой неупругой деформации, накапливаемой в пределах формирования мартенситной площадки текучести, в системах из сплава Ti49.5Ni5o.5 с покрытиями субмикронной толщины из молибдена и тантала, показывающее, что композиционный материал становится более «сверхэластичным», чем исходный сплав без покрытий.

3. Обоснование использования ионно-лучевой обработки образцов TiNi с покрытиями субмикронной толщины из молибдена и тантала как комплексного термомеханического воздействия, приводящего к восстановлению температурно-деформационных параметров эффекта памяти формы до уровня, соответствующего образцам TiNi без покрытий.

Научная новизна.

1. Установлено, что в результате магнетронного напыления молибдена или тантала поверхностные слои композиций «покрытие/подложка из TiNi» насыщаются атомами углерода и кислорода, при этом независимо от напыляемого химического элемента (молибден или тантал) атомы углерода преимущественно адсорбированы в покрытиях, а атомы кислорода — в поверхностных слоях подложки из TiNi.

2. Обнаружено, что ионная модификация композиций «Мо (Та) -покрытиеЛН№-подложка» с использованием ионов Si+, Мо+, Та+ приводит к изменению концентрации углерода и кислорода и их первоначального распределения между покрытием и подложкой^ повышению микротвердости в покрытиях и прилежащих к ним слоях TiNi, а также повышению прочности сцепления покрытий с подложкой и некоторому понижению их пластических свойств.

3. Установлено, что в образцах TiNi с покрытиями субмикронной толщины из молибдена и тантала при одних и тех же внешних условиях (приложенных нагрузках и температуре испытаний) величины накапливаемых обратимых деформаций понижаются в 1.5-2 раза и, в то же время, эффекты сверхэластичности и памяти формы проявляются практически полностью, без накопления остаточной деформации.

4. Выявлено конкурирующее влияние двух факторов, определяющих температурные интервалы накопления и возврата неупругой деформации: (1) — концентрации и распределения элементов примеси (углерода и кислорода) между покрытием и пограничным с ним слоем TiNi, приводящих к их упрочнению; (2) - толщины покрытия. Последующая ионно-лучевая модификация образцов с покрытиями из молибдена и тантала привела к:

- восстановлению соотношения между вкладами механизмов сверхэластичности и памяти формы в величину обратимой деформации, изменившегося после нанесения покрытий,

- восстановлению деформационных параметров эффекта памяти формы до уровня, соответствующего образцам без покрытий,

- возврату температурных интервалов проявления неупругих свойств в интервалы, соответствующие исходным значениям в образцах TiNi без покрытий.

Научная и практическая значимость работы состоит в следующем:

- Результаты детальных исследований закономерностей накопления и возврата неупругой деформации в сплаве на основе никелида титана с металлическими однокомпонентными покрытиями являются основой для формирования новых представлений о физических свойствах многослойных систем на поверхности материалов со сдвигонеустойчивой матрицей;

- Развитые в работе современные методы растровой электронной микроскопии - рентгеноспектральный микроанализ, дифракция обратнорассеянных электронов, электронная Оже-спектроскопия — могут быть использованы для исследования структуры, химического и фазового состава в многослойных композициях на основе металлов и сплавов; - Обоснована возможность использования метода ионно-лучевой модификации не только как способа изменения химического состава в тонком поверхностном слое, но и как комплексного термомеханического воздействия, приводящего к релаксации внутренних напряжений в зонах облучения и, следовательно, необходимого и достаточного метода дополнительной обработки для повышения адгезии тонких покрытий с поверхностью материалов с памятью формы и сохранения на исходном уровне эффектов сверхэластичности и памяти формы.

Диссертационная работа объемом 153 страниц состоит из введения, четырех разделов, выводов и списка цитируемой литературы, включающего 122 наименования. Работа содержит 55 рисунков и 9 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Нейман, Алексей Александрович

выводы

1. Установлено, что покрытия из молибдена и тантала субмикронной толщины на поверхности TiNi, полученные методом магнетронного осаждения, характеризуются однородной субзеренной структурой со средним размером субзерна ~ 100 нм и, кроме основных компонентов покрытий, содержат углерод и кислород в 2-3 раза больших концентрациях, чем в приповерхностном слое TiNi до обработки. Независимо от основного химического элемента покрытия (молибден или тантал), эти элементы (углерод и кислород) одинаково распределены между слоями покрытия и подложки: атомы углерода преимущественно адсорбированы в покрытиях, а поверхностные слои подложки из TiNi насыщены кислородом. Это приводит к:

- одинаковому (в 2-4 раза) увеличению микротвердости в обоих типах композиций «Мо(Та)-покрытие/Т1№-подложка», по сравнению с микротвердостью TiNi без покрытий;

- различной прочности сцепления покрытия с подложкой: покрытия из молибдена обладают более высокой прочностью сцепления с подложкой из TiNi, чем покрытия из тантала;

- изменению температурных интервалов накопления и возврата неупругой деформации.

2. Установлено, что в образцах TiNi с покрытиями субмикронной толщины из молибдена и тантала при одних и тех же внешних условиях (приложенных нагрузках и температуре испытаний) величины накапливаемых обратимых деформаций понижаются в 1.5-2 раза и в то же время эффекты сверхэластичности и памяти формы проявляются практически полностью, без накопления остаточной деформации при ее возврате; Наличие покрытий привело к перераспределению вкладов в возврат неупругой деформации за счет механизмов СЭ и ЭПФ, что связано с изменением как химического состава в прилежащих к покрытию слоях TiNi, так и упруго-напряженного состояния в композициях «покрытие/подложка» в целом.

137

3. Обнаружено, что напряжения мартенситного сдвига в образцах сплава Ti49.5Ni5()5 с покрытиями из молибдена и тантала на 30-40% ниже, чем в образцах без покрытий. Это обусловлено двумя причинами: 1) изменением химического состава наружного, прилежащего к покрытию, слоя TiNi, что должно приводить к изменению температур прямого мартенситного превращения; 2) наличием внутренних напряжений как в покрытии, так и в прилежащих к нему слое TiNi, связанных с упрочнением этих слоев.

4. Обнаружено, что в образцах из сплава Ti49 5Ni50.5 с покрытиями из молибдена и тантала восстановление накопленной деформации по механизму СЭ наблюдается не только в температурном интервале, характерном для сплава Ti49.5Ni5o.5, но и на >20 градусов выше этого интервала. Это связано с изменением температур прямого мартенситного превращения в приграничных с покрытием поверхностных слоях TiNi и согласуется с предыдущим выводом.

5. Обнаружено, что ионная модификация композиций «Мо(Та)-покрытиеЛл№-подложка» с использованием ионов Si+, Мо+, Та+ приводит к:

- фрагментации субструктуры наружного слоя покрытий;

- изменению концентраций углерода и кислорода и их первоначального распределения между покрытием и подложкой;

- повышению микротвердости в покрытиях и прилежащих к ним слоях TiNi в 2-4 раза, по сравнению с ее значениями до облучения;

- повышению прочности сцепления покрытий с подложкой и некоторому понижению их пластических свойств;

- восстановлению соотношения между механизмами СЭ и ЭПФ, отвечающими за накопление обратимой деформации, характерного для образцов TiNi без покрытий;

- восстановлению деформационных параметров ЭПФ до уровня, соответствующего образцам без покрытий;

- возврату температурных интервалов проявления неупругих свойств в температурные интервалы, соответствующих исходным значениям в образцах TiNi без покрытий; что позволяет использовать данную поверхностную обработку не только как способ изменения химического состава в тонком поверхностном слое, но и как комплексное термомеханическое воздействие, приводящее к релаксации внутренних напряжений в зонах ионного облучения.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Нейман, Алексей Александрович, 2010 год

1. Хачин В.Н., Пушин В.Г., Кондратьев В.В. Никелид титана: структура и свойства. М.: Наука, 1992. - 160 с.

2. Пушин В.Г., Кондратьев В.В., Хачин В.Н. Предпереходные явления и мартенситные превращения. Екатеринбург: УрО РАН, 1998, - 368 с.

3. Сплавы никелида титана с памятью формы. 4.1. Структура, фазовые превращения и свойства / Под науч. ред. проф. В.Г. Пушина. Екатеринбург: УрО РАН, 2006.-438 с.

4. Otsuka К., Wayman С.М. Shape memory materials. Cambridge University Press, 1998.-284 p.

5. Лободюк B.A., Эстрин Э.И. Мартенситные превращения. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2009. - 352 с.

6. Eckelmeyer К.Н., The effect of alloying on the shape memory phenomenon in Nitinol // Scripta Met. V.10. -1976. - P. 667-672.

7. Корнилов И.И., Белоусов O.K., Качур E.B. Никелид титана и другие сплавы с эффектом «памяти». М.: Наука, 1977. - 180 с.

8. Корнилов И.И. Титан. Источники, составы, свойства, металлохимия и применение. М.: Наука. 1975. - 310 с.

9. Ковнеристый Ю.К., Белоусов O.K., Матвеева Н.М. и др. Термодинамические и структурные аспекты исследования сплавов на основе никелида титана с эффектом памяти формы / Сплавы титана с особыми свойствами. М.: Наука, 1982. -С. 4-10.

10. Lotkov A.I., Grishkov V.N., Fadin V.V. The influence of palladium on the martensitic transformation of the intermetallic compound TiNi //Phys. Stat. Sol. 1982. -V.70.- P. 513-517.

11. Лотков А.И., Гришков B.H. Никелид титана. Кристаллическая структура и фазовые превращения // Известия высших учебных заведений. Физика. № 5. -1985.-С. 68-87.

12. Лотков А.И., Гришков В.Н. Влияние структурного состояния аустенита на мартенситные превращения в Ti49Ni51. Низкотемпературное старение // ФММ. -1990. №7.-С. 89-94.

13. Лотков А.И., Гришков В.Н. Мартенситные превращения в сплавах Ti-Ni после длительного отжига при 773 К // Изв. ВУЗов. Физика. 1991. №2. - С. 106-112.

14. Соловьев Л.А., Хачин В.Н. Сверхэластичность никелида титана // ФММ. -1974. Т.38. В.2. С. 433^35.

15. Хачин В.Н., Сивоха В.П., Матвеева Н.М., Саввинов А.С., Чернов Д.Б. Эффекты памяти формы при мартенситных превращениях в TiNi-TiPd, TiNi-TiPt, TiNi-TiAu // Необычные механические свойства сплавов / Препринт ИФМ 9.80. Киев.- 1980. С. 9-10.

16. Хачин В.Н., Матвеева Н.М., Сивоха В.П., Чернов Д.Б. Ковнеристый Ю.К., Высокотемпературные эффекты памяти формы в сплавах системы TiNi-TiPd // ДАН СССР. 1981. - Т.257. №1. - С. 167-170.

17. Хачин В.Н., Муслов С.А., Пушин В.Г., Чумляков Ю.И. Аномалии упругих свойств монокристаллов TiNi-TiFe // ДАН СССР, Техническая физика. 1987. -Т.295. №3. - С. 6606-6609.

18. Perkins Ed. J. Shape Memory Effects in Alloys // N.Y., London: Plenum Press. -1975.-480 p.

19. Хачин B.H. Память формы. M.: Знание, 1984. - 64 с.

20. Buehler W.J., Gilfrich J.W., Wiley R.C. Effect of low-temperature phase changes on the mechanical properties of alloys near composition of TiNi // J. Appl. Phys. V.34. №5. 1963. -P. 1475.

21. Чернов Д.Б. Принципы конструкционного применения материалов с термомеханической памятью, 1984. 150 с.

22. Wasilewski R.J., Buttler S.R., Hanlon J.E., Warden D. // Met. Trans. Y.2. №1. -1971.-P. 229-237.

23. Bastin. G.F., Rieck G.D. // Met. Trans. V.5. 1975. - P. 1817.

24. Massalski T.B, Okamoto H, Subramanian P.R, Kacprzak L. Binary alloy phase diagrams, 2nd edition, V.3. Materials Park, OH: ASM International. 1990. - P. 2874.

25. Гришков B.H., Лотков А.И. Мартенситные превращения в области гомогенности интерметаллида TiNi // Физика металлов и металловедение. Т.60. №2.-1982.-С. 351-355.

26. Чернов Д.Б., Паскаль Ю.И., Гюнтер В.Э., Монасевич Л.А. // ДАН СССР. -1979. Т.247. №4. - С. 854-859.

27. Мейснер Л.Л. Механические и физико-химические свойства сплавов на основе никелида титана с тонкими поверхностными слоями, модифицированными потоками заряженных частиц: Дис. . д-ра физ.-мат. наук. Томск, 2004. - 546 с.

28. Сплавы со свойствами сверхупругости и памяти формы. АН УССР Институт Металлофизики. Киев, 1980. - 56 с.

29. Лотков А.И., Гришков В.Н., Анохин С.В., Кузнецов А.В. Влияние старения на температуру начала мартенситного превращения в интерметаллиде TiNi // Известия высших учебных заведений. Физика. № 10. 1982. - С. 11-16.

30. Лотков А.И., Гришков В.Н., Анохин С.В., Кузнецов А.В. Наблюдение необычной последовательности мартенситных превращений в TiNi // Известия высших учебных заведений. Физика. № 10. 1982. - С. 16-19.

31. Дударев Е.Ф. Микропластическая деформация и предел текучести поликристаллов. Томск: Изд-во Томского ун-та, 1988. - 256 с.

32. Панин В.Е., Фомин В.М., Титов В.М. физические принципы мезомеханики поверхностных слоев и внутренних границ раздела в деформируемом твердом теле // Физическая мезомеханика. 2003. Т.6, №2. С. 5-15.

33. Мейснер Л.Л. Механические и физико-химические свойства сплавов на основе никелида титана с тонкими поверхностными слоями, модифицированными потоками заряженных частиц // Физическая мезомеханика. Т.7. № S2. 2004. — С. 169-172.

34. Wu X., Fu У., Han Y., Hua W., Yang S. A study of TiNi shape-memory alloy modified by pulsed high-energy density plasma // Materials Science Forum. V. 394— 395.-2002.-P. 149-152.

35. Tan L., Crone W.C. Surface characterization of NiTi modified by plasma source ion implantation // Acta Materialia. №50. 2002. - P. 4449-4460.

36. Zhao X.K., Cai W., Tian Y., Zhao L. Microstructure and hemocompatibility of a phosphorus ion-implanted TiNi shape-memory alloy // Materials Science Forum. V.394-395. 2002. - P. 153-156.

37. Asaoka T. Effect of aluminum ion implantation on superelastic properties of TiNi alloy// Materials Science Forum. V. 394-395. 2002. - P. 157-160.

38. Asaoka Т., Nakazawa S. Effect of calcium ion implantation and of immersion in Hank's solution on shape memory properties of TiNi alloy // J. de Phisique IV. -2003.-P. 1121-1124.

39. Meisner L.L., Sivokha V.P., Lotkov A.I., Barmina E.G. Effect of the ion implantation on shape memory characteristics of TiNi alloy // J. de Phisique IV. V.l 12. 2002. - P. 663-666.

40. Мейснер JI.JI., Сивоха В.П., Лотков А.И., Бармина Е.Г., Гирякова Ю.Л. Пластические свойства сплавов TiNi с тонкими поверхностными слоями, модифицированными облучением // Материаловедение. №4. 2003. - С. 43-47.

41. Лотков А.И., Мейснер Л.Л., Гришков В.Н. Сплавы на основе никелида титана: ионно-лучевая, плазменная и химическая модификации поверхности // Физика металлов и металловедение. Т.99. №5. — 2005. — С. 66-78.

42. Meisner L.L., Sivokha V.P., Lotkov A.I, Derevyagina L.A. Surface morphology and plastic deformation of the ion-implanted TiNi alloy // Physica. B307. 2001. -P. 251-257.

43. Мейснер Л.Л., Лотков А.И., Сивоха В.П., Турова А.И., Бармина Е.Г. Влияние модификации поверхности и ее структурно-фазового состояния на коррозионные свойства сплавов на основе TiNi // Физика и химия обработки материалов. №1. 2003. - С. 78-84

44. Гришков В.Н., Лотков А.И., Тимкин В.Н. Структурные превращения и эволюция мезоструктуры при деформировании гетерогенно-слоевых сплавов на основе TiNi // Физическая мезомеханика. Т.7. № S2. 2004. - С. 131-134.

45. Cheng Y., Zheng Y.F. Surface characterization and electrochemical studies of biomedical NiTi alloy coated with TiN by PIIID // Materials Science and Engineering. V. A438-440. 2006. - P. 1146-2249.

46. HeBing C., Frenzel J., Pohl M., Shabalovskaya S. Effect of martensitic transformation on the performance of coated NiTi surfaces // Materials Science and Engineering. V. A486. 2008. P. 461-469.

47. Nam Т., Chung D., Lee H., Kim J., Choi M. Effect of the surface oxide layer on transformation behavior and shape memory characteristics of Ti-Ni and Ti-Ni-Mo alloys // J. of Materials Science. №38. 2003. - P. 1333-1338.

48. Kim K.S., Jee K.K., Kim Y.B., Jang W.Y., Han S.H. Effect of oxidation on transformation and deformation behavior in Ni-Ti alloy // Eur. Phys. J. Special Topics. №158.-2008.-P. 67-71.

49. Steegmueller R., Wagner C., Fleckenstein Т., Schuessler A. Gold coating of nitinol devices for medical applications // Materials Science Forum. V. 394-395! -2002.-P. 161-164.

50. Головин Ю.И., Тюрин А.И., Иволгин В.И., Коренков В.В. Новые принципы, техника и результаты исследования динамических характеристик твердых тел в микрообъемах // Журнал технической физики. Т.70. №5. -2000. С. 82-91.

51. Григорович В.К. Твердость и микротвердость металлов. М.: Наука, 1976. -230 с.

52. Иванько А.А. Твердость: Справочник / Под ред. Г.В. Самсонова. Киев: Наукова думка, 1968, - 356 с.

53. Манника И.П., Маникс Я.Е., Муктепал Ф.О. Определение микротвердости тонких пленок и покрытий. Саласпилс: Ин-т Физики, 1990. - 38 с.

54. Головин Ю.И., Иволгин В.И., Коренков В.В., Коренкова Н.В., Рябко Р.И. Определение комплекса механических свойств материалов в нанообъемах методами наноиндентирования // Конденсированные среды и межфазные границы. Т.З. №2. 2001. - С. 122-135.

55. Головин Ю.И. Наноиндентирование и механические свойства твердых тел в субмикрообъемах, тонких приповерхностных слоях и пленках (Обзор) // Физика твердого тела. Т.50. №12. 2008. - С. 2113-2142.

56. Friedrich С., Berg G., Broszeit Е., Berger С. Measurement of the hardness of coating using a force indentation function // Thin Solid Films. V.290-291. 1996. -P. 216-220.

57. Необычные механические свойства сплавов. АН УССР Институт Металлофизики. Киев, 1980. - 44 с.

58. Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлы. М.: Металлургия, 1990. -216 с.

59. Грибков В.А., Григорьев Ф.И., Калин Б.А., Якушин B.JI. Перспективные радиационно-пучковые технологии обработки материалов. М.: «Круглый год», 2001.-528 с.

60. Диденко А.Н., Шаркеев Ю.П., Козлов Э.В., Рябчиков А.И. Эффекты дальнодействия в ионно-имплантированных металлических материалах. -Томск: НТЛ, 2004. 328 с.

61. Валяев А.Н., Погребняк А.Д., Кишимото Н., Ладысев B.C. Модификация свойств материалов и синтез тонких пленок при облучении интенсивнымиэлектронными и ионными пучками. Усть-Каменогорск: Восточно-Казахстанский технический ун-т, 200. - 346 с.

62. Бойко В.И., Евстигнеев В.В. Введение в физику взаимодействия сильноточных пучков заряженных частиц с веществом. — М.: Энергоатомиздат, 1988.- 137 с.

63. Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. -М.: Мир, 1989.-564 с.

64. Sharkeev Y.P., Perry A.J., Geist D.E., Ryabchikov A.I., Tailashev A.S., Girsova N.V., Kozlov E.V. Modification of a disordered Ni3Fe alloy surface by 50 keV Zr ion implantation // Thin Solid Films. 1997. - Т.308-309. №1-4. - C. 393-398.

65. Электронная микроскопия в материаловедении: Справ, изд. / Под ред. Смирновой А.В. -М.: Металлургия, 1985. 192 с.

66. Практическая растровая электронная микроскопия. Под ред. Гоулдстейна Дж. И Яковица X. М.: Мир, 1978. - 656 с.

67. Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. Введение в физику поверхности. М.: Наука, 2006. - 490 с.

68. Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. М.: Мир, - 1989.-480 с.

69. Лотков А.И., Мейснер Л.Л., Гришков В.Н. Сплавы на основе никелида титана: ионно-лучевая, плазменная и химическая модификация поверхности // Физика металлов и металловедение. 2005. - Т.99. №5. - С. 66-78.

70. Тушинский Л.И., Плохов А.В., Токарев А.О., Синдеев В.И. Методы исследования материалов. М.: Мир, 2004. - 384 с.

71. Мейснер Л.Л., Лотков А.И., Нейман А.А., Мейснер С.Н.*, Дементьева М.Г., Прозорова Г.В. Структура поверхностных слоев и свойства никелида титана с покрытиями из молибдена и тантала // «Материаловедение», 2009. - №12, С.29-40.

72. Takashima К. and Nishida М. Acoustic emission during R-Phase and martensitic transformations in a Ti50.2Ni4g.3Fe1.5 alloy // J. de Physique, IV Colloque C8, Supplement au Journal de Physique III. V.5 1995. №12. - P. C8-735-C8-740.

73. Angst D.R., Thoma P.E., Kao M.Y. The effect of hafnium content on the temperatures of Ni49Ti5ixHfx shape memory alloys // J. de Physique, IV Colloque C8, Supplement au Journal de Physique III. V.5 1995. №12. -P. C8-747-C8-752.

74. Thier M., Treppmann D., Drescher D., Boureaul C. Transformation characteristics and related deformation behaviour in orthodontic NiTi wire // J. Mater Sci: Mater Med 3(1992). -P. 229-233.

75. Анохин С.В., Гришков В.Н., Лотков А.И. Мартенситные превращения в сплавах Ti (Ni, Fe) // Известия Высших Учебных Заведений, Физика. №12. -1989.-С. 19-22.

76. Кижнер P.M. Определение модуля сдвига из крутильных колебаний. Методическое пособие для проведения лабораторных работ. Томск: Ротапринт ТГУ, 1976. - 8 с.

77. Паршев. С.Н., Полозенко Н.Ю. Микротвердость материалов: Методические указания к лабораторной работе. Волгоград: ВГТУ. -2004. -14 с.

78. Нейман А.А., Мейснер Л.Л., Лотков А.И., Мейснер С.Н., Сергеев В.П., Редлих К.П., Сверхэластичность никелида титана с синтезированными наноразмерными покрытиями из Молибдена и Тантала // «Перспективные материалы». 2009. №1. - С. 51-56.

79. Нейман А.А., Мейснер С.Н., Редлих К.П. Сверхэластичность и микротвердость TiNi с Мо и Та наноразмерными тонкими пленками // Сборникматериалов четвертой всероссийской конференции молодых ученых. 22 25 апреля 2008, Томск - С. 105-109.

80. Таблицы физических величин. Справочник. / Под ред. Кикоина И.К. М.: Атомиздат, 1976. - 1006 с.

81. Физические величины. Справочник. / Под ред. Григорьева И. С., МейлиховаЕ. 3. -М.: Энергоатомиздат, 1991. 1234 с.

82. Ш.Редлих К.П., Колобова О. А., Нейман А. А. Влияние тонких напыленных слоев из Мо, Та на физико-механические свойства TiNi // XI российская научная студенческая конференция 13-15 мая 2008 г., Томск, Россия. С. 100-103.

83. Лихачев B.A. Эффект памяти формы // Соросовский образовательный журнал. Физика. №3. 1997. - С. 107-114.

84. Mulder J.H., Maas J.H., Beyer J. The martensitic transformation and shape memory effect in TiNiZr alloys / Proc. Int. Conf on Martensitic Transformation (ICOMAT'92), California, US.

85. Эффекты памяти формы и сверхупругости. АН УССР Институт Металлофизики. Киев, 1980. - 64 с.

86. Лотков А.И., Батурин А.А. Позитронная спектроскопия В2-соединений титана: электронная структура, точечные дефекты и мартенситные превращения. Томск: НТЛ, 2004. - 232 с.

87. Валяев А.Н., Погребняк А.Д., Кишимото Н., Ладысев B.C. Модификация свойств материалов и синтез тонких пленок при облучении интенсивными электронными и ионными пучками веществом. Казахстан, Усть-Каменогорск. -2000.-345 с.

88. Dhara S. Formation, Dynamics, and Characterization of Nanostructures by Ion Beam Irradiation // Solid State and Materials Sciences. V.32., Is. 1-2. 2007. - P. 1-51.

89. Лап Luo Stabilization of Nanoscale Quasi-Liquid InterfaciaLFilms in Inorganic Materials: A Review and Critical Assessment // Solid State and Materials Sciences. V.32., Iss. 1-2. 2007. - P. 67-109.

90. Zou J.X., Grosdidier Т., Zhang K.M., Dong C. Cross-section analysis of graded microstructure in an AISI D2-steel treated with low energy high-current pulsed electron beam // Applied Surface Science. V.255. № 9. 2009. - P. 4758-4764.